T.C. GAZİOSMANPAŞA ÜNİVERSİTESİ FEN BİLİMLERİ ENSTİTÜSÜ FİZİK ANA BİLİMDALI Mn/n-GaAs SCHOTTKY DİYOTUNUN HİDROSTATİK BASINÇ ALTINDA ELEKTRİKSEL KARAKTERİZASYONU HAZIRLAYAN: SADIK ÖNAL DANIŞMAN: Doç. Dr. GÜVEN ÇANKAYA YÜKSEK LİSANS TEZİ TOKAT 2007 Mn/n-GaAs SCHOTTKY DİYOTUNUN HİDROSTATİK BASINÇ ALTINDA ELEKTRİKSEL KARAKTERİZASYONU SADIK ÖNAL YÜKSEK LİSANS TEZİ FİZİK ANABİLİM DALI TOKAT 2007 i ÖZET Mn/n-GaAs SCHOTTKY DİYOTUNUN HİDROSTATİK BASINÇ ALTINDA ELEKTRİKSEL KARAKTERİZASYONU SADIK ÖNAL Gaziosmanpaşa Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Anabilim Dalı Yüksek Lisans Tezi 2007, 108 Sayfa Danışman : Doç. Dr. Güven ÇANKAYA Jüri : Doç. Dr. Güven ÇANKAYA Jüri : Yrd. Doç. Dr. Salih SAYGI Jüri : Yrd. Doç. Mahmut HEKİM Yarıiletken diyotların I − V karakteristikleri yardımıyla elde edilen parametreleri, elektronik tasarımlarında önemli yer tutmaktadır. Çığ gibi büyüyen elektronik sanayisinde, değişik yöntemlerle malzeme parametrelerinin her geçen gün iyileştirilmesi ve çeşitliliğinin artması, malzemelerin karakterizasyonlarından yapılan parametre hesaplamalarında yeni metodlar bulunmasının yolunu açmıştır. Bu hesaplamaların hepsi Termoiyonik Emisyon teorisine dayandırılmaktadır. Schottky diyot parametrelerinin hesaplanmasında TE teorisini temel alarak literatürde çokca kullanılan Missous yöntemi, Norde Fonksiyonu ve Cheung fonksiyonları yardımıyla diyotun elektriksel parametrelerini hesaplaplayabiliriz. Ayrıca deneysel veriler yardımıyla deney aralığını ANFIS ile tanımlayıp bu deney aralığında deneysel verileri alınmış yada alınmamış basınç değerleri için karakterizasyonun tüm değerleri için tahmin ettirebiliriz. Teorik olarak verilen denklemde basınç parametresi bulunmamasına rağmen bu çalışma ile hidrostatik basıncın etkisini kısmende olsa hesaplamaya dahil edilebileceğini göstermeye çalıştık. Anahtar Kelimeler: Metal-Yarıiletken Kontaklar, Elektriksel Özellikler, Hidrostatik basınç, ANFIS ii ABSTRACT ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF Mn/n-GaAs SCHOTTKY DIODE UNDER HYDROSTATIC PRESSURE SADIK ÖNAL Gaziosmanpaşa University Graduate School of Natural and Applied Science Department of Physics Master Thesis 2007, 108 Pages Supervisor : Assoc. Prof. Dr. Güven ÇANKAYA Jury : Assoc. Prof. Dr. Güven ÇANKAYA Jury : Asst. Prof. Dr. Salih SAYGI Jury : Asst. Prof. Dr. Mahmut HEKİM Semiconductor diode-parameters which are obtained by I − V characteristics are very important in electronic design. In rapidly developing electronic industry, the improvements of material parameters by using various methods, hence the increasing of diversity provide to find new methods in parameter solutions, which is calculated from material characterizations. All these calculations is based on Thermoionic Emission theory. We can calculate electrical parameters of diode with the help of Missous method, Norde Function and Cheung Functions which are greatly used in literature and based on TE theory. Additionally, working range of data can be defined by ANFIS by inserting experimental data and in this range we can find all values of characterization predicted for pressure values which having or no having experimental values. Theoretical equation is not consist of pressure parameters, although this study have showed effect of hydrostatic pressure, can be included partially in calculations. Keywords: Metal-Semiconductor Contacs, Electrical Properties, Hydrostatic pressure, ANFIS iii TEŞEKKKÜR Yüksek Lisans eğitimim ve bu tezi hazırlamam esnasında yorulmadan, bıkmadan yardımlarını esirgemeyen, bilgi ve deneyimleriyle her türlü desteği sağlayan, danışman hocam Sayın Doç. Dr. Güven ÇANKAYA’ya en içten şükranlarımı arz ederim. Çalışmalarım esnasında sonsuz yardımlaştığım, her türlü desteğini aldığım kötü gün dostu değerli hocam Sayın Yrd. Doç. Dr. Mahmut HEKİM’e en içten şükranlarımı arz ederim. Çalışmalarım sırasında bilgi ve birikimlerinden faydalandığım değerli meslektaşım Elektronik Yüksek Mühendisi Ali Durmuş’a teşekkür ederim. Çalışmalarımın bütün aşamaları boyunca en büyük maddi ve manevi desteğini aldığım değerli aileme teşekkürü bir borç bilirim. Sadık ÖNAL iv İÇİNDEKİLER ÖZET ..................................................................................................................................... i ABSTRACT.......................................................................................................................... ii TEŞEKKÜR......................................................................................................................... iii İÇİNDEKİLER .................................................................................................................... iv ŞEKİLLER LİSTESİ .......................................................................................................... vii TABLOLAR LİSTESİ......................................................................................................... x SİMGELER VE KISALTMALAR LİSTESİ ...................................................................... xi 1.GİRİŞ ................................................................................................................................ 1 2. SCHOTTKY DİYOTLAR HAKKINDA GENEL BİLGİLER 4 2.1. Schottky Diyotların Gelişim Süreci.......................................................................... 4 2.2. Metal-Yarıiletken Kontaklar................................................................................... 16 2.2.1 n-Tipi Yarıiletken-Metal Doğrultucu (Schottky) Kontak Oluşumu ....................... 16 2.3. Metal n-Tipi Yarıiletken Omik Kontaklar.............................................................. 20 2.4. Metal (Omik) n- Tipi Yarıiletken–Metal (Schottky) Yapısı .................................. 22 2.5. Schottky Diyotlarında Termoiyonik Emisyonla Akım İletimi ............................... 23 2.6. Missous Yöntemi ile Schottky Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi..................... 24 2.7. Norde Fonksiyonları ile Schottky Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi................ 25 2.8. Cheung Fonksiyonları ile Schottky Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi ............. 29 3. YAPAY SİNİR AĞLARI 3.1. Yapay Sinir Ağlarının Genel Özellikleri ................................................................ 34 3.2. Transfer Fonksiyonları............................................................................................ 36 3.3. YSA’ların Özellikleri.............................................................................................. 38 3.3.1 Doğrusal Olmama ................................................................................................... 38 3.3.2 Öğrenme.................................................................................................................. 38 31 v 3.3.3 Genelleme Yapabilme............................................................................................. 38 3.3.4 Uyarlanabilirlik....................................................................................................... 39 3.3.5 Donanım Olarak Gerçekleştirilebilme ................................................................... 39 3.3.6 Hataya Karşı Duyarlılık .......................................................................................... 39 3.3.7 Veri İşleme.............................................................................................................. 40 3.4. YSA’ların Sınıflandırılması ................................................................................... 40 3.4.1. YSA’ların Ağ Yapılarına Göre Sınıflandırılması ................................................... 40 3.4.1.1 İleri Beslemeli Ağ Yapısı ...................................................................................... 40 3.4.1.2 Geri Beslemeli Ağ Yapısı ...................................................................................... 41 3.4.2. Yapay Sinir Ağı Yapıları ....................................................................................... 42 3.4.2.1 Çok Katmanlı Perseptron YSA Yapısı .................................................................. 42 3.4.3. YSA’ların Öğrenme Algoritmalarına Göre Sınıflandırılması ............................... 43 3.4.3.1 Dereceli Azaltılmış Geri Yayılım (Back Propagation Gradient Descent)............. 44 3.5. ANFIS Ağında Kullanılan Hibrid Öğrenme Algoritması...................................... 45 3.6. Sistem Modellemede Yapay Sinir Ağlarının Kullanımı........................................ 47 4. BULANIK SİNİR AĞI 4.1. Bulanık Mantık ...................................................................................................... 49 4.1.1 Bulanık Mantık Gelişim Süreci ............................................................................. 49 4.1.2 Klasik ve Bulanık Mantık Arasındaki Fark ........................................................... 50 4.1.3 Bulanık Mantık Uygulama Alanları ...................................................................... 51 4.2. Bulanık Küme Teorisi............................................................................................ 51 4.2.1 Klasik ve Bulanık Kümeler.................................................................................... 54 4.2.2 Üyelik Fonksiyonu................................................................................................. 55 49 4.2.3. Bulanık Kümelerde Temel İşlemler....................................................................... 57 4.2.3.1 Kapsama................................................................................................................. 57 4.2.3.2 Denklik................................................................................................................... 58 4.2.3.3 Kesişim .................................................................................................................. 58 4.2.3.4 Birleşim.................................................................................................................. 58 4.2.3.5 Tümleyen ............................................................................................................... 59 4.2.3.6 Cebirsel Toplam..................................................................................................... 59 vi 4.2.3.7 Cebirsel Çarpım ..................................................................................................... 59 4.2.3.8 Fark ........................................................................................................................ 60 4.3. Bulanık Sistemler için Bulanık Kurallar................................................................ 60 4.4. Bulanık Çıkarım İşlemi.......................................................................................... 62 4.4.1. Sugeno Bulanık Çıkarım Metodu .......................................................................... 63 4.4.1.1 Sugeno Tipi Modelin Avantajları .......................................................................... 65 4.5. Bulanık Sistem Geliştirme Aşamaları.................................................................... 65 4.6. Bulanık Sinir Ağı (Neuro-Fuzzy) .......................................................................... 66 4.7. Bulanık Sinir Ağı ile Sistem Modelleme............................................................... 69 5. METARYAL VE METOD 5.1. Numune Hazırlanması ........................................................................................... 71 5.2. Akım – Gerilim ( I − V ) Ölçümleri ve Basıncın Diyot Parametrelerine Etkisi..... 71 5.3. Missous Yöntemi Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi................... 77 5.4. Norde Fonksiyonu Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi ................. 77 5.5. Cheung Fonksiyonlarını Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi ........ 80 5.6. ANFIS Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi.................................... 83 6. SONUÇLAR VE TARTIŞMA............................................................................. 94 71 KAYNAKLAR .................................................................................................... 102 ÖZGEÇMİŞ vii ŞEKİLLER LİSTESİ Sayfa Şekil 2.1. Metal/n-tipi yarıiletken doğrultucu (Schottky) kontak 18 2.2. Düz ve ters beslem altındaki Metal/n-tipi yarıiletken doğrultucu kontak 19 2.3. Metal/n-tipi yarıiletken omik kontak 21 2.4. Düz ve ters beslem altındaki Metal/n-tipi yarıiletken omik kontak 21 2.5. Termal dengede n-tipi Schottky diyodunun enerji band diyagramı 22 3.1. Biyolojik nöron 32 3.2. Yapay nöron 36 3.3. YSA’larda en çok kullanılmakta olan transfer fonksiyonları 37 3.4. İleri beslemeli YSA yapısı 41 3.5. Geri beslemeli YSA yapısı 42 3.6. Genel bir ÇKP Yapısı 43 4.1. Klasik ve Bulanık Mantık Arasındaki Farkı 50 4.2. A Kümesinin Üyelik Fonksiyonu 55 4.3. Çeşitli Üyelik Fonksiyonu Biçimleri 56 4.4. Bulanık Çıkarım Diyagramı 63 viii 4.5. Sugeno Bulanık Çıkarım Metodu 65 4.6. Basit Bir ANFIS Yapısı 68 5.1. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafiği ve tez yazarı tarafından yapılan düz beslem fit eğrileri 74 Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafiği ve Gözlemci tarafından yapılan düz beslem fit eğrileri 75 Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafikleri ile ters ve düz beslem fitleri 76 Mıssous yöntemi kullanılarak Mn/n- tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafiği 78 Norde Fonfsiyonları kullanılarak Mn/n- tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre F (V ) − V grafiği 79 Tez yazarı tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre dV d (ln I ) − I grafiği 81 Gözlemci tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre dV d (ln I ) − I grafiği 81 Tez yazarı tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre H ( I ) − I grafiği 82 Gözlemci tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre H ( I ) − I grafiği 82 0.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 84 1.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n- tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 85 3.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 86 5.2. 5.3. 5.4. 5.5. 5.6. 5.7. 5.8. 5.9. 5.10. 5.11. 5.12. ix 5.13. 5.14. 5.15. 5.16. 5.17. 5.18. 5.19. 6.1. 5.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 87 7.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 88 ANFIS kullanılarak 0.00 kbar ve 1.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 0.50 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 89 ANFIS kullanılarak 1.00 kbar ve 3.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 1.50 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 90 ANFIS kullanılarak 1.00 kbar ve 3.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 2.00 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 91 ANFIS kullanılarak 3.00 kbar ve 5.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 4.00 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 92 ANFIS kullanılarak 5.00 kbar ve 7.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 6.00 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 93 Basınç ile Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun Engel Yüksekliğinin ve GaAs’ın Yasak Enerji Aralığının Değişim grafiği 99 x TABLOLAR LİSTESİ Tablo Sayfa 3.1. Biyolojik sinir sistemi ile YSA’ların karşılaştırılması 33 3.2. Bazı transfer fonksiyonlarının matematik ifadeleri 37 4.1. Bulanık Mantık ve YSA Açısından Sistem Modelleme Adımları 69 6.1. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç değerleri için I-V karakterizasyonundan elde edilen idealite faktörü değerleri 100 Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç değerleri için I-V karakterizasyonundan elde edilen engel yüksekliği değerleri 100 Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç değerleri için I-V karakterizasyonundan elde edilen seri direnç değerleri 101 6.2. 6.3. xi SİMGELER VE KISALTMALAR LİSTESİ f (E ) Fermi dağılım fonksiyonu EF Fermi enerji E vac Vakum seviyesi Es Elektronunun iyonizasyon enerjisi φs Yarıiletkenin iş fonksiyonu φm Metalin iş fonksiyonu χs Yarıiletkenin elektron ilgisi VD Difüzyon potansiyeli φb Diyotun engel yüksekliği V Uygulanan potansiyel k Boltzman sabiti I0 Doyma akımı T Mutlak sıcaklık Evbm Valans bandının maksimumu EV Valans bandı enerjisi Ec İletim bandı enerjisi E fm Metalin Fermi enerjisi, E fs Yarıiletkenin Fermi enerjisi I Net akım J0 Doyma akım yoğunluğu J Net akım yoğunluğu A∗ Richardson sabiti n İdealite faktörü φb Engel yüksekliği Rs Seri direnç xii F (V , γ ) Norde fonksiyonu A Diyotun etkin alanı γ İdealite faktöründen büyük keyfi bir sabit V0 Diyot bölgesinde düşen voltaj H (I ) İkinci cheung fonksiyonu pi i’inci giriş wij j’inci elemana bağlantı ağırlığı η Öğrenme katsayısı δj Ara veya çıkış katmanındaki herhangi bir j nöronuna ait faktör E Ağın çıkışındaki hata degeri µ A ( x) A kümesi elemanları üyelik dereceleri S/N Sinyal/Gürültü oranı TTL Transistör-Transistör Lojik I2L Entegre edilmiş enjeksiyon lojik YSA Yapay Sinir Ağları I −V Akım-Gerilim C −V Kapasitans-Gerilim SEY Schottky Engel Yüksekliği FSM Fermi Seviyesi Mıhlanması SED Schottky Engel Diyot FET Field Effect Transistör MESFET Metal Semiconductor FET JFET Junction FET IR InfraRed TE Termoiyonik Emisyon ÇKP Çok Katmanlı Perseptronlar LVQ Learning Vector Quantization VLSI Very Large Scale Integration RTYSA Radyal Tabanlı YSA xiii BPGD Back Propagation Gradient Descent FIS Fuzzy Inference System ANFIS Adaptive Neuro Fuzzy Inference System LPE Lıquid-Phase Epitaxy 1 1.GİRİŞ 20. yüzyılda aktif devre elemanları olarak adlandırılan yarıiletken malzemeler üzerine yapılan araştırmalar hız kazanmış ve elektronik sanayindeki yeri gün geçtikçe de artmıştır. Hemen hemen her elektronik cihaz da kullanılan bu materyallerin değişen fiziksel ortam ve şartlar altındaki elektriksel davranışlarının önceden bilinmesi, amaçlara uygun olarak bu elektriksel davranışların modifiye edilmesi büyük önem arz etmektedir. Nokta kontak diyotların gelişmiş hali Schottky kontaklardır. Schottky kontakların gelişmiş olmasının sebebi, daha düşük seri direnç, daha düşük Sinyal/Gürültü (S/N) oranına ve yüksek güç kapasitesine sahip olmalarıdır. Schottky engeli, bu yapılara göre daha büyük mekaniksel güvenliğe sahip olup seri üretimi de daha kolaydır. Günümüzde, Schottky doğrultucular elektronik sistemlerin tasarımına uygundur, özellikle yüksek frekansların olduğu, çoğunluk taşıyıcılarının akım iletiminin baskın olduğu cihazlarda hızlı anahtarlama modu (fast switching mode) istenen durumlarda kullanılırlar. Schottky diyotlarda elektriksel iletkenlik çoğunluk taşıyıcıları ile sağlandığından, rekombinasyon olayı gerçekleşmez ve buna bağlı olarak akımda bir azalma meydana gelmez, verim daha yüksek olur. Böylelikle yüksek frekanslarda ve düşük düz beslemede çalışabilmektedirler. Schottky engelinde anahtarlama hızı; enjekte edilen elektronların termal hızları ile kontrol edilirken, p-n eklemde enjekte edilen azınlık taşıyıcıların yeniden birleşmesiyle kontrol edilir ki Schottky engeli çok daha yüksek frekans uygulamalarında (100 GHz’e kadar, sinyal karıştırıcı ve dedektörlerde) kullanılabilir. Anahtarlama hızının yüksek olması devre elemanının tepki verme süresi ve yayılma gecikmesi süresini kısaltır, bu azalma uygulamada anahtarlama modu (switching mode) olarak karşımıza çıkar. Schottky yapıları üzerinde yapılan teorik çalışmalar teknolojik çalışmalardan daha sonra olmuştur. Günümüzde hala teorik çalışmalar, farklı malzemeler için değişik fiziksel koşullar altında araştırılmaktadır. 