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座標測定機
Catalog No.16005(8)
三次元測定機用プローブ一覧
三次元測定機用プローブ一覧
3～37ページ
スキャニングプローブ
■高精度・低測定力
スキャニングプローブ
MPP-310Q
スキャニングプローブ
（ロングスタイラス対応）
■小型・高精度
スキャニングプローブ
SP25M
SP80
ページNo.
●
5,6
ページNo.
●
▲
3,4
▲
▲
ページNo.
●
■高精度
7,8
■高精度
スキャニングプローブ
SP600Q
▲
ページNo.
●
9,10
非接触プローブ
■非接触ラインレーザプローブ
SurfaceMeasure/
TDS-H
●
ページNo.
■クイックビジョンプローブ
■ 三次元測定機用
心出し顕微鏡
QVP
●
ページNo.
●
13,14
ページNo.
▲
▲
▲
11,12
CF20
15,16
特殊用途用プローブ
■粗さ測定用
■マイクロタッチ
プローブ
プローブ
SURFTEST PROBE
●
ページNo.
MPP-10
19
●
ページNo.
▲
17,18
測定プローブ
UMAP-CMM
▲
ページNo.
▲
●
■ ねじ有効深さ
20
タッチトリガープローブ
■ 高精度タッチトリガー
プローブ
■ 小型・高精度
タッチトリガープローブ
TP7M
■ マニュアルプローブヘッド付
タッチトリガープローブ
タッチトリガープローブ
27,28
MH20
●
ページNo.
▲
▲
1
ページNo.
23,24
■ マニュアルプローブヘッド付
MH20i
●
ページNo.
29,30
TP20
●
ページNo.
▲
21,22
●
▲
ページNo.
プローブ
TP200
▲
●
■ 小型タッチトリガー
25,26
多種多様な測定ワークを
高精度、高効率測定するミツトヨプローブ
プローブヘッド
■マニュアル
■ モータライズ・
●
33,34
ページ No.
●
35,36
タッチトリガープローブ装着例
▲
タッチトリガープローブ装着例
▲
▲
タッチトリガープローブ装着例
PH1
▲
ページ No.
31,32
▲
▲
ページNo.
プローブヘッド
MIH
PH10M/PH10MQ
●
■マニュアル
プローブヘッド
プローブヘッド
5軸制御システム
5軸制御
■高速
5軸制御
タッチトリガーシステム
■
スキャニングヘッド
PH20
REVO-2
37
●
ページNo.
▲
ページNo.
▲
●
37
プローブチェンジャー
■オートプローブ
チェンジャー
ページNo.
▲
●
ACR3
38
スタイラスの豆知識
三次元測定機用スタイラスの品名判別方法
各種スタイラス
取付工具類、ハードプローブ
マスターボール
クランピングツール
39ページ
41ページ
42ページ
60ページ
61ページ
62ページ
2
高精度・低測定力スキャニングプローブ MPP-310Q
高精度スキャニングプローブ
MPP-310Qは、スキャニング測定【測定物に接触した状態で移動しながら、大
量の座標値を収集する測定方法。】をV2≦0.3μm（LEGEX搭載時の参考値）で
行える他、超高精度ポイント測定（σ≦0.1μm：LEGEX搭載時）や、求心ポイン
ト測定（下図：オプション機能）によるデータ収集も可能なCNC三次元測定機
用の多機能プローブです。
方向性のないスキャニングを実現
MPP-310Qの内部にはX、Y、Z各軸方向に最小表示量0.01μmの超高精度スケ
ールが組込まれており、
スタイラスの変位量を読みとります。
各軸のスライド部分にはエアベアリングを採用し、方向性の極めて小さなプ
ロービングを実現しています。
低測定力
タッチトリガープローブは、実際にスタイラスが測定物に接触した瞬間のトリ
ガーを発生させる力は小さくても、その後の押し込み時に数十～数百グラム
の力がかかります。また、他社のスキャニングプローブには、ロングスタイラ
スへの対応などのために、モータドライブによって強制的にプロービング位
置を指定する構造となっているものがあり、
どうしても実際の測定力が大きく
なってしまいます。MPP-310Qは測定力を最小0.03Nまで落とすことができ、樹
脂などの弾性体でも傷つけることなく測定することができます。
高速スキャニング
スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方
法（未知形状スキャニング）
と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法
（既知形状スキャニング）とがあります。既知形状スキャニングでは、最大
120mm/sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要
素測定は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工におけ
る平面度や真円度評価については、
より多くの測定点で評価することが、測
定結果の信頼性を向上させることになります。
しかし、
これをタッチトリガープローブで 1 点 1 点測定するとな
ると、非常に時間がかかります。MPP-310Qであれば、例
えばø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で
測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキ
求心ポイント測定ャニング速度を変え、より効率的に測定をすすめること
（オプション）
ができます。
オプション
ロータリーテーブルMRT320を使った同期スキャニングやオートスタイラスチ
ェンジシステムなどのオプションも用意しています。
MPP-310Q 仕様
MPP-310Q
測定範囲
分解能
スキャニング誤差MPETHP（JISB 7440-4: 2003）
シングルスタイラス形状誤差PFTU.MPE（JIS B 7440-5: 2013）
スプリングレート
最大スタイラス長さ
最大スタイラス質量
スタイラス取付
最大スキャニング速度
エア流量
オートスタイラスチェンジシステム
（オプション）
0.4μm（LEGEX500/700/900: ø4×18mmスタイラス使用時）
0.2N/mm
垂直・水平とも200mm※1
75g※1
M4ネジ
120mm/s［既知形状スキャニング時］
30NL/min
プローブヘッド
対応機種
不要
スタイラスモジュール搭載数
（キャリブレーション用）専用】
標準4本【ポート1は標準スタイラス
最大10ポートまで拡張可能。ただし、同軸上に配置されている必要があります。
※ 1 スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
※ 2 一部機種において取付けに制限を受ける、もしくは取付け不可の場合があります。
3
±1mm
0.01μm
（LEGEX500/700/900: ø4×18mmスタイラス使用時）
1.1μm（60sec）
CNC 三次元測定機※2
高精度・低測定力スキャニングプローブ MPP-310Q
寸法図
96mm
96mm
ø14mm
50mm
50mm
32mm
175.5mm
147.5mm
42mm
50mm
82mm
LEGEX/MPP-310Q によるリングゲージのスキャニング測定例
ø46mm
ø88mm
ø46mm
ø92mm
MPP-310
MPP-310Q
セット構成例
ユニット
照番
MPP-310Q（S）
プローブセット
02AQG350
MPP-310Q
システムセット
セットNo.
06AEE096
クランプユニット
MPP-310Q プローブ本体
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
名称
パーツ No.
—
数量
1
1
1
1
1
1
5
2
1
1
1
1
2
1
1
1
1
1
02AQD090
A731-006
A731-007
02AQG220
06ABK816
06ABT110
06ABN848
06ABN849
06ABN850
06AAD460
06ABH817
181279
99MCA181J
06ABP411
06AEC620
06ACV587
02AQG231
ダンピングオイル
六角レンチ予備2/GXL-20
六角レンチ予備3/GXL-30
格納箱
MS4-4R13.5-S
MS4-4R33C-S
MS4-EXT30C
MS4-EXT50C
MS4-EXT100C
MS4-スタイラスナックル
MS4-スタイラスセンタ
スタイラスツール
MPP-310Q 取扱説明書（和文）
EXT CONTOUR cable A
EXT CONTOUR short cable
3極オスメスACケーブル
MPP-310 クランプユニット（デスクトップ仕様）
質量（kg）
1.78
0.017
0.0015
0.0043
1.5
0.0023
0.0048
0.0051
0.0067 3.3
0.011
0.0145
0.04
0.0035
0.15
0.3
0.3
0.11
1.8
備考
スタイラスマウントアセンブリ1個を含む
シリコンオイル（2000CS）
MPP-310Q 格納用木箱
M4-M4 セラミック製エクステンション L=30mm
M4-M4 セラミック製エクステンション L=50mm
M4-M4 セラミック製エクステンション L=100mm
M4 スタイラス脱着用
日本国内向け
＊単品での販売ができないパーツもあります。
＊搭載する本体によってパーツNo.が異なる場合もあります。
1
2
8
5
30
9
10
3
7
50
17
100
14
11
15
50
6
12
18
4
16
13
Sø4ルビー球
18
Sø4ルビー球
オプションオートスタイラスチェンジャー
寸法図
単位 : mm
測定範囲
ユニット
33
115
600
80
60
80
60
80
60
明細
20
オートスタイラス
チェンジシステム
セット
No.06ABU500
80
28
照番
1
2
3
4
5
6
名称
オートスタイラスチェンジラック
スタイラスマウントアセンブリ
補助板
MS4-4R13.5-S
MS4-スタイラスセンタ
再キャリブレーション用基準球
パーツ No.
数量
06ABG597
02AQD042
06ABG598
06ABK816
06ABH817
06ABH818
1
3
1
3
3
1
質量
（kg）
備考
交換用ポート4個付属
5
三次元測定機のベーストにラックを取付ける為の補助板
0.04
8
13.1
0.024
0.012
再キャリブレーション用基準棒
0.04
単位 : mm
6
200
新ラック
1
5
2
5
M4
20
ø50
28
ø50
110
測定範囲
90
3
108
720
4
ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ SP80
ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ
SP80は、高精度と最大500mm（水平・垂直方向とも）のロングスタイラス搭載
を可能にしたスキャニングプローブです。
スキャニング測定（測定物に接触し
た状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法）の他、高精度ポ
イント測定や、求心ポイント測定（下図：オプション機能）によるデータ収集も
可能なCNC三次元測定機用の多機能プローブです。
高速スキャニング
スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法
（未知形状スキャニング）
と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既
知形状スキャニング）
とがあります。既知形状スキャニングでは、最大 120mm/
sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定
は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面
度や真円度評価については、
より多くの測定点で評価することが、測定結果
の信頼性を向上させることになります。
しかし、
これをタッチトリガープローブ
で1点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP80であれば、例えば
ø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要と
する測定精度に応じて、
スキャニング速度を変え、
より効
率的に測定をすすめることができます。
オプション
求心ポイント測定
（オプション）
ロータリーテーブルMRT320を使った同期スキャニング
やオートスタイラスチェンジシステムなどのオプション
も用意しています。
SP80 仕様
SP80
測定範囲
±2.5mm
最大許容スキャニングプロービング誤差
MPETHP≦2.0μm（CRYSTA-Apex S700/900: ø8×60mmスタイラス使用時）
スプリングレート
1.8N/mm
最大スタイラス長さ
500mm※1
最大スタイラス質量
500g※1
スタイラス取付
M5ネジ
最大スキャニング速度
120mm/s［既知形状スキャニング時］
プローブヘッド
不要
対応機種
CNC 三次元測定機※2
※ 1 スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
※ 2 一部機種において取付けに制限を受ける、もしくは取付け不可の場合があります。
5
ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ SP80
6mm
寸法図
KM80
150mm
106mm
SH80 本体
11mm
21mm
41mm
SH80
5 x M5
22mm
セット構成例
SP80本体
品名
パーツ No.
SP80プローブキット#1
06ABT513
質量（kg）
2.6
備考
SP80本体、SH80、KM80、ø8×60mmスタイラス　各1
KM80
SP80本体
パーツ No.
質量（kg）
数量
SP80 adapter
品名
06ABT587
0.3
1
SP80 Probe cable
06ABT588
0.1
1
SP80 EXT cable
06ABT590
0.2
1
IU 80
06ABT525
0.51
1
SP80電源BOX
06ABT591
1
1
OPT200S-MPP2
06ABN865
0.2
1
OPT200 attachment
06AAS741
0.4
1
Control ROM (MAIN)
06ZAA058
0.01
1
Control ROM (OPT)
06ZAA059
0.01
1
質量（Mass）kg
SP80 本体
SH80
3.73
＊単品での販売ができないパーツもあります。
＊搭載する本体によってパーツNo.が異なる場合もあります。
オプションオートスタイラスチェンジャー
MRS
SP80スタイラスチェンジセット1（600mmRail仕様）/06ABT766
パーツ No.
数量
MRS kit#2
品名
06ABT529
1
3.5
SH80
06ABT523
1
0.24
SCP80
06ABT524
2
2.1
補助板
06ABG598
1
8
ACR3取付ネジ
06ABP467
1
0.05
質量kg
質量（kg）
13.89
SP80スタイラスチェンジセット2（1000mmRail仕様）/06ABT767
パーツ No.
数量
MRS kit#3
品名
06ABT530
1
3.7
SH80
06ABT523
3
0.48
SCP80
06ABT524
4
4.2
補助板
06ABG598
1
8
ACR3取付ネジ
06ABP467
1
0.05
SCP80
SCP80
34mm
230mm
質量kg
質量（kg）
16.43
128mm
6
小型・高精度スキャニングプローブ SP25M
小型・高精度スキャニングプローブ
SP25Mは外径ø25mmの小型高精度スキャニングプローブです。スキャニング測定
（測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法）の
他、高精度ポイント測定や、求心ポイント測定（下図：オプション機能）によるデー
タ収集も可能なCNC三次元測定機用の多機能プローブです。
高速スキャニング
スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法（未
知形状スキャニング）
と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既知形状
スキャニング）
とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120mm/sでの高速
スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、ポイント測
定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や真円度評価に
ついては、
より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼性を向上させるこ
とになります。
しかし、
これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなると、
非常に時間がかかります。SP25Mであれば、例えばø100mmの内径を1000点測定
する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャニ
ング速度を変え、
より効率的に測定をすすめることができます。
姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化
SP25MはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着する
ことができますので、下向き固定タイプのスキャニングプローブと比較すると、圧
倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。
また、
プローブチェンジシ
ステムによる他プローブとのコラボレーションにより、様々な形状部品測定の全
自動化も可能となります。
オプション
オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。
求心ポイント測定
（オプション）
SP25M 仕様
SP25M
測定範囲
±0.5mm
最大許容スキャニングプロービング誤差
MPETHP≦2.3μm（CRYSTA-Apex S700/900: ø4×50mmスタイラス使用時）
0.4N/mm
±2.0mm
（XY）±1.7mm
（Z）
200mm（SM25-3、SH25-3使用時）※
M3ネジ
120mm/s［既知形状スキャニング時］
必須　PH10M/PH10MQ
CNC三次元測定機
スプリングレート
オーバートラベル量
最大スタイラス長さ
スタイラス取付
最大スキャニング速度
プローブヘッド
対応機種
※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
7
小型・高精度スキャニングプローブ SP25M
取付可能スタイラス
20∼50mm
SH25-1
取付可能スタイラス
20∼75mm
(スタイラス全長50∼105mm)
310.85mm
2mm
SH25-2
SH25-3
SH25-2に
固定されて
います。
SH25-4
ø4mm
取付可能スタイラス
20∼100mm
(スタイラス全長120∼200mm)
TP20※1
module
SM25-4※2
63.05mm
ø13.25mm
SM25-3
48.05mm
SM25-2
33.85mm
ø25mm
SP25M
probe body
195.4mm
111.65mm
SM25-1
26.25mm
74.05mm
TM25-20
16.95mm
62.5mm
45.55mm
寸法図
SH25-3に
固定されて
います。
ø5.5mm
取付可能スタイラス
20∼200mm
(スタイラス全長120∼310mm)
SH25-4に
固定されて
います。
※1：TP20moduleはオプションです。
※2：SM25-4は特注対応となります。
構成
品名
パーツ No.
