Measuring Nanometer Displacements of Piezoelectric Transducers

!"
$#&%'
()*+(,"
-."/ 0 "1 234"
(*657(
8:9<;>=@?ACB@DE=F9"BG=IHKJL?M=@9<;NAO=PJRQSBUT
VTXWYZD[B\Y
]_^P`X=@acbd=@Q!egfLfhf
ikj4lnm(op_qrsj_tsl u
qp+pvw'v
x y|{\}>~Usy}>+h>
z
xzy|{\}>~Ug>PZ(
U P ¡X>~+¢R£\\y|{\}_¤d{¥¦
§¥[U¥¦_Ö{y|©U~y|¥EªN¬«zg>U¥§¥¦>{ª$®,
À Á
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
Â s¹£¿Ã(¿ ²Ä ¿S¹£»(¶ ½ ºÅ¿(Æ ° ¿Ç¼¿(Ã ² ¹³º¼Ã ² ¹SP»£ PÈFÃ(¿(¹³»*ÉMÊËLÌ,»ÍO¸Î¾¿,ÏR¿(¿(s F¿Î¾¿Ç °¾½ ¿( ´ º ² ¸ ² ¸P¿,UÏFº¼Ç¼º ²¦Ä
²° Ã(¹£¿( ² ¿ÐU °UÑ ¿ ² ¿(¹d Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² »µº¼¹£¿(» ½g° P»£¿ ²£° U+ ½P½ Ç¼ºÅ¿( Î ° Ç ² UÓ¾¿SÔ Â ² ¸Pº¼» ½ ¹ °>Õ ¿Ã ² ¶
Ö_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° º¼ ² ¿¹³×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹C´µU»ÈP»³¿( U»UÙ °¾½F² ºÅÃUÇ\¹£ÈFÇ¼¿(¹Ú ²£° ÃSÇ¼Ã(ÈFÇÒ ² ¿ ² ¸P¿µ PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ²
×EUÃ ²° ¹ ° × ² ¸P¹£¿¿»³¿ ½ U¹£ ² ¿ÊËLÌÛ» Ñ½ Ç¼¿»(ÔÌ,¸F¿¹£¿»£ÈPÇ ² »»£¸ ° ´d¿( nU ½P½ ¹ °Ü º Ñ ² ¿ ÑÝ° ÎU¿ Ñ ¿( ²
° ×dÔßÞUàá Ñ!â Î ° Ç ² º¼ ² ¸F¿KãP¹£» ² ² ´ ° »£ ÑÝ½ Ç¼¿(»¶UP åä¾Ôäæçs Ñâ Î ° Ç ² ºÅ ² ¸P¿ ² ¸Fº¼¹£ n»£ ÑÝ½ Ç¼¿UÔ
ä
èêéë\ìFíî"ïLì
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
,Ì ¸P¿ÈF»£¿ ° ×K» ½ ¿(Ã(º¼UÇ¼ºÅÆ(¿ ðÃ(¿¹ Ñ º¼Ã Ñ ² ¿¹£º¼UÇ¼»$»£ÈFÃ¸6U»!ñX¿S 6ËLº¼¹³Ã ° PºÅÈ Ñ Ì,º ² U ² ¿òÉEÊËLÌ*Í
²° Ã ° ² ¹ ° Ç ÑÝ°S² º ° P» ° I+U °¾Ñ ¿ ² ¿¹»£ÃSÇ¼¿s¸U»ºÅPÃ(¹³¿U»³¿( IÓ¾¹£¿( ² Ç Ä ºÅå¹£¿(Ã¿( ²KÄ ¿(U¹£»ÔsÌ,¸P¿
½ ÈP¹ ½g° »£¿ ° × ² ¸PºÅ»C¹³¿(»£¿(U¹£Ã¸´µU» ²£°Ñ ¿U»³ÈP¹£¿ ² ¸P¿d Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²£° ¹£»µÉES °¾Ñ ¿ ² ¿¹£» â Î ° Ç ² Í ° ×
»£¿(ÇÅ¿(Ã ² º ° ° ×PÊËLÌó» Ñ½ ÇÅ¿(»(¶S ² Î ° Ç ² UÓU¿(»<È ½²£° äô¾ô¾ô,õ¶ÈP»³º¼PÓÐÖ_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° Â ² ¿¹³×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹
Â åUÃ(Ã ° ¹£ PUPÃ(¿´ º ² ¸ ² ¸P¿sÊ"ºÅ¿(Æ ° ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃö÷g¿(Ã ² ¶XU ½P½ ÇÅº¼¿( NÎ ° Ç ² UÓU¿z´ ºÅÇ¼Ç<ÃUÈF»£¿$!ÊËLÌ
²° ¿ Ü ¸Pº¼ÏFº ² ² ºÅ Ä É ²¦Ä\½ º¼Ã(UÇ¼Ç Ä U °¾Ñ ¿ ² ¿(¹Í Ñ ¿(Ã¸SPº¼Ã(UÇC Fº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ ¿( ² ¶ ° ¹ Î@ºÅÃ(¿zÎ¾¿(¹³»FÔÌ,¸P¿
½P½ Ç¼º¼Ã( ² º ° P» ° × ² ¸P¿$Ê"ºÅ¿(Æ ° ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃ¿÷g¿(Ã ² ¸U»¹³¿UÃ¸P¿ ±SÇ Ñ° » ² ¿Î¾¿¹ Ä ãP¿(Ç¼ ° ×d»³Ã(ºÅ¿(PÃ¿ÝSP ² ¿Ã¸P ° Ç ° Ó Ä ¶PÏg¿º¼PÓÈ ² ºÅÇ¼º¼Æ¿( !ºÅ+»£ÈPÃ¸NU @ÎUSPÃ(¿»ÐS» ² ¸P¿K ²°¾Ñ º¼Ã*× ° ¹£Ã¿ Ñ ºÅÃ(¹ ° »£Ã °¾½ ¿S¶PU Ä × ° ¹ Ñ
° ×OÎ\º¼ÏP¹£ ² º ° +»£È ½F½ ¹£¿»£»£º ° h¶RUP N¿ÎU¿( ² ¸P¿KÓ¾¹³º¼Ç¼ÇRÇ¼ºÅÓ¾¸ ² ¿¹£»,ÈP»³¿( 4ºÅN$ÏPU¹£ÏR¿(øGÈP¿SÔ
Ì,¸P¿n Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² »´µ¿¹£¿ Ñ ¿U»³ÈP¹£¿ ùÈF»£º¼FÓ ² ¸P¿+ÏR¿ Ñ » ° ×*ÇÅº¼Ó¾¸ ² ×Ø¹ °¾Ñ úÐ¿û¦üÐ¿+Ç¼U»£¿¹
ÉØ´µÎ¾¿Ç¼¿(FÓ ² ¸åýþÞ¾àá@Ô ÿ Ñ Íº¼_ÝÖ_º¼Ã¸P¿Ç¼» ° Â ² ¿¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹ ²° ÃUÇÅÃ(ÈPÇ¼ ² ¿ ² ¸F¿ Ñ º¼GÈ ² ¿ ÑÝ° û
² º ° P»Ô × ² ¿¹ Ñ ¿S»£ÈP¹³º¼PÓ ² ¸P¿z×Ø¹£º¼FÓ¾¿K»£¸Pº× ² » ×Ø¹ °¾Ñ ² ¸P¿sÖ_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° L¶ ² ¸P¿ PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ² ×ESÃ ²° ¹
× ° ¹ ² ¸P¿ã¹³» ²s² ´ ° » Ñ½ ÇÅ¿(»´d¿(¹³¿+ Pº¼»³Ã ° Î¾¿¹£¿( ²° ÏR¿+ ½F½ ¹ °Ü º Ñ ² ¿Ç Ä Ô Þ¾àá_S °¾Ñ ¿ ² ¿¹£»× ° ¹
¿ÎU¿(¹ Ä Î ° Ç ² »(¶´ ¸PºÅÇ¼¿ ² ¸P¿ Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²° ¹ ° × ² ¸P¿ ² ¸PºÅ¹£ $» Ñ½ ÇÅ¿µ´S»dÃ(UÇ¼ÃÈPÇÒ ² ¿( ²£° SÏ ° È ²
ä¾ÔäæçN Ñ!â Î ° Ç ² Ô ¯ º ² ¸ ² ¸F¿!UÏPºÅÇ¼º ²¦Ä²° P¿ÎU¿(Ç °U½ó² ¸PºÅ» Ñ ¿ ² ¸ ° ÑÝ° ¹£¿¿ Ã(ºÅ¿( ² Ç Ä ¶¿PÓ¾º¼F¿(¿(¹³»
´ º¼ÇÅÇgÏR¿KUÏPÇÅ¿ ²°² ¿(» ²,²°² ¸F¿¿ Ü UÃ ² Fº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²° ¹³» ° ×CU Ä ÊËLÌÔPÌ,¸P¿ Ä ÃS ² ¸P¿(nÈP»³¿
² ¸Fº¼» G ° ´ Ç¼¿ PÓ¾¿ ²£° ½P½ Ç Ä ¿ Ü UÃ ² Î ° Ç ² UÓ¾¿(»UP ½ ¹ ° PÈPÃ¿U °¾Ñ ¿ ² ¿¹ Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² »´ º ² ¸$U
º¼FÃ(¹£¿ Pº¼ÏFÇ Ä » Ñ UÇ¼Ç Ñ U¹£Ó¾ºÅ ° ×O¿(¹³¹ ° ¹Ô ° ´ º¼PÓ ² ¸Pº¼»ºÅ»º ÑÑ ¿(P»³¿(Ç Ä º ÑÝ½R° ¹ ² U ² ¶G¿(» ½ ¿Ã(º¼UÇ¼Ç Ä ºÅ
² ¸F¿¿ÎU¿(¹ û Ó¾¹ ° ´ ºÅPÓ+ã¿(ÇÅ ° ×U ° û ² ¿Ã¸P ° Ç ° Ó¾ºÅ¿(»(¶R´ ¸P¿(¹³¿ ² ¸P¿» ÑÝ°\°U² ¸ ÑÝ° ÎU¿ Ñ ¿( ² » ° ×d+ÊËLÌ
´ ° ÈPÇ¼ NÏR¿KUÏPÇ¼¿ ²£°$ÑÝ° Î¾¿ Ñ º¼GÈ ² ¿ ½ U¹ ² »*UP Ñ UGÈF×ESÃ ² ÈF¹£¿ ² ºÅ Ä+Ñ ² ¿(¹³ºÒUÇÅ»(Ô
á
+"n/ (
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
¯ º ² ¸ ² ¸F¿Ã(ÈP¹³¹£¿( ² ¹³º¼»£¿ ° ×OU °S² ¿(Ã¸F ° Ç ° Ó Ä SP ² ¸P¿¿Î¾¿¹,º¼PÃ¹£¿(U»£ºÅPÓsP¿(¿ !× ° ¹ ½ ¹³¿(Ãº¼»£¿ ÑÝ° û
² º ° Ã ° ² ¹ ° Ç§º¼ÝP¿U¹³Ç Ä ¿Î¾¿(¹ Ä ãP¿(Ç¼ ° ×h»³Ã(ºÅ¿(PÃ¿UP Ý¿(PÓ¾ºÅP¿(¿¹£ºÅPÓP¶G» ½ ¿(ÃºÒUÇ§Ã(¿¹ Ñ º¼Ã Ñ ² ¿¹£º¼UÇ¼»
´ º ² ¸ ½ ºÅ¿(Æ ° ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃ ½ ¹ °¾½ ¿(¹ ² ºÅ¿(»¸PÎU¿Ó¾¹ ° ´ ² ¹£¿ Ñ ¿P ° ÈP»³Ç Ä º¼.º Ñ½g° ¹ ² SPÃ(¿SÔêÌ,¸F¿(»£¿ Ñ >û
² ¿¹£º¼UÇ¼»KU¹³¿$¹£¿×Ø¿¹£¹³¿( ²£° S»ÊËLÌ,»(¶O´ ¸Pº¼Ã¸ º¼»KU±UÏPÏP¹³¿Î\ºÒ ² º ° å× ° ¹zÏ °U² ¸ùÙ ½ º¼¿Æ °U² ¹UF»£ PÈPÃ¿(¹Ú
UP ² ¸P¿ ÑÝ° » ² Ã °¾ÑÑÝ° PÇ Ä ÈF»£¿( ²¦Ä@½ ¿ ° ×,Ã(¿¹ Ñ º¼Ã Ñ ² ¿(¹³ºÒUÇM¶XÇ¼¿(U ÛÉ ½ Ç¼È Ñ ÏPÈ Ñ ÍÆº¼¹³Ã ° PºÅÈ Ñ
² º ² UP ² ¿SÔ
ÊËLÌ,»¸Î¾¿ ² ¸P¿ÝÃ ½ SÃ(º ²¦Ä²£° »³¿(P»³¿!» ² ¹£ÈPÃ ² ÈP¹£UÇ×ESÈPÇ ² »zºÅ±ÏP¹³º¼ PÓU¿(»(¶C»£ºÅÓ¾P» ° ××EUºÅÇ¼ÈP¹³¿ °
UºÅ¹ ½ Ç¼UP¿´ º¼FÓ¾»(¶@UP ÑÝ° Fº ²° ¹ ² ¸P¿Ðº¼ ² ¿Ó¾¹£º ²¦Äs° ×h
» Ä »³Ã(¹£ ½ ¿¹£»Ô ¯ º ² ¸ ² ¸P¿(»³¿»³¿(P» ° ¹ Ä » Ä » ² ¿ Ñ »
º¼ ² ¿(Ó¾¹£ ² ¿ _ºÅ ²£° s×Ø¿¿( PÏPUÃ nÇ °\°¾½ UÇ ° PÓ´ º ² ¸ ½ ºÅ¿(Æ ° ¿Ç¼¿(Ã ² ¹³º¼ÃKUÃ ² È ²£° ¹£»¶ ² ¸P¿K» ² ¹£ÈFÃ ² ÈF¹£¿(»ÐUÃ:û
² ÈPUÇ¼Ç Ä ÓUºÅ ² ¸P¿ÝUÏPº¼ÇÅº ²¦Ä_²° ¹³¿ ½ Sº¼¹ ² ¸P¿ Ñ »³¿(ÇÎ¾¿(
» äU¶ á@¶ à M
Ô ¿(Ã(¿ ² Ç Ä ¶ÊËLÌ,»¸PÎU¿¿Î¾¿(±Ïg¿¿(
Ã ° P» ² ¹£ÈPÃ ² ¿( _º¼ ²° Ó ° »£»£ Ñ ¿¹ à¾ô Ñ º¼Ã(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹ ² ¸Fº¼Ã ÝãPÏg¿¹£»(¶ ²£° UÇ¼Ç ° ´ Ñ° ¹³¿¿ Ã(ºÅ¿( ² ¿ Ñ ÏR¿( \û
P¿ _» Ñ U¹ ² » ² ¹£ÈPÃ ² ÈP¹³¿(
» æ MÔ
Â »£Ãº¼¿PÃ(¿ ½P½ ÇÅº¼Ã ² º ° P»(¶ ² ¸P¿ÊdËLÌ ¸U»ÇÅ¿( ²°² ¸P¿z P¿ÎU¿(Ç °¾½PÑ ¿( ²° ×P¿´ ÃÈ ²£² º¼PÓ¿( FÓ¾¿
º¼F» ² ¹³È Ñ ¿( ² » ² ¸ ² Ã(U+UÃ ² ÈUÇÅÇ ÄsÑ ¿S»£ÈP¹³¿Ð»³ÈP¹³×EUÃ¿ ²£°¾½g° Ó¾¹ ½ ¸ Ä$° !»³ÃUÇÅ¿*×Ø¹ °¾Ñ UPÓU» ² ¹ °¾Ñ »
²° äô¾ô Ñ º¼Ã(¹ ° P»¶*Ã ° ÈP ² ¿¹UÃ ² ºÅPÓ Ñ ºÅ ° ¹$ÎSU¹£º¼UÏPÇ¼¿»»³ÈPÃ¸êU
» ÈPÃ ² È ² º ° P»!º¼ ² ¸P¿öU¹ ² ¸hÚ »
²£ÑÝ° » ½ ¸P¿¹£¿U¶ºÅN$ F¿Î\º¼Ã¿zÃ(UÇ¼ÇÅ¿( ² ¸F¿ ²£°¾Ñ º¼
Ã ° ¹³Ã(¿Ö_º¼Ã¹ °¾½ »£Ã °U½ ¿ÝÉ "ÖÍ MÔ
Ì,¸P¿ ½ ÈP¹ ½R° »³¿ ° × ² ¸Pº¼»¹³¿(»³¿U¹³Ã¸ ´µU» ²£°+Ñ ¿(U»£ÈF¹£¿ ² ¸P¿$ PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ² ×EUÃ ²£° ¹£»ÉØU °¾Ñ ¿û
² ¿¹£» â Î ° Ç ² Í ° ×O»£¿Ç¼¿Ã ² º ° ° ×OÊËLÌ6» ÑÝ½ ÇÅ¿(»¶F ² Î ° Ç ² UÓU¿(»µÈ ½!²° äôUô¾ôzõ¶FÈP»³º¼PÓsÖ_º¼Ã¸P¿Ç¼» °
Â ² ¿¹³×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹(Ô+Ì,¸P¿º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹´µU»_U»£»³¿ Ñ ÏPÇÅ¿( I´ º ² ¸ ² ¸F¿ÊËLÌ Ñ° ÈP ² ¿ ²£°_² ¸F¿
Ñ° ÎU¿UÏFÇ¼¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹(ÔCÌ,¸P¿ºÅ ² ¿(F»£º ² º¼¿» ° × ² ¸P¿zÃ(¿( ² ¹UÇh×Ø¹³º¼PÓ¾¿ºÅ ² ¸P¿Kº¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹£¿PÃ(¿z¹£ºÅPÓ¾» !U»*
×ØÈPPÃ ² º ° ° × ½P½ ÇÅº¼¿( KÎ ° Ç ² SÓ¾¿ ´µ¿¹£¿d¹£¿(Ã ° ¹£ F¿( ´ º ² ¸ ½ ¸ °U²£° P¿ ² ¿Ã ²° ¹UF ÈP»£¿ ²° ÃUÇÅÃ(ÈPÇ¼ ² ¿
² ¸F¿z Fº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ ¿( ² »Ô
à
%'
()*+(,"
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
ò,
!