2 Schottky diyotların ticari anlamdaki en önemli uygulamaları birleştirici olarak entegre unipolar devrelerdedir. Diğer yandan mikrodalga diyot ve mikrodalga transistörlerde kapı olarak kullanılmaları da sayılabilir. Pratikte çoğu uygulamalar çoğunluk taşıyıcıların kendi yapılarından kaynaklanan iletimi yüksek hızda sağlamalarının avantajı üzerine yoğunlaşmıştır. Metal-yarıiletken doğrultucular, p-n eklem elemanlardaki azınlık taşıyıcılarının birikmesi ile bağlantılı olarak hız limitlerinden kısmen muaftır. Schottky diyotların, p-n eklem elemanlara göre üstünlükleri; 1 ns altına kadar düşebilen anahtarlama hızları, küçük düz beslemde voltaj düşüşü, yüksek ters empedans (çok küçük sızıntı akımları), sıkışma boyutu (mikroölçekte yapılabilmesi), kolaylıkla üretilebilir olması ve düşük sıcaklıkta imalatı sayılabilir. Sistemlerin matematik modellerinin önemi bugün tüm alanlarda hızla artmaktadır. Özellikle üretim alanında sistemin verimli, hızlı ve kaliteli olabilmesi için bu sistemin modellenmesi gerekmektedir. Böylece sistemin ileri ki dinamik davranışı tahmin edilebilir ve üretimin istenilen seviyede olması sağlanır. Sistem modellemede amaç bilinmeyen bir sistemin transfer fonksiyonu adı verilen geçiş eğrisinin belirlenmesidir (Perrot and Cohen, 1996). Bulanık mantık, üyelik derecelerini temel almış, ikili mantığın aksine çok sayıda değer alabilen matematiğe ait bir disiplindir. Bulanık mantık, yanlış veya doğru olma durumlarından çok, doğru olma durumunun olasılıklarına dayanır. Ayrıca, bulanık mantık uygulaması, matematik modele ihtiyaç duymamaktadır (Ross, 1995). Bulanık mantığın belirsiz bilgileri işleme ve yapay sinir ağının öğrenme yeteneğinden yararlanılarak, sistem modelleme gerçekleştirilmiştir. Aynı zamanda bulanık mantık ve yapay sinir ağının birleştirilmesi, birbirlerinin dezavantajlarını da örtmektedir. Bulanık sinir ağı değişik birçok sistemin modellenmesine uygulanmıştır (Cheng and Jion, 2004). Hidrostatik basınç altında süperlatis yapıların karakteristikleri Gassot et al., 1996; Robert et al., 1999 tarafından incelenmiştir. Tünel diyot parametrelerinin değerlendirilmesi için benzer çalışmalar Dizhur et al., 2001 tarafından yapılmıştır. Schottky kontaklarda seri 3 direnç ve ara yüzey hal yoğunluğunun basınç ile değişimi Çankaya et al., 1999; Çankaya and Uçar 2002a tarafından incelenmiştir. Engel yüksekliğinin basınç ile değişimi ve sonuçların değerlendirilmesi, yarıiletkenin iyonik doğasını ve elektronik yapısını aydınlatmada kullanılabilir. (Balasubramanyam and Kumar, 1987; Shen and Matthai, 1991; Shan et al., 1988; Crumbacker et al., 1989; Dobaczewski et al., 1993; van Schilfgaarde et al., 1994; Zainabidinov et al., 1995; Phatak et al., 1995-II; Bardi et al., 1996-II; Çankaya et al., 1999-I; Çankaya et al., 2000a; Çankaya et al., 2000b; Gworek et al., 2001; Çankaya and Uçar, 2002a; Çankaya and Abay, 2005). Son zamanlarda yapılan çalışmalar metal-yarıiletken kontakların engel yüksekliğinin basınca bağlılığının yarıiletkenin elektronik yapısına ve iyonik yapısına yansıdığını göstermektedir. Bundan hareketle yarıiletken malzemelere dışardan bir etki uygulayarak farklı özelliklerini ortaya çıkarmak mümkün olabilir ve bu özellikleri kullanarak arzu edilen yapıda devreler imal edilebilir. Yarıiletken malzemelerin hassas olmalarından dolayı bunların optik ve elektriksel özelliklerinin, yasak band aralıklarının, derin ve sığ kusur seviyelerinin incelenmesi ve bu özelliklerinin açığa çıkarılabilmesi konusunda hidrostatik basınç altında yapılan çalışmalarla oldukça fazla bilgi sağlanmıştır. Buradan hareketle birçok algılayıcı-dönüştürücü elektronik yapılar tasarlanmıştır. Bu çalışma iki temel konu üzerine yoğunlaşmıştır; ilk olarak, Hidrostatik basıncın Schottky kontaklar üzerindeki etkisini ve kontak parametrelerinin nasıl değiştiğinin ve bunun sonucu olarak sensör uygulamalarına uygun olup olmadığının araştırılmasını kapsamaktadır. İkinci kısımda ise bazı deneysel verileri kullanarak numuneyi literatürdeki farklı yöntemlerle inceleyip günümüzde artık ekonomiden astronomiye kadar tartışılmaz bir optimizasyon yöntemi olan ANFIS ile inceleyip, deneysel veri aralığında basınç değerleri için alınmayan sonuçların üretilmesi ve böylelikle tam bir karakterizasyonun elde edilmesi amaçlanmaktadır. 4 2.SCHOTTKY DİYOTLAR HAKKINDA GENEL BİLGİLER 2.1.Schottky Diyotların Gelişim Süreci Metal-yarıiletken kontaklar iki kısımda ele alınır: Teknolojik olarak gelişimleri ile bu yapıların teorik ve deneysel olarak incelenmesi. İlk metal-yarıiletken yapı, nokta kontak diyotlardır. Metalleri kullanarak yarıiletkenlere kontak yapımı ilk kez 1874’te Braun tarafından rapor edilmiştir. Geliştirildikleri yüzyıl içinde bu doğrultucular, endüstriyel açıdan önemli üç deneyime sahip olmuştur. Bunlar 20. yüzyılın başlarında radyo dedektörü olarak, ikinci dünya savaşında radar dedektörü ve bipolar entegre devrelerin anahtarlama hızlarını artırmada ve günümüzde mikrodalga diyot ve transistörlerde kapı olarak kullanılmalarıdır. Bu adımlar teknolojide yeniliklerin başlangıcı olmuştur. Braun’un çalışmalarından yola çıkarak Marconi, 1895 yılında telekomünikasyon için yaptığı deneylerde nokta kontak metal-yarıiletken doğrultucularını dedektör olarak kullanmıştır. 1909 yılında Marconi ve Braun telsiz telgraf çalışmalarına katkılarından dolayı Fizik Nobel Ödülünü almışlardır (Rhoderick and Williams, 1988). 1930’lu yıllarda mikrodalga radarının gelişmesiyle nokta kontak diyotları frekans dönüştürücüsü olarak mikro dalga dedektör devrelerinde kullanılmıştır. Yükseltmelerinin düşük olması nedeniyle yerini vakum tüplere bırakmıştır. Bu aynı zamanda Transistörün icadı için ilk adımdır (Torrey and Whitmer, 1948). 1931 yılında Schottky, Störmer ve Waibel, akım akmaya başladığında kontağın tamamında potansiyelin düştüğünü gözlemleyip bir çeşit engel yüksekliğinin varlığını bildirmişlerdir. 1930’un sonlarında Schottky ve Spenke, enerji üzerinden taşıyıcı difuzyonunu esas alan doğrultma teorisini bulmuşlar; Deplasyon tabaka engeli, Metal ile yarıiletken arasındaki iş fonksiyonunu farkından dolayı engel yüksekliğinin bağımlılığı, Engel 5 üzerinden çoğunluk taşıyıcılarının iletimi ve imaj kuvvetinin düşüşünün önemi vurgulamışlardır. 1940’lı yıllarda Schottky, difüzyon teorisini, Bethe ise termoiyonik emisyon teorilerini geliştirmişlerdir (Rideout, 1978). Daha sonraları Crowell ve Sze bu iki teoriyi birleştirerek, İdeal Schottky diyotlarda akım iletim mekanizmasını Termoiyonik difüzyon emisyon teorisi olarak sunmuşlardır (Crowell and Sze, 1965, Crowell and Sze, 1966). 1960’lı yıllar Schottky engel diyotlar için önemli yıllar olmuştur ve düzlemsel Schottky diyotların bulunmasıyla uygulamada dev bir adım atılmıştır. İlk olarak Alan Etkili Transistörlerin, kapı terminalinde Schottky eklemi kullanılarak daha hızlı unipolar transistörlerin üretilmesi olmuştur. Diğer taraftan yüzey kirliliğinden uzak, yarıiletken yüzeyi altında silisyum ile metalin alaşımı yapılarak düşük sıcaklıkta silisit elde edilmesi olmuştur ki yeni metal–yarıiletken eklemlerinin ve üretim tekniklerinin çeşitliğinin temeli atılmıştır. 1964 yılında Baird bir silikon bipolar transistör ile Schottky engeli aynı yapı üzerinde birleştirerek patent almıştır. 1970’li yıllarda teorik çalışmalar uygulamaya dönüşerek ticari hayata geçirilmiştir. Yüksek frekanslar ve çok yüksek anahtarlama hızları Schottky diyotları vazgeçilmez kılmıştır. En önemli uygulamaları Bilgisayar ve diğer anahtarlama sistemleri için yüksek hızda unipolar entegre devrelerindeki kesim-doyum arasındaki süreleri azaltmaktadır. Ayrıca Mikrodalga iletişim sistemlerindeki yükseltme devreleri ve sinyal algılaması için yüksek frekans elemanları olarak uygulamalarda kullanılmıştır. Germanyum p-n eklem diyot gibi silikon Schottky engel yüksekliği de (yaklaşık 0.7 eV) silikon p-n eklemin iç potansiyelinden ( ≅ 1.1eV ) daha düşüktür. En küçük azınlık taşıyıcının depolama özelliği ile bu faktör; Transistör-Transistör Lojik (TTL) ve entegre edilmiş enjeksiyon lojik (I2L) gibi entegre devrelerde birleştirici diyot olarak ideal bir şekilde uyum sağlamakla birlikte Schottky diyotların yapımına da olanak sağlar. Bu bipolar devrelerin anahtarlama hızını artırırken, güç tüketiminde daha da azaltmıştır. Kapı başına 10 mW güç tüketiminde yaklaşık 2 ns’lik bir yayılma gecikmesi birleştirilmiş 6 Schottky TTL’nin günümüz teknolojisindeki tipik bir sonucudur. Günümüzde bu teknolojiler hız konusunda birbiriyle yarışan bilgisayar üreticileri için vazgeçilmez olmuştur. Üretim ve kontrol tekniklerinin gelişmesiyle bu yarış akıl almaz bir ivme kazanmıştır. Schottky diyotların en belirgin dezavantajları ise yüzey elemanı olmalarından dolayı yüzey kirliliği ve çevresindeki problemlere hassasiyetleridir. Diğer taraftan Schottky kontaklar yüksek sıcaklıklarda istenilen performansı verememektedir. Metal-yarıiletken ve metal-yalıtkan-yarıiletken yapılarının temel fiziksel özellikleri ve iletim mekanizmaları geniş bir şekilde verilmiştir. (Milnes 1972, Sze 1981, Kar 1982, Singh 1985, Rhoderick 1988, Cova 1990). Bu çalışmalara ilaveten yüksek seri dirence sahip Schottky diyotlarda; seri direnç, idealite faktörü ve engel yüksekliği gibi temel fiziksel parametrelerin tayininde yeni yöntemler geliştirilmiştir. Bunlardan ilki Missous ve arkadaşları tarafından geliştirilen ve Missous eğrileri olarak bilinen hesaplama yöntemidir (Missous et al., 1985). İkinci olarak Norde tarafından, ideal durum (n=1) için seri direnç ve engel yüksekliğini tanımlanan bir F (V ) fonksiyonu yardımıyla elde edilmesi amaçlanmıştır (Norde, 1979). İleriki yıllarda Bohlin (1986), bu modeli modifiye etmiştir. Daha sonra ideal ve ideal olmayan diyotlar için Cheung tarafından düz beslem I − V karakteristikleri kullanılarak Schottky diyotlarda engel yüksekliği, idealite faktörü ve seri direnci hesaplamak için farklı bir hesaplama modeli daha ileri sürülmüştür (Cheung ve Cheung 1986). Karataş and Türüt (2006), Au/n tipi GaAs Schottky engel diyotlarının arayüzey yapısındaki yoğunluk yayılmaları ve elektronik saptamalarını yapmışlar, Cheung fonksiyonlarıyla I − V ve C − V ölçümlerinden diyot parametreleri olan idealite faktörü, seri direnç ve engel yüksekliğini, sırasıyla1.51-1.78, 7.597-8.167 Ω ve 0.88-1.14 eV olarak bulmuşlardır Tsormpatsozlou et al. (2006), düşük frekans ve 160K-199K sıcaklıkları arasında InAs kuantum noktaları içeren Au/n-GaAs Schottky diyotlarındaki sınırlı durumların gürültü spektroskopisini incelemişler, tek sıralı kuantum noktalarının diyotun içindeki 7 Fermi Seviyesinin üstünde sığ bir tuzak seviyesi 0.037 eV civarındaki aktivasyon enerjisiyle ortaya çıkarıldığını ve üç sıralı kuantum noktalarının diyodun içindeki sığ seviye ilaveten yarı boşluktan aşağı yerleştirilen 0.1 eV’da derin bir seviye gözlemlemişlerdir. Biber (2003), MIS Cu/n-GaAs ve homojen olmayan Cu/n-GaAs diyotlarının düşük sıcaklıkta I − V karakteristiklerini incelemiş, engel yüksekliğinin hesaplamasında kullanılan Richardson sabitinin teorik 8.16 A/cm2K2 değerine karşılık 5.033 A/cm2K2 deneysel değerini bulmuştur. Karataş et al. (2005), Au/n-GaAs yapılarının elektriksel karakteristikleri üzerine 60 Co γ-ışınının etkilerini incelemişler, ters besleme C − V ölçümlerinden elde edilen (φb (C − V )) engel yüksekliğinde bir artışa sebep olurken düz besleme I − V ölçümlerinden elde edilen (φb ( I − V )) engel yüksekliğinin sabit kaldığını göstermişlerdir. Karataş ve Altındal (2004), İdeal olmayan Zn/p-Si Schottky diyotlarının temel parametrelerinin I − V ölçümlerinden, modifiye edilmiş Norde ve Cheung fonksiyonları yardımıyla hesaplamışlar ve sonuçların birbiriyle ve literatürle uyum içinde olduğunu gözlemlemişlerdir. Karataş ve Altındal (2005b), Zn/p-Si diyotlarda temel elektriksel parametreleri, sıcaklığa bağlı olarak I − V ve C − V ölçümlerinden Cheung fonksiyonları yardımıyla hesaplamışlar, sonuçların birbiriyle ve literatürle uyumlu olduğunu rapor etmişlerdir. Tavlama ve plastik deformasyon gibi teknikler numune üzerinde kalıcı bir etkiye sahip oldukları için pek tercih edilmezler. Buna göre, Hidrostatik basınca ve Sıcaklığa bağlı yapılan karakterizasyonlarda devre elemanları üzerinde kalıcı etkiler bırakmadıkları için sıkça tercih edilen karakterizasyon yöntemleridir. Literatürde sıcaklığa bağlı çalışmalar oldukça çok bulunmasına rağmen, hidrostatik basınca bağlı çalışmalar oldukça azdır. Aynı şekilde sıcaklığa bağlı alınan ölçümlerin değerlendirilmesinde kullanılan birçok teorik model olmasına rağmen, basınca bağlı ölçümlerin değerlendirilmesinde kullanılan temel bir teorik model geliştirilememiştir. Bu bağlamda hidrostatik basınca bağlı 8 karakterizasyon ölçümleri elektronik sanayide ve malzeme imalatında yeni bir ufuk açmasına yardımcı olacaktır. Schottky diyotların doğasını anlamak için son yıllarda hidrostatik basınca bağlı karakterizasyonda gözle görülür bir artış vardır. Bunun sebebi Schottky engel yüksekliğinin kontak için kullanılan metalin cinsinden hemen hemen bağımsız olduğunun izahında yardımcı bir yöntem olarak kullanılmasıdır. Bu olayı açıklamak için Fermi seviyesinin değişmediği yani engel yüksekliğinin metalden bağımsız kalmasının izahının yapılması gerekmektedir. Literatürde bu olaya Fermi Seviyesi Mıhlanması (FSM) denmektedir. Ancak, bu olayın sebebi netlik kazanmamış olup, birçok teoriler geliştirilmiş olmasına rağmen tamamıyla açıklanamamış ve hala üzerinde çalışılan güncel bir konudur. Au : Tl / Pb1− x SnxTe / In p-n eklem diyotların hidrostatik basınç altında akım iletimi üzerine yapılan ilk çalışmada artan basınçla düz beslem akımının hemen hemen lineer şekilde azaldığı Hoerstel et al. (1983) tarafından rapor edilmiştir. Dizhur et al. (2001), Au/n-GaAs(Te) tünel diyodlarda Schottky Engel Yüksekliğin hidrostatik basınca bağlılığını incelemişlerdir. NTE>5x1018 cm-3 olması durumunda Metal-Yarıiletken ara yüzeydeki Fermi seviyesinin pozisyonunu için Schottky Engel Yüksekliğinin düşerek Fermi seviyesinin pozisyonunun yasak enerji aralığının ortasına yakın bir yere kaydığını bildirmişlerdir. Balasubramanyam and Kumar (1987), hidrostatik basınç altında yaptıkları karakterizasyonda Al/n-Si Schottky kontaklarda Fermi seviyesinin valans bandının maksimumuna göre hareketsiz kaldığını ve iletkenlik bandının Fermi seviyesine doğru kaydığını; dolayısıyla n-Si’da engel yüksekliğinin basınçla değişiminin yasak enerji aralığının basınçla değişimi ile hemen hemen aynı olduğunu gözlemlemişlerdir. Bu çalışmada, n-Si’da engel yüksekliğinin basınçla değişimi yasak enerji aralığındaki değişime eşit olduğundan p-Si’da basınçla engel yüksekliğinde bir değişim olmayacağı görüşü ileri sürülmüş ve bu öngörü Mo/p-Si Schottky diyotlarda deneysel olarak ispatlanmıştır. 9 Shan et al. (1988), Pt/GaAs Schottky diyodlarda, Engel Yüksekliği’nin basınçla değişimini elmas sıkıştırma hücresi kullanarak ölçmüşler, Hidrostatik basıncın fonksiyonu olarak n-GaAs’da doğal kusurlar tarafından oluşturulan derin enerji seviyelerinin basınç ile değişimlerini karşılaştırmışlar ve doğal kusur seviyelerinin basınca bağlılığının SEY ile aynı olduğunu bildirmişlerdir. Crumbacker et al. (1989), artan basınca bağlı olarak oksit tabakası kalınlığı, dielektrik sabiti, kontak alanı ve taşıyıcı konsantrasyonundaki değişimleri göz önünde tutarak Silisyum-metal oksit yarıiletken (MOS) yapılarında ara yüzey hallerini C − V ölçümlerinini analizi yardımıyla incelemişlerdir. Shen and Mathai (1991), Ni-silicide/Si Schottky engel diyodunun ve Si’un yasak enerji aralığının basınç ile değişimini teorik olarak hesap etmişler, Fermi Seviyesinin Mıhlanmasına neden olan ara yüzey hallerinin metal etkisiyle yasak enerji aralığında oluşan hallerden veya yasak enerji aralığındaki kusurlar veya düzensizliklerin sebep olduğu hallerden kaynaklanabileceğini bildirmişlerdir. Dobaczewski et al. (1993), MBE (Molecular Beam Epitaxy) tekniği ile AlGaAs kristali üzerine Al büyüterek Schottky diyot imal etmişlerdir. Bu diyotları 0-8 kbar aralığında hidrostatik basıncın etkisini incelemişler ve engel yüksekliğinin basınç katsayısının n-tipi AlGaAs kristalleri için yasak enerji aralığının basınç katsayısına eşit bir değer gözlemlerken, p-tipi AlGaAs kristalleri için herhangi bir değişim gözlemleyememişlerdir. Van Schilfgaarde et al. (1994), GaAs yarıiletkeni ile imal edilmiş n-tipi Pt/GaAs Schottky engel diyotlarının basınca bağlı deneysel karakterizasyonu ile teorik modelleri kıyasladıkları çalışmalarında, yasak enerji aralığı ile EL2’nin basınca bağılıklarının teorik olarak hesaplanan değerlerinin sırasıyla 9.8 ve 2.5 mev/kbar olduğunu rapor etmişlerdir. EL2 için teorik olarak hesaplanan 2.5 mev/kbar değerinin deneysel sonuç olan 2.0 mev/kbar değerine uygun olduğunu ve bu değerin deneysel olark gözlenen Schottky Engel Yüksekliği değişimine eşit olması sebebiyle Fermi Seviyesinin Mıhlanması olayını EL2 10 kusur seviyesine atfetmişlerdir. EL2 kusuru Ga yerine geçmiş arsenik atomudur (Dabrowski and Scheffer, 1988). Zainabidinov et al. (1995), Ni ve Gd katkılı n-Si yarıiletkeni ile oluşturulan Au/nSi(Ni) ve Au/n-Si(Gd) Schottky engel diyotlarında basınç artarken, özdirenç, kapasitans ve taşıyıcı konsantrasyonunun azaldığını ve saturasyon akımında da dalgalanma meydana geldiğini gözlemlemişlerdir. Phatak et al. (1995-II), Al ve Au/n-tipi GaAs Schottkky Engel Diyotlarını basınca bağlı inceleyerek farklı sıcaklıklarda tavlanmış diyotların engel yüksekliklerinin basınca göre değişimini elde etmişler, Tavlanmamış, 220 o C ve 290 oC derecede tavlanan diyotların engel yüksekliği ile basınç değişim katsayısını sırasıyla 9.5 ± 0.5, 9.3 ± 0.5, 9.5 ± 0.5 mev/kbar olarak elde etmişlerdir. Bardi et al. (1996), Ga1− X Al X As kristalinin sırasıyla x’in %20 ve %64’lük oranlarında, n ve p-tipi olan farklı kristallerini kullanarak imal ettikleri Al / Ga1− X Al X As Schottky engel diyotlarının engel yüksekliklerinin basınçla değişimini teorik ve deneysel olarak incelemişler, p-tipi yarıiletkende deneysel ve teorik değerlerinin uyumlu olmasına rağmen bu değişimin n-tipi yarıiletkende gözlenen engel yüksekliği yanında ihmal edilebilecek kadar küçük olmasını Al / Ga1− X Al X As ara yüzeyinin dahili özelliğinden kaynaklandığını ve FSM’ndan sorumlu olarak kusur seviyelerinin bağlanma karakterinin sorumlu tutulamayacağını bildirmişlerdir. Gworek et al. (2001), Cu ve Ag elementlerinin GaAs yüzeyine geleneksel buharlaştırma yöntemi ile buharlaştırılması ve Fe tek kristal tabakasının MBE tekniği ile GaAs üzerine büyütülmesi ile oluşturulan Cu / n − GaAs (110) , Ag / n − GaAs (110) ve Fe / n − GaAs (100) yapıları için engel yükseklikleri ve bunların basınç katsayılarını sırasıyla 0.89, 0.90 ve 0.90-0.92 eV ve 97 m 4mev / Gpa, 97 m 4mev / Gpa ve 109 m 7 mev / Gpa olduğunu rapor etmişlerdir. Çankaya et al. (1999-I), hidrostatik basınç hücresi, numune tutucu ve ölçüm sistemini özetleyip, Au/n-tipi GaAs SED’larının engel yüksekliği, idealite faktörü ve 11 basınçla değişimlerini incelemişler, artan basınçla engel yüksekliği ve seri direncin arttığını, idealite faktöründe ise dalgalanmaların gözlendiğini bildirmişlerdir. Çankaya et al. (2000a), Au/n-tipi GaAs SED’larının 1 MHz frekansda hidrostatik basınca bağlı C − V ölçümlerinlerini kullanarak derin seviyelerin C − V ölçümleri üzerine etkisini açıklamak için bir model sunmuşlardır. Bu modele göre derin seviyelerin iyonize olmaları için gerekli ters beslem gerilim değerinin artan basınçla arttığını, C − V ölçümlerinden elde edilen C −2 − V grafiklerinde lineerlikten saptığını gözlemlemişler. Bu durumuda derin seviyelerin basınca karşı davranışıyla açıklamışlardır. Çankaya et al. (2000b), Au/n-tipi GaAs SED’larının I − V ölçümlerindeki zamana bağlı kalıcı etkilerini incelemişler, basınç uygulanıp kaldırıldıktan sonra alınan karakteristiğin 1 kbar basınçtaki ile yaklaşık aynı olduğunu gözlemlemişler ve sonraki basınç uygulamalarından sonra geriye dönüşün 1 kbar basınçtaki karakteristiğe eşitliğini basıncın diyot parametrelerini iyileştirdiği sonucuna varmışlardır. Çankaya et al. (2001), Au/p-GaSe Schottky engel diyotlarda yaptıkları çalışmada hidrostatik basıncın diyot parametrelerine nasıl yansıdığını araştırmışlardır. Yaptıkları ölçümlerde 0.0 kbar basınçta engel yüksekliği ve idealite faktörünün 0.727eV ve 1.07 değerlerini alırken, 7.0 kbar basınçta 0.663 eV ve 1.14 değerlerini aldığını gözlemlemişlerdir. Çankaya et al. (2002a), Au/n-tipi GaAs SED’larının düz beslem altında, 1kHz ve 1MHz frekanslarında C − V ölçümlerinlerinde hidrostatik basınca bağlı ölçümlerini alarak ara yüzey hal değişimini incelemişler, artan basınçla ara yüzey hallerinin sayısında artma olduğunu ve uygulanan basınç ile düz beslem geriliminin ters etki gösterdiğini rapor etmişlerdir. Çankaya and Abay (2005), p − GaTe üzerine Cd metalizasyonu yapılarak Schottky engel diyodu üretilmiştir. Bu diyotları I − V ve C − V teknikleriyle hidrostatik basıncın fonksiyonu olarak karakterize etmişlerdir. Artan hidrostatik basınç ile seri direnç, idealite faktörü ve engel yüksekliğinin azaldığını gözlemlemişlerdir. I − V ölçümlerinden 12 elde edilen engel yüksekliğinin 1 MHz de C − V ölçümlerine göre daha küçük olduğunu bildirmişlerdir. I − V ve C − V ölçümlerinden elde edilen engel yüksekliklerinin lineer basınç katsayısının − 8.77 m 0.10mev / kbar olduğunu ve bu değerin yaklaşık olarak GaTe’ün yasak enerji aralığının basınçla değişimine eşit olduğunu ve bundan dolayı da FSM’nın referans seviyesinin iletkenlik bandının minimumunda olduğunu rapor etmişlerdir. JFET’ler n kanal ve p kanal olmak üzere iki kısma ayrılır. Alan Etkili Transistör FET (Field Effect Transistör)’ler üç terminalden ibarettir. Bunlar kapı (Gate), kaynak (Source) ve kanal (Drain) terninalleridir. Gövde (kanal) n-tipi bir yarıiletkenden oluşmuştur. Kanal ve kaynak terminalleri, gövdenin alt ve üst tabanına omik direnç yapacak şekilde bağlanmıştır. Gövdenin her iki yanı oyularak buraya p-tipi bir yarıiletken yerleştirilmiştir. Bu kapıyı oluşturur. FET’in akım enjeksiyonu kaynaktan, akımın toplanması kanaldan ve akımın kontrolü de kapıdan yapılır. Eklem FET yani JFET (Junction FET) de denilen FET’lerde Gate terminalli p-n eklemden yapıldığı için bu JFET’lerin anahtarlama hızının yavaş olmasına sebebiyet vermektedir. Schottky diyotlar sinyal karıştırıcı, dedektör, fotodedektör yapımında ve FET’lerde kullanılmaktadır. Diğer FET’lere nazaran bu terminal için Schottky engeli kullanıldığından bunu daha avantajlı kılmaktadır. Ayrıca bu yapılar otomotiv sanayinde yolcu güvenliği, motor idaresinde ve basınç sensörü olarak da ateşlemeli makinelerde ve motorların yanma odasının basıncının ölçülmesinde kullanılmaktadır (Fricke, 1991). Schottky diyotların GHz mertebesinde anahtarlama hızına sahip olması bunların optoelektronikte, telekomünikasyon alanında ve taşınabilir telefonlarda kullanılmasını vazgeçilmez hale getirmiştir. GaAs ve Alx Ga(1− x ) As