光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 24 顕微鏡アマクシセンサビリジョンレンズおよびレーザー用アクセサリ干渉計用アクセサリ顕微鏡について 24.2 有限補正系フォーカシング顕微鏡ボディ 24.4 顕微鏡ボディ用アクセサリ 24.5 レチクル 24.7 対物レンズ 24.8 無限補正UV対物レンズ 24.9 M Plan Apo シリーズ 24.11 対物レンズ M Plan Apo 対物レンズ用顕微鏡スアペパイーシチャャルーフおィよルびター 24.17 顕微鏡鏡筒ユニット対物レンズホルダ 24.19 分解能テストターゲット 24.20 W24.1 www.cvimgkk.com Copyright C 2009 CVI Melles Griot. All rights reserved. 電子シャッターライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 顕微鏡について Microscope Components レーザー用アクセサリ干渉計用アクセサリ顕微鏡の概念はシンプルです。2 組のレンズを用いて物体の拡大像を観察します。対物レンズで拡大された像をさらに接眼レンズで拡大します。全体の倍率は、対物レンズと接眼レンズの倍率の積になります。せん。同一の結像面（対物レンズの取付け位置から150 mm ）と良好な像の質を得るには長焦点距離が必要となるため、CVI メレスグリオの対物レンズの物像距離は（1×と2.5×を除いて） 195mm となっています。フォーカシング機構対物レンズは全てアクロマチック（色消し）で、国際規格に基づくネジ切りが施され、互換性が保たれています。 CVIメレスグリオの顕微鏡ボディは、全ての標準対物レンズ、接眼レンズ、およびアクセサリを取り付けることができます。顕微鏡ボディには、ピントの粗調のみができるタイプと、粗調と微調ができるタイプがあります。寸法は、メインボディの長さが142.5 mm 、エクステンションリングが 17.5 mm 、全長 160 mmです。顕微鏡ボディは「モジュール構造」で、ノーズピースを付けてご使用になれます。接眼レンズ顕微鏡スアペパイーシチャャルーフおィよルびター接眼レンズは対物レンズによる像を拡大して、観測者がその拡大像を見られるようにします。接眼レンズとしてホイヘンスタイプ（ネガティブ）と、ラムスデンタイプ（ポジティブ）の 2 種類があります。ホイヘンスタイプの接眼レンズは、2 枚の平凸レンズをそれらの焦点距離の和だけ離して設置したものです。このタイプの接眼レンズには、横の色収差がありません。通常のホイヘンス接眼レンズは、像が二つのレンズの間に来るために、レチクルが使えませんが、CVIメレスグリオのホイヘンス接眼レンズは、後ろ側のレンズの近くに位置する焦点面にレチクルを入れられる構造で、しかも倍率誤差は小さくなっています。ラムスデン接眼レンズは、同一焦点距離の 2 枚の平凸レンズの凸面側を向かい合わせに置いたものです。ラムスデン接眼レンズの焦点面は、レンズの外側（対物レンズ側）に位置します。ライトガイドファイバー像の明るさは開口数（NA）の2乗に比例します。対物レンズの開口数で顕微鏡の分解能と焦点深度が決まります。分解能は、幾何光学的には3600×NA（ラインペア/ mm ）で与えられますが、回折限界値λ/ NA を越えることはできません。可視光に対する焦点深度は、約λ/（4 NA2）となります。顕微鏡用対物レンズは、微小な物体の観察に使用します。対物レンズには、様々な価格と性能を持つ製品が揃っています。鏡筒の先端から物体までの距離であるワーキングディスタンス（WD）は、顕微鏡用対物レンズの場合非常に小さくなっています。そのため対物レンズと物体を接近させて配置しなければならず、マシンビジョンでは問題となります。このような場合のためにLWDまたはELWDと呼ばれる、よりワーキングディスタンスの長い対物レンズもありますが、標準のレンズに比べサイズが大きくなります。レチクルは、接眼レンズ焦点面に置き、像の長さ測定と位置確認に用います。CVIメレスグリオのレチクルは、BK7 研磨プレート上に精密フォトクロームパターン転写されたものです。顕微鏡へのマウント用ネジには、いくつかの異なる、互換性の無い規格（たとえばDIN、JIS、RMSのような）が存在します。ある規格のものを他の規格のネジに取り付けることは、通常は出来ません（無限補正対物レンズを除き）。同一シリーズの対物レンズは通常同焦点となっており、レンズをマウントするフランジと物体までの距離は同一となっています。これは、顕微鏡において対物レンズ（倍率）を変更する場合に、大きなフォーカス調整を必要としないことを意味しています。対物レンズ対物レンズのタイプたいていの対物レンズは、共通の物像距離で最適化されていますので、対物レンズの交換時にピント再調整の必要がありま対物レンズは、色収差、球面収差、像面湾曲がどの程度補正されているかにより、あるグループに分類されます。もっともこの焦点面にレチクルを置くと、接眼レンズで拡大されます。電子シャッター標準の対物レンズは、人間の眼の色感度に合わせて色補正されています。単色での顕微鏡撮影用途には、03 FCG 039 のようなグリーンフィルターをお勧めします。フラットフィールド対物レンズは、像面湾曲補正がなされ、カラーの顕微鏡写真撮影に向いています。レチクル W24.2 顕微鏡 Copyright C 2009 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM アマクシセンサビリジョンレンズおよびレーザー用アクセサリシンプルな対物レンズ（アクロマート）は、赤と青における色収差、そして緑における球面収差が補正されています。より高度な対物レンズ（アポクロマート）では、赤、黄、青における色補正と、2ないし3波長における球面収差が補正されています。視野全体にわたって質の高い像を必要とする用途向けのPlan 対物レンズ（ Plan アクロマートおよび Plan アポクロマート）は、像面湾曲も補正されています。また、一般的にPlan対物レンズは、シンプルなタイプに比べ長いワーキングディスタンスを持っています。