測定顕微鏡

測定顕微鏡 MM-Series
測定顕微鏡
MM type
「高機能を使いやすく」幅広いニーズにお応えする新ラインアップ。
コ
ン
パ
ク
ト
合焦がスピーディーなTTLレーザ
オートフォーカス（AF）機構
P
フォーカスエイド
次世代測定顕微鏡
Z
電
動
可
変
倍
率
Z軸の正確なピント合わせを可能にす
るフォーカスエイド（FA）機構
8
MM-800/LM
MM-800/LMFA P
MM-400/LM
MM-400/LMFA
ユニバーサル
フォーカスエイド
機構を搭載した
フォーカスエイド
（FA）
ユニバーサル反射照明装置
8
MM-800/LV
MM-800/LVFA
MM-400/LV
MM-400/LVFA
オートフォーカス
（ユニバーサルタイプ）
7
MM-200
■ 機能マーク
可変倍率（Variable）
P
対物レンズを2本装着でき、
素早い倍率切り替えが可能
MMタイプ可変倍率
MM-400/LV
L
タ
Z
イ
手
プ
動
ベ
ー
シ
ッ
ク
9
MM-800/L
MM-800/LFA
MM-400/L
MM-400/LFA
MM-800/T
MM-400/T
MM-400/M
電動上下動
専用コンソールで簡単、正確な
上下動が行える電動上下動機構
P
ユニバーサルタイプZ電動 MM-800/LMU
MM-シリーズは、測定の高精度化やシステムとの連携など
10
さまざまな機能を強化した、ニコンならではの自信作。
P
両軸粗微動ハンドル
上下動全域で粗微動ハンドルが
使用可能
コンパクトボディのMM-200を新たにラインアップ。
より幅広いニーズにお応えします。
Z軸リニアエンコーダ
上下動全範囲をカバーする
Z軸リニアエンコーダを内蔵
・TTLレーザAFを採用し（ユニバーサルタイプ）
、フォーカスエイド機構※1も搭載。
Universal type
・操作性に配慮した設計に加え、電動上下動機構をご用意。
・MMタイプに高輝度白色LED照明を採用。
対物レンズを2本搭載可能な「可変倍率」もご用意。
三眼観察部（Trinocular）
デジタルカメラが取り付けられる
三眼観察タイプ
・ボディ剛性の向上により300×200mmストロークのステージが搭載可能※2。
Z
電
動
MM-800/LMU
MM-400/LMU P
Z
手
動
MM-800/LU
MM-400/LU
・測定支援システムE-MAX（DSセット）により、デジタル画像測定を実現。
11
・高機能と使いやすさを両立したデータ処理装置DP-E1を開発。
※1：MM-400/T、400/MおよびMM-200を除きます。 ※2：MM-800専用です。
単眼観察部（Monocular）
コストパフォーマンスにすぐれた
単眼観察タイプ
ユニバーサル反射照明
12
多様な観察ニーズに応える
ユニバーサル反射照明装置
P
LED照明
高輝度白色LED照明装置
ベ
ー
シ
ッ
ク
MM-800/U
MM-400/U
13
P
MM-200 E-MAXセット、8方向LEDリング照明との組み合わせ例
MM
デジタル画像測定を実現
TYPE
顕微鏡用に開発されたニコンのデジタルカメラ
および、測定支援システムE-MAXシリーズと
の組み合わせで、デジタル画像測定を実現
しました。
定評ある光学技術と制御機能を駆使して
高精度な測定を実現。
左右両側から操作できる
上下動ハンドル
状況に合わせて左右どちらからでも操作できる
両軸タイプの粗微動ハンドルを採用。作業
効率が大幅にアップします。
高さ測定の精度を向上
フォーカスエイド（FA）
スプリットプリズム方式のフォーカスエイド
（FA）機構を新開発。鮮明なパターンによりZ軸の正確なピント合わせが可能になり、
対物レンズの焦点深度による高さ測定誤差を低減できます。被検物の表面性状に応じて明暗2種類のパターン切替えが可能です。
コントローラを搭載
本体背部にMM-400/800シリーズの頭脳で
あるコントローラを搭載しています。
スプリットプリズム方式のフォーカスエイド（FA）機構
対物レンズ
12×8ステージ
（MM-800専用）
前ピン
合焦
徹底的なCAE解析に基づいてボディ全体の
剛性を高めたことにより、小さなスペースで
の大型ステージの搭載を実現。測定対象の
大型化に対応しています。特に、MM-800で
は300×200mmの大ストロークのステージ
が搭載可能です。
後ピン
前ピン
合焦
後ピン
測定対象を広げる、照明性能の向上
無段階照明装置を内蔵
明るさを無段階に調整できる照明装置を内蔵しています。
E-MAX使用時には、本体のボリュームに触れることなくパソコン
からの調光が可能。画像測定に求められる同一条件での測定
を実現します。
8方向LEDリングライト CYN-E1
（MMタイプ、オプション）
●
●
●
樹脂成型品など、通常の照明
では見えにくかったサンプル
のエッジを際立たせます。
DP-E1、E-MAXシリーズとの連携を強化
入射角30°
の8方向ON/OFF
選択式大光量LED
測定からデータ活用までをトータルに考えた総合測定システム構築を可能にする、
最新のデータ処理/測定支援システムを用意しました。
測定顕微鏡用対物レンズ
1×、3×、5×、10×に対応
データ処理装置 DP-E1
●
測定支援システム E-MAXシリーズ
測定済みデータの確認参照ができ、操作性が大幅に向上
●
カウンタ表示を取り込んだ、省スペースタイプ
（1μm、0.1μm、0.01μm切替え可能）
●
●
基板
●
▲
LED照明装置
MMタイプはLED照明装置を標準装備。高輝度白色LED照明
は色温度が一定で調光反応が速く、高精度な測定が効率よく
行えます。しかも低消費電力、長寿命です。
（クラス1 LED製品）
320×240ピクセルの見やすい液晶画面で、
使いやすさが大幅に向上
ニコンのデジタルカメラおよび測定顕微鏡との組み合わせにより、
デジタル画像測定を実現
●
デジタルエッジ検出、サーチ機能など、強力な測定ツールを搭載
●
電動ユニバーサル反射照明装置の各種設定や制御が可能
●
ノートパソコンにも対応
MM-400/800シリーズ高精度タイプ
落射照明
●
8方向ＬＥＤ照明
モジュール選択の自由度を高め、多彩なバリエーションの構成が
可能になりました。ニーズに合わせたシステム構成が行え、デジタル
カメラをはじめとする各種アクセサリの装着時にも安定した、高精度
な測定が行えます。
ゴム製品
▲
●
●
1.5+L/100μm (JIS0級相当）:MHS 10x6
2.5+L/50μm :MHS 2x2, O3L, MHS 4x4,MHS 6x4, MHS 8x6, MHS 12x8
誤
差
0
＊システム構成の詳細についてはお問い合わせください。
落射照明
4
8方向ＬＥＤ照明
測定距離
5
UNIVERSAL
TYPE
高さ測定の向上と多彩な照明装置により
観察領域拡大と高精度測定を両立。
MM-200
高さ測定の向上
TTLレーザオートフォーカス
（AF）
（ユニバーサルタイプ）
フォーカスエイド
（FA）
TTLレーザオートフォーカス
（AF）
機構を搭載。
高精度かつスピーディーな焦点合わせおよび
高さ測定が可能です。
AF検出系
AFユニット
場所を選ばないコンパクトボディに、高品質な測定機能を凝縮。
ハイコストパフォーマンスに大注目！
■測定範囲50mm×50mmの
一体型ステージ
スプリットプリズム方式のフォーカスエイド
（FA）
を新開発。
より正確なピント合わせが可能になり、対物レンズの
焦点深度による測定誤差を低減することができます。
（LV-UEPI FA照明装置が必要です）
回転テーブル内蔵。調整も容易で、
測定準備時間を短縮します。
対物レンズ
ダイクロイックミラー
試料
●
使用可能な対物レンズ/性能
種類
CFI LU Plan Fluor BD
CFI LU Plan BD ELWD
倍率
5×
10×
20×A
50×A
100×A
開口数
（NA）作動距離（W.D.）(mm)
