目次1/2 - 三弘アルバック

アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　目次1/2
ページ番号
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分類名
<スパッタ装置　ULVAC製>
<スパッタ装置　ULVAC製以外>
<蒸着装置>
<ＣＶＤ装置>
<アッシング装置>
<エッチング装置　ULVAC製>
<エッチング装置　ULVAC製以外>
<イオン注入装置>
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
<フォトリソグラフィー工程装置>
<コーター・デベロッパー>
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
<膜厚測定・抵抗測定装置>
<外観検査装置・その他計測器>
<洗浄装置>
<めっき装置>
<顕微鏡>
<後工程・実装装置>
<ＵＶ装置>
<ディスペンサー装置>
<イオンミリング装置>
<その他真空装置>
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
<その他>
<油回転真空ポンプ>
<油回転真空ポンプ部品>
<油拡散ポンプ>
<メカニカルブースターポンプ>
<クライオポンプ　ULVAC製>
<クライオポンプ　ULVAC製以外>
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外>
<ドライポンプ>
<イオンポンプ>
<排気セット>
<真空バルブ　ULVAC製>
<真空バルブ　ULVAC製以外>
<超高真空部品>
<ピラニ真空計>
<電離真空計>
<バラトロン真空計>
<ペニング真空計>
<サーモカップル真空計>
<キャパシタンスマノメータ >
<広帯域真空計 >
<成膜コントローラー>
<ガス分析計>
<Heリークディテクタ>
<EB電源>
1　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　目次2/2
分類名
<RF電源>
<DC電源>
<AC電源>
<アナライザーマグネット電源>
<マグネット電源>
<加熱電源>
<その他電源>
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
<搬送ロボット>
<電気制御系>
<チラー・純水設備>
<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>
<スパッタ装置部品>
<蒸着装置部品>
<イオン注入装置部品>
<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD>
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>
ページ番号
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今月の新掲載品
中古品番号
型式
D-950DK
GLD100
WF-R30-H17
K4Z-027(XU-MVS3102)
K4Z-026(XU-BDB0602)+KRC4000Z)
☆
☆
☆
☆
RS15-8005
RS15-2101
RS15-1100
RS15-1168
品名
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
微小寸法測定器ﾃﾚｺﾊﾟﾚｰﾀ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
☆
RS15-1167
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
☆
RS15-2095
電子銃
☆
RS15-2098
電位計
☆
RS15-2099
電位計
PROGRAMMABLE
ELECTROMETER_6512
DIGITAL ELECTROMETER_TR8652
☆
RS15-2096
蒸着装置
VPC-260（ﾍﾞﾙｼﾞｬ式）
JST-100C
☆
RS15-2065
蒸着装置
ei-5t
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
RS15-2089
RS15-8006
RS15-8007
RS15-2097
RS15-1137
RS15-1138
RS15-1139
RS15-1136
RS15-2100
RS15-1141
RS15-1140
RS15-1147
RS15-1146
RS15-1145
RS15-1144
RS15-1143
RS15-1142
RS15-1148
ﾘｰｸﾃｽﾄ設備（RS15-8004～8007）
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟｺｱﾝﾒｰﾀｰ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
Heliot700Series
PMB-003CM
GP-2A
CALIBRATOR/SOURCE_263
PDR-090CLN
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CLN
UTM50
TMP-403LM+EI-303M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-1003LM+EI-1003M
☆
RS15-2104
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MPS-2000-HC2（ﾊﾞｯﾁ式）
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
RS15-1151
RS15-1155
RS15-1152
RS15-1153
RS15-1154
RS15-1157
RS15-1156
RS15-1150
RS15-1149
RS15-3035
RS15-1165
RS15-1166
RS15-1163
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｳｴﾊｰ表面検査装置
RF電源
RF電源
RF電源
CRYO-T6E
CRYO-T8SN
CRYO-T6E
CRYO-T8SN
CRYO-T8SN
CRYO-T8SN
CRYO-T8SN
C30ZR
C30ZR
WM-1700
OEM-1250-01
OEM-1250-01
OEM-2000-01M1
備考
メーカー
ULVAC
ULVAC
日立
ULVAC
製造番号
A07B-03549
F61161
S03547-1-04
製造年
2006
1990
1998
2000
ULVAC
S03547-1E-03
JEOL
-
KEITHLEY
0647327
1995
ADVANTEST
04250092
1995
ULVAC
-
1995
蒸発源電源_SEREM PSE-150C12321
仕様書・取説・図面なし。
☆
基板保持機構；dia.50mm　自公転ﾌﾟﾗﾈﾀ
蒸発源；EGL-35M（10㏄*4）　HPS-1000S
排気系；CRYO U-16P + LR90
加熱系；赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ 4式（750W*2*4set）
仕様書・取説あり、図面なし。
☆
正常動作品。仕様書・取説・図面なし。
本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
☆
☆
2000
本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
2003
電子銃+電源（ｹｰﾌﾞﾙ一部切断）電子銃用排気系
取説あり、仕様書・図面なし。
☆
☆
☆
ULVAC
MA09-4737
2009
ULVAC
ULVAC
ULVAC
KEITHLEY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
1-00130
00813
0624873
A93A-00866
A93A-00242
A93A-00300
A93A-00867
005P848
FZL297
FZL295
FZM494
FZM492
FZM498
FZL282
FZL279
FZM493
2003
1984
1987
1995
2004
2004
2004
2004
1990
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
ULVAC
MB97-5001
1997
ｶｿｰﾄﾞ：ﾍﾘｺﾝｶｿｰﾄﾞ源 2元 / ECR源 1元
電源：RF電源 / DC電源 / 加熱電源
排気系：ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ+油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
取説・図面あり、仕様書なし。
UCI
UCI
UCI
UCI
UCI
UCI
UCI
UCI
UCI
TOPCOM
ENI
ENI
AE
0011128
0011686
0011129
0011689
0011685
0011687
0011688
CS1144
CS1136
C112
C278
C116
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ＋ﾌﾚｷﾎｰｽ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ＋ﾌﾚｷﾎｰｽ
2　本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
仕様書・取説・図面なし。
2004
2004
2004
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
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☆
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※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
☆
☆
RS15-1164
RS15-1162
RF電源
DC電源
OEM-1250-01
Pinnacle20kW
☆
RS15-1161
DC電源
Pinnacle(ﾏｽﾀｰ･ｽﾚｰﾌﾞ)40kW
☆
☆
☆
RS15-1160
RS15-1159
RS15-1158
DC電源
DC電源
DC電源
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
2016年3月20日現在　備考
メーカー
製造番号
製造年
ENI
AE
2004
2004
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
2004
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
☆
京三製作所
京三製作所
京三製作所
C152
333645 F/R B
330733 F/R
A,333644 F/R B
WA2899/WA2900
WA2923/WA2924
WA2921/WA2922
2004
2004
2004
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
☆
AE
<スパッタ装置　ULVAC製>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
ｶｿｰﾄﾞ：ﾍﾘｺﾝｶｿｰﾄﾞ源 2元 / ECR源 1元
電源：RF電源 / DC電源 / 加熱電源
排気系：ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ+油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
取説・図面あり、仕様書なし。
RS15-2104
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MPS-2000-HC2（ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
MB97-5001
1997
RS15-2077
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS ZX-1000
ULVAC
ME02-5001
2002
RS15-2055
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SV-4540-D14
ULVAC
MH91-5008
1992
RS15-1025
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME95-1042（WT0610010A）
RS15-2010
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SH-450-T10
ULVAC
MB03-5006
RS15-2008
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-550L
ULVAC
MH92-1080
1992
★2012年ﾘﾆｭｰｱﾙ装置★排気系：TMP（UTM-2300）・拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ（D-950DK）、真
空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ（GI-TL3）・ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*3（GP-1SRY(C)）・ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計（MKS
PRC-C-1C）、ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC（DC）・DC(DCS-0202B)、熱電対：PHS-07、ｽﾊﾟｯﾀｶ
ｿｰﾄﾞ：1源（φ 4in*6set）←SP-UP、材料：金属　仕様書・取説・図面あり。
RS12-1061
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000
ULVAC
ME02-8012
2002
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　１E3T　，基板：φ 6in　Etch：ICP　SP1～
3：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様　機能充実
RS12-1062
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000
ULVAC
ME93-5021
1994
RS13-3017
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CS-200
ULVAC
MA07-1009
2007
RS12-1227
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
IBS-6000
ULVAC
MB04-1012
2004
RS12-1118
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME00-5016
2000
RS13-1115
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME96-1064
1997
RS13-3127
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME99-1017
RS14-4024
RS14-1242
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME97-1050
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MPS-2000
ULVAC
MB99-1021
1998
2000
RS13-2209
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200（PME-200LE;LPO）
ULVAC
MA08-3536
2010
RS14-2292
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SBH-2306
ULVAC
ME57-5034
1983
・排気ｼｽﾃﾑ：ﾒｲﾝﾎﾟﾝﾌﾟ(DP?)欠品/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ[D-950DK(Motor;D)]　・真空計：ｲｵﾝ
ｹﾞｰｼﾞ[GI-TL2RY]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ[GP-1SRY(A)]+[GP-2DA]　・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ電源
DC[DC-050-E特型新電元]　・水晶成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ[ｲﾝﾌｨｺﾝ]　・ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞｶｿｰﾄﾞ：3
源(ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝ未使用の厚膜ｶｿｰﾄﾞ)ﾃﾞﾎﾟﾀﾞｳﾝ　・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo
RS13-2204
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350-D06(ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
MH62-5073
1988
【バッチ式】実験・少量生産　φ 150mmカソード　1元　（スパッタアップ）　排気系：
拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A)、D-650Dスパッタ電源：ＤＣＧ－０５Ｃ　ガス：２系統ｼｰ
ｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2
RS14-2010
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350EL-C06
ULVAC
MA98-5016
1999
LL式　基板□125ｍｍ　逆ｽﾊﾟ付、DC・RF　ｶｿｰﾄﾞ3元
RS12-1405
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-450-C10
ULVAC
MH61-0502(NH8978)
1987
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・少量生産　φ 6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・
RFx1　逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋RP
RS14-2268
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸｽ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-1010特　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
ULVAC
MA01-5007-0
2002
Vacuum　System・・・CP［（U10PU）　C15R（MBS）］　RP［D-650DK］ Vacuum
Gauge・・・Ion　Gauge［GI-M2］　Pirani　Gauge*3［GP-1SRY（C）］　Baratｒon
Gauge［MKS　PRC-C-1C］ Sputtering　Power　Suppy・・・DC［DC］　DC［DCS0202B］　Heater　Power［PHS-07］ Sputtering　Cathode・・・1source (5in*10in*6t
［Dual　Cathode　Remodeling　OK］）←SP-UP Trace・・・ITO 仕様書・取説・図面
あり。
RS13-1116
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-3030
ULVAC
MH63-5260
2007
RS11-1021
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-850
ULVAC
MA06-1006
2006
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・少量生産　ｶﾞﾗｽ基板： □850×900ｶｿｰﾄﾞ3元搭載ｽﾊﾟｯﾀ
電源：RF 片面　縦搬送通過成膜式排気系：CRYO+RP
RS13-2208
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200LDM(LCO)
ULVAC
MA08-3625
2010
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送
室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×6）＋（空×1）基板：150□mmｶﾞﾗｽ基板等（200mmｳｴﾊ可能）
排気系：ＴＭＰ＋DRY　成膜室：（P2～P6φ 300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×5元、P7
φ 300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元　Cu）　電源：P2～P6　RF電源　5KW　P7　DC
電源　4KW成膜法：固定成膜　ｽﾊﾟｯﾀﾟｱｯﾌﾟ（P3は回転成膜）
RS11-2043
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SMR-2110E
SRH-420MC
ULVAC
ULVAC
ME58-0161
MA02-1038
1983
RS14-1118
RS10-2807
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7820
RS10-2808
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7818
RS15-1001
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SIH-300RD
ULVAC
MA08-7004
2009
RS15-1102
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SBH-2306R
ULVAC
RE92-1011
1993
状態良好。成膜履歴：SiO2,ZnO-SiO2　仕様書・取説・図面あり。
RS15-2070
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-450-C12
ULVAC
MH63-5223
1988
6ｲﾝﾁ3元　非磁性ｶｿｰﾄﾞ　ｲﾝﾃﾞｯｸｽｼｬｯﾀｰ仕様　加熱：赤外線ﾗﾝﾌﾟ 3kw　ｽﾊﾟｯﾀ電
源 RF2KW、ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ U-12SP　油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ：D-950D　ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ C30
S/N:CC2040 積算時間1,393.7Hr　MFC　Ar・O2・N2　真空計：GI-TL3RY　GI-TL3
GP-1SRY　制御ﾘﾆｭｰｱﾙ済　ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ仕様、仕様書あり、取説・図面なし。
☆
基板：200㎜
装置構成：オートローダー + 搬送室 + ﾌﾟﾛｾｽ室*1
成膜室：RF-Bias 式 DC-LTS ｽﾊﾟｯﾀ（ﾉ-ﾏﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ残留）
排気系：QDP80 + TMP-203LM/TMP-1003LM、CRYO-T4X/CRYO-T8P/C30Z
（30105hr）　仕様書・取説・図面あり。
Sputtering System:：Side Sputter DC [10 kW] / RF [3 kW]、Cathode：3 [5in
× 18in High Rate Cathode] … CA1 [DC/RF] CA2 [DC/RF] CA3 [RF]、
Etching System：RF 500 W 、Vacuum System：DP [ULK-14] / PMB [PMB001CM] / RP [D-950DK]、Gas System：Ar 100sccm / O2 50sccm / N2
50sccm
枚様式ｽﾊﾟｯﾀ、2C2Tﾉｰﾏﾙｶｿｰﾄﾞ搭載、S3室、6ｲﾝﾁ、S4室、8ｲﾝﾁﾗﾝﾌﾟ加熱仕様、
平置き、TMP（島津載せ替え済）、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟAA-10S　※2007年ﾘﾆｭｰｱﾙ販売して
いる装置。仕様書・図面あり、取説なし。
構成：CA3元
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E1T　，基板：φ 6in　Etch：ICP　SP：
Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・量産　ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ　φ 12in回転磁石型ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ(誘電
体用）　1元　SP電源：RF　3ｋWx1　排気系：TMP+DRP　基板ｻｲｽﾞφ 6in　仕様書
あり、状態良好
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置動作確認済み
使用頻度少なく良好
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E2T2C，基板：φ 5in　Etch：2重極
SP1：Metal　SP2：Metal，加熱系：Infrared Lamp　ｶｾｯﾄ室×2，排気系：CRYO＋
RP
【枚葉式】ﾌﾙﾓｼﾞｭｰﾙ（2C3T1E)　取説・図面あり
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E1T1H2C　基板：φ 5in　Etch：2重極
SP：Metal　加熱系：赤外線ﾗﾝﾌﾟ　ｶｾｯﾄ室×2　排気系：CRYO＋RP
8インチ用
取説なし
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構成：ｶｾｯﾄ室＋搬送
室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×3）＋（空×2）基板：140□mmｶﾞﾗｽ基板等（180mm□ﾄﾚｲ使用）
排気系：ＴＭＰ＋DRY　成膜室：（P3：蒸着重合、P4：蒸着％UV、P5：φ 300ﾛｰﾀﾘ式
ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元）　電源：RF電源　3KW　成膜法：固定成膜　ﾃﾞﾎﾟｱｯﾌﾟ
ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｘ3式、ICPｴｯﾁ室　取説・図面あり
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T　，基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：
Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T　，基板：φ 6in　SP1：Metal　SP2：
Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）
+CryoTrap，設置：階下置き仕様　※ 拡張性有り
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式、DEPOﾀﾞｳﾝ、ｶｾｯﾄﾀｲﾌﾟ（ﾎﾙﾀﾞｰ6枚 420*420）、ｶｿｰﾄﾞ：3元（Ti、Cu、
Ni-Cu）135*47（非磁性）、排気系：TMP+RP、GAS：Ar、電源：DC6KW RF1KW（逆
ｽﾊﾟ）使用頻度低い仕様書・図面なし、取説あり。
<スパッタ装置　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1026
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
C-7540HC
ANELVA
EVP-30782
1996
Au、Cu、Ｎｉ成膜装置。仕様書、取説、図面なし。
RS12-1027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
-
ﾃｸﾉｺｰﾄ
-
1992
□100 角基板用　ｶｿｰﾄﾞ３元 DC　拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ＋ｱﾙｶﾃﾙRP
3　備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS13-8022
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
E-102
日立
6127-03
1986
電源：AC100V 50/60Hz 1KVA　試料台：φ 80ｍｍ　RP付属（501-min)　放電電圧
印加法：自動ｽﾛｰｱｯﾌﾟ方式
RS11-1201
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
HRS-521A
島津製作所
1M9062
1994
RS12-1228
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
L-350S-C
ANELVA
EVP-30577
1996
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用（全手動操作）　φ 4inｶｿｰﾄﾞ　3元　静止成膜　ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF
逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能　小型実験装置
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用ｶｿｰﾄﾞ： 5元（DC３式＋RF２式）
ｲｵﾝ銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）
RS11-1184
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPC-530H
ANELVA
EVP-13998-1
1983
【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】　ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in　3元　DC/RF切替　排気系：DP　2004年に
ｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施
RS14-3037
RS12-2027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPF-530F
SPF-540H
ANELVA
ANELVA
EVP-22528
EVP-24622
1991
6ｲﾝﾁ3元　ITOｽﾊﾟｯﾀ　RF/DC部品取りあり。仕様書あり。
RS12-1380
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置(ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式）
SPH-2019F
昭和真空
02-4191
2003
RS15-1002
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀ装置
SPH-2500-RF
昭和真空
00-4422
RS12-2033
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置部品（RS12-8061～8066） ECR-300E
ANELVA
EVP-19881
RS15-1060
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SH-450-C12
ULVAC
-
【ﾊﾞｯﾁ式】ｶｿｰﾄﾞ：φ 6in× 3元
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　基板：φ 3.4in　ｶｿｰﾄﾞ：5inx7in MgCa 3元　ｽﾊﾟｯﾀ電源：
DC/RF切替　加熱：ｼｰｽｽﾋｰﾀｰ
CONT、ケーブル付属　仕様書あり
1990
状態良好
O/H必須。Φ 6ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞ3元、RF/DC、ｴｯﾁﾝｸﾞ機構付。
<蒸着装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
☆
RS15-2096
蒸着装置
VPC-260（ﾍﾞﾙｼﾞｬ式）
ULVAC
-
1995
☆
RS15-2065
蒸着装置
ei-5t
ULVAC
MA09-4737
2009
RS15-2067
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
ME59-5018
1985
RS15-2068
蒸着装置
EBX-16CF
ULVAC
ME59-1038
1985
RS15-2062
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4503
RS15-2057
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MH96-5035
1998
RS15-2056
抵抗加熱蒸着装置
EX-400-D06(改C08)
ULVAC
MH92-5012
1992
RS15-1085
蒸着装置
SKF-1300
昭和真空
07-4133
2008
RS15-1084
蒸着装置
SOLCIET
ULVAC
MH10-1019
2010
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟが冷却水漏れ等にて熱交換器不良、また4台中1台にHe残圧0の状態
あり。取説あり、仕様書・図面なし。
SOLCIETの特型、ﾁｬﾝﾊﾞｰが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、EBX-1000の代替え
装置としてL/L・G-BOXなど付属しており、状態良好。仕様書・取説・図面あり。
RS15-2054
蒸着装置
VPC-260
ULVAC
ZV-5468
1992
製造番号未確認、リレー（接点）無し
RS15-2021
蒸着装置
EBX-16C(ﾊﾞｯﾁ式)
ULVAC
ME58-5020
1983
蒸発源 EB EGL-35M 40㏄*3 10cc*1、抵抗蒸発2元(ｽｲﾝｸﾞTYPE)、 EB電源
HPS-1000F CONT EGC-10S 、抵抗蒸発電源PSH-700F-N、膜厚計CRTM9000、真空計GI-TL3RY GP-1SRY-S*2、排気系ｸﾗｲｵU-16P ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ-C30MT
積算 93490.1hr S/N：GK1087N、制御計系ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｰｹﾝｻｰ A2SH CPU 蒸発材
料 Au.Ti.Ｎi.AuSn.Pt.Ag 欠品：ﾌﾟﾗﾈﾀﾘｰﾄﾞｰﾑ
RS14-2289
真空蒸着装置
蒸着重合装置
特殊蒸着装置
VEP-1000
ANELVA
ULVAC
EE995142
MF06-1008
2001
RS13-3016
2007
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
RS14-2266
有機EL蒸着装置
SOLCIET（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
ULVAC
MF98-5013-0
1999
Vacuum　System・・・CP［U6H*2］　CP-Compressor[C10*2]　TMP[TMP-403LM]
RP[D-240DK*3] Vacuum　Gauge・・・Ion　Gauge[GI-TL3RY*3]　Pirani
Gauge*5[GP-1SRY（C）]、Bias　RF　Power Supｐｙ・・・RF[RFS-02CA] Trace・・・
Metal&Organic material 仕様書・取説・図面あり。
RS11-3206
