CVC
キッツエスシーティーの CVC 継手は高純度ガス系配管にお使いいただける
よう、弊社独自の電解研磨による表面処理及びクリーンルーム内での洗浄・
クリーンバキュームカップリング
検査・梱包を行ったメカニカル式メタルガスケット面シール継手です。
メカニカル式メタルガスケット面シール継手
● CVC 継手は以下に示すような構成部品及び特徴を有しております。
ガスケット
（G）
ロングスリーブ（S）
ショートスリーブ（S）
メスナット
（NF）
①メスナット (NF)
②スリーブ (S)
(NF)：
には
れ、
また、
用
）
(S)：
の
によ
ら な
に
(G)：
標準
し 、 め
によ
(N )：
用する
で い 度
オスナット
（NM）
③ガスケット (G)
②スリーブ (S)
、 め
の
に位 し
ます。
の い
に
ます。
に
④オスナット (MN)
ます。
容
し
に
ます。
ます。
■製品コード表
モデル
サイズ
CVC
4
CVC
メタルガスケット
面シール継手
2
4
6
8
12
1/8"
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"
スリーブ
ナット
ガスケット
ユニオン
ダブルユニオン
マニホールド
S
SB
□S
NF
NM
NSM
NFH
NMH
NBF
NBM
G
RG
BG
UM
UB
UBS
UF
UE
UT
UC
USFW
UEFW
UTFW
UCFW
USMW
UEMW
UTMW
UCMW
ME
MT
品種
スリーブ寸法
スペース
グレード＋材質
S
28
□
STD 316L
スリーブ
ブラインドスリーブ
異径スリーブ
メスナット
オスナット
オスショートナット
メスナット
（ハイフロータイプ）
オスナット
（ハイフロータイプ）
メスブラインドナット
オスブラインドナット
ガスケット
リテーナーガスケット
ブラインドガスケット
オスユニオン
バルクヘッドユニオン
バルクヘッドユニオン（チューブエンド）
メスユニオン
ユニオンエルボ
ユニオンティー
ユニオンクロス
ダブルメスユニオン
ダブルメスユニオンエルボ
ダブルメスユニオンティー
ダブルメスユニオンクロス
ダブルオスユニオン
ダブルオスユニオンエルボ
ダブルオスユニオンティー
ダブルオスユニオンクロス
マニホールドエルボ
マニホールドティー
1/8"
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"
12
22
27
15
28
31
43
16
28
45
16
28
45
52
316
STD 316
STD 316L
EP 316
EP 316L
SEP 316LE
研磨なし＋SUS316
機械研磨仕上げ＋SUS316
機械研磨仕上げ＋SUS316L
電解研磨仕上げ＋SUS316
電解研磨仕上げ＋SUS316L
電解研磨仕上げ＋SUS316LE
（真空二重溶解材）
ガスケットのみ
NI
電解研磨仕上げ＋純ニッケル
電解研磨仕上げ＋SUS316LE
316LE
（真空二重溶解材）
※ ガスケットは SUS316LE について 1/4"・1/2" サイズのみ製作可能です。
注：グレードと材質の間はスペースが入ります。
■製品グレード
STD
Rz3.2
EP
S S316、S S316 、S S316
Rz0.7
m
SEP
高純度ガス系バルブ
グレード
材質
内面粗度
研磨
m
洗浄
1重
梱包 ※1
2重
※1 ガスケットは全て 1 重梱包です。
※温度と耐圧につきましては、下記にございます表とグラフをご参照下さい。
スリーブ
ナット
ユニオン
マニホールド゛
UE
UT
UC
USFW
UEFW
UTFW
UCFW
USMW
UEMW
UTMW
UCMW
ME
MT
EP
SUS316L
STD
EP
SUS316LE
SEP
※
NI
EP
W
E
T
系バルブ
ダブルユニオン
UBS
スリーブ
ブラインドスリーブ
異径スリーブ
メスナット
オスナット
オスショートナット
メスナット（ハイフロータイプ）
オスナット（ハイフロータイプ）
メスブラインドナット
オスブラインドナット
ガスケット
リテーナーガスケット
ブラインドガスケット
オスユニオン
メスユニオン
バルクヘッドユニオン
バルクヘッドユニオン
（チューブエンド）
ユニオンエルボ
ユニオンティー
ユニオンクロス
ダブルメスユニオン
ダブルメスユニオンエルボ
ダブルメスユニオンティー
ダブルメスユニオンクロス
ダブルオスユニオン
ダブルオスユニオンエルボ
ダブルオスユニオンティー
ダブルオスユニオンクロス
マニホールドエルボ
マニホールドティー
SUS316
STD
真空バルブ
ガスケット
S
SB
□S
NF
NM
NSM
NFH
NMH
NBF
NBM
G
RG
BG
UM
UF
UB
研磨なし
高純度ガス系継手
■製作範囲表
注:ナット・メスユニオン・ガスケットの研磨仕様は簡略化のため型式表記しておりません。
※ ガスケットは、SUS316LE について 1/4"・1/2" サイズのみ製作可能です。
スリーブ（チューブ）サイズ
外径
1/8"
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"
3.18
6.35
9.53
12.7
19.05
肉厚
0.69
1
1
1.24
1.24
使用最高圧力（MPa）
75℃
150℃
250℃
計算値 計算値 計算値
5
3
33
32
27
2
20
17
15
1
16
1
12
10
350℃
計算値
31
22
1
13
【注意】1. 表に示す使用最高圧力は、肉厚最小値より算出した計算値を示しています。
2. 温度が 300℃を超える場合、ねじ部の摩擦が大きいため継手の繰り返し使用回数が減少し
ます。
ウェットシステム
呼び
40℃
計算値
50
36
23
21
13
系継手
CVCスリーブ 温度と耐圧
■温度と耐圧
W
E
T
単位：mm
CVC スリーブ メスナット用
型式
サイズ
OD
T
L
L1
CVC2-S12
1
3.1
0.70
12.20
7.00
CVC4-S15
1
6.35
1.00
15.20
6.35
CVC6-S16
3
.53
1.00
16.50
.20
CVC8-S16
12
12.70
1.2
16.50
.20
型式
サイズ
OD
T
L
L1
/○ OD
T
L1
L
CVC スリーブ メスナット用
CVC2-S27
1
3.1
0.70
27. 0
1 .05
CVC4-S28
1
6.35
1.00
27. 0
1 .05
CVC6-S28
3
.53
1.00
2 .50
1 .05
CVC8-S28
12
12.70
1.2
2 .50
1 .05
型式
サイズ
OD
T
L
L1
/○ OD
T
L1
L
CVC スリーブ オスナット用
/○ OD
T
L1
L
CVC 異径スリーブ ハイフロータイプ
CVC2-S22
1
3.1
0.70
22.00
7.00
CVC4-S30.5
1
6.35
1.00
30.50
6.35
CVC4-S43
1
6.35
1.00
3.20
1 .05
CVC6-S45
3
.53
1.00
5.50
1 .05
CVC8-S45
12
12.70
1.2
5.50
1 .05
CVC12-S52
3
1 .05
1.2
51.60
1 .05
OD
T
L
L1
型式
サイズ
CVC4-6S15
1
3
.53
1.00
15.50
10.70
CVC4-6S28
1
3
.53
1.00
2 .70
23. 0
CVC4-6S31
1
3
.53
1.00
31.00
26.20
CVC4-6S43
1
3
.53
1.00
3.20
3 . 0
/○ OD
L
L1
T
CVC ブラインド スリーブ
型式
サイズ
OD
L
L1
CVC2-SB22
1
3.1
22.00
7.00
CVC4-SB28
1
6.35
27. 0
1 .05
CVC4-SB43
1
6.35
3.20
1 .05
CVC8-SB45
1 2 (3
12.70
5.50
