表面科学基礎講座 表面・界面分析概論、真空技術基礎
大門 寛
表面科学基礎講座 表面・界面分析概論、真空技術基礎
大門 寛
定義
用語
英語
105 Pa – 102 Pa
102 Pa – 10-1 Pa
10-1 Pa – 10-5 Pa
10-5 Pa – 10-9 Pa
低（粗い）真空
中真空
高真空
超高真空
10-9 Pa 以下*
極高真空
low (rough) vacuum
medium vacuum
high vacuum (HV)
ultra-high vacuum
(UHV)
extremely-high vacuum
(XHV)
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大門 寛
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