直結型油回転真空ポンプ

No. VP-0601
小型直結型油回転真空ポンプカタログ
OIL-SEALED
ROTARY
VACUUM
PUMPS
CATALOG
G Series
GHD Series
GVD/GLS/GLD Series
GLD (Global-type) Series
GCD Series
小型オイルフィルトレーションシステム
オプショナルパーツ
真空配管部品
Creating Small Vacuum Pumps
アルバック機工株式会社
www.ulvac-kiko.com
Creating Small Vacuum Pumpss――アルバック機工
油回転真空ポンプの
最高品質と高次元応用分野を目指す
アルバックソリューションズがニーズにお応えします
アルバック機工の小型真空ポンプは､さまざまな産業分野で多彩な役割を担っています。理化学･分
析、一般産業機械、医薬､生科学、半導体･電子機器プロセスなど、研究開発用装置から製造ライン、
民生用家電製品まで、じつに多岐にわたり活躍しております。
アルバック機工は、小型真空ポンプの専門メーカーとして、真空ポンプの最高品質、さらなる高次
元応用分野の創生を目指しており、事業活動も日本はもとよりアジア､欧米向けに製造、販売、サー
ビス、開発とグローバルに展開しております。こうした活動は、真空技術をベースとする革新的技術
企業集団アルバックグループ各社との緊密な連携と共同によるものです。
私たちは、アルバックのトータルソリューションにより、お客様のさまざまなニーズ／性能・品質･
コスト･サービスにお応えできるものと信じております。
ISO9001、ISO14001認証取得
基本方針
各業界顧客の要求を満足する
小型・高性能・高信頼性の
製品を市場に供給することを
基本方針とする
徹底した品質保持を追求する
鹿児島工場／寧波（ニンボー）工場
品質方針
油回転ポンプ専門工場
品質向上
みんなの努力と協力で
油回転真空ポンプのできるまで
組立
準備
原材料
入荷
機械
加工
ポンプ
ヘッド
組立
部品
検査
総合
組立
製品
検査
梱包
出荷
塗装
ローター加工工程
製品1次検査
シリンダー
中間カバー加工工程
前カバー
ケーシング加工工程
製品2次検査
鹿児島工場全景
2
C O N T E N T S
目次
直結型油回転真空ポンプ Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
G-5
G-100S
G-5DA
G-100D
G-10DA
GHD Series
GVD/GLS/GLD
GLD Global-type Series
GCD Series
GHD-030
GHD-060
GHD-120
13–14
GVD-050A GLS-051
GLD-051
15–16
GLD-040
G-20DA
G-25SA
G-50SA
G-50DA
GLD-136A GLD-136C GLD-201A GLD-201B GLD-280
8–12
17–20
21–22
GCD-051X GCD-136X GCD-201X
カタログの見方
実効排気速度Actual pumping speed
G Series
表記の値は50Hzにおける実効排気速度を示します。60Hzの場合は1.2倍の能力が得られます。
（他
社の場合、排気速度を設計排気速度で示している例がありますが、当社では実効排気速度を採用
しています）
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G-10DA
G-10DA
実効排気速度表示
Actual pumping speed
1段型、2段型の区分
Ｓは1段型、Ｄは2段型を示します。
型式
Type of pump
G
直結型油回転真空ポンプ
GHD 直結型油回転真空ポンプ
GLS
直結型油回転真空ポンプ
GVD 直結型油回転真空ポンプ
GLD 直結型油回転真空ポンプ
GCD 直結型油回転真空ポンプ（耐食型）
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
吸気管φ18（M20×P1）
Inlet pipe
11.5
レベルゲージ
71
排気管
40
228
33
16 17
Outlet pipe
Oil level gauge
120
ハンドル
Handle
40
スィッチ
Switch
モータ
Motor
9
コンデンサ
ボックス
コード付き
先ばら
スイッチ付
き
端子のみ
コードなし
14
51
51
165
Condenser
box
コード付き
プラグ
18
20
74
110
18
130
ゴム脚 4-M4
排油栓 M6
Drain plug
27.5 15
Rubber legs
120
ベース
15
Base
銘板
電源
コード
Name plate
Cord
大気圧の気体を吸入した場合の実効排気速度を示します。メーカによっては設計排気速度標示
の場合がありますが、その場合は1.2倍程度にすることによって換算できます。
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Motor speed
回転速度
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
L/min.
10
Pa
60Hz
12
1.3
1φ,100V,60W,4 poles,capacitor run
A
1.38
1.22
r/min.
1,250
1,565
mL
250
SMR-100
kg
5.5
mm
O.D.φ18×I.D.φ14
℃
7∼40
mm
130(W)×228(L)×165(H)
到達圧力を示します。到達圧力とはポンプの真空をつくる最大の能力で、この圧力に達すると
ポンプの排気速度は0となります。
使用しているモータの定格を示します。
カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧をご希望の場合はご照会ください。別途お見積いたします。
電源コード、接続チューブを含まないポンプの単体の質量です。
標準の吸気管の外径を示します。これと異なる場合はお問い合わせください。
ポンプ使用はこの雰囲気温度にて行ってください。
・カタログ仕様（標準仕様）以外の電圧で使用ご希望の場合はご照会ください。
・お客様の用途に応じて仕様を変更または追加することができます。
ご要求仕様及び台数をお知らせください。お見積いたします。
・仕様及び外観は改良のため予告なく変更することがあります。
3
幅広い産業分野で利用される真空ポンプ
直結型油回転真空ポンプ排気速度・到達圧力一覧
大気圧
1 0.01 1×10-2
kgf/cm2
760 75×10-2 7.5×10-2
トール Torr
水銀柱 mmHg
1.01
1 0.1
3.8×10-2
0.05
1×10-3 15×10-5
1×10-4
7.5×10-3 1.1×10-3
7.5×10-3
1×10-2
15
10
絶対真空
50×10-6 0
3.8×10-4
5
0
0
表
記
と
の
比
較
バール bar
101300Pa 100
10
5
1 15×10-2
10×10-2
5×10-2 0
パスカル Pa
250
200
150
100
50
0
L/min
機種
排気速度
5/6 L/min (50/60Hz)
5/6
10/12
G-5
20/24
G-20DA
50/60
G-50SA
50/60
G-50DA
100/120
G-100S
100/120
G-100D
60/72
9.3Pa
1.3×10 -1Pa
9.3Pa
1.3×10 -1Pa
9.3Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
GHD-030
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
GHD-060
50/60
GVD-050A
50/60
GLS-051
40/48
GLD-040
50/60
GLD-051
135/162
GLD-136A
135/162
GLD-136C
200/240
GLD-201A
200/240
GLD-201B
280/336
GLD-280
50/60
200/240
1.3Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
GHD-120
120/144
135/162
6.7Pa
G-10DA
G-25SA
GCD-051X
GCD-136X
GCD-201X
マクラウド真空計による測定値
（）はピラニー真空計による測定値
4×10 3Pa
G-5DA
20/24
30/36
最高到達圧力
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
9.3Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
6.7 ×10 -2 (6.7 ×10 -1) Pa
4
そ
の
他
の
単
位
のア
単ル
位バ
表ッ
記ク
機
工
ガスバラスト
バルブ付属
サーマル
プロテクタ
逆流防止
なし
自動復帰
なし
電圧
変更
吸気口
変更
電圧対応その他
特長・最適用途
小型でハンディです。
・デシケータ排気
・真空乾燥、真空ろ過、真空濃縮
・吸着・真空チャック
・吸気分析・ガスクロマトグラフ
・小型アスピレータ
・歯科用焼成炉
・小型空調機配管引き
・冷媒回収
・精密鋳造なし
自動復帰
なし
電圧
変更
なし
自動復帰
なし
電圧
変更
吸気口
変更
なし
手動復帰
なし
電圧
変更
吸気口
変更
なし
手動復帰
なし
電圧
変更
吸気口
変更
なし
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
なし
手動復帰
なし
電圧
変更
吸気口
変更
なし
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
あり
手動復帰
なし
電圧
変更
吸気口
変更
あり
自動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
あり
自動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
あり
自動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
あり
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
安増
防爆
なし
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
安増
防爆
あり
自動復帰
あり
マルチ
レンジ
電圧
吸気口
変更
安増
防爆
あり
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
安増
防爆
あり
なし
あり
マルチ
レンジ
電圧
吸気口
変更
C E
対応
※
安増
防爆
耐圧
防爆
自動復帰
あり
マルチ
レンジ
電圧
吸気口
変更
C E
対応
※
あり
安増
防爆
耐圧
防爆
なし
あり
マルチ
レンジ
電圧
吸気口
変更
C E
対応
※
あり
安増
防爆
耐圧
防爆
自動復帰
あり
マルチ
レンジ
電圧
吸気口
変更
C E
対応
※
あり
安増
防爆
耐圧
防爆
あり
なし
あり
マルチ
レンジ
電圧
吸気口
変更
あり
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
安増
防爆
あり
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
安増
防爆
耐圧
防爆
あり
手動復帰
あり
電圧
変更
吸気口
変更
安増
防爆
耐圧
防爆
CE
対応
※
直結型でコンパクトな真空ポンプです。環境対応（省エネ・低騒
音・低振動）にも配慮いたしました。
中真空用ポンプまたは高真空ポンプ（ターボ分子ポンプ・クライ
オポンプ・油拡散ポンプ）のバックポンプとして最適です。
GHDシリーズ：2極高速モータ使用。コンパクトです。
GVD／GLDシリーズ：小型真空ポンプのベストセラーです。
GCDシリーズ：耐食型。ケミカル用途に最適です。
GLD Global シリーズは、ユニバーサルモータ付、世界中の電圧に
対応します。CEマーク付です（GLD-280を除く［2006年4月1日現
在］）。
・GLD、GCDシリーズは耐圧防爆、安全増防爆モータ対応ができ
ます。お問合せください。
・CE対応−お問合せください。
分析機器、理化学機器
・電子顕微鏡、X線分析、質量分析
・真空濃縮、ろ過、遠心分離
・ガス分析、ガスクロ脱気
半導体・電子電機
・真空乾燥、脱ガス、脱泡、射出成型、真空含浸
・スパッタ、真空蒸着、CVD、真空炉、ガス雰囲気炉
・リークディテクタ、検査装置
冷凍空調
・吸収式冷凍機
・冷凍機、空調機の配管内水分除去
医科・歯科
・歯科焼成炉、埋没材脱泡
・アスピレータ、レーザーメス、バリウム脱泡
印刷・包装・食品
・真空パック、真空包装、ラベリング
・脱泡、脱ガス
その他
・真空チャック
・ガス充填
・レーザー機器
・真空成型
・ランプ排気
※GLD-040／136A・C／201A・Bを耐圧防爆、安全増防爆モータに変更の場合はCE対応となりません。ご注意ください。
5
油回転真空ポンプに関する一般事項
バルブがあります。水蒸気を吸引した場合、ポンプ内
大気圧付近での連続運転には不適です。
油回転真空ポンプは、
中真空／高真空
（100∼0.1Pa）
の圧縮工程で圧縮され、凝縮して水になりオイルに混
用ポンプとしてすぐれた性能をもっていますが、低真
入いたします。これを防ぐため、ガスバラストバルブ
空とくに大気圧付近での連続運転には不適です。これ
を開け、圧縮室に適量の空気をいれると、水蒸気は凝
は真空のシールに真空ポンプ油の油膜を利用している
縮せずそのまま排出されます。ガスバラストバルブ開
ため、大気圧付近で連続運転いたしますと、ポンプ油
のままでは到達圧力が低下いたしますので、通常は引
がオイルミストとして飛散するためです。大気圧付近
き始めの水蒸気の多い段階のみガスバラストバルブを
での連続運転には、ドライ真空ポンプをおすすめいた
開け、ある程度圧力が下がったら閉じておきます。
します。
（ドライ真空ポンプカタログをご参照ください）
・オイルミストについて
・真空ポンプ油
低真空領域（大気圧∼100Pa）では排気される空気
溶剤あるいは水蒸気など蒸気圧の高い物質がオイル
の量が多いため、空気流に同伴されて、わずかですが
に混入しますと、真空ポンプ油の蒸気圧が高くなり、
ポンプ油がオイルミストとして排出されます。室内を
性能が低下するだけでなく、サビの発生、スラッジの
汚すだけでなく、ポンプ油が減って本体に油の供給が
発生などにより機械的な故障を起す原因になります。
できなくなります。これを防ぐためポンプの排気口に
これらの物質を吸引する場合は、ポンプを保護するた
オイルミストトラップ、オイルミストセパレータの取
め凝縮器（コンデンサ）を取付けるか、または頻繁に
付をおすすめいたします。
（オイルミストトラップは、
油を交換するようお願いいたします。
24ページをご参照ください）
空気のみを排気する場合も、長期間使用致しますと
空気中の水分が少しずつポンプ油に混入し、到達圧力
・使用電圧について
が悪くなります。使用頻度、使用条件によって期間は
各機種とも、標準品電圧（カタログ仕様欄に記載）
一概にはいえませんが、真空ポンプ油は定期的に交換
の他各種電圧に対応いたします。お申し付けください。
する必要があります。また長期間ポンプを使用しない
場合はポンプ油を抜き取り、新しい油に入れ替えてお
くことをおすすめいたします。
・吸気管、排気管
吸気管、排気管は変換可能です。25ページの対応表
をご参照ください。
・ガスバラストバルブ
水蒸気を吸引する場合の対策として、ガスバラスト
油回転真空ポンプの排気原理
アルバック機工の油回転真空ポンプは、ゲーデ型真
くり返しますので、１段式より高真空が得られます。カ
空ポンプで、動作原理は次の通りです。２段式はロー
タログ中の「Single-stage」が１段式、
「Two-stage」
タおよびシリンダを２式そなえ、吸入圧縮排気を２回
が２段式です。
2段式（Two-stage)
油回転真空ポンプの排気状態
排気弁吸気口
排気弁
吸入
圧縮1
圧縮2
吸気口
排気
6
真空の圧力単位について
新計量法による圧力の単位には、ＳＩに係
る計量単位としてPa（パスカル）、N/m2（ニ
ュートン毎方平メートル）およびbar（バー
ル）が用いられるほか、非ＳＩ単位として、
生体内の圧力にTorr（トール）が、そして血
圧にmmHg（水銀柱ミリメートル）が認めら
れています。
真空圧力の表記には、次の二通りの方法が
あります。真空業界では、絶対圧力を使用し
ますが、他の業界ではゲージ圧が多く使われ
るので、資料やカタログをご覧になるときは、
どちらの方法で圧力が表記されているか確認
する必要があります。
１.