0.15
18.0
0.30
15.0
0.40
13.0
0.55
9.8
0.80
3.5
繰返し性能＊（2σ）
（μm）
3.0
1.0
0.5
0.4
0.35
■多彩な照明装置と
高輝度白色LED光源
■現場にあわせた
省スペース化を実現
低ランニングコストの白色LED光源を採用。
8方向LEDリング照明も使用できます。
A3サイズ
（420×297mm）
の設置寸法※
で、測定現場への導入が容易です。
※ハンドル部分を除く
暗線パターン
新開発ビデオヘッドとE-MAXやCCDカラーカメラでデジタル画像測定を実現（オプション）
＊当社基準ミラーによる値です。
明線パターン
多彩な照明装置をラインアップ
■E-MAXセット
■CCDカラーカメラセット
Cマウント対応のビデオヘッドを新開発。顕微鏡用デジタルカメラおよび
E-MAXシリーズとの組み合わせで、デジタル画像観察・データ処理を
実現します。
USB 2.0接続のCCDカラーカメラにより、モニター
画面を見ながら高精度測定が行えます。
電動ユニバーサル反射照明装置 LV-UEPI2A
・照明切替えと開口絞りを電動化し、開口絞りを最適化します。
ユニバーサル反射照明装置 LV-UEPI2
モニター出力画面
■ 寸法図
（単位：mm)
・視野絞り、開口絞り、シャッタとの最適照明条件を連動できます。
単眼タイプ
ユニバーサル反射照明装置 LV-UEPI
ビデオヘッドタイプ
109
109
・明視野/暗視野の切替え時に、視野絞りと開口絞りを自動開放します。
532.5
532.5
白色LED照明装置 LV-EPILED
・軽量、コンパクトかつ色温度が一定な白色LED照明を採用しています。
E-MAX DSセットの基本画面
FA反射照明装置 LV-UEPI FA
■ 主な仕様
・フォーカスエイド
（FA）
を搭載し、より高精度な高さ測定を実現します。
単眼観察部
220
220
Cマウントシンプルビデオヘッド
144.5
128.3
50×50mm
144.5
171
171
115
Ø63
115
C-mount
対物レンズ切替えが照明&AFコンソールから操作できます。
FA反射照明装置 LV-UEPI FA
6
66
235
455
EPI
49
66
105
235
RS-232C
EBUS-DOWN
USB(D)
SC-E1
Boot
Ethemet
STAGE
STAGE
STAGE
105
EXRST/FOOT
RS-232C
EBUS-DOWN
USB(D)
SC-E1
Boot
Ethemet
EXRST/FOOT
RS-232C
EBUS-DOWN
USB(D)
Boot
SC-E1
EXRST/FOOT
Ethemet
DC-IN
12VDC
3AMAX
DC-IN
12VDC
3AMAX
EPI
DC-IN
12VDC
3AMAX
DC-IN
12VDC
3AMAX
RS-232C
EBUS-DOWN
USB(D)
Boot
SC-E1
EXRST/FOOT
Ethemet
170
110mm
316（W）
×455（D）
×533（H）mm、約40kg
STAGE
標準：LED透過照明、LED反射照明
オプション：8方向LEDリング照明
170
ユニバーサル電動レボルバ
228∼338
±0.1％（全視野）
EPI
5kg
標準：3×
（75.5mm）
オプション：1×（79mm）
、5×（64mm）
、10×（48mm）
EPI
2.5＋L/50μm（サブミクロン校正）
、3＋L/50μm（標準校正）
49
455
AC100-240V/最大1.8A
7
MM
TYPE
Z 電動
Z 手動 ■ 機能マーク
正確な上下動操作が軽快に行えてオペレータに負担をかけない、電動上下動タイプ。
FA三眼観察部と組み合わせることにより、高さ測定誤差を最小限に抑えることができます。
MM-800/LM
MM-400/LM
Z軸スケールを内蔵した両軸ハンドルタイプです。
用途に応じて、FA三眼観察部と三眼観察部が選択できます。
オートフォーカス
（ユニバーサルタイプ）
合焦がスピーディーな
TTLレーザオートフォーカス
（AF）
機構
MM-800/LMFA
MM-400/LMFA
フォーカスエイド
Z軸の正確なピント合わせを
可能にするフォーカスエイド
（FA）
機構
MM-800/L
MM-400/L
ユニバーサルフォーカスエイド
フォーカスエイド
（FA）機構を
搭載したユニバーサル反射照明
装置
可変倍率（Variable）
対物レンズを2本装着でき、
素早い倍率切り替えが可能
電動上下動
専用コンソールで簡単、
正確な上下動が行える
電動上下動機構
可変倍率
低倍と高倍、2本の対物レンズを搭載でき、簡単に切り替え可能。低倍での広視野
測定と高倍での高精度高さ測定を、一台の顕微鏡で効率よく行えます。
両軸粗微動ハンドル
上下動全域で
粗微動ハンドルが使用可能
MM-800/LV
MM-400/LV
MM-800/LVFA
MM-400/LVFA
Z軸リニアエンコーダ
MM-800/LFA
MM-400/LFA
上下動全範囲をカバーする
Z軸リニアエンコーダを内蔵
三眼観察部（Trinocular）
デジタルカメラが取り付けられる
三眼観察タイプ
単眼観察部（Monocular）
コストパフォーマンスにすぐれた
単眼観察タイプ
■ 主な仕様
■ 主な仕様
機種
MM-800/LM、MM-800/LMFA
上下動機構
電動
（最高駆動速度：10mm/sec）手動
（両軸粗微動ハンドル）
観察部
三眼観察部、FA三眼観察部
MM-800/LV、MM-800/LVFA
MM-400/LM、MM-400/LMFA
可変倍率観察部、FA可変倍率観察部
接眼部傾斜角
MM-400/LV、MM-400/LVFA
手動（両軸粗微動ハンドル）
三眼観察部、FA三眼観察部
観察部
三眼観察部、FA三眼観察部
可変倍率観察部、FA可変倍率観察部
接眼部傾斜角
CFWN10X（視野数20）
対物レンズ倍率（作動距離）
測定顕微鏡専用対物レンズ1Ｘ
（79mm）
、3Ｘ
（75mm）
、5Ｘ
（64mm）
、
MHS12Ｘ8、MHS10Ｘ6、MHS8X6、
透過
白色LED（標準）
、12V50Wハロゲンランプ（オプション）
MHS12Ｘ8、MHS10Ｘ6、MHS8X6、
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
透過
反射
LED反射照明
LED照明
高輝度白色LED照明装置
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
＊2
白色LED（標準）
、12V50Wハロゲンランプ（オプション）
LED反射照明
被検物最大高さ
200mm
150mm
被検物最大高さ
200mm
150mm
本体寸法・質量
Ｘ735（D）
Ｘ725（H）mm、約72kg
380（W）
Ｘ600（D）
Ｘ638（H）mm、約50kg
300（W）
本体寸法・質量
380（W）
Ｘ735（D）
Ｘ725（H）mm、約72kg
300（W）
Ｘ600（D）
Ｘ638（H）mm、約50kg
＊1：MM-800にステージMHS8×6、MHS6×4、MHS4×4、O3L、MHS2×2を取り付ける場合、ステージアダプタが必要です。
＊2：TE2-PS 100W電源＋MM-LH50PC併用。
8
ステージ＊1
照明装置/光源
＊2
反射
測定顕微鏡専用対物レンズ1Ｘ
（79mm）
、3Ｘ
（75mm）
、5Ｘ
（64mm）
、
10Ｘ
（48mm）
、20Ｘ
（20mm）
、50Ｘ
（15mm）
、100Ｘ
（4mm）
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
照明装置/光源
多様な観察ニーズに応える
ユニバーサル反射照明装置
25°
接眼レンズ
（48mm）
、20Ｘ
（20mm）
、50Ｘ
（15mm）
、100Ｘ
（4mm）
10Ｘ
ステージ＊1
