エアスライドテーブル

エアスライドテーブル
ø6, ø8, ø12, ø16, ø20, ø25
RoHS
ワークテーブル＋エアシリンダをコンパクトに一体化。
精密組立て用に適したエアスライドテーブル。
ワーク・ボディの取付再現性向上
対称形
位置決め用ピン穴加工付
ポートおよびストロークアジャスタの設置
位置が標準ボディとは反対になります。
安全面を考慮した
オートスイッチ取付溝
ボディ側面に設けた収納溝にオートスイッチが
設置でき、スイッチの飛出しがありません。
縦軸取付けにも使用可能
案内部のクロスローラガイドは、適正な
予圧設定と保持器（ゲージ）を使用してない
ことにより、縦軸取付けでも使用可能。
デュアルロッド構造
デュアルロッドの採用により
従来シリンダの2倍の出力
豊富なオプション群
アジャスタオプションと
機能オプションの組み合せが可能
アジャスタオプション
機能オプション
ストロークアジャスタ付
バッファ機構付
ショックアブソーバ付
エンドロック付
用途例
ピックアンドプレスの
Z軸として
コンベア上のパレットの
位置決めとして
軸方向配管形
MXS Series
CAT.S20-70G
エアスライドテーブル
MXS Series
シリーズバリエーション
型式
チューブ
内径
（mm）
MXS 6
6
MXS 8
8
MXS12
12
MXS16
16
MXS20
20
MXS25
25
標準ストローク（mm）
10 20 30 40 50 75 100125150
アジャスタオプション
ストロークショックアブソー
アジャスタバ付（ø6を除く）
前進端
アジャスタオプション
機能オプション
オートスイッチ
バッファ付
有接点オートスイッチ
・D-A9□
・D-A9□V型
後退端
エンドロック付
（ø6を除く）
両端
軸方向配管形
無接点オートスイッチ
・D-M9□
・D-M9□V型
2色表示式
無接点オートスイッチ
・D-M9□W
・D-M9□WV型
機能オプション
ストロークアジャスタ
バッファ機構付
エンドロック付
■ストロークを0∼5mmの範囲で調整可能
■ストローク前進端での衝撃をなくし、
ワーク
やツールを保護
■バッファ部へのオートスイッチ取付けが可能
■空気源を切ってもシリンダの原位置を
保持し、
ワークの落下を防止
前進端アジャスタ（AS）
後退端アジャスタ（AT）
両端アジャスタ（A）
オートスイッチ (バッファ作動時ON)
※常時OFF
バッファ機構
作動状態
ロックピストン
磁石
テーブル駆動
バッファ
ストローク
前進端アジャスタ
後退端アジャスタ
通常状態
スプリング
磁石
オートスイッチ
( ※常時ON
バッファ作動時OFF)
※オートスイッチの取付け向きを変えることにより
常時ON,OFFの設定の変更
ショックアブソーバ付
■ストローク端での衝撃を吸収し、滑らかな停止
■ストロークの調整が可能
使用例
W
W
ロック時
ロック解除時
ワークを挿入させる工程で、位置決めが不完全な
場合など、
ワークをぶつけてもショックをバッファ
機構が吸収し、破損を防止します。
軸方向配管形
前進端ショックアブソーバ付（BS）
後退端ショックアブソーバ付（BT）
両端ショックアブソーバ付（B）
バッファ
機構
■配管を軸方向に集約させて、
ボディ回り
のスペースをフリーにできます
エアチャック
ワーク
後退端ショックアブソーバ
前進端ショックアブソーバ
NG時
スピードコントローラ
1
MXS Series
機種選定方法
機種選定の手順
2
使用条件
取付姿勢、ワーク形状を考慮し
使用条件を列挙します。
・使用機種
・クッションの種類
・ワーク取付位置
・取付姿勢
・平均作動速度Va(mm/s)
・積載質量W(kg)：図1
・オーバーハング量Ln(mm)：図2
L1
L3
運動エネルギー
積載物の運動エネルギーE(J)を求
めます。
許容運動エネルギーEa(J)を求め
ます。
積載物の運動エネルギーが、許容
運動エネルギーを超えないことを
確認します。
3
選定例
L2+A5
1
計算式・データ
1
V
2
E= ――・W ( ――――)
2
1000
衝突速度V=1.4・Va ※）補正係数（目安）
――※
Ea= K・E max
ワーク取付係数 K: 図3
最大許容運動エネルギーEmax：表1
シリンダ：MXS16-50
クッション：ラバークッション
ワークテーブル取付け
取付け：水平壁取付け
平均作動速度
：Va=300[mm/s]
積載質量：W=1[kg]
L1=10mm
L2=30mm
L3=30mm
1
420 2
E= ――・1(――――) =0.088
2
1000
V=1.4×300=420
Ea=1・0.11=0.11
E=0.088≦Ea=0.11により使用可能
運動エネルギー(E)≦許容運動エネルギー(Ea)
負荷率
3-1 積載質量の負荷率
許容積載質量Wa(kg)を求めます。
注) 垂直縦使用の場合には本負
荷率の検討は不要です。
（α1=0としてください）
積載質量の負荷率α1を求めます。
Wa=K・β・Wmax
ワーク取付係数K：図3
許容積載質量係数β：グラフ1
最大許容積載質量Wmax：表2
α1=W／Wa
Wa=1×1×4=4
K=1
β =1
Wmax=4
α1=1／4=0.25
3-2 静的モーメントの負荷率
ヨーイング
ローリング
静的モーメントM(N・m)を求め
ます。
M=W×9.8(Ln+An)／1000
モーメント中心位置距離補正値An：表3
Myについて検討します
My=1×9.8(10+30)／1000=0.39
A3=30
許容静的モーメントMa(N・m)を
求めます。
Ma=K・γ・Mmax
ワーク取付係数K：図3
許容モーメント係数γ：グラフ2
最大許容モーメントMmax：表4
May=1×1×15.9=15.9
Mymax=15.9
K=1
γ =1
Mar=15.9（Mayと同一値）
静的モーメントの負荷率α2を求
めます。
α2=M／Ma
α2=0.39／15.9=0.025
α’2=0.39／15.9=0.025
Mrについて検討します
Mr=1×9.8(30+10)／1000=0.39
A6=10
3-3 動的モーメントの負荷率
ピッチング
動的モーメントMe(N・m)を求め
ます。
(Ln+An)
Me=1／3・We×9.8 ―――――
1000
衝撃相当質量We= δ・W・V
δ：ダンパ係数
ウレタンダンパ付（標準）＝４／100
ショックアブソーバ付＝1／100
モーメント中心位置距離補正値An：表3
許容動的モーメントMea(N・m)
を求めます。
Mea=K・γ・Mmax
ワーク取付係数K：図3
許容モーメント係数γ：グラフ2
最大許容モーメントMmax：表4
動的モーメントの負荷率α3を求
めます。
α3=Me／Mea
3-4 負荷率の総和
負荷率の総和が1を超えなけれ
ば使用可能となります。
2
Σαn=α1+α2+α3≦1
Mepについて検討します
(30+10)
Mep=1／3×16.8×9.8×―――――=2.2
1000
We=4／100×1×420=16.8
A2=10
Meap=1×0.7×15.9=11.1
K=1
γ =0.7
Mpmax=15.9
α3=2.2／11.1=0.20
ヨーイング Meyについて検討します
(30+31)
Mey=1／3×16.8×9.8×―――――― =3.3
1000
We=16.8
A4=31
Meay=11.1（Meapと同一値）
α’3=3.3／11.1=0.30
Σαn=α1+α2+α’2+α3+α’3
=0.25+0.025+0.025+0.20+0.30=0.80≦1
により使用可能です。
機種選定方法
図1 積載質量：W(kg)
MXS Series
図2 オーバーハング量：Ln(mm)、モーメント中心位置距離補正値：An(mm)
ピッチモーメント
W
ヨーモーメント
My
Mp
静的モーメント
W
L1
L3
A3
Mp
A5
Mr
W
My
W
A2
L3
L2
A6
A4
Mey
A4
L3
L2
Mep
A2
動的モーメント
図3 ワーク取付係数：K
W
A1
L2
L1
注) 垂直縦使用の場合には本負荷率の検討は
不要です。
Mr
W
W
W
W
ロールモーメント
テーブル取付け
注）静的モーメント：重力により発生するモーメント
動的モーメント：ストッパ衝突時に衝撃により発生するモーメント
W
グラフ1 許容積載質量係数：β
表1 最大許容運動エネルギー：Emax(J)
型式
エンドプレート取付け
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
W
K=0.6
1.0
許容積載質量係数 β
K=1
許容運動エネルギー
ショックアブソーバ
ラバークッション
――
0.018
0.054
0.027
0.11
0.055
0.22
0.11
0.32
0.16
0.48
0.24
0.7
0.5
0.4
0.3
0.2
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
最大許容積載質量
0.6
1
2
4
6
9
型式
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
50
モーメント中心位置距離補正値（図2参照）
A2
A3
A4
A5
A6
A1
11
6
13
16
16
6
11
7.5
13
20
20
7.5
24
8.5
26
25
25
8.5
27
10
30
31
31 10
34
14.5
36
38
38 14.5
42
19
44
46
46 19
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
10
0.7
2.0
4.2
11.3
19.4
30.6
20
1.0
2.0
4.2
11.3
19.4
30.6
30
1.2
2.8
4.2
11.3
19.4
30.6
ストローク (mm)
75
50
40
――
1.2
1.2
4.2
4.2
3.6
10.0
7.0
5.8
25.0
15.9
11.3
35.0
27.2
19.4
55.1
42.8
30.6
100
――
――
10.0
34.1
50.5
67.3
125
――
――
――
34.1
50.5
67.3
500 700
1.0
150
――
――
――
――
50.5
67.3
0.7
0.5
0.4
0.3
0.2
50
100
200 300
500 700
平均作動速度 Va mm/s 衝突速度 V mm/s
注）静的モーメント算出時は平均作動速度使用
動的モーメント算出時は衝突速度使用
記号表
記号
An(n=1∼6)
E
Ea
Emax
Ln(n=1∼3)
M(Mp,My,Mr)
Ma(Map,May,Mar)
Me(Mep,Mey)
Mea(Meap,Meay)
Mmax(Mpmax,Mymax,Mrmax)
V
200 300
グラフ2 許容モーメント係数：γ
表4 最大許容モーメント：Mmax(N・m)
型式
100
平均作動速度 Va mm/s
γ
型式
表3 モーメント中心位置距離補正値：An(mm)
許容モーメント係数
表2 最大許容積載質量：Wmax(kg)
定義
モーメント中心位置距離補正値
運動エネルギー
許容運動エネルギー
最大許容運動エネルギー
オーバーハング量
静的モーメント（ピッチ、ヨー、ロール）
許容静的モーメント（ピッチ、ヨー、ロール）
動的モーメント（ピッチ、ヨー）
許容動的モーメント（ピッチ、ヨー）
最大許容モーメント（ピッチ、ヨー、ロール）
衝突速度
単位
mm
J
J
J
mm
N・m
N・m
N・m
N・m
N・m
mm/s
記号
Va
W
Wa
We
Wmax
α
β
γ
δ
K
定義
平均作動速度
積載質量
許容積載質量
衝撃相当質量
最大許容積載質量
負荷率
許容積載質量係数
許容モーメント係数
ダンパ係数
ワーク取付係数
単位
mm/s
kg
kg
kg
kg
――
――
――
――
――
3
エアスライドテーブル
MXS
Series
RoHS
型式表示方法
エアスライドテーブル
50 AS FR
MXS 12
M9BW
オートスイッチ追記号
ポートねじの種類
無記号
TN
TF
Mねじ
Rc
NPT
G
ø6∼ø16
S
n
ø20,ø25
機能オプション
無記号
F
注2）
R
P
注2）
FR
FP
シリンダ内径（ストロークmm）
6
8
12
16
20
25
2ケ付
1ケ付
nケ付
無記号
10,20,30,40,50
10,20,30,40,50,75
10,20,30,40,50,75,100
10,20,30,40,50,75,100,125
10,20,30,40,50,75,100,125,150
10,20,30,40,50,75,100,125,150
オーダーメイド仕様
詳細はP.5を
ご参照ください。
オートスイッチ
無記号
標準
バッファ付
エンドロック付
軸方向配管形
バッファ・エンドロック付
バッファ付・軸方向配管形
オートスイッチなし（磁石内蔵）
※オートスイッチの品番につきましては、
下表をご参照ください。
バッファ部適用オートスイッチに関して
はP.23をご参照ください。別途手配が
必要です。
注2）MXS6シリーズのエンドロック
付はありません。
アジャスタオプション
アジャスタなし
AS
前進端アジャスタ
AT
後退端アジャスタ
A
両端アジャスタ
注1）
BS
前進端アブソーバ
注1）
BT
後退端アブソーバ
注1）
B
両端アブソーバ
注1）
ASBT 前進端アジャスタ＋後退端アブソーバ
注1）
BSAT 前進端アブソーバ＋後退端アジャスタ
無記号
注1）MXS6シリーズのショックアブソーバ付は
ありません。
オプション組合せ表
機能オプション
アジャスタオプション
無記号
無記号
○
○
○
○
○
○
○
○
○
AS
AT
A
BS
BT
B
ASBT
BSAT
F
R
P
FR
FP
○
○注3）
○
○注3）
×
○
×
○注3）
×
○
○
×
×
○
×
×
×
×
○
○
×
×
○
×
×
×
×
○
○注3）
×
×
×
×
×
×
×
○
○注3）
×
×
×
×
×
×
×
○：組合せ可、×：組合せ不可
注3）バッファ機構、前進端ストロークアジャスタ付の組合せにおいては前進端
ストロークアジャスタでストローク調整した分バッファストロークは小さ
くなります。
種類
特殊機能
無接点
オートスイッチ
―
診断表示
（2色表示）
耐水性向上品
（2色表示）
有接点
オートスイッチ
―
リード線
取出し
表示灯
適用オートスイッチ／オートスイッチ単体の詳細仕様は、Best Pneumatics No.eをご参照ください。
負荷電圧
配線（出力）
3線（NPN）
3線（PNP）
2線
3線（NPN）
グロメット有 3線（PNP）
2線
3線（NPN）
3線（PNP）
2線
3線
有（NPN相当）
グロメット
2線
無
DC
オートスイッチ品番
AC
縦取出し
―
M9NV
M9PV
M9BV
M9NWV
M9PWV
M9BWV
※1M9NAV
※1M9PAV
※1M9BAV
5V,12V
12V
24V
5V,12V
12V
5V,12V
12V
―
24V
リード線長さ（m）
プリワイヤ
適用負荷
0.5 1 3 5
コネクタ
（M）
（L）
（無記号）
（Z）
● ● ● ○
○
M9N
IC回路
● ● ● ○
○
M9P
―
● ● ● ○
○
M9B
● ● ● ○
○
M9NW
IC回路リレー、
● ● ● ○
○
M9PW
PLC
●
―
●
○
○
●
M9BW
※1M9NA
○ ○ ● ○
○
IC回路
※1M9PA
○ ○ ● ○
○
※1M9BA
○ ○ ● ○
―
○
