A Antonello Cutolo Fabio Antonio Bovino Maria Principe Armando Ricciardi Optoelettronica e fotonica Copyright © MMXIV ARACNE editrice S.r.l. www.aracneeditrice.it [email protected] via Raffaele Garofalo, /A–B Roma () ---- I diritti di traduzione, di memorizzazione elettronica, di riproduzione e di adattamento anche parziale, con qualsiasi mezzo, sono riservati per tutti i Paesi. Non sono assolutamente consentite le fotocopie senza il permesso scritto dell’Editore. I edizione: settembre A mia madre e mio padre Alle mie donne Maria Emilia, Maria Teresa, Maria Alessandra Indice Capitolo I Fondamenti di ottica lineare 1.1 Introduzione 1 1.2 Equazioni di Maxwell 1 1.2.1 Le relazioni costitutive 3 1.2.2 L’indice di rifrazione e le relazioni di Kramers Kroning 6 1.2.3 Il vuoto 8 1.2.4 Le relazioni di Kramers Kroning e la teoria della relatività 10 1.2. L’inÀuenza dei camSi gravitazionali 13 1.3 Diffrazione e funzione di trasferimento ottica 13 1.3.1 Diffrazione di Fresnel e di Fraunhofer 1.3.2 &amSo diffratto da aSerture 1.3.3 $Sodizzazione 1.3.4 Funzione di trasferimento ottica 14 1 21 22 1.4 Ottica geometrica 24 1.4.1 Leggi fondamentali 1.4.2 Formule di Fresenel 1.4.3 Mezzi disomogenei 1.4.4 Mezzi conduttori 1.4. 6tati di Solarizzazione e formalismo di -ones 24 27 2 34 3 1. 3roSagazione nei mezzi anisontroSi e ottica Sarassiale 43 IX X Indice 1.5.1 Generalità 1.5.2 Ellisoide degli indici 1.5.3 Cristalli e lamine a Ȝ2 e a Ȝ4 1.5.4 5ifrazione all’interfaccia con un mezzo anisotroSo 1.5.5 Attività otica 1.5.6 DisSersione e costanti di sellmeir 1.5.7 Ottica Sarassiale e formalismo A%CD 1.5.8 Aberrazioni di un sistema ottico 1.5. Aberrazioni indotte termicamente 1.6 3rismi reticoli di diffrazioni Solarizzatori e monocromatori 1.6.1 Prismi 1.6.2 5eticoli di diffrazione 1.6.3 Polarizzatori 1.6.4 Monocromatori 1.7 Interferometria 1.7.1 Introduzione 1.7.2 Interferenza 1.7.3 Interferometri di Michelson e di Mach=ender 1.7.4 Interferometro Fabr\Perot 1.8 6Secchi e trattamenti antiriÀettenti 1.8.1 6Secchi metallici 1.8.2 6Secchi dielettrici ¿ltri e trattamenti antiriÀesso 1.8.3 Tecniche di analisi dei mezzi dielettrici multistrato 43 47 48 52 54 57 65 68 73 77 77 7 84 88 8 8 0 5 7 100 104 Capitolo II Fasci gaussiani e risonatori ottici 2.1 Fasci gaussiani 2.1.1 L’equazione d’onda Sarassiale 107 108 Indice 2.1.2 Modi di Hermite-Gauss e Laguerre-Gauss 2.1.3 La legge A%CD Ser i fasci gaussiani 2.1.4 Il fattore di qualità M 2.2 Risonatori ottici 2.2.1 Stabilità di un risonatore 2.2.2 Analisi modale 2.2.3 Modi gaussiani di un risonatore stabile 2.2.4 Perdite di un risonatore ottico 2.2.5 Disallineamento e disadattamento XI 108 115 118 125 126 130 132 136 13 Capitolo III Ottica non lineare 3.1 Generalità: mixing di frequenze 147 3.2 Generazione di seconda armonica 151 3.2.1 Phase matching 