備考
SP25Mフルコンビネーションキット※
06ABS969
SP25M・SM25-1/2/3・SH25-1/2/3・TM25-20のセット
SP25Mプローブキット#1　06ABS970
SP25M・SM25-1・SH25-1のセット
SP25Mプローブキット#2
06ABS971
SP25M・SM25-2・SH25-2のセット
SP25Mプローブキット#3
06ABS972
SP25M・SM25-3・SH25-3のセット
SM25Mモジュールキット#1
06ABS452
SM25-1・SH25-1のセット
SM25Mモジュールキット#2
06ABS453
SM25-2・SH25-2のセット
SM25Mモジュールキット#3
06ABS454
SM25-3・SH25-3のセット
SH25-1スタイラスホルダー
06ABS455
SH25-2スタイラスホルダー
06ABS456
SH25-3スタイラスホルダー
06ABS457
TM25-20 TP20アダプタキット
06ABS475
TM25-20 TP20アダプタ
06ABS473
TP20スタンダードフォースモジュールとTM25-20のセット
＊単品での販売ができないパーツもあります。
（TM25-20、TP20module）
は、
＊ TTPモジュール
MCOSMOS V2.4以降のサポートです。
＊ TP20moduleはオプションです。
オプションオートスキャニングモジュールチェンジャー／オートスタイラスチェンジャー
m
.5m
FCR25
28mm
39
21.6mm
35mm
m
113.8m
m
.5m
74
PA25-20
PA25-5H
219.5mm
166mm
166mm
113.8mm
FCR25-L6 (6 PORT)
＊SP25Mは内部に高出力LED光源を使用しています。取扱説明書に
準じ、取扱いにはご注意ください。
FCR25-L3
＊MRSラックに搭載することもできます。
8
高精度スキャニングプローブ SP600Q
小形・高精度スキャニングプローブ
SP600Qは、CRYSTA-Apex S500シリーズに搭載可能な高精度スキャニングプロ
ーブです。
スキャニング測定（測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を
収集する測定方法）のほか、高精度ポイント測定などが可能です。
CRYSTA-ApexS500シリーズのＺスピンドルに直付けすることにより、測定空間
をより有効に利用することができます。
高速スキャニング
スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法
（未知形状スキャニング）
と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既
知形状スキャニング）
とがあります。既知形状スキャニングでは、最大 120mm/
sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定
は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度
や真円度評価については、
より多くの測定点で評価することが、測定結果の信
頼性を向上させることになります。
しかし、
これをタッチトリガープローブで 1
点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP600Qであれば、例えば
ø100mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要と
する測定精度に応じて、
スキャニング速度を変え、
より効率的に測定をすすめ
ることができます。
オプション
オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。
SP600Q 仕様
SP600Q
測定範囲
±1mm
（X,Y,Z）
最小基準変位量
スタイラス取付
0.15mm
1.176N/mm（120gf/mm）（X,Y,Z軸共）
0.17～1.18N（18～120gf）プローブ変位量により変化
最大20g※1
最大200mm※1
M4ネジ
取付け方法
三次元測定機先端に直接固定する※2
スプリングレート
測定力
最大スタイラス重量
最大スタイラス長さ
※1：スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
※2：SP600Qプローブの取付けに関しては、弊社サービス部門の技術者により行われます。お客様ご自身による脱着作業は保証対象外となりますのでご注意ください。
9
高精度スキャニングプローブ SP600Q
寸法図
構成
品名
数量
備考
A）木箱入りで納入される構成品一式
SP600Qプローブ
1
倣いプローブ本体
スタイラスモジュール
1
SP600Q本体に装着されています。
測定子
1
ø8mm先端ボール付きL50mmセラミック測定子（パーツ番号：06ABN843）
M4スタイラスツール
1
測定子着脱用工具
測定子
1
ø4mm先端ボール球付きL50mmセラミック測定子（パーツ番号：06ABQ149）
ナックルジョイント
1
MS4スタイラスナックル（パーツ番号：06AAD460）
スタイラスセンタ
1
MS4スタイラスセンタ（パーツ番号：06ABN857）
エクステンション
1
MS4-EX50C（パーツ番号：06ABN849.）
保証書
1
取扱説明書
1
B）付属する構成品一式
オプションスタイラスチェンジャSCR600
235 mm
31.50 mm
225 mm
ø55 mm
10
非接触ラインレーザプローブ SurfaceMeasure/TDS-H
超高速データ収集
SurfaceMeasureは、ライン状のレーザを測定物に照射しながら移動し、測定物
表面の座標値を収集するプローブです。75,000点/秒※の超高速データ収集す
ることができます。
※SurfaceMeasure使用時
非接触のメリット
非接触なので、接触式では変形してしまうような樹脂や肉薄部品などの弾性
体でも測定がすることができます。
パウダーレス測定
環境や測定物材質にあわせた適切なレーザ強度やカメラ感度の設定を自動
的に行うことで、パウダ・スプレーレス測定を実現しました。
より簡単、快適なレーザスキャニング環境をご提供いたします。
評価事例
収集した点群データは、各種編集・面生成・CADデータとの比較照合・CADデ
ータ化など、豊富なオプションソフトウェアによって様々な用途に活用してい
ただくことができます。
カラーサンプル板の測定
光沢物の測定
SurfaceMeasure/TDS-H 仕様
SurfaceMeasure 606
SurfaceMeasure 610
EN/IEC
レーザクラス
SurfaceMeasure 1010
SurfaceMeasure 606T
TDS-H
286mm
Class2 [ EN/IEC 60825-1(2007) ]
JIS
Class2 [ JIS C 6802 : 2011 ]
スタンドオフ
240mm
282mm
289mm
測定深さ
60mm
100mm
65mm
60mm
測定幅
60mm
3×65mm
可変：20～162mm
3×25,500点/秒
最大30,780点/秒
60mm
最大100mm
75,000点/秒
1010
289
282
115
282
TDS-H
深物・板金測定
高感度・汎用測定
140
60
93
240
606T
大物測定
286
610
深物測定
115
606
汎用測定
171
データ取得速度
65
100
100
60
60
60
11
100
60
非接触ラインレーザプローブ SurfaceMeasure/TDS-H
MSURF-S/MSURF-I
スキャニング (MSURF-S)
スキャニングパスの指定は、スキャニング開始点、スキャン
長さ、スキャン幅の３点を定義するだけです。
これら３点の
指定はカメラプレビューを確認しながらCMM をマニュアル
で操作することで容易に行えます。
●MSURF-PLANNER
（オプション）
MSURF-PLANNERは、3D CADデータからラインレーザプローブ用の測定マクロ
（面形状、要素形状）を自動生成するソフトウェアです。
測定パスは最適化（移動経路、プローブヘッド回転回数など）された内容の
ため、お客様の生産性の向上に貢献いたします。
MSURF-PLANNERによる測定マクロの自動生成
MCOSMOS（接触式データ処理）から非接触用スキャニングソフトウェアを起動できますので
接触式測定/非接触測定の融合した自動測定が可能になります。
＊MCOSMOSで作成した座標系を利用する場合には点群処理ソフトでの位置合わせは必要ありません。
＊ACRを利用しない場合、プローブは手
動で交換します。
インスペクション (MSURF-I)
● 面形状の比較
点群またはメッシュデータとCADデータを比較し、面形状の誤差をカラーマップで表示します。
誤差のカラーマップ
肉厚のカラーマップ
● 断面形状の比較
点群またはメッシュとCADデータを指定した位置で切断し、
断面形状を比較・計算することができます。
段差/隙間の評価
● フィーチャ単位での比較
点群またはメッシュデータから、様々なフィーチャを検出し、
設計データと比較することが可能です。
各種要素計算
断面評価（寸法計算）
12
クイックビジョンプローブ QVP
三次元測定機に画像測定機能を追加
QVPは、接触式プローブでは測定不可能な微小形状や、わずかな測定力でも
変形してしまうような弾性体を画像処理によって測定可能にするプローブで
す。三次元測定機に心出し顕微鏡をつけて顕微鏡的測定を行う手法は、三次
元測定機が世の中に登場した当初から利用されていましたが、位置を検出す
る作業は人間の目に頼ることとなるため、測定誤差を含みやすいという欠点
もあります。
また、CNC三次元測定機であっても、心出し顕微鏡装着時には手
動測定をせざるを得ませんでした。QVPは、CNC三次元測定機における画像
測定の全自動化を可能にするため、
ミツトヨが画像測定機で長年培ってきた
技術をベースに開発された三次元測定機用の画像プローブです。
エッジの自動検出
QVPで取り込まれた画像は、専用ソフトウェアVISIONPAKによって様々な自動
エッジ検出を行い、
さらに汎用測定プログラムGeopakによって、各種演算処理
（寸法計算・幾何偏差計算等）を行います。
白色 LED 照明を標準装備
QVPは、レンズ系を通る垂直落射照明と、明るさと長寿命に定評のある白色
LEDリング照明を標準装備していますので、従来のような外部補助照明は必
要ありません。光量は0～100%まで1%単位で自由に設定できます。
オートプローブチェンジャーへの搭載
QVPはオートプローブチェンジャーへの搭載も可能ですので、接触式プローブ
との組合せによる接触・非接触混在の全自動測定が可能になります。
QVP 仕様
QVP 本体
CCD サイズ
1/3インチ
0.375×
鏡筒倍率
照明
白色LED光源（内臓）：消費電力5W以下
落射
白色LED光源：消費電力10W以下
リング
オートジョイントタイプ：315g シャンクタイプ：390g
質量
光学倍率
観察範囲（mm）
作動距離（mm）
対物レンズ
倍率
開口数 N.A.
焦点深度（μm）
質量
QVP
I/F BOX
電源電圧
周波数
電源容量
質量
13
0.375×
9.6×12.8
59
ML1×
1.125×
3.2×4.3
72.3
ML3×
1.815×
1.9×2.6
59.5
ML5×
3.75×
1×1.3
44
ML10×
オプション
標準
オプション
オプション
0.03
306
70g
0.07
56
47g
0.11
23
59g
0.18
8
75g
AC100～240V
50/60Hz
45W
3800g
クイックビジョンプローブ QVP
QVP 寸法図
オプション
対物レンズ ML 1 ×（375-036-2）
対物レンズ ML 5 ×（375-034-1）
対物レンズ ML10 ×（375-039）
ø 70
ø 70
66
26
50
ø 25
40
66
40
32
26
ø13.99
校正ゲージ（02AQC310）
W.D.= 72.3
37.7
113
182.7
211.7
・QVPと接触式プローブと座標を共
有させるためのゲージです。
QVA-A
( オートジョイントタイプ）
校正用チャート
（02AKN020）
・QVP単体の校正を行うための
QVP-S
( シャンクタイプ）
ゲージです。
単位 : mm
演算処理部
• 専用データ処理ソフトウェア VISIONPAK
VISIONPAK は、Windows 系の三次元測定機用汎用測定プログラム上で動作
し、エッジ検出時に画像ウィンドウが自動的に表示されます。エッジ検
出後は、通常の汎用測定プログラムで各種演算を行います。
• 多彩な画像処理機能
強力な画像処理機能（ツール）によって、様々な形状のエッジ等を高速
で検出することができます。高さ方向の測定もオートフォーカスで実行
でき、また、取り込んだ画像は、画像データ（Bitmap 形式）データとし
て保存することも可能です。
• 異常点除去機能
微小形状の測定においては、測定物のバリやほこりの除去が難しく、測
定誤差を生じる要因にもなりますが、VISIONPAK では、それらを「異常点」
として認識し、回避することもできます。
VISIONPAK画像処理ツールの一例
シンプルツール
矢印上のエッジ 1 点を検出するツール
です。
ボックスツール
ボックス内のエッジを多点で線測定す
るツールです。バリやほこりを回避し
てデータを取ることもできます。
サークルツール
円状のエッジを多点で円測定するツー
ルです。ボックスツールと同様、バリ
やほこりを回避してデータを取ること
もできます。
マニュアルツール
マウスで指示（クリック）した任意の
位置を検出するツールです。
エリアセントロイドツール
任意の形状における重心点を検出する
ツールです。
エッジ自律倣いツール
開始点とピッチを指定するだけで、未
知形状を自律倣いしながらエッジ検出
を行うツールです。
14
三次元測定機用心出し顕微鏡 CF20
三次元測定機を大形顕微鏡として使用
CF20は、タッチトリガープローブでは測定が困難な、小穴や弾性体の測定を
可能にする心出し顕微鏡です。CF20を搭載することによって、三次元測定機
を大形顕微鏡として使用することができます。
様々な評価を可能にするオプション
観察・測定する対象の大きさや形状に応じて、各種倍率のレンズや、形状比較
をするための各種レチクルが用意されています。
CMM計測用TVシステム（オプション）
CF20に取付けるCCDカメラ（オプション）です。専用ソフトウェアをインストー
ルしたPCのモニタの映像を映せます。
顕微鏡を覗く作業が長時間になる作業は作業者の目に大きな負担となりま
すので、
その負担を軽減することができます。
Eyepiece
（オプション）
CMM 計測用TVシステム
CF-20単眼セット寸法図
ø14mm
接眼レンズ
50mm
211
mm
30˚
117mm
CF20本体
単眼装置
51mm
照明装置
CF20単眼セット（375-201）
CF20双眼セット（375-202）
CF20角度セット（375-203）
（ø14mm）
シャンク
シャンク
（ø14mm）
双眼装置
単眼装置
本体部
22.5mm
対物レンズ
（オプション）
CF20二重像セット（375-204）
（ø14mm）
シャンク
（ø14mm）
シャンク
二重像接眼装置
角度接眼装置
本体部
品名
仕様
10×接眼レンズA　視野数22
十字線付同心円レチクル
CF20双眼セット
（375-202）
CF20角度セット
（375-203）
10×接眼レンズA　視野数22　眼幅調節51～76mm
十字線付同心円レチクル（右）
10×角度接眼装置　視野数21　最小読取値：5'（バーニヤ）
測定範囲360° 角度目盛1°
10×二重像接眼装置　視野数22
CF20二重像セット測定物が顕微鏡の光軸から離れたとき、像がつに分離するのを利用して、
(
2
（375-204）
対物レンズ
10×型板接眼装置　視野数22　十字線付同心円レチクル・点線クロススケール
ISOメートルねじ/ユニファイねじ　ML 3×対物レンズ
＊ CF20型板セットのみ対物レンズが付属されています。
15
本体部
付属品
照明装置（375-071）
－
－
－
－
穴のピッチや直径、線のピッチや線幅を能率良く測定できます。）
CF20型板セット
（375-205）
（ø14mm）
シャンク
型板接眼装置
本体部
本体部
CF20本体
CF20単眼セット
（375-201）
CF20型板セット（375-205）
◯
1.照明装置（375-071）
2.スペアランプ（162151）
3.レンズキャップ
4.工具類
5.電源ケーブル
6.取扱説明書
7.格納箱
ランプハウス
電源BOX
三次元測定機用心出し顕微鏡 CF20
対物レンズ
（オプション）
（同焦距離）
（同焦距離）
コード No.
開口数
品名
375-031
375-032
375-033
375-037-1
375-034-1
375-039
N.A.
0.03
0.06
0.07
0.09
0.13
0.21
0.04
0.1
0.1
対物レンズCF 1X
対物レンズ CF 2X
対物レンズ CF 3X
対物レンズ ML 3X
対物レンズ ML 5X
対物レンズ ML 10X
CF ズーム
1X - 5X
375-038
1X
3X
5X
ø25
ø30
（同焦距離）
77
（作動距離）
110
（同焦距離）
44
60
（作動距離）
110
作動距離
（同焦距離）
分解能
W.D.（mm）
73.7
92
77.8
77
61
51
R（μm）
9.2
4.6
3.9
3.9
2.5
1.5
6.9
2.75
2.75
50
50
（作動距離）
110
11.5
（同焦距離）
ø37.2
ø25
ø28
ø25
ø30
66
8
37.5
5
CF zoom 1X - 5X
ø21.2
ø28
ø25
61
（作動距離）
110
77.8
（作動距離）
110
5
ML 10X
50.5
ø25
32.2
110
単位 : mm
ML 3X
ø30
92
（作動距離）
ø34
（同焦距離）
ø17
ø30
ø25
18
12
ML 5X
10.5
ø22
73.7
（作動距離）
110
5
CF 3X
ø21.5
36.3
ø30
ø25
CF 2X
ø26
ø30
CF 1X
対物レンズ単体の焦点深度
±D.F.