1 .05
/○ OD
L1
L
8
)
単位：mm
CVC 異径スリーブ メスナット用
型式
L1
L
T
L
L1
CVC4-2S15
1
1
3.1
0.70
15.20
6.35
CVC4-2S28
1
1
3.1
0.70
27. 0
15. 5
CVC4-2S31
1
1
3.1
0.70
31.00
1 .05
CVC8-4S16
12
1
6.35
1.00
16.50
6.35
CVC8-4S28
12
1
6.35
1.00
2 .50
1 .05
OD
T
L
L1
型式
サイズ
CVC4-2S43
1
1
3.1
0.70
3.20
1 .05
CVC8-4S45
12
1
6.35
1.00
5.50
1 .05
高純度ガス系継手
CVC 異径スリーブ オスナット用
OD
高純度ガス系バルブ
/○ OD
T
サイズ
/○ OD
L1
L
T
型式
サイズ
D
H
F 2面幅
CVC2-NF
1
5. 0
13.50
11.00
CVC4-NF
1
.20
20.70
1 .00
CVC4-NF-H
1
.70
20.70
1 .00
15.50
22. 0
27.00
22.60
2 .50
3 .10
D
H
F 2面幅
真空バルブ
CVC メスナット
/○ D
H
F
12 3
CVC12-NF
3
型式
)
サイズ
CVC2-NM
1
5. 0
12.70
.50
CVC4-NM
1
.20
1 .20
15. 0
CVC4-NM-H
1
.70
1 .20
15. 0
15.50
20.60
23. 0
22.60
25. 0
33. 0
D
H
F 2面幅
.20
15.00
15. 0
15.50
16.70
23. 0
W
E
T
系バルブ
CVC オスナット
CVC8-NF
/○ D
H
F
12 3
CVC12-NM
3
型式
)
サイズ
1
CVC8-NSM
12 3
/○ D
H
F
)
ウェットシステム
CVC4-NSM
系継手
CVC オスショートナット
CVC8-NM
W
E
T
単位：mm
CVC メスブラインドナット
型式
C
H
F
F 2面幅
.00
16.20
11.00
CVC4-NBF
1
11.20
23. 0
1 .00
CVC8-NBF
12 3
11. 0
25.70
27.00
CVC12-NBF
3
13. 0
32. 0
3 .10
)
サイズ
H
F 2面幅
CVC2-NBM
1
15.70
.50
CVC4-NBM
1
23. 0
15. 0
CVC8-NBM
12 3
27. 0
23. 0
CVC12-NBM
3
36.30
3 .10
T
D
CVC ブラインドガスケット
型式
T
H
1
型式
F
C
CVC2-NBF
CVC オスブラインドナット
H
サイズ
)
サイズ
CVC2-BG
1
0.50
6.35
CVC4-BG
1
0. 0
11. 0
CVC8-BG
12 3
0. 0
1 . 0
CVC12-BG
3
0. 0
2 . 0
/○ D
)
※各サイズのオリフィスガスケットが製作可能です。詳しくは各営業担当にご相談ください。
CVC ガスケット
型式
T
/○ E
サイズ
T
D
CVC2-G
1
2.30
0.50
6.35
CVC4-G
1
5.60
0. 0
11. 0
CVC8-G
12 3
11.20
0. 0
1 . 0
CVC12-G
3
17.00
0. 0
2 . 0
/○ D
CVC リテーナーガスケット
型式
サイズ
)
E
T
L
D
6.10
0. 0
3.00
12. 0
CVC4-RG-LE
5.60
0. 0
3.00
12. 0
CVC8-RG-NI
11.50
0. 0
3.00
1 . 0
11.50
0. 0
3.00
1 . 0
CVC4-RG-NI
A
E
1
A-A
/○ E /○ D
A
L
T
12
CVC8-RG-LE
5
単位：mm
CVC オスユニオン
型式
L
E
L
F 2面幅
CVC2-UM
1
1. 0
2 .70
.50
CVC4-UM
1
.30
3 . 0
15. 0
CVC8-UM
12 3
10.20
6.70
23. 0
高純度ガス系バルブ
/○ E
サイズ
F
型式
サイズ
CVC2-UB
1
CVC4-UB
1
CVC8-UB
12 3
E
1. 0
L
L1
L2
F 2面幅 パネル穴径 パネル板厚 (Max）
3.00 25.50 17.50
11.00
.00
6.00
.30 56.60 33.00 23.60
1 .00
1 .70
11.00
) 10.20 65.30 37.60 27.70
27.00
22.60
22.00
高純度ガス系継手
CVC バルクヘッドユニオン
)
/○ E
L2
L1
F
L
型式
サイズ
OD
E
L
L1
L2
F 2面幅 パネル穴径 パネル板厚(Max）
CVC4-UBS28
1
6.35
.30 5 . 0 33.00 1 .05 1 .00 1 .70 11.00
CVC6-UBS28
3
.53
7.50 65.30 37.60 1 .05 27.00 22.60 22.00
真空バルブ
CVC バルクヘッドユニオン（チューブエンド）
/○ E
/○ OD
L2
L1
F
L
CVC メスユニオン
型式
サイズ
H
F 2面幅
CVC2-UF
1
16. 0
11.00
CVC4-UF
1
30.20
1 .00
CVC8-UF
12 3
33.30
27.00
W
E
T
F
CVC ユニオンエルボ
型式
C
サイズ
E
C
F 2面幅
CVC2-UE
1
1. 0
22.60
11.00
CVC4-UE
1
.35
27.20
17.00
CVC8-UE
12 3
10.22
36. 0
25.00
ウェットシステム
/○ E
)
系継手
H
) 12.70 10.20 65.30 37.60 1 .05 27.00 22.60 22.00
F
)
系バルブ
CVC8-UBS28 1 2 3
W
E
T
5
単位：mm
CVC ユニオンティー
型式
サイズ
E
L
C
F 2面幅
CVC2-UT
1
1. 0
5.20
22.60
11.00
CVC4-UT
1
.35
5 . 0
27.20
17.00
CVC8-UT
12 3
10.22
73.60
36. 0
25.00
E
L
C
F 2面幅
C
/○ E
C
C
L
F
CVC ユニオンクロス
型式
)
サイズ
CVC2-UC
1
1. 0
5.20
22.60
11.00
CVC4-UC
1
.35
5 . 0
27.20
17.00
CVC8-UC
12 3
10.22
73.60
36. 0
25.00
F
C
/○ E
L
C
C
C
L
CVC ダブルメスユニオン
型式
/○ E
L
E
L
F 2面幅
CVC2-USFW
1
1. 0
2 .00
11.00
CVC4-USFW
1
.35
3. 0
1 .00
CVC8-USFW
12 3
10.20
7.00
27.00
E
C
F 2面幅
型式
C
/○ E
C
)
サイズ
CVC2-UEFW
1
1. 0
22.50
11.00
CVC4-UEFW
1
.35
25. 0
1 .00
CVC8-UEFW
12 3
10.20
2 . 0
27.00
F
CVC ダブルメスユニオンティー
型式
C
5
サイズ
F
CVC ダブルメスユニオンエルボ
/○ E
C
)
L
C
)
サイズ
E
L
C
F 2面幅
CVC2-UTFW
1
1. 0
5.00
22.50
11.00
CVC4-UTFW
1
.35
50. 0
25. 0
1 .00
CVC8-UTFW
12 3
10.20
5 .60
2 . 0
27.00
F
)
単位：mm
CVC ダブルメスユニオンクロス
型式
E
L
C
F 2面幅
CVC2-UCFW
1
1. 0
5.00
22.50
11.00
CVC4-UCFW
1
.35
50. 0
25. 0
1 .00
10.20
5 .60
2 . 0
27.00
高純度ガス系バルブ
C
サイズ
/○ E
L
C
C
C
L
F
CVC8-UCFW 1 2 3
