Ｔ echnical News 0170108 ナノオーダーの精度で表面形状がわかります透明導電性フィルムは、抵抗膜方式タッチパネル用電極、静電電波シールド、表示用電極等の用途に使用され、 LCDの軽量化に貢献しています。一方ＡＦＭは極微細な凹凸をナノスケールで数値化評価する事が可能です。スパッタ蒸着法で成膜したITO膜表面を相対比較した事例を紹介します。分析事例1：ITOフィルムのAFM分析 ITOスパッタ蒸着膜の表面粗さは、 ITOフィルムの抵抗値に影響を及ぼすので、ナノメートルオーダーの微細な凹凸を評価することは、非常に重要です。ここでは、PETフィルムにITOを成膜したもの〔図1〕とPETフィルムにアンカー処理を施し成膜したもの〔図2〕を示します。この様に、アンカー処理したITOフィル図1 PETに成膜したITOフィルム図2 アンカー処理したPETに成膜したITOフィルムムの方が未処理ITOフィルムより平滑であることが明らかとなりました。分析事例2： ITOフィルムの表面観察 ITO表面のAFM像では、大きさ10nm程度の粒状物が表面全面に存在していることが判明しました〔図3〕。一方、TEM像では、高さ情報があまり得られません〔図4〕。これは、「AFMはZ方向の分解能が極めて高い！」という現れです。また、画像はどの場所においても、（x,y,z）の座標の集合体ですので、様々な画像処理が行なえ、例えば、「平均面粗さによる試料間での数値比較」が可能です。図3 ITO表面のAFM像図4 ITO表面のTEMレプリカ像その他の応用・フィルム表面の微小形状の観察・LCDパネル配向膜の観察・セラミック材料，複合材料，ポリマーアロイ等の微細形状や形状分布など大阪府茨木市下穂積1-1-2 TEL 072-623-3381 東京営業所名古屋営業所大阪営業所 TEL 03-6631-1658 TEL 052-221-9198 TEL 072-623-3381 URL http://www.natc.co.jp E-mail [email protected]