（μm）
質量
（g）
306
76
56
34
16.3
6.2
171
27
27
45
35
35
55
60
95
200
＊仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ=0.55μm）
をもとに算出した値になります。
＊実視野（mm）＝接眼レンズの視野数÷対物レンズの倍率で求められます。
単位 : mm
0.2
1
ツインファイバ照明装置（176-344）
10
1
リングファイバ照明装置（176-366）
0.2
ø18
（十字線付同心円）
60º
（十字線）
（90°/60°鎖線）
10
（方眼）
No. 375-021
No. 375-022
No. 375-023
No. 375-024
10倍接眼レンズ A
10倍接眼レンズ B
10倍接眼レンズ C
10倍接眼レンズ D
CMM計測用カラーTVシステム【コードNo.320-054】
①カメラシステム（CC-1000V）
ドングル
取扱説明書
CF20
ソフト
（CD）
USBケーブル (長さ5m）
カメラ
②Ｃマウントアダプタ
（Ｃ）
PC
モニタ
CF20用CMM計測用TVシステム
照番
品名
数量
1
カメラシステム
1
2
Cマウントアダプタ（C）
1
16
粗さ測定用プローブ SURFTEST PROBE
CNC 三次元測定機に粗さ測定機能を追加
SURFTEST PROBEは、CNC三次元測定機上で粗さ計測が可能な、粗さ測定用プ
ローブです。
プローブはスキッド式の粗さ検出器を採用し、
プローブ内部の駆動機構によ
り粗さ測定を行うことが可能です。粗さ測定および粗さ解析には、専用ソフト
ウェアSURFPAK-SPを使用します。
寸法計測から粗さ計測まで一括実行
三次元測定機上でワークの段取りを替えることなく、接触式粗さ計測が可能
です。PH10M/PH10MQに装着し、
プローブ姿勢を変更することで様々な傾斜面
の粗さ測定も可能です。
また、他のCMMプローブとの共存も可能で、オートプ
ローブチェンジャACR3等を使うことにより、寸法計測から粗さ計測まで全自
動で計測が可能です。
オプション
ハンディータイプ粗さ測定機、SJシリーズで培ったノウハウを活かし、対象物
に合せた多様な検出器を用意しています。
更に、
クリーニングユニット
（オプション）を使用し、
クーラントなどの水分が付
着した粗さ検出器を清掃することで、粗さ測定の信頼性を向上させることが
可能です。
SURFPAK-SP
SURFPAK-SPは、表面粗さ解析を行う三次元測定機用粗さ
プローブ「SURFTEST PROBE」専用のソフトウエアです。ISO、
JIS、ANSI、VDAなどの規格に準拠した表面粗さの解析が可
能です。MCOSMOSと連携することで、寸法測定と表面粗さ
測定を全自動で行うことができます。
SURFTEST PROBE 仕様
SURFTEST PROBE
測定範囲
駆動範囲
測定速度
触針先端半径
測定力
17
AUTO, 40, 100, 360µm
16mm
0.25, 0.5, 0.75mm/s
2µm
0.75mN
粗さ測定用プローブ SURFTEST PROBE
寸法図
(1.1)
(1.45) (26.4)
165
(193)
28
11.5
26.5
ø25
59.7
22
41
単位 : mm
31
121.5
構成
品名
パーツ No.
数量
02AQJ081
1
SURFTEST PROBE セット
SURFTEST PROBE本体
格納箱
SURFTEST PROBEインターフェイスユニット
02AUS030
1
USB CBL
02AUS427
1
ハードウェアガイド
99MBB479J
1
オプション
小穴用検出器（4mN, 90º R5µm）
極小穴用検出器（0.75mN, 60º R2µm）
パーツ番号
品名
0.6
1.4
ø6.6
ø9
61
71.5
(10.5)
ø6.6
16.4
ø9
質量：8.3g
10
ø9
70.6
60.1
1.2
4.5
1.5
4.8
深溝用検出器（178-274/178-284）
(10.5)
1.8
60º
ø6.6
.4
ø2
(10.5)
12.6
0.4
歯面用検出器（4mN, 90º R5µm）
特別付属品
(10.5)
2
3.5
深溝用検出器（0.75mN, 60º R2µm）
歯面用検出器（0.75mN, 60º R2µm）
71.2
60.7
ø3.8
R40
0.8
1.6
質量：8.2g
16.2
小穴用検出器（178-272/178-282）
極小穴用検出器（178-273/178-283）
極小穴用検出器（4mN, 90º R5µm）
深溝用検出器（4mN, 90º R5µm）
3.5
9
4
ø2.
70.8
60.3
ø9
小穴用検出器（0.75mN, 60º R2µm）
質量：7.6g
ø6.6
粗さ検出器（4mN, 90º R10µm）
12.8
ø9
質量：8.2g
1.8
粗さ検出器（4mN, 90º R5µm）
0.4
粗さ検出器（0.75mN, 60º R2µm）
(10.5)
粗さ検出器（178-270/178-280/178-281）
品名
R40
0.9
178-270
178-280
178-281
178-272
178-282
178-273
178-283
178-274
178-284
178-275
178-285
1.5
4.8
2.4
3.5
オプション
パーツ番号
16.4
71.5
61
ø13.6
R40
質量：7.8g
ø6
R40
②粗さ標準片
178-270（0.75mN, 60º R2µm）
178-280（4mN, 90º R5µm）
178-601（mm）
178-602（inch/mm）
R40
①粗さ検出器
ø6.6
必須オプション
歯面用検出器（178-275/178-285）
02AQJ101 クリーニングユニット
02AQJ207 校正用台
02AQJ210 サポートマグネット（ACR3）
18
マイクロタッチプローブ UMAP-CMM
微小かつ深さのある溝・穴の測定を可能にするタッチプローブ
従来のタッチトリガープローブでは測定不可能な微小かつ深さのある穴や
溝，角Rなどの測定を可能にします。
スタイラスの先端径はø100μmとø300μmの超小径で、エクステンション長さ
はそれぞれ10mm，16mmと非常に高いアスペクト比を実現しました。CRYSTAApex Sシリーズに装着可能です。
姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化
UMAP-CMMはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッド
に装着することができますので、様々な測定方向にある測定部位の微細形状
測定が可能です。
＊ただし、カメラ装着タイプは姿勢変更不可
スタイラスユニット仕様
UMAP110 スタイラスユニット
UMAP130 スタイラスユニット
±X, ±Y, －Z
測定方向
ø100µm
先端チップ呼び径
ø300µm
スタイラス呼び長さ
10mm
16mm
スタイラス呼び径
ø80µm
ø200µm
22g
質量（保護カバー含む）
39g
測定速度範囲
1～50µm/s
標準測定速度
10µm/s
＊但し、測定速度は三次元測定機のシステムにより異なる可能性があります。
寸法図
15.8
50.5
66.5
16
10
34.5
44.5
18
UMAP110スタイラスユニット
19
UMAP130スタイラスユニット
ねじ有効深さ測定プローブ MPP-10
世界唯一のねじ有効深さプローブ
ねじ穴は、深さが足らなければ締付けができませんし、深すぎても無駄に加
工時間が長くなったり、強度面に影響したりするため、適正な有効深さを確保
することが非常に大切です。
このねじ穴有効深さの測定は、ねじゲージと呼ば
れる専用ゲージを測定者が手でねじ込んで、その深さを確認するという方法
が一般的です。
しかし、
自動車エンジン部品ともなると、ねじ穴数が 100箇所以
上になるものもあり、ねじゲージを使った評価は非常に時間がかかるととも
に、測定者への負担を強いることになります。MPP-10は、CNC三次元測定機に
よるねじ有効深さの自動測定を可能にした世界唯一のプローブです。
姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化
MPP-10はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装
着することができますので、様々な方向にねじ穴加工がされた測定物でも、全
自動測定が可能です。
また、
プローブチェンジシステムによる他プローブとの
コラボレーションにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となります。
MPP-10 仕様
MPP-10
M4～M20
測定可能ネジ
最大測定深さ
最大測定速度
プローブ外径
M4 ～ M8 ネジ
30mm
M4 ～ M20 ネジ
60mm
M4 ～ M10 ネジ
10mm/sec
M12 ～ M20 ネジ
30mm/sec
ø25mm
20
高精度タッチトリガープローブ TP7M
高精度タッチトリガープローブ
繰り返し精度（2σ≦0.25μm）を可能にした高精度タッチトリガープローブで
す。
姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化
TP7MはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着
することができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較する
と、圧倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。
また、
プローブチ
ェンジシステムによる他プローブとのコラボレーションにより、様々な形状部
品測定の全自動化も可能となります。
ロングスタイラス対応
TP7Mには、最大150mmのスタイラス※が装着できます。PH10M/PH10MQの最
長プローブエクステンション200mmと組み合わせれば、最大350mmの位置に
到達させることができます。
＊搭載する三次元測定機本体やスタイラス材質／径などの条件によって変わります。
TP7M 仕様
TP7M
測定方向
標準スタイラス
繰り返し精度（2σ）
方向性（XY：2D）
トリガー発生力
オーバートラベル量
オーバートラベル力
最大スタイラス長さ
スタイラス取付方法
単体質量
耐久性
プローブヘッド
対応機種
※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
21
XY
Z
XY
Z
XY
Z
±X、±Y、＋Z
ø4×18mm
0.25μm以下（標準スタイラス使用時）
±0.25μm以下
0.02N（50mmスタイラス）
0.15N（50mmスタイラス）
±16°
±5mm
0.49N（50mmスタイラス）
2.94N（50mmスタイラス）
150mm※
M4ネジ
85g
1000万回
必須 PH10M/PH10MQ
CNC三次元測定機
高精度タッチトリガープローブ TP7M
寸法図
18mm
3mm
50mm
ø25mm
Sø4mm
高精度
セット
【コード
】
セット
【コード
】
TP7M
No.06ABL429
TP7M
No.06ABL429
照番
1
2
3
名称
高精度
本体
TP7M本体
TP7M
ジョイントキーS10
M4スタイラスツール
パーツ No.
06ABL7430
06ABL430
174748
181279
質量（g）
数量
85
24
3.5
1
1
2
＊単品での販売ができないパーツもあります。
スタイラスセット
【コードNo.06ABT114】
照番
名称
18
MS4-1R4.5-S
MS4-2R8-S
MS4-4R13.5-S
MS4-4R33-S
MS4-8R50C-S
MS4-8R100C-S
MS3-30C
MS4-EXT50C
MS4-EXT30C
MS4-M3EXT20
MS4-M3EXT75C
MS4-スタイラスセンサ
MS3-スタイラスセンサ
MS2-スタイラスセンサ
MS4-スタイラスツール
MS2-スタイラスツール
MS4-M3 メス—アダプタ
MS3-M2 メス—アダプタ
19
格納箱
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
パーツNo.
06ABT109
06ABK815
06ABK816
06ABT110
06ABT111
06ABT112
916492
06ABN849
06ABN848
06ABN851
06ABN853
06ABN857
06ABN839
06ABN812
181279
153140
06ABN855
06ABN837
06ABT115
仕様
数量
ø1×20mm（M4）
ø2×20mm（M4）
ø4×20mm（M4）
ø4×50mm（M4）
Sø8×50mm（M4）
Sø8×100mm（M4）
Sø30セラミック球（M3）
L50 エクステンション（M4-M4）
L30 エクステンション（M4-M4）
L20 エクステンション（M4-M4）
L75 エクステンション（M4-M3）
M4 スタイラスセンタ
M3 スタイラスセンタ
M2 スタイラスセンタ
M4 スタイラスツール
M2, M3 スタイラスツール
M4-M3 アダプタ（L9）
M3-M2 アダプタ（L5）
2
2
2
1
1
1
1
2
1
1
1
1
1
1
2
2
2
5
1
備考
高精度仕様
高精度仕様
高精度仕様
高精度仕様
高精度仕様
高精度仕様
＊単品での販売ができないパーツもあります。
・その他必要なスタイラスは、巻末のスタイラスリストより選択ください。
・プローブエクステンションは、
PH10M/PH10MQ（31～32ページ）を参照ください。
22
小型・高精度タッチトリガープローブ TP200
小型高精度タッチトリガープローブ
外径ø13.5mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便
利なタッチトリガープローブです。また、
プローブエクステンションを併用す
ることで、深い位置へのプロービングも可能となります。
姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化
TP200はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着
することができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較する
と、圧倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。
スタイラス自動交換
姿勢変更だけでは測定ができないような場合（例えば、異径スタイラスや特
殊形状スタイラスに交換しなければ測定ができないような場合）
でも、
スタイ
ラスチェンジシステムによるスタイラス自動交換で途中中断することなく全
自動測定が可能です。さらに、
プローブチェンジシステムによる他プローブと
のコラボレーションにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となりま
す。
TP200 仕様
TP200
測定方向
繰り返し精度（2σ）
方向性（XY：2D）
方向性（XYZ：3D）
トリガー発生力
オーバートラベル量
XY
Z
XY
Z
XY
オーバートラベル力
最大スタイラス長さ
最大スタイラス重量
スタイラス取付方法
単体質量
耐久性
プローブヘッド
対応機種
注意事項
SCR200
（オプション）
スタイラスモジュール交換精度
スタイラスモジュール搭載数
※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
23
Z
±X、±Y、＋Z
0.3μm以下（10mmスタイラス時）、0.4μm以下（50mmスタイラス時）
±0.4μm以下（10mmスタイラス時）、
±0.8μm以下（50mmスタイラス時）
±0.65μm以下（10mmスタイラス時）、
±1μm以下（50mmスタイラス時）
0.02N（STANDARD/LOW FORCE）50mmスタイラス使用時
0.07N（STANDARD/LOW FORCE）50mmスタイラス使用時
XY±14°
＋4.5mm
（0.07N時）、＋3mm
（0.15N時）
0.35N（STANDARD FORCE）
0.1N（LOW FORCE）
1.5N（STANDARD FORCE）
1N（LOW FORCE）
70mm（STANDARD FORCE）※
30mm（LOW FORCE）※
8g（STANDARD FORCE）、3g（LOW FORCE）※
M2ネジ
22g
1000万回
必須 PH10M/PH10MQ/MIH/PH1
CNC三次元測定機
ø1mm未満のスタイラスは、LOW FORCEモジュールで使用。強磁界での使用はできません。
繰返し位置決め精度1.0μm以下（自動交換時）…50mmスタイラス使用
＊手動交換時は2.0μm以下。…50mmスタイラス使用時
最大6本
小型・高精度タッチトリガープローブ TP200
寸法図
M8
ø13.5mm
30mm
プローブ本体
13mm
スタイラスモジュール
10mm
M2X0.4
Sø4mm
セット構成
【コードNo.06AAL268】
40
ユニット
照番
TP200
プローブ1式
06AAL251
06AAL268
スタイラス
セット
06AAL252
数量
—
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
1
TP200プローブ
2
スタイラスモジュール（標準） 06AAL254
3
清掃用具
4
ツインエンディッドスパナ
5
7
TP200用
パーツNo.
1
6
タッチトリガー
プローブ
TP200セット
名称
8
9
10
11
12
13
14
06AAL256
161534
ダブルスパナ
161535
スタイラスツール
153140
MS2-4R10
06ABN774
MS2-6R10
06ABN786
MS2-4R20
06ABN775
MS2-EXT40G
06AAL257
MS2-EXT50G
06AAL258
カーボンエクステンション用取付工具 06AAL264
格納箱
06AAL265
取扱説明書
06AAL623
備考
1
10
2
11
50
標準測定力（オーバートラベル時）
スタイラスモジュール清掃用
プローブ脱着用（S1）
プローブ脱着用（S9）
3
12
スタイラス脱着用（S7）
標準スタイラス Sø4×10（M2）
Sø6×10（M2）
Sø4×20（M2）
カーボン製エクステンション40mm
カーボン製エクステンション50mm
スタイラス収納箱
＊単品での販売ができないパーツもあります。
4
5
13
14
6
15
7
8
9
単位 : mm
オプションスタイラスモジュール自動交換装置 SCR200
オートスタイラスチェンジシステムキット（06AAL540）
No.
1
2
3
名称
パーツNo.