型式
/○ E
L
サイズ
E
L
高純度ガス系継手
CVC ダブルオスユニオン
)
F 2面幅
CVC2-USMW
1
1. 0
.00
.50
CVC4-USMW
1
.35
61.00
15. 0
10.20
6 .00
23. 0
E
C
F 2面幅
F
CVC8-USMW 1 2 3
型式
C
/○ E
C
サイズ
CVC2-UEMW
1
1. 0
32.35
.50
CVC4-UEMW
1
.35
0.65
15. 0
真空バルブ
CVC ダブルオスユニオンエルボ
)
F
CVC ダブルオスユニオンティー
型式
)
サイズ
10.20
5.30
23. 0
E
L
C
F 2面幅
CVC2-UTMW
1
1. 0
6 .70
32.35
.50
CVC4-UTMW
1
.35
1.30
0.65
15. 0
10.20
0.60
5.30
23. 0
E
L
C
F 2面幅
系バルブ
CVC8-UEMW 1 2 3
W
E
T
C
/○ E
C
C
W
E
T
F
系継手
L
CVC8-UTMW 1 2 3
CVC ダブルオスユニオンクロス
型式
)
サイズ
1
1. 0
6 .70
32.35
.50
CVC4-UCMW
1
.35
1.30
0.65
15. 0
10.20
0.60
5.30
23. 0
ウェットシステム
CVC2-UCMW
C
/○ E
L
C
C
L
C
F
CVC8-UCMW 1 2 3
)
5
単位：mm
CVC マニホールドエルボ
型式
サイズ
OD
T
L
L1
A
F 2面幅
6.35
1.00
25.00
13.30
27.20
17.00
OD
T
L
L1
A
F 2面幅
6.35
1.00
25.00
13.30
27.20
17.00
A
T
CVC4-ME
/○ OD
L
L1
F
CVC マニホールドティー
型式
A
T /○ OD
L1
5
L
L
1
L1
CVC4-MT
F
サイズ
1
SCL
スーパークリーンマイクロ
高純度ガス系バルブ
SCM
スーパークリーンロング
自動溶接用継手
自動溶接用継手
■主な特徴
■主な特徴
◎放出ガスを抑えるために素材には超高純度配管
◎電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で
用真空２重溶解材をオプションとして採用して
実現しています。
います。
◎直管部が長くマニホールド配管施工の際、単管
が不要になる為、作業工数が減少（溶接箇所 1 ヵ
実現しています。
所不要）します。
◎形状がコンパクトなため、配管の省スペース化
◎自動溶接に適したネック（直管部）付のため、高
が可能です。
品質の溶接が簡単に行えます。
◎自動溶接に適したネック（直管部）付のため、高
高純度ガス系継手
◎電解研磨処理により面粗さをRz0.7μm以下で
品質の溶接が簡単に行えます。
■製品コード表
スペース
大径
小径
品種
特殊仕様
グレード＋材質
SCM
□
4
0
E
-P0413
STD 316L
0
2
4
6
8
12
SCM 溶接継手
SCL
母管と同径
1/8"
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"
E
T
R
AT
C
RT
エルボ
ティー
レジューサー
アングルティー
クロス
異径ティー
スペース 標準品
-P1304 直管部の長さが位置により異なる
-P0413 （6.35、21mm)
※ -P1304、-P0413 は SCM のみ製作可
真空バルブ
サイズ
モデル
STD 316L
EP 316L
機械研磨仕上げ＋SUS316L
電解研磨仕上げ＋SUS316L
電解研磨仕上げ＋SUS316LE
SEP 316LE
（真空二重溶解材）
注：グレードと材質の間はスペースが入ります。
W
E
T
グレード
材質
内面粗度
研磨
STD
Rz3.2
EP
S S316、S S316 、S S316
Rz0.7
m
系バルブ
■製品グレード
SEP
m
洗浄
梱包
1重
2重
系継手
W
E
T
■製作範囲表
品種
ST
SUS316L
P
SUS316LE
S P
SCM
SCL
ウェットシステム
55
単位：mm
SCM 90°エルボ
型式
/○ OD
サイズ
OD
T
C
A
L
SCM 20E
1
3.1
0.70
10.32
7.
1 .2
SCM 40E
1
6.35
1.00
10.32
7.
1 .2
SCM 60E
3
.53
1.00
11. 1
11.12
17. 7
SCM 80E
12
12.70
1.2
13.50
1 .2
20.6
型式
サイズ
T
6.35
/○ OD
C
T
L
A
A
C
L
6.35
A
SCM 90°異径エルボ
/○ OD1
T1
6.35
L
/○ OD2
C
T2
A
A
6.35
C
A
L
SCM 同径ティー
C
T
6.35
T
T1
OD2
T2
C
A
1
1
6.35
1.00
3.1
0.70
10.32
SCM 62E
3
1
.53
1.00
3.1
0.70
11. 1 11.12 17. 7
SCM 64E
3
1
.53
1.00
6.35
1.00
11. 1 11.12 17. 7
SCM 82E
12
1
12.70
1.2
3.1
0.70
13.50 1 .2
20.6
SCM 84E
12
1
12.70
1.2
6.35
1.00
13.50 1 .2
20.6
SCM 86E
12
3
12.70
1.2
.53
1.00
13.50 1 .2
20.6
A
サイズ
OD
T
C
7.
L
SCM 42E
型式
/○ OD
OD1
1 .2
L
SCM 20T
1
3.1
0.70
10.32
7.
20.6
SCM 40T
1
6.35
1.00
10.32
7.
20.6
SCM 60T
3
.53
1.00
11. 1
11.12
23. 2
SCM 80T
12
12.70
1.2
13.50
1 .2
27.00
型式
サイズ
A
/○ OD
6.35
A
C
6.35
A
C
L
SCM 異径ティー
/○ OD2
T2
C
6.35
T1
A
/○ OD1
6.35
A
C
A
6.35
SCM 異径ティー
T1
A
/○ OD1
5
A
L
T2
C
A
7.
L
1
1
6.35
1.00
3.1
0.70
10.32
20.6
SCM 62T
3
1
.53
1.00
3.1
0.70
11. 1 11.12 23. 2
SCM 64T
3
1
.53
1.00
6.35
1.00
11. 1 11.12 23. 2
SCM 82T
12
1
12.70
1.2
3.1
0.70
13.50 1 .2
27.00
SCM 84T
12
1
12.70
1.2
6.35
1.00
13.50 1 .2
27.00
SCM 86T
12
3
12.70
1.2
.53
1.00
13.50 1 .2
27.00
OD1
T1
OD2
T2
C
6.35
C
サイズ
A
7.
L
SCM 42RT
1
1
6.35
1.00
3.1
0.70
10.32
20.6
SCM 62RT
3
1
.53
1.00
3.1
0.70
11. 1 11.12 23. 2
SCM 64RT
3
1
.53
1.00
6.35
1.00
11. 1 11.12 23. 2
SCM 82RT
12
1
12.70
1.2
3.1
0.70
13.50 1 .2
27.00
SCM 84RT
12
1
12.70
1.2
6.35
1.00
13.50 1 .2
27.00
SCM 86RT
12
3
12.70
1.2
.53
1.00
13.50 1 .2
27.00
6.35
/○ OD2
T1
6.35
C
OD2
SCM 42T
型式
C
T1
C
L
/○ OD1
OD1
T2
A
単位：mm
SCM アングルティー
型式
T
L
/○ OD
OD
T
C
A
L
SCM 20AT
1
3.1
0.70
10.32
7.
1 .2
SCM 40AT
1
6.35
1.00
10.32
7.
