●サンヨー･プロダクト･トピックス● 高密度化するハードディスク基板の製造工程に対応して活躍するハードディスク基板製造工程用洗浄剤『ケミクリーン PR』シリーズハードディスクドライブデータサーバーハードディスク︵ＨＤ︶基板は、ハードディスクドライブ︵ＨＤＤ︶内で高速回転させてデータの読み書きを行います。最初は主にパソコンのデータ記録媒体として使われてきましたが、記憶容量の大容量化や書き込み速度の高速化、ＨＤＤ自体の小型化が進んだことで、さまざまな用途で使われるようになりました。例えばＨＤＤレコーダー、録画機能付きテレビ、各種の携帯情報端末、そして今後拡大が予想されるクラウドコンピューティング用サーバーに使用されるなど、使用範囲は大きく広がっています。ハードディスク基板の製造工程ＨＤ基板は磁性材を成膜した円盤で、その磁性層に磁力を使って情報を書き込みます。ＨＤ基板にはガラス製と表面をニッケルリンでめっきしたアルミニウム製の二種類があり、その製造工程には、基板を研磨して鏡面状の平坦な基板に仕上げるサブストレート工程と、平坦化した基板に磁性層を形成するメディア工程があります。サブストレート工程は大きく分けて、粗い研磨材と細かい研磨材を使用する二段階の研磨処理過程があり、それぞれの研磨処理後には研磨材や研削くずなど、パーティクルと総称される微細なごみを除去する洗浄処理が行われます。次のメディア工程で、再度洗浄を 21 2013 春 No.477 ■ハードディスク基板の製造工程〈サブストレート工程〉基板超音波洗浄機行ったあと、表面に磁性膜を蒸着し潤滑膜などを形成させて製品化します。このように、何回にもわたって行われるパーティクルの除去処理では、その洗浄精度が製品品質を左右します。さらに最近では、ＨＤＤの小型化、高機能化によりＨＤ基板の製造工程も高精度化が進み、従来のパーティクルよりも微細なパーティクルを除去できる洗浄剤が求められています。﹃ケミクリーンＰＲ﹄シリーズ今回紹介する三洋化成のＨＤ基板製造工程用洗浄剤﹃ケミクリーンＰＲ﹄シリーズは、三洋化成が得意とする界面活性剤の合成技術を駆使して独自に開発したクリーン度の高い水系洗浄剤で、クリーン化した設備で製造しています。﹃ケミクリーンＰＲ﹄シリーズは、パーティクルの除去性能が高いことに加え、パーティクルの再付着防止性能も優れるため、高い洗浄力を発揮します。さらにはＨＤ基板上に洗浄剤成分が残留しにくいなどの特長もあります。きめ細かなニーズへの対応近年、ＨＤ基板やＨＤＤの生産拠点はタイ、シンガポール、マレーシアなどの東南アジア地区に集中しています。これに対応して三洋三洋化成ニュース 22 ハードディスク基板バーニッシュ潤滑膜形成スパッタリング洗浄スラリースラリー梱包洗浄精密研磨洗浄粗研磨基板 (ガラスまたはアルミ) ケミクリーンPR ケミクリーンPR ▲ 〈メディア工程〉スポンジハードディスク基板 ▲ ■研磨処理後のハードディスク基板と当社洗浄剤の洗浄メカニズム（模式図） ②浸透･剥離 ③乳化･分散･再付着防止 ④すすぎ後基板 ①洗浄前洗浄性に優れるケミクリーン PR‐029 アルミナ、シリカ等の研磨材と研磨くずのアルミ基板ケミクリーン PR‐025 の洗浄性に優れるケミクリーン PR‐403F 酸化セリウム、シリカ等の研磨材と研磨くずガラス基板ケミクリーン PR‐403 特長用途品名ケミクリーンPR 薬剤(油分) 研磨くず研磨材乳化･分散させ基板への再付着を防ぐ基板と汚れの隙間に入り込み汚れを引き剥がすきれいになった基板 ■当社の代表的な『ケミクリーンPR』シリーズサンヨーカセイ（タイランド）リミテッドの製造設備化成は、タイの関係会社サンヨーカセイ︵タイランド︶リミテッドに日本と同じクラス１０００レベルのクリーン設備を導入し、クリーン度の高い洗浄剤から汎用タイプの洗浄剤まで幅広く、多種多様な製品を提供する体制を整えました。またＨＤ基板の製造工程はそれぞれのメーカーごとに、各メーカーの事業所や製造ラインによっても微妙に異なるため、それらにカスタマイズした最適な洗浄剤を提供する必要があります。このため、サンヨーカセイ︵タイランド︶リミテッドには、洗浄剤の本格生産設備以外に、試作用の生産設備や各種分析・試験装置、評価機器を充実させたテクニカルサービスラボを設置しました。これにより、現地ＨＤ関連メーカーへのきめ細かい技術サービスが可能となり、最適な洗浄剤を提供できるだけでなく、現地での技術的課題も速やかに解決できるようにしています。三洋化成は、パーティクル除去用洗浄剤の高性能化はもちろん、その洗浄剤の最適な使用方法まで提案を行い、今後もユーザーのニーズに迅速に応えていきます。さらに、長年培ってきた界面活性剤の合成技術を生かし、ＨＤ基板だけでなく、各種精密・電子関連製品の製造工程で使用する高機能、高品質な洗浄剤や薬剤の開発に注力していきます。 23 2013 春 No.477