いくつかの対物レンズは、特定の用途に使用するためにデザインされています。例えば生物顕微鏡用対物レンズは、カバースリップを通して物体を観察するように補正されています。もし、特にNAの大きいこの対物レンズをカバースリップ無しで使用した場合には、像はシャープに結びません。同様に、生物用ではない対物レンズにおいて、レンズと物体の間にガラスを置いた場合には、適切な機能は得られません。 1980 年以前の顕微鏡用対物レンズは、レンズをマウントするフランジ部分後段の距離（チューブの長さ）で像を形成するよう設計されていました。この長さは、メーカーや用途により 160 mmから210 mmの間の様々なものがありました。対物レンズは、適切な長さのチューブにおいて仕様に掲げる倍率の像を形成します。現代の顕微鏡用対物レンズは、無限遠補正されています。これは像側の光線が平行となるよう最適化されており、別途デコリメートするかチューブレンズを使用することにより結像します。このデザインにより、対物レンズ後段のコリメート領域に照明やビームスプリッターを配置する事が出来る柔軟性が生まれました。仕様通りの対物レンズの倍率の像を形成するには、適切な焦点距離を持つチューブレンズが必要です。もしくは適切なデコリメートレンズと共に使用した場合に、仕様に掲げる倍率が得られます。また、対物レンズは異なる倍率でも使用することができます。NAと倍率は、通常対物レンズの鏡筒に記されています。NAの大きな対物レンズは多くの光を集める事が出来ますが、被写界深度（DOF）とワーキングディスタンスは小さくなり、価格も割高となります。これらの兼ね合いはアプリケーションにとって重要であり、対物レンズの NAの選択は注意して行なう必要があります。視野角（FOV: Field Of View）は、センサーのサイズを倍率で割った値となります。倍率（およびFOV）は、チューブの長さもしくはデコリメートレンズの焦点距離を変える事により調整が可能です。対物レンズ上に記されたものと非常に異なる倍率での使用は、不十分に最適化されたシステムにおける結果を一般的に生じます。顕微鏡視点アイレンズ接眼レンズフィールドレンズフィールドストップ、対物レンズの第二共役面でレチクルの設置位置機械的鏡筒長 = 160 粗動用ノブ 150 微調整用ノブ対物レンズ用マウントリング対物レンズワーキングディスタンス対物レンズの選択対物レンズ：物体からフランジまでの距離 = S www.cvimgkk.com C 単位：mm 接眼レンズ、対物レンズ、およびフィーカシング機構を取付けた顕微鏡ボディ 2009 CVI Melles Griot. All rights reserved. 電子シャッター物体面顕微鏡 Copyright スアペパイーシチャャルーフおィよルびター顕微鏡ボディ特殊な用途向けの対物レンズも、多く存在します。あるレンズは、赤外もしくは紫外の波長領域で色補正されています。低蛍光の対物レンズは、紫外線による蛍光分析の用途に使用します。ストレスのかかっていない対物レンズは、イメージ光の偏光が保持されなければならない用途に使用します。顕微鏡の対物レンズを選ぶための最も重要なパラメーターは、その開口数です。NAが大きいほど解像力は増し、これは対物レンズが近接する物体の互いの特徴を識別できる事を意味します。NAは倍率と関係しており、高い倍率の対物レンズは通常大きなNAを有しています。対物レンズは、適切なチューブ長さ、干渉計用アクセサリ W24.3 ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 有限補正系フォーカシング顕微鏡ボディ Microscope Focusing Bodies レーザー用アクセサリ CVI メレスグリオの顕微鏡ボディは、光学実験、度量衡学、 φ50 生物学、画像の取り込み、および半導体の検査など様々な用途にご使用いただけます。 44.6 ■ 本顕微鏡ボディは、RMS 規格（ 0.8 インチ、 36 TPI ）の干渉計用アクセサリ φ37.5 04 OAS シリーズ有限補正アクロマチック対物レンズを取り付け可能 25 ■ オプションのタレット式レンズマウントは、 73 対物レンズを 3 個まで保持可能 ■ 粗動フォーカシング顕微鏡ボディは、倍率が16×までの 160 142.5 17.5 対物レンズに適し、さらに倍率の高い対物レンズには、微動フォーカシング顕微鏡ボディが最適 φ23.2 φ50.0 φ23 ■ バックラッシュ防止用ギアによるヒステリシスの除去 φ25 ■ 粗動機構は分解能 100 μｍでトラベル長63 mm 顕微鏡 φ0.8インチ 36 TPIタップ（RMS 規格） ■ 微動機構は分解能4 μｍでトラベル長3 mm ■ ボディと筒は黒色アルマイト処理されたアルミニウム製、スライドガイドは真鍮、駆動機構は鋼製 59.6 79.3 単位：mm 04 TCF 002 粗動顕微鏡ボディスアペパイーシチャャルーフおィよルびター有限補正系フォーカシング顕微鏡ボディ φ50 69.6 φ37.5 粗動微動 ○ ○ × ○ 製品番号 04 TCF 002 04 TFF 002 25 73 電子シャッター 160 142.5 17.5 φ50.0 φ23.2 φ23 φ0.8インチ 36 TPIタップ（RMS 規格） φ25 58.0 72 単位：mm ライトガイドファイバー 04 TFF 002 粗微動顕微鏡ボディ W24.4 TCF・TFF 顕微鏡 04 TCF・04 TFF Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 顕微鏡ボディ用アクセサリアマクシセンサビリジョンレンズおよび Microscope Body Accessories レーザー用アクセサリ CVIメレスグリオの顕微鏡ボディ用アクセサリとして、可調接眼レンズ用アングルホルダおよびアングルタイプの接眼レンズホルダ、タレット式レンズマウント、フォーカシング機構、および顕微鏡ボディ用マウンティングプレートをご用意しています。干渉計用アクセサリ可調接眼レンズホルダ可調接眼レンズホルダを用いると、顕微鏡の長さを調整することにより、倍率の変更が可能となります。