MM-400/L、MM-400/LFA
上下動機構
CFWN10X（視野数20）
対物レンズ倍率（作動距離）
MM-800/L、MM-800/LFA
電動
（最高駆動速度：10mm/sec）手動
（両軸粗微動ハンドル）
25°
接眼レンズ
ユニバーサル反射照明
機種
＊1：MM-800にステージMHS8×6、MHS6×4、MHS4×4、O3L、MHS2×2を取り付ける場合、ステージアダプタが必要です。
＊2：TE2-PS 100W電源＋MM-LH50PC併用。
9
MM
UNIVERSAL
TYPE
TYPE
Z 電動
ベーシック
■ 機能マーク
コストパフォーマンスにすぐれた、測定顕微鏡MM-800/400の基本タイプです。
測定用途に応じて観察部やステージを選択できます。
電動ユニバーサル反射照明装置やU-AF装置、照明&AFコンソールとの組み合わせにより、
高精度な高さ測定と照明コントロールが行えます。
オートフォーカス
（ユニバーサルタイプ）
合焦がスピーディーな
TTLレーザオートフォーカス
（AF）
機構
フォーカスエイド
MM-800/T
Z軸の正確なピント合わせを
可能にするフォーカスエイド
（FA）
機構
MM-800/LMU
ユニバーサルフォーカスエイド
フォーカスエイド
（FA）機構を
搭載したユニバーサル反射照明
装置
MM-400/T
可変倍率（Variable）
対物レンズを2本装着でき、
素早い倍率切り替えが可能
電動上下動
専用コンソールで簡単、
正確な上下動が行える
電動上下動機構
両軸粗微動ハンドル
上下動全域で
粗微動ハンドルが使用可能
MM-400/LMU
MM-400/M
Z軸リニアエンコーダ
上下動全範囲をカバーする
Z軸リニアエンコーダを内蔵
三眼観察部（Trinocular）
デジタルカメラが取り付けられる
三眼観察タイプ
単眼観察部（Monocular）
コストパフォーマンスにすぐれた
単眼観察タイプ
■ 主な仕様
■ 主な仕様
機種
MM-800/T
MM-400/T
上下動機構
MM-400/M
三眼観察部、FA三眼観察部
三眼観察部
接眼部傾斜角
接眼レンズ
対物レンズ倍率（作動距離）
単眼観察部
25°
30°
CFWN10X（視野数20）
専用10X（視野数20）
MHS12Ｘ8、MHS10Ｘ6、MHS8X6、
透過
接眼レンズ
被検物最大高さ
200mm
本体寸法・質量
380（W）
Ｘ735（D）
Ｘ725（H）mm、約72kg
CFI10X
（視野数22）
、CFI10XCM
（視野数22）
CFI LU Plan FLUOR EPIシリーズ、CFI LU Plan FLUOR BDシリーズ、CFI L Plan EPI CRシリーズ
MHS12Ｘ8、MHS10Ｘ6、MHS8X6、
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
照明装置/光源
透過
反射
白色LED（標準）
、12V50Wハロゲンランプ（オプション）
LED反射照明
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
LED照明
高輝度白色LED照明装置
＊3
白色LED照明（標準）
、12V50Wハロゲンランプ（オプション）
FA反射照明装置LV-UEPI FA、電動反射照明装置LV-UEPI2A＊3、反射照明装置LV-UEPI2＊3、
反射照明装置LV-UEPI＊3、白色LED照明装置LV-EPILED
単眼LED反射照明
150mm
被検物最大高さ
200mm
150mm
300（W）
Ｘ600（D）
Ｘ638（H）mm、約50kg
本体寸法・質量
380
（W）
Ｘ735
（D）
Ｘ725
（H）
mm、約72kg
300
（W）
Ｘ600
（D）
Ｘ638
（H）
mm、約50kg
＊1：MM-800にステージMHS8×6、MHS6×4、MHS4×4、O3L、MHS2×2を取り付ける場合、ステージアダプタが必要です。
＊2：TE2-PS 100W電源＋MM-LH50PC併用。
10
LV-TT2三眼チルト鏡筒
（固定レチクル内蔵）
＊2
反射
多様な観察ニーズに応える
ユニバーサル反射照明装置
Y-TB双眼鏡筒、LV-TI3三眼鏡筒、
観察部
ステージ＊2
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
照明装置/光源
MM-400/LMU
電動
（最高駆動速度：10mm/sec）
対物レンズ＊1
測定顕微鏡用対物レンズ1Ｘ
（79mm）
、3Ｘ
（75mm）
、5Ｘ
（64mm）
、
10Ｘ
（48mm）
、20Ｘ
（20mm）
、50Ｘ
（15mm）
、100Ｘ
（4mm）
ステージ＊1
MM-800/LMU
上下動機構
手動（両軸粗微動ハンドル）
観察部
ユニバーサル反射照明
機種
＊1：U-AF装置使用時の使用可能な対物レンズは6ページの表を参照してください。
＊2：MM-800にステージMHS8×6、MHS6×4、MHS4×4、O3L、MHS2×2を取り付ける場合、ステージアダプタが必要です。
＊3：TE2-PS 100W電源＋MM-LH50PC併用。
11
UNIVERSAL
TYPE
Z 手動ベーシック
■ 機能マーク
Z軸スケールを内蔵した両軸ハンドルタイプです。
FA反射照明装置LV-UEPI FAとの組み合わせにより、高精度な高さ測定が行なえます。
明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察が可能なユニバーサル反射照明装置を搭載した、
ユニバーサルタイプの基本モデルです。
MM-800/LU
MM-800/U
オートフォーカス
（ユニバーサルタイプ）
合焦がスピーディーな
TTLレーザオートフォーカス
（AF）
機構
フォーカスエイド
Z軸の正確なピント合わせを
可能にするフォーカスエイド
（FA）
機構
ユニバーサルフォーカスエイド
フォーカスエイド
（FA）機構を
搭載したユニバーサル反射照明
装置
可変倍率（Variable）
対物レンズを2本装着でき、
素早い倍率切り替えが可能
電動上下動
専用コンソールで簡単、
正確な上下動が行える
電動上下動機構
両軸粗微動ハンドル
MM-400/LU
上下動全域で
粗微動ハンドルが使用可能
MM-400/U
Z軸リニアエンコーダ
上下動全範囲をカバーする
Z軸リニアエンコーダを内蔵
三眼観察部（Trinocular）
デジタルカメラが取り付けられる
三眼観察タイプ
単眼観察部（Monocular）
コストパフォーマンスにすぐれた
単眼観察タイプ
■ 主な仕様
■ 主な仕様
機種
MM-800/LU
MM-400/LU
上下動機構
Y-TB双眼鏡筒、LV-TI3三眼鏡筒、LV-TT2三眼チルト鏡筒（固定レチクル内蔵）
接眼レンズ
MHS12Ｘ8、MHS10Ｘ6、MHS8X6、
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
透過
反射
接眼レンズ
ステージ＊1
MHS12Ｘ8、MHS10Ｘ6、MHS8X6、
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
＊2
白色LED照明（標準）
、12V50Wハロゲンランプ（オプション）
FA反射照明装置LV-UEPI FA、電動反射照明装置LV-UEPI2A＊2、反射照明装置LV-UEPI2＊2、
200mm
380（W）
Ｘ735（D）
Ｘ725（H）mm、約72kg
＊1：MM-800にステージMHS8×6、MHS6×4、MHS4×4、O3L、MHS2×2を取り付ける場合、ステージアダプタが必要です。
＊2：TE2-PS 100W電源＋MM-LH50PC併用。
12
CFI10X（視野数22）
、CFI10XCM（視野数22）
CFI LU Plan FLUOR EPIシリーズ、CFI LU Plan FLUOR BDシリーズ、CFI L Plan EPI CRシリーズ