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MF96-5002
RS13-2200
蒸着装置
SGC-22SA-RF（ﾊﾞｯﾁ式）
昭和真空
00-4561
2000
RS14-1226
RS14-1227
RS14-1180
蒸着装置
蒸着装置
高真空蒸着装置
SGC-22SA-RF
SGC-22SA-RF
EX-900-C16
昭和真空
昭和真空
ULVAC
97-4334
94-4371
MH89-2054
1990
RS09-2143
蒸着装置
EX-650-C16
ULVAC
MH97-5033
RS11-1191
蒸着装置
EX-550-D10-B
ULVAC
MH90-1086
RS14-2295
蒸着装置
EX-550-D10(改C）
ULVAC
MH89-7048-0
1990
RS11-2397
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH96-1051
1996
RS14-1181
高真空蒸着装置
EROLA
ULVAC
-
RS12-1428
蒸着装置
EBX-8C　(ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
MH59-0112
1984
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×600H　自公転治具（φ
100用）　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ(EGL-35M) 排気系：CRYO＋RP　（ｶﾞｽ導入:O2)　RS12-1233
高真空蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5039
1984
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×600H　公転治具　蒸発
源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-206M）膜厚計：CRTM-9000　排気系：CRYO ＋ RP
RS13-2099
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5058
1983
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×600H　公転平板　□
150ｶﾞﾗｽ基板　蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系；CP＋RP
RS14-2294
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
XC03-4012
1990
RS14-1110
高真空蒸着装置
EBX-6D
ULVAC
MH60-0242
1985
RS12-1214
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
MH89-7043
1989
RS11-3014
蒸着装置
EBX-10D
ULVAC
SE59-1362-4
1885
4　備考
蒸発源電源_SEREM PSE-150C12321
仕様書・取説・図面なし。
基板保持機構；dia.50mm　自公転ﾌﾟﾗﾈﾀ
蒸発源；EGL-35M（10㏄*4）　HPS-1000S
排気系；CRYO U-16P + LR90
加熱系；赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ 4式（750W*2*4set）
仕様書・取説あり、図面なし。
☆
☆
EBX-16Cは生産状態で停止。EBBは、EB電源抜き取り済で部品取り用途。
EBX-16とEBBは、同時購入必須。ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。
図面あり、仕様書・取説なし。
ｲﾝﾌｨｺﾝﾃﾞｭｱﾙｾﾝｻｰとCRTM-9000のｾｯﾄ。図面あり、仕様書・取説なし。
JIG：JRH-075（Φ 50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS-406M/HPS-1000S、
PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRY-iH80、SubHeating：MAX350℃,仕様書あり、取
説・図面なし。防着版無し、ドーム有り
構成　：　処理室 2室（有機材料成膜室・電極形成室）　＋　ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ（ｵﾘｼﾞﾅ
ﾙ）、蒸発源　：　有機材料成膜室　（Cell　；　5ヶ所）　、　電極形成室　（抵抗加熱
2本）、排気系　：　油回転真空ポンプ（D-240DK × 2台）＋ CP（U-6H + C10）＋
TMP（TMP-280）、制御系　：　ｼｰｹﾝｻｰ（三菱Aｼﾘｰｽﾞ A1S）　成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（CRTM-7000 × 2式）
抵抗加熱蒸発源　8元　（電源系統 2系統）,主排気系　CP化改造済　（CP 欠品）
＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650DK,制御I系　；　成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　（RS15-2060）
CRTM8000 付属
有機薄膜形成装置　有機EL 研究・生産装置
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　生産用φ 900ｘ1125H　SUS製　後方排気　水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻　公
転ﾄﾞｰﾑ　蒸発源：EB蒸発源（JEOL)　JEBG-102UHO　15連ﾊｰｽ　電源JST-10F
（10Kw)　排気系　RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘ
ｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550)　その他：　RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw)　京三 / 光学膜制御（SOCS-1
α ）昭和 / CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙｾﾝｻ） / ｼｰｽﾋ-ﾀｰ加熱
抵抗8元　動作確認済み。　取説・図面あり。
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ 750W×900H　自公転治具　蒸発源：
抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ 10連回転駆動）　排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ
加熱
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　蒸発源：未搭
載（選択自由）　排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）＋RP
・排気ｼｽﾃﾑ：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ[U-10PUS H2ﾒｰﾀｰ]+[C2W-U 18956hr(2Tune)]/拡散ﾎﾟﾝ
ﾌﾟ D-950D　・真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ[GI-TL3RY]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*2[GP-1SRY©]　・水晶
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗ[CRTM-6000]　・蒸発源：2源[EB EGL-206M]　・蒸発源使用電源：
[EB HP-1010F]　・ﾄﾚｰｽ：Au/Hf/Mo/Pt/Al/Pd
【前扉ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：φ 650Wx800H　自公転治具　蒸
発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）ｘ2式（Au、Sn成膜）　排気系：CRYO+RP　EBｶﾞﾝ2台
（EB電源無し）・水冷ﾄﾞｰﾑ使用
抵抗３式　ｸﾗｲｵ排気+DRP　L/L室付　CRTM-9000　抵抗電源ｿﾘｯﾄﾞﾀｲﾌﾟ
・排気ｼｽﾃﾑ：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ[U-10P-U H2ﾒｰﾀｰ]+[C2W-U 15462hr]/拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ D330D　・真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ[GI-TL3]　ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*2[GP-1SRY(A)]　・水晶成膜ｺﾝ
ﾄﾛｰﾗ*2[CRTM-1000/CRTM-5000]　・蒸発源：2源[EB EGK-3M][R/H 2Boart]　・
蒸発源使用電源：[EB HP-510C][RH RS-07(400A)]　・ﾋｰﾀｰ電源：PS-07[ﾒｰﾀｰ
30A]ｼﾏﾃﾞﾝ製　・ﾄﾚｰｽ：Au/AuZn/Mo
抵抗蒸着　φ 3ｲﾝﾁ公転ﾄﾞｰﾑ12枚　ﾗﾝﾌﾟ加熱ｘ2式　ULK-06A　ｸﾘｰﾝﾙｰﾑ保管（動
作確認済み）
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ 750Wx900H　自公転治具　蒸発源：電
子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M)　電源：10ｋW(真空管）　排気系：CRYO+RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
後方排気　ﾌﾟﾗﾈﾀﾄﾞﾘｰﾑ
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　治具無し　蒸
発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-1419
蒸着装置(ﾊﾞｯﾁ式）
EBX-10D
ULVAC
SE56-1351-3
1981
RS10-2175
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
SE58-1359-4
RS13-1038
蒸着装置
EBS-10A特型
ULVAC
XJ99-70010A
1999
RS13-2205
蒸着装置（ﾊﾞｯﾁ式）
EBS-10A
ULVAC
ME54-0003
1979
RS12-1080
蒸着装置
EBH-6
RS14-2280
真空蒸着装置
BMC-700
RS14-2360
RS14-2361
蒸着装置
蒸着装置
EX-400-C08
L-300K
RS14-2262
蒸着装置
備考
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 650W×800H　治具無し　蒸
発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　欠
品：EBｶﾞﾝ
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ 600W×800H　蒸発源:電子
ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kw（真空管）　排気系：CRYO ＋ RP
ULVAC
MH62-5022
2005
SHINCRON
900073
1990
ULVAC
ANELVA
MA00-5024
EVP-37391
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】　排気系：U-12HSP(C30MT予防保全済）+PMB003C+D-950DK　加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ　ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ　蒸発
源：抵抗蒸発源（Wﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連ｘ6点切替方式）　仕様書・取説・図面あり
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ　真空動作：
AUTO/MANUAL　成膜半自動蒸着材料：AL・In・Sn　公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050)　ﾜｰｸ
ｻｲｽﾞ：50ｍｍｘ75ｍｍ　排気系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V　RP D-650　PMB-003C
蒸発源：E/B　EGL-35M　HP1010SG　抵抗蒸発源：1元ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源付き　MFC
Aｒ　100ｓｃｃｍ　膜厚計CRTM-6000
【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用　全手動操作　抵抗加熱式蒸発源　（欠品：ﾍﾞﾙ
ｼﾞｬｰ）
現状動作OK。
現状動作OK。
IPM-100（Load　Lock式）
ULVAC
MF03-5104
2004
製造番号
製造年
Main　Vacuum　System：CRYO（U-10PUS)・・・H2　mater)+(C2W-U・・・99633hr)
Load Lock Chamber Vacuum System：Turbo-molecular pump（UTM350FH/D1A)
Vacuum　Control　System：mks　TYPE　113
Vacuum Gauge：Ion Gauge(GI-TL3RY)*2　Pirani Gauge*5（GP-1SRY(A)）
Quartz crystal deposition controller (CRTM-6000)
Deposition Source：Erectron　Beam Source（EB・・・EGO-35)　Power
Supply・・・（EB・・・HPS-510S)
Ion Plating System・・・RFS-02CA*2
Trace・・・Mo/Cr/Al/Al2O3 取説・図面あり。
<ＣＶＤ装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS12-1318
CVD装置
PD-270STA
SAMCO
RS14-3045
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
P-5000（MXP、DXZ）
AMAT
11738
RS10-2769
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
DWNT成膜装置
ULVAC
MB03-7002
RS12-1145
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
CPD-1210
ULVAC
-
RS13-2010
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置部品（RS13-8129～8132） CME-200J
ULVAC
MA07-5012-0
2008
RS14-2359
CVD装置
P-CVD装置
CC-200
P-CVD装置（ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
ULVAC
MA03-5033
MH61-1112
1986
RS13-1031
2001
備考
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　TEOS-CVD　使用ｶﾞｽ：C2F6　Ar O2　N2
取説・図面あり。
2003
【ﾊﾞｯﾁ式】　熱CVD　ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用　加熱系：MAX1100℃ 排気系：RP　ｶﾞ
ｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM）　基板：200mm×600mm
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD　基板：φ 200　使用ｶﾞｽ：SiH4・・O2・N2
【ＣｔｏＣ】　生産用　プラズマＣＶＤ　156基板　《ｶﾞｽ》H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,
CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi　《不足品》　防着板2室分、ｼｰﾙﾄﾞﾌﾞﾛｯｸ4ｘ2室分、ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ2
枚、防着ﾏｽｸ4ｘ2室分
現状動作OK。
研究・開発用途
<アッシング装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS13-3031
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
VA-1000
ULVAC
2215
2001
2013/5初旬に装置停止　その後ｸﾘｰﾝﾙｰﾑにて保管　外観上問題なし　不具合な
し
RS11-2405
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000N
ULVAC
RE93-1003
RS12-2079
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000
RS13-3123
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
1000P
RS09-1488
ｱﾗｲﾒﾝﾄﾋﾟｯｸ
ULVAC
GLEN
TECHNOLOGIES
ULVAC
XS06-4604
1992
10271
2000
製造番号
製造年
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】　電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz 高周波
200W　13.56MHz　RF出力ｹｰﾌﾞﾙ（大分建屋保管）
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】　電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±50MHz 高周波
200W　13.56MHz
仕様書・取説あり
<エッチング装置　ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
備考
RS15-2066
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-550
ULVAC
MV06-1113
2006
排気系搬送室ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ HR-60、ｴｯﾁﾝｸﾞ室ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ TMP-1003LM +
HR-60
ｴｯﾁﾝｸﾞｼｽﾃﾑﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀｰ RF電源 Anntena 1kw 13.56MHz Bias 600W 12.5MHz
基板ｻｲｽﾞ φ 200mm ﾁﾗｰ故障
仕様書・取説あり、図面なし。
RS15-2090
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
NE-550
ULVAC
ME04-1105
2005
基板：200㎜　Tray
装置構成：仕込室+ﾌﾟﾛｾｽ室*1
ﾌﾟﾛｾｽ室　RF-Anntena　1KW　RF-Bias　300W
排気系：Dry+TMP（TMP起動困難）
仕様書・取説・図面あり。
RS14-1231
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-5000N
ULVAC
MV98-1002
2000
RS11-2399
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1210
ULVAC
ME60-0230
RS10-2784
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1110
ULVAC
MH58-0012
RS12-2047
RS14-1293
ｴｯﾁﾝｸﾞ
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1000
ALBA-PEC
ULVAC
ULVAC
RE92-1023
-
RS12-1304
ICPｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CE-300I
ULVAC
MV03-1008
2004
1983
CRで停止　L/L（ｶｾｯﾄ付）ｴｯﾁﾝｸﾞ装置。　程度良好・制御系動作確認済み。　取
説・図面あり。
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W 13.56MHｚ　排気系：DP＋PMB＋RP
基板：φ 200mm　（平置き）　ｶﾞｽ系：4系統
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W 13.56MHｚ　排気系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝ
ﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ　基板：φ 200mm　（平置き）
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　ICP方式、使用ｶﾞｽ(CF４/C3F8/SF6/He/Ar/O2)
<エッチング装置　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1021
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
RIE-200L
SAMCO
ENS990608
1999
取説あり、仕様書・図面なし。
RS11-2028
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
L-210H-WS
ANELVA
EVP-35058
2000
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　RIE方式　使用ｶﾞｽ：O2　CF4：Ａｒ　CHF3　C4F8　SF8
排気系：R/P×2台　TMP×1台
RS12-1311
RS10-2789
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DES-320E
DEM-451
YAC
ANELVA
EVP-16956
1987
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　基板：φ 150mm　平置き
RS14-4117
ｴｯﾁﾝｸﾞ
CVE-2014ACｓ1
ｸﾚｾﾝ
CVE-2013ACｓ1
2006
12インチ用縦型ウェットエッチング装置。薬液は温調、循環ろ過され、純水リンス
への影響がありません。
RS14-4015
Ti自動ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
-
ｻﾝｴｲ
-
2008
ウェット層でTiエッチング後、純水洗い、乾燥を自動で行える装置
RS10-2182
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CDE-80N
芝浦ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
WFX0013
RS15-1003
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
RIE-200IP
SAMCO
22A1347
5　備考
【枚葉式】　生産向け　RIE方式　基板：φ 4ﾄﾚｲ搬送　ﾁｬﾝﾊﾞｰ2室
【枚葉式】　生産向け　ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式、電源：ﾏｲｸﾛ波　2.45GHz　1ｋW、基板：
φ 200ｍｍ　（裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<イオン注入装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-1004
ｲｵﾝ注入装置
IDZ-8001
ULVAC
MI05-1001
2005
RS07-2983
ｲｵﾝ注入装置
IMX-3500
ULVAC
MI98-0001
備考
制御系・電源・現行機種（ﾒﾝﾃ可能）　程度良好　欠品なし
中電流ｲｵﾝ注入装置 (MAX Energy 200KeV)　基板：4in 1枚仕込（ｻｲｽﾞ変更可
能）　ｴﾈﾙｷﾞｰ30～200KeV　連続可変　実験用
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
中古品番号
品名
型式
RS15-2079
電気炉
206M100M30X108H
RS15-3007
RS15-3008
RS15-1020
真空乾燥炉
ｴｺﾘﾌﾛｰ炉
ｺﾞｰﾙﾄﾞｲﾒｰｼﾞ炉
QSAF-500
SNR-615
RHL-P1210CP
RS15-2009
RTA装置
RTP-6
RS13-8016
精密熱処理炉
精密熱処理炉
RS12-1320
RS12-1044
RS14-1228
RS12-1338
電気炉
VF-2000
真空ｱﾆｰﾙ炉
枚葉式高速ｱﾆｰﾙ装置
TYPE　BH
RTA-4000
ﾍﾞｰｸ炉
LTI-601ED
RS14-1003
電気ﾏｯﾌﾙ炉
KL-600
RS10-2602
抵抗加熱式真空高温炉
FHT-75S
RS14-2269
遠紫外線応用装置
RS14-1229
RS12-1316
RS12-1315
RS12-1373
メーカー
製造年
製造番号
備考
基板：φ 100㎜～150㎜
加熱系：1500℃
搬送：手動
石英管：予備1式
仕様書・取説あり、図面なし。
光洋ﾘﾝﾄﾞﾊﾞｰｸﾞ
HI-0714
1990
ULVAC
千住金属工業㈱
ULVAC
D87086
2007
仕様書あり、図面・取説なし。
ULVAC
MR034020-0
2004
ULVAC
MB61-1021
1986
実験機用途。構成：1枚ﾀｲﾌﾟ、ｶﾞｽ種（O2・N2）、基板：Si 2in（ｻｾﾌﾟﾀｰ改造にて6in
まで可）加熱性能MAX1000℃
石英炉心管（φ 86ｍｍ）　到達圧力：10-6Pa台　加熱（ｶﾝﾀﾙﾋｰﾀｰPID制御）：
1100℃±15　排気系：TMP+RP
ｱﾕﾐ工業
ULVAC
VE-01-16
MR060013-0
2002
EYELA
10225465
ADVANTEC
097210
ULVAC
MF99-1131
DUV-25ｘ4B　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
日本電池
00　E 5L
ｵｰﾐｯｸｱﾛｲ炉
1連式横型管状炉
DSI-3500P
A-T-H
ｹﾐﾄﾛﾆｸｽ
ﾉﾘﾀｹ
-
3連式横型管状炉
電気炉
A-T-H
仕様書・図面あり、取説なし。
KOYOｻｰﾓｼｽﾃﾑ
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞ　φ ４X36枚　～1200℃
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用　排気系：CRYO PumP ＋ RP
取説・図面あり/仕様書なし
□350mm内径　200℃　大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)
2007
本体のみ　付属品：真空ｵｰﾌﾞﾝ（本体のみ）/型式：DP43/L/N:36800179/S/N:WA2433/ﾒｰｶｰ：ﾔﾏﾄ科学
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用　金属焼結等　（MAX1800℃･･･ｶﾀﾛｸﾞ値）　排気系：RP＋PMB
2000年以前製。　ﾗﾝﾌﾟ型式：L258　物件番号：KBG711　基板ｻｲｽﾞ：□100
使用時間：3407ｈｒ　仕様書・取説・図面あり。
取説・図面あり/仕様書なし
φ 4ｲﾝﾁ　～1300℃
ﾉﾘﾀｹ
φ 4ｲﾝﾁ　～1250℃
<フォトリソグラフィー工程装置>
中古品番号
品名
型式
RS15-2078
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
PLA-600F
RS14-2296
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
RS14-2278
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
RS14-3048
ﾏｽｸｱﾗｲﾅ装置
MA8/BA8
RS13-3121
RS11-1245
ﾎﾞﾝﾄﾞｱﾗｲﾅｰ装置
EVG620
TFE電子ﾋﾞｰﾑ描画装置
ELS7500EX
メーカー
製造年
製造番号
ＣＡＮＯＮ
91120311
1991
Q-4000
Quintel
114
2001
ML-300LF　（ﾊﾞｯﾁ式）
ﾙﾐﾅｽ
-
2007
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
MA8BA8-001104
2008
EVG
S020115
ｴﾘｵﾆｸｽ
H35-019
2003
2008
メーカー
製造番号
製造年
DNS
38700-6637
MIKASA
-
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
ﾐｶｻ
-
備考
ﾏｽｸ：φ 7/□6In/□5In（SEMI規格）
基板：φ 100㎜～150㎜
照明系：ｳｼｵ250W　超高圧水銀灯（ｇ線、h線、I線の組合せ）
露光：繰返精度±3%
ﾚﾝｽﾞ：対物10X（5X、20X）接眼10X（5X、20X）
仕様書・取説あり、図面なし。
ｱｲﾋﾟｰｽ：ﾆｺﾝ 038189 cfwn 10X/20　ｵﾌﾞｼﾞｪｸﾃｨﾌﾞﾚﾝｽﾞ：5X/0.04 ∞ 2.3*2 /
2X/0.04 ∞ 2.3*2　ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄｻｲｽﾞ：dia.75
試料ｻｲｽﾞ：300ｘ300　光束：160ｍｍ
水銀ﾗﾝﾌﾟ：250W　仕様書・取説・図面あり。
年式新しく、程度良好。予備部品、ﾄﾞｷｭﾒﾝﾄ関係充実。照度計あり。8ｲﾝﾁの出来
るﾏｽｸｱﾗｲﾅは希少価値あり。装置ﾒｰｶｰのｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ社の立上、改造支援も
可能。8ｲﾝﾁ立上時ﾒｰｶｰﾗｲｾﾝｽ料必要。仕様書・取説あり、図面なし
仕様書・取説あり
<コーター・デベロッパー>
中古品番号
品名
型式
RS14-4034
ｺｰﾀｰﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ
SK-W80B-AVP
RS14-2276
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
MS-A500　（ﾊﾞｯﾁ式）
RS13-3019
ﾚｼﾞｽﾄｺｰﾀｰ
卓上型現象装置
DELTA80T2
RS12-1385
備考
2コーター、2デベロッパー。　2014/11月末まで稼働。　不具合・欠品なし。　8"仕
様　（6"以下も可）
2000年以前製。　試料ｻｲｽﾞ：最大350ｘ350ｍｍ基板　ｽﾋﾟﾝ室内径：φ 500ｍｍ
回転数：20～2500ｒｐｍ　（350ｘ350基板の時は2000ｒｐｍまで）　ｽﾃｯﾌﾟ・ﾊﾟﾀｰﾝ
数：100ｽﾃｯﾌﾟｘ10ﾊﾟﾀｰﾝ　仕様書・取説・図面あり。
2005
取説あり
2006
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-3035
RS12-1396
RS12-1087
RS13-3130
ｳｴﾊｰ表面検査装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置（RS13-3130改造分）
X線解析装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
ｳｴﾊ表面検査装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1700
WM-1700
X Pert MRD
WM-3000FOUP
WM-2500
WM-1700
TOPCOM
TOPCON
Panalytical
TOPCON
TOPCON
TOPCON
207013
DY2576
00350074
00110021
207013
RS12-1422
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
RS12-1424
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
TOPCON
RS13-1040
飛行時間型二次ｲｵﾝ質量分析装置
TOF-SIMS TFS-2100（ﾊﾞｯﾁ式）
RS12-1384
ﾅﾉ断面形状観察装置（FIB)
SMI3050
RS14-2265
X線反射率・組織分析装置
S-MAT2000F（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
RS12-1322
SEM
S-3000H
HITACHI
RS12-2062
魔境検査装置
MIS-110
ｺﾍﾞﾙｺ技研ﾚｵ
RS14-2282
RS14-2283
RS14-2281
RS13-3018
RS14-3121
X線解析装置
X線解析装置
X線解析装置
ｳｴﾊ異物検査装置
蛍光X線分析装置
ATX-E
ATX-E
ATX-E
EDX-720
Rigaku
Rigaku
Rigaku
ﾀｲﾖｰ電機
島津製作所
RS15-1129
RS12-2022
製造年
備考
仕様書・取説・図面なし。
2001
状態良好
2005
2001
12インチウエハ対応
01250019
1997
2013/4まで稼動。特に問題なし。動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ対応仕様書・取説
あり
000370032
1997
ULVAC
-
1997
ﾚｰｻﾞｰ管NG、ｱｰﾑﾊﾞｷｭｰﾑ用電磁弁NG、VMEｺﾝﾋﾟｭｰﾀ-PH2ﾎﾞｰﾄﾞNG、部品取り
用。型式詳細：6ｲﾝﾁ、8ｲﾝﾁ対応
2014/1/末まで通電・使用　欠品・不具合なし
取説有り、仕様書・取説無し
SII
11.100.367.000.007
2006
ﾃｸﾉｽ
172R-046
2004
電気：AC200V　30A（本体）、15A（送水装置）　冷却水：25L/min　窒素：
15NL/min　真空：15NL/min　取説あり。
1999
電子顕微鏡（ＳＥＭ）　MFG　No.114H2198-01
M-002
2003
魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目に見えない凹凸を
濃淡画面で表示する
WD2876N
UD2903N
YD2780N
Q23644602507AE
2002
2002
2002
2007
6　☆
状態良好。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<膜厚測定・抵抗測定装置>
中古品番号
品名
型式
RS14-4102
光干渉式膜厚測定装置
ﾗﾑﾀﾞｴｰｽVM-1000
RS12-2067
RS14-2297
RS14-4133
RS12-1404
RS12-1374
全自動4探針装置
WS-8800
ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ
段差計
FT-IR
FT-IR
SD2300
P-15
Nicolet4700
IRP　restige-21
RS13-3165
分光ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ
GES5e
RS13-3163
膜厚力/ｳｪﾊ反り測定装置
FSM 128L
RS13-3162
水銀ﾌﾟﾛｰﾊﾞ
CVmap 3093A
NS-3016
NS-3017
NS-3014
触針式表面形状測定器
触針式表面形状測定器
分光エリプソメータ
DEKTAK8
DEKTAK150 Auto
UNECS-2000
メーカー
製造番号
製造年
DNS
60730-0304
2001
非接触式膜厚測定器、一部故障あり
2012
1996
購入後未開封で未使用の装置
ﾅﾌﾟｿﾝ
U/A
PLAS-MOS
KLA
Thermo
島津製作所
40810496
604119287
AFZ0400155
無し
Sopra(現日本ｾﾐﾗ
ﾎﾞ）
61H##3608
Frontier
Semiconductor
Four　Demension
Inc.