スタイラスモジュール（低測定力） 06AAL255
SCR200キット※
PL63
06AAL267
06AAM887
数量
1
1
1
仕様（用途）
ø1未満のボール測定子用
ラックマウントキット付き
PI200－SCR200接続ケーブル
質量（kg）
0.01
0.93
0.15
※SCR200キットの中にスタイラスモジュール（標準）
：パーツNo. 06AAL254が含まれています。
※装着するスタイラスによっては、
スタイラスとSCR200が干渉する場合があります。
24
小型タッチトリガープローブ TP20
小型タッチトリガープローブ
外径ø13.2mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便利なタ
ッチトリガープローブです。また、
プローブエクステンションを併用することで、深
い位置へのプロービングも可能となります。
姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化
TP20はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着するこ
とができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較すると、圧倒的に
測定準備時間および測定時間が短縮できます。
（CNC三次元測定機に装着の場合）
スタイラス自動交換
姿勢変更だけでは測定ができないような場合（例えば、異径スタイラスや特殊形状
スタイラスに交換しなければ測定ができないような場合）でも、
プローブモジュー
ルチェンジシステムによるスタイラス自動交換で途中中断することなく全自動測定
が可能です。
さらに、
プローブチェンジシステムによる他プローブとのコラボレーシ
ョンにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となります。
（CNC三次元測定機
に装着の場合）
TP20 仕様
TP20
測定方向
繰り返し精度（2σ）
方向性（XY：2D）
方向性（XYZ：3D）
XY
トリガー発生力
Z
XY
オーバートラベル量
Z
XY
オーバートラベル力
最大スタイラス長さ
スタイラス取付方法
単体質量
耐久性
プローブヘッド
対応機種
MCR20
（オプション）
0.75N（STANDARD FORCE）
1.9N（MEDIUM FORCE）
±14°
＋4.0mm
（STANDARD FORCE）
＋3.7mm
（MEDIUM FORCE）
0.2～0.3N（STANDARD FORCE）
0.2～0.4N（MEDIUM FORCE）
3.5N（STANDARD FORCE）
7N（MEDIUM FORCE）
50mm（STANDARD FORCE）※
60mm（MEDIUM FORCE）※
M2ネジ
22g（プローブボディ13g、プローブモジュール9g）
100万回
必須 PH10M/PH10MQ/MIH/PH1
マニュアル/CNC三次元測定機
注意事項
強磁界での使用はできません。
プローブモジュール交換精度
繰返し位置決め精度1.0μm以下（自動交換時）…10mmスタイラス使用
＊手動交換時は2.0μm以下。…50mmスタイラス使用時
プローブモジュール搭載数
最大6本
※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
25
Z
±X、±Y、＋Z
0.35μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）
±0.8μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、
±2.5μm以下（50mmスタイラス時）
±1μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、
±4μm以下（50mmスタイラス時）
0.08N（STANDARD FORCE）10mmスタイラス時
0.1N（MEDIUM FORCE）25mmスタイラス使用時
小型タッチトリガープローブ TP20
寸法図
ø13.2mm
M8
19mm
プローブ本体
10mm
3mm
19mm
プローブモジュール
M2X0.4
Sø4mm
セット構成
【コードNo.06AAV547】
ユニット
照番
1
2
タッチトリ
ガー
プローブ
TP20セット
06AAV547
3
4
5
6
7
8
9
名称
パーツNo.
TP20本体プローブ
06AAV542
プローブモジュール［STANDARD］ 06AAV543
プローブモジュール［MEDIUM］ 06AAV544
清掃用具
06AAL256
シングルエンディドスパナ 161534
ダブルスパナ
161535
スタイラスツール
153140
取扱説明書
99MCA060J
保証書
06AAL253
数量
質量
（g）
1
1
1
1
1
2
1
1
1
13
9
9
54
5
5
1
100
1
450
仕様（用途）
1
4
2
5
7
測定力（小）
8
測定力（中）
プローブモジュール清掃用
プローブ脱着用
プローブ脱着用
スタイラス脱着用
9
6
3
梱包箱を含めた総質量
＊単品での販売ができないパーツもあります。
オプション
プローブモジュール
スタンダードフォースモジュール（パーツNo.06AAV543）
ミディアムフォースモジュール（パーツNo.06AAV544）
EM1（エクステンション付スタンダードフォースモジュール）
（パーツNo.06ABQ393）
EM2（エクステンション付スタンダードフォースモジュール）
（パーツNo.06ABN437）
エクステンションと
プローブモジュール
は一体となっていて、
取り外せません。
10mm
50mm
100mm
プローブモジュール自動交換装置 MCR20
200mm
ユニット
MCR20
セット
パーツNo.
06AAV546
数量
1
質量(Kg)
付属品
1.3
付属品
・ø2×30mmスタイラス
1
・プローブモジュール
2
（スタンダードフォース）
・マウンティングキット
1
15mm
60mm
145mm
55mm
26
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i
マニュアルプローブヘッド付き小型タッチトリガープローブ
プローブモジュール部は外形ø13.2mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部
位へのプロービングに便利なマニュアル（手動式）
プローブヘッド付タッチト
リガープローブです。
また、50mmおよび70mmのエクステンション付きプロー
ブモジュールも用意されています。
姿勢の位置決めが可能
MH20iのプローブヘッド部は、手動で姿勢（方向）変更を行うことができるとと
もに、168姿勢への位置決め（位置決め再現精度σ≦1.5μm）が可能な構造
になっています。姿勢変更を繰り返し必要とする複雑な立体形状測定の場合
には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更による再キャリブレーション
が不要となり、測定効率の向上が図れます。
MH20i 仕様
MH20i
±X、±Y、＋Z
測定方向
姿勢範囲
手動　A軸（縦方向）：0～90°（15°ピッチ）、
B軸（水平方向）：±180°（15°ピッチ）
繰返し位置決め精度
σ≦1.5μm
繰り返し精度（2σ）
0.35μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）
方向性（XY：2D）
±0.8μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、
±2.5μm以下（50mmスタイラス時）
方向性（XYZ：3D）
XY
トリガー発生力
Z
XY
オーバートラベル量
Z
XY
オーバートラベル力
最大スタイラス長さ
スタイラス取付方法
耐久性
250g
100万回
プローブ単体質量
プローブヘッド
不要
対応機種
マニュアル/CNC三次元測定機
注意事項
強磁界での使用はできません。
※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
27
Z
±1μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、
±4μm以下（50mmスタイラス時）
0.08N（STANDARD FORCE）10mmスタイラス時
0.1N（MEDIUM FORCE）25mmスタイラス使用時
0.75N（STANDARD FORCE）
1.9N（MEDIUM FORCE）
±14°
＋4.0mm
（STANDARD FORCE）
＋3.7mm
（MEDIUM FORCE）
0.2～0.3N（STANDARD FORCE）
0.2～0.4N（MEDIUM FORCE）
3.5N（STANDARD FORCE）
7N（MEDIUM FORCE）
10N（EXTENDED FORCE）
50mm（STANDARD FORCE）※
60mm（MEDIUM FORCE）※
M2ネジ
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i
寸法図
ø14mm
10mm 19.5mm
77mm
53mm
ø48mm
プローブモジュール
5.7mm
セット構成
ユニット
MH20i単体
コードNo.
06ABN436
MH20iセット
コードNo.
06ABN470
照番
1
2
3
4
5
6
7
8
9
名称
位置決めシャンク
パーツNo.
06ABN469
06AAV543
06AAL256
153140
160589
スタイラス
—
六角棒スパナ（2mm）
06AAA943
06AAA944
99MCA265J
MH20i
プローブモジュール
清掃用具
MS2-スタイラスツール
六角棒スパナ（3mm）
取扱説明書
数量
質量（g）
1
1
1
1
1
1
1
1
1
0.25
0.01
0.05
0.003
0.15
0.001
0.001
0.001
0.1
備考
STANDARD TYPE
スタイラスモジュール清掃用
スタイラス脱着用
ø４×10（標準スタイラス）
＊単品での販売ができないパーツもあります。
5
7
3
8
1
4
2
9
6
オプションスタイラスモジュール
スタンダードフォースモジュール（パーツNo.06AAV543）
ミディアムフォースモジュール（パーツNo.06AAV544）
EM1（エクステンション付スタンダードフォースモジュール）
（パーツNo.06ABQ393）
EM2（エクステンション付スタンダードフォースモジュール）
（パーツNo.06ABN437）
エクステンションと
プローブモジュール
は一体となっていて、
取り外せません。
10mm
50mm
100mm
28
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20
マニュアルプローブヘッド付き小型タッチトリガープローブ
マニュアル三次元測定機用のマニュアル（手動式）
プローブヘッド付きタッチ
トリガープローブです。
プローブモジュール部は外形 ø13.2mmと非常にコン
パクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便利です。また、50mmおよび
70mmのエクステンション付きプローブモジュールも用意されています。
姿勢変更
手動による任意方向への姿勢変更ができます。
（右側のつまみを緩めて姿勢
変更をした後、つまみを締めるだけです。姿勢変更のために、六角レンチなど
の工具は必要ありません。
）
MH20 仕様
MH20
測定方向
±X、±Y、＋Z
姿勢範囲
耐久性
手動　A軸（縦方向）：±93°、B軸（水平方向）：±300°任意位置固定
0.35μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）
±0.8μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、
±2.5μm以下（50mmスタイラス時）
±1μm以下（STANDARD FORCE 10mmスタイラス時）、
±4μm以下（50mmスタイラス時）
0.08N（STANDARD FORCE）10mmスタイラス時
0.1N（MEDIUM FORCE）25mmスタイラス使用時
0.75N（STANDARD FORCE）
1.9N（MEDIUM FORCE）
XY±14°
＋4.0mm
（STANDARD FORCE）
＋3.7mm
（MEDIUM FORCE）
0.2～0.3N（STANDARD FORCE）
0.2～0.4N（MEDIUM FORCE）
3.5N（STANDARD FORCE）
7N（MEDIUM FORCE）
50mm（STANDARD FORCE）＊
60mm（MEDIUM FORCE）＊
M2ネジ
22g（プローブボディ13g、プローブモジュール9g）
100万回
対応機種
マニュアル三次元測定機
注意事項
強磁界での使用はできません。
繰り返し精度
（2σ）
方向性（XY：2D）
方向性（XYZ：3D）
XY
トリガー発生力
Z
XY
オーバートラベル量
Z
XY
オーバートラベル力
最大スタイラス長さ
スタイラス取付方法
単体質量
＊スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
29
Z
マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20
寸法図
単位 : mm
ø14
90
47
24
クランプ
中心
10
93º
93º
プローブモジュール
±300°回転
セット構成
ユニット
品名
No.
1-1 MH20
MH20
セット
標準構成
1
セットNo.
06AAZ727
2
3
1-2 TP20 スタンダードモジュール
MH20キット
1-3 スタイラス
No.06AAZ726
1-4 クリーニングキット
1-5 MS2- スタイラスツール
取扱説明書
保証書
パーツNo.
06AAZ728
06AAV543
06ABN774
06AAL256
153140
99MCA205J
数量
1
1
1
1
2
1
1
質量（g）
備考
プローブヘッド本体
測定力（小）
0.3
ø4×10（標準スタイラス）
プローブモジュール接合部清掃用
スタイラス取付用工具
0.1
0.01
＊単品での販売ができないパーツもあります。
1-3
1-1
1-4
1-5
1-2
30
モータライズ・プローブヘッド PH10M/PH10MQ
姿勢自動変更による効率向上
先端に取りつけたプローブ姿勢を自動制御することができるプローブヘッド
です。
（姿勢変更は、手動時は付属のコントロールボックスか、
ソフトウェア上
で角度を指示することによって行い、その姿勢を記憶させておけば、
その姿勢
を呼び出すだけで、
自動的に姿勢変更が行われます。
）
多面体の測定を姿勢変更ができないプローブで行う場合には、十字スタイラ
スのように複数のスタイラスを取りつけて、測定物上面は下向きのスタイラ
スで、側面は横向きのスタイラスで測定することになりますが、測定物が複
雑になると、他のスタイラスが干渉して目標位置へのプロービングができな
くなる場合が少なくありません。
また、指定角度でスタイラスを取りつけたい
場合なども姿勢変更ができないと、かなり面倒な作業となってしまいます。更
に、姿勢自動変更はスタイラス自動交換よりも圧倒的に短時間での測定が可
能となり、三次元測定機による測定のトータル工数の大幅な効率化が可能に
なります。
720 姿勢への高精度位置決め
PH10M/PH10MQは、最大720方向への姿勢変更ができますので、1本のスタイ
ラスで 720 本のスタイラスを付けているのと同じ仕事ができることになりま
す。
また、同一姿勢への再現性が2σ≦0.5μmと高いため、繰り返し同一姿勢
を呼び出して測定をするような場合でも、再キャリブレーションを行う必要が
ありません。
各種プローブ搭載が可能
先端には、
タッチトリガープローブだけでなく、
スキャニングプローブ、画像プ
ローブ、
レーザプローブ、ねじ有効深さ測定プローブなどの様々なプローブを
搭載することができます。
また、それらのプローブはプローブチェンジャー（オプション）による自動交換
も可能ですので、非常に幅広い測定対象において全自動測定を実行すること
ができます。
＊プローブ自動交換においては、未対応のプローブもありますので、
ご注意ください。
PH10M/PH10MQ 仕様
PH10M/PH10MQ
姿勢範囲
水平方向
±180°（7.5°ピッチ　48ポジション）
0～105°（7.5°ピッチ　15ポジション）
2σ≦0.4μm（PAA1＋TP20＋L10mmスタイラス装着時）
PEM1、PEM2、PEM3、PAA1、PAA2、PAA3
エクステンションの複数連結使用はできません。ただし、
PAA＋PECF1、PAA1＋PECF2、PAA1＋PECF3
垂直方向
繰返し位置決め精度
エクステンション
の使用は可能です。
対応機種
耐久性
31
SurfaceMeasure606/TDS-H/QVPについては、エクステンションの使用はできません。
CNC三次元測定機
100万回
モータライズ・プローブヘッド PH10M/PH10MQ
PH10M寸法図
PH10MQ寸法図
73mm
62mm
ø14mm
38mm
38mm
73mm
130mm
PH10MQアダプタ
80mm
オートジョイント
オートジョイント部
エクステンション
符号
パーツNo.
外観図
備考欄
32mm
PAA1
909460
PECF1
06ABM152
PECF2
06ABM153
PECF3
06ABM154
TP200/TP20用
※プローブヘッド装着後全長 30mm となります。
50mm
TP200/TP20用
100mm
TP200/TP20用
200mm
TP200/TP20用
300mm
PAA3
916147
PEM1
916495
PEM2
916496
PEM3
916497
TP200/TP20用
50mm
SP25M/TP7M用
100mm
SP25M/TP7M用
200mm
TP7M用
セット構成
名称
No.
1
PH10M
ヘッド
セット
※
ジョイントキーS10
174748
908756
06AAA943
06AAA944
六角棒スパナ呼び1.5
六角棒スパナ呼び2
六角棒スパナ呼び2.5
2
3
4
5
6
パーツNo.
PH10Mヘッド
PH10MQヘッド
PH10MQ ジョイントキーS10
ヘッド
六角棒スパナ呼び1.5
セット
六角棒スパナ呼び2
HCU-1
PHC10-2（RS232C）
PAA1
取扱説明書
※
174748
908756
06AAA944
06AAN820
06AAR547
909460
99MCA034
数量
備考
1
1
1
2
1
1
1
1
1
1
質量（g）
2
2.0
2.0
プローブヘッド位置決め用コントローラ
測定機側CPUとのインターフェイス　動作エラー表示
TP200をPH10Mに装着する為のアダプタ
PH10Mヘッド用取扱説明書
0.8
2.2
0.06
0.1
3
4
5
＊単品での販売ができないパーツもあります。
※ 搭載する本体や装着するプローブによってパーツ No. は異なります。また、追加になるパーツ類もあります。
6
32
マニュアルプローブヘッド MIH
720 姿勢への高精度位置決め
MIHは、手動で720姿勢（方向）への位置決めを行うことができます。繰り返し
位置決め精度もσ≦1.5μmと高いため、姿勢変更を繰り返し必要とする複雑
な立体形状測定の場合には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更によ
る再キャリブレーションが不要となり、測定効率の向上が図れます。MIH本体
の液晶表示で、現在位置を確認することもできます。
最大 300mm のプローブエクステンション
MIHには、最大300mmのプローブエクステンションを搭載することができま
す。例えば、TP2-5W＋50mmスタイラスを組み合わせると、約400mmの長さま
でプローブ到達位置を伸ばすことができます。
MIH 仕様
MIH
姿勢範囲
±180°（7.5°ピッチ　48ポジション）
垂直方向
0～105°（7.5°ピッチ　15ポジション）
繰返し位置決め精度
σ≦1.5μm
搭載プローブ
TP200※、TP20、TP2-5W
エクステンション
PECF1、PECF2、PECF3
対応機種
マニュアル三次元測定機
※別途インターフェース
（PI200）が必要です。
33
水平方向
マニュアルプローブヘッド MIH
寸法図
76.5mm
111mm
ø14mm
オートジョイント部
ø62mm
セット構成
名称
No.
パーツNo.
質量（kg）数量
備考
移動角度：水平方向（B軸）±180°（7.5°飛び48ヶ所）
垂直方向（A軸）0～105°（7.5°飛び15ヶ所）
1-1 MIHヘッド
1
繰返位置決精度（σ）：1.5μm
（同上）
MIH
ヘッドキット
1-2 ジョイントキーS10
セット
六角棒スパナ呼び2
174748
—
1-3 電池PX28L
1-4 MIH用木箱
PAA1
—
—
909460
161534
161535
160589
シングルエンディッドスパナ
ダブルスパナ
位置決めシャンク
1.5
—
六角棒スパナ呼び2.5
2
3
4
5
6
7
（PAA1＋TP2-5W＋スタイラスø3＋EWL7.5 取付時）
空間位置決精度：0.3mm
1
—
保証書
取扱説明書
＊単品での販売ができないパーツもあります。
※標準付属品ではありません。お客様にてご用意ください。
0.06
0.01
0.005
0.14
0.001
0.05
質量：約730g
1
1
1
2
1
1
1
1
1
1
1
プローブ取付用
位置決めブロック調整、電池交換用
シャンク取付用
6Vリチウム電池（Duracell製）　互換電池 4SR44（Panasonic製）※
MIHとプローブを接続するアダプタ　長さ32mm
TP2、エクステンション締め付け用
TP2、エクステンション締め付け用
MIHヘッドに取付（ミツトヨ製）
1-1
1-2
1-3
1-4
2
3
4
オプションプローブエクステンション
符号
パーツNo.