ただし、NAが0.50 以上の対物レンズへの使用には適しません。 ■ 140 mm∼200 mmに長さの変更が可能 ■ 接眼レンズ取付け部は、クロームメッキされた真鍮製。 04 AEH 004 接眼レンズ用アングルホルダ顕微鏡ボディへのマウント部は、黒色アルマイト処理されたアルミニウム製接眼レンズ用アングルホルダは、光軸を45°曲げるためのプリズムを内蔵した接眼レンズホルダです。接眼レンズの位置を可調接眼レンズホルダ顕微鏡観察し易い方向に変えることができます。この接眼レンズホルダは、顕微鏡ボディから標準の接眼レンズホルダを取り除いた製品番号後に、同じ場所にねじ込んで用います。 04 AEH 002 可調接眼レンズホルダ ■ オフセット角度は45° ■ 接眼レンズ取付け部は、クロームメッキされた真鍮製。顕微鏡ボディへのマウント部は、黒色アルマイト処理タレット式レンズマウントされたアルミニウム製このクロームメッキされた真鍮製のタレット式レンズマウントは、対物レンズの交換を容易にするためのアクセサリです。 3 個の対物レンズの保持が可能です。顕微鏡ボディから対物レンズ用マウントリングを取外すことにより、鏡筒長が160 mm に保持されます。接眼レンズ用アングルホルダ製品番号 04 AEH 004 接眼レンズ用アングルホルダ製品番号保持可能な対物レンズの数 3 電子シャッター 04 NOP 003 顕微鏡ボディ用アクセサリ顕微鏡 www.cvimgkk.com スアペパイーシチャャルーフおィよルびター Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. 04 AEH・04 NOP W24.5 AEH・NOP ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよびレーザー用アクセサリ顕微鏡ボディ用マウンティングプレートフォーカシング機構 CVIメレスグリオの顕微鏡ボディは、光学実験、度量衡学、 ■ 顕微鏡ボディとフォーカシング機構用に設計されたアダプタプレート生物学、画像の取り込み、および半導体の検査など様々な用途にご使用いただけます。干渉計用アクセサリ ■ 50.6 mm間隔のM6用通し穴によりマウントが可能 ■ 顕微鏡ボディを取り付けるための、M4 スクリューが付属 ■ 粗調の駆動範囲は、分解能100 μmで63 mmと125 mm の２タイプ ■ 微調の駆動範囲は、分解能4 μmで3 mm 39 ■ クロームメッキされた真鍮製（駆動機構部はスチール製） 16 φ7通し皿ザグリ 32 7 φ8×90° （2ヶ所、両面）フォーカシング機構 12.5 50.6 トラベル長顕微鏡 (mm) 粗動フォーカシング 63 125 微動フォーカシング ○ ○ ○ ○ 25 64 製品番号 04 MFF 001 04 MFF 003 5 11 M4 深さ7 58 59.6 77 皿ザグリ φ5×90° （4ヶ所）単位：mm C マウントカメラアダプタ 07 HMB 001 顕微鏡ボディ用マウンティングプレートスアペパイーシチャャルーフおィよルびター電子シャッター顕微鏡ボディ用マウンティングプレート製品番号 07 HMB 001 顕微鏡ボディ用マウンティングプレート 1インチ×32 TPI ネジ（C マウント） M3 セットスクリュー（3ヶ所、120°間隔） 07 ACM 001 C マウントカメラアダプタ 13.8 C マウントカメラアダプタ製品番号 C マウントカメラアダプタ 6 φ2 穴（4ヶ所、90°間隔） φ35 07 ACM 001 21.3 34.8 13.5 M26×P0.5 ネジ 07 ACM 001 C マウントカメラアダプタライトガイドファイバー W24.6 顕微鏡 ACM・HMB・MFF 04 MFF・07 ACM・07 HMB Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM レチクルアマクシセンサビリジョンレンズおよび Reticles レーザー用アクセサリ CVIメレスグリオのレチクルは、平面研磨したBK7のガラスレチクル板に精密フォトクローム転写して作られています。ホイヘンス直径タイプの接眼レンズは、焦点距離が負で焦点面が接眼レンズ内にあるので、レチクルを装着するには接眼レンズを 2 つに分離パターンする必要があります。ホイヘンスタイプの接眼レンズの中には、クロスヘアー（mm）製品番号 21 19 04 RET 001 04 RET 002 レチクルが装着できないタイプもあります。焦点距離が正の接眼レンズは、アイレンズの逆側のネジリングを外してレチクルを取り付けます。 10 本の同心円付きクロスへアー（最外円φ10 mm）接眼レンズにレチクルを固定するための、ロッキングリングもご用意しています。 21 19 1 2 3 4 干渉計用アクセサリ 04 RET 003 04 RET 004 5 6 7 8 9 10 10 mmのスケール（100 分割） 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 21 仕様：レチクル材質直径の公差厚みライン幅 BK7、A 級ファインアニールド＋0/−0.05 mm 1.0±0.1 mm 10 μm 5 mm のスケール（100 分割） 0 1 2 3 4 5 21 04 RET 007 21 19 04 RET 011 04 RET 012 10 mmの十字スケール（100 分割） 0 1 2 3 4 0 1 2 3 4 6 7 8 9 10 21 19 04 RET 013 04 RET 014 6 7 8 9 10 ホイヘンスタイプ（負のレンズ）顕微鏡クロスへアーと10 mmのスケール（100 分割） 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90100 ラムスデンタイプ（正のレンズ） 04 RET 005 スアペパイーシチャャルーフおィよルびター接眼レンズにレチクルを取り付けるためのロッキングリング直径（mm）ロッキングリング製品番号 23 04 SWR 021 電子シャッターラムスデンタイプおよびホイヘンスタイプ接眼レンズへのレチクル装着方法顕微鏡 www.cvimgkk.com Copyright C 2009 CVI Melles Griot. All rights reserved. 