横取出し
5V
―
A96V
A96
●
―
●
―
―
IC回路
―
12V
100V
100V以下
※2A93V
A93
A90
●
●
●
―
●
●
●
―
―
―
―
IC回路
リレー、
PLC
A90V
※1 耐水性向上タイプのオートスイッチは、上記型式の製品に取付可能ですが、それにより製品の耐水性能を保証するものではありません。
※2 リード線長さ1mタイプは、D-A93のみの対応となります。
※リード線長さ記号
0.5m……………無記号
1m…………… M
3m…………… L
5m…………… Z
（例）M9NW
（例）M9NWM
（例）M9NWL
（例）M9NWZ
※○印の無接点オートスイッチは受注生産となります。
※上記掲載機種以外にも、適用可能なオートスイッチがありますので詳細は、P.32をご参照ください。
※プリワイヤコネクタ付オートスイッチの詳細は、Best Pneumatics No.eをご参照ください。
※オートスイッチは同梱出荷（未組付）となります。
A
4
エアスライドテーブル
MXS Series
仕様
6
シリンダ内径（mm）
配管接続口径
8
12
M3×0.5
16
M5×0.8
使用流体
空気
作動方式
複動形
使用圧力
0.15∼0.7MPa
保証耐圧力
−10∼60℃
使用速度範囲（平均作動速度）注）
50∼500mm/s
ラバークッション（標準、ストロークアジャスタ付）
ショックアブソーバ（オプション）
クッション
給油
表示記号
-X7
-X9
-X11
-X12
-X33
-X39
-X42
-X45
無給油
有接点オートスイッチ（2線式、3線式）
無接点オートスイッチ（2線式、3線式）
2色表示式無接点オートスイッチ（2線式、3線式）
オートスイッチ（オプション）
（詳細はP.34、35をご参照ください。）
仕様／内容
+1
0 mm
ストローク長さの許容差
注）平均作動速度：ストロークを作動開始からエンドに到達する時間で割った速度
PTFEグリース仕様
オプション
食品機械用グリース仕様
アジャストボルトロング仕様（調整範囲：15mm）
前進端（AS）
アジャストボルトロング仕様（調整範囲：25mm）
パッキン類フッ素ゴム仕様
両端（A）
アジャスタオプション
ガイド部防錆仕様
バッファ付（F）
機能オプション
MXS6シリーズの
エンドロック付は
ありません。
エンドロック付（R）
軸方向配管形（P）
※アジャスタオプション、機能オプションの詳細仕様につきましては、P.20∼23のオプション仕様を
ご参照ください。
IDK Series
小口径／短ストロークのアクチュエータは高頻
度で作動させると条件により配管内に結露（水
滴）が発生する場合があります。
アクチュエータに配管するだけで結露の発生を
防止します。詳細はWEBカタログIDK Series
をご参照ください。
理論出力表
シリンダ内径
（mm）
6
標準ストローク（mm）
MXS6
10,20,30,40,50
MXS8
10,20,30,40,50,75
4
12
6
16
MXS12 10,20,30,40,50,75,100
MXS16 10,20,30,40,50,75,100,125
8
20
MXS20 10,20,30,40,50,75,100,125,150
MXS25 10,20,30,40,50,75,100,125,150
ロッド径
（mm）
3
8
10
25
IN
OUT
（単位：N）
デュアルロッドの採用により、従来シリンダの2倍の出力が得られます。
標準ストローク
12
使用圧力（MPa）
作動方向
受圧面積
（mm2）
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
OUT
57
11
17
23
29
34
40
IN
OUT
42
101
8
13
17
21
25
29
20
30
40
51
61
71
IN
OUT
75
226
15
23
30
38
45
53
45
68
90 113 136
158
51
68
IN
170
34
85 102
119
OUT
402
80 121
161 201 241
281
IN
OUT
302
628
60
91
121 151 181
211
126 188
251 314 377
440
IN
471
94 141
188 236 283
330
OUT
982
196 295
393 491 589
687
IN
756
151 227
302 378 454
529
注）理論出力（N）=圧力（MPa）×受圧面積（mm2）となります。
質量表
MXS6 (L)
MXS8 (L)
MXS12 (L)
MXS16 (L)
MXS20 (L)
MXS25 (L)
MXS6シリーズの
ショックアブソーバ付
はありません。
後退端（BT）
両端（B）
クリーン仕様につきましては「空気圧クリーンシリー
ズ」をご参照ください。
モイスチャー
コントロールチューブ
ストローク調整範囲
0∼5mm
前進端（BS）
ショックアブソーバ付
パッキン類EPDM仕様
型式
後退端（AT）
ストロークアジャスタ付
オートスイッチ用磁石内蔵不可品
型式
25
1.05MPa
周囲温度および使用流体温度
Ordeer 個別オーダーメイド仕様
Mad
20
Rc1/8・NPT1/8・G1/8
アジャスタオプションによる増加分
標準ストローク（mm）
10
20
30
40
50
75
100 125 150
ラバーストッパ
前進端
後退端
ショックアブソーバ
前進端
後退端
（単位：g）
機能オプションによる増加分
バッファ付
エンド
ロック付
軸方向配管形
計算式S：ストロークmm
80
100
115
155
180
―
―
―
―
10
5
―
―
30
―
13+0.15S
150
160
190
235
285
410
―
―
―
15
9
35
45
40
40
26+0.17S
325
325
325
385
480
660
890
―
―
30
20
50
60
80
90
43+0.21S
570
570
580
640
760 1090 1370 1700
―
50
30
80
105
120
160
55+0.21S
960
980 1010 1100 1250 1630 2150 2670 3190
100
71
170
205
140
310
150+0.45S
1660 1680 1690 1840 2090 2650 3270 4140 4710
150
125
215
300
240
540
220+0.45S
5
MXS Series
テーブルのたわみ量（参考値）
ピッチモーメント荷重によるテーブルの変位量
ヨーモーメント荷重によるテーブルの変位量
ロールモーメント荷重によるテーブルの変位量
全ストローク時において矢印部分に荷重を作用させた時
の矢印部の変位量
全ストローク時において矢印部分に荷重を作用させた時
の矢印部の変位量
引き込み時においてF部に荷重を作用させた時のA部の
変位量
A
F
F
Lr
ø6
ø6
0.020
0.03
0.03
0.015
MXS6-30
MXS6-20
MXS6-10
MXS6-40
0.01
10
20
30
0.02
MXS6-30
MXS6-50 MXS6-40 MXS6-20
MXS6-10
0.01
40
10
0
20
荷重 N
ø8
MXS8-30
MXS8-20
0.02
MXS8-10
テーブル変位量 mm
0.01
30
Lr =50mm
0.020
60
0.03
0.02
MXS8-10
0.01
20
0
80
MXS8-50
MXS8-40
MXS8-30
MXS8-20
MXS8-75
40
荷重 N
60
80
MXS8-10
MXS8-20 MXS8-30 MXS8-40 MXS8-50
0.015
MXS8-75
0.010
0.005
20
0
荷重 N
ø12
40
60
荷重 N
ø12
0.10
ø12
Lr =65mm
0.035
0.04
MXS12-75
MXS12-100
0.06
0.04
MXS12-50
MXS12-40
MXS12-30
MXS12-20
MXS12-10
0.02
20
40
60
荷重 N
80
100
120
テーブル変位量 mm
0.030
0.08
0
20
ø8
0.03
MXS12-75
MXS12-50
MXS12-40
MXS12-30
MXS12-20
MXS12-100
0.02
MXS12-10
0.01
テーブル変位量 mm
テーブル変位量 mm
MXS8-40
0.03
40
10
0
MXS8-50
MXS8-75
0.04
20
MXS6-50
0.005
荷重 N
0.04
0
MXS6-20 MXS6-30
MXS6-40
40
ø8
0.05
テーブル変位量 mm
30
MXS6-10
0.010
荷重 N
テーブル変位量 mm
MXS6-50
0.02
テーブル変位量 mm
0.04
0
6
Lr =24mm
0.04
テーブル変位量 mm
テーブル変位量 mm
ø6
0.025
MXS12-10
MXS12-20
MXS12-30 MXS12-40 MXS12-50 MXS12-75
0.020
MXS12-100
0.015
0.010
0.005
0
20
40
60
荷重 N
80
100
120
0
20
40
60
荷重 N
80
100
120
MXS Series
エアスライドテーブル
静的モーメント荷重を加えた時のテーブル変位量を示したものです。
積載可能な質量を示したものではありません。
積載可能質量につきましては「機種の選定方法」にてご確認ください。
ピッチモーメント荷重によるテーブルの変位量
ヨーモーメント荷重によるテーブルの変位量
ロールモーメント荷重によるテーブルの変位量
全ストローク時において矢印部分に荷重を作用させた時
の矢印部の変位量
全ストローク時において矢印部分に荷重を作用させた時
の矢印部の変位量
引き込み時においてF部に荷重を作用させた時のA部の
変位量
A
F
F
Lr
ø16
ø16
0.14
MXS16- 75
0.06
0.04
MXS16- 50
MXS16- 40
0.02
MXS16- 30
MXS16- 20
MXS16- 10
100
150
0.03
MXS16- 30
MXS16- 20
0.02
MXS16- 10
0.01
200
0
50
ø20
0.10
0.05
0.06
MXS20- 75
0.04
MXS20- 50
MXS20- 40
MXS20- 30
MXS20- 20
MXS20- 10
0.02
100
200
100
0.03
MXS20-100
MXS20- 75
MXS20- 50
MXS20- 40
MXS20- 30
0.02
MXS20- 20
MXS20- 10
0.01
100
0
200
300
MXS25- 50
MXS25- 40
0.03
MXS25- 30
MXS25- 20
MXS25- 10
0.02
0.01
200
300
400
テーブル変位量 mm
MXS25- 75
0.04
200
MXS20-10
MXS20-100
MXS20-20
MXS20-125
MXS20-30
MXS20-40 MXS20-50 MXS20-75 MXS20-150
0.025
0.020
0.015
0.010
40
80
160
200
240
Lr =154mm
0.040
0.035
MXS25-150 MXS25-125 MXS25-100
MXS25- 75
MXS25- 50
MXS25- 40
0.03
MXS25- 30
0.02
MXS25- 20
MXS25- 10
0.01
0
120
ø25
MXS25-100
0.05
160
荷重 N
テーブル変位量 mm
MXS25-125
120
Lr =122mm
0.030
0
0.05
荷重 N
80
0.005
ø25
100
40
荷重 N
MXS20-150 MXS20-125
0.04
テーブル変位量 mm
0
200
荷重 N
0.07
0
150
0.040
0.04
300
ø25
MXS25-150
0.010
ø20
荷重 N
0.06
0.015
0.035
MXS20-100
テーブル変位量 mm
テーブル変位量 mm
MXS20-125
MXS16-100
MXS16-125
0.020
荷重 N
ø20
0
0.025
0.005
荷重 N
MXS20-150
MXS16-10
MXS16-20
MXS16-30
MXS16-40 MXS16-50 MXS16-75
0.030
テーブル変位量 mm
50
テーブル変位量 mm
テーブル変位量 mm
MXS16-125
0.08
0.08
MXS16-100
MXS16- 75
MXS16- 50
MXS16- 40
MXS16-100
0.10
Lr =89mm
0.035
テーブル変位量 mm
MXS16-125
0.12
0
ø16
0.04
0.030
MXS25-10
MXS25-20
MXS25-100
MXS25-30
MXS25-125
MXS25-40 MXS25-50 MXS25-75 MXS25-150
0.025
0.020
0.015
0.010
0.005
100
200
荷重 N
300
400
0
50
100
150
200
250
300
荷重 N
7
MXS Series
6
外形寸法図 MXS
基本形
2×M2.5×0.45 ねじ深3
操作ポート 2×M3×0.5
6
J
3
I 5
最大10.5（後退端ストロークアジャスタ付）
3
5.5
5.5
3
6.5
K
2×M2.5×0.45 ねじ深3
12.5
前進端ストロークアジャスタ
（前進端ストロークアジャスタ付）
後退端ストロークアジャスタ
N×M3×0.5 ねじ深4注）
5.5
（インサート）
2
+0.025
ø3H9（ 0 ）深2.5
12
M
5
注）ワーク固定用ボルトが長すぎるとガイドに当たり
作動不良などの原因となります。
製品個別注意事項をご参照ください。
20
18
0.5
32
18
0.5
N -1 ×F
11
2.5（後退端ストロークアジャスタ付）
2×M3×0.5 ねじ深5
F
+0.025
10
4×M2.5×0.45 ねじ深3.5
3H9（ 0 ）深2.5
24
9.5
（前進端ストローク
アジャスタ付）
4
3
31
18
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
5.5
2
Z
ZZ
（NN-1）×H
G
H
断面AA
+0.025
GA
NN×M4×0.7 ねじ深8
3H9（ 0 ）深2.5
HA
B
(mm)
型式
F
N
G
H
NN
GA
HA
I
J
MXS6-10
MXS6-20
MXS6-30
MXS6-40
MXS6-50
20
30
20
28
38
4
4
6
6
6
6
6
11
13
17
25
35
20
30
24
2
2
3
3
4
11
21
31
43
41
20
20
20
30
48
10
10
7
19
25
17
27
40
50
60
K
M
22.5
42
32.5
52
42.5
62
52.5
84
62.5 100
Z
ZZ
41.5
48
51.5
58
61.5
68
83.5
90
99.5 106
5.5
ø7
ø7
12
1
4
A
+0.025
ø3H9（ 0 ）深2.5
8
11
5.5
ø6.5
11
B
ø3.2
A
断面BB
エアスライドテーブル
MXS Series
24
バッファ付（ø6）
MXS6-□□F
28
10
22
19
0.5
2×M3×0.5 ねじ深5
※その他の寸法は基本形と同じです。