外観図
50mm
PECF1
06ABM152
100mm
PECF2
06ABM153
200mm
PECF3
06ABM154
34
マニュアルプローブヘッド PH1
マニュアルプローブヘッド
TP200/TP20用のマニュアルプローブヘッドです。
姿勢変更
取りつけたプローブを手動で任意の方向に姿勢変更させることができます。
エクステンション
最大200mmのプローブエクステンションを挿入することができます。
PH1 仕様
PH1
姿勢範囲
360°（15°ピッチ）
ø14mmシャンク部ごと回転させれば無段階
垂直方向
±115°無段階
搭載プローブ
TP200、TP20
エクステンション
PECF1、PECF2、PECF3
対応機種
マニュアル・CNC三次元測定機
が必要です。
※別途インターフェース
（PI200）
35
水平方向
マニュアルプローブヘッド PH1
寸法図
単位 : mm
ø15
50
36
ø41
17
M8
30
48
ø30
オプションエクステンション
符号
パーツNo.
外観図
50mm
PECF1
06ABM152
PECF2
06ABM153
PECF3
06ABM154
ø41mm
ø14mm
100mm
50mm
36mm
200mm
M8
ø30mm
PECF3 接続例
36
高速5軸制御スキャニングヘッド REVO-2
超高速5軸スキャニング
最大500mm/sの超高速スキャニングが可能です。
また三次元測定機のX,Y,Zの
3軸、REVO-2のA,Bの2軸、合計5軸同時制御でのスキャニングが可能で複雑な
ワークに対する一括スキャニングが可能です。
またREVO-2特有のさまざまな測定動作をサポートしています。
ロータリーエンコーダを使用することで無限の角度位置決めが可能です（分
解能=0.08秒）。
これにより複雑なワークへのアクセスも容易になり、
プログラ
ミング時間、測定時間の短縮につながります。
REVO-2は専用の三次元測定機システムCRYSTA-Apex EX 1200Rシリーズでの
み使用可能なプローブとなります。
REVO-2 仕様
REVO-2
姿勢範囲（角度ピッチ）
垂直方向（A軸）
5°
～+120（
°0.08秒）
水平方向（B軸）
∞
（0.08秒）
500㎜（プローブ回転中心からスタイラス先端までの距離）※
最大スタイラス長さ
※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
5軸制御タッチトリガーシステム PH20
自由な姿勢で複雑形状のワークを効率よく測定
あらゆる角度への位置決めが可能で、ヘッドタッチによる測定ができます。
あ
らゆる傾斜面の測定や間口が狭く奥が広い穴の測定などにも有効です。深穴
測定時のスタイラスシャンク部の干渉の心配もありません。
5軸動作により角度変更の時間を縮小し、ヘッドタッチによる高速測定を実現
します。
TP20の標準モジュールを使用しモジュール
チェンジャーにも対応しています。
ワークがなくても3D CADデータがあれば、
PC上で測定プログラムを作成できます。ジ
ョイスティックによる作成よりも効率よくか
つ、干渉チェックも可能となります。
P H 2 0 は専用の三次元測定機システム
CRYSTA-Apex EX Tシリーズでのみ使用可能
なプローブとなります。
PH20 仕様
PH20
姿勢範囲（角度ピッチ）
垂直方向（A軸）
－115º～＋115º
（0.08秒）
水平方向（B軸）
∞
（0.08秒）
最大スタイラス長さ
※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。
37
50mm※
オートプローブチェンジャー ACR3
プローブ自動交換の必要性
ACR3は、PH10M/PH10MQ用のオートプローブチェンジャーです。スタイラス自
動交換ができないプローブにおいて、
スタイラス径や長さを変えながら全自
動させたい時や、接触式プローブと非接触プローブを交換しながら全自動測
定を行いたいような場合に必要です。
ロック
解除
構造の簡素化
従来のプローブ自動交換装置は、ロックのON/OFFを行うためのモータを内蔵
していたため、高価であった上、耐久性にも課題がありました。ACR3は、CNC
三次元測定機の駆動を利用して自動交換させるという新機構を採用したた
め構造が簡素化され、耐久性も向上しました。
ロック
寸法図
単位 : mm
610
147
185
88.7
333
106
フリー
ロック
UNLOCKED
LOCKED
16
CENTER POSITION
セット構成
ユニット
ACR3
4ポートシステム
［06AED123］
ACR3
8ポートシステム
［06AED124］
No.
1
2
3
4
5
6
1
2
3
4
5
6
品名
パーツNo. 数量質量（kg）
06ABN438
1
1.5
06ABN607
1
3.5
補助板
06ABG598
1
8
ACR3取付ネジ 06ABP467
1
0.05
取扱説明書
99MCA273J 1
0.1
制御ROM
1
0.01
ACR3
06ABN438
2
1.5
MRS KIT2
06ABN607
1
3.5
補助板
06ABG598
1
8
ACR3取付ネジ 06ABP467
1
0.05
取扱説明書
99MCA273J 1
0.1
制御ROM
1
0.01
ACR3
MRS KIT2
備考
4ポートラック
1
2
3
4
ラックベース
固定用補助板
取付用部品
日本語版
ACR3対応
4ポートラック
ラックベース
固定用補助板
取付用部品
日本語版
ACR3対応
＊単品での販売ができないパーツもあります。
38
スタイラスの豆知識
より正確で高精度な測定をする為にはスタイラスが非常に重要な要素となります。
ここではスタイラスを選定いただく際のヒントとなる
豆知識をご紹介致します。
スタイラスとは、測定物に接触する測定子のことを指し、一般的に軸とボールで構成されております。
スタイラスを測定物と接触させ
ることでプローブが機能し、
このとき生じる信号により測定値を取得します。測定物によって使用するスタイラスの形状や寸法を選択
することになりますが、
どのような場合もスタイラスが高い剛性を持つこと、および先端形状が完全な球形であることが重要なポイン
トとなります。
■スタイラスの選定
より高精度な測定をしていただくため、
スタイラスの選定におかれましては下記の事項を基準にお選びいただくことを推奨致します。
1. スタイラス長はできるだけ短くする
スタイラスの曲がりやたわみが大きいほど精度は悪くなります。
どのようなアプリケーションでも、出来るだけ短いスタイラスでの
測定をお勧め致します。
2. 結合部を出来るだけ少なくする
スタイラスを組み合わせたり、エクステンションを組み合わせることで、たわみが発生する可能性が高まります。
アプリケーションに
対して最小限のパーツを使用する事をお勧め致します。
3. 出来るだけ大きなボールを使用する
より大きなボールを使用する事により、ボールと軸とのクリアランスが広がり測定物に対し軸が干渉することを低減することが出来
ます。
また、測定物の表面仕上げへの影響も少なくなります。
■スタイラスの素材
スタイラスには用途にあわせ、軸、ボール、その他付属品に対し、最適な材質を使用しております。
ここでは主に使用されている材質の
特徴、
メリットをご紹介致します。
1. 軸
スタイラスのたわみを抑えるには、軸の剛性を出来る限り強くする必要があります。
ミツトヨでは下記の材質の物をご用意致してお
ります。
■ 超硬
小さな軸径のスタイラスで優れた剛性を発揮し、ほとんどの標準的な用途に最適です。大きな軸径及び、長いスタイラス
では重量に注意する必要があります。
39
■
スチール
剛性に優れ、重量が問題にならないような場合に標準的に用いられます。
■ セラミック
軽い素材の為、主にスタイラスで用いられます。熱安定性に優れ、温度環境に左右されず精度の高い測定が可能です。
■ カーボンファイバ
カーボンファイバスタイラスは超硬スタイラスの20％程度の重量である為、長いスタイラスに適した材質です。熱安定性
にも優れ、使用環境に左右されずご使用いただけます。
また、測定物の表面仕上げへの影響も少なくなります。
2. ボール
スタイラス球の材質を選ぶ際には測定方法とワークの素材を考慮する必要があります。
■ ルビー
ルビーボールは表面が特に滑らかで、圧縮強度が強く、機械払拭に対して優れた特性を有しています。
多くの測定物に対し、ボールの材質として最適ですが、
アルミニウム、鋳鉄に対してはスキャニング測定時に摩耗が発生する
ことがある為、その場合には下記の素材のボールのご使用をお勧め致します。
■ 窒化珪素
ルビーに類似した特性を有し、硬度が非常に高く摩耗に強いセラミック材です。窒化珪素はアルミニウムと融合しない為、ル
ビーのような凝着摩耗が発生しません。
しかし、
スチール面に対しては摩耗が顕著となる為、窒化珪素の使用はアルミニウム
に限定することをお勧めします。
■ ジルコニア
ジルコニアは特に優れた硬度を誇るセラミック材でルビーに匹敵する硬度と摩耗特性を有します。ジルコニアは表面の特
質により、鋳鉄備品のスキャニングに最適です。
■スタイラスのキャリブレーション
測定物に対し適切なスタイラスを選定いただいても、測定の前に使用するプローブのキャリブレーションを行わなければ正確な測定
結果を得ることはできません。
キャリブレーションで得たボールの直径値と位置情報を三次元測定機のソフトウエアに登録することで初めてスタイラスがその性能
を発揮します。
■
キャリブレーションのメカニズム
専用のプローブキャリブレーションプログラムを用いて、
それぞれのボールスタイラス球の中心位置と直径を計算します。
構成するスタイラス球で基準球を測定し、
スタイラス球の真の直径を求め、測定機のソフトウエアに登録します。通常、基準球には
直径の値付けされた精密な球を使用し、キャリブレーションされた球の値を、計測ソフトウエアに入力します。あらゆる方向の測定
をする場合、基準球のいくつかの点を用いてスタイラスの校正をします。
スキャニングシステムでは非常に多くの点を取得する必
要があります。
これらの手順を踏むことにより、
スタイラス球の補正された有効直径と機械の座標に対するスタイラス球の中心位置
が設定され、正確な測定を行うことが可能になります。
■スタイラスに関する注意事項
■
スタイラスの長さ、重さ、ならびに三次元測定機本体の駆動速度や加速度によっては誤入力の可能性がありますのでご使用の際は
ご注意ください。
■
ディスクスタイラスは、球体の一部を用いており、エッジやアンダーカットを測定する際に使用します。
このスタイラスは、一つの直
径のみを補正するため、実際の測定はX、Y方向のみとなります。Ｚ方向の測定には使用できません。
またスタイラスチェンジャーと
■
円筒スタイラスの使用には制限があります。
■
制限事項の詳細については弊社営業所にお問い合わせください。
■
M2～M5シリーズの測定子は基本的にはそれぞれのプローブのねじサイズに合ったものをお選びください。
併用する必要があります。
変換アダプタ等を使用してねじサイズの異なる測定子を取付けることができる場合もありますが、その際には装着するプローブの
取扱説明書をご参照いただき、それぞれのプローブの仕様に合わせた測定子構成を選択してください。
また、取付け方法について
不明な部分がございましたら別途弊社営業所までお問い合わせください。
40
三次元測定機用スタイラスの品名判別方法
スタイラスの品名から、おおよそのスタイラス形状が判別できるようになっています。
（下記をご参照ください。）
EWL
1 ボールスタイラスの場合
MS 2 - 0.5 R 3 C
EWL：ボールに軸部分が干渉しない有効長さ
軸の材質
ミツトヨ製スタイラス
C…セラミック
先端部材質
取付ネジ径
なし…その他
R …ルビー
SN …窒化珪素
Z …ジルコニア
先端ボール径
有効長さ
（EWL）
注：EWL以下の測定深さでもワークと干渉する場
合があります。EWLが長い、またはその径が細い
スタイラスを使用すると、測定力（ワークに接触さ
せる力）によるたわみによって、測定誤差が大き
くなることがあります。また、強くワークに接触さ
せると、スタイラスを破損させる恐れがあります
ので取扱いにご注意ください。
2 円筒スタイラスの場合
MS 2 - CY 3 R 6
EWL
ミツトヨ製スタイラス
有効長さ
（EWL）
取付ネジ径
円筒径
先端部材質
R…ルビー
H…超硬
円筒
̶…それ以外
3 ディスクスタイラスの場合
MS 2 - DISC 12 - 2
ミツトヨ製スタイラス
ディスク厚み
取付ネジ径
ディスク径
ディスク径
先端部材質
ディスク厚み
R…ルビー
ディスク
̶…ルビー以外
4 十字スタイラスの場合
EWL
MS 2 - STAR 2 R 2.5
ミツトヨ製スタイラス
有効長さ
（EWL）
取付ネジ径
ボール径
先端部材質
十字スタイラス
R…ルビー
̶…ルビー以外
5 その他の場合
①ポイントスタイラス
②エクステンション
③スタイラスナックル
④スタイラスセンタ
41
MS2-PO（先端が超硬の場合、さらにHがつきます。）
MS2-EXT10（後ろの数字は長さ。軸がカーボンファイバならさらに後ろにG、
セラミックならCがつきます。
）
MS2-スタイラスナックル（スタイラスを任意の角度に曲げるためのアダプタです。）
MS-スタイラスセンタ（十字方向にスタイラスを取付けることができるアダプタです。）
スタイラス（取付部ネジ径：M2）
超硬
ø0.2
06ABN751
MS2-0.3R2
36,000円
2
M2X0.4
Sø0.3ルビー球
10
コードNo.
品名
標準価格
ø0.3
ø3
ø0.5
ø3
窒化珪素
ø0.7
ø3
質量 : 0.6g
超硬
M2X0.4
ジルコニア
Sø1
12.5
20
質量 : 0.41g
超硬
Sø1
20.5
M2X0.4
ジルコニア
27.5
M2X0.4
06ABF409
MS2-1R37
28,000 円
Sø1
7
20
06ABN757 06AFG324 06AFG396
MS2-1R20.5 MS2-1SN20.5 MS2-1Z20.5
22,000 円 26,400 円 33,000 円
ルビー
質量 : 0.3g
超硬
M2X0.4
06ABN756 06AFG323 06AFG395
MS2-1R12.5 MS2-1SN12.5 MS2-1Z12.5
18,000 円 21,600 円 27,000 円
窒化珪素
Sø1
ø0.7
ジルコニア
4.5
10
ø0.8
ルビー
質量 : 0.3g
ステンレス
ø0.67
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06AFG394
MS2-1Z7
24,000 円
ルビー
Sø0.7
4
M2X0.4
ジルコニア
06ABN755 06AFG322
MS2-1R7 MS2-1SN7
16,000 円 19,200 円
窒化珪素
・通常の測定子に比較して寿命が短くなる
場合があります。
・セラミックマスターボール
（高精度タイプ）
Sø10mmの使用を推奨します。
10
質量 : 0.4g
Sø1ルビー球
超硬
ø0.7
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
窒化珪素
質量 : 0.3g
超硬
M2X0.4
ジルコニア
06ABN754 06AFG321 06AFG393
MS2-1R4.5 MS2-1SN4.5 MS2-1Z4.5
12,000 円 14,400 円 18,000 円
ルビー
Sø0.5
10
06ABN753 06AFG392
MS2-0.7R4 MS2-0.7Z4
53,000 円 80,000 円
ルビー
3
M2X0.4
ジルコニア
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
窒化珪素
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
・通常の測定子に比較して寿命が短くなる
場合があります。
・TP200への装着は推奨できません。
・セラミックマスターボール
（高精度タイプ）
Sø10mmの使用を推奨します。
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN752 06AFG320 06AFG391
MS2-0.5R3 MS2-0.5SN3 MS2-0.5Z3
36,000 円 60,000 円 64,000 円
質量 : 0.3g
超硬
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
窒化珪素
ジルコニア
06ABN761 06AFG328
MS2-2R6 MS2-2SN6
12,000 円 14,400 円
06AFG400
MS2-2Z6
18,000 円
ルビー
ジルコニア
窒化珪素
ø0.7
ø3
ø1
ø3
12.5
M2X0.4
ジルコニア
Sø1.5
20
質量 : 0.46g
超硬
ø1
06ABN760 06AFG327 06AFG399
MS2-1.5R22.5 MS2-1.5SN22.5 MS2-1.5Z22.5
23,000 円 27,600 円 34,500 円
質量 : 0.3g
超硬
Sø1.5
22.5
M2X0.4
30
質量 : 0.58g
ステンレス
ø1
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
窒化珪素
Sø1.5
10
06ABN759 06AFG326 06AFG398
MS2-1.5R12.5 MS2-1.5SN12.5 MS2-1.5Z12.5
18,000 円 21,600 円 27,000 円
ルビー
4.5
M2X0.4
ジルコニア
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
窒化珪素
質量 : 0.9g
ステンレス
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN758 06AFG325 06AFG397
MS2-1.5R4.5 MS2-1.5SN4.5 MS2-1.5Z4.5
12,000 円 14,400 円 18,000 円
ルビー
※
・TP200への装着はできません。
TP20への装着は
推奨できません。
37
52
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
・測定力0.4N以下でご使用ください。
・TP200への装着はできません。
・直送はいたしません。
・通常の測定子に比較して寿命が短くなる
場合があります。
・セラミックマスターボール
（高精度タイプ）
Sø10mmの使用を推奨します。
ø3
コードNo.