絶対真空を０（ゼロ）とした絶対圧
単位の後にaまたはabsと記す（省略する
ことが多い）
２. 大気圧を０（ゼロ）としたゲージ圧
単位の後にGまたはGaugeと記す（省略
されることが多い）
■各圧力単位における大気圧の値
単位
読み方
絶対圧表記
ゲージ圧表記
真空圧力
真空圧力
大気圧
絶対真空大気圧
範囲
Pa（N/m2）
パスカル
101325
絶対真空
範囲
←→
0
0
←→
-101325
kPa
キロパスカル
101.3
←→
0
0
←→
-101.3
M Pa
メガパスカル
0.101
←→
0
0
←→
-0.101
bar
バール
1.013
←→
0
0
←→
-1.013
mbar
ミリバール
1013
←→
0
0
←→
-1013
Torr
トール
760
←→
0
0
←→
-760
mmHg
ミリメータ水銀柱
760
←→
0
0
←→
-760
mmH2O
ミリメータ水柱
10342
←→
0
0
←→
-10342
1
←→
0
0
←→
-1
14.696
←→
0
0
←→
-14.696
1.0332
←→
0
0
←→
-1.0332
（Aq）
（アクア）
atm
気圧
psi（bf/in2）
ポンド平方インチ
キログラム
kgf/cm2
平方センチメートル
■単位の比較
（絶対真空）
Torr abs
（mmHg abs）
（大気圧）
減圧（真空圧）
100
200
300
400
500
600
700
0.9
加圧
760
1
トール
（ミリメータHg）
1.013
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0
10×103
20×103
30×103
40×103
50×103
60×103
70×103
80×103
0
10
20
30
40
50
60
70
80
90
100 101.32
0
0.01
0.02
0.03
0.04
0.05
0.06
0.07
0.08
0.09
0.1 0.101
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
bar abs
バール
Pa abs
90×103 100×103 101325
パスカル
kPa abs
キロパスカル
MPa abs
メガパスカル
0
0.1
1
1.1
1.2
キログラム毎平方
センチメートル
kg/cm2 abs
-760
Torr G
（mmHg）
-1.01
-700
-600
-0.9
-0.8
-500
-400
-0.7
-300
-200
-100
0
トール
（ミリメータHg）
-0.6
-0.5
-0.4
-0.3
-0.2
-0.1
0
-60×103
-50×103
-40×103
-30×103
-20×103
-10×103
0
-70
-60
-50
-40
-30
-20
-10
0
9.8
19.6
-70×10-3
-60×10-3
-50×10-3
-40×10-3
-30×10-3
-20×10-3
-10×10-3
0
9.8×10-3
19.6×10-3
0
0.1
0.2
bar G
バール
-101325 -90×103
-80×103
-70×103
Pa G
パスカル
-101
-90
-80
kPa G
キロパスカル
-101×10-3 -90×10-3 -80×10-3
MPa G
kg/cm2 G
メガパスカル
-1
-0.9
-0.8
-0.7
-0.6
-0.5
-0.4
-0.3
-0.2
-0.1
キログラム毎平方
センチメートル
■単位換算表
To
From
1 Pa（N/m2）
Pa（N/m2）
Torr（mmHg）
atm
mbar
psi（bf/in2）
kgf/cm2
mH2O（15°
）
1
7.50×10-3
9.87×10-6
10-2
1.45×10-4
1.02×10-5
1.02×10-4
1 Torr（mmHg）
133.32
1
1.316×10-3
1.33
1.93×10-2
1.359×10-3
1.36×10-2
1 atm
1.013×105
760
1
1.013×103
14.696
1.033
10.34
1 mbar
100
0.750
9.87×10-4
1
1.45×10-2
1.02×10-3
10.206×10-3
1 psi
（bf/in2）
6.89×103
51.71
6.8×10-2
68.9
1
7.031×10-2
0.703
1 kgf/cm2
9.8×104
735.56
0.968
9.81×102
14.223
1
10
1 mH2O
9.8×103
73.49
9.68×10-2
98.0
1.421
0.1
1
7
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G Series
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G-5
■スタンダードタイプ Standard type
G-5
G-5DA
G-10DA
G-25SA
G-20DA
G-50SA
G-50DA
G-100S
G-100D
実効排気速度表示
Actual pumping speed
特長
当社の直結型油回転真空ポンプはゲーデ型の回転翼型真空ポ
ンプです。ゲーデ型の特長は、真空ポンプ油の使用により回転
部の潤滑と真空封止をしていますので、高真空が安定して得ら
れる信頼性の高いポンプです。またモータ直結型であることか
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
With built-in thermal protector
らベルト方式に比べ、高速回転かつ小型で大きな排気速度が得
られます。
寸法図 Dimensions
Gシリーズは長年にわたり豊富な実績を持ち、低価格を実現し
た油回転真空ポンプのスタンダードタイプです。
GシリーズはSingle stageとTwo-stageの２種類があり、その
排気量も5∼100 L/min.まで豊富に取り揃えています。
17 17
吸気管
φ12
（M14×P1）
Outlet pipe
42
17
レベルゲージ
Inlet pipe
85
ハンドル
55
Handle
モータ
Oil level Gauge
コンデンサ
Motor
Condenser
95
使用上の注意
注油栓
156
1．油回転真空ポンプは油の減少や汚れを定期的にチェックし
199
排気管
φ12
（M17×P1）
Oil inlet plug
40
てください。
ベース
2．ポンプを停止する場合は、油の逆流を防ぐためにポンプ内
を大気圧にもどしてください。
（詳細についてはお問い合わ
せください）
Base
ゴム脚
21
GS
Series
直結型油回転真空ポンプ
レベルゲージ
60
123
Oil level gauge
排油栓 M6
80
150
Drain plug
3．大気圧近くでは排気口から油が発散することがあります。
4-M3
17 Rubber legs
これを防ぐためには、当社のオイルミストトラップ（OMTシ
リーズ）あるいはオイルミストセパレーター（OMSシリー
ズ）のご使用をおすすめします。また吸気側には、フォアラ
イントラップ（油の逆拡散防止用及び水分、粉体混入防止
用の2種）を用意しております。
4．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当で
す。
主な利用分野
1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器
2．小型食品包装機、真空成型機
3．真空排気装置、電子顕微鏡のバック
4．半導体製造装置
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
L/min.
5
60Hz
6
4×103
Pa
1φ,100V,25W,4 poles,capacitor run
A
mL
0.6
0.6
20
SMR-100
kg
2.5
mm
O.D.φ12×I.D.φ6
℃
7∼40
mm
80(W)×199(L)×156(H)
5．真空蒸着装置、凍結乾燥器
6．医療用機器全般
8
スタンダードタイプ
G Series
直結型油回転真空ポンプ
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G-5DA
G-10DA
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
寸法図 Dimensions
203
61
39
排気管
Outlet pipe
105
ハンドル
Handle
33
9 34.5
排気管
Outlet pipe
33
16
スイッチ
Switch
モータ
Motor
11.5
228
4
71
40
排気管
Outlet pipe
120
33
16
ハンドル
Handle
スイッチ
Switch
モータ
Motor
電源コード
Cord
51
銘板
Name plate
14
51
銘板
Name plate
コンデンサー
カバー
Concenser
cover
51
165
51
159.5
9
コンデンサー
カバー
Concenser
cover
レベルゲージ
Oil level gauge
40
吸気管
Suction pipe
11.5
レベルゲージ
Oil level gauge
With built-in thermal protector
18
20
74
110
130
15
17.5
ゴム脚
ベース
Rubber leg Base
120
150
14
排油栓
Drain plug
18
18
20
排油栓
Drain plug
18
ゴム脚
Rubber leg
120
27.5 15
15
ベース
Base
電源コード
Cord
仕様 Specifications
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
74
110
130
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
5
6
6.7
Pa
1φ,100V,40W,4 poles,capacitor run
A
0.92
mL
0.73
180
SMR-100
kg
5
mm
O.D.φ12×I.D.φ6
℃
7∼40
mm
130(W)×203(L)×159.5(H)
オプショナルパーツ Optional parts
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
10
12
Pa
1.3
1φ,100V,60W,4 poles,capacitor run
A
1.38
mL
1.22
250
SMR-100
kg
5.5
mm
O.D.φ18×I.D.φ14
℃
7∼40
mm
130(W)×228(L)×165(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管（O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）
ホース口吸気管（O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）
KF-25吸気管（KF-25×M20）
KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
KF-25吸気管（KF-25×M20）
KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
逆止弁
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
逆止弁
フィルター付吸気管（O.D.9）
フィルター付吸気管（O.D.9）
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
9
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
GS
Series
i
G Series
スタンダードタイプ
G Series
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G-25SA
G-20DA
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
299.5
38
Switch
Thermal
protector
電源コード
Cord
排油栓 M8
15
170
15
200
ゴム脚 4-M4
ベース
Rubber leg
Base
Drain plug
17.5
25
91
125
131
156
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
40
44
Motor
Oil level
gauge
銘板
スイッチ
Switch
サーマル
プロテクター
Thermal
protector
電源コード
Cord
仕様 Specifications
Inlet pipe
Outlet pipe
Name
plate
40
66.5
サーマル
プロテクター
吸気管
φ18（M20×P1）
199.5
75
スイッチ
12.5
排気管
オイル
レベルゲージ
モータ
銘板
5.5
75
Oil level
gauge
Motor
63.5
40
Handle
40
44
オイル
レベルゲージ
モータ
ハンドル
Inlet pipe
Outlet pipe
Handle
63.5
29 20
167
吸気管
φ18
（M20×P1）
38
12.5
排気管
Name
plate
40
66.5
ハンドル
5.5
199.5
63.5
52
29 20 30
15
170
15
200
ゴム脚 4-M4
ベース
Rubber leg
Base
排油栓
M8
14
288
167
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
14
GS
Series
G Series
Drain
29 plug
25
91
125
131
156
仕様 Specifications
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
20
24
Pa
9.3
1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting
A
3.7
mL
3.0
230
SMR-100
kg
8.5
mm
O.D.φ18×I.D.φ14
℃
7∼40
mm
156(W)×288(L)×199.5(H)
オプショナルパーツ Optional parts
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
L/min.
