測定顕微鏡 Catalog No.14003 (8) 光学機器 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 1 測定顕微鏡への期待 測定顕微鏡は観察機能に測定機能が付加された顕微鏡です。 半導体・電子電気部品・精密自動車部品・樹脂成型・工具・医療品などその被検物はさまざまであり、接触測定できないようなやわらかい被検物や測定プローブで接触でき ないほど小さい穴径などの測定シーンに応えてくれます。 測定顕微鏡に求められる重要な要素は光学性能・トータル精度・操作性のバランスです。今まで見えなかったもの見にくかったものが観察でき、 さらに測定もできる。測定 顕微鏡への期待は今後もますます大きくなり、同時に求められるのは人にやさしいこと、測定データの高スループット、地球環境にやさしいことだと考えています。産業の マザーテクノロジーを支える責任を果たすべく、 こだわりと信念を持ち続け、高品質・高品位の測定顕微鏡をお届けしていきたいと考えています。 開発・設計から納入後のサポートまで レンズ・鏡筒（光学系）を含めた顕微鏡ボディから本体内蔵の高精度デジタルスケールまで、すべて自社で開発設計製造しています。 自社開発設計だからこそできる特別仕 様のご相談や特注製作等の対応に積極的にお応えしてまいります。 顕微鏡本体は、生産工場からご希望の最終場所までの運送・設置・調整まで責任を持って対応させていただきます※。 また、顕微鏡本体の梱包箱はリサイクル方式を採用し ておりますので、納入先のお客様で可能な限り廃棄物を出さないように考えております。調整後は、 ご要望に応じて保守契約等の万全のアフターサービス体制をとっており ますので、長く安心してお使いいただけます。 ※専用便で運送した場合。 2 ラインアップ 高精度測定を実現。 しかも、操作性を追求し、 さまざまなモデルをラインアップ。 新たに、Z軸モータドライブモデルをラインアップしました。 標準機 X軸、Y軸のステージ操作は、ハンドルから手を外さずに、 簡単位置合わせができる当社独自のクイックリリース機構が感覚的操作を実現します。 測定顕微鏡 MF シリーズ 特長：P7 ∼ 仕様：P11 ∼ 軸モータド ライブ Z ・ ・ 軸モータド ライブ X Y Z 3 ユニバーサル測定 顕微鏡 MF-U シリーズ 特長：P7 ∼ 仕様：P13 ∼ 標準機のX 軸、Y 軸のステージ操作は、 そのままに、Z 軸をモータドライブ化し、 直感的な操作を可能にするジョグシャトルで大胆上下動操作ができます。且つ、正確なピント微調整も可能です。 Z 軸モータドライブ 測定顕微鏡 MF シリーズ 特長：P19 ∼ 仕様：P22 ∼ Z 軸モータドライブ 測定顕微鏡 MF-U シリーズ 特長：P19 ∼ 仕様：P23 ∼ X、Y、Z 軸をモータドライブ化し、ステージ移動やピント合わせが容易に行なえ、疲労を軽減します。 モータドライブ 測定顕微鏡 MF シリーズ 特長：P25 ∼ 仕様：P29 ∼ モータドライブ 測定顕微鏡 MF-U シリーズ 特長：P25 ∼ 仕様：P30 ∼ モータドライブ 測定顕微鏡 MF-U シリーズ (LAF モデル) 特長：P25 ∼ 仕様：P30 ∼ 目 次 ・測定顕微鏡 MFシリーズ 特長 ------------------------------------------------------------------------------- P7～10 仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P11～12 外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P15 ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P17 ・オプション レンズ --------------------------------------------------------------------------------------------------P35～36 照明 ------------------------------------------------------------------------------------------------------P37～38 マニュアル画像計測 画像ユニット --------------------------------------------P39 二次元データ処理装置 QM-Data200 --------------------------------------------P40 顕微鏡用デジタルカメラシステムImageX PRO 3000--------------------P41 フォーカスパイロット、スライド式ノーズピース、 レボルバ ------------P42 微動付回転テーブル、Vブロック台、傾斜センタ、--------------------------P43 クランプ装置、 ステージアダプタ ・ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ 特長 ------------------------------------------------------------------------------- P7～10 偏光装置、微分干渉ユニット、照明フィルタ、----------------------------------P44 Cマウントアダプタ、0.5×TVアダプタ、対物ミクロメータ 設置台、防振台、 レンズクリーニングセット -------------------------------------P45 レチクル ----------------------------------------------------------------------------------------------P46 仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P13～14 外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P16 ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P18 ・Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 特長 ------------------------------------------------------------------------------- P19～21 仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P22～23 外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P24 ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P33～34 ・モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 特長 ------------------------------------------------------------------------------- P25～28 仕様 ------------------------------------------------------------------------------- P29～30 外観寸法図 ---------------------------------------------------------------- P31～32 ダイアグラム ------------------------------------------------------------- P33～34 4 光学性能の追求 ～ 顕微鏡の本質 光学設計の顕微鏡鏡筒と対物レンズによって、光学系内に発生するフレアを 極力抑え、被検物の微細なディテールを明るくすっきり表現します。黒色樹脂 の表面も高コントラストでクリアに観察できます。MF-Uシリーズは定評ある FS 光学系金属顕微鏡ヘッドを搭載しており、3原色を補正した色再現性の高い鮮 やかな像を表現します（対物レンズはプランアポクロマート仕様※）。 照明系をLEDとハロゲンから選択でき、光学系内で照明効率を一段と高め十分 な照度を確保していますので、効率的で疲労感の少ない高倍率測定・暗視野 観察環境を提供できます。 ※像面全域における湾曲収差および3原色（青・黄・赤）の波長域における色収差を補 正した仕様 測定精度の追求 ～ JIS 0級にせまる測定精度 （MF D・MF-UD 共通） 参考）JIS B 7153 測定顕微鏡 各軸の測定精度（20℃） 0級（2+0.01L）µm以下 1級（4+0.02L）µm以下 L=測定長mm 測定精度 （2.2+0.02L）µm以下 X・Y軸： サンプル 0 規格 X軸測定精度 測定範囲 測定顕微鏡は光学性能だけでなく総合的な測定精度も高いレベルでなければなりません。 全ステージサイズにおいて上記規格の測定精度を実現しています※。 ロングストローク測定と高精度を同時に実現していますのであらゆる測定シーンでお役に立てると考えてい ます。 ※JIS B 7153のXY軸各軸の測定方法に準拠しています。上記測定精度グラフはサンプルであり、全ての本体精度を表しているものでは ありません。 顕微鏡本体に内蔵するデジタルスケールは光電式透過型リニアエンコーダ（最大応答速度50m/min） で世界 最高水準のスケール精度評価技術をもつ地下研究棟で開発された高精度仕様です。 弊社は線度器（長さ500mmまでの標準尺）の校正で国内初のISO/IEC 17025 (JCSS) 認定を取得しています。 安心してお使いいただくために ～ 国家標準へのトレーサビリティ ミツトヨでは日本の国家標準にトレーサブルな長さ標準器を 保有し、測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うこと により、各種測定機器のトレーサビリティ確立と維持を行って います。 国家 標準 産業技術総合研究所 計量標準総合センター （NMIJ/AIST） 協定世界時に同期した原子時計及び光周波数コム装置 二次 標準 ミツトヨ 宇都宮計量標準 キャリブレーションセンタ （JCSS認定事業者 No.0031） 長さ用633nmよう素分子吸収線波長安定化He-Neレーザ装置 実用 標準 ミツトヨ 宇都宮計量標準 キャリブレーションセンタ 長さ用633nm実用波長安定化He-Neレーザ装置 光波干渉測長機（標準尺用） 実用標準 標準尺・基準スケール 測定顕微鏡 5 測定顕微鏡によるソリューション 微小エリアの観察検査 MFシリーズは、豊富な照明を併用することによって被検物の色再現性やリアリティ をより高めた観察検査を可能とします。 MF-Uシリーズは、暗視野（明視野では見えにくい表面の傷や欠陥を検出できる観 察） ・簡易偏光（ポラライザ・アナライザを通して偏光特性に応じた色合いやコント ラストの観察） ・微分干渉（偏光フィルタと微分干渉プリズムを併用し、表面の微細 な段差などを色のコントラストで観察）等の金属顕微鏡観察に測定機能がついた 高付加価値顕微鏡です。 明視野観察 暗視野観察 偏光観察 微分干渉観察 誰でも簡単に顕微鏡撮影 MF-UB1010D＋ImageX PRO 3000 顕微鏡用デジタルカメラを装着すれば誰でも簡単に顕微鏡撮影ができます。汎 用性が高い Cマウントアダプタを採用していますので、Cマウント対応のデジタル カメラであればどの機種でも装着することができます。また、モニタに表示され た顕微鏡画像を多人数で同時に解析評価したり、画像を添付した検査表作成を システム化できます。 顕微鏡用デジタルカメラシステム【ImageX PRO 3000】は、撮影印刷機能はもと より画像解析機能やメール送信機能などを備えています。 顕微鏡ベースの高解像測定 MF-B2017D＋画像ユニット 測定顕微鏡に画像測定オプション【画像ユニット】を搭載すれば、マニュアル画像 測定システムを構築できます。ステージの移動量を常にソフト側で通信している 為、カメラの撮像範囲内（画面内）だけでなく画面に入りきらない広範囲測定にも 対応しています。 また、自動エッジ検出機能が効率的でスループットが早い測定環 境を提供します。 しかし一方では、カメラによる解像力よりも接眼レンズ越しに見る解像力が勝るケ ースもあります。例えば、黒色の樹脂成型品の表面状態はカメラ （モニタ観察） より も肉眼で直接見た方がクリアに見えることがあり、表面状態等の確認もできる測定 顕微鏡は非常に付加価値が高いシステムと言えます。 この場合の寸法測定では、 測定顕微鏡本体に二次元データ処理装置【QM-Data200】 （専用電装）を接続して お使いいただくことをお奨めします。 MF-UB1010D＋QM-Data200 6 測定顕微鏡 MFシリーズ ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ スライド式ノーズピース （オプション） を装着することで、対物レンズの素早い倍率変換と多彩 カウンタ表示部の取付位置を変えることができ、操作性を向上しました！ スライド式ノーズピース 新設計 （MF Dの工場オプション） スライド式ノーズピースに対物レンズ2本の装着例 MF（有限補正光学系）の測定顕微鏡は通常、対物レンズは1本しか装着できません ので、 倍率変換時には一度外して対物レンズを付け替えなくてはなりません。 スライド式ノーズピースは2本まで対物レンズの装着が可能なため、瞬時に倍率 変換ができます。 また、新設計のスライド式ノーズピースはLEDリング照明装置を装着することがで きるようになりました。 これにより、素早い倍率変換と多彩な照明に対応します。 7 スライド式ノーズピースに対物レンズとリングLED照明の装着例 な照明に対応します。 視認性の高いデジタル表示 新設計 （MF D・MF-U D共通） カウンタ前面 カウンタ裏面 全機種標準付属のデジタルカウンタ（2 軸・3 軸）の最小表示量は 1µm / 0.5µm / 0.1µmの切換ができ、高分解能測定を可能にします。また、ゼロセット・ディレクシ ョン切換・スムージングが標準機能となります（ゼロセットは XYハンドル近くのス イッチでも可能です） 。 表示部は大型を維持しつつ薄型のカウンタになり、自由に取付位置を変えること が可能なため、オペレータの最適な位置に調整が可能です。デジタルカウンタは コラムの左右どちらにも取付が可能です。 また、データ出力は汎用性の高いRS-232Cを採用しておりますので汎用プリンタや パソコンへのデータ出力に対応しています。カウンタ表示のみの表計算ソフトへ の出力も可能です。 8 測定顕微鏡 MFシリーズ ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ 高い合焦再現性による高さ測定 （MF Dのオプション・MF-U Dの工場オプション） 詳細はP42を参照ください。 広視野観察 （MF D・MF-U D共通） 顕微鏡で段差などの高さ方向を測定する場合は、合焦の再現性が重要なポイント になります。特に対物レンズの焦点深度による測定誤差は避けられません。 測定顕微鏡MF/MF-Uシリーズには合焦再現性を高めるフォーカスパイロットをオ プションで用意しています。 フォーカスパイロットは顕微鏡本体のTVカメラポート 部にアドオン装着し、高精度かつ再現性の高い合焦位置検出を可能とします。 目視に比べ再現性が向上し、個人誤差による測定値の変動が小さくなります。 合焦したい部分の大きさや被検物の表面状態や材質等に応じて選べるフォーカ スパターンは2種類あり、 クリアで明るい高輝度LED（緑色または赤色）を光源に採 用しています。無段階で明るさを調整できる合焦パターンは接眼レンズ上および TVモニタ上で確認することができますので、測定スループットを大幅に短縮しま す。 ① ① ② ② クラス最大の視野数※ 24mm（WF10×の場合）の接眼レンズで 覗く実視野は広く、長時間にわたる観察・測定でも眼への負担 が小さく疲労感もほとんどありません。WF10×接眼レンズは、 左右個別の視度調整範囲が従来品に比べ広くなっています。 ※対物レンズ1×時に視野全体で確認できる被検物上の範囲 MF 透過・反射照明はLED照明・ハロゲン照明から選択 （MF D・MF-U D共通、必須選択オプション） LED透過照明部（MF /MF-Uシリーズ） LED反射照明部（MFシリーズ） LED反射照明部（MF-Uシリーズ） 顕微鏡本体の同軸照明はLED照明とハロゲン照明から選択することができます。 こ れまでのハロゲン照明による観察測定をご希望される場合はハロゲン照明を、 ラ ンプ切れ時の交換時間のロスを低減して高輝度で調光反応が早い照明をご希望 される場合はLED照明を選択することができます。 LED照明は寿命が長く※1、突然点灯しなくなることはありません。 また、蛍光灯のようなチラツキがなく色温度の変化もないので、見え方・明るさ・色 合いが変わりません。長時間観察での目の疲れを軽減します。消費電力も少なく可 視光以外の放射がほとんどありませんので、発熱も少なく経済的かつ被検物への 熱影響を抑えた測定が可能です※2。衝撃にも強く、環境に有害な物質を含んでいま せんので長く安心してお使いいただける照明光源といえます。 MF/MF-Uシリーズは全機種に透過・反射照明絞り機構を標準で搭載しています ので、光の回折を抑えた観察測定が可能です。 ※1：常に最大照度でご使用になると寿命が短くなります。 ※2：MF D・MF-U D用LED照明装置にはさらなる熱影響対策として、冷却ファン （静音仕様） を内蔵しています。 LED照明イメージ 9 ハロゲン照明イメージ 220mm クイックリリース機構※1＆ゼロセットスイッチ内蔵※2 ロングストロークまで網羅したステージバリエーション （MF D・MF-U D共通） m 220m Z軸 300mm （MF D・MF-U D共通） 220mm 30 220mm ゼロセット スイッチ m 0m クイックリリース ハンドル Y軸 200mm 300mm X軸 400mm MF-B4020D XYハンドル内側のクイックリリースハンドルでステージ送りを大粗動/微動（FREE/ LOCK）に切換できます。 ステージが完全フリー状態になりますので測定位置の距離が長い場合や基準位 置に早く戻る際などにとても便利です。 本機構はツイストローラー方式を採用していますので切替時にほとんど衝撃がな く、滑らかな送りを体感できます。 また、ハンドル近くにカウンタのゼロセットスイ ッチを内蔵※2していますので、ピント合わせ以外はほとんどハンドル周辺から手 を離すことなく接眼部に意識を集中して測定ができます。 ※1：国内特許登録済 ※2：ゼロセットスイッチの内蔵はXY軸のみとなります。Z軸ゼロセットスイッチは内蔵では ありません。 両側Z軸ハンドル標準 （MF D・MF-U D） 被検物は微細なものから大きなものまでその寸法はさまざまです。 業種を問わず広くご使用いただいている測定顕微鏡だからこそ測定ストロークに は多くのバリエーションをもたせています。 本シリーズでは、基板やシャフト、刃工具等の測定に有効な400mm（X軸）×200mm （Y軸）×220mm（Z軸）のロングストローク測定を可能にするステージをご用意し ています。標準機はZ軸220mmになりますが、コラムアップ仕様のZ軸拡張にも対 応させていただきます。 また、被検物をテーブル移動方向に平行に定置させる際に便利なスイベル回転 機構※も標準装備しています。 ※Y軸170mmサイズ以上のみ ティルティング鏡筒標準搭載 （MF-U Dのみ） 高剛性コラムベース （MF D・MF-U D共通） MF D MF-U D Z軸ハンドルはコラムの両側に標準化してい ますので操作する方の利き手を選びません。 また、デジタルカウンタはコラムの左右どち らにも取付が可能ですので利き手に合わせ た操作環境を実現できます。 人間工学を考慮し、ハンドル位置は女性の方 でも快適に操作できる設計になっています。 操作する方の体格に合わせた位置にアイポイ ント調整が可能なため快適に観察できます。 附視角は0～30˚で任意の位置で固定できます。 また、鏡筒内部のレチクルは交換可能です。 低倍率から高倍率まで任意の総合倍率で 観察・測定するには鏡筒を保持するコラ ムおよび顕微鏡全体を支えるベースの剛 性がしっかりしていなければなりません。 本シリーズは落下試験※・輸送試験※・スム ージング試験などさまざまな角度から評 価を繰返し、 フルストロークにおいてブレ のない見えと安定した精度を実現してい ます。 コラム内部には横リブを追加し剛性を高 め、ベース部の剛性向上および高精度測 定を実現するために、電源部をベース内 部から外に出し熱影響を抑えています。 コラム ※専用梱包状態での弊社独自試験 10 測定顕微鏡 MFシリーズ 特長 MF-B1010D MF-B2010D ※双眼装置（接眼レンズ） と照明装置は オプションです。 ※双眼装置（接眼レンズ） と照明装置は オプションです。 ■フレアを抑えた鮮やかな正立像広視野観察 ■このクラス最高レベルの測定精度を実現（JIS B 7153準拠） ■MF専用の高NA対物レンズMLシリーズを使用（長作動距離仕様） ■照明部（反射・透過）は高輝度LED照明またはハロゲン照明から選択可能（必須） ■可変開口絞り （反射・透過）機構により、 コントラスト・分解能を調整することが可能 ■豊富なステージラインアップで最大400×200mmを標準化 ■大形サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構 ■利き手を選ばない両側標準装備の粗微動ハンドルでジャストフォーカス＆観察測定 ■最大2000×の高倍率接眼観察が可能 ■画像ユニットや各種顕微鏡用デジタルカメラなど多彩なオプションも魅力的な測定顕微鏡の標準機 ■静音設計 11 MF-B2017D MF-B3017D MF-B4020D ※双眼装置（接眼レンズ） と照明装置は オプションです。 ※双眼装置（接眼レンズ） と照明装置は オプションです。 ※双眼装置（接眼レンズ） と照明装置は オプションです。 仕様 Z軸測長無 Z軸測長有 符号 コードNo. 符号 コードNo. 鏡筒（接眼装置は必須選択オプション） 観察像 観察方法 接眼レンズ（オプション） 視度調節可 対物レンズ（オプション） 最大被検物高さ Z軸 送り機構 照明装置 （必須選択 オプション） LED照明装置 ハロゲン照明装置 照明フィルタ ステージ 測定範囲 上面寸法 載物ガラス有効寸法 スイベル量 最大積載質量 クイックリリース機構 ゼロセットスイッチ 測長系 測定精度※ （XY軸：無負荷時） 最小表示量 デジタルカウンタ 表示軸 機能 本体外観寸法（W×D×H） 本体質量 照明装置用コントロールユニット 外観寸法 質量 最大消費電力（顕微鏡本体と照明装置） MF-A1010D 176-861 MF-B1010D 176-866 MF-A2010D 176-862 MF-B2010D 176-867 MF-A2017D MF-A3017D MF-A4020D 176-863 176-864 176-865 MF-B2017D MF-B3017D MF-B4020D 176-868 176-869 176-870 ） 単眼装置/双眼装置（附視角25° TVカメラポート全機種標準装備、レチクル（鎖線十字線 線幅5µm）、光路切換（観察/TVカメラ＝50/50） 正立像 明視野観察 10×（視野数24）、15×、20× 注）単眼装置：10×レンズ1個標準付属、双眼装置：10×レンズ2個標準付属 ML対物レンズ 3×（標準付属）、1×、5×、10×、20×、50×、100× 150mm 220mm 1軸粗微動・左右両ハンドル(粗動:30mm/回転、微動0.2mm/回転) 透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･白色LED光源･無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明･可変開口絞り機構付･白色LED光源･無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V 透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･12V50Wハロゲンランプ･無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明･可変開口絞り機構付･12V50Wハロゲンランプ･無段階調光・冷却ファン付き コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V GIFフィルタ 1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） 100×100mm 200×100mm 200×170mm 300×170mm 400×200mm 280×280mm 350×280mm 410×342mm 510×342mm 610×342mm 180×180mm 250×150mm 270×240mm 370×240mm 440×240mm ー ±5（ °左） ±3（ °左） 10kg 20kg 15kg XY軸標準 XY軸標準（MF-BタイプのみZ軸も標準） 562×730×667mm 67kg 高精度デジタルスケール （2.2+0.02L）µm L：測定長（mm） 1 / 0.5 / 0.1µm切換 X・Y軸（MF-BタイプのみX・Y・Z軸） ゼロセット、ディレクション切換、RS232C出力、USB出力（QSPAK専用） 624×745×667mm 632×892×782mm 682×892×782mm 71kg 148kg 156kg 114（W）×360（D）×96（H）mm LED:3.5kg ハロゲン:4kg LED照明装置：45W ハロゲン照明装置：160W 757×907×782mm 162kg ※測定方法は、JIS B 7153に準拠します。 ハロゲンランプ交換 標準：No.513667（12V50W） 反射・透過用 ロングライフ：No.12BAB345（12V50W） 12 ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ 特長 MF-UB1010D MF-UB2010D ※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。 ※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。 ■新フレアを抑えた鮮やかな正立像広視野観察 ■このクラス最高レベルの測定精度を実現（JIS B 7153準拠） ■定評のあるFS光学系高NA対物レンズM Plan Apo / BD Plan Apo / G Plan Apoシリーズを使用（長作動距離仕様） ■金属顕微鏡と測定顕微鏡の機能を1台に集約し、高解像観察＋高精度測定ソリューションを提供 ■照明部（反射・透過）は高輝度LED照明またはハロゲン照明から選択可能（必須） ※ハロゲン照明は透過用に1個のみとなりますので、反射用に別光源仕様をお求めください ■可変開口絞り （反射・透過）機構により、 コントラスト・分解能を調整することが可能 ■豊富なステージラインアップで最大400×200mmを標準化 ■大形サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構 ■利き手を選ばない両側標準装備の粗微動ハンドルでジャストフォーカス＆観察測定 ■最大4000×の高倍率接眼観察が可能（M Plan Apo SL200×使用時） ■画像ユニットや各種顕微鏡用デジタルカメラなど多彩なオプションも魅力的な測定顕微鏡の標準機 ■静音設計 13 MF-UB2017D MF-UB3017D MF-UB4020D ※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。 ※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。 ※レボルバ・対物レンズ・照明装置はオプションです。 仕様 BF（明視野） BD（明暗視野） 符号 コードNo. 符号 Z軸測長有 コードNo. 符号 Z軸測長無 コードNo. 符号 Z軸測長有 コードNo. Z軸測長無 MF-UA1010D 176-871 MF-UB1010D 176-876 MF-UC1010D 176-881 MF-UD1010D 176-886 鏡筒 観察像 観察方法 接眼レンズ（オプション） 視度調節可 明視野（BF） レボルバ （必須選択オプション） 明暗視野（BD） 明視野（BF） 対物レンズ （オプション） 明暗視野（BD） 最大被検物高さ Z軸 送り機構 照明装置 （必須選択オプション） 照明フィルタ ステージ LED照明装置 ハロゲン照明装置 測定範囲 上面寸法 載物ガラス有効寸法 スイベル量 最大積載質量 クイックリリース機構 ゼロセットスイッチ 測長系 測定精度※1（XY軸：無負荷時） 最小表示量 表示軸 デジタルカウンタ 機能 本体外観寸法（W×D×H） 本体質量 照明装置用コントロールユニット 外観寸法 質量 最大消費電力（顕微鏡本体と照明装置） MF-UA2010D 176-872 MF-UB2010D 176-877 MF-UC2010D 176-882 MF-UD2010D 176-887 MF-UA2017D MF-UA3017D 176-873 176-874 MF-UB2017D MF-UB3017D 176-878 176-879 MF-UC2017D MF-UC3017D 176-883 176-884 MF-UD2017D MF-UD3017D 176-888 176-889 ）、 ジーデントップ型眼幅調整51～76mm、 三眼ティルティング鏡筒（附視角0～30° 1×チューブレンズ内蔵、レチクル（鎖線十字線/線幅5µm）、 光路切換(観察/TVカメラ＝50/50） 150mm MF-UA4020D 176-875 MF-UB4020D 176-880 MF-UC4020D 176-885 MF-UD4020D 176-890 正立像 明視野・暗視野（MF-UC・UDタイプのみ） ・簡易偏光・微分干渉 10×（視野数24 2個標準付属）、15×、20× 調心同焦マニュアルレボルバ/調心電動レボルバ（どちらかを選択） マニュアルレボルバ/電動レボルバ（どちらかを選択） M Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apo全レンズ BD Plan Apo、BD plan Apo L全レンズ 220mm 1軸粗微動・左右両ハンドル（粗動:10mm/回転、微動0.1mm/回転） 透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･白色LED光源･無段階調光・冷却ファン付き 反射：明視野又は明暗視野ケーラ照明･可変開口絞り機構付･白色LED光源･無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V 透過：テレセントリック照明･開口絞り内蔵･12V50Wハロゲンランプ･無段階調光・冷却ファン付き 反射：明視野又は明暗視野ケーラ照明･可変開口絞り機構付･外部ファイバ照明（12V100W又は12V150Wハロゲンランプ）･無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ）･AC電源入力コネクタ100V～240V GIFフィルタ 1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） 100×100mm 200×100mm 200×170mm 300×170mm 400×200mm 280×280mm 350×280mm 410×342mm 510×342mm 610×342mm 180×180mm 250×150mm 270×240mm 370×240mm 440×240mm ー ±5（ °左） ±3（ °左） 10kg 20kg 15kg XY軸標準 XY軸標準（MF-UB・UDタイプのみZ軸も標準） 高精度デジタルスケール （2.2+0.02L）µm L：測定長（mm） 1 / 0.5 / 0.1µm切換 X・Y軸（MF-UB・UDタイプのみX・Y・Z軸） ゼロセット、ディレクション切換、RS232C出力、USB出力（QSPAK専用） 624×745×667mm 632×892×782mm 682×892×782mm 562×730×667mm 67kg 71kg 148kg 156kg 114（W）×360（D）×96（H）mm LED/ハロゲン:3.5kg LED照明装置：55W ハロゲン照明装置：90W※2 757×907×782mm 162kg ※1：測定方法は、JIS B 7153に準拠します。 ※2：透過照明部のみでの数値 ハロゲンランプ交換 標準：No.513667（12V50W） 透過用 ロングライフ：No.12BAB345（12V50W） ハロゲンランプ交換 詳細はP37をご覧下さい 反射用（別光源） 14 測定顕微鏡 MFシリーズ 外観寸法図 LED照明装置付きの図になります。 コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。 コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。 MF D 単位：mm MF-B1010D MF-B2010D 96 259 96 259 327 249 78 114 168 360 234+50 79 667 422 200 205 417 667 79 360 360 327 249 78 168 210 215 551 727+50 300+50 16 121 114 MF-B2017D 168 360 269+100 168 210 215 551 742+50 355+100 16 121 MF-B3017D 96 259 96 259 327 249 78 114 168 360 281+100 168 270 621 889+85 351+100 255 360 168 114 360 281+150 16 121 MF-B4020D 96 259 79 247 464 782 360 327 249 78 168 114 360 305+200 15 168 270 452+200 79 247 247 464 464 782 782 79 360 327 249 78 621 904+100 255 16 121 168 401+150 270 621 889+85 255 16 121 ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ 外観寸法図 LED照明装置付きの図になります。 コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。 コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。 MF-U D 単位：mm MF-UB2010D 259 259 96 171 171 667 570 667 565 168 360 234+50 205 200 114 96 356 231 125 360 356 231 125 360 MF-UB1010D 168 210 215 551 727+50 300+50 16 121 114 MF-UB2017D 168 360 269+100 168 210 215 551 742+50 355+100 16 121 MF-UB3017D 96 259 96 259 168 114 360 281+100 247 247 612 612 782 782 171 171 360 356 231 125 360 356 231 125 168 270 621 889+85 351+100 255 168 114 360 281+150 16 121 168 401+150 270 621 889+85 255 16 121 MF-UB4020D 96 259 247 612 782 171 360 356 231 125 168 114 360 305+200 168 270 452+200 621 904+100 255 16 121 16 測定顕微鏡 MFシリーズ オプション ダイアグラム TV観察/ 画像保存 本体照明 (反射＋透過) 本体透過照明用フィルタ GIFフィルタ 12AAA645 ND2フィルタ 12AAA643 RS-232Cケーブル（クロス） サーマルプリンタDPU-414 12AAA807 （接続ケーブル付）: ※D-sub9pin両側メスになります。 12AAD032 Image X PRO 3000 00AAB008 LB80フィルタ ND8フィルタ 12AAA646 12AAA644 LED照明装置 176-445 データ演算処理 Cマウント 970441 フットスイッチ（高剛性タイプ）: QM-Data200 0.5×TVアダプタユニット 375-054 12AAJ088 QM-Data200 264-155 外部プリンタ（ESC/P）ケーブル: 12AAA804 ハロゲン照明装置 176-447 合焦検出 画像ユニット フォーカスパイロット FP-05（LED仕様） 375-057（緑）/375-058（赤） 接眼装置 12AAJ088 359-795 176-392 QSPAK VUE V5.0 12AAR097 双眼装置(接眼レンズ10×:2個付) データ処理装置 単眼装置(接眼レンズ10×:1個付) フットスイッチ （高剛性仕様） 画像ユニット10D 校正用チャート 02AKN020 校正用チャート （ホルダ付） 02ATN695 12AAR088 176-393 QS補正用チャート(ホルダ付) 02AKW001 鏡筒 接眼レンズ10× 378-866（2個）/378-866-5（1個） 接眼レンズ15× 378-857（2個）/378-857-5（1個） 接眼レンズ20× 378-858（2個）/378-858-5（1個） 外部反射照明 MF D 角度接眼レンズ10× 375-043 ツインファイバ照明（100W） 176-343 リングファイバ照明（100W） デジタル角度接眼レンズ10× 176-366 176-313 LEDリング照明(白色) 176-367-2（外部調光機能） 各種レチクル ※本カタログに記載するレチクル 欄 （46ページ） をご参照ください。 100W外部照明フィルタ GIFフィルタ(光源用) 12AAG806 LB80フィルタ(光源用) 12AAG807 外部コントロールケーブル 12AAD128 画像ユニットへ接続 外部コントロールケーブル ステージ 周辺 12AAG888 1010サイズ 微動付回転テーブル（A） 176-305 クランプ装置 176-107 Vブロック台 172-378 2010サイズ ステージアダプタB ステージアダプタ 176-310 傾斜センタ台 172-197 2017・3017・4020サイズ 176-304 クランプ装置 176-107 Vブロック台 172-378 対物 レンズ 傾斜センタ台 ML対物レンズ ML対物レンズ3× 375-037-1 172-197 スライド式ノーズピース 176-370-1（工場オプション） 176-370-2（工場オプション） 微動付回転テーブル（B） 176-306 カウンタデータ印字 データ管理 リアルタイム工程管理プログラム MeasurLink 176-308 フットスイッチ （高剛性仕様） 検査表作成プログラム レンズクリーニングセット MeasureReport ※別途PCが必要になります。 RS-232Cケーブル（クロス） 12AAA807 17 周辺オプション サーマルプリンタDPU-414 02AGD600A（接続ケーブル付） 12AAJ088 ※ 本カタログ に 記 載 する画像ユニット欄 （ 39 ページ）をご参 照ください。 防振台 12AAA165 設置台（顕微鏡本体＋QM-Data200） 176-309 LED リング照明装置（白色） 176-371（外部調光機能付） 外部コントロールケーブル 対物ミクロメータ 375-056 縦型システムラック （画像ユニット） 998923 ML対物レンズ各種 ※本カタログに記載する 対 物レンズ 欄（ 3 6 ペ ー ジ） をご参照ください。 12AAG888 画像ユニットへ接続 ※ 本カタログ に 記 載 する画像ユニット欄 （ 39 ページ）をご参 照ください。 ユニバーサル測定顕微鏡 MF-Uシリーズ オプション ダイアグラム 画像ユニットへ接続 外部コントロールケーブル 外部コントロールケーブル 12AAG888 12AAD128 データ演算処理 ※本カタログに記載する 画像ユニット欄（39ペー ジ） をご参照ください。 本体照明 （反射＋透過） RS-232Cケーブル（クロス） 12AAA807 ※D-sub9pin両側メスになり ます。 サーマルプリンタDPU-414 （接続ケーブル付）: 12AAD032 フットスイッチ（高剛性タイプ）: 12AAJ088 QM-Data200 264-155 本体透過照明用フィルタ GIFフィルタ 12AAA645 ND2フィルタ 12AAA643 画像ユニット LB80フィルタ ND8フィルタ 12AAA646 12AAA644 100W外部照明用フィルタ 100Wファイバ照明 176-315 画像ユニット10D フットスイッチ （高剛性仕様） QSPAK VUE V5.0 12AAR097 校正用チャート データ処理装置 校正用チャート （ホルダ付） 359-762 GIFフィルタ（光源用） 12AAG0806 反射 150Wファイバ照明 176-316 外部プリンタ（ESC/P）ケーブル: 12AAA804 LB80フィルタ（光源用） 12AAG807 12AAJ088 02AKN020 02ATN695 12AAR088 透過 LED照明装置 176-446 QS補正用チャート（ホルダ付) 02AKW001 100Wツインファイバ照明 176-343 ハロゲン照明装置 176-448 鏡筒 合焦検出 接眼レンズ10× 378-866（2個）/378-866-5（1個） MF UD 接眼レンズ15× 378-857（2個）/378-857-5（1個） フォーカスパイロット 375-067（緑）/375-068（赤） ※工場オプションになります。 接眼レンズ20× 378-858（2個）/378-858-5（1個） 各種レチクル レボルバ/対物レンズ レボルバ4穴（BD） 微分干渉ユニット 明暗視野 BD 378-092 BF 1010サイズ 微動付回転テーブル（A） 176-305 クランプ装置 176-107 Vブロック台 172-378 2010サイズ RS-232Cケーブル（クロス） 12AAA807 ※D-sub9pin両側メスになります。 調心電動レボルバ5穴（BF） 378-216 明視野用対物レンズ M Plan Apo シリーズ M Plan Apo SL シリーズ G Plan Apo シリーズ ※本カタログに記載する 対物レンズ欄（36ペー ジ）をご参照ください。 2017・3017・4020サイズ ステージアダプタB ステージアダプタ 176-310 傾斜センタ台 172-197 176-212 378-018 明視野 明暗視野用対物レンズ BD Plan Apo シリーズ BD Plan Apo SL シリーズ 電動レボルバ4穴（BD） 調心･同焦マニュアルレボルバ（BF） 偏光装置 Image X PRO 3000 00AAB008 対物レンズ 176-211 378-080…5×・10×用 378-079…20×用 378-078…50×・SL20×用 378-076…100×・SL50×・ SL80×用 ステージ 周辺 Cマウント 970441 0.5×TVアダプタユニット 375-054 ※本カタログに記載するレチクル欄 （46ページ） をご参照ください。 偏光/ 微分干渉 TV観察/ 画像保存 176-304 クランプ装置 176-107 Vブロック台 172-378 傾斜センタ台 172-197 微動付回転テーブル（B） 176-306 詳細参照別紙記載 必須選択品 標準付属品 18 Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 標準機のX軸、Y軸のステージ操作は、 そのままに、Z軸をモータドライブ化し、操作性を （オプション） と組み合わせることで、驚速画像AFが可能です！ 向上しました！画像ユニット 19 特長 MF-J2017D MF-UJ2017D ※双眼装置、接眼レンズ、照明装置はオプションです。 ※別途、照明コントロールユニット、 コントロールユニット が付属します。 ※レボルバ、対物レンズ、照明装置はオプションです。 ※別途、照明コントロールユニット、 コントロールユニット が付属します。 ■測定顕微鏡のZ軸をモータドライブ化し操作性の向上に貢献。 Z軸はジョグシャトルを採用し違和感の少ない操作性を実現。 また、Z軸の下限リミットを設定可能なZリミットを搭載し対物レンズとワークの衝突を防止。 ■Z軸のハンドルを回し続ける繰り返し操作による疲労からオペレータを解放。 ■X・Y軸は、大型サイズや多数個測定時のロングストローク摺動に便利なクイックリリース機構。 ■画像ユニット （オプション） と組み合わせることで、画像AF（オートフォーカス）の実行が可能。※1 ■ロングストローク摺動が伴うステージサイズ200×170mm～400×200mmまでの大型ステージでラインアップ。 ■操作部のリモートBOXは作業を考慮したボタン配置を行い、オペレーターへ自然な操作感覚を提供。 ■リモートBOXには、DATA出力ボタン、粗微動切換ボタン（Z軸のみ）、速度調整機能（Z軸のみ）、X,Y,Z軸カウンタリセットボタンを標準装備。 ※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）が別途必要になります。 20 Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ Z軸をモータドライブ化 リモートBOX Z軸速度調整 リセットボタン AFボタン※4 Z軸操作ジャグシャトル データ出力ボタン ※4 画像ユニット接続時に有効（オプション） Z 軸をモータで駆動させます。Z 軸測定時の操作は、手元のリモートBOXのZ軸のジ ャグシャトルで操作することができますので、Z 軸のハンドルを回転させる操作、 フォーカシング操作が無く疲労が軽減されます。 また、Z 軸のモータドライブ化に よりオプションの画像ユニットと組み合わせて使用することで、新機能の画像 AF 演算処理装置 画像ユニット 機能を使用することが出来ます。※1 ※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）の接続が別途必要となります。 クイックリリース機構※2＆ゼロセットスイッチ内蔵※3 （MF D・MF-U D共通） ※MF-J2017D ＋ 画像ユニット10D ＋ 画像AFケーブルの組み合わせ Z 軸 モ ータドライブ 測 定 顕 微 鏡 は 、二 次 元 デ ータ処 理 装 置 の 「QM-Data200」や、デジタルカメラを搭載してエッジを検出する マニュアル画像計測システム「画像ユニット」を搭載することが可能 です。 画像ユニットは、画像AFケーブルを併用することで画像AFを実行す ることが可能になりました。 クイックリリース クイックリリース ハンドル ハンドル ゼロセット スイッチ オートフォーカス 画像AF（共通オプション） XYハンドル内側のクイックリリースハンドルでステージ送りを大粗動/微動（FREE/ LOCK）に切換できます。 ステージが完全フリー状態になりますので測定位置の距離が長い場合や基準位 置に早く戻る際などにとても便利です。 本機構はツイストローラー方式を採用していますので切替時にほとんど衝撃がな く、滑らかな送りを体感できます。 また、ハンドル近くにカウンタのゼロセットスイ ッチを内蔵 ※3していますので、ピント合わせ以外はほとんどハンドル周辺から手 を離すことなく接眼部に意識を集中して測定ができます。 ※2 国内特許登録済 ※3 ゼロセットスイッチの内蔵はXY軸のみとなります。Z軸ゼロセットスイッチは内蔵では ありません。 21 オプションの画像ユニットと画像AFケーブルを使用すれば画像AFを行うことが可 能になります。画像ユニットのソフトウエアQSPAK上で取得した画像データからコ ントラストの一番高い位置を検出してオートフォーカスを実行します。 人の目による焦点合わせよりも高速で行える為、作業時間の短縮と疲労軽減に貢 献します。 Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ 仕様 MF-J2017D 176-891 符号 コードNo. 