自動ステージ X軸リニアボールガイド：PG413/PG513/PG615/PG715 PG513-R PG413-R PG615-R モータオプション PG715-R 無記号 標準モータ ステージ本体 無 標準モータ D 高トルク E 高分解能 ステージ本体 無 標準モータ D 高トルク E 高分解能 ケーブル結線図は ピン配列・結線図は 弊社コントローラをご使用の場合 ケーブル選択 コード：無, 2, 6, 7 コントローラ DS102/112 P.1-201∼ P.1-199∼ 自動直動 自動直動 モータ型式 PMM33BH2-C59-1 D 高トルク （モータ・センサ共通） モータ型式 PK525HPB E 高分解能 モータ型式 P.1-189∼ 弊社コントローラを使わない場合 ケーブル選択 ドライバ選択 コード：1, 3, 8, 9 お客様でご用意ください。 DC24V 電源 PK523HPMB コントローラ X （モータ・センサ共通） モータオプション XY 型式 Z セレクトコード M オプションコード 1 2 3 4 5 6 M 電磁ブレーキ付 モータ XYZ 1 ステージ面サイズ ゴニオ □40mm □50mm □60mm □70mm 4 5 6 7 回転 2 移動量 13 15 4 センサ電圧 13mm 15mm 05 24 3 センサカバー位置 制御機器 5V 24V ※標準は05 ［5V］ ※ 1 と 2 の組み合せで、415、515、613、713は 選べません。 ユニット 5 センサ論理 L位置 L 勝手違い R A B すべてN.C. すべてN.O. C リミットはN.C. ORG1、 ORG2はN.O. コード 無記号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 M P U 6 モータオプション 仕様 標準価格との差額（1軸分） 標準 − 高トルク ＋¥3,000 高分解能 ＋¥1,000 電磁ブレーキ付（ドライバセット） ＋¥95,000 αステップ （ドライバセット） ＋¥72,000 サーボモータ （アンプセット） ＋¥143,000 3 仕様 2m 2m片端バラ 4m 4m片端バラ コネクタのみ（ケーブル無し） ケーブル無し （標準） ロボットケーブル2m ロボットケーブル4m ロボットケーブル4m片端バラ ロボットケーブル2m片端バラ 電磁ブレーキ付用ケーブル αステップ用ケーブル サーボモータ用ケーブル 数量 ケーブル型式 標準価格との 差額 D214-2-2E ＋¥5,000 D214-2-2EK ＋¥5,000 D214-2-4E ＋¥6,000 D214-2-4EK ＋¥6,000 − ＋¥1,800 − − D214-2-2R ＋¥8,000 D214-2-4R ＋¥11,000 D214-2-4RK ＋¥11,000 D214-2-2RK ＋¥8,000 モータオプション 日目発送 目 目発 リニアボール メカ仕様 クロス ローラ 型式 （勝手違い） 移動量 ステージ面サイズ 送りねじ （ボールねじ） ガイド 主材質−表面処理 自重 分解能 （パルス） MAXスピード 一方向位置決め精度 繰返位置決め精度 耐荷重 スライド ガイド 精度仕様 □40 □50 □60 □70 □80 ロストモーション バックラッシ 真直度 平行度 運動の平行度 ピッチング/ヨーイング リミットセンサ 原点センサ （ORG1） スリット原点センサ （ORG2） 付属ねじ （六角穴付ボルト） 1台 価 格 2∼6台 7台∼ センサ □100 □120 その他 1 029 モーメント剛性 ※ PG413-L05AG-5 PG413-R05AG-5 モータコード 無記号、D、E M P U P αステップ ステージ本体 モータ型式 ケーブルコード 無記号、 1∼9 M P U PG615-L05AG-5 PG615-R05AG-5 PLC XYZ P.1-201∼ P.1-199∼ P αステップ モータケーブル （付属） モータドライバ ASD10A-K（付属） STPO-AS1-B-3 回転 ユニット お客様でご用意ください。 モータオプション U ACサーボモータ センサケーブル （付属） PG-H-ASSY5-2000 ステージ本体 モータ型式 制御機器 DC24V 電源 コントローラ PLC 50×50mm 60×60mm リニア ボール お客様でご用意ください。 センサ HF-KPO53 モータケーブル （付属） ACサーボアンプ SVPM-J3HF1-B-3-02S MR-J3-10A （付属） PG715-L05AG-5 PG715-R05AG-5 DC24V 電源 ケイベックス モーション コントロールボード CAVE-X リニアボール PLC 15mm 70×70mm φ6リード1 リニアボールガイド ステンレス−無電解ニッケルメッキ処理 0.5kg 0.6kg 0.7kg 0.9kg 2μm（Full）/1μm（Half） 10mm/sec 6μm以内 ±0.5μm以内 10kgf【98N】 ピッチ0.22/ヨー0.17/ ピッチ0.14/ヨー0.10/ ピッチ0.08/ヨー0.07/ ピッチ0.03/ヨー0.03/ ロール0.12 ［ ″/N・cm］ ロール0.06 ［ ″/N・cm］ ロール0.03 ［ ″/N・cm］ ロール0.01 ［ ″/N・cm］ 1μm以内 0.5μm以内 1μm以内 15μm以内 5μm以内 15″以内/10″以内 有 有 P.1-047∼をご確認ください。 有 M3−8 4本 M4−8 4本 ¥94,000 ¥97,000 ¥98,000 ¥104,000 ¥78,000 ¥81,000 ¥82,000 ¥87,000 ¥76,000 ¥79,000 ¥80,000 ¥84,000 はモータによりSPECが変わります。詳細は、 P.1-205∼をご参照ください。 コントローラ センサ ASM34AK U ACサーボモータ SPEC PG513-L05AG-5 PG513-R05AG-5 13mm 40×40mm 水平面Z ケーブル結線図は ピン配列・結線図は センサケーブル （付属） PG-H-ASSY5-2000 ケイベックス CAVE-X モータケーブル （付属） モータドライバ RKD507M-A（付属） STPO-RK2-A-3 DC24V 電源 ゴニオ − 【ご注意】 モータにより使用可能なケーブルが異なりますので対応表で ご確認ください。 モータ･ ケーブル 対応表 1∼6 お客様でご用意ください。 ※片端バラは反ステージ側です。 ※コードM、 P、 Uの価格は、 モータ価格に含まれています。 また、 ケーブル無しを選択する事はできません。 ケーブル詳細は、 P.1-199∼をご確認ください。 ※コードM・P・Uはドライバ等とケーブルのセットです。 ※モータオプション詳細は、 P.1-045∼をご参照ください。 リニア ボール XY 7 ケーブルオプション ※センサ電圧・論理が変わっても外形寸法は変わりあり ません。 ※24Vをご選択の場合、弊社コントローラ （DS102/112） はご使用できません。 コード 無記号 D E M P U P.1-201∼ P.1-199∼ センサ ケーブル P.1-199∼ 電気仕様はP.1-045∼ 7 ケーブル結線図は ピン配列・結線図は Z モータ型式 PK545AWM 5 PG 413-L05AG-□□ 水平面Z 電磁ブレーキ付 X P.1-197∼ センサケーブル （付属） PG-H-ASSY5-2000 ステージ本体 PLC クロス ローラ エンコーダケーブル （付属） SVEM-J3HF1-B-3 ケーブル結線図は ピン配列・結線図は モータコード 特長 タイプ 型式※ 無記号 標準 D E 高トルク 高分解能 5相ステッピングモータ 0.75A/相 PMM33BH2-C59-1 PK525HPB PK523HPMB 2μm/1μm 1μm/0.5μm リード Full/Half 分解能 1mm マイクロステップ（1/20分割時） 0.1μm 0.05μm MAXスピード リード1mm 10mm/sec 30mm/sec 25mm/sec PG413-＊＊＊＊¥94,000 ¥97,000 ¥95,000 PG513-＊＊＊＊¥97,000 ¥100,000 ¥98,000 価格 PG615-＊＊＊＊¥98,000 ¥101,000 ¥99,000 PG715-＊＊＊＊¥104,000 ¥107,000 ¥105,000 M 電磁ブレーキ付 PK545AWM 2μm/1μm 0.1μm 20mm/sec ¥189,000 ¥192,000 ¥193,000 ¥199,000 P.1-201∼ P.1-199∼ スライド ガイド P U 脱調レス 高速 αステップモータ ACサーボモータ ASM34AK HF-KP053 1μm/0.5μm 18ビットエンコーダ （262144P/R） − 35mm/sec 50mm/sec ¥166,000 ¥237,000 ¥169,000 ¥240,000 ¥170,000 ¥241,000 ¥176,000 ¥247,000 □40 □50 □60 □70 □80 □100 □120 その他 ※ 型式は駿河精機独自の管理型式 1 030 自動ステージ X軸リニアボールガイド：PG413/PG513/PG615/PG715 外形寸法図 PG413-L 無記号 標準モータ PG413-R モータ型式 PMM33BH2-C59-1 40 （写真は勝手違い） 16 16 90 ツマミ コネクタHR10A-10P-12S （HRS） ツマミ 102.5 90 型式 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 142.5 水平面Z PG513-L XYZ コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 32 142.5 A 32 40 PG413-＊＊＊＊-□ PG513-＊＊＊＊-□ PG615-＊＊＊＊-□ PG715-＊＊＊＊-□ 無記号（標準）/D（高トルク）/E（高分解能）共通 無記号（標準） D（高トルク）E（高分解能） モータサイズ A B LS 142.5 163 143.5 152.5 173 153.5 □28 4 4 162.5 183 163.5 172.5 193 173.5 20 24 7 14 14 32 高分解能 X XY Z 4 16.8 8-M3深4 8-M3深4 4 7 24 20 Z 16.8 LS 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） E モータ型式 PK523HPMB 3.5 16 16 φ20 φ20 40 16 16 32 X 高トルク 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） 40 16 16 B 3.5 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 102.5 D モータ型式 PK525HPB 自動直動 自動直動 外形寸法図 XY CADデータ 3D・2D CAD DATA 水平面Z M PG513-R 電磁ブレーキ付 XYZ モータ型式 PK545AWM ゴニオ ゴニオ （写真は勝手違い） ユニット 3.5 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） ツマミ 