簡易検査用センサシリーズ 接触式変位センサ／傾斜センサ／振動センサ 接触式変位センサ 傾斜センサ 振動センサ 接触式で変位を測定 角度を検出 2タイプ5種類のセンサで 幅広い測定環境に対応 傾斜角度をリニア出力 傾斜センサ（リニア出力タイプ） D5R 接触式変位センサ（高精度タイプ） 形 D5SN 形 ● ±60°の広い測定角度 ●リニアリティ1％の高精度を実現。 ● IP67の高い防水防塵性。 ●ローコストで省スペース ● 分解能0.1μm、直線性0.3％F.S.以下（形D5SN-S01）の 高精度です。 ● 堅牢なつくりは、横荷重5Nに耐え取り扱いも安心。高い 耐久性が求められる厳しい測定環境にも対応します （形D5SN-M） 。 商品をもっと知りたい→P.8 悪環境下でもインライン測定可能な 接触式リニアセンサ 商品をもっと知りたい→P.24 傾斜が所定角度に達すると スイッチング出力 接触式変位センサ（堅牢タイプ） D5M 形 傾斜センサ（ON/OFFタイプ） ● IP67（IEC規格）の保護構造を実現（センサ部） ● 4∼20mAの電流リニア出力が可能 ● アンプ部でオフセット調整が容易にできます。 D5R 形 商品をもっと知りたい→P.15 ● 防水性・耐久性にすぐれたシール構造（IP67） 。 ● 2Aの大容量までの開閉が可能。 ● 使いやすく場所をとらないコンパクトタイプ。 低作動力で様々な測定物を インライン計測が可能 商品をもっと知りたい→P.26 接触式変位センサ（一体型タイプ） D5V 形 APPLICATION ● 低動作力でガラス、プラスチック、ゴムなどの測定物 に対応 ● ストローク0∼5mmに対し4∼20mAのリニア出力とデ ジタル出力の2種類の品揃え アプリケーション 商品をもっと知りたい→P.18 様々なアプリケーションで 活躍します。 APPLICATION アプリケーション 特殊車輛の張出の水平出し ダンプカーの角度検知 電動ベッド 高所作業車などの張出しの水平制御 ダンプの荷台の傾斜角度による高さ 位置決め 良く使う角度の記憶、呼び出し 様々なアプリケーションで 活躍します。 精密機械の組み立てライン 業務民生機械の組み立て調整 電子部品寸法測定 Buu 板圧測定 22 平面測定 2枚差し検出 パワーショベル ゴルフカート 運搬車の荷台水平制御 セキュリティ パワーショベルのアームポジション 検出 転倒の危険を警報出力 坂道でも荷台を水平にして、積荷の 荷崩れ防止 傾きによる盗難防止 33 振動の変化を判定する D7F 振動センサ 形 設備、機械の振動をリニア出力 5つの波形処理モードで 確度の高い異状判定が可能 リニア出力タイプ マニュアル設定タイプ DCリニア出力 振動（加速度、速度）の大きさに応じた電 いままでの振動センサは、外乱の影響によ 流出力をします。デジタルパネルメータな り誤判定を起こすことがありました。形 どに接続し、数値表示や傾向監視が可能で D7Fは、5つの処理モードにより。連続振 す。振動は加速度または速度の切り替えが 動検出と単発振動検出に分けて処理するこ 可能です。 とで、誤判定を少なくし、確度の高い異状 波形 判定を実現しました。 実効値 数値に変換 形D7F-C01 形D7F-C03 デジタル表示 形D7F-S01-05 商品をもっと知りたい→P.28 形D7F-S03-05 商品をもっと知りたい→P.31 ■共通特長 ON/OFF出力 10段階のレベルメータ ACモニタ出力 センサの保護 センサの異常検出 設定しきい値より大きい振動になると、出 設定しきい値より大きい振動になると、出 モニタ出力端子にオシロスコープを接続 ハウジングとGNDラインを絶縁処理した センサ未接続、センサ誤配線、センサケー 力がONします。コントローラ単体で制御 力がONします。コントローラ単体で制御 し、簡易的に生波形の観察や確認ができ 構造のため、まわり込み電流でセンサが破 ブルの断線時に、アラーム表示します。 も可能です。 も可能です。 ます。 壊されることがありません。 また、水滴のかかる所でも使用できます。 （形D7F-C03の場合） APPLICATION アプリケーション 様々なアプリケーションで 活躍します。 4 排気ファンの保全 循環ポンプの保全 ウエハの洗浄/乾燥工程での異状検知 走行ロボットの状態監視 混合機における混練物の性状確認 遠心分離器の振れまわり検出 走行ロボットの状態監視 塗料付着などで排気ファンのバラン スが崩れ、異状振動が発生。ファン 機能が低下する前にメンテナンスの 準備が可能です。 異物混入などによる循環ポンプの異 状が発生。ポンプが破損し液漏れす る前にポンプの停止、メンテナンス が可能です。 シリコンウエハの洗浄/乾燥工程でス ピンドライヤなどの回転アンバラン スをチェックします。ワレが生じる 前に回転異状を検知します。 振動値をモニタし、走行ロボットの がたつきを常時監視。がたつきの幅 が増大することによる作業の位置ズ レを防止します。 混合機の胴体・鋼板の振動変化を検 出して、練りが完了したか確認しま す。 遠心分離器の振動を連続的にモニタ し、異常な振れまわりを検知します。 振動値をモニタし、走行ロボットの がたつきを常時監視。がたつきの幅 が増大することによる作業の位置ズ レを防止します。 5 接触式変位センサ一覧 小型・軽量・高精度タイプ センサ／アンプの互換性 特長 形D5SN-S01 センサ 形D5SN-S04 堅牢・高精度タイプ センサ／アンプの互換性 形D5SN-S04-Ｌ 形D5SN-M05 形式 形D5SN-M10 セット形式 形D5M-5□ 形D5SN-A01 アンプ φ6mm センサ外径 アンプセンサ一体型タイプ 低動作力 判定機能、通信機能付き(D5VM) 堅牢タイプ セット形式 形D5M-10□ 形D5VA 形D5VM ― φ18mm φ18mm 測定範囲 1mm 4mm 5mm 10mm 5mm 10mm 5mm 可動範囲 約1.5mm 約5mm 約6mm 約12mm 約6mm 約12mm 約5.7mm 0.5μm 1μm 2.5μm 5μm 分解能 0.1μm 0.4μm 直線性 0.3%F.S.以下 0.5%F.S.以下 0.5μm以下 1.6μm以下 繰り返し性 約0.7N 測定力 10μm以下 約0.25Ｎ 10μm以下 20μm以下 機械的寿命 IP67 保護構造 IP54 標準価格 （￥） センサ 98,000 + アンプ 46,000 最大0.3Ｎ 1,000万回以上 IP67 IP40 DC24V(21.6∼26.4Ｖ) DC12∼24V （10.8∼26.4V） 電圧(-5∼+5V)、 電流(4∼20mA) 出力形態 電流(4∼20mA) 電流(4∼20mA) 80,000∼89,000 センサ 72,000 + アンプ 46,000 P8 掲載ページ 10μm以下 20μm以下 1,000万回以上 IP67 DC12∼24V （10.8∼26.4V） 電源電圧 0.5%F.S.以下 最大5.88Ｎ 最大5N 1,000万回以上 1μm 10μm 0.5%F.S.以下 0.5%F.S.以下 形B7Aｼﾘｱﾙ通信 43,500 ∼49,000 P15 P18 傾斜センサ一覧 ON/OFFタイプ リニア出力タイプ 形式 検出角度範囲 形D5R-L02-60 形D5R-L02-15 ±60° （検出幅120° ） ±15° （検出幅30° ） 電源電圧範囲 出力範囲 1∼4V 出力 水平電圧 2.5V±0.05V 感度 出力方式 NPNオープンコレクタ方式 開閉容量 2A 出力形態 連続出力 消費電流 8,900 30mA出力 応答時間 P24 1.2s以下 標準価格 （￥） 5,200 5,500 掲載ページ 設備・機械の振動状態をリニア出力 P26 マニュアル設定タイプ 設備・機械などの異状を振動で検出 センサ コントローラ センサ D7F-S03-05 D7F-C03 D7F-S01-05／D7F-S01-10 D7F-C01 使用温度範囲 ‐25∼＋70℃ −10∼＋55℃ ‐25∼＋70℃ −20∼＋60℃ 使用周囲湿度 25∼95％RH 25∼85％RH 25∼95％RH 25∼95％RH IP67 − IP67 − 10∼2， 000Hz − 20∼2， 000Hz − 98m／S2 − 784ｍ／S2 出力 − DCアナログ トランジスタ ACモニタ − モニタ 消費電流 − 100mA以下 − 200mA以下 47,500 28,500∼32,000 コントローラ 形式 保護構造 周波数範囲 使用最大加速度 標準価格 （￥） 掲載ページ 6 31,500 P28 1段目：断続出力 1Hz 2段目：連続出力 振動センサ一覧 特長 1段目：±15° +1.5° 2段目： （一段目：+2° ） ±1° 2.5s以下 1s以下 →0° ステップ移動） （+60° →0° ステップ移動） （+15° 掲載ページ ±1.5° 出力偏差 1%F.S.以下 標準価格 （￥） 1段目：±15° 2段目：±17° 25mV/° ±3% 100mV/° ±3% 直線性 応答時間 （90％到達時間） ±13° 動作角度 20mA以下 形D5R-1517 DC12V （DC8∼16V） 電源電圧 DC5V±0.5V 消費電流 形D5R-13 形式 − リレ− 44,500 P31 CONTENTS 目次 接触式変位センサ 高精度タイプ 形D5SN 堅牢タイプ 形D5M 15 アンプ一体型タイプ 形D5V 18 変位センサ用語集 8 22 傾斜センサ リニア出力タイプ 形D5R 24 ON/OFFタイプ 形D5R 26 振動センサ リニア出力タイプ 形D7F 28 マニュアル設定タイプ 形D7F 31 関連商品 関連商品 34 7 接触式変位センサ D5SN 形 5種類のセンサで、 幅広い測定環境に対応 ●小型で軽量、φ6mmの超小径センサ （形D5SN-S01/-S04/-S04-L）。 ●0.1μmの高分解能 （形D5SN-S01）。 ●耐横荷重5Nの堅牢センサ（形D5SN-M05/-M10）。 ●IP67の保護構造（形D5SN-S01/-S04/-M05/-M10）。 ●絶縁型センサ。 認定海外規格 認定機関 TÜV プロダクトサービス 適用規格No. EN61010-1 ファイルNo. 認定機関 UL Z1030339656046 適用規格No. UL50 種類／標準価格 ファイルNo. E104818 （納期についてはお問い合わせください。 ） センサ アンプ 測定範囲 1mm 分解能 0.1μm 4mm 0.4μm 5mm 10mm 0.5μm 1μm 測定力 形式 形D5SN-S01 約0.7N 形D5SN-S04 約0.25N 形D5SN-S04-L 形D5SN-M05 最大5N 形D5SN-M10 標準価格 （￥） 98,000 形式 形D5SN-A01 標準価格（￥） 46,000 注. アンプはすべてのセンサに共通です。 ●測定環境に応じて選べる5センサ対応型 72,000 仕様 センサ 項目 形式 測定範囲 可動範囲 分解能 ＊1 直線性 ＊2 繰り返し性 応答時間 （ただし、衝突時のバウンス 時間を除く） 測定力 ＊3 保護構造（コネクタ部を除く） 機械的寿命 本体取りつけ部の絶縁/非絶縁 使用周囲温度 使用周囲湿度 温度特性 ＊4 質量 接続ケーブル長 形D5SN-S01 1mm 約1.5mm 0.1μm 0.3％F.S.以下 0.5μm以下 形D5SN-S04 4mm 約5mm 0.4μm 0.5％F.S.以下 1.6μm以下 100ms以下 200ms以下 約0.7N IP67 1,000万回以上 絶縁タイプ −10∼＋60℃（ただし、氷結・結露なきこと） （ただし、結露なきこと） 25∼95％RH 0.025％F.S./℃ 0.010％F.S./℃ 約70g （ケーブル・コネクタを含む） 3線シールドケーブル 2m 形D5SN-S04-L 形D5SN-M05 5mm 約6mm 0.5μm 0.5％F.S.以下 10μm以下 形D5SN-M10 10mm 約12mm 1μm 20μm以下 300ms以下 約0.25N IP54 最大5N IP67 0.03％F.S.以下 約230g 約300g 注. この仕様値は標準測定子を使用した場合の値です。 ＊1. 当社デジタルパネルメータ形K3NXシリーズをご使用の場合の読取り可能最小値です。 ＊2. F.S.はそれぞれの測定範囲を示します。 ＊3. 標準添付の測定子をつけ、測定子を下向き方向になるように固定した場合の、測定中心位置での代表値です。水平方向または上向き方向に固定した場合は、そ れぞれ測定力が減少します。また、標準以外の測定子を取りつけて使用される場合は、測定子の自重により測定力が変りますので、ご注意ください。 ＊4. 測定範囲の中心位置での代表値です。 8 接触式変位センサ D5SN アンプ 項目 電源電圧 （許容範囲）＊1 消費電流 形式 電圧 電流 出力形態 開閉出力電流 ON時出力残留電圧 OFF時コレクタ耐圧 OFF時漏洩電流 アナログ出力 ＊2 イネーブル出力 形D5SN-A01 DC12∼24V（10.8∼26.4V） 80mA以下 −5∼＋5V（負荷インピーダンス10kΩ以上） 4∼20mA（負荷インピーダンス300Ω以下） NPNオープンコレクタ 100mA以下 1.5V以下 DC26.4V 0.1mA以下 IP30 −10∼＋55℃（ただし、氷結・結露なきこと） （ただし、結露なきこと） 25∼85％RH 0.010％F.S./℃ 約200g （ケーブルを含む） 5線シールドケーブル 2m 保護構造 使用周囲温度 使用周囲湿度 温度特性 ＊3 質量 接続ケーブル長 ＊1. UL1310に従うクラス2電源ユニットまたはUL1585に従うクラス2トランスを電源とする最大電圧30Vrms （42.4Vピーク） 以下の回路 （クラス2回路） に接続してご使 用ください。 ＊2. オフセット調整およびスパン調整により、測定範囲内であってもアナログ出力が仕様範囲 （−5∼＋5Vまたは4∼20mA） から外れる場合があります。 ＊3. 測定範囲の中心位置での代表値です。 出力特性 電圧／電流出力 形D5SN-S01/-S04/-S04-L 形D5SN-M05/-M10 測定範囲（F.S.） 測定範囲（F.S.） 20mA 5V 0V 12mA 変位の方向 − 変位の方向 ＋ （開放側）（押し込み側） −5V − 4mA ＋ （開放側）（押し込み側） −5V 中心 −0.5mm （−2mm） 電流出力 電圧出力 12mA アナログ出力︵電流︶ 電圧 電流出力 アナログ出力︵電流︶ 電圧 電圧出力 0V 20mA 5V 4mA 中心 ＋0.5mm 変位 （＋2mm） 0mm −2.5mm （−5mm） イネーブル出力 0mm ＋2.5mm 変位 （＋5mm） イネーブル出力 ON ON OFF OFF ＊（ ）の数値は、形D5SN-S04/-S04-Lの値になります。 ＊（ ）の数値は、形D5SN-M10の値になります。 LED表示とENABLE出力 押し込み位置 LED表示 ALARM / ENABLE FAR NEAR 全域（異常時） 測定範囲外 測定範囲内 測定範囲外 赤 開放側 緑 開放側 緑 中央付近 緑 備考 ENABLE出力 OFF コネクタ接続不良、センサケーブル断線 などの異常時を示します。 OFF 緑 ON 緑 緑 ON 押し込み側 緑 緑 ON 押し込み側 緑 赤 OFF 測定範囲の中心付近を示します。 （調整の原点付近となります。） プランジャが破壊する恐れがあります。 接触式変位センサ D5SN 9 接続 入出力回路図 デジタルパネルメータ（形K3GN）との接続例 アンプ （形D5SN-A01） 形K3GN 茶 7 DC12∼24V 8 9 COM 1 2 3 青 10 11 12 4 COM 5 6 【形D5SN-A01】 黒 内部回路 アナログ出力 シールド アナログGND 橙 イネーブル出力 負荷 イネーブル 出力部 桃 注1 . イネーブル出力 （橙、桃） をご使用されない場合は、 他の線と接触しないよう絶縁テープなどで絶縁処理をしてください。 2 . デジタルパネルメータは、直流電圧入力タイプまたは 直流電流入力タイプをご使用ください。 イネーブルGND 接続図 デジタルパネルメータ（形K3NX） との接続例 橙 NC 桃 NC 黒 シールド 形D5SN-A01 形D5SN-S01 黒（電流） シールド 黒（電圧） 注. 形K3GNに電源 （DC24V） 出力はありません。 10Ω 3.3Ω 電源 DC24V アナログ 出力部 イネーブル 出力部 青 茶 安定した出力確保のための注意事項 ・AD ボードなどにアンプを複数台接続する場合には、差 形K3NX 10 11 12 13 14 15 16 17 1 ±5V 2 3 4 5 6 7 シールド線 8 9 DC12∼24V 電源 動入力タイプのADボード、または各アンプごとに絶縁 された電源をご使用ください。 ・当社デジタルパネルメータ以外の機器と接続する場合 は、電源GNDとアナログGNDをコモン接続しないでく ださい。 各部の名称 アンプ 形D5SN-A01 センサ 形D5SN-S01 プランジャ コネクタ （センサ接続用） センサコネクタ オフセットボリウム 調整範囲：約±0.5V または 約±0.8mA 測定子 ゴムブーツ ポジション表示灯（緑） アラーム（赤）/イネ−ブル表示灯（緑） スパンボリウム 調整範囲：約10％ 形D5SN-M05 アナログ出力 選択スイッチ プランジャ センサコネクタ 測定子 ゴムブーツ ※スパンは出荷時に理想特性の約±1％に調整されています。 10 接触式変位センサ D5SN 外形寸法 （単位：mm） センサ（プランジャ開放位置の寸法を示します。） 形D5SN-S01 SR3 0 φ6 −0.1 ＊ φ3.7 φ4.5 （φ16.7） 6.5 6 41.6 44.6 57.1±1 （34） 2,000＋150 −50 ＊ゴムブーツ材質：フッ素ゴム 形D5SN-S04 形D5SN-S04-L SR3 0 φ6 −0.1 ＊ φ3.7 φ4.5 （φ16.7） 6.5 63.4 66.4 86±1.5 13.1 （34） 2,000＋150 −50 ＊ゴムブーツ材質 形D5SN-S04：フッ素ゴム 形D5SN-S04-L：シリコンゴム 形D5SN-M05 φ20 φ18 ＊ φ6 φ16.7 M18六角ナット 歯付座金 3.8 （61） パネル加工寸法 2,000 59±1.2 ＋0.1 φ18 0 ＊ゴムブーツ材質：NBR 形D5SN-M10 φ20 φ18 ＊ φ6 板厚：t＝5∼12mm φ16.7 M18六角ナット 歯付座金 3.8 （67） 2,000 83±1.2 ＊ゴムブーツ材質：NBR アンプ 形D5SN-A01 25 30 0.7 2-取りつけ穴 55 コネクタ 接続部 6 取りつけ穴加工寸法 2-M4または φ4.3 98 89 80 21 89±0.2 35.2 ビニル絶縁丸形シールドコード φ5、5芯 （導体断面積：0.2㎜2、 絶縁体径：φ1.0㎜） 標準2m 21±0.2 締めつけトルク （M4ねじ） 0.6∼1.0N･m 25 接触式変位センサ D5SN 11 オプション（測定子） 形式 種類（材質） ねじ部 形状 対象センサ ＊ 用途 形D5SN-S□ 形D5SN-M□ 〇 × 一般的な平面の測定 （形D5SN-Sシリーズ標準添付の測 定子） TB1 ボールタイプ （鋼） めねじ Ｍ2.5×0.45 TB2 ボールタイプ （超硬） めねじ Ｍ2.5×0.45 耐磨耗性が求められる測定 被測定物：超硬（HR90）以下 〇 × TB3 ボールタイプ （ルビー） めねじ Ｍ2.5×0.45 耐磨耗性が求められる測定 被測定物：超硬（HR90）以上 〇 × TN1 ニードル （超硬） おねじ Ｍ2.5×0.45 溝、孔の底面測定 △ × TF1 フラット （超硬） おねじ Ｍ2.5×0.45 球面状のものを測定 △ 〇 TR1 ローラタイプ （焼入れ鋼） おねじ Ｍ2.5×0.45 移動しながらの測定や横から滑 らせての測定。