表面波素子を用いたセンサと アクチ エ タの開発 アクチュエータの開発 静岡大学創造科学技術大学院 (工学部システム工学科兼担) 近藤研究室 Surface Wave Electronics Laboratory 研究内容の紹介 私たちの研究目標は 1 研究成果の実用化 1.研究成果の実用化 2.新しい機能素子の開発 です.実用化を目指して, ・横波型弾性表面波(SH ・横波型弾性表面波( SH--SAW SAW)を用いた液体用センサ )を用いた液体用センサ ・弾性表面波(SAW ・弾性表面波( SAW)を用いた液体アクチュエータ )を用いた液体アクチュエータ ・表面プラズモン共鳴(SPR ・表面プラズモン共鳴( SPR)を用いたセンサ )を用いたセンサ の研究開発を行っています.新しい機能素子として,液 液 体搬送と計測を同一平面で行う新しいディジタル式マイ 体搬送と計測を同一平面で行う新しい ディジタル式マイ クロ流体システム(マイクロ実験室と命名)やワイヤレス クロ流体システム SAWセンサの研究を行っています. URL:http://www.sys.eng.shizuoka.ac.jp/~j-kondoh 横波型弾性表面波(SH-SAW)を用いた液体用センサ ★検出可能な液体の物性値 ★液相系SH-SAWセンサに要求される条件 機械的摂動 → 密度粘度積(分離計測も可能),ずり弾性率 Rayleigh-SAW(R-SAW)は固液界面で液体中に縦波を放射して減衰す る⇒液相系センサに利用できない(気相系センサなら◎) 電気的摂動 → 導電率,誘電率 Longitudinal wave Rayleigh-SAW Input IDT Liquid ★SH-SAWセンサの構造 Output IDT Liq u id cell Piezoelectric substrate C h. 1 横波型SAW(SH-SAW)は固液界面を伝搬する.このとき,液体の物性 液体の物性 値に依存して波の伝搬促成(速度や振幅)が変わる. ⇒液相系センサに 利用可能. → 機械的摂動 C h. 2 Ch.2とCh.3の差動出力 C h. 3 → 電気的摂動 SH-SAW Input IDT Ch.1とCh.2の差動出力 Liquid F r ee su rf ace Output IDT ★SH-SAWセンサの測定系 ベクトル電圧計やネットワークアナライザを用いてリファレンスチャネルと センシングチャネル間の位相差,振幅比を測定. Pi Piezoelectric l t i substrate bt t 位相差 → 伝搬速度変化(ΔV/V) SH-SAWが伝搬可能な圧電結晶:36YX-LiTaO3 振幅比 → 減衰変化(Δα/k,k:波数) ★SH-SAWセンサの検出原理 ★SH-SAWセンサの特徴 圧電結晶上伝搬するSAWはひずみと静電ポテンシャルが結合している ⇒ ひずみと液体の相互作用(機械的摂動)とポテンシャルと液体の相互 作用(電気的摂動)を検出可能. 一つのセンサで液体の力学的・電気的特性が同時に測定 同時に測定できること SH--SAW SH SAWセンサを用いた応用測定 センサを用いた応用測定 ★混合溶液評価 アルコール発酵過程検出のためのシミュレーション実験 1.1 10 1.0 0.9 5 0.8 0.7 0 0 5 10 15 06 0.6 20 Concentration of ethanol (vol.%) 1.目的 1.3 8 Phase shift (degree) ●,○:Channels 1&2 ■,□:Channels 2&3 ★ダイレクトメタノール燃料電池(DMFC)用メタノールセンサの開発 ●,○:Channels 1&2 ■,□:Channels 2&3 6 1.2 1.1 4 1.0 2 0.9 0 0.8 -2 0.7 0 5 10 15 20 負極 Amplitude ratio 1.2 Amplitude ratio Phase shift (degree) 15 正極 空気と水蒸気 の出口 水分の分離と貯蔵 メタノールセンサ 既存のメタノールセンサは高価 水供給システムの 制御弁 メタノールタンク 陽極 Concentration of glucose (wt.%) ポンプまたは制御弁 主成分分析 空気入口 電解質 Ethanol Glucose 20 vol.% 2.基礎実験 15 vol.% 10 vol.% 1:3 o 1:1 3:1 -1 20 wt.% -2 -4 主成分分析により,グルコース水溶液と エタノール水溶液を各濃度毎にグループ 分けできた.また,2つの液体の混合比 を変えた結果は 混合した水溶液を結ん を変えた結果は,混合した水溶液を結ん だ直線上に存在する. 5 wt.% 10 wt.% 15 wt.% □: Mixture -2 0 2 4 第1主成分 •電 気 的摂 動 検出用SH-SAWセン サの 応答と メタノール濃度の間に線形関係が成立. 40 •温度が高くなるほど傾きが大きくなる 温度が高くなるほど傾きが大きくなる 高感度化 30 20 •センサの分解能より,メタノール水溶液の 濃度分解能は0.1wt%. 