-ＭＥＰＪ技術紹介-
ナノインプリント用
精密機械加工モールド
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201４ ナノインプリント技術研究会 MEPJ All right reserved
-精密機械加工モールド樹脂成形用精密機械加工モールド
樹脂成形用モールド
高分解能超精密微細加工機
分解能；１0nm
ポリカーボネート精密樹脂成形
加工室内温度制御；±０．１℃
（クリーンルーム内）
樹脂成形プリズム導光板
（小型液晶表示パネル用）
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加工ピッチ；５０μｍ～
樹脂成形プリズム導光板（１０インチ タブレット端末用）
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-精密機械加工モールド精密機械加工モールドのインプリントへの応用
項目
t25mm×□30mm
溝ピッチ；300→700nm
溝深さ；122→225nm
バイト頂角；90°
仕様
台座材質
超硬（STAVAX）
加工表層材質
無電解ニッケルめっき
溝形状
ライン、クロスカット、エリア、
ウエーブ
モールド寸法
t10～30mm
溝ピッチ1000nm> ; □30mm
溝ピッチ1000nm< ; □50mm
溝ピッチ3000nm< ; □200mm
無電解ニッケルめっき； ｔ100～120μｍ
ライン
クロス
カット
t25mm×□10mm
溝ピッチ500→700nm
超硬（STAVAX）
エリア
ウエーブ
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-精密機械加工モールド-
モールドパターン加工の例
ストレートライン
クロスカットモスアイ
エリアライン
ピッチ；500nm
四角錐底辺；□900nm
ピッチ；500nm
溝深さ；371nm
溝深さ；371nm
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多軸パターン加工方法
無電解ニッケル
めっき面
Z
バイト
θ
Ｙ
XYウエーブ
Zウエーブ
加工方向Y
加工方向X
ウエーブカット加工
クロスカット加工
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-精密機械加工モールド-
パターン加工形状バリエーション
溝形状
パターン
角溝
θMin.25°
丸溝
RMin.0.010mm
平溝
段付溝
傾斜溝
-３Ｄパターン加工１４０５０９
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-精密機械加工モールド-
-３Ｄパターン加工0.01mm
球面モールド
0.12mm
0.0196mm
凸型2段溝加工
フレネル溝加工
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波面モールド
３Ｄモールド
（３Ｄインプリント）
リニアフレネル溝
ピッチ＝0.5mm
溝本数＝14本ｘ2（左右対称）
微細加工溝
ピッチ＝0.01mm
深さ＝0.0035mm
溝本数＝661本ｘ2（左右対称）
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