ただしローラー の振れは10μｍ以下になります。 × 〇 TA 変換アダプタ （ステンレス） 貫通 めねじ Ｍ2.5×0.45 形D5SN-Sシリーズのセンサに形 D5SN-TN1/-TF1を取りつけるこ とや、市販の測定子を取りつけ ることができます。 〇 × 形D5SN- ＊測定子オプションの組み合わせについて ○印：交換可能です。 △印：変換アダプタが必要になります。 ×印：交換できません。 外形寸法 形D5SN-TB1/TB2/TB3 形D5SN-TN1 形D5SN-TF1 （10） （15） 5 10 3.5 3 アヤ目 m0.2 SR1.5 7 5 3.3 5 M2.5 φ5 φ1 φ5.2 φ4.3 φ3.5 超硬 C0.3 5.5 6.5 ±0.2 M2.5×0.45 φ4.5 形D5SN-TR1 形D5SN-TA M2.5×0.45 2-C0.2 1.6 平目 m0.2 φ5 23 3 15 13 R5 C2 7 φ10 12 接触式変位センサ 3 9 D5SN 12 M2.5 （貫通） 超硬 M2.5×0.45 取りつけ治具 形D5SN-Sシリーズ専用 推奨取りつけ治具 φ8スタンド用取りつけ治具 10 1.5 φ6H7 A ＋0.01 φ6 0 1 3.5 φ6.5 φ3.5 0 φ8 −0.03 M3 1 φ12 8 5 32 4 15 20 2-φ3.5 A 26 8 18 A-A 締めつけトルク：0.6∼0.8N・m （M3ねじ） 材質：黄銅 3点支持での取りつけ 締付治具 60° 3点で 支持 取りつけ幅 8mm以上 材質：アルミ 〈ご参考〉 この製品を取りつけ可能なシャフトホルダが（株） ミスミより販売されていま す。 型式：SHSTA6 センサ断面 受け治具 締付力 ：100N以下 測定子の交換手順 1. 標準測定子の取りはずし ・プランジャの D カット部をラジオペンチなどで固定して 測定子を取りはずしてください。 ・やむを得ず、センサ本体をもって交換される場合は、 幅1mm 0.15N･m以上のトルクが加わらないようにしてください。 規定外のトルクを加えると、プランジャの動作に支障を 生じる場合がありますのでご注意ください。 2. 変換アダプタに市販測定子を取りつける ・ねじ部の緩みがないよう、しっかりと締めつけてください。 ・必要により、ねじロック剤を塗布してください。 （推奨：スリーボンド1401B） Ｄカット部 ラジオペンチなど 市販測定子 (先端フラットタイプなど) 変換アダプタ （形D5SN-TA） 必要により、ねじロック剤 3. 変換アダプタをプランジャに取りつける ・プランジャの D カット部をラジオペンチなどで固定して 変換アダプタを取りつけてください。 ・やむを得ず、センサ本体をもって交換される場合は、 0.15N･m以上のトルクが加わらないようにしてください。 規定外のトルクを加えると、プランジャの動作に支障を 生じる場合がありますのでご注意ください。 接触式変位センサ D5SN 13 正しくお使いください お願い 以下に示す項目は安全を確保する上で必要なことですので 必ず守ってください。 ・この製品を引火性、爆発性ガスの環境では使用しないでく ださい。 ・この製品を分解したり、修理・改造しないでください。 特に、センサのケーブルの切断・延長はしないでください。 正しい使い方 ・この製品は精密機器ですので、落下させるなどの衝撃を加 えないでください。 ・この製品のプランジャには、図に記載した以上の力を加え ないでください。破損する恐れがあります。 形D5SN-Sシリーズ 30N 30N 1N 0.15N・m ・静電気や過大なノイズを受ける場所 ・強磁性体への取りつけや、モータなどの強磁界が発生する 機器の近く （2）センサの保護構造IP67は、水密性 （完全防水） とは異なり ます。常時水没しての使用はしないでください。 形D5SN-Mシリーズ 100N 100N 5N 0.3N・m ・測定子を押し込みすぎますとセンサが破壊します。 測定は押し込み警告灯が点灯しない範囲で行ってください。 ・防塵ゴムブーツは取りはずさないでください。 異物が侵入し、センサ故障の原因になります。 ・センサ及びアンプの取りつけは、指定の場所・荷重でお願 いします。 過大な力で取りつけると破損する恐れがあります。 14 使用環境について （1）下記の設置場所では使用しないでください。機器の破 損・故障の原因になります。 ・直射日光があたる場所 ・湿度が高く結露する恐れがある場所 ・腐食性ガスのある場所 ・塵埃の多い場所 ・水、油、薬品などの飛沫がある場所 ・本体に直接、振動や衝撃が伝わる場所 接触式変位センサ D5SN 配線について ・電源を入れた状態での配線や、コネクタの着脱をしないでく ださい。故障・誤動作の原因となります。 ・配線は高圧、強電流線との近接を避けてください。 ・電源電圧は定格内でご使用ください。 ・規定の負荷でご使用ください。 ・端子の極性を確認し、誤配線のないようご注意ください。 接触式変位センサ 形 D5M 悪環境下でもインライン計 測可能なIP67適合の接触式 リニアセンサ ●IP67（IEC規格）の保護構造を実現（センサ部）。 ●4∼20mAの電流リニア出力が可能。 ●アンプ部でオフセット調整が容易に行えます。 （TÜV認定） ●EMC指令に適合 CEマークを表示。 種類／標準価格 （納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。 ） 測定範囲 測定子 ボールタイプ 5mm ローラタイプ ボールタイプ 10mm ローラタイプ アクセサリ ─ 固定ブロック付 ─ 固定ブロック付 ─ 固定ブロック付 ─ 固定ブロック付 形式 形D5M-5B 形D5M-5BB 形D5M-5R 形D5M-5RB 形D5M-10B 形D5M-10BB 形D5M-10R 形D5M-10RB 標準価格 （￥） 80,000 82,000 87,000 89,000 80,000 82,000 87,000 89,000 注. センサ部とアンプ部はセットで調整されていますので必ずセットでご使用願います。 接続図 構造 測定子 アンプユニットとセンサ部との接続 固定ブロック ゴムキャップ 青 黒 シールド 茶 ⑦ ⑧ ⑨ ゴムブーツ ケース ケーブル ⑩ ⑪ ⑫ 形D5Mアンプ部 ④ ⑤ ⑥ 4∼20mA ① ② ③ GND 端子配置 No. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 接続端子 GND 24V DC NC GND ＋ 出力 4∼20mA NC 茶 青 黒 NC NC センサヘッド シールド DC 24V 注. ③⑥⑩⑪はあき端子です。 ①④⑫はアンプ内蔵で接続されています。 接触式変位センサ D5M 15 定格／性能 項目 セット形式 保護構造 （センサ部） 機械的寿命 電源電圧 （使用電圧範囲） 消費電流 測定範囲 機械的可動範囲 分解能 繰り返し精度 出力特性 直線性 出力 操作力 表示灯 絶縁抵抗 耐電圧 定格絶縁電圧（Ui ） 汚染度（使用環境） 感電保護クラス PTI（トラッキング特性） スイッチカテゴリ センサ部 振動（耐久） アンプ部 センサ部 衝撃（耐久） アンプ部 センサ部 周囲温度 アンプ部 センサ部 周囲湿度 アンプ部 センサ部 温度の影響 アンプ部 接続コード長（センサ部） センサ部 質量 アンプ部 センサ部 材質 アンプ部 形D5M-5□ IP67 ＊1 1,000万回以上 DC 24V±10％ 80mA以下 5mm 10mm 約6mm 約12mm 2.5μm 5μm 10μm以下 20μm以下 0.5％F.S.以下＊2 4∼20mA （許容負荷抵抗：0∼300Ω） 最大5.88N 電源表示 （POWER） 、押し込み警告（OVER） 100MΩ以上 （DC 100Vメガにて） 充電部一括とアース間 AC 1000V 50/60Hz 1分 充電部一括とアース間 1,000VAC 3 （IEC947-5-1） Class II 175 3 （IEC335） 10∼55Hz 複振幅 2mm X、Y、Z各方向 2h 10∼55Hz 複振幅 0.75mm X、Y、Z各方向 2h 500m/s2 X、Y、Z各方向3回 200m/s2 X、Y、Z各方向3回 −20∼＋60℃（ただし、氷結・結露しないこと） −10∼＋55℃（ただし、氷結・結露しないこと） 95％RH以下 （ただし、氷結・結露しないこと） 85％RH以下 （ただし、氷結・結露しないこと） ±0.03％FS/℃ ＊2 ±0.03％FS/℃ ＊2 3芯シールドコード2m 約200g 約300g 約100g ステンレス鋼 ABS樹脂 形D5M-10□ ＊1. 保護構造はIP67ですが、水中、油中では使用できません。また、アンプ部は粉塵、水の浸入に対する保護構造はありません。 ＊2. FSは測定範囲のことを示します。（例：形D5M-5□□では、5mmを示します。） 認定海外規格 認定機関 TÜV プロダクトサービス 規格 EN61010-1 EN55011 （EMI） EN50082-1 （EMS） ファイルNo. 950522868003 XA951122868008 安全規格認定定格 TÜV （EN55011、EN50082-1） 0.1A 24V DC 定格電流 定格電圧 外形寸法 （単位：mm） センサ部 ＊出荷時は、基準位置から、出力が4mA、20mAまでの長さを、それぞれL1 （測定開始位置）、L2 （測定終了位置）のように設定しております。 