1 .2
SCM 60AT
3
.53
1.00
11. 1
11.12
17. 7
SCM 80AT
12
12.70
1.2
13.50
1 .2
20.6
型式
サイズ
OD1
T1
OD2
T2
R
高純度ガス系バルブ
/○ OD
6.35
サイズ
T
C
A
A
L
6.35
C
6.35
C
A
L
7
SCM 42R
1
1
6.35
1.00
3.1
0.70
2.15
SCM 62R
3
1
.53
1.00
3.1
0.70
3.75
SCM 64R
3
1
.53
1.00
6.35
1.00
3.75
SCM 82R
12
1
12.70
1.2
3.1
0.70
5.10
SCM 84R
12
1
12.70
1.2
6.35
1.00
5.10
SCM 86R
12
3
12.70
1.2
.53
1.00
5.10
OD
T
C
A
L
高純度ガス系継手
SCM レジューサー
/○ OD2
T1
T2
R
/ OD1
○
6.35
19.05
型式
/○ OD
サイズ
SCM 20C
1
3.1
0.70
10.32
7.
20.6
SCM 40C
1
6.35
1.00
10.32
7.
20.6
SCM 60C
3
.53
1.00
11. 1
11.12
23. 2
真空バルブ
SCM クロス
6.35
T
/ OD T
C
○
A
L
C
6.35
C
6.35
C
A
L
6.35
A
/○ OD
L
12
型式
サイズ
12.70
1.2
OD
T
6.35
1.00
OD
T
6.35
1.00
13.50
A
1 .2
27.00
系バルブ
SCM 異寸エルボ
SCM 80C
W
E
T
C
C1
L
10.32
21.00
25.00
T
/○ OD
C1
SCM
40E-P0413
T
1
7.
A
系継手
A
A
6.35
C
SCM 異寸ティー
型式
C1
サイズ
A
C
C1
C2
L
T
/○ OD
C2
SCM
40T-P0413
T
1
7.
6.35
25.00 21.00 20.6
A
C
A
C
A
L
5
ウェットシステム
/○ OD
W
E
T
単位：mm
SCM 異寸ティー
型式
/○ OD
T
A
A
C
OD
T
A
6.35
1.00
C
C1
C2
L
6.35
50.00
/○ OD
T
C2
C1
サイズ
A
SCM
40T-P1304
1
7.
21.03 10.32
C
L
SCL 90°エルボ
型式
/○ OD
C
サイズ
OD
T
C
A
L1
SCL 40E
1
6.35
1.00
25.00
11.00
1 .05
SCL 60E
3
.53
1.00
25.00
11.00
1 .05
SCL 80E
12
12.70
1.2
2 .00
17.00
1 .05
SCL 120E
3
1 .05
1.2
.00
22.00
33.00
OD
T
C
A
L1
L2
T
L1
T
/○ OD
C
L1
A
SCL 同径ティー
型式
/○ OD
SCL 40T
1
6.35
1.00
25.00
11.00
1 .05
50.00
SCL 60T
3
.53
1.00
25.00
11.00
1 .05
50.00
SCL 80T
12
12.70
1.2
2 .00
17.00
1 .05
5 .00
SCL 120T
3
1 .05
1.2
.00
22.00
33.00
.00
T
L1
C
サイズ
T
L1
C
C
L2
L1
/○ OD
A
SCL 異径ティー
型式
/○ OD2
T2
L1
C
/○ OD1
OD1
T1
OD2
.53
1.00
6.35
1.00 25.00 11.00 1 .05 50.00
T2
C
A
L1
L2
SCL 64T
3
1
SCL 84T
12
1
12.70 1.2
6.35
1.00 2 .00 17.00 1 .05 5 .00
SCL 86T
12
3
12.70 1.2
.53
1.00 2 .00 17.00 1 .05 5 .00
SCL 124T
3
1
1 .05 1.2
6.35
1.00
.00 22.00 33.00
.00
SCL 126T
3
3
1 .05 1.2
.53
1.00
.00 22.00 33.00
.00
SCL 128T
3
12
1 .05 1.2
.00 22.00 33.00
.00
T1
L1
C
C
L2
L1
A
SCL レジューサー
型式
T1
R
T2
/○ OD1
L1
L2
58
サイズ
/○ OD2
サイズ
12.70 1.2
OD1
T1
OD2
T2
L1
L2
SCL 64R
3
1
.53
1.00
6.35
1.00
1 .05
0.00
SCL 84R
12
1
12.70
1.2
6.35
1.00
1 .05
0.00
SCL 86R
12
3
12.70
1.2
.53
1.00
1 .05
0.00
SCL 124R
3
1
1 .05
1.2
6.35
1.00
1 .05
55.00
SCL 126R
3
3
1 .05
1.2
.53
1.00
1 .05
55.00
SCL 128R
3
12
1 .05
1.2
12.7
1.2
1 .05
55.00
高純度ガス系バルブ
SCF
スーパークリーンフィッティング
自動溶接用継手
■主な特徴
◎高純度ガス供給用の溶接継手です。
◎放出ガスを抑えるために素材には超高純度配管用真空２重溶解材をオプションとして採用しています。
◎電解研磨処理により面粗さを Rz0.7μm以下を実現しています。
高純度ガス系継手
◎形状がコンパクトなため、配管の省スペース化が可能です。
◎自動溶接に適したネック（直管部）付で突合せ溶接用の開先のため、高品質の溶接が簡単に行えます。
◎カタログ外のサイズやフランジ等は各営業担当にお問い合わせ下さい。
■製品コード表
製品名
スペース
品種
スペース
SCF
□
90E
□
100A
スペース
厚さ（同径）
スペース
グレード＋材質
□
5S
□
BA 316L
サイズ（異径）
90E 90°
エルボ
T ティー
RC 同心レジューサー
LAP
（L）ラップ
＊上記以外の品種は
お問い合わせ下さい
100A × 1/4
（大径側）
（小径側）
厚さ（異径）
BA 316L 機械研磨仕上げ＋SUS316L
EP 316L 電解研磨仕上げ＋SUS316L
SEP
電解研磨仕上げ＋SUS316LE
316LE （真空二重溶解材）
注：グレードと材質の間はスペースが入ります。
5S × 1.0T
（大径側）
（小径側）
＊肉厚が同じ場合は小径側は省略
呼び径
外径 1/4"
6.35mm
3/8"
9.53mm
1/2"
12.7mm
3/4"
19.05mm
1"
25.4mm
10A
17.3mm
15A
21.7mm
20A
27.2mm
25A
34.0mm
32A
42.7mm
40A
48.6mm
50A
60.5mm
65A
76.3mm
80A
89.1mm
100A 114.3mm
標記
1.0T
1.0T
1.24T
1.24T
1.65T
5S
5S
5S
5S
5S
5S
5S
5S
5S
5S
呼び径
1/4"
3/8"
1/2"
3/4"
1"
10A
15A
20A
25A
32A
40A
50A
65A
80A
100A
厚さ 1.0mm
1.0mm
1.24mm
1.24mm
1.65mm
1.2mm
1.65mm
1.65mm
1.65mm
1.65mm
1.65mm
1.65mm
2.1mm
2.1mm
2.1mm
W
E
T
系バルブ
標記
1/4
3/8
1/2
3/4
1
10A
15A
20A
25A
32A
40A
50A
65A
80A
100A
真空バルブ
SCF
溶接継手
サイズ（同径）
■製品グレード
グレード
材質
内面粗度
研磨
BA
Rz3.2
EP
S S316 、S S316
m
SEP
Rz0.7
m
W
E
T
1重
梱包
系継手
洗浄
2重
■製作範囲表
P
SUS316LE
S P
ウェットシステム
SUS316L
サイズ
1/4" ∼ 1/2"
3/4" ∼ 1"
10A ∼ 100A
の
は
当
い合
い。
5
単位：mm
SCF 90°エルボ
型式
L
T
/○ OD
サイズ
OD
T
R
A
L
SCF 90E 1/4
1
6.35
1.00
.53
0.0
2 .0
SCF 90E 3/8
3
.53
1.00
1 .30
5.0
2 .0
SCF 90E 1/2
12
12.70
1.2
15.30
50.0
2 .0
SCF 90E 3/4
3
1 .05
1.2
1 .05
60.0
36.0
1
25. 0
1.65
25. 0
65.0
36.0
SCF 90E 10A
10
17.30
1.20
17.30
60.0
2 .0
SCF 90E 15A
15
21.70
1.65
21.70
65.0
36.0
SCF 90E 20A
20
27.20
1.65
27.20
70.0
36.0
SCF 90E 25A
25
3 .00