10 0 2 0.4 0.6 10 20 30 40 Concentration (wt%) 0.8 1.0 Concentration (wt%) 1.2 0 50 ◎小型センシングシステムの開発 200 100 20 Phase (deg) 微 粒 子 が 混 入 し て い る 液 体 計 測 に SHSAWセンサを応用するための基礎実験と して 希薄な絵の具水溶液の実験を行った して,希薄な絵の具水溶液の実験を行った. その結果,電気的摂動検出用チャネルを 用いると,色(顔料)の違いを検出可能であ ることが分かった. 0.2 → 3.実用化に向けた開発 4 0 0.0 o 45 C o 25 C ◎特性の優れたSH-SAWセンサの開発 一方向性電極の利用による特性改善 Loss (dB) -4 6 50 C, o 30 C, 50 ★微粒子混合溶液の測定 blue red yellow o 55 C, o 35 C, 60 0 8 o 60 C, o 40 C, 5 vol.% Phase sh hift (deg ) 第2主成分 1 ΔV/V V (x10 ) SH-SAWを用いた SHSAWを用いたDMFC DMFC用メタノー 用メタノー ルセンサ開発 陰極 ポンプ 2 0 DMFCの発電効率はメタノール濃度に依 存するためメタノールセンサが必要. 二酸化炭素出口 メタノールと水の混合物 40 0 SH-SAW sensor -100 60 50 51 52 Frequency (MHz) 53 -200 50 51 52 Frequency (MHz) 53 SH-SAW sensor keyword: 横波型弾性表面波,液相系センサ,密度粘度積,導電率,誘電率,複合計測 弾性表面波(SAW)を用いた液体用アクチュエータ ★SAWを用いた液体アクチュエータの原理 ★SAWストリーミング現象 SAW伝搬面上に液滴を付加するとSAWは液体中に縦波を放射する漏 洩弾性表面波(leaky SAW)となる. 液滴搬送 Longitudinal wave SAW Liquid IDT SAW 128oYX-LiNbO3 液滴飛翔(ポンプ) Leaky SAW 水中に放射した縦波により発生する力,SAWストリーミング力を利用す ると,様々な液滴ダイナミクスを観測することが出来る.この現象をSAW SAW ストリーミング現象と呼ぶ.SAWストリーミング現象により,液滴搬送,液 ストリーミング現象 滴飛翔(ポンプ),さらには極微小液滴飛翔(霧化)が生じる.これらの現象 は, ,SAW SAW素子に印加する電気信号で制御 素子に印加する電気信号で制御できる. SAW 霧化(極微小液滴飛翔) SAW SAW 薄膜作成への応用 薄膜作成 用 SAW IDT 電気的制御によるSAW 電気的制御による SAWを用いた液体アクチュエータが実現 を用いた液体アクチュエータが実現 SAWによる液滴搬送機能と計測機能を組み合わせたデジタル式マイクロ流体システム“マイクロ実験室”の開発 SAW による液滴搬送機能と計測機能を組み合わせたデジタル式マイクロ流体システム“マイクロ実験室”の開発 1.着想 3.圧電結晶表面を利用したマイクロ実験室 SAWを用いると ①液滴搬送が可能. ②液滴内に発生する音響流により均一攪拌が可能. ③液滴の温度制御が可能. IDT IDE IDT 128YX-LiNbO3 Distilled water ①横波型弾性表面波(SH-SAW)センサ ②表面プラズモンセンサ(プリズム型,導波路型,ファイバ型) ③微小電極を用いた電気化学センサ ・バルクタイプの表面プラズモンセンサの代わりに,金微粒子を 用いる局在表面プラズモンセンサを利用すれば,液滴搬送面 に 集積化が可能. ・微小電極(IDE)はSAW励振用電極であるIDTと同じ構造なの で集積化は容易. ・SH-SAWセンサの集積化にはモード解析が必要. Impedance (Ω) 2.研究室で開発しているセンサ 50 40 30 Mixed in the beaker Mixed on the SAW substrate 20 10 0 20 40 60 80 100 Concentration of glycerol/water (wt%) マイクロ実験室の最初の構成図 ID T Matching layer Drop let Sensor plate 128YXLiNbO3 Glass/liquid/128YX-LiNbO3 Water droplet 搬送・混合 •センサプレート/マッチング層/圧電結晶構造. •センサプレー ト上の液体を搬送.(液滴搬送機構 と計測機構の分離) •これまでに報告例のないユニークな研究 IDT IDE Droplet SAW LCR meter (HP 4285A) KCl水溶液を 4000 用いた測定 計測以外にも,複数の微小 液滴を用いた化学反応や 合成などにも利用可能であ る.このため,“マイクロ実 験室”と呼んでいる. 局在表面プラズモンセンサ IDT 利点 ・電気信号により液滴の位置制御が可能. ・複数のIDTにより液滴の方向制御が可能. ・温度制御可能 ・センサを集積化可能 欠点 圧電結晶は高価なので使い捨てが不可能 (生体分子計測等に応用が困難) Impedance (Ω) 新しい“マイクロ実験室” LCR meter (HP 4285A) 4.使い捨て可能なマイクロ実験室の提案と基礎研究 Glass 圧電結晶上にSAWによる液体搬送機構とIDEによ る液体計測機構を集積化. 