マグネガラススケールスケールマグネスケール付自動ステージシステム SGSP(MS) Series マグネスケール内蔵自動ステージSGSP（MS）シリーズはステージコントローラSHOT204MSと接続することでクローズ制御が可能となっています。マグネスケールにより移動量を検出し補正しているので指令に対する追従性能の高い制御が可能となっています。マグネスケールは磁気検出方式を採用することにより、耐環境性（油､汚れ、振動､衝撃など）に優れた信頼性の高い高精度測長を可能にしたスケールです。自動ステージには､マグネスケール主部品の特殊磁気性合金製スケールロッドと検出ヘッド（スライダ）が組み込まれています。 SHOT-204MSではマグネスケール分解能0.5μmより10分割したモータパルス分解能0.05μmで、クローズドループ制御を行っています。また､自動セットアップ機能によりステージのパラメータ（ネジリード）などを自動的に計測し標準的なクローズドループ制御ができるように内部設定（メモリスイッチ）を簡単に変更することが出来ます。スケールユニット　SR118（シグマ光機仕様）ステージ干渉計 SGSP(MS)33-50 SGSP(MS)20-85 SGSP(MS)26-100 SGSP(MS)26-200 SGSP(MS)33-200 50 4 14±1 5〜40 −5〜45 85 4 14±1 5〜40 −5〜45 100 5 14±1 5〜40 −5〜45 200 6 14±1 5〜40 −5〜45 有効長［mm］精度（20℃）〔μmp-p〕温度係数〔106 /℃〕使用温度範囲〔℃〕保存温度範囲〔℃〕ホルダーベース注意光源手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸回転ゴニオ・傾斜多軸 M6 直動ガイド ●マグネスケールユニットをステージ本体に取り付ける場合､位置・姿勢などに起因して1〜10μmの誤差（含バックラッシュ）が発生します。マグネスケール内蔵自動ステージ　SGSP（MS ）シリーズ SGSP(MS)20-85 SGSP(MS)26-100 SGSP(MS)26-200 SGSP(MS)33-50 SGSP(MS)33-100 SGSP(MS)33-200 SGSP(MS)46-300 168,000 336,000 186,000 198,000 396,000 221,000 218,000 436,000 241,000 218,000 436,000 253,000 238,000 476,000 273,000 248,000 496,000 283,000 438,000 876,000 488,000 X軸〔￥〕 XY軸〔￥〕 Z軸〔￥〕 SGSP（MS）シリーズ系統図 DMINIS ケーブル SGSP（MS）シリーズ GP-IB ケーブル SHOT-204MS C448 C507 GP-IB 自動ステージピエゾステッピングスケール付 ACサーボソフトウェアケーブルオプションアクチュエータ RS232C 9P C508 USB STAGE1 RS232C ケーブル（STR） SGSP（MS）シリーズ STAGE3 STAGE4 （HP よりダウンロード） USB ケーブル・LabVIEW ・SGcommander SCALE1 SCALE2 コントロールパッド CJ-200 SCALE3 C448 SCALE4 パソコン接続用 RS232C ケーブル DZ-252 C508 www.sigma-koki.com *[email protected] とりケーブルユニット C509 ブラケット・スペーサー C460 C508 STAGE2 C508 サンプルプログラムマイクロメータ・微調ネジアクセサリ・メンテツール DBCS-15 ケーブル表示ユニット LT20-201C C461 （デテクタボックス） CH-SIGMA C507 スケールユニット SR118（シグマ光機仕様）つテープ電線けガラスマグネスケールスケールマグネスケール付自動ステージシステム SGSP(MS) Series 表示ユニット　LT20-201C（2チャンネルユニット）一般仕様品番表示測定ユニット入力端子台 LT20-201C 