液体流量センサーカタログ

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液体流量センサー
Liquid Flow Sensor Solutions
革新的な流量センサー技術
全ての産業で、プロセスモニタリングとフィードバック制御の重要性が高まっ
ています。その結果、最新鋭の流体システムには、安全で信頼性ある液体のポ
ンピングや供給を保証するために、流量センサーが使われています。
蚊の吸血
約 10 μl/min
nl/min
薬液の注入
約 5 ml/min
エスプレッソマシーン
約 250 ml/min
μl/min
ml/min
当社センサーは、70 nl/min から 120 ml/min まで流量を測定することが可能です。
詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.co.jp/liquidflow
マイクロ流体表面実装パッケージデザインのカスタマイズ化
特許取得済み技術
当社の CMOSens® 流量センサー技術は、駆動部品のない熱型
マイクロセンサー方式で、超微少液体流量の測定に最適です。媒
体から隔離された液体流量センサーは、ナノリッターレベルま
で測定可能です。この世界最小で、最も正確な液体流量センサー
は、最良なコストパフォーマンスで、新たなデザインアプローチ
を可能にします。センサーのフローチャネル外側に取り付けら
れた CMOSens® デジタルマイクロチップが特徴であるこの製品
は、フローチャネルの壁を通して正確な測定をします (US 特許
7,905,140)。また、高い信頼性と完全な媒体適合性もあり、ライ
フサイエンス、工場自動化、そして、エネルギー制御機器に最適で
す。
ヒーター
液体の流れ
温度センサー
マイクロセンサーチップ
流量測定原理
異なる直径をもつキャピラリーを使い、当社液体流量センサーは
70nl/min から 120ml/min までの 6 段階の測定レンジにより必
要な流量に対応します。そして、センサー素子に加え、チップには
信号の線形化、温度補正および自己診断のアルゴリズムに必要
なデジタル回路を集積しています。
チューブ壁面
から測定…
…あるいはマイクロ
流体基板*の中
*原寸大
センシリオンについて
高速性、小型性、信頼性
当社液体流量センサーの標準品は、各用途に合わせた OEM セン
サーの開発投資を減らし、非常に高いコストパフォーマンスを供
します。不活性で生体親和性を持つ非接触型センサーのフロー
チャネルは、シンプルな直線のガラス製チューブで、接液部分に
は PEEK あるいは PFA の材料を使用しているため、プロセスと
の互換性が保証されています。デジタル出力とアナログ出力が
選択できますのでシームレスな実装が可能です。また、より複
雑な目的に合わせてのカスタマイズ対応も可能です。
使い捨て機器を含めた量産製品の場合、コストパフォーマ
ンスの良いセンサーソリューションが非常に重要となりま
す。センシリオンの自動化や医療部門での確かな経験と、
CMOSens ® の特殊な表面実装パッケージング技術により、
低コストの平面基板を通る液体流量を非接触型で測定する
ことができ、製造コストを抑えることができます (US 特許
7,905,140)。ガラスやセラミック、プラスチックから成る平
面基板の中をフローチャネルが通ります。CMOSens® のデジ
タルマイクロチップ (標準サイズ 2.2 x 3.5 mm) が、この平
面基板上に実装され、高感度の流体流量測定を行います。
チップからのデジタル出力
フローチャネル
マイクロセンサーチップ
チューブ壁面からの測定
当社は、湿度やガス・液体流量の測定と制御のための高品質センサーとセンサーソリュ
ーションをもつ業界のリーディングカンパニーです。スイス連邦工科大学チューリッヒ校
(ETH) から 1998 年に分離独立し創業した当社は、スイスのチューリッヒ郊外に本社を置
き、北米、韓国、日本、中国、台湾に現地法人を置いています。スイスの本社が研究や開発、
生産を担当しています。
当社のセンサーは、世界中で既に数百万個以上使われています。要求水準の高い自動車産
業、医療産業やコンシューマー市場を含め、様々な産業の取引先が当社の製品に信頼を寄
せています。センシリオンに成功をもたらした CMOSens® の革新的な技術は、一つの半
導体チップにセンサーと信号処理回路を集積しています。これにより、低コストで高品質
な大量生産が可能となり、センシリオンは、マイクロセンサーとセンサーソリューションの
トップサプライヤーとなりました。世界各地にある現地法人と、シームレスな流通網をも
つことで、プロジェクトの全ての段階で最高レベルなカスタマーサポートを可能にしてい
ます。当社がすでに多くの賞を受賞したことにより、お客様のために我々が一層の努力を
惜しまない取組みをしていることが証明されています。2010 年には、スイスの市場競争に