ボールプランジャタイプ 形D5M-5B 取りつけ穴加工寸法 φ18＋0.1 −0 （6） 5 φ5 φ2.4 鋼球 16 六角ナット （対辺距離24、厚さ4） 可動範囲 17 測定範囲 M18×1 9 （55） L2 55.5 L1 60.5 （61） 接触式変位センサ D5M ボールプランジャタイプ 六角ナット 形D5M-10B （対辺距離24、厚さ4） 歯付座金 2.5 φ20 φ18 取りつけ穴加工寸法 φ18＋0.1 −0 （12） 可動範囲 10 測定範囲 M18×1 φ5 φ2.4 鋼球 3.8 43 59 9 （55） L2 56 L1 66 （67） 17 歯付座金 2.5 φ20 φ18 3.8 67 83 ボールプランジャタイプ 形D5M-5BB ボールプランジャタイプ 形D5M-10BB 23 17 11.5 23 （6） 5 可動範囲 測定範囲 2-φ10.2深さ6 φ18 23 17 2-φ10.2深さ6 φ18 11.5 23 （12） 10 可動範囲 測定範囲 φ5 48 48 φ2.4 鋼球 φ2.4 鋼球 M18×1 （55） 取りつけ穴加工寸法 43 55.5（L2） 2-M5 9 M18×1 30 取りつけ穴加工寸法 59 60.5（L1） （61） 30 （55） 67 56（L2） 2-M5 2-φ5.2（取りつけ穴） 83 66（L1） （67） 30±0.1 2-φ5.2（取りつけ穴） 30±0.1 ローラプランジャタイプ 形D5M-5R 取りつけ穴加工寸法 六角ナット （対辺距離24、厚さ4） 可動範囲 （6） φ18＋0.1 −0 17 測定範囲 M18×1 5 歯付座金 （60.5） L2 61 3.8 φ18＋0.1 −0 ローラプランジャタイプ 形D5M-10RB 23 11.5 可動範囲 測定範囲 2-φ10.2深さ6 φ18 M18×1 （60.5） 取りつけ穴加工寸法 66（L1） （66.5） 2-φ10.2深さ6 φ18 M18×1 30 （60.5） 67 61.5（L2） 2-M5 2-φ5.2（取りつけ穴） 83 71.5（L1） （72.5） 4 30±0.1 83 可動範囲 測定範囲 取りつけ穴加工寸法 59 67 23 2.5 43 3.8 φ9 30 61.5（L2） 2-M5 2.5 φ20 φ18 11.5 （12） 10 48 2.5 歯付座金 17 23 φ9 48 17 （60.5） L2 61.5 L1 71.5 （72.5） 43 17 23 （12） 可動範囲 10 測定範囲 M18×1 59 66 （66.5） （6） 5 取りつけ穴加工寸法 2.5 φ20 φ18 L1 ローラプランジャタイプ 形D5M-5RB ローラプランジャタイプ 六角ナット 形D5M-10R （対辺距離24、厚さ4） 2-φ5.2（取りつけ穴） 4 30±0.1 φ9 φ9 注. 上記、各機種の外形寸法図中、指定のない部分の寸法公差は±0.4mmです。 アンプ部 形D5M-5□ 形D5M-10□ 電源表示灯 カバーなし 取りつけ穴加工寸法 押し込み 警告灯 75（カバーなし） 72±0.3 2-M4（またはφ4.3） 35.3 オフセットボリウム 調整範囲 ±5％FS （ ） 80 注. 左記、各機種の外形寸法図中、指定のない 部分の寸法公差は±0.4 mmです。 30 3 23.5 51.5 78 接触式変位センサ D5M 17 接触式変位センサ 形 D5V 低動作力でさまざまな測定物を インライン計測可能な アンプ一体型接触式変位センサ ●低動作力 （0.29N） でガラス、プラスチック、ゴムな どさまざまな測定物を計測。 ●測定範囲0∼5mmに対し4∼20mAのリニア出力とデ の2種類を品揃え。 ジタル出力 （形B7A通信対応） ●測定子にはボール、ピン、フラットの3種類があり、 測定物に合わせて選べます。 ●センサ本体との接続はセンサI/Oコネクタ（形XS3） の採用により簡単に配線が可能。 種類／標準価格 測定範囲 （納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。 ） 出力仕様 測定子 分解能 ボールタイプ 4∼20mA ピンタイプ 10μm 形式 標準価格 （￥） 形D5VA-3B1 43,500 形D5VA-3P1 44,000 フラットタイプ ＊1 形D5VA-3F1 ボールタイプ 形D5VM-3B1 5mm 形B7Aシリアル 通信出力 ＊2 ピンタイプ 1μm 48,500 形D5VM-3P1 49,000 フラットタイプ ＊1 形D5VM-3F1 ＊1. フラットタイプは、測定子を外付けできるよう、M2.5 深さ5mmのねじ加工を先端に施しています。 ＊2. 形D5VM-3□1は形B7Aリンクターミナル出力ユニットまたは、形CJ1、形C200H、形CQM1の形B7Aインターフェース ユニットと組合せて使用します。 ユニットは伝送遅延時間標準タイプ（19.2ms）の16点、32点タイプを使用願います（高速タイプは使用できません）。 安全規格認定定格 EN50081-1、prEN50082-2適合 定格電流 定格電圧 18 100mA 24V DC 接触式変位センサ D5V 定格／性能 項目 電源電圧 消費電流 測定範囲 可動範囲 オフセット調整範囲 分解能 リニアリティ 繰り返し精度 応答速度 動作力 形式 出力 取付方法 表示 機械的寿命 温度特性 使用温度 保存温度 湿度範囲 絶縁抵抗 耐電圧 耐ノイズ性 耐振動 耐衝撃 接続コード 質量 材料 形D5VA-3□1 DC12∼24V±10％ ＊1 80mA以下 5mm 約5.7mm ±0.25mm 10μm 0.5％FS以下 10μm以下 6ms以下 最大0.3N リニア電流出力4∼20mA （許容負荷抵抗：0∼300Ω） M4ねじ2本 電源/押し込み警告 1,000万回以上 ±0.04％FS/℃以下 −10∼＋55℃（ただし、氷結、結露しないこと） −25∼＋65℃（ただし、氷結、結露しないこと） 35∼85％RH （ただし、氷結、結露しないこと） 100MΩ以上（DC100Vメガにて） AC1,000V 50/60Hz 1min ノイズレベル1.5kV、パルス幅100ns、1μs 10∼55Hz 複振幅0.75mm 196m/s2 2m（形XS3F-M421-402-Rが付属） 約80g（コードを除く） ABS/PC（ポリマーアロイ） 形D5VM-3□1 1μm 37ms以下 （伝送遅延時間を含む） 形B7Aシリアル通信出力 ＊2 （BCDモード、多点ON/OFF出力モード ＊3） 電源/押し込み警告、設定状態、出力状態 ＊1. 形D5VM-3□1と形B7Aの出力ユニットを片側電源で使用する場合はDC24V±10％でお使いください。 ＊2. 適合接続形式 適合接続形式 形B7A-R6□□1、形B7AS-R6B□1 形B7A-R□A□3-□ 形C200H-B7A21、形C200H-B7A22 形C200H-B7A11、形C200H-B7A12 形CQM1-B7A21、形CQM1-B7A12 形CQM1-B7A13 形CJ1W-B7A22、形CJ1W-B7A14 形CJ1W-B7A04 タイプ ねじ端子タイプ PCコネクタタイプ C200H B7Aインターフェースユニット CQM1 B7Aインターフェースユニット CJW1 B7Aインターフェースユニット （標準モードでご使用の場合のみ） ＊3. BCDモードと多点出力モードはモード切り替えスイッチで任意に選択できます。 各部の名称と機能 形D5VA-□□（リニア出力仕様） 形D5VM-□□（形B7Aシリアル通信仕様） コネクタ 電源表示灯 電源投入時 緑色に点灯 します。 押し込み警告灯 測定範囲以上に 押し込んだ時赤 色に点灯します。 電源表示灯 電源投入時 緑色に点灯 します。 ノブ コネクタ側に倒 すとアクチュエ ー タ が TTPに 固定されます。 オフセット 調整用ボリウム 出力を±0.25㎜ の範囲で調整で きます。 動作表示灯 動作に応じ て橙色に点 灯、点滅し ます。 押し込み警告灯 測定範囲以上に 押し込んだ時赤 色に点灯します。 設定項目表示灯 SETモ ー ド 時 の設定項目に応 じて橙色に点灯 します。 設定スイッチ＊ SETモード時に チャネル、設定 位置調整、公差 を設定します。 モード切換スイッチ BCD、 SET、 RUN の各モードを切り換 えます。 コネクタ ノブ コネクタ側に倒 すとアクチュエ ー タ が TTPに 固定されます。 オフセット 調整用ボリウム 出力を±0.25㎜ ＊ティーチング機能（形 D5VM シリーズ） の範囲で調整で 設定はアクチュエータを設定したい位置に固定してティーチン きます。 グスイッチを押します。 自動的に設定値が記憶され、電源を OFF にしてもそのまま設定 保持されるので、測定のたびに設定しなおす必要がありません。 動作表示灯の説明 BCD アクチュエータの押し込み量の概略を表示。 （バーグラフ） 設定済みチャンネルを点灯。 設定チャンネルを点滅。 設定位置調整時（HEIGHT） 調整値状態を表示。 公差設定時 （WIDTH） 出力状態、公差を表示。 0∼15チャンネルの出力状態を表示。 チャンネル設定時 （CHANNEL） SET RUN 接触式変位センサ D5V 19 外形寸法（イラストは形D5VA-□□□です。） 形D5VA-3B1 形D5VM-3B1 （単位：mm） 形D5VA-3P1 形D5VM-3P1 9 接続コード2m （形XS3F-M421-402-R） φ4 18.6 9 接続コード2m （形XS3F-M421-402-R） φ4 18.6 32.7 32.7 10.4 10.4 φ9 φ9 5.7 5.7 60 60 38±0.1 2-φ4.2 38±0.1 2-φ4.2 基準位置 基準位置 7 7 L20.5 FP（20.7） 6 6 L31 FP（31.2） φ1 25 SR1.5 25 17.6 17.6 18 18 40 40 取りつけ穴加工寸法 取りつけ穴加工寸法 2-M4またはφ4.3 CADファイル 形式 38±0.3 形D5VA-3B1 D5VA_01 形D5VM-3B1 D5VM_01 2-M4またはφ4.3 38±0.3 形式 CADファイル 形D5VA-3P1 D5VA_02 9 形D5VA-3F1 形D5VM-3F1 接続コード2m （形XS3F-M421-402-R） φ4 18.6 32.7 10.4 φ9 5.7 60 38±0.1 2-φ4.2 基準位置 7 L16 FP（16.2） 6 φ5.5 25 M2.5深さ5 17.6 18 40 取りつけ穴加工寸法 形D5VAは出荷時“L”の位置での出力を4mAに設定しております。 