対物レンズ
照明装置/光源
反射照明装置LV-UEPI 、白色LED照明装置LV-EPILED
本体寸法・質量
Y-TB双眼鏡筒、LV-TI3三眼鏡筒、
鏡筒
＊2
被検物最大高さ
多様な観察ニーズに応える
ユニバーサル反射照明装置
LV-TT2三眼チルト鏡筒（固定レチクル内蔵）
CFI LU Plan FLUOR EPIシリーズ、CFI LU Plan FLUOR BDシリーズ、CFI L Plan EPI CRシリーズ
ステージ＊1
MM-400/U
手動（両軸粗微動ハンドル）
CFI10X（視野数22）
、CFI10XCM（視野数22）
対物レンズ
照明装置/光源
MM-800/U
上下動機構
手動（両軸粗微動ハンドル）
鏡筒
ユニバーサル反射照明
機種
透過
＊2
白色LED照明（標準）
、12V50Wハロゲンランプ（オプション）
反射
FA反射照明装置LV-UEPI FA、電動反射照明装置LV-UEPI2A＊2、反射照明装置LV-UEPI2＊2、
高輝度白色LED照明装置
反射照明装置LV-UEPI＊2、白色LED照明装置LV-EPILED
150mm
300（W）
Ｘ600（D）
Ｘ638（H）mm、約50kg
MHS6Ｘ4、MHS4Ｘ4、O3L、MHS2Ｘ2
LED照明
被検物最大高さ
200mm
150mm
本体寸法・質量
380（W）
Ｘ735（D）
Ｘ725（H）mm、約72kg
300（W）
Ｘ600（D）
Ｘ638（H）mm、約50kg
＊1：MM-800にステージMHS8×6、MHS6×4、MHS4×4、O3L、MHS2×2を取り付ける場合、ステージアダプタが必要です。
＊2：TE2-PS 100W電源＋MM-LH50PC併用。
13
ACCESSORIES
■ ステージ仕様
ステージ
ステージ上面の大きさ(mm) ステージガラスの大きさ(mm) 測定範囲(mm)
新開発のMHS12×8ステージをはじめ、多彩なラインナップを用意。
測定精度も3＋L/50μm＊1（L：測定長）
と高精度です。
60
380
60
14
100
55
20
約75
MHS 10X6
450×286
305×190
250×150
光電式リニアエンコーダ
0.0001
任意
ネジ穴-M6
20
約50
MHS 8X6
400×280
245×192
200×150
光電式リニアエンコーダ
0.0001
任意
ネジ穴-M6
15
約36
MHS 6X4
350×240
204×145
150×100
光電式リニアエンコーダ
0.0001
任意
ネジ穴-M6
10
約27
MHS 4X4
285×240
170×145
100×100
光電式リニアエンコーダ
0.0001
任意
ネジ穴-M6
6
約23
O3L
285×192
170×120
100×50
光電式リニアエンコーダ
0.0001
任意
アリ溝
5
約15
MHS 2X2
195×192
φ107
50×50
光電式リニアエンコーダ
0.0001
任意
ネジ穴-M6
5
約13
126
120
90
60
220
192
245
ケーブル長：約2000mm
回転テーブル
（mm）
ステージと組み合わせて被検物を回転させる台です。
スイベルプレート
●
●
回転テーブルC
MHS 12×8、MHS 10×6、MHS 8×6用
●
回転テーブルA2
MHS 6×4、MHS 4×4用
●
O3L用
90
145
354
240
180
60
回転テーブルD
MHS 12×8用
204
ケーブル長：約2000mm
12-M6深10
工具取付用ネジ穴
（mm）
450
410
210
120
170
6-M6深1 0
工具取付用ネジ穴
30
ケーブル長：約2000mm
25
30
40
30
（mm）
25
350
230
340
360
390
60
30
10-M6深10
工具取付用ネジ穴
170
φ204
130
φ1
74
230
30
30
φ27
1
286
2
φ26
30
310
370
282
250(取付ネジ)
φ1
07
6-M6深9（円周6等分）
工具取付用ネジ穴
250
90
145
354
240
190
60
ステージ
40
30
438
285
250
60 60
MM-400/800＊2用
134
ステージMHS8×6、MHS6×4、MHS4×4、O3L、MHS2×2をMM-800に
取り付ける場合に必要です。
ステージ
●
1.6
8
240
60
60
464.5
5
416
280
ステージアダプタ
（MM-800用）
508
350
250
60 60 60
MHS4×4
▲ MHS12×8用
ステージ用アクセサリ
（mm）
16-M6深10
工具取付用ネジ穴
MM-400/800＊2用
アリ溝
アリ溝：O3L
T溝：回転テーブルA2
※ O3L以外のステージ及び回転テーブルC/Dへの工具取り付けに
は、ネジ穴（M6深10）をご利用ください。
※ MHS2×2の回転板をT溝付きにすることもできます。
（特注）
588
400
374
360
300
60 60 60
MHS6×4
60°
T溝
18-M6深10
工具取付用ネジ穴
●
（mm）
11.7
60
305
ステージ
2
（mm）
300
10.2
190
286
MHS10×6
360°
120
135
6.2
22-M6深10
工具取付用ネジ穴
521.5
450
360
60 60 60
回転角
225
ステージ取付ネジ寸法図
13.5
100.5
ステージ
MM-800＊2用
ネジ穴-M6
最小読取値(mm) ゼロ位置調節量(mm)
4
500
60
MHS8×6
任意
工具取付溝寸法図（mm）
ケーブル長：約2000mm
●
0.0001
35
280
60 60 60 60 55
85
読取装置
35
60
230
330
60
85
678.5
MM-800用
光電式リニアエンコーダ
100
78
●
300×200
ケーブル長：約2000mm
100.5
MM-800用
質量(kg)
330×230
60 60 60 60 60
350
MHS12×8
●
464
ステージ
被検物の最大質量(kg )
500×350
200
＊1：O3Lを除く
治工具取り付け
MHS 12X8
（mm）
412
285
■ 回転テーブル仕様
ケーブル長：約2000mm
ステージ
MM-400/800＊2用
90
92
312
192
38.1
●
120
テーブル
O3L
170
（mm）
307.5
255
195
MM-400/800 用
14
工具取付溝
質量 ( kg )
410×310
330×230
±2.5°
（目盛なし）
ネジ穴
（16-M6）
約12
D
φ282
φ262
360°
（目盛なし）
ネジ穴
（6-M6）
約8
C
φ204
φ165
360°
（目盛なし）
ネジ穴
（6-M6）
約5
A2
φ160
φ107
360°
（2′
読）
T溝/ネジ穴
（2-M6）
約4
傾斜センタ台A2（回転テーブルA2、回転テーブルC、MHS 2×2用）
90
6-M6深7
＊2：MM-800への取り付けにはステージアダプタが必要です。
回転盤の大きさ( mm) ステージガラスの大きさ( mm)
ケーブル長：約2000mm
φ174
φ1
50
センタ加工した被検物を保持する場合に使用します。
07
φ1
●
＊2
286
MHS2×2
192
ステージ
回転角
スイベルプレート
（mm）
最大被検物外径×長さ
（水平時）
センタ軸の中心の高さ
傾斜角
質量
φ68×120mm
45mm
10°
（1目1°
）
約2.2kg
回転テーブルA2との組み合わせ例
15
ACCESSORIES
データ処理装置 DP-E1
測定支援システム E-MAXシリーズ
デジタル画像測定を実現する、先進の測定支援システム
高機能と使いやすさを両立したデータ処理装置
測定顕微鏡での画像測定ニーズ、なかでもデジタル画像測定
ニーズの高まりに応え、E-MAXシリーズがさらにパワーアップ。