20
60Hz
24
1.3×10-1
Pa
1φ,100V,100W,4 poles,split phase starting
A
3.7
mL
3.0
180
SMR-100
kg
9
mm
O.D.φ18×I.D.φ14
℃
7∼40
mm
156(W)×299.5(L)×199.5(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管（O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）
ホース口吸気管（O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）
KF-25吸気管（KF-25×M20）
KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
KF-25吸気管（KF-25×M20）
KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
逆止弁
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
インライントラップ＊（OMI-100）
フィルター付吸気管（O.D.9）
フィルター付吸気管（O.D.9）
逆止弁
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
＊オイルミストトラップアダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
10
スタンダードタイプ
G Series
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G-50SA
G-50DA
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
逆流防止機構付
With back flow oil shut-off valve
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
With built-in thermal protector
40
44
Oil level
gauge
75
38
Switch
Cord
15
170
15
200
ゴム脚 4-M4
ベース
Rubber leg
Base
14
排油栓
M8
Drain
plug
59
91
125
131
156
25
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
吸気管
φ18
（M20×P1）
Inlet pipe
Oil level
gauge
Motor
銘板
スイッチ
Switch
サーマル
プロテクター
Thermal
protector
電源コード
Cord
仕様 Specifications
12.5
オイル
レベルゲージ
Name
plate
40
66.5
サーマル
プロテクター
電源コード
5.5
排気管
Outlet pipe
モータ
銘板
スイッチ
Thermal
protector
93.5
40
Handle
オイル
レベルゲージ
Motor
63.5
29 20
ハンドル
199.5
Handle
182
Inlet pipe
Outlet pipe
モータ
344.5
吸気管
φ18
（M20×P1）
40
44
12.5
75
5.5
排気管
Name
plate
40
66.5
ハンドル
93.5
40
199.5
63.5
29 20
38
344.5
182
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
15
170
排油栓
M8
15
200
ゴム脚 4-M4
ベース
59
Rubber leg
Base
14
寸法図 Dimensions
Drain
plug
91
125
131
156
25
仕様 Specifications
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
50
60
Pa
9.3
1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting
A
5.6
mL
4.8
360
SMR-100
kg
11
mm
O.D.φ18×I.D.φ14
℃
7∼40
mm
156(W)×344.5(L)×199.5(H)
オプショナルパーツ Optional parts
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
L/min.
50
60Hz
60
1.3×10-1
Pa
1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting
A
5.6
mL
4.8
260
SMR-100
kg
11
mm
O.D.φ18×I.D.φ14
℃
7∼40
mm
156(W)×344.5(L)×199.5(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）
ホース口吸気管（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）
KF-25吸気管（KF-25×M20）
KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
KF-25吸気管（KF-25×M20）
KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
インライントラップ＊（OMI-100）
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
インライントラップ＊（OMI-100）
フィルター付吸気管（O.D.9）
逆止弁
フィルター付吸気管（O.D.9）
逆止弁
＊オイルミストトラップアダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
11
＊オイルミストトラップアダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
GS
Series
i
G Series
スタンダードタイプ
G Series
スタンダードタイプ
直結型油回転真空ポンプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
G-100S
G-100D
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
逆流防止機構付
ガスバラストバルブ付
With back flow oil shut-off valve
With built-in gas ballast valve
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
460.5
5.5
1
163
吸気管
φ27（□40フランジ）
79
213
Inlet pipe
Inlet pipe
30
注油栓
排気管
Oil inlet plug
Outlet pipe
50
注油栓
21
Handle
モータ
Motor
排気管
146
Motor
50
サーマルプロテクター
79
φ142
Thermal protector
Base
15
Oil level
gauge
10 15
200
排油栓 M8
Drain plug
14
Rubber legs
230
114
ベース
15
118
ゴム脚 4-M4
14
23
27.5
146
排油栓 M8
Drain plug
200
Base
15
ゴム脚 4-M4
Rubber legs
230
114
27.5
173.5
173.5
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Oil inlet plug
ハンドル
モータ
48
φ142
264
48
23
213
注油栓
21
Handle
79
15
14
50
レベルゲージ
ベース
118
14
83
Condenser
レベルゲージ
Oil level
gauge
30
79
1
Outlet pipe
コンデンサ
（100V単相モーター）
（100V Motor）
サーマルプロテクター
Thermal protector
22 30
Gas ballast valve
ハンドル
50
Condenser
ガスバラストバルブ
Oil inlet plug
62
コンデンサ
（100V単相モーター）
（100V Motor）
83
163
264
22 30
460.5
5.5
30
62
吸気管
φ27（□40フランジ）
10 15
GS
Series
G Series
仕様 Specifications
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
100
120
Pa
9.3
1φ,100V,400W,4 poles,capacitor starting
A
8.6
mL
7.7
1,200
SMR-100
kg
21.6
mm
O.D.φ27×I.D.φ20
℃
7∼40
mm
173.5(W)×460.5(L)×264(H)
オプショナルパーツ Optional parts
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
100
120
6.7×10-2 (6.7×10-1)
（6.7）
Pa
1φ,100V,400W,4 poles,capacitor starting
A
8.6
mL
7.7
800
SMR-100
kg
22.4
mm
O.D.φ27×I.D.φ20
℃
7∼40
mm
173.5(W)×460.5(L)×264(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）
KF-25吸気管＊（KF-25×M20）
KF-25排気管（KF-25×G1）
KF-25吸気管＊（KF-25×M20）
KF-25吸気管（KF-25×□40フランジ）
排気管（O.D.27×R1）
KF-25吸気管（KF-25×□40フランジ（PPS））排気管（O.D.27×R1）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
オイルミストトラップ（OMT-100A）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
オイルミストトラップ（OMT-100A）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
インライントラップ（OMI-100）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
インライントラップ（OMI-100）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
＊□40アダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
＊□40アダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
KF-25排気管（KF-25×G1）
12
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GHD Series
高速回転タイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GHD-030
■高速回転タイプ High Speed type
GHD-030
GHD-060
GHD-120
実効排気速度表示
Actual pumping speed
特長
GHDシリーズは、Gシリーズをさらに発展させたコンセプトを
基に開発されたシリーズです。特に2極モータの採用により、
一段と小型軽量化を実現し、種々の機構を完備しています。
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
油の逆流防止機構、ガスバラストバルブ、強制給油方式、過電
With built-in thermal protector
流保護回路を装備し、可搬式または卓上式装置への組込みに
最適な直結型油回転真空ポンプです。
寸法図 Dimensions
使用上の注意
GHDシリーズは性能が格段にアップされておりますが、その性
能を最大限に引き出すためにGシリーズの注意に加え、次のこ
コンデンサーカバー Condenser cover
注油栓
Oil inlet plug
29 29
(排気) (注油栓)
25 23
（吸気）
（G.V）
吸気管 KF-16
Inlet pipe
オイルレベルゲージ
Oil level gauge
106
37
66
40
135.5
20.5 16.5
5.5
130
ハンドルモータ Hndle
Motor
18
とにも注意してください。
ガスバラスト
バルブ
（G.V）
Gas baiiast
valve
排気管 KF-16
Outlet pipe
38
１．シリーズは小型ながら10-2Paと高真空領域まで真空にする
36
可能なものをお使いください。
58
２．有毒ガスや腐食性ガスにはGCDシリーズをお使いください。
166
能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用
３．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当
ゴム脚
Rubber legs
120
64
69
107
15
主な利用分野
1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器
排油栓 M8
Drain plug
仕様 Specifications
2．真空排気装置
3．電子顕微鏡のバック
59.5
15
278.5
120
4．リークディテクタ
ベース
4-φ8貫通
Base
13
です。
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
30
36
6.7×10-2 (6.7×10-1)
(6.7)
Pa
1φ,100V,150W,2 poles,capacitor run
A
2.2
mL
2.4
600
R-2
kg
8.7
mm
KF-16
℃
7∼40
mm
120(W)×278.5(L)×166(H)
オプショナルパーツ Optional parts
GHD-030用ホース口吸気管（O.D.12、O.D.18）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
ホース口排気管（O.D.12×G 3/4）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
ホース口排気管（O.D.15×G 3/4）
インライントラップ＊（OMI-100）
ホース口排気管（O.D.18×G 3/4）
＊インライントラップ用アダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
13
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
GHD S
Series
i
直結型油回転真空ポンプ
高速回転タイプ
GHD Series
直結型油回転真空ポンプ
高速回転タイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GHD-060
GHD-120
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
吸気管
KF-25
（□40フランジ）
注油栓
Oil inlet plug
100
40 30
Inlet pipe
排気管
63
160
145
ハンドル
Handle
22
Outlet pipe
コンデンサーカバー
Condenser cover
39
Gas ballast
valve
レベルゲージ
Oil level
gauge
モータ
ガスバラスト
バルブ
Gas ballast
valve
レベル
ゲージ
Oil level
gauge
23 30
14 22
吸気管
排気管
KF-25（□40フランジ） Outlet pipe
Inlet pipe
125
50
45
注油栓
Oil inlet plug
63
180
22
170
ハンドル
Handle
39
ガスバラスト
バルブ
23 30
14 22
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
コンデンサーカバー
Condenser cover
Drain plug
121
48
217
70
43
217
ベース 4-φ8貫通
ゴム脚
68
5.5
15
Rubber legs
140
15
Base
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
5.5
排油栓 M8
Drain plug
121
5.5
94
15
ゴム脚
Rubber legs
140
132
323
132
13
排油栓 M8
5.5
70
43
48
95
95
Motor
13
GHD S
G
Series
GHD Series
ベース
4-φ8貫通
Base
15
モータ
Motor
368
仕様 Specifications
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
60
72
6.7×10-2 (6.7×10-1)
6.7
Pa
1φ,100V,200W,2 poles,capacitor run
A
5.0
mL
4.5
600
R-2
kg
14
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
132(W)×323(L)×217(H)
オプショナルパーツ Optional parts
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
120
144
6.7×10-2 (6.7×10-1)
6.7
Pa
1φ,100V,300W,2 poles,capacitor run
A
5.5
mL
5.0
600
R-2
kg
17
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
132(W)×367(L)×217(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）オイルミストトラップ（OMT-100A）
ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）オイルミストトラップ（OMT-100A）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
