対応機種 PHEMOS-1000 THEMOS-1000 iPHEMOS-MP TriPHEMOS EO プロービングユニット動作波形の取得、同一周波数箇所の抽出により機能不良箇所の特定を可能に！ EOP 機能 EOFM 機能 Electro Optical Probing Function Electro Optical Frequency Mapping Function 動作波形を高速取得特長指定周波数動作箇所を可視化パターン像振幅像 I/Q 像位相像特長様々な計測条件に対応 ( 特許申請中 ) 複数画像同時取得による解析時間の大幅な短縮が可能・広い計測帯域（10 kHz ∼ 1 GHz）・異なる周波数の振幅像・振幅像と位相像大量サンプリングにより長テストループに対応・最大 50 万点サンプリング EOP ターゲットの素子特定が容易独自の処理アルゴリズムにより EOP 波形を高速取得・ I/Q 像（背景を除去して素子を強調）・位相反応箇所抽出マスク（ノイズ除去）・計測時間最短 2 秒用途位相像アニメーションによる素子動作タイミングの可視化が可能用途動作波形計測 Scan chain の動作不良解析 ( 特許申請中 ) 回路動作の追跡 EOP の計測領域判断デジタル・アナログ回路の動作確認 / タイミング比較・発振回路不良・ IO 回路タイミング不良 Failure Analysis Systems Option 測定例 ■ 目的 400 MHz 動作をしている 28 nmTEG で、遅延しているパスを確認します。遅延箇所特定のために、EOFM 機能で対象パスの計測位置を抽出して、遅延状態を確認します。 ■ 方法デバイスをクロック 400 MHz で動作させ、EOFM 像でデータレート 50 MHz の不良信号経路中の素子１から素子６の位置を確認し、それぞれの素子の動作波形を EOP 機能で観測します。 ■ 結果素子１素子２素子４素子３素子３素子１素子４素子６素子２素子５素子６信号伝達遅延素子５遅延 5 ns EOFM 像 EOP 動作波形素子５と素子６でデューティー比が変化していることが分かり、詳細に波形を検討すると素子４から素子５の間で立ち上がりに遅延を確認しました。一方、立ち下がりについては遅延は確認できませんでした。 ■ 結論素子４から素子５の間で立ち上がりのみの遅延が大きいことから、今回の測定結果は、その間の配線またはビアに遅延を大きくする高抵抗欠陥が存在することを示唆しています。参考文献・久米俊浩 , 鈴木伸介 , 鈴木浩司 ,“新機能紹介 EO プロービングユニット・新 IR-OBIRCH アンプ ”, LSI テスティングシンポジウム /2013 会議録 , pp.95-98, 2013 レーザ製品の安全対策について当社はJIS(C6802)に従い、製造業者が行うべき安全予防対策として、レーザのクラス分けを行い、そのクラスに対応する安全対策およびラベル表示を実施しています。ご使用の際には使用者としての安全予防対策もJISに従い実施してください。 ” 詳細情報は、半導体故障解析専用サイトから” クラス 1 レーザ製品表示ラベル(サンプル) ホトニクス半導体故障解析装置検索 ★ PHEMOS、THEMOSは、浜松ホトニクス（株）の登録商標です。その他の記載商品名、ソフト名等は該当商品製造会社の商標または登録商標です。 ※本カタログの記載内容は2015年3月現在のものです。本内容は改良のため予告なく変更する場合があります。 www.hamamatsu.com □ システム営業推進部〒431-3196 浜松市東区常光町812 TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031 E-Mail [email protected] □ □ □ □ □ □ 仙台営業所筑波営業所東京営業所中部営業所大阪営業所西日本営業所 TEL TEL TEL TEL TEL TEL (022)267-0121 (029)848-5080 (03)3436-0491 (053)459-1112 (06)6271-0441 (092)482-0390 FAX FAX FAX FAX FAX FAX (022)267-0135 (029)855-1135 (03)3433-6997 (053)459-1114 (06)6271-0450 (092)482-0550 Cat. No. SSMS0052J02 MAR/2015 HPK 警告ラベル最新情報や技術情報を掲載しています。ぜひ、アクセスしてください。