gibi yarıiletkenlerin yönelimlerine göre hidrostatik basınç sensörü olarak kullanımına ait bir çalışma Fricke tarafından yapılmıştır (Fricke, 1991). Yapılan devre elemanları çoğunlukla basınç sensörü olarak kullanılmıştır. Bu sensörler yüksek sıcaklıklarda çalışabilen, GaAs taban malzeme üzerine metal yarıiletken alan etkili transistor teknolojisi uygulanılarak elde edilmiştir. Uygulama alanı, ateşlemeli makinelerin ve motorların yanma odasındaki basıncın ölçülmesidir. Bu sensör ticari kuartz sensör ile kıyaslandığında daha iyi sonuç vermektedir. Otomotiv sanayisinde düşük maliyetli ve daha 13 küçük sensörlere ihtiyaç vardır. Araştırma safhasında iken, kullanılan yakıtın değişen şartlardan nasıl etkilendiği ve yakıtın en az şekilde kullanılması için gerekli şartlar bu sensör ile tespit edilebilmektedir (Aller et al. 1996). Schottky engeli, yüksek anahtarlama hızı ve yüksek frekans iletişimi için MESFET (Metal Semiconductor FET) deplasyon modunun küçük skaladaki entegrasyonudur. Farklı MESFET’ler, mikrodalga güç yükseltici teknolojisinde, minumum bozulma, geniş band ve yüksek verim sağlamaktadır. Yaklaşık elde edilen kazancın 10 GHz’de 4W olduğu bilinmektedir. Jit and Murty (2006), yüksek ters beslemde çalışan n-GaAs MESFET kullanarak, ortak kaynak ve ortak kanal mikrodalga osilatörleri üzerinde foto etkilerin analitik çalışmasını yapmışlar ve ortak kaynak osilatörünün çıkış frekansının kapı-kaynak kapasitansından çok etkilendiğine dayanarak ortak kanal ossilatörünün kapı kanal kapasitansındaki değişikliklere duyarlı olduğunu sayısal sonuçlardan elde etmişlerdir. Karataş ve Altındal (2005a), Au/n-GaAs Schottky diyotların engel yüksekliklerinin sıcaklıkla ilişkisini incelemişler, doğrudan etkin engel yüksekliğinin (φb ( I − V )) , Au/n-GaAs için literatürde verilen negatif sıcaklık katsayısıyla uyum içinde olduğunu bildirmişlerdir. Salehi et al. (2006), hidrojen algılama uygulaması için Pd/gözenekli-GaAs Schottky kontağı I − V karakteristiği kullanılarak incelenmiş ve Pd/gözenekli-GaAs Schottky diyot Sensörün hidrojen gazına karşı yüksek hassasiyet gösterdiği görülmüştür. Salehi and Nikfarjam (2004), ITO/n-GaAs Schottky kontaklarını laboratuarlarında geliştirmişler, Karbonmonoksit’e hızlı tepki gösteren diyotun çok düşük sıcaklıkta çalışmasından dolayı entegre devre teknolojisi için mikro ölçekli cihazlara sensör olarak uygulanabileceğini bildirmişlerdir. Schottky diyodların karakteristik parametrelerinin anlaşılabilmesi, yalıtkan ve yarıiletken özelliklerinin araştırılmasının bir yolu da kristale uygun kontakların yapılmasıdır (Crowell and Sze,1966). Kontak; iki maddenin en az dirençle (idealde sıfır) 14 birbirine temas etmesi şeklinde düşünülür ki direnç boşa harcanan güçtür. Kontak haline getirilen yüzeylerin temiz, oksitsiz, parlak ve pürüzsüz olması aynı zamanda kontak yapılan metalin cinsi de ideal bir kontak elde edilmesini etkiler (Card and Rhoderick, 1971; Hovarth, et al., 1988; Rhoderick and Williams, 1988). Farklı iki madde kontak haline getirildiğinde maddeler arasında yeni bir yük dağılımı oluşur. Sistemde, termal dengenin bir sonucu olarak her iki maddenin Fermi enerji seviyeleri aynı seviyeye gelinceye kadar yük transferi olur (Ziel, 1968). Fermi enerji ( E F ), mutlak sıfır sıcaklığındaki katı ve N elektronlu sistemin taban durumundan itibaren en yüksekteki dolu olan seviyesinin enerjisi olarak tanımlanır. Mutlak sıfır sıcaklığında bu enerji seviyeleri üzerindeki seviyeler boştur. Fermi enerji seviyesi ise, iletkenlik ve valans bandındaki taşıyıcı sayısına bağlı olarak, yasak enerji bölgesinde yer alan izafi seviyeye denir, f (E) Fermi dağılım fonksiyonu ise T sıcaklığında bir katıda elektronun E enerji seviyesine sahip olma ihtimalidir ve 2.1 eşitliği ile verilmektedir (Ziel,1968). f (E) = 1 [− ( E F − E )] 1 + exp kT (2.1) Metal-yarıiletken kontaklar, metalin ve yarıiletkenin iş fonksiyonlarına ( φ m , φ s ) bağlı olarak omik kontak ve doğrultucu kontak (Schottky kontak) olarak iki kısımda incelenir. İş fonksiyonu ( φ m , φ s ), metal veya yarıiletkenin Fermi seviyesinden bir elektronu sıfır kinetik enerji ile yüzeye çıkarmak için gerekli olan minimum enerji miktarına denir. Bir metal veya yarıiletkene verilen enerji önce iş fonksiyonu için harcanır eğer verilen enerji iş fonksiyonundan fazla ise elektrona kinetik enerji olarak aktarılır (Ziel, 1968). Bu durum iki metal arasında olduğu gibi, metal ile n-tipi veya p-tipi yarıiletkenler arasındaki kontaklarda da aynı şekilde tanımlanmıştır. Bir metal ile yarıiletken, aralarında başka bir madde olmaksızın kontak durumuna getirildiğinde, metal-yarıiletken yapı olarak adlandırılır. Metal–yarıiletken kontaklar, her iki maddenin iş fonksiyonlarına bağlı olarak ikiye ayrılır. Birincisi taşıyıcıların bir 15 maddeden diğer maddeye her iki yöndede kolayca geçebildiği kontaklar, omik kontaklar, ikincisi ise bir maddede bulunan taşıyıcıların bir yöndeki hareketinin diğerine göre daha büyük veya küçük olduğu kontaklar, yani doğrultucu (Schottky) kontaklardır (Ziel, 1968). Teorik olarak n-tipi yarıiletken metal için φ m > φ s ise doğrultucu kontak, φ m < φ s ise omik kontak oluşur. p-tipi yarıiletken metallerde ise φ m < φ s doğrultucu kontak, φ m > φ s iken omik kontak oluşur. Her iki durumda da referans vakum seviyesidir. Vakum seviyesi ( Evac ) ise metal veya yarıiletken dışındaki hareketsiz bir elektronun enerjisini temsil eder (Ziel,1968). Yani elektronun maddenin dışında kinetik enerjisinin sıfır olduğu seviyeye denir. Evac ile valans bandının maksimumu ( Evbm ) arasındaki enerji farkı ise Elektronunun iyonizasyon enerjisi ( E s ) olarak tanımlanır. Günümüzde endüstrideki dev adımlar, Schottky diyod yapılarını doğrudan veya dolaylı olarak elektronik devre mimarisinde vazgeçilmez kılmıştır. Bu yapıların tam karakterizasyonu ise ancak optimizasyonla çıkarılabilir, bütün koşullar için deney yapmak mümkün değildir. Schottky yapıların, p-n yapılara göre üstün olduğu durumlar vardır. Bu avantajlar; Schottky engelinde yeniden birleşme yani rekombinasyon olmayacağından akımda azalma meydana gelmez ve verim yüksek olur. Oysa p-n eklemde yeniden birleşme olacağından akımda azalma söz konusudur. Bütün diyot yapılarında ters beslemede diyotlardan akan sızıntı akımının sıcaklığa bağımlılığı, Schottky yapılarda hemen hemen yok gibidir ve kontrol edilmesi gerekmez. Schottky diyotların bu özelliğinden dolayı kızıl ötesi yani IR (InfraRed) teknolojisinde önemli bir adım olmuştur. Schottky engelinde anahtarlama hızı, enjekte edilen elektronların termal hızları ile kontrol edilirken, p-n ekleminde anahtarlama hızı azınlık taşıyıcılarının yeniden birleşmesiyle kontrol edilir ki bu Schottky yapıların frekans aralığının çok büyük olmasını (100 GHz ve üzeri) sağlar. Schottky engelini iletime geçirmek için gerekli olan gerilim p-n eklemine göre çok düşüktür ve tasarlanan cihazların optimal ve düşük güçlerde çalışmasına neden olurlar. Ayrıca p-n ekleminde aynı tür yarıiletkenin hem p hemde n-tipini elde etmek neredeyse imkansızdır yani aynı elektriksel özelliğe sahip farklı tip yarıiletken elde edilemez. Bu durum verimin düşmesine neden olmaktadır. Schottky eklemin oluşturulması 16 p-n eklemine göre çok kolaydır. Yukarda kısaca bahsettiğimiz nedenler bizi ve birçok araştırmacıyı Schottky yapılar ve karakteristikleri üzerine yoğunlaştırmıştır. 2.2. Metal-Yarıiletken Kontaklar 2.2.1. n-Tipi Yarıiletken-Metal Doğrultucu (Schottky) Kontak Oluşumu Doğrultucu kontak (Schottky kontak), metal-yarıiletken kontaklarda akım taşıyıcıların bir doğrultudan diğer doğrultuya göre daha kolayca akabildiği kontaklara denir. n-tipi yarıiletken-metal kontaklarda, yarıiletkenin iş fonksiyonu ( φ s ) metalin iş fonksiyonundan ( φ m ) daha küçük ( φ m > φ s ) ise oluşacak kontağa doğrultucu kontak yada Schottky kontağı adı verilir. Doğrultucu kontaklarda kontaktan önce yarıiletkenin Fermi seviyesi metalin Fermi seviyesinden ( φ m - φ s ) kadar yukarıdadır. Kontaktan sonra yarıiletkenle metal arasında bir yük alışverişi olur ve denge hali oluşuncaya yani elektro kimyasal potansiyeller (Fermi seviyeleri) eşit oluncaya kadar bu alışveriş devam eder (Ziel,1968). Elektronlar, geride iyonize olmuş donorlar bırakarak yarıiletkenden metale geçerler. Doğrultucu kontak oluşumu sonucunda n-tipi yarıiletken tarafındaki uzay yükleri ile metal tarafındaki yüzey yükleri arasında zıt yüklemelerinden dolayı bir dipol tabakası oluşur. Bu da kontakta, bir potansiyel engelinin oluşmasını sağlar. Yani yarıiletken tarafına bantların yukarı doğru bükülmesine neden olur. Kontaktan önceki ve sonraki durumlar için enerji band diyagramları Şekil 2.1’de görülmektedir. Metal n-tipi yarıiletken için engel yükseklikleri: Yarıiletken tarafında eVD = φ m − φ s (2.2) ve metal tarafında eφb = φ m − χ s (2.3) 17 eşitlikleriyle verilir. Burada e elektronun yükü, VD difüzyon potansiyeli, φ m metalin iş fonksiyonu, φ s yarıiletkenin iş fonksiyonu, φb diyotun engel yüksekliği ve χ s yarıiletkenin elektron ilgisidir. Yarıiletkenin elektron ilgisi ( χ s ), iletkenlik bandı ile vakum seviyesi arasındaki enerji farkına denir (Ziel,1968). Difüzyon potansiyeli yarıiletkenin iç potansiyeli olup metalin yüzeyine göre ölçülür. Potansiyel engeli metal tarafında dik olarak yükselmesine karşılık yarıiletken tarafında d genişliğine sahiptir (Şekil 2.1.b). Yarıiletken tarafındaki d kalınlığına sahip ve elektronlardan arınmış olan bölgeye uzay yükü bölgesi, arınma bölgesi veya Schottky bölgesi denir. Arınma bölgesinin elektronlardan arınmasıyla geriye kalan sabit pozitif yüklü donor atomlarına “uzay yükü” denir. Bu bölgenin metal tarafında negatif yüzey yüklerine, yarıiletken tarafında pozitif uzay yüküne sahip olduğundan bir kondansatör gibi davranır ve bir kapasiteye sahiptir. Oluşan bu kapasiteye Schottky kapasitesi veya arınma bölgesi kapasitesi denir. Bu Schottky kapasitesi, arınma tabakasının kalınlığı (d) ile ters orantılı, iyonize olan donarların konsantrasyonuna ve difüzyon potansiyeli ( VD ) değerine ile doğru orantılı olacağı açıktır (Rhoderick ve Williams, 1988). Bu kapasite p-n yapılarda jonksiyon kapasitansı olarak bilinir ve Schottky kapasitesiyle karşılaştırılamayacak kadar büyüktür, yüksek frekanslarda distorsiyona sebep olur. 18 Metal φm n-Tipi Yarıiletken φs Vakum Seviyesi χs EC Efs VD φb = φ m − χ s Efm Efm φs − χ s EV d (a) (b) Şekil 2.1. Metal/n-tipi yarıiletken doğrultucu (Schottky) kontak (a) Kontaktan önce (b) Kontaktan sonra Kontak haline getirilmiş ve dengedeki metal n-tipi yarıiletken Schottky kontakta metaldeki bazı elektronlar termal uyarılma nedeniyle yeterli enerjiye sahip olduklarından potansiyel engelini geçip metalden yarıiletkene ve bazıları ise ters yönde yani yarıiletkenden metale geçerler. Bu geçişlerde eşit ve ters yönlü I 0 akımları oluşur. Eğer yarıiletkene − V büyüklüğünde bir negatif potansiyel uygulanırsa metalden yarıiletkene giden elektronlar için engel değişmeyeceğinden bu elektronların oluşturacağı akımda da bir değişiklik olmayacaktır. Bunun yanı sıra yarıiletkenin iletkenlik bandındaki enerji seviyeleri eV kadar yükselecektir. Bundan dolayı yarıiletkenden metale geçecek elektronlar için engel yüksekliği eV kadar azalır. Buna bağlı olarak metalden yarıiletkene akan akım exp( eV / kT ) çarpanı kadar artar. Oluşan net akım ise; eV I = I 0 exp − 1 kT (2.4) 19 eşitliği ile verilir. Burada I 0 doyma akımı, V uygulanan potansiyel, k Boltzman sabiti ve T mutlak sıcaklıktır. Ara yüzey tabakası ve Schottky etkisi hariç tutulursa, metal tarafındaki engel yüksekliği uygulanan V voltajından bağımsız olduğundan sabittir. Yarıiletken tarafında ise engel yüksekliği uygulanan V voltajı ile doğru orantılı olarak değiştiğinden engel yüksekliği sabit değildir. Bu durum Şekil 2.2.a ve Şekil 2.2.b’de gösterilmektedir. Metal n-Tipi Yarıiletken VD-V φm − χ s Metal EC Efs Efm n-Tipi Yarıiletken φm − χ s VD+V Efm -V EC Efs EV +V d d (a) EV (b) Şekil 2.2. Düz ve ters beslem altındaki Metal/n-tipi yarıiletken doğrultucu kontak (a) V < 0 olması durumunda enerji band diyagramı, (b) V > 0 olması durumunda enerji band diyagramı. Metal/n-tipi yarıiletken Schottky kontaklarda yarıiletken tarafına − V (V < 0) negatif voltaj uygulanırsa kontak düz beslemde (ileri yönde kutuplama), + V (V > 0) pozitif voltaj uygulanırsa kontak ters beslemde (ters yönde kutuplama) denir. 20 2.3.Metal n-Tipi Yarıiletken Omik Kontaklar Omik kontak, metal-yarıiletken kontaklarda akım taşıyıcıların iki yönde de kolayca aktığı kontaklara denir. Yarıiletkenin iş fonksiyonu metalin iş fonksiyonundan büyük ( φ s > φ m ) ise kontağa omik kontak denir (Deneuville, 1974). Kontaktan önce yarıiletkenin Fermi seviyesi metalin Fermi seviyesinden ( φ m - φ s ) kadar aşağıdadır. Metal ve yarıiletkenin kontaktan önceki enerji-band diyagramları Şekil 2.3.a’da gösterilmiştir. Bu durumda kontak haline gelen metalden elektronlar yarıiletkenin içine doğru akarlar. Bu akış termal dengeye kadar devam etmektedir. Termal denge sağlandığında metal tarafında pozitif yüzey yükleri birikirken, yarıiletken tarafında negatif uzay yükleri birikmiş olur. Bu zıt yükler bir dipol tabakası oluştururlar. Kontak haline getirilmiş ve dengedeki metal n-tipi yarıiletken omik kontakta metalden yarıiletkene ve yarıiletkenlerden metale kolayca yük akışı olur. Metal-yarıiletken kontaktan sonraki enerji band diyagramı Şekil 2.3.b’de gösterilmiştir. Omik kontağa V voltajı uygulanırsa, potansiyel Schottky kontakta olduğu gibi sadece Schottky bölgesinde değil bütün yarıiletken gövde boyunca dağılacaktır. Normalde omik kontak elde edebilmek için n-tipi yarıiletkenin yüzeyine metal buharlaştırılır ve yarıiletkenle alaşım haline gelmesi için önceden optimize edilmiş veya literatürde belirtilen sıcaklıkta tavlanır. Böyle bir tavlanma neticesinde yarıiletkenin yüzeyinde bir n + tabakası oluşturulmuş olur. Bu tabaka yarıiletken gövdeye göre elektron bakımından daha zengindir (Sze, 1981). 21 Metal Efm n-Tipi Yarıiletken Vakum Seviyesi EC φm φs φ s − χ s Efs Efm χs χ s − φm φ s − φm EC Efs EV EV (a) (b) Şekil 2.3. Metal/n-tipi yarıiletken omik kontak (a) Kontaktan önce (b) Kontaktan sonra . Metal/n-tipi yarıiletken omik kontakların yarıiletken tarafına negatif ve pozitif gerilim uygulanması durumunda enerji-band diyagramı Şekil 2.4.a ve b’de gösterilmiştir. EC Efm EV EC EV (a) (b) Şekil 2.4. Düz ve ters beslem altındaki Metal/n-tipi yarıiletken omik kontak (a) (V < 0) olması durumunda enerji band diyagramı (b) (V > 0) olması durumunda enerji band diyagramı. 22 2.4. Metal (Omik)-n-Tipi Yarıiletken–Metal (Schottky) Yapısı n–tipi yarıiletkenin bir yüzeyinin omik kontak olması için elektron bakımınca zengin (n + ) bir bölge, diğer yüzeyinin ise Schottky kontak olması için bir metal (M) buharlaştırılarak metal n-tipi yarıiletken Schottky diyodu elde edilmiş olur. Bu yapı n + nM ile gösterilir. Termal denge durumunda ki enerji-band diyagramı Şekil 2.5.’de verilmiştir. Yarıiletken Metal Metal Vd φb EF d Schottky Kontak Omik Kontak Şekil 2.5. Termal dengede n-tipi Schottky diyodunun enerji band diyagramı n + nM karakteristik bakımdan diyot özelliği gösterdiğinden bunlara Schottky diyodlar denir. Bu yapıyı düz beslemek için omik kontak tarafı negatif (V < 0) , voltaj ters beslemek için omik tarafı pozitif bir voltaj (V > 0) uygulanmalıdır. 23 2.5.Schottky Diyotlarında Termoiyonik Emisyonla Akım İletimi Termoiyonik emisyon; sıcak bir yüzeyden termal enerji nedeniyle taşıyıcıların salınması olayına denir. Termoiyonik emisyon teorisi metal yarıiletken Schottky diyotlarında taşıyıcıların kazanacağı termal enerji nedeniyle potansiyel engeli aşarak yarıiletkenden metale veya metalden yarıiletkene geçmesi sırasındaki akım olaylarını izaha çalışmaktadır. Metal n-tipi yarıiletken yapılarda bu olay elektronlar, metal p-tipi yarıiletken yapılarda ise holler tarafından yani Schottky diyotlarında akım çoğunluk taşıyıcıları tarafından sağlanır. Termoiyonik emisyon, doğrultucu kontağın potansiyel engelinin kT enerjisinden büyük ve Schottky bölgesindeki taşıyıcı çarpışmalarının da çok küçük olduğu kabul eder (Ziel, 1968; Rhoderick and Williams, 1988). Termoiyonik emisyon teorisine göre net akım yoğunluğu ifadesi; eV J = J 0 exp − 1 kT (2.5) eşitliği ile verilir (Rchoderick ve Williams, 1988). Burada J 0 doyma akım yoğunluğu, V uygulanan voltaj, k Boltzman sabiti, T Mutlak sıcaklıkdır. J 0 doyma akım yoğunluğu ise eφ J 0 = A∗T 2 exp − b kT (2.6) şeklindedir. Burada A∗ Richardson sabiti, eφb yarıiletkenin iletkenlik bandının alt sınırı sıfır alındığında metal tarafındaki potansiyel engel yüksekliğidir. Richardson sabiti ve potansiyel engel yüksekliği ise A∗ = 4πmn∗ k 2 e h3 eφb = eVD + E F eşitlikleri ile verilir. (2.7) (2.8) 24 2.6. Missous Yöntemi ile Schottky Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi 1985 yılında Missous ve Rhoderick tarafından Schottky diyot parametrelerinin hesaplanmaları için düz beslem ve ters beslem I − V karakteristikleri kullanarak yeni bir hesaplama yöntemi ileri sürdü. (Missous and Rhoderick, 1985). Termoiyonik emisyon teorisinden bulunan akım yoğunluğu ifadesi diyotun A etkin alanıyla çarpılırsa, diyottan akan toplam akım, eφ I = AJ = AA∗T 2 exp − b kT eşitliğiyle verilir. Genellikle eV exp kT uygulanan − 1 potansiyel (2.9) tümüyle arınma bölgesinde düşmediğinden idealden sapmalar olacaktır. Bu sapmalar boyutsuz bir sabit olan idealite faktörü n ile ifade edilir. Bu durumda; eφ eV eV I = AJ = AA∗T 2 exp − b exp 1 − exp − nkT kT kT (2.10) eşitliği elde edilir. 2.10 eşitliği aşağıdaki formda da yazılabilir. Burada 2.10 eşitliğinin eφ AA∗T 2 exp − b çarpımı I 0 doyma akımını olarak alınırsa, kT eV eV I = I 0 exp 1 − exp − nkT kT (2.11) elde edilir. Buradan I eV I 0 exp = nkT 1 - exp − eV kT eV ifadesi bulunur. 2.12 eşitliğinin logaritması alınıp I 1 - exp − kT (2.12) − V grafiği çizildiğinde, bu grafiğin lineer kısmına fit edilen doğrunun V = 0 da düşey ekseni kestiği noktadan I 0 doyma akımı ve doğrunun eğimi belirlenir, sırasıyla engel yüksekliği ve idealite faktörü hesaplanır. 25 2.7. Norde Fonksiyonları ile Schottky Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi Metal-Yarıiletken yapıların akım iletim mekanizmaları ve diğer özellikleri önceki bölümlerde bir kısmından bahsedilen yöntemlerle irdelenmiştir. Özellikle yüksek seri dirence sahip metal-yarıiletken kontaklarda, seri direnç, idealite faktörü ve engel yüksekliği gibi fiziksel (elektronik) parametrelerin tayin edilmesi amacıyla yeni yöntemler geliştirilmiştir. Bunlardan ilki Norde tarafından n = 1 durumu için seri direnç ve engel yüksekliğini tanımlayan, F (V ) fonksiyonudur. Bu yöntem Rs ve φb ’nin sıcaklıkla değişmediği durumlarda uygulandığı için sadece bir sıcaklıkta I − V eğrisine ihtiyaç vardır (Norde, 1979). Sato ve Yasamura, Norde tarafından sunulan yöntemi geliştirerek idealite faktörünün 1’den büyük olduğu durumlarda da (1 < n < 2) hesaplanabileceğini göstermişlerdir. Bu yöntem Rs n , Rs ve φb değerinin ve φb ’nin sıcaklığı değiştiği durumlarda da uygulanabileceğinden en az iki farklı sıcaklıktaki I − V eğrisine ihtiyaç vardır. Benzer yöntem Mc Lean tarafından da belirtilmiştir (Sato and Yasamura, 1985). Termiyonik emisyon teorisine göre Schottky diyotların da düz beslem altındaki akım-gerilim ilişkisi; eφ I = AA∗T 2 exp − b kT eV0 exp kT − 1 (2.13) şeklindedir. Burada ilk çarpan I o doyma akımı V0 ise engel tabakası boyunca gerilim düşmesidir. Pratik olarak Schottky diyodları düz beslem akım-gerilim karakteristiklerinde ideal durumlardan bazı sapmalar gösterebilir (n > 1) gibi. Bundan dolayı eşitlik 2.13’deki akım ifadesi; eV eV eφ I = AA∗T 2 exp − b exp 0 1 − exp − 0 kT nkT kT (2.14) 26 şeklini alır. Burada exp − eV0 << 1 durumu göz önüne alınırsa ve Schottky diyoduna kT uygulanan V geriliminin bir kısmının seri direnç üzerine Vo = V − ΙRs şeklinde düşeceği düşünülürse eşitlik 2.14 ifadesi; eφ e(V − IRs ) I = AA∗T 2 exp − b exp kT nkT (2.15) şeklinde yeniden düzenlenebilir. Burada V dışardan uygulanan gerilimi, Rs de seri direnci göstermektedir. Termoiyonik emisyon teorisi sadece diyodun düz beslem I − V karakteristiğinin lineer bölgesinde kullanılır. Yüksek seri direnç nedeniyle lineer bölge kT e << V << IRs aralığıyla sınırlanır ve daralma gösterir. Bu durum Ln(Ι ) − V grafiğinin değerlendirilmesi daha karışık bir hal alır ve bu bölgede doyma akımı I 0 ve engel yüksekliği (φb ) değeri güvenilir olarak hesaplanamaz. Rs , φb ve n değeri hesaplamak için daha güvenilir metotlar mevcuttur. İlk olarak Norde tarafından sunulan fonksiyon aşağıdadır. F (V ) = V kT I − ln 2 e AA∗T 2 (2.16) Bu F (V ) fonksiyonu yardımıyla n = 1 için, Rs , φb ’nin hesaplanmasına çalışılmıştır. Bu yöntemle Rs , φb ’nin sıcaklıkla değişmediği durumlarda geçerli olduğundan tek bir I − V eğrisine ihtiyaç vardır. Daha sonra Sato ve Yasamura, Norde tarafından sunulan teoriye geliştirerek idealite faktörünün 1’den büyük olduğu (1 < n < 2 ) durumlarda Rs , φb ve n parametreleri hesapladılar. Eşitlik 2.13 ‘in her iki tarafının Ln ’i alınıp eşitlik 2.14’da yerine yazıldığında, IRs n−2 F (V ) = + φb V + n 2n (2.17) 27 ( elde edilir. Burada Rs = 0 ideal durumu için F (V ) − V grafiğinin eğimi n − 2 2n ) olan bir doğrudur ve F (V ) eksenini V = 0 ’da kestiği nokta φb ’yi verir. Bu arada seri direnç sıfırdan farklı ise F (V ) fonksiyonu bir minimumda geçer ve F (V ) = V kT I − ln ∗ 2 2 e AA T Rs (2.18) şeklinde verilebilir. Eşitlik 2.14’ün V ’ye göre türevi alınıp eşitlik düzenlenirse, βIRs n − 2 + βIRs ∂F (V ) 1 n − 2 = + = ∂V 2 2 n + β IRs 2(n + β IRs ) (2.19) olur. ( β = kT / e ) ve ∂F (V ) / ∂V = 0 şartında F (V ) bir minimum geçer. Minimumdan geçen akım I 0i , gerilim değeri ise V0i dir. Burada, n − 2 + β I 0i Rsi =0 2(n + β i I 0i Rsi ) (2.20a) n − 2 + β I 0i Rsi = 0 (2.20b) yazılır. Burada Rsi ve φb için sırasıyla Rsi = (2 − n) − kTi I 0i e 2−n 2−n 1 2 − n V0i kTi = F (V0i ) + − V0i − e 2n n βi n 2 φb = F (V0i ) + (2.21) (2.22) eşitlikleri çıkarılır. Burada Rsi , β i , V0i ve I 0i (i =1, 2,……….n) farklı sıcaklıklara karşılık gelen değerlerdir. K.E Bohlin ise Schottky engel diyodunun I − V ölçümünden elde edilen Rs , φb ve n değerlerinin belirlenmesini mümkün kılan iki farklı fonksiyon tanımlamıştır 28 (Bohlin, 1986). Norde fonksiyonun ilk terimi olan V V yerine terimi kullanılmıştır. 