Superior Reliability & Performance
高効率、高出力エキシマレーザ
COMPex Pro シリーズ
COMPexPro
仕　様
最大パルスエネルギー
mJ
注1)
Hz
最大繰返周波数
最大平均出力　注2)
パルス間エネルギー安定性　(1σ)
Ｗ
注1)
ビームサイズ(VxH、FWHM)（典型） 注2)
ビーム拡がり角(VxH、FWHM)（典型）
注2)
パルス幅　(FWHM)（典型）
本体寸法
(LxWxH)
本体重量
波長
(nm)
50
193
100
200
400
248
150
400
700
308
-
250
500
351
-
200
300
All
50
110
20
201
205
100
10
50
193
4
12
4
15
248
7
30
7
30
308
-
5
16
4
20
351
-
4
12
3
15
%
All
1
mm
All
14 x 5
24 x 10
mrad
All
2x1
3x1
ns
All
20
25
mm
All
1282 x 375 x 793
1682 x 375 x 793
kg
All
270
325
50
ユーティリティ
102
110
201
205
お問い合わせください
レーザガス
電源
102
単相 230V、16A、
50/60 Hz
注1)
冷却（水冷）
ℓ/分
排気
3
m /分
単相 115V、25A、
50/60 Hz
2~3　（T=15~20℃）
200
注1) @10 Hzで測定。変圧器に関してはお問い合わせください。
注2) 最大繰返周波数値で測定。
*本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。
コヒレント･ジャパン株式会社