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(4) ᔕ(2)߇ኈᤃߦផቯߢ߈ࠆ৻㉄ൻ⚛ߩ ࿑㧡㧚ಣℂߦࠃࠅ↢ߓߚ᳇ᚑಽ ࠍ␜ߔࠟࠬࠢࡠࡑ࠻ࠣ ࡈޕ᳓⚛᳇ᵃߦࠃࠆಣℂߛ ߌߢߥߊ⚛㉄ޔ᳇ᵃಣℂߩ ႐ว߽ޔ㔚᳇ಽ⸃ߩߺ ߣࠍࡑ࠭ࡊޔหᤨ↢ᚑߒ ߚ႐วߦߟߡ␜ߔޕ ㆶర↪ߦࠃࠆ⊒↢ᯏ᭴ߢࠆ߇࠭ࡊޔ 㧙㧙 ࡑਛߢߩᔕࠍᗐቯߔࠆߣޔᔕ(3)㧔㔚ሶߩ⸃㔌ઃ⌕ᔕ㧕߽߆ߥࠅߩ㗫ᐲߢ↢ߓࠆ น⢻ᕈ߇ࠆޔߢߎߘޕ㔚᳇ಽ⸃ߩ․ᕈࠍォߐߖߡޔ㔚㔚ᭂߦᜬߐࠇࠆ᳇ࠍޔ ᳓⚛ߛߌߢߥߊ㉄⚛ߩ႐ว߽ታ㛎ߒߩࠇߙࠇߘޔᔕߩነਈಽࠍផቯߒߚޔߣࠆߔޕ࿑ 㧡ߩࠃ߁ߥ⚿ᨐ߇ᓧࠄࠇߚޔߕ߹ޕ᳇ᵃ↢ᚑߩߺߩ႐วߪ৻㉄ൻ⚛ߪ᷹ⷰߐࠇߕޔ㔚 ⸃ㆶర↪ߪߥߎߣ߇ࠊ߆ࠆޔߡߒߘޕ᳓⚛᳇ᵃౝࡊ࠭ࡑߩಣℂߢᬌߐࠇߚ৻㉄ ൻ⚛㊂ߦᲧߴߡޔ᳓⚛᳇ᵃౝࡊ࠭ࡑߩಣℂߢᬌߐࠇߚ৻㉄ൻ⚛߇⚂ඨಽߦ⇐߹ ߞߚޕ᳓⚛᳇ᵃౝࡊ࠭ࡑಣℂߩ႐วߪᔕ(2)ߣᔕ(3)߇↢ߓࠆߩߦኻߒ⚛㉄ޔ᳇ᵃ ౝࡊ࠭ࡑಣℂߩ႐วߪᔕ(3)ߩߺ߇↢ߓࠆߣ⠨߃ࠄࠇࠆޕ෩ኒߦߪޔ᳓⚛ࡊ࠭ࡑ ߣ㉄⚛ࡊ࠭ࡑߢߪ㔚ሶኒᐲ߿ಽሶᕈࠟࠬߩ⸃㔌ߩᐲว߇⇣ߥࠆߣ⠨߃ࠄࠇࠆ߇ޔਔ ⠪ߢᄢᏅ߇ήߣቯߔࠆߣޔ᳓⚛᳇ᵃౝࡊ࠭ࡑಣℂߢߪᔕ(2)ߣᔕ(3)߇߶߷ ඨߣࠆߡߓ↢ߢޘ⠨߃ࠄࠇࠆޕ ߐߡޔㆶరᔕ߇ଦㅴߐࠇࠆߣޔᔕ(4)߇↢ߓࠆน⢻ᕈ߽ࠆⷰ߇ࡦ࠲ࡔߒ߽ޕ᷹ ߐࠇࠇ߫ޔᔕ(3)ߩᓇ㗀ήߒߦޔ᳓⚛ේሶߦࠃࠆ⚐☴ߥㆶరᔕ߇ߎߞߡࠆ⸽ ߣߥࠆ⚿ߩߘޕᨐࠍ࿑㧢ߦ␜ߔ߇↢߇ࡦ࠲ࡔߦ߁ࠃߩߎޔᚑߐࠇߡࠆߎߣ߽⏕ߢ߈ ߚߩߎޕ㊂ߪⷰޔ᷹ߐࠇߚ৻㉄ൻ⚛㊂ߩ 1%⒟ᐲߢߞߚ⚛㉄ޔߦߺߥߜޕ᳇ᵃౝࡊ ࠭ࡑಣℂߩ႐วߪⷰߪࡦ࠲ࡔߊోޔ᷹ߐࠇߥ߆ߞߚޕ ߐࠄߦޔߤߥ࡞࠹ࠛ࡞࠴ࡔࠫ߿㉄ࠡޔㆶరߐࠇߡ߽᳇ߣߒߡ㓸ߐࠇߕߦṁᶧౝ ࿑㧢㧚(a) ಣℂߦࠃࠅ↢ߓߚ᳇ ᚑಽࠍ␜ߔࠟࠬࠢࡠࡑ࠻ࠣ ࡈޕ㔚᳇ಽ⸃ߩߺߣࡊޔ ࠭ࡑࠍหᤨ↢ᚑߒߚ႐ว ߦߟߡ␜ߔ(ޕb) ࡊ࠭ ࡑ⊒శߩࠬࡍࠢ࠻࡞ޕ 㧙㧙 ࿑㧣㧚(a) ᳓⚛᳇ᵃߢߩಣℂߦࠃࠅ ↢ߓߚోᯏ⚛㊂ߩಣℂᤨ 㑆ଐሽᕈޕ㔚᳇ಽ⸃ߩߺߣޔ ࡊ࠭ࡑࠍหᤨ↢ᚑߒߚ႐ว ߦߟߡ␜ߔ(ޕb) Ყセߣߒ ߡ⚛㉄ޔ᳇ᵃߢߩಣℂߩ႐วޕ ߦṁ⸃ߒߚ߹߹ߩ‛⾰߇ࠆߎߣ߽⠨߃ࠄࠇࠆߩ⾰‛ߥ߁ࠃߩߘޕሽࠍតࠆߚߦޔ ోᯏ⚛㊂᷹ቯࠍⴕߞߚޔߣࠆߔޕ࿑㧣ߦ␜ߔࠃ߁ߦޔ᳓⚛᳇ᵃౝࡊ࠭ࡑಣℂߩ႐ วޔಣℂᤨ㑆߇Ⴧ߃ࠆߦᓥޔᗧߥᏅߣߒߡోᯏ⚛㊂߇Ⴧᄢߒߡࠆߎߣ߇ࠊ߆ ߞߚޕ 㧠㧚⚿⸒ એߩᬌ⸛ࠃࠅޔએਅߩ⚿⺰߇ዉ߆ࠇࠆޕ ߹ߕޔᄥ㓁㔚ᳰߩ㜞ല₸ൻ߳ߩၮ␆ᬌ⸛ߣߒߡޔᄥ㓁㔚ᳰߩ┙㈩⟎ࠍⴕ߁ߎߣߢޔ ᐔ㕙߳ߩ⸳⟎ߦᲧߴߡല₸ᡷༀ߇ߥߐࠇࠆน⢻ᕈ߇ࠆߎߣࠍ␜ߒߚߩߎޔߒߛߚޕല ᨐߪޔ㜞ല₸ߩశ㐽ߓㄟ․ᕈࠍరޘᜬߟᄥ㓁㔚ᳰߦኻߒߡߪലᨐߪਲߒߊࠈߒޔ ᑇଔࡊࡠࠬߢߐࠇߚ᳢↪ᄥ㓁㔚ᳰߩ㜞ജൻߦലᨐ⊛ߥᚻᴺߢࠈ߁ޔߦࠄߐޕ ᄥ㓁㔚ᳰߩ㕙ߦㆡᐲߥㅘዉ㔚⤑ࠍ⸳⟎ߔࠆߎߣߢޔ㨚ጀ㕙߆ࠄ᳓⚛᳇ᵃߩ⊒↢ࠍ ⏕ߒ⥄ޔὼశ㚟േߩ᳓⚛⊒↢ᴺࠍ⏕┙ߔࠆߎߣ߇ߢ߈ߚޕ ߘߒߡޔੑ㉄ൻ⚛߇ṁ⸃ߒߚ㔚⸃ᶧਛߦߡޔ᳓⚛᳇ᵃౝߢᶧਛ᳓⚛ࡊ࠭ࡑࠍ↢ᚑ ߒࠍ⾰‛ࠆߓ↢ߦ߈ߣߩߘޔಽᨆߔࠆߎߣߢ㉄৻ޔൻ⚛ߩߺߥࠄߕࡔ࠲ࡦᯏ⚛ ♽‛⾰ߩ↢ᚑ߽⏕ߒߚ㉄৻ޕൻ⚛ߩ⊒↢ߦߟߡߪޔේሶ⁁᳓⚛ߦࠃࠆㆶరᔕߦ ട߃ߡࡑ࠭ࡊޔਛ㔚ሶߩ⸃㔌ઃ⌕⽎߽ലᨐ߇ࠆߎߣ߇ࠊ߆ߞߚޕ ߎࠇࠄࠍ✚วߔࠆߎߣߢ⥄ޔὼశ㚟േߩ᳓⚛⊒↢ߥࠄ߮ߦߘߩਛߢߩࡊ࠭ࡑ↢ᚑߦ ࠃࠅޔᶧਛߦṁ⸃ߔࠆੑ㉄ൻ⚛ߩౣ⾗Ḯൻᴺࠍታ⸽࠺࠲ߦၮߠߡឭ᩺ߔࠆߎߣ߇ ߢ߈ߚ㉄৻ߚߓ↢ޕൻ⚛╬ߪޔ࿕㉄ൻ‛ဳΆᢱ㔚ᳰߩΆᢱߣߥࠆߣหᤨߦޔC1 ൻ ቇේᢱߣߒߡ↪ࠍㅢߒߡޔౣ⾗Ḯൻߩᣂⷙ⚻〝ߣߥࠆน⢻ᕈ߇ࠆޕ ⻢ㄉ ᧄ⎇ⓥߪ⽷ޔ࿅ᴺੱ㧶㧲㧱㧞㧝♿⽷࿅㧞㧜㧜㧥ᐕᐲᛛⴚ⎇ⓥഥᚑߦࠃࠅⴕࠊࠇ߹ߒ ߚޕᔃࠃࠅᓮ␞↳ߒߍ߹ߔ⸘ޔߚ߹ޕ᷹ᯏེߩ↪ࠍᔟ⻌ߚߛߚޔ੩ㇺᄢቇᄢቇ 㒮Ꮏቇ⎇ⓥ⑼ൻቇᎿቇኾߩ↰㐷⡸ᢎߣ㊁♿ᓆಎᢎߦᗵ⻢ߚߒ߹ߔޕ ෳ⠨ᢥ₂ [1] O. Sakai, T. Morita, N. Sano, T. Nozaki, T. Shirafuji, and K. Tachibana, J. Phys. D: Appl. Phys. 42, 202004 (2009). [2] Osamu Sakai, Tadasuke Morita, Yoshihiko Ueda, Noriaki Sano, and Kunihide Tachibana, “Chemical filters by non-thermal atmospheric-pressure plasmas for reactive fields,” Thin Solid Films (in press). [3] N. Hayashi, T. Yamakawa, and S. Baba, Vacuum 80, 129 (2006). [4] T. Inui, Appl. Organometal. Chem. 15, 87 (2001). [5] O. Sakai, M. Kimura, T. Shirafuji, and K. Tachibana, Appl. Phys. Lett. 93, 231501 (2008). 㧙㧙
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