Ì,¸P¿sÊ"ºÅ¿(Æ ° ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃö÷g¿(Ã ² ´µU» PºÅ»£Ã ° ÎU¿(¹£¿ º¼ äÿ¾ÿ¾ôÏ Ä Ê"º¼¿¹£¹£¿UP #"¾SÃ(øGÈP¿(»·µÈP¹£ºÅ¿U¶hS» ² ¸F¿
½ ¹ °¾½ ¿¹ ²¦Ä° ×µÃ¿(¹ ² Uº¼Ã¹ Ä » ² UÇ¼» ²£° ÓU¿(P¿¹ ² ¿$Uå¿(Ç¼¿Ã ² ¹£º¼Ã(UÇÃ¸S¹£Ó¾¿s´ ¸P¿ ½ Ç¼UÃ(¿ åÈPP P¿¹ Ñ ¿û
Ã¸UFº¼ÃSÇ ½ ¹³¿(»³»£ÈP¹³¿(»$ Þ[ÔñXº%U¿´ º¼»³¿U¶U´ ¸P¿ ² ¸P¿µÊËLÌù¹³¿(Ã¿(ºÅÎU¿(»"Ss ½P½ ÇÅº¼¿ Î ° Ç ² SÓ¾¿dº ²½ ¹ ° PÈPÃ(¿»
² º¼ Ä PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ² Ô Ç ² ¸ ° ÈPÓ¾¸ ÑÝ° » ² P ² ÈP¹£UÇ Ñ ² ¿(¹³ºÒUÇÅ»¹£¿» ½R° P ²£°Ý² ¸Pº¼» ¿÷g¿(Ã ² ¶ ² ¸P¿z¹£¿:û
» ½R° P»³¿+º¼»zÈP»£ÈPUÇ¼Ç ÄI²£° »£ÈFÃ¸._» Ñ UÇ¼Ç P¿Ó¾¹£¿¿ ² ¸ ²½ º¼¿Æ ° ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃ ½F½ Ç¼ºÅÃ ² º ° P»zÈP»³º¼PÓ ² ¸P¿(»³¿
Ñ ² ¿¹£ºÒSÇ¼»ÐU¹£¿sÇÅº Ñ º ² ¿ h&
Ô ¿(¹³¹ ° ¿(Ç¼¿Ã ² ¹£º¼Ã Ñ ² ¿(¹³ºÒUÇÅ»UF ½R° Ç Ä Ã¹ Ä » ² UÇ¼ÇÅº¼P¿zÃ(¿¹ Ñ º¼Ã Ñ ² ¿(¹³ºÒUÇÅ»(¶
»£ÈFÃ¸ðU(
» 'µU¹£ºÅÈ Ñ Ì,º ² UP ² ¿å)É 'µÌ*ÍUP ùñX¿S ðËLºÅ¹£Ã ° Pº¼È Ñ Ì,º ² UP ² ¿åÉEÊËLÌ*Í¶ Ñ UÓ¾Pº× Äå² ¸PºÅ»
¿÷g¿(Ã ²,²° ÈP»£UÏPÇÅ¿» ² SP U¹³ hÔ"Ì,¸Pº¼»,ºÅ» ½ U¹ ² º¼UÇ¼Ç Ä Ïg¿ÃUÈP»³¿ ° × ² ¸P¿ºÅ» °U² ¹ °¾½ º¼Ã» ² ¹³ÈPÃ ² ÈP¹£¿ ° × ² ¸F¿
Ñ ² ¿¹£ºÒSÇ¼»(ÔOÌ,¸P¿Ã¿( ² ¹ ° û¦» Ä\ÑÝÑ ¿ ² ¹£º¼Ã*» ² ¹£ÈPÃ ² ÈP¹³¿ ° ×X ÑÝ° Ç¼¿(ÃÈPÇ¼¿ ° ×Xñ<¿(U +ËLºÅ¹£Ã ° Pº¼È Ñ Ì,º ² U ² ¿
ÃS_ÏR¿K»£¿(¿4ºÅ*
º¼Ó¾ÈF¹£¿säKÏg¿Ç ° +
´ -,MÔ
?>
?>
?>
?>
F
CB
CB
ED
ED
2−
O
CB
98
ED
98
Pb
R+
A@
10
98 BCBC
98
Ti, Zr
CB
CB
CB
CB
CB
ML
ML
V
V
W
W
V
TU
10 CB
CB
H H
[Z IHI [Z IHI [Z
[Z Z[ Z[
[Z [Z [Z
LM [Z[Z [Z[Z [Z[Z
LM
U
10
10 CB
K
J KJ
YX J YX J YX
YX YX XY
S YXX YXX YXX
RS YX YX YX
RY Y Y
R
A@
A@
ED
ED
A@
A@
4 ED
ED
FG
76
45
ED
A@
/. A@
A@
5
ED
< DE G
F
?>
4 ED
A@
/. A@
67 A@@A
76
76
?>
4
/. A@
A@
?>
= DEDE
<=
F
A@
/. A@
A@
?>
?>
ED
<
?>
?>
ED
<
A@
2 ?>
: ?>
:
23 ?>
2 ?>
; >?>?
:;
:
3
2 ?>
CB
CB
T
−O
N
]\
]\
P
P
Q
Q
P
NO
P
]\
]\
Q
2−
O
Pb
V
W
W
Q
Ti, Zr
ºÅÓ¾ÈP¹£¿ä^,ÉMñX¿× ² Í Ì,¸Fº¼»º¼» ² ¸P¿ » ² ¹£ÈFÃ ² ÈF¹£¿ ° ×X ÑÝ° ÇÅ¿(ÃÈPÇ¼¿ ° ×hñX¿U ËLº¼¹³Ã ° P
ºÅÈ Ñ Ì,º ² UP ² ¿ ÏR¿× ° ¹³¿
½R° Ç¼ºÅPÓPÔdÉ_ º¼Ó¾¸ ² Í Ì,¸PºÅ»»£¸ ° ´ » ² ¸F¿,¹£¿(»³ÈPÇ ² º¼PÓUP»£º °U² ¹ °¾½ ºÅÃµ» ² ¹£ÈPÃ ² ÈP¹³¿ ° × ² P¸ ¿ ÊËLÌ.S× ² ¿¹ ½R° Ç¼ºÅPÓPÔ
ü °S² ¿ ² ¸P¿K¿Ç ° PÓ¾ ² º ° ° × ² ¸P¿zÊËLÌ >× ² ¿(¹ º ² UøGÈPº¼¹³¿(»* ½g° ÇÒU¹³º ²¦Ä Ô`,
º ½R° Ç¼¿»Ý´ º ² ¸ ½ S¹UÇÅÇ¼¿(Ç ° ¹³º¼¿( ² ² º ° U¹³¿»£Ã( ²£² ¿(¹£¿ 6¹UP °¾Ñ Ç Äc² ¸P¹ ° ÈPÓ¾¸ ° È ²!² ¸F¿ÊËLÌ¶
½ ¹³º ° ¹ ²£° º ² »K ½F½ Ç¼ºÅ¿( Î ° Ç ² UÓU¿U¶Xº¼IU¹³¿U»&G ° ´ óS» ¯ ¿(ºÅ»£» a°¾Ñ Uº¼F»(ÔÌ,¸PºÅ»¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃ Fº ½R° Ç¼¿
ÏR¿(¸Î\º ° ¹Ðº¼»ÐÃUÈP»³¿( Ï ÄN² ¸P¿Ã¸PU¹£Ó¾¿»£¿ ½ U¹ ² º ° _Ïg¿ ² ´µ¿¿( ² ¸P¿ ½g° »£º ² ºÅÎU¿UP 4P¿(Ó ² ºÅÎU¿º ° P»(Ô
¯ ¸P¿ÛUð¿Ç¼¿Ã ² ¹³º¼Ã+ã¿Ç¼ ðºÅ» ½ ¹£¿»£¿( ² ¿( h¶ ² ¸P¿N Pº ½g° ÇÅ¿(»UÇÅº¼Ó¾h¶dUP ² ¸P¿N» ² ¹£ÈPÃ ² ÈP¹³¿4¿Ç ° PÓ¾ ² ¿»
½ U¹£UÇ¼ÇÅ¿(Ç ²°² ¸P¿Ð Ü º¼» ° × ² ¸P¿,ã¿(ÇÅ hÔ"ñX%º S¿´ º¼»³¿U¶ ² ¸F¿Ð» ² ¹£ÈFÃ ² ÈF¹£¿ Ã ° ² ¹UÃ ² » ½ ¿¹ ½ ¿(P PºÅÃ(ÈPÇ¼U¹ ²°K² ¸F¿
a
æ
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
ã¿Ç¼ hÚ »* Ü º¼»(Ô"Ì,¸Fº¼» ½ ¹ ° Ã(¿»£»*º¼», P¿ ½ º¼Ã ² ¿ _ºÅbCº¼Ó¾ÈP¹³¿KásÏg¿Ç ° ´KÔ
−
−
−
−
−
+−
+−
+−
+−
+−
+−
+−
+−
+
+
+
+
+
−
+
+
+
+
−
+−
−
+
−
−
−
+
Before Poling
After Poling
º¼ÓUÈP¹£¿zác^"Ì,¸F¿ ¯ ºÅ¿(»£» a°¾Ñ U ºÅP» ° ×$ÊdËLÌ Ñ ² ¿(¹³ºÒUÇgÏg¿× ° ¹£¿KSP 4>× ² ¿(¹ R½ ° ÅÇ º¼PÓd-,MÔ
× ² ¿(¹$Ã °\° Ç¼ºÅPÓP¶ ² ¸P¿ ¯ ¿(º¼»³» a°¾Ñ Sº¼P»¹£¿ ² Uº¼ ² ¸P¿(ºÅ¹ ½g° ÇÒU¹³º ²¦Ä ¶S»´µ¿Ç¼Ç,U» ² ¸P¿n¹£¿»£ÈPÇ ² º¼FÓ
UP»³º °U² ¹ °¾½ º¼Ã» ² ¹£ÈFÃ ² ÈF¹£¿U¶RU» »³¸ ° ´ 4º¼dºÅÓ¾ÈP¹³¿ä ° ² ¸P¿ ½ ¹£¿Î\º ° ÈP» ½ SÓ¾¿UÔ
Ì,¸Pº¼» ½ ¹ ° Ã(¿»£»ºÅ»¹³¿ ½ ¿ ² UÏPÇÅ¿UÔ ¯ ¸P¿(òSòUÇ¼¹³¿U Äå½g° ÇÅ¿( ±ÊdËLÌk¹³¿(Ã¿(ºÅÎU¿(» Ñ° ¹³¿Î ° Ç ² UÓ¾¿U¶
² ¸F¿ ¯ ¿º¼»£» a°¾Ñ Sº¼P»Ð»£¸Pº× ² º¼ ½ ¹ °¾½R° ¹ ² º ° ²°!² ¸P¿sP¿´þ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃã¿Ç¼ h¶XSP ² ¸P¿s Fº Ñ ¿(P»³º ° P»
° × ² ¸P¿zÊËLÌ Ã¸PUPÓ¾¿UÃ(Ã ° ¹£ Fº¼PÓ¾Ç Ä Ô
e
-1
d1
!"#¾" Â ² ¿¹³×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¹ Ä º¼»*US¹£¿ ° ×» ² ÈP Ä_² ¸ ² P¿SÇ¼» ´ º ² ¸ ² ¸P¿ ½ ¹ °¾½ ¿¹ ² º¼¿(» ° ×"ºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹³º¼PÓÇ¼ºÅÓ¾¸ ² Ô
ÃÃ ° ¹³ Pº¼FÓ ²£°$² ¸P¿zÇÒ´ ° ×»£È ½ ¿¹ ½R° »£º ² º ° h¶F´ ¸P¿ ² ´ ° ÏR¿ Ñ » ° ×ÇÅº¼Ó¾¸ ² ºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹³¿U¶ ² ¸P¿z Ñ½ ÇÅºû
² ÈF P¿ ° × ² ¸P¿Ð¹£¿»£ÈPÇ ² º¼FÓÏR¿ Ñ ºÅ»¿øGÈUÇ ²°² ¸P¿»³È Ñ° × ² ¸P¿ºÅP PºÎ@ºÅ PÈUÇP ÑÝ½ Ç ² ÈF P¿(» ° × ² ¸P¿ ² ´ °
° ¹³º¼Ó¾ºÅUÇÏR¿ Ñ »Ô ¯ ¸F¿( ² ´ ° Ïg¿( Ñ »KºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹£¿S¶ ² ¸P¿ ½ ¸S»£¿ PºÅ÷g¿(¹³¿(PÃ¿ ² ¸F¿$ÎSU¹³ºÒ ² º ° F» ° ×
² ¸F¿¹£¿»£ÈPÇ ² U ² ÑÝ½ ÇÅº ² ÈP P¿(»zU»ÃUÇÅÃ(ÈPÇ¼ ² ¿ ±Ï Ä »³È ½ ¿(¹ ½R° »³º ² º ° #Ç¼¿(U ²° UÇ ² ¿(¹£P ² ºÅPÓ4S¹£¿S»
° ×<Ã ° P» ² ÈPÃ ² ºÅÎU¿KUP ! P¿» ² ¹£ÈPÃ ² ºÅÎU¿º¼ ² ¿¹³×Ø¿¹£¿(FÃ(¿U¶Fº¼´ ¸ ² U¹£¿ÐÃ °¾ÑÑ° PÇ Ä Ã(UÇ¼ÇÅ¿( Ýº¼ ² ¿¹³×Ø¿(¹³¿(PÃ¿
×Ø¹£ºÅPÓ¾¿f
» ÿF¶ ç MÔ
Â ² ¸F¿dÇ¼ ² ¿ äÿ¾ÿUôFÚ » Ô ÔSÖ_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° »£¿ ²C° È ²O²°ÐÑ ¿(U»£ÈF¹£¿ ² ¸P¿dÇ¼¿(FÓ ² ¸ ° ×§ Ç¼ºÅÓ¾¸ ² ´µÎ¾¿SÔ"úÐºÅ»
P¿Î@ºÅÃ(¿ÈF»£¿( ² ´ °!Ñ º¼¹³¹ ° ¹³»ÐSP »³¿ Ñ ºû ² ¹UF» ½ U¹³¿( ² ÏR¿ Ñ » ½ Ç¼º ²£² ¿¹ ²° Ã(UÈP»³¿ ² ´ ° ÏR¿ Ñ » ° ×
Ç¼ºÅÓ¾¸ ²d²£° º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹£¿S¶PÃ(¹³¿ ² º¼PÓ ² ¸P¿ºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹£¿PÃ(¿×Ø¹³º¼PÓU¿(»(Ô"Ì,¸F¿¹£¿(U» ° Fº¼PÓÏR¿(¸Fº¼P ² ¸P¿Ã(ºÅ¹£ÃÈPÇÒU¹
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ P¸ ¿¹
½P½ (¿ F Pº Ü × ° ÈPP ° ² ¸F¿!ÇÒU» ²² ´ °
»£¸P ½ ¿ ° × ² ¸F¿×Ø¹£ºÅPÓ¾¿(»U¹£¿Ý P¿(»³Ã(¹³º¼ÏR¿( òº¼ P¿ ² Uº¼Çº¼ ² ¸P¿ ½ UÓU¿(»(Ô
»ÈF»£¿( +ºÅ ² ¸Pº¼» ½ ¹ °>Õ ¿Ã ² ¶ ² ¸P¿Ö_º¼Ã¸F¿(Ç¼» ° !Ã(U!×ØÈPPÃ ² º ° !U»,S °¾½F² º¼ÃSÇR¹³ÈPÇ¼¿¹(¶ Ñ ¿(U»£ÈF¹£º¼FÓ
PºÅ» ² SPÃ(¿»,º¼!´µÎU¿(ÇÅ¿(PÓ ² ¸P» ° ×OÇ¼ºÅÓ¾¸ ² Ô Â ² ºÅ» ² ¸F¿ ½ ¸U»³¿K PºÅ÷g¿(¹³¿(PÃ¿(»,º¼ ² ¸P¿ ² ´ ° » ° ÈP¹³Ã(¿(»´ ¸Fº¼Ã¸