2 γ Buradaki γ idealite faktöründen büyük olmak kaydıyla (γ > n ) keyfi bir sabittir. Bu durumda Norde fonksiyonu, F (V , γ ) = V γ − 1 I ln β AA∗T 2 (2.23) şeklinde yazılır. Yine eşitlik 2.13 ’de her iki tarafın Ln’i alınırsa IR 1 1 F (V , γ ) = − V + φb + s n γ n (2.24) eşitliği elde edilir. İdeal diyotta seri direncin sıfır olduğu düşünülürse F (V , γ ) ’nın V ’ye bağlı grafiği, eğimi (n - γ ) F (V , γ ) = V γ − γ olan bir doğru olur ama seri direnç varsa bu fonksiyon, 1 V ln ∗ 2 β Rs AA T (2.25) biçiminde olur. Yüksek voltaj değerleri için bu fonksiyon; eğimi 1/ γ olan bir doğruya yaklaşır. γ değeri n ’den büyük olduğu sürece fonksiyon kesim olarak bir minimumdan geçer. F (V , γ ) fonksiyonun V ’ye göre türevini alıp minimum noktada sıfıra eşitlediğimizde, I0 = γ −n βRs (2.26) eşitliği elde edilir. Burada ki I 0 ve V0 değeri minimum noktadaki akım ve gerilim değerleridir. Sonuç olarak engel yüksekliği ve seri direnç ifadeleri 29 (γ − n) 1 1 φb = F (V0 , γ ) + − V0 − βn n γ Rs = (γ − n ) βI 0 (2.27) (2.28) şeklinde olur. 2.8. Cheung Fonksiyonları ile Schottky Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi 1986 yılında Cheung tarafından Schottky diyot parametrelerinin hesaplanmaları için düz beslem I − V karakteristikleri kullanarak farklı bir hesaplama modeli ileri sürüldü (Cheung ve Cheung, 1986). Termoiyonik emisyon teorisinden bulunan akım yoğunluğu ifadesi diyotun A etkin alanıyla çarpılırsa, diyottan geçen toplam akım boyutsuz bir sabit olan idealite faktörünün dikkate alınması durumunda akım; eφ eV eV I = AA∗T 2 exp − b exp 0 1 − exp − 0 kT nkT kT (2.29) eşitliği ile verilir. Burada eV0 >> 3kT olduğundan 2.29 eşitliğindeki exponansiyel ifade 1 yanında çok küçük olacağından ihmal edilirse eφ eV I = AA∗T 2 exp − b exp 0 kT nkT (2.30) şekline dönüşür. Burada V0 diyot bölgesinde düşen voltajdır. Bu voltajın, uygulanan voltaj ve seri dirençten dolayı (nötral bölgesinin direnci) düşen voltajların farklı olduğu göz önünde alınırsa V0 = V − IRs şeklinde yazılabileceği açıktır. Dolayısıyla akım eşitliği; eφ e(V − IRs ) I = AA∗T 2 exp − b exp kT nkT şekline dönüşür. Bu son eşitliğin algoritması alınır V çekilirse, (2.31) 30 nkT I V = + nφb + IRs ln ∗ 2 e AA T (2.32) olur. Bu son eşitliğin ln I ya göre diferansiyeli alınırsa dV nkT = + IRs d (ln I ) e eşitliği elde edilir. Bu ifadeye birinci Cheung fonksiyonu denir. Bu son ifade de (2.33) dV d (ln I ) nin I ya karşı grafiği çizilirse bu bir doğru olacaktır. Bu doğrunun eğimi ve düşey eksenini kestiği noktasından sırasıyla Rs seri direnç ve n idealite faktörü değerleri bulunur (Cheung ve Cheung, 1986). Ayrıca engeli yüksekliği φb ’yi bulmak için aşağıdaki şekilde bir H (I ) fonksiyonu olarak tanımlanmıştır. nkT I H (I ) = V − ln ∗ 2 e AA T (2.34) Eşitlik 2.32’deki V ifadesi bu son ifade de yerine yazılır ise H ( I ) = nφb + IRs (2.35) ifadesi elde edilir. Bu tanımlanan ifadeye ise ikinci Cheung fonksiyonu denir. H ( I ) ’ya karşı I grafiği çizilirse yine bir doğru verecektir. Bu doğrunun eğimi ve H ( I ) ’nin ekseninin kesim noktasından sırasıyla nötral bölge direnci olan seri direnç Rs ve eφb engel yüksekliği bulunur. 31 3.YAPAY SİNİR AĞLARI Yapay sinir ağı, biyolojik sinir ağına benzer şekilde, belirli bir performans karakteristiğine sahip bilgi işleme sistemidir. Yapay sinir ağları, sinir biyolojisinin matematik modelleri genelleştirilerek aşağıdaki temeller üzerine geliştirilmiştir (Faussett, 1994). 1. Bilgi işleme, hücre (neuron) adı verilen basit elemanlar üzerinde gerçekleşir. 2. Sinyaller, hücreler arası bağlantılar üzerinden, bir hücreden diğerine geçer. 3. Tipik bir sinir ağında, her bir bağlantı bir ağırlığa sahiptir ve bu ağırlık bağlantı üzerinden geçen sinyalin çarpanıdır. 4. Her bir hücre kendi çıkışını belirlemek için net girişlerine, genellikle doğrusal olmayan bir aktivasyon fonksiyonu uygular. Beyin veya sinir hücresi ile işlem birimi (yapay hücre) yapıları arasında çok yakın bir benzetim vardır. İşlem birimi yapısının anlaşılabilmesi açısından, biyolojik hücre üç temel bileşene ayrılmıştır: dendritler (uç), soma (çekirdek) ve akson (iletim hattı). Biyolojik sinir hücresinin yapısı Şekil 3.1'de gösterilmiştir. Dendritler diğer hücrelerden gelen sinyalleri almaktadırlar. Sinyaller, sinaps (synaps) boşluğundan kimyasal işlemler aracılığı ile geçen elektriksel dürtülerdir (puls). Soma, dendritlerden gelen sinyalleri toplamaktadır. Yeterli giriş alındığında hücre etkinleşmekte, yani akson üzerinden diğer hücrelere sinyal göndermektedir. Genellikle, herhangi bir anda hücrenin etkin olduğu ya da olmadığı varsayılırsa, gönderilen sinyaller ikili (binary) gibi davranmış olurlar. Bununla birlikte, hücrenin etkinleşme frekansı değişkendir. Bir sinyalin belirli bir hücreden gönderilmesi, hücre akson zarının her iki tarafındaki iyon yoğunluğunun farklı olmasından kaynaklanan aksiyon potansiyeli aracılığı ile gerçekleşmektedir. Buradaki iyonlar; potasyum, kalsiyum ve klorid iyonlarıdır (Yang et al. , 1997). 32 Şekil 3.1. Biyolojik nöron Yapay sinir ağlarının bir başka önemli karakteristiği ise, tıpkı biyolojik sinir sisteminde olduğu gibi, hata tolerans özelliğine sahip olmasıdır. Biyolojik sinir sistemi iki çeşit hata toleransına sahiptir. Birincisi, daha önce karşılaşılmış olan sinyallerden farklı bir sinyalle karşılaşıldığında bunun farkedilmesidir (Narendra and Mukhopadhyay, 1997) İkincisi, sinir sisteminin kendisinde meydana gelen zararın tolere edilmesidir. Örneğin; insan doğduğunda yüz milyarlarca beyin hücresine sahiptir. Zamanla hücreler öldüğünde yenisi ile değiştirilememektedir. Hücre ölümü sürekli olmasına rağmen insanın öğrenmesi devam etmektedir. Böyle durumlarda, kaybedilen hücrelerin fonksiyonunu diğer hücreler üstlenmektedir. Aynı şekilde, yapay sinir ağları da küçük zararları karşılayabilecek şekilde tasarlanabilmekte veya büyük zararlar karşısında yapay sinir ağı tekrar eğitilebilmektedir (Chen and Billings, 1992). YSA’lar, biyolojik sinir sisteminin taklit edilmesiyle, oluşturulmuş yapay sinir sistemleridir. Biyolojik sinir sistemleri ile yapay sinir sisteminin benzerlikleri Tablo 3.1’de verilmiştir. YSA’nın temel işlemci elemanının doğrusal bir yapıda olmaması, bu işlemci elemanların birleştirilmesi ile oluşturulan YSA yapısının doğrusal olmayan karmaşık problemlerin çözümünde de etkili sonuçlar üretebilmesini sağlayan bir özelliktir. 33 Tablo 3.1. Biyolojik sinir sistemi ile YSA’ların karşılaştırılması Biyolojik Sinir Sistemi Nöron Dentrit Hücre Gövdesi Aksonlar Sinapslar Yapay Sinir Sistemi İşlemci Eleman Toplama Fonksiyonu Transfer Fonksiyonu Yapay Nöron Çıkışı Ağırlıklar Eğer bir sistemin fiziksel kuralları biliniyorsa, bu kuralları kullanarak elde edilen modele “white-box” (beyaz kutu) modeli denir. Bu durumun dışında kalan modellemeye ise “black-box” (kara kutu) modelleme denir (Juditsky et. al., 1995). YSA’ların arzu edilen davranışı sergileyebilmesi için problemin yapısına göre tanımlanması gerekmektedir. Temel fikrini aldıkları biyolojik sinir sistemine paralel olarak oluşturulan YSA’ların karmaşık yapısı, bağlantıların ve ağırlık değerlerinin önceden belirlenmesini engellemektedir. Bu nedenle YSA, istenen davranışı gösterecek şekilde ilgilenilen problemden alınan eğitim örneklerini kullanarak öğrenme işlemini gerçekleştirmek zorundadır. Bu öğrenme işlemi genel olarak tamamen bağlantı ve ağırlık değerlerinin ayarlanması şeklinde gerçekleşmektedir. Böylece YSA’lar problemlere farklı çözümler sunabilen bir yapıya sahip olan ağ yapılarıdır. Bu terminolojik benzerliklerle farklı yetenekleri de kazanan çok sayıda hücrenin çeşitli şekillerde birbirlerine bağlanması ile oluşan YSA modelleri paralel dağılmış bir yapıya sahip olurlar. Bu ağ yapısının sahip olduğu bilgi, ağdaki bütün bağlantılar üzerine dağıtılmıştır. Böylece öğrenme işlemini gerçekleştirmiş olan bir YSA modeli biyolojik sinir sistemine benzer olarak herhangi bir bağlantının zarar görmesi hatta bazı bağlantı elemanlarının bozulması durumunda bile doğru bilgi üretebilecek bir yapıya sahip olur. Bu nedenle, geleneksel yöntemlere göre hatayı tolere etme yetenekleri son derece yüksektir (Bossley, 1997). Endüstriyel uygulamaların büyük çoğunluğu, doğrusal olmayan dinamik sistemlerdir. Bu nedenle, böyle sistemlerin modellenmesi fazla karmaşık olmaktadır. Bazı 34 araştırmacılar, doğrusal olmayan dinamik sistemlerin modellenmesi işleminde yapay sinir ağlarını (YSA) kullanarak iyi bir yaklaşım sağlamışlardır. Fakat yapay sinir ağının eğitilmesi ile elde edilen kara-kutu modeli sonuçlarının yorumlanması çok zor olmaktadır. Buna ek olarak, sınırlı eğitim bilgisi kullanıldığında sistem çıkışında tutarsız veya anlamsız bilgi alınmaktadır (Zhang and Morris, 1995). YSA birçok alanda kullanılmaktadır. Özellikle matematik modelleri oluşturulamayan veya matematik modelleri çok zor tanımlanabilen problemlerin çözümü için kullanılmaktadır. Giriş ve çıkış eğitim çiftleri verilen bir fonksiyonu, yapay sinir ağı öğrenebilmektedir. Öğrenme işlemi, ağ içerisindeki ağırlıkların belirlenmesiyle gerçekleşmekte ve verilen fonksiyona optimal yaklaşım sağlanmaktadır. Böylece yapay sinir ağları, sistemi öğrenmektedir. YSA teknolojisi havacılık ve uzay alanında yüksek performanslı otomatik pilot geliştirme çalışmalarında, uçuş kontrol sistemlerinde ve simülasyon cihazlarında kullanılmaktadır. YSA’lar ayrıca otomotiv sektöründe oto-rehberlik uygulamalarını geliştirmekte de kullanılmaktadırlar. Bankacılık alanında ise YSA’ları, kredi risk analizlerinde, kontrol ve döküman okuma uygulamalarında kullanılmaktadır. Savunma alanında YSA’lardan, hedef tanıma ve izleme, silah oryantasyonu, veri kodlama ve sıkıştırma, sayısal görüntü işleme gibi birçok alanda faydalanılmaktadır. Meteorolojik tahminlerde de yaygın olarak kullanılmaya başlanılan YSA’lar elektronikte bilgisayar destekli görme, ses anlama, görüntü ve işaret işleme ve filtreleme alanlarında da kullanılmaktadırlar. Ayrıca eğlence ve finans sektörünün yanı sıra sigortacılık, robotik, tıp, haberleşme ve diğer birçok alanda YSA’lardan yaygın olarak faydalanılmaktadır (Frye et al., 1992). 3.1. Yapay Sinir Ağlarının Genel Özellikleri Genel anlamda YSA’lar, biyolojik sinir sisteminin işlevi taklit edilerek insan beyninin modellenmesi için tasarlanmış sistemlerdir. Yapay sinir hücrelerinin birbirleri ile 35 çeşitli şekillerde bağlanmalarından oluşan ağ yapısı genellikle katmanlar şeklinde düzenlenir. İnsan beyninin bilgi işleme yöntemine uygun olarak YSA’lar, bir öğrenme sürecinden sonra bilgiyi toplama, hücreler arasındaki bağlantı şekilleri ve ağırlıkları ile bu bilgiyi saklama ve genelleme yapabilme yeteneğine sahip paralel dağılmış bir işlemcidir. YSA’lar, insan beyninin çalışma prensibi örnek alınarak geliştirilmeye çalışılmış ve aralarında Tablo 3.1’de de verilmekte olan yapısal benzerliklere sahip bir tekniktir. Bu benzerlikleri ile YSA’lar karmaşık problemleri çözebilme yeteneğine sahip olmaktadırlar. YSA’ların hesaplama özelliklerini, paralel dağılmış yapılarından ve öğrenme ve genelleme yapabilme özelliklerinden aldığı söylenebilir. Genelleme yapabilme özellikleri bilinen durumlardan bilinmeyen durumlar içinde çözümler sunabilme özelliği olarak tanımlanabilir. YSA’ları doğrusal olmayan yapıları, öğrenme ve genelleme yapabilme kabiliyetleri, hataya karşı toleranslı davranabilme yetenekleri, paralel işlem yapabilmelerinden kaynaklanan hızlı ve doğru çözümler sunabilmeleri, donanım olarak gerçekleştirilebilmeleri, adaptasyon kabiliyetleri ve piyasada hazır birçok yazılım bulunması nedeniyle çok farklı mühendislik alanında başarıyla uygulanmaktadır (Faussett, 1994). YSA’ların en küçük bilgi işleme elemanı olan yapay nöron, Şekil 3.2’de verilmektedir. Şekilden de görülebileceği gibi bir yapay nöron, girişler, ağırlıklar, birleştirme fonksiyonu, transfer fonksiyonu ve çıkış bileşenlerinden oluşmaktadır. Girişler, diğer sinir hücrelerinden yada dış bağlantılar üzerindeki ağırlıklardan hücreye giren verilerdir. Birleştirme fonksiyonu, yapay nörona gelen net girişin, girişlerin ilgili ağırlıklarla çarpılarak toplanmasıdır. Birleştirme fonksiyonu ile elde edilen net girişin bir işlemden geçirilerek nöron çıkışını belirleyen ve genellikle doğrusal olmayan fonksiyon ise transfer fonksiyonu olarak bilinmektedir (Rauf, 1992). 36 Girişler … p2 θi Ağırlıklar W11 W12 Transfer Fonk. ∑ y=Σp w i y f Çıkış=f(y) ij … p1 Bias Wij pi Şekil 3.2. Yapay nöron YSA modeline verilen giriş değerlerine önce toplama fonksiyonları uygulanır ve her bir nöronun çıkış değeri; y = ∑ pi wij − Bias (3.1) ile bulunur. Burada pi , i’inci girişi, wij , j’inci elemana bağlantı ağırlığını ve θ i Bias eşik değerini göstermektedir. Daha sonra bu y değerleri bir transfer fonksiyonuna uygulanır. Burada sigmoid fonksiyonu kullanıldığı kabul edilirse çıkış değeri Ç; Ç = f ( y) = 1 1 + e−y (3.2) şeklinde elde edilir. 3.2. Transfer Fonksiyonları YSA nöronları; transfer fonksiyonu adı verilen fonksiyonlar içerirler. Gradyan azaltımında kullanılan asıl fonksiyonlar transfer fonksiyonlarıdır. YSA’da en sık kullanılan transfer fonksiyonlarına ait grafikler Şekil 3.3’te gösterilmiştir. Doğrusal olmayan transfer fonksiyonlarının da kullanılması ile yapay sinir ağları daha karmaşık problemlere uygulanmaya başlanmıştır (Kosko, 1992). Transfer fonksiyonları öğrenme eğrisi olarak da 37 adlandırılmaktadır. Tablo 3.2’de YSA’da en çok kullanılmakta olan transfer fonksiyonlarının matematik ifadeleri verilmiştir. Logaritmik Sigmoid Doğrusal Hiperbolik Sigmoid Keskin Sınırlayıcı Şekil 3.3. YSA’larda en çok kullanılmakta olan transfer fonksiyonları Tablo 3.2. Bazı transfer fonksiyonlarının matematik ifadeleri Fonksiyon tipi Matematik İfadesi Doğrusal X Logaritmik-Sigmoid 1 1 + e −x RBF–Cauchy (1 + X )−1 RBF–Ters Multiquadratik RBF–Gaussian (1 + X )0.5 Hiperbolik Tanjant Keskin Sınırlayıcı − x2 2 eβ 1 − e −2 x 1 + e −2 x 1 0 x ≥ x0 ( di g er Transfer fonksiyonları türevleri tanımlanabilir, sürekli fonksiyonlar olmalıdırlar. 38 3.3. YSA’ların Özellikleri YSA’ların en önemli özellikleri; öğrenme, genelleme yapabilme, doğrusal olmama, gürültüyü yayabildiklerinden gürültüye karşı tolerans, paralel işlem yapabilme, donanım olarak gerçekleştirilebilme ve uyarlanabilirliliktir (Lee and Mathews, 1994). 3.3.1 Doğrusal Olmama YSA’nın temel işlem elemanı olan nöron doğrusal olmak zorunda değildir. Bu durumda, hücrelerin birleşmesinden meydana gelen YSA’da doğrusal olmayacaktır. Bu yüzden, YSA doğrusal olmayan karmaşık problemlere kolayca çözüm getirebilmektedir. 3.3.2 Öğrenme Bir sistemin girişi ve çıkışı arasındaki ilişkiyi en iyi tanımlayacak olan YSA ağırlıklarının bulunması işlemine öğrenme denir. Bu işlemde YSA yapısı üzerindeki ağırlıkların bir öğrenme algoritması kullanılmasıyla, istenilen bağıntıyı öğrenmesi sağlanır. Bu nedenle YSA, istenen davranışı gösterecek şekilde ilişkilendirmek istenen sistemin uygun örnek giriş ve çıkışlarından faydalanılarak gerçekleştirilir. 3.3.3 Genelleme Yapabilme YSA’lar bir problemi öğrendikten sonra eğitimde kullanılmayan test verileri içinde beklenen veya istenilen tepkiyi üretme kabiliyetine sahiptir. Nöral hesaplamada hafızalar birleşiktir. Yani eğitilmiş ağa giriş örneğinin bir kısmı verilse bile, ağ hafızadan bu girişe en yakınını seçerek uygun çıkış değeri üretir. YSA’ya bozuk veya eksik bir bilgi 39 verilse bile ağ kabul edilebilir en uygun çıkışı verecektir. Burada temel özellik az veriyle sistem davranışının veya ilişkisinin öğrenilmesidir. 3.3.4 Uyarlanabilirlik YSA’nın ağırlıkları, problemden probleme değişmektedir. Yani bir problemde iyi çıkışlar veren ağırlıklar diğer bir problem için iyi çıkışlar vermeyebilir. YSA’lar problemlerdeki değişmelere göre farklı şekilde eğitilebilirler. Bu özellik YSA’lar ile hedef tanıma ve izleme, uyarlamalı örnek tanıma, sınıflandırma, görüntü ve sinyal işleme, otomatik sistem kimliklendirme ve kontrol gibi alanlarda kullanım kolaylığı sağlamaktadır. 3.3.5 Donanım Olarak Gerçekleştirilebilme YSA’lar paralel işlem yapabilme yetenekleri nedeni ile büyük ölçekli entegre devre (VLSI-Very Large Scale Integration) teknolojisiyle tarafından desteklenmektedirler. Bu özellikleri ile de YSA’lar en ileri düzeydeki veri işleme teknolojileri arasındadır. Bu nedenle hızlı işlem yapabilme kabiliyetine sahiptirler. 3.3.6 Hataya Karşı Duyarlılık YSA çok sayıda işlemci elemandan oluşmuştur. Bu elemanlar arası bağlantılar paralel dağıtılmış bir yapıya sahiptir. Ağın sahip olduğu bilgi, ağdaki bütün bağlantılara dağıtılmıştır. Giriş veri setinde bulunabilecek herhangi bir gürültü, bütün ağırlıklar üzerine dağıtıldığından dolayı, gürültü etkisi tolere edilebilir. Geleneksel yöntemlere göre hatayı tolere etme yetenekleri daha fazladır. 40 3.3.7 Veri İşleme Biyolojik sistemlerde veri dağınık yapıda saklanır. Yapay sinir ağlarında ise veriler ağırlıklar üzerine dağıtılmıştır. Ağırlıklar herhangi bir anda YSA'nın problemiyle ilgili olarak sahip bulunduğu bilgiyi ifade eder. Yapay sinir ağlarında veri ağırlıklar üzerine paralel olarak dağıtılmış şekilde temsil edilmekte, korunmakta ve işlenmektedir. YSA'larda dağıtılmış birleşik hafıza yapısı kullanılır (Lee and Mathews, 1994). 3.4. YSA’ların Sınıflandırılması YSA’lar işlemci eleman olarak adlandırılan nöronlardan ve ağ bağlantılarından oluşmaktadırlar. Bu nedenle ağ bağlantı şekillerine, öğrenme kuralları ve transfer fonksiyonlarına göre belirlenen bu YSA modellerini yapılarına ve öğrenme algoritmalarına bağlı olarak sınıflandırmak mümkündür. 3.4.1 YSA’ların Ağ Yapılarına Göre Sınıflandırılması YSA’lar mimari yapılarına göre ileri beslemeli (feed-forward) ve geri beslemeli (feed-back) ağlar olarak ikiye ayrılabilir (Nauck et al., 1992). Bu yapılar aşağıdaki kısımlarda açıklanmıştır. 3.4.1.1 İleri Beslemeli Ağ Yapısı İleri beslemeli bir ağda işlemci elemanlar katmanlar üzerinde bulunur. Giriş katmanı, dış ortamdan aldığı bilgileri hiçbir değişiklik yapmadan ara katmandaki işlemci elemanlara iletir. Bilgi, ara katman veya katmanlarla çıkış katmanında işlenerek ağ çıkışına iletilir. Girişler tek yönlü olarak çıkışa doğru iletilirken, her bir katman çıkışı diğer katmana giriş olarak uygulanmaktadır. Herhangi bir andaki çıkış değeri, sadece o andaki 41 girişin fonksiyonu şeklinde ortaya çıkmaktadır. Böylece bu ağ yapısı, statik yapılı bir hafızaya sahip olur. İleri beslemeli ağlar doğrusal olmayan yapıya sahip olup çok katmanlı perseptronlar (ÇKP), LVQ (Learning Vector Quantization-Nicemleme Öğrenme Vektörü) ağ yapıları bunlara örnek olabilir. ÇKP yapısının eğitilmesinde en çok kullanılan öğrenme algoritması geri yayılım algoritmasıdır. İleri beslemeli YSA yapısı Şekil 3.4’te verilmiştir. Şekil 3.4. İleri beslemeli YSA yapısı 3.4.1.2 Geri Beslemeli Ağ Yapısı Geri beslemeli bir sinir ağı, en az bir işlemci eleman çıkışının kendisine veya diğer işlemci elemanlara bir gecikme elemanı üzerinden giriş olarak uygulanması ile elde edilen ağ yapısıdır. Geri besleme, bir katmandaki işlemciler arasında olduğu gibi katmanlar arasındaki işlemciler arasında da gerçekleştirilebilmektedir. Geri beslemeli YSA yapıları, doğrusal olmayan dinamik bir davranış gösterirler ve herhangi andaki çıkış değeri hem o andaki hem de daha önceki giriş değerlerine sahiptirler. Dinamik yapılarından dolayı geri beslemeli YSA’lar tahmin uygulamalarında başarılı bir şekilde kullanılmaktadırlar. Şekil 3.5’te geri beslemeli bir YSA yapısı verilmiştir. 42 Şekil 3.5. Geri beslemeli YSA yapısı 3.4.2 Yapay Sinir Ağı Yapıları Literatürde çok sayıda YSA ağ yapısı bulunmaktadır. Bunlara, ÇKP’ler, LVQ’lar, Elman ve Jordan Ağları, Radyal Tabanlı Yapay Sinir Ağı (RTYSA) yapıları örnek olarak verilebilir. Bu ağlardan en çok kullanılan ÇKP alt bölümde anlatılmıştır. 3.4.2.1 Çok Katmanlı Perseptron YSA Yapısı Çok katmanlı bir perseptron sinir ağı modeli, Şekil 3.6’da gösterilmiştir. Bu ağ modeli özellikle mühendislik uygulamalarında en çok kullanılan sinir ağı modeli olmuştur. Bu modelin yaygın kullanılmasının sebebi, bir çok öğrenme algoritmasının bu ağın eğitiminde kolaylıkla kullanılabilmesidir. Bir ÇKP modeli, bir giriş, bir veya daha fazla ara kat ve birde çıkış katından oluşur. Bir katmandaki bütün işlem elemanları bir üst katmandaki bütün işlem elemanlarına bağlıdır. Bilgi akışı ileri doğru olup geri besleme yoktur. Bu yüzden bu ağ yapısı ileri beslemeli sinir ağı modeli olarak adlandırılır. Giriş katmanında herhangi bir bilgi işleme yapılmaz. Ara katman sayısı ve ara katmanlardaki işlem elemanı sayısı genellikle deneme yanılma yoluyla bulunur. Çıkış katmanındaki eleman sayısı yine uygulanan probleme bağlı olarak belirlenebilir. ÇKP ağlarında, ağa bir örnek gösterilir ve örnek neticesinde nasıl bir sonuç türeteceği de bildirilir. Örnekler giriş katmanına uygulanır, ara katmanlarda işlenir ve arzu edilen çıkış arasındaki hata tekrar geri doğru ağırlıklar üzerine yayılarak hata minimuma düşünceye kadar ağırlıklar değiştirilir. 