1.65
3 .00
75.0
36.0
SCF 90E 32A
32
2.70
1.65
2.70
0.0
6.0
SCF 90E 40A
0
.60
1.65
.60
100.0
6.0
SCF 90E 50A
50
60.50
1.65
60.50
115.0
6.0
SCF 90E 65A
65
76.30
2.10
76.30
1 0.0
51.0
SCF 90E 80A
0
.10
2.10
.10
150.0
51.0
SCF 90E 100A
100
11 .30
2.10
11 .30
175.0
51.0
SCF 90E 125A
125
13 . 0
2. 0
1 0.50
260.0
60.0
SCF 90E 150A
150
165.20
2. 0
22 .60
300.0
60.0
OD
T
C
M
L
R
A
SCF 90E 1
A
SCF ティー（同径）：チューブサイズ
型式
T
サイズ
SCF T 1/4
1
6.35
1.00
35.0
35.0
25.0
SCF T 3/8
3
.53
1.00
3 .0
3 .0
25.0
SCF T 1/2
12
12.70
1.2
0.0
0.0
25.0
SCF T 3/4
3
1 .05
1.2
55.0
55.0
36.0
1
25. 0
1.65
55.0
55.0
36.0
サイズ
OD
T
C
M
L
/○ OD
L
M
L
T
/ OD
○
C
C
SCF T 1
SCF ティー（同径）：パイプサイズ
型式
T
/○ OD
L
M
L
T
/ OD
○
C
C
SCF T 10A
10
17.30
1.20
50.0
50.0
35.0
SCF T 15A
15
21.70
1.65
55.0
55.0
36.0
SCF T 20A
20
27.20
1.65
55.0
55.0
36.0
SCF T 25A
25
3 .00
1.65
60.0
60.0
36.0
SCF T 32A
32
2.70
1.65
75.0
75.0
6.0
SCF T 40A
0
.60
1.65
0.0
0.0
6.0
SCF T 50A
50
60.50
1.65
5.0
5.0
6.0
SCF T 65A
65
76.30
2.10
100.0
100.0
51.0
SCF T 80A
0
.10
2.10
105.0
105.0
51.0
SCF T 100A
100
11 .30
2.10
120.0
120.0
51.0
SCF T 125A
125
13 . 0
2. 0
200.0
200.0
60.0
SCF T 150A
150
165.20
2. 0
220.0
220.0
60.0
単位：mm
SCF ティー（異径）
型式
/○ OD2
L2
M
L1
C
C
T1
/○ OD1
OD1
OD2
T1
T2
C
M
L1
L2
SCF T 3/8X1/4
3
1
.53 6.35 1.00 1.00 3 .0 3 .0 25.0 25.0
SCF T 1/2X1/4
12
1
12.7 6.35 1.2
1.00
0.0
0.0 25.0 25.0
SCF T 1/2X3/8
12
3
12.7
1.00
0.0
0.0 25.0 25.0
SCF T 3/4X1/4
3
1
1 .05 6.35 1.2
1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 3/4X3/8
3
3
1 .05
1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 3/4X1/2
3
1 2 1 .05 12.70 1.2
.53 1.2
.53 1.2
1.2
50.0 50.0 36.0 2 .0
1
1
25. 0 6.35 1.65 1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 1X3/8
1
3
25. 0
SCF T 1X1/2
1
12
25. 0 12.70 1.65 1.2
50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 1X3/4
1
3
25. 0 1 .05 1.65 1.2
55.0 55.0 36.0 36.0
.53 1.65 1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 10AX1/4
10
1
17.30 6.35 1.20 1.00 50.0
5.0 36.0 2 .0
SCF T 10AX3/8
10
3
17.30
5.0 36.0 25.0
SCF T 10AX1/2
10
1 2 17.30 12.7 1.20 1.2
SCF T 15AX1/4
15
1
21.70 6.35 1.65 1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 15AX3/8
15
3
21.70
SCF T 15AX1/2
15
1 2 21.70 12.70 1.65 1.2
50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 15AX3/4
15
3
21.70 1 .05 1.65 1.2
55.0 55.0 36.0 36.0
SCF T 20AX1/4
20
1
27.20 6.35 1.65 1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 20AX3/8
20
3
27.20
SCF T 20AX1/2
20
1 2 27.20 12.70 1.65 1.2
50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 20AX3/4
20
3
27.20 1 .05 1.65 1.2
55.0 55.0 36.0 36.0
15
27.20 21.70 1.65 1.65 55.0 55.0 36.0 36.0
.53 1.20 1.00 50.0
50.0
5.0 36.0 2 .0
.53 1.65 1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
1
3 .00 6.35 1.65 1.00 50.0 55.0 36.0 2 .0
SCF T 25AX3/8
25
3
3 .00
SCF T 25AX1/2
25
1 2 3 .00 12.70 1.65 1.2
50.0 55.0 36.0 2 .0
SCF T 25AX3/4
25
3
3 .00 1 .05 1.65 1.2
60.0 60.0 36.0 36.0
SCF T 25AX15A 25
15
3 .00 21.70 1.65 1.65 60.0 60.0 36.0 36.0
SCF T 25AX20A 25
20
3 .00 27.20 1.65 1.65 60.0 60.0 36.0 36.0
.53 1.65 1.00 50.0 55.0 36.0 2 .0
1
2.70 6.35 1.65 1.00 60.0 60.0
6.0 2 .0
SCF T 32AX3/8
32
3
2.70
6.0 2 .0
SCF T 32AX1/2
32
12
2.70 12.70 1.65 1.2
60.0 60.0
6.0 2 .0
SCF T 32AX3/4
32
3
2.70 1 .05 1.65 1.2
70.0 70.0
6.0 36.0
SCF T 32AX15A 32
15
2.70 21.70 1.65 1.65 70.0 70.0
6.0 36.0
SCF T 32AX20A 32
20
2.70 27.20 1.65 1.65 70.0 70.0
6.0 36.0
SCF T 32AX25A 32
25
2.70 3 .00 1.65 1.65 70.0 70.0
6.0 36.0
.60 6.35 1.65 1.00 60.0 60.0
6.0 2 .0
.53 1.65 1.00 60.0 60.0
ウェットシステム
32
W
E
T
系継手
SCF T 32AX1/4
1
W
E
T
系バルブ
25
0
真空バルブ
.53 1.65 1.00 50.0 50.0 36.0 2 .0
SCF T 25AX1/4
SCF T 40AX1/4
高純度ガス系継手
SCF T 1X1/4
SCF T 20AX15A 20
高純度ガス系バルブ
T2
サイズ
単位：mm
SCF ティー（異径）
型式
T2
/○ OD2
L2
M
L1
C
C
T1
/○ OD1
サイズ
OD1
OD2
T1
T2
C
M
.53 1.65 1.00 60.0 60.0
L1
L2
SCF T 40AX3/8
0
3
.60
SCF T 40AX1/2
0
12
.60 12.70 1.65 1.2
60.0 60.0
6.0 2 .0
SCF T 40AX3/4
0