50 40 30 13 102.5 90 ツマミ 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） 3.5 型式 B コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 102.5 90 50 40 30 13 A 回転 40 152.5 PG615-L 16.8 24 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 40 152.5 40 13 30 40 50 4-M2深4 PG413-＊＊＊＊-M PG513-＊＊＊＊-M PG615-＊＊＊＊-M PG715-＊＊＊＊-M □42 M（電磁ブレーキ付） A B 11 11 182 192 202 212 無記号（標準） LS 142.5 152.5 162.5 172.5 回転 ユニット 制御機器 4 4 14 24 20 7 8-M3深4 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 7 20 8-M3深4 4-M2深4 14 16.8 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） φ20 φ20 50 40 30 13 制御機器 40 LS モータサイズ P PG615-R αステップ モータ型式 ASK34AK リニア ボール リニア ボール B 型式 4 スライド ガイド φ20 4-M3深4 8-M4深4 8-M4深4 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 14 14 25 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 50 162.5 PG715-L 50 162.5 A 25 32 LS PG413-＊＊＊＊-P PG513-＊＊＊＊-P PG615-＊＊＊＊-P PG715-＊＊＊＊-P モータサイズ □28 P（αステップ） A B 4 4 144 154 164 174 無記号（標準） LS 142.5 152.5 162.5 172.5 ケイベックス CAVE-X リニアボール 50 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） ツマミ φ20 4-M3深4 24 20 7 16.8 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 25 32 60 50 クロス ローラ ツマミ 25 リニアボール 25 32 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 3 60 クロス ローラ 16.8 25 3 CAVE-X 102.5 90 32 25 25 60 （写真は勝手違い） ケイベックス コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 102.5 90 4 7 20 24 60 U スライド ガイド ACサーボモータ モータ型式 HF-KPO53 PG715-R □40 □40 型式 60 □100 102.5 90 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 70 60 40 30 ツマミ 70 60 40 30 □80 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） ツマミ 3 30 40 60 70 3 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） φ20 □70 102.5 90 LS PG413-＊＊＊＊-U PG513-＊＊＊＊-U PG615-＊＊＊＊-U PG715-＊＊＊＊-U モータサイズ □40 U（ACサーボモータ） A B 10 10 175.9 185.9 195.9 205.9 □50 無記号（標準） LS 142.5 152.5 162.5 172.5 □60 □70 □80 □100 60 70 60 40 30 （写真は勝手違い） φ20 □60 A B □50 □120 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 60 172.5 16.8 8-M3深4 7 20 24 172.5 4-M4深4 その他 1 4 60 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 14 031 4-M4深4 14 1 8-M3深4 24 20 4 7 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 16.8 □120 その他 032 自動ステージ X軸リニアボールガイド：PG430/PG530/PG650/PG750 PG530-L PG430-R PG650-L モータオプション PG750-R 無記号 標準モータ ステージ本体 ケーブル結線図は ピン配列・結線図は 弊社コントローラをご使用の場合 無 標準モータ D 高トルク E 高分解能 ケーブル選択 コード：無,2,6,7 コントローラ DS102/112 P.1-201∼ P.1-199∼ 自動直動 自動直動 モータ型式 PMM33BH2-C59-1 D 高トルク （モータ・センサ共通） モータ型式 PK525HPB E 高分解能 モータ型式 ステージ本体 P.1-189∼ お客様でご用意ください。 弊社コントローラを使わない場合 無 標準モータ D 高トルク E 高分解能 ケーブル選択 コード：1,3,8,9 ドライバ選択 DC24V 電源 PK523HPMB コントローラ PLC X X （モータ・センサ共通） XY 型式 Z セレクトコード モータオプション オプションコード M 5 PG 430-L05AG-□□ 水平面Z 1 2 3 1 ステージ面サイズ XYZ 4 5 6 7 ゴニオ 回転 4 5 2 移動量 40×60ｍｍ 50×70ｍｍ 60×100ｍｍ 70×110ｍｍ 30 50 30mm 50mm 05 24 5 センサ論理 5V 24V ※標準は05 ［5V］ 3 センサカバー位置 L位置 制御機器 ケーブル P.1-199∼ 電気仕様はP.1-045∼ 7 4 センサ電圧 ※ 1 と 2 の組み合せで、450、550、630、730は 選べません。 ユニット 6 L 勝手違い R A B すべてN.C. すべてN.O. C リミットはN.C. ORG1、 ORG2はN.O. コード 無記号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 M P U 6 モータオプション 仕様 標準価格との差額（1軸分） 標準 − 高トルク ＋¥ 3,000 高分解能 ＋¥ 1,000 電磁ブレーキ付（ドライバセット） ＋¥ 95,000 αステップ （ドライバセット） ＋¥ 73,000 サーボモータ （アンプセット） ＋¥ 143,000 3 1∼6 CAVE-X リニアボール メカ仕様 型式 （勝手違い） 移動量 ステージ面サイズ 送りねじ （ボールねじ） ガイド 主材質−表面処理 自重 分解能 （パルス） MAXスピード 一方向位置決め精度 繰返位置決め精度 耐荷重 クロス ローラ スライド ガイド 精度仕様 □40 □50 □60 □70 センサ □80 □100 □120 その他 1 033 モーメント剛性 ロストモーション バックラッシ 真直度 平行度 運動の平行度 ピッチング/ヨーイング リミットセンサ 原点センサ （ORG1） スリット原点センサ （ORG2） 付属ねじ （六角穴付ボルト） 1台 価 格 2∼6台 7台∼ モータコード 無記号、D、E M P U SPEC PG530-L05AG-5 PG530-R05AG-5 PG650-L05AG-5 PG650-R05AG-5 50×70mm 60×100mm 30mm 40×60mm モータケーブル （付属） モータドライバ STPO-RK2-A-3 RKD507M-A（付属） XYZ コントローラ PLC 回転 モータオプション P αステップ センサケーブル （付属） PG-H-ASSY5-2000 ステージ本体 モータ型式 ケーブル結線図は ピン配列・結線図は P.1-201∼ P.1-199∼ お客様でご用意ください。 − P αステップ ユニット 制御機器 センサ ASM34AK モータケーブル （付属） モータドライバ ASD10A-K（付属） STPO-AS1-B-3 ケーブルコード 無記号、 1∼9 M P U モータオプション U ACサーボモータ センサケーブル （付属） PG-H-ASSY5-2000 ステージ本体 DC24V 電源 コントローラ PLC モータ型式 リニア ボール お客様でご用意ください。 センサ PG750-L05AG-5 PG750-R05AG-5 U ACサーボモータ モータケーブル （付属） ACサーボアンプ SVPM-J3HF1-B-3-02S MR-J3-10A （付属） 50mm DC24V 電源 ケイベックス CAVE-X モーション コントロールボード リニアボール PLC 70×110mm φ6リード1 リニアボールガイド ステンレス−無電解ニッケルメッキ処理 0.6kg 0.78kg 1.08kg 1.16kg 2μm （Full） /1μm （Half） 10mm/sec 12μm以内 ±0.5μm以内 10kgf【98N】 ピッチ0.24/ヨー0.18/ ピッチ0.12/ヨー0.13/ ピッチ0.05/ヨー0.05/ ピッチ0.03/ヨー0.03/ ロール0.26 ［ ″/N・cm］ ロール0.1 ［ ″/N・cm］ ロール0.05 ［ ″/N・cm］ ロール0.03 ［ ″/N・cm］ 1μm以内 0.5μm以内 2μm以内 15μm以内 10μm以内 20″以内/15″以内 有 有 有 P.1-047∼をご確認ください。 M3−8 4本 M4−8 4本 ¥112,000 ¥116,000 ¥124,000 ¥128,000 ¥93,000 ¥97,000 ¥103,000 ¥107,000 ¥90,000 ¥94,000 ¥100,000 ¥104,000 ※ はモータによりSPECが変わります。詳細は、 P.1-205∼をご参照ください。 Z軸で使用する場合には、 垂直荷重3kgfを目安としてください。搭載荷重やMaxスピード等により異なります。 水平面Z DC24V 電源 ゴニオ HF-KPO53 PG430-L05AG-5 PG430-R05AG-5 Z 【ご注意】 モータにより使用可能なケーブルが異なりますので対応表で ご確認ください。 日目発送 目 目発 ケイベックス 標準価格との 差額 D214-2-2E ＋¥5,000 D214-2-2EK ＋¥5,000 D214-2-4E ＋¥6,000 D214-2-4EK ＋¥6,000 − ＋¥1,800 − − D214-2-2R ＋¥8,000 D214-2-4R ＋¥11,000 D214-2-4RK ＋¥8,000 D214-2-2RK ＋¥11,000 お客様でご用意ください。 