操作ポート 2×M3×0.5
12
26.3
最大5.6
軸方向配管形（ø6）MXS6-□□P
8
11.5
5.5
※その他の寸法は基本形と同じです。
9
MXS Series
8
外形寸法図 MXS
2×M3×0.5 ねじ深4
基本形
操作ポート 2×M5×0.8
7
2
J
I
6
最大9.5（後退端ストロークアジャスタ付）
4
3.5
6.5
7
6.5
3.8
7
K
NA×M3×0.5 ねじ深4
14.6
3.8
KA
22
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
7
14.6
4×M3×0.5 ねじ深4
前進端ストロークアジャスタ
（前進端ストロークアジャスタ付）
6.5
後退端ストロークアジャスタ
3.5
M
6
15
37
注）ワーク固定用ボルトが長すぎるとガイドに
当たり作動不良などの原因となります。
製品個別注意事項をご参照ください。
24
22
0.5
2
2（後退端ストロークアジャスタ付）
N -1 ×F
12
2×M4×0.7 ねじ深6
40
23
F
+0.025
ø3H9（ 0 ）深3
+0.025
12
3H9（ 0 ）深3
30
10
（前進端ストローク
アジャスタ付）
1
N×M3×0.5
（インサート）
4
ねじ深5注）
Z
ZZ
（NN-1）×H
G
H
15
1
B
HA
+0.025
+0.025
ø3H9（ 0 ）深3
3H9（ 0 ）深3
4
A
GA
(mm)
型式
F
N
G
H
NN
GA
HA
MXS8-10
MXS8-20
MXS8-30
MXS8-40
MXS8-50
MXS8-75
25
25
40
50
38
50
4
4
4
4
6
6
9
12
13
15
20
27
28
30
20
28
23
28
2
2
3
3
4
5
17
12
33
43
43
83
20 13 19.5
30
8.5 29
20
9.5 39
28 10.5 56
46 24.5 60
56 38.5 96
10
I
J
K
KA
23.5 ―
33.5 ―
43.5 ―
53.5 ―
63.5 82.5
88.5 132.5
NA
2
2
2
2
4
4
M
Z
ZZ
49 48.5 56
54 53.5 61
65 64.5 72
83 82.5 90
101 100.5 108
151 150.5 158
NN×M4×0.7 ねじ深8
断面AA
6.5
ø7
13
ø7
6.5
ø6.5
13
B
ø3.2
A
断面BB
エアスライドテーブル
MXS Series
ショックアブソーバ付（ø8）MXS8-□□BS,BT,B
22
A
23.5
38
14.5
8
14.5
23.5
後退端ショックアブソーバ
前進端ショックアブソーバ
ストローク50、75の場合
(mm)
A
型式
MXS8-10
MXS8-20
MXS8-30
MXS8-40
MXS8-50
MXS8-75
後退端ショック
アブソーバ
ストローク調整範囲
A寸法
前進端
後退端（後退端取付時）
22
5
27
15
最大
26
15
20
18
5
29
20
29
20
※その他の寸法は基本形と同じです。
バッファ付（ø8）MXS8-□□F
エンドロック付（ø8）MXS8-□□R
2×Ｍ4×0.7 ねじ深6
9
30
10
J
6.5
操作ポート2×Ｍ5×0.8
12
22.5
22.5
0.5
3
28.5
※その他の寸法は基本形と同じです。
軸方向配管形（ø8）MXS8-□□P
J
MXS8-10R
MXS8-20R
MXS8-30R
MXS8-40R
MXS8-50R
MXS8-75R
39
44
55
73
91
141
32.2
型式
操作ポート
2×Ｍ5×0.8
15
最大6.5
15.5
(mm)
6.5
12
13.5
※その他の寸法は基本形と同じです。
※その他の寸法は基本形と同じです。
11
MXS Series
12
外形寸法図 MXS
基本形
2×M4×0.7 ねじ深5
2
操作ポート 2×M5×0.8
9.5
J
I
最大11（後退端ストロークアジャスタ付）
8
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
8
9.5
10
5
4.75
5
K
8.5
5
18.5
KA
NA×M4×0.7 ねじ深5
18.5
前進端ストロークアジャスタ
（前進端ストロークアジャスタ付）
31.5
8.5
後退端ストロークアジャスタ
N×M4×0.7 ねじ深5.5注）
9
5
N -1 ×F
2
16
M
20
47
注）ワーク固定用ボルトが長すぎるとガイドに
当たり作動不良などの原因となります。
製品個別注意事項をご参照ください。
32
28.5
0.5
8
4×M4×0.7 ねじ深6
4H9（
+0.030
深3.5
0 ）
ø4H9（
+0.030
深3.5
0 ）
F
2.5（後退端ストロークアジャスタ付）
16
2×M5×0.8 ねじ深8
50
28
38
15
（前進端ストローク
アジャスタ付）
1
（インサート）
5
Z
ZZ
（NN-1）×H
G
18.5
H
18.5
8.5
ø9
ø9
ø8.5
20
+0.030
深3.5
0 ）
+0.030
深3.5
0 ）
1
5
A
ø4H9（
B
GA
4H9
（
HA
(mm)
型式
F
N
G
H
NN
GA
HA
I
J
MXS12-10
MXS12-20
MXS12-30
MXS12-40
MXS12-50
MXS12-75
MXS12-100
35
35
35
50
35
55
65
4
4
4
4
6
6
6
15
15
15
17
15
25
35
40
40
40
25
36
36
38
2
2
2
3
3
4
5
15
15
15
42
51
61
111
40
40
40
25
36
72
76
10
10
10
10
22
43
52
40
40
40
52
60
85
130
12
K
KA
26.5 ―
36.5 ―
46.5 ―
56.5 ―
66.5 ―
91.5 125.5
116.5 179.5
8.5
B
ø4.2
A
NA
2
2
2
2
2
4
4
M
Z
ZZ
71 70 80
71 70 80
71 70 80
83 82 92
103 102 112
149 148 158
203 202 212
NN×M5×0.8 ねじ深10
断面AA
断面BB
エアスライドテーブル
MXS Series
ショックアブソーバ付（ø12）
MXS12-□□BS,BT,B
8
17
31.5
A
45
15
15
31.5
前進端ショック
アブソーバ
後退端ショックアブソーバ
(mm)
ストローク75、100の場合
A
ストローク10の場合
A
型式
MXS12-10
MXS12-20
MXS12-30
MXS12-40
MXS12-50
MXS12-75
MXS12-100
後退端ショックアブソーバ
※その他の寸法は基本形と同じです。
ストローク調整範囲
A寸法
前進端
後退端（後退端取付時）
7
2
17
5
27
15
最大
25
15
20
15
5
28
15
28
15
バッファ付（ø12）MXS12-□□F
エンドロック付（ø12）
MXS12-□□R
2×Ｍ5×0.8 ねじ深8
操作ポート 2×Ｍ5×0.8
14.5
38
9.5
J
10.5
37
※その他の寸法
は基本形と同
じです。
29
30
0.5
3
16
20
(mm)
42
型式
J
MXS12-10R
59.5
MXS12-20R
59.5
MXS12-30R
59.5
MXS12-40R
71.5
MXS12-50R
91.5
MXS12-75R 137.5
MXS12-100R 191.5
操作ポート
2×M5×0.8
20
最大6.5
軸方向配管形（ø12）
MXS12-□□P
9.5
18.7
※その他の寸法は基本形と同じです。
※その他の寸法は基
本形と同じです。
12
13
MXS Series
16
外形寸法図 MXS
基本形
11
2×M5×0.8 ねじ深5.5
操作ポート 2×M5×0.8
J
I
10
最大13.5（後退端ストロークアジャスタ付)
12
5.5
9.5
12
6
3
5.5
K
10
10
21
5.5
21
KA
（前進端ストロークアジャスタ付）
37.5
NA×M5×0.8 ねじ深5.5
前進端ストロークアジャスタ
後退端ストロークアジャスタ
N×M5×0.8 ねじ深6注）
6
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
12
6
（インサート）
M
10
58
26
3.5（後退端ストロークアジャスタ付）
5H9（ 0 2
21
注）ワーク固定用ボルトが長すぎるとガイドに当たり
作動不良などの原因となります。
製品個別注意事項をご参照ください。
40
36.5
0.5
+0.030
N -1 ×F
2×M6×1 ねじ深10
+0.030
ø5H9（ 0 ）深4
）深4
F
20
62
35
48
18
（前進端ストローク
アジャスタ付）
1
4×M5×0.8 ねじ深7
Z
ZZ
（NN-1）×H
G
24
24
10.5
ø10.5
ø9.5
ø10.5
26
1
6
NN×M6×1 ねじ深12
B
A
+0.030
断面AA
）深4
ø5H9（ 0 ）深4
GA
5H9（ 0 +0.030
HA
(mm)
型式
F
N
G
H
MXS16-10
MXS16-20
MXS16-30
MXS16-40
MXS16-50
MXS16-75
MXS16-100
MXS16-125
35
35
35
40
30
55
65
70
4
4
4
4
6
6
6
8
16
16
16
16
21
26
39
19
40
40
40
50
30
35
35
35
14
NN GA HA
2
2
2
2
3
4
5
7
16
16
16
16
51
61
109
159
40
40
40
50
30
70
70
70
I
10
10
10
10
15
40
55
68
J
K
KA NA
40 29 ―
40 39 ―
40 49 ―
50 59 ―
60 69 ―
85 94 125
118 119 173
155 144 223
10.5
B
ø5.1
A
H
2
2
2
2
2
4
4
4
M
Z
ZZ
76
76
76
86
101
151
199
249
75
75
75
85
100
150
198
248
87
87
87
97
112
162
210
260
断面BB
エアスライドテーブル
MXS Series
ショックアブソーバ付（ø16）
MXS16-□□BS,BT,B
37.5
10
A
37.5
55
18
18
19
(mm)
ストローク10の場合
前進端ショック
アブソーバ
A
ストローク75∼125の場合
A
後退端
ショックアブソーバ
後退端ショックアブソーバ
型式
MXS16-10
MXS16-20
MXS16-30
MXS16-40
MXS16-50
MXS16-75
MXS16-100
MXS16-125
ストローク調整範囲
A寸法
前進端
後退端（後退端取付時）
11
5
21
10
31
20
31
最大
20
26
25
15
32
20
32
20
32
20
※その他の寸法は基本形と同じです。
バッファ付（ø16）MXS16-□□F
エンドロック付（ø16）MXS16-□□R
48
41
20
※その他の寸法は
基本形と同じです。
30
37.5
0.5
3
12
13
18
J
2×M6×1 ねじ深10
操作ポート 2×Ｍ5×0.8
最大6.5
軸方向配管形（ø16）MXS16-□□P
25
62
62
62
72
87
137
185
235
26
J
MXS16-10R
MXS16-20R
MXS16-30R
MXS16-40R
MXS16-50R
MXS16-75R
MXS16-100R
MXS16-125R
53.3
(mm)
型式
操作ポート
2×M5×0.8
12
23.5
※その他の寸法は基本形と同じです。
※その他の寸法は基本形と
同じです。
12
15
MXS Series
20
外形寸法図 MXS
13
3
基本形
2×M6×1 ねじ深6.5
操作ポート 2×Rc1/8（NPT1/8, G1/8）
J
I
12
最大14.5（後退端ストロークアジャスタ付）
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
14
14
15
8
6.5
6.5
K
12
25
6.5
KA
NA×M6×1 ねじ深6.5
25
前進端ストロークアジャスタ
後退端ストローク
アジャスタ
N×M5×0.8 ねじ深10注）
N -1 ×F
2
27
30
73
30
注）ワーク固定用ボルトが長すぎるとガイドに当たり
作動不良などの原因となります。
製品個別注意事項をご参照ください。
M
13
50
45.5
0.5
5H9（
2×M6×1 ねじ深13
5（後退端ストロークアジャスタ付）
+0.030
深5
0 ）
+0.030
深5
0 ）
F
ø5H9（
6
2
FF
25
18
6×M5×0.8 ねじ深8
46
58
22.5
（前進端ストローク
アジャスタ付）
（インサート）
6
76
（前進端ストロークアジャスタ付）
46.5
12
Z
ZZ
G
HA
NN×M6×1 ねじ深12
GA
断面AA
(mm)
型式
F
FF
N
G
H
MXS20-10
MXS20-20
MXS20-30
MXS20-40
MXS20-50
MXS20-75
MXS20-100
MXS20-125
MXS20-150
50
50
50
60
35
60
70
70
80
40
40
40
50
35
60
70
70
80
4
4
4
4
6
6
6
8
8
15
15
15
15
15
19
37
41
19
45
45
45
55
35
35
35
38
44
16
NN GA HA
2
2
2
2
3
4
5
6
7
25
25
25
35
50
54
107
155
195
35
35
35
35
35
70
70
76
88
I
10
10
10
10
10
10
58
70
87
J
K
KA NA
44 31 ―
44 41 ―
44 51 ―
54 61 ―
69 71 ―
108 96
―
113 121 169
155 146 223
190 171 275
2
2
2
2
2
2
4
4
4
M
Z
ZZ
83
83
83
93
108
147
200
254
306
81.5
81.5
81.5
91.5
106.5
145.5
198.5
252.5
304.5
97
97
97
107
122
161
214
268
320
11.5
ø11
B
1.5
6
+0.030
ø5H9（ 0 ）深5
29
11.5
ø11
A
29
ø9.5
B
30
A
ø5.1
H
+0.030
5H9（ 0 ）深5
（NN-1）×H
断面BB
エアスライドテーブル
MXS Series
ショックアブソーバ付（ø20）
MXS20-□□BS,BT,B
12
34
A
47.5
70
24.5
24.5
48
(mm)
型式
ストローク100∼150の場合
A
前進端ショック
アブソーバ
後退端
ショックアブソーバ
後退端ショックアブソーバ
MXS20-10
MXS20-20
MXS20-30
MXS20-40
MXS20-50
MXS20-75
MXS20-100
MXS20-125
MXS20-150
ストローク調整範囲
A寸法
前進端
後退端（後退端取付時）
28
5
38
15
48
25
48
35
最大
43
30
40
29
15
49
35
49
35
49
35
※その他の寸法は基本形と同じです。