インライントラップ（OMI-100）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
インライントラップ（OMI-100）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
ホース口排気管（O.D.27）
ホース口排気管（O.D.27）
＊□40アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
＊□40アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
14
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GVD Series
スーパータイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GVD-050A
■スーパータイプ Super type
GVD-050A
GLS-051
GLD-051
実効排気速度表示
Actual pumping speed
特長
「GVD-050A」と「GLD-051」は、
「Ｇシリーズ」直結型油回
転真空ポンプを一段とグレードアップしたタイプです。直結型
油回転真空ポンプの性能を最大限に高めるとともに種々の機構
を完備しています。ガスバラスト機構により、吸引する気体中
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
With built-in thermal protector
に凝縮性成分（例えば水など）を除去し、ポンプ油中に溶解す
寸法図 Dimensions
で全領域での使用に高い信頼性があります。油の逆流防止機構
ガスバラストバルブ
Gas ballast
によりポンプの運転停止時における油の逆流を防ぐことができ
ます。さらに強制空冷機構により到達圧力は10 -2Paの高真空
が得られます。
「GLS-051」は、1段式真空ポンプです。到達圧力は「GVD-
415.5
82.5
179
です。
76
17.5
排気管 (R3/4)
Outlet pipe
113.5
1 10 1
35
49
3.5
吸気管 (φ18×φ14)
Suction pipe
35 20（排気側）
20 18（吸気側）
5.5
52
103
ハンドル
Handle
050A」と「GLD-051」に劣りますが、安価で低振動・低騒音
スイッチ
Switch
236
スイッチ
ボックス
Switch Box
「GVD-050A」と「GLD-051」は「Gシリーズ」に比べて性能
が格段にアップされておりますが、その性能を最大限に引き出
サーマル
プロテクター
Thermal protecter
20
260
300
20
12
64.5
13
すためにGシリーズの注意に加え次のことにも注意してくださ
電源コード
Cord
い。
1．
「GVD-050A」と「GLD-051」は高真空領域（10-2Pa）の
能力がありますので、真空継手や容器は高真空で十分に使用
可能なものをお使いください。
2．各シリーズの吸気管は、真空容器側接続口に合わせて各種
サイズを用意しています。詳細は25ページ「吸気管排気管
対応表」をご参照ください。
3．油回転真空ポンプの真空引きはじめには、オイルミストが
発生します。室内汚染防止のため、オイルミストトラップの
取付けをおすすめします。詳細は24ページ「オプショナルパ
ーツ」をご参照ください。
4．有毒ガスや腐食性ガスには「GCDシリーズ」をお使いくだ
さい。
5．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当で
す。
ゴム脚 (4-M4)
Rubber legs
オイルレベルゲージ
Oil level gauge
ベース
136 Bass 12
160
173
10 20
71
使用上の注意
注油栓
Oil inlet plug
モータ (1φ100V)
Motor
83
るのを防ぎます。また強制給油機構により大気圧から高真空ま
注油栓 (M8)
Drain plug
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
50
60
6.7×10-2 (6.7×10-1)
6.7
Pa
1φ,100V,200W,4 poles,split phase starting
A
5.6
mL
4.8
430
SMR-100
kg
13.7
mm
O.D.φ18×I.D.φ14
℃
7∼40
mm
173(W)×415.5(L)×236(H)
オプショナルパーツ Optional parts
主な利用分野
ホース口吸気管（O.D.8、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18）
KF-25吸気管（KF-25×M20）
KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
2．真空排気装置、電子顕微鏡のバック
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
3．半導体製造装置、スパッター装置、真空蒸着装置
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
インライントラップ＊（OMI-100）
フィルター付吸気管（O.D.9）
逆止弁
1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器
4．真空乾燥器、凍結乾燥器
15
＊インライントラップ用アダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
G /G S/G
GVD/GLS/GLD
Series
S
i
直結型油回転真空ポンプ
スーパータイプ
GLD Series
直結型油回転真空ポンプ
スーパータイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLS-051
GLD-051
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
365
13
78.5
222.5
オイルレベルゲージ
Oil level gauge
モータ
Motor
スイッチ
Switch
10
74
サーマル
プロテクター
Thermal
protector
電源コード
Cord
17
ベース
Base
ゴム脚
206 Rubber leg 17
240
42
ドレンプラグ
Drain plug
15.5
20
110
150
165.5
20
フィルター
キャップ
Filter cap
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure
到達圧力
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
179
銘板
ハンドル Name plate
Handle
399
70
36.5 23.5 35
18
145
64
5
46
モータ
Motor
注油栓
Oil inlet plug
ガスバラストバルブ
排気管 Gas Ballast valve
Outlet pipe
オイルレベルゲージ
Oil level gauge
サーマル
プロテクター
Thermal
protector
電源コード
Cord
吸気管
Inlet plpe
35 18
39
吸気管
Inlet plpe
13 78.5
222.5
35 18
排気管
Outlet pipe
スイッチ
Switch
ベース
ゴム脚
17 Base 206 Rubber leg 17
240
76
74
5
46
ドレンプラグ
Drain plug
15.5
10
111
64
20
20
110
150
165.5
18
銘板
ハンドル Name plate
Handle
39
70
36.5 23.5
179
18
GLS/GLD
G
S/G
Series
S
GLS Series
フィルター
キャップ
Filter cap
仕様 Specifications
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
50
60
Pa
9.3
1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting
A
5.6
mL
4.8(100V)
5.1(110V)
400∼700
SMR-100
kg
12.9
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
165.5(W)×365(L)×222.5(H)
オプショナルパーツ Optional parts
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
L/min.
50
60Hz
60
6.7×10-2(6.7×10-1)
(6.7)
Pa
1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting
A
5.6
mL
4.8(100V)
5.1(110V)
500∼800
SMR-100
kg
13.9
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
165.5(W)×399(L)×222.7(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
インライントラップ＊（OMI-100）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
インライントラップ＊（OMI-100）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
フォアライントラップ★（OFI-050C／050V）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
フォアライントラップ★（OFI-050C／050V）
ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18） KF-25アダプター、逆止弁＊
ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18） KF-25アダプター、逆止弁＊
＊□40アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
＊□40アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
16
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD Global-type Series
ワールドワイドタイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD-040
■ワールドワイドタイプ World-wide CE type
GLD-040
GLD-136A
GLD-136C
GLD-201A
GLD-201B
GLD-280
実効排気速度表示
Actual pumping speed
特長
「GLDシリーズ」に、マルチレンジユニバーサルモータを搭載
し、世界中どこの電圧でも対応できるタイプです。単相用、三
相用の2タイプをご用意しました。いずれも簡単な結線変更で、
多くの電圧に対応できますので、使用国の電圧にあわせてモー
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
With built-in thermal protector
タを変更する必要がありません。単相用は、100V∼120Vまた
は200V∼240Vで使用できます。ガスバラスト機構、逆流防止
寸法図 Dimensions
機構、大型オイルレベルゲージなど種々の機構を完備していま
す。もちろんCEマーキング自己宣言品です（GLD-280を除く
［2006年4月1日現在］
）
。
プされておりますが、その性能を最大限に引き出すためにGシ
リーズの注意に加え次のことにも注意してください。
1．
「GLDシリーズ」は高真空領域（10 -2Pa）の能力がありま
フィルター
キャップ
Filter cap
排油栓
Drain plug
2．各シリーズの吸気管は、真空容器側接続口に合わせて各種
110
150
20
81
発生します。室内汚染防止のため、オイルミストトラップの
取付けをおすすめします。詳細は24ページ「オプショナルパ
ーツ」をご参照ください。
4．有毒ガスや腐食性ガスには「GCDシリーズ」をお使いくだ
さい。
5．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当で
す。
主な利用分野
1．理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器
2．真空排気装置、電子顕微鏡のバック
3．半導体製造装置、スパッター装置、真空蒸着装置
4．真空乾燥器、凍結乾燥器
17
206
427
ベース
Base 17
モータ
Motor
ゴム脚
Rubber legs
サイズを用意しています。詳細は25ページ「吸気管排気管
対応表」をご参照ください。
スイッチ
Switch
18
20
3．油回転真空ポンプの真空引きはじめには、オイルミストが
35 23.5 36.5
10
すので、真空継手や容器は高真空で十分に使用可能なもの
をお使いください。
207
ケーブル
グランド
Cable
gland
39
オイルレベル
ゲージ
Oil level gauge
70
13
78.5
228.5
「GLDシリーズ」は「Gシリーズ」に比べて性能が格段にアッ
35 18
145
吸気管
（KF-25）
注油栓
Inlet pipe
Oil inlet plug
排気管
46
64
Outlet pipe
74
使用上の注意
ガスバラスト
バルブ
Gas ballast
valve
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
40
48
Pa
50Hz
A
60Hz
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
6.7×10-2 (6.7×10-1)
6.7
1φ, 200W, 4 poles, Multiple-range motor
Capacitor start & run, AC 100-120, 200-240V
4.20 (100V), 4.40 (110V), 4.60 (115V), 5.05 (120V)
2.10 (200V), 2.20 (220V), 2.30 (230V), 2.60(240V)
3.60 (100V), 3.40 (110V), 3.40 (115V), 3.60 (120V)
1.80 (200V), 1.70 (220V), 1.70 (230V), 1.80(240V)
mL
550 800
R-2
約16
kg
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
150(W)×427(L)×228.5(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
ホース口吸気管（O.D.27×□40フランジ）KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
オイルミストトラップ（OMT-050A）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
インライントラップ＊（OMI-100）
＊
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
フォアライントラップ★（OFI-050C／050V）
ホース口排気管（O.D.12、O.D.15、O.D.18） KF-25アダプター、逆止弁＊
＊□40アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
17
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
GLD Gl
Global-type
b l typ Series
S i
直結型油回転真空ポンプ
ワールドワイドタイプ
GLD Global-type Series
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD-136A
GLD-136C
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクターなし
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
Without thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
吸気管50 (NW-25)
Inlet pipe
排気管 (G1)
Outlet pipe
56
90
35
29
48
ケーブルグランド
Cable gland
オイル
レベル
ゲージ
Oil level
gauge
ガス
バラストバルブ
Gas ballast valve
37
排気管 (G1) 注油栓
Outlet pipe Oil inlet plug
181
33
56
モータ
Motor
排油栓
Drain plug
130
170
20
250
MAX
83
35
29
ケーブルグランド
Cable ground
端子箱
Terminal box
215
48
銘板
Name Plate
86
MIN
9
72
20
ゴム脚
Rubber legs 260
488
20
ベース
Base
フィルターキャップ
Filter cap
14
18
86
20
スイッチ
Switch
88.5
銘板
Name Plate
MIN
φ60
φ60
8
約240
MAX
90
8
33
端子箱
Terminal box
215
39
37
アイボルト
Eyebolts
88.5
オイル
レベル
ゲージ
Oil level
gauge
83
アイボルト
Eyebolts
吸気管50 (NW-25)
Inlet pipe
39
49.5
注油栓
Oil inlet plug
181
ガスバラストパルプ
Gas ballast valve
ワールドワイドタイプ
直結型油回転真空ポンプ
14
18
GLD G
G
Global
Global-type
type Series
S
GLD Global-type Series
20
排油栓
Drain plug
仕様 Specifications
130
170
20
9
72
20
ゴム脚
Rubber legs 260
488
フィルターキャップ
Filter cap
20
ベース
Base
モータ (1φ)
Motor
仕様 Specifications
Unit
Actual pumping speed
L/min.