ÃSÈP»£¿ ² ¸P¿Ý ½P½ ¿S¹UPÃ¿ ° ×µ×Ø¹£ºÅPÓ¾¿»(Ô Â ² ¸F¿ÖNº¼Ã¸P¿Ç¼» ° ±º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹¶OÏR¿(Ã(UÈP»³¿Ã ° ¸P¿(¹³¿( ²
Ç¼ºÅÓ¾¸ ² º¼»KÈP»³¿( h¶ ² ¸P¿ ½ ¸U»³¿Ý»³¸PºÅ× ² ºÅ»zÃ¸PUPÓ¾¿ óÏ ÄåÑ UFº ½ ÈPÇ¼ ² ºÅPÓ ² ¸P¿Ý FºÅ÷g¿(¹£¿PÃ(¿»ºÅ ² ¸P¿Ý Fº¼» û
² SPÃ(¿» ² ¸F¿ÏR¿ Ñ » Ñ ÈP» ²z² ¹£ÎU¿(ÇMb
Ô ' Ä Ã¸UPÓ¾ºÅPÓ ² ¸P¿ Fº¼» ² UPÃ¿ ° × ° P¿Ïg¿( Ñ ¶ ÑÝ° Î\º¼FÓ ° F¿
° × ² ¸P¿ Ñ º¼¹£¹ ° ¹£»*× ° Ú¹³ ° ¹ÏPUÃ §¶ ² ¸P¿ ½ ¸U»£¿s»³¸PºÅ× ² º¼»UÇ¼» ° Ã¸UPÓU¿( h¶XÃ(UÈP»£ºÅPÓ ² ¸P¿ ½ Ç¼UÃ(¿» ° ×
Ã ° P» ² ¹£ÈPÃ ² ºÅÎU¿nUP ó F¿(» ² ¹£ÈPÃ ² ºÎ¾¿+º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹£¿PÃ(¿ ²£° Ã¸UPÓU¿U¶"Ó¾ºÎ@ºÅPÓ ² ¸P¿!º ÑÝ½ ¹³¿(»³»£º ° ² ¸P ²² ¸F¿
ÏPÈPÇÅÇ¼»³¿ Ä ¿ ×Ø¹£ºÅPÓ¾¿»µU¹³¿Ð¿ Ü@½ UP PºÅPÓºÅÚ¹³ ° ¹ ° È ² ´µU¹³ h¶@ F¿ ½ ¿(P PºÅPÓ ° ² ¸F¿ Ñ° ÎU¿ Ñ ¿( ²d° × ² ¸F¿
Ñ º¼¹£¹ ° ¹(ÔÌ,¸P¿K¿ Ü UÃ ² PºÅ» ² SPÃ(¿ ² ¸F¿(»£¿K×Ø¹£ºÅPÓ¾¿»,»£¸Pº× ² º¼», PºÅ¹£¿(Ã ² Ç Ä ¹£¿ÇÒ ² ¿( ²°s² ¸F¿zÃ¸PUPÓ¾¿zº¼ ² ¸F¿
½ ² ¸_ÇÅ¿(PÓ ² ¸hÔ
Ì,¸P¿zÏU»£ºÅÃ»£¿ ² û¦È ½_° ×Ö_º¼Ã¸P¿Ç¼» ° _ºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹,º¼»,»£¸ ° ´ _º¼*
ºÅÓ¾ÈP¹³¿KàFÔ
ºÅÓ¾ÈP¹£¿4àg^±Ì,¸Fº¼»!»³¸ ° ´ » ² ¸P¿ÏU»³º¼Ã»³¿ ² û¦È ½6° ×cÖ_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° Â ² ¿¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹(Ô Ì,¸P¿åÏR¿ Ñ
° ¹³º¼Ó¾ºÅ ² ¿»×Ø¹ °¾Ñ² ¸P¿Ç¼U»£¿¹!ÉEñCÍ:¶< PºÅÎU¿(¹£ÓU¿(» ² ¸P¹ ° ÈPÓ¾¸ ² ¸P¿ÇÅ¿(P»É a ñOÍKUP ±» ² ¹³º%U¿» ² ¸F¿ÏR¿ Ñ
» ½ Ç¼º ²³² ¿¹É_'ihPÍÔ ²"² ¸Pº¼» ½R° ºÅ ²"² ¸P¿ ° ¹³º¼Ó¾ºÅUÇ\Ïg¿( Ñ » ½ Ç¼º ² »º¼ ²£°K² ´ °z½ ¿¹ ½ ¿(P PºÅÃ(ÈPÇ¼U¹ÏR¿ Ñ »(¶ ° F¿
¹£j¿ ¿(Ã ² ºÅPÓ ° ÷ Ñ º¼¹³¹ ° ¹ ÖIä¾¶ ² ¸P¿ °U² ¸P¿¹Ð¹³¿ ¿Ã ² º¼PÓ ° ÷ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹ Öá@Ô,Ì,¸P¿Ïg¿( Ñ »ÐS¹£¿z¹£¿P¿(Ã ² ¿( ÏUÃ ²°² ¸P¿,Ïg¿( Ñ » ½ ÇÅº ²£² ¿(¹¶U´ ¸P¿(¹³¿ ² ¸P¿ Ä ¹³¿(Ã °UÑ ÏPº¼F¿,UP U¹³¿ ½ ¹ °ZÕ ¿(Ã ² ¿( ²° ´µU¹£ F» ² ¸P¿»³Ã(¹£¿¿(
ÉkhFÍl Þ[Ô*É Â¦Ñ SÓ¾¿×Ø¹ °¾Ñ monnpqsrrutttvkwxzy{}|~ovl{grlpz|nntvmn{g Í
Þ
_ !Û
!

¯ °U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
±
Ð"1n/ / %'"n /"
Ì,¸P¿$Ã ° P» ² ¹£ÈPÃ ² º ° ° × ² ¸P¿s¿ Ü@½ ¿(¹³º Ñ ¿( ² UÇ ½P½ U¹£ ² ÈF»º¼Î ° ÇÎ¾¿ ² ¸P¹£¿¿ Ñ Õ³° ¹» ² ¿ ½ »^säj ¹¬û
¹SPÓ¾º¼FÓ ² ¸P¿ÇÒU»³¿(¹(¶@Ç¼¿P»£¿» UP Ñ º¼¹£¹ ° ¹£» ²° Ã¹£¿( ² ¿KÇ¼U»£¿¹ÏR¿ Ñ ° × ² ¸P¿Ã ° ¹³¹£¿(Ã ² »£ºÅÆ(¿U¶@ PºÅÎU¿(¹¬û
Ó¾¿PÃ(¿S¶GUP ½g° »£º ² º ° áuU»³»£¿ Ñ ÏPÇ¼ºÅPÓUF $UÇ¼ºÅÓ¾Pº¼FÓ ² ¸P¿º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹º ² »³¿(ÇÅ×UP $¿(ÇÅº Ñ º¼ ² û
º¼FÓ+ÈPÚ ² ¿( ±Î\º¼ÏF¹ ² º ° P» ² ¸ ² ºÅPº ² ºÒUÇÅÇ Ä+Ñ U P¿ ² ¸P¿s×Ø¹£ºÅPÓ¾¿(»ÈFP» ² UÏPÇ¼¿SP Ià_ãP PºÅPÓNU
¿Ãº¼¿( ²*Ñ ¿ ² ¸ ° +× ° ¹ Ñ° ÈP ² ºÅPÓ ² ¸P¿zÊËLÌ ÏR¿(¸Fº¼P ² ¸F¿ Ñ° Î¾¿(UÏPÇ¼¿KºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹ °UÑ ¿ ² ¿(¹ Ñ º¼¹³¹ ° ¹Ô
Â Pº ² ºÒUÇÅÇ Ä+² ¸P¿$¿( ² ºÅ¹£¿ ½P½ S¹ ² ÈP»´S» Ñ° ÈP ² ¿( I Pº¼¹³¿(Ã ² Ç Ä_° ²° +ÇÒU¹³Ó¾¿sü*¿´ ½R° ¹ ²z°¾½F² º¼Ã»
² SÏPÇ¼¿!kÉ × ² ÿ× ² Í:ÔÌ ° UÃ¸PºÅ¿Î¾¿sÏR¿ ²³² ¿¹Î\º¼ÏP¹£ ² º ° 4ºÅ» ° Ç¼ ² º ° h¶ ² ¸F¿º¼ ² ¿¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹ ½R° ¹ ² º °
´µU»Ç¼ ² ¿¹ ² ¹SP»³×Ø¿¹£¹£¿ ²£° n»£¿ ½ U¹ ² ¿NäÿNºÅ äÿ+ºÅ á+º¼åõö Ðö ¸ ° P¿ Ä Ã °¾Ñ Ï °U½F² ºÅÃUÇ
ÏP¹³¿U PÏ ° U¹³ h¶´ ¸Pº¼Ã¸ùÚ» ½ Ç¼UÃ(¿ ° ²£° å»£¸F¿(¿ ²Ý° ×ÐÏPÈPÏPÏFÇ¼¿´ ¹£ ½ù° ²£°¾½ù° × ² ¸P¿_üÐ¿´ ½R° ¹ ²
² SÏPÇ¼¿SÔ × ² ¿(¹ ² ¹UF»³×Ø¿(¹³¹£ºÅPÓ ² ¸F¿!º¼ ² ¿¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹ ²£°4² ¸Fº¼»ÏF¹£¿S PÏ ° U¹£ ² ¸P¿(¹³¿´µ¿¹£¿+» ² º¼ÇÅÇ ²°\°
Ñ U Ä Î@ºÅÏP¹ ² º ° P» ²°n² S¿!U Ä ¹£¿Ã ° ¹³ Pº¼FÓ¾»(Ô+Ì,¸PºÅ»z´µU»Ïg¿ÃUÈP»³¿ ² ¸P¿Ý¹³¿(Ç¼ ² ºÎ¾¿(Ç Ä ¸P¿(Î Ä ,@Ô Ã Ñ @Ô ôóÃ Ñ ôFÔßoá Ã Ñ ÏR¿ Ñ » ½ ÇÅº ²£² ¿(¹Ú» Ñ° ÈP ² ¿( ×Ø¹ °UÑ ² ¸P¿»£ºÅ P¿U¶ÐUP Û¸SPÓ¾º¼FÓ
×Ø¹£¿¿(Ç Ä
Ô PÃ¿ ² ¸P¿nÏg¿( Ñ » ½ Ç¼º ²£² ¿(¹´µU» ÑÝ° ÈP ² ¿( c×Ø¹ °UÑ ÈPP F¿(¹£F¿ ² ¸h¶ ² ¸P¿!×Ø¹£ºÅPÓ¾¿(»sÏR¿(Ã( Ñ ¿
øGÈPº ² ¿K» ² SÏPÇ¼¿SÔ
h ² SP U¹³ +Ì,¸ ° ¹ñ<UÏF» ÑÝ° ÈF ² »d´d¿(¹³¿ÈP»£¿ NºÅ Ñ° ÈP ² ºÅPÓ ² ¸P¿ÇÒS»£¿(¹¶FÏ °U² ¸+ÇÅ¿(P»³¿(»¶UÇ¼Ç× ° ÈF¹
Ñ º¼¹£¹ ° ¹£»¶Ïg¿( Ñ » ½ Ç¼º ²³² ¿¹(¶UP ² ¸P¿ ½ ¸ °U²° P¿ ² ¿(Ã ²° ¹ÔùÌ,¸F¿_ÇÅ¿(P»³¿(»UP ½ ¸ °U²£° F¿ ² ¿Ã ²£° ¹UÇ¼» °
Ã Ñ ¿×Ø¹ °¾Ñ Ì,¸ ° ¹³ÇÒUÏF»(¶F´ ¸PºÅÇ¼¿ ² ¸P¿ã¹£» ² û¦»³ÈP¹³×ESÃ(¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹£»Ã( Ñ ¿K×Ø¹ °¾Ñ ö" Ñ ÈPP
h@Ã(ºÅ¿( ² ºãÃUÔ

íî"í¡ £¢ ì}¤£¦¥ î"ëcOíêé§<î¨
Ì,¸P¿+Ç¼U»£¿¹ÈP»£¿ ò´U»$» Ñ SÇ¼Ç*ä Ñ¯ ú*¿üÐ¿ ²¦Ä\½ ¿ ° ¹£ºÅÓ¾º¼PUÇ¼Ç Ä ÈP»£¿ cº¼óÏS¹ û¦Ã ° F¿!»£Ã(UPP¿¹£»
UP å ° ´ ÎSUºÅÇÒUÏFÇ¼¿×Ø¹ °¾Ñ »³ÈP¹ ½ Ç¼ÈP»Ã °¾ÑÝ½ UPº¼¿»(ÔÌ,¸F¿ Fº¼¹£¿Ã ² º ° ° × ² ¸F¿Ç¼U»£¿¹ÏR¿ Ñ7² ¿(P F¿( ²° P¹³ºÅ× ² PÈF¹£º¼FÓ ² ¸P¿ã¹£» ² ¸ ° ÈP¹ ° ×O´µU¹ Ñ È ½ ¶ÏPÈ ² S× ² ¿(¹ ² ¸PºÅ»´S»*»³ÈgÃ(ºÅ¿( ² Ç Ä » ² SÏPÇ¼¿SÔ
Ö_º¼¹³¹ ° ¹µä´U» Ñ° ÈP ² ¿ nä¾ä¾Ô Ã Ñ ×Ø¹ °¾Ñþ² ¸P¿,ÇÒS»£¿(¹¶UPÓUÇ¼¿( $ ½P½ ¹ °Ü º Ñ ² ¿(Ç Ä æ©¶ ²° ¹£¿j¿(Ã ²
² ¸F¿Ïg¿( Ñ ç¾ôª© ²° º ² »d¹£ºÅÓ¾¸ ² ÔÖ_ºÅ¹£¹ ° ¹,áz´µU» Ñ° ÈP ² ¿ Náo@Ô ôÃ Ñ ×Ø¹ °UÑ ÖNº¼¹£¹ ° ¹äU¶PUÇÅ» ° UFÓ¾Ç¼¿ æ © ¶OÏFÈ ²²£° ¹£¿ P¿(Ã ²z² ¸F¿ÝÏR¿ Ñ ç¾ô © ²° º ² »KÇ¼¿× ² Ô$Ì,¸P¿(»³¿ ² ´ °_Ñ º¼¹³¹ ° ¹³»´µ¿¹£¿ÈP»£¿ ²£° ¿(U»£ºÅÇ Ä

U Õ ÈF» ²² ¸P¿SPÓ¾Ç¼¿zUF ½g° »£º ² º ° ° × ² ¸P¿ÏR¿ Ñ ´ ¸P¿( PºÅ¹£¿Ã ² ºÅPÓº ² º¼ ²°$² ¸P¿º¼ ² ¿¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹(Ô
,
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
18x18 Breadboard
Lens 2
(F=35mm)
°¯°¯ ¯°¯°
°¯°¯ ¯°¯°
Mirror 4°¯ ¯°
(Fixed)°¯°¯ ¯°¯°
°¯ ¯°
Lens 1
(F=75mm)
Mirror 2(Angle)
Beam
Splitter
PZT
± ± ² ± ² ± ² ± ² ± ² ± ² Mirror
± ² ± ² 3 (Movable)
Mount
Wires
Voltage Source
Mirror 1
(Position)
®
®® ¬«¬«¬«
¬««¬
«¬«¬
«¬«¬
«¬«¬
«¬
HeNe Laser
ºÅÓ¾ÈP¹³¿æ}^º¼PUÇhU¹³¹UFÓ¾¿ Ñ ¿( *² ° × ² ¸P¿K¿ Ü@½ ¿(¹³º Ñ ¿( ² UÇh P½ ½ U ¹£ ² ÈF»
üÐ¿ Ü\² ¶R ² ¿(ÇÅ¿(»³Ã °¾½ ¿z´µU»ÐU»£»³¿ Ñ ÏFÇ¼¿( NÈP»³º¼PÓ$Ç¼¿(F» ´ º ² ¸+× ° ÃUÇXÇÅ¿(PÓ ² ¸ É_ñOÍ`,o ÑÝÑ × ° Ç¼Ç ° ´µ¿ Ï Äå° P¿s´ º ² ¸óáSô¾ô ÑÝÑ ñ ½ Ç¼UÃ(¿ óáo, ÑÑ ×ØÈP¹ ² ¸P¿¹K ° ´ P» ² ¹£¿ Ñ Ôh@º¼PÃ¿ ² ¸P¿$»£¿ ½ U¹£ ² º °