鏡筒（接眼装置は必須選択オプション） 観察像 観察方法 接眼レンズ（オプション）視度調節可 対物レンズ（オプション） 最大被検物高さ Z軸 送り機構 LED照明装置 照明装置 （必須選択オプション） ハロゲン照明装置 照明フィルタ ステージ 測定範囲 上面寸法 載物ガラス有効寸法 スイベル量 最大積載量 クイックリリース機構 ゼロセットスイッチ 本体外観寸法（W×D×H） 本体質量 コントロールユニット外観寸法（W×D×H） コントロールユニット質量 照明装置用コントロールユニット外観寸法 （W×D×H） 照明装置用コントロールユニット質量 最大消費電力 MF-J4020D 176-893 ） 単眼装置/双眼装置（附視角25° TVカメラポート全機種標準装備、レチクル（鎖線十字線 線幅5µｍ）、観察/TVカメラ=50:50 正立像 明視野観察 10×（視野数24）、15×、20× 注）単眼装置：10×レンズ1個標準付属、双眼装置：10×レンズ2個標準付属 ML対物レンズ3×（標準付属）、1×、5×、10×、20×、50×、100× 220mm モータドライブ（送り速度max20mm/s） 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光 ・AC電源入力コネクタ100V～240V コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き ・AC電源入力コネクタ100V～240V コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） 200×170mm 300×170mm 400×200mm 410×342mm 510×342mm 610×342mm 270×240mm 370×240mm 440×240mm ±5° ±3° 20kg 15kg XY軸標準 XY軸標準 測長系 測定精度（XY軸無負荷時）※ 最小表示量 デジタルカウンタ 表示軸 機能 リモートBOX MF-J3017D 176-892 高精度デジタルスケール （2.2+0.02L）µm L：測定長（mm） 1/0.5/0.1µm切換 X/Y/Z軸 ゼロセット/ディレクション切換 ・速度調整（Z軸）・粗微動切換ボタン（Z軸） ・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸）・非常停止スイッチ ・電源予備スイッチ・AFボタン（画像オートフォーカス） ：画像ユニット接続時に有効（オプション） ・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン 632×892×782mm 150kg 682×892×782mm 158kg 355×364×106.5mm 7kg 757×907×782mm 164kg 114×365×96mm LED：3.5kg ハロゲン：4kg 230W ※測定方法はJIS B 7153に準拠します。 22 Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MF-Uシリーズ 仕様 符号 コードNo. 符号 コードNo. BF（明視野） BD（明暗視野) 鏡筒（接眼装置は必須選択オプション） 観察像 観察方法 接眼レンズ（オプション）視度調節可 レボルバ （必須選択オプション） MF-UJ3017D MF-UJ4020D 176-895 176-896 MF-UK3017D MF-UK4020D 176-898 176-899 ）、 ジーテントップ形眼幅調整51～76mm 三眼ティルティング鏡筒（附視角0～30° 1×チューブレンズ内蔵、レチクル（鎖線十字線/線幅5µm）、観察/TVカメラ=50：50 正立像 明視野・暗視野（暗視野対応機種のみ）、簡易偏光、微分干渉 10×（視野数24 2個標準付属）、15×、20× 調心同焦マニュアルレボルバ/調心電動レボルバ （どちらか選択） BF（明視野） BD（明暗視野） BF（明視野） 対物レンズ（オプション） BD（明暗視野） Z軸 MF-UJ2017D 176-894 MF-UK2017D 176-897 最大被検物高さ 送り機構 LED照明装置 照明装置 （必須選択オプション） ハロゲン照明装置 マニュアルレボルバ/電動レボルバ（どちらか選択） M Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apoシリーズ BD Plan Apo、BD Plan Apo SLシリーズ 220mm モータドライブ（送り速度max20mm/s） 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） ・AC電源入力コネクタ100V～240V 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き 反射：明視野/明暗視野ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V100W又は 12V150Wハロゲンランプ（選択）式外部ファイバ照明・無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） ・AC電源入力コネクタ100V～240V 照明フィルタ ステージ 測定範囲 上面寸法 載物ガラス有効寸法 スイベル量 最大積載量 クイックリリース機構 ゼロセットスイッチ 200×170mm 410×342mm 270×240mm 測長系 測定精度（XY軸無負荷時）※ 最小表示量 表示軸 デジタルカウンタ 機能 リモートBOX 本体外観寸法（W×D×H） 本体質量 コントロールユニット外観寸法（W×D×H） コントロールユニット質量 照明装置用コントロールユニット外観寸法 （W×D×H） 照明装置用コントロールユニット質量 最大消費電力 ※測定方法はJIS B 7153に準拠します。 23 GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） 300×170mm 510×342mm 370×240mm ±5° 20kg XY軸標準 XY軸標準 400×200mm 610×342mm 440×240mm ±3° 15kg 高精度デジタルスケール （2.2+0.02L）µm L：測定長（mm） 1/0.5/0.1µm切換 X/Y/Z軸 ゼロセット/ディレクション切換 ・速度調整（Z軸） ・粗微動切換ボタン（Z軸） ・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸） ・非常停止スイッチ ・電源予備スイッチ・AFボタン（画像オートフォーカス） ：画像ユニット接続時に有効（オプション） ・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン 632×892×782mm 150kg 682×892×782mm 158kg 355×364×106.5mm 7kg 114×365×96mm LED/ハロゲン：3.5kg 230W 757×907×782mm 164kg Z軸モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 外観寸法図 LED照明装置付きの図になります。 コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。 コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。 MF D 単位：mm MF-J2017D MF-J3017D 782 168 247 464∼684 782 168 360 281+100 464∼684 247 114 360 249 360 249 96 259 96 259 215 270 255 621 889+85 351+100 16 168 360 281+150 114 121 270 168 215 255 621 889+85 401+150 16 121 MF-J4020D 96 259 247 464∼684 782 360 249 168 360 305+200 114 270 168 215 452+200 MF-U D 255 621 904+100 16 121 単位：mm MF-UJ2017D 259 MF-UJ3017D 259 96 96 231 247 247 782 612∼832 782 612∼832 360 360 231 114 168 360 281+100 270 168 215 351+100 MF-UJ4020D 255 16 114 120 621 889+85 259 168 168 360 281+150 401+150 215 270 621 889+85 255 16 120 96 247 782 612∼832 360 231 168 114 360 305+200 270 168 215 452+200 621 904+100 255 16 ※Z軸モータドライブ測定顕微鏡のオプション ダイアグラムは、33、34ページ をご覧ください。 120 24 モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 測定顕微鏡のX、Y、Z軸をモータドライブ化し、操作性を向上しました！ 画像ユニット （オプション） と組み合わせることで、驚速画像AFが可能です！ To the next stage 25 MF-G2017D MF-UG4020D MF-UE2017D ※双眼装置、接眼レンズ、照明装置はオプションです。 ※別途、照明コントロールユニット、 コントロールユニット が付属します。 ※レボルバ、対物レンズ、照明装置はオプションです。 ※別途、照明コントロールユニット、 コントロールユニット が付属します。 ※レボルバ、対物レンズ、照明装置はオプションです。 ※別途、照明コントロールユニット、 コントロールユニット が付属します。 特長 ■測定顕微鏡のX,Y,Z軸をモータドライブ化しリモートBOXでステージを操作可能。 X,Y軸はジョイスティックによる操作、Z軸はジョグシャトルを採用し違和感の少ない操作性を実現。 また、Z軸の下限リミットを設定可能なZリミットを搭載し対物レンズとワークの衝突を防止。 ■ハンドルを回し続ける繰り返し操作による疲労からオペレータを解放。 ■画像ユニットを搭載することにより画像AF（オートフォーカス）の実行が可能。※1 MF-U電動タイプ/電動LAFタイプでは電動レボルバを選択することにより画像ユニット上で対物レンズのポジションを自動で認識可能。※2 ■ロングストローク摺動が伴うステージサイズ200×170mm～400×200mmまでの大型ステージで電動モデルをラインアップ。 ■ロングストローク摺動時や微細な位置決めを行う際に威力を発揮する粗微動切換ボタンと速度調整機能を標準装備。 ■操作部のリモートBOXは作業を考慮したボタン配置を行い、オペレーターへ自然な操作感覚を提供。 ■リモートBOXにはDATA出力ボタン、X,Y,Z軸カウンタリセットボタンを標準装備し手元で多彩な操作が可能。 ■MF-U電動タイプではLAF（レーザオートフォーカス）搭載タイプもラインアップし、ピント合わせの作業効率を向上。 LAFには通常のジャストフォーカス機能（JF）に加え、ステージ移動時でも常にピントの合うトラッキングオートフォーカス機能（TF）を搭載。 様々な場面のピント合わせに対応し、オペレーターの作業を軽減。 ※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）が別途必要になります。 ※2 RS-232Cケーブル（No.12AAA807）が別途必要になります。 26 モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ モータドライブ 演算処理装置 QM-Data200 ※MF-G2017D ＋ QM-Data200の組み合わせ X,Y,Z3軸をモータで駆動させます。XY軸をジョイステック、Z軸をジョグシャトルで 操作するので測定時の操作は手元のリモートBOXで行うことが出来ます。 画像ユニット 従来のハンドルを回転させる操作、 フォーカシング操作が無く疲労が軽減されま す。 XY軸の送り速度はMAX40mm/s、Z軸はMAX20mm/sで駆動、ステージのサイズは 200×170mm～400×200mmの大形ステージをラインアップ。 また、Z軸のモータドライブ化によりオプションの画像ユニットと合わせて使えば、 新機能の画像AF機能を使用することが出来ます。※1 ※1 画像AFケーブル（No.12AAN358）の接続が別途必要となります。 リモートBOX ※MF-G2017D ＋ 画像ユニット10D ＋ 画像AFケーブルの組み合わせ XYZ軸速度調整 リセットボタン XY軸ロックボタン モータドライブ測定顕微鏡は、二次元データ処理装置の「QM-Data200」や、デジ タルカメラを搭載してエッジを検出するマニュアル画像計測システム「画像ユニ ット」 を搭載することが可能です。 画像ユニットは、画像AFケーブルを併用することで画像AFを実行することが可能 になりました。 オートフォーカス XY軸操作ジョイスティック AFボタン※2 Z軸操作ジャグシャトル データ出力ボタン ※2 画像ユニット接続時に有効（オプション） 27 画像AF（共通オプション） オプションの画像ユニットと画像AFケーブルを使用すれば画像AFを行うことが可 能になります。画像ユニットのソフトウエアQSPAK上で取得した画像データからコ ントラストの一番高い位置を検出してオートフォーカスを実行します。 人の目による焦点合わせよりも高速で行える為、作業時間の短縮と疲労軽減に貢 献します。 電動レボルバ（MF-U電動機/電動LAF機オプション） MF-Uの電動機、電動LAF機では必須選択のレボルバから電動レボルバを選択し、 オプションの画像ユニットを搭載することにより、 レボルバポジションの変更やレ ボルバポジションの認識が可能になります。※1 この機能は画像ユニット10DのソフトウエアQSPAK VUE V4.1～より実装された新 機能になります。 ソフトウエア上でレボルバポジションの変更とレボルバポジションの自動認識が 可能になるので、 レボルバまで手を伸ばして回す動作が必要なくなります。 また、倍率変更に伴うキャリブレーション値の変更忘れも解消され、 より確実で、 よ り使い易いシステムを提供します。 ※1 RS-232Cケーブル（No.12AAA807）が別途必要となります。 QSPAK上のレボルバポジション表示 ※画像は電動4穴レボルバ/センサ付4穴レボルバの場合です。 レーザオートフォーカス（電動LAF機のみ） 電動LAF機ではLAF（レーザオートフォーカス）を行うことが可能です。 レンズの中を 波長690nmの半導体レーザーが通るTTL（Through The Lens）方式のAFを採用したこ とにより微小領域でもAFを実行することが可能になりました。 人の目による焦点合わせよりも再現性が良く高さ測定を行うことができます。 また、焦点合わせをしたいポイントにレーザを照射し高さを検出することが可能 なJF（ジャストフォーカス） と常に合焦位置を追従するTF（トラッキングフォーカス） の2種類を標準搭載しています。 28 モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 仕様 MF D MF-G2017D 176-781 符号 コードNo. 鏡筒（接眼装置は必須選択オプション） 観察像 観察方法 接眼レンズ（オプション）視度調節可 対物レンズ（オプション） 最大被検物高さ Z軸 送り機構 LED照明装置 照明装置 （必須選択オプション） ハロゲン照明装置 照明フィルタ ステージ 測定範囲 上面寸法 載物ガラス有効寸法 スイベル量 最大積載量 測長系 測定精度（XY軸無負荷時）※ デジタルカウンタ 最小表示量 表示軸 機能 リモートBOX 本体外観寸法（W×D×H） 本体質量 コントロールユニット外観寸法（W×D×H） コントロールユニット質量 照明装置用コントロールユニット外観寸法 （W×D×H） 照明装置用コントロールユニット質量 最大消費電力 ※測定方法はJIS B 7153に準拠します。 