3.2.2 Generazione di seconda armonica con fasci gaussiani 3.2.3 4uasi-Shase matching 3.3 Ottimizzazione della generazione di seconda armonica 3.3.1 Mismatch autoindotto: effetti termici 3.3.2 Mismatch autoindotto: effetti di larghezza di riga 3.3.3 :alN-off: effetti sSaziali e temSorali 3.4 Fotorifrazione e coniugazione di fase 3.4.1 Reticoli generati Ser effetto fotorifrattivo 3.4.2 Interazioni non lineari a Si onde 3.4.3 Coniugazione di fase 3.4.4 Matrice A%CD di uno sSecchio di fase e isonatori 3.5 Effetti di autofocheggiamento 153 156 15 161 162 165 168 172 175 17 188 18 13 XII Indice 3.6 Oscillatori Sarametrici 3.6.1 Equazioni fondamentali 3.6.2 AmSli¿catore Sarametrico 3.6.3 Oscillatore Sarametrico 3.6.4 Metodi di tuning 17 1 202 204 208 Capitolo IV Sistemi laser 4.1 Introduzione 211 4.2 Livelli di energia 211 4.2.1 Cause di allargamento di riga 4.2.2 Assorbimento emissione sSontanea ed emissione stimolata 4.3 Rate equations 211 213 216 4.3.1 Sistema a due livelli 218 4.3.2 Sistema a tre livelli 4.3.3 Sistema a quattro livelli 4.3.4 Guadagno Ser Siccolo segnale e saturazione 21 222 223 4.4 PrinciSali tecniche di SomSaggio 4.4.1 Generalità 4.4.2 PomSaggio ottico 4.5 I sistemi laser 4.5.1 Ottimizzazione dell’accoSSiamento di uscita 4.5.2 Laser a gas 4.5.3 Laser a liquidi 4.5.4 Laser a stato solido 225 225 227 233 233 235 241 243 Indice 4.5.5 Laser accordabili 4.6 Sistemi laser Sulsati 4.6.1 4-switching e cavat\ dumSing 4.6.2 Mode locking 4.6.3 Mode locking nei mezzi ad allargamento di riga omogeneo 4.6.4 Pulse colliding 4.6.5 ComSressore di imSulsi in ¿bra ottica 4.7 La normativa sui sistemi laser 4.7.1 Norme di sicurezza eletrica 4.7.2 Norme di sicurezza sulle radiazioni laser XIII 246 248 248 256 261 266 266 272 273 275 Capitolo V Dispositivi optoelettronici a semiconduttori 5.1 Introduzione 277 5.2 Fondamenti di ottica dei semiconduttori 278 5.2.1 %ande di energia nei semiconduttori 5.2.2 ProSrietà ottiche dei semiconduttori: effetto Slasma ottico 5.3 Sorgenti di radiazione 5.3.1 Diodi LED 5.3.2 Diodi laser 5.4 Fotorivelatori 5.4.1 Fotodiodi a semiconduttore 5.4.2 Fotodiodi a vuoto e fotomoltiSlicatori 5.4.3 DisSositivi CCD e altri tiSi di fotorivelatori 278 284 22 22 26 304 307 314 317 XIV Indice 5.5 Controllo ottico di disSositivi e circuiti elettronici 5.5.1 OStoisolatori 5.5.2 Interruttori a semiconduttore controllati otticamente 5.5.3 Materiali tiSici e SrinciSali con¿gurazioni 5.5.4 Tiristori e transitori controllati otticamente 5.5.5 generazione ottica di imSulsi di tensione ultracorti 322 323 325 32 332 335 Capitolo VI Diagnostica dei fasci laser 6.1 Introduzione 33 6.2 Misure nel dominio della frequenza 340 6.2.1 Misure di lunghezza d’onda 6.2.2 Misure di coerenza e di larghezza di riga 340 344 6.3 Misure delle caratteristiche sSaziali 348 6.4 Misure nel