エンドロック付（ø20）
MXS20-□□R
バッファ付（ø20）MXS20-□□F
操作ポート 2×Rc1/8（NPT1/8, G1/8）
58
15
15.5
20
J
2×M6×1 ねじ深13
25
※その他の寸法は
基本形と同じです。
30.5
45.5
0.5
44.5
最大11.5
軸方向配管形（ø20）MXS20-□□P
30
操作ポート 2×Ｒc1/8
（NPT1/8, G1/8）
(mm)
J
68.5
68.5
68.5
78.5
93.5
132.5
185.5
239.5
291.5
※その他の寸法は基本形と同じです。
32
65.7
MXS20-10R
MXS20-20R
MXS20-30R
MXS20-40R
MXS20-50R
MXS20-75R
MXS20-100R
MXS20-125R
MXS20-150R
15
29.5
型式
20
※その他の寸法は基本形
と同じです。
17
MXS Series
25
外形寸法図 MXS
2×M8×1.25 ねじ深8.5
基本形
4
16
操作ポート 2×Rc1/8（NPT1/8, G1/8）
J
I
15
最大16.5（後退端ストロークアジャスタ付）
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
19
16
18
10
8
8
15
K
31
8
KA
+0.030
深6
0 ）
N -1 ×F
2
30
2×M8×1.25 ねじ深15
M
15
6×M6×1 ねじ深10
38
89
38
注）ワーク固定用ボルトが長すぎるとガイドに当たり
作動不良などの原因となります。
製品個別注意事項をご参照ください。
62
55
0.5
+0.030
深6
0 ）
ø6H9（
7
4.5（後退端ストロークアジャスタ付）
2.5
FF
F
31
22
後退端ストロークアジャスタ
56
24.5
（前進端ストローク
アジャスタ付）
7
70
N×M6×1 ねじ深13（インサート）注）
前進端ストロークアジャスタ
92
（前進端ストロークアジャスタ付）
6H9（
54.5
NA×M8×1.25 ねじ深8.5
15
31
Z
ZZ
G
HA
6H9（
(mm)
F
FF
N
G
H
MXS25-10
MXS25-20
MXS25-30
MXS25-40
MXS25-50
MXS25-75
MXS25-100
MXS25-125
MXS25-150
50
50
50
60
35
60
70
75
80
40
40
40
50
35
60
70
75
80
4
4
4
4
6
6
6
8
8
22
22
22
22
20
26
32
40
30
45
45
45
55
35
35
35
38
40
18
NN GA HA
2
2
2
2
3
4
5
6
7
22
22
22
22
55
61
102
154
190
45
45
45
55
35
70
70
76
80
I
J
12
12
12
12
12
33
50
67
82
47
47
47
57
70
90
114
155
180
K
KA NA
35 ―
45 ―
55 ―
65 ―
75 ―
100 ―
125 162
150 218
175 258
2
2
2
2
2
2
4
4
4
16
NN×M8×1.25 ねじ深16
GA
断面AA
型式
34
ø12
B
2
7
+0.030
深6
0 ）
ø6H9（
16
ø12
A
38
B
ø11
34
A
ø6.6
H
+0.030
深6
0 ）
（NN-1）×H
M
Z
ZZ
92
92
92
102
115
156
197
255
295
90.5
90.5
90.5
100.5
113.5
154.5
195.5
253.5
293.5
108
108
108
118
131
172
213
271
311
断面BB
エアスライドテーブル
MXS Series
ショックアブソーバ付（ø25）
MXS25-□□BS,BT,B
15
28
A
54.5
80
24.5
24.5
54.5
(mm)
型式
ストローク100∼150の場合
A
後退端
ショックアブソーバ
前進端ショック
アブソーバ
後退端ショックアブソーバ
MXS25-10
MXS25-20
MXS25-30
MXS25-40
MXS25-50
MXS25-75
MXS25-100
MXS25-125
MXS25-150
ストローク調整範囲
A寸法
前進端
後退端（後退端取付時）
26
5
36
15
46
25
46
35
最大
43
30
35
27
15
48
35
46
35
46
35
※その他の寸法は基本形と同じです。
エンドロック付（ø25）
MXS25-□□R
バッファ付（ø25）
MXS25-□□F
2×M8×1.25 ねじ深15
70
操作ポート 2×Rc1/8（NPT1/8, G1/8）
25.5
18
18
J
50
※その他の寸法は基本形
と同じです。
35
55
0.5
31
最大11.5
軸方向配管形（ø25）MXS25-□□P
35
40
76
76
76
86
99
140
181
239
279
18
35.5
J
MXS25-10R
MXS25-20R
MXS25-30R
MXS25-40R
MXS25-50R
MXS25-75R
MXS25-100R
MXS25-125R
MXS25-150R
80.7
(mm)
型式
操作ポート 2×Rc1/8
（NPT1/8, G1/8）
※その他の寸法は基本形と同じです。
20
※その他の寸法は基本形と
同じです。
19
MXS Series
オプション仕様
前進端アジャスタオプション外形寸法図／ラバーストッパ（AS, AT）
適用サイズ
ボディ取付け部
M
C
MXS6 (L)
P
A
ストローク
調整範囲
mm
型式
MXS-AS6 (L)
5
MXS-AS6 (L)-X11
15
15
MXS-AS8 (L)-X12
MXS-AS12 (L)
25
5
B
MXS8 (L) MXS-AS8 (L)-X11
E
D
MXS12 (L) MXS-AS12 (L)-X11
15
MXS-AS12 (L)-X12
25
MXS16 (L) MXS-AS16 (L)-X11
15
MXS-AS16 (L)-X12
25
Q
5
I
MXS-AS20 (L)
H
MXS20 (L) MXS-AS20 (L)-X11
15
MXS-AS20 (L)-X12
25
J
6
17.8 10.5
7
21.5 11
15
MXS-AS25 (L)-X12
25
D
E
16.5
26.5
テーブル取付け部
F
M
P※1)
H
I
J
Q※1)
7 2.5 M5×0.8 M2.5×10 12.5
6
8.5 M2.5×8
8 3
7 10
M3×10
M8×1 M4×15 18.5 10 13
M4×12
16.5
26.5
M6×1 M3×12 14.6
36.5
20
9.5 31 16
12 4
30
40
24.5
11 37 19
34.5 14 5
M10×1 M5×18 21
12 16.5 M5×18
M12×1.25 M6×20 25
13 21
M14×1.5 M8×25 31
17 25.5 M8×25
44.5
27.5
13 45.5 24 37.5 17 6
M6×20
47.5
5
MXS-AS25 (L)
MXS25 (L) MXS-AS25 (L)-X11
32.5
16 53.5 26.5 42.5 19 6
52.5
※1)六角穴付ボルトの寸法です。
対称形も対応可能です。型式表示方法は下記のストロークアジャスタ型式表示方法をご参
照ください。外形寸法は標準形と同一です。
後退端
適用サイズ
MXS6,MXS8の場合
D
MXS6 (L)
K
K
F
MXS-AT6 (L)
5
MXS-AT6 (L)-X11
15
15
MXS-AT8 (L)-X12
MXS-AT12 (L)
25
5
MXS12 (L) MXS-AT12 (L)-X11
15
MXS-AT12 (L)-X12
25
MXS16 (L) MXS-AT16 (L)-X11
15
MXS-AT16 (L)-X12
25
MXS20 (L) MXS-AT20 (L)-X11
15
MXS-AT20 (L)-X12
25
D
10.5
8
MXS25 (L) MXS-AT25 (L)-X11
15
MXS-AT25 (L)-X12
25
E
16.5
F
G
H
J※1)
5
7 2.5 M2.5×8 M5×0.8
6
8 3
M3×10 M6×1
8 12 4
M4×8 M8×1
15 34.5 10 14 5
M5×10 M10×1
26.5
9 26.5
36.5
20
32 31
18.5 13
30
40
24.5
40 38.5 23
44.5
50 48
29
27.5
21 37.5 12 17 6
M5×12 M12×1.25
47.5
60 58
35
32.5
23 42.5 15 19 6
M6×16 M14×1.5
52.5
※1)六角穴付ボルトの寸法です。
対称形も対応可能です。型式表示方法は下記のストロークアジャスタ型式表示方法を
ご参照ください。外形寸法は標準形と同一です。
ストロークアジャスタ（付属部品）型式表示方法
X11
調整範囲(ストロークアジャスタのみ)
ストロークアジャスタ
AS
AT
BS
BT
20
ストローク
アジャスタ
ショック
アブソーバ
前進端
後退端
前進端
後退端
対称形
適用シリンダ内径
6
8
12
16
20
25
ø6
ø8
ø12
ø16
ø20
ø25
無記号
L
K
16.5
25 22.5 12.5
5
MXS-AT25 (L)
AS 12 L
21 19
C
5
MXS-AT20 (L)
MXS
B
5
MXS-AT16 (L)
F
A
5
MXS8 (L) MXS-AT8 (L)-X11
G
B
C
A
ストローク
調整範囲
mm
型式
MXS-AT8 (L)
E
E
H
J
C
5
MXS-AS16 (L)
テーブル取付け部
B
5
MXS-AS8 (L)
F
ボディ取付け部
A
標準形
対称形
無記号
-X11
-X12
5mm
15mm
25mm
標準
準標準
※MXS6シリーズには-X12（調整範囲：25mm）はありません。
※ショックアブソーバ付には-X11、-X12はありません。
※MXS6シリーズにはショックアブソーバ付はありません。
※外形寸法図は上図をご参照ください。対称形につきましては、
外形寸法図を対称にご覧ください。（対称形は、アジャスト
ボルトの向きが逆になります。）
MXS Series
オプション仕様
アジャスタオプション外形寸法図/ショックアブソーバ付（BS, BT）
前進端
ボディ取付け部
A
M
テーブル取付け部
Q
P
J
D
K
B
H
G
G
E
F
C
MXS-BS20
MXS-BS25
E1
L
MXS-BS8
MXS-BS12
MXS-BS16
適用サイズ
型式
MXS8 (L)
MXS12 (L)
MXS16 (L)
MXS20 (L)
MXS25 (L)
MXS-BS8 (L)
ボディ取付け部
A
B
C
7
23
MXS-BS12 (L) 9.5 31
MXS-BS16 (L) 11
37
MXS-BS20 (L) 13
47
14
MXS-BS25 (L) 16
D
E
E1
15.5 40.8
テーブル取付け部
F
G
M
P ※1）
H
J
K
L
Q ※1）
5
12
1.4
M8×1
M3×16
16.6
7
15.5 14.6
M3×16
14.5 16
40.8
6
12
1.4
M8×1
M4×15
20.5
10
15
M4×15
17.5 19
46.7
7
14
1.4
M10×1
M5×18
23
12
18.5 21
M5×18
23.5 26
67.3
11
19 12
M14×1.5
M6×25
27
13
25.5 25
M6×25
53.5 23.5 26.5 67.3
12
19 12
M14×1.5
M8×25
33
17
25.5 31
M8×25
18.5
※1)六角穴付ボルトの寸法です。
対称形も対応可能です。型式表示方法はP.20のストロークアジャスタ型式表示方法
をご参照ください。外形寸法は標準形と同一です。
後退端
ボディ取付け部
D
H
テーブル取付け部
E
E1
Q
G
L
H
M
C
B
K
J
MXS-BT20
MXS-BT25
P
適用サイズ
型式
MXS8 (L)
MXS12 (L)
MXS16 (L)
MXS20 (L)
MXS25 (L)
MXS-BT8 (L)
A
MXS-BT8の場合
F
MXS-BT8
MXS-BT12
MXS-BT16
N
ボディ取付け部
A
B
C
D
E
E1
38
23
12.5
14
40.8
5
MXS-BT12 (L) 45
MXS-BT16 (L) 55
31
18
14
40.8
37
23.5
16
MXS-BT20 (L) 70
MXS-BT25 (L) 80
47
29
54
35
F
テーブル取付け部
G
H
8
12
1.4
6
8
12
1.4
46.7
7
10
14
1.4
23
67.3
11
12
19
12
23
67.3
12
15
19
12
J
P ※1）
K
L
M3×12
16.6
7
M8×1
M4×8
20.5
M10×1
M5×10
23
M14×1.5
M5×12
M14×1.5
M6×16
M8×1
M
N
Q ※1）
15.5 14.6
M3×16
10
15
M4×15
12
18.5 21
M5×18
27
13
25.5 25
M6×25
33
17
25.5 31
M8×25
18.5
※1)六角穴付ボルトの寸法です。
対称形も対応可能です。型式表示方法はP.20のストロークアジャスタ型式表示方法
をご参照ください。外形寸法は標準形と同一です。
21
MXS Series
アジャストボルト外形寸法図
適用サイズ
MXS6 (L)
A
型式
MXS-A627
MXS-A627-X11
MXS-A827
D
M
C
A
5
16.5
15
26.5
5
16.5
MXS8 (L) MXS-A827-X11
15
MXS-A827-X12
MXS-A1227
25
5
MXS12 (L) MXS-A1227-X11
15
30
MXS-A1227-X12
25
40
24.5
MXS-A1627
B
ストローク
調整範囲
mm
5
適用シリンダ内径
6
8
12
16
20
25
22
ø6
ø8
ø12
ø16
ø20
ø25
M5×0.8
8 3.5 M6×1
M8×1
14 4
M10×1
17 5
M12×1.25
19 6
M14×1.5
44.5
5
27.5
MXS20 (L) MXS-A2027-X11
15
37.5 6
MXS-A2027-X12
25
47.5
5
32.5
MXS25 (L) MXS-A2527-X11
15
42.5 6
MXS-A2527-X12
25
52.5
5mm
15mm
25mm
※MXS6シリーズには-X12（調整範囲：25mm）はありません。
※外形寸法図は上図をご参照ください。
※対称形も同じです。
X11
X12
7 3
M
12 4
34.5 5
調整範囲
無記号
D
4
25
X11
C
20
MXS-A1627-X12
アジャストボルト型式表示方法
12 27
26.5 3
36.5
15
MXS-A2027
A
2.5
MXS16 (L) MXS-A1627-X11
MXS-A2527
MXS
B
オプション仕様
MXS Series
ショックアブソーバ仕様
RB0805 RB0806 RB1007 RB1411 RB1412
ショックアブソーバ型式
適用スライドテーブル