ULVAC
ULVAC
備考
ビデオカメラボード故障にて修理対応中
フーリエ変換型赤外分光光度計
2004
フーリエ変換型赤外分光光度計　別途PCあり
2008
CCDﾏﾙﾁﾁｬﾝﾈﾙ、DUV　190-900nm　使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で
使用　取説あり動作確認済み、メーカー補正推奨　12インチウエハ対応
膜剥がれ、ﾋﾛｯｸ、ﾎﾞｲﾄﾞ形成等　使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛｾｽ評価用途で使用
取説有り12インチウエハ対応　動作確認済み、正常稼働。
060629-652
0903313093A
2009
2点ﾌﾟﾛｰﾌﾞ方式でC-V、I-V測定　使用履歴：2014/2月まで評価用途で使用　取説
有り12インチウエハ対応
メーカー
製造番号
製造年
備考
KEITHLEY
日立
0624873
F61161
1995
1998
KEITHLEY
0647327
1995
☆
ADVANTEST
1995
☆
溝尻工学
ICOS
ICOS
04250092
7089
W2-2H019
H2.2-H005
ULVAC
<外観検査装置・その他計測器>
中古品番号
品名
型式
☆
☆
RS15-2097
RS15-1100
ﾋﾟｺｱﾝﾒｰﾀｰ
微小寸法測定器ﾃﾚｺﾊﾟﾚｰﾀ
☆
RS15-2098
電位計
☆
RS15-2099
RS12-1410
RS14-4094
RS14-4098
電位計
微小領域観察ｼｭﾘｰﾚﾝ装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置（部品取り機）
CALIBRATOR/SOURCE_263
WF-R30-H17
PROGRAMMABLE
ELECTROMETER_6512
DIGITAL ELECTROMETER_TR8652
RS14-4124
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-6555
NIKON
1322183
RS14-4101
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-3020
NIKON
1302262
RS14-4100
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VM-250
NIKON
-
RS14-4121
ｳｴﾊｰ外観検査装置
VI-4302
TOPCON
00264303
RS14-4084
RS14-4091
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
VI-4200
VI-4200
TOPCON
TOPCON
00654036
00144018
2005
2004
一部故障あり
RS14-2347
RS04-8096
RS04-8097
RS14-4120
オシロスコープ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
SS-7802A
SS-7602(20Mｈｚ）
SS-7602（20Mhz)
IWATSU
IWATSU
IWATSU
515625579
52277869
52277872
2000
スキャンモニター付　IPZ-5001用部品　付属　電源ケーブルのみ
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
SP-500BW300
SP-500BW
東ﾚ
東ﾚ
01250002
A1012762026
2005
バンプ等の高さを測定する装置300mm対応
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
蛍光X線検査装置
ICP発光分光分析装置
SEA1200VX
Rigaku CIROS CCD
SII
Rigaku
1200194
-
2005
2008
OPTISTATION　V
NM-0402
NIKON
明昌機工
-
RS12-1387
外観検査
ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置
RS14-4103
非接触三次元測定装置
NH-4N
RS12-1411
非接触三次元測定装置
NAFS3070P
RS14-4119
自動外観検査装置
Falcon300
Camtek
82004
RS14-2290
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
DP07054
Tektronix
B010319
RS14-4112
強度測定装置
DAGE5000
DAGE
2049294
RS14-4097
RS14-4118
RS12-1369
RS04-8036
RS04-8037
半導体検査顕微鏡
半導体検査顕微鏡
ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
AL2100-COM
AL2100-COM
2010
OLYMPUS
OLYMPUS
Mertricon
2003
2003
RS12-1030
蛍光温度計
FT1410GA
Takaoka
312001
312002
22184
2247186
51476829
TA01140075/TA0114
0076
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-4110
RS14-4104
RS14-4187
RS14-4099
WI-2000
WI-2000
2008
2007
正常動作品。仕様書・取説・図面なし。
☆
☆
外観検査室が2室あり、量産性に優れる。
RS14-4094へのパーツ機として活用予定
低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立。表面形状に依存しない。パッケージ
や基板、マスク等の測長に最適。
2001
ウエハ上の寸法測定を行う装置
ウエハ上の寸法測定を行う装置
最高検出性能0.65μ ｍ。前工程の生産管理からウエハ電気検査前後、ダイシン
グ後など幅広検査工程に使用可能
一部故障あり
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
多元素同時分析が出来るICP質量分析装置
1997
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
2006
ﾐﾀｶ
7114
2003
日本技術ｾﾝﾀｰ
17591007
2007
ｳｴﾊ､ﾘｰﾄﾞﾌﾚｰﾑなど高密度化や大型化する半導体のそり、うねり形状を測定する
装置
後工程外観検査、目視検査から自動検査も可能。バンプ高さ測定ではウエハ全
面3次元（3D）計測にも強み
2008
実装工程における接合強度試験、プルテスト、シェアテスト等がワンタッチ交換で
可能な装置　動作確認済み、故障個所あり。
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
ﾌﾟﾘｽﾞﾑとﾚｰｻﾞｰで試料の屈折率や損失を測定
2001
NE-5500付属品。ｹｰﾌﾞﾙ無し。測定部分無し。
RS14-3035
<洗浄装置>
中古品番号
品名
備考
サクラ精機
09020988
2009
ﾏｶﾞｼﾞﾝ内の部品等の純水流水洗浄を行う装置。年式も新しく、使用頻度も少なく
程度良し冶具用網ｶｺﾞにて洗浄。仕様書・取説あり、図面あり
三社電機製作所
4H30004
2008
12ｲﾝﾁｳｪﾊのﾌﾗｯｸｽ除去を目的とした洗浄装置。年式も新しく、使用頻度も少なく
程度良し薬液洗浄、ﾘﾝｽ乾燥付12ｲﾝﾁ。仕様書・取説あり、図面あり
SRD-470S
SEMITOOL
C175815
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
SPD-160RN　（ﾊﾞｯﾁ式）
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
-
RS14-8035
RS14-8036
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
PSC-101
PSC-101
SEMITOOL
SEMITOOL
10401,2
10401,1
RS14-2273
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
H-840SA　（ﾊﾞｯﾁ式）
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
-
RS14-4132
RS12-1392
RS12-1317
RS12-1310
RS14-4177
RS14-4116
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
ｳｪﾊ洗浄装置
ﾃﾞｨｯﾌﾟ式自動洗浄装置
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔ
ｽｸﾗﾊﾞｰ
剥離装置
H1120RNN
EVG301
ETN-1100-110
160RN
SS-W80A-AV
SST300
ﾐｸﾛ技研
EVG
ETS
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
DNS
SEMITOOL
K0371
S050012
H9903-0437
9806090
T238923
RS14-3051
流水洗浄装置
YW-00S-RH
RS14-3050
手動3槽式ｼｬﾜｰ洗浄装置
WBTA03-W12
RS14-4069
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
RS14-2270
7　1ドラムタイプのスピンリンスドライヤー
2000年以前製。　基板ｻｲｽﾞ：直径50～150ｍｍｘ1　回転数：槽内洗浄0～1500
ｒｐｍ　ﾄﾞﾗｲ0～3500ｒｐｍ　（直径150ｍｍ以上は、3000ｒｐｍ以下）　ﾀｲﾏｰ：槽内
洗浄0～999秒　1速　可変0～999秒　2速　可変0～999秒　仕様書・取説・図
面あり。
MODEL　No.：24-S-1-1 ML-WP
MODEL　No.：24-S-1-1　ML-WP
2000年以前製。　ｸﾚｰﾄﾞﾙ定位置停止・回転　基板ｻｲｽﾞ：直径150ｍｍｘ4　直
径200ｍｍｘ2　回転数：1速300ｒｐｍ　2速600ｒｐｍ　MAX800ｒｐｍ　ﾀｲﾏｰ：1
速　可変0～999秒　2速　可変　0～999秒　仕様書・取説・図面あり。
12インチ対応スピンドライヤー
2005
2槽式(ﾌｯ素・水）
R.P.M3500、200V、4A、50.60Hz
成膜、露光前等のウエハ洗浄装置8インチ対応可能
12インチ用スプレー洗浄装置
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<めっき装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
製造年
備考
<顕微鏡>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-8050
実体顕微鏡
汎用
ﾐﾂﾄﾖ
-
RS14-8049
RS14-4081
RS14-8046
金属顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
金属顕微鏡
汎用
汎用
SZ-STS
SMZ800
OPTIPHOT　150S
NIKON
OLYMPUS
OLYMPUS
NIKON
NIKON
SZ1145
1007632
9102612
RS14-8047
金属顕微鏡
OPTIPHOT　150S
NIKON
9102568
RS14-4176
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24406
RS14-4195
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24037
RS14-4149
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4D19047
RS14-4157
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
0C00889
RS14-4196
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4E13791
RS14-8045
RS14-8048
RS12-1341
RS14-4169
金属顕微鏡
金属顕微鏡
汎用顕微鏡
ｳｴﾊｰﾛｰﾀﾞｰ
I-200
BH2-UMA
AVT-45SC
AL110-L86
NIKON
OLYMPUS
明立精機
OLYMPUS
610329
542261
A008010
RS14-8051
RS14-4080
実体顕微鏡
実体顕微鏡　8インチ生産、引取前動作確認済み2014/12
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。12イ
ンチまで対応可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。12イ
ンチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8イ
ンチ全面観察可能。ローダー付
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8イ
ンチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体用検査顕微鏡。8イ
ンチ全面観察可能
汎用顕微鏡
8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定機能付き
<後工程・実装装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-3031
自動ﾀﾞｲｼﾝｸﾞ装置
DAD3350
DISCO
KB1256
2004
RS14-8038
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
SW-07
SHUWA
-
RS14-8039
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
CMP
SW-07
SPP600S
SHUWA
岡本工作機械
7039
ﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞﾏｼﾝ
SGM-6301
SHUWA
-
RS14-2279
ｶﾞﾗｽｽｸﾗｲﾊﾞｰ
SC-451CP　（ﾊﾞｯﾁ式）
ｼﾁｽﾞﾝ精密
-
RS14-4136
印刷機
MK-838SV
MINAMI
-
RS14-3039
印刷機
LS-34TVA
063-1612
2008
RS13-3134
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0067
2006
RS13-3135
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0078
2006
RS13-3136
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0082
2006
RS14-3038
ﾎﾞﾝﾀﾞ
FA1000
NEW　LONG
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰｿ
ﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ADWELDS
-
2009
仕様書あり。
RS14-4192
ﾃｰﾌﾟ貼り機
DAM-812M
ﾀｶﾄﾘ
78144
2003
ダイシングダイボンディングフィルム一体型の8-12インチ対応のセミオート装置
RS14-8028
ALｳｪｯｼﾞﾎﾞﾝﾀﾞｰ
Kulicke&soffa
-
RS14-4140
ﾏﾆｭｱﾙﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
不明
-
RS14-8029
ITOｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
4523-AD
特型（半導体ﾊﾟﾗﾒｰﾀｱﾅﾗｲｻﾞｰ
4155C付）
-
-
-
RS12-1376
RS14-8037
備考
仕様書、取説、図面なし。
1999
2005
ﾜｰｸﾃｰﾌﾞﾙ：□480ｍｍ　ｶｯﾀｰﾕﾆｯﾄ：ｽﾗｲﾄﾞｽﾄﾛｰｸ　480mm、　送り速度　43～
540mm/seｃ　動力関係：ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰ　仕様書・取説・図面あり。
マスク枠650mm×550mm、印刷位置合せ繰返し精度(±0.003mm以下でCSPバ
ンプΦ 0.05mmに対応します。
仕様書あり。
IV、CV、C-f、C-tなどの測定など半導体パラメトリックテストが可能。
<ＵＶ装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1108
UVｷｭｱ装置
UMA-802-HC553
ｳｼｵ電機
0605001
2006
年式新しく、使用頻度も少ない良品。C to C仕様。仕様書あり、取説・図面なし。
RS14-3026
UVｷｭｱ
ｳｼｵ電機
9701006
1998
CtoC装置8インチSMIF仕様
RS12-1379
RS14-8030
UVｼｮｳｼｬｷ
ｵｿﾞﾝUV照射装置
SAMCO
SAMCO
24A1643
22A1336
2003
UMA-1002-HC93SMV（Casette to
Casｓette）
UV-1F
UV-300
備考
<ディスペンサー装置>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS11-2027
ﾃﾞｨｽﾍﾟﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
MS-1
武蔵ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
1M010002412
2010
メーカー
製造番号
製造年
メーカー
製造番号
製造年
備考
15時間程度使用後、保管状態
<イオンミリング装置>
中古品番号
品名
型式
備考
<その他真空装置>
中古品番号
品名
型式
RS15-2080
真空接合装置
-
RS13-1010
分子線ｴﾋﾟｷﾀｼｰ装置
-
RS11-3222
凍結乾燥装置
DF-05H
RS13-2201
凍結真空乾燥装置
DFM-09A-S
RS12-1389
凍結乾燥装置
JFD-310
RS09-1586
ELECT ASSY LIFT MOTOR
0090-20120
備考
-
2012
基板：φ 100㎜～150㎜
排気系：EBARA　VOS100
搬送：手動　直線導入
仕様書・取説あり、図面なし。
Eico
-
2009
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置
ULVAC
ZF93-5301
1994
ULVAC
MF99-5104
2000
日本電子ﾃﾞｰﾀﾑ
JK121026-129
2002
棚面積：０．４９ｍ2、予備凍結温度：－３５～－４０℃、乾燥時加熱温度：常温～
８０℃（打点記録計は故障中）
【円筒形棚段式前面扉開閉式】棚面積：０．９m2　棚冷却到達温度：約－４５℃以
下　棚温度調節可能範囲：＋６０℃～ー３０℃
生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための試料作製装置
ｱﾕﾐ工業㈱
AMAT
8　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS15-2059
簡易ｴｱｰｼｬﾜｰ
標準型ｴｱｰｼｬﾜｰ
AIRTECH
-
2001
RS15-2053
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
PCV-1302BN
日立
G12952111
1982
RS15-2052
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1500E/FVT-1200E
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟﾗｲ
307316/307317
1983
外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚扉；ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ ,
その他；若干の汚れ在り
外寸；1300W*800*1875H 、ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚、扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃﾝ、その他；ｱｼﾞｬｽﾀ
付・若干の汚れ在り
外寸；1300W*800*1875H, ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚 ,扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃﾝ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ
付・若干の汚れ在り
RS15-2060
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1200E
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟﾗｲ
-
1998
RS15-2058
ﾄﾞﾗﾌﾄﾁｬﾝﾊﾞｰ
DF-11AK
ﾀﾞﾙﾄﾝ
DF980382
2005
RS12-1357
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
無し
IUCHI
無し
RS12-1363
RS14-8041
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
DC-1802BEW-Ⅱ
IUCHI
ﾀﾞﾝﾀｸﾏ
-
RS12-1350
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1351
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1354
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS14-4095
RS14-4137
ﾄﾞﾗﾌﾄ
-
ﾀﾞﾙﾄﾝ
-
美品
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
-
ｱｽｸﾙ
IUCHI
IUCHI
-
程度良
RS12-1361
RS12-1362
RS12-1364
RS12-1355
RS12-1368
RS12-1375
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
ﾃﾞｼｹｰﾀｰ
ﾚｼﾞｽﾄ保管用冷蔵庫
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800）
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗｽ100対応、　HEPA
要交換
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗｽ100対応、　HEPA
要交換
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗｽ100対応、　HEPA
要交換
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
IUCHI
NIKON
U/N
外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚 ,扉；樹脂ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ
無　・　若干の汚れ在り
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
外寸：W1900*D820*H1540内寸：W1740*D720*H650
SANYO
<その他>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-4194
手動式ﾘﾌﾀｰ
PL-H500-15
OKUDAYA　GIKEN
152183
RS14-4179
ｼｰﾗｰ
V-402-10W
富士ｲﾝﾊﾟﾙｽ
049001A
RS12-1029
ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
-
ULVAC
2004AA003634-101
2001
RS09-1467
RS11-2466
ｼｽﾃﾑIFﾎﾞｯｸｽ
ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ
ｲｰｼﾞｰﾘﾌﾄ
水封式真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
MF98-1018付属
-
1998
VM140
SW-150S
ULVAC
美和製作所
ｱﾑﾝｾﾞﾝ
ULVAC
Iｎ貼付装置
Iｎ貼付装置
-
小板研究所
小板研究所
A488730000
3411H16670
RS13-1021
ﾌﾟﾛｾｽﾌﾟﾗｽﾞﾏﾓﾆﾀ
C-7460
浜松ﾌｫﾄﾆｸｽ
010069
RS12-1088
ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ
-
TOPCON
-
RS09-1593
RS14-2288
RS14-2288
火災受信装置
LED Chip Sorter
-
ﾆｯﾀﾝ株式会社
ASM
CPC-2
76-79-2237
アルフォイルロール
-
ULVAC
RS15-1109
RS15-2075
RS14-2299
RS14-2298
NS-5024
NS-5025
NS-5026
NS-5027
NS-5028
NS-5029
NS-5030
NS-5031
NS-5032
NS-5033
NS-5034
NS-5036
NS-5037
NS-5038
NS-5039
NS-3020
フランジ
フランジ
UFC306-000FT
UFC253-000RH
ULVAC
ULVAC
フランジ
フランジ
フランジ
UFC306-000RH
UFC306-250RH
UFC253/114
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ガスケット
配管部品
配管部品
UFE070GS 10枚/組
IFE114-065
IFT152-100
ULVAC
ULVAC
ULVAC
配管部品
配管部品
電流導入端子
電流導入端子
IFX114-065
IFB203-150
CMS2D09-8P
CMS5D80-1P
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
電流導入端子
電流導入端子
除振台
CMS2D09-1PF
CMS10D80-1PF
MINI-560
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造年
備考
卓上型の脱気シーラー(脱気包装機)。部品・精密機器などの
酸化防止等に活用可能
2009
2003
NE-5500付属　2ｲﾝﾁ用ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
取説あり。
UJにて実験機に取付て使用（良品）　※ﾊﾟｿｺﾝ及び動作ｿﾌﾄは
別途購入が必要です。
ﾚｰｻﾞｰ管点灯ﾁｪｯｸｾｯﾄ（内訳）　・発振器　型式：DLG3110　1個　・電源　型式：
GLS3140　1個　・ファン1個、ダクト1個
ﾌﾞﾗｹｯﾄ付
<油回転真空ポンプ>
☆
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-8005
RS15-2101
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
D-950DK
ULVAC
A07B-03549
2006
☆
GLD100
D-950
2063
2033SD
ULVAC
ULVAC
ANELVA
ｱﾙｶﾃﾙ
187685
1990
☆
RS15-1079
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転式真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-2247
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
PKS-030
ULVAC
4-00678
程度下。　ﾓｰﾀｰなし。　要O/H。
RS14-1104
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
PKS-016
ULVAC
2-04634
使用履歴：真空熱処理炉に使用　ﾓｰﾀｰ200V（50/60Hz共用）　ﾓｰﾀｰﾌﾟｰﾘｰ50Hz
用　本体のみ　付属品：TM-2あり
RS10-8092
RS10-8093
RS14-8023
RS14-1254
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ポンプ
GLD-100
GLD-100
EC602
D-650K
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
72971
72975
2-00426
A02B-02262
RS14-1144
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
2021SD
ALCATEL
AM633075
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、未使用品
取説あり
RS14-1143
RS13-8097
NS-5000
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ｵｲﾙﾁｪﾝｼﾞｬｰ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
2015SD
SA-30
ALCATEL
ULVAC
619757
-
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、未使用品
RS15-2093
RS12-8061
NS-5001
油回転真空ポンプ D-240DK 200V
油回転真空ポンプ EC603 200V
備考
要O/H、特ガス吸引無。
2002
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付属　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
ULVAC
ULVAC
9　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<油回転真空ポンプ部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS11-1259
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
TM-2
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
2009
PKS-016用　ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ　ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要　【全2台】
RS09-1573
RS12-1064
RS12-1065
RS12-1066
RS12-1067
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
TMX-2
ULVAC
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
2002
2002
2002
2002
状態良好
RS09-1592
ON BOARD POWERｹｰﾌﾞﾙ
NS-5009
NS-5010
NS-5011
オイルミストトラップ TMX-40
オイルミストトラップ TMX-60
オイルミストトラップ TMX-80
TMX-40
TMX-60
TMX-80
2071507
2070438
2070483
2070935
8112463G050 95E09
CTI-CRYOGENIC
PC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
備考
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
約1ｍ
<油拡散ポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS12-1247
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01500
2000
RS12-1251
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01502
2000
RS14-2216
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
PFL-36
ULVAC
1-00391
2003
RS14-2217
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
PFL-36
ULVAC
1-00392
2003
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、200V、1200W、動作未確
認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：VG40、 200V、1200W、動作未確
認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
使用履歴：2003年製巻取ｽﾊﾟｯﾀ装置SPW-060にて使用（Cu)。　使用頻度も低く状
態良好。本体のみ、付属品なし
使用履歴：2003年製巻取ｽﾊﾟｯﾀ装置SPW-060にて使用（Cu)。　使用頻度も低く状
態良好。本体のみ、付属品なし
RS14-2255
RS13-2004
RS14-2073
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
6in 水冷ﾊﾞｯﾌﾙ
DPF-14Z
CDP-3700
DIAVAC
ANELVA
ULVAC
940769
1539
200V　3φ 4500W。　500L/sec　ｵｲﾙ1600ｃｃ　水量7/min　要O/H。
スパッタ装置SPC-530Hに使用（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）
※新品未使用品
<メカニカルブースターポンプ>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-8006
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-003CM
ULVAC
1-00130
1984
RS14-1142
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-006C
ULVAC
A14A-01218
RS13-8130
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-001CM
ULVAC
A11A-03318
RS13-8129
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-001CM
ULVAC
A11A-01405
RS12-1223
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
EH500
SMB-C06
EDWARDS
神港精機
006700640
280856
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
SMB-C06
PMB-003CM
神港精機
ULVAC
280855
A13A-01968
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
PMB-003CM
PRC-006A without Inv.