ニコンのデジタルカメラおよび測定顕微鏡との組み合わせにより、
デジタル画像測定を実現。
二次元データ処理から画像測定、データ保存まで、
高度で豊富な測定・処理機能が容易に使いこなせます。
測定システム全体での精度向上、作業効率アップのニーズに応えて開発された、
新しいデータ処理装置です。カウンタを一体化したコンパクトタイプ。
320×240ピクセルの液晶画面の採用により、使いやすさが大幅に向上しました。
●
●
●
●
測定カウンタ機能を取り込んだ、省スペースなシステムです。
使いやすい測定コードボタンと測定結果リストを使った操作により、
初めての方でも容易に測定できます。
見やすい表示部により、作業がスムーズに行えます。
測定結果ファイルはUSBメモリに保存して、簡単に持ち運べます。
カウンタ表示部
座標リセットキー
座標表示部
リスト表示部
コメント、測定結果
表示部
ファイル
操作キー
ファンクションキー
テンキー
測定コードキー
マクロキー
データ入力キー
E-MAX DSセット
測定支援/データ処理システム用アプリケーション
データ処理ソフト U-DP
Custom Fit QC
アイコンをワンタッチするだけでチョイ測が簡単にできる、Webブラウザベースのデータ処理ソフトウェア。
EthernetまたはWiFiでインターネットブラウザが稼働するデバイスであれば、PC、PDA等で使用可能です。
最大値・最小値・幅・標準偏差・工程能力指数など、
測定支援システムE-MAXシリーズで測定した検査データのロット管理に最適です。
PC動作環境
●
●
●
●
OS：Windows XP
®
メモリ：2GB以上
推奨ブラウザ：Windows® Internet Explorer Ver 6.0.29以上
検査成績表は標準の10様式の他に、オリジナル様式の作成にも別途対応可能。
●
検査成績表にBMP、JPEGファイルの貼り付けが可能です。
●
グラフ自動作成、度分秒表示の切り替えも可能です。
●
ヒストグラム、X-R管理図、散布図の作成も容易です。
動作環境：Windows®XP、Vista
Windows®版Excel 2002以降
メモリ：512MB以上
共同開発：
（株）
アリア
円と直線の距離測定
Custom Create
カウンタやデータ処理システムの測定結果をExcelのセルにダイレクトに取り込めます。
●
●
●
●
入力可能な測定機器：MM-400/800シリーズ、DP-E1、V-20B、V-12B。
お客様オリジナルの検査成績表に取り込めます。
3種類の検査成績表が用意されています。
動作環境：Windows® XP、Vista
複数のワークシートを同時に開いて受信できるので、
Windows®版Excel 2002以降
より効率的な測定が行えます。
メモリ：512MB以上
共同開発：
（株）
アリア
入力点が一目でわかる画面で、測定手順をガイダンス。
測定結果も一目で確認できる、分かりやすい画面レイアウト。
16
17
ACCESSORIES
顕微鏡デジタルカメラ Digital Sightシリーズ
角度接眼レンズ
（MMタイプ用）
即戦力のオールインワン顕微鏡デジタルカメラ。パソコン接続不要で、
表示・測定・撮影・保存まで、すべてマウスクリックだけの簡単操作で行えます。
高精細・大型ディスプレイで、すぐに顕微鏡観察が可能
スタンドアロンタイプのカメラコントロールユニット「DS-L2」は、
8.4型XGA液晶ディスプレイ一体型。
三眼観察部に使用する場合は、単眼アダプタを併用してください。
デジタル角度接眼レンズ
角度接眼レンズ1分読み
角度接眼レンズ10分読み
観察系の視野内にある十字線を回転させ、
角度のデジタル測定を行います。
表示単位：1分、10分
観察系の視野内に十字線および60°
の線が
あり、角度目盛は角度読み取り顕微鏡に
よって読み取ります。測定範囲360°
。
観察系の視野内に十字線と角度目盛があり、
接眼鏡筒下部のローレットリングを回すと、
十字線と一緒に副尺が180°
回転します。
ワンクリックで最適撮影できる、シーンモード
明視野、暗視野などの観察方法やサンプルの種類ごとに、
最適な撮影パターンをプリセット。マウスのワンクリックだけで
簡単・スピーディーに撮影できます。
ウェハ/ICチップ
金属セラミック/
プラスチック
実装基板
フラットパネル
ディスプレイ
照明装置
多彩な測定・計測ツールを用意
●
●
●
スケールの写し込み、2点間測定、グリッド線の表示など、
豊富な測定ツールを標準装備。
テキスト入力、線・図形描画、スーパーインポーズなどの
便利なツールをサポート。
測定データはCSV形式での保存も可能。
他のパソコンソフトでのレポート作成もスムーズです。
8方向LEDリングライト CYN-E1
リングファイバ・ダブルアームファイバ照明装置
樹脂成型品やドリル刃など、通常の照明では見えにくかったサンプル
を観察および測定するための照明装置です。入射角30°
の8方向
ON/OFF選択式大光量LEDで測定箇所のエッジを際立たせます。
測定顕微鏡用対物レンズ1×、3×、5×、10×に対応。サンプル
表面とLED照明部の距離は60mmを確保しています。
12V100W反射ミラー付きハロゲンランプを使用した、明るい照明
装置で、明るさの調整も容易です。リングファイバは、中心に向かって
すり鉢状に照明されるので、試料の凹凸による影が出にくくなります。
ダブルアームファイバは、自由な2方向から照明できます。
●
●
対物レンズ 1×・3×・5×・10×・20×・50×・100×
測定顕微鏡
MM-400/800シリーズに対応
●
ファイバトランス：明るさ調整は7∼14Vで連続可変
●
リングファイバ照明装置は金属顕微鏡対物レンズとの併用はできません。
●
測定顕微鏡用対対物レンズ1×、3×、5×、10×に対応しています。
測定支援システム
E-MAXシリーズに対応
●
E-BUSケーブル
（1.5m）
付属
●
クラス2 LED製品
製造元：シーシーエス
（株）
作動距離（ピントが合った状態での被検物と対物レンズの距離）
が長く、
高解像度でコンパクトな対物レンズです。いずれのレンズもほぼ同焦点設計で、
レンズアダプタ付き、MM-400/800共用です。
●
蛍光灯照明装置
リング蛍光管により、視野全体に影やムラのない、一様な照明が
行えます。蛍光管の寿命は約2,000時間と長く、交換も容易です。
3×は本機に標準付属。
MMタイプの観察部への取付けには、
対物レンズアダプタが必要です。
（可変倍率観察部は除く）
●
●
●
倍率
1×
3×
5×
10×
20×
50×
100×
作動距離（mm）
79
75
64
48
20
15
4
●
蛍光灯トランス：
120（W）
×150（D）
×70（H）mm
金属顕微鏡対物レンズとの
併用はできません。
測定顕微鏡用対対物レンズ
1×、3×、5×、10×に対応しています。
LED照明装置 SM-LW61 Ji
白色LEDを60個使用した高輝度タイプ。調光機能付きで、ちらつきも
少なくなっています。LEDは長寿命で、約20,000時間使用可能です。
●
LEDトランス：66（W）
×115（D）
×55（H）mm
●
金属顕微鏡対物レンズとの併用はできません。
●
測定顕微鏡用対対物レンズ1×、3×、5×、10×に対応しています。
製造元：林時計工業
（株）
ダイレクトCマウントTVタイプ
三眼観察部にダイレクトCマウントを取り付けると、Cマウントの顕微鏡テレビ装置を装着できます。
外部照明アダプタ3
リングファイバ照明装置、蛍光灯照明装置、
LED照明装置共通の外部アダプタです。
＊LV-TV TV直筒が必要です。
18
19
ACCESSORIES
■ 測定顕微鏡アクセサリ互換表
MM-400
M
接接眼レンズ
眼
レ角度接眼レンズ1分読み
ン
ズ角度接眼レンズ10分読み
カウンタ
3軸/2軸カウンタ表示部