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
最大吸収エネルギー J
0.98
2.94
5.88
14.7
19.6
5
6
7
11
12
吸収ストローク mm
50∼500
衝突速度 mm/s
80
80
70
45
45
245
245
422
814
814
伸長時
1.96
1.96
4.22
6.86
6.86
圧縮時
3.83
4.22
6.86
15.30
15.98
15
15
25
65
65
最高使用頻度 cycle/min
最大許容推力 N
−10∼60
周囲温度範囲 ℃
バネ力 N
質量 g
注）ショックアブソーバの寿命は、使用条件によりMXSシリンダ本体とは異なります。
交換の目安は製品個別注意事項をご参照ください。
エンドロック付仕様
MXS8
型式
シリンダ内径（mm）
MXS12 MXS16 MXS20 MXS25
8
12
16
20
25
160
250
50∼500mm/s
使用ピストン速度
保持力（N）
25
60
110
注）エンドロック付取扱い上のご注意は、P.39をご参照ください。
バッファ機構付仕様
MXS6 MXS8 MXS12 MXS16 MXS20 MXS25
型式
シリンダ内径（mm）
使用ピストン速度
6
バッファストローク
（mm）
バッファ
ストローク
荷重（N）
ストローク
0mm時
最大
ストローク時
8
12
16
20
25
50∼500mm/s（水平使用時は50∼300mm/s）
5
10
3
5
10
13
17
21
6
8
13
17
25
29
注）バッファ機構付取扱い上のご注意は、P.39をご参照ください。
注）前進端ストロークアジャスタでストロークを調整される場合は調整した分
バッファストロークは小さくなります。
バッファ部適用オートスイッチ
種類
品番
仕様
リード線取出し方向
D-M9BV ランプ付、2線式
無接点
オートスイッチ D-M9NV ランプ付、3線式、出力方式：NPN
D-M9PV ランプ付、3線式、出力方式：PNP
縦方向
※バッファ機構付用のオートスイッチにつきましては上記品番より別途手配ください。
23
MXS Series
構造図
o !8 i !9
e
!7
y !5 u
w
q
!1
!0
!6
r !2 !3 !4 t
@0 @2 @3 @4 @1
@9
#0 #5
$3 $2
@6 @8 @7
#7
#9
$0
#3
#2
#6
#1
$1
#4
#8
@5
バッファ付
軸方向配管形
エンドロック付
構成部品
番号
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
エンドロック付／構成部品
部品名
ボディ
テーブル
エンドプレート
レール
ガイド
ロッド
ピストンAss'y
ロッドカバー
パッキンサポート
ヘッドキャップ
フローティングブッシュ
ローラストッパ
円筒コロ
ローラスペーサ
ロッドダンパ
エンドダンパ
ピストンパッキン
ロッドパッキン
゛
O″リング
材質
アルミニウム合金
アルミニウム合金
アルミニウム合金
炭素工具鋼
炭素工具鋼
ステンレス鋼
―
アルミニウム合金
黄銅
樹脂
ステンレス鋼
ステンレス鋼
高炭素クロム軸受鋼
樹脂
ポリウレタン
ポリウレタン
NBR
NBR
NBR
備考
硬質アルマイト処理
硬質アルマイト処理
硬質アルマイト処理
熱処理
熱処理
片側磁石付
アルマイト処理
無電解ニッケルめっき
材質
アルミニウム合金
ステンレス鋼
ステンレス鋼
ステンレス鋼
―
部品名
エンドプレート
スプリングカラー
ヘッドキャップ
スプリング
磁石
交換部品／パッキンセット
シリンダ
内径
（mm）
手配番号
6
8
12
16
20
25
MXS6-PS
MXS8-PS
MXS12-PS
MXS16-PS
MXS20-PS
MXS25-PS
24
内容
上記番号
!7∼!9
のセット
部品名
ロック用ボディ
テーブルサポート
ロッドカバー
ピストンロッド
ブッシュ
ブランキングプラグ
リターンスプリング
ピストンパッキン
ロッドパッキン
゛
O″リング
゛
O″リング
材質
アルミニウム合金
炭素鋼
アルミニウム合金
ステンレス鋼
アルミニウム合金
黄銅
ステンレス鋼
NBR
NBR
NBR
NBR
備考
硬質アルマイト処理
特殊防錆処理
クロメート処理
無電解ニッケルめっき
軸方向配管形／構成部品
バッファ付／構成部品
番号
20
21
22
23
24
番号
25
26
27
28
29
30
31
32
33
34
35
備考
硬質アルマイト処理
交換部品／エンドロック付パッキンセット
シリンダ
内径
（mm）
手配番号
内容
8
12
16
20
25
MXS8R-PS
MXS12R-PS
MXS16R-PS
MXS20R-PS
MXS25R-PS
上記番号
!7∼!9
#2∼#5
のセット
番号
36
37
38
39
40
41
42
43
部品名
軸方向配管用プレート
パイプ
ブッシュ
スタッド
鋼球
゛
O″リング
゛
O″リング
ガスケット
材質
アルミニウム合金
アルミニウム合金
アルミニウム合金
黄銅
ステンレス鋼
NBR
NBR
備考
硬質アルマイト処理
硬質アルマイト処理
クロメート処理
無電解ニッケルめっき
※ パッキンセットは、下表の各パッキンの番号が1セットとなっておりますので、
各シリンダ内径の手配番号にて手配してください。
交換部品／軸方向配管形パッキンセット
シリンダ
内径
（mm）
手配番号
6
8
12
16
20
25
MXS6P-PS
MXS8P-PS
MXS12P-PS
MXS16P-PS
MXS20P-PS
MXS25P-PS
内容
上記番号
!7∼!9
$1∼$3
のセット
交換部品／グリースパック
塗布箇所
グリースパック
品番
GR-S-010（10g）
GR-S-020（20g）
GR-L-005（5g）
シリンダ部
GR-L-010（10g）
ガイド部
エアスライドテーブル（対称形）
MXS □L
RoHS
Series
型式表示方法
エアスライドテーブル
MXS 12
50 AS M9BW
L
ポートねじの種類
無記号
TN
TF
Mねじ
Rc
NPT
G
ø6∼ø16
オートスイッチ追記号
ø20,ø25
無記号
S
n
対称形
オートスイッチ
シリンダ内径（ストロークmm）
6
8
12
16
20
25
2ケ付
1ケ付
nケ付
無記号
10,20,30,40,50
10,20,30,40,50,75
10,20,30,40,50,75,100
10,20,30,40,50,75,100,125
10,20,30,40,50,75,100,125,150
10,20,30,40,50,75,100,125,150
オートスイッチなし（磁石内蔵）
※オートスイッチの品番につきましては、
下表をご参照ください。
アジャスタオプション
アジャスタなし
AS
前進端アジャスタ
AT
後退端アジャスタ
A
両端アジャスタ
注1）
BS
前進端アブソーバ
注1）
BT
後退端アブソーバ
注1）
B
両端アブソーバ
注1）
ASBT 前進端アジャスタ＋後退端アブソーバ
注1）
BSAT 前進端アブソーバ＋後退端アジャスタ
無記号
仕様
仕様は、標準タイプと同じです。P.5をご参照ください。
注1）MXS6Lシリーズのアブソーバ付はありません。
注2）MXS□□Lシリーズの機能オプションはありません。
種類
特殊機能
無接点
オートスイッチ
―
診断表示
（2色表示）
耐水性向上品
（2色表示）
有接点
オートスイッチ
―
リード線
取出し
表示灯
適用オートスイッチ／オートスイッチ単体の詳細仕様は、Best Pneumatics No.eをご参照ください。
負荷電圧
配線（出力）
3線（NPN）
3線（PNP）
2線
3線（NPN）
グロメット有 3線（PNP）
2線
3線（NPN）
3線（PNP）
2線
3線
有（NPN相当）
グロメット
2線
無
DC
オートスイッチ品番
AC
縦取出し
横取出し
―
M9NV
M9PV
M9BV
M9NWV
M9PWV
M9BWV
※1M9NAV
※1M9PAV
※1M9BAV
M9N
M9P
M9B
M9NW
M9PW
M9BW
※1M9NA
※1M9PA
※1M9BA
―
A96V
A96
●
―
●
―
―
IC回路
―
100V
100V以下
※2A93V
A93
A90
●
●
●
―
●
●
●
―
―
―
―
IC回路
リレー、
PLC
5V,12V
12V
24V
5V,12V
12V
5V,12V
12V
―
24V
5V
12V
リード線長さ（m）
プリワイヤ
適用負荷
0.5 1 3 5
コネクタ
（M）
（L）
（無記号）
（Z）
● ● ● ○
○
IC回路
● ● ● ○
○
● ● ● ○
―
○
● ● ● ○
○
IC回路リレー、
● ● ● ○
○
PLC
● ● ● ○
―
○
○ ○ ● ○
○
IC回路
○ ○ ● ○
○
○ ○ ● ○
―
○
A90V
※1 耐水性向上タイプのオートスイッチは、上記型式の製品に取付可能ですが、それにより製品の耐水性能を保証するものではありません。
※2 リード線長さ1mタイプは、D-A93のみの対応となります。
※リード線長さ記号
0.5m……………無記号
1m…………… M
3m…………… L
5m…………… Z
（例）M9NW
（例）M9NWM
（例）M9NWL
（例）M9NWZ
※○印の無接点オートスイッチは受注生産となります。
※上記掲載機種以外にも、適用可能なオートスイッチがありますので詳細は、P.32をご参照ください。
※プリワイヤコネクタ付オートスイッチの詳細は、Best Pneumatics No.eをご参照ください。
※オートスイッチは同梱出荷（未組付）となります。
25 A
MXS □L Series
6L／対称形
外形寸法図 MXS
基本形
ZZ
Z
20
18
10
18
4
5.5
（前進端ストロークアジャスタ付）
後退端ストロークアジャスタ
前進端ストロークアジャスタ
N×M3×0.5 ねじ深4注）
（インサート）
K
12.5
6.5
2×M2.5×0.45 ねじ深3
5.5
5.5
3
I 5
HA
+0.025
深2.5
0 ）
6
+0.025
深2.5
0 ）
最大10.5（後退端ストロークアジャスタ付）
操作ポート 2×M3×0.5
GA
B
A
NN×M4×0.7 ねじ深8
ø3.2
A
B
11
H
（NN-1）×H
G
断面AA
(mm)
型式
F
N
G
H
NN
GA
HA
I
J
MXS6L-10
MXS6L-20
MXS6L-30
MXS6L-40
MXS6L-50
20
30
20
28
38
4
4
6
6
6
6
6
11
13
17
25
35
20
30
24
2
2
3
3
4
11
21
31
43
41
20
20
20
30
48
10
10
7
19
25
17
27
40
50
60
26
K
M
22.5
42
32.5
52
42.5
62
52.5
84
62.5 100
Z
ZZ
41.5
51.5
61.5
83.5
99.5
48
58
68
90
106
5.5
ø7
12
1
4
ø6.5
ø3H9（
J
3
3H9
（
2
2×M2.5×0.45 ねじ深3
注）ワーク固定用ボルトが長すぎると
ガイドに当たり作動不良などの原
因となります。
製品個別注意事項をご参照くださ
い。
5.5
3
3
ø7
18
4×M2.5×0.45 ねじ深3.5
0.5
24
9.5
（前進端ストローク
アジャスタ付）
3H9（
F
31
2
12
N -1 ×F
11
2×M3×0.5 ねじ深5
32
+0.025
深2.5
0 ）
2.5（後退端ストロークアジャスタ付）
M
5
+0.025
深2.5
0 ）
0.5
ø3H9（
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
11
断面BB
5.5
MXS □L Series
エアスライドテーブル（対称形）
8L／対称形
外形寸法図 MXS
基本形
ZZ
Z
2
23
22
1
4
4×M3×0.5 ねじ深4
6.5
N×M3×0.5 ねじ深5注）
（インサート）
（前進端ストロークアジャスタ付）
3.5
後退端ストロークアジャスタ
前進端ストロークアジャスタ
KA
注）ワーク固定用ボルトが
長すぎるとガイドに当
たり作動不良などの原
因となります。
製品個別注意事項をご
参照ください。
14.6
3.8
K
7
NA×M3×0.5 ねじ深4
14.6
7
4
6.5
7
3.8
6.5
30
10
（前進端ストローク
アジャスタ付）
F
40
12
3H9（
2×M4×0.7 ねじ深6
15
N -1 ×F
12
2（後退端ストロークアジャスタ付）
+0.025
深3
0 ）
+0.025
深3
0 ）
M
6
37
24
22
0.5
ø3H9（
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
J
3.5
2
I
6
最大9.5（後退端ストロークアジャスタ付）
操作ポート 2×M5×0.8
7
HA
+0.025
深3
0 ）
GA
A
3H9
（
ø3H9（
+0.025
深3
0 ）
2×M3×0.5 ねじ深4
B
NN×M4×0.7 ねじ深8
A
B
13
H
（NN-1）×H
G
6.5
断面AA
ø7
ø7
ø6.5
ø3.2
15
1
4
13
6.5
断面BB
(mm)
型式
F
N
G
H
NN
GA
HA
I
J
MXS8L-10
MXS8L-20
MXS8L-30
MXS8L-40
MXS8L-50
MXS8L-75
25
25
40
50
38
50
4
4
4
4
6
6
9
12
13
15
20
27
28
30
20
28
23
28
2
2
3
3
4
5
17
12
33
43
43
83
20
30
20
28
46
56
13
8.5
9.5
10.5
24.5
38.5
19.5
29
39
56
60
96
K
KA
23.5
―
33.5
―
43.5
―
53.5
―
63.5 82.5
88.5 132.5
NA
2
2
2
2
4
4
M
Z
ZZ
49
48.5
56
54
53.5
61
65
64.5
72
83
82.5
90
101 100.5 108
151 150.5 158
ショックアブソーバ付の
外形寸法図につきましては
MXS8の外形寸法図(P.11)
を対称にご覧ください。
27
MXS □L Series
12L／対称形
外形寸法図 MXS
基本形
ZZ
2
28
N×M4×0.7 ねじ深5.5注）
（インサート）
（前進端ストロークアジャスタ付）
9
後退端ストロークアジャスタ
前進端ストロークアジャスタ
KA
18.5
K
18.5
5
注）ワーク固定用ボルトが
長すぎるとガイドに当
たり作動不良などの原
因となります。
製品個別注意事項をご
参照ください。
8.5
8.5
NA×M4×0.7 ねじ深5
9.5
J
4.75
2
I
9.5
8
最大11（後退端ストロークアジャスタ付）
操作ポート 2×M5×0.8
+0.030
深3.5
0 ）
2×M4×0.7 ねじ深5
GA
A
4H9
（
HA
+0.030
深3.5
0 ）
B
NN×M5×0.8 ねじ深10
20
1
5
ø4.2
ø8.5
5
10
8
5
ø4H9（
5
A
H
B
（NN-1）×H
18.5
G
8.5
断面AA
ø9
31.5
1
5
ø9
38
15
（前進端ストローク
アジャスタ付）
F
50
16
4×M4×0.7 ねじ深6
47
N -1 ×F
16
2×M5×0.8 ねじ深8
2.5（後退端ストロークアジャスタ付）
+0.030
深3.5