3
.60 1 .05 1.65 1.2
70.0 70.0
6.0 36.0
SCF T 40AX15A
0
15
.60 21.70 1.65 1.65 70.0 70.0
6.0 36.0
SCF T 40AX20A
0
20
.60 27.20 1.65 1.65 70.0 70.0
6.0 36.0
SCF T 40AX25A
0
25
.60 3 .00 1.65 1.65 70.0 70.0
6.0 36.0
SCF T 40AX32A
0
32
.60 2.70 1.65 1.65
6.0
SCF T 50AX1/4
50
1
60.50 6.35 1.65 1.00 60.0 65.0
6.0 2 .0
SCF T 50AX3/8
50
3
60.50
6.0 2 .0
SCF T 50AX1/2
50
1 2 60.50 12.70 1.65 1.2
60.0 65.0
6.0 2 .0
SCF T 50AX3/4
50
3
60.50 1 .05 1.65 1.2
70.0 75.0
6.0 36.0
SCF T 50AX15A 50
15
60.50 21.70 1.65 1.65 70.0 75.0
6.0 36.0
SCF T 50AX20A 50
20
60.50 27.20 1.65 1.65 70.0 75.0
6.0 36.0
SCF T 50AX25A 50
25
60.50 3 .00 1.65 1.65 70.0 75.0
6.0 36.0
SCF T 50AX32A 50
32
60.50 2.70 1.65 1.65
0.0
5.0
6.0
6.0
SCF T 50AX40A 50
0
60.50
0.0
5.0
6.0
6.0
0.0
0.0
.53 1.65 1.00 60.0 65.0
.60 1.65 1.65
6.0 2 .0
6.0
SCF T 65AX1/4
65
1
76.30 6.35 2.10 1.00 65.0 75.0 51.0 2 .0
SCF T 65AX3/8
65
3
76.30
SCF T 65AX1/2
65
1 2 76.30 12.70 2.10 1.2
65.0 75.0 51.0 2 .0
SCF T 65AX3/4
65
3
76.30 1 .05 2.10 1.2
75.0
5.0 51.0 36.0
SCF T 65AX15A 65
15
76.30 21.70 2.10 1.65 75.0
5.0 51.0 36.0
SCF T 65AX20A 65
20
76.30 27.20 2.10 1.65 75.0
5.0 51.0 36.0
SCF T 65AX25A 65
25
76.30 3 .00 2.10 1.65 75.0
5.0 51.0 36.0
SCF T 65AX32A 65
32
76.30 2.70 2.10 1.65
0.0
5.0 51.0
6.0
SCF T 65AX40A 65
0
76.30
.60 2.10 1.65
0.0
5.0 51.0
6.0
SCF T 65AX50A 65
50
76.30 60.50 2.10 1.65
0.0
5.0 51.0
6.0
.53 2.10 1.00 65.0 75.0 51.0 2 .0
SCF T 80AX1/4
0
1
.10 6.35 2.10 1.00 65.0
0.0 51.0 2 .0
SCF T 80AX3/8
0
3
.10
0.0 51.0 2 .0
SCF T 80AX1/2
0
12
.10 12.70 2.10 1.2
65.0
0.0 51.0 2 .0
SCF T 80AX3/4
0
3
.10 1 .05 2.10 1.2
75.0
0.0 51.0 36.0
SCF T 80AX15A
0
15
.10 21.70 2.10 1.65 75.0
0.0 51.0 36.0
SCF T 80AX20A
0
20
.10 27.20 2.10 1.65 75.0
0.0 51.0 36.0
SCF T 80AX25A
0
25
.10 3 .00 2.10 1.65 75.0
0.0 51.0 36.0
SCF T 80AX32A
0
32
.10 2.70 2.10 1.65
0.0 100.0 51.0
6.0
SCF T 80AX40A
0
0
.10
.60 2.10 1.65
0.0 100.0 51.0
6.0
SCF T 80AX50A
0
50
.10 60.50 2.10 1.65
0.0 100.0 51.0
6.0
.53 2.10 1.00 65.0
単位：mm
SCF ティー（異径）
型式
T2
/○ OD2
L2
M
L1
C
T1
C
/○ OD1
T2
C
M
L1
L2
.10 76.30 2.10 2.10 100.0 105.0 51.0 51.0
1
11 .3 6.35 2.10 1.00 65.0
5.0 51.0 2 .0
SCF T 100AX3/8 100
3
11 .3
5.0 51.0 2 .0
SCF T 100AX1/2 100
1 2 11 .3 12.70 2.10 1.2
65.0
SCF T 100AX3/4 100
3
11 .3 1 .05 2.10 1.2
75.0 100.0 51.0 36.0
SCF T 100AX15A 100
15
11 .3 21.70 2.10 1.65 75.0 100.0 51.0 36.0
SCF T 100AX20A 100
20
11 .3 27.20 2.10 1.65 75.0 100.0 51.0 36.0
SCF T 100AX25A 100
25
11 .3 3 .00 2.10 1.65 75.0 100.0 51.0 36.0
SCF T 100AX32A 100
32
11 .3 2.70 2.10 1.65
0.0 110.0 51.0
6.0
SCF T 100AX40A 100
0
11 .3
.60 2.10 1.65
0.0 110.0 51.0
6.0
SCF T 100AX50A 100
50
11 .3 60.50 2.10 1.65
0.0 110.0 51.0
6.0
SCF T 100AX65A 100
65
11 .3 76.30 2.10 2.10 105.0 120.0 51.0 51.0
SCF T 100AX80A 100
0
11 .30
サイズ
OD1
OD2
T1
T2
H
L1
L2
.53 2.10 1.00 65.0
5.0 51.0 2 .0
.10 2.10 2.10 105.0 120.0 51.0 51.0
.53
6.35
1.00
1.00
75.0
25.0
25.0
SCF RC 1/2X1/4
12
1
12.70
6.35
1.2
1.00
75.0
25.0
25.0
SCF RC 1/2X3/8
12
3
12.70
.53
1.2
1.00
75.0
25.0
25.0
/○ OD1
SCF RC 3/4X1/4
3
1
1 .05
6.35
1.2
1.00
100.0
36.0
25.0
T1
SCF RC 3/4X3/8
3
3
1 .05
.53
1.2
1.00
100.0
36.0
25.0
SCF RC 3/4X1/2
3
12
1 .05 12.70
1.2
1.2
100.0
36.0
25.0
SCF RC 15AX3/8
15
3
21.70
.53
1.65
1.00
110.0
36.0
25.0
SCF RC 15AX1/2
15
12
21.70 12.70
1.65
1.2
110.0
36.0
25.0
SCF RC 20AX3/8
20
3
27.20
.53
1.65
1.00
120.0
36.0
25.0
SCF RC 20AX1/2
20
12
27.20 12.70
1.65
1.2
120.0
36.0
25.0
15
27.20 21.70
1.65
1.65
120.0
36.0
36.0
12
3 .00 12.70
1.65
1.2
125.0
36.0
25.0
SCF RC 25AX15A 25
15
3 .00 21.70
1.65
1.65
125.0
36.0
36.0
SCF RC 25AX20A 25
20
3 .00 27.20
1.65
1.65
125.0
36.0
36.0
SCF RC 32AX15A 32
15
2.70 21.70
1.65
1.65
13 .0
6.0
36.0
SCF RC 32AX20A 32
20
2.70 27.20
1.65
1.65
13 .0
6.0
36.0
SCF RC 32AX25A 32
25
2.70 3 .00
1.65
1.65
13 .0
6.0
36.0
SCF RC 40AX20A
0
20
.60 27.20
1.65
1.65
152.0
6.0
36.0
SCF RC 40AX25A
0
25
.60 3 .00
1.65
1.65
152.0
6.0
36.0
SCF RC 40AX32A
0
