別添(1/2) シリンダーキャビネット・緊急遮断装置 点検設備一覧表 No 階 部屋 番号 部屋名 装置名 ガス種 シリンダーキャビネット 数量 緊急遮断装置 数量 1 B2F 028 ガス腐食試験室 ガス腐食試験装置 SO2 1 1 2 B１F 002 セラミックス製品化実験室 可変型雰囲気加熱炉 ＣＯ 1 1 3 １F 103 ナノ表面分析室 電子線ﾏｲｸﾛｱﾅﾗｲｻﾞｰ 10%CH4+Ar 1 1 4 ２F 202 X線機器分析室 微小部X線回折装置 15%C2H6+Ar 1 1 5 ２F 202 X線機器分析室 蛍光X線装置 10%CH4+Ar 1 1 6 ３F 309 精密加工実験室 RFスパッタリング装置 O2 1 1 7 ３F 309 精密加工実験室 エキシマレーザー装置 5%F2+He 1 1 8 ３F 311 金属加工実験室 各種熱処理炉 H2 1 1 9 ３F 311 金属加工実験室 炭素硫黄分析装置 O2 1 1 10 ４F 403 窯業機器分析室 吸着性能評価装置 C2H6/n-C4H10/i-C4H10 1 3 11 ４F 403 窯業機器分析室 吸着性能評価装置 5.12%NH3+He/4.09%H2S+He 1 2 12 ４F 403 窯業機器分析室 熱分析装置 5%H2+He 1 1 13 ６F 601 金属中ガス分析実験室 PCT装置 H2 2 3 14 ６F 601 金属中ガス分析実験室 炭素硫黄分析装置 O2 1 1 15 ６F 609 金属分析実験室 原子吸光分析装置 C2H2 1 1 計 16 20 別添(2/2) ガス漏えい検知警報設備 点検設備一覧表 No 階 部屋番号 部屋名 装置名 1 B2F 028 ガス腐食試験室 ガス腐食試験装置 2 B2F 021 陶磁器焼成実験室 各種炉焼成炉 3 B１F 103 セラミックス製品化実験室 可変型雰囲気加熱炉 4 １F 103 ナノ表面分析室 電子線ﾏｲｸﾛｱﾅﾗｲｻﾞｰ 5 ２F 202 X線機器分析室 微小部X線回折装置 6 ２F 202 X線機器分析室 蛍光X線装置 7 ３F 309 精密加工実験室 RFスパッタリング装置 8 ３F 309 精密加工実験室 エキシマレーザー装置 9 ３F 311 金属加工実験室 各種熱処理炉 10 ３F 311 金属加工実験室 炭素硫黄分析装置 11 ４F 403 窯業機器分析室 吸着性能評価装置 12 ４F 403 窯業機器分析室 吸着性能評価装置 13 ４F 403 窯業機器分析室 熱分析装置 14 ６F 601 金属中ガス分析実験室 炭素硫黄分析装置 15 ６F 601 金属中ガス分析実験室 PCT装置 16 ６F 601 金属中ガス分析実験室 PCT装置 17 ６F 601 金属中ガス分析実験室 PCT装置 18 ６F 609 金属分析実験室 原子吸光分析装置 ガス種 設置場所 SO2 シリンダーキャビネット （亜硫酸ｶﾞｽ） CO 室内 （一酸化炭素） CO シリンダーキャビネット+装置付帯 （一酸化炭素） CH4 シリンダーキャビネット （メタン） C2H6 シリンダーキャビネット （ｴﾀﾝ） CH4 シリンダーキャビネット （メタン） O2 シリンダーキャビネット （酸素） F2 シリンダーキャビネット+装置付帯 （フッ素） H2 シリンダーキャビネット+室内 （水素） O2 シリンダーキャビネット （酸素） C2H6/n-C4H10/i-C4H10 シリンダーキャビネット （ｴﾀﾝ/n-ﾌﾞﾀﾝ/i-ﾌﾞﾀﾝ） NH3/H2S シリンダーキャビネット （ｱﾝﾓﾆｱ/硫化水素） H2 シリンダーキャビネット （水素） O2 シリンダーキャビネット （酸素） H2 シリンダーキャビネット （水素） H2 装置付帯 （水素） H2 室内 （水素） C2H2 シリンダーキャビネット+室内 （ｱｾﾁﾚﾝ） 計 ガス漏えい検知 （指示）警報盤 (指示）検知部 警報設備 数量 フルスケール濃度 1 6FWA-M TX-550EP-A 6ppm 1 NV-100D KD-2D 250ｐｐｍ 2 NV-100D KD-2D 250ｐｐｍ 1 NV-100C KD-2A 100％LEL 1 NV-100C KD-2A 100％LEL 1 NV-100C KD-2A 100％LEL 1 NV-100S KS-2O 25vol％ 2 TG-6FWA TX-1400FH SH－60Ｈ ３ppm 2 NV-100C KD-3A 100％LEL 1 NV-100S KS-2O 25vol％ 1 NV-100C KD-2A 100％LEL 2 NV-100D KS-2D 100ppm／ 50ppm 1 NV-100C KD-3A 100％LEL 1 NV-100S KS-2O 25vol％ 2 TS-6FWA 1 TS-6FWA 2 TS-6FWA 2 NV-100C 25 TX-1500X SH-60H TX-1500X SH-2506KS TX-1550FH SH-46CT KD-2A 4000ppm 4000ppm 4000ppm 100％LEL
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