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
Pa
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
50Hz
A
全負荷電流
60Hz
Oil capacity
mL
油量
Recommended oil
使用油
Weight
kg
質量
Inlet pipe diameter
mm
吸気管径
Ambient operation temp.range
℃
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
mm
最大寸法
50Hz
60Hz
135
162
6.7×10-2(6.7×10-1)
(6.7)
3φ, 400W, 4 poles, Multiple-range motor
AC200-240V/380-460V
2.6 (200V), 3.0 (240V), 1.5 (380V), 1.7 (415V)
2.3 (200V), 2.3 (240V), 1.3 (380V), 1.4 (460V)
1,000
SMR-100
24
KF-25
7∼40
170(W)×488(L)×約240(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）オイルミストトラップ（OMT-200A）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
インライントラップ（OMI-200）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
ホース口排気管（O.D.27）
＊□50アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
Unit
50Hz
60Hz
Actual pumping speed
L/min.
135
162
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
6.7×10-2(6.7×10-1)
Pa
到達圧力
G.V. Open
(6.7)
Motor
1φ, 400W,4 poles, Multiple-range motor
使用電動機
AC100V-120V/200-240V
Full load current
50Hz
7.50 (100V), 10.0 (120V), 3.80 (200V), 5.00 (240V)
A
全負荷電流
6.50 (100V), 6.50 (120V), 3.40 (200V), 3.20 (240V)
60Hz
Oil capacity
mL
1,000
油量
Recommended oil
SMR-100
使用油
Weight
kg
26
質量
Inlet pipe diameter
mm
KF-25
吸気管径
Ambient operation temp.range
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
mm
170(W)×488(L)×250(H)
最大寸法
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）オイルミストトラップ（OMT-200A）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
インライントラップ（OMI-200）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
ホース口排気管（O.D.27）
＊□50アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
18
ワールドワイドタイプ
GLD Global-type Series
直結型油回転真空ポンプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GLD-201A
GLD-201B
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクターなし
サーマルプロテクター内蔵（自動復帰）
Without thermal protector
寸法図 Dimensions
209
84
33
アイボルト
Eyebolts
注油栓
Oil inlet plug
83
90
35 29
48
φ60
8
88.5
約240
39
37
排気管 (G1)
Outlet pipe
MAX
MIN
端子箱
Terminal box
215
ケーブルグランド
Cable ground
モータ (3φ)
Motor
ガスバラストバルブ
Gas ballast valve
オイル
レベル
ゲージ
Oil
level
gauge
37
銘板
Name Plate
33
吸気管(NW-25)
Inlet pipe
MAX
排油栓
Drain plug
130
170
20
9
100
20
83
90
35 29
ケーブルグランド
Cable ground
48
銘板
Name Plate
20
ベース
Base
フィルターキャップ
Filter cap
14
18
ゴム脚
Rubber legs 260
516
20
排油栓
Drain plug
仕様 Specifications
130
170
20
9
100
20
ゴム脚
Rubber legs
フィルターキャップ
Filter cap
260
516
20
ベース
Base
モータ
Motor
仕様 Specifications
Unit
50Hz
60Hz
Actual pumping speed
L/min.
200
240
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
6.7×10-2(6.7×10-1)
Pa
到達圧力
G.V. Open
(6.7)
Motor
3φ, 550W, 4 poles, Multiple-range motor
使用電動機
AC200-240V/380-460V
Full load current
50Hz
3.40 (200V), 4.20 (240V), 2.10 (380V), 2.40 (415V)
A
全負荷電流
3.00 (200V), 3.20 (240V), 1.80 (380V), 2.10 (460V)
60Hz
Oil capacity
mL
1,100
油量
Recommended oil
SMR-100
使用油
Weight
kg
28
質量
Inlet pipe diameter
mm
KF-25
吸気管径
Ambient operation temp.range
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
mm
170(W)×516(L)×約240(H)
最大寸法
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）オイルミストトラップ（OMT-200A）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
インライントラップ（OMI-200）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
ホース口排気管（O.D.27）
＊□50アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
19
209
84
86
86
MIN
14
18
20
アイボルト
Eyebolts
スイッチ
Switch 端子箱
Terminal box
215
注油栓
Oil inlet plug
排気管 (G1)
Outlet pipe
49.5
吸気管50 (NW-25)
Inlet pipe
オイル
レベル
ゲージ
Oil level
gauge
With built-in thermal protector
φ60
88.5
8
250
寸法図 Dimensions
ガスバラストバルブ
Gas ballast valve
ワールドワイドタイプ
Unit
50Hz
60Hz
Actual pumping speed
L/min.
200
240
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
6.7×10-2(6.7×10-1)
Pa
到達圧力
G.V. Open
(6.7)
Motor
1φ,550W,4 poles, Multiple-range motor
使用電動機
AC100-120V/200-240V
Full load current
50Hz
9.00 (100V), 10.2 (120V), 4.50 (200V), 5.10 (240V)
A
全負荷電流
8.40 (100V), 7.70 (120V), 4.20 (200V), 3.85 (240V)
60Hz
Oil capacity
mL
1,100
油量
Recommended oil
SMR-100
使用油
Weight
kg
28
質量
Inlet pipe diameter
mm
KF-25
吸気管径
Ambient operation temp.range
℃
7∼40
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
mm
170(W)×516(L)×250(H)
最大寸法
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）オイルミストトラップ（OMT-200A）
A型吸気管＊（R1/4-L20オネジ）
インライントラップ（OMI-200）
B型吸気管＊（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C／200V）
C型吸気管＊（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
ホース口排気管（O.D.27）
＊□50アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
記載された電圧以外の仕様値についてはお問い合わせください
GLD Gl
Global-type
b l typ Series
S i
GLD Global-type Series
ワールドワイドタイプ
Tips
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
●GLDシリーズは、低振動、低騒音に加えて、さまざ
GLD-280
まな高性能な機能を完備しているスーパーデラックス
タイプです。
実効排気速度表示
The GLD Series are superior-type pumps featuring high
performance, low vibration,low noise, and many
excellent functions as described below.
Actual pumping speed
強制空冷機構空冷ファン
Forced air cooling with air cooling fan
エアータイト構造（Ｏ−リングシール）
Airtight structure（O-ring seal）
サーマルプロテクターなし
Without thermal protector
大型オイルレベルゲージ
Large oil level gauge
寸法図 Dimensions
ガスバラストバルブ
Gas ballast valve
吸気管
（KF-25）
Inlet pipe
83
236
33
20 14
ケーブルグランド
Cable ground
32
36
43.5 31.5
端子箱
Terminal box
269
124
モータ
Motor
29
86
ガスバラスト
バルブ
Gas ballast valve
ポンプ
銘板
Name
plate
オイル
レベル
ゲージ
Oil level
gauge
アイボルト
Eyebolts
225
75
110
23
GLD G
G
Global-type
Global
type Series
S
GLD Global-type Series
20
130
175
181
20
20
116
ベース
Base
20
ゴム脚
Rubber legs 260
300
544
128
ドレーンバルブ
Drain valve
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Unit
50Hz
L/min.
280
336
Pa
6.7×10-2(6.7×10-1)
6.7
A
4.2 (200V), 4.4 (220V), 4.6 (230V), 4.8 (240V)
2.6 (380V), 2.8 (400V), 2.8 (415V)
4.0 (200V), 3.8 (220V), 3.8 (230V), 4.0 (240V)
2.2 (380V), 2.2 (400V), 2.3 (440V), 2.4 (460V)
mL
700∼1,100
3φ, 200-240V/380-460V, 750W, 4 poles
50Hz
60Hz
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
60Hz
逆流防止機構
Back flow prevention mechanism
油収入フィルター（オプション）取付可
Removable suction filter
SMR-100
kg
32
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
181(W)×544(L)×269(H)
フィルトレーションシステム取付口
Filtration system connection
強制給油機構
Forced lubrication
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口吸気管＊（O.D.15、O.D.18、O.D.22）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34） KF-25アダプター
ホース口排気管（O.D.27）
＊□50アダプターが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
20
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GCD Series
耐食タイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GCD-051X
■耐食タイプ Anti-Corrosive type
GCD-051X
GCD-136X
GCD-201X
実効排気速度表示
Actual pumping speed
特長
「GCDシリーズ」は、
「GLDシリーズ」に特殊表面処理(クリー
ンエス)を施した高耐食型ポンプです。化学工業、半導体業界、
医薬品業界などで使用する特殊な溶液あるいは特殊なガスを扱
う真空引に最適なポンプです。50∼200L/min.の間に3機種が
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
With built-in thermal protector
あります。
・フランジモータの採用により、騒音値、振動値、全負荷電流
寸法図 Dimensions
（いずれも当社比）が大幅に低下いたしました。環境改善、
省エネルギーにお役立ください。
排気管
注油栓
Outlet pipe
Oil inlet plug
423
70
36.5 23.5 35
179
Handle
１．
「GCDシリーズ」には、真空ポンプ油として合成油（SO-
銘板
46
ガスバラスト
バルブ
Name plate
モータ
オイル
レベル
ゲージ
Motor
M）をご使用ください。
Oil level
gauge
２．特殊ガス溶液などをご使用の場合は事前にご相談くださ
Thermal
protecter
スイッチ
電気コード
です。
ベース
Cord
４．腐食性ガスを吸引される場合のオプショナルパーツの選定
10
74
サーマル
プロテクター
17
Base
Switch
ゴム脚 4-M5
206
240
18.2
い。
３．油回転真空ポンプは大気圧近くでの連続運転には不適当
Rubber legs
20
15.5
17
76
フィルトレーション接続（R 3／8）
排油栓 M10
Filtration joint
は材質と耐食性をご確認ください。
１．半導体業界
２．濃縮等化学業界
３．薬品処理後の乾燥
４．製薬業界
110 20
150
165.5
フィルトレーション
接続（R 3／8）
Filtration joint
Drain plug
主な利用分野
Inlet pipe
35 18
Gas ballast
valve
39
ハンドル
KF-25
（□40フランジ）
29
78.5
13
222.7
使用上の注意
吸気管
145
64
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
L/min.