ケーブル型式 2m 2m片端バラ 4m 4m片端バラ コネクタのみ（ケーブル無し） ケーブル無し （標準） ロボットケーブル2m ロボットケーブル4m ロボットケーブル4m片端バラ ロボットケーブル2m片端バラ 電磁ブレーキ付用ケーブル αステップ用ケーブル サーボモータ用ケーブル モータ･ ケーブル 対応表 数量 M 電磁ブレーキ付 モータ 仕様 XY P.1-201∼ P.1-199∼ センサ PK545AWM ※片端バラは反ステージ側です。 ※コードM、 P、 Uの価格は、 モータ価格に含まれています。 また、 ケーブル無しを選択する事はできません。 ケーブル詳細は、 P.1-199∼をご確認ください。 ※コードM・P・Uはドライバ等とケーブルのセットです。 ※モータオプション詳細は、 P.1-045∼をご参照ください。 リニア ボール モータ型式 ケーブル結線図は ピン配列・結線図は センサケーブル （付属） PG-H-ASSY5-2000 ステージ本体 7 ケーブルオプション ※センサ電圧・論理が変わっても外形寸法は変わりあり ません。 ※24Vをご選択の場合、弊社コントローラ （DS102/112） はご使用できません。 コード 無記号 D E M P U 電磁ブレーキ付 P.1-197∼ クロス ローラ エンコーダケーブル （付属） SVEM-J3HF1-B-3 ケーブル結線図は ピン配列・結線図は モータコード 特長 タイプ 型式※ Full/Half リード 分解能 1mm マイクロステップ （1/20分割時） MAXスピード リード1mm PG430-＊＊＊＊PG530-＊＊＊＊価格 PG650-＊＊＊＊PG750-＊＊＊＊- 無記号 標準 D E 高トルク 高分解能 5相ステッピングモータ 0.75A/相 PMM33BH2-C59-1 PK525HPB PK523HPMB 2μm/1μm 1μm/0.5μm 0.1μm 10mm/sec ¥112,000 ¥116,000 ¥124,000 ¥128,000 30mm/sec ¥115,000 ¥119,000 ¥127,000 ¥131,000 M 電磁ブレーキ付 PK545AWM 2μm/1μm 0.05μm 0.1μm 25mm/sec ¥113,000 ¥117,000 ¥125,000 ¥129,000 20mm/sec ¥207,000 ¥211,000 ¥219,000 ¥223,000 P.1-201∼ P.1-199∼ スライド ガイド □40 P U 脱調レス 高速 αステップモータ ACサーボモータ ASM34AK HF-KP053 1μm/0.5μm 18ビットエンコーダ （262144P/R） − 35mm/sec ¥185,000 ¥189,000 ¥197,000 ¥201,000 50mm/sec ¥255,000 ¥259,000 ¥267,000 ¥271,000 ※ 型式は駿河精機独自の管理型式 □50 □60 □70 □80 □100 □120 その他 1 034 自動ステージ X軸リニアボールガイド：PG430/PG530/PG650/PG750 外形寸法図 無記号 標準モータ PG430-R PG430-L モータ型式 PMM33BH2-C59-1 8-M3深4 B A LS 高分解能 PG430-＊＊＊＊-□ PG530-＊＊＊＊-□ PG650-＊＊＊＊-□ PG750-＊＊＊＊-□ 無記号（標準）/D（高トルク）/E（高分解能）共通 無記号（標準） D（高トルク）E（高分解能） モータサイズ A B LS 171 191.5 172 181 201.5 182 □28 4 4 220 240.5 221 230 250.5 231 XY 4 52 52 X Z 20 28 20 4 コネクタHR10A-10J-12P コネクタHR10A-10J-12P （HRS） （HRS） E モータ型式 PK523HPMB 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） 8-M3深4 28 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） 高トルク 型式 4 16 16 4 16.8 40 コネクタHR10A-10P-12S コネクタHR10A-10P-12S （HRS） （HRS） φ20 φ20 16.8 40 16 16 4 30 4 32 XY 28 4 20 4 60 16 16 14 32 60 14 16 16 30 28 20 4 4 Z 171 158.5 171 158.5 （写真は勝手違い） D モータ型式 PK525HPB 自動直動 自動直動 外形寸法図 X CADデータ 3D・2D CAD DATA 水平面Z 水平面Z PG530-L PG530-R M XYZ 電磁ブレーキ付 XYZ モータ型式 PK545AWM コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 8-M3深4 コネクタＨＲ10A-10J-12P （HRS） B 4-M2深4 60 60 PG650-L 40 LS PG430-＊＊＊＊-M PG530-＊＊＊＊-M PG650-＊＊＊＊-M PG750-＊＊＊＊-M モータサイズ □42 M（電磁ブレーキ付） A B 11 11 210.5 220.5 259.5 269.5 無記号（標準） LS 171 181 220 230 回転 ユニット 制御機器 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 14 24 20 4 7 4-3.5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） 型式 A φ20 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 8-M3深4 4-M2深4 3.5 16.8 制御機器 ツマミ ツマミ 70 40 30 13 14 40 ユニット 3.5 ゴニオ 181 111 98.5 φ20 （写真はL位置） 30 16.8 50 40 30 13 回転 111 98.5 13 30 40 50 30 181 70 40 30 13 4 7 20 24 ゴニオ P PG650-R αステップ モータ型式 ASK34AK 220 207.5 220 207.5 クロス ローラ 8-M4深4 4-M3深4 8-M4深4 5 スライド ガイド B 5 LS □28 P（αステップ） A B 4 4 172.5 182.5 221.5 231.5 無記号（標準） LS 171 181 220 230 ケイベックス CAVE-X リニアボール クロス ローラ 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 90 90 PG750-L 5 U PG750-R □40 PG430-＊＊＊＊-P PG530-＊＊＊＊-P PG650-＊＊＊＊-P PG750-＊＊＊＊-P モータサイズ 4-M3深4 コネクタＨＲ10A-10J-12P コネクタＨＲ10A-10J-12Ｐ （HRS） （HRS） 28 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 型式 28 20 4 A φ20 30 16.8 60 25 30 32 14 5 50 リニアボール コネクタHR10A-10P-12S （HRS） φ20 28 4 20 4 CAVE-X 4 28 ケイベックス コネクタＨＲ10A-10P-12S （HRS） 32 14 25 30 16.8 60 30 100 25 25 25 34 32 （写真はL位置） リニア ボール 100 25 25 25 32 34 50 リニア ボール スライド ガイド ACサーボモータ モータ型式 HF-KPO53 □40 230 16.8 □120 8-M3深４ 100 □40 B A U（ACサーボモータ） A B 10 10 204.4 214.4 253.4 263.4 □50 無記号（標準） LS 171 181 220 230 □60 □70 □80 60 30 40 60 70 30 PG430-＊＊＊＊-U PG530-＊＊＊＊-U PG650-＊＊＊＊-U PG750-＊＊＊＊-U モータサイズ □100 4-M4深4 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 14 1 035 28 20 4 7 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） その他 3 LS コネクタHR10A-10P-12S コネクタHR10A-10P-12S （HRS） （HRS） 4-M4深４ 型式 8-M3深4 □120 16.8 □100 ツマミ 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 100 4 7 20 28 60 □80 26 ツマミ 110 60 40 30 φ20 □70 （写真は勝手違い） 30 70 60 40 30 3 120 107.5 26 φ20 □60 230 120 107.5 14 □50 110 60 40 30 その他 1 036 自動ステージ PMG413-L PMG413-R 40 16 16 XY コネクタHR10A-10J-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 14 48 30 44 3.5 3.5 □32 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） 8-M3深4 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 48 14 X ツマミ φ20 φ20 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 142.5 102.5 90 自動直動 自動直動 8-M3深4 ※XYの下軸を固定する為の専 用六角レンチが付属します。 16.8 40 16 16 142.5 102.5 40 90 16 16 ツマミ 16.8 142.5 102.5 90 44 30 PMG715-R 90 16 16 102.5 40 142.5 PMG615-R 4 PMG513-R PMG413-R 4 XY軸リニアボールガイド：PMG413/PMG513/PMG615/PMG715 CADデータ 3D・2D CAD DATA 外形寸法図 X □32 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） XY Z Z PMG513-L 数量 1∼3 1∼6 日目発送 目 目発 CAVE-X リニアボール 型式 （勝手違い） 移動量 ステージ面サイズ 送りねじ （ボールねじ） ガイド 主材質ー表面処理 自重 分解能 （パルス） MAXスピード 耐荷重 直角度 リミットセンサ 原点センサ （ORG1） スリット原点センサ （ORG2） 付属ねじ （六角穴付ボルト） 1台 価 格 2∼3台 4台∼ メカ仕様 精度仕様 スライド ガイド □40 SPEC PMG513-L05AL-5 PMG513-R05AR-5 PMG413-L05AL-5 PMG413-R05AR-5 1.0kg 9.5kgf【93.1N】 □60 □70 □80 □100 1 037 単軸精度仕様 □120 その他 ※ Ｍ3−8 4本 ¥188,000 ¥156,000 ¥152,000 一方向位置決め精度 繰返位置決め精度 ロストモーション バックラッシ 真直度 ピッチング/ヨーイング はモータによりSPECが変わります。