1
B1F 006室, 007室
設置場所
名称 / メーカー
型式
B1-006
X線回折装置
D8-DISCOVER/
GADDS
装置写真
BRUKER
B1-006
X線回折装置
D8-DISCOVER/V
BRUKER
B1-006
ESCA
1800MC
ULVAC PHI
B1-006
超音波顕微鏡
SAM300
PVA TePla
B1-007
FIB/SEM
HITACHI
NB5000
GADDS
V
2
B1F 006室, 007室
設置場所
名称 / メーカー
型式
B1-007
イオンミリング装置
IMR-3-8
HITACHI
B1-007
XeF2エッチング装置
―
B1-007
卓上SEM
Miniscope
HITACHI
B1-007
レーザ顕微鏡
VK-8510
KEYENCE
B1-007
イオンコータ（PtPd）
HITACHI
E102
装置写真
3
B1F 006室, 007室
設置場所
名称 / メーカー
型式
B1-007
ALD装置
SUNALE R-150
Pico sun
B1-007
イオンビーム
スパッタ装置
M820
Hakuto
B1-007
ボンド用アライナー
EVG620
EVG
B1-007
ホットエンボス装置
EVG520HE
EVG
B1-007
プラズマ
表面処理装置
EVG
EVG810LT
装置写真