ROKKO CONFIDENTIAL 六甲電子(株)のご紹介 （C） 2013 Rokko All rights reserved 1 ROKKO CONFIDENTIAL 会社概要 • 社名 六甲電子株式会社 • • • • • • 所在地 〒663-8105 兵庫県西宮市中島町８番５号 TEL/FAX 0798-65-4508/0798-67-5038 設立 昭和58年9月 資本金 3,000万円 役員 取締役社長 小林一章 取締役副社長 小林秀守 事業内容 シリコンウエハ各種加工、再生処理、研磨加工 MEMS対応超薄物研削、研磨、エッチング加工 （C） 2013 Rokko All rights reserved 2 ROKKO CONFIDENTIAL 《SERVICES》取扱業務 お客様の様々なウエハ Si SiC サファ イア GaN 面取り加工 研削加工 （Beveling） （Grinding） 研磨加工 洗浄 （Polishing） （Cleaning） 膜除去 （Film Stripping） （C） 2013 Rokko All rights reserved 3 ROKKO CONFIDENTIAL 六甲電子の強み 研削 研磨 （C） 2013 Rokko All rights reserved 洗浄 4 ROKKO CONFIDENTIAL 六甲電子の状況 ・パターン付ウエハ ・MEMSウエハ ・SOI ・貼り合せウエハ ・穴あき・キャビティー構造ウエハ ・貫通電極 ・バンプ品 再生ウエハ加 工 [20%] （C） 2013 Rokko All rights reserved 六甲電子の売上比率 製品ウエ ハ加工 [80%] 5 ROKKO CONFIDENTIAL 【今までのバックポリッシュ プロセス】 【六甲プレミアムプロセス】 保護テープ貼付 保護テープ貼付 お客様のニーズ ナイフエッジ防止加工 BG NCG付きBG 枚葉POL 手動スクラブ洗浄 8インチ対応枚葉POL 自動スクラブ洗浄 市場の動向 非接触テープ剥離 非接触テープ剥離 パターン付ウエハRCA洗浄 （C） 2013 Rokko All rights reserved 6 ROKKO CONFIDENTIAL ■ナイフエッジ防止加工 ■目的 ウエハ薄化により、ベベル部分のナイフエッジ化によるチッピングを防止する目的で 導入。当社ではお客様の仕上げ厚み（Ex. 100μ・50μなど）に合わせたベベルの加 工をバックグラインド前（受入元厚時）に行います。 ■仕様 ・NC制御によるベベル加工の為、砥石の交換なしに任意の厚み に合わせ加工可能 ・加工対象ウエハ：4・5・6・8インチ （C） 2013 Rokko All rights reserved 7 ROKKO CONFIDENTIAL ■バックグラインダー （2014/12導入） ■目的 キャビティー構造体や穴あきウエハなどのMEMSウ エハに対応すべくNCG（ノンコンタクトゲージ）を使 用し加工中、直接ウエハに触れることなくレーザー で厚み測定し設定の厚みに仕上げます。 ■使用 ・加工対応径：４・５・６・８（１２）インチ ・量産対応： 100～150μm ・MEMSウエハ対応 （C） 2013 Rokko All rights reserved 8 ROKKO CONFIDENTIAL ■枚葉式ポリッシュ（8“対応2014/08導入済み） ■目的 ・研削されたシリコンウエハにある微少な凹凸を研磨し、鏡面仕上げをします。 ■仕様 ・加工対応径：５・６・８インチ ・最薄量産実績：８インチ ８５μm ■バッチ式との違いとは？ （C） 2013 Ｒｏｋｋｏ All rights reserved 9 ROKKO CONFIDENTIAL ■バッチ式と枚葉式の違い（ポリッシュ） （バッチ式） 貼付 （枚葉式） 研磨 剥離 枚葉式はバッチ式工程をすべて自動で行う ●ワックス不要の為、洗浄工程の負荷が軽減、より清 浄度の高い製品となります。 ●バッチ式に取り代が少なくてすむ場合があります。 ●面内の研磨取り代がより均一になる為、高平坦度 の製品が得られます。 （C） 2013 Rokko All rights reserved 10 ROKKO CONFIDENTIAL ■自動スクラブ洗浄装置 ■目的 研磨後に微小に残ったスラリーなどのアルカリ成分を自然酸化膜にコーティングさ れる前に、スクラブ洗浄により、除去する。 ■仕様 ・加工対応径：４・５・６・８インチ ・量産厚み対応： ～ 100μm ・パターン付ウエハ・ M EMSウエハなどのSOI ウエハ ・ガラスサポート付きウエハなどにも対応。 （自動スクラブ洗浄） （手動スクラブ洗浄） （C） 2013 Rokko All rights reserved 11 ROKKO CONFIDENTIAL ■加工面非接触式テープ剥離機 ■目的 研磨した加工面に触れることなく、裏面のテープを剥離します。 ■仕様 ・加工対応径：５・６インチ ・対応テープ：UV式テープ ●ベルヌーイ式のロボットアームによりウエハに 直接触れることなくウエハを搬送します。 ●ステージ上にウエハ外周部５mmを吸着して セットし、UV照射をした後、テープを自動剥離します （C） 2013 Rokko All rights reserved 12 ROKKO CONFIDENTIAL ■パターン付ウエハRCA洗浄 ■目的 ・金属パターン付ウエハの裏面のRCA洗浄 ・膜付ウエハの裏面のRCA洗浄 ・支持基盤・貼り合せウエハの裏面のRCA洗浄 パーティクル・コンタミ除去 ■仕様 ・研磨・パターン面非接触式（エッジクランプ方式）全自動搬送（カセット TO カセット） ・同時２チャンバー 枚葉スピン方式 （RCA洗浄⇒純水リンス⇒乾燥） ・１薬液にてパーティクル・コンタミ除去 ・４，５，６、８インチ 最少厚み100μm 対応 ・支持基板付ウエハにも対応可能 （従来のRCA洗浄） （枚葉RCA洗浄） 重金属レベル： ≦ 5E10 atoms/㎠ (Ka,Ca,Ti,Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Cu,Zn,Al,Na) パーティクル： （C） 2013 Rokko All rights reserved ≧0.3μm ≦ 50個/wf 13 ROKKO CONFIDENTIAL ■六甲電子の成長戦略 研削 研磨 洗浄 日本 シリコン アジア SiC 欧米 サファイア （C） 2013 Rokko All rights reserved 14
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