品名
標準価格
M2X0.4
6
10
Sø2
質量 : 0.3g
※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。
42
コードNo.
品名
標準価格
窒化珪素
ø1.4
ø3
窒化珪素
窒化珪素
ø3
Sø2
22.5
30
質量 : 0.99g
※
・TP200への装着はできません。
ø1.5
超硬
Sø2
32.5
M2X0.4
ジルコニア
40
M2X0.4
06ABF406
MS2-2R52
35,000円
質量 : 0.4g
超硬
M2X0.4
ジルコニア
06ABN764 06AFG342 06AFG403
MS2-2R32.5 MS2-2SN32.5 MS2-2Z32.5
25,000円 30,000円 37,500円
ルビー
Sø2
20
ø1.5
06ABN763 06AFG330 06AFG402
MS2-2R22.5 MS2-2SN22.5 MS2-2Z22.5
23,000円 27,600円 34,500円
ルビー
14
M2X0.4
ジルコニア
質量 : 1.29g
Sø2ルビー球
超硬
ø1.4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
ステンレス
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN762 06AFG329 06AFG401
MS2-2R14 MS2-2SN14 MS2-2Z14
13,000円 15,600円 19,500円
52
58
窒化珪素
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN768 06AFG346 06AFG407
MS2-2.5R32.5 MS2-2.5SN32.5 MS2-2.5Z32.5
25,000円 30,000円 37,500円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN769 06AFG347 06AFG408
MS2-3R7.5 MS2-3SN7.5 MS2-3Z7.5
12,000 円 14,400 円 18,000 円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN771 06AFG349 06AFG410
MS2-3R27.5 MS2-3SN27.5 MS2-3Z27.5
24,000 円 28,800 円 36,000 円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN772 06AFG350 06AFG411
MS2-3R37.5 MS2-3SN37.5 MS2-3Z37.5
25,000 円 30,000 円 37,500 円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN773 06AFG351 06AFG412
MS2-3R47.5 MS2-3SN47.5 MS2-3Z47.5
30,000 円 36,000 円 45,000 円
ルビー
ルビー
ルビー
ルビー
窒化珪素
窒化珪素
窒化珪素
窒化珪素
ø1
ø3
ø2
ø1.5
ø3
Sø3
質量 : 0.4g
ステンレス
Sø3
17.5
20
質量 : 0.5g
超硬
Sø3
27.5
M2X0.4
30
質量 : 1.49g
※
・TP200への装着はできません。
超硬
37.5
M2X0.4
Sø3
40
M2X0.4
※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。
43
ステンレス
10
M2X0.4
ジルコニア
ジルコニア
質量 : 1.95g
7.5
M2X0.4
ジルコニア
ジルコニア
Sø2.5
32.5
40
ø1.5
06ABN770 06AFG348 06AFG409
MS2-3R17.5 MS2-3SN17.5 MS2-3Z17.5
13,000 円 15,600 円 19,500 円
※
・TP200への装着はできません。
超硬
M2X0.4
ジルコニア
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 1.48g
ø2
窒化珪素
ジルコニア
30
ø2
ルビー
窒化珪素
Sø2.5
22.5
M2X0.4
ジルコニア
質量 : 1.97g
※
・TP200への装着はできません。
TP20への装着
は推奨できません。
超硬
ø2
ルビー
窒化珪素
ø3
ルビー
質量 : 0.4g
超硬
ø2
06ABN767 06AFG345 06AFG406
MS2-2.5R22.5 MS2-2.5SN22.5 MS2-2.5Z22.5
23,000円 27,600円 34,500円
Sø2.5
20
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
16.4
M2X0.4
ジルコニア
ø3
窒化珪素
質量 : 0.3g
ステンレス
ø3
ルビー
10
ø3
06ABN766 06AFG344 06AFG405
MS2-2.5R16.4 MS2-2.5SN16.4 MS2-2.5Z16.4
13,000円 15,600円 19,500円
Sø2.5
6
M2X0.4
ジルコニア
ø1.4
ルビー
ステンレス
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN765 06AFG343 06AFG404
MS2-2.5R6 MS2-2.5SN6 MS2-2.5Z6
12,000円 14,400円 18,000円
質量 : 1.5g
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
※
・TP200への装着はできません。
TP20への装着
は推奨できません。
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
47.5
50
Sø3
質量 : 2.44g
M2X0.4
Sø3ルビー球
ステンレス
ø3
64
68
質量 : 1.3g
Sø3ルビー球
セラミック
M2X0.4
68.5
83.5
06ABN776 06AFG354 06AFG415
MS2-4R30 MS2-4SN30 MS2-4Z30
23,000円 27,600円 34,500円
06ABQ341 06AFG358 06AFG419
MS2-4R50.5G MS2-4SN50.5G MS2-4Z50.5G
32,000円 38,400円 48,000円
コードNo.
品名
標準価格
06ABF404
MS2-4R68
40,000円
ø3
ø2
ø3
Sø4
質量 : 2.04g
※
・TP200への装着はできません。
TP20への装着
は推奨できません。
超硬
50
M2X0.4
Sø4
質量 : 2.52g
セラミック
50
M2X0.4
Sø4
質量 : 0.91g
M2X0.4
カーボンファイバ
50.5
窒化珪素ジルコニア
質量 : 1.0g
M2X0.4
ø2
M2X0.4
質量 : 2.0g
Sø4ルビー球
セラミック
98
ルビー
窒化珪素ジルコニア
06ABN781 06AFG360 06AFG421
MS2-5R20 MS2-5SN20 MS2-5Z20
18,000円 21,600円 27,000円
ルビー
窒化珪素ジルコニア
ø2.5
ø3
M2X0.4
10
Sø5
質量 : 0.7g
ø2.5
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN780 06AFG359 06AFG420
MS2-5R10 MS2-5SN10 MS2-5Z10
16,000円 19,200円 24,000円
質量 : 2.5g
ステンレス
超硬
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
・TP200への装着はできません。
TP20への装着は
推奨できません。
ø3
06ABF410
MS2-4R98C
45,000円
※
・TP200への装着はできまん。
TP20への装着は
推奨できません。
Sø4ルビー球
ステンレス
68
コードNo.
品名
標準価格
Sø4
ø3
ルビー
窒化珪素ジルコニア
ø2
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
※
・TP200への装着はできません。
40
M2X0.4
ø2
06ABN779 06AFG357 06AFG418
MS2-4R50C MS2-4SN50C MS2-4Z50C
30,000円 36,000円 45,000円
窒化珪素ジルコニア
質量 : 1.57g
超硬
ø2
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
Sø4
ø3
06ABN778 06AFG356 06AFG417
MS2-4R50 MS2-4SN50 MS2-4Z50
30,000円 36,000円 45,000円
窒化珪素ジルコニア
30
M2X0.4
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
超硬
ø3
06ABN777 06AFG355 06AFG416
MS2-4R40 MS2-4SN40 MS2-4Z40
25,000円 30,000円 37,500円
Sø4
質量 : 0.6g
窒化珪素ジルコニア
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
20
M2X0.4
窒化珪素ジルコニア
ø3
ルビー
質量 : 0.4g
ステンレス
ø1.5
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
Sø4
ø3
06ABN775 06AFG353 06AFG414
MS2-4R20 MS2-4SN20 MS2-4Z20
16,000円 19,200円 24,000円
10
M2X0.4
窒化珪素ジルコニア
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 1.6g
ステンレス
ø1.5
06ABN774 06AFG352 06AFG413
MS2-4R10 MS2-4SN10 MS2-4Z10
14,000円 16,800円 21,000円
ルビー
・TP200への装着はできません。
TP20への装着は
推奨できません。
ø3
ø2
コードNo. 06ABF405
品名
MS2-3R68.5C
標準価格 44,000 円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
※
・TP200への装着はできません。
TP20への装着
は推奨できません。
ø1.5
コードNo. 06ABF402
品名
MS2-3R64
標準価格 38,000 円
M2X0.4
20
Sø5
質量 : 1.98g
※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。
44
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN783 06AFG362 06AFG423
MS2-5R40 MS2-5SN40 MS2-5Z40
26,000円 31,200円 39,000円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN784 06AFG363 06AFG424
MS2-5R50 MS2-5SN50 MS2-5Z50
31,000円 37,200円 46,500円
窒化珪素ジルコニア
質量 : 2.57g
ø2.5
ø3
質量 : 3.17g
ø2.5
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABQ342 06AFG365 06AFG426
MS2-5R50.5G MS2-5SN50.5G MS2-5Z50.5G
33,000円 39,600円 49,500円
M2X0.4
コードNo.
品名
標準価格
06ABF411
MS2-5R97.5C
48,000円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ø3
ø3
50.5
質量 : 1.1g
・TP200への装着はできません。
TP20への装着は
推奨できません。
ø3
97.5
M2X0.4
窒化珪素ジルコニア
窒化珪素ジルコニア
10
Sø6
質量 : 0.9g
M2X0.4
Sø6
ø3
カーボンファイバ
窒化珪素ジルコニア
06ABN788 06AFG368 06AFG429
MS2-8R11 MS2-8SN11 MS2-8Z11
23,000円 27,600円 34,500円
ステンレス
ø3
ø2.5
Sø5ルビー球
質量 : 2.1g
50.5
質量 : 1.2g
ステンレス
M2X0.4
※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。
45
・TP20への装着は推奨できません。
Sø5
セラミック
06ABN787 06AFG367 06AFG428
MS2-6R50.5G MS2-6SN50.5G MS2-6Z50.5G
34,000円 40,800円 51,000円
ルビー
Sø5
カーボンファイバ
窒化珪素ジルコニア
06ABN786 06AFG366 06AFG427
MS2-6R10 MS2-6SN10 MS2-6Z10
18,000円 21,600円 27,000円
ルビー
50
質量 : 1.0g
M2X0.4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
セラミック
ø2.5
M2X0.4
ルビー
Sø5
質量 : 3.75g
窒化珪素ジルコニア
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
※
・TP200への装着はできません。
TP20への装着
は推奨できません。
超硬
50
M2X0.4
06ABN785 06AFG364 06AFG425
MS2-5R50C MS2-5SN50C MS2-5Z50C
31,000円 37,200円 46,500円
ルビー
Sø5
40
M2X0.4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
※
・TP200への装着はできません。
超硬
ø2.5
ルビー
窒化珪素ジルコニア
Sø5
ø3
ルビー
30
M2X0.4
窒化珪素ジルコニア
ø3
ルビー
超硬
ø2.5
06ABN782 06AFG361 06AFG422
MS2-5R30 MS2-5SN30 MS2-5Z30
24,000円 28,800円 36,000円
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
11
Sø8
質量 : 1.5g
・TP20への装着は推奨できません。
スタイラス（取付部ネジ径：M2）
18.05
・TP200への装着はできません。TP20への装着は
推奨できません。
13.05
3
カーボンファイバ
.05
ø19 ")
(3/4
ø3
コードNo. 135399
品名
MS2-19.05C 3/4inch
標準価格 25,000円
M2X0.4
2.2
0.4
ø4
M2X0.4
11
コードNo. 160225
品名
MS2-18C
標準価格 74,000円
質量 : 4.4g
ø18
ø18
質量 : 3.3g
セラミック
10
M2X0.4
2.5
5
7.5
3
Sø1ルビー球
ø0.67
コードNo. 06ABN795
品名
MS2-STAR1R2.5
標準価格 45,000円
M2X0.4
ø3
5.5
M2X0.4
5.25
10.7
18
ø2
Sø2ルビー球
ø1.4
コードNo. 06ABN796
品名
MS2-STAR2R5.25
標準価格 50,000円
質量 : 0.5g
18
質量 : 1.3g
5.5
M2X0.4
10.75
10.7
18
ø2
Sø2ルビー球
ø1.4
コードNo. 06ABN797
品名
MS2-STAR2R10.75
標準価格 60,000円
30
質量 : 1.8g
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
ø1
ø1.5
ステンレス
ø3
コードNo. 06ABN789
品名
MS2-CY1.5-1.7
標準価格 16,000円
1.7
M2X0.4
質量 : 0.3g
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
ø3
ø1.5
ステンレス
ø3
コードNo. 06ABN790
品名
MS2-CY3-4
標準価格 16,000円
11
4
M2X0.4
13
質量 : 0.6g
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
ルビー
Sø1
ø3
コードNo. 06ABN791
品名
MS2-CY1R7.5
標準価格 70,000円
7.5
M2X0.4
14.5
質量 : 0.3g
ø1.5
ルビー
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
Sø2
ø3
コードNo. 06ABN792
品名
MS2-CY2R6.5
標準価格 45,000円
6.5
M2X0.4
20
質量 : 0.5g
46
超硬
Sø2
※
・TP200 への装着は推奨できません。
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
ø3
コードNo. 06ABN793
品名
MS2-CY2H31
標準価格 25,000円
31
39
M2X0.4
質量 : 2.0g
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
ø2
ルビー
Sø4
ø3
コードNo. 06ABN794
品名
MS2-CY4R8.5
標準価格 55,000円
M2X0.4
8.5
20
質量 : 0.9g
コードNo. 06ABN799
品名
MS2-PO
標準価格 15,000円
ø3
鋼
M2X0.4
15
質量 : 0.7g
コードNo. 06ABN800
品名
MS2-PO-H
標準価格 55,000円
1
R0.