カウンタ表示部は本体側面の左右どちらでも取り付け
可能です。ステージ座標を表示します。
（1μm、0.1μm、0.01μm切替え可能）
手元リセットスイッチ
カウンタのリセットが手元で行えます。
カウンタリモートスイッチ
カウンタのリセット、SEND操作が
手元で行えます。
Y軸
LMT
専用
LFA LMFA
LU
LMU
T
LT
LMT
CFI10X、CFI10XCM
LFA LMFA
LV
LVFA
CFWN10X
U
LU
LMU
CFI10X、CFI10XCM
①
①
①
①
①
①
−
−
−
①
①
①
①
①
①
①
−
−
−
①
①
①
①
①
①
①
−
−
−
①
①
①
①
①
①
①
−
−
−
単眼観察部
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
三眼観察部
観
察 FA三眼観察部
部
可変倍率観察部
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
○
−
−
−
−
FA可変倍率観察部
−
−
−
−
−
−
−
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
○
−
−
−
双眼鏡筒 Y-TB
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
白色LED照明装置 LV-EPILED
反
射電動反射照明装置 LV-UEPI2A
照反射照明装置 LV-UEPI2
明
装反射照明装置 LV-UEPI
置
FA反射照明装置 LV-UEPI FA
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
②
−
−
−
−
−
−
−
○
○
②
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
○
②
−
−
−
−
−
−
−
−
○
②
AF U-AF 装置
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
②
−
−
−
−
−
−
−
−
−
②
レユニバーサル電動レボルバ
ボ
ル
バマニュアルレボルバ
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
−
−
−
○
○
○
○
○
○
○
−
−
−
○
○
○
○
○
○
−
−
−
−
−
○
○
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
○
○
○
1×、3×、5×、10×、
対
物 20×、50×、100×
レ対物レンズアダプタ
ン
ズ
CFI 60対物レンズ
フットスイッチ4
測定顕微鏡MM-400/800本体背面のコントローラに接続し、
カウンタ値をプリントアウトします。また、DP-E1使用時には演算
結果をプリントアウトできます。
U
①
ス
テ MHS 8×6
ー
ジ MHS 12×8・MHS 10×6
プリンタ
LVFA
CFWN10X
MHS 6×4・MHS 4×4・
O3L・MHS 2×2
X軸
MM-800
LV
○
三眼チルト鏡筒 LV-TT2（レチクル内蔵）
2軸カウンタ表示部SC2-E1
LT
○
鏡正立三眼鏡筒 LV-TI3
筒三眼チルト鏡筒 LV-TT2
3軸カウンタ表示部SC3-E1
T
ステージアダプタ MM800
データ処理装置、プリンタへのLOAD指令が行えます。両手が自由
に使えるので、作業効率が向上します。
−
○
③
−
③
−
○
−
○
3軸カウンタ表示部SC3−E1
−
−
○
○
○
○
○
○
−
○
○
−
○
○
○
○
○
○
−
○
○
2軸カウンタ表示部SC2−E1
○
○
−
−
−
−
−
−
○
−
−
○
−
−
−
−
−
−
○
−
−
手元リセットスイッチ
④
④
カウンタリモートスイッチ
④
④
フットスイッチ4
④
④
回転テーブルA2
ス
テ
ー
ジ
ア
ク
セ
サ
リ
DPU-414
製造元：セイコーインスツルメンツ
（株）
TSP651-24
回転テーブルD
（MHS 12×8・MHS 10×6・
MHS 8×6用）
スイベルプレート
（MHS 12×8用）
傾斜センタ台A2
測定台
V溝支持台
測定支援システム E-MAXシリーズ
各種ステージの送り精度を300mmまで検定できるスケールです。
硝材に低膨張ガラスを採用し、熱の影響を非常に少なくしています。
精度：補正値に対して1μm以内（精度表付）
目盛間隔：10mm
床震動を吸収し、高い平面度を維持する測定台です。測定顕
微鏡の他、データ処理システム、外部調光装置、パソコン等を
載せることができます。
測定顕微鏡設置部
全体寸法
MM-400/800
430
（W）
×670
（D）
mm
1200
（W）
×800
（D）
×765
（Ｈ）
mm
製造元：
（株）昭和サイエンス
専用テンプレート
輪郭の比較や測定のための専用テンプレートです。
以下の専用テンプレートが用意されています。
20
●
標準角度テンプレート
（本機に標準付属）
●
同心円テンプレート
（直径0.2∼4.6mm）
●
3×対物レンズ用として製作されています。
ステージに合わせて選択してください
ロータリー・インデックスRI-3600L
（MHS 10×6・MHS 8×6
MHS 6×4・MHS 4×4用）
製造元：スター精密（株）
標準スケール300mm
回転テーブルC
（MHS 6×4・MHS 4×4用）
−
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
データ処理システム DP-E1
○
○
アプリンタTSP651-24/DPU-414
ク
セ顕微鏡デジタルカメラ
サ
リ DigitalSightシリーズ
LV-TV TV直筒
○
○
−
○
○
○
○
○
○
○
⑤
⑤
⑤
○
○
○
○
○
○
○
⑤
⑤
⑤
−
○
○
○
○
○
○
○
⑤
⑤
⑤
○
○
○
○
○
○
○
⑤
⑤
⑤
ダイレクトCマウントTVアダプタ
−
○
○
○
○
○
○
○
⑤
⑤
⑤
○
○
○
○
○
○
○
⑤
⑤
⑤
外部照明アダプタ3
○
○
○
○
○
○
−
−
−
−
−
○
○
○
○
○
−
−
−
−
−
リングファイバ照明装置
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
−
−
−
−
−
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
−
−
−
−
−
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
−
−
−
−
−
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
−
−
−
−
−
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
−
−
−
−
−
⑥
⑥
⑥
⑥
⑥
−
−
−
−
−
○
○
○
○
○
○
−
−
○
○
○
○
○
○
○
○
−
−
○
○
○
○
○
○
○
○
○
−
−
−
−
−
○
○
○
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
−
−
−
−
−
−
−
−
○
○
−
−
−
蛍光灯照明装置
（外部照明アダプタ2併用）
照 LED照明装置 SM-LW61 Ji
明
ダブルアームファイバ照明装置
8方向LEDリングライト CYN-E1
（E−MAX専用）
8方向LEDリングライト可変倍率用
①：単眼アダプタが必要です。
②：LV-EPI LEDおよびLV-UEPI FA装置とU-AF装置は併用できません。
③：ステージアダプタMM-800併用。