43 ÇKP ağı ileri beslemeli ağ olup, en genel sonuç çıkış katmanından elde edilir. Kullanılan eğitme algoritmasına göre ağın çıkışı ile giriş ve çıkış uzayı arasında statik haritalama yaparlar, bir andaki çıkış sadece o andaki girişin bir fonksiyonu olabilir (Demuth et al.,1999). Şekil 3.6. Genel bir ÇKP Yapısı 3.4.3 YSA’ların Öğrenme Algoritmalarına Göre Sınıflandırılması Öğrenme; gözlem ve eğitim sonucu oluşan hareketin doğal yapıda meydana getirdiği davranış değişikliği olarak tanımlanabilir. Bu tanıma göre, YSA’larında öğrenme yani gözlem ve eğitim sonucu oluşan davranış değişiklikleri, bir takım metot ve kurallar yardımıyla ağırlıkların değiştirilmesiyle sağlanabilir. Öğrenme sırasında, ağın uyarılması sonucunda ağırlıklarında uyarılması ve ağın problemi çözmeye yönelik yeni tepkiler vermesi gerekir. Literatürde, YSA yapılarına göre farklılık gösteren ve aşağıdaki bölümlerde kısaca anlatılan çok sayıda öğrenme algoritması mevcuttur. Bunlardan bazıları şunlardır: 44 1) Momentumlu Geri Yayılım (BPM-Back Propagation Momentum) 2) Esnek Geri Yayılım (BPR-Back Resillient Propagation) 3) Eşleştirmeli Gradyan Azaltma Geri Yayılım (CG-Conjugate Gradien) 4) Quasi-Newton (QN) 5) Delta-Bar-Delta (DBD) 6) Genişletilmiş Delta-Bar-Delta (EDBD-Extended Delta-Bar-Delta) 7) Levenberg Marquardt (LM) 8) Bayesian Düzenlileştirme (BD) Öğrenme Algoritması Bu algoritmaların dışında daha pek çok öğrenme algoritması vardır. Çalışmamızda ANFIS kullanıldığından Dereceli Azaltılmış Geri Yayılım (BPGD- Back Propagation Gradient Descent) öğrenme algoritması anlatılacaktır. 3.4.3.1 Dereceli Azaltılmış Geri Yayılım (BPGD- Back Propagation Gradient Descent) Bir çok uygulamada yaygın bir şekilde kullanılmakta olan bir öğrenme algoritmasıdır. Anlaşılması ve matematik olarak kolayca ispatlanabilir olmasından dolayı tercih edilmektedir. Geri yayılım algoritması, YSA’lar açısından en önemli tarihsel gelişmelerden biridir. Geri yayılım algoritması veya bir başka adıyla Genelleştirilmiş Delta Algoritması uygulamada en çok kullanılan öğretme algoritmasıdır. Hata, ağdaki ağırlıkların bir fonksiyonu olarak görülür ve hataların kareleri ortalaması delta kuralında olduğu gibi dereceli azaltma (gradient descent) yöntemi kullanılarak, minimize edilmeye çalışılır. Bu algoritma, hataları çıkıştan girişe geriye doğru azaltmaya çalışmasından dolayı geri yayılım ismini almıştır. Geri yayılım algoritması, ÇKP’ları eğitmede en çok kullanılan temel bir öğrenme algoritmasıdır. Bu algoritmayla, i ve j katman nöronları arasındaki ağırlık ifadesi olan ∆wji(k) değişikliği hesaplanır. Bu ifade, 45 (3.3) ∆w ji (k ) = ηδ j xi olarak verilir. Bu eşitlik η öğrenme katsayısı, δ j ara veya çıkış katmanındaki herhangi bir j nöronuna ait bir faktördür. Çıkış katmanı için bu faktör aşağıdaki şekilde verilir. δj = ∂f y kj − y j ∂net j ( ) (3.4) Burada net j ≡ Σxi w ji ve y kj ise j nöronunun hedef çıkışıdır. Ara katmanlardaki nöronlar için bu faktör, ∂f δj = ∂net j Σwqj δ q (3.5) olarak verilir. Ara katmanlardaki nöronlar için herhangi bir hedef çıkış olmadığından eşitlik 3.4 yerine eşitlik 3.5 kullanılır. Bu duruma bağlı olarak, çıkış katmanından başlayarak δ j faktörü, bütün katmanlardaki nöronlar için hesaplanır. Tüm ağırlıklar eşitlik 3.3’e bağlı olarak güncelleştirilir. 3.5 ANFIS Ağında Kullanılan Hibrid Öğrenme Algoritması Kimliklendirmede kullanılan ANFIS ağına ait parametrelerin güncellenmesinde, iki aşamalı bir ögrenme algoritması olan, hibrid ögrenme algoritması kullanılmıştır. Hibrid ögrenme algoritmasında, ANFIS ağ yapısına ait parametreler, giriş ve çıkış parametreleri olarak iki kısımda ele alınır. Toplam parametre kümesi; S = S1 + S2 şeklinde ifade edilecek olursa, S1 giriş parametrelerine, S2 de çıkış parametrelerine karşılık gelir. Hibrid algoritmanın ilk aşaması yada ileri yön geçişi ile ANFIS ağına ait giriş parametreleri, ikinci aşamada yada geri yön geçişinde ise ağın sonuç parametreleri güncellenir. Hibrid ögrenme algoritmasının ileri yön geçişini oluşturan ve en küçük kareler tahmini (LSE) yöntemi kullanılmak suretiyle gerçekleştirilen kısmında, ağın girişindeki üyelik fonksiyonlarına ait 46 parametreler yada kısaca S1 ile belirtilen giriş parametreleri sabit tutulur. Böylece ağın çıkışı, S2 parametre kümesi içinde bulunan çıkış parametrelerinin, lineer bir kombinasyonu haline gelir. Modellenecek sisteme ait P tane giriş-çıkış verisi yada egitim datası ile S1 giriş parametrelerinin verilen degerleri kullanılarak, ağın çıkışı, matrisel formda, (3.6) Aθ = B şeklinde ifade edilebilir. Matrisel eşitlikte yer alan θ vektörü, S2 çıkış parametrelerinin elemanlarından oluşan, bilinmeyen vektördür. Bu denklem, standart lineer en küçükkareler (least-squares) problemini gösterir ve θ için en iyi çözüm, Aθ − B 2 nın minimum degeri olan, en küçük kareler tahmini (LSE) θ ∗ dır. ( θ ∗ = AT A ) −1 AT B (3.7) ( Burada AT , A matrisinin transpozu ise ve eğer AT A singuler değilse, AT A ) −1 AT , A ’nın sahte inversidir. Bunun yerine, yinelemeli olarak (LSE) formülü de kullanılabilir. Özel olarak eşitlik 3.6’daki A matrisinin i . Satırı aiT ile B matrisinin i . elemanı biT ile gösterilsin. Bu taktirde θ vektörü, iteratif olarak aşağıdaki gibi hesaplanabilir. ( θ i +1 = θ i + S i +1ai +1 biT+1 − aiT+1θ i S i +1 = S i − S i ai +1aiT+1 1 + aiT+1 S i ai +1 ) , i = 0,1,..., P − 1 (3.8) (3.9) Burada en küçük kareler tahmini θ ∗ , θ p ’ye eşittir. 3.8 eşitliğinde ihtiyaç duyulan başlangıç şartları şunlardır; θ 0 = 0 ve S 0 = γI . Burada γ , pozitif büyük bir sayı, I ise MxM boyutunda birim matristir. Hibrid öğrenme algoritmasının geri yön geçişinde, S2 çıkış parametreleri sabit tutulur ve ağın çıkışındaki hata sinyali geriye dogru yayılarak, eğim düşümü (gradient 47 descent) yöntemiyle giriş parametreleri güncellenir. Geri yön geçişinde giriş parametreleri için güncelleme formülü aşagıdaki gibidir; ∆α = −η ∂E ∂α (3.10) Burada α herhangi bir giriş parametresini, η öğrenme oranını, E ise ağın çıkışındaki hata değerini göstermektedir Geri yayılımlı algoritmasında ağın çıkışından elde edilen hata değeri giriş katmanına kadar geriye doğru yansıtılarak gerekli ağırlık değişkenlerinin ayarlanması gerçekleştirilir. Amaç E hata ölçütünü öğrenme işlemi sonunda bütün giriş örnekleri için sıfıra götürmektir. Ağın çıkışında hata, istenen değer d ile gerçek çıkış f arasındaki farktır ve eşitlik 3.11’deki şekilde ifade edilir, e=d− f (3.11) Bu hata değerine en küçük kareler yöntemi uygulanarak hata ölçütü E aşağıda verildiği gibi hesaplanır. E= 1 2 e 2 (3.12) Hata ölçütü kullanılarak hata geriye doğru katmanlara yansıtılır. 3.6. Sistem Modellemede Yapay Sinir Ağlarının Kullanımı Adaptif modelleme düşük donanım maliyeti, yakınsak olması, hata analizinin yapılabilmesi gibi özelliklerinden dolayı en fazla kullanılan yöntemlerdendir. Fakat doğrusal olmayan özelliklere sahip ortamlarda ve zamanla değişen doğrusal sistemlerde, bu tür yöntemlerin performansları oldukça düşmektedir. Yapay zeka tekniklerinden olan 48 yapay sinir ağları evrensel yaklaşım (universal approximation) yeteneği, bu ihtiyaca cevap verebilecek niteliktedir. Ayrıca sistem modellemede, model yapısının bilinmesine ihtiyaç yoktur. YSA’nın öğrenme özelliğini kullanarak girişlere karşılık çıkışlar verilir ve bunun YSA tarafından öğrenilmesiyle sistem modellenir. YSA ile sistem modelleme farklı birçok alana uygulanmıştır (Abıyev, 2003). YSA'lar insan beyninin çalışma prensibi örnek alınarak geliştirilmeye çalışılmıştır. Yapısal olarak benzerlikler gösterirler. YSA'larının öğrenme özelliği araştırmacıların dikkatini çeken en önemli özelliklerinden biridir. Çünkü bir olay hakkında giriş ve çıkışlar arasındaki ilişkiyi, doğrusal olsun veya olmasın, elde bulunan mevcut örneklerden öğrenerek daha önce hiç görülmemiş olayları, önceki örneklerden çağrışım yaparak ilgili olaya çözümler üretebilme özelliği, YSA'larındaki zeki davranışın temelidir (Giannakis and Mendel, 1989). Yapısı ve öğrenme yöntemleri dikkate alındığında sinir ağları ile adaptif sistemler arasında birçok ortak nokta vardır. Her iki yapıda da temel olarak adaptif doğrusal birleştirme özelliği yer alır. Bu ortak noktalarının ve genel bir öğrenme yeteneğinin olması sinir ağlarının işaret işleme ve modellemede başarılı bir şekilde kullanılmasını sağlamıştır. 49 4.BULANIK SİNİR AĞI 4.1. Bulanık Mantık Gerçek hayat karmaşıktır; yaşamdaki karmaşıklık genellikle belirsizliğin formunda olan kesinsizlikten ortaya çıkar. Karmaşık ve belirsiz özellikli problemler, insanların düşünebildiğinden beri, insanlar tarafından bilinçsizce çözülmektedir. Dr. Zadeh’in birbirine uymayan önerilerinin prensibine göre, karmaşıklık ve belirsizlik ilişkisini, “Bir kişi gerçek yaşamdaki bir problemi ne kadar yakından incelerse, problemin çözümü o kadar bulanıklaşır” şeklinde belirtmiştir (Zadeh, 1962). Klasik mantığın birçok alanda yetersiz hale gelmesi, insan zekasının işleyişine uygun olmaması sonucu bulanık mantık kavramı popüler hale gelmiştir. Bulanık mantık üyelik derecelerini temel almış, ikili mantığın aksine çok değerli, matematik bir disiplindir. Bulanık mantık, yanlış veya doğru olma durumlarından çok, doğru olma durumunun olasılıklarına dayanır. Ayrıca, bulanık mantık uygulaması, matematik modele ihtiyaç duymamaktadır (Ross, 1995) 4.1.1 Bulanık Mantık Gelişim Süreci Bulanık mantık, 1965 yılında Lütfi Zadeh’in California Berkeley Üniversitesi’nde “Bulanık Kümeler” adlı makalesini “Information and Control” adlı dergide yayınlamasıyla başlamıştır. Bu çalışma basılmasından iki yıl önce yazılmasına rağmen radikal fikirlerinden dolayı hiçbir teknik dergi yayınlamayı kabul etmemiştir. Zadeh daha sonraları bulanık mantık ve düşünüşün temelini oluşturan Bulanık Algoritması’nı ileri sürmüştür. 1972 yılında Michio Sugeno bulanık ölçüm ve integral kavramlarıyla bulanık konusuna yeni bakış açıları getirmiştir. 1974 yılında, Ebraham Mamdani bulanık mantığı ilk kez bir buhar makinesinin kontrol aşamasında kullanmıştır 50 Bulanık mantık kuramının ilk önemli endüstriyel uygulaması, 1980 yılında Danimarka’daki bir çimento fabrikasında gerçekleştirilmiştir. Değirmen içinde çok hassas bir denge ile oranlanması gereken sıcaklık ve oksijen ayarı en uygun biçimde ayarlanmıştır (Eksin andErol, 2000) . 1980 yılında F.H. Smidth Japon Fuji Elektrik firmasında su arıtma sistemlerinin kontrolünde bulanık mantığı kullanmıştır. Sonrasında bir Japon firması olan Hitachi (1987) otomatik tren bulanık kontrol sistemini geliştirmiştir. Bunlar 1990’lı yılların ilk yarısında Japonya’da yayılacak olan bulanık mantığın ilk öncüleri sayılmıştır (Taneva and Georgieva, 2003) . 4.1.2. Klasik ve Bulanık Mantık Arasındaki Fark Karmaşık sistemler bulanık mantık teknikleri ile, “0” ve “1” değerlerinden oluşan ikili mantıktan daha iyi açıklanabilir. Klasik mantık kavramında herhangi bir nesne bir kümeye ya aittir, ya da değildir. Yalnızca “0” veya “1” değerlerine sahiptir. Bunun ortası söz konusu değildir. İki değerli klasik mantığın aksine bulanık mantıkta elemanlar bulanık kümeye kısmen aittir ve “0” ile “1” arasındaki değerler de kullanılmaktadır. Aşağıda Şekil 4.1’de ikili (klasik) mantık ve bulanık mantık farkı şematik olarak gösterilmiştir. Görüldüğü gibi ikili mantıkta ara değer yoktur oysa bulanık mantıkta ara değerler söz konusudur. Şekil 4.1. Klasik ve Bulanık Mantık Arasındaki Farkı 51 Bulanık kümelere dayalı olan bulanık mantık genelde, insan düşüncesine özdeş işlemlerin gerçekleşmesini sağlamakla, gerçek dünyada sık sık meydana gelen belirsiz ve kesin olmayan verileri modellemede yardımcı olur. Klasik küme teorisinde kesin hatlar vardır ya doğru yada yanlış. Bulanık küme teorisi ise az, sık, orta, düşük, birçok, gibi dilbilimsel yapıları kullanarak dereceli veri modellemesi gerçekleştirmektedir. Kurallar, bulanık sistemin davranışını tanımladığından, bulanık kümeler kendi içerisinde öğrenmektedir. Bulanık küme, kesin geçişleri elimine ederek belirsizlik kavramının tanımını yeniden verir ve evrendeki bütün bireylere üyelik derecesi değerini atayarak matematik olarak tanımlar. Bulanık kümede her bir elemanın kümeye üyelik derecesini veren üyelik fonksiyonu vardır. Bulanık kümede üç tip üyelik fonksiyonu vardır; üçgen, yamuk ve parabolik üyelik derecesinin değeri sıfır ile bir arasındadır. Bulanık mantık kullanılarak modelleme yapılırken konu hakkında tecrübeye sahip bir bilirkişi bulunmalıdır. 4.1.3. Bulanık Mantık Uygulama Alanları Bulanık mantığın uygulama alanları denetim sistemlerinin de ötesine uzanmaktadır. Bulanık mantık, Fizik, Biyoloji, Mühendislik, İşletme gibi birçok alanda sürekli sistemleri modellemek üzere kullanılabilmektedir. Çoğu alanda, bulanık mantıklı modellerin matematik modellerden çok daha iyi sonuçlar verdiği görülmüştür. Japonya’da bir metro sisteminde kullanılan bulanık mantık çok başarılı olmuştur. 1990’lı yıllarda bulanık mantık, fotoğraf makinesinden ev aletlerine kadar çok değişik alanlarda kullanılmıştır. Bulanık çamaşır makinesinin değişmez komutlarla çalışan “aptal” bir makineden daha temiz yıkadığı görülmüştür. Araba fren-vites sistemlerinde, hatta borsa gibi birçok farklı sektörde bulanık mantık uygulamaları mevcuttur (Jogle, 2004). 52 4.2. Bulanık Küme Teorisi Bulanık mantık doğal lisandaki belirsizliği temsil etmek için kullanılmaktadır. Belirsizliği tanımlamak amacıyla, Zadeh bulanık küme kabulünü açıklamıştır. Bulanık kümeler, nesnelerin uzunluk, kısalık, soğukluk, parlaklık v.b. gibi göreceli sıfatlarını tanımlamakta kullanılmaktadır. Klasik kümelerde bir elemanın, belirli bir kümeye olan üyeliği kesin şekilde belirlenmektedir. Eleman, kümenin ya üyesidir ya da değildir. Oysa ki, bulanık kümelerde, bir elemanın kümeye olan üyeliği aşamalıdır. Bulanık küme sınırları, klasik küme sınırları gibi kesin bir çizgi ile ayrılmamaktadır . li ≤ a 0, f (li ) = 1 (b − a ), a < l i < b 0, b ≤ li (4.1) Bu model, veriler arasındaki ilişkilerin sistemidir. Bu verilerin bazıları kesindir, bazıları rastgeledir, bazıları ise belirsizdir. Kesin veya/ve rastgele verilerin kullanıldığı modeller iyi bilinmektedir ve uzun zamandır kullanılmaktadır. Bilim adamları belirsiz veriyi buldukları zaman, Laplace kuralı veya bazen bir Bayes işlemi gibi olasılık yasalarını kullanarak, belirsizliği tesadüfiliğe dönüştürmeye çalışmışlardır. Tesadüfilik, belirsizlikten farklıdır. Örneğin, L1 ve L2 gibi rastgele iki değişkeni aynı ihtimal yasasında kullandığımızı varsayalım: L1 , L2 , a, b ∈ R; i = 1,2 durumunda ve eşitlik 4.2 ile, eşitlik 4.3 elde edilmektedir. L1 (+ ) L2 = L (4.2) 0, l < 2a ( x − 2a ) (b − a )2 , 2a ≤ l ≤ a + b f (l ) = 2 (− x − 2b ) (b − a ) , a + b ≤ l ≤ 2b 0, 2b ≤ b (4.3) 53 Böylece f (l ) üçgen yoğunluk kuralı olarak hesaplanabilir. Şimdi, eşit olan mesafesini inceleyelim: A1 = [a, b] ve A2 = [a, b] olsun. A1 (+ ) A2 = [a, b] + [a, b] = [2a,2b] (4.4) Toplamları, şeklinde verilir. Eşitlik 4.4’deki gibi kullanılan alt kümeler, kendi karakteristik fonksiyonları ile tanımlanabilir: 0, µ Ai ( xi ) = 1, 0, xi < a a ≤ xi ≤ b b ≤ xi (4.5) Burada, a, b ∈ R; i = 1,2 olmaktadır ve toplamları aşağıda verilen eşitlik 4.6 ile bulunur: µ A = µ A1 (+ )µ A 2 0, xi ≤ 2a = 1, 2a ≤ xi ≤ 2b 0, 2b ≤ x i (4.6) Böylece 2a ve 2b ve 0 arasındaki bir x değeri için, µ A ( x) = 1 (4.7) olarak hesaplanmaktadır. Bu örnek, rastgelelik ve belirsizlik arasındaki asıl farkı açıklamaktadır. İlk durumda, Laplace’dan bir hipotezi kabul edilmektedir. İkinci durumda, olasılığın bütün kuralları görülmez. Sonuçta, olası ve olası olmayan belirsizlik hakkında dikkatli olunması gerekmektedir. Bulanık küme teorisi, olası olmayan belirsizlik ile ilgilidir. Birçok durumda, modellemede, olasılık teorisinden çok bulanık küme teorisini kullanmak çok daha iyidir çünkü sonuçlar çok daha gerçekçi çıkmaktadır. Eğer bir modelde bir veri ölçülemiyorsa, bulanık küme teorisinin ürettiği değer tavsiye edilmektedir (Lin and Cunningham, 1995) . 54 Bulanık küme düşüncesi, bilgisayar sistemleri içerisine belirsizlik, kesinsizlik, bulanıklık gibi konuları gidermek amacıyla Zadeh tarafından geliştirilmiştir. Küme sınırlarındaki bulanıklık, bulanık küme teorisinde 0 ve 1 arasında değerleri alabilen bulanık küme belirsizliğidir. Bu belirsizliğin miktarı üyelik fonksiyonu ile ifade edilir. Klasik matematikte yer alan kümeler karakteristik fonksiyonlarla tanımlanır. Bulanık kümeler ise üyelik fonksiyonlarıyla tanımlıdır. Bulanık kümelerin esası, bir elemanın içinde bulunduğu kümeye ait olma veya üyelik derecesinin belirlenmesine dayanmaktadır. Zadeh, bulanık kümelerin tanımını “üyelikten üyeliğe derecelenmiş bir dizinin olduğu bir grup yada takım” olarak yapmıştır (Nauck, 1995) . A = {x x = y + 0.1; y ∈ [0 0.9]} şeklinde bir A kümesi olsun. Görüldüğü gibi A kümesi [0 1] aralığındaki sayıların oluşturduğu bir kümedir. Eğer bir sayı [0 1] aralığında ise A kümesinin elemanıdır, değilse A kümesinin elemanı değildir. Bu durum aşağıdaki şekilde ifade edilebilir: A = {(0.1 1) , (0.2 1) , (0.3 1) ,..., (1 0) , (2 0) , (3 0) , (4 0),...} A kümesinde sıralanan ikililerden ikinci rakamlar 0 veya 1 olup, eleman olup olmadığının derecesini göstermektedir. 0.1 rakamının yanında bulunan (1), 0.1 sayısının A kümesinin elemanı olduğunu belirtmektedir. 1 rakamının yanında bulunan (0), 1 sayısının bu kümenin elemanı olmadığını belirtmektedir. 4.2.1. Klasik ve Bulanık Kümeler Klasik veya belirgin kümelerde, verilen bir kümede, evrendeki bir elemanın üyelik veya üyeliği olmayan arasındaki geçişi anidir ve iyi belirlenmiştir ki, buna belirgin denir. Evrende bulanık küme içeren bir eleman için geçiş kademelidir. Çeşitli üyelik değerlerine bağlı olan bu geçiş, bulanık kümelerin sınırının muğlak ve belirsiz olması nedenine bağlanarak düşünülebilir. Böylece, evrendeki bir kümeden bir elemanın 55 belirsizliği ve bulanıklığı bir fonksiyon sayesinde ölçülür. Bulanık bir küme, böylece, bir kümede değişik üyelik derecelerine sahip elemanlar içeren kümedir. Bu düşünce klasik veya belirgin kümelerle zıttır çünkü bir klasik kümenin üyeleri kendi üyelikleri tam olmadıkça klasik kümenin üyesi değildir. Bulanık bir küme elemanları, üyeliklerinin tam olmasına ihtiyaç duymadıkları için, aynı zamanda, aynı evrende başka bulanık kümelere üye olabilmektedirler (Ross, 1995) . 4.2.2. Üyelik Fonksiyonu Kuralları sisteme girmek için ihtiyaç duyduğumuz üyelik fonksiyonu, her girişin katılımının büyüklüğünün grafik temsilidir. Üyelik fonksiyonu, gerekli her girişle ağırlığı birleştirmekte, girişler arasındaki fonksiyonel hataları belirlemektedir ve son olarak bir çıkış cevabı oluşturmaktadır. Kurallar, son çıkış kararının bulanık çıktıdaki etkisini belirlemek için, faktörleri ağırlıklandırarak, giriş üyelik değerlerini kullanır Bir üyelik fonksiyonu, 0 ile 1 arasında bir üyelik değerinde giriş uzayındaki her noktanın nasıl belirleneceğinin ayrıntısıyla planlamasını sağlamaktadır. Bulanık kümenin her elemanı, küme içerisinde bir üyelik değerine sahiptir ve bulanık A kümesinin elemanlarının değerleri Şekil 4.2’de gösterildiği gibi 0 ile 1 arasındaki sayılardan oluşur. üyelik fonksiyonu 1 A 0 X Şekil 4.2. A Kümesinin Üyelik Fonksiyonu 56 Bir bulanık küme, kendi aitlik fonksiyonu ile açık olarak temsil edilebilmektedir. Şekil 4.2.’de görüldüğü gibi, aitlik fonksiyonu 0 ile 1 arasındaki her değeri alabilir. Böyle bir aitlik fonksiyonu ile “kesinlikle ait” (1) veya “kesinlikle ait değil” (0) arasında istenilen incelikte ayarlama yapmak mümkündür (Eksin and Erol, 2000). Bir fiziksel değişkenin üyelik derecesini tanımlamak için kullanılan üyelik fonksiyonları, dilsel ifadelerden oluşan bir anlam grubudur. Bulanık küme teorisinin temelini oluşturan üyelik fonksiyonları 0 ile 1 arasında bir üyelik derecesine sahiptir. Üyelik derecesi, elemanın bulanık kümeyle temsil edilen kavrama ne derece uygun olduğu veya bulanık kümenin temsil ettiği özellikleri ne dereceye kadar taşıdığını gösterir. Üyelik fonksiyonu, biçimsel olarak denetlenen sürecin özelliklerine göre değişik şekillerde olabilir. Üyelik fonksiyonları, genellikle aşağıda Şekil 4.3.’de görülen, üçgen (triangular), yamuk (trapezoidal), gauss veya çan eğrisi (bell-shaped) biçimlerinde olmaktadır. En yaygın olarak kullanılan üyelik fonksiyonu üçgen tipidir. Çok daha karmaşık üyelik fonksiyonları kullanılabilir fakat karmaşıklık arttıkça, daha fazla hesaplama gücü gerekmektedir. mf2 mf1 1 1 0.5 0.5 0 0 0 0.5 0.5 0 1 (a) Çan Eğrisi 1 (b) Üçgen mf3 mf4 1 1 0.5 0.5 0 0 0 0.5 (c) Yamuk 1 0 0.5 (d) Gauss Şekil 4.3. Çeşitli Üyelik Fonksiyonu Biçimleri 1 57 4.2.3. Bulanık Kümelerde Temel İşlemler Klasik kümeler üzerinde tanımlanan üç temel işlem olan tümleyen alma, birleşim ve kesişim işlemlerinin bulanık kümeler üzerine genişletilmesi işlemini birden fazla yolla yapmak mümkündür. Bulanık kümeler ile, uygulama alanının getirdiği özelliklere göre yeni işlemler tanımlanabilir. U uzayından, A kümesinin elemanlarını oluşturmak için seçtiğimiz x objeleri [0,1] reel aralığında üyelik dereceleri alıyorlarsa, A kümesi bulanık bir kümedir. µ A (x) , elemanları A kümesine üyelik derecelerini göstermektedir (Ross, 1995). Dolayısıyla bulanık kümeler sıralanmış ikililerden oluşur. A = {( x, µ A ( x) x ∈ U } (4.8) Bu eşitliki Zadeh aşağıdaki şekilde ifade etmiştir. A = {µ A (x1 ) / x1 + µ A ( x2 ) / x2 + ...