Your Partner for Humidity and Flow Sensor Solutions 液体流量センサー Liquid Flow Sensor Solutions 革新的な流量センサー技術 全ての産業で、プロセスモニタリングとフィードバック制御の重要性が高まっ ています。その結果、最新鋭の流体システムには、安全で信頼性ある液体のポ ンピングや供給を保証するために、流量センサーが使われています。 蚊の吸血 約 10 μl/min nl/min 薬液の注入 約 5 ml/min エスプレッソマシーン 約 250 ml/min μl/min ml/min 当社センサーは、70 nl/min から 120 ml/min まで流量を測定することが可能です。 詳しい情報はこちらをご参照ください。 www.sensirion.co.jp/liquidflow マイクロ流体表面実装パッケージデザインのカスタマイズ化 特許取得済み技術 当社の CMOSens® 流量センサー技術は、駆動部品のない熱型 マイクロセンサー方式で、超微少液体流量の測定に最適です。媒 体から隔離された液体流量センサーは、ナノリッターレベルま で測定可能です。この世界最小で、最も正確な液体流量センサー は、最良なコストパフォーマンスで、新たなデザインアプローチ を可能にします。センサーのフローチャネル外側に取り付けら れた CMOSens® デジタルマイクロチップが特徴であるこの製品 は、フローチャネルの壁を通して正確な測定をします (US 特許 7,905,140)。また、高い信頼性と完全な媒体適合性もあり、ライ フサイエンス、工場自動化、そして、エネルギー制御機器に最適で す。 ヒーター 液体の流れ 温度センサー マイクロセンサーチップ 流量測定原理 異なる直径をもつキャピラリーを使い、当社液体流量センサーは 70nl/min から 120ml/min までの 6 段階の測定レンジにより必 要な流量に対応します。そして、センサー素子に加え、チップには 信号の線形化、温度補正および自己診断のアルゴリズムに必要 なデジタル回路を集積しています。 チューブ壁面 から測定… …あるいはマイクロ 流体基板*の中 *原寸大 センシリオンについて 高速性、小型性、信頼性 当社液体流量センサーの標準品は、各用途に合わせた OEM セン サーの開発投資を減らし、非常に高いコストパフォーマンスを供 します。不活性で生体親和性を持つ非接触型センサーのフロー チャネルは、シンプルな直線のガラス製チューブで、接液部分に は PEEK あるいは PFA の材料を使用しているため、プロセスと の互換性が保証されています。デジタル出力とアナログ出力が 選択できますのでシームレスな実装が可能です。また、より複 雑な目的に合わせてのカスタマイズ対応も可能です。 使い捨て機器を含めた量産製品の場合、コストパフォーマ ンスの良いセンサーソリューションが非常に重要となりま す。センシリオンの自動化や医療部門での確かな経験と、 CMOSens ® の特殊な表面実装パッケージング技術により、 低コストの平面基板を通る液体流量を非接触型で測定する ことができ、製造コストを抑えることができます (US 特許 7,905,140)。ガラスやセラミック、プラスチックから成る平 面基板の中をフローチャネルが通ります。CMOSens® のデジ タルマイクロチップ (標準サイズ 2.2 x 3.5 mm) が、この平 面基板上に実装され、高感度の流体流量測定を行います。 チップからのデジタル出力 フローチャネル マイクロセンサーチップ チューブ壁面からの測定 当社は、湿度やガス・液体流量の測定と制御のための高品質センサーとセンサーソリュ ーションをもつ業界のリーディングカンパニーです。スイス連邦工科大学チューリッヒ校 (ETH) から 1998 年に分離独立し創業した当社は、スイスのチューリッヒ郊外に本社を置 き、北米、韓国、日本、中国、台湾に現地法人を置いています。スイスの本社が研究や開発、 生産を担当しています。 当社のセンサーは、世界中で既に数百万個以上使われています。要求水準の高い自動車産 業、医療産業やコンシューマー市場を含め、様々な産業の取引先が当社の製品に信頼を寄 せています。センシリオンに成功をもたらした CMOSens® の革新的な技術は、一つの半 導体チップにセンサーと信号処理回路を集積しています。これにより、低コストで高品質 な大量生産が可能となり、センシリオンは、マイクロセンサーとセンサーソリューションの トップサプライヤーとなりました。世界各地にある現地法人と、シームレスな流通網をも つことで、プロジェクトの全ての段階で最高レベルなカスタマーサポートを可能にしてい ます。当社がすでに多くの賞を受賞したことにより、お客様のために我々が一層の努力を 惜しまない取組みをしていることが証明されています。2010 年には、スイスの市場競争に 貢献し、挑戦と努力をした会社を称える Ernst & Young Entrepreneur of the Year® を 受賞致しました。 医療 液体流量センサー 製品紹介 SLQ-QT500 石英ガラスや PFA などの高純度な接液面材の みを使い、3ml/min から 120ml/min までの流 量が校正されたこのセンサーは、測定精度が厳 密な半導体産業分野などの投薬用途に最高で す。