50
60Hz
60
6.7×10-2(6.7×10-1)
(6.7)
Pa
1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),200W,4 poles, split phase starting
A
5.6
mL
4.8(100V)
5.1(110V)
500∼800
SO-M
kg
14.1
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
165.5(W)×423(L)×222.7(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口排気管（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22） KF-16排気管（KF-16×G 3/4）
ホース口吸気管（O.D.27×□40）
KF-25排気管（KF-25×G 3/4）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
オイルミストセパレーター★（OMC-050）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-050C/OFI-050V）
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
＊□40アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
21
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
GCD S
Series
i
直結型油回転真空ポンプ
耐食タイプ
GCD Series
直結型油回転真空ポンプ
耐食タイプ
直結型油回転真空ポンプ
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
Direct Drive Oil-Sealed Rotary Vacuum Pumps
GCD-136X
GCD-201X
実効排気速度表示
実効排気速度表示
Actual pumping speed
Actual pumping speed
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
サーマルプロテクター内蔵（手動復帰）
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
With built-in thermal protector
寸法図 Dimensions
サーマルプロテクター
手動復帰ボタン
KF-25
Oil inlet plug
（□50フランジ）
35 29
39
130
170
Oil level
gauge
Filtration joint
排油栓 M12
モータ
Motor
Switch box
35 29
72
20
Rubber legs
MIN
ベース 4-φ6貫通
260
Base
493
130
170
モータ
Motor
（27） 100
20
Rubber legs
260
ベース
4-φ6貫通
20 Base
509.5
Filtration joint
Filtration joint
銘板
Name
plate
ゴム脚
20
フィルトレーション
接続（R 3／8）
フィルトレーション接続（R 3／8）
排油栓 M12
フィルトレーション接続（R 3／8）
Filtration joint
Drain plug
Drain plug
仕様 Specifications
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
20
190.5
48
ON OFF
14
18.2
（27）
Grand terminal
83
90
Outlet pipe
MAX
銘板
Name
plate
ゴム脚
20
フィルトレーション
接続（R 3／8）
33
オイルレベル
ゲージ
86
MIN
84
排気管
37
Outlet pipe
MAX
20
48
209
Inlet pipe
Gas ballast
valve
排気管
φ60
8
88.5
241.1
Oil level
gauge
90
スイッチボックス接地端子
KF-25
Oil inlet plug
（□50フランジ）
ガスバラスト
バルブ
202
39
33
56
83
40.4
37
オイルレベル
ゲージ
Switch
181
Inlet pipe
Reset button
Thermal protecter
Handle
注油栓
86
ガスバラスト
バルブ
Gas ballast
valve
吸気管
スイッチ
40.4
Handle
注油栓
ハンドル
φ60
88.5
8
241.1
吸気管
サーマルプロテクター
手動復帰ボタン
Reset button
Thermal protecter
ハンドル
14
18.2
GCD S
GC
Series
GCD Series
仕様 Specifications
Unit
50Hz
60Hz
L/min.
135
162
6.7×10-2(6.7×10-1)
(6.7)
Pa
1φ,100V(50/60Hz)/110V(60Hz),400W,4 poles, condenser start & run
A
7.7
mL
6.1(100V)
6.0(110V)
1,000
SO-M
kg
25.4
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
170(W)×493(L)×241.1(H)
オプショナルパーツ Optional parts
Actual pumping speed
実効排気速度
Ultimate pressure G.V. Closed
到達圧力
G.V. Open
Motor
使用電動機
Full load current
全負荷電流
Oil capacity
油量
Recommended oil
使用油
Weight
質量
Inlet pipe diameter
吸気管径
Ambient operation temp.range
使用雰囲気温度範囲
Overall dimensions
最大寸法
Unit
50Hz
L/min.
200
60Hz
240
6.7×10-2(6.7×10-1)
(6.7)
Pa
3φ,200V(50/60Hz)/220V(60Hz), 750W,4 poles
A
3.6
mL
3.3(200V)
3.2(220V)
1,100
SO-M
kg
26.6
mm
KF-25
℃
7∼40
mm
170(W)×509.5(L)×241.1(H)
オプショナルパーツ Optional parts
ホース口排気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）
ホース口排気管＊（O.D.8、O.D.12、O.D.15、O.D.18、O.D.22）ホース口排気管（O.D.27）
ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）KF-25排気管（KF-25×G1）
ホース口吸気管（O.D.27、O.D.30、O.D.34）KF-25排気管（KF-25×G1）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
オイルミストセパレーター★（OMC-200）
A型吸気管（R1/4-L20オネジ）
オイルミストセパレーター★（OMC-200）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C/OFI-200V）
B型吸気管（Rc1/4メネジ）
フォアライントラップ★（OFI-200C/OFI-200V）
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
C型吸気管（R1/4-L10オネジ）
KF-25アダプター
＊□50アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
＊□50アダプターが必要です。
★KF-25クイックカップリングクランプ、KF-25センターリングが必要です。
※詳しくはp.24∼28をご覧ください。
到達圧力はマクラウド真空計による測定値、
（）内はピラニー真空計による測定値
22
OFC Series
小型オイルフィルトレーションシステム
Conpact Oil Filtlation System
Oil Crean System
■UFO-003／UFW-003型
写真は
UFW-003
油回転真空ポンプオイルクリーンシステム
■OFC-200XA
■概要
真空ポンプ油に混入する水分、酸、
腐食性ガス、パーティクルは、油の
寿命を縮めるばかりか、蒸気圧の上
昇やポンプの故障の原因になります。
UFO-003型オイルフィルトレーショ
ンは油を劣化させるこれらの不純物
を取り除くための装置です。また、
エレメント変更する事で油水分離装
置としてもご使用できます。
耐食型油回転真空ポンプと
オイルフィルトレーションシステムを
セットにしました
■特長
・油中の水分を吸収できる。
・油中の酸を中和できる。
・油中のパーティクルを除去できる。
・水分を連続的に排水できる。
（油水分離エレメントを使用の場合）
・小型・軽量。
・価格が安い。
■用途
・真空乾燥・真空凍結乾燥装置
・真空蒸着装置
・真空スパッター装置
・各種CVD装置
・化学・薬品・医療・食品装置
・真空熱処理装置
・真空溶解炉
・イオン注入装置
■UFO-012型
■概要
真空ポンプ油に混入する水分、酸、
腐食性ガス、パーティクルは、油の
寿命を縮めるばかりか、蒸気圧の
上昇やポンプの故障の原因になり
ます。
UFO-012型オイルフィルトレーシ
ョンは油を劣化させるこれらの不純
物を取り除く為の装置です。
■特長
・油中の水分を吸収できる。
・油中の酸を中和できる。
・油中のパーティクルを除去でき
る。
■用途
・真空乾燥・真空凍結乾燥装置
・真空蒸着装置
・真空スパッター装置
・各種CVD装置
・化学・薬品・医療・食品装置
・真空熱処理装置
・真空溶解炉
・イオン注入装置
■仕様
機種
（エレメント種類）
ろ過流量
（油処理能力）
（50/60Hz）
水分除去量
（最大水分吸水能力）
酸中和量
（最大酸中和能力）
パーティクル除去精度
（ろ過能力)
所要電力
重量（本体重量）
圧力スイッチ仕様
摘要真空ポンプ容量
（参考）
23
■特長
・コンパクトでどこでも使用できる。
・振動が少なく静か。
・保守・点検が容易。
・価格が安い。
■用途
・半導体製造装置
・各種CVD装置
・真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置
・化学、薬品、医療機器・装置
■仕様
UFO-012型
UFO-003型
UFW-003型
標準エレメント
標準エレメント
油水分離用エレメント
1.2/1.4L/min.
0.6/0.72L/min.
1200cc
1.5mol/エレメント
0.1μm
300cc
0.1μm
─
単相100V
75W (50/60Hz)
100∼1000L/min.
到達圧力
Pumping speed
実効排気速度
OFC-135XA
OFC-200XA
6.7×10-2Pa
6.7×10-2Pa
135/162L/min
200/240L/min
(50/60Hz)
(50/60Hz)
Water absorbing capacity
1200cc／エレメント
水分除去量
Acid neutralizing capacity
1.5mol／エレメント
酸中和量
Filtration capacity
Required power
約8.4kg
約3.5L
機種
Ultimate pressure
0.1μm
パーティクル除去精度
25W (50/60Hz)
約16kg
0.4MPaでOFF(アラーム)
（50/60Hz）
0.4mol/エレメント 0.1mol/エレメント
単相100V
0.2MPaでON(自動復帰)
0.6/0.72L/min.
連続・分離・排水
外形寸法（W）
×（L）
×（H） 280mm×310mm×410mm 175mm×245mm×459mm
所要油量
■概要
本機は耐食型油回転真空ポンプGCDシリーズとオイルフィルトレーションシス
テムUFO-012を同一架台に組込んだポンプユニットです。移動用キャスター付
きですので、どこへでも移動可能です。
所要電力
235mm×245mm×418mm
約1L
Weight
質量
−
−
50∼200L/min.