29 MF-G3017D MF-G4020D 176-782 176-783 ） 単眼装置/双眼装置（附視角25° TVカメラポート全機種標準装備、レチクル（鎖線十字線 線幅5µｍ）、観察/TVカメラ=50:50 正立像 明視野観察 10×（視野数24）、15×、20× 注）単眼装置：10×レンズ1個標準付属、双眼装置：10×レンズ2個標準付属 ML対物レンズ3×（標準付属）、1×、5×、10×、20×、50×、100× 220mm モータドライブ（送り速度max20mm/s） 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光 ・AC電源入力コネクタ100V～240V コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き ・AC電源入力コネクタ100V～240V コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） 200×170mm 300×170mm 400×200mm 410×342mm 510×342mm 610×342mm 270×240mm 370×240mm 440×240mm ±5° ±3° 20kg 15kg 高精度デジタルスケール （2.2+0.02L）µm L：測定長（mm） 1/0.5/0.1µm切換 X/Y/Z軸 ゼロセット/ディレクション切換 ・ジョイスティック （X,Y駆動）・ロックボタン（X,Y軸）・速度調整（X,Y,Z軸）・粗微動切換ボタン（X,Y,Z軸） ・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸）・非常停止スイッチ・電源予備スイッチ ・AFボタン（画像オートフォーカス） ：画像ユニット接続時に有効（オプション） ・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン 632×892×782mm 682×892×782mm 757×907×782mm 150kg 158kg 355×364×106.5mm 7kg 114×365×96mm LED：3.5kg ハロゲン：4kg 230W 164kg 仕様 MF-UD 電動 LAFモデル MF-UG4020D MF-UE2017D MF-UE3017D 176-786 176-790 176-791 MF-UH4020D MF-UF2017D MF-UF3017D 176-789 176-793 176-794 ）、 ジーテントップ形眼幅調整51～76mm 三眼ティルティング鏡筒（附視角0～30° 1×チューブレンズ内蔵、レチクル（鎖線十字線/線幅5µm）、観察/TVカメラ=50：50 電動モデル 符号 コードNo. 符号 コードNo. BF（明視野） BD（明暗視野) MF-UG2017D 176-784 MF-UH2017D 176-787 鏡筒（接眼装置は必須選択オプション） 観察像 観察方法 接眼レンズ（オプション）視度調節可 レボルバ （必須選択オプション） BF（明視野） BD（明暗視野） 対物レンズ（オプション） BF（明視野） BD（明暗視野） Z軸 最大被検物高さ 送り機構 LED照明装置 照明装置 （必須選択オプション） ハロゲン照明装置 ステージ マニュアルレボルバ/電動レボルバ（どちらか選択） 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・無段階調光・冷却ファン付き 反射：明視野/明暗視野ケーラー照明・可変開口絞り機構付・12V100W又は 12V150Wハロゲンランプ（選択）式外部ファイバ照明・無段階調光 コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） ・AC電源入力コネクタ100V～240V 200×170mm 410×342mm 270×240mm GIFフィルタ1個標準付属（透過、反射ともに装着可能） 300×170mm 400×200mm 200×170mm 300×170mm 510×342mm 610×342mm 410×342mm 510×342mm 370×240mm 440×240mm 270×240mm 370×240mm ±5° ±3° ±5° 20kg 15kg 20kg LAF（レーザオートフォーカス） 本体外観寸法（W×D×H） 本体質量 コントロールユニット外観寸法（W×D×H） コントロールユニット質量 照明装置用コントロールユニット外観寸法 （W×D×H） 照明装置用コントロールユニット質量 最大消費電力 400×200mm 610×342mm 440×240mm ±3° 15kg 高精度デジタルスケール （2.2+0.02L）µm L：測定長（mm） 1/0.5/0.1µm切換 X/Y/Z軸 ゼロセット/ディレクション切換 最小表示量 表示軸 機能 リモートBOX 手動レボルバBDセンサ付/電動レボルバ※1 M Plan Apo、M Plan Apo SL、G Plan Apoシリーズ BD Plan Apo、BD Plan Apo SLシリーズ 220mm モータドライブ（送り速度max20mm/s） 透過：テレセントリック照明・開口絞り内蔵・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き 反射：ケーラー照明・可変開口絞り機構付・白色LED光源・無段階調光・冷却ファン付き コントロールユニット：電源ON/OFFスイッチ（メインスイッチ） ・AC電源入力コネクタ100V～240V 測長系 測定精度（XY軸無負荷時）※2 デジタルカウンタ MF-UE4020D 176-792 MF-UF4020D 176-795 正立像 明視野・暗視野（暗視野対応機種のみ）、簡易偏光、微分干渉 10×（視野数24 2個標準付属）、15×、20× 調心同焦マニュアルレボルバ/調心電動レボルバ 手動レボルバBFセンサ付/調心電動レボルバ※1 （どちらか選択） 照明フィルタ 測定範囲 上面寸法 載物ガラス有効寸法 スイベル量 最大積載量 MF-UG3017D 176-785 MF-UH3017D 176-788 ・ジョイスティック （X,Y駆動）・ロックボタン（X,Y軸） ・速度調整（X,Y,Z軸） ・粗微動切換ボタン（X,Y,Z軸） ・非常停止スイッチ ・電源予備スイッチ ・ジョグシャトル（Z軸駆動）・リミット設定（Z軸） ・AFボタン（画像オートフォーカス） ：画像ユニット接続時に有効（オプション） ・LAFボタン（レーザオートフォーカス） ：LAF機のみ有効JF（ジャストフォーカス),TF（トラッキングフォーカス） ・リセットボタン（X,Y,Z軸カウンタ）・DATA出力ボタン — — — ○ ○ ○ 632×892×782mm 682×892×782mm 757×907×782mm 608×790×846mm 658×790×846mm 733×790×846mm 150kg 158kg 164kg 155kg 355×364×106.5mm 7kg 163kg 169kg 114×365×96mm LED/ハロゲン：3.5kg 230W ※1：LAF機と電動レボルバの接続はRS-232C（No.12AAA807） ケーブルを必ず使用して下さい。 ※2：測定方法はJIS B 7153に準拠します。 30 モータドライブ測定顕微鏡 MFシリーズ/MF-Uシリーズ 外観寸法図 LED照明装置付きの図になります。 コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。 コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。 MF D 単位：mm MF-G2017D MF-G3017D 96 96 330∼244 249 782 247 247 168 360 280 100 205 168 114 270 328 100 210.5∼430.5 782 210.5∼430.5 360 249 360 330∼244 215 85 48 255 16 621 114 120.3 150 168 360 280 255 168 215 378 150 270 85 48 255 621 16 120.3 MF-G4020D 96 330∼244 360 210.5∼430.5 247 782 249 114 200 168 360 280 305 168 215 428 270 100 48 200 255 621 16 120.3 MF-U D（電動モデル） 単位：mm MF-UG2017D MF-UG3017D 96 330∼244 96 330∼244 231 247 75 114 100 168 205 168 85 48 215 270 255 621 16 120.3 150 114 MF-UG4020D 330∼244 96 360 261∼481 105 247 782 231 200 31 114 168 305 168 428 200 100 47.7 215 270 255 621 16 120.3 247 25 428 360 782 261∼481 105 782 261∼481 105 360 231 168 255 168 378 150 85 48 215 270 255 621 16 120.3 LED照明装置付きの図になります。 コントロールユニットは顕微鏡本体の横に置くかコラム背面に直接固定します。 コントロールユニットと顕微鏡本体を接続するためのケーブル長は600mmになります。 MF-U D（電動LAFモデル） 単位：mm MF-UF2017D MF-UF3017D 313∼227 96 96 188 846 846 323∼543 105 360 105 231 360 188 231 323∼543 313∼227 75 168 360 205 114 100 168 328 100 270 215 85 48 255 247 247 25 16 114 120.3 621 150 168 360 255 168 378 85 48 150 215 270 255 621 16 120.3 MF-UF4020D 96 168 168 360 114 360 100 205 305 328 428 231 85 48 200 188 105 105 846 323∼543 247 247 846 105 846 323∼543 247 215 100 48621 215 270 16 25 120.3 150 255 120.3 621 255 360 378 150 85 48 215 621 120.3 313∼227 188 323∼543 846 105 231 247 75 100 200 313∼227 188 360 188 231 231 323∼543 313∼227 313∼227 200 305 360 428 200 100 48 215 621 120.3 32 Z軸モータドライブ/モータドライブ 測定顕微鏡 MFシリー オプション ダイアグラム TV観察/ 画像保存 本体照明 (反射＋透過) 本体透過照明用フィルタ GIFフィルタ 12AAA645 ND2フィルタ 12AAA643 RS-232Cケーブル（クロス） サーマルプリンタDPU-414 12AAA807 （接続ケーブル付）: ※D-sub9pin両側メスになります。 12AAD032 Image X PRO 3000 00AAB008 LB80フィルタ ND8フィルタ 12AAA646 12AAA644 LED照明装置 176-445 データ演算処理 Cマウント 970441 QM-Data200 0.5×TVアダプタユニット 375-054 QM-Data200 264-155 ハロゲン照明装置 176-447 合焦検出 画像ユニット 画像ユニット10D フォーカスパイロット 375-057（緑）/375-058（赤） フットスイッチ（高剛性タイプ）: 12AAJ088 外部プリンタ（ESC/P）ケーブル: 12AAA804 画像AFケーブル 12AAN358 359-762 フットスイッチ （高剛性仕様） 単眼装置(接眼レンズ10×:1個付) 176-392 QSPAK VUE V5.0 12AAR097 校正用チャート 双眼装置(接眼レンズ10×:2個付) データ処理装置 接眼装置 12AAR088 176-393 12AAJ088 02AKN020 校正用チャート （ホルダ付） 02ATN695 QS補正用チャート(ホルダ付) 02AKW001 鏡筒 接眼レンズ10× 378-866（2個）/378-866-5（1個） コントロールユニット リモートBOX 接眼レンズ15× 378-857（2個）/378-857-5（1個） コントロールユニット リモートBOX MF D Z電動 MF D電動 接眼レンズ20× 378-858（2個）/378-858-5（1個） 角度接眼レンズ10× 375-043 外部反射照明 100W外部照明フィルタ ツインファイバ照明（100W） デジタル角度接眼レンズ10× GIFフィルタ(光源用) 12AAG806 176-343 176-313 リングファイバ照明（100W） 各種レチクル LB80フィルタ(光源用) 12AAG807 176-366 ※本カタログに記載するレチクル 欄 （46ページ） をご参照ください。 LEDリング照明(白色) 176-367-2（外部調光機能） 外部コントロールケーブル 12AAD128 ステージ 周辺 176-306 ステージアダプタ 176-304 クランプ装置 176-107 Vブロック台 172-378 傾斜センタ台 ML対物レンズ ML対物レンズ3× 375-037-1 172-197 データ管理 スライド式ノーズピース 176-370-1（工場オプション） 176-370-2（工場オプション） 周辺オプション リアルタイム工程管理プログラム MeasurLink 176-308 フットスイッチ （高剛性仕様） 検査表作成プログラム レンズクリーニングセット MeasureReport ※別途PCが必要になります。 RS-232Cケーブル（クロス） 12AAA807 33 対物 レンズ サーマルプリンタDPU-414 02AGD600A（接続ケーブル付） 12AAJ088 ※ 本カタログ に 記 載 する画像ユニット欄 （ 39 ページ）をご参 照ください。 12AAG888 微動付回転テーブル(B) カウンタデータ印字 画像ユニットへ接続 外部コントロールケーブル 防振台 12AAA165 設置台（顕微鏡本体＋QM-Data200） 176-309 LED リング照明装置（白色） 176-371（外部調光機能付） 外部コントロールケーブル 対物ミクロメータ 375-056 縦型システムラック （画像ユニット） 998923 ML対物レンズ各種 ※本カタログに記載する 対 物レンズ 欄（ 3 6 ペ ー ジ） をご参照ください。 12AAG888 画像ユニットへ接続 ※ 本カタログ に 記 載 する画像ユニット欄 （ 39 ページ）をご参 照ください。 ズ/MF-Uシリーズ 画像ユニットへ接続 外部コントロールケーブル 外部コントロールケーブル 12AAG888 12AAD128 データ演算処理 ※本カタログに記載する 画像ユニット欄（39ペー ジ） をご参照ください。 RS-232Cケーブル（クロス） 12AAA807 ※D-sub9pin両側メスになり ます。 本体照明 （反射＋透過） サーマルプリンタDPU-414 （接続ケーブル付）: 12AAD032 フットスイッチ（高剛性タイプ）: 12AAJ088 QM-Data200 264-155 本体透過照明用フィルタ GIFフィルタ 12AAA645 ND2フィルタ 12AAA643 画像AFケーブル 画像ユニット LB80フィルタ ND8フィルタ 12AAA646 12AAA644 GIFフィルタ（光源用） 12AAG0806 100Wファイバ照明 176-315 12AAN358 画像ユニット10D 100W外部照明用フィルタ 反射 150Wファイバ照明 176-316 外部プリンタ（ESC/P）ケーブル: 12AAA804 LB80フィルタ（光源用） 12AAG807 359-762 フットスイッチ （高剛性仕様） QSPAK VUE V5.0 12AAR097 校正用チャート 12AAJ088 02AKN020 データ処理装置 校正用チャート （ホルダ付） 12AAR088 02ATN695 透過 LED照明装置 ハロゲン照明装置 176-446 176-448 QS補正用チャート（ホルダ付) 02AKW001 100Wツインファイバ照明 176-343 コントロールユニット リモートBOX 鏡筒 接眼レンズ10× 378-866（2個）/378-866-5（1個） 接眼レンズ15× 378-857（2個）/378-857-5（1個） MF-UD Z電動 MF-UD電動 接眼レンズ20× 378-858（2個）/378-858-5（1個） リモートBOX 合焦検出 フォーカスパイロット 375-067（緑）/375-068（赤） ※工場オプションになります。 