ÏR¿ ² ´d¿(¿( ² ¸P¿ ² ´ ° Ç¼¿(F»£¿(»,´µU»,¿(øGÈSÇ ²°s² ¸P¿»³È Ñ ° × ² ¸P¿(ºÅ¹µ× ° Ã(UÇhÇÅ¿(PÓ ² ¸P»(¶ ² ¸PºÅ»,U¹£¹£UPÓ¾¿ Ñ ¿ ²
¿ Ü@½ SP P¿( 4UP NÃ ° ÇÅÇ¼º Ñ ² ¿( ÝÏg¿( Ñ Ô
s³
ë\ìFí·ïLì}
£¢ì¤£¦¡ ìg<í¸¹Oí
´¶µ Xì <í
µ ¨+ g
Ì,¸P¿Kº¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹µ´µU»,Ã ° P» ² ¹£ÈPÃ ² ¿ 4ÈP»³º¼PÓ ² ´ ° ãP¹£» ² »³ÈP¹³×ESÃ(¿ Ñ º¼¹£¹ ° ¹£»µUP NsÏg¿( Ñ » ½ Ç¼º ² û
² ¿¹(ÔêÌ,¸P¿ÏR¿ Ñ » ½ Ç¼º ²£² ¿¹´µU» ½R° »³º ² º ° P¿ ð¿ Ü UÃ ² Ç Ä ÿ@ÔºåÃ Ñ ×Ø¹ °¾Ñ² ¸P¿»£¿Ã ° F ÛÇ¼¿(F»(¶ ²
æ ©sSPÓ¾Ç¼¿SÔÌ,¸P¿ã Ü ¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹z´µU» Ñ° ÈP ² ¿ òÿFÔ4Ã Ñ ×Ø¹ °¾Ñ ² ¸P¿Ïg¿( Ñ » ½ Ç¼º ²£² ¿(¹(Ô» ° ¹ ² ¸F¿

U Õ ÈF» ² SÏPÇ¼¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹¶F»³¿(Ã ° P _ã¹³» ² »³ÈP¹³×EUÃ¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹d´µU» ÑÝ° ÈP ² ¿( ²° s» ² UP PU¹£ nÌ,¸ ° ¹³ÇÒUÏF»
² ¹£UP»³ÇÒ ² º¼PÓ ÑÝ° ÈF ² ¶@´ º ² ¸n Ñ º¼Ã¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹µ»³Ã(¹³¿´K¶ ½ Ç¼UÃ(ºÅPÓº ² ½P½ ¹ °Ü º Ñ ² ¿Ç Ä çÃ Ñ ×Ø¹ °¾Ñ² ¸F¿
ÏR¿ Ñ » ½ Ç¼º ²£² ¿(¹(ÔÌ,¸P¿zãPPº¼»³¸P¿( _ ½P½ S¹ ² ÈP» º¼»,»£¸ ° ´ 4UÏ ° ÎU¿Kº¼dº¼ÓUÈP¹£¿æPÔ
Â ° ¹£ F¿(¹ ²£° Ã¹£¿ ² ¿ ² ¸P¿ ½ ²£² ¿¹£ ° ×º¼ ² ¿¹³×Ø¿(¹³¿(PÃ¿U¶ ² ¸P¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹³» ¸U ²£° Ïg¿UÇ¼ºÅÓ¾P¿ ½ ¿(¹¬û
×Ø¿(Ã ² Ç Ä ¶XUF ÃUÈP»³¿ ² ¸P¿sÏR¿ Ñ » ²£° º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹£¿SÔ » Ñ ¿ ² º ° P¿( ºÅ ½P½ ¿(F Pº Ü ¶LºÅ ° ¹³ P¿(¹× ° ¹
ÿ
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ P¸ ¿¹
Ã(ºÅ¹£ÃÈPÇÒU¹,×Ø¹³º¼PÓ¾¿» ²£° ÏR¿ ° Ï ² UºÅP¿( L¶RÏ °U² ¸ Ñ º¼¹£¹ ° ¹£» ºÅ ² ¸P¿ºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹ °UÑ ¿ ² ¿(¹*¸U ²° Ïg¿¿ Ü UÃ ² Ç Ä
½ ¿(¹ ½ ¿(F Pº¼ÃÈPÇÒU¹ ²°² ¸P¿ ½ ² ¸ ² ¹£ÎU¿(ÇÅÇ¼¿( +Ï Ä² ¸P¿Ç¼U»£¿¹µÏR¿ Ñ »(Ô a ÈF¹£º¼FÓ ² ¸P¿¿ Ü@½ ¿¹£º Ñ ¿ ² ² º ° h¶
² ¸F¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹³»´µ¿¹£¿ÝUÇ¼ºÅÓ¾P¿ º¼IN» ½ ¿Ã(ºãÃ ° ¹£ P¿¹(¶CUP å´ º ² ¸ n» ½ ¿(ÃºÅãÃ Ñ ¿ ² ¸ ° L¼
Ô Cº¼¹£» ² ¶ ² ¸F¿
UPÓUÇ¼¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹É[á¾Í´µU»U Õ ÈP» ² ¿( óÈP»³º¼PÓ ² ¸P¿ Ñ ºÅÃ(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹»£Ã(¹³¿´ » ° ² ¸F¿ Ñ° ÈP ² ÈF ² º¼Ç ² ¸F¿
¸P¿º¼Ó¾¸ ² UP ÝÇ¼¿× ²â ¹£ºÅÓ¾¸ ²"½R° »£º ² º ° Pº¼PÓ ° × ² ¸F¿ÐÏR¿ Ñ Ú»Ã ° P» ² U ² ÔüÐ¿ Ü\² ¶ ² ¸P¿ ½g° »£º ² º ° Ñ º¼¹³¹ ° ¹
É äÍ´S» U Õ ÈP» ² ¿( +´ º ² ¸ ² ¸F¿» Ñ ¿ ½ ¹ ° Ã¿( PÈP¹³¿KÈP ² º¼Ç ² ¸P¿ÏR¿ Ñ ´µU» ½ ¹ °ZÕ ¿(Ã ² ¿( ²°² ¸P¿¿ Ü UÃ ²
Ã(¿ ² ¿(¹ ° ×PÏ °U² ¸Ç¼¿P»£¿»(ÔÌ,¸P¿dÇ¼¿P»£¿»¸U ²° Ïg¿¿ Ü UÃ ² Ç ÄK² ¸P¿µ»£ Ñ ¿¸P¿º¼Ó¾¸ ² ¶SUP » Ñ ¿d Fº¼» ² UPÃ¿
×Ø¹ °UÑ ¹£º¼ÓU¸ ²*²° Ç¼¿× ² Ô$º¼¹³» ² ² ¸F¿ ½R° »£º ² º ° Ñ º¼¹³¹ ° ¹,´ ° ÈPÇ¼ _Ïg¿U Õ ÈP» ² ¿ ²°!½ ÇÒUÃ¿ ² ¸P¿ÏR¿ Ñ ºÅ
² ¸F¿Ã(¿ ² ¿(¹ ° × ² ¸P¿ã¹³» ² Ç¼¿(Fl» ² ¸P¿ ² ¸P¿UPÓ¾ÇÅ¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹´µU»U Õ ÈP» ² ¿( ²°½ ÇÒUÃ¿ ² ¸P¿ÏR¿ Ñ ºÅ
² ¸F¿Ã(¿ ² ¿(¹ ° × ² ¸P¿»³¿(Ã ° P +Ç¼¿P»(Ô"Ì,¸Fº¼»d´µU»¹³¿ ½ ¿ ² ¿( +ÈP ² º¼Ç ² ¸P¿ÏR¿ Ñ ½ U»£»³¿( ² ¸P¹ ° ÈPÓ¾¸Ï °U² ¸
Ã(¿ ² ¿(¹³»(Ô
üÐ¿ Ü@² ¶ Ïg¿× ° ¹£¿ ² ¸P¿_Ïg¿( Ñ » ½ ÇÅº ²³² ¿(¹$´µU»»³¿ ² ºÅ ½ Ç¼UÃ(¿S¶ Ñ º¼¹£¹ ° ¹$æP¶ ² ¸P¿_ã Ü ¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹ °
² ¸F¿º¼ ² ¿¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹*¸U ²£° Ïg¿UÇ¼ºÅÓ¾P¿ _´ º ² ¸ ² ¸F¿ Ñ º¼Ã(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹Ð»³Ã(¹³¿´ ÈP ² ºÅÇ ² ¸P¿ÏR¿ Ñ ´µU»
¹£j¿ ¿(Ã ² ¿ N Fº¼¹£¿Ã ² Ç Ä ÏUÃ ²°z² ¸P¿» ° ÈP¹³Ã(¿ ° × ² ¸P¿ÐÇÒU»³¿(¹ÔÌ,¸P¿( ² ¸P¿ÏR¿ Ñ » ½ Ç¼º ²£² ¿¹dÃ ° ÈPÇÅ ÏR¿»£¿ ²
º¼ ½ Ç¼UÃ(¿$Ã¹£¿ ² º¼F}Ó ^ ² ¸P¿ ² ¹UP» Ñ º ²£² ¿( åÏg¿( Ñ ´ ¸PºÅÃ¸±» ² º¼ÇÅÇ¹³¿ ¿Ã ² ¿ ±×Ø¹ °UÑ7Ñ º¼¹£¹ ° ¹ænÏUÃ ²£°
² ¸F¿Ç¼U»£¿l¹ OUP ² ¸F¿¹³¿ ¿Ã ² ¿( ±ÏR¿ Ñ ÔÌ,¸F¿ÝÏR¿ Ñ » ½ ÇÅº ²£² ¿(¹´µU»zUPÓUÇ¼¿( åÈP ² º¼Ç ² ¸P¿$¹£¿ P¿(Ã ² ¿( ÏR¿ Ñ Ú»s¿ Ü UÃ ² Ç Ä çU½
ô ©s×Ø¹ °¾Ñ ² ¸P¿ ² ¹UP» Ñ º ²£² ¿( óÏR¿ Ñ Ô ²² ¸PºÅ» ½g° º¼ ² ¶ ² ¸P¿+ÇÒS» ²sÑ º¼¹³¹ ° ¹
´µU»µ»³¿ ² ºÅ ²°½ ÇÒUÃ¿U¶@UP !S Õ ÈP» ² ¿( !ÈF ² º¼Ç ² ¸F¿¹£j¿ ¿(Ã ² º ° ° ×XÏ °U² ¸ÏR¿ Ñ » ° Ã(ÃÈ ½ ºÅ¿( ² ¸P¿»£ Ñ ¿
» ½ UÃ(¿ ° ² ¸P¿K»³Ã(¹£¿¿(hÔ
× ² ¿(¹ ² ¸P¿zÏg¿( Ñ » ´d¿(¹£¿ ½ ¹£¿Ã(ºÅ»£¿(Ç Ä UÇ¼ºÅÓ¾P¿( L¶ ² ¸P¿z»£¿Ã ° P ÇÅ¿(P»*º¼ ² ¸F¿ ² ¿Ç¼¿»£Ã °U½ ¿z´ º ² b
¸ ñ
ý áUôUô ÑÑ ´µU» ¹£¿ ½ ÇÒUÃ¿( N´ º ² ¸ ° F¿K´ º ² b
¸ ñòý à ÑÑ ¶FÃ(¹³¿ ² º¼PÓÝs PºÅÎU¿(¹³Ó¾º¼PÓÏR¿ Ñ SP sÇÒU¹³Ó¾¿(¹ãP¿(Ç¼ LÔ Â P» ² U ² Ç Ä ¶Ã(ºÅ¹£Ã(ÈFÇÒU¹µ×Ø¹³º¼PÓU¿(» ½P½ ¿S¹£¿( ° ² ¸P¿K»³Ã(¹£¿¿(hÔÌ,¸P¿¹£¿× ° ¹£¿ ² ¸P¿KÏR¿ Ñ
Ñ ÈP» ² ¸PÎU¿ÇÒU¹³Ó¾¿(¹ Pº¼ Ñ ¿ ² ¿¹ÐSP 4 PºÎ¾¿¹£Ó¾ºÅPÓP¶§º¼ ° ¹£ F¿(¹ ²°° Ï ² UºÅ ² ¸P¿P¿(Ã¿(»£»£U¹ Ä Ã(ºÅ¹£ÃÈPÇÒU¹
×Ø¹£ºÅPÓ¾¿»(Ô Â ² ¸PºÅ»*»³¿ ² û¦È ½ ¶ ² ¸P¿K¹£¿»£ÈPÇ ² U ² PºÒ Ñ ¿ ² ¿(¹ ° × ² ¸P¿KÏg¿( Ñ ² ² ¸P¿Î@ºÅ¿´ ºÅPÓ$»£Ã(¹³¿(¿_´µU»
½P½ ¹ °Ü º Ñ ² ¿Ç Ä äôsÃ Ñ ¶Ã °¾Ñ½ U¹³¿( ²° äKÃ Ñ ºÅ ² ¸P¿ ° ¹³º¼Ó¾ºÅUÇ ² ¹£º¼UÇ[Ô
ç
¿¾
À
µì
ì}¤£
µ · ¡ £¢
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
ÁªÂ
Ì,¸P¹³¿(¿ÊdËLÌ,»É Ç¼Ç ° Ï ² UºÅP¿( +×Ø¹ °¾Ñ Ê"¸ Ä »£º% Â F» ² ¹³È Ñ ¿( ² ¿Í,´d¿(¹³¿¿SÃ¸4 ²³² UÃ¸F¿( ²£° »£¿ ½ U¹ ² ¿
Ñ º¼¹£¹ ° ¹£»UP ÑÝ° ÈF ² » ² ¸ ² Ã ° ÈPÇÅ óÏg¿Ýº¼ ² ¿¹£Ã¸SPÓ¾¿( ò¿(U»£ºÅÇ Ä º¼ ²£°_² ¸F¿ Ñ ºÅÃ(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹z»³Ç¼ºÅ P¿ºÅ
² ¸F¿ ½R° »£º ² º ° ° × Ñ º¼¹£¹ ° ¹ àFÔÌ,¸F¿ã¹³» ² » Ñ½ Ç¼¿K´µU»ÝÊ Â ·ûäæô Pº¼»
!´ º ² ¸$ PºÒ Ñ ¿ ² ¿(¹ ° ×"áUô
ÑÑ UP I ² ¸Fº¼Ã GP¿(»³» ° ×Ðä ÑÑ ÔÌ,¸P¿$»£¿Ã ° P I P¿Î@ºÅÃ(¿s´µU»zUÇ¼» ° n¹ ° ÈPP å PºÅ»Ã§¶<ÏPÈ ² ´µU»z
Ê Â ·ûäæFä*»£ Ñ½ Ç¼¿´ º ² ¸z FºÒ Ñ ¿ ² ¿(¹ ° ×CäÞ ÑÑ ¶UP Ý ² ¸PºÅÃ\F¿(»£» ° ×CÔº ÑÑ ÔOÌ,¸P¿*ÇÒU» ² » Ñ½ Ç¼¿
´µU»*UÇ¼» ° Ê Â ·ûäæPä¾¶PÏFÈ ² ´S»ÐNÉ¬ä ÑÝÑkÜ äZá\ºÔ ÑÑ Ü Ôßÿ¾à ÑÑ Í¹£¿Ã ² SPÓ¾ÈPÇ¼U¹ ½ Ç¼ ² ¿SÔ"Ì,¸P¿
