Motion Control Products 真空仕様自動ステージ VSGSP-(X) 真空環境に対応したリミットセンサを搭載した自動ステージです。 アプリケーション システム ◦直動系は35～200mmのロングストロークを実現し、 従来のSGSPシリーズと同様でコンパクト化を実現しました。 ご案内 光学素子 ▶モータケーブルとセンサケーブルは、 バラ線1ｍとなっています。 ホルダー ■リミットセンサ（高真空度対応型スイッチ） ベース 直動ステージシリーズノーマルクローズ仕様 手動ステージ アクチュエータ 回転ステージシリーズノーマルオープン仕様 注3 注3 真空仕様自動回転ステージはコントローラの設定をノーマルオープンにしてください。 自動ステージ 光源 索引 ガイダンス コントローラ/ドライバ ソフトウェア 仕様 価格 〔￥〕 750,000 移動量 〔mm〕 ステッピングモータ 200 60×60 80×80 ボールネジ径φ6 リード1 ボールネジ径φ6 リード1 ボールネジ径φ8 リード2 アウターレール構造 アウターレール構造 アウターレール構造 アルミ ・ステンレス アルミ ・ステンレス アルミ ・ステンレス 表面処理 無 無 無 質量 〔kg〕 1.0 1.1 2.5 4 移動ガイド 分解能 精度仕様 （Full） 〔μm〕 2 2 （Half） 〔μm〕 1 1 2 10 10 20 MAXスピード 〔mm/sec〕 繰返し位置決め精度 〔μm〕 耐荷重 〔N〕 ロストモーション 〔μm〕 直動系 回転系 センサ ゴニオ 800,000 60×60 ステージ材質 ピエゾ VSGSP26-200(X) 760,000 85 送りネジ 〔mm〕 メカ仕様 VSGSP20-85(X) 35 テーブル面サイズ 〔mm〕 ACサーボ ケーブル VSGSP20-35(X) 品番 5 5 10 39.2 （4.0kgf） 39.2 （4.0kgf） 58.8 （6.0kgf） 3 3 10 センサ品番 GN-PT5M3B-1 （㈱メ トロール） GN-PT5M3B-1 （㈱メ トロール） GN-PT5M3B-1 （㈱メ トロール） リミットセンサ 真空タッチセンサ （NORMAL CLOSE） 真空タッチセンサ （NORMAL CLOSE） 真空タッチセンサ （NORMAL CLOSE） 原点センサ 無 無 無 近接原点センサ 無 無 無 真空 オプション □40mm □60mm モータ/センサ仕様 タイプ モータ 真空仕様5相ステッピングモーター 0.75A/相 （オリエンタルモーター㈱） A7298-90215KV （□28mm） ステップ角 □80mm センサ □120mm A7298-90215KV （□28mm） ー 消費電流 ー 制御出力 接点式 出力論理 その他 A7298-90215KV （□28mm） 0.72° 電源電圧 □85mm □100mm モータ品番 NORMAL CLOSE NORMAL CLOSE NORMAL CLOSE 適応ドライバ/コントローラ 制御系 G094 適応ドライバ 適応コントローラ SG-5M､SG-55M､SG-514MSC､MC-7514PCL GSC-01、 GSC-02、 SHOT-702、 GIP-101、 SHOT-302GS､SHOT-304GS、 HIT-M・HIT-S、 PGC-04 WEB http://www.sigma-koki.com/ E-mail [email protected] カタログ コード W9082 外形図 VSGSP20-85(X) 259 6-M4×0.7 深6 モータケーブル 1m 50 リード線PTFE電線 AWG26 5本リード むき出し センサケーブル 1m リード線PTFE電線 AWG27相当 60 2-M4×0.7 深5 モータケーブル 1m リード線PTFE電線 AWG26 5本リード むき出し 16 16 25 25 ホルダー 2-M4×0.7 深5 50 34 8-φ4.5取付穴 ベース 手動ステージ 移動量42.5 60 34 20 34 5 25 25 25 25 5 8-M3×0.5 深6 センサケーブル 1m リード線PTFE電線 AWG27相当 移動量42.5 7 8-φ4.5取付穴 光学素子 6-M4×0.7 深6 移動量17.5 34 20 移動量17.5 φ20 φ20 16 16 25 25 60 □28 8-M3×0.5 深6 160 60 25 25 16 16 5 50 50 50 5 アクチュエータ 7 110 60 25 25 16 16 50 □28 209 アプリケーション システム 六角穴付ボルト M4×12…4本 60 六角穴付ボルト M4×12…4本 50 VSGSP20-35(X) 8-φ4.5 自動ステージ VSGSP26-200(X) 六角穴付ボルト M4×12…8本 光源 5 4-M3×0.5 深6 索引 8-M4×0.7 深6 4-M4×0.7 深6 ガイダンス 80 70 310 80 70 25 25 1616 16 16 25 25 70 φ20 □28 417 コントローラ/ドライバ モータケーブル1m リード線PTFE電線 AWG26 5本リード むき出し センサケーブル 1m リード線PTFE電線 AWG27相当 移動量100 80 ソフトウェア ステッピングモータ 移動量100 10-φ4.5取付穴 15 35 70 70 70 35 15 8 38 24 41 ACサーボ ケーブル 70 ピエゾ 直動系 回転系 ■結線図 ■適応コントローラ/ドライバとケーブル Controller 5相ステッピング モータ E相 1 1 モーターリード 2 2 モーターリード 3 3 モーターリード 4 4 モーターリード 5 5 モーターリード 6 6 GND （0V） 7 7 原点センサ （未使用） 8 8 ＋VS （未使用） 9 （未使用） 9 N.C. 10 （未使用） 10 N.C. 11 11 LS （＋） 12 12 LS （ー） 13 14 13 GND （未使用） 14 原点近接センサ （未使用） 15 15 ＋VS （未使用） D相 B相 C相 注1 モータ側 （＋） リミットセンサ 反モータ側 （−） リミットセンサ 注1 回転ステージには＋リミッ トセンサは、 取り付けられておりません。 注2 モータケーブル・センサケーブルはバラ線となっています。 A相 GSC-01 〔1軸〕 〔2軸〕 GSC-02 SHOT-702 〔2軸〕 〔1軸〕 GIP-101 SHOT-302GS〔2軸〕 SHOT-304GS〔4軸〕 HIT-M・HIT-S 〔8軸〕 〔4軸〕 PGC-04 G098∼G105 Driver ゴニオ Cable Stage 真空 オプション □40mm D15RP-CA G108 Cable □60mm ※ VSGSP20-35(X) VSGSP20-85(X) VSGSP26-200(X) □80mm □85mm □100mm □120mm その他 各種ドライバ G020∼G021 MINI-CA-SG G108 ※ご購入いただいた後、 お客様自身でバラ線仕様に変更お願いします。 TOKYO TEL.03-5638-6551 FAX.03-5638-6550 OSAKA TEL.06-6307-4835 FAX.06-6307-4834 KYUSHU TEL.092-481-4300 FAX.092-481-4310 G095
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