32
.60
2.70
1.65
1.65
162.0
6.0
6.0
SCF RC 50AX20A 50
20
60.50 27.20
1.65
1.65
16 .0
6.0
36.0
SCF RC 50AX25A 50
25
60.50 3 .00
1.65
1.65
16 .0
6.0
36.0
L1
T2
SCF RC 20AX15A 20
SCF RC 25AX1/2
25
W
E
T
W
E
T
ウェットシステム
1
系継手
3
系バルブ
SCF RC 3/8X1/4
真空バルブ
/○ OD2
H
T1
SCF T 100AX1/4 100
型式
L2
65
OD2
高純度ガス系継手
SCF レジューサー
0
OD1
高純度ガス系バルブ
SCF T 80AX65A
サイズ
単位：mm
SCF レジューサー
型式
H
L2
H
L1
L2
1.65
1.65
17 .0
6.0
6.0
SCF RC 50AX40A 50
0
60.50
.60
1.65
1.65
17 .0
6.0
6.0
SCF RC 65AX32A 65
32
76.30
2.70
2.10
1.65
1 2.0
51.0
6.0
/○ OD1
SCF RC 65AX40A 65
0
76.30
.60
2.10
1.65
1 2.0
51.0
6.0
T1
SCF RC 65AX50A 65
50
76.30 60.50
2.10
1.65
1 2.0
51.0
6.0
SCF RC 80AX32A
0
32
.10
2.70
2.10
1.65
1 2.0
51.0
6.0
SCF RC 80AX40A
0
0
.10
.60
2.10
1.65
1 2.0
51.0
6.0
SCF RC 80AX50A
0
50
.10 60.50
2.10
1.65
1 2.0
51.0
6.0
SCF RC 80AX65A
0
65
.10 76.30
2.10
2.10
1 7.0
51.0
51.0
SCF RC 100AX40A 100
0
.60
2.10
1.65
205.0
51.0
6.0
SCF RC 100AX50A 100
50
11 .30 60.50
2.10
1.65
205.0
51.0
6.0
SCF RC 100AX65A 100
65
11 .30 76.30
2.10
2.10
210.0
51.0
51.0
SCF RC 100AX80A 100
0
11 .30
2.10
2.10
210.0
51.0
51.0
H
L1
/○ OD1
T1
T2
2.70
型式
T2
T1
60.50
SCF レジューサー
/○ OD2
OD2
32
T2
L2
OD1
SCF RC 50AX32A 50
L1
/○ OD2
サイズ
サイズ
11 .30
.10
OD1
OD2
T1
T2
H
L1
L2
SCF RC 32AX1/4 32
1
2.70
6.35
1.65
1.00
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 32AX3/8 32
3
2.70
.53
1.65
1.00
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 32AX1/2 32
12
2.70 12.70
1.65
1.2
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 32AX3/4 32
3
2.70 1 .05
1.65
1.2
125.0
6.0
36.0
SCF RC 40AX1/4
0
1
.60
6.35
1.65
1.00
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 40AX3/8
0
3
.60
.53
1.65
1.00
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 40AX1/2
0
12
.60 12.70
1.65
1.2
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 40AX3/4
0
3
.60 1 .05
1.65
1.2
125.0
6.0
36.0
SCF RC 40AX15A
0
15
.60 21.70
1.65
1.65
125.0
6.0
36.0
SCF RC 50AX1/4 50
1
60.50
6.35
1.65
1.00
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 50AX3/8 50
3
60.50
.53
1.65
1.00
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 50AX1/2 50
12
60.50 12.70
1.65
1.2
11 .0
6.0
2 .0
SCF RC 50AX3/4 50
3
60.50 1 .05
1.65
1.2
125.0
6.0
36.0
SCF RC 50AX15A 50
15
60.50 21.70
1.65
1.65
125.0
6.0
36.0
SCF RC 65AX1/4 65
1
76.30
6.35
2.10
1.00
123.0
51.0
2 .0
SCF RC 65AX3/8 65
3
76.30
.53
2.10
1.00
123.0
51.0
2 .0
SCF RC 65AX1/2 65
12
76.30 12.70
2.10
1.2
123.0
51.0
2 .0
SCF RC 65AX3/4 65
3
76.30 1 .05
2.10
1.2
130.0
51.0
36.0
SCF RC 65AX15A 65
15
76.30 21.70
2.10
1.65
130.0
51.0
36.0
SCF RC 65AX20A 65
20
76.30
27.2
2.10
1.65
130.0
51.0
36.0
SCF RC 65AX25A 65
25
76.30
3 .0
2.10
1.65
130.0
51.0
36.0
.10
6.35
2.10
1.00
135.0
51.0
2 .0
SCF RC 80AX1/4
0
1
単位：mm
SCF レジューサー
型式
L1
L2
/○ OD1
/○ OD2
T2
T1
t
/○ G
/○ OD
L1
L
T2
H
L1
L2
0
3
.10
.53
2.10
1.00
135.0
51.0
2 .0
SCF RC 80AX1/2
0
12
.10
12.7
2.10
1.2
135.0
51.0
2 .0
SCF RC 80AX3/4
0
3
.10 1 .05
2.10
1.2
1 2.0
51.0
36.0
SCF RC 80AX15A
0
15
.10 21.70
2.10
1.65
1 2.0
51.0
36.0
SCF RC 80AX20A
0
20
.10 27.20
2.10
1.65
1 2.0
51.0
36.0
SCF RC 80AX25A
0
25
.10
3 .0
2.10
1.65
1 2.0
51.0
36.0
SCF RC 100AX1/4 100
1
11 .30 6.35
2.10
1.00
157.0
51.0
2 .0
SCF RC 100AX3/8 100
3
11 .30
.53
2.10
1.00
157.0
51.0
2 .0
SCF RC 100AX1/2 100
1 2 11 .30 12.70
2.10
1.2
157.0
51.0
2 .0
SCF RC 100AX3/4 100
3
11 .30 1 .05
2.10
1.2
16 .0
51.0
36.0
SCF RC 100AX15A 100
15
11 .30 21.70
2.10
1.65
16 .0
51.0
36.0
SCF RC 100AX20A 100
20
11 .30 27.20
2.10
1.65
16 .0
51.0
36.0
SCF RC 100AX25A 100
25
11 .30 3 .00
2.10
1.65
16 .0
51.0
36.0
SCF RC 100AX32A 100
32
11 .30
2.70
2.10
1.65
17 .0
51.0
6.0
OD
T
t
L
G
L1
R
サイズ
15
21.70
2.10
1.65
65.0
51.0
0.0
3.0
SCF LAP(L) 20A
20
27.20
2.10
1.65
65.0
56.0
0.0
3.0
SCF LAP(L) 25A
25
3 .00
2. 0
1.65
5.0
67.0
0.0
3.0
SCF LAP(L) 32A
32
2.70
2. 0
1.65
5.0
76.0
50.0
.0
SCF LAP(L) 40A
0
.60
2. 0
1.65
5.0
1.0
50.0
.0
SCF LAP(L) 50A
50
60.50
2. 0
1.65
5.0
6.0
50.0
