東北大学マイクロシステム融合研究開発センター 試作コインランドリ使用料金（税込）
■施設使用料 500 円/時間
番号
A
A-1
A-2
A-3
A-4
A-5
A-6
A-7
B
B-1
B-2
B-3
B-4
B-5
B-6
B-7
B-8
B-9
B-10
B-11
B-12
C
C-1
C-2
C-3
C-4
C-5
C-6
C-7
D
D-1
D-2
D-3
D-4
D-5
D-6
D-7
D-8
D-9
E
E-1
E-2
E-3
E-4
E-5
E-6
E-7
F
F-1
F-2
F-3
F-4
F-5
F-6
F-7
F-8
F-9
G
G-1
G-2
G-3
G-4
G-5
G-6
G-7
G-8
G-9
G-10
G-11
G-12
G-13
装
（学内は 250 円/時間）
■技術支援料 2,415 円/時間
置
洗浄、乾燥
エッチングチャンバー
リン酸槽
CO2 超臨界乾燥機
イナートオーブン
真空オーブン
ブラシスクラバ
スピン乾燥機
フォトリソグラフィ
パターンジェネレータ
スピンコータ
クリーンオーブン
ポリイミドキュア炉
両面アライナ
片面アライナ
EB 描画装置
現像ドラフト
UV キュア装置
スピンコータ
スプレー現像装置
ステッパ
酸化・拡散、イオン注入、熱処理
酸化炉 N 型
拡散炉 N 型
酸化炉 P 型
拡散炉 P 型
中電流イオン注入装置
高電流イオン注入装置
ランプアニール装置
成膜（CVD、スパッタ、蒸着他）
LPCVD
減圧熱 CVD
住友精密 PECVD
W-CVD
アネルバスパッタ装置
芝浦スパッタ装置
電子ビーム蒸着装置
ゾルゲル自動成膜装置
めっき装置
エッチング
住友精密 Si-DeepRIE
アネルバドライエッチング装置
アネルバ Si-ドライエッチング装置
Al-RIE
アルバック アッシング装置
ブランソン アッシング装置
ECR エッチング装置
接合、研磨、パッケージング
接合装置
東京精密ダイサ（切削水：純水）
ディスコダイサ（切削水：水道水）
ワイヤボンダ
レーザマーカ
ディスコダイサ（切削水：水道水）
6 インチウェハ研磨装置
4 インチウェハ研磨装置
サンドブラスト
測定
ウェハゴミ検査装置
膜厚計
Dektak 段差計
Tenchor 段差計
深さ測定装置
4 探針測定装置
拡がり抵抗測定装置
ウェハプローバ
金属顕微鏡
デジタル顕微鏡
電子顕微鏡
マイクロ X 線 CT
エリプソ
メーカー
2012 年 1 月 1 日 現在
型 番
装置使用料
円/時間
アズワン
自家製
SCFluids
ヤマト科学
ヤマト科学
全協化成
東邦化成
CPD1100
DN63H
DP-31
日本精工
ミカサ
ヤマト科学
ヤマト科学
Suss
キヤノン
Reith
TZ-310
1H-DXII
DE62
DN43H
MA6/BA6
PLA-501-FA
Reith 50
ウシオ電機
アクテス
アクテス
キヤノン
UMA-802
ASC-4000
ADE-3000S
FPA1550M4W
170
49
78
60
464
291
660
12
488
47
201
1,879
東京エレクトロン
東京エレクトロン
東京エレクトロン
東京エレクトロン
日新イオン機器
住友イートンノバ
AG Associates
XL-7
XL-7
XL-7
XL-7
NH-20SR
NV-10
AG4100
2,045
3,598
2,045
2,704
5,153
5,276
555
システムサービス
国際電気
住友精密
Applied Materials
アネルバ
芝浦メカトロニクス
アネルバ
テクノファイン
山本鍍金試験器
PSH1200
ZAA-4
MPX-CVD
P-5000
SPF-730
CFS-4ESII
EVC-1501
PZ-604
36
24
676
88
43
1,061
39
3,557
5,070
7,384
2,919
820
862
1,245
584
210
住友精密
アネルバ
アネルバ
芝浦エレテック
アルバック
ブランソン
アネルバ
MUC-21
DEA-506
L-507DL
HIRRIE-100
UNA-2000
IPC4000
ECR6001
3,871
1,160
983
3,046
1,138
159
5,111
Suss
東京精密
ディスコ
West Bond
GSI ルモニクス
ディスコ
BN テクノロジー
BN テクノロジー
新東
SB6e
385
6,036
170
13
683
293
550
392
285
トプコン
ナノメトリクス
Dektak
Tenchor
ユニオン光学
WM-3
NanoSpec3000
Dektak 8
AlphaStep 500
Hisomet
Solid State Measurements
東京精密
ニコン
キーエンス／クノーテクノクラフト
日立ハイテクノロジーズ
コムスキャンテクノ
ULVAC
SSM150
EM-20A
L150
DAD-2H/6T
WM-II
DAD-522
Bni62
Bni52
S3700N
ScanXmate D160TS110
17
86
218
218
12
13
13
36
12
164
478
972
16