形D5VM（BCDモード）は出荷時“L”の位置での出力を0000に設定しており ます。 なお、FP （フリーポジション）ではEEEEが出力され、測定範囲以上に押し込 んだ場合は、FFFFが出力されます。 2-M4またはφ4.3 38±0.3 20 接触式変位センサ D5V ご使用に際して デジタルパネルメータとの接続例 形K3NX 品名 形式 形K3GN 品名 形式 デジタルパネルメータ 形K3NX-AD□□-□ ・確度±0.1％rdg±1ディジット以下 ・接点、トランジスタ、BCD、通信、リニアなど各種 出力ユニットを用意 ・5段階判別 特長 小型デジタルパネルメータ 形K3GN-ND□□ mmの小型サイズ ・48 （W） ×24（H） ×83 （D） ・緑・赤の2色表示 ・通信機能付きタイプもあります。 特長 接続例 形K3TX-AD□□ 10 1 11 2 12 3 13 4 14 5 15 6 16 7 17 8 形K3GN-ND□□ 形D5V アンプ部 18 9 7 4 5 6 1 2 3 1 8 2 9 3 10 4 11 5 形D5V アンプ部 12 6 4 5 6 1 2 3 注3 DC24V 注1 . 形K3NXは直流電流入力タイプをお使いください。 2 . 形 K3NX は各種出力ユニットを取り揃えていますので用途により選択し てください。 3 . この配線はDC電源仕様の形K3NXをご使用の場合のものです。 AC電源仕様の形K3NXをご使用の場合は形K3NX用のAC電源と形D5M アンプ用のDC電源を別配線してください。 種類／標準価格 形K3NX 出力形態 リレー接点 トランジスタ HH、H、L、LL：各1a、PASS：1c NPNオープンコレクタ（HH、H、PASS、L、LL） 電源電圧 DC12−24V ◎形K3NX-AD2A-C2 ◎形K3NX-AD2A-T1 標準価格 （\） 37,500 形K3GN 出力形態 リレー接点出力 （2出力、各1a） トランジスタ出力（NPNオープンクレクタ、3出力） 通信出力形態 なし 形式仕様 ◎形K3GN-NDC ◎形K3GN-NDT1 標準価格 （\） DC24V DC24V 23,000 形K3NX、形K3GNの詳細につきましては、「デジタルパネルメータ／リニアセンサコントローラ総合カタログ （カタログ番号：SAOO-311）」をご参照ください。 接触式変位センサ D5V 21 変位センサ用語集 分解能について アナログ出力信号をデジタル信号に変換する場合、出力は図 1のように階段状に分割されます。 分解能とは、デジタル信号として分割できる最小単位 （階段 一段の高さ）を意味し、「精度」 とは異なります。 しかしながら、接触式変位センサのようなアナログ機器はそ れ自身では分解能は定義できません。 接触式変位センサではアナログセンサの分解能を「デジタル パネルメータなどのAD変換器をもつ表示機器と接続した場 合の最小表示桁数」として定義しています。 出力︵ ︶ mA 「精度」とは一般的に図2のような項目に分類されます。 正確さ（かたより） （1） 直線性 （2） スパン誤差 （3） オフセット誤差 精度 精密さ（ばらつき） （4） 繰り返し性 （5） 指示の安定性 （6） 温度ドリフト 図2. 精度の分類 アナログ信号 22 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 0 1 2 3 4 変位量（mm） 直線性＝ （ズレの最大値） ／ （フルスケール） ＊100 ［%F.S.］…式 （1） 出力︵ ︶ 出力︵ ︶ デジタル信号 22 20 mA 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 （1）直線性 図3に接触式変位センサの電流出力特性を示します。 例えば形D5SN-S04では、4mmの測定範囲に対して、4∼20mA の電流を直線的に出力することが理想的な特性ですが、実際 の出力は直線からのズレを生じます。直線性とはこのズレの 度合いを示します。 直線性は一般的に式 （1） で定義され、 ［%F.S. （パーセント・フ ルスケール）］の単位で表わされます。 分解能 0 1 2 3 4 変位量（mm） 22 20 mA 18 16 14 12 10 8 6 4 2 0 ズレ フルスケール （=16mA） 理想特性 実際の特性 0 図1. センサのアナログ出力信号とデジタル出力信号 1 2 3 4 変位量（mm） 図3. 変位センサの出力特性 （2）スパン誤差 図4に示す通り、測定器の理想的な出力直線と実際の出力直 線との傾きのズレを意味します。 出力︵ ︶ 22 スパン誤差 20 mA 18 16 14 12 10 8 理想特性 実際の特性 6 4 2 0 0 1 2 図4. スパン誤差 22 変位センサ用語集 3 4 変位量（mm） （3）オフセット誤差 図5に示す通り、測定範囲の中心位置（例えば形D5SN-S04で は変位量2mmの位置） における測定器の理想的な出力と実際 の出力（回帰直線上の点）とのズレを意味します。 出力︵ ︶ 22 20 mA 18 16 14 オフセット誤差 12 （6）温度ドリフト 周囲温度の変化によるアナログ出力の変動幅を温度ドリフ トといいます。 1℃の変化に対する値を表し、接触式変位センサでは電気的 中点 （例：電圧出力の場合は0V位置） での温度ドリフトを温度 特性として定義しています。 通常、測定範囲（フルスケール：F.S.）に対する比率で表現し ます。 10 8 例）形D5SN-S01を使用時に周囲温度が1℃変動した場合の電 気的中点での出力変動 （センサヘッド＋アンプの温度特性：0.035％F.S.／℃、フ ルスケール：1mm／F.S.） 0.00035 × 1 × 1 ＝ 0.00035mm ＝ 0.35μm 理想特性 実際の特性 6 4 2 0 0 1 2 3 4 変位量（mm） 図5. オフセット誤差 （4）繰り返し性 短時間内での指示値のばらつきを示します。メカ的な「がた つき」やヒステリシスなどが原因となります。 指示値︵ ︶ 1.9950 1.9949 mm 1.9948 1.9947 1.9946 1.9945 繰り返し性 1.9944 1.9943 1.9942 1.9941 1.9940 1.9939 0 5 10 15 20 25 測定回数 図6. 繰り返し性の例 （5）指示の安定性 温度一定環境における指示値の変動を示します。 回路の自己発熱による温度ドリフトなどが主な原因です。 変位換算出力変動値︵ ︶ μm 0 −0.5 指示の安定性 −1 −1.5 −2 0 1 2 3 4 時間（h） 図7. 指示の安定性の例 変位センサ用語集 23 傾斜センサ （リニア出力タイプ） 形 D5R 傾斜角度をリニア出力 ●±60°の広い測定角度。 ●リニアリティ 1%の高精度を実現。 ●IP67の高い防水防塵性。 ●ローコストで省スペース。 種類／標準価格 種類 標準価格 （￥） （納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。 ） 形D5R-L02-60 形D5R-L02-15 8,900 定格／性能 項目 形式 検出角度範囲 電源電圧範囲 消費電流 出力範囲 出力 水平電圧 ＊1 感度 出力電圧のレシオ性 ＊2 水平電圧 温度 依存性 感度 直線性 応答時間 （90％到達時間） 非検出軸の感度 ＊3 振動印加時の 出力変動 ＊4 出力可能な電流 絶縁抵抗 ＊5 耐電圧 ＊5 保護構造 使用温度範囲 使用湿度範囲 保存温度範囲 保存湿度範囲 形D5R-L02-60 ±60° （検出幅120°） DC5V±0.5V 20mA以下 1∼4V 2.5V±0.05V ±3％ 25mV/° 形D5R-L02-15 ±15° （検出幅30°） ±3％ 100mV/° 対電源比率変化±3％以下 ±10mV/10℃以下 ±20mV/10℃以下 ±1.5％/10℃以下 1％F.S.以下 2.5s以下 1s以下 （＋60° →0° ステップ移動） （＋15° →0° ステップ移動） ±50mV以下 ±50mV以下 −90° 0° ±200mV以下 0.1mA以下 （500Vメガ） 100MΩ以上 （リーク電流1mA以下） 1,000V 1分間 IP67 −20∼＋60℃ 30∼95％RH −30∼＋70℃ 30∼95％RH（ただし、60∼70℃の場合は30∼60％RH） 全周での出力電圧について（±60°タイプ） 回転した位置にも検出エリアがあります（±15°タイプも同様） 180° の検知が可能となります。＊6 2台を90°ずらして取り付けることにより、360° （ただし、マイコン等による演算が必要です。） 正常取りつけ状態 補足説明 ＊1. 電源電圧DC5V、周囲温度25℃時 ＊2. 出力電圧のレシオ性 出力は電源電圧の20∼80％においてのレシオ出力です。 仕様の値は下記方法で測定した値です。 ・傾き状態 ：水平 ・電圧変動範囲：4.5∼5.5V ・対電源比率変化（%） ＝（出力電圧÷電源電圧×100）− （電源5Ｖ時の出力電圧÷5Ｖ×100） ＊3. 非検出軸の感度 非検出軸0°の出力電圧に対する、非検出軸を±20°傾斜さ せた時の出力電圧の変化です。 直交角度の概念を下記に示します。 逆さになった状態 直交傾斜角度の概念 直交した角度目盛の付いた半球に 傾斜センサを取りつけ、接地点 （重 力方向）を測定点に変化させるイ メージです。 例：検出軸＋15° の状態 ＋90° 非検出軸 −90° ＋90° ＋90° −90° 0° 検出軸 ＊4. 