M2X0.4
ø1.4
ø3
超硬
10
質量 : 0.7g
ø2
Sø6
ル
2
1.2
M2X0.4
質量 : 0.6g
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
8.2
1.5
ø18
ステンレス
ø3
コードNo. 06AAL516
品名
MS2-DISC18-2.5
標準価格 21,000円
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
ビ
ー
10
ø3
コードNo. 160214
品名
MS2-DISC6R-2
標準価格 21,000円
M2X0.4
2.5
質量 : 3.0g
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
2.6
コードNo. 160215
品名
MS2-DISC18-3
標準価格 21,000円
ø18
2.2
M2X0.4
3
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
1.5
ø25
ステンレス
ø3
コードNo. 06AAL517
品名
MS2-DISC25-2.5
標準価格 34,000円
質量 : 2.7g
8.2
M2X0.4
2.5
質量 : 4.0g
2.5
コードNo. 160226
品名
MS2-DISC25-3
標準価格 30,000円
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
ø25
3
M2X0.4
質量 : 3.8g
※30mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。
47
スタイラス（取付部ネジ径：M2）
コードNo. 06ABP853
品名
MS2-EXT5
標準価格 5,200円
ø3
ステンレス
M2X0.4
5
M2X0.4
質量 : 0.2g
コードNo. 06ABN804
品名
MS2-EXT10
標準価格 5,200円
ø3
ステンレス
M2X0.4
M2X0.4
10
質量 : 0.4g
コードNo. 06ABN805
品名
MS2-EXT20
標準価格 5,200円
ø3
ステンレス
20
M2X0.4
M2X0.4
質量 : 0.9g
コードNo. 908884
品名
MS2-EXT20C
標準価格 10,000円
ø3
セラミック
20
M2X0.4
M2X0.4
質量 : 0.7g
コードNo. 06ABN806
品名
MS2-EXT30
標準価格 6,200円
ø3
ステンレス
30
M2X0.4
M2X0.4
質量 : 1.4g
コードNo. 06ABN807
品名
MS2-EXT40
標準価格 7,000円
ø3
ステンレス
M2X0.4
40
M2X0.4
質量 : 1.8g
コードNo. 908885
品名
MS2-EXT40C
標準価格 12,000円
ø3
セラミック
M2X0.4
40
M2X0.4
質量 : 1.0g
40
M2X0.4
質量 : 0.9g
・TP200用
・スタイラスの取付けにはカーボンエクステン
ション用取付工具が必要です
（P60参照）
ø3
カーボンファイバ
11.55
ø3.55
M2X0.4
コードNo. 06AAL258
品名
MS2-EXT50G
標準価格 24,000円
・TP200用
・スタイラスの取付けにはカーボンエクステン
ション用取付工具が必要です
（P60参照）
ø3
カーボンファイバ
ø3.55
コードNo. 06AAL257
品名
MS2-EXT40G
標準価格 23,000円
M2X0.4
50
11.55
M2X0.4
質量 : 1.0g
48
セラミック
ø3
コードNo. 908886
品名
MS2-EXT60C
標準価格 13,000円
60
M2X0.4
M2X0.4
質量 : 1.3g
・TP200 への装着は推奨できません。
・その他のプローブでも垂直方向での使用を推
奨します。
・スタイラスの取付けにはカーボンエクステン
ション用取付工具が必要です
（P60参照）
ø3.55
カーボンファイバ
ø3
コードNo. 06ABN809
品名
MS2-EXT70G
標準価格 25,000円
11.55
70
M2X0.4
質量 : 1.3g
コードNo. 153142
品名
MS2-スタイラスナックル
標準価格 25,000円
4.5
・スタイラスを任意の角度に曲げるためのアダ
プタです。
M2X0.4
8
ステンレス
M2X0.4
ステンレス
質量 : 1.6g
・スタイラスを任意の角度に曲げるためのアダ
プタです。
M2
鋼
M2
ステンレス
3
4
コードNo. 06AFA210
品名
MS2-スタイラスナックルロータリー
標準価格 12,000円
6
16.5
7
・ 5方向にスタイラスを取付けるためのアダプタ
です。
M2X0.4
6
ステンレス
7.5
コードNo. 06ABN812
品名
MS2-スタイラスセンタ
標準価格 20,000円
4-M2X0.4
M2X0.4
質量 : 0.8g
コードNo. 06ABN813
品名
MS2-M3 メス - アダプタ
標準価格 5,000円
ø4
ステンレス
M2X0.4
7
M3X0.5
質量 : 0.4g
49
・スタイラス取付部ねじがM2のプローブにM3
ねじのスタイラスを取付けるためのアダプタで
す。
M2
M3
スタイラス（取付部ネジ径：M3）
・測定力の 0.4N 以下でご使用ください。
06ABN816 06AFG369 06AFG430
MS3-0.5R2 MS3-0.5SN2 MS3-0.5Z2
30,000円 60,000円 64,000円
ルビー
窒化珪素ジルコニア
2
06ABN817 06AFG370 06AFG431
MS3-1R4 MS3-1SN4 MS3-1Z4
12,000円 14,400円 18,000円
ルビー
06ABN816 20
06AFG369 21
06AFG430 21
超硬
A
M3X0.5
・セラミックマスターボール
（高精度タイプ）
Sø10mmの使用を推奨します。
質量 : 1.0g
Sø1
ø0.7
ステンレス
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
コードNo.（ A ）・通常の測定子に比較して寿命が短くなる
mm
場合があります。
Sø0.5
ø0.35
M3X0.5
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
窒化珪素ジルコニア
4
21
M3X0.5
超硬
Sø1ルビー球
ø4
ø0.8
コードNo. 06ABF414
品名
MS3-1R12
標準価格 36,000円
質量 : 1.0g
12
22
超硬
Sø1ルビー球
ø4
M3X0.5
ø0.8
コードNo. 06ABF412
品名
MS3-1R25
標準価格 40,000円
質量 : 1.0g
25
32
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN819 06AFG372 06AFG433
MS3-1.5R22.5 MS3-1.5SN22.5 MS3-1.5Z22.5
23,000円 27,600円 34,500円
ルビー
Sø1.5
超硬
窒化珪素ジルコニア
12.5
質量 : 0.8g
20
M3X0.5
Sø1.5
ø1
超硬
ø4
ルビー
M3X0.5
ø1
06ABN818 06AFG371 06AFG432
MS3-1.5R12.5 MS3-1.5SN12.5 MS3-1.5Z12.5
18,000円 21,600円 27,000円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 0.9g
窒化珪素ジルコニア
22.5
30
M3X0.5
ルビー
Sø2
ステンレス
ø1.4
06ABN820 06AFG373 06AFG434
MS3-2R9.6 MS3-2SN9.6 MS3-2Z9.6
13,000円 15,600円 19,500円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 0.93g
窒化珪素ジルコニア
9.6
21
06ABN821 06AFG374 06AFG435
MS3-2R22.5 MS3-2SN22.5 MS3-2Z22.5
23,000円 27,600円 34,500円
ルビー
M3X0.5
Sø2
ø1.5
超硬
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 1.0g
窒化珪素ジルコニア
22.5
30
ルビー
M3X0.5
超硬
Sø2
ø1.5
06ABN822 06AFG375 06AFG436
MS3-2R32.5 MS3-2SN32.5 MS3-2Z32.5
25,000円 30,000円 37,500円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 1.32g
窒化珪素ジルコニア
32.5
40
質量 : 1.58g
50
超硬
ø1.5
M3X0.5
Sø2ルビー球
ø4
コードNo. 06ABF416
品名
MS3-2R62.5
標準価格 36,000円
62.5
69
06ABN823 06AFG376 06AFG437
MS3-3R12 MS3-3SN12 MS3-3Z12
13,000円 15,600円 19,500円
ルビー
Sø3
ステンレス
ø1.5
M3X0.5
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 2.2g
窒化珪素ジルコニア
12
21
06ABN824 06AFG377 06AFG438
MS3-3R23.7 MS3-3SN23.7 MS3-3Z23.7
23,000円 27,600円 34,500円
ルビー
Sø3
超硬
ø2
M3X0.5
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 1.0g
窒化珪素ジルコニア
23.7
30
M3X0.5
ルビー
Sø3
超硬
ø2
06ABN825 06AFG378 06AFG439
MS3-3R33.7 MS3-3SN33.7 MS3-3Z33.7
25,000円 30,000円 37,500円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 1.83g
窒化珪素ジルコニア
33.7
40
ルビー
M3X0.5
Sø3
超硬
ø2
06ABN826 06AFG379 06AFG440
MS3-3R43.7 MS3-3SN43.7 MS3-3Z43.7
27,000円 32,400円 40,500円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 2.3g
窒化珪素ジルコニア
43.7
50
M3X0.5
Sø3ルビー球
ø2
超硬
ø4
コードNo. 06ABF415
品名
MS3-3R50
標準価格 35,000円
質量 : 2.78g
50
64
06ABN827 06AFG380 06AFG441
MS3-4R17 MS3-4SN17 MS3-4Z17
13,000円 15,600円 19,500円
ルビー
Sø4
ステンレス
ø2.5
M3X0.5
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 3.5g
窒化珪素ジルコニア
17
21
06ABN828 06AFG381 06AFG442
MS3-4R27 MS3-4SN27 MS3-4Z27
13,000円 15,600円 19,500円
ルビー
M3X0.5
Sø4
ø2.5
ステンレス
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 1.3g
窒化珪素ジルコニア
27
31
ルビー
M3X0.5
超硬
Sø4
ø2
06ABN829 06AFG382 06AFG443
MS3-4R36 MS3-4SN36 MS3-4Z36
24,000円 28,800円 36,000円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 2.5g
窒化珪素ジルコニア
36
40
51
質量 : 2.38g
M3X0.5
ø4
46
50
窒化珪素ジルコニア
コードNo. 06ABF403
品名
MS3-4R53
標準価格 40,000円
M3X0.5
ø2
ø4
163874 06AFG385 06AFG446
MS3-5R31 MS3-5SN31 MS3-5Z31
13,000円 15,600円 19,500円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABN832 06AFG386 06AFG447
MS3-5R50.6C MS3-5SN50.6C MS3-5Z50.6C
30,000円 36,000円 45,000円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABS911 06AFG387 06AFG448
MS3-6R75G MS3-6SN75G MS3-6Z75G
46,000円 55,200円 69,000円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABS912 06AFG388 06AFG449
MS3-6R100G MS3-6SN100G MS3-6Z1000G
54,000円 64,800円 81,000円
窒化珪素ジルコニア
21
M3X0.5
質量 : 1.5g
Sø5
ステンレス
ø4
31
窒化珪素ジルコニア
質量 : 3.0g
Sø5
セラミック
ø4
ø2.5
M3X0.5
窒化珪素ジルコニア
ルビー
Sø5
ø3
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ステンレス
M3X0.5
質量 : 3.0g
ø2.5
06ABN831 06AFG384 06AFG445
MS3-5R21 MS3-5SN21 MS3-5Z21
13,000円 15,600円 19,500円
ルビー
Sø4ルビー球
超硬
53
57
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
ルビー
質量 : 2.85g
ø4
ルビー
Sø4
超硬
ø2
06ABN830 06AFG383 06AFG444
MS3-4R46 MS3-4SN46 MS3-4Z46
26,000円 31,200円 39,000円
50.6
質量 : 1.33g
M3X0.5
Sø6
カーボンファイバ
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
75
窒化珪素ジルコニア
ルビー
・SP25M 用
・SP25Mで使用の場合SM25-2またはSM25-3が
必要になります。
・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途
SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。
質量 : 2.4g
・SP25M 用
・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。
・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途
SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。
窒化珪素ジルコニア
ルビー
Sø6
カーボンファイバ
ø4
M3X0.5
100
06ABS913 06AFG389 06AFG450
MS3-8R75G MS3-8SN75G MS3-8Z75G
54,000円 64,800円 81,000円
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
06ABS914 06AFG390 06AFG451
MS3-8R100G MS3-8SN100G MS3-8Z100G
56,000円 67,200円 84,000円
M3X0.5
カーボンファイバ
75
窒化珪素ジルコニア
ルビー
質量 : 2.98g
・SP25M 用
・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。
・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途
SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。
窒化珪素ジルコニア
ルビー
・SP25M 用
・SP25Mで使用の場合SM25-2またはSM25-3が
必要になります。
・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途
SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。
Sø8
ø4
コードNo.
品名
標準価格
先端部材質
質量 : 2.89g
Sø8
カーボンファイバ
ø4
M3X0.5
100
06ABF407 品名
・MPP-2、
MPP-2H、MPP-5等の旧モデルのスキャニ
ングプローブには装置できません。
・タッチトリガープローブでは垂直方向での使
用を推奨します。
標準価格 60,000円
Sø8ルビー球
セラミック
ø6
M3X0.5
MS3-8R130C
ø4
コードNo.
質量 : 3.47g
130
916492
MS3-30C
98,000円
・SP25Mへの装着はできません。
M3X0.5
17
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 9.4g
ø30
セラミック
質量 : 18g
52
169011
MS3-DISC12.7-2
43,000円
ステンレス
・使用には制限がありますのでご了承ください。
詳細は弊社営業所にお問い合わせください。
2
ø12.7
ø3
M3X0.5
ø4
コードNo.
品名
標準価格
31
06ABN833
MS3-EXT10
5,400円
ステンレス
ø4
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 4.0g
10
M3X0.5
M3X0.5
質量 : 0.9g
ステンレス
06ABN834
MS3-EXT20
6,000円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
20
M3X0.5
M3X0.5
質量 : 1.6g
06ABN835
MS3-EXT35
6,400円
ステンレス
ø4
コードNo.
品名
標準価格
M3X0.5
35
M3X0.5
質量 : 2.9g
セラミック
06ABN836
MS3-EXT50C
22,000円
ø4
コードNo.
品名
標準価格
50
M3X0.5
M3X0.5
カーボンファイバ
ø4
06ABS915
MS3-EXT75G
28,000円
M3X0.5
ø4
コードNo.
品名
標準価格
ø4.55
質量 : 2.95g
11.5
13
75
M3X0.5
・SP25M用
・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。
・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途
SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。
カーボンファイバ
ø4
06ABS916
MS3-EXT100G
30,000円
M3X0.5
ø4
コードNo.
品名
標準価格
ø4.55
質量 : 2.53g
11.5
・SP25M用
・SP25Mで使用の場合SM25-3が必要になります。
・各SP25M用モジュールでの対応長さは別途
SP25Mの仕様（p.8）をご確認ください。
13
100
M3X0.5
質量 : 3.02g
ステンレス
・スタイラスを任意の角度に曲げるためのアダ
プタです。
M3X0.5
ステンレス
3.8
06ABN838
MS3-スタイラスナックル
25,000円
8
コードNo.
品名
標準価格
3.5
6
M3X0.5
ø4
質量 : 3.7g
・ 5方向にスタイラスを取付けるためのアダプタ
です。
ステンレス
5.5
06ABN839
MS3-スタイラスセンタ
20,000円
10
13
コードNo.
品名
標準価格
M3X0.5
M3X0.5
06ABN837
MS3-M2メス-アダプタ
5,400円
・スタイラス取付部ねじがM3のプローブにM2
ねじのスタイラスを取付けるためのアダプタで
す。
ステンレス
ø4
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 2.4g
M3X0.5
M3
5
M2
M2X0.4
質量 : 0.6g
・スタイラス取付部ねじがM3のプローブに取付
部がストレートシャンクタイプのスタイラスを
取付けるためのアダプタです。
ステンレス
M3
M3X0.5
10
ø4.5 ストレート
ø4.5
167234
MS3-ø4.5-アダプタ
6,000円
ø9
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 2.3g
53
スタイラス（取付部ネジ径：M4）
06ABN840
MS4-1R4.5
15,000円
ステンレス
Sø1ルビー球
ø0.7
M4X0.7
ø7
コードNo.
品名
標準価格
4.5
19.5
ステンレス Sø2ルビー球
M4X0.7
ø1.35
06ABN841
MS4-2R8
15,000円
ø7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 2.5 g
8
19
06ABN842
MS4-4R13.5
15,000円
Sø4ルビー球
ø3
M4X0.7
ø7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 2.3 g
ステンレス
13.5
18
Sø4ルビー球
セラミック
Sø8ルビー球
ø3
06ABQ149
MS4-4R33C
18,000円
セラミック
ø7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 2.1 g
M4X0.7
33
50
ø4.5
06ABN843
MS4-8R50C
30,000円
ø7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 4.8 g
M4X0.7
50
06ABN844
MS4-8R100C
40,000円
M4X0.7
Sø8ルビー球
ø4.5
セラミック
ø7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 5.1 g
100
ø4.4
06ABN845
MS4-6R88G
40,000円
質量 : 6.6 g
Sø6ルビー球
カーボンファイバ
ø7
コードNo.
品名
標準価格
M4X0.7
88
100
06ABN846
MS4-6R138G
80,000円
ø4.4
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 6.2 g
Sø6ルビー球
カーボンファイバ
ø7
M4X0.7
138
150
ø6ルビー球
カーボンファイバ
ø7
M4X0.7
・SP25M への装着は
できません。
06ABN847
MS4-6R188G
88,000円
ø4.5
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 7.5 g
188
200
06ABN848
MS4-EXT30C
13,000円
ø7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 8.7 g
セラミック
M4X0.7
M4X0.7
30
質量 : 5.1 g
06ABN849
MS4-EXT50C
18,000円
ø7
コードNo.
品名
標準価格
セラミック
M4X0.7
M4X0.7
50
質量 : 6.7 g
54
06ABN850
MS4-EXT100C
28,000円
セラミック
ø7
コードNo.
品名
標準価格
M4X0.7
M4X0.7
100
06ABN851
MS4-M3EXT20
6,000円
ステンレス
ø7
コードNo.
品名
標準価格
ø5
質量 : 10.6 g
M3X0.5
M4X0.7
20
セラミック
06ABN852
MS4-M3EXT50C
18,000円
ø7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 3.2g
M3X0.5
M4X0.7
50
質量 : 4.4g
06ABN853
MS4-M3EXT75C
22,000円
コードNo.
品名
標準価格
06ABN854
MS4-M3EXT100C
28,000円
ø7
コードNo.
品名
標準価格
セラミック
M3X0.5
M4X0.7
75
質量 : 5.2g
ø7
セラミック
M3X0.5
M4X0.7
100
質量 : 6.3g
06AAD460
MS4-スタイラスナックル
15,000円
ステンレス
M4X0.7
ステンレス
15
コードNo.