dominio del temSo 353 6.4.1 Fotodiodo e oscilloscoSio e streak camera 6.4.2 Autocorrelatori 6.5 Misure delle instabilità 354 355 35 Capitolo VII Modulatori ottici 7.1 Introduzione 367 7.2 Modulazione diretta 367 7.2.1 Modulazione di diodi LED 36 Indice 7.2.2 Modulazione di diodi laser 7.3 L’effetto elettro-ottico 7.3.1 Effetto elettro-ottico quadratico (effetto Kerr) 7.3.2 L’effetto elettro-ottico lineare (effetto Pockels) 7.3.3 Effetto elettro-ottico longitudinale e trasversale 7.3.4 Modulatori elettro-ottici 7.3.5 TemSo di risSosta dell’effetto elettro-ottico 7.3.6 ASSlicazioni ai laser Sulsati 7.4 Effetto acusto-ottico 7.4.1 L’effetto elasto-ottico 7.4.2 L’effetto acusto-ottico nei mezzi isotroSi e nei mezzi anisotroSo 7.4.3 Transitorio ed effetti di larghezza di riga 7.5 Tecniche di modulazioni in oStoelettronica integrata 7.5.1 Effetto Franza-keldish 7.5.2 Modulatori di amSiezza e di fase basati sull’effetto Slasma ottico 7.5.3 Modulatori integrati in niobato di litio XV 370 372 373 373 381 386 38 32 32 33 34 403 406 408 40 41 Capitolo VIII Ottica guidata e ¿Ere otticKe 8.1 Introduzione 425 8.2 Strutture guidanti elementari 425 8.2.1 L’equazione d’onda nelle strutture guidanti 8.2.2 Guide Slanari metalliche 8.2.3 Guide Slanari dielettriche 8.2.4 Guide Slanari dielettriche asimmetriche 426 433 437 440 XVI Indice 8.2.5 Grandezze normalizzate, cutoff e numero di modi SroSagativi 8.2.6 Guide dielettriche a sezione circolare: ¿bre ottiche 8.3 Fibre ottiche 8.3.1 ASertura numerica 8.3.2 Attenuazione e Serdite Ser curvatura 8.3.3 Eccitazione e accoSSiamento di ¿bre 8.3.4 DisSersione nelle ¿bre ottiche 8.3.5 Cause di disSersione in una guida: analisi semSli¿cata 8.3.6 Diametro del modo 8.3.7 InÀuenza sulla Solarizzazione 8.4 Materiali e tecnologie delle ¿bre ottiche 8.4.1 Materiali Ser ¿bre ottiche 8.4.2 PrinciSali tecnologie Ser le ¿bre ottiche 8.4.3 Connettori e giunti 8.5 Diagnostica di ¿bre ottiche 448 451 458 463 465 471 474 482 485 488 42 42 46 48 501 8.5.1 Misure di attenuazione e della radiazione retrodiffusiva 501 8.5.2 Misure di disSersione e caratteristiche meccaniche 504 8.6 AmSli¿catori in ¿bra ottica 8.6.1 Problemi realizzativi 8.6.2 ASSlicazioni alle comunicazioni e sistemi sottomarini 8.6.3 Il Sroblema del Solarization hole burning 8.6.4 ASSlicazioni alla sensoristica 8.7 Teoria dei modi accoSSiati 8.7.1 Guida dielettrica con corrugazioni Seriodiche e laser a feedback distribuito 8.7.2 ProSagazione solitonica in ¿bra ottica 506 511 516 521 523 526 528 534 Indice XVII Capitolo IX 3ropaga]ione in strutture periodicKe .1 Introduzione 545 .2 Teorema di %loch-Floquet 546 .2.1 =ona di %rilluoin 54 .3 Cristalli fotonici 1-D e reticoli di %ragg .3.1 Teoria dei modi accoSSiati .3.2 Metodo della matrice di trasmissione .3.3 Modi localizzati .3.4 ASSlicazioni 54 552 