} = {i ∑ µ A ( xi ) / xi } { } = ∫ µ A (x ) / x (4.9) 4.2.3.1. Kapsama A ve B’nin x’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. B’nin A’yı kapsama şartı; µ A ( x) ≤ µ B ( x) x ∈ X A ⊂ B şeklinde sembolize edilir. (4.10) 58 4.2.3.2. Denklik A ve B ’nin x ’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. A’nın B’ye denk olma şartı: (4.11) µ A ( x) = µ B ( x) olup A = B şeklinde sembolize edilir. 4.2.3.3. Kesişim A ve B ’nin x ’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. A ve B bulanık kümesinin kesişimi A ∩ B şeklinde sembolize edilir. µ A∩B = min{µ A ( x), µ B ( x)} x ∈ X (4.12) = µA ∧ µB biçiminde tanımlanır. Kesişim "ve" birleştiricisine karşılık gelir. 4.2.3.4. Birleşim A ve B ’nin x ’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. A ve B bulanık kümesinin birleşimi A ∪ B şeklinde sembolize edilir. A ∪ B bulanık kümesi, A ve B ’yi kapsayan en küçük bulanık küme olarak tanımlanır. A ∪ B kümesi oluşturulurken maksimum işlemcisi (∨ ) dikkate alınır. Birleşim; µ A∪ B = max{µ A ( x), µ B ( x)} = µ A ∨ µB biçiminde tanımlanır. x∈ X (4.13) 59 4.2.3.5. Tümleyen A ve B ’nin x ’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. B ’nin A ’nın tümleyeni olması şartı: µ Ac ( x) = 1 − µ B ( x) x ∈ X (4.14) olarak ifade edilir. A bulanık kümesinin tümleyeni Ac , A şeklinde sembolize edilir ve tümleyen “değil” bağlacına karşılık gelir. 4.2.3.6. Cebirsel Toplam A ve B ’nin x ’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. A ve B ’nin cebirsel toplamları: µ A⊕ B ( x ) = µ A ( x) + µ B ( x) − µ A ( x) µ B ( x) x∈ X (4.15) olarak ifade edilip, A ⊕ B şeklinde sembolize edilir. 4.2.3.7. Cebirsel Çarpım A ve B ’nin x ’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. A ve B ’nin cebirsel çarpımları: µ AB ( x ) = µ A ( x).µ B ( x) olarak ifade edilip, AB şeklinde sembolize edilir. x∈ X (4.16) 60 4.2.3.8. Fark A ve B’nin x’lerden oluşan bulanık kümeler olduğu varsayılmıştır. A’nın B’den farkı; { } µ A∩Bc ( x) = min µ A ( x), µ Bc ( x) { } µ A∩ B c ( x) = µ A ( x) ∧ µ Bc ( x) x∈ X (4.17) x∈ X (4.18) olarak sembolize edilir ve belirtilir. 4.3. Bulanık Sistemler için Bulanık Kurallar İnsanlar kurallara dayanan kararlar oluştururlar. Örneğin oluşturduğumuz bütün kararlar EĞER-İSE durumları şeklinde bilgisayara girilmektedir. Eğer hava durumu bugün havanın kötü, yarın iyi olacağını söylüyorsa, dışarı çıkma kararını yarına erteleyebiliriz. Kurallar, bir olayın diğerleriyle ilgili olarak, fikirlerin bir araya gelmesi ile oluşmaktadır. Her zaman, insanın davranışlarını taklit etmeye çalışan bulanık makineler, aynı şekilde çalışmaktadırlar. Bununla beraber, karar ve kararı seçen anlamlar bulanık kümeler ile yer değiştirmektedir. A ve B, x ve y’nin kümeleri olmak koşulu ile, “EĞER x A İSE y B” dir ve bulanık kurala örnek olarak gösterilebilmektedir (Taneva and Georgieva, 2003) . Bulanık kurallar, bulanık mantıktaki anahtar fikir olan bulanık parçaları tanımlamaktadır. Eğer parçalar geniş ise, kurallar dikkatsizce yapılmış demektir. Eğer bulanık parçalar küçük ise, kurallar iyidir. Bulanık sistemdeki bu basitleştirme, tüm kuralların parçalar halinde görülmesidir ve bulanık makinenin çıkışı bu parçalarla birlikte birleşebilmektedir (Lin and Lu, 1995). Bulanık bir kural, bulanık bir deyim ve teklifden oluşmaktadır. Bulanık kural formu: “EĞER bulanık deyim İSE bulanık teklif” şeklindedir. Bulanık bir teklif, X 61 uzayında bulanık bir küme olan A için “x, A’dır.” genel şeklinin “yükseklik uzundur.” gibi verilen bazı dilsel değişkenler için bir değer öne süren bir durumdur. Bulanık bir deyim, bulanık teklifin cebirsel ikili ifadesidir. Bulanık Uzman Sistemler’de kural formu aşağıdaki gibidir: EĞER x iyi ve y zayıf İSE z orta’dır. Burada x ve y değişkenleri giriş değerleridir ve z, çıkış değişkenidir. Bu giriş ve çıkış değişkenlerine sistemimizde istediğimiz isimleri atayabiliriz. Zayıf, orta ve iyi; sırasıyla y, x ve z için tanımlanmış üyelik fonksiyonlarıdır. Kural iki kısımdan oluşmaktadır; EĞER ve İSE. İkinci kısım, İSE’den sonra şartlı çıkış değeri tanımlanmıştır, bu, kural sonucunu bildirmektedir. Tipik bir bulanık uzman sistem birden fazla kuraldan oluşmaktadır. Kuralların oluşturduğu yapı, kural tabanı veya bilgi tabanıdır. İstenen her kural ağırlıklarına göre sıralanarak sistem kural tabanına yerleştirilebilir yani her kural için farklı ağırlıklar, öncelikler tanımlanabilmektedir. Günlük konuşmalarımızda kullanılan kelimelerin tanımında yatan belirsizlik, vurguların sayısal olmaması belli esneklikler sağlar. Bulanık mantık kuralların eksik veya “Bulanık” olarak tanımlandığı durumlarda kullanılan bir akıl yürütme yöntemidir ve etkin olarak kullanılabilmesinin en önemli sebebi ise dilsel belirsizlikten kaynaklanan durum ve olayların esnek kurallar ile temsil edilebilmesinden kaynaklanır. Temel iletişim aracımız olan dil kesin olmaktan çok uzaktır. Kullandığımız sıfatlar algılamayı daha yalın hale getirmeyi sağlarken, sınıflandırma yapma ifadeleri anlaşılır kılmayı sağlar. Burada sözü edilen sınıflandırma türlerinin kesin sınırları yoktur. Bu sınıflandırmalar genellikle belli bir aralık ve hassasiyet ile bağlantılıdır. O halde yaşadığımız dünyayı üyelik dereceleri ile sınıflandırma doğal düşünce tarzıdır. Genelde, bir dilsel değişkenin değeri birbirine bağlı anatomik terimlerden oluşan birleşik bir terimdir. Bu terimler dört gruba ayrılabilir (Lin and Cunningham, 1995). 62 1. Birincil Terimler: Bu terimler tanım uzayının bulanık alt kümelerini tanımlayan etiketlerdir. Yani “sıcak”, “soğuk”, “zor”, “düşük” v.b., 2. Olumsuz DEĞİL (NOT) ve bağlaçlar VE (AND) ve VEYA (OR), 3. Pekiştirmeler, yani, “çok”, “daha”, “önemsiz”, hemen hemen” v.b., 4. İşaretler, yani parantezlerdir. Birleşik terimler gibi birincil terimler de olasılık etiketli “muhtemel”, “çok muhtemel”, “muhtemel olmayan” gibi dilsel terimler olabilir. Ek olarak, birincil ve birleşik terimler “doğru”, “oldukça doğru”, “çok doğru”, “yanlış”, “oldukça yanlış” ve “çok yanlış” gibi doğru nicelikli yapılarla anlamlı olarak da düzeltilebilir. Olasılıklı etiketler olasılığa dayanırlar. Kurallar gibi birincil terimler de kesinlik etiketli “tanımsız”, “bilinmeyen” ve “tanımlı” gibi dilsel değişkenlerle sınırlanabilir. Şart kuralları birleşik veya basit şekilde olabilir. Birleşik şart kuralları EĞER-İSE kurallar takımı formunda veya “değilse” veya “medikçe” gibi dilsel terimli kurallar olabilir. Dilsel değişken terimler, “sıcak” veya “soğuk” gibi kelimeler ve ifadelerle tanımlanabilen değişkenlerdir. Bir dilsel değişkenin değerleri bulanık kümeleri ile ifade edilmektedir. Örneğin oda sıcaklığı dilsel değişken için “sıcak”, “soğuk” ve “çok sıcak” ifadelerini alabilmektedir. Bu üç ifadenin her biri ayrı ayrı bulanık kümeleri ile modellenmektedir (Nauck, 1995). 4.4. Bulanık Çıkarım İşlemi Bulanık mantık kullanan bir sistemde, girişe verilen bilgiye karşılık, kural tabanı kullanılarak bulanık çıkış elde edilmektedir. Bu işlem, sistemin karar verme yetkisine sahip çıkarım birimi tarafından yapılmaktadır. Kurallar ve üyelik fonksiyonları oluşturulan bulanık uzman sistem, bu verileri bütünleştirmek, sistemden bir çıktı elde edebilmek için bulanık çıkarım mekanizmasına ihtiyaç duyar. Çıkarım mekanizması, bilgi tabanının değerlendirilmesi için kurulmuş bir uzman sistem aracıdır. Şekil 4.4’de bulanık çıkarım diyagramı verilmiştir. 63 Bulanık çıkarım, bulanık mantık kullanarak ayrıntılı olarak verilen bir girişi çıkış haline dönüştüren işlemdir. Başlıca bulanık çıkarım sistemleri, Mamdani, Sugeno ve Tsukamoto tipi bulanık çıkarımlarıdır. 1 EĞER VE İSE 2 EĞER VE İSE girdi 1 girdi 2 çıktı Şekil 4.4. Bulanık Çıkarım Diyagramı Bu çalışmada Bulanık Sinir ağı olarak Sugeno Bulanık Çıkarım Metodu kullanıldığı için, bu metod hakkında bilgi verilecektir. 4.4.1. Sugeno Bulanık Çıkarım Metodu Bulanık çıkarım sistemlerinde ilk olarak Mamdani’nin bulanık çıkarım metodu kullanılmıştır. Sugeno bulanık çıkarım metodu ise 1985 yılında verilen giriş ve çıkış kümelerinden bulanık kurallar üretmede sistematik bir yaklaşım geliştirmek için Takagi Sugeno ve Kang tarafından önerilmiştir. Bulanık çıkarım metodlarının ilk iki kısmı olan girişlerin bulanıklaştırılması ve bulanık operatörlere uygulanması tam olarak bir birinin aynısıdır. Mamdami ile Sugeno arasındaki en önemli fark Sugeno bulanık çıkarım metodunun çıkış üyelik fonksiyonunun doğrusal veya sabit olmasıdır (Nauck and Klawonn, 1996). Sugeno bulanık modelde tipik bir bulanık kural eşitlik 4.19’daki gibi 64 gösterilmektedir: Eğer x A ise ve y B ise z = f ( x, y ) (4.19) z = f ( x, y ) keskin fonksiyon iken A ve B bulanık kümelerdir. f ( x, y ) , x ve y giriş değişkenleri olan bir polinomdur. f ( x, y ) birinci dereceden bir polinom olduğunda bulanık çıkarım sisteminin sonucu birinci dereceden Sugeno Bulanık Model olarak isimlendirilir. f sabit ise sıfırıncı dereceden Sugeno Bulanık Modeldir ve Mamdani bulanık çıkarım sisteminin veya Tsukamato bulanık modelinin özel bir durumudur. Tsukamoto da kuralların sonucu, adım fonksiyonunun merkezinin üyelik fonksiyonu ile belirlenir. Her kurala ait çıkış seviyesi olan z i , kuralların ağırlık ifadesi olan wi ile ağırlıklandırılmıştır. Örneğin AND kuralı için 1. giriş= x ve 2. giriş= y iken wi aşağıdaki şekilde ifade edilmektedir: wi = AndMethod ( F1 ( x), F2 ( y )) (4.20) Burada F1, 2 () 1. giriş ve 2. giriş’e ait üyelik fonksiyonlarını ifade etmektedir. Sistemin en son çıkış ifadesi tüm kuralların çıkışlarının ağırlıklandırılmış ortalamasıdır ve aşağıdaki şekilde ifade edilmektedir (Nauck and Kruse,1994). N ∑ wi zi En son çıkış = i =1 N ∑ wi i =1 Sugeno, bulanık kuralları Şekil 4.5’deki gibi işlenmektedir. (4.21) 65 Şekil 4.5. Sugeno Bulanık Çıkarım Metodu Mamdami’ye göre daha kapsamlı olması ve işlemsel gücü açısından daha üstün olmasından dolayı Sugeno bulanık çıkarım modeli adaptif tekniklerle birlikte bulanık modellerin çözümünde büyük kullanım alanına sahiptir. Bu adaptif teknikler üyelik fonksiyonlarını amaca göre özelleştirebilmekte böylece bulanık sistemler verileri en iyi şekilde modelleyebilmektedir. 4.4.1.1 Sugeno Tipi Modelin Avantajları a) Etkili işlem gücüne sahiptir. b) Doğrusal tekniklerle çok iyi şekilde çalışmaktadır (PID kontrol). c) Optimizasyon ve adaptif tekniklerle iyi bir şekilde çalışmaktadır. d) Çıkış yüzeyinde sürekliliğe sahiptir. e) Matematik analizlerle uyumlu bir şekilde çalışabilmektedir. 4.5. Bulanık Sistem Geliştirme Aşamaları Bulanık bir Uzman Sistem geliştirme işlemi beş aşamada gerçekleşmektedir. Bunlar aşağıdaki gibi sıralanır: 66 1. Problemin ve temel dilsel değişkenlerin belirlenmesi, 2. Bulanık kümelerin oluşturulması, 3. Bulanık kuralların belirlenmesi, 4. Bulanık çıkarımı oluşturmak için, bulanık kümeler ve bulanık kuralların uzman sistem haline dönüştürülmesi, 5. Sistemin değerlendirilmesi ve düzeltilmesidir. 4.6. Bulanık Sinir Ağı (Neuro-Fuzzy) Yapay sinir ağı ve bulanık mantık tekniklerinin her ikisi de temel olarak insan beyninin çalışma mantığına dayanmaktadır. İnsan beyninin sonuç çıkarma mekanizmasını taklit ederken, YSA’lar beynin fiziksel yapısı temel alınarak oluşturulmuştur. Her iki teknik de kontrol edilecek sistemin matematik modeline ihtiyaç duymazlar, bu sayede karmaşık ve doğrusal olmayan sistemler ile doğrusal sistemleri modelleyebilirler (Dang, 2004). Bulanık sinir ağı, yapay sinir ağları ve bulanık sistemlerin sentezlenmesinden meydana gelen yapay zeka tekniklerinden birisidir. Bulanık mantığın belirsiz bilgileri işleme yeteneğinden ve yapay sinir ağının öğrenme yeteneğinden yararlanabilmek için bu iki teknoloji değişik yöntemlerle birleştirilmektedir (Jacceh, 2003) . Yapay sinir ağı giriş ve çıkış eğitim çiftleri verilen bir statik fonksiyonu öğrenebilmektedir. Öğrenme işlemi, ağ içerisindeki ağırlıkların belirlenmesiyle gerçekleşmekte ve verilen fonksiyona optimal yaklaşım sağlanmaktadır. Yapay sinir ağı bulanık sistemin parametrelerini belirlemek için kullanılmaktadır. Öğrenme aşamasından sonra bulanık sistem yapay sinir ağına ihtiyaç duymadan çalışmaktadır. Sistem eğitim yaparken yapay sinir ağını, karar verme işleminde de bulanık mantığı kullanmaktadır. Bulanık sinir ağı ile yapılan farklı bir çok uygulama literatürde mevcuttur (Marsequera, 2004). 67 Bulanık sinir ağı, bulanıklaştırma katmanı, iki saklı katman, fonksiyon katmanı ve berraklaştırma katmanı olmak üzere dört katmandan oluşmaktadır Bulanıklaştırma katmanının girişleri, bulanık çalışma bölgelerini tanımlamak için kullanılan sistem değişkenleridir. Bu katmanda üç tip işlem birimi olan aktivasyon fonksiyonları kullanılmaktadır; sigmoid, gauss ve ters sigmoid fonksiyonları Kural katmanını bulanık çıkarım gerçekleştirmektedir. Bu katmandaki işlem birimleri sigmoid fonksiyonu kullanmaktadır. Kural katmanının ilk katmanındaki işlem birimleri girişlerinin her biri bir bulanık kümeye karşılık gelmektedir. Son katmandaki her bir işlem biriminin çıkışı ise çalışma bölgelerinin üyelik fonksiyonları olmaktadır. Fonksiyon katmanındaki işlem birimleri, bulanık çalışma bölgeleri için azaltılmış dereceli modelleri gerçekleştirmektedir. Her bir işlem birimi bir çalışma bölgesine karşılık gelmektedir. İşlem birimlerinin çıkışları, ağırlıklandırılmış sistem değişkenlerinin toplamıdır. Fonksiyon katmanındaki ağırlıklar, çalışma bölgelerindeki doğrusal modellerin parametreleridir. Berraklaştırma işlem biriminin girişi, çalışma bölgeleri ve bu bölgelere ait üyelik fonksiyonlarıdır. Berraklaştırma katmanı, ağırlık yöntemi ile berraklaştırma işlemini gerçekleştirmekte ve ağ çıkışını oluşturmaktadır. Bulanık mantık kontrolü, sağduyuya dayalı kurallar kullanarak sistemleri tanımlar ve kontrol eder. Bu kurallar, “X İSE Y” – X giriş, Y çıkış – formunda kurallardır. Bulanık mantıkta matematik değişkenler yerine insanın karar verme mekanizmasını taklit edecek şekilde kelimelerle ifade edilen değişkenler kullanılır. Geleneksel mantıkta bir değişkenin gerçeklik değeri ya “1” ya da “0” olabilir. Ancak bulanık mantıkta bu değer 0 ile 1 aralığı içindeki tüm değerleri alabilir. Bu değerlere üyelik değeri adı verilir. Bir girdinin hangi üyelik değerini alacağını belirleyen eğriler, üyelik fonksiyonları olarak adlandırılır. Kullanılan matematiğin basit olması, doğrusal olmayan sistemleri modelleyebilme yeteneği, günlük dile dayalı olması, esnek olması (kesin sınırlardan oluşmaması) ve kesin olmayan bilgiye karşı toleranslı olması bulanık mantığa dayalı sistemlerin kullanımının getirdiği en önemli avantajları arasındadır. 68 YSA’lar ise beynin fizyolojik yapısı temel alınarak tasarlanan sistemler olup birbirleriyle paralel çalışan çok sayıda basit işlemciden oluşurlar. Bir sinir ağının davranış biçimini büyük oranda nöronlar arasındaki bağlantılar belirler; öğrenilen tüm bilgi bu bağlantılarda saklıdır. YSA’lar belirli bir işlevi yerine getirmek için eğitilebilirler ve bu eğitim ise bağlantıların değerlerini değiştirmekle sağlanır. YSA’ları geleneksel sistemlerden ayıran en önemli özellikleri öğrenme, genelleme yapabilme ve paralel çalışma özellikleridir. Bu özellikler yapay sinir ağlarına hız, hataya karşı tolerans ve verimlilik gibi avantajlar kazandırmaktadır. Şekil 4.6’da birçok uygulamada kullanılan ANFIS (Adaptive Neuro Fuzzy Inference System-Adaptif Bulanık Sinir Ağı Çıkarım Sistemi) yapısına ait şekil verilmiştir. Şekil 4.6. Basit Bir ANFIS Yapısı Giriş ve çıkış eğitim çiftleri verilen bir fonksiyonu, yapay sinir ağı öğrenebilmektedir. Öğrenme işlemi, ağ içerisindeki ağırlıkların belirlenmesiyle gerçekleşmekte ve verilen fonksiyona optimal yaklaşım sağlanmaktadır. Böylece yapay sinir ağları sistemi öğrenmektedir. Bulanık mantığın belirsiz bilgileri işleme ve yapay sinir ağının öğrenme yeteneği, sistem modelleme de kullanılmıştır (Jogle, 2004). Aynı zamanda bulanık mantık ve yapay sinir ağının birleştirilmesi, birbirlerinin dezavantajlarını da örtmektedir. Sistem 69 modellemeye, hem bulanık mantık hem de yapay sinir ağı açısından ayrı ayrı bakıldığında, modelleme aşamaları Tablo 4.1’deki gibidir. Tablo 4.1. Bulanık Mantık ve YSA Açısından Sistem Modelleme Adımları Adım Bulanık Mantık açısından 1 Giriş değişkenlerinin belirlenmesi 2 Gerekli olan üyelik fonksiyonu ve kural sayısının belirlenmesi 3 Üyelik fonksiyonlarının ayarlanması 4 Gereksiz kuralların belirlenmesi Yapay Sinir Ağı açısından Giriş değişkenlerinin belirlenmesi Ağ yapısının ve başlanğıç ağırlıklarının belirlenmesi Ağın eğitilmesi Gereksiz hücrelerin iptal edilmesi 4.7. Bulanık Sinir Ağı ile Sistem Modelleme Matematik modeli verilen fiziksel bir sistemin, analizi yapılabilir veya değişik girişlere karşılık çıkışları kestirilebilir. Bununla beraber, sistemin matematik modelinin belirlenmesinde zorluklar çıkabilmektedir. Basit bir sistem için, Newton yöntemi kullanılarak bir model üretilebilir. Fakat karmaşık sistemerde bu yöntem yeterli olmamaktadır. Giriş ve çıkış eğitim çiftleri verilen bir statik fonksiyonu, yapay sinir ağı öğrenebilmektedir. Öğrenme işlemi, ağ içerisindeki ağırlıkların belirlenmesiyle gerçekleşmekte ve verilen fonksiyona optimal yaklaşım sağlanmaktadır. Ancak yapay sinir ağı ile yapılan modelleme işleminde fazla sayıda ağırlık kullanılmaktadır. Bu da geliştirilen model üzerinde yorum yapılmasını güçleştirmektedir. Ayrıca sınırlı veya gürültülü eğitim bilgisi kullanıldığında sistem çıkışından tutarsız veya anlamsız bilgi alınmaktadır. Bulanık mantık, sinir ağları, genetik algoritmalar ve uzman sistemler gibi bütün yapay zeka tekniklerinin her birinin kendine özgü yetenekleri bulunmaktadır. Örneğin yapay sinir ağları öğrenme ve örnekleri tanımlamada başarılıyken, kararların nasıl alındığı konusunda başarılı değildir. Bulanık mantık yaklaşımı karar almada çok iyi sonuçlar verir, fakat karar alma sürecindeki kural oluşturmayı kendiliğinden gerçekleştiremez. Sinirsel 70 bulanık mantık yaklaşımı; yapay sinir ağlarının öğrenme yeteneği, en uygunu bulma ve bağlantılı yapılar ile bulanık mantığın insan benzeri karar verme ve uzman bilgisi sağlama kolaylığı üstünlüklerinin birleştirilmesi fikrine dayanmaktadır. Bu yolla bulanık denetim sistemlerine öğrenme ve hesaplama gücü verilebilirken sinir ağlarına da bulanık denetimin insan gibi karar verme ve uzman bilgisi sağlama yeteneği kazandırılmaktadır. Sinirsel bulanık denetim sisteminin asıl amacı, sinirsel bulanık denetim sistemlerinin yapısındaki değişkenlerini ayarlamak ve bulmak için sinirsel öğrenme tekniklerini uygulamaktır. Bulanık mantık denetleyicilerde, yapısal ve değişken ayarlama olmak üzere iki önemli ayarlama gerekir. Yapısal ayarlama hesaplanacak değişkenlerin sayısı, kuralların sayısı ve her bir giriş çıkış değişkeninin tanım uzaylarının bölümlenmesi gibi bulanık mantık kural yapılarının ayarlarından oluşur. Uygun kural yapısının elde edilmesinden sonra denetleyici değişkenlerin ayarlanmasına ihtiyaç duyar. Değişkenlerin ayarlanması bölümünde üyelik işlevlerinin uygun merkezleri, eğimleri, genişlikleri ve bulanık mantık kurallarının ağırlıkları hesaplanır. ANFIS sistemi hem sayısal verilerin hem de dilsel verilerin işlenmesine olanak verir. Aynı zamanda sayısal verilerden faydalanarak bulanık bilginin ayarlanması yeteneğine sahiptir. ANFIS sistemi ile ne kadar fazla data olursa sonuca da o kadar az hata ile ulaşılabilmektedir. Günümüzde ANFIS yapısı ile sistem modelleme, sınıflandırma ve denetimi gün geçtikçe önem kazanmaktadır. Çünkü ANFIS yapay sinir ağlarının kolay eğitebilme yeteneğini ve bulanık mantığın insan bilgi ve tecrübesini sistem içine yerleştirme gibi avantajlarının her ikisine de sahiptir. Bulanık mantığın belirsiz bilgileri işleme yeteneğinden ve yapay sinir ağının öğrenme yeteneğinden yararlanabilmek için, bu iki teknoloji birleştirilebilmektedir. Aynı zamanda bulanık mantık ve yapay sinir ağının birleştirilmesi, birbirlerinin dezavantajlarını da örtmektedir. 71 5.METARYAL VE METOD 5.1. Numune Hazırlanması Bu çalışmada Mn/n-GaAs Schottky diyodların hidrostatik basınç altında seri direnç, engel yüksekliği ve idealite faktörü gibi parametreleri literatürdeki farklı birkaç yöntemle incelendi. Ayrıca deney verileri kullanılarak ANFIS yöntemiyle tam bir karakterizasyon elde edildi. Böylece uygulanan basınç aralığında ölçümü alınmayan istediğimiz ara basınç değerlerinin tamamı için ANFIS yardımıyla veriler elde edildi. Çalışmamızda deneysel sonuçları kullanılan, Mn/n-GaAs Schottky diyodu LPE (Lıquid-Phase Epitaxy) tekniği ile büyütülmüş [100] doğrultusuna sahip, özdirenci ρ = 0.0015 − 0.0073 Ω-cm-3 olan Te (Tellür) katkılanmış n-tipi GaAs numunesi kullanılmıştır. Numune üzerindeki organik ve ağır metal kirliliklerini temizlemek ve yüzeydeki pürüzleri gidermek için kimyasal temizleme yapılmıştır. n-tipi GaAs üzerine omik kontak elde etmek için, Au-Ge metalizasyonu yapılarak 425 0C de 3 dakika tavlanmış ve Schottky kontak elde etmek için, %99.9 saflıkta Mn buharlaştırılmıştır. Bütün bu metalizasyon işleri turbo moleküler vakum kaplama ünitesinde 10−6 mbar’lık basınç altında gerçekleştirilmiştir. Bu işlemlerden sonra Schottky diyotu elde edilmiştir. Çalışmamızda bu diyotun elektriksel ölçümleri kullanılarak değişik metodlarla incelenmiştir. 