² ´ ° ×EUÃ¿(» ° × ² ¸P¿zUÇ¼Ç ² ¸P¹³¿(¿ÊdËLÌ,» ´d¿(¹£¿zÃ ° ² ¿ N´ º ² ¸_$ÎU¿(¹ Ä+² ¸Pº¼n»³º¼ÇÅÎU¿(¹,ãÇ Ñ ¶F´ ¸Fº¼Ã¸_UÃ ² ¿( U» ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹ ° P¿» ²£°$½ ¹ ° PÈPÃ¿$ÈPPº× ° ¹ Ñ ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃã¿(ÇÅ _ºÅP»£ºÅ P¿ ² ¸F¿ÊËLÌÔ
Ì,¸P¿ÊËLÌþ PºÅÃ» NÚ» Ñ° ÈP ² ¿( åÏg¿¸Pº¼F ² ¸P¿ Ñ° Î¾¿SÏPÇ¼¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹*» °+² ¸P ²² ¸F¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹ ´µU»
»£È ½P½g° ¹ ² ¿ !¿( ² º¼¹£¿Ç Ä Ï Ä$² ¸F¿ÊËLÌÛUF Ý PºÅ¹£¿Ã ² Ç Ä ¹£¿» ½R° P P¿ ²° º ² » Fº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ ¿( ² »ÔÌ,¸Pº¼»´µU»
° F¿zÈF»£º¼F
Ó û Ñ º¼GÈ ² ¿¿ ½R°Ü\Ä S× ² ¿(¹ » ° Ç¼ P¿¹£º¼FÓ´ º¼¹£¿» ° ²°$² ¸P¿K»£ºÅÇÅÎU¿(¹,Ã ° ² UÃ ² »(Ô
a ÈP¹£ºÅPÓ ² ¸P¿ ½ ¹³¿(ÇÅº Ñ º¼U¹ Ä$² ¿(» ² ºÅPÓ ° × ² ¸P¿ ½P½ U¹£ ² ÈP»¶ ° PÃ¿ ² ¸P¿Î ° Ç ² UÓ¾¿´µU»Ð ½P½ ÇÅº¼¿ h¶Pº ²
²°\° »³¿ÎU¿(¹SÇd»³¿(Ã ° P P»× ° ¹K¿Î¾¿( ² ¸P¿» Ñ UÇ¼ÇÅ¿(» ² Ã¸UPÓ¾¿ ²°N° Ã(Ã(ÈF¹ºÅ ² ¸P¿×Ø¹³º¼PÓU¿(»(¶CUP I¿ÎU¿(
² ¸Fº¼» Ñ° Î¾¿ Ñ ¿ ² Ú»CÎ¾¿(¹ Ä » Ñ UÇÅÇ[Ô × ² ¿(¹»£¿ÎU¿(¹£UÇP¿ Ü@½ ¿(¹³º Ñ ¿( ² »¶¾º ² ´S»" Pº¼»³Ã ° Î¾¿¹£¿( ² ¸ ²² ¸P¿(»³¿
½ ¹ ° ÏPÇ¼¿ Ñ »"´d¿(¹³¿ÐÃ(UÈP»£¿ !Ï Äs² ¸P¿ ´µ Ä$² ¸P¿Ð¿ ½g°Ü\Ä ´µU» ° ¹³º¼Ó¾ºÅUÇÅÇ Ä ½P½ Ç¼º¼¿ ²£°z² ¸P¿ÐÊdËLÌ¶¾´ ¸Fº¼Ã¸
UÇÅÇ ° ´µ¿ _» °¾Ñ ¿z¿ ½g°Ü\Än²°° Î¾¿(¹³ÇÒ ½N² ¸P¿z»£ºÅ P¿(» ° × ² ¸P¿z» Ñ½ ÇÅ¿UÔÌ,¸P¿ ² ¹UP»³ PÈPÃ¿(¹Ð´µU»ÐUÃ ² ÈUÇÅÇ Ä
× ° ¹³Ã(º¼FÓ ² ¸P¿z¿ ½R°Ü\Ä+²£°ÝÑ° Î¾¿UÇ ° FÓ$´ º ² ¸Nº ² ¶F´ ¸Pº¼Ã¸_ÃUÈF»£¿( ² ¸P¿K¸P¿»£º ² ² º ° nº¼ ² ¸P¿z¿÷g¿(Ã ² S»
´d¿(Ç¼Ç<S»* Fº Ñ º¼PºÅ»£¸PºÅPÓº ² Ô
Â ² ¸P¿ãUÇ ½ ¹ ° Ã(¿ PÈP¹£¿S¶ Ñ ÈPÃ¸nãP¿(¹´ ºÅ¹£¿» ´d¿(¹³¿ÈF»£¿( ±ÉMàUô$Ó¾UÈPÓ¾¿» ² ¹SP P¿( Í SP ² ¸P¿(»³¿
´d¿(¹£¿K» ° Ç¼ P¿¹£¿ Ñ° ¹³¿øGÈPº¼Ã GÇ Ä° ²°s² ¸F¿KÊdËLÌ¶@´ ¸Pº¼Ã¸+´µU» »£¿ ²*° nsÏPÇ ° Ã ° ×UÇ¼È Ñ ºÅ\È Ñ S»
Ý¸F¿ ² »£º¼g RÔÐÌ,¸P¿´ ºÅ¹£¿»Ð´d¿(¹£¿Ã ° PF¿(Ã ² ¿( Î\ºÒ¼
'ü· Ã(UÏPÇ¼¿» ²£°Ý² ¸F¿Î ° Ç ² SÓ¾¿»³È ½P½ Ç Ä ÔÐüÐ¿ Ü\² ¶
½ ºÅ¿(Ã(¿ ° ×"á ÑÑ »³¸P¿(¿ ²*Ñ ¿ ² UÇRÚ» ¿ ½g°Ü º¼¿ ²£°² ¸P¿×ESÃ(¿ ° × ² ¸F¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹ Ñ° ÈP ² Ô ½ º¼¿(Ã¿ ° ×
² ¸F¿z»£ Ñ ¿ Ñ ² ¿(¹³ºÒUÇRÚ» ÃÈ ² ²° s»£º¼Æ¿K»£Ç¼ºÅÓ¾¸ ² Ç Ä » Ñ SÇ¼Ç¼¿¹ ² ¸PU ² ¸P¿zÊËLÌ¶§UP ² ¸P¿_¿ ½g°Ü º¼¿ ° ²£°¾½+° × ² ¸F¿ ° ¹£ºÅÓ¾º¼SÇ ½ º¼¿Ã(¿ ° ×<»³¸P¿(¿ ² Ñ ¿ ² UÇMÔÌ,¸P¿KÊËLÌÛÚ» ² ¸P¿(n¿ ½g°Ü º¼¿ ° ²°¾½+° × ² ¸PºÅ»
Ñ ² ¿¹£ºÒSÇ[¶P´ º ² ¸U °S² ¸P¿¹» Ñ UÇÅÇ ½ º¼¿Ã(¿ ° ×»£¸P¿¿ ²KÑ ¿ ² SÇOÓUÇ¼ÈP¿ ²°² ¸P¿ ²£°¾½° ×º ² Ô ºÅUÇ¼Ç Ä!² ¸F¿
ã¹³» ² »£ÈF¹³×EUÃ¿ Ñ ºÅ¹£¹ ° ¹´µU»,¿ ½g°Ü º¼¿ ° ²°¾½+° × ² ¸Pº¼»Ô"Ì,¸P¿ãSÇhÊËLÌ ÑÝ° ÈF ² º¼»ºÅÇ¼Ç¼ÈF» ² ¹£ ² ¿ ºÅ
äô
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
ºÅÓ¾ÈP¹£¿f\Ô
PÃ(¿ ² ¸P¿ÊËLÌ ´µU» Ñ° ÈP ² ¿ 4 Pº÷L¿¹£¿ ² Ç Ä ¶P´ º ² ¸ ² ¸F¿¿ ½g°Ü\Ä Ïg¿ ² ´µ¿¿(º ² SP ² P
¸ ¿»³¸P¿(¿ ²
Ñ ¿ ² SÇ[¶ ² ¸P¿s ½P½ Ç¼ºÅ¿( NÎ ° Ç ² UÓ¾¿ÃUÈF»£¿( ² ¸P¿×Ø¹£ºÅPÓ¾¿» ²° »£¸Pº× ² º¼F» ² S ² Ç Ä ÔÌ,¸Pº¼»ÐãUÇ ÑÝ° PÈ ² º¼FÓ
½ ¹ ° Ã¿( PÈP¹³¿z´µU» ¹£¿ ½ ¿( ² ¿ N× ° ¹ ² ¸P¿KP¿ Ü@²*² ´ ° »£ ÑÝ½ Ç¼¿(»Ô
Wires
È É È É È É È É È É Mirror
ÈÉ ÈÉ ÈÉ ÈÉ ÈÉ ÈÉ ÈÉ ÈÉ ÈÉ È
ÇÆ ÇÆ ÇÆ ÇÆ
ÅÄÅÄ ÅÄÅÄ ÅÄÅÄ ÅÄÅÄ ÅÄÅÄ ÅÄÅÄ ÅÄÅÄ ÅÄÅÄ
Mirror Mount
PZT
Sheet Metal
Cº¼Ó¾ÈP¹³¿fc^"Ì,¸PºÅ»*»³¸ ° ´ » ² P
¸ ¿ ° ¹£ºÅ¿( ² ² º ° ° × ² ¸P¿zÊËLÌ&Ö ° ÈF ²
Ê
" !" / 5 "
½ ¸ °U²° P¿ ² ¿(Ã ²° ¹´S»ÈP»£¿ ²°° Ï ² Sº¼!SÃ(Ã(ÈF¹ ² ¿¹£¿Ã ° ¹³ Pº¼FÓ¾» ° × ² ¸P¿ºÅ ² ¿(F»£º ²¦Ä° × ² ¸P¿Ã¿( ² ¿¹
° × ² ¸P¿s×Ø¹£ºÅPÓ¾¿ ½ ²£² ¿¹£hÔÝÌ,¸P¿(¹³¿× ° ¹³¿U¶OÇ ° ´ ºÅ ² ¿(F»£º ² º¼¿»Ã ° ¹³¹£¿(Ç¼ ² ¿ ²£°_½ ¿(¹³º ° P» ° ×µÃ(¿( ² ¹UÇ P¿:û
» ² ¹£ÈPÃ ² ºÎ¾¿µºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹³¿(PÃ¿U¶UF ¸PºÅÓ¾¸ºÅ ² ¿(F»£º ² º¼¿»OÃ ° ¹£¹³¿(Ç¼ ² ¿ ²°*½ ¿(¹£º ° F» ° ×Ã(¿ ² ¹UÇ\Ã ° P» ² ¹£ÈPÃ ² ºÅÎU¿
º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹£¿PÃ(¿SÔ
Ì,¸P¿ ½ ¸ °U²£° P¿ ² ¿(Ã ²£° ¹´S» ½R° »³º ² º ° P¿ º¼ ² ¸F¿¿ Ü UÃ ² Ã(¿ ² ¿(¹ ° × ² ¸F¿×Ø¹£º¼FÓ¾¿(»¶< ² ô!Î ° Ç ² »(Ô
Ì,¸P¿Î ° Ç ² UÓ¾¿Ú» ² ¸P¿(c ½P½ Ç¼ºÅ¿( ² ¸P¹ ° ÈPÓ¾¸óºÅPÃ(¹³¿ Ñ ¿( ² » ° ×Käô_Î ° Ç ² »(¶×Ø¹ °¾Ñ ôùäô¾ô¾ô@¶C´ º ² ¸
² ¸F¿ ½ ¸ °U²£° F¿ ² ¿Ã ²£° ¹ Ñ ¿U»³ÈP¹£ºÅPÓ ² ¸F¿+¹£¿(»³ÈPÇ ² U ² º¼ ² ¿(P»³º ²¦Ä ° × ² ¸P¿Ïg¿( Ñ Ô òº¼ ² ¿P»£º ²¦Ä Î\»Ô
Î ° Ç ² SÓ¾¿Ó¾¹ ½ ¸+Ú» ² ¸F¿( ½ Ç °U²³² ¿ NºÅN$» ½ ¹£¿(U P»³¸P¿(¿ ²½ ¹ ° Ó¾¹ Ñ Ô
Ì,¸P¿¹³¿(»³ÈPÇ ² » ° × ² ¸P¿zº¼ ² ¿P»£º ²¦Ä Î\»ÔÐ ½P½ Ç¼ºÅ¿( nÎ ° Ç ² UÓU¿ Ñ ¿S»£ÈP¹³¿ Ñ ¿( ² × ° ¹ ² ¸F¿zã¹³» ² » Ñ½ Ç¼¿
ÃSêÏR¿»³¿(¿(êº¼Ë
Cº¼Ó¾ÈP¹³¿Þ ° ² ¸P¿× ° Ç¼Ç ° ´ º¼PÓ ½ UÓ¾¿SÔ ² ô±Î ° Ç ² » ² ¸P¿Ã¿( ² ¿¹!×Ø¹£º¼FÓ¾¿4´µU»
±´ ¸Pº ² ¿» ½g°U² ¶ ° ¹+U6U¹³¿ ° ×z¸PºÅÓ¾¸ Ã ° P» ² ¹£ÈPÃ ² ºÅÎU¿åº¼ ² ¿¹³×Ø¿(¹³¿(PÃ¿UÔ Ì,¸ ² ºÅ»Ý´ ¸ Ä ² ¸F¿4ã¹£» ²
¹£¿Ã ° ¹³ Pº¼FÓ¾»µ ½P½ ¿(U¹dU» ½ ¿( ° ² ¸P¿Ó¾¹£ ½ ¸hÔÌ,¸P¿Ã¸SPÓ¾¿(»µº¼ ² ¸P¿Ðº¼ ² ¿P»£º ²¦Ä ¹£¿(Ã ° ¹£ F¿( +º¼ ²£°
² ¸F¿ ½ ¸ °U²£° P¿ ² ¿Ã ²° ¹*ÉEÌ,¸P¿ ½R° º¼ ² »Í¶¾´ ¸Fº¼Ã¸$¹£¿»£ÈPÇ ² ¿( s×Ø¹ °¾Ñ ºÅPÃ(¹³¿U»³¿( $Î ° Ç ² UÓU¿U¶ ½F½ ¿(U¹Ã(Ç ° »£¿Ç Ä
Ñ ² Ã¸P¿ ²£°² ¸P¿K¿(øGÈ ² º ° ° ×s»£º¼F¿zÃÈP¹³ÎU¿+ÉØÌ,¸P¿K» ° ÇÅº¼ nÇ¼ºÅP¿Í:Ô"Ì,¸P¿Ã¹£¿» ² » ° × ² ¸P¿zÃ(ÈF¹³Î¾¿U¹³¿
´ ¸P¿¹£¿ ² ¸P¿zÃ ° P» ² ¹³ÈPÃ ² ºÅÎ¾¿º¼ ² ¿¹³×Ø¿¹£¿(FÃ(¿KÚ» ² º ² »*¸Fº¼Ó¾¸P¿» ² ¶§UP ² ¸P¿(¹³¿z´µU»$´ ¸Pº ² ¿KÃ(¿ ² ¿(¹¶
UP ² ¸P¿ ² ¹ ° ÈPÓU¸P»$U¹£¿ ² º Ñ ¿(» ° × Ñ Ü º Ñ È Ñ Ã¿( ² ¹£UÇ P¿» ² ¹³ÈPÃ ² ºÅÎU¿+º¼ ² ¿¹³×Ø¿(¹³¿(PÃ¿U¶ ° ¹sÏFÇÒUÃ
Ã(¿ ² ¿(¹Ô
ä¾ä
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
Scan of PZT Motion
file pztscan1; page 47-48
3.0
Detector Signal (Volts)
2.5
2.0
1.5
1.0
0.5
0.0
0
100
200
300
400 500 600 700
Applied Voltage (Volts)
800
900
1000
ºÅÓ¾ÈP¹£¿ Þc^"Ö_¿(U»£ÈP¹³¿( !ÇÅº¼Ó¾¸ ² ºÅ ² ¿(F»£º ²¦Ä ²² ¸P¿ ½ ¸ °U²£° F¿(Ã ²£° ¹"Î\»(Ô ½P½ Ç¼º¼¿ sÎ ° Ç ² UÓ¾¿É ½g° ºÅ ² »ÍC× ° ¹
² ¸F¿ã¹£» ² »£ Ñ½ Ç¼¿KÉEÊ Â ·ûäæô´ º ² ¸ Pº¼ Ñ ¿ ² ¿¹ ° ×háUô ÑÝÑ ¶UF Ý ² ¸Pº¼ÃGP¿»£» ° ×Oä¾Ô ô ÑÑ ÍÔOÌ,¸P¿
» ° Ç¼º¼ åÇÅº¼P¿ºÅ»zN»³º¼P¿$Ã(ÈF¹³Î¾¿ ² ¸P ² Ïg¿» ²Ñ ² Ã¸P¿(» ² ¸P¿Ý P ² FÔ$Ì,¸P¿ ½ ¿(¹£º ° ° × ² ¸PºÅ»»£ºÅP¿$Ã(ÈP¹ Î¾¿
Ã ° ¹£¹£¿» ½R° P P» ²°s² ¸P¿K Pº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²° ¹Ô