558 566 567 .4 Cristalli fotonici 2-D 568 .4.1 Modi localizzati 572 .5 Introduzione ai metamateriali .5.1 Metamateriali con indice di rifrazione negativo 574 57 Capitolo X Introdu]ione alla crittogra¿a Tuantistica 10.1 Premessa 583 10.2 Inquadramento della crittogra¿a quantistica 585 10.2.1 I sistemi crittogra¿ci 10.2.2 Crittosistemi in chiave Subblica 588 55 10.3 Postulati della meccanica quantistica 600 10.3.1 SSazio di stato 10.3.2 Evoluzione 600 602 XVIII Indice 10.3.3 Teoria della misura 10.3.4 Misure Sroiettive 10.3.5 Il SrinciSio di determinazione di Heisenberg 10.4 4uantum %it 10.4.1 Matrici di SSin di Pauli 10.4.2 Il vettore di SSin di Pauli e la connessione tra vettori di -ones e vettori di Stokes 10.4.3 Identità notevoli dei vettori di SSin 10.4.4 Conservazione della lunghezza 10.4.5 Stati ortogonali 10.4.6 Stati non ortogonali 10.4.7 Stati di rotazione 10.4.8 OSeratore di rotazione intorno all’asse = 10.4. OSeratore di rotazione intorno all’asse X 10.4.10 OSeratore di rotazione intorno all’asse < 10.4.11 EsSressione della matrice di rotazione sul vettore di Stokes 10.5 Elementi di teoria dell’informazione 10.5.1 EntroSia di una variabile classica 10.5.2 Comunicazione classica 10.5.3 EntroSia di uno stato quantistico 10.5.4 Holevo bound 10.5.5 Fedeltà di trasmissione 10.5.6 DecomSosizione di Kraus 10.5.7 Modelli di rumore 10.5.8 Rumore con memoria 10.5. Modello di interazione 10.5.10 Soluzione esatta con banda nulla 10.5.11 Rumore di Markov 10.5.12 Rumore telegra¿co non Markoviano 10.5.13 Rumore gaussiano 10.5.14 Fedeltà di trasmissione 604 606 608 610 615 617 620 621 622 623 624 625 627 628 631 636 636 638 63 641 642 643 644 645 648 64 652 654 655 655 Indice 10.6 Crittogra¿a quantistica 10.6.1 One-Time.Pad e Sroblema della distribuzione delle chiavi 10.6.2 Teorema del no-cloning 10.6.2 Quantum key distribution 10.6.3 Quantum side chanel e attacchi a errore nullo 10.6.4 QKD con decoy state 10.6.5 Pratical QKD con decoy state 10.6.6 Il ruolo della QKD nella Srotezione delle infrastrutture critiche XIX 656 656 657 660 668 66 673 681 Capitolo XI 3rocessi di micro e nanofaEErica]ione 11.1 Introduzione 68 11.2 Il wafer di silicio 61 11.2.1 Reticolo ed indici di Miller 11.2.2 Il metodo Czochralski 11.2.3 La camera Sulita 11.3 Le tecniche litogra¿che 11.3.1 Il resist 11.3.1.1 Il Srocesso di sSin-coating 11.3.2 Le tecniche fotolitogra¿che 61 63 65 66 67 68 6 11.3.2.1 Fotolitogra¿a a contatto, a Srossimità 11.3.2.2 Fotolitogra¿a a Sroiezione 701 702 11.3.3 Litogra¿a a raggi X e litogra¿a 8V estrema 11.3.4 Litogra¿a a fascio elettronico e ionico 11.3.5 La tecnica di lift-off 704 706 708 XX Indice 11.3.6 La soft LithograShy 70 11.4 I Srocessi di Etching 710 11.4.1 Etching wet 11.4.2 Etching dry 712 712 11.4.2.1 Etching a ioni reattivi 714 11.5 Diffusione ed imSiantazione