PRC-012A without Inv.
ULVAC
ULVAC
ULVAC
A13A-01967
2003
2003
RS14-3079
RS14-3080
RS15-2074
RS15-2073
NS-1317
NS-3006
NS-3007
NS-3009
NS-3010
NS-3011
NS-5006
NS-5008
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
PRC-012A without Motor & Inv.
PRC-036C-T
ULVAC
ULVAC
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
PRC-036C-T
PRC-036C-T
PMB-003C 200V
PMB-003CM 200V
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
備考
☆
本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要
無害化洗浄
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,
ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,
ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
温度計要交換
状態良好。新品未使用
状態良好。新品未使用
<クライオポンプ　ULVAC製>
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1151
RS15-1155
RS15-1152
RS15-1153
RS15-1154
RS15-1157
RS15-1156
RS15-1150
RS15-1149
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
CRYO-T6E
UCI
0011128
2004
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
CRYO-T8SN
CRYO-T6E
CRYO-T8SN
UCI
UCI
UCI
0011686
0011129
0011689
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾄﾗｯﾌﾟ
CRYO-T8SN
CRYO-T8SN
CRYO-T8SN
UCI
UCI
UCI
0011685
0011687
0011688
RS14-2012
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C30ZR
C30ZR
C30V
UCI
UCI
ULVAC CRYO
CS1144
CS1136
-
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2004
1985
RS15-2091
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-16
UCI
-
RS14-2082
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
ULVAC
1202266
2012
RS14-2083
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
ULVAC
1202267
2012
RS14-1016
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
9401413D
2000
RS14-1017
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
94062980
2000
RS09-1023
RS11-2546
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ
U-6H
U-6H
ULVAC
ULVAC
9508243
RS14-2159
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U20HL
ULVAC
1203586
2012
RS14-2080
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1202922
2012
RS14-2160
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1203930
2012
RS08-2698
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-12HSP
ULVAC
9601334
RS13-3039
RS13-3035
RS13-3036
RS13-3040
RS13-3046
RS13-3053
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0609016
0609014
0609015
0809025
0609031
0609019
10　備考
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ＋ﾌﾚｷﾎｰｽ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ＋ﾌﾚｷﾎｰｽ
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
抵抗蒸発源2元式　ｸﾗｲｵ仕様10吋
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌﾟ
冷凍機：RM10　（S/N:RMQB958H）
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌﾟ
冷凍機：RM10　（S/N:RMQB957H）
本体のみ　水素蒸気圧温度計付
冷凍機：R10（RC　G035　LGA）　吸気口：UVG-200
本体のみ　水素蒸気圧温度計付
冷凍機：R10（MB　B395　LG）　吸気口：UVG-200
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
U-6H用バンドヒータ　【2式】
本体のみ　吸気口：VG　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷凍機：RM80T
(S/N:RMUB336　3PT)
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｶﾞﾙﾀｲﾌﾟ　冷凍機：RM20　（S/N:RMSB436）
本体のみ　吸気口：VG　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷凍機：RM20
(S/N:RMSB446）
排気速度：4100L/S、吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ、低振動ﾓｰﾀｰ、ｱﾅﾛｸﾞ水素蒸気
圧計　付属品：ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ無し（ﾎﾟﾝﾌﾟ単体）
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS05-2009
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ（2台）
U-12HL
ULVAC
9205822/9302893
RS07-2727
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PUS
ULVAC
9310064
排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　温度計：H2VP
RS13-8100
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U10PUS
ULVAC
0101221
RS11-8109
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
T8SN
ULVAC CRYO
0103767
排気速度：2300L/S　付属品：再生用ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式：RBH-10)　温度計：
MBS-2　冷凍機：R15（RG　B166　LG）　吸気口：VG250
型式：CRYO-T8SN、冷凍機型式：RS-10、冷凍機製造番号：RF　B609　LG、LG:
LG(低振動）ﾓｰﾀｰ、ﾛｯｶｰｱｰﾑ分離型（可変型、初期型）
RS11-8133
U8SN
STC-1（INV)
RM20
ULVAC　CRYO
ULVAC
ULVAC
0005540
S-0823A
RMSB671
1999
RS11-8035
RS14-2203
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
2012
★未開封・未使用品★
RS14-2205
RS13-8104
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ
RM10
MBD
ULVAC
ULVAC
RMQD318H
00121836N
2012
★未開封・未使用品★
RS11-2238
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ　（SUPER TRAP)
CRYO-T8C
ULVAC
9912441
付属品S/N:RFB220LG　本体のみ
冷凍機：RS10（RF　B220　LG）　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2239
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ (SUPER TRAP)
CRYO-T8C
ULVAC
9912442
本体のみ　冷凍機：RS10（RF　B222　LG)　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
RS12-1174
RS12-1175
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C30ZR
C30ZR
C30ZR
C30PVRT
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
CS1235
CS1199
CS1290
XP2875B
本体のみ（付属品無し）
RS14-2142
RS14-2143
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
ULVAC
ULVAC
ULVAC
XP2866B
XP2863B
XP2848B
RS14-2145
RS14-2165
RS14-2166
RS14-2193
RS12-8052
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PMVRT
C30
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
XP2862B
XP2743B
XP2769B
XQ1095B
CC1606
RS14-1275
RS15-1005
RS15-1006
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
C10
U6H
ULVAC CRYO
ULVAC CRYO
CW3052
9511261D
危険物吸引なし。
U6H
U-22H
STC-2A
C10
C10
ULVAC CRYO
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
9511262D
0108289
1201119R
本体のみ吸気フランジVG　水素蒸気圧温度計
RS07-3002
RS14-2102
RS15-1075
RS15-1077
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾓﾆﾀｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
RS14-2092
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C30PVRT
ULVAC
XP2825B
RS15-1071
RS15-1072
RS15-1073
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
U8H
U6H
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS12-1176
RS14-2135
RS14-2141
製造年
備考
温度表示ふらつきあり　要修理
本体のみ（付属品無し）
本体のみ（付属品無し）
2012
2012
本体のみ　積算時間：19349.9ｈｒ　He圧：1.5MPa
2012
2012
本体のみ　積算時間：19157.3ｈｒ　He圧：1.5MPa
2012
2012
2012
2012
1992
本体のみ　積算時間：19304.2ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19461.8ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19153.8ｈｒ　He圧：1.5MPa
本体のみ　積算時間：19838.0ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19215.5ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19910.3ｈｒ　He圧：1.4MPa
ﾌﾚｷﾎｰｽ（3ｍ）　積算時間：70594ｈｒ
本体のみ吸気フランジVG　水素蒸気圧温度計
排気速度：17000L/S、吸気口：VG550、温度計：MBS、本体のみ
2012
本体のみ
要O/H、積算約100,000Hr
要O/H、積算約100,000Hr
2012
有機ELﾗｲﾝ廃棄に伴い装置ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ購入。　本体のみ。　積算時間：18336.2ｈｒ
He圧：1.4MPa　仕様書・取説・図面なし。
要O/H、特ガス吸引無。
要O/H、特ガス吸引無。
要O/H、特ガス吸引無。
<クライオポンプ　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-8002
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
9600
CTI
94B9806485
He残圧低下により要修理
RS14-8005
RS14-8006
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
9600
CTI
94D0010828
He残圧低下により要修理
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
9600
9600
C200G
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI
CTI
ｱｲｼﾝ
CTI
94D0010858
94D0010856
05431101
106C0001401
He残圧低下により要修理
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI
CTI
CTI
CTI
106H9901183
106C9901108
ｋ042581
動作未確認。
RS14-8018
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI
106E0202064
動作未確認。
RS14-8019
RS11-2237
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ONBOAD　WATER　PUMP
ONBOAD10Ｆ
CTI
HELIX
HELIX
C0302250
S/N：MK9709651
S/NQK9709711
動作未確認。
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
鈴木商会
鈴木商会
P064016
P064017
状態良好。
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SLP-22CD
Torr　8F
Torr8F
Torr8F
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
ｱﾈｽﾄ岩田
HELIX
HELIX
HELIX
P064013A
P064012A
P072023
ED0033
S/N:70H9638328
S/N70Ｃ9529467
S/N70C9530128
状態良好。
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
SA12SJ-01SーE
C200G
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
P064018
06432311
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3068）
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C200G
SA12SJ-01SーE
SA16SJ-01S
C200G
C200G
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
ｱｲｼﾝ
06432216
P064014
P064008
06432309
06432301
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3058）
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
SA16SJ-01S
SA16SJ-01S
鈴木商会
鈴木商会
P064009
P064011
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3071）
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C200G
ｱｲｼﾝ
06432179
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3066）
RS14-1169
ﾈｵｺﾞｰﾙﾄﾞ
RCT-501S
新明和
DL050507
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar　冷媒：HCFC系混合冷媒　3組　200V　50/60Hz　3.75KW
RS15-1080
CPﾌﾚｷﾎｰｽ
-
ULVAC
RS09-1595
Heﾌﾚｷﾎｰｽ
-
CTI-CRYOGENIC
8081271　058/96R
P01　260PSI
RS14-8007
RS14-3067
RS14-8013
RS14-8014
RS14-8015
RS14-8016
RS14-8017
RS11-2236
RS14-3059
RS14-3060
RS14-3061
RS14-3062
RS14-3063
RS12-1407
RS11-2230
RS11-2231
RS11-2232
RS14-3057
RS14-3068
RS14-3069
RS14-3058
RS14-3064
RS14-3070
RS14-3071
RS14-3065
RS14-3066
RS14-3072
11　製造年
備考
He残圧低下により要修理
状態良好。He残圧0の為、要修理。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
UFC-253
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3057）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3069）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3070）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3064）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3065）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3072）
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2100
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM50
ULVAC
005P848
1990
RS15-2015
ﾀｰﾎﾞﾎﾟﾝﾌﾟﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
FTI-3303W-D3-0307
ULVAC
-
RS13-2150
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-1001FWD3A
ULVAC
1001F0083
RS11-2535
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌ+ﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UTM1200FW
ULVAC
RS13-2142
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0449
RS13-2145
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0455
RS13-2147
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0447
RS13-2148
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0448
RS13-2025
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0219
RS13-2026
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0220
RS13-2027
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0221
RS13-2028
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0207
RS13-2021
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0148
RS13-2179
RS04-8049
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-500FW
ULVAC
050F016
TMP
UTM-300
ULVAC
030P460
RS15-2043
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
ULVAC
FZL339
ターボ分子ポンプ
UTM-6300FHA
ULVAC
NS-3012
備考
☆
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ用ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ
動作未確認軸ｵｲﾙは入っていない　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰｹｰﾌﾞﾙ付きﾌﾙｾｯﾄ
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、
PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6
付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
本体のみ、水冷式、吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ）　排気口：NW40
2003
本体・コントローラー（EI-303M　S/N　JZR112）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥ
ＬＤＡ（L室）にて使用の為、無害。
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外>
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1141
RS15-1140
RS15-1147
RS15-1146
RS15-1145
RS15-1144
RS15-1143
RS15-1142
RS15-1148
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-403LM+EI-303M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-1003LM+EI-1003M
島津製作所
島津製作所
島津製作所
FZL297
FZL295
-
2004
2004
2004
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-1003LM+EI-1003M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-403LM+EI-303M
TMP-1003LM+EI-1003M
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
FZM494
FZM492
FZM498
FZL282
FZL279
FZM493
RS15-1041
RS14-1283
RS10-2660
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
TMP-1003LM/EI-1003M
EI-D203M
島津製作所
島津製作所
FZM-543
MKA036
2004
2004
2004
2004
2004
2004
2000
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
EI-D1303M
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
島津製作所
島津製作所
島津製作所
RKD109
RKD110
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
EI-D1303MT(LFU1)
島津製作所
RS11-1202
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
STP-300
EDWARDS
RS14-8043
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG-1003VM-70
大阪真空
658
RS13-2181
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG1810VM
大阪真空
G1810-1292
RS14-2161
RS08-8008
RS10-8002
TG2400MVWB
TMP-1003
TMP-1003LM
TMP-1003LM
大阪真空
島津製作所
島津製作所
島津製作所
639
CZM045
DZM031
NZM230
2012
RS13-1011
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
RS09-1474
RS08-8011
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-202LM
TMP-403LM
島津製作所
島津製作所
9006
FZL182
1995
ﾌﾗﾝｼﾞｻｲｽﾞ：VG100
RS15-2030
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803LM
島津製作所
WZMO149
2003
RS15-2032
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
島津製作所
FZL357
2003
RS15-2031
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803LM
島津製作所
FZM636
2003
RS15-2029
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803LM
島津製作所
FZL474
2003
RS15-2034
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
島津製作所
FZL341
2003
RS15-2033
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
島津製作所
FZL347
2003
RS14-1176
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-403LM
島津製作所
NZL-466
本体・コントローラー　（EI-1003M　S/N　FZS459）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-303M　S/N　FZR338）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-R04M　S/N　WRA0663）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置
ＺＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-1003M　S/N　FZS613）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー（EI-303M　S/N　FZR331）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置ＺＥ
ＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
本体・コントローラー　（EI-303M　S/N　FZR337）付、ケーブル無。有機ＥＬ装置Ｚ
ＥＬＤＡ（搬送室）にて使用の為、無害。
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　停止前状況：予備として保管　吸引ｶﾞｽ：Ar
吸気口：VG150　水冷　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　EI-D303M （LFU1）（S/N:NKB339)、
ｹｰﾌﾞﾙ付属なし。
RS14-1010
RS11-2253
RS11-2254
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803MC
TPU1501PC
TPU1501PC
島津製作所
PFEIFFER
PFEIFFER
LZM-167
13882198
14072840
RS13-2180
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TS440VW
大阪真空
S440-485
RS09-1583
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TURBOVAC361C
ﾗｲﾎﾞﾙﾄ
2-900097589
RS14-2015
RS14-2016
RS14-2017
備考
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+EI-1003M+ｹｰﾌﾞﾙ
危険物吸引なし。ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ本体のみ。
【2台】
本体のみ、付属品無し
RKD112
2009
2009
2009
1084A
1997
空冷式ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ　STP-300（SCU-300）、　TMP⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗ
間ｹｰﾌﾞﾙ（8m)、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）AC　POWERｹｰﾌﾞﾙ欠品
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、水冷式、吸気口：VG250　排気口：NW40、
ｵｲﾙ付き、取扱説明書無し
本体のみ　吸気口：VG　水冷式
本体のみ
2009
本体のみ
2006
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
水冷式吸気口：VG150　排気口：NW25　取扱説明書無し　TMPコントローラ：TC400付き　電源ｹｰﾌﾞﾙ切断（1ｍ）、ＩＯｹｰﾌﾞﾙ切断（3ｍ) 、ﾎﾟﾝﾌﾟ⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ間ｹｰﾌﾞﾙ
(4m)　CVD装置の予備ポンプ
<ドライポンプ>
☆
☆
☆
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-1137
RS15-1138
RS15-1139
RS15-1136
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
PDR-090CLN
ULVAC
A93A-00866
2004
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CLN
SDE90U-20
SDE90U-024
SD60VⅡU-189-50
ULVAC
ULVAC
ULVAC
樫山
樫山
樫山
A93A-00242
A93A-00300
A93A-00867
00J0321
01C0605
00K5878
2004
2004
2004
RS14-1007
RS14-1008
RS12-1329
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS12-1326
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU-079-50
樫山
12　備考
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
☆
☆
本体のみ
本体のみ
排気速度：1000L/m　吸気口：VG40　排気口：NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
MFG No.96G3412
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
RS12-1328
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU079-50
RS12-1327
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡ
RS14-1138
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
PDR-090CLN
RS14-2213
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-8024
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-8025
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
MU300-002
樫山
04J0221
RS13-8131
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR60
ULVAC
A00A-00237
RS14-2208
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00035
2012
RS14-2176
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00016
2012
RS14-2177
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00019
2012
RS14-2178
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00020
2012
RS14-2179
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00017
2012
RS14-2180
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00014
2012
RS14-2181
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00013
2012
RS14-2182
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00018
2012
RS14-2183
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00015
2012
RS13-2132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10237
RS13-2133
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10013
RS13-2134
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10233
RS13-2135
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10296
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2136
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10236
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS14-2077
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00007
2012
SMD-1200CX使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付
属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　手動ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（FUJI　SEIKI
MOD:1061100）、ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀあり）仕様書・取説・図面なし。
RS14-2163
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00016
2012
真空搬送装置使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付
属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）仕様書・取
説・図面なし。
RS14-2175
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00013
2012
真空ﾍﾞｰｸ装置使用（危険物の吸引なし）特型仕様：油潤滑仕様、給油口、覗窓
付、LR180+PRC-018、吸気口：VG150。　排気口：NW40。AC200V　50/60Hz、付
属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）。仕様書・取説・図面なし。
RS13-2172
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-03232
RS13-2173
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-01233
RS13-2033
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-2
RS13-2034
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-1
RS13-2037
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-4
RS13-2038
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
A1034-10409
RS13-2039
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-4
RS13-2040
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-2