.0
SCF LAP(L) 65A
65
76.30
3.00
2.10
100.0 116.0
55.0
5.0
SCF LAP(L) 80A
0
.10
3.00
2.10
100.0 126.0
55.0
5.0
SCF LAP(L) 100A
100
11 .30 3.00
2.10
100.0 151.0
55.0
5.0
W
E
T
系バルブ
SCF LAP(L) 15A
真空バルブ
R
T1
SCF RC 80AX3/8
型式
T
OD2
高純度ガス系継手
SCF ラップジョイント
OD1
高純度ガス系バルブ
H
サイズ
系継手
W
E
T
ウェットシステム
5
SQ
キッツエスシーティーの SQ 継手は、石英チャンバー・リアクターにお使
いいただける、安全で再現性のある接続継手です。
スーパークオーツ ･ ロック継手
■主な特徴
◎シール部分を 2 個の O リングでシールする事でガラスチューブ、メタルチューブを確実にシール致します。（抜け・共回り防止）
◎ナット締め付けによる O リングの供回り防止と、O リングの抜け止めとして、フッ素樹脂コーティングワッシャーを使用してい
ます。
◎取り付けや取り外しを繰り返しても、信頼性の高い優れたシール性能を常に実現します。
◎ストッパーによって、ナットの締め付け量が一定です。ナットの締めすぎによる石英管の破損を防止します。
◎超精密洗浄処理により従来品よりクリーン環境でご使用いただけます。
■主な仕様
φ10
石英サイズ
使用圧力
使用流体温度範囲
V C
-10
φ12
1atm
150
■製品グレード
P
S S316
Rz0.7 m
グレード ※1
ボディ材質
端管部内面粗度
O リングシール部研磨
洗浄
1重
梱包
※ 1　STD グレードについては、各営業担当にご相談ください。
■ SQ 寸法
単位：mm
モデル
型式
SQ10A-4W-F
石英チューブ SUS チューブ
サイズ φOD1 サイズ φOD2
L
A
B
C
10
φD
φd
2
20
t
E
17
t
E
/○ d /○ OD2
/○ D
6.35
A
B
C
3
7
10
12
1
/○ OD1
L
SQ12A-4W-F
12
※ 2　他のサイズの製作実績もござます。仕様にないサイズやゲージポートなどの製品については各営業担当にご相談ください。
26
22
1
高純度ガス系バルブ
IF
IF フランジ
■主な特徴
◎高純度ガス系での樹脂パッキンシールの排除。ニッケルガスケットを採用することでシール性能も高気密を実現。また耐食性に優れ、腐食ガス
にも対応可能
◎大流量タイプに最適。サイズが 10A ～ 80A と液晶・太陽電池向け大量ガス供給に対応。
施工が容易。
◎使用温度が -200 ～ 450℃と広範囲に対応可能。
■主な仕様
サイズ
使用圧力
リーク性能
使用流体温度範囲
10A
20A
25A
-200
1
50
32A
40A
50A
10-6Pa
1 Pa G）
1
10-10Pa m3 s
用温度
は当 計算値による）
65A
80A
高純度ガス系継手
◎配管施工性の向上。ガスケット固定ピンで仮止め可能、施工時のガスケット脱落防止。回転フランジ採用により、狭い箇所での
■製品グレード
N C
材質
洗浄
Rz12
m
201）
5056
S S30
※
Rz0.7
m
1重
2重
1重
2重
1重
1重
W
E
T
系バルブ
梱包
内面粗度
フランジ、ガスケット、ガス
ケット固定ピン
回転フランジ
ボルト・ナット・ワッシャー
フランジ
回転フランジ
ガスケット
ガスケット固定ピン
ボルト・ナット・ワッシャー
P
S S316
S S30
真空バルブ
ST
グレード（フランジのみ）
※かじり等を生じるおそれがある場合には潤滑材をご使用ください。
系継手
W
E
T
ウェットシステム
■フランジ 寸法
モデル
型式
4- /○ 2
f
/○ B
/○ D
/○ E
/○ C
/○ A
L1
L
■回転フランジ 寸法
モデル
N- /○ H
N- /○ H
45°
60°
/○ D
/○ B
/○ B
/○ C /○ A
/○ D
/○ C /○ A
S
T
S
10
T
25
32
0
■ブランクフランジ 寸法
/○ B
/○ B
/○ C /○ A
T
10
25
32
0
■ガスケット 寸法
モデル
2- /○ 2.6
/○ A
T
/○ B
■ガスケット固定ピン 寸法
モデル
/○ D
E
L
2
16
17.3
22
10 .5
1.0
1.20
32
20
21.7
26
10 .5
7 .0
1.65
37
25
27.2
31
10 .5
7 .0
1.65
6
3
3
0
10 .5
75.0
1.65
10 .5
7 .0
1.65
3
IF15-5SW
15
3
IF20-5SW
20
3
IF25-5SW
25
52
IF32-5SW
32
60
5
IF40-5SW
0
66
60
IF50-5SW
50
7
IF65-5SW
65
IF80-5SW
0
型式
サイズ
A
2
2.7
5
10 .5
73.0
1.65
72
60
60.5
66
10 .5
71.0
1.65
7
1
77
76.3
3
10 .5
65.0
2.10
110
10
0
.1
6
10 .5
6 .0
2.10
.6
単位：mm
D
S
IF10-RAF
10
61
15
6
N-φH
-φ７
IF15-RAF
15
6
17
50
-φ９
IF20-RAF
20
1
57
-φ11
3
32
52
1
60
T
0
B
C
3
23
11
3
27
12
1
IF25-RAF
25
20
6
-φ13
IF32-RAF
32
10
21
7
-φ11
IF40-RAF
0
106
22
IF50-RAF
50
122
2
IF65-RAF
65
153
2
11
-φ1
7
IF80-RAF
0
166
30
132
-φ1
110
B
0
15
16
-φ11
66
55
17
-φ13
7
67
1
23
7
2
単位：mm
C
IF10-BLF
10
61
15
6
N- / H
15
6
17
50
-φ９
45°
IF20-BLF
20
1
57
-φ11
3
IF25-BLF
25
20
6
-φ13
52
IF32-BLF
32
10
21
7
IF40-BLF
0
106
22
サイズ
A
T
0
0
3
3
-φ11
60
-φ11
66
-φ13
7
IF50-BLF
50
122
2
IF65-BLF
65
153
2
11
-φ1
7
IF80-BLF
0
166
30
132
-φ1
110
サイズ
A
T
B
単位：mm
C
IF10-NIG
10
3
2.
16
2
IF15-NIG
15
3
2.
20
32
IF20-NIG
20
3
2.
25
37
IF25-NIG
25
52
2.
3
6
IF32-NIG
32
60
2.
IF40-NIG
0
66
2.
IF50-NIG
50
7
2.
60
72
IF65-NIG
65
7
2.
77
1
IF80-NIG
0
110
2.
0
10
2
5
60
型式
A
B
C
IF-PIN
3
7.5
1.5
単位：mm
D
/○ A
C
B
8
D
10
型式
/○ C
C
IF15-BLF
○
/○ C /○ A
B
IF10-5SW
型式
60°
単位：mm
L1
t
A
N-φH
-φ７
モデル
N- /○ H
サイズ
10A∼80A
2
参考資料 P1 は 1MPa（絶対圧）の時、空気を 1 とした比重にて計算しています。
Cv 値計算式　注 1）
FCI の式　注 2）による：
気体に対する式
700
0.04
600
0.05
500
0.25
( Δ P ＜ 0.5P1 の場合 )
0.27
400
0.3
Cv ＝　300
200
100
0
0.00
0.1
0.2
差圧（MPa）
0.3
0.4
( Δ P ≧ 0.5P1 の場合 )
Cv：弁容量係数
Gg：標準状態の空気に対する標準状態の当該気
体の比重
P1：弁入口圧力〔kg ／ cm2abs〕
P2：弁出口圧力〔kg ／ cm2abs〕
Δ P：弁差圧 P1 － P2〔kg ／ cm2〕
Qg：気体の体積流量〔Nm3 ／ h〕
T1：弁入口温度〔K〕
Cv、差圧 ガス流量特性
3500
3000
真空バルブ
注 1）Cv 値計算式は慣用的に用いられるため、SI
単位系ではなく、
旧単位系のままで示します。
注 2）FCI-62 : Recommended Voluntary Standard
Formulas for Sizing Control Vaives
高純度ガス系継手
流量 L ／ min
Qg
Qg
Cv ＝ 273
273
0.1
高純度ガス系バルブ
Cv、差圧 ガス流量特性
0.7
流量 L ／ min
2500
0.85
1.7
400
1500
W
E
T
系バルブ
1000
500
0
0.00
0.1
0.2
0.3
0.4
差圧（MPa）
系継手
W
E
T
ウェットシステム
58