貢献し、挑戦と努力をした会社を称える Ernst & Young Entrepreneur of the Year® を
受賞致しました。
医療
液体流量センサー 製品紹介
SLQ-QT500
石英ガラスや PFA などの高純度な接液面材の
みを使い、3ml/min から 120ml/min までの流
量が校正されたこのセンサーは、測定精度が厳
密な半導体産業分野などの投薬用途に最高で
す。速いレスポンスによって、類のない測定時
間で流量をモニターすることができます。
SLI シリーズ
SLG
SLG640075
最小受注数量
1個
SLI
SLQ
LG16 OEM
最小校正流量
精密モード:
5 μl/min 水
0.25 μl/min 水
10 %
拡張モード:
20 μl/min 水
2 μl/min 水
20 %
1 ml/min 水
10 ml/min 炭化水素
0.04 ml/min 水
0.5 ml/min 炭化水素
SLI-2000
5 ml/min 水
80 ml/min 炭化水素
0.2 ml/min 水
4 ml/min 炭化水素
SLQQT500
120 ml/min 水
3 ml/min 水
120 ml/min 炭化水素 3 ml/min 炭化水素
SLI-1000
測定値精度
1個
1個
5 %
10 %
SLQ-HC60
80 ml/min 炭化水素
2.5 ml/min 炭化水素 10 %
LG16-0025
1.5 μl/min 水
0.07 μl/min 水
LG16-0150
7 μl/min 水
0.4 μl/min 水
50 μl/min 水
1 μl/min 水
1000 μl/min 水
30 μl/min 水
LG16-2000
5000 μl/min 水
200 μl/min 水
LG162000HC
80 ml/min 炭化水素
2.5 ml/min 炭化水素 10 %
50 ml/min 水
スイッチレベル:
4.5 ml/min 水
220 ml/min 水
スイッチレベル:
0.25 ml/min 水
LG16-0430
LG16-1000
LG012000A090
LG012000A005
双方向測定
量産用: 25 個
評価用: 3 個
1 個
流体
出力
デジタル I2C,
デジタル
RS485
○
水系の流体
○
水系又は炭化水素系
デジタル
の流体
RS485
(校正は水又は IPA)
50 μl/min 水
2 μl/min 水
500 μl/min 炭化水素 25 μl/min 炭化水素
SLI-0430
LG01
OEM
最大流量
OEM 機器に流体センサーを一体化するのには、
省スペースな LG16 シリーズが最適です。I2C
コミュニケーションのデジタル版と、0-5V の
アナログ出力版があります。LG01 センサーは、
フロー検出 (気泡、液漏れ) に最適です。
診断器具
自動化
半導体
モデル
LG16/LG01 OEM 向け
SLI シリーズは、ハウジングで保護されているた
め、研究室や自動化産業に最適です。他の液体
流量センサー同様、Windows の PC ビューワー
やロガーソフト、接続ケーブルが付いてくる評価
キットを準備しております。
○
水系又は炭化水素系
デジタル
の流体
(校正は水又は IPA) RS485
炭化水素系の流
体のみ
アナログ
0–10 V
最大ケーブル
長さ
I2C: 30 cm
RS485: 100 m
RS485: 100 m
RS485: 100 m
–
チューブ径
5 %
○
水系の流体
外径 1/16"
1000 bar
SLG64-0075
50 bar
SLI-0430
15 bar
SLI-1000
5 bar
SLI-2000
外径 1/4"
12 bar
SLQ-QT500
外径 1/8", 3 mm
3 bar
SLQ-HC60
外径 1/16",
3 mm, 1/8"
外径 1/32"
I2C: 30 cm
200 bar
10 %
×
デジタル I2C
水系の流体
アナログ 0V/5V
外径 1/16", 1/8"
5 bar
LG16-1000
3 bar
µl/min
100
1
ml/min
10
100
1
10
100
LG16-0150
LG16-0430
3 bar
–
nl/min
LG16-0025
100 bar
外径 1/16", 1/8"
炭化水素系の流
体のみ
モデル
10
10 %
デジタル I2C
又は
アナログ
0–5 V
最大耐圧
LG16-2000
LG16-2000HC
LG012000A090
LG012000A005
流量レンジ
水 (H2O)
炭化水素 (HC)
140310-LF-JP
いつでも どこでも センシング
本社
現地法人
スイス
中国
アメリカ
日本
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Laubisruetistrasse 50
8712 Staefa
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