液体用小型カルマン渦流量計 FM31（テフロン：PFA）SERIES 流れの中に障害物（柱状物体、渦発生体）を置くと、 その後方には規則的なカルマン渦が発生します。 このカルマン渦の発生周波数は、所定の範囲では流速 に比例します。 本渦流量計はこの原理を応用したもので有り、渦発生 周波数を渦検出器（圧電素子）で検出して信号処理回 路により体積流量に比例した信号を出力します。 A 電子式流量計 □ 可動部が無く、信頼性、耐久性に優れており、また取付姿 構造で、圧力損失が小さく液漏れが少ない。検出器が接液 していないので各種液体プロセス監視には最適です □ ボディ材質は、PFAで、パーティクルフリーです □ グローバル仕様対応（CEマーキング取得） □ MODEL31シリーズは接液部オールテフロン、0リングレ スで半導体プロセスの液体流量監視に最適です ■ 標準仕様 13 58.2 ケーブル長さ 約3000 ■ 寸法図 26 40 45 26 205±2 40 52 ケーブル長さ 約2000 45 205±2 13 ■ 測定原理 ■ 注文方法 MODEL FM31 流量レンジ （PFA） 01 02 03 04 P 出力 X P 型 式 FM3101 FM3102 FM3103 FM3104 流量レンジ（L/min） 0.4～4 2～20 5～50 10～100 3/8" 1/2" 3/4" 1" 接 続 部 チューブエンド チューブエンド チューブエンド チューブエンド 測 定 流 体 超純水・薬液等 測 定 精 度 ±3%F.S. ＋1digit 再 現 性 ±0.5%F.S． 以内 液 体 温 度 0～90℃ （凍結、 沸騰しないこと） 許容周囲温度 0～50℃ 許容周囲湿度 5～90%RH （結露なきこと） 表示：3桁LED （リニア） 表示器付 電流出力：4～20mA 出 力 警報出力：オープンコレクタ（LED2個max80mA 30VDC） 電流出力：4～20mA （リニア） 表示器無 パルス出力：オープンコレクタ（max 10mA 30VDC） 電 源 電 圧 12～24VDC ボディー オールテフロン（PFA）、Oリングレス （PBT） 材 質 カバー ポリブチレンテレフタレート樹脂 ケーブル 導体：錫メッキ裸軟銅線、シース：耐熱耐寒性POC（塩化ビニール）、長さ：2m付 /K 流れの中に障害物（柱状物体、渦発生体）を置くと、その後方には規 則的なカルマン渦が発生します。このカルマン渦の発生周波数は、所 定の範囲では流速に比例します。本渦流量計はこの原理を応用したも ので有り、渦発生周波数を渦検出器（圧電素子）で検出して信号処理 回路により体積流量に比例した信号を出力します。 渦発生体 渦検出体 S=4－20mA D=4－20mA＋表示器 カルマン渦 ※注文・見積り依頼は、 注文方法、記入例にそって巻末の「注文・見積り依頼カード」 にご記入の上、 ファックスで発注してください。 圧電素子 041 （テフロン： PFA ） SERIES FM31 勢の誤差が有りません □ 流路には渦発生体と渦検出器があるだけというシンプルな
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