04 RET・04 SWR W24.7 RET・SWR ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 対物レンズ Microscope Objectives レーザー用アクセサリこの顕微鏡用対物レンズはアクロマチック（ 656.3 nm 、干渉計用アクセサリ有限補正アクロマチック対物レンズ 486.1 nmの 2 色で色補正された）です。RMS標準（0.8インチ、 36 TPI）の顕微鏡ネジが切られているので、他社製品との互換 ■ 目視観察用に色収差補正済み性があります。また、対物レンズはボディにカラーコードリン ■ 白黒の顕微鏡写真撮影向きグで倍率表示しているため、倍率表記の数字が読み取りにくい ■ スペイシャルフィルタや、ビームエクスパンダなどとの場合でも容易に識別できます。併用、およびレーザービームの集光用に ■ 倍率公差は±5 % ■ 黒色仕上げを施した真鍮製ボディ ■ 全ての標準タイプの対物レンズは、400 nm - 700 nm用有限補正タイプの可視用対物レンズのMgF2 単層 AR コーティング付き。標準タイプの近赤焦点距離ワーキングディスタンス（@546 nm）外用対物レンズは、1300 nm - 1500 nm用のMgF2 単層 NA （mm） 1.0× 2.5× 4.0× 6.3× 10.0× 16.0× 0.05 0.07 0.12 0.20 0.25 120.00 42.00 24.00 21.00 6.80 73.5 43.8 30.8 22.5 16.9 144 66 45 45 45 0.32 0.50 0.65 3.70 1.30 0.47 10.8 6.6 4.6 45 45 45 AR コーティング付き顕微鏡 φ20.3 φ0.8インチ 36TPI ネジ（RMSネジ） 4.8 S L カラー（mm）（mm）（mm）リング倍率 25.0× 40.0× 7.6 7.6 7.6 7.6 6.5 7.3 12.0 12.0 製品番号 04 OAS 002 04 OAS 004 04 OAS 006 04 OAS 008 04 OAS 010 黒茶赤橙黄淡緑濃緑淡青 04 OAS 012 04 OAS 014 04 OAS 016 L スアペパイーシチャャルーフおィよルびター S 有限補正タイプの近赤外用対物レンズワーキングディスタンスワーキングディスタンス倍率物体面電子シャッターライトガイドファイバー 10.0× 0.25 25.0× 0.50 40.0× 0.65 φ20 単位：mm NA （mm） 6.80 1.30 0.47 焦点距離 S カラー（mm）（mm）リング 16.9 6.6 4.6 45 45 45 黄濃緑淡青製品番号 04 OAS 010/IR 04 OAS 014/IR 04 OAS 016/IR 04 OAS 顕微鏡対物レンズ W24.8 OAS 顕微鏡 04 OAS Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM アマクシセンサビリジョンレンズおよびレーザー用アクセサリ干渉計用アクセサリ顕微鏡スアペパイーシチャャルーフおィよルびター電子シャッター www.cvimgkk.com ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM レーザー用アクセサリアプリケーションノート干渉計用アクセサリ倍率を決定する対物レンズと接眼レンズの間隔は、固定されています。光線はこのレンズの間で集光されるため、光学部品を挿入する場合には倍率を保つために間隔を調整する必要があり、また収差が増加することがあります。対物レンズとチューブレンズの間の光線はコリーメートされており、倍率が変化することなくこれらレンズの間隔を変えることができます。ビームスプリッターやフィルターは、収差を増加させる事無く、組み込みが可能です。コリメートされたレーザービームは本質的に無限系の点光源であるため、無限共役比対物レンズがこのビームの集光に、より適しています。眼球顕微鏡接眼レンズスアペパイーシチャャルーフおィよルびター対物レンズ眼球接眼レンズ眼球接眼レンズチューブレンズチューブレンズビームスプリッタービームスプリッター1 対物レンズビームスプリッター2 電子シャッター対物レンズ有限補正対物レンズライトガイドファイバー W24.10 UVO 無限補正対物レンズ顕微鏡 Copyright C 2009 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM M Plan Apo シリーズ対物レンズアマクシセンサビリジョンレンズおよび M Plan Apo series Microscope Objectives NUV M Plan Apo 近紫外 - 可視域用対物レンズ ■ 長作動距離の対物レンズ ■ 明視野観察用 ■ 可視域 3 波長と532 nm、355 nmで色補正されたアポクロマートレンズ ■ 長い作動距離を持つ ■ 明視野観察が可能 ■ 視野全体にわたって像面がフラット ■ 10∼100倍までの、4種類の倍率をご用意 ■ 4∼5波長で色補正されたアポクロマートレンズ ■ 像を結ぶには、チューブ（結像）レンズが必要 ■ 可視域、近紫外 - 可視域、近赤外 - 可視域用をご用意 ■ 半導体回路のレーザーカッティング、レーザーによる ■ 無限補正対物レンズ液晶カラーフィルターの補修に CVIメレスグリオのM Plan Apo シリーズ顕微鏡用対物レンズは、視野全体にわたって像面が平坦であり、長い作動距離を持つ高性能な対物レンズです。この無限補正系の明視野観察用レンズは、4 つ以上の波長で色補正されたアポクロマートレンズであり、後述の顕微鏡鏡筒と組み合わせることにより観察用として、またレーザーを用いた半導体やフラットパネルの加工および補修用レンズとして最適な製品です。用途別に、近紫外-可視域用、可視域用、および近赤外-可視域用の3種類の製品に、それぞれ倍率の異なるレンズをご用意しています。