詳細は、 P.1-205∼をご参照ください。 60×60mm ケーブルコード 無記号、 1∼9 M P U 6μm以内 ±0.5μm以内 1μm以内 0.5μm以内 1μm以内 15″以内/10″以内 9.1kgf【89.2N】 ¥208,000 ¥174,000 ¥168,000 φ20 152.5 14 48 44 30 3.5 PMG615-R 16.8 □50 16.8 172.5 102.5 90 ツマミ PMG715-R コネクタHR10A-10J-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） □60 8-M4深４ 4-M3深４ □50 16.8 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） ケイベックス CAVE-X リニアボール クロス ローラ 4-4.5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） 70 60 40 30 4-4.5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） リニア ボール コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 16.8 4-M4深4 8-M3深4 ツマミ コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 4-4.5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） PMG715-L 162.5 102.5 90 φ20 60 25 25 32 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 70×70mm 1.8kg 162.5 102.5 60 25 25 90 32 8-M4深４ 4-M3深４ PMG715-L05AL-5 PMG715-R05AR-5 φ6リード1 リニアボールガイド ステンレス−無電解ニッケルメッキ処理 1.2kg 1.7kg 2μm （Full） /1μm （Half） 10mm/sec 9.4kgf【92.1N】 9.3kgf【91.1N】 5μm以内/フルストローク 有 有 有 P.1-047∼をご確認ください。 Ｍ4−8 4本 ¥194,000 ¥196,000 ¥162,000 ¥164,000 ¥158,000 ¥160,000 50 40 30 13 13 30 40 50 φ20 ツマミ 15mm 50×50mm センサ □50 PMG615-L05AL-5 PMG615-R05AR-5 13mm 40×40mm PMG615-L 【ご注意】 モータにより使用可能なケーブルが異なりますので対応表で ご確認ください。 モータ･ ケーブル 対応表 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） 14 48 3 ケイベックス 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） − ※片端バラは反ステージ側です。 ※コードM、 P、 Uの価格は、 モータ価格に含まれています。 また、 ケーブル無しを選択する事はできません。 ケーブル詳細は、 P.1-199∼をご確認ください。 モータコード 無記号、D、E M P U 制御機器 □40 スライド ガイド 172.5 70 102.5 60 90 40 30 ツマミ □40 φ20 ※ 3 と 6 は連動します。 記号LとRの組合せは選べません。 ユニット □50 □60 4-M4深4 □70 8-M3深4 □80 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） □100 □120 14 48 ※コードM・P・Uはドライバ等とケーブルのセットです。 ※モータオプション詳細は、 P.1-045∼をご参照ください。 リニア ボール □40 回転 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 44 30 3 R コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 4 センサカバー位置仕様がX軸にL Y軸にLタイプ 標準価格との 差額（2軸分） ＋¥10,000 ＋¥10,000 ＋¥12,000 ＋¥12,000 ＋¥3,600 − ＋¥16,000 ＋¥22,000 ＋¥22,000 ＋¥16,000 162.5 102.5 60 90 25 25 32 コード 仕様 標準価格との差額（2軸分） 無記号 標準 − D 高トルク ＋¥ 6,000 E 高分解能 ＋¥ 2,000 電磁ブレーキ付（ドライバセット） ＋¥ 190,000 M αステップ （ドライバセット） ＋¥ 146,000 P サーボモータ （アンプセット） ＋¥ 286,000 U L D214-2-2E D214-2-2EK D214-2-4E D214-2-4EK − − D214-2-2R D214-2-4R D214-2-4RK D214-2-2RK 44 30 3 7 モータオプション ケーブル型式 XYZ ゴニオ 8-M3深４ 4-M2深４ 4 センサカバー位置仕様がX軸にR Y軸にRタイプ 仕様 ツマミ 70 60 40 30 C リミットはN.C. ORG1、 ORG2はN.O. コード 無記号 2m 1 2m片端バラ 2 4m 3 4m片端バラ コネクタのみ（ケーブル無し） 4 5 ケーブル無し （標準） 6 ロボットケーブル2m 7 ロボットケーブル4m 8 ロボットケーブル4m片端バラ 9 ロボットケーブル2m片端バラ M 電磁ブレーキ付用ケーブル P αステップ用ケーブル U サーボモータ用ケーブル 90 102.5 152.5 すべてN.C. すべてN.O. ※センサ電圧・論理が変わっても外形寸法は変わりあり ません。 ※24Vをご選択の場合、弊社コントローラ （DS102/112） はご使用できません。 6 識別記号 3 A B 8-M3深4 4-M2深4 水平面Z 152.5 102.5 90 172.5 102.5 90 ※標準は05 ［5V］ ※ 1 と 2 の組み合せで、415、515、613、713は 選べません。 制御機器 5V 24V 8 ケーブルオプション 30 4 44 05 24 5 センサ論理 3.5 4 センサ電圧 13mm 15mm ツマミ ケーブル P.1-199∼ 電気仕様はP.1-045∼ 32 25 25 90 102.5 60 162.5 13 15 8 3 30 4 44 2 移動量 7 30 40 60 70 ユニット 6 50 40 30 13 48 14 □40mm □50mm □60mm □70mm 4 5 6 7 5 φ20 回転 4 48 14 1 ステージ面サイズ 3 φ20 ゴニオ 2 16.8 50 40 30 13 48 14 1 16.8 152.5 102.5 90 102.5 90 5 PMG 413-L05AL-□□ XYZ クロス ローラ PMG513-R 4 オプションコード 90 102.5 172.5 水平面Z セレクトコード 3 30 4 44 型式 その他 □60 4-4． 5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） 1 038 自動ステージ PMG430-L PMG430-R 171 171 16 16 R ※コードM・P・Uはドライバ等とケーブルのセットです。 ※モータオプション詳細は、 P.1-045∼を参照ください。 ※ 3 と 6 は連動します。 記号LとRの組合せは選べません。 数量 1∼3 1∼6 日目発送 目 目発 PMG650-L05AL-5 PMG650-R05AR-5 50×70mm 60×100mm 1 039 注記：PMG430、530、650、750タイプはXY軸組付の際スペーサーを入れてあります。 はモータによりSPECが変わります。詳細は、 P.1-205∼を参照ください。 ※ 60 40 16 16 41 51 47 20 4 10 70 50 40 30 13 111 98.5 181 181 14 7 3.5 41 51 47 20 4 4 3 14 41 55 51 47 20 7 7 スライド ガイド 2.72kg PMG750-L PMG750-R 230 ツマミ 70 60 40 30 20 20 ¥256,000 ¥217,000 ¥208,000 4-M4深4 8-M3深4 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 4-4.5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） 140 127.5 110 70 60 40 30 □50 □60 4-M4深4 8-M3深4 □70 □80 φ20 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 4-4.5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） □40 ツマミ φ20 100 70 60 40 30 20 140 127.5 230 8.44kgf【82.7N】 230 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） □100 □120 その他 41 □120 その他 12μm以内 ±0.5μm以内 1μm以内 0.5μm以内 2μm以内 20″以内/15″以内 90 5 5 リニアボール クロス ローラ 4-4.5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） 100 14 単軸精度仕様 □100 一方向位置決め精度 繰返位置決め精度 ロストモーション バックラッシ 真直度 ピッチング/ヨーイング 90 7 3 □80 ¥224,000 ¥189,000 ¥180,000 4-4.5キリ φ8ザグリ （M4用ボルト穴） 120 107.5 □70 M3−8 4本 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 51 47 20 9.24kgf【90.5N】 70×110mm 60 1.40kg φ6リード1 リニアボールガイド ステンレス−無電解ニッケルメッキ処理 1.70kg 2.46kg 2μm （Full） /1μm （Half） 10mm/sec 9.04kgf【88.5N】 8.62kgf【84.4N】 10μm以内/フルストローク 有 有 P.1-047∼をご確認ください。 