0 ）
20
32
M
8
4H9（
ø4H9（
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
+0.030
深3.5
0 ）
0.5
28.5
Z
18.5
8.5
断面BB
(mm)
型式
F
N
G
H
NN
GA
HA
I
MXS12L-10
MXS12L-20
MXS12L-30
MXS12L-40
MXS12L-50
MXS12L-75
MXS12L-100
35
35
35
50
35
55
65
4
4
4
4
6
6
6
15
15
15
17
15
25
35
40
40
40
25
36
36
38
2
2
2
3
3
4
5
15
15
15
42
51
61
111
40
40
40
25
36
72
76
10
10
10
10
22
43
52
28
J
K
KA
40 26.5 ―
40 36.5 ―
40 46.5 ―
52 56.5 ―
60 66.5 ―
85 91.5 125.5
130 116.5 179.5
NA
M
Z
ZZ
2
2
2
2
2
4
4
71
71
71
83
103
149
203
70
70
70
82
102
148
202
80
80
80
92
112
158
212
ショックアブソーバ付の
外形寸法図につきましてはMXS
12の外形寸法図(P.13)を
対称にご覧ください。
MXS □L Series
エアスライドテーブル（対称形）
16L／対称形
外形寸法図 MXS
基本形
ZZ
M
2
35
6
37.5
1
48
18
（前進端ストローク
アジャスタ付）
F
4×M5×0.8 ねじ深7
N×M5×0.8
（インサート）
（前進端ストロークアジャスタ付）
62
5H9（
20
58
N -1 ×F
21
2×M6×1 ねじ深10
26
+0.030
深4
0 ）
3.5（後退端ストロークアジャスタ付）
10
+0.030
深4
0 ）
0.5
ø5H9（
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
40
36.5
Z
ねじ深6注）
後退端ストロークアジャスタ
12
6
前進端ストロークアジャスタ
KA
21
10
5.5
21
K
10
6
12
12
9.5
5.5
J
5.5
3
I
11
10
最大13.5（後退端ストロークアジャスタ付）
操作ポート 2×M5×0.8
HA
+0.030
5H9
（ 0 ）深4
2×M5×0.8 ねじ深5.5
ø5H9（
注）ワーク固定用ボルトが
長すぎるとガイドに当
たり作動不良などの原
因となります。
製品個別注意事項をご
参照ください。
NA×M5×0.8 ねじ深5.5
GA
+0.030
深4
0 ）
A
B
NN×M6×1 ねじ深12
A
B
（NN-1）×H
G
10.5
断面AA
ø10.5
ø9.5
24
H
ø10.5
ø5.1
26
1
6
24
10.5
断面BB
(mm)
型式
F
N
G
H
NN
GA
HA
I
J
K
KA
NA
M
Z
ZZ
MXS16L-10
MXS16L-20
MXS16L-30
MXS16L-40
MXS16L-50
MXS16L-75
MXS16L-100
MXS16L-125
35
35
35
40
30
55
65
70
4
4
4
4
6
6
6
8
16
16
16
16
21
26
39
19
40
40
40
50
30
35
35
35
2
2
2
2
3
4
5
7
16
16
16
16
51
61
109
159
40
40
40
50
30
70
70
70
10
10
10
10
15
40
55
68
40
40
40
50
60
85
118
155
29
39
49
59
69
94
119
144
―
―
―
―
―
125
173
223
2
2
2
2
2
4
4
4
76
76
76
86
101
151
199
249
75
75
75
85
100
150
198
248
87
87
87
97
112
162
210
260
ショックアブソーバ付の
外形寸法図につきましてはMXS
16の外形寸法図(P.15)を
対称にご覧ください。
29
MXS □L Series
20L／対称形
外形寸法図 MXS
基本形
ZZ
6
46.5
30
6×M5×0.8 ねじ深8
N×M5×0.8 ねじ深10注）
（インサート）
（前進端ストロークアジャスタ付）
73
46
FF
2
58
22.5
（前進端ストローク
アジャスタ付）
F
30
2
5H9（
25
5（後退端ストロークアジャスタ付）
N -1 ×F
27
76
+0.030
深5
0 ）
+0.030
深5
0 ）
0.5
M
13
ø5H9（
2×M6×1 ねじ深13
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
50
45.5
Z
後退端ストロークアジャスタ
前進端ストロークアジャスタ
KA
25
12
12
15
J
6.5
3
I
13
12
操作ポート 2×Rc1/8（NPT1/8, G1/8）
2×M6×1 ねじ深6.5
+0.030
深5
0 ）
HA
GA
A
B
NN×M6×1 ねじ深12
A
B
29
H
G
（NN-1）×H
11.5
断面AA
ø11
ø11
ø9.5
ø5.1
30
1.5
6
5H9（
ø5H9（
最大14.5（後退端ストロークアジャスタ付）
+0.030
深5
0 ）
8
14
14
6.5
6.5
6
注）ワーク固定用ボルトが長すぎると
ガイドに当たり作動不良などの原
因となります。
NA×M6×1 ねじ深6.5
製品個別注意事項をご参照くださ
い。
25
K
18
29
11.5
断面BB
(mm)
型式
F
FF
N
G
H
NN
GA
HA
I
J
K
KA
NA
M
Z
ZZ
MXS20L-10
MXS20L-20
MXS20L-30
MXS20L-40
MXS20L-50
MXS20L-75
MXS20L-100
MXS20L-125
MXS20L-150
50
50
50
60
35
60
70
70
80
40
40
40
50
35
60
70
70
80
4
4
4
4
6
6
6
8
8
15
15
15
15
15
19
37
41
19
45
45
45
55
35
35
35
38
44
2
2
2
2
3
4
5
6
7
25
25
25
35
50
54
107
155
195
35
35
35
35
35
70
70
76
88
10
10
10
10
10
10
58
70
87
44
44
44
54
69
108
113
155
190
31
41
51
61
71
96
121
146
171
―
―
―
―
―
―
169
223
275
2
2
2
2
2
2
4
4
4
83
83
83
93
108
147
200
254
306
81.5
81.5
81.5
91.5
106.5
145.5
198.5
252.5
304.5
97
97
97
107
122
161
214
268
320
30
ショックアブソーバ付
の外形寸法図につきま
してはMXS20の外形
寸法図(P.17)を対称に
ご覧ください。
MXS □L Series
エアスライドテーブル（対称形）
25L／対称形
外形寸法図 MXS
基本形
ZZ
Z
62
55
(前進端ストロークアジャスタ付）
54.5
89
92
56
7
2.5
70
24.5
（前進端ストローク
アジャスタ付）
FF
38
2
F
38
N -1 ×F
30
6H9（
+0.030
ø6H9（ 0 ）深6
4.5（後退端ストロークアジャスタ付）
0.5
+0.030
深6
0 ）
M
15
2×M8×1.25 ねじ深15
31
※ストロークアジャスタの詳細寸法は
アジャスタオプションをご参照ください。
ラバーストッパ→P.20
ショックアブソーバ→P.21
6×M6×1 ねじ深10
後退端ストロークアジャスタ
前進端ストロークアジャスタ
N×M6×1
22
7
ねじ深13注）
(インサート)
KA
K
31
8
注）ワーク固定用ボルトが
長すぎるとガイドに当
たり作動不良などの原
因となります。
製品個別注意事項をご
参照ください。
NA×M8×1.25 ねじ深8.5
15
18
16
19
8
31
15
10
4
I
J
8
15
操作ポート 2×Rc1/8（NPT1/8, G1/8）
16
HA
GA
A
B
A
B
NN×M8×1.25 ねじ深16
34
H
（NN-1）×H
16
ø12
34
断面AA
G
ø12
ø11
ø6.6
38
2
7
6H9
（
+0.030
深6
0 ）
+0.030
深6
0 ）
2×M8×1.25 ねじ深8.5
ø6H9（
最大16.5（後退端ストロークアジャスタ付）
16
断面BB
(mm)
型式
F
FF
N
G
H
NN
GA
HA
I
J
K
KA
NA
M
Z
ZZ
MXS25L-10
MXS25L-20
MXS25L-30
MXS25L-40
MXS25L-50
MXS25L-75
MXS25L-100
MXS25L-125
MXS25L-150
50
50
50
60
35
60
70
75
80
40
40
40
50
35
60
70
75
80
4
4
4
4
6
6
6
8
8
22
22
22
22
20
26
32
40
30
45
45
45
55
35
35
35
38
40
2
2
2
2
3
4
5
6
7
22
22
22
22
55
61
102
154
190
45
45
45
55
35
70
70
76
80
12
12
12
12
12
33
50
67
82
47
47
47
57
70
90
114
155
180
35
45
55
65
75
100
125
150
175
―
―
―
―
―
―
162
218
258
2
2
2
2
2
2
4
4
4
92
92
92
102
115
156
197
255
295
90.5
90.5
90.5
100.5
113.5
154.5
195.5
253.5
293.5
108
108
108
118
131
172
213
271
311
ショックアブソーバ付
の外形寸法図につきま
してはMXS25の外形
寸法図(P.19)を対称に
ご覧ください。
31
MXS Series
オートスイッチ取付
オートスイッチ／ストロークエンド検出時の適正取付位置
有接点オートスイッチ：D-A90,D-A93,D-A96,D-A90V,D-A93V,D-A96V
A
型式
B
E
ストローク
ストローク
10 20 30 40 50 75 100 125 150 10 20 30
A
E
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
B
5.9 5.6 5.6 5.6 17.6 23.6 ─
─
─
7.6 10.9 5.9 6.9 14.9 22.9 47.9 ─
─
11.6 28.4 18.4 8.4 10.4 20.4 41.4 70.4 ─
16.3 28.7 18.7 8.7 8.7 13.7 38.7 61.7 86.7
18.9 32.6 22.6 12.6 12.6 17.6 31.6 59.6 88.6
23
37.5 27.5 17.5 17.5 20.5 36.5 52.5 85.5
40 50 75 100 125 150
3.6 3.6 3.6 15.6 21.6
─ ─ ─
（1.1）（1.1）（1.1）
（13.1）
（19.1） ─
8.9 3.9 4.9 12.9 20.9 45.9
─ （6.4）
─ ─
（1.4）（2.4）
（10.4）
（18.4）
（43.4） ─
26.4 16.4 6.4 8.4 18.4 39.4 68.4
─ （23.9）
─
（13.9）（3.9）（5.9）
（15.9）
（36.9）
（65.9） ─
26.7 16.7 6.7 6.7 11.7 36.7 59.7 84.7
─ （24.2）
（14.2）（4.2）（4.2）（9.2）
（34.2）
（57.2）
（82.2） ─
30.6 20.6 10.6 10.6 15.6 29.6 57.6 86.6 113.6
115.6（28.1）
（18.1）（8.1）（8.1）
（13.1）
（111.1）
（27.1）
（55.1）
（84.1）
35.5 25.5 15.5 15.5 18.5 34.5 50.5 83.5 98.5
100.5（33）（23）（13）（13）（16）（32）（48）（81）（96）
─
（）内はD-A93の場合
無接点オートスイッチ：D-M9B,D-M9N,D-M9P,D-M9BW,D-M9NW,D-M9PW,D-M9□A
A
型式
10
B
E
E（D-M9□A）
ストローク
ストローク
ストローク
20 30 40
50 75 100 125 150 10 20 30 40 50 75 100 125 150 10 20 30 40 50 75 100 125 150
MXS6
10
─
─
─ -0.4 -0.4 -0.4 11.6 17.5 ─
MXS8
11.6 14.9 9.9 10.9 18.9 26.9 51.9 ─
─
─
MXS12
15.6 32.4 22.4 12.4 14.4 24.4 45.4 74.4 ─
MXS16
20.3 32.7 22.7 12.7 12.7 17.7 42.7 65.7 90.7 ─ 22.7 12.7 2.7 2.7 7.7 32.7 55.7 80.7 ─ 20.7 10.7 0.7 0.7 5.7 30.7 53.7 78.7 ─
MXS20
22.9 36.6 26.6 16.6 16.6 21.6 35.6 63.6 92.6 119.6 26.6 16.6 6.6 6.6 11.6 25.6 53.6 82.6 109.6 24.6 14.6 4.6 4.6 9.6 23.6 51.6 80.6 107.6
MXS25
27
9.6 9.6 9.6 21.6 27.6 ─
─
─
─ -2.4 -2.4 -2.4 9.6 15.5 ─
4.9 -0.1 0.9 8.9 16.9 41.9 ─
─
─
─ 22.4 12.4 2.4 4.4 14.4 35.4 64.4 ─
─
─
─
2.9 -2.1 1.1 6.9 14.9 39.9 ─
─
─
─ 20.4 10.4 0.4 2.4 12.4 33.4 62.4 ─
─
41.5 31.5 21.5 21.5 24.5 40.5 56.5 89.5 104.5 31.5 21.5 11.5 11.5 14.5 30.5 46.5 79.5 94.5 29.5 19.5 9.5 9.5 12.5 28.5 44.5 77.5 92.5
無接点オートスイッチ：D-M9BV,D-M9NV,D-M9PV,D-M9BWV,D-M9NWV,D-M9PWV,D-M9□AV
型式
A
10
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
10
20 30
B
E
ストローク
ストローク
40 50 75 100 125 150 10
9.6 9.6 9.6 21.6 27.6 ─
E（D-M9□AV）
ストローク
20 30 40 50 75 100 125 150 10
20 30 40 50 75 100 125 150
─
─
─
1.6 1.6 1.6 13.6 19.6 ─
─
─
─ -0.4 -0.4 -0.4 11.6 17.6 ─
11.6 14.9 9.9 10.9 18.9 26.9 51.9 ─
─
─