Ì

´
î¥¬ï·¥¬îì¡ £¢ ì}¤£¦Í&¬ë}¥¬î"ïÎ¨Ï µìÐ¸:î"ïLì µ Ë
í ¸ µ íðì¤£ÒÑKíë\ìðëFî¨Ï¥
öUÃ¸n´Î¾¿Ç¼¿PÓ ² ¸ ° × ² ¸P¿K»£ºÅP¿Ã(ÈF¹³Î¾¿zº¼dºÅÓ¾ÈP¹³¿Þs¹£¿ ½ ¹£¿(»³¿( ² »×ØÈPÇ¼ÇL´µÎ¾¿Ç¼¿(FÓ ² ¸NÃ¸UPÓU¿ºÅ
² ¸F¿ ½ ² ¸ÇÅ¿(PÓ ² ¸h¶´ ¸PºÅÃ¸ Ñ ¿UP» ² ¸F¿ÊËLÌÛÃSÈP»£¿ ² ¸P¿ Ñ º¼¹£¹ ° ¹"¿ Ü@½ ¿(¹³º¼¿(FÃ(¿( !z PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ²
°d
× ÓÔ@¶KÔ Ì,¸F¿(¹£¿× ° ¹£¿S¶ ² ¸P¿× ° Ç¼Ç ° ´ º¼PÓI¿(øGÈ ² º ° ´µU»+ÈP»³¿( ²° Ã(UÇ¼ÃÈPÇÒ ² ¿ ² ¸P¿ PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ²
×EUÃ ²° ¹_É Õ\ÍKºÅóU °¾Ñ ¿ ² ¿¹£» ½ ¿(¹Î ° Ç ² ¶C´ ¸F¿(¹£¿dÖ×K¿ø\ÈPUÇ¼» ² ¸P¿Î ° Ç ² UÓ¾¿Ý ²² ¸P¿ã¹³» ² Ã¹£¿» ² ¶Ö Ô
¿(øGÈSÇ¼» ² ¸P¿ÐÎ ° Ç ² UÓ¾¿* ²d² ¸P¿*»£¿Ã ° P +Ã¹£¿» ² UF Ø!¿(øGÈUÇÅ» ² ¸P¿Ð´µÎ¾¿(ÇÅ¿(PÓ ² ¸ ° × ² ¸P¿Ç¼U»£¿¹dÏR¿ Ñ Ô
ý Pá ÉkÖ ÔÚØ Ù ÖÛ×£Í
É äÍ
Â ½ È ²³² ºÅPÓÞUàá Ñ × ° ¹Ø<¶§àUÿ¾ôõ × ° Ü¹ Ö×:¶§UF ÿ¾ÿ¾ô× ° ¹ Ö Ô ¶ ² F¸ ¿z× ° ÇÅÇ ° ´ º¼FÓ¿(øGÈ ² º ° n´µU»
ÃSÇ¼Ã(ÈFÇÒ ² ¿( hÔ
Õ
äZá
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
ý Pá ÉMÿUÿ¾ô ÞUàÙ á à¾ÿ¾ôÍ
*¿»£ÈPÇ ² ºÅPÓ$º¼Ns Pº¼» ½ ÒÇ UÃ¿ Ñ (
¿ ² ×EUÃ ²° ¹ ° ×^
É[áUÍ
Õ
ý SFà ¾ô äôÞàzÝßáÞ âäã
å
ÉMà¾Í
Õ
° ¹KÔßÞUàá Ñâ Î ° Ç ² Ô
Ì s³
æ
<ë
}·¥
ìPë î £Íèçé ëg¥ î"ïÎ¨+ ìÐêî"ïLì µ í
nì}¤£ìë$<ï
µ ¸
*î
µ £Ííë ¨Ï¥
0.35
Detector Signal (Volts)
0.30
0.25
0.20
0.15
0.10
0.05
0.00
0
50
100
150
200 250 300 350
Applied Voltage (Volts)
400
450
500
ºÅÓ¾ÈP¹£¿½,c^±Ì,¸P¿»£¿IU¹³¿ ² ¸P¿¹³¿(»£ÈFÇ ² »!× ° ¹ ² ¸P¿½h@¿(Ã ° P dÊ ËLÌ MÉ Ê Â ·ûäæôF¶ ´ º ² ¸Û PºÒ Ñ ¿ ² ¿(¹_äÞ
ÑÑ ¶ ² ¸Pº¼ÃGP¿»£»(¶hôFÔº ÑÝÑ ÔßÍ ÓSº¼h¶ ² ¸F¿» ° Ç¼º¼ NÇ¼ºÅP¿Ã ° ¹£¹ ° » ½R° PP » ²° »£ºÅP¿ÃÈP¹³ÎU¿ ² ¸P ² ÏR¿(» ²
Ñ ² Ã¸P¿» ² ¸P¿K ² FÔ
,Ì ¸P¿»£¿Ã ° F 4ÊËLÌ6» Ñ½ ÇÅ¿´S» ÑÝ° ÈF ² ¿( nUF ² ¿(» ² ¿ _ºÅ ² ¸P¿»£ Ñ ¿ Ñ SPP¿(¹U» ² ¸F¿ã¹£» ²
» ÑÝ½ ÇÅ¿U¶g¿ Ü Ã(¿ ½F² º ² » Ñ Ü º Ñ È Ñ Î ° Ç ² SÓ¾¿´µU»fUô¾ôõ3É äôUô¾ôÝõk× ° ¹Ð¿Î¾¿¹ Ä ä ÑÑ PºÒ Ñ ¿ ² ¿(¹ÍÔ
ÇÅ» ° ¶ ² ¸P¿ãP¹£» ² ÇÅ¿(P»É_ñ ýî,¾Í´µU»,¹£¿ ½ ÇÒUÃ¿( !´ º ² ¸n Pº÷L¿¹£¿( ² ÇÅ¿(P» ° × ² ¸P¿» Ñ ¿»³º¼Æ¿U¶PÏPÈ ²
´ º ² ¸óN» Ñ UÇ¼ÇÅ¿(¹× ° ÃUÇÇ¼¿PÓ ² ¸ÛÉ_ñ6ý à ÑÑ Í:Ô!Ì,¸P¿Ý»£¿(Ã ° P òÇÅ¿(P»¶,É ° ¹£º¼ÓUº¼UÇÅÇ Ä ñ6ý à¾Í
äà
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ P¸ ¿¹
´µU»¹£¿ ½ ÇÒUÃ¿( ´ º ² ¸!ÇÅ¿(P»´ º ² ¸× ° ÃSÇCÇÅ¿(PÓ ² ¸ ° ×µáSæPÔ ÑÑ ÔÌ,¸Pº¼»¹³¿(»³ÈPÇ ² ¿( º¼!Ó¾¹£¿( ² ¿¹
PºÎ¾¿(¹³ÓUPÃ¿ ° × ² ¸P¿Ïg¿( Ñ UP ÐÇÒS¹£Ó¾¿¹<ãP¿(Ç¼ LÔ »C»£¿¿( ° ² ¸P¿d¹£¿»£ÈPÇ ² »ºÅzãPÓ¾ÈP¹£¿i,@¶ ² ¸PºÅ»C»³¿ ² û È ½
¹£¿»£ÈPÇ ² ¿ º¼ÐÇ ° ´d¿(¹O¹UFÓ¾¿ ° ×P P¿ ² ¿(Ã ²£° ¹»³º¼Ó¾PUÇº¼ ² ¿P»£º ² ºÅ¿(»µÉ Ô ô¾à*õ ²° ÔßáUç õKÍXÃ °¾Ñ½ U¹³¿( ²£°² ¸F¿
ã¹³» ² »£ Ñ½ Ç¼¿É ÔäçKõ ²£° á@Ô æKõÍÔz'µ¿ÃUÈP»³¿ ° × ² ¸Pº¼»Ç ° ´d¿(¹d¹UPÓU¿UF ² ¸F¿»£ÇÅº¼Ó¾¸ ² º¼PUÃ(ÃÈP¹UÃº¼¿»
° × ² ¸P¿ÝÎ ° Ç ²£Ñ ¿ ² ¿¹(¶ ² ¸P¿Ý¹£¿(»³ÈPÇ ² »× ° ¹ ² ¸F¿»£¿Ã ° F cÊdËLÌS¹£¿ °U² U»UÃÃ(ÈP¹£ ² ¿U» ² ¸P¿¹³¿(»³ÈPÇ ² »
×Ø¹ °UÑ² ¸P¿ã¹³» ² »£ Ñ½ Ç¼¿SÔ"ü °U² ¿ ² ¸P¿»£ÇÅº¼Ó¾¸ ² ¹£ºÅ»£¿ºÅ ² ¸F¿ ½ ¸ °U²£° P¿ ² ¿(Ã ²° ¹,»³º¼Ó¾PUÇR ² ä Sô ½P½ ÇÅº¼¿ Î ° Ç ² »Ô$Ì,¸P¿UÃ ² ÈUÇÎSUÇ¼ÈF¿(»KU¹³¿ÝSÇ¼» ° ×ES¹ ² ¸F¿(¹×Ø¹ °¾Ñ3² ¸P¿$ÏR¿(» ² ã ² ÃÈP¹³ÎU¿ ² ¸UIº¼ ² ¸F¿¹³¿(»³ÈPÇ ² »
×Ø¹ °UÑ'² ¸P¿ ã¹³» ² » Ñ½ Ç¼¿S¶\UÇ¼» ° FÈP¿ ²£°² ¸P¿Ð» Ñ SÇ¼Ç¼¿¹¹SPÓ¾¿UÔÌ,¸P¿(»³¿ÐÎSUÇ¼ÈF¿(» ° ¶G¸ ° ´µ¿Î¾¿¹(¶Fã ²² ¸F¿
»£¸P ½ ¿ ° ×»£ºÅP¿ÃÈP¹³ÎU¿U¶XSP ° P¿ ½ º¼Ã ² Ã¸PUPÓ¾¿×Ø¹ °¾Ñ Ã(¿ ² ¹UÇCÃ ° F» ² ¹³ÈPÃ ² ºÅÎU¿sº¼ ² ¿¹³×Ø¿(¹³¿(PÃ¿
²° Ã¿( ² ¹£UÇ< P¿(» ² ¹£ÈFÃ ² ºÎ¾¿zº¼ ² ¿¹³×Ø¿¹£¿(FÃ(¿UÔÌ,¸PºÅ» Ñ ¿SP» ² ¸ ²,² ¸P¿z PºÅ÷g¿(¹³¿(PÃ¿zºÅ ½ ² ¸NÇ¼¿PÓ ² ¸P» ° ×
² ¸F¿ ² ´ ° Ïg¿( Ñ » PºÅ nÃ¸UPÓ¾¿S¶§UP ² ¸P¿zÊËLÌ Fº¼ n¿ Ü ¿(¹ ² º ² » ² º¼ Ä PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ² Ô
Ì,¸P¿ Fº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²£° ¹*× ° ¹ ² ¸Pº¼» »£ ÑÝ½ Ç¼¿Kº¼» ÃSÇ¼Ã(ÈFÇÒ ² ¿( NÈP»£ºÅPÓ ² ¸P¿»£ Ñ ¿z¿øGÈ ² º ° S»
² ¸F¿KãP¹£» ² »£ ÑÝ½ Ç¼¿ ^
ÉEæÍ
ý Pá ÉkÖ ÔÚØ Ù ÖÛ×£Í
ï »³º¼PÓÝà¾ÿ¾ôõ&× ° ¹$Ö Ô ²*² ¸P¿KÃ(¹³¿(» ² ¶RUP åäà¾ôõ × ° ¹$Ö×, ² ² ¸P¿ ² ¹ ° ÈPÓ¾¸ ÉEÏR¿(Ã(UÈP»£¿ ² ¸F¿(¹£¿KºÅ»
° PÇ Ä$° P¿ÐÃ(¹£¿» ² ºÅ ² ¸Pº¼»Ó¾¹ ½ ¸§Í ² ¸P¿ ° ¹£ºÅÓ¾º¼SÇ¿(øGÈ ² º ° ÝÃ¸UPÓ¾¿»»£ÇÅº¼Ó¾¸ ² Ç Ä ÔCÌ,¸P¿ F¿( °¾Ñ º¼P ²° ¹
º¼», ° ÈPÏPÇÅ¿( ²° Ã °UÑÝ½ ¿(P»£ ² ¿× ° ¹ ° PÇ Ä ¸UÇ× ² ¸P¿ ½ ¿¹£º ° +ÏR¿(ºÅPÓ$¹£¿ ½ ¹£¿(»³¿( ² ¿ hÔ ï »£ºÅPÓÞ¾àá ° PÃ¿
UÓSº¼!× ° ¹$ØX¶ ² ¸P¿K¿ø\ÈP ² º ° nÏg¿Ã °¾Ñ ¿(» ^
Õ
ý §æ ÉMàUÿ¾ô ÞUàÙ á äà¾ôÍ
Ì,¸Pº¼» ¹³¿(»£ÈFÇ ² » ºÅ_s PºÅ» ½ ¼Ç UÃ(¿ Ñ ¿ ² ×EUÃ ²£° ¹ ° ×^
ÉkUÍ
ý SFà ¾ô äôÞàzÝßáÞ âäã
å
° ¹KÔßÞUàá Ñâ Î ° Ç ² F¶ ´ ¸Fº¼Ã¸Nº¼»,¿(øGÈSÇ ²£°s² ¸ ² ° × ² ¸P¿ã¹£» ² £» Ñ ½ ¼Ç ¿SÔ
ÉMÞ¾Í
Õ
Õ
äæ
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
0.50
0.45
Detector Signal (Volts)
0.40
0.35
0.30
0.25
0.20
0.15
0.10
0.05
0.00
0
100
200
300
400
500
600
Applied Voltage (Volts)
700
800
900
ºÅÓ¾ÈP¹£¿ÿg^$Ì,¸P¿(»³¿nU¹£¿ ² ¸P¿!¹³¿(»³ÈPÇ ² »× ° ¹ ² P¸ ¿!Ì,¸PºÅ¹£ òÊËLÌ ÉMÊ Â ·ûäæôF¶´ º ² ó
¸ Pº Ñ ¿P»£º ° P»^+ä
ÑÑ Ü äZá\Ôº ÑÑ Ü ôFÔ ÿ¾à ÑÑ Í
Ì ¿¾
æ
<ë
}·¥
ìPë î £Íèçé ëg¥ î"ïÎ¨+ ìÐêî"ïLì µ í
nì}¤£
µ ¸
Â
¬í
*î
¤ Ííë ¨ð¥
Ì,¸P¿ ² ¸Pº¼¹³ » Ñ½ Ç¼¿S¶hU» Ñ ¿( ² º ° P¿ Ïg¿× ° ¹£¿S¶L´µU»zUÇ¼» ° +Ê Â ·ûäæPäU¶hÏPÈ ² ´µU»¹£¿Ã ² UPÓ¾ÈPÇ¼U¹ºÅ
»£¸P ½ ¿ÝUP I¸U ² ¸PºÅÃ\F¿(»£» ° ×Ôßÿ¾à ÑÑ É[Ö_ Ü º Ñ È Ñ Î ° Ç ² UÓ¾¿ý ÿ¾à¾ô!õKÍ:ÔXÌ,¸Pº¼»ÊËLÌþ´µU»
² ¿» ² ¿( ÈP»³º¼PÓ ² ¸P¿»£ Ñ ¿Ç¼¿P»£¿»U» ² ¸P¿»³¿(Ã ° P » Ñ½ ÇÅ¿U¶R¹£¿(»³ÈPÇ ² º¼PÓº¼ÝÓ¾¹£¿( ² ¿¹ PºÎ¾¿(¹³ÓUPÃ¿
° × ² ¸P¿ÏR¿ Ñ »(Ô"Ì,¸F¿ Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²£° ¹ ° × ² ¸PºÅ»ÊËLÌÛº¼»µUÓUºÅÃSÇ¼Ã(ÈFÇÒ ² ¿( Ý´ º ² ¸ ² ¸P¿»£ Ñ ¿
× ° ¹ Ñ ÈPÇÒ@¶ ½ ÇÒUÃº¼PÓæ õ × ° ¹ ² ¸P¿+ÎSUÇ¼ÈP¿ ° ×Ö×s ²s² ¸P¿+ã¹³» ² Ã(¹³¿(» ² ¶UF ðàá× ° ¹ñÖ Ô ²$² ¸F¿
»£¿Ã ° F 4Ã(¹³¿(» ² Ô ï »³º¼PÓ ² ¸P¿K»£ Ñ ¿× ° ¹ Ñ ÈPÇ¼g^
ý áPÉkÖ
Ø
Ô Ù
Ú
£Í
Ék,UÍ
ý Pá ÉMà¾áoÞU àÙ á æ¾Í
Ì,¸P¿z Pº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ (¿ ² ×EUÃ ²° ¹,ºÅ»,ÃUÇÅÃ(ÈPÇ¼ ² ¿ _S»l^
ÉMÿ¾Í
Õ
Õ
ÖÛ×
ä
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