128YX-LiNbO3 Glycerol 60 SAW伝搬面に計測機構を設けると,液滴を用いた新しいセンサ・アク チュエータ一体システムが実現できる. IDE SAW LCR meter (HP 4285A) 3000 Mixed on the micro-laboratory Theoretical value (*) 2000 1000 IDTとIDEの兼用 0 0.000 0.001 0.002 0.003 0.004 0.005 Molar concentration (mol/l) 排出 計測 IDTとIDE の兼用 圧電結晶 *P. V. Gerwen, et al., Sens. & Act. B, Vol. 49, pp.73-80 (1998). 3層構造を用いた液滴搬送実験結果 3層構造を用いた液滴搬送・混合・計測実験結果 keyword: 弾性表面波,液体アクチュエータ,液滴搬送,飛翔,霧化,マイクロ実験室 表面プラズモン共鳴(SPR)を利用したセンサ 表面プラズモン共鳴センサの高感度化 •表面プラズモン共鳴(SPR)センサ:免疫反応検出に利用 •生体分子の屈折率は1.5以上→高屈折率プリズムを使用 →高屈折率プリズム=高感度検出となるのか疑問 バッファ SPW 生体膜層 検出対象層 1層で表現 SPW 金薄膜 プリズム 金薄膜 プリズム 提案するSPRバイオセンサの モデル(等価的3層構造) SPRバイオセンサの構造 (多層膜構造) SPWから見た場合,バッファ層と生体膜層を合わせて1層 と見なすことが妥当.→“等価的3層構造”の提案.バッ ファ及び生体膜を見かけの屈折率で表す ファ及び生体膜を見かけの屈折率で表す. 数値解析 見かけの屈折率 計算条件 生体膜屈折率:1.45 バッファ:1.335 プリズム:1.70 1.45 1.43 1.41 1.39 1.37 1.35 1 33 1.33 0 2波長光ファイバSPRセンサの開発 •低価格なセンシングシステムの実現 •光源を白色光からLEDに変更 •検出器を分光器からフォトダイオード(PD)に変更. •LEDの波長の選択が重要. •共鳴波長の左側:反射光強度増加 •共鳴波長の右側:反射光強度減少 (右図参照) •反射率の差分を検出 •2波長を利用→高感度化が実現 共鳴波長の左右の波長を選択 λ1 λ2 予備実験により金薄膜の厚みとLEDの波長を決定. 波長:609.6 nm,675.9 nm 金膜厚 64.1 金膜厚: 64 1 nm 市販されているLEDから最も近いものを選択 612 nm,680nm To photodiode SPR sensor Optical couplers 200 400 600 生体膜層の厚さ(nm) Dual LED センサプローブ部分 生体膜層が薄いとき,見かけの屈折率はバッファの屈 折率に近い値となる →低屈折率プリズムの方が高感度検出可能. 低屈折率プリズムの方が高感度検出可能. 2波長光ファイバSPRセンサ の測定系.2個のLEDを交 互に点滅させる.検出は1個 のフォトダイオードで行う. ダ オ ド 行う 実験による検討 BK7プリズム(1.51391)を用いて生体膜の屈折率と見かけの プ ズ 屈折率を求めた. ・生体膜:抗BSA抗体 → 屈折率 1.53 ・バッファ:リン酸バッファ(PBS) → 屈折率 1.332 ・見かけの屈折率 → 1.335 実験結果 80 1.0 0.8 06 0.6 0.4 0.2 0.0 60 PBS/Au/Prism PBS/anti-BSA/Au/Prism S-TIM5 BK7 Quartz 70 Incident angle (deg) 80 シミュレーション結果 プリズム屈折率:S-TIM5 1.597, Synthesized quartz 1.456 実験結果,シミュレーション結果どちらも低屈折率プリズ ムの方が角度変化が大きくなる,つまり高感度化できる ことを示している. →SPR SPRセンサの高感度化に関する新しい考え方の確立. センサの高感度化に関する新しい考え方の確立. 10mm センサプローブ Ethanol, Water 1.2 Normalizedd reflectance Respon nse Respo onse PBS/Au/Prism PBS/anti-BSA/Au/Prism 1.0 0.8 06 0.6 0.4 0.2 BK7 0.0 S-TIM5 Quartz 60 65 70 75 Incident angle (deg) Φ 0.4mm Glucose y= 8.698x-10.88 1.0 0.8 y= -8.408+11.91 0.6 0.4 y= 17.11x-22.79 0.2 612 nm 680 nm Difference 0.0 -0.2 1.33 1.34 1.35 Refractive index 1.36 2波長LED光ファイバSPRセンサを用いた測定結果. 2波長LEDにより高感度化を実現 規格化光強度の 2波長LEDにより高感度化を実現.規格化光強度の 分解能は0.015.開発した2 2波長光ファイバ 波長光ファイバSPR SPRセン セン サは屈折率が1 サは屈折率が 1.33から 33から1 1.36の液体計測に有効 36の液体計測に有効. . keyword: 表面プラズモン共鳴(SPR),プリズム型,光ファイバ型,高感度化,屈折率センサ
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