RS13-2041
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-1
RS13-2042
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-1
RS13-2043
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-2
RS13-2044
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-2
RS13-2045
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-1
RS13-2046
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-1
RS13-2047
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-3
RS13-2048
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-3
RS13-2049
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00032
RS13-2052
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00034
RS13-2054
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00100
RS13-2055
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00021
RS13-2056
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00020
RS13-2125
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00025
RS13-2126
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00362
RS13-2127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00022
RS13-2128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00031
RS13-2129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00023
RS13-2287
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
IQDP80
EDWARDS
972127973
RS14-2059
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
076238382
メーカー
製造番号
製造年
樫山
00K5811
ULVAC
A93A-00545
MU300-102
樫山
13ZDN71515
MU300-005
樫山
06D0543
13　備考
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
MFG No.96G3415
樫山
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
2012
本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要
無害化洗浄
★未開封・未使用品★（2013/12/17新品購入後、保管）　3φ 200V　排気速度：
5000L/ｍ　取説あり
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,
ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
★未開封・未使用品★（2013/11/26新品購入後、保管）　LR421-T+PRC-036
付属品：ｻｲﾚﾝｻRS-03・排気配管付　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V
50/60Hz
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50　AC200V　50/60HZ　付属
品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速
度：28000L/m　吸気口：VG150、付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2、排気速
度：28000L/m　吸気口：VG150　付属品：ｺﾈｸﾀのみ。
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻ
ｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻ
ｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻ
ｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻ
ｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻ
ｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻ
ｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻ
ｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40　CVD使用品　使用ｶﾞｽ：
SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残留）
O/H済み品
2004
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ
資料なし
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-2060
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
056269793
2004
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ
資料なし
RS14-2061
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
027436149
2004
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ
資料なし
RS14-2062
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWARDS
037830833
2004
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：
8600L/min　吸気口：ISO100排気口：NW40　消費電力：3.2ｋｖA　重量：415ｋG　資
料なし
RS14-2168
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
ULVAC
A111B-00005
2012
RS14-2169
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
ULVAC
A111B-00003
2012
RS13-8132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
HR-60
ULVAC
A81A-00006
RS14-2055
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3232
2012
RS14-2056
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3231
2012
RS14-2057
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F015
2000
製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速度：6300L/min　吸気
口：NW80　排気口：NW40　消費電力：5.8kvA　重量：195ｋｇ　資料なし
RS14-2058
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F016
2000
製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速度：6300L/min　吸気
口：NW80　排気口：NW40　消費電力：5.8kvA　重量：195ｋｇ　資料なし
RS14-8026
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
G-200
Gardner Denver
BN10027658
RS15-2046
RS14-2303
RS08-8029
RS08-8030
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ISP-500B
ER-80
A30W
A30W
ｱﾈｽﾄ岩田
ULVAC
荏原製作所
荏原製作所
AC8103-1502407
A95A-00198
C60132
C61435
2003
2005
有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。「H27年2月3日」O/H済の為、無害。
RS12-1127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C40290
2000
RS12-1128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C70771
2000
RS12-1129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C80285
2000
RS14-8044
RS14-3073
RS14-3075
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
A10S-S
ESA300W
ESA300W
EBARA
EBARA
EBARA
A#50485S
DHA00242
DHA00241
RS14-3076
RS14-3077
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ESA300W
ESA25-D-A
ESA25-D-A
RDR-090CL
EBARA
EBARA
EBARA
ULVAC
DHA00240
R064313701　1/2
DHB00305
A93A-00044
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
PDR-090CLN
LR60
LR90
LR90
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
A93A-0073
2003
製造年
RS14-3078
RS13-8143
RS15-2071
NS-1021
NS-1442
NS-1064
NS-1466
NS-1386
NS-1532
NS-1698
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
HR90
ER150
ER150
LR300
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR600
LR600
LR1200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR1200
LR1800
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR1800
LR1800
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
LR1800
LR1800
LR1800
LR3600
LR3600
PDR-060CL
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
PDR-060CL
PDR-060CH
LR90
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CH
PDR-090CH
PDR-090CH
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
NS-2705
NS-1541
NS-2047
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
PDR-180C
PDR-180C
DYM-12MCH-09CU
DYM-12RAH-18UR-CMD
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
NS-2359
NS-1145
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
DYM-12RAH-18CU
DYM-12RAH-18CU
ULVAC
ULVAC
NS-3018
NS-1485
NS-1732
NS-2082
NS-2080
NS-2726
NS-3004
NS-3005
NS-1739
NS-1786
NS-1724
NS-2241
NS-1350
NS-1335
NS-1355
NS-1390
NS-1337
NS-1353
NS-1361
NS-1333
NS-1369
NS-1257
NS-1338
備考
HR90+PRC-006　吸気口：VG80　排気口：NW40　AC200V　50/60Hz　付属品：ｻ
ｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
HR90+PRC-006　吸気口：VG80　排気口：NW40　AC200V　50/60Hz　付属品：ｻ
ｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2,
ｱﾓﾙﾌｧｽSi（CVD装置使用）
製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：なし　本体のみ　排気速度：
900L/min　ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口NW80　排気口：NW40　消費電力：3.0kvA　重量：
77ｋｇ　資料なし
製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：冷却水ﾊﾟｲﾌﾟ　IN/OUTともに
変形　本体のみ　排気速度：900L/min ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口：NW80　排気口：
NW40　消費電力：3.0kvA　重量：77ｋｇ　資料なし
NE-550に使用、予備品（整備済み）
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
RIE装置に使用使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
RIE装置に使用使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
RIE装置に使用使用ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。O/H済
状態良好。O/H済
<イオンポンプ>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS15-1009
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
PST-030CU
ULVAC
13-0021
RS15-1010
RS15-1011
RS15-1012
RS15-1013
RS15-1014
RS15-1015
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
GST-05A
GST-1A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
13-0036
13-0034
13-0020
13-0022
72508570
5425104
14　備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<排気セット>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-1253
排気セット
YM-SEMI-300C(特)
ULVAC
BK97-2366
1997
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
備考
RS14-1250
RS14-1252
RS14-1251
RS14-1249
RS14-1246
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-600C(特)
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AK00-3273
AK99-2032
AK99-3818
AK99-3817-1
BK97-2367
2000
1999
1999
1999
1997
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
RS14-1245
RS14-1247
RS14-1248
排気セット
排気セット
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
ULVAC
ULVAC
BK98-2316-2
AK99-2859
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
排気セット
YM-SEMI-600C(特)
ULVAC
AK99-3256
1998
1999
1999
RS09-2124
排気ｾｯﾄ
DP40-+EH250
EDWARDS
5274A/7270FF
RS15-1064
超高真空排気装置
BB6962
ULVAC
MB04-1007
2004
製造年
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
【CtoC　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　電源：ﾏｲｸﾛ波600～1000W　2450MHｚ±50MHｚ　高周波
200W　13.56MHｚ
<真空バルブ　ULVAC製>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-8072
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-65CM
ULVAC
P651125
UFC114
RS09-8073
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-65
VULP-65
VULP-40CM
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P650867
P650887
P402399
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-25F（旧式）
VULP-250CM
ULVAC
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
P250036
1997
状態良好　VF-25　L型ﾊﾞﾙﾌﾞ（圧空駆動）
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-25（旧式）
VULP-25
VULP-25
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
P250774
P252851
1997
状態良好　UFC070L型ﾊﾞﾙﾌﾞ（圧空駆動）
RS09-8071
RS09-8075
RS12-1072
RS12-1071
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULP-25
VULP-200CM
ULVAC
ULVAC
P252855
P200075
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
VULH-40
ULVAC
-
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
VUH-651
ULVAC
MG54-0017
RS12-1069
RS12-1070
RS09-8067
RS11-2155
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
VUH-251C
ULVAC
-
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
VUH-251C
VUGP-40
ULVAC
ULVAC
P400182
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U3/4S
VLP-U3/4S
ＶＬＰ－Ｕ３/４Ｓ
ULVAC
ULVAC
ＵＬＶＡＣ
800456
800361
800111
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
021536
021537
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
021544
021551
021552
021752
021753
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
VLP-U2S
ＶＬＰ－Ｕ２Ｓ
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
ＵＬＶＡＣ
ULVAC
021700
021695
020626
027242
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
028933
028935
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
ULVAC
028942
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
028953
028995
029006
029022
029065
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2
VLP-U1SW
ULVAC
ULVAC
028891
0170001
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1S
VLP-U14S
VLP-U14S
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0170002
0170004
0170019
0170034
022512
147210
147231
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U14S
VLP-U14
ULVAC
ULVAC
147278
147095
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U10S
VLP-U10S
ULVAC
ULVAC
102579
102581
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
518203
518215
518244
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
ULVAC
ULVAC
518246
518249
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U1_1/2
VLP-U1 1/2S
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
510332
510312
010427
017451
021755
021311
021702
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U06SW-R
ULVAC
070276
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS09-8074
RS13-8056
RS11-1216
RS09-8076
RS11-1215
RS09-8069
RS09-8070
RS11-2156
RS12-1295
RS09-8061
RS09-8062
RS09-8063
RS09-8064
RS09-8065
RS12-1103
RS12-1104
RS12-1105
RS12-1106
RS12-1273
RS09-8052
RS09-8053
RS09-8054
RS09-8055
RS09-8056
RS09-8057
RS09-8058
RS09-8059
RS09-8060
RS11-3142
RS09-8047
RS09-8048
RS09-8049
RS09-8050
RS09-8051
RS12-1108
RS12-1257
RS12-1258
RS12-1259
RS14-2254
RS12-1263
RS12-1264
RS09-8038
RS09-8041
RS09-8042
RS09-8043
RS09-8044
RS09-8046
RS14-2072
RS09-8028
RS09-8029
RS09-8030
RS09-8032
RS09-8033
RS11-2074
15　備考
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
2002
2002
要無害化処理
2002
2002
ICF-070
状態良好
ICF-070 整備後、引渡し
圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2000
動作未確認　圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
1989
1989
1989
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
1989
2000
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良好
動作未確認　圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2004
圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
1989
2000
2000
2000
冷凍乾燥装置にて使用、状態良好。圧空式　JIS規格1inﾌﾗﾝｼﾞ
2000
2000
動作未確認　圧空式　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
★新品未使用品★　電流導入端子、ﾍﾞﾛｰ含む
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ　ｻｲﾚﾝｻｰ付き（ﾍﾞﾝﾄ用）
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS11-2153
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U06AW
ULVAC
068772
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2154
RS09-8077
RS12-1078
VLP-U06AW
VLP-8R
VLP-01
VLH-2
VLH-2
VAP-300WⅡ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
068771
831734
000186
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2147
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
RS11-2148
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000183
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
RS11-2149
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000188
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
RS11-2150
RS11-2151
RS11-2152
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
VAP-300WⅡ
ULVAC
ULVAC
000189
000185
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
VAP-300WⅡ
VAP-250Ⅱ
ULVAC
ULVAC
000184
000102
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
RS12-1438
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
RS11-1014
RS11-1015
RS11-1016
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS11-1017
RS12-1433
RS12-1434
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
ULVAC
ULVAC
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ゲートバルブ VUGH-40F
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VUGH-40F
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ゲートバルブ VUGH-65F
VUGH-65F
ULVAC
RS12-1075
RS12-1076
RS12-1435
NS-5012
NS-5013
製造年
備考
2002
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
2002
2002
要無害化洗浄
要無害化洗浄
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書なし
圧空式JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
MN03-0347-3
圧空式JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
MN03-0347-4
MN03-0347-5
圧空式　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
<真空バルブ　ULVAC製以外>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-8025
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
XLG-80
SMC
-
RS09-8024
RS09-8020
RS09-8021
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
XLA-16F9NP
Series　26（KF-40）
SMC
VAT
F-26-60317-200
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
Series　26（KF-40）
Series　26（KF-16）
VAT
VAT
F-26-60317-201
F-26-60049-894
RS09-8017
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
RS11-2157
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
VAT
VAT
BENKAN（KITZSCT）
BENKAN（KITZSCT）
F-24-60045-1077
F-24-60045-1078
RS11-2158
Series　24（KF-25)
Series　24（KF-25）
SCV 316L10K-3/8　STD（N.C 0.4～
0.7Mpa)
SCV 316L 10K-3/8　STD（N.C.0.4～
0.7Mpa)
RS09-8019
RS09-8016
製造年
備考
ｼﾘｱﾙ無し
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計　(TOKYO　KEISO MAX500L/min)付き
ｼﾘｱﾙ無し
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISO MAX500L/min)付き
RS11-2216
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
VAT
RS11-2217
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
VAT
RS11-2460
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
VAT
FABR.NO641PM16PM-0002/153
FABR.NO641PM16PM-0002/160
102532-R1
RS14-1172
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LCAV-40
大亜真空
1201172-16
RS14-1170
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K6
大亜真空
120123-2
RS14-1171
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K3
大亜真空
1201280-11
RS11-2078
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
ｼﾘｱﾙ無し
RS11-2077
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
RS13-8009
圧力制御ﾊﾞﾙﾌﾞ+ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
656A100IKKVVN+655AD2BJ
MKS
RS08-8035
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
653B-8-200J-2
MKS
017067580　+
017669753
000601724
RS11-2223
RS11-2224
RS07-2961
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
64250-CE52-1101
64250-CE52-1101
64246-JE52-0101
VAT
VAT
VAT
F64-105808/1
F64-105808/2
F64-10866　1/1
RS10-2762
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
28332-GE41-0003
VAT
-
RS09-8009
RS09-8010
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001
VAT
0158
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
APCﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
253A-11792
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
MKS
0241
0247
0250
0251
0252
0253
92031106L
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
20044-CE24-1001/0006
1-800-345-1967
1-800-345-1967
16250-JA28
16250-JA28
16250-JA28
16250-JA28
VAT
MKS
MKS
VAT
VAT
VAT
VAT
A-249751
9928670041
9928670044
不明
不明
不明
不明
Zi　LL室ｺｱﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。
RS13-8010
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）
14048-JE44
VAT
不明
2011
RS13-8011
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）
14048-JE44
VAT
不明
2011
RS11-2222
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
14048-CE34-0005
VAT
F14-104723/2
本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF306、圧空駆動式
RS11-8182
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
14040-CE24-1004
VAT
F14-100068/2
RS13-8013
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
12146-JA14
VAT
不明
RS09-8007
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
11220-0150X
HVA
01-17156
超高真空排気装置から部品抜取り。ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152　圧空作動式（電磁弁無し・
ﾘﾐｯﾄｽｲｯﾁ付仕様）※圧空導入部分欠品
JISﾌﾗﾝｼﾞ（8in)=VF200、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：
12146-JA14-ASQ1/0002、複動圧空駆動式
ICF070　ｹﾞｰﾄ圧空【C to C　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】量産用　ISM方式、電源：Antena　1ｋW
13.56MHｚ/BIAS　300W　12.5MHｚ　排気系：TMP・DRP・APC、基板：φ 50ｍｍ
（ESCﾎｰﾙﾄﾞ）、使用ｶﾞｽ：CF4/CI2/SF6/He/Ar/O2
RS09-8006
RS09-8004
RS07-2931
RS11-2226
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
11210-0159
1021001
02112-BA24-001-0031
14036-CE44-AAC1
HVA
ﾌｼﾞ精機
VAT
VAT
95-01971
100003
A-289817
F14-109375/3
RS09-8011
RS09-8012
RS09-8013
RS09-8014
RS09-8015
RS09-1149
RS10-8026
RS10-8024
RS10-8025
RS11-2072
RS11-2066
RS11-2069
RS11-2071
16　本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/153
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/160
ｼﾘｱﾙ無し
2011
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Aｒ　L型KF-40
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。吸引ｶﾞｽ：Ar　L型6”　VF150　圧空駆動
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar　L型3”　VF100　圧空駆動
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　圧力範囲：0.4～0.7MPa N.C.
ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2　TOKYO　KEISO製）付属
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　圧力範囲：0.4～0.7MPa N.C.
ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2　TOKYO　KEISO製）付属
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ付。ﾌﾗﾝｼﾞ外径φ 135ｍｍ。ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞ
ｽ：Ar
2000
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ作動式
付属品（ｺﾝﾄﾛｰﾗ・ｲﾝﾀｰﾌｪイｽﾎﾞｰﾄﾞ）あり、ｺﾝﾄﾛｰﾗｹｰﾌﾞﾙは無し。
2000
26132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、26124-KA21（NW16）2個A719543(IFC070)
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close
KF25　圧空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ、排気：Air、Normal Close
Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。
Zi　LL室ﾒｲﾝﾊﾞﾙﾌﾞに使用。
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
2011
JISﾌﾗﾝｼﾞ（10in)=VF250、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：
14048-JE44-0006/0044、圧空駆動式
JISﾌﾗﾝｼﾞ（10in)=VF250、ﾌﾟﾗｽﾞﾏ処理装置に使用。吸引ｶﾞｽ：Ar、ｼﾘﾝﾀﾞｰ型式：
14048-JE44-0006/0045、圧空駆動式
ICF070　圧空作動式ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（ﾎﾟｼﾞｼｮﾝ付き）
（ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）
本体のみ。ICF114、圧空駆動式
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<超高真空部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
備考
<ピラニ真空計>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-8007
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-2A
ULVAC
00813
1987
RS15-2020
RS15-2019
GP-1G
GP-1G
DV-6200
DV-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
08239G
08238G
07240212184
006760116373
2015
2015
RS11-2326
RS11-2327
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
RS11-2328
ﾋﾟﾗﾆ真空計
DV-6200
ULVAC
006740115388
RS13-2123
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8401
2008
RS13-2124
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8402
2008
RS13-2231
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
EM-301
ULVAC
PH8602
2008
RS11-2102
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM-301　8CH
EM-301　8CH
EM-301　8CH
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PH1508
PH1509
PH7301
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
23791
23796
状態良好。
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
23688
23662
23683
23686
状態良好。
RS14-3102
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
RS13-2309
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1000G
ULVAC
RS14-1156
RS14-1285
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1000G
GP-1GRY
ULVAC
ULVAC
03467G
02543G
RS13-2302
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
73967
1987
RS13-2303
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
19896
1987
RS13-8128
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
73966
RS13-2284
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SSW
ULVAC
2603
RS11-2529
RS11-2303
ﾋﾟﾗﾆ真空計
G-TRAN SP-1/ISP
ULVAC
17827G/01846
ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ　SP1φ 18 表示器のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
2131　0212188
28370419173
28310418377
018130116195
2127　0212184
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
21320212189
ｼﾘｱﾙ無し
018140116196
018110116193
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
018080116190
ｼﾘｱﾙ無し
018370116197
ｼﾘｱﾙ無し
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
018070116199
018090116191
018100116192
018120116194
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
PG-6200
PG-6200
ULVAC
ULVAC
018390116199
28400419176
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
RS11-2103
RS11-2189
RS14-3086
RS14-3088
RS14-3094
RS14-3097
RS14-3098
RS11-2305
RS11-2307
RS11-2308
RS11-2309
RS11-2310
RS11-2311
RS11-2312
RS11-2313
RS11-2314
RS11-2315
RS11-2316
RS11-2317
RS11-2318
RS11-2319
RS11-2320
RS11-2321
RS11-2323
RS11-2325
NS-5014
NS-5015
ピラニ真空計 GP-2ARY
ピラニ真空計 GP-2001
GP-2ARY
GP-2001
☆
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面なし、取説あり。
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示
機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示
機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属品：表示
機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
2008
使用履歴：真空熱処理装置に付属、有害物質不使用　本体のみ、（測定子ｹｰﾌﾞ
ﾙ・検出ﾕﾆｯﾄ付属無し）　仕様書・取説・図面無し
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ　液晶一部表示NG
危険物吸引なし。ﾌﾙｾｯﾄ。
ﾒｰﾀｰA（S）ﾀｲﾌﾟ、　Pa/Torr表示、　電源ｹｰﾌﾞﾙ要交換（被覆損傷あり）
使用履歴：ALロウ付け装置、購入直前まで稼働。測定しケーブル無、電源ケール
ブル付属あり（丸端子）、200m構成（WP01）、
Pa-torr表示。メーターAタイプ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　（WP-01/100ｍ　校正品）。
部品抜き前、通電のみ確認済。
ﾒｰﾀｰ無し　付属品：WP用測定子ｹｰﾌﾞﾙ（4m）（ｱﾝﾌﾟ表示10m）
動作確認ＯＫ
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ULVAC
ULVAC
<電離真空計>
中古品番号
RS15-2086
RS15-1095
RS15-1092
RS14-1286
RS14-3105
RS14-3106
RS14-3107
RS14-3108
RS14-3109
RS14-3110
RS15-1017
RS12-8063
品名
電離真空計
電離真空計
電離真空計
型式
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
製造年
-
備考
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
F42829
22145
01931
GI-M
M-420HG
M-420HG
M-420HG
ULVAC
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
3299
EL057222
EL057267
EL057213
危険物吸引なし。AC100V入力ｹｰﾌﾞﾙ付。
電離真空計
電離真空計
電離真空計
M-420HG
M-420HG
M-420HG
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
EL057211
EL057215
EL057216
状態良好。
電離真空計
GI-D6
ULVAC
0428
電離真空計
MIG-721
ANELVA
N9011078
電離真空計
GI-TL3RY
ULVAC
GI-TL3
GI-M2
GI-M2
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
RS15-2084
NS-3019
17　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<バラトロン真空計>
中古品番号
品名
型式
RS10-8044
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
真空計　186B-BOJOAANV
RS09-1421
RS13-2241
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子
CMX-1110
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
RS13-2174
RS13-2175
RS13-2176
RS13-2177
RS13-2178
RS11-3007
RS12-8062
メーカー
製造番号
MKS
000,206,023
CELERITY
A819647727
MKS
MKS
MKS
016335508
016293672
016293679
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
MKS
MKS
016293683
016293684
651CD2S1NJ
628A.1TBF-S
TYPE 113B
MKS
MKS
MKS
製造年
備考
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
2008
2008
2008
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　ｷｰ部破損
000740759
000065664
SN3449
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
製造番号
製造年
製造年
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無ﾚﾝｼﾞ：1Pa/133.32
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子：627A01TBC 測定子ｹｰﾌﾞﾙ（9m）　電源ｹｰﾌﾞﾙ付属
<ペニング真空計>
中古品番号
NS-5040
品名
型式
メーカー
ペニング真空計
ペニング真空計 GI-PRYS
ULVAC
備考
<サーモカップル真空計>
中古品番号
RS12-8064
RS12-8065
品名
型式
メーカー
製造番号
ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計
ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計
MTG-012
MTG-012
ANELVA
ANELVA
M9156827
M9156829
備考
製造番号
製造年
備考
備考
測定子ｹｰﾌﾞﾙ8m　電源ｹｰﾌﾞﾙ　付属
測定子ｹｰﾌﾞﾙ8m　電源ｹｰﾌﾞﾙ　付属
<キャパシタンスマノメータ >
中古品番号
NS-5016
品名
型式
メーカー
キャパシタンスマノメータ
CCMH-1000A
ULVAC
型式
メーカー
製造番号
製造年
製造年
<広帯域真空計 >
中古品番号
品名
<成膜コントローラー>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-8124
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CRTM-5000
ULVAC
0243
本体のみ。　部品抜き前、通電のみ確認済。
RS13-8126
RS11-2012
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CRTM-8000
ULVAC
0123
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　HS/Sｶｰﾄﾞ4個。　部品抜き前、通電のみ確認済。
水晶振動式膜厚計
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
MDC-260
CRTS-12NS
CRTS-12NS
MAXTEK,INC
ULVAC
ULVAC
121
134-134　Ver.2.04
136-136　Ver.2.04
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CRTS-12NS
CRTS-12NS
ULVAC
ULVAC
135-135　Ver.2.04
137-137　Ver.2.04
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CRTS-12NS
ULVAC
252-252　Ver.2.04
RS11-8028
RS11-8029
RS11-8070
RS11-8071
RS11-8072
備考
本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）
<ガス分析計>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-1143
TRANSPECTOR　XPR
INFICON
H8TR15B00372
RS11-1170
質量ｶﾞｽ分析計
RS11-1169
RS14-2284
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
XPR-TR100　（0397）
Transpector2（911-242-G1U
H100M)
Transpector2
Transpector2
Transpector2
RS14-2285
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
RS14-2250
ﾌﾟﾛｾｽﾓﾆﾀｰ
RS14-2287
RS14-2286
製造年
備考
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
INFICON
70003237
INFICON
Inficon
Inficon
LOTT23B02800
LOTT23C02894
C1TT24C03427
Transpector2
Transpector2
Inficon
Inficon
MOTT23C02969
B2TT26C03925
RG-202R
ULVAC
AK97-3487
1997
動作未確認。　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾕﾆｯﾄ　S/N:00032　ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ　S/N:00032　本体（ｼﾞｭﾗﾙ
ﾐﾝｹｰｽ付）　+　PC（HITACHI製） + ｿﾌﾄ付（Windows3.1)　欠品なし。　使用履歴：
N2ｶﾞｽ分析　取説あり。
備考
Transpector　2（911-242-G1U　H100M)
<Heリークディテクタ>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2089
ﾘｰｸﾃｽﾄ設備（RS15-8004～8007）
Heliot700Series
ULVAC
-
2003
RS11-2208
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
HELIOT　302s特
UL-200
UL-200
ULVAC
INFICON
INFICON
3836
90001015459
20600033255
RS13-3145
RS13-3152
☆
スニファー専用機器
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。、
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。
<EB電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS10-8060
ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
PSG-004S
ULVAC
19912145
RS10-8102
ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
PSG-004S
ULVAC
RS13-1035
EB電源
JST-10F
RS11-8010
RS11-8048
EB電源
EB電源
HPS-1600F
HPS-1600F
ULVAC
ULVAC
19912040
BS101106-55 AB
Z280
20020012
20020011
RS13-8142
EB電源ｾｯﾄ
JST-16F
JEOL
-
JEOL
18　製造年
備考
本体のみ
EB1ｺﾝﾄﾛｰﾗ、EB2ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｶﾞﾝ1ｹｰﾌﾞﾙ*2、ｶﾞﾝ2ｹｰﾌﾞﾙ*2、ｺｲﾙｹｰﾌﾞﾙ(ｶﾞﾝ1)、ｺｲﾙ
ｹｰﾌﾞﾙ(ｶﾞﾝ2)、高圧ｹｰﾌﾞﾙ*4本。
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄBOX付属無し
【EB電源ｾｯﾄ】電源ﾗｯｸ1個、ｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾕﾆｯﾄ（JST-16F 1個、EBG-HV025G02 2
個、EBG-LV025G01 1個）　ﾊｰｽ 1個
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<RF電源>
中古品番号
☆
☆
☆
☆
RS15-1165
RS15-1166
RS15-1163
RS15-1164
品名
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
型式
OEM-1250-01
OEM-1250-01
OEM-2000-01M1
OEM-1250-01
メーカー
ENI
ENI
AE
ENI
製造番号
C112
C278
C116
C152
RS15-1112
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595162
RS15-1116
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594072
RS15-1115
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595166
RS15-1114
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
594038
RS15-1113
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
595161
RS15-1117
RF電源
RFS-02CA
ULVAC
599014
RS15-1125
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
AMC 6D
ULVAC
395052
RS15-1126
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
AMC 6D
ULVAC
395115
RS15-1124
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
AMC 6D
ULVAC
396018
RS15-1121
RS15-1119
RS15-1122
RS15-1120
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
396006
395086
392013
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
VDCﾓﾆﾀ
VDCﾓﾆﾀ
MBX-05EA2
VDC-1A
VDC-1A
ULVAC
ULVAC
ULVAC
394016
086008
91020
VDCﾓﾆﾀｰ
RF電源
VDC05A
TX10-D000-00-12.5M
ULVAC
ADTEC
392025
102403000012
RS14-2023
RF電源
RF電源
TX10-D000-00
TX10-D000-00
ADTEC
ADTEC
10237600009
10237600002
RS15-2035
RF電源
RFS-2710H
ULVAC
RS13-2111
RF電源
RFS-1310A3
ULVAC
207004
2008
RS13-2252
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207015
2008
RS13-8027
RF電源
AX-1000LFⅢ
AD-TEC
10154000084
RS13-2112
RF電源
RFS-1310A
ULVAC
207005
2008
RS11-2268
SP-RKC
SP-RKC
RFS-27400F
RFS-27400F
RFS-27200L
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
L/N　WB3563
L/N　WB3563
210001
210002
208005
2004
本体のみ
2004
本体のみ
RS13-2152
RS13-2153
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF電源
RF電源
RF電源
RS06-2704
RF電源
RFS-2712K
ULVAC
306001
出力：1KW　27.12MHz
付属品：M/BOX（MBX-2712A）ｹｰﾌﾞﾙ無し
RS14-1277
RF電源
RFS-1350LH
ULVAC
209021
危険物吸引なし
RS13-2158
RS14-1278
RS14-1279
RS10-8081
RF電源
RF電源
RF電源
RFS-1310L
RFS-1310A3
RFS-1310A3
ULVAC
ULVAC
ULVAC
209008
205010
204026
出力:1KW 13.56MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
RFP-10CA0
RFP-05CA0
ULVAC
ULVAC
088017P
388022
操作ﾊﾟﾈﾙ
RFP-05CA0
ULVAC
RS09-1502
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFP-05CA/VDC5A
ULVAC
RS11-2266
RF電源(1kw）
RF電源(1kw）
RF電源
RF電源
PHASE　SHIFTER
PHASE　SHIFTER
PHASE　SHIFTER
RFK10Z-SK5
RFK10Z-SK5
RFK05ZFSW2
RF-50
PLFⅢ
PLFⅢ
PLFⅢ
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
日本高周波
AE
AE
AE
387089
S/N:395048
L/N:56170270･
S/N:395087　L/N：
66170092
0107014
0107015
0103037
96140516
813660
814211
813661
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀｰ
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀ
PHS36VM
PHS-2C-SK1
ULVAC
KYOSAN
393005
L/N　WB3569
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
5kw用ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
NAK5A
NAK5A
NAK5A
MCP-1010E
MBX-50A
MBX-27400F
MBX-27400F
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0107016
0107015
0107014
1032
090003
310001
310002
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-27200L
MBX-1310L
MBX-10EA
MBX-10EA
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
308001
309009
393007
394011
395079
395030
397036
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RF電源
高周波電源
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
MBX-05EA2
MBX-05EA2
HFS-005
HFM-D20UL-AX7
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
ULVAC
ULVAC
日本高周波
島田理化
ADTEC
ADTEC
397034
394017
207677・5
10220600019
10220600022
RS11-2291
RS11-2292
RS10-8082
RS14-2020
RS14-2022
RS11-2269
RS13-2151
RS10-8078
RS10-8080
RS11-2267
RS13-8106
RS09-1152
RS14-2128
RS14-2129
RS14-2130
RS11-8134
RS11-2273
RS11-2270
RS11-2271
RS11-2272
RS11-2212
RS09-1297
RS13-2160
RS13-2161
RS13-2162
RS13-2167
RS10-8075
RS10-8076
RS13-1051
RS13-1056
RS13-1105
RS13-1106
RS13-1108
RS14-8052
RS14-1112
RS14-2025
RS14-2026
19　製造年
2004
2004
2004
2004
備考
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体+AMC+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
☆
☆
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100　保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100　保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100　保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100　保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100　保管状態良好。
入力 600VA 出力 200W C/W 2ℓ/m. (2Kg/cm2) 製品重量 15Kg
W240 D495 H100　保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395038) 外寸 W240
D320 H100　保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395037) 外寸 W240
D320 H100　保管状態良好。
VDCモニター付き(VDC 5A 90~110V 50/60Hz 単相 S/N 395041) 外寸 W240
D320 H100　保管状態良好。
入力 200w C/W 1L/m 0.5kg/cm² 重量 8kg 外寸 W200 D410 H200　保管状態良
好。
入力 200w C/W 1L/m 2kg/cm² 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210　保管状態良
好。
外寸 W200 D410 H200　保管状態良好。
入力 200w C/W 1L/m 0.2MPa 重量 7kg 外寸 W200 D430 H210　保管状態良
好。
2009
2009
本体のみ、付属品無し
2009
本体のみ、付属品無し
2003
本体・M/BOX（MBX-2710H　S/N311002）マッチングコントローラー（AMC-H
S/N411005）付、ケーブル無。CVD装置で使用。
CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ、仕様書・取説・図面無し、付属品：ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ（MBX1310A)（S/N:306029）、ｹｰﾌﾞﾙ（16ｍ）、出力：1Kw　13.56MHｚ
太陽電池生産用　CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ（2013/07/末まで稼動）、使用ｶﾞｽ：SiH4、
PH3、B2H6、出力：：1KW　13.56MHｚ、付属品：M/BOX（MBX-1310A）
（S/N:307008)、電源間ｹｰﾌﾞﾙ(16m）、電源ｹｰﾌﾞﾙ（1m）
1ｋｗ、400KHｚ、M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2（S/N:1090800004）、RF出力ｹｰﾌﾞﾙ
(8m)、M/BOX⇔RF　CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m)、RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m)、RF電源ｹｰﾌﾞﾙ
(切断ｺﾈｸﾀのみ)※RF　CONT無し。
CCV-1400ｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ、仕様書・取説・図面無し、付属品：ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ（MBX1310A）（S/N:306030）、ｹｰﾌﾞﾙ（16ｍ）、出力：1Kw　13.56MHｚ
本体のみ、付属品無し
出力:40KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:40KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:20KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
危険物吸引なし
危険物吸引なし
2004
本体のみ(1kw）
2004
本体のみ(1kw）
2012
2012
2012
1999
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101 B F/R B
2004
2004
2004
2004
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101 B F/R B
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101 B F/R B
本体のみ
本体のみ
本体のみ
エッチング電源
5kw用
40kw、27.12MHz用
40kw、27.12MHz用
20kw、27.12MHz用
1kw用
未整備
未整備
付属品無し　200W
付属品無し　200W
1998
1998
付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し　200W
1996
M/BOX：201631
電源本体のみ　20ｋW
2009
2009
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-2027
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
AMVG-1000-AV3
ADTEC
10220600021
2009
本体のみ、付属品無し
RS14-2030
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
AMVG-1000-12.5M-CT
AMVG-1000-12.5M-CT
AMC-6D
ADTEC
ADTEC
ULVAC
10235800007
10179100020
395004
2009
本体のみ、付属品無し
2009
本体のみ、付属品無し
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
AMC-1AR
AMC-1AR
ULVAC
ULVAC
395008
92005
ＲＦ電源
RFK200ZD
京三製作所
0605001
RS14-2031
RS13-1060
RS11-2289
RS11-2290
RS14-3119
備考
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し
状態良好。
<DC電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
☆
RS15-1162
DC電源
Pinnacle20kW
AE
2004
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
RS15-1161
DC電源
Pinnacle(ﾏｽﾀｰ･ｽﾚｰﾌﾞ)40kW
AE
2004
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
☆
RS15-1160
RS15-1159
RS15-1158
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
HPK-15Zi(ﾏｽﾀｰ・ｽﾚｰﾌﾞ)30kW
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
333645 F/R B
330733 F/R
A,333644 F/R B
WA2899/WA2900
WA2923/WA2924
WA2921/WA2922
2004
2004
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
本体＋ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
DC電源
DC電源
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
ULVAC
ULVAC
DC電源
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
DC電源(新古品)
DC電源(新古品)
DC電源
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
PINACLE10K
PINACLE10K
ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AE
C631478
C631479
792289
DC電源
ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW
AE
RS14-2114
DC電源
Ulstream20
RS11-2029
DC電源
DC電源
PR-500-10LGB
PNCL20K　Hi-Z
DC電源
DC電源
☆
RS15-1047
RS15-1049
RS15-1048
RS15-1050
RS15-1054
RS15-1056
RS15-1055
RS15-2012
RS15-2013
RS14-2194
RS14-2195
京三製作所
京三製作所
京三製作所
ULVAC
2004
2002
備考
☆
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
2002
2002
2002
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
2002
2002
2002
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
新個品
新個品
本体のみ　M/N:3152533-306C F/R C
792288
2012
2012
ULVAC
E0656711UL02510
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　Product　No.:EU-01010107
出力：800V 50A　20ｋW
松定ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ
AE
045547S
267451
2009
新古品　5kw　（500V／10A仕様）
PAK20-18A
MDX-L6
KIKUSUI
AE
70742
P/N:0190-76006
DC電源
DC電源
DC電源
MDX-L6
MDX-L6
MDL1501
AE
AMAT
ULVAC
36941
P/N:0190-70085
RS14-1120
DC電源
DC電源
MDL-15
MDL-15
ULVAC
ULVAC
145679F/RC
191720
RS13-3089
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C442141
RS14-1121
DC電源
DC電源
MDL-1001A
HPK-15ZI-S1
ULVAC
ULVAC
300616
WA5504