TV観察/ 画像保存 各種レチクル Cマウント 970441 ※本カタログに記載するレチクル欄 （46ページ） をご参照ください。 0.5×TVアダプタユニット 375-054 偏光/ 微分干渉 コントロールユニット Image X PRO 3000 00AAB008 微分干渉ユニット 378-080…5×・10×用 378-079…20×用 378-078…50×・SL20×用 378-076…100×・SL50×・ SL80×用 レボルバ/対物レンズ 電動モデル 電動LAFモデル(MF-UD電動タイプのみ) 偏光装置 対物レンズ レボルバ4穴（BD） 378-092 176-211 明暗視野 BD ステージ 周辺 明暗視野用対物レンズ BD Plan Apo シリーズ BD Plan Apo SL シリーズ 電動レボルバ4穴（BD） 176-212 マニュアルレボルバBD（センサ付） 176-412 微動付回転テーブル（B） 176-306 ステージアダプタ 調心･同焦マニュアルレボルバ（BF） 176-304 378-018 明視野 クランプ装置 176-107 Vブロック台 172-378 傾斜センタ台 172-197 BF 調心電動レボルバ5穴（BF） 378-216 RS-232Cケーブル（クロス） 12AAA807 明視野用対物レンズ M Plan Apo シリーズ M Plan Apo SL シリーズ G Plan Apo シリーズ ※本カタログに記載する ※D-sub9pin両側メスになります。 対物レンズ欄（36ペー ※電動LAF機に関しては必ず選択して下さい。 ジ）をご参照ください。 マニュアルレボルバBF（センサ付） 176-410 ※LAF機のレンズとレボルバは工場オプションになります。LAF機に関しては5×以上の対物レンズを選択してください。 詳細参照別紙記載 必須選択品 標準付属品 34 オプション レンズ 覗いた時に視野全体にひろがりを感じながら、ゆとりある観察測定をしていただくために接眼レンズは視野数24（10×の場合）の広視野仕様です。対物レンズは作動距離 が長くフレアの少ない明るいシリーズを標準としており、FS対物レンズは明視野・明暗視野用共にプランアポクロマート仕様となります。長時間の観察測定でも疲れにくい ことが大切なことと考えています。 接眼レンズ 接眼レンズ WF10×/24 WF15×/16 WF20×/12 コードNo. 378-866-5 378-857-5 378-858-5 （1個） コードNo. 378-866 378-857 378-858 （2個組） 倍率 視野数 適用機種 10× 24 15× 16 MF D/MF-U D 20× 12 •アイシェードは10×のみ付属となります。 •MF Bシリーズ以前の測定顕微鏡を双眼仕様で お使いの場合はNo.378-866をお求めください。 角度接眼レンズ 375-043 10× 21 360° 5′ MF D コードNo. 倍率 視野数 目盛 適用機種 デジタル角度接眼レンズ コードNo. 176-313 倍率 10× 視野数 22 レチクル 90°実線、45°鎖線 共に線幅5µm 接眼 ～±369.99° 度：0.00° 検出部 測定範囲 分：0° ～±369° 00′ 59′ 検出方式 静電容量式エンコーダ 外観寸法（mm） 外径ø120×140（D） 最小表示量 0.01（ °度） または1（分） ′ ゼロセット・ABS※/INC切替・度分切 替・方向切替 データ出力（フット 機能 デジタル スイッチ12AAJ088併用） カウンタ 外部出力 RS-232C （標準付属） 外観寸法（mm） 143（W）×112（D）×57（H） CE対応 電源 AC100～120V 適用機種 MF D （カウンタ上面部に固定可能） ※常に電源を内蔵スケールに供給して絶対値を表示す るシステムではありません。任意に固定された原点 から位置座標を測定する測定系になります。 鏡筒 単眼装置 コードNo. 倍率 視野数 適用機種 35 176-392 10× 24 MF Dの必須選択オプション 双眼装置 コードNo. 倍率 視野数 適用機種 176-393 10× 24 MF Dの必須選択オプション ティルティング双眼装置 倍率 視野数 附視角（ティルト角） 適用機種 10× 24 0～30° MF U D標準付属 顕微鏡下での検査・観察測定において、使用する対物レンズの高分解能・長作動距離がその操作性に重要なファクタとなります。 また、視野全域で鮮明な像を得るために は可視光領域の広い範囲で色収差を補正したアポクロマート仕様（赤・青・黄の3波長補正） であること、像面湾曲・点収差などを補正したプラン（plan）仕様であることも同 様です。 ミツトヨのFS対物レンズはこうしたファクタを兼ね備えた高性能対物レンズであり、顕微鏡の応用範囲を広げ操作性を格段に向上させました。測定顕微鏡への装着 でも大きく貢献しています。M Plan Apoシリーズは可視光での明視野観察、BD Plan Apoシリーズは同じく明暗視野観察でご使用いただくレンズとなり、SL（Super Long）仕様は より長い作動距離が必要な場合に有効です。 また、G Plan Apoシリーズはガラス越しに観察できるレンズでガラス厚は3.5mmに補正設計されています（特注で2～5mmに対 応いたします） 。 ML対物レンズ 有限補正光学系…MF D用 FS対物レンズ 無限補正光学系…MF U D用 明視野（BF）観察測定用 符号 コードNo. 倍率 NA ML 1× ML 3× ML 5× ML 10× ML 20× ML 50× ML 100× 375-036-2 375-037-1 375-034-1 375-039 375-051 375-052 375-053 1× 3× 5× 10× 20× 50× 100× 0.03 0.09 0.13 0.21 0.42 0.55 0.70 符号 コードNo. 倍率 M Plan Apo 1× M Plan Apo 2× M Plan Apo 5× M Plan Apo 7.5× M Plan Apo 10× M Plan Apo 20× M Plan Apo 50× M Plan Apo 100× M Plan Apo SL 20× M Plan Apo SL 50× M Plan Apo SL 80× M Plan Apo SL 100× M Plan Apo SL 200× M Plan Apo HR 50× M Plan Apo HR 100× G Plan Apo 20×（t3.5） G Plan Apo 50×（t3.5） レンズセットB1 レンズセットB2 レンズセットB3 FS対物レンズ変換アダプタ 378-800-3 378-801-6 378-802-6 378-807-3 378-803-3 378-804-3 378-805-3 378-806-3 378-810-3 378-811-3 378-812-3 378-813-3 378-816-3 378-814-4 378-815-4 378-847 378-848-3 378-911 378-912 378-913 378-026-1 符号 コードNo. BD Plan Apo 2× BD Plan Apo 5× BD Plan Apo 7.5× BD Plan Apo 10× BD Plan Apo 20× BD Plan Apo 50× BD Plan Apo 100× BD Plan Apo SL 20× BD Plan Apo SL 50× BD Plan Apo SL 80× BD Plan Apo SL 100× BD Plan Apo HR 50× BD Plan Apo HR 100× レンズセットD1 レンズセットD2 レンズセットD3 378-831-7 378-832-7 378-830-7 378-833-7 378-834-7 378-835-7 378-836-7 378-840-7 378-841-7 378-842-7 378-843-7 378-845-7 378-846-7 378-931 378-932 378-933 作動距離 分解能 （mm） （µm） 61.0 77.0 61.0 51.0 20.0 13.0 6.0 NA 9.2 3.06 2.12 1.31 0.65 0.5 0.4 対物レンズ単体 の焦点深度 ± D.F.（µm） 306 34 16.3 6.2 1.6 0.9 0.6 対物レンズ単 作動距離 分解能 体の焦点深度 （mm） （µm） ± D.F.（µm） 1× 0.025 11.0 11.0 440 2× 0.055 34.0 5.0 91 5× 0.14 34.0 2.0 14 7.5× 0.21 35.0 1.3 6.2 10× 0.28 34.0 1.0 3.5 20× 0.42 20.0 0.7 1.6 50× 0.55 13.0 0.5 0.9 100× 0.70 6.0 0.4 0.6 20× 0.28 30.5 1.0 3.5 50× 0.42 20.5 0.7 1.6 80× 0.55 15.0 0.6 1.1 100× 0.70 13.0 0.5 0.9 200× 0.62 13.0 0.4 0.7 50× 0.75 5.2 0.4 0.49 100× 0.90 1.3 0.3 0.34 20× 0.28 空気換算29.42 1.0 3.5 50× 0.50 空気換算13.89 0.6 1.1 M Plan Apo10×・20×・50×・100×のセット M Plan Apo2×・5×・10×・SL20×のセット M Plan Apo5×・10×・20×・50×のセット 明暗視野BDレボルバに明視野BFレンズ装着時に使用 明暗視野（BD）観察測定用 倍率 NA 対物レンズ単 作動距離 分解能 体の焦点深度 （mm） （µm） ± D.F.（µm） 2× 0.055 34.0 5.0 91 5× 0.14 34.0 2.0 14 7.5× 0.21 34.0 1.3 6.2 10× 0.28 34.0 1.0 3.5 20× 0.42 20.0 0.7 1.6 50× 0.55 13.0 0.5 0.9 100× 0.70 6.0 0.4 0.6 20× 0.28 30.5 1.0 3.5 50× 0.42 20.0 0.7 1.6 80× 0.50 13.0 0.6 1.1 100× 0.55 13.0 0.5 0.9 50× 0.75 5.2 0.4 0.49 100× 0.90 1.3 0.3 0.34 BD Plan Apo10×・20×・50×・100×のセット BD Plan Apo2×・5×・10×・SL20×のセット BD Plan Apo5×・10×・20×・50×のセット 36 オプション 照明 半導体・電子電気部品・精密自動車部品・樹脂成型・工具・医薬品・印刷物などさまざまな被検物をいかに高いコントラストで鮮やかに観察/測定できるかは照明（光）の使い 方がポイントとなります。被検物の形状・表面状態・色・材質に合わせてベストな照明をお選びください。 A：反射及び透過照明（必須選択オプション） MF Dシリーズ ①② 透過照明用 透過照明用 反射照明用 ①② ① LED照明装置 コードNo．176-445 ランプハウス（反射照明用・透過照明用） と LEDコントロールユニットで構成 LEDコントロールユニットは顕微鏡本体コラ ム背面にも固定可能 白色LED（低消費電力45W） 定格寿命約 30,000時間 無段階調光 冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載） 反射・透過照明部にカラーフィルタ装着可能 反射照明部：ø33×86（最大突起部） 外形寸法 透過照明部：68×103（最大突起部） （mm） LEDコントロールユニット：114（W）×360（D）×96（H） 適用機種 MF D 反射照明用 ② ハロゲン照明装置 コードNo．176-447(MF D)/ 176-448(MF-U D) ランプハウス（反射照明用・透過照明用） とハ ロゲンコントロールユニットで構成 ハロゲンコントロールユニットは顕微鏡本体 コラム背面にも固定可能 12V50Wハロゲンランプ 無段階調光 冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載） カラーフィルタ装着可能 MF-U Dシリーズ 外形寸法 反射・透過照明部：91×106（最大突起部） ハロゲンコントロールユニット：114（W）×360（D）×96（H） 適用機種 MF D/MF-U D (mm) ③④ 注）MF-U Dは透過照明用のみとなります。 ②③ 透過照明用 反射照明用 ③ LED照明装置 コードNo．176-446 ランプハウス（反射照明用・透過照明用） と LEDコントロールユニットで構成 LEDコントロールユニットは顕微鏡本体コラ ム背面にも固定可能 白色LED（低消費電力55W） 定格寿命約 30,000時間無段階調光 冷却ファン内蔵（ファン停止アラーム機構搭載） 透過照明部にカラーフィルタ装着可能 反射照明部：68×66（最大突起部） 外形寸法 透過照明部：68×103（最大突起部） (mm) LEDコントロールユニット：114（W）×360（D）×96（H） 適用機種 MF-UD 37 ④ 100W・150Wファイバ照明装置（外部光源仕様） コードNo．176-315（100W） ・176-316（150W） 12V100Wハロゲンランプ（No.517181） 定格寿命1000時間 12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602） 100W 定格寿命50時間 無段階調光 外形寸法 76（W）×235（D）×120（H）、 (mm) ガラスファイバケーブル長1500 15V150Wハロゲンランプ（No.12BAJ076） 定格寿命500時間 15V150W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAJ075） 150W 定格寿命50時間 無段階調光 外形寸法 120（W）×273（D）×119（H）、 (mm) ガラスファイバケーブル長1500 でハロゲン照明装置 適用機種 MF-U D （No.176-448）選択時の反射照明用 B C ツインファイバ照明装置（外部光源仕様） コードNo．176-343 顕微鏡コラム背面に固定 無段階調光 集光レンズ付 画像ユニットシステム時に自動調光可能（外部光源コントロール ケーブルNo.12AAD128併用） 12V100Wハロゲンランプ（No.517181）定格寿命1000時間 12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602）定格寿命50時間 LB80フィルタ（No.12AAG807） ：光源部のみ 76（W）×235（D）×120（H） 外形寸法 ファイバ長700：背面固定部から先端まで (mm) ファイバ最大曲げR：R60 適用機種 MF D/MF-U D A：反射及び透過照明 光が対物レンズの中を通 り、被検物表面に垂直に 照射されます。照明光源 は LEDとハロゲンから選 択できます。 B：ツインファイバ照明 任意の 2 方向から斜めに 照射するハロゲン光は立 体観察に最適で、標準付 属の集光レンズにより高 輝度スポット照射が可能 となります。 リングファイバ照明装置（外部光源仕様） コードNo．176-366 無段階調光 画像ユニットシステム時に自動調光可能（外部光源コントロール ケーブルNo.12AAD128併用） 12V100Wハロゲンランプ（No.517181）定格寿命1000時間 12V100W高輝度ハロゲンランプ（No.12BAD602）定格寿命50時間 LB80フィルタ（No.12AAG807） ：光源部のみ 76（W）×235（D）×120（H） 外形寸法 外形ø60・内径ø35：リング照明部 (mm) ファイバ長1000 適用機種 MF D（ML対物レンズ10×以下） C：リングファイバ照明 イメージ イメージ B C 対物レンズ周辺からリン グ状に照射するハロゲン 光 は 凹 凸 による影 の 影 響が少ない観察を可能と し、画像測定にも適して います。 