無限補正対物レンズとチューブ（結像）レンズの間の光線はコリメートされており、倍率が変化することなく注 1これらのレンズの間隔を変えることができます。また、収差を増加させること無く、ビームスプリッターやフィルターをシステムに組み込むことが可能です。注 2 CVIメレスグリオのNUV M Plan Apo は、視野全体にわたレーザー用アクセサリ干渉計用アクセサリって像面が平坦であり、長い作動距離を持つ高性能な対物レンズです。この対物レンズは、近紫外光（355 nm）から可視光までの 5 つの波長で色収差の補正がなされ、これらの波長範囲において焦点深度内に焦点を結ぶよう設計されています。製品には、10倍∼100倍までの 4 種類の倍率をご用意しています。 Nd:YAG レーザーの第 3 高調波（355 nm）による半導体回路のカッティングやトリミング、液晶パネル用カラーフィルターのレーザーによる補修などのご用途にお使いいただけます。顕微鏡注 1：視野に制限の出る場合があります。注 2：周辺画角に収差の発生する場合があります。仕様：NUV M Plan Apo 近紫外-可視域用対物レンズ製品番号 04 ONU 010 04 ONU 020 04 ONU 050 04 ONU 100 倍率 * 10倍 20倍 50倍 100倍開口数 NA 0.28 0.40 0.42 0.5 作動距離（mm） 35.0 17.6 15.3 11.0 焦点距離（mm） 20.0 10.0 4.0 2.0 分解能 **（μm、@550 nm） 1.0 0.7 0.7 0.6 焦点深度 **（μm、@550 nm） 3.5 1.7 1.6 1.1 φ2.4 φ1.2 φ0.5 φ0.24 φ8.0 φ3.4 φ2.0 φ24 接眼において）実視野（mm、瞳径（mm） φ11.2 色補正波長（nm）スアペパイーシチャャルーフおィよルびター電子シャッター 486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線）、532、355 同焦点距離（mm） 95.0 φ26 mm×36 TPI マウント用ネジ 60 % @355 nm 透過率 80 % @436∼656 nm（平均値） 0.1 J/cm2 @532 nm（パルス幅10 nsec）損傷しきい値 *** 0.05 J/cm2 @355 nm（パルス幅10 nsec） 215 重量（g） 260 * f：200 mmのチューブ（結像）レンズと組み合わせた場合の値 ** 分解能と焦点深度の値は、回折限界での値です。 *** 参考値であり、保証値ではありません。 305 310 ※ このレンズに適合し、チューブ（結像）レンズを内蔵する顕微鏡鏡筒もご用意しています。顕微鏡 www.cvimgkk.com Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. 04 ONU W24.11 ONU ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM レーザー用アクセサリ φ26-36 TPI ネジ φ26-36 TPI ネジ干渉計用アクセサリ φ32.2 φ25 φ34 φ32.2 φ25 φ32 φ32 φ34 9 35 25.3 9 4.7 60 15.3 作動距離 25.3 4.7 79.7 作動距離 95 95 単位：mm 単位：mm 04 ONU 010 NUV M Plan Apo 10 倍の対物レンズ 04 ONU 050 NUV M Plan Apo 50 倍の対物レンズ顕微鏡 φ26-36 TPI ネジスアペパイーシチャャルーフおィよルびター φ26-36 TPI ネジ φ34 φ32.2 φ25 φ32.2 φ32 9 17.6 26 φ32 φ25 φ34 4.5 9 11 77.4 25.7 4.3 84 作動距離作動距離 95 95 単位：mm 単位：mm 04 ONU 020 NUV M Plan Apo 20 倍の対物レンズ 04 ONU 100 NUV M Plan Apo 100 倍の対物レンズ電子シャッターライトガイドファイバー W24.12 ONU 顕微鏡 04 ONU Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM アマクシセンサビリジョンレンズおよびレーザー用アクセサリ CVIメレスグリオのM Plan Apo シリーズ顕微鏡用対物レン M Plan Apo 可視域用対物レンズズは、視野全体にわたって像面が平坦であり、長い作動距離を ■ 長作動距離の対物レンズ持つ高性能な対物レンズです。この無限補正系の明視野観察用 ■ 可視域4波長で色補正されたアポクロマートレンズレンズは、4 つ以上の波長で色補正されたアポクロマートレンズであり、後述の顕微鏡鏡筒と組み合わせることにより観察用 ■ 明視野観察が可能として最適な製品です。製品には、2 倍∼100 倍までの 7 種類の ■ 2∼100倍までの7種類の倍率をご用意倍率をご用意しています。無限補正対物レンズとチューブ ■ 像を結ぶには、チューブ（結像）レンズが必要（結像）レンズの間の光線はコリメートされており、倍率が変化することなく注 1 これらのレンズの間隔を変えることができま干渉計用アクセサリす。また、収差を増加させること無く、ビームスプリッターやフィルターをシステムに組み込むことが可能です。注 2 注 1：視野に制限の出る場合があります。注 2：周辺画角に収差の発生する場合があります。