6桁、バックライト付LCD、モード表示２チャンネル入力：リセット、ピークホールドスタート、 12-24V　DC電源出力：合否判定（オープンコレクタ） RS232C RS232C（8pin　ミニDINコネクタ）リセット、プリセット値設定、現在値・リコール、ピークホールドスタート、コンパレート値設定、現在値・最大・最小・p-p の選定と出力 EXT、IN EXT、IN端子（ミニジャック）データ出力スタートリセット機能リセットキーおよび外部入力（端子台）プリセット機能プリセットキーでプリセット値設定、リセットキーでリコール、RS232Cコマンドで設定・リコール電気仕様 3段コンパレータキースイッチによりコンパレータ値設定合否判定：LED表示および端子台出力（オープンコレクタ）RS232Cは設定、スタートとも対応ピークホールド機能最大値、最小値、p-p値端子台のスタート入力により測定開始 RS232Cは設定、スタートとも対応 ①コネクタ仕様ホシデン㈱製　TCP8938プラグピン№ １ 2 3 4 5 6 7 8 9 10 0.0005mm、0.001mm、0.005mm、0.01mm 選択表示分解能 0.0005mm、0.001mm、0.005mm、0.01mm 選択ディレクション最大応答周波数切り替え可能 2.5MHz（A 相とB相の位相差において）和差機能 A＋B、A-B、B-A の選択はティレクションの設定で対応使用温度範囲保存温度範囲消費電力・電源質量付属品 0〜40度 −10〜50℃ 6W（DC10.8〜26.4V） 300g カウンタストッパコントローラ側、表示ユニット側 10ピン←→ステージ側　9ピン 4 6 2 1 7 1 2 3 4 5 DC 電源（＋5V） DC 電源（ー 5V）赤 GND 白 A 相出力 B 相出力 6 7 8 9 10 アラーム出力橙黄青灰 GND GND ケーブルユニット（デテクタボックス） CH-SIGMA 光源ピン配列手動ステージ X軸 XY 軸 Z軸 XZ軸 XYZ軸回転ゴニオ・傾斜多軸 M6 直動ガイド 750Ω 750Ω ＋5V A B アラーム 74HC14 1 1 2 2 3 3 4 4 5 5 6 6 7 7 8 8 NC 9 9 NC 赤白青黄橙灰 1 2 3 7 6 5 エキサイト信号チャンネル 1 信号チャンネル 2 信号 4 NC マグネスケール内蔵ステージ SGSP（MS）シリーズ注1）デテクタボックスではマグネスケールからの出力信号を計測、制御に適した電気信号に変換しています。 CH-SIGMA 注意 ●デテクタボックス—10ピンコネクタ間0.3mです。 ●デテクタボックス—D-sub9ピンコネクタ間1m又は3mです。ベース 3 D-sub 9 ピンヒロセ電機（株）製相当品 TCP8938 ホシデン（株）製 Stage SGSP（MS) 5 10 ③出力信号仕様 TTL 信号デテクタボックス CH-SIGMA 9 ②電源仕様電源電圧：+5V±5％、-5±5％消費電流：+5V：120mA 以下､-5V：75mA 以下表示ユニット SHOT-204MS 表示ユニット LT20-201C 8 ④推奨接続回路 74HC14などのシュミット回路で受けてください。ケーブルユニット（デテクタボックス） Cable ホルダー適用ソケット：ホシデン㈱製 TCS7705-502010 ⑤アラーム出力ハイアクティブです。最短9msHigh状態になり、アラーム状態が解除されていれば Low 状態に戻ります。 Controller 干渉計内容線材色 DC電源（＋5V）赤 DC電源（-5V）白 GND 黒 A 相出力黄 B相出力青接続禁止緑接続禁止茶アラーム出力灰 GND 紫 GND 橙 4.7kΩ コンパレータ機能入力分解能 DINサイズに機能を凝縮し､ワンタッチでパネルマウントが可能な､小型、軽量表示ユニットです。自動ステージピエゾステッピングスケール付 ACサーボソフトウェアケーブルオプションアクチュエータマイクロメータ・微調ネジブラケット・スペーサーアクセサリ・メンテツール注2）マグネスケールとデテクタは電気調整が必要ですので必ず一体でご使用ください。ご案内 ●価格、納期につきましては別途お問合せ下さい。 , 付属ビス C461