速いレスポンスによって、類のない測定時 間で流量をモニターすることができます。 SLI シリーズ SLG SLG640075 最小受注数量 1個 SLI SLQ LG16 OEM 最小校正流量 精密モード: 5 μl/min 水 0.25 μl/min 水 10 % 拡張モード: 20 μl/min 水 2 μl/min 水 20 % 1 ml/min 水 10 ml/min 炭化水素 0.04 ml/min 水 0.5 ml/min 炭化水素 SLI-2000 5 ml/min 水 80 ml/min 炭化水素 0.2 ml/min 水 4 ml/min 炭化水素 SLQQT500 120 ml/min 水 3 ml/min 水 120 ml/min 炭化水素 3 ml/min 炭化水素 SLI-1000 測定値精度 1個 1個 5 % 10 % SLQ-HC60 80 ml/min 炭化水素 2.5 ml/min 炭化水素 10 % LG16-0025 1.5 μl/min 水 0.07 μl/min 水 LG16-0150 7 μl/min 水 0.4 μl/min 水 50 μl/min 水 1 μl/min 水 1000 μl/min 水 30 μl/min 水 LG16-2000 5000 μl/min 水 200 μl/min 水 LG162000HC 80 ml/min 炭化水素 2.5 ml/min 炭化水素 10 % 50 ml/min 水 スイッチレベル: 4.5 ml/min 水 220 ml/min 水 スイッチレベル: 0.25 ml/min 水 LG16-0430 LG16-1000 LG012000A090 LG012000A005 双方向測定 量産用: 25 個 評価用: 3 個 1 個 流体 出力 デジタル I2C, デジタル RS485 ○ 水系の流体 ○ 水系又は炭化水素系 デジタル の流体 RS485 (校正は水又は IPA) 50 μl/min 水 2 μl/min 水 500 μl/min 炭化水素 25 μl/min 炭化水素 SLI-0430 LG01 OEM 最大流量 OEM 機器に流体センサーを一体化するのには、 省スペースな LG16 シリーズが最適です。I2C コミュニケーションのデジタル版と、0-5V の アナログ出力版があります。LG01 センサーは、 フロー検出 (気泡、液漏れ) に最適です。 診断器具 自動化 半導体 モデル LG16/LG01 OEM 向け SLI シリーズは、ハウジングで保護されているた め、研究室や自動化産業に最適です。他の液体 流量センサー同様、Windows の PC ビューワー やロガーソフト、接続ケーブルが付いてくる評価 キットを準備しております。 ○ 水系又は炭化水素系 デジタル の流体 (校正は水又は IPA) RS485 炭化水素系の流 体のみ アナログ 0–10 V 最大ケーブル 長さ I2C: 30 cm RS485: 100 m RS485: 100 m RS485: 100 m – チューブ径 5 % ○ 水系の流体 外径 1/16" 1000 bar SLG64-0075 50 bar SLI-0430 15 bar SLI-1000 5 bar SLI-2000 外径 1/4" 12 bar SLQ-QT500 外径 1/8", 3 mm 3 bar SLQ-HC60 外径 1/16", 3 mm, 1/8" 外径 1/32" I2C: 30 cm 200 bar 10 % × デジタル I2C 水系の流体 アナログ 0V/5V 外径 1/16", 1/8" 5 bar LG16-1000 3 bar µl/min 100 1 ml/min 10 100 1 10 100 LG16-0150 LG16-0430 3 bar – nl/min LG16-0025 100 bar 外径 1/16", 1/8" 炭化水素系の流 体のみ モデル 10 10 % デジタル I2C 又は アナログ 0–5 V 最大耐圧 LG16-2000 LG16-2000HC LG012000A090 LG012000A005 流量レンジ 水 (H2O) 炭化水素 (HC) 140310-LF-JP いつでも どこでも センシング 本社 現地法人 スイス 中国 アメリカ 日本 Sensirion AG Laubisruetistrasse 50 8712 Staefa Switzerland Phone +41 44 306 40 00 Fax +41 44 306 40 30 [email protected] www.sensirion.com Sensirion Inc. 2801 Townsgate Road, Suite 204 CA 91361 Westlake Village United States Phone +1 805 409 4900 Fax +1 805 435 0467 [email protected] www.sensirion.com www.sensirion.co.jp Sensirion China Co. 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