6.9 1.9 2.9 10.9 18.9 43.9 ─
─
─
15.6 32.4 22.4 12.4 14.4 24.4 45.4 74.4 ─
─ 24.4 14.4 4.4 6.4 16.4 37.4 66.4 ─
─
─
─
4.9 -0.1 0.9 8.9 16.9 41.9 ─
─
─
─ 22.4 12.4 2.4 4.4 12.4 35.4 64.4 ─
─
20.3 32.7 22.7 12.7 12.7 17.7 42.7 65.7 90.7 ─ 24.7 14.7 4.7 4.7 9.7 34.7 57.7 82.7 ─ 22.7 12.7 2.7 2.7 7.7 32.7 55.7 80.7 ─
22.9 36.6 26.6 16.6 16.6 21.6 35.6 63.6 92.6 119.6 28.6 18.6 8.6 8.6 13.6 27.6 55.6 84.6 111.6 26.6 16.6 6.6 6.6 11.6 25.6 53.6 82.6 109.6
27
41.5 31.5 21.5 21.5 24.5 40.5 56.5 89.5 104.5 33.5 23.5 13.5 13.5 16.5 32.5 48.5 81.5 96.5 31.5 21.5 11.5 11.5 14.5 30.5 46.5 79.5 94.5
注）実際の設定においては、オートスイッチの作動状態をご確認のうえ、調整願います。
オートスイッチ取付方法
注意
動作範囲
オートスイッチ取付工具
・オートスイッチ取付ビス（オートスイッチに付属）を締
付ける際には握り径5∼6mm程度の時計ドライバを使
用してください。
締付トルクについて
オートスイッチ取付ビスの締付トルク（N・m）
オートスイッチ型式
締付トルク
D-A9□（V）
D-M9□（V）
D-M9□W（V）
D-M9□A、M9□AV
0.10∼0.20
0.05∼0.15
オートスイッチ取付ビス
(オートスイッチに付属)
時計ドライバ
オートスイッチ
32
(mm)
オートスイッチ型式
D-A9□、A9□V
D-M9□、M9□V
D-M9□W、M9□WV
D-M9□A、M9□AV
適用チューブ内径
6
8
12
16
4.5
5
6
7
8
20
25
8
2.5
2.5
3
4
4.5
5
※応差を含めた目安であり、保証するものではありません。（ばらつき±30％
程度）
周囲の環境により大きく変化する場合があります。
型式表示方法に記載の適用オートスイッチ以外にも下記オートスイッチの
取付けが可能です。
※ノーマルクローズ（NC=b接点）無接点オートスイッチ（D-F9G,F9H型）および無接点
オートスイッチD-F8型もありますので、詳細はBest Pneumatics No.eをご参照く
ださい。
ご使用になる前に
オートスイッチ／結線方法、接続例
シンク入力仕様の場合
ソース入力仕様の場合
3線式NPN
3線式PNP
入力
茶
黒
オートスイッチ
茶
オートスイッチ
青
黒
青
COM
2線式
入力
COM
（PLC内部回路）
2線式
入力
茶
茶
（PLC内部回路）
COM
オートスイッチ
オートスイッチ
青
青
COM
入力
（PLC内部回路）
（PLC内部回路）
PLCの入力仕様により接続方法が異なりますので、PLCの入力仕様に応じて接続してください。
AND（直列）、OR（並列）接続例
※無接点オートスイッチを使用時の入力判定は、50ms間の信号は無効となるように、
設備上にて設定願います。
3線式NPN出力のOR接続
3線式NPN出力のAND接続
（リレーを使用する場合）
茶
オートスイッチ1
オートスイッチ2
（オートスイッチのみで行う場合）
リレー
黒
茶
負荷
オートスイッチ1
茶
負荷
黒
オートスイッチ1
青
青
青
茶
茶
茶
黒
オートスイッチ2
青
黒
オートスイッチ2
青
黒
3線式PNP出力のOR接続
（オートスイッチのみで行う場合）
茶
オートスイッチ2
茶
茶
リレー
黒
オートスイッチ1
黒
オートスイッチ1
黒
青
青
青
茶
茶
茶
黒
オートスイッチ2
負荷
青
2線式のAND接続
負荷
青
茶
オートスイッチ2
青
負荷
黒
オートスイッチ2
青
黒
負荷
青
2線式のOR接続
茶
オートスイッチ1
負荷
青
3線式PNP出力のAND接続
（リレーを使用する場合）
オートスイッチ1
黒
オートスイッチ2個を
AND接続した場合ON時
の負荷電圧が低下し負荷
の作動不良を生じる場合
があります。
また、表示灯はオートス
イッチ2個がON状態と
なったとき点灯します。
負荷電圧仕様が20V未満
のオートスイッチは、使
用できません。
茶
負荷
オートスイッチ1
青
茶
（無接点）
オートスイッチ2個を
OR接続した場合OFF
時の負荷電圧が大きく
なり作動不良を生じる
場合があります。
オートスイッチ2
青
ON時の負荷電圧＝電源電圧−残留電圧×2個
＝24V−4V×2個
＝16V
OFF時の負荷電圧＝漏れ電流×2個×負荷インピーダンス
＝1mA×2個×3kΩ
＝6V
例：電源電圧DC24V
オートスイッチ内部降下電圧4V
例：負荷インピーダンス3kΩ
オートスイッチ漏れ電流1mA
（有接点）
漏れ電流がないため、
OFF時の負荷電圧が大
きくなることはありま
せんが、ON状態のオー
トスイッチ個数により、
オートスイッチに流れ
る電流値が分散、減少
するため、表示灯が暗
くなり、点灯しない場
合もあります。
33
MXS Series
個別オーダーメイド仕様
Ordeer
Mad
詳しい寸法・仕様および納期につきましては、当社にご確認ください。
表示記号
1 PTFEグリース仕様
-X7
MXS 標準型式表示方法を表示
X7
4 パッキン類フッ素ゴム仕様
MXS 標準型式表示方法を表示
パッキン類フッ素ゴム仕様
グリース塗布箇所すべてにPTFEグリースを使用。
ピストンパッキン、ロッドパッキン、Oリングの材質をフ
ッ素ゴムに変更。
仕様
PTFEグリース仕様
チューブ内径（mm）
仕様
6, 8, 12, 16, 20, 25
形式
※上記以外の仕様および外形寸法は標準形と同一です。
チューブ内径
（mm）
警告
パッキン類フッ素ゴム仕様
6, 8, 12, 16, 20, 25
パッキン類の材質
使用上のご注意
フッ素ゴム
※上記以外の仕様および外形寸法は標準形と同一です。
「本シリンダに使用しているグリース」が手に付着した状態でタバコ等を
吸いますと、有害なガスを発生し人体に損害を与えてしまう恐れがあり
ますのでご注意ください。
表示記号
2 食品機械用グリース仕様
MXS 標準型式表示方法を表示
-X9
表示記号
5 ガイド部防錆仕様
MXS 標準型式表示方法を表示
-X42
X42
ガイド部防錆仕様
X9
食品機械用グリース仕様
グリース塗布箇所すべてに食品機械用グリースを使用。
レール、ガイドに防錆処理を施してあります。
仕様
ガイド部防錆仕様
形式
仕様
食品機械用グリース（NSF-H1認証品）
アルミニウム複合石けん基グリース
形式
-X39
X39
PTFEグリース仕様
形式
表示記号
チューブ内径（mm）
6, 8, 12, 16, 20, 25
チューブ内径
（mm）
6, 8, 12, 16, 20, 25
表面処理
特殊防錆処理※2
※1 上記以外の仕様および外形寸法は標準形と同一です。
※2 特殊防錆処理により、レール、ガイドが黒色になります。
※上記以外の仕様および外形寸法は標準形と同一です。
注意
本シリンダを設置する環境について食品ゾーンでの使用
食品ゾーン設置不可
は行わないでください
スプラッシュゾーン設置可
＜設置不可＞
食品ゾーン…食品が直接本シリンダ部品に接
触し、その食品が商品として扱われる環境。
＜設置可＞
スプラッシュゾーン…食品が直接本シリンダ
部品に接触する場合もあるが、接触した食
品は商品として使用されない環境。
非食品ゾーン…食品とは接触しない環境。
MXS 標準型式表示方法を表示
容器
食品
非食品ゾーン設置可
3 オートスイッチ用磁石内蔵不可品
MXS 標準型式表示方法を表示
表示記号
-X33
仕様
オートスイッチ
オートスイッチ用磁石内蔵不可品
6, 8, 12, 16, 20, 25
取付不可
※上記以外の仕様および外形寸法は標準形と同一です。
34
ピストンパッキン、ロッドパッキン、Oリングの材質を
EPDMに変更。
仕様
形式
パッキン類EPDM仕様
チューブ内径
（mm）
6, 8, 12, 16, 20, 25
パッキン類の材質
EPDM
PTFEグリース
警告
オートスイッチ用磁石内蔵不可タイプ。
チューブ内径（mm）
X45
※上記以外の仕様および外形寸法は標準形と同一です。
オートスイッチ用磁石内蔵不可品
形式
-X45
パッキン類EPDM仕様
使用グリース
X33
表示記号
6 パッキン類EPDM仕様
使用上のご注意
「本シリンダに使用しているグリース」が手に付着した状態でタバコ等を
吸いますと、有害なガスを発生し人体に損害を与えてしまう恐れがあり
ますのでご注意ください。
個別オーダーメイド仕様
表示記号
7 アジャストボルトロング仕様（調整範囲：15mm） -X11
MXS 標準型式表示方法を表示
X11
MXS Series
表示記号
8 アジャストボルトロング仕様（調整範囲：25mm） -X12
MXS 標準型式表示方法を表示
X12
アジャストボルトロング仕様
（調整範囲：15mm）
アジャストボルトロング仕様
(調整範囲25mm)
※ショックアブソーバ付き
（BS, BT, B）には-X11はありません。
※MXS6には-X12はありません。
※ショックアブソーバ付き
（BS, BT, B）
には-X12はありません。
アジャストボルトを長くしてストローク調整範囲を標準
の5mmから15mmに変更。
アジャストボルトを長くしてストローク調整範囲を標準
の5mmから25mmに変更。
外形寸法図
外形寸法図
前進端用
前進端用
後退端用
A
後退端用
A
最大B
A
最大C
A
最大B
最大C
（mm）
型式
A
MXS6（L）
MXS8（L）
MXS12（L）
MXS16（L）
MXS20（L）
MXS25（L）
26.5
B
（mm）
C
型式
A
B
9
25.5
36.5
17
35.5
26.5
7
25.5
40
15.5
39
30
5.5
29
44.5
15.5
43.5
34.5
5.5
33.5
47.5
13.5
46.5
37.5
3.5
36.5
MXS8（L）
MXS12（L）
MXS16（L）
MXS20（L）
MXS25（L）
C
52.5
12.5
51.5
42.5
2.5
41.5
35
MXS Series／製品個別注意事項q
ご使用の前に必ずお読みください。
安全上のご注意につきましては裏表紙、アクチュエータ／共通注意事項、オートスイッチ／
共通注意事項につきましては「SMC製品取扱い注意事項」
（M-03-3）をご確認ください。
取付け
選定
q負荷は使用限界を超えない範囲で
ご使用ください。
最大積載質量、許容モーメントから機
種選定を行ってください。詳細方法に
つきましてはP.2、3機種選定方法をご
参照ください。使用限界外で使用され
ますと、ガイド部に加わる偏荷重が過
大となり、ガイド部のガタの発生、精
度の悪化など寿命に悪影響を及ぼす原
因となります。
w外部ストッパによる中間停止を行
注意
qボディ、テーブル、エンドプレート
の取付面には打痕、傷などを付け
ないでください。
取付面の平面度が悪くなり、ガイド部
のガタの発生、摺動抵抗の増加などの
原因となります。
wレール、ガイドの転送面には打痕、
i本体の取付時のねじの締付けは、
適切な長さのねじを用い、最大締
付トルク以下で適正に締付けてく
ださい。
制限範囲以上の値による締付けは作動
不良の原因となり、締付け不足は位置
のずれや落下の原因となります。
傷など付けないでください。
1.横取付け形（ボディタップ）
ガタの発生、摺動抵抗の増加などの原
因となります。
L
注意
う場合には、飛出しを起こさない
ようにしてください。
e過大な外力や衝撃力の作用するよ
うなご使用はしないでください。
故障の原因となります。
eワーク取付けの際には、強い衝撃
や過大なモーメントをかけないで
ください。
許容モーメント以上の外力が働くと、
ガイド部のガタの発生、摺動抵抗の増
加などの原因となります。
機種
使用
ボルト
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
M4×0.7
M4×0.7
M5×0.8
M6×1
M6×1
M8×1.25
最大締付トルク最大ねじ込み
N・m
深さ(Lmm)
8
8
10
12
12
16
2.1
2.1
4.4
7.4
7.4
18
2.横取付け形（通し穴使用）
r取付面の平面度は0.02mm以下に
してください。
本体に取付けるワーク、ベースなどの
平面度が悪いと、ガイド部のガタの発
生や摺動抵抗の増加の原因となります。
t外部に支持・案内機構をもつ負荷
との接続には、適切な接続方法を
選定のうえ、十分な芯出し作業を
行ってください。
y本体の作動中は手など近付けない
ようにしてください。
L
飛出しが生じると破損の原因となりま
す。外部ストッパで中間停止させ、さ
らに前進させる場合は、一旦、圧力供
給してテーブルを一瞬逆に戻した後、
中間ストッパを引っ込め、その後、逆
ポートに圧力供給してテーブルを作動
させてください。
機種
使用
ボルト
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
M3×0.5
M3×0.5
M4×0.7
M5×0.8
M5×0.8
M6×1
ストロークアジャスタに挟まれる場合
があります。作動中に近付くことがあ
る場合には、カバーを設けるなどの対
策が必要です。
最大締付トルク最大ねじ込み
N・m
深さ(Lmm)
11
13
18.5
24
29
34
1.2
1.2
2.8
5.7
5.7
10
L
3.縦取付け形（ボディタップ）
u磁石に影響されるものは近付けな
いでください。
本体には磁石が内蔵されていますので、
磁気ディスク、磁気カード、磁気テー
プなどは近付けないでください。デー
タが消去されてしまうことがあります。
36
機種
使用
ボルト
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
M2.5×0.45
M3×0.5
M4×0.7
M5×0.8
M5×0.8
M6×1
最大締付トルク最大ねじ込み
N・m
深さ(Lmm)
0.5
0.9
2.1
4.4
4.4
7.4
3.5
4
6
7
8
10
MXS Series／製品個別注意事項w
ご使用の前に必ずお読みください。
安全上のご注意につきましては裏表紙、アクチュエータ／共通注意事項、オートスイッチ／
共通注意事項につきましては「SMC製品取扱い注意事項」
（M-03-3）をご確認ください。
使用環境
取付け
注意
注意
ストロークアジャスタ
q切削油などの液体が直接かかる環
1.前面取付け形
境では使用しないでください。
L
アジャスタオプション取扱い上のご注意
切削油、クーラント液、オイルミスト
などが本体にかかる環境での使用はガ
タの発生、摺動抵抗の増加、エア漏れ
などの原因となります。
注意
eストロークアジャスタの調整の際、
スパナなどをテーブルに当てぬよ
う、ご注意ください。
ガタの原因となります。
w粉塵、塵埃、切粉、スパッタなど
注意
ボルトが長いとボディに当たり作動
不良などの原因となります。
機種
使用
ボルト
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