ý @àá ,oäÞ
° ¹Kä¾Ôäæç Ñâ Î ° Ç ² P¶ UÇ Ñ ° » ²µ² ´ ¼º Ã(¿ ² ¸ ² ° × ² ¸P¿ U° ² P¸ ¿(¹ ² ´ ° £» Ñ ½ ¼Ç ¿»(Ô
Õ
Ì )
î"í}ò
ë·¨ð¨
µ ¸
æ
<ë
}·¥
ÉMç¾Í
ìFë
Ì,¸P¿ ã UÇ§¹³¿(»£ÈFÇ ² »"× ° ¹ ² ¸P¿*ãP¹£» ²² ¸P¹£¿¿Ð»£ ÑÝ½ Ç¼¿(»U¹³¿Ð»³¸ ° ´
ºÅ ² ¸P¿,× ° Ç¼Ç ° ´ ºÅPÓ ² SÏPÇ¼¿SÔÌ,¸P¿ ã¹£» ²
² ´ ° ÊLË Ì,»´µ¿¹£¿Ï °U² ¸¹£¿Ã ° ¹³ P¿( ²£° ¸Î¾¿ Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²£° ¹ ° × ÔßÞUàá@¶´ ¸Pº¼ÇÅ¿ ² ¸P¿ ² ¸Pº¼¹³ ¸U _s Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²° ¹ ° ×µä¾Ôäæç@Ô
óÜôÎõö
ó§÷ø)ùúÎûözüü
ýÛ÷þgõö
ÿözülõ ûülöÎþù
Ê Â · ûäæ¾ô
Ê Â ·ûäæFä
Ê Â ·ûäæFä
Ñ Ñ
¾ä Ô ô¾ô Ý
Ñ Ñ
ôFÔUô Ý
Ñ Ñ
ôFÔ ÿ¾à Ý
º¼»
a º¼
» Ê"ÇÒ ² ¿
ÔßÞUàá Ñ!â Î ° Ç ²
ÔßÞUàá Ñ!â Î ° Ç ²
ä¾Ôäæçs Ñâ Î ° Ç ²
a
*
(
ö UÃ¸»³¿ ²° ×g¹£¿»£ÈPÇ ² »Ã ° ¹³¹ ° » ½g° P P» ²° z»³º¼P¿,ÃÈP¹³ÎU¿UÔÌ,¸PºÅ»ºÅ»"»£ºÅÓ¾PºÅãPÃU ² ÏR¿(ÃSÈP»£¿ ² ¸P¿ ¹³¿ ½ ¿ ² û
º¼FÓ!»£¿¹£º¼¿» ° ×Ã¹£¿(» ² »KUF ² ¹ ° ÈPÓ¾¸P»¹£¿ ½ ¹£¿(»³¿( ² ¹£¿ ½ ¿( ² ºÅPÓ ½ ²£² ¿¹£P» ° ×Ã ° F» ² ¹³ÈPÃ ² ºÅÎU¿$UP P¿:û
» ² ¹£ÈPÃ ² ºÎ¾¿,º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹£¿PÃ(¿ ½ ¹ °¾½ ¿(¹ ²¦Ä ° ¹ Ñ SÇ¼Ç Ä ²£² ¹£º¼ÏFÈ ² ¿ ²° Ãº¼¹£ÃÈPÇÒS¹CºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹£¿PÃ(¿×Ø¹³º¼PÓU¿(»(Ô
Ö ° ¹³¿º Ñ½R° ¹ ² U ² Ç Ä ¸ ° ´µ¿Î¾¿(¹¶§º¼» ² ¸P¿Ó¾¹£U PÈSÇLÃ¸UFÓ¾¿×Ø¹ °UÑ² ¸P¿Ç ° ´ ½R° º¼ ² » ²° ¸Pº¼Ó¾¸ ½g° ºÅ ² »(¶
U» ² ¸P¿!Î ° Ç ² UÓU¿+º¼PÃ¹£¿S»£¿(»ÔóÌ,¸PºÅ»s¹£¿ ½ ¹£¿(»³¿( ² »ÝÓ¾¹S PÈUÇdÃ¸UPÓ¾¿+×Ø¹ °¾Ñ 4´ ¸Pº ² ¿+Ã¿( ² ¿¹ ²£°
4 SÃ¹ IÃ(¿( ² ¿(¹(¶UF ² ¸P¿Ó¾¹U FÈUÇÃ¸UPÓ¾¿+ºÅ ² ¸P¿! Pº÷L¿¹£¿(FÃ(¿ ° × ½ ² ¸òÇÅ¿(PÓ ² ¸P» ° × ² ¸P¿ ² ´ °
ÏR¿ Ñ »(ÔÌ,¸Fº¼»ÃU ° PÇ Ä ÏR¿ ²£² ¹³º¼ÏPÈ ² ¿( ²°z² ¸P¿ ÑÝ°S² º ° ° × ² ¸F¿ÊËLÌÔ@Ì,¸F¿ ½ ¿(¹£º ° ° × ² ¸P¿Ð»£º¼F¿
Ã(ÈF¹³Î¾¿S¶UÃÃ ° ¹³ Pº¼FÓ ²£°n½ ¹£¿Î@º ° ÈP»KÃSÇ¼Ã(ÈFÇÒ ² º ° P»¶h»£¸ ° ´ » ² ¸P ²K² ¸P¿ ² ¸F¿$Î ° Ç ² UÓ¾¿sºÅ»ÃUÈP»³º¼PÓ ² ¸F¿
½ ºÅ¿(Æ ° ¿(ÇÅ¿(Ã ² ¹£ºÅÃ Ñ ² ¿¹£ºÒSÇ ²£° ¿ Ü@½ UP cÔ Þ¾àáS °¾Ñ ¿ ² ¿¹£»× ° ¹¿Î¾¿¹ Ä ½F½ Ç¼ºÅ¿( 4Î ° Ç ² ¶ ° ¹ä¾Ôäæç!ºÅ
² ¸F¿zÃ(U»£¿ ° × ² ¸P¿ ² ¸Pº¼¹³ +» Ñ½ Ç¼¿SÔ
äÞ
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ P¸ ¿¹
Ç ² ¸ ° ÈFÓ¾¸ ² ¸PºÅ» Ñ ¿ ² ¸ ° ° Ç ° Ó ÄN½ ¹ ° Î\º¼ F¿( Uå¿Ã(ºÅ¿( ² ´µ Ä²°nÑ ¿U»³ÈP¹£¿$ PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ² »(¶
Ñ° ¹£¿*» ² ¿ ½ »F¿(¿( ²£° ÏR¿ ² U¿ ²° Î¾¿(¹³ºÅ× Ä$² ¸F¿(»£¿¹£¿(Ã ° ¹£ F¿( +¹£¿»£ÈPÇ ² »Ô"Ì,¸P¿Ðã¹³» ²d² ¸P¹³¿(¿ Ñ° ÈP ² ¿ » ÑÝ½ ÇÅ¿(»´ º¼ÇÅÇÏR¿ ² ¿(» ² ¿ òUÓUºÅ´ º ² ¸ Pº÷L¿¹£¿ ² ÇÅ¿(P»³¿(»(¶OÃ(¹³¿ ² º¼PÓN+ÎSU¹£º¼UPÃ(¿$ºÅ ² ¸P¿$»£ºÅÆ(¿ ° ×
² ¸F¿¹£¿»£ÈPÇ ² º¼FÓ!ã¿(ÇÅ UP ºÅ ² ¿(P»³º ² º¼¿(» ° × ² ¸P¿×Ø¹³º¼PÓU¿(»(Ô ¯ º ² ¸ÇÅ¿(»£» PºÅÎU¿(¹£Ó¾UPÃ(¿ ° × ² ¸P¿ÏR¿ Ñ »(¶
² ¸F¿,»£¿(Ã ° P ÝUP ² ¸Fº¼¹£ $ÊËLÌ,» Ñ Ä ã ²² ¸P¿ ¹£¿» ½ ¿(Ã ² ºÅÎU¿*»³º¼P¿µÃ(ÈP¹ Î¾¿(» Ñ° ¹£¿ÃÇ ° »³¿(Ç Ä ¶ ° ¹" FºÅ÷g¿(¹£¿ ²
PºÅ»£Ã ° ÎU¿(¹£ºÅ¿(»"´ º¼ÇÅÇ@ÏR¿ Ñ U P¿ UÏ ° È ²² ¸P¿, ² ÈP¹£¿ ° ×hÊËLÌ,»(¶GSP $¸ ° ´ ² ¸F¿ Ä ×ØÈFPÃ ² º ° $º¼s FºÅ÷g¿(¹£¿ ²
»£º ² È ² º ° P»(Ô
Ñ° ÈP ² ´ º¼ÇÅÇ¾Ïg¿Ã ° P» ² ¹£ÈPÃ ² ¿( ²°½ ¹ ° Î\º¼ P¿× ° ¹<¿U» Ä ¿ Ü Ã¸UPÓU¿ ° × ½ º¼¿(Æ ° ¿Ç¼¿Ã ² ¹³º¼Ã Ñ ² ¿¹£º¼UÇ¼»
²° ½R° »³º ² º ° 4ÏR¿(¸Fº¼P ² ¸P¿ Ñ° ÎSUÏFÇ¼¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹ÔÌ,¸P¿h¶<ÊËLÌ,» ° ×dUÇ¼ÇO»£¸ ½ ¿»KUP »£ºÅÆ(¿»(¶X PºÅÃ» G»
UP ½ ÇÒ ² ¿(»(¶C´ º ² ¸± PºÅ÷g¿(¹³¿( ²² ¸Fº¼Ã GP¿(»³»£¿»(¶SP ½ ¹ ° PÈFÃ ²²¦Ä\½ ¿(»(¶» ½ ¿Ã(ºÅãPÃUÇÅÇ Äå² ¸P¿!Ê Â ·ûä o@¶
Ê Â ·ûä SôF¶UP _Ê Â ·ûäæUæ$×Ø¹ °¾Ñ Ê"¸ Ä »£º Â P» ² ¹£È Ñ ¿( ² ¿K´ º¼ÇÅÇLÏR¿ ² ¿(» ² ¿ h¶RUP nÃ °¾Ñ½ U¹³¿( ²°$² ¸F¿
° ¹³º¼Ó¾ºÅUÇO» Ñ½ Ç¼¿»(Ô ¯ º ² ¸I+» Ä » ² ¿ Ñ²° UÈ ²°¾Ñ ² ºÅÃUÇÅÇ Ä ¹³¿(Ã ° ¹£ ² ¸P¿$ ² F¶X¹£¿(U PºÅPÓ¾»´ º¼ÇÅÇÏR¿
¹£¿Ã ° ¹³ P¿( Ý×EU» ² ¿(¹dUP Ý´ º ² ¸ ÑÝ° ¹£¿*UÃ(ÃÈP¹SÃ Ä ¶\´ º ² ¸ä*õ º¼ ² ¿Ó¾¹SÇ§ ² ãP¹£» ² ÉMS» °¾½F½g° »³¿( ²° äô
õKÍUP ² ¸P¿(! ² ×Ø¹£UÃ ² º ° P» ° ×OKÎ ° Ç ² Ô ¯ º ² ¸ Ñ° ¹£¿*» ÑÝ½ ÇÅ¿(»¶ ² ¸P¿» ½ ¿Ã(ºÅãPÃ ½ ¹ °U½ ¿¹ ²¦ÄÝ° ×<ÊËLÌ,»
² ¸P ² Pº¼Ã ² ² ¿ ² ¸P¿K Pº÷L¿¹£¿( ² PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ² ×EUÃ ²£° ¹£»,´ º¼ÇÅÇLÏR¿ ½ º¼ ½R° ºÅ ² ¿( hÔ
Â¦ÑÝ½ Ç¼¿ Ñ ¿( ² º¼PÓ ² ¸F
¿ G ° ´ Ç¼¿ PÓ¾¿ ° × ² ¸F¿Ý PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ² ×EUÃ ²° ¹³»(¶ ² ¸PºÅ»¹³¿(»³¿U¹³Ã¸óÃU ² S¿
Ñ ÈPÇ ² º ² ÈF P¿ ° ×ÎSU¹£º ° ÈP» ² ÈP¹³P»(Ô ×Ø¿(¿( FÏUÃ IÇ °\°¾½ Ã(U±ÏR¿Ã¹£¿( ² ¿ ±´ ¸P¿(¹³¿+4ÊËLÌk»³¿(P» ° ¹
¹£¿Ã(ºÅ¿Î¾¿» ½ ¹£¿(»³»£ÈP¹³¿_×Ø¹ °¾Ñ Î\º¼ÏP¹£ ² ºÅPÓ» Ä » ² ¿ Ñ UF ² ¹UF»³×Ø¿(¹³»Ýº ² º¼ ²£° ¹³¿U SÏPÇ¼¿!Î ° Ç ² UÓ¾¿UÔ
Ì,¸PºÅ»Î ° Ç ² UÓ¾¿Ã ° ÈPÇÅ ÏR¿ ÈP»£¿ ² ¸P¹ ° ÈPÓ¾¸ÝK»³¿(¹³º¼¿(» ° ×g Ñ½ ÇÅºÅã¿¹£» ° ¹"¹³¿(»³º¼» ²£° ¹£» ²£° Ã¹£¿( ² ¿*U °S² ¸P¿¹
Î ° Ç ² SÓ¾¿´ ¸PºÅÃ¸N´ ° ÈPÇÅ NÏR¿º¼ ½ È ² º¼ ²£° U °U² ¸P¿(¹ ÊËLÌ¶ ² ¹£UP»³ÇÒ ² ¿( nº¼ ²° s PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ²² ¸ ²
´ ° ÈPÇ¼ $Ã ° ÈP ² ¿¹UÃ ² UP $ Ñ½ ¿ ° ¹£ºÅÓ¾º¼PUÇ\Î\ºÅÏP¹ ² º ° F»(ÔOÌ,¸P¿(»³¿ÊËLÌ,»"ÃSÏR¿,¿ Ñ Ïg¿ P P¿( º¼ ²£°
4» ² ¹£ÈFÃ ² ÈF¹£¿´ ¸PºÅÃ¸óº¼»»£ÈPÏ Õ ¿(Ã ² ¿( ²° Î@ºÅÏP¹ ² º ° P»(¶CUÃ ² º¼PÓ4U»»³¿(P» ° ¹£» ° ¹P¿¹³Î¾¿»(½
Ô ° ´ ºÅPÓ
´ ¸PºÅÃ¸Û P¿Î\º¼Ã¿(»+S¹£¿ ½ ¹ ° PÈPÃ(ºÅPÓ±Î ° Ç ² UÓ¾¿(»UP ²£° ´ ¸ ² P¿(Ó¾¹³¿(¿S¶ ² ¸P¿4¿ Ü UÃ ²+½R° »³º ² º ° SP Ñ UÓ¾Pº ² ÈP P¿ ° × ² ¸P¿z ½P½ ÇÅº¼¿ nÎ\ºÅÏP¹ ² º ° F»ÃUNÏR¿z¹³¿(Ã ° ¹£ P¿ hÔ
ä,
*
(
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
"Ê º¼¿Æ ° ¿(Ç¼¿Ã ² ¹£º¼Ã ² ¹UF»£ PÈPÃ¿(¹³»¿÷g¿(Ã ² ºÎ¾¿(Ç Ä ÃSÈP»£¿ ÑÝ°S² º ° P» ° ùU. ²°¾Ñ º¼Ã»£ÃSÇ¼¿+´ º ² ¸ ° È ²$² ¸F¿
»£ÇÅº¼Ã¾û¦»³Ç¼º ½ ¿÷L¿Ã ²° ×X×Ø¹£º¼Ã ² º ° hÔ §¹ °¾Ñ ² ¸Fº¼»µ¿ Ü@½ ¿¹£º Ñ ¿( ² ¶@º ² ´µU»µ F¿ ² ¿¹ Ñ º¼P¿ ² ¸P ² Ö_º¼Ã¸P¿Ç¼» °
º¼ ² ¿(¹³×Ø¿¹ °¾Ñ ¿ ² ¿(¹º¼»dUÝ¿÷g¿(Ã ² ºÅÎU¿ ²°\° ÇP× ° ¹ Ñ ¿U»³ÈP¹£ºÅPÓ ² ¸Pº¼» Ñ° Î¾¿ Ñ ¿( ² Ô Ç ² ¸ ° ÈPÓU¸ÊËLÌ,»µ¿(UÃ¸
¸Î¾¿ Pº¼» ² º¼FÃ ²½ ¹ °¾½ ¿(¹ ² º¼¿»Ð´ ¸PºÅÃ¸ÃSÈP»£¿ FºÅ÷g¿(¹£¿PÃ(¿»º¼_ Pº¼» ½ ÇÒUÃ¿ Ñ ¿( ² ×EUÃ ²£° ¹£»¶L¿SÃ¸ P¿Î\º¼Ã¿
¸U»Ã ° F» ² S ² ¹ ² ¿ ° ×<Ã¸UFÓ¾¿UÔ"Ì,¸P¿¹£¿× ° ¹£¿S¶Pº ² º¼» ½R° »³»£º¼ÏFÇ¼¿ ²° Ã(UÇ¼ºÅÏP¹ ² ¿( ² ¸P¿(»³¿U °¾Ñ ¿ ² ¿¹