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
HPK-15ZI-S1
HAR-1P100-L0L
HAR-1N100-LOL
DCR-1502A
ULVAC
MATUSADA
MATUSADA
ULVAC
WA4468
52945
52933
19922010
異常放電防止機構
異常放電防止機構
異常放電防止機構
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
ULVAC
ULVAC
ULVAC
011022
011023
011021
異常放電防止機構
異常放電防止機構
A2KH-50
A2KH-50
ULVAC
ULVAC
011019
011020
型式
メーカー
製造番号
製造年
製造年
RS14-1125
RS10-2721
RS09-1161
RS09-1289
RS12-8059
RS11-8019
RS08-2041
RS14-2222
RS14-2230
RS10-8035
RS10-8036
RS09-1499
RS14-2123
RS14-2124
RS14-2125
RS14-2126
RS14-2127
付属品：出力ｹｰﾌﾞﾙ（約5.5ｍ）　M/N:3152533-306C F/R C
本体のみ　M/N:3152420-117C F/R C
＊２台
出力：15ｋｗ
本体のみ　M/N:3152345-101F F/R F
出力：１０ｋｗ　付属品：ｹｰﾌﾞﾙ類一式　2014/07/14計測ｾﾝﾀｰにて動作確認　★
故障（出力はOK、左右FANから大きな異音あり）
本体のみ　M/N:3152354-000D F/R D
2003
2003
RS14-2221とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
RS14-2229とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
出力：1kv　（正極性　100mA/100W）
出力：1kv　（負極性　100mA/100W）
出力：15ｋｗ
2012
2012
2012
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
<AC電源>
中古品番号
品名
備考
<アナライザーマグネット電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS04-8017
ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
KS40-50S
ULVAC
12762
RS04-8083
ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
KS40-50S
平和電源
12761
備考
中電流イオン注入装置用
<マグネット電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1496
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
MCP-1010E
ULVAC
1088
RS10-8043
RS11-2278
RS11-2279
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
MCP-1010E
MCP-1010SX
MCP-1010SX
ﾃｸﾉ電気
ULVAC
ULVAC
1092
2310
2449
RS11-2369
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
MCP-1010SX
ULVAC
2253
製造年
備考
備考
<加熱電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-2077
AMAT Endura用ESC部品
0010-01465
AMAT
H5-100、H5-077
2006
RS12-8090
RS12-8091
RS12-8092
RS13-8061
RS09-2666
RS13-2075
AMAT Endura用ESC部品
AMAT Endura用ESC部品
AMAT Endura用ESC部品
抵抗加熱電源
加熱電源
加熱電源
0010-01465　0010-01465　0010-01465　AMAT
AMAT
AMAT
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
502068
S-7881
U406-024
PSE-700H-N
PSH-072SP
PSH-306C
20　本体のみ
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-2076
加熱電源
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-038
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
RS13-2077
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
410052-001
U406-029
U406-018
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-036
U406-021
U406-017
U406-037
U406-014
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-027
U406-026
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-025
U406-039
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
RS13-2088
加熱電源
加熱電源
RS13-2089
RS13-2090
RS13-2091
加熱電源
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-050
U406-056
U406-058
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
RS13-2092
RS13-2093
RS13-2094
加熱電源
加熱電源
PSH-306C
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-077
U406-069
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
加熱電源
PSH-306C
ｼﾏﾃﾞﾝ
U406-071
RS15-2037
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M07１
2003
本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。
有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
RS15-2038
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M072
2003
本体のみ、ケーブル無、有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
RS15-2036
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M070
2003
本体、マニュアルコントローラー付、ケーブル無。
有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
RS15-2039
ﾚｰﾄｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RCT-040L
ULVAC
SKC-0124-M064
2003
本体のみ、ケーブル無、有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。
製造年
RS13-2078
RS13-2079
RS13-2080
RS13-2081
RS13-2082
RS13-2083
RS13-2084
RS13-2085
RS13-2086
RS13-2087
製造年
備考
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
<その他電源>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS12-1020
ｉｏｎ　bombard　power　supply
DCP-505
ULVAC
2002002
RS14-1173
PLC
Q2ASH
三菱
-
備考
要整備
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
中古品番号
品名
型式
RS13-3013
ｶﾞｽ処理設備一式
WGC-10B-2-FS
メーカー
製造番号
製造年
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
WG-2319
2005
RS09-1199
ｶﾞｽ導入用ｴｱｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ・ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙ
ﾌﾞ
RS12-1033
備考
0050-21303
AMAT
-
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC-770AC
Aere
-
2001
ｹｰﾌﾞﾙ無し電源無し（4式ｾｯﾄ)　Ar100sccm(S/N:26F0276)、CF4
50sccm(S/N:26F0358)、 Sicl4　20sccm(S/N:26F0278)、O2
50sccm(S/N:26F0275)
RS09-1028
RS09-1029
RS09-1038
RS14-1202
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
FC780C
FC780C
FC780C
SEC-310-N1
Aere
Aere
Aera
STEC
24J0252
23E1149
24J0256
4137400200
2000
本体のみ。
RS11-1168
RS11-2087
RS11-2092
RS11-2093
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-4400M
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
STEC
STEC
STEC
3424592121
291502489
3458018281
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
STEC
STEC
3422582475
291502488
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-4400M（MK3）
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
STEC
STEC
STEC
STEC
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
ｴｱﾊﾞﾙﾌﾞｘ８個、ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞｘ4個、ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰｘ4個（VCR)　ﾛｰﾄﾞﾛｯｸA　ﾍﾞﾝﾄﾗｲﾝに
使用　ｶﾞｽ使用履歴：Ar　【ｴｱｵﾍﾟ】型式：944AOPLPNCSFSFF、ﾒｰｶｰ：VERIEFLO
CORP　【ﾆｰﾄﾞﾙ】型式：不明、ﾒｰｶｰ：NUPRO　【ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰ】型式：WG3NS1RR2、
ﾒｰｶｰ：MILLIPORE
CH4 10sccm　VCR継手
Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
2007
2007
Ar 500sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付
2001
Ar 200sccm　VCR継手
291502487
291502486
291502490
281505605
2001
2001
Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
2001
2000
Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
STEC
1312500580
2000
N2 5sccm VCR 本体のみ。ｲﾝﾌﾟﾗ(ｶﾞｽ:不明)にて使用品。
SEC-E440J
STEC
3430014434
RS09-2672
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-E440J
SEC-F740MCA1
STEC
STEC
3463572997
2451023
RS12-8066
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC-770C/FC-770AC
Aere
４YEP035/20J0557
RS11-2118
RS11-2083
RS12-1370
RS14-3111
RS14-3112
RS14-3113
電磁弁ﾕﾆｯﾄ
ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰﾕﾆｯﾄ
TEOS用除外装置
APC
APC
APC
APC
SQｼﾘｰｽﾞ
W3000
SMC
CKD
ｼﾘｱﾙ無し
1808
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
MKS
MKS
MKS
MKS
001814998
001843366
001843367
001788273
N2精製装置
JIP-10E-S
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
D-3890
RS11-2177
RS11-2178
RS11-2180
RS11-2182
RS14-1200
RS14-1199
RS11-1166
RS11-1167
RS14-3114
RS14-2362
Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付
Ar:200sccm、VCR継手仕様、VCR-SWEGE変換配管付(1個）
N2 5sccm VCR 本体のみ。ｲﾝﾌﾟﾗ(ｶﾞｽ:BF3)にて使用品。
Co 10sccm　VCR継手
2006
H2 10sccm　VCR継手
Ar　2SLM　VCR継手　Fujikin Valve付
2式ｾｯﾄ　N2　50sccm　O2　50sccm　接続口1/4　VCR　ANELVA製MFC電源
（CMS-770C）付属　電源～MFC間ｹｰﾌﾞﾙ1本付属（1本欠品）
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
現状動作OK。
<搬送ロボット>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
☆
RS15-1168
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ULVAC
S03547-1-04
2000
本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
☆
RS15-1167
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ULVAC
S03547-1E-03
2000
本体+CONT+ｹｰﾌﾞﾙ
☆
RS15-1132
RS09-2604
ﾓｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
K4Z-027(XU-MVS3102)
K4Z-026(XU-BDB0602)+KRC4000Z)
HC-50
31RU8141-002-001
KEYENCE
RORZE
-
RS09-2670
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
KEYTRANⅢ（部品破損有）
ULVAC
-
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 ZX-1000 搭載
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ　ﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
RS10-8031
RS08-8028
RS13-1141
RS10-8028
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
JZMQZ-TB38A
MAG6
Mag-7　003-1600-11
ULVAC
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
R11862-717-01
9608-0028
000C-10578
JZMQZ-TB38A　KEYTRAN-4ZEX-172用
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
Mag7型003-1600-11
ﾌﾞﾙｯｸｽ
9911-10601
21　備考
製造番号未確認
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し　Zi-1000ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ付
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS10-8029
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
Mag7用型式001-1984-07
ﾌﾞﾙｯｸｽ
HH135074
型式001-1984-07
RS10-8030
ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ
大気ﾛﾎﾞｯﾄ
大気ロボット
Mag7用型式002-0015-50
SPR-101-X099
SPR-101-X1099
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾀﾞｲﾍﾝ
ダイヘン
9911-10602
X0333Y3996901
X0333Y3912901
型式002-0015-50
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
UT0100
UT0150
UTMF5000
UTV-UTV-F2620W
MECS
MECS
ASYST
ASYST
3X0409A01
481903A01
A06260950-1
502000000159
RS14-4089
移載機
WL300-Sorter-HW
ITOCHU
-
RS13-1113
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
Zi-1000用
ULVAC
ME97-1038
1998
RS11-2496
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ｱﾙﾌｧｰｽⅡ
ULVAC
0190
1994
製造番号
製造年
RS14-1023
RS14-2352
RS04-8076
RS04-8077
RS08-8027
RS08-8026
製造年
備考
本体のみ
2000
IPZ-5001用部品　付属ピックアップのみ　ケーブル無
3軸
3軸
12インチウエハソート機能と保護シートを重ねウェーハ梱包（コインスタック収納）
を自動に行う装置
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 MLX-3000 搭載
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄﾄﾚｲ搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
<電気制御系>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS04-8014
ｼｰｹﾝｻｰ
CYCMAC　C1000H
OMRON
RS04-8080
RS04-8012
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
CYCMAC　C1000H
CYCMAC　C500-PS221
ｵﾑﾛﾝ
OMRON
RS04-8013
RS04-8053
RS04-8054
ｼｰｹﾝｻｰ
ﾊﾟｿｺﾝ
CYCMAC　C500-PS222
PC9801S
OMRON
NEC
RS04-8056
ﾊﾟｿｺﾝ
ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ
PC9801S
PC9801S付属
RS09-1597
Single Tower
NEC
PATLITE
備考
-
S369148CA
S369148CA
S360026
SEF-A　24V　AC/DC
2W/1STACK
PC9801Sの付属品
<チラー・純水設備>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-1050
水冷ﾁﾗｰ【2台】
CH-2200WS、CH-5500WS
ﾀｲﾃｯｸ
4090345、4090212
2004
RS08-2013
水冷ﾁﾗｰ
CH-5500WS
ﾀｲﾃｯｸ
2110195
RS14-2032
RS14-2033
ﾁﾗｰ
EXL-1006
ﾘｯｼｰ
0309215
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
EXL-1006
EXL-1006
ﾘｯｼｰ
ﾘｯｼｰ
0404136
0404137
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
MMR-101
MMR-101
RISSHI
RISSHI
0707467
0708575
水冷ﾁﾗｰ
超純水製造装置
水冷ﾁﾗｰ
MMR-101
PURIC-MXⅡ-LS
SCS-3WT
RISSHI
ｵﾙｶﾞﾉ㈱
ｽﾃｯﾌﾟｻｲｴﾝｽ
0707466
MLD2173321
9904132
ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ
CS1000
RS14-2034
RS10-2801
RS10-2802
RS10-2803
RS12-1048
RS12-1049
RS12-1324
備考
水冷ﾁﾗｰ
2009
2009
2009
2004
2004
ﾘｯｼｰ
装置状態良好。EB・RH仕様。付属品：4点切替式抵抗蒸着源（PSE-076)付。
CS1000ｘ1台　CS6000ｘ1台
<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1500
ｼｬｯﾀｰ
-
ULVAC
NTZX0129
RS09-1501
RS10-8052
ｼｬｯﾀｰ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
1420A　TKK-5
1420A　TKK-6
1608ATKK-5
ULVAC
Adme
Adme
Adme
RS10-8055
通信COM
AT-MX10
RS10-8042
RS09-1484
制御系
Contunit型式001-8185-05
ﾌﾞﾙｯｸｽ
NTZX0130
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
000010280100050
Rev2A
9910-10099
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P196
P236
P237
P238
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
GS-IG
GS-IG
GS-IG
ULVAC
ULVAC
ULVAC
P247
P248
P249
RS12-1161
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
GS-IG
GS-IG
ULVAC
ULVAC
RS10-8051
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
KU80376
RS11-8139
RS11-8140
RS11-8141
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
ME-Ⅱ　①
ME-Ⅱ　②
ME-Ⅱ　③
ME-Ⅱ　④
-
P271
445
96-1500-27001
PMC-1
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
制御BOX
制御BOX
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
ME-ⅡA　①
ME-ⅡA　②
PI-30
旭ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
-
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾌﾟﾛｾｽﾓｼﾞｭｰﾙｺﾝﾄﾛｰﾗ
制御系
制御系
PMC-6
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
制御系
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
RYB
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
制御系
制御系
PMC-Ⅱ
PVME-387
RYB1
SG6100S
SG6100S
SYSTEM　I/F　BOX
SYSTEM　I/F　BOX
RS10-8053
RS10-8054
RS12-1154
RS12-1155
RS12-1156
RS12-1157
RS12-1158
RS12-1159
RS12-1160
RS11-8142
RS11-8143
RS11-8144
RS10-8048
RS10-8049
RS09-1465
RS10-8045
RS10-8046
RS10-8047
RS10-8050
RS09-1483
RS09-1504
RS09-1505
RS10-8040
RS10-8041
Allied　ＴｅｌｅｓｙｎI
製造年
備考
000010280100050　Rev2A
1999
1999
1999
1999
1999
1999
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｵﾝﾃｯｸ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｽﾊﾟｯﾀ用
ｼﾘｱﾙ無し
980309-1　KEPB372
ｱﾆｰﾙ用
IPC用
№2
№1
22　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<スパッタ装置部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
RS11-2495
ｶｿｰﾄﾞ
φ 4ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ
ULVAC
RS13-1022
ﾗｲﾄｳｪｰﾌﾞﾒｼﾞｬﾒﾝﾄｼｽﾃﾑ
81640A
ｱｼﾞﾚﾝﾄ
DE39402101
製造年
製造番号
備考
1994
光測定ｼｽﾃﾑの計測機。
<蒸着装置部品>
☆
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2095
電子銃
JST-100C
JEOL
-
2003
RS15-2069
RS11-8162
EBｶﾞﾝ
EB蒸発源
EGL-35M
EGK-3C
ULVAC
ULVAC
183100264
1991
超高真空仕様
RS11-8163
RS09-1309
RS11-8164
EB蒸発源
EBｶﾞﾝ
EB蒸発源
EGK-3C
EGL-35
EGL-35
ULVAC
ULVAC
ULVAC
183100262
1991
超高真空仕様
177100197
1991
RS10-8101
EBｶﾞﾝ
EGL-35M
ULVAC
RS11-2558
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
LIS
RS11-2559
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
LIS
RS10-8064
抵抗加熱蒸発源ﾕﾆｯﾄ
RS12-1224
蒸着装置部品
RS10-2682
EBX-10Cｺﾝﾎﾟｰﾈﾝﾄ・部品
EBX-8C
AE
備考
電子銃+電源（ｹｰﾌﾞﾙ一部切断）電子銃用排気系
取説あり、仕様書・図面なし。
☆
本体のみ
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)
程度良品ほぼ未使用
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)
程度良品ほぼ未使用
579883
AE
579882
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
ULVAC
-
1983
製造年
ULVAC
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：□500ｘ600H　自公転治具
（JPD-050C)　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄｘ3）　排気系：CP＋RP　赤外線
ﾗﾝﾌﾟ加熱ﾋｰﾀｰ：３基　使用履歴：Au、仕様書・取説・図面あり。
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：φ 650Wx800H　蒸発源：電子
ﾋﾞｰﾑ（EGK-3)、電源：5ｋW（Solid）　排気系：CRYO+RP
<イオン注入装置部品>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS14-1034
Qﾚﾝｽﾞ
-
ULVAC
-
本体のみ
RS14-1057
RS14-1061
ｳｪｰﾌﾞｶﾞｲﾄﾞﾍﾞﾛｰ
-
-
-
本体のみ
-
-
-
本体のみ
RS04-8034
ｸﾗｲｵ温度計ﾊﾟﾈﾙ
ｺｯｸﾛﾌﾄ
RS14-1031
RS14-1059
ｺﾝﾀﾐﾄﾞﾘﾌﾄﾁｭｰﾌﾞ
ｽｷｬﾅｰﾕﾆｯﾄ
-
-
-
本体のみ
RS14-1056
RS14-1055
RS14-1060
RS14-1085
ｿｰｽｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾍﾟｰﾊﾟﾗｲｻﾞ電源
ﾏﾆｭｱﾙｽｲｯﾁ
-
川崎ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
-
U-00005
009
-
本体のみ
3801EI00
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｽﾃﾑｽﾞ
N8976
本体のみ
RS14-1076
ﾛｯｸ室ﾌﾚｷﾎｰｽ（4本）
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RS14-1174
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ
A970GOT-TBA-B
三菱
-
RS04-8026
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ティーチングBOX
ベーパライザー電源
CPU　BOX
DOSE　DISPLEY
DOSE　DISPLEY
E4477A
EM-ABP1
EXTターミナルCONT
HVターミナルCONT
GNDﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰ　MAIN
EM-BEX0
EM-BHV0
ESS50-200-2-D-GBⅡ
FC-9821Xa model　2
プリアンプ
KW-FPR3
RS04-8015
RS14-1026
RS14-1192
ACCEL/DECEL　P/S
ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ
MDL-2/10
MPG16/12ｃｈ
ULVAC
E/Sﾊﾞｲｱｽ電源
PCM5N120X
SPELLMAN
RS04-8022
HV　P/S（DEC　P/S）
PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA）
RS04-8088
ＨＶP/S(DEC　P/S）
PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA）
RS14-1042
ﾃﾞｨｾﾙ電源
PS/ER30N10-Y10A
GLASSMAN
RS04-8025
RS04-8091
RS04-8021
RS04-8087
Q-LENS　P/S
Q-LENS　P/S
ＨＶ　P/S
ＨＶP/S
PS/UL-15-2G1255
PS/UL-15-2G1255
PS/UL180P5X1222
PS/UL180P5X1222
GLASSMAN/高砂
GLASSMAN/高砂
GLASSMAN/高砂
GLASSMAN/高砂
RS04-8023
HV　P/S(EXT　P/S)
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ)
GLASSMAN/高砂
RS04-8089
RS14-1214
RS14-2343
HV　P/S(EXT　P/S)
ﾓﾆﾀｰ
ディスプレー
HV電源
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ)
RDT141S
S501J
SL260P2080X2652
GLASSMAN/高砂
三菱
IIYAMA
ｽﾍﾟﾙﾏﾝ
RS14-2308
引出電源
ディスプレー
SL40N300X
T1501-GY
SPELLMAN
ナナオ
RS14-2320
アクセルディセル電源
TK-A0021
RS14-2328
スキャナー電源③
RS14-2326
RS04-8027
RS04-8093
RS14-2344
RS14-2317
RS14-2311
RS14-2312
RS14-1219
RS14-1032
RS14-2315
備考
高圧電圧昇圧
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用時稼働）　本体の
み。　吸引ｶﾞｽ：Ar
演算制御部
演算制御部
ダイヘン
EME
EME
EME
EMI
NEC
60055
E4477Y329111
演算制御部
S082007MA
IPZ-5001用部品
2000
2000
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
本体のみ。
本体のみ
2000
関西電子
GLASSMAN/高砂
2000
2000
2000
51876
FPGO-045
IPZ-5001用部品
本体のみ
M669040-01C　V
930630
99993103
M91880801FR001004
2000
本体のみ。
ﾃﾞｨｾﾙ電源
ﾃﾞｨｾﾙ電源
本体のみ
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
2930099
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
高圧電源（180ｋV）
880258
M67407001DW930922
2900392
30031090
-
高圧電源（180ｋV）
引出電源（30ｋV）
引出電源（30ｋV）
2000
2000
本体のみ。
2000
2000
本体のみ。
2000
IPZ-5001用部品　本体のみ
テクノ電気
2000
IPZ-5001用部品
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ
スキャナー電源①
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ
RS14-2327
RS14-2331
スキャナー電源②
スキャナー電源⑥
TR-898
TR-898
TREK
TREK
2000
2000
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ
RS14-2332
RS14-2329
RS14-2330
RS14-2339
RS14-2325
RS14-2334
RS14-2346
RS14-2319
スキャナー電源⑦
スキャナー電源④
スキャナー電源⑤
オフセット電源
DCオフセット電源
HV電源
HV電源増幅器
引出電源
TR-898
TR-898
TR-898
UL152G1255
UL152G1255
UL180P5G1255
UL180P5GI222
UL3517G1254
TREK
TREK
TREK
グラスマン
グラスマン
グラスマン
高砂
グラスマン
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
IPZ-500１用部品　付属電源ケーブルのみ
RS14-1217
RS14-1190
23　-
5990053
5990018
IPZ-5001用部品
本体のみ。
IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブルのみ
IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品　本体のみ
IPZ-5001用部品
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
RS14-2321
アナライザーマグネット電源
UX035-60
RS04-8016
SOURCE　MAGNET　P/S
ｻﾌﾟﾚｯｼｮﾝﾊﾞｲｱｽ電源
ﾌﾟﾘｱﾝﾌﾟ
IDZ-8000用
RS04-8071
RS04-8057
RS14-2349
RS04-8086
RS04-8082
RS04-8090
RS04-8085
BEAM　CONT　INTERFACE　UNIT
HVﾃﾞﾊﾞｲﾀﾞｰ
SOURCE　MAGNETP/S
SWING　MOTOR　DRIVER
ｺｯｸﾛﾌﾄ
無し
不明
無し
メーカー
2016年3月20日現在　製造年
製造番号
2000
高砂
ULVAC
ULVAC
52611
29
アルバック
ULVAC
BM0301
無し
不明
20Z30043
880258
ULVAC
RS04-8094
ﾎﾟﾝﾋﾟﾝｸﾞﾁｭｰﾌﾞ
無し
無し
RS04-8095
加速管
無し
無し
備考
IPZ-5001用部品
IDZ-8000用　動作未確認
2000
IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ
<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1506
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ　8510 Compressor
8510
CTI
67A9608665
RS09-1509
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
0020-20676
AMAT
RS09-1510
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
0020-20676
AMAT
RS09-1554
Hose Push-Lok5/8250PSI
Hose Push-Lok 5/8　300PSI
SPLTR BOX　HELIX
AIﾀｰｹﾞｯﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ
-
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1518
RS09-1562
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　ALﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　Ti　ﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾌﾟﾘｸﾘｰﾝTMP取付配管
-