有 M4−8 4本 ¥232,000 ¥248,000 ¥197,000 ¥209,000 ¥188,000 ¥200,000 4 □60 8-M4深4 50mm 60 □50 リニア ボール φ20 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 230 30mm 40×60mm PMG750-L05AL-5 PMG750-R05AR-5 φ20 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） コネクタHR10A-10J-12P （HRS） 7 20 7 47 4 51 55 PMG430-L05AL-5 PMG430-R05AR-5 SPEC PMG530-L05AL-5 PMG530-R05AR-5 センサ □40 4-M3深4 ケイベックス 120 精度仕様 スライド ガイド 8-M4深4 20 メカ仕様 クロス ローラ ケーブルコード 無記号、 1∼9 M P U 78.5 60 30 25 14 32 CAVE-X リニアボール 型式 （勝手違い） 移動量 ステージ面サイズ 送りねじ （ボールねじ） ガイド 主材質−表面処理 自重 分解能 （パルス） MAXスピード 耐荷重 直角度 リミットセンサ 原点センサ （ORG1） スリット原点センサ （ORG2） 付属ねじ （六角穴付ボルト） 1台 価 2∼3台 格 4台∼ 4-M3深4 107.5 CAVE-X 制御機器 220 20 78.5 20 60 25 30 32 14 20 47 4 51 ケイベックス 60 PMG650-R 220 3 3 PMG650-L 【ご注意】 モータにより使用可能なケーブルが異なりますので対応表で ご確認ください。 モータコード 無記号、D、E M P U ユニット − ※片端バラは反ステージ側です。 ※コードM、 P、 Uの価格は、 モータ価格に含まれています。 また、 ケーブル無しを選択する事はできません。 ケーブル詳細は、 P.1-199∼をご確認ください。 モータ･ ケーブル 対応表 5 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） 30 リニア ボール コネクタHR10A-10J-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 60 回転 4-M2深4 φ20 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） XYZ 8-M3深4 φ20 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） ツマミ 100 25 25 25 32 34 20 センサカバー位置仕様がX軸にL Y軸にRタイプ コード 仕様 標準価格との差額（2軸分） 無記号 標準 − D 高トルク ＋¥ 6,000 E 高分解能 ＋¥ 2,000 電磁ブレーキ付（ドライバセット） ＋¥ 190,000 M αステップ （ドライバセット） ＋¥ 146,000 P U サーボモータ （アンプセット） ＋¥ 286,000 D214-2-2E D214-2-2EK D214-2-4E D214-2-4EK − − D214-2-2R D214-2-4R D214-2-4RK D214-2-2RK 水平面Z 121 108.5 220 L 7 モータオプション ケーブル型式 5 センサカバー位置仕様がX軸にR Y軸にLタイプ 仕様 50 40 30 13 ゴニオ 60 50 コード 無記号 2m 1 2m片端バラ 2 4m 3 4m片端バラ 4 コネクタのみ（ケーブル無し） 5 ケーブル無し （標準） 6 ロボットケーブル2m 7 ロボットケーブル4m 8 ロボットケーブル4m片端バラ 9 ロボットケーブル2m片端バラ M 電磁ブレーキ付用ケーブル P αステップ用ケーブル U サーボモータ用ケーブル 8-M3深4 4-M2深4 220 C リミットはN.C. ORG1、 ORG2はN.O. 標準価格との 差額（2軸分） ＋¥10,000 ＋¥10,000 ＋¥12,000 ＋¥12,000 ＋¥3,600 − ＋¥16,000 ＋¥22,000 ＋¥22,000 ＋¥16,000 98.5 すべてN.C. すべてN.O. ※センサ電圧・論理が変わっても外形寸法は変わりあり ません。 ※24Vをご選択の場合、弊社コントローラ （DS102/112） はご使用できません。 6 識別記号 3 A B 3.5 7 ※標準は05 ［5V］ ※ 1 と 2 の組み合せで、450、550、630、730は 選べません。 制御機器 5V 24V 20 32 34 25 25 25 100 05 24 41 30mm 50mm 8 ケーブルオプション 14 ユニット 30 50 5 センサ論理 41 14 回転 40×60ｍｍ 50×70ｍｍ 60×100ｍｍ 70×110ｍｍ 4 センサ電圧 41 4 5 6 7 2 移動量 14 1 ステージ面サイズ ゴニオ 4 20 47 51 13 ツマミ 40 ケーブル P.1-199∼ 電気仕様はP.1-045∼ XYZ 40 8 5 7 50 60 6 111 5 10 10 50 40 30 13 10 4 XY 181 181 121 108.5 20 47 4 51 3 PMG530-R 40 60 70 110 2 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） X Z PMG530-L 3 7 1 52 オプションコード 5 PMG 430-L05AL-□□ 水平面Z 52 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 30 40 50 70 セレクトコード 3.5 7 41 14 型式 Z 171 φ20 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 4-3.5キリ φ6ザグリ （M3用ボルト穴） XY 8-M3深4 φ20 コネクタHR10A-10J-12P （HRS） ツマミ 111 98.5 8-M3深4 X 32 16 16 40 60 98.5 111 171 ※XYの下軸を固定する為の専用六角レンチが 付属します。 102.5 90 58.5 40 16 16 自動直動 自動直動 ツマミ 10 10 10 58.5 40 102.5 90 7 3.5 PMG750-L PMG650-L 32 PMG530-L 10 PMG430-L 14 XY軸リニアボールガイド：PMG430/PMG530/PMG650/PMG750 CADデータ 3D・2D CAD DATA 外形寸法図 1 040 自動ステージ Z軸リニアボールガイド：PZG413/PZG513/PZG615/PZG715 PZG413-L PZG413-R PZG715-R 16 31 16． 8 4-3． 5キリ （M3用ボルト穴） コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 177． 5 35 35． 5 55 40 16 16 102． 5 8-M3深4 8-M3深4 102． 5 コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） 18 16 16 40 16 16 40 X 16 4 31 18 16． 8 5 4 5 5 X 53 39 ツマミ φ20 ツマミ 55 35． 5 177． 5 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 4-3． 5キリ （M3用ボルト穴） φ20 自動直動 自動直動 53 39 16 16 40 PZG615-R 35 PZG513-R 5 PZG413-R CADデータ 3D・2D CAD DATA 外形寸法図 XY XY Z Z 5 P Z G 413-L05AG-□□ 0.6kg 精度仕様 センサ □40 □50 □60 □70 □80 □100 1 041 単軸精度仕様 □120 その他 ※ M3−10 4本 ¥100,000 ¥83,000 ¥81,000 一方向位置決め精度 繰返位置決め精度 ロストモーション バックラッシ 真直度 ピッチング/ヨーイング はモータによりSPECが変わります。詳細は、 P.1-205∼を参照ください。 60×60mm φ6リード1 リニアボールガイド ステンレス−無電解ニッケルメッキ処理 0.8kg 0.9kg 2μm （Full） /1μm （Half） 10mm/sec 5kgf【49N】 有 有 有 P.1-047∼をご確認ください。 M4−12 4本 ¥106,000 ¥107,000 ¥88,000 ¥89,000 ¥85,000 ¥86,000 6μm以内 ±0.5μm以内 1μm以内 0.5μm以内 1μm以内 15″以内/10″以内 70×70mm 1.2kg 16． 8 4 40 55 182． 5 4-3． 5キリ （M3用ボルト穴） 5 5 30 30． 5 50 40 30 13 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） 102． 5 102． 5 5 32 25 60 4-4． 5キリ （M4用ボルト穴） 187． 5 コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 102． 5 8-M4深4 4-M3深4 クロス ローラ 8 25． 5 55 32 25 25 60 8-M4深4 4-M3深4 PZG715-L 18 25 42 5 16． 8 スライド ガイド PZG715-R 77 63 M3−12 4本 ¥115,000 ¥96,000 ¥93,000 30 25 18 18 16． 8 30 40 60 70 77 63 ツマミ φ20 φ20 ツマミ 4-M4深4 8-M3深4 4-M4深4 8-M3深4 CAVE-X リニアボール □40 □50 □60 30 40 60 70 □80 □100 □120 18 16． 8 □70 4-3． 5キリ （M3用ボルト穴） 50×50mm 25 42 ケイベックス その他 8 40×40mm 5 15mm 制御機器 リニア ボール 197． 5 13mm PZG715-L05AG-5 PZG715-R05AG-5 コネクタHR10A-10P-12S （HRS） メカ仕様 スライド ガイド PZG615-L05AG-5 PZG615-R05AG-5 コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） クロス ローラ SPEC PZG513-L05AG-5 PZG513-R05AG-5 PZG413-L05AG-5 PZG413-R05AG-5 ユニット 64 50 25． 5 型式 （勝手違い） 移動量 ステージ面サイズ 送りねじ （ボールねじ） ガイド 主材質−表面処理 自重 分解能 （パルス） MAXスピード 耐荷重 （励磁時） リミットセンサ 原点センサ （ORG1） スリット原点センサ （ORG2） 付属ねじ （六角穴付ボルト） 1台 価 2∼6台 格 7台∼ 6 回転 16． 8 60 25 25 32 日目発送 目 目発 リニアボール ケーブルコード 無記号、 1∼9 M P U 25 数量 1∼3 1∼6 モータコード 無記号、D、E M P U 40 57 18 ツマミ φ20 ツマミ 8 CAVE-X φ20 102． 