Ñ°U² º ° P» ²£° U Ä »£¿ ² » ² UP U¹³ hÔ ¯ ¸P¿ ² ¸P¿(¹ ÈP»³¿( Nº¼ ² ¸P¿Ã ° F» ² ¹³ÈPÃ ² º ° ° ×O» Ñ UÇÅÇ Ñ UÃ¸PºÅP¿(» ° ¹
² ¸F¿»£¿P»£ºÅPÓ ° ×ÈP´µU ² ¿( ½ ¹³¿(»£»³ÈP¹£¿»(¶ ² ¸Fº¼»¸PU» ² ¸F¿ ½g°S² ¿( ² ºÒUÇ ²° ¹³¿UÃ¸å!Ó¾¹³¿ ² ÎSU¹£ºÅ¿ ²¦ÄN° ×
½P½ Ç¼º¼Ã( ² º ° P»Ô
äÿ
ò
"z""
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
/
ä¾Ô*ú ° ÓUh¶úS}§ÔÃ'µÈFº¼Ç¼ Fº¼PÓN´ º ²
¸ 'd¹UºÅP»(Ô ®>ª ~Ý¡Cy « ¾" UÛäç¾çUÿFÔIõ ° Ç[ÔIÿ¾ÿF¶ü ° Ô.ä¾Ô
½P½ ÔPÉ¬äZÍ
á@Ô Ñ ²£° ¶ Â ÎSUhÔ Fº Ñ ² Åº PÓ ² ¸P¿Ö4 ² ¿(¹£º¼UÇ ¯ ° ³¹ Ç¼ hy[{L ¾" Uòäu,@¶"äç¾çá\ÔKõ ° Ç[Ôáoo@¶
ü ° ÚÔ UôUæGá@Ô ½F½ Ô áSÿUæ§ÉMà¾Í
àFÔ ¯ ¼º ÇÅÇ¼º¼ Ñ »¶ÈP¹£F¿ Ä ³Â Â£Â Ô Ãh Ñ S¹ ² Ö4 ² ¿(¹³ºÒUÇÅ» {y ½ £¹ ºÅÇäçUç¾àFÔ õ ° Ç[Ôä@¶Ðü ° Ô'ÞFÔ
½P½ Ô æGáPÉEÞÍ
æPÔ ¯ hÈ ¶g· ° ¹£ºÅPFÔÃh Ñ S¹ ² Ì,¸P¹³¿U P» Ã ² @h ¿P»£º ² ºÎ¾¿(Ç Ä ´ ¸P¿(úÐº ² Ô hy[{Lz~ PÈ Ó¾ÈP» ²
ä¾¶häç¾ç¾ÿFÔõ ° ÇMÔäSæF¶ü ° Ô@Ô ½F½ Ôº,SçÉ äZÍ
@Ô Ö ¦Â Ñ U Ó¾ºÅPÓÌO¿(Ã¸P ° Ç ° Ó Ä ¹ ° È ½ ²°¾Ñ º¼Ã ° ¹³Ã(¿ÖNº¼Ã(¹ ° »£Ã ¾° ½ ¿ monnpqsrrutttvyn~ vgy g
Îv¿x!r{"r$#!gyjp{g
ÞFÔ$º¼» ² Ç¼¿¹ Â P» ² ¹£È Ñ ¿ ² · ° ¹ ½g° ¹ ² º ° hÔ³Ì,¸P¿Ê"º¼¿(Æ ° ¿Ç¼¿Ã ² ¹³º¼Ã$ö÷g¿(Ã ² ¶<Ì,¸P¿ ° ¹ Ä ¶ a (¿ »³º¼Ó¾h¶<SP ï »£UÓ¾¿SÔ
mnnpqsrrtttv&%cy'"nvl{gr)( nm nm n)*nv mn{
@Ô*Ê"¸ Ä »³º% Â ² ¹£È Ñ ¿( ² +
¿ ³Ì,¸F¿ ° ¹ Ä UP ½P½ Ç¼ºÅÃ ² º ° F» ° ×FÊ"º¼¿(Æ ° Ã ² È ²£° ¹£»<SP zÊdËLÌ üS ° Ê ° û
»£º ² º ° Pº¼FÓ(h Ä » ² ¿ Ñ » mnnpqsrrtttvpm,"y%cy -"ln!{c.-on vs{grun)onocy|roy/-xo)* v mnu{c
,
ÿFÔ*úÐ¿Ã¸ ² ¶Rö"ÈPÓ¾¿(F¿UÔ+10 ¥My[~2¢h\y|4353Uy|¥Ey[>{ Ô*¿(U PºÅPÓP¶§Ö
^ P Fº¼» ° @û ¯ (¿ »³Ç¼¿ Ä ¶Xäç¾ç¾ÿ@Ô
çFÔ a º ² Ã¸GÏPÈP¹£L¶zÔ ¯ Ô ¡Cy}>\¥ Ôü*¿´76 ° ¹Ã^ a° UÎ ¿(¹*Ê"ÈPÏPÇÅº¼Ã ² º ° P»(¶gäç¾çFä¾Ô
äôFÔ à
a
¦Â Ñ UÓ¾¿¹ Ä ^8£Ê"¹ ° P ÈFÃ(º¼FÓ a ºÅ» ½ Ç¼ Ä ú ° Ç ° Ó¾¹ Ñ »KÊS¹ ²Â³Â ^CÖ4Gº¼PÓ_ÌC¹£UP» Ñ ºÅ»£»£º ° óSP ¿¿Ã ² º ° _ú ° Ç ° ¾Ó ¹ Ñ 4» monnpqsrrutttvkwxy¹{}|~ov{}rp|nntv monu{}
ä¾ä¾Ô,Ì ° ÒÇ UF»Ã Ä ¶ihgÔ:9 {<;:{¥M3=¥My[>{ ¥¦>;:{¥¬|« ¥M:ª ¶µñ ° F ° .UP .üÐ¿´?6 ° ¹Ã^Nñ ° PÓSû
Ñ UP »(¶@K¹³¿(¿(_UP 4· ° Ô¶Xäço
äZá@Ô a Î\º¼ P» ° _· ° Ç¼ÇÅ¿(Ó¾¿S¶A Â ² ¿¹³×Ø¿(¹³¿(PÃ¿§¹³º¼PÓ¾¿»äôFä.
"unm'BcrDzy -~C"ur!E|~oF"ry/-n(ou-gu
mnnpq¿rrtttvpmv_x|BcyuxC"u.-v¿xzr
pgyn!oC"Ûv mn{
äç
è
§ £Í&HGJI
Â
¤£
î
ë¤ §
µ
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
¸+ì}¤£LK µì}<í¸¹<í ïÎ¦êí¡ £¢<ë
Ì,¸P¿_Ó¾¿ °¾Ñ ¿ ² ¹£ºÅÃ_»³¸ ½ ¿ ° × ² ¸P¿_×Ø¹³º¼PÓU¿(»ÃU ÏR¿N¿ Ü@½ ÇÒSº¼P¿ ðÈP»³º¼PÓ ² ¸P¿_× ° Ç¼Ç ° ´ ºÅPÓ× ° ¹ Ñ PÈ ÇÒU»
P¿¹£ºÅÎU¿( n×Ø¹ °¾Ñ ² ¸P¿KÃ ° PÃ(¿ ½F² ÈSÇOº Ñ SÓ¾¿ ° × ² ¸F¿ÖNº¼Ã¸P¿Ç¼» ° _»³¸ ° ´ 4º¼dºÅÓ¾ÈP¹³¿çFÔ
° × ² ¸F¿
ºÅÓ¾ÈP¹£¿ gç ^
Ì,¸PºÅ» º Ñ UÓ¾¿ ¹£¿ ½ £¹ ¿(»³¿( ² » ² ¸F¿ ° ¹³º ² ºÅÃUÇ Î\º¼¿´
°
²
¾
°
Ñ
²
£
²
°
²
Ñ
²
Ñ
²
Ö_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ»
º¼ ¿¹³×Ø¿¹ ¿ (¿ ¹(¶
ÈP»£¿ Ó¾¿

P¸ ¿ º¼Ã(UÇ \Î ºÅ¿´
° × ² ¸F¿ £¹ ¿(»³ÈPÇ ² º¼PÓ ºÅ ² (¿ ¹ ×Ø¿(¹³¿(PÃ¿ Ø× ¹³º¼PÓU¿(»(Ô
¦É Â Ñ U Ó¾¿ ° Ï ² Sº¼P¿ ×Ø¹ ¾° Ñ
mnnpqsrrtttvpm vkx|Bcyx,"u.-v_xcr'"unm'Bzr.Dzy o
- ~oC"urE|~C"uryM-n(-g p}yn)oF"Ûvmonu{ÚvN
Â ² P¸ ¿ UÏ ° Î¾¿ PºÒSÓ¾¹ Ñ ¶PO×CUP QO Ô ¹£¿ ½ ¹£¿»£¿( ² PºÅ÷g¿(¹³¿( ²½ Ç¼UP¿(»¶ ° ¹ ² ¸F¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹C»£ÈP¹ ×EUÃ(¿»
° × ² ¸P¿ Ö_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° ºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹(ÔSRNº¼» ² ¸P¿,SPÓ¾Ç¼¿dÏg¿ ² ´µ¿¿( ² ¸F¿ ½ ÇÒSP¿(»ÔôºÅ» ² ¸F¿ ½ ¿¹ ½ ¿(Ã ² ºÅÎU¿
° × ² ¸P¿ ° ÏF»£¿(¹ Î¾¿¹(¶µ´ º ² ¸UT7 ²s² ¸P¿nÏU»³¿ ° × ² ¸P¿ ½ ¿¹ ½ ¿(P PºÅÃ(ÈPÇ¼U¹(ÔWV7º¼»$ ½g° º¼ ²s° XO× °
² ¸F¿cÉ Y[Z]\FÍÝSP_
^òº¼» ² ¸P¿ ² ¸Fº¼¹£ Ü º¼»(Ô&Ì,¸F¿ã¹£» ²+² ´ ° × ° ¹ Ñ ÈPÇ¼U»!U¹³¿ P¿¹£ºÅÎU¿( ×Ø¹ °¾Ñ ÏPU»£ºÅÃ
² ¹³º¼Ó ° °¾Ñ ¿ ² ¹ Ä ¶FUP NÓ¾¿ °¾Ñ ¿ ² ¹ Ä Ô
áUô
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
Ô
a`JV
ý ÉbY
ÔSc
\
Ô1c
Ô
^ Í
É äôÍ
Ã ° »ed ý f Y Ô c ^ \ Ô c ^ Ô
É ä¾äZÍ
° g h¶ » °!² ¸P¿s PºÅ» ² UPÃ(¿ ² Ê*É_Õ\Í*×EUÇÅÇ¼»
Ì,¸P¿s PºÅ» ² SPÃ(¿sÏR¿ ² ´d¿(¿ ² P¸ ¿ ½ Ç¼ ² ¿» ² Tkº¼»Ð¿(øGÈUÇ ²h
¼º ²£°$² ¸P¿× ° Ç¼Ç ° ´ º¼PÓ× ° ¹ Ñ ÈPÇ¼FÔ
c
sý g ² UiR
É äZá¾Í
Õ
· ° P» ² ¹£ÈFÃ ² ºÎ¾¿zº¼ ² ¿¹³×Ø¿¹£¿(FÃ(¿UÇÅ´µ Ä » ° (Ã ÃÈP¹£»* ² ^
+ý áÕÃ ° »@d
É äàÍ
ÝÎØ
@ÈPÏP» ² º ² È ² º¼PÓ ² ¿(¹ Ñ »¶ ² ¸P¿¿ø\ÈP ² º ° ¹£¿» ½R° P»³º¼ÏPÇÅ¿4× ° ¹ ² ¸P¿»³¸ ½ ¿ ° × ² ¸F¿4×Ø¹£ºÅPÓ¾¿(»º¼»!S»
× ° ÇÅÇ ° ´ »(Ô ^
h
Â × ² ¸P¿ ½
¿(øGÈ ² º ° n´
ÇÒ ² ¿(»AO ×CUP O
° ÈPÇÅ _¹³¿(»³ÈPÇ ² ¶
Ô
g c ² SjRÍ4^
F
á
É
c
c
ÝÛØ+ý f
É äæGÍ
Y Ô \ Ô ^Ô
´d¿(¹³¿ ½ U¹£UÇ¼ÇÅ¿(Ç\UP sSPÓ¾Ç¼¿ ² UkRN´µU»¿(øGÈSÇ ² ° Fô ¶ ² ¸F¿µ× ° Ç¼Ç ° ´ º¼PÓ
g
+ý f Y Ô c á \ ^ Ô c ^
ÝÛØ
´ ¸PºÅÃ¸_ºÅ»,¿(øGÈUÇ ²°
Y
Ô
c
gÔ
æ
\ ý Ô Ô Ù ^
Ý Ø
Ô
Ô
Ô
É ä¾Í
É äÞÍ
² ¸F¿¿(øGÈ ² º ° ° ×OÃ(ºÅ¹£Ã(ÇÅ¿UÔÌ,¸F¿(¹£¿× ° ¹£¿S¶F´ ¸P¿ ² ¸P¿ Ñ º¼¹³¹ ° ¹³» ° × ² ¸P¿KÖ_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° !ºÅ ² ¿(¹ ×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹
U¹³¿¿ Ü UÃ ² Ç ÄK½ ¿(¹ ½ ¿(F Pº¼ÃÈPÇÒU¹¶ ° ¹ ² ¸P¿Ã ° FÃ(¿ ½@² ÈUÇ ½ Ç¼ ² ¿»X´ ¸P¿(¹³¿ ² ¸P¿dÏR¿ Ñ »<¹£¿j¿(Ã ² S¹£¿¿ Ü UÃ ² Ç Ä
½ U¹£UÇ¼ÇÅ¿(ÇM¶ ² ¸P¿K¹£¿(»³ÈPÇ ² º¼PÓs×Ø¹³º¼PÓ¾¿» ½P½ ¿U¹,Ãº¼¹³Ã(ÈPÇ¼U¹& ä¾ä¾¶äZáMÔ
á@ä
À Á
¯±°U²³² ´µF¶§·µ¸P¹³º¼» ²£°¾½ ¸P¿¹
Â s¹£¿Ã(¿ ²Ä ¿S¹£»(¶ ½ ºÅ¿(Æ ° ¿Ç¼¿(Ã ² ¹³º¼Ã ² ¹SP»£ PÈFÃ(¿(¹³»*ÉMÊËLÌ,»ÍO¸Î¾¿,ÏR¿(¿(s F¿Î¾¿Ç °¾½ ¿( ´ º ² ¸ ² ¸P¿,UÏFº¼Ç¼º ²¦Ä
²° Ã(¹£¿( ² ¿ÐU °UÑ ¿ ² ¿(¹d Pº¼» ½ ÇÒSÃ(¿ Ñ ¿( ² »µº¼¹£¿(» ½g° P»£¿ ²£° U+ ½P½ Ç¼ºÅ¿( Î ° Ç ² UÓ¾¿SÔ Â ² ¸Pº¼» ½ ¹ °>Õ ¿Ã ² ¶
Ö_ºÅÃ¸P¿(ÇÅ» ° º¼ ² ¿¹³×Ø¿(¹ °¾Ñ ¿ ² ¿¹C´µU»ÈP»³¿( U»UÙ °¾½F² ºÅÃUÇ\¹£ÈFÇ¼¿(¹Ú ²£° ÃSÇ¼Ã(ÈFÇÒ ² ¿ ² ¸P¿µ PºÅ» ½ Ç¼UÃ(¿ Ñ ¿ ²
×EUÃ ²° ¹ ° × ² ¸P¹£¿¿»³¿ ½ U¹£ ² ¿ÊËLÌÛ» Ñ½ Ç¼¿»(ÔÌ,¸F¿¹£¿»£ÈPÇ ² »»£¸ ° ´d¿( nU ½P½ ¹ °Ü º Ñ ² ¿ ÑÝ° ÎU¿ Ñ ¿( ²
° ×dÔßÞUàá Ñ!â Î ° Ç ² º¼ ² ¸F¿KãP¹£» ² ² ´ ° »£ ÑÝ½ Ç¼¿(»¶UP åä¾Ôäæçs Ñâ Î ° Ç ² ºÅ ² ¸P¿ ² ¸Fº¼¹£ n»£ ÑÝ½ Ç¼¿UÔ
á¾á

Download Report

Measuring Nanometer Displacements of Piezoelectric Transducers

Paperzz.com

Your Paperzz