顕微鏡仕様：M Plan Apo 可視域用対物レンズ製品番号 04 OVI 002 04 OVI 005 04 OVI 007 04 OVI 010 04 OVI 020 04 OVI 050 04 OVI 100 2倍 5倍 7倍 10倍 20倍 50倍 100倍 0.055 0.14 0.21 0.28 0.42 0.55 0.70 倍率 * 開口数 NA 作動距離（mm） 35.0 35.0 35.2 33.5 20.0 12.7 6.0 焦点距離（mm） 100 40 29 20 10 4 2 分解能 **（μm、@550 nm） 5.0 2.0 1.3 1.0 0.7 0.5 0.4 91.0 14.0 6.2 3.5 1.6 0.9 0.6 焦点深度 **（μm、@550 nm） φ24 接眼において）実視野（mm、 φ12.0 φ4.8 φ3.4 φ2.4 φ1.2 φ0.5 φ0.24 瞳径（mm） φ11.0 φ11.2 φ12.0 φ11.2 φ8.4 φ4.4 φ2.8 300 310 色補正波長（nm） 435.8（g 線）、486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線）同焦点距離（mm） 95.0 φ26 mm×36 TPI マウント用ネジ 80 % @436∼656 nm（平均値）透過率 210 重量（g） 214 223 216 255 電子シャッター * f：200 mmのチューブ（結像）レンズと組み合わせた場合の値 ** 分解能と焦点深度の値は、回折限界での値です。 ※ このレンズに適合し、チューブ（結像）レンズを内蔵する顕微鏡鏡筒もご用意しています。顕微鏡 www.cvimgkk.com スアペパイーシチャャルーフおィよルびター Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. 04 OVI W24.13 OVI ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM φ26-36 TPI ネジ φ32.2 φ25 φ32 9 レーザー用アクセサリ 35 25 φ34 4.5 60 作動距離 95 単位：mm 04 OVI 002 M Plan Apo 2倍の対物レンズ φ26-36 TPI ネジ φ26-36 TPI ネジ干渉計用アクセサリ φ32.2 φ25 φ32.2 φ25 φ32 φ34 9 35 25.3 φ34 4.7 9 25.3 4.7 75 20 60 作動距離作動距離 95 単位：mm φ32 95 単位：mm 04 OVI 020 M Plan Apo 20倍の対物レンズ 04 OVI 005 M Plan Apo 5倍の対物レンズ顕微鏡 φ26-36 TPI ネジ φ26-36TPI ネジ φ32.2 φ25.5 φ32 φ32.2 φ25 φ34 25.3 9 スアペパイーシチャャルーフおィよルびター φ32 φ34 4.5 9 35.2 59.8 作動距離 12.7 単位：mm 95 単位：mm 04 OVI 050 M Plan Apo 50倍の対物レンズ 04 OVI 007 M Plan Apo 7倍の対物レンズ φ26-36 TPI ネジ φ32 φ32.2 φ25 φ32.2 9 25.3 9 6 OVI 25.3 4.7 89 作動距離 95 単位：mm 04 OVI 010 M Plan Apo 10倍の対物レンズ W24.14 φ34 4.7 61.5 作動距離単位：mm φ32 φ25 φ34 33.5 ライトガイドファイバー 4.7 作動距離 95 φ26-36 TPI ネジ電子シャッター 25.3 82.3 95 04 OVI 100 M Plan Apo 100倍の対物レンズ顕微鏡 04 OVI Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM アマクシセンサビリジョンレンズおよびレーザー用アクセサリ NIR M Plan Apo 近赤外 - 可視域用対物レンズ φ26-36 TPI ネジ ■ 長作動距離の対物レンズ ■ 可視域 3 波長と532 nm、1064 nmで色補正された φ32 φ32.2 φ25 アポクロマートレンズ φ34 ■ 明視野観察が可能 9 ■ 5∼50倍までの 4 種類の倍率をご用意 34 ■ 像を結ぶには、チューブ（結像）レンズが必要 61 作動距離 ■ Nd:YAG レーザー（波長：532 nmまたは1064 nm）による半導体回路のカッティングなどに 4.7 25.3 干渉計用アクセサリ 95 単位：mm 04 ONI 010 NIR M Plan Apo 10倍の対物レンズ CVIメレスグリオのNIR M Plan Apo シリーズ顕微鏡用対物レンズは、視野全体にわたって像面が平坦であり、長い作動距離を持つ高性能な対物レンズです。この無限補正系の明視野観察用レンズは、3 つ以上の波長で色補正されたアポクロマートレンズであり、後述の顕微鏡鏡筒と組み合わせることにより観察用として、またレーザーを用いた半導体やフラットパネルの加工および補修用レンズとして最適な製品です。製品には、5 倍∼ 50 倍までの 4 種類の倍率をご用意しています。無限補正対物レンズとチューブ（結像）レンズの間の光線はコリメートされており、倍率が変化することなく注 1 これらのレンズの間隔を変えることができます。また、収差を増加させること無くビームスプリッターやフィルターをシステムに組み込むことが可能です。注 2 顕微鏡 φ26-36 TPI ネジ φ32.2 φ32 φ25 φ34 9 20 25.7 4.3 75 スアペパイーシチャャルーフおィよルびター作動距離 95 単位：mm 04 ONI 020 NIR M Plan Apo 20倍の対物レンズ注 1：視野に制限の出る場合があります。注 2：周辺画角に収差の発生する場合があります。 φ26-36 TPI ネジ φ32.2 φ32 φ32.2 φ25 φ32 φ25 φ26-36 TPI ネジ φ34 φ34 9 35 9 4.7 16 60 作動距離単位：mm 26 95 4.3 25.7 79 作動距離単位：mm 04 ONI 005 NIR M Plan Apo 5倍の対物レンズ 95 04 ONI 050 NIR M Plan Apo 50倍の対物レンズ顕微鏡 www.cvimgkk.com Copyright C 電子シャッター 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. 