5 3 ケイベックス 64 50 【ご注意】 モータにより使用可能なケーブルが異なりますので対応表で ご確認ください。 モータ･ ケーブル 対応表 8-M3深4 4-M2深4 70 60 40 30 ※コードM・P・Uはドライバ等とケーブルのセットです。 ※モータオプション詳細は、 P.1-045∼を参照ください。 ゴニオ PZG615-R 25 リニア ボール 13 30 40 50 8 R PZG615-L ※片端バラは反ステージ側です。 ※コードM、 P、 Uの価格は、 モータ価格に含まれています。 また、 ケーブル無しを選択する事はできません。 ケーブル詳細は、 P.1-199∼をご確認ください。 102． 5 勝手違い 13 30 40 50 8-M3深4 4-M2深4 16． 8 18 25 コード 仕様 標準価格との差額（1軸分） 無記号 標準 − D 高トルク ＋¥ 3,000 E 高分解能 ＋¥ 1,000 電磁ブレーキ付（ドライバセット） ＋¥ 95,000 M αステップ （ドライバセット） ＋¥ 73,000 P U サーボモータ （アンプセット） ＋¥143,000 L 40 57 102． 5 6 モータオプション L位置 6 25． 5 3 センサカバー位置 25 ※センサ電圧・論理が変わっても外形寸法は変わりあり ません。 ※24Vをご選択の場合、弊社コントローラ （DS102/112） はご使用できません。 8 リミットはN.C. ORG1、 ORG2はN.O. 仕様 13 30 40 50 C ケーブル型式 標準価格との 差額 無記号 2m D214-2-2E ＋¥5,000 D214-2-2EK ＋¥5,000 1 2m片端バラ 2 4m D214-2-4E ＋¥6,000 3 4m片端バラ D214-2-4EK ＋¥6,000 コネクタのみ（ケーブル無し） − ＋¥1,800 4 5 ケーブル無し （標準） − − 6 ロボットケーブル2m D214-2-2R ＋¥8,000 7 ロボットケーブル4m D214-2-4R ＋¥11,000 8 ロボットケーブル4m片端バラ D214-2-4RK ＋¥11,000 9 ロボットケーブル2m片端バラ D214-2-2RK ＋¥8,000 M 電磁ブレーキ付用ケーブル − P αステップ用ケーブル U サーボモータ用ケーブル コード 32 25 25 60 すべてN.C. すべてN.O. 30 40 60 70 A B 30． 5 ※標準は05 ［5V］ ※ 1 と 2 の組み合せで、415、515、613、713は 選べません。 制御機器 5V 24V コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 05 24 コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） 13mm 15mm 7 ケーブルオプション コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） ユニット 13 15 5 センサ論理 55 25． 5 □40mm □50mm □60mm □70mm 4 5 6 7 4 センサ電圧 182． 5 回転 2 移動量 187． 5 1 ステージ面サイズ XYZ ケーブル P.1-199∼ 電気仕様はP.1-045∼ ゴニオ 水平面Z 79 65 ツマミ φ20 φ20 ツマミ コネクタHR10A-10Ｊ-12P （HRS） 7 197． 5 6 4-3． 5キリ （M3用ボルト穴） 5 5 4 4-4． 5キリ （M4用ボルト穴） 3 8 2 4-3． 5キリ （M3用ボルト穴） 1 8 XYZ 79 65 8 オプションコード コネクタHR10A-10P-12S （HRS） セレクトコード PZG513-R コネクタHR10A-10P-12S （HRS） 型式 水平面Z PZG513-L 40 55 4 1 042 自動ステージ PMZG413-L PMZG413-L PMZG513-L PMZG615-L PMZG413-R PMZG715-L ツマミ ツマミ 69 55 69 55 16 セレクトコード 16 16 40 14 20 20 25 4 16 16 40 167． 5 4-3． 5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） オプションコード 3． 5 30 32 40 90 90 167． 5 142． 5 型式 32 40 25 ツマミ 95 φ20 4 16 16 40 30 3． 5 20 20 95 90 XY 177． 5 217． 5 217． 5 177． 5 40 16 16 φ20 14 X ツマミ 8-M3深4 8-M3深4 16 ※XYの下軸を固定する為の専用六角レンチが 付属します。 φ20 自動直動 自動直動 φ20 φ20 XYZ軸リニアボールガイド：PMZG413/PMZG513/PMZG615/PMZG715 CADデータ 3D・2D CAD DATA 外形寸法図 X 90 142． 5 4-3． 5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） XY 5 PMZG 413-L05AG-□□ Z モータ･ ケーブル 対応表 1 043 ※ はモータによりSPECが変わります。詳細は、 P.1-205∼を参照ください。 227． 5 95 14 φ20 13 30 40 50 4-M2深4 8-M3深4 182． 5 222． 5 4 14 4 3 30 20 20 95 φ20 4 30 3 20 20 88 74 11 ツマミ 30 40 60 70 90 172． 5 90 162． 5 スライド ガイド ツマミ φ20 □40 11 90 186． 5 4-4． 5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） □60 4-M4深4 197.5 14 60 70 237.5 8-M3深4 □50 □70 30 φ20 95 88 74 ツマミ クロス ローラ ツマミ 60 70 90 □80 □100 □120 14 6μm以内 ±0.5μm以内 1μm以内 0.5μm以内 1μm 15″以内/10″以内 CAVE-X リニアボール PMZG715-R φ20 ¥338,000 ¥282,000 32 25 25 60 4-4． 5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） PMZG715-L ケイベックス ツマミ 100 単軸精度仕様 □120 その他 一方向位置決め精度 繰返位置決め精度 ロストモーション バックラッシ 真直度 ピッチング/ヨーイング 187． 5 4 □100 リニア ボール 20 20 □80 ¥287,000 ¥239,000 187． 5 25 3 □70 M3−8 4本 50 60 90 4-4． 5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 162． 5 3.0kg 90 30 □60 90 50 60 25 φ20 センサ □50 70×70mm 32 25 60 30 1.6kg 60×60mm φ6リード1 リニアボールガイド ステンレス−無電解ニッケルメッキ処理 2.0kg 2.6kg 2μm （Full） /1μm （Half） 10mm/sec 5kgf【49N】 5μm以内/フルストローク （XY軸） 有 有 P.1-047∼をご確認ください。 有 M4−8 4本 ¥300,000 ¥304,000 ¥250,000 ¥253,000 25 237． 5 50×50mm 精度仕様 □40 15mm 3 20 20 40×40mm ツマミ 8-M3深4 4-M4深4 13mm PMZG715-L05AG-5 PMZG715-R05AG-5 70 メカ仕様 スライド ガイド PMZG615-L05AG-5 PMZG615-R05AG-5 14 クロス ローラ SPEC PMZG513-L05AG-5 PMZG513-R05AG-5 PMZG413-L05AG-5 PMZG413-R05AG-5 14 φ20 型式 （勝手違い） 移動量 ステージ面サイズ 送りねじ （ボールねじ） ガイド 主材質ー表面処理 自重 分解能 （パルス） MAXスピード 耐荷重 （励磁時） 直角度 リミットセンサ 原点センサ （ORG1） スリット原点センサ （ORG2） 付属ねじ （六角穴付ボルト） 価 1台 格 2台∼ ツマミ φ20 25 日目発送 目 目発 100 リニアボール 89 75 25 数量 1 1∼6 4 CAVE-X 89 75 ツマミ 25 60 3 ケイベックス PMZG615-R φ20 ケーブルコード 無記号、 1∼9 M P U 90 152． 5 φ20 リニア ボール モータコード 無記号、D、E M P U 制御機器 13 30 40 50 4-3． 5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） PMZG615-L 【ご注意】 モータにより使用可能なケーブルが異なりますので対応表で ご確認ください。 24 176． 5 176． 5 4-3． 5キリφ6ザグリ （M3用ボルト穴） 42 50 90 90 φ20 R ※片端バラは反ステージ側です。 ※コードM、 P、 Uの価格は、 モータ価格に含まれています。 また、 ケーブル無しを選択する事はできません。 ケーブル詳細は、 P.1-199∼をご確認ください。 90 152． 5 42 50 ユニット 40 60 70 ※コードM・P・Uはドライバ等とケーブルのセットです。 ※モータオプション詳細は、 P.1-045∼を参照ください。 − 24 ツマミ 32 25 25 60 L 13 30 40 50 回転 4-M3深4 X軸R、Y軸L、Z軸L コード 仕様 標準価格との差額（3軸分） 無記号 標準 − D 高トルク ＋¥ 9,000 E 高分解能 ＋¥ 3,000 電磁ブレーキ付（ドライバセット） ＋¥ 285,000 M αステップ （ドライバセット） ＋¥ 219,000 P U サーボモータ （アンプセット） ＋¥ 429,000 ツマミ ゴニオ 8-M4深4 6 モータオプション 制御機器 D214-2-2E D214-2-2EK D214-2-4E D214-2-4EK − − D214-2-2R D214-2-4R D214-2-4RK D214-2-2RK 20 20 X軸L、Y軸R、Z軸L ケーブル型式 3． 5 3 センサカバー位置仕様 仕様 2m 2m片端バラ 4m 4m片端バラ コネクタのみ（ケーブル無し） ケーブル無し （標準） ロボットケーブル2m ロボットケーブル4m ロボットケーブル4m片端バラ ロボットケーブル2m片端バラ 電磁ブレーキ付用ケーブル αステップ用ケーブル サーボモータ用ケーブル 水平面Z φ20 XYZ 187． 5 ※センサ電圧・論理が変わっても外形寸法は変わりあり ません。 ※24Vをご選択の場合、弊社コントローラ （DS102/112） はご使用できません。 コード 無記号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 M P U ツマミ 227． 