品名
標準価格
4.5
9
M4X0.7
M4X0.7
4-M4X0.7
・5方向にスタイラスを取付け
るための
アダプタ
です。
M4X0.7
9
16
06ABN857
MS4-スタイラスセンタ
15,000円
12.5
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 14.5g
15
ステンレス
・スタイラスを
任意の角度
に曲げるた
めのアダプ
タです。
06ABN855
MS4-M3 メス - アダプタ
6,000円
ø7
コードNo.
品名
標準価格
M4X0.7
M3X0.5
9
06ABN856
MS4-M2 メス - アダプタ
5,400円
ステンレス
M4X0.7
5
M2X0.4
質量 : 1.5g
55
・スタイラス取付部ね
じが M4 のプローブ
に M3 ねじのスタイ
ラスを取付けるため
のアダプタです。
M4
M3
質量 : 1.4g
ø7
コードNo.
品名
標準価格
ø5
質量 : 12.1g
ステンレス
・スタイラス取付部ね
じが M4 のプローブ
に M2 ねじのスタイ
ラスを取付けるため
のアダプタです。
M4
M2
スタイラス（取付部ネジ径：M5）
20
06ABS920
MS5-1R5
20,000円
5
M5X0.8
質量 : 6.52g
超硬
20
06ABS921
MS5-1.5R11
18,000円
11
M5X0.8
Sø1.5ルビー球
ø1
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 4.68g
超硬
20
06ABS923
MS5-2R11
18,000円
11
M5X0.8
Sø2ルビー球
ø1
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 4.70g
超硬
30
06ABS924
MS5-2R21
20,000円
21
M5X0.8
Sø2ルビー球
ø1
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 4.81g
超硬
40
06ABS925
MS5-2R31
22,000円
31
M5X0.8
Sø2ルビー球
ø1
コードNo.
品名
標準価格
Sø1ルビー球
ø0.7
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 4.93g
超硬
06ABS926
MS5-2.5R31
22,000円
31
M5X0.8
Sø2.5ルビー球
ø1.5
コードNo.
品名
標準価格
40
質量 : 5.40g
超硬
06ABS927
MS5-2.5R41
25,000円
Sø2.5ルビー球
41
M5X0.8
ø2
コードNo.
品名
標準価格
50
超硬
06ABS928
MS5-3R11
18,000円
Sø3ルビー球
11
ø2
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 6.48g
20
M5X0.8
質量 : 5.12g
超硬
06ABS929
MS5-3R21
20,000円
21
M5X0.8
Sø3ルビー球
ø2
コードNo.
品名
標準価格
30
超硬
質量 : 4.62g
40
06ABS930
MS5-3R31
22,000円
31
Sø3ルビー球
超硬
質量 : 6.04g
M5X0.8
ø2
コードNo.
品名
標準価格
50
06ABS931
MS5-3R41
24,000円
41
M5X0.8
Sø3ルビー球
ø2
コードNo.
品名
標準価格
超硬
06ABS932
MS5-3R55
40,000円
M5X0.8
55
ø1.5
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 6.50g
100
Sø3ルビー球
超硬
06ABS933
MS5-4R11
20,000円
M5X0.8
11
質量 : 16.30g
Sø4ルビー球
ø2
コードNo.
品名
標準価格
20
超硬
質量 : 5.19g
56
06ABS934
MS5-4R21
22,000円
30
M5X0.8
Sø4ルビー球
21
ø2
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 5.64g
超硬
06ABS935
MS5-4R41
24,000円
M5X0.8
Sø4ルビー球
41
ø2
コードNo.
品名
標準価格
50
質量 : 6.55g
超硬
06ABS936
MS5-4R50
40,000円
100
M5X0.8
50
ø3
コードNo.
品名
標準価格
Sø4ルビー球
超硬
06ABS937
MS5-4R65
30,000円
75
M5X0.8
Sø4ルビー球
65
ø3
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 23.07g
質量 : 11.61g
超硬
06ABS938
MS5-5R11
20,000円
M5X0.8
Sø5ルビー球
11
ø3
コードNo.
品名
標準価格
20
質量 : 6.06g
超硬
06ABS939
MS5-5R21
22,000円
M5X0.8
Sø5ルビー球
21
ø3
コードNo.
品名
標準価格
30
超硬
06ABS940
MS5-5R41
24,000円
M5X0.8
Sø5ルビー球
41
ø3
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 7.10g
50
超硬
06ABS941
MS5-5R50
40,000円
質量 : 9.19g
100
M5X0.8
50
ø3
コードNo.
品名
標準価格
超硬
06ABS942
MS5-5R65
30,000円
75
M5X0.8
質量 : 23.31g
Sø5ルビー球
65
ø3
コードNo.
品名
標準価格
Sø5ルビー球
質量 : 11.80g
超硬
06ABS943
MS5-5R91
40,000円
91
ø3
コードNo.
品名
標準価格
100
M5X0.8
超硬
06ABS944
MS5-6R39G
28,000円
39
75
64
M5X0.8
Sø6ルビー球
ø4
06ABS945
MS5-6R64G
40,000円
質量 : 6.59g
カーボンファイバ
06ABS946
MS5-6R89G
40,000円
100
M5X0.8
89
ø4
コードNo.
品名
標準価格
カーボンファイバ
57
質量 : 14.40g
質量 : 6.10g
カーボンファイバ
コードNo.
品名
標準価格
Sø5ルビー球
Sø6ルビー球
ø4.3
コードNo.
品名
標準価格
50
M5X0.8
Sø6ルビー球
質量 : 7.08g
50
06ABS947
MS5-8R37G
30,000円
37
M5X0.8
Sø8ルビー球
ø6
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 7.96g
カーボンファイバ
06ABU673
MS5-8R38C
30,000円
セラミックス
ø6
Sø8ルビー球
ø19
コードNo.
品名
標準価格
M5X0.8
38
質量 : 30g
60
06ABS948
MS5-8R62G
36,000円
62
M5X0.8
Sø8ルビー球
ø6
コードNo.
品名
標準価格
75
カーボンファイバ
06ABS949
MS5-8R87G
48,000円
M5X0.8
87
ø6
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 9.06g
100
カーボンファイバ
06ABS950
MS5-10R37G
36,000円
37
M5X0.8
Sø10ルビー球
質量 : 8.91g
カーボンファイバ
06ABS951
MS5-10R62G
40,000円
75
62
M5X0.8
Sø10ルビー球
ø6
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 10.01g
カーボンファイバ
06ABS952
MS5-10R87G
50,000円
100
M5X0.8
87
ø6
コードNo.
品名
標準価格
Sø10ルビー球
カーボンファイバ
11.5
06ABS953
MS5-16C
40,000円
ø1
セラミック
6
9.5
06ABS954
MS5-22C
42,000円
ø2
2
セラミック
質量 : 10.0g
40
06ABS955
MS5-EXT40G
74,000円
M5X0.8
カーボンファイバ
ø11
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 7.0g
M5X0.8
2
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 11.11g
M5X0.8
2
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 10.17g
ø6
コードNo.
品名
標準価格
Sø8ルビー球
50
質量 : 7.6g
50
06ABS956
MS5-EXT50G
76,000円
M5X0.8
カーボンファイバ
ø11
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 8.3g
06ABS957
MS5-EXT60G
78,000円
M5X0.8
カーボンファイバ
ø11
コードNo.
品名
標準価格
60
質量 : 9.0g
06ABS958
MS5-EXT70G
80,000円
70
M5X0.8
カーボンファイバ
ø11
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 9.7g
58
80
06ABS959
MS5-EXT80G
82,000円
カーボンファイバ
M5X0.8
ø11
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 10.4g
06ABS960
MS5-EXT90G
84,000円
90
M5X0.8
カーボンファイバ
ø11
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 11.1g
100
コードNo.
品名
標準価格
06ABS962
MS5-EXT120G
88,000円
M5X0.8
ø11
06ABS961
MS5-EXT100G
86,000円
質量 : 11.8g
120
M5X0.8
カーボンファイバ
ø11
コードNo.
品名
標準価格
カーボンファイバ
質量 : 13.2g
コードNo.
06ABS963
品名
MS5-EXT150G 標準価格
95,000円
150
カーボンファイバ
ø11
M5X0.8
質量 : 15.4g
コードNo.
06ABS964
品名
MS5-EXT180G 標準価格
M5X0.8
100,000円
質量 : 17.5g
カーボンファイバ
ø11
180
コードNo.
06ABS965
品名
MS5-EXT200G 標準価格
105,000円
ø11
M5X0.8
質量 : 18.9g
カーボンファイバ
200
コードNo.
06ABS966
品名
MS5-EXT250G 標準価格
115,000円
250
ø11
M5X0.8
質量 : 22.4g
カーボンファイバ
コードNo.
06ABS967
品名
MS5-EXT300G 標準価格
125,000円
300
ø11
M5X0.8
質量 : 25.9g
カーボンファイバ
コードNo.
ø11
M5X0.8
59
06ABS968
品名
MS5-EXT400G 標準価格
135,000円
400
質量 : 33.0g
カーボンファイバ
取付工具類
・胴体径ø13mmやプローブエクステ
ンションの脱着工具です。
161534
シングルエンディドスパナ
2,500円
ø1
3
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 5.0g
コードNo.
品名
標準価格
・胴体径ø13mm、ø18mmやプローブ
エクステンションの脱着工具です。
161535
ダブルスパナ
2,500円
ø13
ø18
質量 : 5.0g
153140
M2-スタイラスツール
2,300円
・取付けねじM2、M3のスタイラス用
脱着工具です。
23
5
ø1.2
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 0.7g
181279
MS4-スタイラスツール
5,000円
・取付けねじM4のスタイラス用脱着
工具です。
35
8
ø2
コードNo.
品名
標準価格
質量 : 3.5g
コードNo.
品名
標準価格
・取付けねじM2のカーボン製エクス
テンション用脱着工具です。
06AAL264
カーボンエクステン
ション用取付工具
9,000円
質量 : 20.0g
ハードプローブ（マニュアル三次元測定機用）
ボールプローブ
105
単位 : mm
パーツ No.
50
932377A
932378A
932379A
932380A
532328
ød
ø14
55
超硬球
ℓ
ød
2
3
5
6
10
6
11.5
22.5
28
45
ユニバーサルプローブ
単位 : mm
セットパーツ No.
S
L
932375A (932363)
932375B (932364)
932375C (932365)
932375D (932366)
932375E (932367)
50
ød
ø14
m
S
127
130.5
137.5
154
211.5
L
77
80.5
87.5
104
161.5
ℓ
53
56.5
63.5
80
137.5
m
6
9.5
16.5
20
27.5
（）
内は測定子単体のパーツNo.
スタイラス
超硬球
ød
2
3
5
10
15
10
m
ød
ポイントプローブ（パーツNo.593467）
単位 : mm
110
60
ø14
50
超硬先端
60
セラミックマスターボール
Blue Line
M8X1.25
青線
ø23
ø23
ø7.5
ø15
M8X1.25
単位 : mm
Sø20 セラミック球
［材質 Al2O（
］
3 99.9％）
ø7キリ貫通
ø7.5
単位 : mm
Sø20 セラミック球
［材質 Al2O（
］
3 99.9％）
ø7キリ貫通
セラミックマスターボール（高精度タイプ）
・ボール真球度：0.08μm以下
・ボール直径寸法公差：Sø200-0.1mm
ø15
セラミックマスターボール
（標準タイプ）
・ボール真球度：0.13μm以下
・ボール直径寸法公差：Sø200-0.1mm
8.4
(12)
30
8.4
(12)
141
30
141
163
163
セラミックマスターボール
（高精度タイプ）
・ボール真球度：0.08μm以下
・ボール直径寸法公差：Sø10±0.05 mm
ø6
単位 : mm
ø7キリ貫通
Blue Line
Sø10 セラミック球
［材質 Al2O（
］
3 99.9％）
ø23
100
スパナ
（ロッド）
33
8.4
(12)
C1
C1
ø15
青線
ø3.5
M8X1.25
141
ベース
（パーツNo.06AAC565）
マスターボールカバー（パーツNo.06AFJ091）
セラミックマスターボール用ベースです。
191
単位 : mm
141
20
90.5
セラミックマスターボール用カバーです。
32
取付けイメージ図
セラミックマスターボール取付図
ベース外観図
セット内容
セットパーツNo.
06AFK288A
06AFK288B
06AFK288D
06AFK289A
06AFK289B
06AFK289D
06AFK290A
06AFK290B
06AFK290D
06AFK291A
06AFK291B
06AFK291D
06AFK292A
06AFK292B
06AFK292D
ボール直径
（mm）
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
20
10
10
10
タイプ
標準
標準
標準
標準
標準
標準
高精度
高精度
高精度
高精度
高精度
高精度
高精度
高精度
高精度
マスターボール
カバー
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
ベース
検査成績表
校正証明書
－
－
－
○
○
○
－
－
－
○
○
○
－
－
－
○
○
－
○
○
－
○
○
－
○
○
－
○
○
－
－
○
－
－
○
－
－
○
－
－
○
－
－
○
－
オプション
スペーサ
（パーツNo.06AAC566）
ベース用スペーサです。
191
241
単位 : mm
90.5
スペーサ外観図
61
20
32
セラミックマスターボール＋ベースへの取付図
トレーサビリティー
体系図
－
○
－
－
○
－
－
○
－
－
○
－
－
○
－
校正証明書
（JCSS）
－
－
○
－
－
○
－
－
○
－
－
○
－
－
○
■特長
●ミツトヨクランピングツールは、各エレメントをブロック式玩具のように組み合わせることで、様々な測定物を容易に固定す
ることが可能なクランピングシステムです。
●必要なツールを集めたスタータキット
「eco-fix Kit S」
と
「eco-fix Kit L」及び、
クランピングキット拡張セット
（各スタータキット
の標準構成品に加えてご使用いただくことにより、
より複雑な組み合わせも可能になる拡張エレメントセット）
をご用意して
おります。
■Eco-fix Kit S
（エコフィックスキット S）
■Eco-fix Kit L
（エコフィックスキット L）
* 固定方法によっては、プローブの接触や測定機の振動などにより測定物やプレート自体が動き測定値に異常が発生する可能性があります。
* クランピングツールの単品販売は行っておりませんので、補充が必要な際はクランピングツール拡張セットをご購入ください。
62
座標測定機
画像測定機
形状測定機
光学機器
精密センサ
試験・計測機器
スケールユニット
測定工具、測定基準器、計測システム
仙台市若林区卸町東1-7-30
郡山駐在所
電話 (024)931-4331
宇都宮営業所
宇都宮市平松本町796-1
つくば駐在所
電話 (029)839-9139
伊勢崎営業所
伊勢崎市宮子町3463-13
さいたま駐在所電話 (048)667-1431
川崎営業所
川崎市高津区坂戸1-20-1
東京駐在所
電話 (03)3452-0481
厚木営業所
厚木市旭町2-8-6 リヴ・ロード1階
富士駐在所
電話 (0545)55-1677
諏訪営業所
諏訪市中洲582-2
上田駐在所
電話 (0268)26-4531
浜松営業所
浜松市中区早出町1209-1
安城営業所
安城市住吉町5-19-5
名古屋営業所
名古屋市昭和区鶴舞4-14-26
金沢営業所
金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田
大阪営業所
大阪市住之江区南港北1-4-34
神戸駐在所
電話(078)924-4560
京滋営業所
草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F
岡山営業所
岡山市北区田中134-107
広島営業所
東広島市八本松東2-15-20
福岡営業所
福岡市博多区博多駅南4-16-37
特機営業1課・2課川崎市高津区坂戸1-20-1
仙台営業所
〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス (022)231-6884
〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス (028)660-6248
〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス (0270)21-5613
新潟駐在所電話 (025)281-4360
〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス (044)813-1610
〒243-0014 電話 (046)226-1020 ファクス (046)229-5450
〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス (0266)58-1830
〒435-0054
〒446-0072
〒466-0064
〒920-0057
〒559-0034
電話 (053)464-1451
電話 (0566)98-7070
電話 (052)741-0382
電話 (076)222-1160
電話 (06)6613-8801
ファクス (053)464-1683
ファクス (0566)98-6761
ファクス (052)733-0921
ファクス (076)222-1161
ファクス (06)6613-8817
〒525-0032
〒700-0951
〒739-0142
〒812-0016
〒213-8533
電話 (077)569-4171
電話 (086)242-5625
電話 (082)427-1161
電話 (092)411-2911
電話 (044)813-8236
ファクス (077)569-4172
ファクス (086)242-5653
ファクス (082)427-1163
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