水分量による
Outside dimensions
外形寸法（W）
×（L）
×（H）
Optional parts
オプション
1φ 100V 1.0kW
1φ 100V 1.2kW
(50/60Hz)
(50/60Hz)
54kg
62kg
280mm×602mm×686mm
280mm×630mm×686mm
耐食型オイルミストセパレーター（OMC-200）
UFO/UFW/OFC
/
/
Series
S
i
UFO/UFW Series
油回転真空ポンプ用オプション部品
オイルミストセパレーター(耐食型)
Oil-mist Separators(Anti-corrosive type)
オイルミストトラップ(特許 No.819691)
Oil-mist Trap(Japanese Pat.No.819691)
フォアライントラップ
Fore-line traps
本製品は本体はステンレス製でフィルターエレメン
トはグラスウールを使用した特殊なオイルミストセ
パレータです、耐食型油回転真空ポンプGCDシリー
ズの排気口に取付けることによりオイルミストを除
去し、清浄な排気を行うことができます。
油回転真空ポンプの運転中に排出される油煙を捕集
し、自動的に真空ポンプ内へ回収できるものがオイ
ルミストトラップです。特に小型真空ポンプは圧力
の高いところで使用する場合が多いため、油の飛散
により雰囲気を汚すことがありますが、このトラッ
プを取付けることにより解決されます。
本製品は、ステンレス製の本体に特殊なフィルター
を内蔵した吸気フィルターです。
真空配管内への油の逆拡散を防止するタイプ（OFI050C、200C）と真空ポンプへの粉体や液体の混入
を防止するタイプ（OFI-050V、200V）の2タイプ4
機種を取り揃えました。取付はKF-25クランプが必
要です。
OMC-200
OMC-050
（吸気用）For Pumping port or Suction port
OFI-050C
OMT-100A
OMT-200A
OMT-050A
油
回
転
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
OFI-200C
インライントラップ用アダプター（3/4"→1"用）
In-line trap adoptor
下記型式のロータリーポンプにインライントラップ
を装着する時にご使用ください。
№
1
インライントラップ
In-line Traps
インライントラップは、配管接続型のオイルミストト
ラツプのこと。吸引したガスを室外に排出できます。
R.P.型式
適用インライントラップ
GVD-050A,GLS-051,G-50DA
G-20DA,G-25SA,G-50SA
OMI-100
GHD-030,GHD-060,GHD-120
GLD-040,GLD-051
OMI-100
OMI-200
オイルミストセパレーター、オイルミストトラップ対応表 Oil-mist Separators & Oil-mist traps Correspondence Table
オイルミストトラップ
Oil-mist trap
型式
G-5DA/G-10DA
G-25SA/G-20DA
G-50SA/G-50DA
GHD-030/GVD-050A
GLS-051/GLD-051
G-100S/G-100D
GLD-101
GHD-060
GHD-120
GLD-040
GLD-136A/GLD-136C
GLD-201A/GLD-201B
GCD-051X
GCD-136X/GCD-201X
OMT-050A
●★
●
●
●
●
OMT-100A
インライントラップ
In-line trap
OMT-200A
OMI-100
オイルミストセパレーター（耐食型）
Oil-mist separator (Anti-corrosive)
OMI-200
OMC-050
OMC-200
●※★
●※★
●※ ●※ ●
●
●
●
●
●
●
●
●※
●
●
●
●
●
●
●
＊OMC-050、OMC-200の取付にはKF-25クランプとセンターリング（KF-25）が必要です。
※インライントラップ用アダプターが必要です。 ★吸気管をKF-25に変更した場合は取り付けられません。
フォアライントラップ対応表 Fore-line traps Correspondence Table
型式
GHD-030
GHD-060/GLD-051
GHD-0120
GLD-136A/GLD-136C
GLD-201A/GLD-201B
GCD-136X/GCD-201X
GLS-051
GCD-051X
OFI-050C（逆拡散防止）OFI-200C（逆拡散防止） OFI-050V（混入防止） OFI-200V（混入防止）
＊Gシリーズ、GVD-050Aは
●※
●※
オプション吸気管（M20×
●
●
KF-25）が必要です。
●
●
●
●
●
＊OFIシリーズの取付には、
クイックカップリングクラ
ンプ（KF-25）と、センタ
ーリング（KF-25）が必要
です。
※変換フランジ（KF-16、KF25）が必要です。
24
Accessories for Oil Rotary Vacuum Pumps
消音排気管
Silent type discharge pipe
KF-25アダプター
KF-25 adoptor
KF-25の吸気管をM20に変換するためのアダプタです。
KF-25吸気アダプタはKF-25吸気管機種に適用し、
標準吸気管を取り外さずに取り付けられます。
・取付可能な吸気管＝ホースロ吸気管（φ8、φ12、
φ15、φ18、φ22）A型／B型／C型吸気管
特に排気音を嫌う場合、標準の排気管に代えて取付
けることにより、大きな効果が得られます。
OMS-050
適合機種
GLS-051、GLD-040、GLD-051、GHD-060、
GHD-120、GLD-136A、GLD-136C、
GLD-201A、GLD-201B、GLD-280、
GCD-051X、GCD-136X、GCD-201X
油回転真空ポンプオプション吸気管／排気管
■吸気管
種類
品名
G-5
材質
ホース口吸気管（φ12×M14）真鍮＋メッキ
ホース口吸気管（φ8×M20）真鍮＋メッキ
ホース口吸気管（φ12×M20）真鍮＋メッキ
ホース口ホース口吸気管（φ15×M20）真鍮＋メッキ
タイプホース口吸気管（φ18×M20）真鍮＋メッキ
ホース口吸気管（φ22×M20）真鍮＋メッキ
ホース口吸気管（φ27×□40） ZDC＋メッキ
ホース口吸気管（φ27×□50） ZDC＋メッキ
ホース口吸気管（φ30×□50） ZDC＋メッキ
ホース口吸気管（φ34×□50）真鍮＋メッキ
GHD-030用ホース口吸気管（φ12）真鍮＋メッキ
GHD-030
GHD-030用ホース口吸気管（φ18）真鍮＋メッキ
専用
GHD-030用吸気管（KF-16）真鍮＋メッキ
KF-25吸気管（KF-25×M20）真鍮＋メッキ
KF-25
KF-25吸気管（KF-25×□40）
PPS
タイプ
KF-25吸気管（KF-25×□50）
PPS
A型吸気管（R1/4-L20オネジ×M20）真鍮＋メッキ
R1/4ネジ
B型吸気管（R1/4メネジ×M20）真鍮＋メッキ
タイプ
C型吸気管（R1/4-L10オネジ×M20）真鍮＋メッキ
□40アダプター（M20メネジ）真鍮＋メッキ
アダプター
□50アダプター（M20メネジ）真鍮＋メッキ
G-5DA
G-10DA
G-25SA
G-20DA
G-50SA
G-50DA
GVD-050A
▲
●
▲
▲
▲
▲
▲
▲
●
▲
G-100S
G-100D
GHD-030
吸
気
管
写
真
№
GHD-060
GHD-120
GLS-051
GLD-051
GLD-040
GCD-051X
GLD-136A
GLD-136C
GLD-201A
GLD-201B
GCD-136X
GCD-201X
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
▲
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
①
②
③
④
⑤
▲
▲
▲
▲
▲
▲
⑥
⑦
⑧
▲＋□50
▲＋□50
●
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
●
▲＋□50
▲＋□50
▲＋□50
▲
▲
⑨
⑩
⑪
⑭
⑯
⑮
⑫
⑬
GLD-280
●
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
●
▲
▲
●
▲
▲
▲＋□40
▲
▲＋□40
●
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
▲
▲＋□40
▲＋□40
▲＋□40
▲
●：真空ポンプに標準装備 ▲：交換可能（アダプター等は不要） ▲＋□40：交換可能（取り付けには□40アダプターが必要） ▲＋□50：交換可能（取り付けには□50アダプターが必要）
吸気管
⑨
⑧
排気管
⑤
⑦
⑥
④
③
②
①
⑰
⑪
⑭
⑩
⑬
⑮
⑫
⑳
⑯
⑲
⑱
■排気管
種類
品名
材質
ホース口排気管（φ12×M17）
真鍮
ホース口排気管（φ12×Ｇ3/4）真鍮＋メッキ
ホース口
タイプホース口排気管（φ15×Ｇ3/4）真鍮＋メッキ
ホース口排気管（φ18×Ｇ3/4）真鍮＋メッキ
ホース口排気管（φ27×R1）
真鍮
KF-25排気管（KF-25×G3/4） PPS
KFフランジ
KF-25排気管（KF-25×G1） PPS
タイプ
KF-16（G3/4）
真鍮＋メッキ
排気管排気管Assy（G3/4）
PA
Assy
排気管Assy（G1）
PA
G-5
GLD-040
G-5DA
G-10DA
G-25SA
G-20DA
G-50SA
G-50DA
GVD-050A
GLS-051
GLD-051
G-100S
G-100D
GHD-030
GHD-060
GHD-120
GLD-136A
GLD-136C
GLD-201A
GLD-201B
GLD-280
GCD-051X
GCD-136X
GCD-201X
吸
気
管
写
真
№
●
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
▲
●
●
▲
●
▲
●
▲
⑱
⑲
⑳
⑰
●
▲
▲
●
▲
●：真空ポンプに標準装備 ▲：交換可能（アダプター等は不要）
25
油
回
転
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
油回転真空ポンプ用オプション部品 Accessories for Oil Rotary Vacuum Pumps
真空ポンプ油(SMR-100)
Vacuum pump oil (SMR-100)
真空ポンプ油(SO-M)
Vacuum pump oil (SO-M)
真空ポンプ油(R-2)
Vacuum pump oil (R-2)
真空ポンプ用油SMR-100は、油回転真空ポンプ向
けオイルです。特に寒冷時にも始動性が良いように
粘度を低くしてい
ます。ポンプの性
能をフルに発揮す
るためにも油の交
換はできるだけ頻
繁に行ってくださ
い。
真空ポンプ油SO-Mは、合成油系のオイルで、耐食
型ポンプ用GCDシリーズに最も適しています。
R-2は、合成油系のオイルです。特にGHDシリーズ
に最適です。
② SO-M 4L
① SO-M 1L
フィルター付吸気管
Suction pipe with filter
真空ポンプ用吸排気フィルター
特長
を効率よく捕捉することが出来ます。
⑤本機をご使用頂くことで、排気系の保守作業が軽減され
ることに加え、操業性の向上、除外設備への負荷が低減
されます。
⑥取付けには、別途KF-クランプ、レジューサー、センターリ
ング等が必要になります（別途、お問い合わせください）
。
仕様
型式
ろ過方式
適用機種
SGT-200
SGT-100
SGT-200
アウト・イン・パス方式
500L/min以下
使用圧力範囲
0.1MPa
使用雰囲気温度
7∼40℃
使用雰囲気湿度
SGT-100
500L/min以下
85％（結露なきこと）
吸気接続口径
KF-25
KF-40
排気接続口径
KF-25
KF-40
逆止弁
Check valve
吸気管とポンプ本体の間に取り付け、ポンプ本体か
ら被排気物への急激なポンプ油の逆流を防止するこ
とができます。
GLD-040、GLD-051、GLS-051には、別売の□40
アダプタが必要です。
※SGT-200はSGT-100と同じサイズのイオン交換樹脂繊
維を2個使用しているため、捕捉量が倍になります。
真空ゴムホース Rubber vacuum hose
真空ポンプと容器等との接続は、必ず真空専用の真
空ゴムホースを使用してください。通常のホースと
異なり、柔軟性に富み、外圧によるホースの崩れが
ありませんので安心してご利用いただけます。
品名
真空
ゴムホース
規格（内径×外径）
6×18
7.5×20
9×24
12×30
15×36
18×42
25×50
適用ホース口
φ8
φ9
φ11、φ12
φ15
φ16、φ18
φ20、φ22
φ27
G-20DA、G-25SA、G-5DA、G-10DA、
適合機種 G-50DA、G-50SA、GVD-050A、GLD-040、
GLD-051、GLS-051
真空配管用部品 Accessories for Fore Line
クイックカップリングクランプ Clamp
■材質アルミニウム。
■ニッケルメッキ加工。
B
φD
規格
SCK-1016
SCK-1025
SCK-1040
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
KF-40
A
B
C
φD
45
55
70
61
72
90
16
16
16
22
32
47
A
C
センターリング Centering ring
■材質 SUS304。
■バイトンOリングが付属。
φA
規格
SCK-2016
SCK-2025
SCK-2040
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
KF-40
φA
φB
C
D
17
26
41
16
24
39
3.9
3.9
3.9
8
8
8
D
φB
C
油
回
転
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
①各種真空装置に用いられる真空ポンプに使用可能なフィ
ルターです。
②真空側、排気側いずれにも設置可能です。
③本製品は、ステンレス製の本体にイオン交換樹脂繊維を
素材としたフィルターです。
④排ガス中のパウダーのみではなく酸性ガス・オイルミスト
真空ポンプ内部にホコリ等が入りますと真空ポンプ
油、真空ポンプ本体に悪い影響を及ぼし、故障の原
因にもなります。
ホコリ等が入るような場合はフィルター付吸気管を
取付けることをお勧めします。
26
ブランクフランジ Blank Flange
■材質 SUS304。
φA
φB
SCK-4016
SCK-4025
SCK-4040
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
KF-40
D
規格
φA
φB
D
30
40
55
17.2
26.2
41.2
6
6
6
ノズル Nozzle
φD
■材質 SUS304。
C
B
規格
SCK-2512
SCK-2518
フランジサイズ
Flange Size
KF-25
KF-25
φA
B
C
φD
40