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1558
RS09-1561
RS09-1557
RS09-1512
真空配管類
水冷ｺﾈｸﾀｰ、水冷ﾊﾟｰﾂ
中古ﾎｰｽ
STD Lifter
0010-20300
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1551
PVD HP LIFT
0010-70441
AMAT
RS09-1507
Nallow Load/Lock　LLA
0010-75004
AMAT
T-21495-63-3571
RS09-1508
Nallow Load/Lock　LLB
0010-75005
AMAT
T-21495-64-3571
RS09-1534
RS09-1539
MAGNET
0020-20221
AMAT
SPACER INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
0020-20521
0020-20521
0020-20522
AMAT
AMAT
AMAT
WSHR INSULATOR LIFTER
Shield 8"
0020-20522
0020-21665
AMAT
AMAT
0020-21665
0020-23278
011222-103
AMAT
AMAT
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21011
AMAT
RS09-1523
Shield 8"
Shield Upper
ｲｵﾝﾎﾞｰﾄﾞ
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ
（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ
（MONITOR)
SYS.CONT. BULKHEAD CABLE
ION GAUGE　CABLE
0150-21234
0190-21305
AMAT
AMAT
RS09-1524
ION GAUGE　CABLE
0190-21305
AMAT
RS09-1525
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
0190-21305
0190-21305
AMAT
AMAT
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD 200PSI
SYNTH
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
0620-01201
0620-01201
0620-01201
AMAT
AMAT
AMAT
3400-01073
AMAT
3870-02524
3870-02524
AMAT
AMAT
VAT 弁体+O/H Kit
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置ﾁｬﾝﾊﾞｰ
3870-02524
ENDURA5500ﾁｬﾝﾊﾞ
AMAT
AMJ
MFC N2200sccm　STEC
MFC AR100sccm
MFC AR100sccm
SEC4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
RS09-1555
RS09-1540
RS09-1559
RS09-1560
RS09-1517
RS09-1538
RS09-1536
RS09-1537
RS09-1514
RS09-1515
RS09-1516
RS09-1262
RS09-1520
RS09-1521
RS09-1526
RS09-1529
RS09-1527
RS09-1528
RS09-1530
RS09-1552
RS09-1547
RS09-1548
RS09-1549
RS09-1390
RS09-1541
RS09-1545
RS09-1546
製造年
P/N:0020-20676
P/N:0020-20676
3400-01074
P/N:3400-01074
約11ｍ
P/N:8135240G001
※中古
※中古
※使用済み
※使用済み
T-3295-17-3425
2個一式　※改造に最適
HORIBA　STEC
HORIBA STEC
HORIBA　STEC
M/N:2365831
M/N:3471316094
M/N:3461442376
RS12-2091
Endura　ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX他ﾊﾟｰﾂ一式
RS09-1602
A101Heater
0010-21246
AMAT
RS09-1599
ASSY,101WAFER LIFT
0010-70271
AMAT
RS09-1594
CONTROLLER I/O
RS09-1549
VAT 弁体+O/H Kit
3870-02524
AMAT
RS09-1588
WAF LIFTｼﾘﾝﾀﾞｰ（ｾﾝｻｰ付）
SMC
NCDQ2B63-20D
RS09-1584
SMOKE/WATER LEAK　DETECT
0130-20177
AMAT
0100－20177REV B
RS09-1218
ｵﾘｴﾝﾀｰﾁｬﾝﾊﾞｰ
-
AMAT
RS09-1255
APS-A-0556-07
AMAT
0040-20257
AMAT
RS09-1531
ｺﾝﾀｰｸﾀｲﾝﾀｰﾛｯｸ
ASSY LIFT HOOP 8" WIDE BODY
CHAMBER
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝｼｭﾚｰﾀｰ
-
AMAT
RS09-1585
RS09-1586
ELECT ASSY LIFT MOTOR
ELECT ASSY LIFT MOTOR
0090-20120
AMAT
AMAT
RS09-1535
AMAT
AMAT
24　備考
完全予備保全ﾊﾟｰﾂとして保管されていたものであり概観良好。
0130-35100　REV
P1
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>
中古品番号
品名
型式
RS09-1067
4,5,6,”ROBOT
-
RS09-1080
ﾃﾞｨｽｸﾄﾞﾗｲﾌﾞとﾎﾞｰﾄﾞ
-
RS09-1087
RS09-1089
RS09-1090
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ用ﾌｧﾝ
ﾌﾟﾛｾｽｷｯﾄ（CVD）
REDUCER BOX
-
AMAT
HEWLETT
PACKARD
CAPACITOR
AMAT
AMAT
RS09-1110
RS09-1135
RS09-1141
ﾎﾞｰﾄﾞ
FAN
-
AMAT
AMAT
RS09-1186
RS09-1195
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗLL室ｽﾃｰｼﾞ
ｶｾｯﾄ
-
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1196
RS09-1197
Cable
ﾌﾞﾚｰｶｰ
-
AMAT
AMAT
RS09-1198
ﾌﾞﾚｰｶｰ
-
AMAT
RS09-1200
ｽﾘｯﾄASSY
-
AMAT
RS09-1201
信号Cable
-
AMAT
RS09-1202
RS09-1203
RS09-1204
ｴｱｵﾍﾟ
STD　Body
-
ﾌｼﾞｷﾝ
AMAT
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｶｾｯﾄ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾘｯﾄﾞ
LLｶﾊﾞｰ
SBC
-
VAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾊﾞｯﾌｧｰｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
-
AMAT
AMAT
AMAT
O/D Body
O/D Body
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
STD ﾋﾝｼﾞ
-
AMAT
AMAT
VAT
AMAT
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
Cntura ｲﾝﾀｰｺﾈｸﾄ
Cnturaﾊﾞｯﾌｧｰﾘｯﾄﾞ
-
VAT
AMAT
AMAT
ﾌﾞﾚｰｶｰ他 1式
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
PCB　ASSY　SBC　I/O　BREAKOUT
ﾓﾆﾀｰﾍﾞｰｽ
PCB　ASSEMBLY　ENCODER
INTERFACE
DC POWER SUPLY
電源
O/D Lid
0010-09019
0010-09071
0010-09103
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0010-09137
0010-09181
0010-20000
0010-20278
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”　Ａｌ
PC1　MATCH　ASSY
ｽﾘｯﾄAssy
0010-20328
0010-20441
0010-20664
AMAT
AMAT
AMAT
200V　DEGAS　DRIVER
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
0010-20697
0010-20764
AMAT
AMAT
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
0010-20764
0010-20764
AMAT
AMAT
27894-02
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
0010-20764
AMAT
08196-02
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
200V PVD DRIVER
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”JMW-1
ASSY STORAGE ELEV WAFER
CASSETTE HNDLR
DI/Oボード
ﾓﾆﾀｰ制御BOX（2個口）
HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIVE
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
BASE,DOUBLE　SEALING　RING　LAMP
MODULE
BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP
MODULE
ｽﾘｯﾄAssy
SHILD AL/TI 8INCH WAFER
ｵﾘｴﾝﾀｰﾊﾟｰﾂ
0010-20764
0010-20764
0010-21206
AMAT
AMAT
AMAT
11696-17
08796-01
0010-76001
AMAT
73
0010-76124
0010-76244
0015-09077
AMAT
AMAT
AMAT
22295-03
0015-09091
AMAT
0015-09091
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-20587
0020-21665
0020-23591-B CDSC
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1099
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
0040-06421
0040-06421
AMAT
AMAT
RS09-1100
RS09-1600
RS09-1115
RS09-1046
ﾋｰﾀｰ
WELDMENT,8"FOOP PVD W/B
CHAMBER
ﾎﾞｰﾄﾞ
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
0040-06421
0040-76308
0090-76110
0100-00003
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
RS09-1047
VME　STPPER　CONTROLLERⅠ
0100-00003
AMAT
SNOKY06
RS09-1057
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE
MONITOR
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE
MONITOR
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00008
0100-00008
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ZYOCAR8
RS09-1210
RS09-1219
RS09-1222
RS09-1259
RS09-1265
RS09-1271
RS09-1272
RS09-1275
RS09-1276
RS09-1278
RS09-1281
RS09-1283
RS09-1284
RS09-1286
RS09-1556
RS09-1326
RS09-1078
RS09-1092
RS09-1079
RS09-1088
RS09-1104
RS09-1273
RS09-1044
RS09-1039
RS09-1287
RS09-1041
RS09-1030
RS09-1031
RS09-1033
RS09-1034
RS09-1035
RS09-1091
RS09-1043
RS09-1082
RS09-1252
RS09-1221
RS09-1075
RS09-1083
RS09-1084
RS09-1066
RS09-1086
RS09-1282
RS09-1601
RS09-1587
RS09-1098
RS09-1058
RS09-1116
RS09-1117
RS09-1118
RS09-1119
RS09-1059
RS09-1060
メーカー
25　製造年
製造番号
備考
※2式
T-11696-38-2560
2個一式
55149
F10-8753310112
2個一式
F10-8753310112
Blaker,MC 一式　Gen-Rack, ,Gen-Psの台　ﾌﾞﾗｹｯﾄ
0221304
SN BUK4
381
798
T-12196-29-2560
4304
-
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
RS09-1131
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-00008
AMAT
RS09-1132
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-00008
0100-00011
0100-00011
AMAT
AMAT
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
SBC　BOARD
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-00011
0100-00014
0100-00014
0100-09002
0100-09006
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB　ASSY　AI　MUX
0100-09009
0100-09011
AMAT
AMAT
RS09-1133
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-09011
0100-09029
AMAT
AMAT
RS09-1134
RS09-1108
RS09-1073
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾛﾎﾞｯﾄ
SUSCEPTOR　LIFT
0100-09058
0100-09139
0100-09340
AMAT
AMAT
AMAT
311
RS09-1077
RS09-1074
RS09-1076
SUSCEPTOR　LIFT
WAFER　LIFT
0100-09340
0100-09341
AMAT
AMAT
20295-05
625
WAFER　LIFT
ASSY　RF　MATCH,ETCH
RF MATCH PHASE IV
0100-09341
0100-09416
0100-09416
AMAT
AMAT
AMAT
E2-010-09A
26295-01A
RF MATCH PHASE IV
CVD　RF-MATCH
0100-09416
0100-09750
AMAT
AMAT
E01-207-03A
11895-03
PCB　ASSY,ANALOG　INPUT
ANALOG　OUTPUT　BOARD
ANALOG　OUTPUT　BOARD
0100-11000
0100-11001
0100-11001
AMAT
AMAT
AMAT
SNOQA09
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
0100-11001
0100-11002
AMAT
AMAT
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
0100-11002
0100-11002
0100-11002
AMAT
AMAT
AMAT
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
0100-11002
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-11002
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-11002
0100-11002
0100-11002
AMAT
AMAT
AMAT
ﾎﾞｰﾄﾞ
DI/Oボード
0100-11002
0100-20003
AMAT
AMAT
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20003
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
AI/Oボード
0100-20040
0100-20040
0100-20040
0100-20100
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
ﾎﾞｰﾄﾞ
0100-20100
0100-20100
0100-20100
0100-20173
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
CHOPPER　DRIVER
Slit　Valve　ASSY
Slit　Ｖａｌｖｅ　Assy
DI/Oボード
0100-51017
0100-70089
0100-70089
0100-76124
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
DI/Oボード
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
0100-76124
011222-103
AMAT
AMAT
011222-103
0120-20162
AMAT
AMAT
0150-20186
AMAT
0150-20186
AMAT
RS09-1094
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｽﾃｯﾊﾟｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾎﾞｰﾄﾞ
Cable Assy Source Water Manifold
Ground　ｱｰｽ線
Cable Assy Source Water Manifold
Ground　ｱｰｽ線
WMAGNET DRIVE ASSY
RF　POWER　SOURCE
PC-I
PRCOIｼﾞｪﾈﾚｰﾀｰ
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ
RS09-1167
IG　CONT
RS09-1220
Dry　Pump
ATP100
0190-70060
0190-70079
0220-21472
0920-01005
10A0207
127AA-00001E
344VACUUM　GAUGE
CONTROLLER
A30W
ATP100C
RS09-1178
RS09-1236
RS09-1237
RS09-1239
RS09-1240
RS09-1106
DRVER　BOX
INTERFACEボード
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
FAN　PAC
CH1,CH2のみDRVERあり
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
D299-857
RS09-1164
DCPS
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
POWER STANDARD
ELECTRONICS INC
RS09-1165
DCPS
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
POWER STANDARD
ELECTRONICS INC
61006244
RS09-1268
POWER STANDARD ELECTRONICS INC DC24、DC12、DC15,DC5V電源
AMAT
61433023
RS09-1109
RS09-1111
RS09-1112
RS09-1129
RS09-1130
RS09-1101
RS09-1120
RS09-1126
RS09-1061
RS09-1128
RS09-1070
RS09-1102
RS09-1103
RS09-1072
RS09-1055
RS09-1048
RS09-1049
RS09-1113
RS09-1050
RS09-1051
RS09-1052
RS09-1053
RS09-1054
RS09-1121
RS09-1122
RS09-1123
RS09-1124
RS09-1125
RS09-1225
RS09-1227
RS09-1230
RS09-1231
RS09-1261
RS09-1228
RS09-1247
RS09-1248
RS09-1249
RS09-1250
RS09-1251
RS09-1253
RS09-1257
RS09-1114
RS09-1065
RS09-1068
RS09-1069
RS09-1224
RS09-1229
RS09-1263
RS09-1264
RS09-1226
RS09-1542
RS09-1543
RS09-1085
RS09-1040
RS09-1217
RS09-1105
RS09-1081
RS09-1095
RS09-1166
メーカー
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
IPT
MSK
GRANVILLE
PHILLIPS
EBARA
adixen
製造年
製造番号
備考
6M0ABA0
SN0AZN8
125-92-96-01-R
125-92-96-03-R
4189R
2762
1-18994-95-3277
102
29305
78760-130
1990
ﾕﾆｯﾄNo.:C#50375
ATP508535
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
26　2016年3月20日現在　P/N:0010-20701
P/N:0010-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0190-76198
Centre用
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2016年3月20日現在　中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-8053
DC電源
DCL1000-MC
ULVAC
000011
2001
RS09-1171
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DIGITAL　I/O　BOARD
DIGITAL　I/O　BOARD
DIGITAL　I/O　BOARD
AMAT
AMAT
AMAT
DI/Oボード
IG CONT
CRTﾓﾆﾀｰ
INTERLOCKボード
ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄBD
DIGITAL　I/O　BOARD
EM-FIG1
FMV-DP846
INTERLOCK　SELECT　BD
INTERLOCK　SELECT　BD
AMAT
EME
AMAT
AMAT
ISOLボード
ISOLボード
ISOLATION　AMPLIFTER BD
ISOLATION　AMPLIFTER BD
AMAT
AMAT
P/N:0010-20012
ISOLATION　AMPLIFTER BD
K-380-02
AMAT
ULVAC
P/N:0100-20012
RS09-1473
ｱｲｿﾚｰｼｮﾝｱﾝﾌﾟ
DIO
RS09-1062
RS09-1063
RS09-1064
LAMBDA　LIS-3I-12
LAMBDA　LIS-7Ｉ-15
LAMBDA　LIS-7I-15
LIS-32-12
LIS-72-15
LIS-72-15
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
RS09-1127
RS09-1136
RS09-1185
LAMBDA　LIS　7I-15
LAMBDA　LIS-7I-15
LIS-7I-15
LIS-7I-15
LAMBDA
LAMBDA
INTERLOCKボード
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｲﾝﾀｰﾛｯｸ
INTERLOCKボード
LOADLOCK　INTERLOCKS
LOADLOCK　INTERLOCKS
MAINFRAME　INTERLOCK
DC電源
DC電源
MDX-L6
MDX-L6（0190-76006）
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾁｬﾝﾊﾞｰ
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
RS09-1172
RS09-1173
RS09-1174
RS14-2314
RS09-1211
RS09-1177
RS09-1233
RS09-1175
RS09-1181
RS09-1232
RS09-1238
RS09-1179
RS09-1036
RS09-1269
RS09-1192
RS09-1025
RS09-1026
RS09-1027
RS09-1151
RS09-1176
RS09-1234
RS09-1235
RS09-1267
RS09-1096
RS09-1138
RS09-1139
RS09-1137
RS09-1143
RS09-1144
RS09-1188
RS09-1242
RS09-1243
RS09-1241
RS09-1482
RS09-1485
RS09-1093
RS09-1145
RS09-1146
RS09-1142
RS09-1206
RS09-1213
備考
P/N:0010-20003
P/N:0010-20003
P/N:0010-76124
P/N:0010-20003
7Z83552
2000
1997
IPZ-5001用部品
P/N:CA01134-B371 AC100V、50/60Hz、75W、　12.5Kg
P/N:0010-20037
P/N:0100-20037
P/N:0100-35049、0100-20012、0130-35065
AMAT
AMAT
AMAT
2個一式　P/N:0130-35058、0100-20063
P/N:0100-35058
P/N:0010-20053
AE
AE
36523
70451
O/D
OEM-12A-21041-51
OEM-12A-21041-51
AMAT
ENI
ENI
2028
2649
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
ALｴｯﾁｬｰ
OEM-12A-21041-51
P-5000
ENI
AMAT
RELAYボード
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
RELAY　CONTROL　BD
RELAY　CONTROL　BD
RELAY　CONTROL　BD
AMAT
AMAT
AMAT
15V　PWR　SUPPLY（CEN/END)
REV.E
AMAT
09398-03
ﾓﾆﾀｰ
SD5904C
AMAT
908736068
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-400MK3-UL
SEC-400MK3-UL
SEC-4400M
STEC
STEC
STEC
2577231
2577230
261501822
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
SEC-F730MA1
SEC-F730MA1
STEC
STEC
292102081
252508127
PVD Lid
ｼｽﾃﾑﾘｾｯﾄ/ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ
ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ
TC GAUGEボード
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
STD Lid
SYS　RESET/INTLK　SEL　BD
0100-35065
TC GAUGE BD
UDK5114VN
AMAT
AMAT
AMAT
ULVAC
TON02919
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UDK5114VN
UDX5114N
UR-7340MO-UC
UR-7340MO-UC
ULVAC
AMAT
STEC
STEC
TON02918
63168
3103050100
2540681
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｽﾃｰｼﾞｴﾚﾍﾞｰﾀｰASSY
UR-7340MO-UC
wide
Wideｲﾝﾃﾞｸｻｰ
STEC
AMAT
AMAT
3103050102
2716
※部品
P/N:0100-20038
P/N:0100-20038
0010-40073
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>
中古品番号
品名
型式
メーカー
製造番号
RS09-1317
3連ﾌｧﾝ
UES17H115S29
AMAT
9623624077
RS09-1362
RS09-1339
RS09-1340
手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
SS-BNVS1-AB
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
NUPRO
STEC
STEC
STEC
251400220
251400215
251400227
TYPE　No:000448
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
SEC-4400M
SEC-4400M
STEC
STEC
251400237
251400236
TYPE　No:000399
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
VACUUM VALVE
ﾎｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｵｰﾌﾞﾝﾕﾆｯﾄ
ｴｱｵﾍﾟﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
SEC-400MK3
SCV
IVBH-0004
IFGG7005M-C
FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
DBM-P21（DBM-K4PC)
AISIN
7ID009
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ELECTROSTATIC CHUCK COVER
ｾﾗﾐｯｸｶﾊﾞｰﾘﾝｸﾞ
ﾄｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ
電磁弁
電磁弁
DBM-P21（DBM-K4PC)
AMAT部品
AMAT部品
AMAT部品
AB31-2N-2-04A
AB31-2N-2-04A
AISIN
AMAT
AMAT
AMAT
OKD
OKD
2KB023
COAXIAL RESISTOR
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1
GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR FEM
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN
PACKAGE
CNTNR DEIONIZER TANK SST W/RESIN
PACKAGE
8860
3870-01455
3870-01455
3870-01245
3310-01074
TERMALINE
NC
NC
ｽｴｼﾞﾛｯｸ
VARIAN
3250-01007
AMAT
3250-01007
AMAT
RS09-1341
RS09-1342
RS09-1343
RS13-2002
RS09-1320
RS09-1313
RS09-1375
RS09-1361
RS09-1367
RS09-1368
RS09-1334
RS09-1335
RS09-1386
RS09-1387
RS09-1385
RS09-1363
RS09-1364
RS09-1376
RS09-1365
RS09-1366
RS09-1360
RS09-1389
RS09-1330
RS09-1331
STEC
BENKANUCT
BENKANUCT
大日本ｽｸﾘｰﾝ
ﾌｼﾞｷﾝ
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰｼｮﾝ
27　製造年
備考
TYPE　No:000175
TYPE　No:000448
TYPE　No:000399
Ar　50SCCM、ｹｰﾌﾞﾙ付
C51206
125362
122606
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
品名
型式
RS09-1333
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
3155094-003A
RS09-1332
ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
ﾏｽﾌﾛ
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
RS09-1338
RS09-1344
RS09-1345
RS09-1323
RS09-1314
RS09-1381
RS09-1350
RS09-1315
RS09-1316
RS09-1359
RS09-1346
RS09-1347
RS09-1354
RS09-1355
RS09-1356
RS09-1324
RS09-1328
RS09-1371
RS09-1369
RS09-1321
RS09-1322
RS09-1357
RS09-1358
RS09-1377
RS09-1380
RS09-1378
RS09-1379
RS09-1388
RS09-1352
RS09-1351
RS09-1348
RS09-1382
RS09-1383
RS09-1384
RS09-1374
RS09-1312
RS09-1327
RS09-1329
RS09-1353
メーカー
製造番号
AE
701426
3155077-003A
1159B-00020RU-S
0600-01011
AE
MKS
AMAT
108027
000026334
FAN, MUFFIN 4"115CGFM
PROM KIT ASSY
KIT, 6" MAINTENANCE ESC
PLATE, COVER, 6" HEATER, ALUMINUM
NITRID
WINDOW, SIDE, UV COATED, SAPPHIRE,
DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
3103,THERMOCOUPLE,DXZ
0600-01011
0300-09055
0240-32135
AMAT
AMAT
AMAT
0200-36629
AMAT
0200-09969
AMAT
0190-35413
0190-35413
AMAT
AMAT
ｽﾛｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
0190-09663
AMAT
GATE 5000 ZA SLITVALV
0190-09533
AMAT
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
GATE 5000 ZA SLITVALV
ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICS
AC PWRCHO
CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX 34
POS
HARNESS ASSY,MOLDED POWER CORD
VGA VIDEO CONTROLLER BOAD
SERIAL SIDE BOAD ASSY
0190-09533
0190-09533
0190-09533
AMAT
AMAT
AMAT
0150-75202
AMAT
0150-70018
AMAT
0140-09551
0100-00793
0100-00165
AMAT
AMAT
AMAT
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
0100-00084
0100-00084
AMAT
AMAT
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS 0090-02980
MOTOR BRAKE ENCODER ASSY, CASS 0090-02980
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
00410117E326119423
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
00410117E038119423
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
004101117E284119423
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD
00310117E038119423
0021-00042
AMAT
AMAT
CLAMP, ACME LEAD SCREW
0020-34727
AMAT
CAP, BEARING, DXZ
BASE,RF
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM GAS DISTRIBUTION HEWEB,
PLATE,
150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
150MM
ASSEMBLY BEARING
ASSY RF MATCH BW ETCHBACK
0020-34726
0020-34131
AMAT
AMAT
0020-30570
0020-30570
0020-30570
0010-30583
0010-09490
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ
PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR AMP
0010-09019
0010-05256
0010-00084
AMAT
AMAT
AMAT
28　2016年3月20日現在　製造年
備考
WO-35820/1
181067-1338-0166
181067-1338-0168
B358
O713601
22394-09A
0899
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