M3×0.5
M4×0.7
M5×0.8
M6×1
M6×1
M8×1.25
最大締付トルク最大ねじ込み
N・m
深さ(Lmm)
4.5
5.5
7.5
9.5
12.5
14.5
0.9
2.1
4.4
7.4
7.4
18
の異物が直接かかる環境では使用
しないでください。
ガタの発生、摺動抵抗の増加、エア漏
れなどの原因となります。
このような環境での使用は当社にご確
認ください。
e直射日光の当たる場所では、日光
を遮断してください。
r周囲に熱源がある場合は遮断して
ください。
2.上面取付け形
周囲に熱源がある場合は、輻射熱によ
り製品の温度が上昇して使用温度範囲
を超える場合がありますので、カバー
などで遮断してください。
L
ガイド
t振動または衝撃が起こる場所では
注意
ボルトが長いとガイドに当たり作動
不良などの原因となります。
機種
使用
ボルト
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
M3×0.5
M3×0.5
M4×0.7
M5×0.8
M5×0.8
M6×1
最大締付トルク最大ねじ込み
N・m
深さ(Lmm)
0.9
0.9
2.1
4.4
4.4
7.4
3.5
4.5
5
5.5
9.5
12.5
qテーブルの位置決め穴およびボデ
ィの底面の位置決め穴は同一セン
ターではありません。同一製品の
メンテナンス等による取外し後の
再取付時にご使用ください。
使用しないでください。
破壊や作動不良の原因となりますので、
このような環境下での使用は当社にご
確認ください。
アジャスタオプション取扱い上のご注意
ストロークアジャスタ
ショックアブソーバ付
注意
qショックアブソーバのボディ底付
ねじは絶対に回さないでください。
調整用のねじではありません。油漏れ
の原因となります。
wショックアブソーバのピストンロ
ッドの摺動面には傷を付けないで
ください。
耐久性の低下、復帰不良の原因となり
ます。
底付ねじ
回転不可
ピストンロッド
損傷不可
eショックアブソーバのロックナッ
注意
q専用アジャストボルト以外のボル
トに交換しないでください。
衝撃力等により、ガタの発生・破損な
どの原因となります。
wロックナットの締付トルクは下表
に従ってください。
トの締付トルクは下表に従ってく
ださい。
型式
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
締付トルクN・m
1.67
3.14
10.8
締付け不良は位置決め精度低下の原因
となります。
型式
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
締付トルクN・m
3.0
5.0
12.5
25.0
43.0
69.0
37
MXS Series／製品個別注意事項e
ご使用の前に必ずお読みください。
安全上のご注意につきましては裏表紙、アクチュエータ／共通注意事項、オートスイッチ／
共通注意事項につきましては「SMC製品取扱い注意事項」
（M-03-3）をご確認ください。
ショックアブソーバの寿命および交換時期
注意
ラバーストッパ
qカタログ仕様範囲内における使
用可能な作動回数は以下を目安
としてください。
120万回 RB08□□
200万回 RB10□□∼RB14□□
注）寿命回数（適切な交換時期）は常温（20
∼25℃）時の値です。
温度条件などにより異なる場合があり
ますので、上記作動回数以内でも交換
が必要になる場合があります。
適用サイズ
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
アジャスタオプション取付け上のご注意
ショックアブソーバ型式
RB0805
RB0806
RB1007
RB1411
RB1412
注意
q機種によってはボディ取付ボルトとテーブル取付ボルトの長さが異なりますの
でご注意ください。
前進端ストロークアジャスタ(AS)のMXS6,8,12はボディ取付部とテーブル取付部の六角
穴付ボルトの長さが異なりますので、取付には十分注意願います。
長さを間違えて組立てるとガタおよび作動不良の原因となります。
w取付ボルトの締付トルクは下表に従ってください。
締付け不良は位置決め精度低下および作動不良の原因となります。
前進端ストロークアジャスタ(AS)
型式
ボディ取付部
締付トルク
ボルトサイズ
(N・m)
MXS6 M2.5×10
M3×12
MXS8
MXS12 M4×15
MXS16 M5×18
MXS20 M6×20
MXS25 M8×25
後退端ストローク
アジャスタ(AT)
テーブル取付部
締付トルク
締付トルク
ボルトサイズ
ボルトサイズ
(N・m)
(N・m)
0.5
M2.5×8
0.5
M2.5×8
0.5
0.9
M3×10
0.9
M3×10
0.9
2.1
M4×12
2.1
M4×8
2.1
4.4
M5×18
4.4
M5×10
4.4
7.0
M6×20
7.0
M5×12
4.4
18.0
M8×25
18.0
M6×16
7.0
ショックアブソーバ
注意
q機種によってはボディ取付ボルトとテーブル取付ボルトの長さが異なりますの
でご注意ください。
後退端ショックアブソーバ(BT)はボディ取付部とテーブル取付部の六角穴付ボルトの長
さが異なりますので、取付には十分注意願います。
長さを間違えて組立てるとガタおよび作動不良の原因となります。
w取付ボルトの締付トルクは下表に従ってください。
締付け不良は位置決め精度低下および作動不良の原因となります。
前進端ショックアブソーバ(BS)
型式
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
38
後退端ショックアブソーバ(BT)
ボディ取付部
テーブル取付部
ボディ取付部
テーブル取付部
締付トルク
締付トルク
締付トルク
締付トルク
ボルトサイズ
ボルトサイズ
ボルトサイズ
ボルトサイズ
(N・m)
(N・m)
(N・m)
(N・m)
M3×16
0.9
M3×16
0.9
M3×12
0.9
M3×16
0.9
M4×15
2.1
M4×15
2.1
M4×8
2.1
M4×15
2.1
M5×18
4.4
M5×18
4.4
M5×10
4.4
M5×18
4.4
M6×25
7.0
M6×25
7.0
M5×12
4.4
M6×25
7.0
M8×25
18.0
M8×25
18.0
M6×16
7.0
M8×25
18.0
MXS Series／製品個別注意事項r
ご使用の前に必ずお読みください。
安全上のご注意につきましては裏表紙、アクチュエータ／共通注意事項、オートスイッチ／
共通注意事項につきましては「SMC製品取扱い注意事項」
（M-03-3）をご確認ください。
対称形の取扱い上のご注意
機能オプション取扱い上のご注意
エンドロック付
バッファ機構付
注意
注意
q電磁弁は2ポジション4・5ポート
のバルブをご使用ください。
エキゾーストセンタの3ポジションバ
ルブなど両ポートとも排気されるよう
な制御回路では作動不良の原因となる
ことがあります。
注意
q下記の姿勢にてご使用ください。
水平使用の場合、負荷・速度によって
は作動時にバッファがストロークし、
オートスイッチが作動することがあり
ますので、負荷に応じた速度に調整し
てください。
q標準形と対称形を並べる場合には
下表に示す寸法以上の間隔を取っ
てください。
間隔が少ないとオートスイッチ誤動作
の原因となります。
推奨空気圧回路
t
(単位：mm）
機種
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
垂直使用
エアスライドテーブル
W
wシリンダには必ずメータアウトの
取付ピッチ：t
5
10
10
10
15
15
スピードコントローラを接続して
ください。
メータイン制御やスピードコントロー
ラなしで使用されますと作動不良の原
因となることがあります。
水平使用
eエンドロックのマニュアル解除を
wバッファ機構オートスイッチ：ス
行う時は必ず圧力を抜いて行って
ください。
トロークエンド検出時の適正取付
位置は下表をご参照ください。
圧力が残っている状態で解除を行うと
思わぬ飛出しによりワークなどを破損
する原因となることがあります。
A
常時OFF
検出
エンドロックのマニュアル解除方法
※必ず圧力がないことを確認してから作業を
始めてください。
qロックピストンを押し下げる。
wテーブルを前方へスライドさせる。
q
w
B
常時ON
検出
※負荷、速度に応じてスイッチの位置を調整くだ
さい。
(単位：mm）
機種
A
B
MXS6
MXS8
MXS12
MXS16
MXS20
MXS25
2
2.5
4
5
5.5
10
3
39
安全上のご注意
ここに示した注意事項は、製品を安全に正しくお使いいただき、あなたや他の人々への危害や損害
を未然に防止するためのものです。これらの事項は、危害や損害の大きさと切迫の程度を明示する
ために、
「注意」
「警告」
「危険」の三つに区分されています。いずれも安全に関する重要な内容です
から、国際規格（ISO/IEC）、日本工業規格（JIS）※1）およびその他の安全法規※2）に加えて、必ず守っ
てください。
※1）ISO 4414: Pneumatic fluid power -- General rules relating to systems.
注意：
ISO 4413: Hydraulic fluid power -- General rules relating to systems.
IEC 60204-1: Safety of machinery -- Electrical equipment of machines.
（Part 1: General requirements）
ISO 10218-1992: Manipulating industrial robots -Safety.
JIS B 8370: 空気圧システム通則
JIS B 8361: 油圧システム通則
JIS B 9960-1: 機械類の安全性−機械の電気装置（第1部：一般要求事項）
JIS B 8433-1993: 産業用マニピュレーティングロボット−安全性
取扱いを誤った時に、人が傷害を負う危険が想定
される時、および物的損害のみの発生が想定され
るもの。
警告：取扱いを誤った時に、人が死亡もしくは重傷を負
う可能性が想定されるもの。
危険：切迫した危険の状態で、回避しないと死亡もしく
は重傷を負う可能性が想定されるもの。
など
※2）労働安全衛生法
など
注意
警告
当社の製品は、製造業向けとして提供しています。
q当社製品の適合性の決定は、システムの設計者または仕様を決
定する人が判断してください。
ここに掲載されている製品は、使用される条件が多様なため、そのシ
ステムへの適合性の決定は、システムの設計者または仕様を決定する
人が、必要に応じて分析やテストを行ってから決定してください。こ
のシステムの所期の性能、安全性の保証は、システムの適合性を決定
した人の責任になります。常に最新の製品カタログや資料により、仕
様の全ての内容を検討し、機器の故障の可能性についての状況を考慮
してシステムを構成してください。
ここに掲載されている当社の製品は、主に製造業を目的とした平和利用
向けに提供しています。
製造業以外でのご使用を検討される場合には、当社にご相談いただき必
要に応じて仕様書の取り交わし、契約などを行ってください。
ご不明な点などがありましたら、当社最寄りの営業拠点にお問合せ願い
ます。
保証および免責事項／適合用途の条件
w当社製品は、充分な知識と経験を持った人が取扱ってください。製品をご使用いただく際、以下の「保証および免責事項」、「適合用途の
ここに掲載されている製品は、取扱いを誤ると安全性が損なわれます。条件」
を適用させていただきます。
機械・装置の組立てや操作、メンテナンスなどは充分な知識と経験を下記内容をご確認いただき、ご承諾のうえ当社製品をご使用ください。
持った人が行ってください。
e安全を確認するまでは、機械・装置の取扱い、機器の取外しを
『保証および免責事項』
絶対に行わないでください。
q当社製品についての保証期間は、使用開始から1年以内、もし
1.機械・装置の点検や整備は、被駆動物体の落下防止処置や暴走防止処
置などがなされていることを確認してから行ってください。
2.製品を取外す時は、上記の安全処置がとられていることの確認を行い、
エネルギー源と該当する設備の電源を遮断するなど、システムの安全
を確保すると共に、使用機器の製品個別注意事項を参照、理解してか
ら行ってください。
3.機械・装置を再起動する場合は、予想外の動作・誤動作が発生しても
対処できるようにしてください。
※3）
くは納入後1.5年以内、いずれか早期に到達する期間です。
また製品には、耐久回数、走行距離、交換部品などを定めている
ものがありますので、当社最寄りの営業拠点にご確認ください。
w保証期間中において当社の責による故障や損傷が明らかになっ
た場合には、代替品または必要な交換部品の提供を行わせてい
ただきます。
なお、ここでの保証は、当社製品単体の保証を意味するもので、
当社製品の故障により誘発される損害は、保証の対象範囲から
除外します。
eその他製品個別の保証および免責事項も参照、ご理解の上、ご
使用ください。
r次に示すような条件や環境で使用する場合は、安全対策への格
別のご配慮をいただくと共に、あらかじめ当社へご相談くださ
るようお願い致します。
1.明記されている仕様以外の条件や環境、屋外や直射日光が当たる場所
での使用。
2.原子力、鉄道、航空、宇宙機器、船舶、車両、軍用、医療機器、飲料・
食料に触れる機器、燃焼装置、娯楽機器、緊急遮断回路、プレス用ク
ラッチ・ブレーキ回路、安全機器などへの使用、およびカタログの標
準仕様に合わない用途の場合。
3.人や財産に大きな影響をおよぼすことが予想され、特に安全が要求さ
れる用途への使用。
4.インターロック回路に使用する場合は、故障に備えて機械式の保護機
能を設けるなどの2重インターロック方式にしてください。また、定
期的に点検し正常に動作していることの確認を行ってください。
改訂内容
B版 ¡ø20、ø25を追加。
XY
C版 ¡標準ストローク、オプションを追加。
YV
D版 ¡P.1、P.3：型式表示方法を修正。
¡各外形寸法図めねじ寸法引出線を修正。 YZ
※3）真空パッドは、使用開始から1年以内の保証期間を適用できません。
真空パッドは消耗部品であり、製品保証期間は納入後1年です。
ただし、保証期間内であっても、真空パッドを使用したことによる
磨耗、またはゴム材質の劣化が原因の場合には、製品保証の適用範
囲外となります。
『適合用途の条件』
海外へ輸出される場合には、経済産業省が定める法令（外国為替お
よび外国貿易法）、手続きを必ず守ってください。
E版 ¡PL法注意事項追加。
¡アジャスタオプションに
ショックアブソーバ付を追加。
¡左右対称形MXS□Lタイプを追加。
¡頁数28→44へ変更
F版 ¡MXS全機種外形形状変更。
¡安全上のご注意、アクチュエータ／注意事項を
削除。
¡頁数44→40へ変更
JO
AW
G版 ¡Best Pneumatics No.e 1版 P.49∼86までの抜粋。
¡頁数40→44へ変更
RV
（M-03-3）
および
「取扱説明書」
をご確認のうえ、
正しくお使いください。
安全に関するご注意ご使用の際は「SMC製品取扱い注意事項」

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