ionica 715 11.6 DeSosizione di ¿lm sottili 717 11.6.1 ESitassia a fascio molecolare 11.6.2 Ossidazione termica 11.6.3 DeSosizione chimica da (fase) vaSore 11.6.3.1 CVD a Sressione atmosferica e bassa Sressione 11.6.3.2 CVD assistita da Slasma 11.6.4 DeSosizione ¿sica da (fase) vaSore 11.6.4.1 EvaSorazione 11.6.4.2 SSuttering 718 71 721 723 725 726 726 727 Capitolo XII Interazione radiazione-materia 12.1 Generalità 731 12.2 Coef¿cienti di Einstein 731 12.2.1 L’equazione di Schrऺdinger 12.2.2 %arriere di Sotenziale: effetto tunnel 12.2.3 L’oscillatore armonico 12.2.4 Forze centrali: Sotenziali coulombiani 12.3 Interazione radiazione-materia 734 737 741 743 745 Indice 12.3.1 L’hamiltoniana di interazione e la suscettività dielettrica 12.3.2 Equazioni di %loch 12.3.3 Sistema a due livelli e oscillazioni di Rabi 12.3.4 Cause di allargamento di riga 12.3.5 Rate equation XXI 745 750 752 755 763 Prefazione In questo libro vengono illustrati i fondamenti ed alcune applicazioni dell’optoelettronica prediligendo l’aspetto descrittivo omettendo lunghe trattazioni analitiche. Rispetto alle edizioni precedenti sono stati soppressi alcuni capitoli e ne sono stati introdotti tre nuovi: uno sui cristalli fotonici e metamateriali, uno sulle tecnologie impiegate in ottica integrata e nanofotonica e uno sulla crittografia quantistica. È evitato l’uso della meccanica quantistica per consentire una migliore comprensione dei fenomeni descritti. Un solo capitolo, l’ultimo, richiede una conoscenza preliminare dei fondamenti di meccanica quantistica e la sua lettura può essere evitata senza compromettere in alcun modo la comprensione della restante parte del libro. In questo capitolo, sono svolti alcuni semplici esempi numerici per rendere comprensibile il passaggio alle nanotecnologie. Nei primi due capitoli, dopo aver richiamato le nozioni fondamentali di ottica, si analizzano la propagazione nei mezzi anisotropi e non omogenei, i fasci gaussiani, i risonatori ottici aperti e alcuni componenti ottici. Nel Cap.3 vengono discussi i fenomeni fondamentali dell’ottica non lineare, mentre nel Cap.4 sono descritti i principi di funzionamento dei laser, le tecniche di produzione degli impulsi di luce e gli oscillatori parametrici. Nel Cap.5 si passano in rassegna i principali componenti optoelettronici a semiconduttore (diodi LED e laser, foto rivelatori) discutendone alcune applicazioni. Dopo aver descritto, nel Cap.6, le tecniche di diagnostica dei sistemi laser, nel Cap.7 vengono discusse le principali tecniche di modulazione ottica. Il Cap. 8 è dedicato alla propagazione XXIII XXIV Prefazione guidata e all’optoelettronica integrata mentre, gli ultimi capitoli sono dedicati ad una serie di argomenti complementari e/o innovativi quali i cristalli fotonici, le tecnologie nano fotoniche, la crittografia