Keysight B1500A 半導体デバイス・アナライザ最先端研究のオール・イン・ワン・ソリューション超微小電流測定容量測定高速電流電圧測定高速パルス機能 WindowsベースGUI 自動IV-CV測定切替最先端研究に対応する測定モジュール類精度を損なうことなく、 IV-CV測定を自動切替するアダプタ 230種以上のテストを内蔵測定チャンスを無駄にしない測定データ自動保存機能使い慣れた Windows®環境オンウェハ上で高精度測定を実現特長その1 PCでの解析を容易にする測定データ保存用USBポート、 LANポート高速IV測定を実現するモジュール最先端研究の測定ニーズに対応する測定機能と精度超微小電流・電圧測定（最小0.1fA、0.5uV分解能）からQSCV測定を含む容量測定、高速パルス印加機能、パルス IV測定や過渡応答特性等の評価を高精度にする高速電流電圧測定機能（5nsecサンプリング）を1台で実現します。特長その2 使い勝手の良いソフトウェアにより、すぐに評価を開始内蔵ソフトウェア（EasyEXPERT）には、230種類以上のアプリケーション・テストを標準装備しており、テスト・プログラムを作成することなく、すぐにご希望の測定を開始することができます。特長その3 IV-CV測定自動切替機能やオンウェハ測定により研究・開発の効率アップ高精度なIV-CV測定を自動切替するアダプタ（SCUU）により、スイッチング・マトリックスなどの外部機器を使わずに、簡単かつ高精度なIV-CV測定の自動切替を実現します。また、オンウェハ測定サポートにより大幅に評価効率を向上します。 B1500A デバイス・アナライザ仕様 B1500A 追加パッケージオーダー情報メインフレームの特徴 B1500A-A10 HPSMU 追加（HPSMUx 1 & ケーブル） ¥900,602 B1500A-A11 MPSMU 追加（MPSMUx1 & ケーブル） ¥613,665 グランド・ユニットのシンク性能 4.2 A B1500A-A17 HRSMU 追加（HRSMUx1 & ケーブル） ¥762,930 使用可能なスロット数 10 USB 2.0ポート前面に2個、背面に2個 B1500A-A20 MFCMU 追加（MFCMU & ケーブル） ¥1,603,772 測定機制御 GPIB B1500A-A25 HVSPGU 追加（HVSPGUx1 & ケーブル） ¥1,223,906 ネットワーク 100 BASE-TX/10 BASE-T LAN ポート B1500A-A28 ASU（Atto Sense Unit）追加（ASUx1 & ケーブル） 1xBNCトリガ入力、1xBNCトリガ出力、トリガ入出力 8xプログラミング・ B1500A-A30 WGFMU 追加（WGFMUx1、RSUx2 & ケーブル） ¥2,863,879 B1500A-A31 WGFMU/コネクタ･アダプタ追加（WGFMUx1、 ¥2,989,890 RSUx2、ケーブル & コネクタ・アダプタ） B1500A-A3P WGFMU プローブ･ケーブル･セット ¥424,665 （プローブ･ケーブル 8 本含む、WGFMUは含まず） B1500A-A5F パッケージ・デバイス用テスト･フィクスチャ（16442Bx1）外部トリガ入出力モジュール情報 HPSMU MPSMU HRSMU ASU 必要スロット数 2 1 1 NA 最大出力電圧 ±200 V ±100 V ±100 V ±100 V 最大出力電流 ±1 A ±100 mA ±100 mA ±100 mA 電圧測定分解能 2 µV 0.5 µV 0.5 µV 0.5 µV 電流測定分解能 10 fA 10 fA 1 fA 0.1 fA モジュール（B1510A）（B1511A）（B1517A）（E5288A） N1301A CMU アクセサリ主要仕様 N1301A-100 SMU CMU ユニファイ･ユニット（SCUU） ¥555,808 1 1kHz to 5MHz、最大100V DCバイアス印加 N1301A-102 SCUU ケーブル（3 m） ¥222,748 N1301A-110 SCUU マグネットスタンド 1 最小12.5ns パルス幅、最小遷移時間 10ns、最大40Vパルス（3値レベル） N1301A-200 ガード･スイッチ･ユニット（GSWU） N1301A-201 GSWU ケーブル（1 m） ¥11,212 1 最小100ns パルス幅、最大10V出力、最小電流・電圧サンプリングスピード 5ns N1301A-202 GSWU ケーブル（3 m） ¥16,817 B1540A EasyEXPERT ソフトウェア及び測定ライブラリ B1540A-001 EasyEXPERT 標準バージョン使用ライセンス付き必要スロット数 MFCMU （B1520A） HV-SPGU （B1525A） WGFMU （B1530A） B1500A オーダー情報 B1541A B1500A 半導体デバイス･アナライザ･メインフレーム ¥3,401,265 B1500A-A6J 校正証明書（校正データ付き）、ANSI Z540 準拠 B1500A-UK6 校正および校正証明書（校正データ付き） ¥34,728 B1541A-001 ¥0 ¥53,816 カスタム･ソリューション用空パッケージ B1500A-A01 スタンダード･パッケージ（MPSMUx4 & ケーブル）¥2,449,980 B1500A-A02 高分解能パッケージ（HRSMUx4 & ケーブル） ¥0 ¥3,045,894 B1500A-A03 高出力パッケージ（HPSMUx2、 MPSMUx2 & ケーブル） ¥3,022,755 B1500A-A04 フラッシュ･メモリー･セル基本パッケージ（MPSMUx4、 SPGU、ケーブル、アクセサリ類） ¥4,255,024 B1542A ¥61,664 ¥1,121 ¥0 Desktop EasyEXPERT ソフトウェア ¥1,121 及び測定ライブラリ Desktop EasyEXPERT、 ¥0 標準バージョン使用ライセンス付き ¥28,940 B1500A-A00 お問い合せ先 ¥806,666 B1500A アクセサリオーダー情報その他モジュールモジュール ¥298,528 パルスIVソリューション･パッケージお問い合せください ※製品価格は、2014 年 7 月現在のもので消費税は含まれません。キーサイト・テクノロジー合同会社本社〒192-8550 東京都八王子市高倉町9-1 受付時間 9：00-18：00（土・日・祭日を除く） TEL 0120-421-345 (042-656-7832) FAX 0120-421-678 (042-656-7840) Email [email protected] www.keysight.co.jp © Keysight Technologies, 2014 Published in Japan, July 18, 2014 5990-6312JAJP 0000-08cS