A D：LEDリング照明 リング照明装置（FS対物レンズ用） コードNo．お問い合わせください 対物レンズに固定し、 リング状の白色LED光を照射。 無段階調光 画像ユニットシステム時に自動調光可能 （外部光源コントロールケーブルNo.12AAG888併用） ：コントロール部のみ 75（W）×150（D）×90（H） 外形寸法 外形ø70・全高65～80：リングLED部 (mm) LEDケーブル長1000 適用機種 MF-U D（FS対物レンズM Plan Apo10×以下） イメージ 対物レンズ周辺からリン グ状に照射するLED光によ り、濃色樹脂・基板・小径円 筒物の観察では高いコン トラストが得られ、画像測 定にも適しています。明る さを変えても色合いは変 わりません。 D ◆４枚の画像は同じ部分を撮影したものです。 D LED イメージ D LED リング照明装置 コードNo．176-367-2・176-371（スライド式ノーズピース専用） 無段階調光 画像ユニットシステム時に自動調光可能 （外部光源コントロールケーブルNo.12AAG888併用） ：コントロール部のみ 75（W）×150（D）×90（H） 外形寸法 外形ø70・全高68～93：リングLED部 (mm) LEDケーブル長1500 適用機種 MF D（ML対物レンズ10×以下） 38 オプション マニュアル画像計測 画像ユニット 顕微鏡本体から出力されるデジタルカウンタの座標値をもとに種類の豊富なコマンドを指定し、測定結果を瞬時に表示します。エッジ合わせを画像処理で行う画像測定仕 様と汎用性に優れた専用電装仕様をご用意しています。いずれも測定結果はプリントアウトおよび表計算ソフトや検査表へのアウトプットが可能となります。 特長 ■一発測定を可能にした自動エッジ検出ツールと多彩なマクロアイコン ■簡単操作をサポートするグラフィックス＆測定ナビゲーション機能 ■表計算ソフト 【MS-Excel】※1へ測定結果出力し、同一パソコン内で検査表作成が可能 ■測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理が可能 ■照明設定を忠実に再現する自動調光機能 （測定顕微鏡MF D・MF-U D併用時） ■一画面内測定が可能 ■画像の取込/保存機能（BMP/JPEG) ■Z軸モータドライブ測定顕微鏡MFシリーズ/MF-Uシリーズ（P21参照)、 モータドライブ測定顕微鏡MFシリーズ/MF-Uシリーズ（P27参照） と システム例 フットスイッチ No.12AAJ088 組み合わせることで、画像AFを行なえます。 ※1：マイクロソフト社の商品です。 仕様 画像ユニット 10D コードNo. 光学系倍率 画像検出 モニタ表示倍率 最小表示量 各軸の測定精度（測定環境20℃） 精度（測定環境20℃） PCシステム ソフトウエア 最大消費電力 適用機種 359-762 詳細はカタログNo.14008をご覧ください 顕微鏡取付時 0.5×（0.5×TVアダプタ使用） 高感度1/2型CMOSカラーカメラ 300万画素 約19倍（対物レンズ3×使用時：約59×、撮像範囲：4.5×3.3mm） 0.1µm 弊社製測定顕微鏡の精度に依存します。 弊社製測定顕微鏡の精度に依存します。 参考：ML3×対物レンズ使用時 （弊社基準サンプルによる検査において） 画面内の測定精度 ±2.5µm以下 画面内繰返し精度（±2σ） ±1µm以下 Windows 7 22型LCD QSPAK Vision Unit 最大510W（モニタ含） MF D/MF-U D ※ソフトウェアとPCはオプションになります。 CADインポート＆エクスポート（オプション） FORMPAK-QV（オプション） （DXF、IGESフォーマット）をQSPAKにインポートする 設計時に作成したCADデータ 事で大幅な操作性の向上とパートプログラム作成時間の短縮が可能になりまし た。 また、QSPAKの測定結果をCADデータとして変換する事ができます。 ができます。 FORMPAK-QVはQSPAKにて取得したデータから輪郭形状解析や設計値との照合 特長 特長 ■輪郭照合機能 ■各測定項目の設計値が自動的に入力されます。 ■微細形状解析機能 ■グラフィックスデータを指定のCADデータ形式で出力できます。 ■報告書作成機能 輪郭照合画面 39 オプション 二次元データ処理装置 QM-Data200 特長 ■ LCDバックライト付大形液晶画面における高コントラストカラーグラフィック表示 ■使用頻度の高い複合測定（2円の距離測定等）はワンキー操作で測定 ■測定手順のティーチング機能 リピートモードにおける測定位置ナビゲーション機能による効率測定 ■AI測定機能（測定要素自動判別機能）の搭載により測定コマンドキーの切換操作が不要 ■測定コマンドやパートプログラムなどを個別に登録できるユーザーメニュー機能 ■測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理が可能 ■測定結果をパソコン用表計算ソフト 【MS-Excel※1】へCSV形式で出力 ■パートプログラム・測定結果をUSBメモリ※2に保存 ■見やすい角度に調節できるチルト機構付スタンド仕様 ■プリンタ印字中でも測定可能 システム例 ※1：マイクロソフト社の商品です。 ※2：市販のUSBメモリすべてで動作保証しておりません。 フットスイッチ No.12AAJ088 仕様 QM-Data200（スタンドタイプ） 264-155 16ケ国語切換表示（日/ 英/ ドイツ/ フランス/ イタリア/ スペイン/ ポルトガ ル/ チェコ/ 中国（繁体字）/中国（簡体字）/ 韓国/ トルコ/ スウェーデン/ ポー 表示言語 ランド/ オランダ/ ハンガリー） 測定値の単位 長さ：mm 角度：度/度分秒（切換可） 最小表示量 0.1µm コードNo. 外観寸法図 （単位：mm） プログラム機能 測定手順の作成・実行・編集 測定項目、データ数、最大値、最小値、平均値、標準偏差、 レンジ、ヒ ストグラム、測定機能別統計（コマンド別統計） 表示部 カラーTFTLCD（LEDバックライト付） チルト機構 ○ ：リニヤスケール入力用・ ・ ・最大3軸 XYZ RS-232C① ：外部PC接続用(測定結果） RS-232C② ：測定機本体カウンタ接続用 入出力コネクタ ：フットスイッチ接続用 FS PRINTER ：レシート/外部プリンタ接続用（測定結果） USB-FDD ：USB-FDD接続用（測定結果ファイル、測定手順ファイル） USB-MEMORY ：USBメモリ接続用（測定結果ファイル、測定手順ファイル） 測定結果ファイル出力 RS-232C出力（CSV形式、MUX-10形式） 電源 AC100V～240V 最大消費電力 17W（オプションは含みません） 外観寸法（W×D×H） 約260×約242×約310mm（スタンド部含む） 質量 約2.9kg 適用機種 MF D/MF-UD 統計処理 サーマルプリンタ DPU-414 SII社製 印字例 仕様 サーマルプリンタDPU-414 QM-Data200接続 カウンタ表示印字 印字方式 印字桁数 印字速度 外観寸法 標準付属 プリンタ用記録紙 補用品 ESC/Pプリンタ用ケーブル コードNo. 12AAD032 02AGD600A 注）フットスイッチNo.12AAJ088併用 感熱シリアルドット方式 40桁（普通文字9×7ドットマトリックス） 最高52.5 character/sec（普通文字） 160（W）×170（D）×65.5（H）mm（プリンタ本体部） プリンタケーブル、記録紙（1巻）、ACアダプタ（100V用） No.908353（5巻） No.12AAA804（2m）24pin カラー・モノクロ対応 40 オプション 画像保存・画像解析 顕微鏡用デジタルカメラシステム 対物レンズを通した顕微鏡画像を誰でも簡単に撮影保存したいというお客様のご要望にお応えする顕微鏡用デジタルカメラシステムをご紹介します。高画質画像をマウ スワンクリックで保存し、画面内計測も行えます。 顕微鏡用デジタルカメラシステム イ メ ー ジ ク ロ ス ImageX PRO 3000 特長 ■200万画素CCDカメラによる高い色再現性と立体感を実現 で顕微鏡操作を強力サポート ■高い追従性（15fps） ■シームレスでしかも直感的に操作出来る高機能ソフト ■ライブモード時の計測や動画撮影に対応 ■画像連結機能ISS ■全焦点画像合成機能AIF 仕様 ImageX PRO 3000（イメージクロスプロ3000） 製品名称 コードNo. イメージクロスPRO 3000 No.00AAB008 No.00AAB009 （USB2.0） ・ソフトウエア （CD-ROM)・インストールガイド・校正用レチクル カラーCCDカメラ 全体 標準構成 — 接眼鏡筒取付用アダプタ 撮像素子 1/1.8型 200万画素カラーCCD カメラ マウント Cマウント 外径寸法・質量 51（W）×51（H）×48.8（D）mm 約145g シャープ）,ホワイトバランス（自動/マニュアル（赤ゲイン、青ゲイン） ・コントラスト 画像調整 自動/マニュアル露光調整（シャッター、ゲイン、 画像取込 通常取込・ハレーション除去取込・セルフタイマー取込・XY座標入力取込・Z座標入力取込 ・スケール（X・Y） ・同心円・角度（クリック＆ドラッグで移動可、画像への書込可） 中心線・ものさし （X・Y） ライブ レチクル表示 （動画） 画像保存 静止画、動画（圧縮AVI形式） 画像サイズ 1600×1200 その他 照明ムラ補正・画像上下/左右反転・画像180° 回転・現在設定の保存反映 画面内計測 2点間距離・3点指定円・四角・多角形・楕円・中心・面積・周囲長・角度・3点円弧・垂直線距離・平行線間距離・円中心間距離・任意形状・点 自動エッジ検出 対応 ※点・楕円・任意形状は対応していません。 計測 ラベリング計数 ラベル数、始点、終点、中心、 フェレ、面積、円相当径、重心、周囲長、包格、円形度、サイズ、流体直径、穴数、面積率 他 一覧詳細表示、2図形選択による相対情報表示（角度・交点・中心間距離、平均距離等々） 計測結果詳細表示 出力形式：クリップボード （画像・計測線・テキスト・表）、CSV保存・編集、Excel転送 画像補正 明るさ、 コントラスト、色相、彩度、ホワイトバランス、色抽出、同色抽出、濃度変換、ネガポジ反転、2値化処理 他 画像 、全体画面表示/ズーム表示、2画面表示 他 画面表示 サムネイル表示（表示位置可変） 処理 画像解析 濃度断面表示（処理範囲内・縦断面・横断面）、濃度投影表示（縦投影、横投影）、ヒストグラム表示、拡大ウィンドウ表示、3D表示 他 画像間演算 ABS、AVE、MAX、MIN、AND、OR、XOR、SUM、DIV 画像比較 自動フィッティング、微調整、差分表示 校正（キャリブレーション） 円径または目盛（X・Y）による実値補正（自動エッジ検出）、手動入力 ペン機能（サイズ・色選択、 スポイト） 、テキスト入力（フォント・サイズ・文字色・背景色選択） 画像編集 定型テキスト入力（現在／撮影日時、 ファイル名、定型テキスト）、吹き出し入力 他 画像 編集 画像ファイル ロード/セーブ ： BMP、JPEG、PNG、HTML 画像記録 計測線、テキストを画像に書込保存可能 印刷機能 指定倍率印刷（倍率設定、画像表示位置、 コメント、 タイトル入力可能） メール機能 任意・全画像添付送信、HTML形式保存・送信、JPEG変換、LZH圧縮 画像ビューワー ファイル・フォルダ内表示、転送 画像連結 ISS 特徴点任意設定・回転補正による自動フィッティング 画像 合成 全焦点画像合成、高さ色別表示可能 焦点合成 AIF OS Windows 7、Windows Vista、Windows XP（いずれも日本語版で出荷時にメーカープリインストールされたもの） CPU Pentium4-2GHz以上推奨（動画録画：Core2Duo-2GHz以上推奨） メモリ 512MB以上推奨（動画録画：1GB以上推奨） 動作 環境 ディスプレイ 解像度1024×768以上・True Color（32bit） USBポート USB2.0標準装備 その他 CD-ROMドライブ・HDD：1GB以上の空き容量・ビデオメモリ：32MB 41 オプション 測定顕微鏡の操作性をサポートするオプションを取り揃えています。合焦位置のばらつきを低減できるフォーカスパイロットや倍率変換・フォーカスを手元で行える電動レ ボルバ・電動フォーカスユニット、被検物の回転移動を快適に行う微動つまみ付き回転テーブルなどお客様に好評をいただいています。 また、金属顕微観察をサポートする 偏光・微分干渉ユニット、多人数での同時解析評価に必須なカメラ装着用TVポートアダプタなどお客様のご用途に応じてお選びください。 明暗視野用マニュアルレボルバ、明視野用マニュアルレボルバ、明視野用電動レボルバ（4穴） 合焦検出ユニット フォーカスパイロット 符号 コードNo． FP-05 FP-05U 375-057（緑） 375-058（赤） 375-067（緑） 375-068（赤） 緑色LEDまたは赤色LED ●同心円パターン ●スリットパターン 光源 合焦再現性 光学倍率 倍率精度 カメラ TVアダプタ 電源 外観寸法 (mm) ・パターンの上下が合致した位置が合焦位置となります ・被検物の表面状態に合わせたパターン選択や輝度調整 ・0.5×光学系によりTVモニタ上で広視野観察（別途カメラ装着） 約1.5µm（20×レンズ使用時）※サンプルによる弊社計測参考値 0.5× ±0.1％（視野中心から2/3以内） 2/3型まで対応 Cマウント付・調心/同焦調整機構付 AC100V～240V 最大電力 10W 本体部：131（H） コンソールBOX：90（W）×78（H）×178（D） MF D 適用機種 レボルバ コードNo． 対応観察 対物レンズ 取付本数 調心・ 同焦機構 駆動方式 電源 外観寸法 （mm） 適用機種 176-211 176-412 378-018 176-410 176-212 378-016 378-216 明暗視野 BD用 4本 明暗視野 明視野 明視野 明暗視野 BD用 BF用 用 用 BF （センサ付） （センサ付） BD 4本 4本 4本 4本 明視野 BF用 明視野 BF用 4本 5本 基準固定1穴 調心同焦3穴 基準固定1穴 基準固定1穴 — — 調心同焦3穴 調心同焦4穴 手動マニュアル 電動 — AC100V～240V レボルバ部：164（W）×65（H）×137（D） ø120× ø110× ø120× コンソール ： （ ）× （ ）× （ ） — BOX 108 W 72 H 193 D 48.2（H） 50.7（H） 50.6（H） ケーブル長：3m MF-U Dの必須選択オプション MF-U D パターン色交換用 ・LED照明モジュール（緑色） ：02AKV350B ・LED照明モジュール（赤色） ：02AKV390B 注）MF-U D と FP-05Uの組合せは工場オプションとなります スライド式ノーズピース （工場オプション） コードNo． 176-370-1 調芯機構（基準）穴のレンズと焦点調節機構穴のレンズは同焦 注) 焦点調節機構穴のレンズの倍率保証はできません コードNo． 176-370-2 調芯機構（基準）穴のレンズと焦点調節機構穴のレンズは倍率保証 注）2本のレンズは同焦になりません 適用機種 MF D 42 オプション 物ガ ラス 外径 ） 径） 0 90 ø 97 80 172 70 60 240 30 回転ツマミ 回転ツマミ 20 0 310 320 330 340 ø162 ø146 120（Ｔ溝ピッチ） M6 クランプネジ Ｖブロック台 コードNo. 172-378 支持可能な最大径：ø25mm 取付け面から中心高さ： 38～48mm 外観寸法（mm） 117（H）×90（W）×45（D） 質量 0.8kg MF D/MF-U D 注）2010サイズはステージアダプ タB併用 適用機種 2017・3017・4020サイズはステ 傾斜センタ コードNo. 