多目的な測定用途へ対応
コンパクト型ガス分析システム Ｃシリーズ
Ｃシリーズは四重極型質量分析計を使用したコンパクトで自由度の高いガス分析
システムです。測定用途に合わせたシステム構成を提案いたします。
■特長
・ フレキシブルにカスタマイズが可能
基本構成に加えお客様の用途に合わせたオプションを用意し、 目的の測定が行えます。
・ 省スペース
W480 ｍｍ× D500 ｍｍの省スペースに設置が可能です。
・ 簡単操作
スイッチ一つで排気制御が可能です。 排気 / 測定用インターロック機能有り
■組み合わせ例
用途に合った組み合わせ構成を提案します
基本構成
型名
導入系選択
その他
M-070GA-CRFY
ガス導入系　1 or 2
真空計
M-101GA-CDMY
ガス導入系　1 or 3
大気圧昇温脱離ガス分析
M-201GA-CRMY
ガス導入系　5 or 6
真空中昇温脱離ガス分析
M-201GA-CRMW
ガス導入系　3 or 4
排出ガス分析
M-201GA-CRMY
ガス導入系　6
大気圧炉内ガス分析
M-101GA-CRMY
ガス導入系　5 or 6
真空計
ヒータ
真空計
ヒータ
真空計
ヒータ
真空計
ヒータ
真空計
ヒータ
真空計
ヒータ
真空計
真空計
ヒータ
分類
測定用途
真空装置
ガス分析
残留ガス測定／
プロセス測定
高感度
プロセス測定
研究開発用
ガス分析
推奨オプション
真空炉内ガス分析
M-101GA-CRMW
ガス導入系 3 or 4
真空装置のガス分析
M-101GA-CDFY
ガス導入系　2 or 3
触媒反応ガス分析
M-101GA-CRMW
ガス導入系　5 or 6
■基本構成
基本構成選択　四重極質量分析計とフォアラインポンプの選択
M － 101 GA － C R M W
MASS（フィラメント選択）
W タングステン
Y
Ir-Y2O3
MASS（測定範囲選択）
070 M-070QA-TDF
101 M-101QA-TDF
101 M-101QA-TDM
201 M-201QA-TDM
MASS（検出器選択）
F M-070QA-TDF
F M-101QA-TDF
M M-101QA-TDM
M M-201QA-TDM
FP
R 油回転ポンプ
D メンブレンポンプ
四重極質量分析計
（ＭＡＳＳ）
ターボ分子ポンプ
（ＴＭＰ）
＋
アイソレイトバルブ
（ＩＳＶ）
クロス管
コントローラ
フォアラインポンプ
（ＦＰ）
ベース
ＴＭＰ、 ベース、 コントローラ、 クロス管、 ＩＳＶ
入力コンセントは標準構成品に含まれます。
基本構成外観図
■仕様
型名
M-070GA-CRFY
M-101GA-CRFY
M-101GA-CRMY
M-201GA-CRMY
分析計
M-070QA-TDF
M-101QA-TDF
M-101QA-TDM
M-201QA-TDM
質量数範囲
1~70m/z
検出感度
1~100m/z
100PPM
1~200m/z
10PPM
真空排気系
ターボ分子ポンプ（70　l/s）+ 油回転ポンプ（25　l/min）　〔メンブレンポンプ（20　l/min）　〕
到達圧力
1 × 10-5Pa 以下
ソフト機能
QUADVISION2　Win7
電源
AC100V　1.0KVA
※四重極質量分析計およびオプション類はお客様取り付けとなります。
■オプション選択１( ガス導入系の選択）
ガス導入系対応表
名称
主な用途
E-6
ガス導入系 1
プロセスガス測定
一般ガス測定
ガス導入系 2
一般ガス測定
ガス導入系 3
プロセスガス測定
ガス導入系 4
一般ガス測定
E-5
E-4
E-3
E-2
E-1
BG 測定
7.1E-5Pa ～ 2.0E-2Pa
E0
E+1
1Pa
10Pa
ガス導入系 6
E+3
E+5
E+4 大気圧
500Pa（注 1）
100Pa（注 1）
7.1E-5Pa ～ 2.0Pa
8.0E-6Pa ～ 2.0Pa
1.3E-2Pa ～大気圧
一般ガス測定
リアルタイム
ガス測定
大気圧ガス分析