測定方法 ・取りつけ状態水平 ・振動周波数50∼250Hz、0.4mmp-p、最大98m/s2、前後、 左右、上下方向に振動を印加した時の振動の無い状態 に対する最大出力変動。 ＊5. 絶縁抵抗・耐電圧は取り付けパネルと端子一括間の値です。 ＊6. 360°検知イメージ A B 2.5V 傾斜センサ(リニア出力タイプ) D5R Bセンサが角度検知 AセンサがBセンサの上下を検知 B A Aセンサが角度検知 BセンサがAセンサの上下を検知 24 B B A −90° 0° 90° 180° 270° （270° ） （−90°） 正常取りつけ状態で水平電圧を内部調整している為、0°位置 では2.5±0.05V、逆さになった状態の180°位置では2.5V± 0.2V（形D5R-L02-60）の範囲でばらつきます。 A 0V 正しくお使いください お願い 通電したまま配線作業を行わないでください。誤って他の端 子と接触してしまうと、過電圧、逆電圧が加わり、故障の原 因となります。 本製品はDC5V仕様です。電圧、極性を確認してから電源を 投入してください。過電圧、逆電圧が加わると回路が故障し 正常に動作しなくなります。 正しい使い方 ・推奨締付トルク 推奨締付トルクは4.1∼5.5N･mです。 ねじの緩み防止のため、平座金、バネ座金の使用を推奨い たします。 ・直射日光が当る場所への使用はできません。 屋外機器へご使用の場合は、カバーなどを設けてくださ い。 ・本製品の保護構造はIP67です。常時水中、油中での使用は できません。 ・センサケーブルの延長・切断はしないでください。 ・センサは樹脂製品ですので、足場にしたり重いものを載せ たりしないでください。 ・マイコンボードなど、センサ出力を回路に取り込む場合 は、下図に示しますようなノイズ保護回路を入口に設けて ください。この回路図は参考用ですので、ご採用時は実機 でのご確認をお願いいたします。 入力保護回路例 形D5R ＋5V ノイズ吸収用コイル または1kΩ程度の抵抗 アナログ 電圧出力 0V 負荷抵抗100kΩ程度 0.1μF程度のコンデンサ ・横方向の加速度に対する配慮 このセンサは内部液体の液面を検知しているため、横方向 の加速度も角度として出力します。 マイコン処理等によってこの影響が無くせない場合、ジャ イロセンサなどの、角速度センサとの併用が必要になる場 合があります。 外形寸法 0.1 ± 6.5 φ 3 φ1 − 2軸検知時の 取り付け レイアウト ＋ 21 取りつけ穴加工寸法 2-φ6.5または2-M6 6.5 12.5 35±0.2 37 − 13 ＋ 48±0.4 − 35±0.2 ＋ 45±0.4 13.5 線色と機能 茶：+5V 黒：アナログ電圧出力 青：0V 46±0.4 検出角度極性 φ4 傾斜センサ 形D5R-L02-□ （単位：mm） ＋方向 −方向 （ケーブルが下がる方向） （ケーブルが上がる方向） 5±1.5 50±7 2000+100 0 ※公差無き寸法の公差は±0.8mmです。 CADファイル 傾斜センサ(リニア出力タイプ) D5R D5R_01 25 傾斜センサ （ON/OFFタイプ） 形 D5R 傾斜が所定角度に達すると スイッチング出力する傾斜センサ ●防水性・耐久性にすぐれたシール構造。 （IP67） ●2Aの大容量までの開閉が可能。 ●使いやすく場所のとらないコンパクトタイプ。 種類／標準価格 スイッチング機能 1段動作 2段動作 （納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。 ） 動作角度 ±13° ±15°/17° 形式 形D5R-13 形D5R-1517 標準価格（￥） 5,200 5,500 性能 出力開閉容量︵Ａ︶ 形D5R-13 形D5R-1517 項目 形式 電源電圧 DC12V（DC8∼16V） 1段目：±15° 動作角度 ±13° 2段目：±17° 1段目：±15°＋1.5° 注.コード長は1mです。 出力偏差 ±1.5° 2段目：（1段目＋2°）±1° ＊開閉容量は下記温度ディレーティングを行ってください。 出力方式 NPNオープンコレクタ方式 開閉容量 2A ＊ 出力開閉容量 1段目：断続出力 1Hz 3 開閉容量は負荷電流のピークも含めた値です。 出力形態 連続出力 2段目：連続出力 2 消費電流 30mA出力 1.5 応答時間 1.2s以下 1 温度特性 動作点±1° （−15∼＋60℃） 0 使用温度範囲 −20∼＋70℃ −20 50 70 80 100 保存温度範囲 −40∼＋80℃ 動作周囲温度（℃） 出力特性 出力段回路図 出力特性 形D5R-13 赤（V）DC12V 動作範囲イメージ図（形D5R-1517） 前後 断続 連続 傾斜角度±13°を検出して連続出力します。 ON 負荷 OFF 白（S） DC8∼16V 検出 回路 NPN オープンコレクタ出力 黒（G） 傾斜角度±15° （1段目）、±17° （2段目）を検出 して以下の出力をします。 0V 1s ON 1段目 OFF ON 2段目 OFF 26 左右 形D5R-1517 傾斜センサ(ON/OFF)タイプ D5R −17°−15° ＋15°＋17° 正しくお使いください 正しい使い方 センサの取りつけについて ・取りつけは、必ず平座金とばね座金を使用し、ねじの締め つけは4.9N･m以下の強度で締めつけてください。 ・締めつけトルク不足の場合や、取りつけ面に異物が付着し ている場合は正しく検出できない可能性があります。 保守・点検について 形D5Rを長期間安定動作させるために、次のようなチェック を定期的に行ってください。 1. 取りつけ位置のズレ、ゆるみの有無。 2. 配線・結線部のゆるみ、接触不良、断線の有無。 3. 使用温度条件、周囲環境条件の確認。 センサの取り扱いについて ・本製品は、機器の傾斜角度を検出するもので、機器の転倒 事故をふせいだり、本器を設置した各種設備の故障や破損 などの異常を防止する装置ではありません。 ・感電や怪我、故障の原因になりますので、絶対に分解しな いでください。 ・本製品は、保護構造 IP67 です。 （水密型（完全防水）とは異 なります。）常時水中、油中での使用はできません。 ・センサケーブルの延長・切断はしないでください。 ・誤配線または配線時の短絡に注意してください。 ・センサの結線は、必ず電源を切ってから行ってください。 ・本体は樹脂成形品ですので、足場にしたり、重い物を載せ ないでください。 外形寸法 （単位：mm） 形D5R-13 形D5R-1517 70±0.2 φ6.6 前後 6.6 左右 取りつけ穴加工寸法 2-φ6.6またはM6 7.2 7.5 30 2-R3.3 84.5 50 70±0.2 検出方向 − 0° （水平） −θ ＋θ φ5.5 40 15.5 7.3 ＋ 傾斜センサ(ON/OFF)タイプ D5R 27 リニア振動センサ 形 D7F 設備、機械の振動状態を リニア出力 ●加速度、速度の切り替え可能。 ●レベルメータによる設定、表示が可能。 ●センサは水滴のかかるような悪環境で使用可能。 ●微振動から大振動まで測定可能。 ●4∼20mAの電流出力、ON/OFF、 モニタ出力を搭載。 種類／標準価格 （納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。 ） センサ部 コントローラ部 形状 形式 標準価格（￥） 形D7F-S03-05 31,500 形状 形式 標準価格（￥） 形D7F-C03 47,500 仕様 センサ部 定格 コントローラ部 定格 使用温度範囲 使用湿度範囲 保存温度 接続可能 振動センサコントローラ 耐久振動 耐久衝撃 保護構造 質量 −25∼＋70℃ 25∼95％RH −40∼＋80℃ 形D7F-C03 10∼150Hz 片振幅0.35㎜または50m/s2 150m/s2 IP67 約40g（ケーブル除く） 性能 5.1mV/（m/s2）±20％（at100Hz） 10∼2,000Hz （±3dB） 98m/s2（rms） 感度＊ 周波数範囲 使用最大加速度 ＊センサ単体での性能 性能 レンジ （rms） ×1 ×5 ×10 周波数範囲 リニアリティ ゲイン誤差 ゼロ点オフセット ACC（加速度）側 VEL （速度）側 0∼20㎜/s 0∼98m/s2 0∼4㎜/s 0∼19.6m/s2 0∼2㎜/s 0∼9.8m/s2 20∼2,000Hz 10∼1,000Hz ±5％FS（at100Hz）＊ ±5％FS（at100Hz）＊ 4±0.2mA （at20℃）＊ ＊コントローラ単体での性能 28 リニア振動センサ D7F DC12∼24V±10％ （DC10.8∼26.4V） 消費電流 100mA以下 使用温度範囲 −10∼＋55℃ 使用湿度範囲 25∼85%RH 保存温度範囲 −25∼＋65℃ 接続可能振動センサ 形D7F-S03-05 耐久振動 10∼150Hz 片振幅0.35㎜または50m/s2 耐久衝撃 150m/s2 出力範囲 4∼20mA DC アナログ 許容負荷抵抗値 300Ω以下 出力形態 NPNオープンコレクタ 残留電圧 1.5V以下 漏れ電流 0.1mA以下 トランジスタ DC26.4V 最大負荷電圧 最大シンク電流 100mA以下 出力 最小出力時間 50ms以上 ×1レンジ5.1mV/ （m/s2） （TYP） ACC時 ×5レンジ25.5mV/ （m/s2） （TYP） （参考値） ×10レンジ51mV/ （m/s2） （TYP） AC モニタ ×1レンジ25.4mV/ （mm/s） （TYP） ＊ VEL時 （mm/s） （TYP） ×5レンジ127mV/ （参考値） ×10レンジ254mV/（mm/s） （TYP） インピーダンス 10kΩ 電源電圧範囲 ＊AC モニタの出力波形は簡易的な波形確認としてご使用ください。 精密測定や波形解析などには、ご使用になれません。 モニタ出力電圧は以下を示します。 各部の名称／機能 操作部 ①RUN/SET切替スイッチ レベルメータ表示を切り替えるスイッチ です。 ②ACC/VEL切替スイッチ 動作モード（加速度、速度）を切り替える スイッチです。 ③GAIN切替スイッチ GAIN（増幅率）を切り替えるスイッチで す。 ④しきい値設定ボリューム ⑤ しきい値を設定するボリュームです。 ③ ⑥ ⑦ 表示部 ⑤レベルメータ （10段階） ⑧ ② SET ：設定しきい値を表示します。 ④ ① ⑥PWR/ALM表示 RUN：振動の大きさを表示します。 レベルメータ点灯数 振動レベルおよび設定しきい値 10 95∼ ％FS 9 85∼95％FS 電源供給時 ：緑色に点灯します。 センサ異常時：赤色に点灯します。 ⑦OUTPUT表示 設定しきい値より大きい振動が入力され た場合、出力トランジスタが動作し点灯 8 75∼85％FS します。 7 65∼75％FS 注.SET状態でも出力および表示します。 6 55∼65％FS 5 45∼55％FS 4 35∼45％FS RUN/SET切替スイッチがSET状態のと 3 25∼35％FS きに点灯します。 2 15∼25％FS 1 5∼15％FS ⑧SET表示 注. レベルメータ表示は目安としてご使用ください。 外形寸法 （単位：㎜） センサ部 形D7F-S03-05 17 0 −0.25 φ16 φ13 M6 0 17 −0.25 1.5 6.5±0.4 5 コントローラ部 形D7F-C03 （0.5） 45 23 6 6 φ6 φ4 収縮チューブ 35±5 5,000±100 CADファイル D7F_06 取りつけ穴加工寸法 72.4 φ4.8 4.3 2-M3.5 4 35.2 75 10-M3.5 ＋1 67 0 67 4.8 7 CADファイル リニア振動センサ D7F D7F_05 29 ■正しくお使いください お願い 通電したまま配線作業を行わないでください。 また、通電中は端子の充電部には触れないでください。 感電の原因となります。 正しい使い方 センサ部の取りつけについて ・取りつけ表面の汚れをふき取り、呼び 17 のスパナを使用 し、ねじ取りつけをしてください。 最適締めつけトルク：4.4∼5.4N・m 取りつけ加工寸法 ：M6 深さ7以上 ・締めつけトルク不足の場合や、取りつけ面に異物が付着し ている場合は正しく検出できない可能性があります。 ・センサ簡易取りつけ用磁石は検出位置を探すためのもの です。恒久的に使用される場合は必ずねじ取りつけをして ご使用ください。 ・センサ簡易取りつけ磁石で垂直または逆さに取りつけさ れる場合は、センサの落下にご注意ください。 コントローラの取り扱いについて ・指定のセンサ （形D7F-S03）以外は接続しないでください。 ・コントローラを分解しないでください。正常に動作しなく なる恐れがあります。 ・コントローラは水、油のかかる場所や、ほこりの多い場所 センサ簡易取りつけ用磁石外形寸法 M6 ＋0.2 9.2 0 φ23 センサの取りつけ方向 ・下図のようにセンサを取りつけてください。 センサ 振動方向 センサ 振動方向 振動方向 センサ センサ センサの取り扱いについて ・センサケーブルは所望の長さに切ってご使用いただいて も問題ありませんが、ケーブルの延長はしないでくださ い。 ・センサを分解しないでください。正常に動作しなくなるお それがあります。 ・誤配線または配線時の短絡にご注意ください。 ・センサを油のかかる所に設置しないでください。ゴムの劣 化によりセンサ内部に水、油などが浸入し、故障する恐れ があります。 ・センサは専用コントローラ （形D7F-C03） 以外のものに接続 して使用しないでください。 振動方向 でのご使用は避けてください。 ・コントローラを振動源に直接取りつけないでください。 DI Nからの取りはずしについて ・DINレールから取りはずすと きは、右図のようにしてはず してください。 マイナスドライバ （幅4㎜以下） 30 リニア振動センサ D7F 振動センサ(マニュアル設定タイプ） 形 D7F 設備機械などの異状を 振動で検出 ●5つの処置モードで確度の高い異状判定。 ●LEDレベルメータで振動レベルの確認が簡単。 ●センサケーブルの断線、誤接続を検知可能。 ●振動波形の確認にモニタ出力を装備。 ●センサ部は水滴のかかる所でも使用できるIP67対応。 ●まわり込み電流の影響を受けにくい絶縁型センサ。 種類／標準価格 （◎印の機種は標準在庫機種です。無印（受注生産機種）の納期についてはお取引き商社にお問い合わせください。 ） センサ部 形状 コントローラ部 ケーブル長 形式 標準価格 （￥） 5m ◎形D7F-S01-05 28,500 10m 形D7F-S01-10 32,000 形状 形式 標準価格（￥） ◎形D7F-C01 44,500 定格／性能 センサ部 感度 検出周波数 共振周波数 使用最大加速度 衝撃（耐久） 振動（耐久） 保護構造 絶縁抵抗 耐電圧 周囲温度 周囲湿度 センサケーブル長 最適締付トルク 質量 コントローラ部 2 5.1mV/（m/s ） （TYP.） 20Hz ∼2kHz （±3dB） 約5kHz 784m/s2 29,400m/s2 10Hz ∼2kHz 、片振幅2㎜ または392m/s2 IP67（IEC規格 IP67に適合） 端子一括と外かく間 20MΩ以上 （DC100V ） 端子一括と外かく間 AC1,000V 50/60Hz 1min −25∼＋70℃ （ただし、氷結および結露しないこと） 25∼95％RH （ただし、氷結および結露しないこと） 5m、10m 4.4∼5.4N・m 約40g（ケーブル除く） 周波数範囲 電源電圧範囲 消費電流 リレー出力 モニタ出力＊ 操作部 オンディレイ オフディレイ 振動レベル表示 付加機能 振動 （耐久） 衝撃 （耐久） 周囲温度 周囲湿度 質量 20Hz∼20kHz DC12∼24V±10％（DC10.8∼26.4V） 200mA以下 1c接点 （DC30V 3A 、AC250V 3A 抵抗負荷） 5.1mV （m/s2） モード切替スイッチ（MODE） 、 ゲイン切替スイッチ（GAIN）、 検出感度設定ボリューム （SENS） 連続振動検出モード最小0.1s 単発振動検出モード5ms 1s 10段階レベルメータ センサケーブル断線時リレー出力、 レベルメータ点滅 10∼150Hz 片振幅0.75㎜で 最大加速度98m/s2以下 294m/s2 −20∼＋60℃ （ただし、氷結および結露しないこと） 25∼95％RH （ただし、氷結および結露しないこと） 約120g ＊ACモニタからの出力は、代表例で以下のとおりです。 X レンジ ×001 ×003 ×010 ×030 ×100 加速度（X値） （m/s2） 5.1mV/ （m/s2） 15.3mV/ （m/s2） 51mV/ （m/s2） 153mV/ （m/s2） 510mV/ 振動センサ(マニュアル設定タイプ） D7F 31 各部の名称 モニタ出力 AC±4V（インピーダンス10kΩ） リレー出力 振動センサコントローラ 形D7F-C01 ● 振動センサからの信号を 処理し、異状判定を行い 外部出力します。 電源LED：電源供給時に点灯 出力LED：出力リレー動作時に点灯 検出LED：振動検出時に点灯 レベルメータ 振動レベルをひとめで 確認できるLEDレベルメータ 検出感度設定ボリューム しきい値を変更する L側 しきい値 モード切替スイッチ 波形処理モードを選択する 波 形 処 理 MODE H側 振動波形 アプリケーション例 水滴のかかるような悪環境下でも使用可能。 A 連続振動検出（20Hz∼20kHz） 汎用、 モニタ用など B 〃 （20Hz∼200Hz） アンバランス、偏心など C 〃 （200Hz∼2kHz） 高速回転体の異状など D 〃 （2kHz∼20kHz） ベアリングの傷など E 単発振動検出 振動センサは、 IEC規格IP67（ 耐塵防浸形） に適合 していますので、 水滴のかかるような悪環境下でも 使用できます。 接触、衝突など ゲイン切替スイッチ （1∼100倍） 信号を増幅率を変更する （例） 信号を大きくする ● 振動センサ 形D7F-S01-05 圧電セラミックデバイスを 用いて、 振動加速度を 電気信号に変換します。 しきい値 振動波形 検出位置を探すのに便利な センサ簡易取りつけ用磁石付き センサ周波数特性 用語説明 オンディレイ/オフディレイは以下の時間を示します。 出 力 振動入力 あり なし 0dB リレー出力 ON OFF 20Hz 2kHz 5kHz （共振点） 周波数 オンディ オン ディレイ オフ オフディ ディレイ 外形寸法 （単位：㎜） センサ部 形D7F-S01 取りつけねじ部（M6） 5 1.5 23 6 5,000±100※ φ16 （55） ケーブル（φ4） 0 17 −0.25 0 17 −0.25 6.5±0.4 CADファイル ※ケーブル長10mの場合、10,000±100となります 。 取りつけ穴加工寸法 コントローラ部 形D7F-C01 45 75 2-M3.5 72.4 （67） 35.2 ＋1 67 0 CADファイル 32 D7F_02 振動センサ(マニュアル設定タイプ） D7F D7F_01 ■正しくお使いください お願い 通電したまま配線作業を行わないでください。 また、通電中は端子の充電部には触れないでください。 感電の原因となります。 正しい使い方 センサ部の取りつけについて ・取りつけ表面の汚れをふき取り、呼び 17 のスパナを使用 し、ねじ取りつけをしてください。 最適締めつけトルク：4.4∼5.4N・m 取りつけ加工寸法 ：M6深さ7以上 ・締めつけトルク不足の場合や、取りつけ面に異物が付着し ている場合は正しく検出できない可能性があります。 ・センサ簡易取りつけ用磁石は検出位置を探すためのもの です。恒久的に使用される場合は必ずねじ取りつけをして ご使用ください。 ・センサ簡易取りつけ磁石で垂直または逆さに取りつけさ れる場合は、センサの落下にご注意ください。 