40
6
6
35
35
12
18
φA
φB
φC
D
30
40
55
20.0 16.0 60
27.2 24.0 100
42.7 39.0 100
φA
油
回
転
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
ニップル Nipple
φB
φA
規格
SCK-5016
SCK-5025
SCK-5040
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
KF-40
φC
■材質 SUS304。
D
D
φB
φA
■材質 SUS304。
φC
エルボ Elbow
規格
SCK-6016
SCK-6025
SCK-6040
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
KF-40
φA
φB
φC
D
30
40
55
20.0 16.0
27.2 24.0
42.7 39.0
40
50
65
D
ティ Tee
D
φC
φB
φA
■材質 SUS304。
規格
SCK-7016
SCK-7025
SCK-7040
クロス
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
KF-40
φA
φB
φC
D
30
40
55
20.0 16.0
27.2 24.0
42.7 39.0
40
50
65
D
Cross
■材質 SUS304。
φA
D
φB
φC
規格
SCK-8016
SCK-8025
27
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
φA
φB
φC
D
30
40
20.0 16.0
27.2 24.0
40
50
D
KFフランジ KF Flange
E
φA
φB
φC
φD
■材質 SUS304。
規格
SCK-3016
SCK-3025
SCK-3040
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
KF-40
φA
φB
30
40
55
17.2
26.2
41.2
接続パイプ
Pipe
φ20 t＝2
20A 10S
32A 10S
φC
φD
E
16
24
39
20.0
27.2
42.7
10
20
20
変換フランジ／レジューサ Reducer
40
フランジサイズ
Flange Size φA
SCK-9025 KF-16/25 30
SCK-9040 KF-25/40 40
規格
φC
40
55
20.0 16.0
27.2 24.0
φA
φD
D
φD
ゲージポート Gauge port
■材質 SUS304。
SCO-1025
SCO-1040
SCO-2025
SCO-2040
フランジサイズ
Flange Size
KF-25
KF-40
KF-25
KF-40
パイプ径
A
φB
φ15
φ15
φ18
φ18
74
58
74
58
25
25
28
28
φB
規格
A
リークポート Leak port
■材質 SUS304。
規格
SCO-3016
SCO-3025
A
フランジサイズ
Flange Size
KF-16
KF-25
A
65.0
66.5
VCRアダプター VCR adapter
規格
SCA-1614
SCA-1638
SCA-1612
SCA-2514
SCA-2538
SCA-2512
フランジサイズ
チューブ外径
Flange Size
（インチ）
KF-16 Female 1/4″
KF-16 Female 3/8″
KF-16 Female 1/2″
KF-25 Female 1/4″
KF-25 Female 3/8″
KF-25 Female 1/2″
A
φB
35.8 3.0
42.1 7.1
40.6 10.2
35.8 4.6
40.6 7.1
40.6 10.2
Female
Male
A
φB
A
φB
■Swaglok継手との接続にご使用ください。
■継手の材質S U S 3 1 6 を使用、フランジの材質
SUS304を使用。
■VCRはSwaglok Co.の商標です。
■規格の後にFまたはMと入れてご発注ください。
商品コードフランジサイズ
チューブ外径
φB
Part Number Flange Size
（インチ） A
SCA-1614
KF-16
Male 1/4″ 35.8 3.0
SCA-1638
KF-16
Male 3/8″ 42.1 7.1
SCA-1612
KF-16
Male 1/2″ 40.6 10.2
SCA-2514
KF-25
Male 1/4″ 35.8 4.6
SCA-2538
KF-25
Male 3/8″ 40.6 7.1
Male 1/2″ 40.6 10.2
SCA-2512
KF-25
フレキシブルチューブ Flexible tube
■材質ステンレス（フランジSUS316、ベローズSUS316L）
■長さは250㎜、500㎜、1000㎜。
規格コードのあとに長さを指定してご発注ください。
L
規格
STK 016
STK 025
STK 040
フランジサイズ
I.D O.D
Flange Size
KF-16
20.0 24.8
KF-25
25.4 31.5
KF-40
40.0 48.2
D
A
Min.bending radius
30
40
55
20
20
20
35
60
90
A
I.D
O.D
A
D
油
回
転
真
空
ポ
ン
プ
付
属
部
品
︵
オ
プ
シ
ョ
ン
︶
φB
φC
φB
■材質 SUS304。
28
機種別排気速度曲線一覧表 Pumping Speed Curves
排気曲線の見方
Pumping Speed Curves
下記の計算式と機種別排気速度曲線を活用するこ
とにより、お求めのポンプがお選びいただけます。
2
example
Calculate the time required to discharge air
from a 100-liter tank from atmospheric pressure
to 100 Pa.
●排気時間の求め方Pumping time calculation
V
t＝
S
排気時間
（min）
P1
× 2.303 log
P2
タンク容積
（L）
初期圧力
（Pa）
ポンプ排気速度
（L/min）
100リットルのタンクを大気圧から100Paまで排気
するのに要する時間は？
最終圧力
（Pa）
ポンプはGLD-201を使用し、放出ガスの漏れはないものとし
ます。
t0＝ t1 ＋ t2 ＋ t3 ＋ ……
It is assumed that a GLD-201 pump is used and there is no
gas leakage.
example
1
10リットルの容器を５分で1Paまで減圧したい。ど
のポンプを選べばいいでしょうか？
S＝
V 10
t 5
× 2.303 log
P1 100000
P2 1
t1＝
V100
P1100000
× 2.303 log
＝ 2.6 min
S1180
P21000
t2＝
V100
P11000
× 2.303 log
＝ 1.5 min
P2100
S1150
S ≒ 23 L /min (at 1Pa)
t0＝ t1 ＋ t2 ＝ 2.6 ＋ 1.5 ＝ 4.1 min
下図の通り、1Paで23L/min以上の排気速度が必要ですから、135L/min以上
のポンプをお選びください。ただし、配管コンダクタンスや漏れ等を考慮し
て、実際には安全率を見込んでお選びください。
50Hz
（L／min）
1000
50Hz
（L／min）
1000
S1=180
200
100
201
051
S=23
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
S2=150
136
100
10
10
1
1
10-2
10-2
10-1
1
101
102
103
圧力
Pressure
104
10-1
105
（Pa）
100
101
102
排気速度換算表 Pumping Speed Conversion Table
29
To
L/s
L/min
m3/h
cfm
L/s
1
60
3.6
2.119
L/min
0.01667
1
0.06
0.03532
m3/h
0.2778
16.67
1
0.5886
cfm
0.4719
28.316
1.699
1
From
103
104 大気圧 105
（Pa）
圧力
Pressure
資
料
デ
ー
タ
集
機種別排気速度曲線一覧表 Pumping Speed Curves
G Series (Single-stage)
G Series (Two-stage)
50Hz
（L／min）
1000
G-100S
G-100D
100
排気速度
Pumping Speed
排気速度
Pumping Speed
100
50Hz
（L／min）
1000
G-50SA
G-25SA
G-50DA
G-20DA
10
10
G-10DA
G-5
1
1
102
10
103
104
G-5DA
1
10-2
105
（Pa）
圧力
Pressure
10-1
101
102
103
圧力
Pressure
GVD/GCD/GLD/GLS
104
105
（Pa）
Gas ballast valve open
ガスバラストバルブ開
GHD Series
50Hz
（L／min）
1000
1
50Hz
（L／min）
1000
GLD-201A·B
GCD-201X
100
GLD-136A·C
GCD-136X
GCD-051X
GVD-050A
GLD-040
GLS-051
10
1
GHD-120
100
排気速度
Pumping Speed
資
料
デ
ー
タ
集
排気速度
Pumping Speed
GLD-280
GHD-060
GHD-030
10
10-2
10-1
1
101
102
圧力
Pressure
103
1
104
105
（Pa）
Gas ballast valve open
ガスバラストバルブ開
10-2
10-1
1
101
102
103
圧力
Pressure
104
105
（Pa）
Gas ballast valve open
ガスバラストバルブ開
Tips
使用例
Application example
GCD-201X
＋
UFO-012
オイルフィルトレーションシステム
GCDシリーズにオイルフィルトレーションシス
テムUFO-012を接続した例。
架台・キャスタ付のOFC-135XA／OFC-200XA
もございます。お問い合わせください。
30
特約店一覧
ULVACグループ
北海道地区
㈱タナカ
011-731-0291
東北地区
東北化学薬品㈱（本社：青森県）
0172-33-8131
関東地区
三益半導体工業㈱（本社：群馬県）
アルバックイーエス㈱（本社：東京都）
稲畑産業㈱（本社：東京都）
高千穂精機㈱（本社：東京都）
0273-61-7511
03-5218-6011
03-3639-6556
03-3204-0611
信越地区
アルバックイーエス㈱（松本支店）
㈱アヅマテクノス（本社：新潟県）
0263-51-0888
025-247-8386
北陸地区
㈱勝木太郎助商店（本社：石川県）
0761-22-6288
東海地区
遠藤科学㈱（本社：静岡県）
三弘アルバック㈱（本社：愛知県）
054-283-6222
052-702-6811
近畿地区
㈱京都タカオシン（本社：京都府）
三ツワ理化学工業㈱（本社：大阪府）
075-751-7755
06-6351-9631
中国地区
㈲友田大洋堂（本社：島根県）
㈱大熊（本社：岡山県）
0852-24-3456
0862-93-2171
四国地区
㈱大一器械（本社：徳島県）
増田薬品㈱（本社：香川県）
はじめ科学㈱（本社：愛媛県）
0886-56-8122
0878-51-0631
0899-22-2151
九州地区
アルバック九州㈱（本社：福岡県）
092-473-7191
ULVAC TAIWAN Co., Ltd. (TAIWAN)
02-2565-1810
POONGIL COMMERCIAL Co., Ltd. (KOREA)
02-765-1477
Ltd. (SINGAPORE)
8617533
31
「真空の極限」を追求する
先端技術企業群
ULVAC（アルバック）とアルバック機工
“ULVAC”とは“Ultimate in Vacuum（究極の真空）
”を
意味するULVACグループの真空応用製品のブランド名で
す。ULVACグループは、真空応用技術の極限に挑戦する
世界に類をみない先端技術企業群からなり、そのグループ
企業は国内外合わせて30社以上。アルバック機工は、その
グループの中でも特異な存在を誇り、利用分野の広い小型
真空ポンプを一手に担う中核企業の一つです。
Ultimate in Vacuum
海外
LIP Chee Hardware & Engineering Pte
株式会社アルバック
株式会社アルバック・コーポレートセンター
アルバックテクノ株式会社
アルバック九州株式会社
アルバック東北株式会社
アルバック精機株式会社
ULVAC Technologies, Inc.
ULVAC G.m.b.H.
ULVAC TAIWAN Inc.
ULVAC KOREA, Ltd.
アルバックイーエス株式会社
三弘アルバック株式会社
アルバックマテリアル株式会社
日本リライアンス株式会社
アルバック成膜株式会社
アルバック理工株式会社
アルバック機工株式会社
アルバック・ファイ株式会社
アルバック・クライオ株式会社
株式会社昭和真空
真空セラミックス株式会社
韓国ULVAC精密株式会社
ULVAC NINGBO Co., Ltd.
ULVAC (SHANGHAI) CO., LTD.
ULVAC (SUZHOU) CO., LTD.
成都東方愛発科真空技術有限公司
ULVAC SINGAPORE PTE LTD
ULVAC System Control, TAIWAN, Ltd.
Hong Kong ULVAC Co., Ltd.
Litrex Corporation
タイゴールド株式会社
アルバックエルダー株式会社
日真制御株式会社
Pure Surface Technology株式会社
ULVAC Materials Taiwan, Inc.
株式会社RAS
愛発科啓電科技（上海）有限公司
ULCOAT U.S.A., Inc.
ULCOAT TAIWAN Inc.
Physical Electronics USA, Inc.
昭和真空機械（上海）有限公司
昭和真空機械貿易（上海）有限公司
ULVAC is an international organization made up of more
than 30 member companies with its primary
headquarters and manufacturing operations based in
Japan. The name “ULVAC” is derived from the words
“ULtimate in VACuum”.
ULVAC KIKO, as a division of ULVAC, manufactures
and markets a wide range of small vacuum pumps that
are utilized throughout many industries.

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