昇温脱離ガス分析
炉内ガス分析
ガス導入系 5
E+2
1.3E-2Pa ～大気圧
0.05MPa
～
0.25MPa
注 1 ： 特別注文品となります。
■オプション選択２（その他のオプション）
追加オプションにて測定精度と操作性を向上
真空計セット
ヒーターキット
-1
電離真空計セット
M-431HG+MG-2F+ 取付台 + インタロックケーブル
分析チャンバ圧力測定
-2
M-350PG　ピラニゲージ
ターボ分子ポンプ背圧測定
ピラニゲージセット
-3 M-350PG+M-601GC（表示器）+
取付台 + インタロックケーブル
ターボ分子ポンプ背圧測定
（1.5m）+ 熱電対 + インタロッ
-1 2ch ヒータユニット + リボンヒータ
クケーブル
分析管 + 分析チャンバ用
-2
リボンヒータ（1.5m）+ 熱電対
ガス導入系用
-3
リボンヒータ（2.5m）+ 熱電対
キャピラリガス導入系用
ノート PC 用アーム式取付台 3 節自在アーム式　搭載可能外形（390 × 300）　耐荷重 7kg
転倒防止金具
専用金具 4 個組
ノート PC 取付用
排気系架台転倒防止用
（PC 固定イメージ）
ガス導入系 1,2
（プロセス測定用）
PC 固定アーム
ガス導入系 4
（一般測定用）
入力コンセント
フレーム背面
ガス導入系 6
（大気圧測定用）
真空計
転倒防止金具
自由スペース
自由にアレンジ可能
真空計固定
フレーム側面
■オーダリングインフォメーション
製品コード
型　名
品　名
製品コード
品　名
内　容　説　明
オリフィス付バルブ（1Pa、
10Pa 用添付 )
46700
M-070GA-CRFY コンパクト型ガス分析システム
46714
ガス導入系 -1
46701
M-070GA-CDFY コンパクト型ガス分析システム
46710
ガス導入系 -2
流量調整バルブ
46702
M-101GA-CRFY コンパクト型ガス分析システム
46711
ガス導入系 -3
コンビネーションバルブ導入系
46703
M-101GA-CDFY コンパクト型ガス分析システム
31001
ガス導入系 -4
バリアブルリークバルブ（φ 34 ICF 付）
46704
M-101GA-CRMY コンパクト型ガス分析システム
46712
ガス導入系 -5
3 方向バリアブルリークバルブ
46705
M-101GA-CDMY コンパクト型ガス分析システム
46713
ガス導入系 -6
キャピラリ式ガス導入系
46706
M-201GA-CRMY コンパクト型ガス分析システム
46731
真空計セット -1
M-431HG　真空計セット
46707
M-201GA-CDMY コンパクト型ガス分析システム
46732
真空計セット -2
M-350PG　ピラニゲージ
46742
M-101GA-CRFW コンパクト型ガス分析システム
46733
真空計セット -3
M-350PG　ピラニゲージセット
46743
M-101GA-CDFW コンパクト型ガス分析システム
46736
（1.5m）+ 熱電対
ヒータキット -1 2ch ヒータユニット+ヒータ
46744
M-101GA-CRMW コンパクト型ガス分析システム
46737
ヒータキット -2
ヒータ（1.5m）+ 熱電対
46745
M-101GA-CDMW コンパクト型ガス分析システム
46738
ヒータキット -3
ヒータ（2.5m）+ 熱電対
46746
M-201GA-CRMW コンパクト型ガス分析システム
46720
PC 用アームセット
3 節自在アーム式 PC 取付台
46747
M-201GA-CDMW コンパクト型ガス分析システム
46722
転倒防止用金具
クランク型専用金具 4 個組
46708
M-001GA-CR
ガス分析用排気系（RVP 仕様）
46709
M-001GA-CD
ガス分析用排気系（DRY 仕様）
■外形寸法図
２０13 年 1 月作成無断転載禁止
162-11.1211-0101OK

展示品リスト