04 ONI W24.15 ONI ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM レーザー用アクセサリ仕様：NIR M Plan Apo 近赤外‐可視域用対物レンズ製品番号干渉計用アクセサリ 04 ONI 005 04 ONI 010 04 ONI 020 04 ONI 050 倍率 * 5倍 10倍 20倍 50倍開口数 NA 0.14 0.28 0.40 0.42 作動距離（mm） 35.0 34.0 20.0 16.0 焦点距離（mm） 40 20 10 4 分解能 **（μm、@550 nm） 2.0 1.0 0.7 0.7 焦点深度 **（μm、@550 nm） 14.0 3.5 1.7 1.6 φ24 接眼において）実視野（mm、 φ4.8 φ2.4 φ1.2 φ0.5 φ11.2 φ8.0 φ3.4 瞳径（mm） φ11.2 486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線）、532、1064 色補正波長（nm）同焦点距離（mm） 95.0 φ26 mm×36 TPI マウント用ネジ 70 % @1064 nm 透過率顕微鏡 70 % @436∼656 nm（平均値） 0.1 J/cm2 @532 nm（パルス幅10 nsec）損傷しきい値 *** 0.2 J/cm2 @1064 nm（パルス幅10 nsec） 225 重量（g） 210 270 290 * f：200 mmのチューブ（結像）レンズと組み合わせた場合の値 ** 分解能と焦点深度の値は、回折限界での値です。 *** 参考値であり、保証値ではありません。スアペパイーシチャャルーフおィよルびター ※ このレンズに適合し、チューブ（結像）レンズを内蔵する顕微鏡鏡筒もご用意しています。電子シャッターライトガイドファイバー W24.16 ONI 顕微鏡 04 ONI Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM M Plan Apo 対物レンズ用顕微鏡鏡筒ユニットアマクシセンサビリジョンレンズおよび Microscope Body Units for M Plan Apo Objectives レーザー用アクセサリ観察用の顕微鏡鏡筒には、CVIメレスグリオの04 OVI シリ ■ 軽量、コンパクトーズ M Plan Apo可視域用対物レンズを取り付けることにより、 ■ 観察用鏡筒は、可視域用対物レンズ（2∼100倍）に対応 2 倍 ∼ 100 倍の顕微鏡システムが構成されます。この鏡筒には、 C マウントを有する2/3インチCCDカメラ用のポートと、反射 ■ レーザー加工用鏡筒は、近紫外 - 可視用（10∼100倍）、および近赤外 - 可視用（5∼50倍）の対物レンズに対応照明のための虹彩絞り付きファイバー照明用ポートが備わって ■ f：200 mmのチューブ（結像）レンズを内蔵います。 ■ CマウントCCDカメラ、ファイバー照明、およびレーザー用のポートが備わるレーザー加工用の顕微鏡鏡筒には、CVI メレスグリオの04 ONU シリーズ NUV M Plan Apo近紫外 - 可視域用対物レンズ、および 04 ONI シリーズ近赤外 - 可視域用対物レンズに対応します。観察用と同じC マウントを有する 2/3 インチCCD ■ オプションにてTVアダプタ（0.5倍、2.0倍）をご用意 ■ 通常の観察用、半導体やフラットパネルディスプレイの加工や補修用に干渉計用アクセサリカメラ用のポート、反射照明のための虹彩絞り付きファイバー照明用ポートの他に、Nd : YAG レーザーを接続するためのポ ■ OEM供給にも対応可能ートが備わっており、内蔵するチューブ（結像）レンズは可視光 3 波長の他に1064 nm、532 nm、および355 nmで色補正さ CVIメレスグリオの顕微鏡鏡筒ユニットは、長い作動距離を有し、多波長で色補正されたアポクロマートレンズであるM Plan Apo シリーズ対物レンズに合わせて新たに設計された軽量、コンパクトな製品です。可視光 3 波長とNd : YAGレーザーの基本波、第 2 高調波、および第 3 高調波で色補正された焦点距離 200 mmのチューブ（結像）レンズを内蔵するこの鏡筒には、観察用と加工用の 2 種類の製品をご用意しています。れています。顕微鏡オプションにて、0.5 倍および 2.0倍のTVアダプタをご用意すると共に、お客様の仕様に合わせてOEM供給をすることも可能です。スアペパイーシチャャルーフおィよルびター仕様：M Plan Apo 対物レンズ用顕微鏡鏡筒ユニット観察用鏡筒レーザー加工用鏡筒 04#AA009_SA 04#AA010_SA カメラ取付け方向垂直方向観察像明視野/正立正像 C マウント（調芯機構付き） CCDの取付け方法 200 結像レンズの焦点距離（mm）結像レンズの色補正波長（nm）対応するレーザー対応する対物レンズ（観察用）対応する対物レンズ（レーザー加工用） 486.1（F 線）、587.6（d 線）、656.3（C 線） 486.1（F）、587.6（d）、656.3（C）、355、532、1064 ― YAGレーザーの基本波、第2、第3高調波可視用 04 OVI シリーズ可視用 04 OVI シリーズ ― 近紫外-可視用 04 ONU シリーズ、近赤外-可視用 04 ONI シリーズ 2/3インチ以下のCCDカメラ（C マウント付き）対応するCCDカメラ TVアダプタ 0.5倍、および2.0倍が取り付け可能反射照明用の光学系開口絞り付きテレセントリック照明顕微鏡 www.cvimgkk.com 電子シャッター Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. W24.17 ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM レーザー用アクセサリ 53.2 中間像位置カメラ用ポート（Cマウント）干渉計用アクセサリファイバー照明用ポート中間像位置 φ43 17.5 中間像位置 M4 タップ（6ヶ所、27間隔） 53.1 92 156.5 152.5 カメラ用ポート（Cマウント）レーザー用ポート 17.5 ファイバー照明用ポート 224.4 M4 タップ（6ヶ所、27間隔） 76 47 虹彩絞り調整レバー虹彩絞り調整レバー 50 単位：mm φ56 213.4 49 顕微鏡 79.6 単位：mm 観察用顕微鏡鏡筒ユニット 47 50 レーザー加工用顕微鏡鏡筒ユニットスアペパイーシチャャルーフおィよルびター電子シャッターライトガイドファイバー W24.18 顕微鏡 Copyright C 2012 CVI Melles Griot. All rights reserved. www.cvimgkk.com 光学システム Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 対物レンズホルダアマクシセンサビリジョンレンズおよび Microscope Objectives Holders レーザー用アクセサリ顕微鏡対物レンズは、レーザービームの集光レンズとして簡便によく使われています。