④：手元リセットスイッチ、カウンタリモートスイッチ、フットスイッチの中で二つを併用する場合は二分岐ケーブルが必要です。
⑤：双眼鏡筒
（Y-TB）
には取り付きません。
⑥：外部照明アダプタ3併用。
21
ACCESSORIES
高性能対物レンズCFI60シリーズの使用が可能になり、光学性能がさらに向上
新開発の三眼チルト鏡筒
三眼チルト鏡筒
透過波長領域をUVにまで拡張した標準対物レンズ
CFI LU Plan Fluorシリーズ
チルト機構付きの正立三眼鏡筒LV-TT2 三眼チルト鏡筒（固定レチクル内蔵）
を開発。使用状況や測定者の体格、測定姿勢に合わせて最適なアイレベルが
得られます。光路切換比が100：0/20：80なので、モニタに画像を映しながら
測定することもできます。
対物レンズの高NAと長作動距離化の両立というニコン独自の発想はそのままに、
多様化する研究・解析・検査ニーズに向け、透過波長領域をUVまで拡張したCFI
LU Plan Fluorシリーズを、標準対物レンズとして新たにラインアップ。
明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉、可視域だけではなくUV領域を用いる落射
蛍光という、すべての観察方法がこの対物レンズ1本で可能となりました。高分解能
で明るく、使いやすい光学系を提供します。
CFI LU Plan Fluor EPIシリーズ
照明装置用ブラケット
ガラス基板厚補正機構付き対物レンズ
CFI L Plan EPI CRシリーズ
新開発のレフト用ブラケット
LV-UEPI照明装置をＭＭ-400/800顕微鏡本機に取り付ける際、左右どちら向き
にも取り付けを可能とするブラケットです。観察者の方が右利きか左利きかに
応じて取り付けの向きを変更でき、観察の効率を向上します。
CFI LU Plan Fluor BDシリーズ
液晶ディスプレイを始めとするFPD用ガラス基板の薄型化と、デバイスの高集積・
高密度化に対応するため、CFI60光学システムにCFI L Plan EPI CRシリーズを
新たにラインアップ。補正環方式の採用により、0∼1.2mmまで
（100×は0∼0.7mm
と0.6∼1.3mmまでの2種類）
を連続的に補正します。NAも100×では最大0.85を
実現しており、ガラス基板の影響を受けることなしに、セルやパターンの高コント
ラストな観察が可能です。
適合顕微鏡
●
ＭＭ-400/800本機、Ｚ手動機
取り付け可能な照明装置
補正機構付きCFI L Plan EPI CRシリーズ
環境に対する配慮
●
反射照明装置 LV-UEPI
●
白色LED照明装置 LV-EPILED
CFI LU Plan Fluorシリーズ、CFI L Plan EPI CRシリーズには、鉛・砒素・
有害物質を含まないエコガラスを使用し、時代に即した環境への配慮も施しています。
選べるレボルバ
ガラス厚の補正なし
（対物レンズ50×時）
ガラス厚を0.7mmに補正
（対物レンズ50×時）
CFI60対物レンズ
●
明視野対物レンズ
●
種類
倍率
CFI L Plan EPI
開口数（NA）
1×＊
0.03
3.8
2.5×
0.075
40×
5×
18.0
0.30
15.0
0.65
1.0
20×
0.45
4.5
0.15
23.5
50×
0.80
1.0
10×
0.30
17.3
100×A
0.90
1.0
20×
0.45
4.5
13.0
50×
0.80
1.0
100×A
0.90
1.0
20×A
0.40
1.0
0.55
10.1
100×A
0.80
3.5
20×A
0.35
24.0
50×A
0.45
17.0
100×A
0.70
6.5
100×
0.95
0.4
150×
0.95
0.3
150×
1.25
0.25
新しいクリック機構と新制御方式によって高耐久性を実現した
ユニバーサル電動レボルバ「LV-NU5A U5Aレボ」
を用意しました。
観察方法に合わせてお選びいただけます。対物レンズ情報を最大
5本分、登録できます。
作動距離（W.D.）(mm)
10×
50×A
CFI LU Plan Fluor BD
開口数（NA）
8.8
CFI L Plan EPI SLWD
CFI L Plan Apo EPI WI
倍率
0.15
CFI LU Plan EPI ELWD
マニュアルレボルバ
明暗視野対物レンズ
種類
5×
CFI LU Plan Fluor EPI
CFI LU Plan Apo EPI
作動距離（W.D.）(mm)
高耐久性ユニバーサル電動レボルバ
CFI LU Plan BD ELWD
CFI LU Plan Apo BD
20×A
0.40
50×A
0.55
9.8
100×A
0.80
3.5
100×
0.90
0.51
150×
0.90
0.42
C-N6レボ
（明視野）
照明＆AFコンソール
照明＆AFコンソールは、電動ユニバーサル反射照明装置や各種光源、
ユニバーサル電動レボルバやTTLレーザオートフォーカスを操作できます。
E-MAXシリーズ接続時はティーチングにて制御可能です。
接続可能ユニット
補正機構付き対物レンズ
種類
CFI L Plan EPI CR
CFI L Plan EPI CR
22
倍率
20×
●
開口数（NA）
0.45
L-NU5レボ
（ユニバーサル）
LV-NU5A U5Aレボ
＊: YM-POポラライザ/ L-ANアナライザとの併用が必要です。
●
L-NBD5レボ
（明暗視野）
作動距離（W.D.）(mm)
10.9 ∼ 10.0
ガラス厚み補正範囲 (mm)
0
∼ 1.2
50×
0.70
3.9 ∼ 3.0
0
∼ 1.2
CFI L Plan EPI CRA
100×
0.85
1.2 ∼ 0.85
0
∼ 0.7
CFI L Plan EPI CRB
100×
0.85
1.3 ∼ 0.95
0.6 ∼ 1.3
電動ユニバーサル反射照明装置 LV-UEPI2A
●
TTLオートフォーカス U-AF装置
●
ユニバーサル電動レボルバ LV-NU5A U5Aレボ
●
透過/反射照明
23
■ システムダイヤグラム
（MMタイプ）
■ システムダイヤグラム
（ユニバーサルタイプ）
デジタル角度接眼レンズ
角度接眼レンズ1分読み
角度接眼レンズ10分読み
接眼目当て
接眼レンズ
CFWN 10×
N
N
単眼アダプタ
N
単眼接眼レンズ
10×
顕微鏡デジタルカメラ
DigitalSightシリーズ
傾斜センター台A2
MHS 2×2
CマウントTVカメラ
ダイレクト
Cマウント
TVアダプタ
N
双眼3
C
A
回転テーブルA2
V
接眼目当て
N
接眼レンズ
CFI 10×
O3L
V
U-AF 装置
回転テーブルC
MHS 4×4
CマウントTVカメラ
回転
テーブル
A2
U
N
A
A
接眼レンズ
CFI 10× CM
N
K
L
顕微鏡デジタルカメラ
DigitalSightシリーズ
傾斜
センター台
A2
MHS 2×2
LV-TT2
三眼チルト鏡筒
（固定レチクル内蔵） V
U
V
LV-TV
TV鏡筒
O3L
K
LV-TI3
正立三眼鏡筒
U
C
LED反射照明
Y-TB
双眼鏡筒
A
単眼落射照明
D
F
ダイレクト
Cマウント
TVアダプタ
M
F
F
E
回転
テーブル
C
G
MHS 4×4
電動反射照明装置
LV-UEPI2A
回転テーブルD
A
反射照明装置
LV-UEPI
反射照明装置
LV-UEPI2
FA反射照明装置
LV-UEPI FA
白色LED照明装置
LV-EPILED
MHS 6×4
LV-TV
TV直筒
UブラケットLV
MHS 8×6
K
A
MHS 6×4
A
K
FA三眼観察部 D
D
三眼観察部
可変倍率観察部 D
D
FA可変倍率観察部
M
ステージアダプタ
MM-800
単眼鏡筒部
電動レボルバ
LV-NU5A
U5Aレボ
/.
C
C
H
4.Ň
A.