172-197 ±10° の傾斜姿勢可能、角 度最小読み1° ネジなどの測定に最適 支持可能最大寸法： 水平時ø80×140mm 支持可能最大寸法： 10°傾斜時ø65×140mm 質量 ージアダプタ併用可 適用機種 2.5kg MF D/MF-U D 注）2010サイズはステージ アダプタB併用 2017・3017・4020サイズ はステージアダプタ併 用 43 13 7 350 19.7 13 19 220 342 ø28 8 22.5 M6 クランプネジ 10 300 (0.7) 9.5 13 回転ツマミ 23.2 クランプ装置 コードNo. クランプ最大 長さ （mm） 外観寸法（mm） 質量 適用機種 176-107 35 62（H）×152（W）×38（D） 0.4kg MF D/MF-U D 注）2010サイズは ステージアダプタB併 用 2017・3017・4020サイ ズはステージアダプ タ併用可 1.8 C 0 (137.618) 3 58 29 4- 12 23.7 8 13 10.5(0.2) (103.945) 0 ø28 2-M6深8 2-M6深8 28 19 13 13 40 250 50 (テーブ ル内 282 342 (96.361) 径) 効 ø 100 ø 96 ガラス有 (載物 ガラス (載物 外径） 230 ） 内径 2 ø6 10 ø 24 5 (載 径 ） 効 物 ガ ラ ス 有 (載 ø184 (テーブル内径） 220 (103.945) 210 0 0 0 20 (載 38 ø2 ブル (テー 41 ø2 ø5 ø 270 径） 有効 ラス 物ガ 19 82 180 ø1 240 220 170 2-M6深8 注）Vブロック台・傾斜センタ・クランプ装置をテー ブル上に固定できます。 160 ˚ 24 クランプネジ （2箇所） クランプネジ（2箇所） 150 7 37˚ 0 MF D/MF-U D 注）2010サイズはステージアダプタB併用 2017・3017・4020サイズはステージアダプ タ併用 140 2-ø7穴、 2-φ7穴、 口元ø14ザグリ深4 口元φ14ザグリ深4 220 120 ø1 88 (載 物 ø 220 ガ ラ ス ø 240 外 径 ） 280 256 220 適用機種 130 31 29˚ 注）Vブロック台・傾斜センタ・クランプ装置をテー ブル上に固定できません。 120 280 30 微動付回転テーブル（目盛付） コードNo. 172-198 240（W）×172（D）×19.7（H）、テーブ ル上面T溝ピッチ120 外観寸法（mm） テーブル上面ø146mm 360° 回転 角度最小読みバーニヤ2′ 質量 2.4kg 有効ガラス径（mm） ø96 0 注）Vブロック台・傾斜センタ・クランプ装置をテー ブル上に固定できます。 微動付回転テーブル（B） コード No. 176-306 342（W）× 342（D）× 23.2（H） 外観寸法 （mm）テーブル上面 ø270mm 360 °回転 角度読み無し 質量 6.5kg 有効ガラス径（mm） ø238 2017・3017・4020サイズ 適用機種 （MF D/MF-U D） 11 微動付回転テーブル（A） コードNo. 176-305 280（W）×280（D）×23.7（H） 外観寸法（mm）テーブル上面 ø240mm 360° 回転 角度読み無し 質量 5.5kg 有効ガラス径（mm） ø182 適用機種 1010・2010サイズ（MF D/MF-U D） T溝寸法 (Scale 2/1) ステージアダプタ / ステージアダプタ B （ 用） コードNo. 176-304 2017, 3017, 4020 B:176-310（2010用） 外観寸法 50（W）×340（D）×15（H） 1枚 注） アダプタBは280（D） （mm） 質量 1.5kg/B：1.2kg 適用機種 MF D/MF-U D 注）2枚1組です。 偏光装置 コードNo. 適用機種 378-092 （明視野・明暗視野共通） ポラライザ・アナライザが各々1個セ ットになっています。 MF-U D 微分干渉ユニット 378-080（5×・10×用） （ ×用） コードNo. 378-079 20 378-078（50×・SL20×用） 378-076（100×・SL80×・SL50×用） 適用機種 MF-U D 注）偏光装置を併用してください。 照明フィルタ 顕微鏡本体 ハロゲン照明/LED照 GIFフィルタ※2 明用 LB80フィルタ 顕微鏡本体 ※1 ND2フィルタ ハロゲン照明用 ND8フィルタ 反射照明光源用 GIFフィルタ※2 （100Wファイバ 照明用） LB80フィルタ 12AAA645 12AAA646 12AAA643 12AAA644 12AAG806 12AAG807 ※1 MF D（透過・反射共通）/MF-U D（透過のみ） ※2 本体標準付属 ポジタイプの 目盛 ネガタイプの 目盛 Ｃマウントアダプタ コードNo. 970441 デジタルカメラ等を顕微鏡本体の TVカメラ ポートに装着する際に使用する規格アダプタ。 注）画像ユニット装着時には使用しません。 外観寸法（mm） ø45×22.5（H） 適用機種 MF D/MF-U D 0.5×TVアダプタ（Cマウントアダプタ付） コードNo. 375-054 デジタルカメラ等を顕微鏡本体の TVカメラポートに装着する際に使 用する規格アダプタ。 0.5×縮小リレー像で広視野観察が可能。 倍率精度±0.1％、像視野ø11mm 注）画像ユニットに標準付属。 外観寸法（mm） ø45×123（H） 適用機種 MF D/MF-U D 対物ミクロメータ コードNo. 375-056 スケール目盛 1mm 最小目盛 0.01mm スケール精度 1+L（µm）L：任意の2線間の長さmm （20℃） 目盛 ネガタイプ/ポジタイプ 外観寸法（mm） 76（W）×26（D） 質量 16g 適用機種 MF D/MF-U D 注）購入後の校正は弊社にて承っております。詳細 は最寄の営業課までご相談ください。 44 オプション 設置台（顕微鏡本体用） コードNo. 176-309 最大積載質量 300kg 外観寸法（mm） 1200（W）×900（D）×650（H） 質量 約50kg 適用機種 MF D/MF-U D 注）顕微鏡本体に画像ユニットをシステム化される場合 は、外観寸法1800（W）×900（D）×740（H）の大型設置台 No.02ATE760をお奨めします。 レンズクリーニングセット コードNo. 12AAA165 接眼レンズや対物レンズのメンテ ナンス専用 クリーナー・クロス・ブロア・綿棒等 のセット 45 防振台 コードNo. 支持方式 最大積載質量 外観寸法（mm） 質量 適用機種 176-308 スプリングパッド 200kg 750（W）×550（D）×36（H） 36kg MF D/MF-U D オプション レチクル MF D用 MF-U D用 No.12AAG838（MF D） No.12AAG878（MF-U D） 鎖線 90° 鎖線ピッチ0.2-0.2 線幅7µm No.12AAG836（MF D） No.12AAG877（MF-U D） 鎖線 90° 鎖線ピッチ0.2-0.2 線幅5µm No.12AAG873（MF D） No.12AAG876（MF-U D） 鎖線 90° 鎖線ピッチ0.2-0.2 線幅3µm No.12AAG839（MF D） No.12AAG879（MF-U D） 実線、45° 鎖線 90° 鎖線ピッチ0.2-0.2 線幅5µm No.12AAG840（MF D） No.12AAG880（MF-U D） 鎖線、60° 鎖線 90° 鎖線ピッチ0.2-0.2 線幅5µm No.12AAG841（MF D） No.12AAG881（MF-U D） No.12AAG845（MF D）※1 No.12AAG846（MF D）※1 ツァイス形パターン 鎖線ピッチ0.2-0.2 線幅5µm 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 No.12AAG842（MF D）※1 十字線目盛線 0.1/20mm 線幅7µm 0.25 0.3 0.35 0.4 No.12AAG843（MF D）※1 十字線付同心円 ø1.2～ø18 線幅7µm No.12AAG844（MF D）※1 目盛線 0.1/10mm 線幅10µm 1.25 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.4 0.5 0.6 1.5 0.45 0.5 1.75 0.6 目盛線 0.05/5mm 線幅10µm 方眼 □1mm □10mm 線幅10µm 80 72 64 56 48 0.8 44 1.0 40 0.7 36 2.0 0.8 RACK GEAR 14.5° 1.0 No.12AAG847（MF D）※2 メートル並目ねじ P＝0.25～1.0 線幅7µm No.12AAG848（MF D）※2 メートル並目ねじ P＝1.25～2.0 線幅7µm No.12AAG849（MF D）※2 インボリュート歯車基準ラック m＝0.1～1.0 圧力角14.5° 線幅7µm No.12AAG850（MF D）※2 インボリュート歯車基準ラック m＝0.1～1.0 圧力角20° 線幅7µm 28 No.12AAG851（MF D）※2 ユニファイ並目ねじ 80～28 線幅7µm デジタル角度接眼レンズ用レチクル （標準内蔵） METRIC THREAD 24 32 RACK GEAR 20° 13 20 12 18 11 16 10 14 No.12AAG852（MF D）※2 ユニファイ並目ねじ 24～14 線幅7µm No.12AAG853（MF D）※2 ユニファイ並目ねじ 13～10 線幅7µm No.12AAG854（MF D）※2 実線、45° 鎖線 90° 鎖線ピッチ0.2-0.2 線幅5µm 十字線付同心円 0.01″～0.20″ 線幅7µm 各レチクルは取付板付きです。 ※1：接眼レンズ10×と併用にてご使用下さい。 ※2：ML対物レンズ3×専用の比較チャートです。接眼レンズ10×と併用にてご使用下さい。 46 座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 東北営業課 北関東営業 1 課 北関東営業 2 課 南関東営業 1 課 南関東営業 2 課 甲信営業課 東海営業 1 課 東海営業 2 課 関西営業 1 課 関西営業 2 課 中四国営業課 西部営業課 特機営業1課・2課 仙台市若林区卸町東 1-7-30 〒984-0002 仙台オフィス 電話 (022) 231-6881 郡山オフィス 宇都宮市平松本町 796-1 〒321-0932 宇都宮オフィス 電話 (028) 660-6240 つくばオフィス 伊勢崎市宮子町 3463-13 〒372-0801 伊勢崎オフィス 電話 (0270) 21-5471 さいたまオフィス 新潟オフィス 電話 (025) 281-4360 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 川崎オフィス 電話 (044) 813-1611 東京オフィス 厚木市旭町 2-8-6 リヴ・ロード1 階 〒243-0014 厚木オフィス 電話 (046) 226-1020 富士オフィス 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 諏訪オフィス 電話 (0266) 53-6414 上田オフィス 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 安城オフィス 電話 (0566) 98-7070 浜松オフィス 名古屋市昭和区鶴舞 4-14-26 〒466-0064 名古屋オフィス 電話 (052) 741-0382 四日市オフィス 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 大阪オフィス 電話 (06) 6613-8801 神戸オフィス 滋賀県栗東市手原 4-7-13-1 〒520-3047 栗東オフィス 電話 (077) 552-9408 金沢オフィス 東広島市八本松東 2-15-20 〒739-0142 東広島オフィス 電話 (082) 427-1161 岡山オフィス 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 福岡オフィス 電話 (092) 411-2911 霧島オフィス 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (022) 231-6881 ファクス (022) 231-6884 電話 (024) 931-4331 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248 電話 (029) 839-9139 電話 (0270) 21-5471 ファクス (0270) 21-5613 電話 (048) 667-1431 電話 (044) 813-1611 電話 (03) 3452-0481 電話 (046) 226-1020 電話 (0545) 65-7008 電話 (0266) 53-6414 電話 (0268) 26-4531 電話 (0566) 98-7070 電話 (053) 464-1451 電話 (052) 741-0382 電話 (059) 350-0361 電話 (06) 6613-8801 電話 (078) 924-4560 電話 (077) 552-9408 電話 (076) 239-1807 電話 (082) 427-1161 電話 (086) 242-5625 電話 (092) 411-2911 電話 (0995) 48-5842 電話 (044) 813-8236 ファクス (044) 813-1610 ファクス (046) 229-5450 ファクス (0266) 58-1830 ファクス (0566) 98-6761 M3 Solution Center …商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業課にご連絡ください。 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 660-6240 ファクス (028) 660-6248 UTSUNOMIYA 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 TOKYO 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 SUWA 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 ANJO 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 OSAKA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 HIROSHIMA 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話 (092) 411-2911 ファクス (092) 473-1470 FUKUOKA 計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。詳細は弊社営業課にご連絡ください。 ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000 カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、 ご相談をお受けしています。 電話 (050) 3786-3214 ファクス (044) 813-1691 ファクス (052) 733-0921 ファクス (06) 6613-8817 ファクス (077) 552-8174 ファクス (082) 427-1163 ファクス (092) 473-1470 ファクス (044) 822-8140 最寄りの営業課をご確認いただけます。 http://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/domestic/list.html#sale お求めは当店で— 弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業課へご相談ください。 ●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。 ●本カタログに掲載されている価格、仕様は 2014 年 10 月現在のものです。 〒 213-8533 川崎市高津区坂戸 1-20-1 http://www.mitutoyo.co.jp 172 1410(8)E-(CH) HS124
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