コントローラの取り扱いについて ・指定のセンサ （形D7F-S01）以外は接続しないでください。 ・コントローラを分解しないでください。正常に動作しなく なる恐れがあります。 ・コントローラは水、油のかかる場所や、ほこりの多い場所 センサ簡易取りつけ用磁石外形寸法 M6 ＋0.2 9.2 0 φ23 センサの取りつけ方向 ・下図のようにセンサを取りつけてください。 センサ 振動方向 センサ 振動方向 振動方向 センサ センサ センサの取り扱いについて ・センサケーブルは所望の長さに切ってご使用いただいて も問題ありませんが、ケーブルの延長はしないでくださ い。 ・センサを分解しないでください。正常に動作しなくなるお それがあります。 ・誤配線または配線時の短絡にご注意ください。 ・センサを油のかかる所に設置しないでください。ゴムの劣 化によりセンサ内部に水、油などが浸入し、故障する恐れ があります。 ・センサは専用コントローラ （形D7F-C01） 以外のものに接続 して使用しないでください。 振動方向 でのご使用は避けてください。 ・コントローラを振動源に直接取りつけないでください。 DINからの取りはずしについて ・DIN レールから取りはずす ときは、右図のようにして はずしてください。 マイナスドライバ （幅4㎜以下） 振動センサ(マニュアル設定タイプ） D7F 33 関連商品 スマートセンサ 分類 センサ形式 光学式 形ZX-LD□ 形ZX-LD□L 形ZX-LT□ 形ZX-LDA□□ 適用アンプユニット 近接 接触式 形ZX-E□ 形ZX-TD 形ZX-EDA□□ 形ZX-TDA□□ 形状 センサ・アンプ組合わせ 測定対象物 ＊1 磁性金属 ⃝ ⃝ △ 光沢物体 △ ⃝ 拡散物体 ＊2 ⃝ ⃝ 透明体 × △ 液体 △ △ 検出方法 不透明体 反射形 リニアリティ 透過形 ±0.2％FS∼±2％FS ビーム形状 スポット ライン ビーム径 φ50∼φ300μm 75μm×2mm∼450μm×2mm ０ 5０ 10０ 20０ 30０ 40０50０ 40±10㎜（2μm） 測定範囲 反射形 （ ） は 分解能 100±40㎜（16μm） ･ スクリーンビーム ･ スポット ―― ･φ1㎜スポットタイプ φ1㎜：0∼500㎜ φ1∼2.5㎜：500∼2000㎜ ･ 5㎜幅スクリーン ビームタイプ 0∼500㎜ ･10㎜幅スクリーン ビームタイプ 0∼500㎜ 300±200㎜（300μm） 磁性金属 （非磁性金属は、 計測範囲や リニアティが 異なります。） ⃝ ⃝ ⃝ × 渦電流式 接触式 ±0.5％FS ±0.1％FS ―― ―― ―― ･形ZX-EDR5 0∼0.5㎜ ―― ･形ZX-TDS01 ±0.5㎜ ･形ZX-ED01 0∼1㎜ ･形ZX-TDS04 ±2㎜ ･形ZX-ED02 形ZX-EM02 0∼2㎜ ･形ZX-TDS04-L ±2㎜ ･形ZX-EM07M 0∼7㎜ ･形ZX-EV04 0∼4㎜ 正反射形 30±2㎜（0.25μm） 標準価格（￥） オープン価格 ･形ZX-EM02H 0∼2㎜ オープン価格 ＊1. ⃝：最適です。 △：条件により適用可能です。 ×：適用できません。 ＊2. 拡散物体：白色セラミック・白紙 ・白色塗装品など。 詳細につきましては、「センサ総合カタログ」（カタログ番号：SAOO-210）をご参照ください。 34 関連商品 オープン価格 変位センサ 光学式 分類 形Z300-S2 （センサヘッド） 形Z300-VC10V3 （コントローラ） 形Z300-S5 （センサヘッド） 形Z300-VC10V3 （コントローラ） 形Z300-S10 （センサヘッド） 形Z300-VC10V3 （コントローラ） 形Z300-S60 （センサヘッド） 形Z300-VC10V3 （コントローラ） 磁性金属 ⃝ ⃝ ⃝ ⃝ 光沢物体 ⃝ ⃝ ⃝ ⃝ 拡散物体 ＊2 ⃝ ⃝ ⃝ ⃝ 透明体 ⃝ ⃝ ⃝ ⃝ 液体 ⃝ ⃝ ⃝ ⃝ 分解能 （応答時間） 0.02μm 0.1μm 1μm 8μm 40μm リニアリティ ±0.05％FS ±0.1％FS センサ部温度特性 0.01％FS/℃ 0.01％FS/℃ センサ形式 形状 センサ・アンプ組合わせ 測定対象物 ＊1 20μm×300μm TPY （測定中心距離） スポット径 測定範囲 測定面 測定距離 10 20 30 40 50 30μm×400μm （測定中心距離） ±0.07％FS（250∼750mm） ±0.1％FS（750∼950mm） 60μm×1000μm （測定中心距離） 0.01％FS/℃ 0.3㎜×16㎜ TPY（500㎜にて） ※CCD有効領域は10.3mm 20±1㎜ 50±5㎜ 100 100±20㎜ 600±350㎜ 標準価格（￥） 特長 オープン価格 オープン価格 スーパー プレシジョンタイプ 超高精度・高分解能 超高精度 透明体・ガラス・金属・ 黒ゴムに強い。 オープン価格 透明体・ガラス・金属・ 黒ゴムに強い。 オープン価格 超長距離 計測レンジ700㎜ 透明体・ガラス・金属・ 黒ゴムに強い。 ＊1. ⃝：最適です。 △：条件により適用可能です。 ×：適用できません。 ＊2. 拡散物体：白色セラミック・白紙 ・白色塗装品など。 関連商品 35 変位センサ 光学式 分類 接触式 センサ形式 形Z4D-F04A 形Z4W-V25R 形Z4M-T30V/ T30V2 形D5SN 磁性金属 △ △ ⃝ ⃝ 光沢物体 △ △ ⃝ ⃝ 拡散物体 ＊2 ⃝ ⃝ ⃝ ⃝ 透明体 × × ⃝ ⃝ 液体 × × ⃝ × 5μm（5ms） 10μm（5ms） 2μm（83.5ms） 5μm（16.7ms） 形状 センサ・アンプ組合わせ 測定対象物 ＊1 分解能 （応答時間） ※ノーマルモードの場合 リニアリティ センサ部温度特性 スポット径 測定範囲 測定面 測定距離 10 20 30 40 50 0.1μm（形D5SN-S01） 0.4μm（形D5SN-S04/S04-L） ±1％FS ±3％FS ±0.5％FS 0.3％FS（ 形D5SN-S01） 0.5％FS（ 形D5SN-S04/S04-L） 0.15％FS/℃ ±0.3％FS/℃ 0.03％FS/℃ 0.03％FS/℃ φ2㎜ φ2㎜ 0.1×5㎜ ─ 25±4㎜ 30±2㎜ 4±1.25㎜ 100 0∼1㎜（形D5SN-S01） 0∼4㎜（形D5SN-S04-S04-L） 標準価格（￥） 特長 24,800 52,800 400,000 144,000（センサ＋アンプ） 小型アンプ内蔵 アンプ内蔵 保護構造IP66 高精度、 透明、 光沢、 色柄に強い 業界最小クラス 高精度＆長寿命 低測定力 絶縁型でIP67 ＊1. ⃝：最適です。 △：条件により適用可能です。 ×：適用できません。 ＊2. 拡散物体：白色セラミック・白紙 ・白色塗装品など。 36 関連商品 変位センサ 検出方式 形状 検出距離 （単位：㎜） 特長 形式 60∼500 113 M30 ・ワイドな測定レンジで高精度検出 ・長距離検出でさまざまなアプリ ケーションに対応 ・温度補正機能付き設定プラグで 簡単に測定範囲の設定ができる 200∼2,000 標準価格 （￥） ◎形E4PA-LS50-M1 85,000 ◎形E4PA-LS200-M1 90,000 ◎形E4PA-LS400-M1 100,000 ◎形E4PA-LS600-M1 110,000 ◎形E4DA-LS7 42,800 ＋ 72,800 500∼4,000 反射形 800∼6,000 40 16.3 ・0.2㎜の高分解能 ・2msの高速応答 ・4∼20mAのアナログ出力 40 30∼70 ＋ ◎形E4DA-WL1C 注．一覧表には概略仕様のみを掲載しています。 必ず詳細仕様および注意事項を「センサ総合カタログ （カタログ番号：SAOO-210）」でご確認の上、 ご使用ください。 測長センサ 測定対象物 形式 不透明 透明 分解能／ リニアリティ 繰り返し精度 測定範囲 φ1 形ZX-LT001 0∼2000㎜ 形ZX-LT005 ⃝ △ 5㎜ 4μm （平均回数64回） 0∼500㎜ 10㎜ 形ZX-LT010 0∼500㎜ 光学式 30㎜ 形Z4LB -S30V2 ＊1 （センサ部） ⃝ × 0∼300㎜ 15μm（5ms） 30μm（0.3ms） 形Z4LB -A3040□V2 ＊2 （セット形式） 標準価格 （￥） ・小型センサヘッド ・可視光レーザ ・長距離検出2m ・小型センサヘッド ・可視光レーザ オープン価格 ・デジタル表示付き ・可視光レーザ ・デジタル表示付き ・センサ部・アンプ部 互換性あり ・ワイドな30㎜幅 ・可視光レーザ ・デジタル表示付き ・センサ部・アンプ部 互換性あり 97,500 ＊3 ・ワイドな30㎜幅 ・高精度タイプ ・デジタル表示付き 180,000 30㎜ ±0.5％FS 40㎜ 形Z4LC （センサ部） ⃝ ＋ 形Z4LC-C28 （コントローラ部） セールスポイント 測定領域 28㎜ 20μm ⃝ （13.2ms 16回平均） ・小型センサヘッド ・低温度ドリフト ・ワイドな28㎜光幅 ±0.1％FS 285,000 ∼ 分類 290,000 40または0∼300㎜ ○：適合、 △：アプリケーションにより適合、×：不適合 ＊1. 適合アンプ形式：形Z4LB-CV2（ NPNタイプ）、 形Z4LB-CPV2（ PNPタイプ） ＊2. センサ部、 アンプ部セット形式になります。□：なしのときNPN出力タイプ、 □：PのときPNP出力タイプ ＊3. センサ部、 アンプ部セット （合計）価格 関連商品 37 MEMO 38 カタログ番号 写 SGSB-002C 2003年6月現在 ①ZN○ C OMRON Corporation 2002 ○ All Rights Reserved. お断りなく仕様などを変更することがありますのでご了承ください
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