,3
L
C
C
ステージアダプタ
MM800
対物レンズ
LU対物アダプタ
MHS 10×6
H
R
A
B
B
H
R
レボルバ
C-N6
6レボ
レボルバ
L-NBD5
BD5レボ ESD
レボルバ
L-NU5
U5レボ ESD
対物レンズ
R
LU Plan Fluor BD
対物レンズ
可変倍率観察部用
8分割LEDリング照明
回転テーブルD
LU Plan Fluor EPI / L Plan EPI CR
対物レンズ
MHS 8×6
R
B
T
T
T
T
T
MHS 12×8
対物レンズ
1×
3×
5×
10×
20×
50×
100×
P
P
J
S
S
S
B
A
A
E
F
E
F
2軸カウンタ
表示部
SC2-E1
MM-400/LM本機
T
T
P
J
S
S
S
S
S
8方向LED
リングライト
CYN-E1
LED照明装置
SM-LW61 Ji
LEDリング照明用
トランス
E
MM-400/L本機
蛍光灯
トランス
MM-400/LM本機
T
カウンタリモートスイッチ
S
フットスイッチ 4
T
P
P
J
S
S
S
2軸カウンタ
表示部
SC2-E1
B
B
E
F
S
E
PAコードU
J
P
Q
Q
TE2-PS
100W電源
ハロゲン
調光ケーブル
電源部（上下動用）
G
F
ハロゲン
ランプハウス
MM-LH50PC
LV-HL50W
12V50W-LL
ハロゲンランプ
カウンタリモートスイッチ
フットスイッチ 4
S
手元リセットスイッチ
J
Q
S
LV-HL50W
12V50W-LL
ハロゲンランプ
S
PAコードU
ACアダプタ
Q
電源部（上下動用）
ハロゲン
ランプハウス
MM-LH50PC
LED透過照明
データ処理システム
DP-E1
3軸カウンタ
表示部
SC3-E1
E
F
MM-800/LM本機
MM-800/L本機
MM-800本機
S
T
プリンタ
測定支援システムE-MAX
ACアダプタ
T
手元リセットスイッチ
Q
F
リング
ファイバ照明
スイベルプレート
B
LED透過照明
ファイバ
トランス
蛍光灯照明
E
F
MM-800/LM本機
P
ダブルアーム
ファイバ照明
E
F
T
データ処理システム
DP-E1
E
F
H
外部照明アダプタ3
A
E
F
S
MM-800/L本機
MHS 10×6
MHS 12×8
S
E
F
MM-800本機
S
MM-400本機
B
E
F
S
A
B
B
S
S
3軸カウンタ
表示部
SC3-E1
P
B
J
E
F
T
T
P
B
E
F
MM-400/L本機
P
A
A
T
MM-400本機
24
T
スイベルプレート
対物レンズ
アダプタ
P
電動UEPIドライバ
S
プリンタ
S
Q
TE2-PS
100W電源
ハロゲン
調光ケーブル
電動上下動コンソール
電動照明&AFコンソール
S
測定支援システムE-MAX
電動上下動コンソール
25
■ 寸法図
151
MM-400/Mタイプ
MHS2×2ステージ
MM-800/LMタイプ
MHS12×8ステージ
151
260.7
128.3
225
260
453
474.3
638
725
X
442
578
204
380
300
735
600
MM-400/LVタイプ
MHS6×4ステージ
131
151
MM-400/LUタイプ
MHS6×4ステージ
116
260.7
160
151
191.5
IN
OUT
0
100
638
0
515.6
225
225
439.3∼589.3
638
100
144
442
300
600
600
MM-400/Lタイプ
MHS6×4ステージ
MM-800/LUタイプ
MHS12×8ステージ
151
151
264.6
260.7
IN
OUT
80
0
100
20
225
260
531.7
439.3
638
725
LV-TT2
144
300
442
600
735
380
151
MM-800/LMUタイプ
MHS12×8ステージ
MM-800/Lタイプ
MHS12×8ステージ
151
264.6
260.7
IN
OUT
80
0
100
20
588.7
260
260
474.3
725
E
725
LV-TT2
380
204
578
735
380
735
※寸法は、ステージおよび鏡筒の組み合わせにより変わることがあります。
26
27
ISO/IEC17025認定取得内容（投影機、測定顕微鏡の校正）
■ 認定日：2006年9月8日
■最高測定能力
■ 認定の範囲：測定顕微鏡 X/Y軸指示精度
投影機
X/Y軸指示精度と倍率精度
■キャリブレーション実施部門：
・測定顕微鏡のX/Y軸指示精度
（Lは、移動量：mm）
リニアスケール 300mm以下
（1.3+1.9×10-3×L）
μm
マイクロメータ 50mm以下 2.2μm
・投影機のX/Y軸指示精度
（Lは、移動量：mm）
インストルメンツカンパニー品質保証部産業機器 CS第一技術課
リニアスケール 250mm以下
（1.3+1.9×10-3×L）
μm
マイクロメータ 50mm以下 2.2μm
■キャリブレーション実施場所：顧客先（フィールドサービス）
・投影機の倍率精度_
倍率 5倍、10倍 4.6×10-2 -1.5×10-4×L
（％）
倍率 20倍
4.8×10-2 -1.5×10-4×L
（％）
倍率 50倍
5.2×10-2 -1.7×10-4×L（％）
倍率 100倍
9.3×10-2-3.0×10-4×L（％）
（Lは、100mm≦L≦200mmのスクリーン上での2点間距離：mm）
ショールームのご案内
■本社ショールーム
100-0006 東京都千代田区有楽町1-12-1（新有楽町ビル4F）
電話（03）3216-9171
■横浜ショールーム
244-8533 横浜市栄区長尾台町471 (ニコン横浜製作所内）
電話
（03）3773-1175（本社へご連絡下さい）
■名古屋ショールーム
465-0093 名古屋市名東区一社3-79
電話（052）709-3511
■大阪ショールーム
532-0003 大阪市淀川区宮原3-3-31（上村ニッセイビル16F）
電話（06）6394-8802
■福岡ショールーム
813-0034 福岡市東区多の津1-4-1
電話（092）611-1111
＊ショールームご利用の際は、あらかじめ各受付へご連絡をお願いいたします。
■ご使用の前に「使用説明書」
をよくお読みの上、正しくお使いください。
Microsoft、Windowsは、米国Microsoft Corporationの米国及びその他の国における登録商標です。本カタログに記載されている会社名および商品名は、各社の商標または登録商標です。
本カタログは2010年6月現在のものです。仕様と製品は、製造者／販売者側がなんら債務を負うことなく予告なしに変更されます。 C 2010 NIKON CORPORATION
ご注意：本カタログに掲載した製品及び製品の技術
（ソフトウェアを含む）
のうち、一部の製品については
「外国為替及び外国貿易法」等に定めるリスト規制貨物等
（技術を含む）
に該当します。
輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取り下さい。
100-8331 東京都千代田区有楽町1-12-1 新有楽町ビル
www.nikon.co.jp/
販売元
ご用命は当店へ
■ニコンインステックホームページ www.nikon-instruments.jp/instech/
関西支店
100-0006
060-0051
465-0093
532-0003
大阪市淀川区宮原3-3-31（上村ニッセイビル）
京都営業所、金沢営業所、岡山営業所
電話（06）6394-8802
九州支店
813-0034
電話
（092）
611-1111
本社
札幌営業所
名古屋営業所
東京都千代田区有楽町1-12-1（新有楽町ビル4F）
電話
（03）
3216-9171
札幌市中央区南1条東2-8-2（SRビル）
電話（011）281-2535
名古屋市名東区一社3-86（クレストビル2F）
電話（052）709-6851
福岡市東区多の津1-4-1
長崎営業所、大分営業所、熊本営業所、鹿児島営業所、宮崎出張所
2CJ-IDYH-7(1006-04)T

Download Report