5.2. Akım – Gerilim ( I − V ) Ölçümleri ve Basıncın Diyot Parametrelerine Etkisi Çalışmamızda sonuçları kullanılan, Mn/n-GaAs Schottky diyodunun basınç altındaki I − V ölçümleri, yüksek basınç hücresi ve bilgisayar kontrollü Keithley model 487 pikoampermetresi (Keithley 487 Picoammeter/Voltage Source) kullanılarak otomatik olarak alınmıştır. 72 Hidrostatik basıncın diyot parametrelerinden engel yüksekliğine olan etkisi teorik olarak 1987 yılında Balusubramanbyan ve Kumar tarafından aşağıdaki işlem sırası takip edilerek elde edilmiştir. İdeal olmayan durumlar için boyutsuz n idealite faktörü 2.4 eşitliğine ilave edilirse toplam akım, eV eV I = I 0 exp 1 − exp − nkT kT (5.1) şeklinde yazılabilir. Burada eV >> 3kT olması durumunda exponansiyel ifade 1 yanında ihmal edilebileceğinden, eV I = I 0 exp nkT (5.2) olur. q elektronun yükü , V uygulanan voltaj, n idealite faktörü, k Boltzman sabiti, T ise sıcaklıktır, I 0 doyma akımı ise , eφ I 0 = AA∗T 2 exp − b kT (5.3) ile ifade edilir. Burada A=7.85 × 10 −3 cm 2 etkin diyot alanı, φb engel yüksekliği ve A∗ etkin Richardson sabitidir. n idealite faktörü bulmak için 5.2 eşitliğinden, n= e dV kT d (ln(I )) (5.4) elde edilir. φb Engel yüksekliği değerinin hesap edilmesi için 5.3 eşitliğindeki, I 0 doyma akım yoğunluğu ifadesinden de engel yüksekliği, AA∗T 2 eφb = kTΙn I0 eşitliği bulunur. Burada A∗ Richardson sabiti değeri n-GaAs için A∗ = 8.16 (5.5) A dir. cm 2 K 2 73 0.00-7.00 kbar aralığında alınan I − V ölçümlerinden hareketle win-grapher paket programı kullanılarak diyodun düz ve ters beslem için I − V karakteristikleri çizildi. Burada I 0 doyma akımı ve eğrilerin eğimleri 0.0-0.4 V aralığında düz beslem kısmının lineer kısmına eğri fit edilmesiyle Şekil 5.1 ve Şekil 5.2 de sırasıyla tez yazarı ve gözlemci tarafından bulundu. Eşitlik 5.5’de bu I 0 değeri kullanılarak φb engel yüksekliği ve eşitlik 5.4’de elde edilen eğim değeri kullanılarak n idealite faktörü hesaplandı. 0.00-7.00 kbar basınç aralığındaki düz beslem fitleri kullanılarak hesap edilen idealite faktörü ve engel yüksekliği değeri Tablo 6.1 ve Tablo 6.2’de verildi. I 0 doyma akımının bulunmasında diğer bir yöntem olan hem düz hemde ters beslemin lineer kısımlarına birer eğri fit edip bu eğrilerin akım ekseni üzerinde V=0’da kesiştirilmesi Şekil 5.3’de gösterilmiştir. Sonra düz beslem kısmı kullanılarak buradaki kesişme noktasından I 0 değeri ve eğimi elde edildi. Eşitlik 5.5 ve eşitlik 5.4 yardımıyla sırasıyla φb engel yüksekliği ve n idealite faktörü hesaplandı. 0.00-7.00 kbar basınç aralığındaki düz beslem fitleri kullanılarak hesap edilen idealite faktörü ve engel yüksekliği değeri Tablo 6.1 ve Tablo 6.2’de verildi. 74 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 0.00 kbar 1.00 kbar 1.0E-8 3.00 kbar 5.00 kbar 7.00 kbar 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.1. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafiği ve tez yazarı tarafından yapılan düz beslem fit eğrileri 75 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 0.00 kbar 1.00 kbar 1.0E-8 3.00 kbar 5.00 kbar 7.00 kbar 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.2. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafiği ve Gözlemci tarafından yapılan düz beslem fit eğrileri 76 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 0.00 kbar 1.00 kbar 1.0E-8 3.00 kbar 5.00 kbar 7.00 kbar 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.3. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafikleri ile ters ve düz beslem fitleri 77 5.3. Missous Yöntemi Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi 0.00-7.00 kbar aralığında alınan I − V ölçümleri kullanılarak 2.12 eşitliğinin eV logaritması alınıp ters ve düz beslem için I 1 - exp − − V grafiği çizildi (Şekil 5.4). kT Bu grafiğin lineer kısmına fit edilen doğrunun V = 0 da düşey ekseni kestiği noktadan her bir basınç değeri için I 0 doyma akımı ve doğrunun eğimi belirlenir. Eşitlik 5.5’de bu I 0 değeri kullanılarak φb engel yüksekliği ve eşitlik 5.4’de elde edilen eğim değeri kullanılarak n idealite faktörü hesaplandı. 0.00-7.00 kbar basınç aralığındaki Missous Yöntemi kullanılarak hesap edilen idealite faktörü ve engel yüksekliği değerleri Tablo 6.1ve Tablo 6.2’de verildi. 5.4. Norde Fonksiyonu Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi 2.23 eşitliğii ile verilen Bohlin tarafından modifiye edilmiş norde fonksiyonunu kullanarak her basınç değeri için idealite faktörleri, engel yükseklikleri ve diyodun nötral bölgesinin seri dirençleri hesap edildi. Bu hesaplamada önce eşitlik 5.4’de elde edilen eğim değeri kullanılarak n idealite faktörleri hesaplandı. Daha sonra her basınç değeri için F (V ) − V grafiği çizildi (Şekil 5.5). Bu grafikte F (V ) fonksiyonunun değerini minumum yapan I 0 ve V0 değerleri hesaplandı. Bulunan n , V0 ve n , I 0 değerleri, 2.27 ve 2.28 eşitliklerinde yerine koyularak her basınç değeri için sırasıyla engel yükseklikleri ve seri direnç değerleri hesaplandı. 0.007.00 kbar basınç aralığındaki Norde fonksiyonları kullanılarak hesap edilen engel yüksekliği ve seri direnç değerleri Tablo 6.2 ve Tablo 6.3’de verildi. 78 Şekil 5.4. Missous yöntemi kullanılarak Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç ile ters ve düz beslem I-V grafiği 79 0.60 0.59 F(V) (V) 0.58 0.57 0.56 Mn/n-GaAs T=300 K 0.00 kbar 0.55 1.00 kbar 3.00 kbar 5.00 kbar 7.00 kbar 0.54 0.00 0.10 0.20 0.30 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.5. Norde Fonksiyonları kullanılarak Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre F (V ) − V grafiği 80 5.5. Cheung Fonksiyonlarını Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi 2.33 ve 2.35 eşitlikleri ile verilen Cheung fonksiyonlarını kullanarak, her basınç değeri için idealite faktörleri, engel yükseklikleri diyodların nötral bölgesinin seri dirençleri tez yazarı ve gözlemci tarafından hesap edildi. Bu hesaplama için dV d (ln I ) ’nin I ya karşı çizilen grafiği bir doğru verir. Bu doğrunun eğiminden seri direnci, düşey (y) eksenini kestiği noktadan ise idealite faktörü, birinci Cheung fonksiyonu yardımıyla hesaplandı. H ( I ) ’ya karşı I grafiğinden yine bir doğru elde edilir. Bu doğrunun eğimi ve H ( I ) ’nin ekseninin kesim noktasından sırasıyla nötral bölge direnci olan seri direnç ve engel yüksekliği, ikinci Cheung fonksiyonunu kullanarak hesaplandı (Cheung ve Cheung,1986). 0.00-7.00 kbar basınç aralığındaki sırasıyla tez yazarı ve gözlemci tarafından, dV d (ln I ) ’nin I ya karşı ve H ( I ) ’nın I karşı grafikleri çizilerek fit edildi (Şekil 5.6-5.7 ve Şekil 5.8-5.9). Her bir basınç değerine karşılık gelen fit edilen grafiklerden elde edilen idealite faktörleri, engel yükseklikleri ve seri direnç değerleri hesap edilerek Tablo 6.13’de verildi. 81 dV/d(ln I) (V) 0.10 0.08 Mn/n-GaAs T=300 K 0.06 0.00 kbar 1.00 kbar 3.00 kbar 0.04 5.00 kbar 7.00 kbar 0.02 0.0E+0 5.0E-4 1.0E-3 1.5E-3 2.0E-3 I (A) Şekil 5.6. Tez yazarı tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre dV d (ln I ) − I grafiği 0.10 dV/d(ln I) (V) 0.08 Mn/n-GaAs T=300 K 0.06 0.00 kbar 1.00 kbar 3.00 kbar 0.04 5.00 kbar 7.00 kbar 0.02 0.0E+0 5.0E-4 1.0E-3 1.5E-3 2.0E-3 I (A) Şekil 5.7. Gözlemci tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre dV d (ln I ) − I grafiği 82 H(I) (V) 0.80 Mn/n-GaAs T=300 K 0.70 0.00 kbar 1.00 kbar 3.00 kbar 5.00 kbar 7.00 kbar 0.60 0.0E+0 5.0E-4 1.0E-3 1.5E-3 2.0E-3 I (A) Şekil 5.8. Tez yazarı tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre H ( I ) − I grafiği H(I) (V) 0.80 Mn/n-GaAs T=300 K 0.70 0.00 kbar 1.00 kbar 3.00 kbar 5.00 kbar 7.00 kbar 0.60 0.0E+0 5.0E-4 1.0E-3 1.5E-3 2.0E-3 I (A) Şekil 5.9. Gözlemci tarafından Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınca göre H ( I ) − I grafiği 83 5.6. ANFIS Kullanılarak Diyot Parametrelerinin Belirlenmesi Bölüm 3 ve Bölüm 4 de verilen Yapay Sinir Ağı ve Bulanık Mantık birleştirilerek oluşturulan Adaptif Bulanık Sinir Ağı Çıkarım Sistemi (ANFIS) kullanılarak deney aralığındaki deneyi yapılmış yada yapılmamış her basınç ve gerilim değeri için I − V grafikleri elde edildi. Bulanık mantığın belirsiz bilgileri işleme ve yapay sinir ağının öğrenme yeteneği 2 girişli ve tek çıkışlı ANFIS yapısında kullanılmıştır. Girişlerden ilki basınç ve ikincisi gerilimdir, çıkış ise akımdır. Fiziksel kural bilinmediği için kara kutu modeli kullanılmış ve her basınç değerinin eğitimi için 128 adet deneysel veri kullanılmıştır. Programlama için ANFIS yapısı kullanılmıştır. ANFIS, Sugeno tip FIS tek çıkışlı sistemin üyelik fonksiyon parametrelerini belirlemek için hibrid (hybrid) öğrenme algoriması kullanıldı. Hibrid öğrenme algoritması LSE ve BGD metodunun birleşiminden oluşmaktadır, girişçıkış bilgileri verilen FIS üyelik fonksiyon parametrelerinin eğitimi için kullanır. Deneme yanılma yöntemiyle girişler için iki, çıkış için ise yedi üyelik derecesi belirlenmiştir. Bu yapıda 42 tane doğrusal, 27 tane doğrusal olmayan toplam 69 değişken kullanılmıştır. Ayrıca 14 tane bulanık kural oluşturulmuştur. Eğitim için verilen verilere deneme yanılma yöntemiyle Gbellmf üyelik fonksiyonuna uyduğu görülmüş ve diğer verilerin eğitimlerinde de bu üyelik fonksiyonu kullanılmıştır. Programda deneysel veriler kullanılarak 5 farklı basınç değeri için 640x3 matris oluşturulmuş; matrisin birinci sütun basınç, ikincisi gerilim ve üçüncüsü ise akımdır. Deneysel sonuçların ANFIS eğitimi sonucunda elde edilen veriler ve deneysel veriler wingrapher paket programı kullanılarak çizdirilmiştir (Şekil 5.10-14). Belirlediğimiz ara basınç değerleri olan 0.5 kbar,1.5 kbar, 2.0 kbar, 4.0 kbar ve 6.0 kbar ve gerilim değerleri için aynı program içerisinde oluşturulan 14 kurala göre ANFIS de yapılan programdan bu basınç değerleri için gerilime karşı akım değerleri elde edilmiştir. ANFIS’den elde edilen deneysel sonuçlar ile belirlenilen ara basınç sonuçları win-grapher paket programı kullanılarak çizdirilmiştir (Şekil 5.15-19). 84 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 0.00 kbar ANFIS 0.00 kbar Deneysel 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.10. 0.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 85 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 1.00 kbar ANFIS 1.00 kbar Deneysel 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.11. 1.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 86 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 3.00 kbar ANFIS 3.00 kbar Deneysel 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.12. 3.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 87 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 5..00 kbar ANFIS 5.00 kbar Deneysel 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.13. 5.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 88 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAS T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 7.00 kbar ANFIS 7.00 kbar Deneysel 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.14. 7.00 kbar basınç için ANFIS ve Deneysel veriler kullanılarak oluşturulan Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 89 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 0.00 kbar ANFIS 0.50 kbar ANFIS 1.00 kbar ANFIS 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.15. ANFIS kullanılarak 0.00 kbar ve 1.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 0.50 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 90 1.00E-2 Mn/n-GaAs 1.00E-3 T=300 K 1.00E-4 Akım (A) 1.00E-5 1.00E-6 1.00E-7 1.00E-8 1.00 kbar ANFIS 1.50 kbar ANFIS 3.00 kbar ANFIS 1.00E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.16. ANFIS kullanılarak 1.00 kbar ve 3.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 1.50 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 91 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 1.00 kbar ANFIS 2.00 kbar ANFIS 3.00 kbar ANFIS 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.17. ANFIS kullanılarak 1.00 kbar ve 3.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 2.00 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 92 1.0E-2 1.0E-3 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 3.00 kbar ANFIS 4.00 kbar ANFIS 5.00 kbar ANFIS 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.18. ANFIS kullanılarak 3.00 kbar ve 5.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 4.00 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 93 1.0E-2 Mn/n-GaAs T=300 K 1.0E-3 1.0E-4 Akım (A) 1.0E-5 1.0E-6 1.0E-7 1.0E-8 5.00 kbar ANFIS 6.00 kbar ANFIS 7.00 kbar ANFIS 1.0E-9 -0.40 -0.20 0.00 0.20 0.40 Gerilim (V) Şekil 5.19. ANFIS kullanılarak 5.00 kbar ve 7.00 kbar basınç değerleri arasında elde edilen 6.00 kbar basınç için Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun ters ve düz beslem I-V grafiği 94 6. SONUÇLAR VE TARTIŞMA Yarıiletken diyotların I − V karakteristikleri yardımıyla elde edilen parametreleri, elektronik tasarımlarında önemli yer tutmaktadır. Çığ gibi büyüyen elektronik sanayisinde, değişik yöntemlerle malzeme parametrelerinin her geçen gün iyileştirilmesi ve çeşitliliğinin artması, malzemelerin karakterizasyonlarından yapılan parametre hesaplamalarında yeni metodlar bulunmasının yolunu açmıştır. Bu hesaplamaların hepsi TE teorisine dayandırılmaktadır. Çalışmamızda, Mn/n-GaAs Schottky diyodu LPE (Lıquid-Phase Epitaxy) tekniği ile büyütülmüş bir yüzeyi mat diğer yüzeyi parlatılmış [100] doğrultusuna sahip, özdirenci ρ = 0.0015 − 0.0073 Ω-cm-3 olan Te (Tellür) katkılanmış n-tipi GaAs numunesinin deneysel sonuçları kullanılmıştır. Numune üzerindeki organik ve ağır metal kirliliklerini temizlemek için kimyasal temizleme yapılmış, n-tipi GaAs üzerine omik kontak elde etmek için ise Au-Ge metalizasyonu yapılarak 425 0C de 3 dakika tavlanmış ve Schottky kontak elde etmek için %99.9 saflıkta Mn buharlaştırılmıştır. Bu koşullar altında hazırlanan ve sonrasında basınç ünitesine yerleştirilen Mn/ntipi GaAs Schottky diyotun üniteden çıkarılan elektriksel bağlantılarla 0.00-7.00 kbar’lık basınç aralığında I − V ölçümleri çalışmamızda karakterizasyonları oluşturulmak üzere alınmıştır. Hesaplamalar için akım iletimini açıklayan Termoiyonik Emisyon Teorisi kullanılmıştır. Schottky diyot parametrelerinin hesaplanmasında Termoiyonik Emisyon Teorisini temel alarak literatürde çokca kullanılan Missous yöntemi, Norde Fonksiyonu ve Cheung Fonksiyonları yardımıyla diyot parametrelerini hesaplaplandı. Ayrıca deneysel veriler yardımıyla deney aralığını ANFIS ile tanımlayıp bu deney aralığında deneysel verileri ve belirlediğimiz basınç değerleri için karakterizasyonun tüm değerlerini belirledik. Teorik olarak verilen denklemde basınç parametresi bulunmamasına rağmen böylece bu çalışma ile hidrostatik basıncın etkisini kısmende olsa hesaplamaya ilkkez tarafımızdan dahil edilmiş oldu. 95 Termoiyonik Emisyon (TE) teorisini kullanarak I − V eğrilerinin doğrudan fit edilerek yapılan hesaplamalarında iki yöntem kullanıldı. İlk olarak tez yazarı ve gözlemci tarafından ters ve düz beslem I − V grafikleri kullanıldı (Şekil 5.1-5.2). Her basınç için çizilen bu grafiklerdeki düz beslem kısmının lineer kısmına eğriler fit ederek eğrinin eğimi ve y eksenini kestiği nokta tez yazarı ve gözlemci tespit edildi. İkinci olarak da her basınç için çizilen bu grafiklerdeki ters ve düz beslemlerinin lineer kısımlarının her ikisininde y eksenini aynı noktada kestiği durum için eğriler fit edilerek y üzerindeki nokta tespit edildi (Şekil 5.3). Bu değerleri kullanarak idealite faktörleri ve engel yükseklikleri hesaplandı, Tablo 6.1 ve Tablo 6.2 de verildi. Hesapladığımız bu değerler 0.00, 1.00, 3.00, 5.00 ve 7.00 kbar değerlerine karşılık tez yazarı ve gözlemci için sırasıyla idealite faktörü için 1.140, 1.060, 1.044, 1.028, 1.021 ve 1.130, 1.079, 1.102, 1.104, 1.076 olarak, ikinci yöntemlede 1.269, 1.227, 1.230, 1.210, 1.197 olarak hesaplanmıştır. Engel yüksekliği için yine sırasıyla 0.588, 0.602, 0.621, 0.641, 0.660 eV ve 0.585, 0.598, 0.614, 0.632, 0.652 eV, ikinci yöntemlede 0.574, 0.584, 0.601, 0.621, 0.639 eV olarak hesaplanmıştır Missous yöntemini kullanarak yaptığımız bu hesaplamalarda 0.00-7.00 kbar aralığında alınan I − V ölçümleri kullanılarak ters ve düz beslem için logaritmik eV I 1 - exp − − V grafiği çizilip, bu grafiğin lineer kısmına fit edilen doğrunun y kT eksenini kestiği noktadan her bir basınç değeri için I 0 doyma akımı ve doğrunun eğimi belirlenerek idealite faktörü ve engel yüksekliği hesaplandı (Şekil 5.4). 0.00, 1.00, 3.00, 5.00 ve 7.00 kbar basınç değerlerine karşılık sırasıyla idealite faktörleri 1.104, 1.088, 1.084, 1.081, 1.080 ve engel yükseklikleri ise 0.587, 0.593, 0.611, 0.628, 0.646 eV olarak bulunmuştur (Tablo 6.1-6.2). F(V)-V grafiği çizildiğinde F (V ) fonksiyonunun değerini minumum yapan I 0 ve V0 değerleri hesaplandı (Şekil 5.5). Bulduğumuz bu değerlerden Norde fonksiyonunu yardımıyla engel yüksekliği ve seri direnci hesaplandı. 0.00, 1.00, 3.00, 5.00, 7.00 kbar basınç değerlerine karşılık sırasıyla engel yükseklikleri 0.594, 0.614, 0.627, 0.647, 0.667 eV ve seri dirençler ise 44.986, 22.920, 30.583, 30.986, 48.571 Ω olarak bulunmuştur (Tablo 6.2-6.3). 96 dV/d(lnI)’in I ’ye karşı çizilen grafikten elde ettiğimiz doğrunun eğiminden seri direncini, y eksenini kestiği noktadan ise idealite faktörleri tez yazarı ve gözlemci tarafından hesaplandı (Şekil 5.6-5.7). Cheung fonksiyonlarının birincisini kullanarak bulunan bu değerleri 0.00, 1.00, 3.00, 5.00, 7.00 kbar basınç değerlerine karşılık sırasıyla seri direnci için 53.448, 21.050, 27.037, 30.587, 47.405 Ω ve 52.403, 21.206, 27.106, 30.587, 47.775 Ω, idealite faktörü için ise 1.072, 1.091, 1.100, 1.101, 1.107 ve 1.089, 1.085, 1.097, 1.101, 1.090 değerleri hesaplanmıştır (Tablo 6.1-3). Engel yüksekliğini bulmak için ikinci Cheung fonksiyonu adı verilen H(I) şeklinde özel bir fonksiyon tanımlanır ve bu fonksiyon yardımıyla çizdiğimiz H(I)’e karşı I grafiğinden elde edilen doğrunun eğiminden seri direnci, H(I) ekseninin kesim noktasından ve birinci Cheung fonksiyonundan elde edilen idealite faktörü değeri kullanılarak engel yüksekliği tez yazarı ve gözlemci tarafından hesaplandı (Şekil 5.8-5.9). Elde edilen bu değerler 0.00, 1.00, 3.00, 5.00, 7.00 kbar basınç değerlerine karşılık sırasıyla seri direnci için 52.739, 21.526, 27.489, 30.610, 47.845 Ω ve 52.523, 21.434, 27.326, 29.982, 47.540 Ω, engel yüksekliği için ise 0.576, 0.593, 0.610, 0.629, 0.666 eV ve 0.585, 0.597, 0.612, 0.629, 0.656 eV değerleri hesaplandı (Tablo 6.1-3). Tablo 6.1-3’de de verilen sonuçlara bakılacak olursa başka yöntemlerle olmaksızın farklı iki kişinin fit sonuçlarıyla hesaplanan değerler bile farklılık göstermektedir. Bu farklılık temelde çizilen I − V grafiklerinin lineer bölgeleriyle ilgilidir, çünkü grafiğin tamamı için tek bir idealite faktörü, engel yüksekliği ve seri direnç hesaplaması yapılmaktadır. Bu durumda grafiği inceleyen her uzman kişinin farklı sonuçlar hesaplaması da kaçınılmaz olmaktadır. Benzer durum birinci Cheung fonksiyonunda dV/d(lnI)’in I’ye karşı çizilen ve ikinci Cheung fonksiyonunda H(I)’e karşı I için çizilen grafikte de görülmektedir. Norde fonksiyonunda ise minimum noktayı kestirmek hemen hemen olanaksızdır. Sonuçlar birbirine ne kadar yakın çıkarsa çıksın biz deney unsurlarından kaynaklanan hataların dışındaki bu hataları hesaplama hatası olarak adlandırabiliriz. Her nekadar veriler farklı metodlar veya başkası tarafından da değerlendirilse değerler birbirine oldukça paralellik arzeder. Buda standart bir hata olarak karşımıza çıkar. Geliştirilen diğer yöntemler bu hatayı dahada aza indirmek için geliştirilmiştir. Zaten bütün ölçme ve değerlendirmelerin hatalı olduğu pozitif bilimle 97 uğraşan herkes tarafından bilinmektedir ve onun içindir ki özellikle yarıiletken malzemeler için güvenlik aralığı (tolerans bandı) göz ardı edilemez. Güvenlik aralığı cihazlarda EN, %, m gibi notasyonlarla ifade edilmektedir, bu semboller ölçmedeki şüpheli aralığı yada başka bir ifadeyle ölçülemeyen hataları gösterir. Tablo 6.1. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç değerleri için I-V karakterizasyonundan elde edilen idealite faktörü değerleri Basınç (kbar) Tez Yazarı n (I-V) Gözlemci n (I-V) Pozitif ve Negatif Beslem Eğrilerinin Fiti n (I-V) Missous n (I-V) Birinci Cheng Fonksiyonu Tez Yazarı n (dV/d(lnI)-I) Birinci Cheng Fonksiyonu Gözlemci n (dV/d(lnI)-I) 0.00 1.140 1.130 1.00 1.060 1.079 3.00 1.044 1.102 5.00 1.028 1.104 7.00 1.021 1.076 1.269 1.227 1.230 1.210 1.197 1.104 1.088 1.084 1.081 1.080 1.072 1.091 1.100 1.101 1.107 1.089 1.085 1.097 1.101 1.090 Tablo 6.2. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç değerleri için I-V karakterizasyonundan elde edilen engel yüksekliği değerleri Basınç (kbar) Tez yazarı φb (I-V) 0.00 0.588 1.00 0.602 3.00 0.621 5.00 0.641 7.00 0.660 Gözlemci φb (I-V) 0.585 0.598 0.614 0.632 0.652 Pozitif ve Negatif Beslem Eğrilerinin Fiti φb (I-V) 0.574 0.584 0.601 0.621 0.639 Missous φb (I-V) 0.587 0.593 0.611 0.628 0.646 Norde Fonksiyonu φb (F(V)-V) 0.594 0.614 0.627 0.647 0.667 İkinci Cheng Fonksiyonu Tez Yazarı φb (H(I)-I ) 0.576 0.593 0.610 0.629 0.666 İkinci Cheng Fonksiyonu Gözlemci φb (H(I)-I ) 0.585 0.597 0.612 0.629 0.656 98 Tablo 6.3. Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun uygulanan basınç değerleri için I-V karakterizasyonundan elde edilen seri direnç değerleri Basınç (kbar) Norde Fonksiyonu Rs (F(V)-V) 0.00 1.00 3.00 5.00 7.00 44.986 22.920 30.583 30.986 48.571 Birinci Cheng Fonksiyonu Tez Yazarı R s (dV/d(lnI)-I) 53.448 21.050 27.037 30.587 47.405 Birinci Cheng Fonksiyonu Gözlemci R s (dV/d(lnI)-I) 52.403 21.206 27.106 30.587 47.775 İkinci Cheng Fonksiyonu Tez Yazarı R s (H(I)-I ) 52.739 21.526 27.489 30.610 47.845 İkinci Cheng Fonksiyonu Gözlemci R s (H(I)-I ) 52.523 21.434 27.326 29.982 47.540 Tablo 6.2 verilen sonuçlara göre Mn/n-GaAs Schottky diyodunda incelediğimiz tüm yöntemlerle tüm basınç aralığında engel yüksekliklerinin düzgün olarak arttığından, Mn/n-GaAs Schottky diyodunun basınç sensörü olarak kullanılabilirliğini göstermektedir. Oda basıncında alınan verinin düz beslem bölgesinde diğer basınç ölçümlerine göre seri direnç bölgesindeki anormal değişim diyodun yağ ortamı içerisinde uygun kontak sağlanamamasından kaynaklanmıştır. Bunun için ilk değerden sonraki seri direnç değerler bizim için daha kabul edilir değerlerdir. Eğer bu durum gözönünde bulundurulursa artan basınçla sırasıyla engel yüksekliğinin basınçla lineeer arttığı, idealite faktörünüm düzgün değişim göstermediğini ve seri direncinde arttığı gözlenmiştir. Engel yükseklinin basınçla değişimi 10.11 meV/kbar yasak enerji aralığının değişimi ise 10.70 meV/kbar (Wolford and Bradley, 1985) olup birbirlerine yaklaşık eşittir (Şekil 6.1). Böylece Fermi Seviyesi iletkenlik bandının maksimumuna mıhlandığını söyleyebiliriz. 80.00 80.00 Mn/n-GaAs T=300 K 60.00 60.00 40.00 40.00 Engel Yüksekliği 20.00 Engel Yüksekliği Fiti 20.00 Yasak Enerji Aralığı 0.00 0.00 2.00 4.00 6.00 0.00 8.00 Yasak Enerji Aralığının Değişimi (meV) Engel Yüksekliğinin Değişimi (meV) 99 Basınç (kbar) Şekil 6.1 Basınç ile Mn/n-tipi GaAs Schottky diyotunun Engel Yüksekliğinin ve GaAs’ın Yasak Enerji Aralığının Değişim grafiği I − V grafikleriyle ilgili olan problemlere benzer durumlar bilim dünyasında sıklıkla karşılaşılan problemlerdendir. Hesaplamada ki problemlerden de önemlisi hidrostatik basınç altındaki incelemelerin tamamı TE teorisi ile incelenmiş ve sonuçlarında hidrostatik basınca uygun olduğu ifade edilmiştir. Yani basınç parametresini içeren herhangi bir akım iletim bağıntısı bulunmamaktadır. Pozitif bilimlerde sonuçları bilinen fakat bir denklemle bugüne kadar ifade edilememiş oldukça fazla problem vardır. Bu bilimlerin başında da elektronik ve aktif devre elemanları gelmektedir. Termoiyonik Emisyon teorisinde basınç parametresi bulunmadığından çalışmamızda yapay sinir ağı ve bulanık mantığın birleşimi olan uyarlamalı bulanık sinir ağı (ANFIS) kullanılmıştır. ANFIS uygulama da uzmanlık gerektiren bir yazılımdır, az da olsa istenilen yada beklenilen sonuçları vermez. ANFIS giriş ve çıkış değerleri bilinen problemleri önce yapay sinir ağlarıyla öğrenir ve bulanık mantıkla kurallar dizisi haline dönüştürür yani algoritma oluşturup optimize eder. Burada dikkat edilmesi ve unutulmaması gereken en önemli nokta ANFIS bu algoritmayı oluştururken kesinlikle deneysel sonuçlardan az da olsa uzaklaşır, burada uzaklaşma 100 ölçüsünü konuyla ilgili uzman belirler. ANFIS ’in bir başka avantajı da deneysel bütünlüğü sağlamasıdır, Çünkü deney yapılması gereken sonsuz nokta vardır ve bu noktaların tamamı için deney yapmak imkansızdır. ANFIS kurduğu doğru algoritma ile deney aralığında ki sonsuz noktalar için çıkış değeri üretir ki buda karakterizasyonun deney aralığında tam olarak yapılmasına olanak sağlar. Çalışmamızda ki deneysel sonuçları ANFIS’e uygularken sistemi daha çok bilgilendirmek için 5 farklı basınçta 640x3 matris şeklinde deneysel verilerin tamamı kullanılmıştır. ANFIS uygulaması için yaptığımız programda Sugeno tip FIS tek çıkışlı sistemin üyelik fonksiyon parametrelerini belirlemek için hibrid (hybrid) öğrenme algoriması kullandık. LSE ve BGD metodunun birleşiminden oluşan hibrid öğrenme algoritmasında, 42 tane doğrusal, 27 tane doğrusal olmayan toplam 69 değişken kullanılarak ve 14 tane bulanık kural program yardımıyla ANFIS tarafından oluşturuldu, deneme yanılma yöntemiyle girişler için iki, çıkış için yedi üyelik derecesi ve Gbellmf üyelik fonksiyonuyla en doğru sonuçlar elde edildi. Deneysel sonuçlarla ANFIS eğitimi sonuçları alınmış üstüste gösterilmiş (Şekil 5.10-14), aynı program içerisinde oluşturulan 14 kurala göre ara basınç değerleri olan ve deneysel sonuçları bilinmeyen 0.5 kbar,1.5 kbar, 2.0 kbar, 4.0 kbar ve 6.0 kbar da gerilim değerleri ile birlikte yapılan programla aynı anda istenmiş ve sonuçlar elde edilmiştir. Elde edilen bu sonuçlarla deneysel sonuçların ANFIS eğitimi sonucunda elde edilen sonuçları birlikte gösterilmiştir (Şekil 5.15-19). Bu grafiklere baktığımızda deneyi yapılmış olan 0.00, 1.00, 3.00, 5.00, 7.00 kbar basınç değerleri için sonuçların ANFIS sonuçlarıylarıyla hemen hemen aynı olduğunu, pozitif ve negatif beslemde lineer bölgelerinin çakıştığını ve buna bağlı olarak y eksenindeki kesim noktalarının aynı olduğunu, ANFIS ürettiği parametrelerle ve oluşturduğu kurallarla çizilen grafiklerden TE teorisi kullanılarak yapılacak hesaplamaların aynı olduğunu söyleyebiliriz. Ayrıca basınç arttıkça ANFIS grafiklerinin doğrululuğunun artmasıda bir başka dikkat çekici husustur. Deneysel verileri alınmış basınç değerleri için doğru sonuçlar veren programda deneysel verileri alınmamış ara değerler içinde grafikler beklenen biçimdedir (Şekil 5.1519). Bu durumda 0.00-7.00 kbar aralığında Mn/n-GaAs Schottky diyodu için tam bir 101 karakterizasyon sağlanmıştır. Böylece istenilen basınç değeri için ANFIS yardımı ile I − V grafiği elde edilebilir. Çalışmamızda Mn/n-GaAs Schottky diyodu klasik bilinen yöntemler dışında son yılların en popüler konusu olan ANFIS ile belli aralıklarda basınç, gerilim ve akım deneysel verileri kullanarak tüm deney aralığında tam karakterizasyon ilkkez elde edilmiştir. Malzeme tasarımcıları katkı oranı, nem, üretim teknikleri vb. gibi farklı durumlar için her seferinde deney yapmak yerine yapılmış deney sonuçlarıyla bir veri tabanı oluşturup bu verileri bizim basınç için tahmin ettirdiğimiz gibi tahmin ettirebilirler. Şüphesiz bu bir uzmanlık deneyim ve beraberinde ekip çalışmasını gerektirecektir. Sabırla bütün olasılıkları kullanarak deneylerin sonucuna bir simülatörle deney yapmadan ulaşabilecektir. Çalışmamız bu yöndeki çalışmaları teşvik edecek, malzeme tasarımcılarının işini biraz olsun kolaylaştıracaktır. Böylece fabrikasyon masraflarından tasarruf sağlanacak, istenen engel yüksekliğinde ve kalitede malzeme üretilebilecektir. 102 KAYNAKLAR ABIYEV, R., JULY 2003. Recurrent Neural Network Based Fuzzy Inference System for Identification and Control Of Dinamic System, International Journal on Computational Intelligence (TAIN 2003), pp.31-39. ALLER, I., LANG, C., SCWEEGER, G., HARTNAGEL, H.L., DOLT, R. and HOHENBERG, G., 1996. GaAs Piezo-Transistör for Dynamic Pressure Measurements at High Tempreture. Appl. Phys. Lett., 96(3), 403-405. ANDREWS, J.M and PHILIPS, J.C. , 1975. Chemical Bonding and Structure of Metal Semiconductor Interface. Phys. Rev. Lett., 35, 56-59. AUBRY, V. and MEYER, F., 1994. Schottky Diode with High Series Resistance:Limitations of Forward I-V Methods. J.Appl.Phys., 76, 7973-7984. BACCARANI, G., 1976. Current Transport in Schottky-Barrier Diodes. J.Appl. Phys.,76, 4122-4126. BALASUBRAMANYAM, N. and KUMAR, V., 1987. Pressure Dependence of Barrier Heights of Schottky Contacts on Silicon. Phys. Stat. Sol.(a), 101, K29-K32i. BARDEEN, J., 1947. Surface State and Rectification at a Metal-Sem. Contact. Phys.Rev.,71 , 717-727. BARDI,J., BINGGELI, N. and BALDERESCHI, A., 1996-II. Pressure and AlloyComposition Dependence of Al / Ga1− X Al X As 100 Schottky Barriers. Phys. Rev. Lett. B, 54, R11102-R111050. BİBER, M., 2005. Low-temperature current-voltage characteristics of MIS Cu/n-GaAs and inhomogeneus Cu/n-GaAs Schottky diodes. Physica B, 325, 138-148. BOHLIN, K.E., 1986. Generalized Norde Plot Including Determination of the Ideality Factor. J. Appl. Phys., 60, 1223. BOSSLEY, K.M., 1997. Neuro-Fuzzy Approaches in System Identification University of Southampton, Faculty of Engineering and Applied Sciense, Electronics and Computer Science Department, Doctor of Philosophy Thesis, England. CHANG, C. Y., FANG, Y.K. and SZE, S.M., 1971. Specific contact resistance of MetalSemiconductor barrier. Solid State Electronics., 14, 541-550. CHEN, S. and BILLINGS, S. A., 1992. Neural Networks for Nonlinear Dynamic System Modeling and identification, intemational J. Control, 2, 319-346. 103 CHEN, T.P., LEE, T.C., LING, C.C.,BELLING, C.D. and FUNG, S., 1993. Current Transport and Its Effect on the Determination of the SBH in a typical System. Solid State Electron., 36, 949-94. CHEUNG, S.K and CHEUNG, N.W., 1986. Extraction of Schottky diode parameters from forward current–voltage characteristics. J. Appl. Phys., Let., 49, 85-87. CIBILS, R.M. and BUITRAGO, R., 1985. Forvard I-V plot for nonideal Schottky diodes with high series resistance. J. Appl. Phys., 58, 1075-1077. CROWELL, C.R. and SZE, S.M., 1965. Surface States and Barrier Height MetalSemiconductor System. J. Appl. Phys., 36, 3212-3220. CROWELL, C.R and SZE, S.M., 1966. Current transport in Metal-Semiconductor Barriers. Solid State Electron., 9, 1035-1048. CRUMBACKER, T.E., SITES, J.R. and SPAIN, I.L., 1989. Effects of high pressure on silicon metal-oxide- semiconductor structures. J. Appl. Phys., 65, 2328-2331. ÇANKAYA, G., 1998. Au/n-GaAs Schottky diyotların karakteristik parametreleri üzerine hidrostatik basıncın etkisi. Yüksek Lisans Tezi, Atatürk Üniversitesi, (Yayınlanmış) 42 Sayfa. ÇANKAYA, G., UÇAR, N., AYYILDIZ, E., EFEOĞLU, H., TÜRÜT, A., TÜZEMEN, S, and YOĞUTÇU, Y.K., 1999-I. Effect of hydrostatic pressure on the characteristics parameters of Au/n-GaAs Schottky-barrier diodes. Phys. Rev. B, 60, 15944-15947. ÇANKAYA, G., UÇAR, N. and TÜRÜT, A., 2000a. Reverse Bias Capacitance-Voltage Characteristic of Au/n-GaAs Schottky Diodes under Hydrostatic Pressure. Int. J. Electron., 87, 1171-1176. ÇANKAYA, G., UÇAR, N. and TÜRÜT, A., 2000b. An Investigation of I-V Characteristics of Au/n-GaAs Schottky diodes after hydrostatic pressur. Phys. Stat. Sol. (a), 179, 469-473. ÇANKAYA, G. and UÇAR, N., 2002a. Forward Bias Capacitance-Voltage Characteristic and Interface State Density of Au/n-GaAs Schottky Diodes under Hydrostatic Pressure. Physica Scripta, 65, 454-458. ÇANKAYA, G., 2003. Hidrostatik Basınç Altında Metal/p-Si Schottky Diyotların Elektriksel karakterizasyonu. Doktora Tezi, Atatürk Üniversitesi. 84 Sayfa. ÇANKAYA, G. and ABAY, B., 2005. Current- and capacitance-voltage characteristics of Cd/p-GaTe Schottky barrier diodes under hydrostatic pressure. Semicond. Sci. Technol. 21, 124–130. 104 DABROWSKI, J. and SCHEFFER, M., 1988. Theoretical Evidence for an Optical Inducible Structural Transition of the isolated As Antisite in GaAs: Identification and Explanation of EL2?. Phys. Rev. Lett., 60, 2183-2186. DANG, Z., 2004. Extended Neuro-Fuzzy Models Of Multilayer Perceptrons, Fuzzy Sets and Systems 142, 221–242. DEMUTH, H., BEALE, M. and HAGAN, M. T., 1995. Neural Network Design, Wadsworth Publishing Company Pub. DIZHUR, E.M., SHULMAN, A.Y., KOTELNIKOV, I.N. and VORONOVSKY, A.N., 2001. Pressure Dependence of the Barrier Heights in Tunnel n-GaAs/Au Junction. Phys. Stat. Sol.(b),223, 129-137. DOBACZEWSKI, L. and LANGER, J.M., 1993. Pressure Dependence of the Schottky Barrier Heights in Al/AlGaAs Junctions. Acta Phys. Pol. A, 84,741-744. DONOVAL, D., DE SOUAS PIRES, J., TOVE, P.A and HARMAN, R., 1989. A self consistent approach to I-V measurements on rectifying Metal- Semiconductor contacts. Solid State Electron., 32, 961-964. EVANGELOU, E.K., PAPADIMITRIOU, L., DIMITRIADES, C.A. and GIAKOUMAKIS, G.E., 1993. Extraction of Schottky Diode Parameters from I-V Characteristics. Solid State Electron., 36, 1633-1635. FAUSSETT, L., 1994. Fundamentals of Neural Networks Architectures, Algorithms, and Applications, Prentice-Hall. FRYE, R.C., RIETMAN, E. and WONG, C.C., 1991. Back-Propogation Learning and Nonidealities in Analog Neural Network Hardware. IEEE Transactions on Neural Networks, 2, (1), 110-117. GIANNAKIS G.B. and MENDEL J.M., 1989. Identification of Non-Minimum Phase Systems Using Higher-Order Statistics, IEEE Trans. Acoust., Speech, Signal Processıng, 37, 360-377. GWOREK C.S., PHATAK P., JONKER B.T., WEBER E.R. and NEWMAN N., 2001. Pressure dependence of Cu, Ag, and Fe/n-GaAs Schottky barrier heights. Phys. Rev. B, 66, 045322-1-045322-6. JACCEH, M., 2003. Neuro-Fuzzy System With Learning Tolerant To Imprecision, Fuzzy Sets and Systems 138, 427–439. EKSİN İ. and..EROL O. K., 2000 A Fuzzy Identification Method for Nonlinear Systems. Turk. J. Elec. Engin., 8, , 125-135. 105 JIT, S. and NARASIMHA, MURTY NETI, V.L., 2006. Analytical study of the photoeffects on common-source and common-drain microwave oscillators using high pinc-off n-GaAs MESFETs. Microelectronics Journal, 37, 452-458. JOGLE, V., 2004. Artificial Neural Networks and Neuro-Fuzzy Systems for Modelling and Controlling Real Systems, A Comparative Study, Engineering Applications of Artificial Intelligence, 17, 265–273. KARATAŞ, Ş. and ALTINDAL, Ş.,2005a. Temperature dependence of barrier heights of Au/n-type GaAs Schottky diodes. Solid-State Electronics, 49, 1052-1054. KARATAŞ, Ş. and ALTINDAL, Ş., 2004. Ideal Olmayan Schottky Diyotlarının Temel Parametrelerinin Akım-Voltaj Karakteristiklerinden belirlenmesi. KSU. Journal of Science and Engineering, 7(2).20-25 KARATAŞ, Ş. and ALTINDAL, Ş., 2005b. Zn/p-Si Schottky Diyotlarda Temel Elektriksel Parametrelerin Sıcaklığa Bağlı Incelenmesi. KSU. Journal of Science and Engineering, 8(1) 26-30 KARATAŞ, Ş. and TÜRÜT, A., 2006. The determination of electronics and interface state density distributions of Au/n-type GaAs Schottky barrier diodes. Physica B, 381, 199-203. KARATAŞ, Ş., TÜRÜT, A. and ALTINDAL, Ş., 2005. Effects of 60Co γ-ray irradition on the electrical characteristics of Au/n-GaAs (MS) structures.NIM- A,555, 260265. KOSKO, B., 1994. Neural Networks for Signal Processing Prentice Hall, Englewood Cliffs, NJ 07632, 1992. LEE, T.C., FUNG, S.,BELLING, C.D. and AU, H.L., 1992. A systematic approach to the measurement of ideality factor, series resistance, and barrier height for SBD’s. J. Appl, phys., 72, 4739-4742. LEE, J. AND MATHEWS, V.J., 1994. A Stability Condition for Certain Bilinear Systems, IEEE Trans. on Signal Processing, 42, 1871-1873. LIN, Y., and CUNNINGHAM, G., 1995. A New Approach to Fuzzy-Neural System Modelling, IEEE Transactions on Fuzzy Systemsa, 3, (2), 190-198. LIN, C.T. and LU, Y.C., 1995. A Neural Fuzzy System with Linguistic Teaching Signals. IEEE Transactions on Fuzzy Systems, 3, (2), 169-189. LOUIE, S.G and COHEN, M.L., 1976. Electronic Structure of a Metal-Semiconductor Interface. Phys. Rev. B, 13, 2461-2469. 106 MARSEQUERA, M., 2004. Model Identification by Neuro-Fuzzy Techniques: Predicting The Water Level In A Steam Generator of a pwr. Progress in Nuclear Energy, 44, (3), 237-252. MISSOUS, M., RHODERICK E.H. and SINGER K.E., 1985. Thermal Stability of Epitaxial Al/GaAs Schottky Barriers Prepared by Moleculer-Beam Epitaxy. J. Appl. Phys., 59(9), 3189-3195. MEAD, C.A., 1966. Schottky Barrier Gate Field-Effect Transistör. Proc. IEEE, 54, 307308. MÖNCH, W., 1995. Semiconductor Surfaces and Interfaces, 2nd Edition. Springer, Berlin, P.75-92, P.347-387, Table A.4. NARENDRA, K.S. and MUKHOPADHYAY, S., 1997. Adaptive Control Using Neural Networks and Approximate Models, IEEE Trans. on Neural Networks, 8, 475-485. NAUCK, D., 1995. Beyond Neuro-Fuzzy Perspectives and Directions.Proc. Third European Congress on Intelligent Technigues and Soft Computing, 1159-1164, Aachen. NAUCK, D. and KLAWONN.F., 1996. Neuro-Fuzzy Classification Initialized by Fuzzy Clusterig.Proc. Fourth European Congress on Intelligent Tecnigues and Soft Computing, Aachen. NAUCK, D., LAWONN. F. and KRUSE, R., 1992. Fuzzy Sets, Fuzzy Controllers, and Neural Networks, Journal of the Humboldt-University of Berlin, Series Medicine 41. NAUCK, D., and KRUSE, R., 1994. Choosing Appropriate Neuro-Fuzzy Models. In Proc. Second European Congress on Fuzzy and Intelligent Technologies (EUFIT94), 552-557. NORDE, H., 1979. A modified forward I-V plot for Schottky diodes with high series resistance. J. Appl. Phys., 50, 5052-5053. PEANASKY, M.J. and DRICKAMER, H.G., 1984. Effect of pressure, on the height of the Schottky barrier ( φB ) for several semiconductor. J. Appl. Phys., 56, 3471-3475. PERROT, M.H., and COHEN, R.J., 1996. An Efficiant Approach to ARMA Modelling of Biolagical Systems with Multiple Inputs and Delays. IEEE Transactions on Biomedical Engineering, 43, (1), 1-14. PHATAK, P., NEWMAN, N., DRESZER, P. and WEBER, E.R., 1995-II. Experimental determination of the pressure dependence of the barrier height of 107 metal/ [ n − type GaAs ] Schottky contacts: A critical test of Schottky-barrier models. Phys. Rev. B, 51, 18003-18006. RAUF, F., 1993. Nonlinear Adaptive Filtering: A Unified Approach, Ph.D. Thesis, Boston University, Boston. RHODERICK, E.H., FRENSLEY, W.R and SHAN, M.P., 1993. Handbook on Semiconductors Volume 4., Properties of Junctions and Barriers Chapter 1, Elsevier Science Publication, P.1-96. RHODERICK, E.H. and WILLIAMS, R.H., 1998. Metal-Semiconductor Contacts, Clarendon Pres, Oxford, P.1-144, Appendix C. ROSS, T.J., 1995. Fuzzy Logic with Engineering Applications, Mc.Graw-Hill Publishing Co., New York. SALEHI, A., NIKFARJAM, A. and KALANTARI D.J., 2006. Pd/porous-GaAs Schottky contact for hydrogen sensing application.Sensor and Actuators B, 113, 419-427. SALEHI, A. and NIKFARJAM, A., 2004. Room temperature carbon monoxide sensor using ITO/n-GaAs Schottky contact. Sensor and Actuators B, 101, 394-400. SATO, K and YASAMURA, Y., 1985. Study of Forward I-V Plot for Schottky Diodes with Series Resistance. J. Appl. Phys., 58(3), 3655. SCHMID, P.E., 1985. Silicide-silicon Schottky barriers. Helvetica Physica Acta, 58, 371382. SHAN, W., LI, M.F., YU, P.Y.,HANSEN, W.L. and WALUKIEWICZ, W., 1988. Pressure Dependence of Schottky Barrier height at the Pt/GaAs interface. Appl. Phys. Lett. , 53, 974-976. SHEN, T.H. and MATTHAI, C.C., 1991. Pressure dependence of the Schottky barrier height at the nickel-silicide/silicon interface. J. Phys.:Condens. Matter., 3, 613-615. SINGH, J., 2001. Semiconductor Devices: Basic Principles, John-Wiley. JUDİTSKY, A. HJALMARSSON, H. BENVESTIVE, A. DELYON, B. LJUNG, L. SJÖBERG, J. and ZHANG Q, 1995. Nonlinear black-box modelling in system identification: mathematical foundations, Automatica, 31 SZE, S.M., COLEMAN, D.J. and LOYA, A., 1971. Current transport in MetalSemiconductor-Metal (MSM) structure. Solid State. Electron., 14, 1209-1218. 108 VAN SCHILFGAARDE, M., WEBER, E.R and NEWMAN, N., 1994. Pressure Dependence of III-V Schottky Barriers: A Critical Test of Theories for Fermi Level Pinning. Phys. Rev. Lett., 73, 581-584. TANEVA, A. and GEORGIEVA M., 2003. Neuro-fuzzy Model: Used For Identification and Predictive Controller Design in Matlab, Technical University of Sofia. TSORMPATZOGLOU, A., TASSIS, D.H., DIMITRIADIS, C.A, KAMARINOS, G., FRIGERI, P., FRANCHI, S., GOMBIA, E. and MOSCA, R., 2006. Noise spectroscopy of localized states in Au/n-GaAs Schottky diodes containing InAs quantum dots. Solid-State Electronics, 50, 340-344. WEITERING, H.H., SULLIVAN, J.P., CAROLISSEN, R.J., SANDOZ, R.P., GRAHAM, W.R. and TUNG, R.T., 1996. Inhomogeneous Schottky barriers at Ag/Si(111) and Ag/Si(100) interface. J. Appl. Phys., 79, 7820-7828. YANG, Z.J. and S., TSUJI, T., 1997. System Impulse Response Identification Using a Multiresolution Neural Network, Automatica, 33, 1345-1350. YU, P.Y. and CARDONA M., 2001. Fundamentals of Semiconductors. 3rd Edition, Springer-Verlag, Berlin. P. 17-100. ZADEH, L.A., 1962. From Circuit Theory to System Theory, Proc, IRE, 50, 856-865. ZAINABIDINOV, S.Z., BARANSKIY, P.I., KARIMOV, I.N., TURAEV, A.R. and KARIMBERDIEV, KH.KH., 1995. Effect of High Pressure on the Electrical Properties of Doped Silicon Crystals and Devices Based on them. Solid State. Electron., 38, 693-695. ZHANG, J., and MORRIS, A.J., NOVEMBER, 1995. Fuzzy Neural Network for Nonlinear System Modelling. IEEE Proceedings, Control Theory Applications, 42, (6), 551-561. ZIEL, A.V., 1968. Solid State Physical Electronics, Prentice-Hall, Inc., New-Jersey, P.97245. ÖZGEÇMİŞ 1975 yılında Ankara doğdu. İlk ve orta öğrenimini de Ankara’da tamamladı. 1993 yılında Erciyes Üniversitesi Mühendislik Fakültesi Elektronik Mühendisliği bölümüne kayıt yaptırdı. 1999 yılında Elektronik Mühendisi ünvanını aldı. 2005 yılında Gaziosmanpaşa Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Fizik Anabilim dalında Yüksek Lisans eğitimine başladı. Halen aynı anabilim dalında akademik çalışmalarına devam etmektedir.
© Copyright 2024 Paperzz