この顕微鏡対物レンズホルダは、 RMS 規格ネジ RMS規格（0.8インチ、36 TPI）のタップが切られており、顕 φ15.5 23 微鏡対物レンズその他の光学部品をミラーマウントや位置決め装置に取り付けるのに便利です。 7 16 単位：mm すべてのホルダは黒色アルマイト処理されたアルミニウム φ16 干渉計用アクセサリ 07 HMO 505 16 mmセルホルダ用対物レンズホルダ製です。これらのホルダはミラーマウント、マウンティングポスト、16 mmのセルホルダにそれぞれ互換性があります。 RMS 規格ネジ M2用穴 4ヶ所）（ピッチ20 mm、 25 M6タップ深さ5.5 φ36 M6 8-32タップ深さ5.5 2.5 RMS 規格ネジ 25 5 顕微鏡単位：mm 1/4 8-32 34 17 07 MEA 518 マイクロラボミラーマウント用対物レンズホルダ M4 9 M4タップ深さ5.5 M2タップ 4ヶ所）（ピッチ20 mm、 M2用穴 4ヶ所）（ピッチ20 mm、 1/4-20タップ深さ5.5 単位：mm 07 HMO 001 ポストマウントタイプの対物レンズホルダ RMS 規格 25 ネジ 2.5 5 50 RMS 規格ネジ 5 スアペパイーシチャャルーフおィよルびター単位：mm 07 MEA 519 マイクロラボミラーマウント用ロングタイプ対物レンズホルダ 27.5 2.5 15 電子シャッター対物レンズ用ホルダ 2.5 2.5（2ヶ所）製品番号 M2タップ（1ヶ所） 15 5.0 単位：mm 5 20 25 07 HMO 001 07 HMO 503 07 HMO 505 07 MEA 518 07 MEA 519 ポストマウントタイプベース付きマウント 16 mm セルホルダ用マウント 2.5 ミラーマウントアダプタ 07 HMO 503 ベース付き対物レンズホルダミラーマウントアダプタ（ロングタイプ）顕微鏡 www.cvimgkk.com Copyright C 2009 CVI Melles Griot. All rights reserved. 07 HMO・07 MEA W24.19 HMO・MEA ライトガイドファイバー光学システムアマクシセンサビリジョンレンズおよび Ask About Our Build-to-Print and Custom Capabilities OEM 分解能テストターゲット Resolution Test Targets レーザー用アクセサリ光学システムの性能や写真技術における数値的公差を定め仕様：分解能テストターゲットる必要がある場合、分解能テストターゲットが一般的に使用さ基板サイズれています。このテストターゲットにおいては、1 mmあたりの干渉計用アクセサリラインペアの数が、7 段毎に倍になっています。（ラインペアはタイプ隣接する明るい棒線と暗い棒線のペアのことです。）1 つのグルパターンープは互いに直行する二方向の（3ラインペア）パターンで構成レンジされています。 50×50×1.5 mm（USAFパターン） 63.5×63.5×1.5 mm（NBSパターン）真空蒸着 USAF 1951およびNBS 1963 A 228ラインペア/ mm（USAFパターン） 18ラインペア/ mm（NBSパターン） ■ NBS 1963 A のパターン上の数値は、1 mmあたりのラインペアの数を示す ■ USAF テストターゲットは、1 mmあたりのラインペア 1.0 の数を割出すために下記の表が必要 4.5 5.6 6.3 顕微鏡 2.5 3.2 2.2 3.6 7.1 8.0 0 1 2 3 4 5 6 3 2 3 2 3 2 2 3 4 5 6 4 5 6 4 5 6 3 1 2 3 4 5 6 2 1 1 2 3 4 5 6 2 1 1 2 3 4 5 6 2 3 2 3 2 3 2 2 3 0 1 4 5 6 4 5 6 4 5 6 1.1 1 0 1 2 スアペパイーシチャャルーフおィよルびター 2.8 5.0 3 1 2 3 4 5 6 2 1 1 2 3 4 5 6 2 1 9.0 4.0 2.0 10 1.8 1.25 0 1 1.4 1.6 NBS テストターゲット USAF テストターゲット 1 mmあたりのラインペアの数（ lp / mm ）電子シャッターライトガイドファイバーグループ番号要素番号 0 1 2 3 4 5 6 7 1 2 3 4 5 6 1.00 1.12 1.26 1.41 1.59 1.78 2.00 2.24 2.52 2.83 3.17 3.56 4.00 4.49 5.04 5.66 6.35 7.13 8.00 8.98 10.10 11.30 12.70 14.30 16.0 17.95 20.16 22.62 25.39 28.51 32.0 36.0 40.3 45.3 50.8 57.0 64.0 71.8 80.6 90.5 102.0 114.0 128 144 161 181 203 W24.20 TRN・TRP 228 分解能テストターゲット製品番号 USAF 1951 クローム、ポジティブ USAF 1951 クローム、ネガティブ NBS 1963A クローム、ポジティブ 04 TRP 003 04 TRN 003 04 TRP 005 顕微鏡 04 TRN・04 TRP Copyright C 2009 CVI Melles Griot. 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