5 C リミットはN.C. ORG1、 ORG2はN.O. 標準価格との 差額（3軸分） ＋¥15,000 ＋¥15,000 ＋¥18,000 ＋¥18,000 ＋¥5,400 − ＋¥24,000 ＋¥33,000 ＋¥33,000 ＋¥24,000 78 64 30 すべてN.C. すべてN.O. 30 A B 1 φ20 ※標準は05 ［5V］ ※ 1 と 2 の組み合せで、415、515、613、713は 選べません。 ユニット 5V 24V 1 222． 5 182． 5 05 24 7 ケーブルオプション 25 32 回転 13mm 15mm 5 センサ論理 60 40 30 ゴニオ 13 15 4 センサ電圧 78 64 ツマミ 197． 5 □40mm □50mm □60mm □70mm 4 5 6 7 2 移動量 φ20 4-M2深4 8-M3深4 1 ステージ面サイズ XYZ PMZG513-R 3． 5 20 20 ケーブル P.1-199∼ 電気仕様はP.1-045∼ 水平面Z PMZG513-L 187． 5 7 95 6 4 5 4-M3深4 8-M4深4 4 40 30 13 3 50 2 φ20 1 14 Z 14 186.5 4-4.5キリφ8ザグリ （M4用ボルト穴） 30 40 60 70 90 172.5 その他 1 044 自動ステージ 電気仕様：PGシリーズ モータ・電気仕様 ピン配列・結線図 無記号 PG413-＊＊＊＊PG513-＊＊＊＊PG615-＊＊＊＊PG715-＊＊＊＊PG430-＊＊＊＊PG530-＊＊＊＊PG650-＊＊＊＊PG750-＊＊＊＊- ステージ型式 タイプ 特長 型式 （※2） 電磁ブレーキ メーカ ステップ角 （位置検出器） モータ仕様 質量 （※1） □寸法 モータサイズ L寸法 励磁 （瞬間） 最大トルク ドライバ型式 X XY Z D PG413-＊＊＊＊-D PG513-＊＊＊＊-D PG615-＊＊＊＊-D PG715-＊＊＊＊-D PG430-＊＊＊＊-D PG530-＊＊＊＊-D PG650-＊＊＊＊-D PG750-＊＊＊＊-D 標準 PMM33BH2-C59-1 0.72° 0.1kg XYZ センサ ゴニオ P.1-197∼ 型式 モータ 制御機器 受側型式 コネクタ 三菱電機㈱ 18ビットエンコーダ （262144P/R） 0.35kg 40mm 66.4mm 0.480N・m MR-J3-10A 三相・単相AC200-230V 50/60Hz ピン配列・結線図（モータ） 【ピン配列（共通）】 無記号 ・ Ｄ ・ Ｅ リミットセンサ 型式 原点センサ（ORG1） スリット原点センサ（ORG2） センサ リミットセンサ 受側型式 原点センサ（ORG1） スリット原点センサ（ORG2） Full/Half リード 1mm マイクロステップ（1/20 分割時） MAXスピード リード1mm 1 10 2 9 3 8 11 7 4 12 5 6 30mm/sec 1 Ｍ 1 2 3 4 5 6 7 8 9 電源入力 （＋） 電源入力 （−） CCWLS出力 ORG1出力 CWLS出力 4 8 18ビットエンコーダ （262144P/R） 50mm/sec ドライバ側 ドライバ側 A LS モータ サイズ コード □［mm］ A B 無記号 28 4 D 28 4 LS PG650 PG750 PG413 PG513 PG615 PG715 PG430 PG530 4 142.5 152.5 162.5 172.5 171 181 220 230 4 163 173 183 193 191.5 201.5 240.5 250.5 E 28 4 4 143.5 153.5 163.5 173.5 172 182 221 231 M 42 11 11 182 192 202 212 210.5 220.5 259.5 269.5 P 28 4 4 144 154 164 174 172.5 182.5 221.5 231.5 U 40 10 10 175.9 185.9 195.9 205.9 204.4 214.4 253.4 263.4 マーク FG U V W 信号名 Pin 1 P5 2 LG 3 MR 4 MRR 9 BAT SD プレート ※付属スリット原点センサPM-L24 詳細は 電磁ブレーキ Pin 1 2 3 4 シールド □50 P.1-203 コード 仕様 ケーブル型式 無記号 □70 PG413-＊＊＊＊- ￥94,000 PG513-＊＊＊＊- ￥97,000 1 2m片端バラ D214-2-2EK □80 PG615-＊＊＊＊- ￥98,000 2 4ｍ D214-2-4E PG715-＊＊＊＊- ￥104,000 3 4m片端バラ D214-2-4EK PG430-＊＊＊＊- ￥112,000 6 ロボットケーブル2m D214-2-2R PG530-＊＊＊＊- ￥116,000 7 ロボットケーブル4m D214-2-4R PG650-＊＊＊＊- ￥124,000 8 ロボットケーブル4m片端バラ D214-2-4RK PG750-＊＊＊＊- ￥128,000 9 ロボットケーブル2m片端バラ D214-2-2RK □60 □100 □120 その他 1 045 E M P U 無記号 2m ＋￥3,000 ＋￥1,000 ＋￥95,000 モータ本体、 モータドライバ、 ケーブルを含む。 ＋￥73,000 ＋￥143,000 モータ本体、 モータドライバ、 ケーブルを含む。 モータ本体、 サーボアンプ、 ケーブルを含む。 ※表示価格は、単軸の価格になります。多軸は、 各製品ページを参照ください。 ※ は、各ラインナップの標準モータ仕様の価格です。 オプションコードを選択された場合は、標準価格に差額を加算してください。 本体側 P.1-203 【結線図（センサ）】 電源入力 （＋） 電源入力 （−） CCWLS出力 ORG1出力 CWLS出力 茶 青 黒 黄 白 1 2 3 4 5 ケイベックス 1 2 リミットセンサ、 3 原点センサ基板 4 （ORG1） 5 ※付属センサケーブル型式：PG-H-ASSY5-2000 詳細は CAVE-X リニアボール P.1-204 信号名 P5 LG MR MRR BAT SD クロス ローラ スライド ガイド P.1-203 □40 ■モータコード［M・P・U］適合ケーブル モータコード D P.1-204 リニア ボール 信号名 FG U相 V相 W相 Pin 3 6 5 4 2 9 制御機器 本体側 Pin 1 2 3 4 ̶ 6 7 8 9 10 ケーブル型式 モータオプション価格表 回転 P.1-204 P.1-203 付属エンコーダケーブル型式：SVEM-J3HF1-B-3 詳細は □40 ゴニオ 茶 青 スリット原点センサ 黒 （ORG2） 白 電源入力 （＋） 電源入力 （−） ORG2出力 （OUT1） ORG2出力 （OUT2） MOTOR 付属モータケーブル型式：SVPM-J3HF1-B-3-02S 詳細は Ｕ 1 2 リミットセンサ、 3 原点センサ基板 4 （ORG1） 5 ユニット 青 赤 橙 緑 黒 シールド / Z XYZ 1 2 3 4 5 ※付属センサケーブル型式：PG-H-ASSY5-2000 詳細は モータリード （青） モータリード （赤） モータリード （橙） モータリード （緑） モータリード （黒） オープン オープン 電磁ブレーキ （＋） 電磁ブレーキ （−） Pin 1 2 3 4 ̶ 6 7 8 9 10 茶 青 黒 黄 白 7 ※付属ケーブル型式：STPO-RK2-A-3詳細は 外径寸法図 スライド ガイド ※ケーブルは各製品のケーブルオプションコードより 選択して下さい。 ※ケーブル詳細は P.1-203 【結線図（センサ）】 【結線図（モータ）】 モータ JN4FT04SJ1-R ケーブル （日本航空電子工業㈱） エンコーダ 1674320-1 （タイコエレクトロニクスジャパン（同）） − 1μm/0.5μm − 35mm/sec 2μm/1μm 0.1μm 20mm/sec 2 9 Ｐ B クロス ローラ X 水平面Z ケイベックス リニアボール 1 2 リミットセンサ、 3 原点センサ基板 4 （ORG1） 5 XY 付属モータケーブル型式：STPO-AS1-B-3 詳細は CAVE-X センサ論理 CWLS,CCWLS ORG1 ORG2 A EE-SX484 EE-SX384 B EE-SX384 EE-SX484 C EE-SX484 EE-SX384 EE-SX484 MOTOR 1 2 3 4 5 5 ZHR-5 （JST㈱） HR10A-10P-12S （73） （ヒロセ電機㈱） 10mm/sec （論理ごとの使用センサ） 青 赤 橙 緑 黒 モータリード （青） モータリード （赤） モータリード （橙） モータリード （緑） モータリード （黒） CWLS出力 CCWLS出力 ORG2 電源入力 （＋） ORG1 電源入力 （−） F.G 6 − PM-L24バラ線 1μm/0.5μm 0.05μm 25mm/sec 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 1 1 スリット原点 2 2 センサ基板 3 3 （ORG2） S5B-ZR-SM4-TF （LF） （SN） （JST （株） ） （ヒロセ電機㈱） HR10A-10J-12P （73） 2μm/1μm 0.1μm ピン配列・結線図（センサ） 【結線図（共通）】 3 ※1 モータ単体性能の詳細は P.1-205∼ ※2 型式は駿河精機独自の管理型式 ※ XY （PMG） 、Z （PZG） 、XYZ （PMZG） も電気仕様は同じです。 リニア ボール モータコード 【ピン配列（モータ）】 350720-1 5559-10P （タイコエレクトロニクスジャパン（同）） （日本モレックス㈱） HR10A-10P-12S （73） （ヒロセ電機㈱） 分解能 精度仕様 DC24V±10％ ACサーボモータ 高速 HF-KP053 有 − フォトマイクロセンサ EE-SX384、EE-SX484 （オムロン㈱） （コードMの場合、 スリット原点センサはPM-L24 （SUNX㈱） になります） DC5V±5％（DC24V±10％ オプション） （PM-L24電源電圧：DC5∼24V±10％） 100mA以下 （1センサ当たり25mA） （PM-L24消費電流：15mA以下） EE-SX384/EE-SX484：NPNオープンコレクタ出力 DC5∼24V16mA以下 残留電圧0.4V以下 （負荷電流16mA時） （負荷電流50mA時） 残留電圧0.4V以下 （負荷電流16mA時） PM-L24：NPNオープンコレクタ出力 DC30V以下50mA以下 残留電圧0.7V以下 EE-SX384:遮光時出力トランジスタON （導通） EE-SX484:遮光時出力トランジスタOFF （非導通） PM-L24：遮光時出力トランジスタOFF （非導通） モータ − ケーブル 5557-10R 350782-1 HR10A-10J-12P （73） （ヒロセ電機㈱） （タイコエレクトロニクスジャパン（同）） （日本モレックス㈱） エンコーダ − 出力論理 ユニット 0.52kg 42mm 69mm 0.240N・m RKD507M-A 単相AC100-115V 50/60Hz 42mm 0.038N・m − 0.36° （1000P/R設定時） 0.15kg 28mm 45mm 0.055N・m ASD10A-K 0.72° 0.11kg αステップモータ 脱調レス ASM34AK U PG413-＊＊＊＊-U PG513-＊＊＊＊-U PG615-＊＊＊＊-U PG715-＊＊＊＊-U PG430-＊＊＊＊-U PG530-＊＊＊＊-U PG650-＊＊＊＊-U PG750-＊＊＊＊-U 有 有 制御出力 回転 P PG413-＊＊＊＊-P PG513-＊＊＊＊-P PG615-＊＊＊＊-P PG715-＊＊＊＊-P PG430-＊＊＊＊-P PG530-＊＊＊＊-P PG650-＊＊＊＊-P PG750-＊＊＊＊-P 電磁ブレーキ付 PK545AWM 有 0.36° 0.2kg 28mm 61.5mm 0.073N・m 42mm 0.033N・m リミットセンサ 原点センサ （ORG1） スリット原点センサ （ORG2） 型式 電源電圧 消費電流 M PG413-＊＊＊＊-M PG513-＊＊＊＊-M PG615-＊＊＊＊-M PG715-＊＊＊＊-M PG430-＊＊＊＊-M PG530-＊＊＊＊-M PG650-＊＊＊＊-M PG750-＊＊＊＊-M 5相ステッピングモータ 0.75A/相 高トルク 高分解能 PK525HPB PK523HPMB − オリエンタルモーター㈱ 入力電源 （電圧・周波数） 水平面Z E PG413-＊＊＊＊-E PG513-＊＊＊＊-E PG615-＊＊＊＊-E PG715-＊＊＊＊-E PG430-＊＊＊＊-E PG530-＊＊＊＊-E PG650-＊＊＊＊-E PG750-＊＊＊＊-E 自動直動 自動直動 モータコード D214-2-2E ケーブル詳細は P.1-201∼ ケーブルはコード指定でのステージとのセット購入がお得です！ モータドライバとモータケーブル （エンコーダケーブル） が1セットです。 モータ ケーブル ドライバ型式 モータケーブル エンコーダケーブル センサケーブル コード コード RKD507M-A STPO-RK2-A-3 M M （オリエンタルモーター㈱） P.1-203「モータコードM」 ー PG-H-ASSY5-2000 STPO-AS1-B-3 ASD10A-K P.1-204 P P （オリエンタルモーター㈱） ー P.1-203「モータコードP」 センサ結線図参照 SVEM-J3HF1-B-3 MR-J3-10A SVPM-J3HF1-B-3-02S U U （三菱電機㈱） P.1-203「モータコードU」 P.1-203「モータコードU」 □50 □60 □70 □80 □100 □120 その他 1 046 自動ステージ 電気仕様：PGシリーズ タイミングチャート PGシリーズ推奨原点復帰方法 スリット原点センサ （ORG2） 原点端面 スリット原点（ORG２） 反端面 未検出（遮光状態） スリット原点（ORG２） 検出（入光状態） 未検出（遮光状態） 検出（入光状態） CWリミット 原点センサ （ORG1） CWリミット ） 未検出（入光状態） 検出（遮光状態） ※ LD 反 端面 XYZ ゴニオ 回転 単位 ［mm］ CW方向 座標基準 メカリミット CWリミット 原点 反端面 CCWリミット メカリミット PG413・PG513 原点復帰 8.0 7.5 0 2 6.5 7.0 PG615・PG715 原点復帰 9.0 8.5 0 2 7.5 8.0 PG430・PG530 原点復帰 16.5 16.0 0 2 15.0 15.5 PG650・PG750 原点復帰 26.5 26.0 0 2 25.0 25.5 制御機器 開始位置4 JD ※ LD ※ F速度 L速度 開始位置3 開始位置5 開始位置4 スリット原点センサ （ORG2） CAVE-X リニアボール クロス ローラ スライド ガイド コント ローラ側端子機能 A C E モータ G J CWLS入力 L CCWLS入力 M NORG入力 （ORG2） N ORG入力 （ORG1） O センサ電源（DC5V（＋）） P センサ電源（DC5V（−）） R − S − T F.G U SD PG自動ステージ ステージ 側端子機能 A C E G J L M N O P R S T U 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 ●スリット原点センサ （ORG2） 対応ケーブルをご用意いたしました！ ※詳細は □50 □70 XYZ L速度 L速度 JD SD L速度 JOG ゴニオ タイプ1実行後、 TIMING信号のCCW側 エッジ （c点） の検出行程を行います。 SD L速度 開始位置1 ＜原点検出行程＞ ORG （a点検出時 センサOFF） ORG （a点検出時 センサON） 回転 【タイプ7】 CWLS F速度 L速度 開始位置3※ F速度 L速度 SD L速度 F速度 L速度 SD L速度 JD JOG b点 F速度 L速度 SD L速度 F速度 L速度 SD 開始位置4 L速度 b点 ※ ユニット 制御機器 LD ※実線は急停止設定時、 点線は減速停止設定時 の場合を表します。 開始位置5 【タイプ8】 タイプ2実行後、 TIMING信号のCW側 エッジ （c点） の検出行程を行います。 SD L速度 L速度 JD b点 SD L速度 JOG リニア ボール JD 原点復帰シーケンス P.1-193∼ ケイベックス P.1-199∼をご覧ください。 リニアボール 適応ドライバ ■ ドライバ P.1-197∼ DC24V系入力 AC100V系入力 型式 分割数 型式 分割数 CRD5107P（￥23,000） SD5107P3-A22（￥12,800） マイクロステップ（1∼1/250［16段階］） ノーマル （Full/Half） クロス ローラ RKD507-A（￥39,800） マイクロステップ（1∼1/250［16段階］） 適応ステッピングモータコントローラ スライド ガイド ■ コントローラ P.1-189∼ 入力電源 AC100-240V DC24V □80 水平面Z CAVE-X CWLS出力 CCWLS出力 ORG2出力 電源入力 （＋） ORG1出力 電源入力 （−） F.G 当シリーズは内部に4個のセンサを標準装備しております。 スリット原点センサ （ORG2） を使い、4センサでご使用になる場合は、 『 4センサ対応ケーブル』 が必要となります。 ま た、 推奨原点復帰方法もタイプが異なりますので、 ご注意ください。 ご注文の型式は 「ケーブルコード：5 （ケーブルなし） 」 を選び、4センサ対応ケーブル （ P.1-199∼） をご指定ください。 □60 JD モータ 自動ステージ側のCWLS （6番ピン） とCCWLS （7番ピン） は、 通常どおりコントローラのCWLS （L番ピン） とCCWLS （M番ピン） につながりますが、 自動ステージ側のORG2出力 （8番ピ ン） はDC5V （−） に接続され、ORG1出力 （10番ピン） はORGと接続してしまいます。つまりこの結線ではORG2のセンサは機能せず、ORG1のセンサのみが原点信号としてコント ローラに識別されます。結果として、3個のセンサ （CWLS、CCWLS、ORG） しか持たない自動ステージと同じ機能となり、 原点復帰方法もスリット原点センサを用いない方法で 行う必要があります。 □40 Z 開始位置4 a点 JOG リミットセンサ （CCWLS） ケイベックス L速度 開始位置1 開始位置2 ＜近接原点検出行程＞ NORG F速度 L速度 開始位置2 b点 ＜原点検出行程＞ ORG （a点検出時 センサOFF） ORG （a点検出時 センサON） X XY エッジ （a点） の検出行程を行い、次にORG信号のCW側 エッジ （b点） の検出行程を行います。 CCWLS CWLS a点 SD 標準ケーブル タイプ4実行後、TIMING信号のCW側 エッジの検出行程を行います。 【タイプ2】CW方向に検出を行い、はじめにNORG信号のCCW側 CW側エッジ （a点） の検出行程を行い、次にORG 信号のCCW側エッジ （b点） の検出行程を行います。 原点センサ （ORG1） リニア ボール JOG 【タイプ10】 ※実線は急停止設定時、 点線は減速停止設定時 の場合を表します。 JD F速度 L速度 SD L速度 【タイプ１】CCW方向に検出を行い、はじめにNORG信号の 内蔵センサに関して コントローラ ※ F速度 L速度 開始位置3 ※ LD JOG ※実線は急停止設定時、 点線は減速停止設定時 の場合を表します。 リミットセンサ （CWLS） L速度 JD JOG F速度 L速度 ■このステージの標準ケーブル （D214-2-2E） を用いて、 当社のコントローラに接続した場合の結線図は以下のようになります。 タイプ3実行後、 TIMING信号のCCW側 エッジの検出行程を行います。 ●スリット原点センサ （ORG2） をお使いの場合、原点復帰方法は以下からお選びください。 ※原点復帰はDS102/DS112シリーズコントローラを用いて原点復帰タイプ3を行った場合。 ※座標は設計上の値です。実際には±0.5mm程度の寸法誤差が生じることがあります。 ■PGシリーズは下図のように センサを内蔵しています。 SD JOG F速度 L速度 SD L速度 F速度 L速度 SD L速度 【タイプ9】 SD L速度 開始位置1 JOG CCWLS ＜近接原点検出行程＞ NORG スリット原点 （検出） 間隔 S＝1 共通 ユニット CCW方向 開始位置2 開始位置2 CWLS a点 ＜原点検出行程＞ ORG F速度 L速度 F速度 L速度 SD L速度 Z 水平面Z CCWLS JOG F速度 L速度 ※ 開始位置3 ※実線は急停止設定時、 点線は減速停止設定時 の場合を表します。 JD 原点 CCW メカ 端面 リミット リミット 開始位置1 L速度 SD L速度 JD CCW（モータ側） メカ CW リミット リミット エッジ （a点） の検出行程を行います。 CWLS a点 SD 未検出（入光状態） CWリミット 検出（遮光状態） （反モータ側）CW XY 【タイプ4】CW方向に検出を行い、ORG信号のCW側 F速度 L速度 未検出（入光状態） CC Wリミット 検出（遮光状態） 未検出（入光状態） 原点センサ（ORG1） 検出（遮光状態） 未検出（入光状態） 検出（遮光状態） 未検出（入光状態） 原点センサ（ORG1） 検出（遮光状態） CC Wリミット X CCWLS ＜原点検出行程＞ ORG メカストッ パ メカストッパ CCWリミット CCW側エッジ （a点） の検出行程を行います。 自動直動 自動直動 【タイプ3】CCW方向に検出を行い、ORG信号の S…原点のスリット （検出） 間隔 S 汎用入出力ポート なし あり なし あり ドライバタイプ（分割数） ノーマル（Full/Half） マイクロステップ（1∼1/250［16段階］） DS102NR （￥130,000） DS102MS （￥155,000） DS102NR-IO（￥140,000） DS102MS-IO（￥165,000） DS112NR （￥125,000） DS112MS （￥150,000） DS112NR-IO（￥135,000） DS112MS-IO（￥160,000） □40 □50 □60 □70 □80 DS112/102 □100 □100 □120 □120 その他 その他 1 047 1 048
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