quantistica e i fondamenti quantistici dell’interazione radiazione materia. I capitoli 9, 10 e 11 sono stati scritti da esperti del settore (rispettivamente Dott.ssa Maria Principe, Dott. Fabio Bovino, e Dott. Armando Ricciardi). Desidero ringraziare i colleghi e gli amici dell’Università del Sannio e gli studenti, per gli utili suggerimenti e le stimolanti discussioni. Infine, mi si consenta di ricordare un caro amico, Gigi e di rivolgere un pensiero al mio più caro amico, mio padre, i cui insegnamenti sono stati e sono un mio costante punto di riferimento. Antonello Cutolo ">MFQLIL( %LKA>JBKQFAFLQQF@>IFKB>OB @FDA6GL;A@7 (K NRBPQL @>MFQLIL PF OF@EF>J>KL IB KLWFLKF CLKA>JBKQ>IF AF LQQF@> IFKB>OB KB@BPP>OFB MBO >CCOLKQ>OB FK JLAL @LOOBQQL IL PQRAFL ABF MOFK@FMF AF CRKWFLK>JBKQL ABF @LJMLKBKQF B ABF PFPQBJF LMQLBIBQQOLKF@F B ABIIB ILOL MOFK@FM>IF >MMIF@>WFLKF (K M>OQF@LI>OB >K>IFWWBOBJLI>MOLM>D>WFLKBLQQF@>FKJBWWFFPLQOLMFB>KFPLQOLMF -BIInRIQFJ> M>OQB PLKL ABP@OFQQB IB MOLMOFBQ\ AF >I@RKF @LJMLKBKQF B PFPQBJF LQQF@F @EB KLKOF@EFBALKLRK@LKQOLIIL>QQFSL A>IInBPQBOKL B @EB PLKL CLKA>JBKQ>IF MBO FI CRKWFLK>JBKQL ABF PFPQBJF I>PBO B MBO IB ILOL >MMIF@>WFLKF FK LMQLBIBQQOLKF@> FK M>OQF@LI>OB FI MOFK@FMFL AF CRKWFLK>JBKQL B IB MOFK@FM>IF @>O>QQBOFPQF@EB ABDIF FKQBOCBOLJBQOF ABDIF PMB@@EF ABF MOFPJF ABF OBQF@LIFAFAFCCO>WFLKBBABFJLKL@OLJ>QLOF /BO LSSFB O>DFLKF AF PM>WFL FK >I@RKF @>PF I> QO>QQ>WFLKB P>O\ IFJFQ>Q> >I PLIL OF@EF>JL ABF @LK@BQQF CLKA>JBKQ>IF OFKSF>KAL >II> IBQQBO>QRO>MBORK>QO>QQ>WFLKBMFb>MMOLCLKAFQ> CG3L;A@;6;#3JI7>> 4K NR>IRKNRB CBKLJBKL BIBQQOLJ>DKBQF@L MR` BPPBOB >CCOLKQ>QL FK JLALOFDLOLPLOFPLISBKALIBBNR>WFLKFAF,>UTBII 1 2 OStoelettronica e fotonica ">MFQLIL( ∇ ⋅ = ∇ ⋅ = ρ ∂ ∂Q ∂ ∇× + ∂Q ∇× ALSB B PLKLFSBQQLOF@>JMLBIBQQOF@LBJ>DKBQF@L B PLKLF SBQQLOF FKARWFLKB BIBQQOF@> B J>DKBQF@> ^ FI SBQQLOB ABKPFQ\ AF @LOOBKQBB ρ^I>ABKPFQ\AF@>OF@EBBIBQQOF@EB-BIIB$NR>WFLKFFI KRJBOL ABIIB FK@LDKFQB ^ PRMBOFLOB >I KRJBOL ABIIB BNR>WFLKF MBO In>PPBKW> AF FKCLOJ>WFLKF PRIIB MOLMOFBQ\ AF BSBKQR>IF JBWWF MOBPBKQF /BOABP@OFSBOBIBMOLMOFBQ\AFRKBSBKQR>IBJBWWLL@@LOOB@LKPFABO>OB IB OBI>WFLKF @LPQFQRQFSB @EB FK RK JBWWL IFKB>OB LJLDBKBL KLK AFPMBOPFSLBFPLQOLMLPFP@OFSLKLKBII>CLOJ> ε μ σ ALSB ε ^ I> @LPQ>KQB AFBIBQQOF@> μ ^ I> @LPQ>KQB AF MBOJB>?FIFQ\ J>DKBQF@> B σ ^ I> @LKAR@F?FIFQ\ +> MOBPBKW> AF BSBKQR>IF PRMBOCF@F @EBBSBKQR>IJBKQBABIFJFQ>KLRK>OBDFLKBAFPM>WFLFK@RF>SSBKDLKL FCBKLJBKFBIBQQOLJ>DKBQF@FA>>K>IFWW>OB^QBKRQ>FK@LKQL>QQO>SBOPL IB @LKAFWFLKF >I @LKQLOKL -BI SRLQL IB @LPQ>KQF AF MBOJB>?FIFQ\ AFBIBQQOF@>BJ>DKBQF@>S>IDLKL ε = × − % J μ = ×− ' J 4K> MBOQRO?>WFLKB BIBQQOLJ>DKBQF@> S>OF>?FIB KBIIL PM>WFL B KBI QBJML PF MOLM>D> L??BABKAL > RKnBNR>WFLKB AnLKA> -BI @>PL MFb PBJMIF@B AF RK JBWWL IFKB>OB FPLQOLML KLK AFPMBOPFSL B MOFSL AF I. 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