アップ・テック・ジャパン株式会社 〒261-0012 千葉県千葉市美浜区磯辺 5-7-2-202 TEL:043-270-4305 FAX:043-216-5838 http://uptechjapan.com MC400＆HP400 サエスはガス精製技術において世界トップレベルのメー カーです。当社は、ほとんどのバルクガスおよび特殊ガス に対応できるよう、様々な製品ラインナップを取り揃えてい ます。 ガスと材料の相互作用についての豊富な経験を活かす とともに、妥協のない品質とサービスを提供することで、サ エスはガス精製器のトップメーカーとなりました。当社は精 製材料の開発からお客様の施設での精製器取り付けまで、 総合的な製造アプローチを通して最適な製品を提供するだ けでなく、比類のないサービスとサポートを全世界で実現し ています。 マイクロトール®は、室温型ガス精製器で、窒素や希ガス、 水素、アンモニア、アルシン、ホスフィン、HCI等を含めた 様々なガスから不純物を除去するように設計されています。 ほとんどの場合、これらのガスに含まれる不純物は、1ppb 未満にまで除去されます。 マイクロトール®は、用途に合わせて柔軟に対応できるよ うに設計されています。流量を基準とした各サイズに加えて、 多種多様なバルブ形状およびフィルター形状も取り揃えて います。 MC400＆HP400 □寿命 定格流量で標準的なファイブ・ナインのガスを基準として １年 （具体的な寿命については、工場にお問い合わせく ださい。） □最大流量: 60 slpm* □定格流量: 9 slpm* ＊アルシンおよびホスフィンの流量については下記をご覧ください。 □最大圧力: MC400：0.97MPa(250psig) マイクロトール®は、他のサエス製品と同様に優れた品 質で製造されています。最高のパフォーマンスを証明する ために、APIMS を利用して分析試験を実施しています。 すべて CE/PED 対応モデルです。 HP400：1,000psig 3.00［76.2］ 13.80［350.5］ □モデル番号の構成 モデル MC400 媒体 202,203,302, 403,404,502, 602,702,703, 804,902,904, 905,906 2×2.78［70.6］ オプション F: 0.003μm パーティクルフィルター V: 入口/出口 バルブ FV: フィルター＆バルブ ［バルブオプション付］ インチ［mm］ We support your innovation 8.20［208.3］ 機械仕様 モデル ()=オプション MC400-*(F) MC400-*(FV) HP400-*(F) HP400-*(FV) † 最大流量 60 slpm 定格流量 9 slpm † 材質 本体 316L ステンレス製 フィルター 2.0µメタルフィルター(標準) (F)：オプション 内蔵型0.003µフィルター バルブ 無 1/4"手動 無 1/4"手動 最大使用圧力 0.97MPa(250psig) 40℃ 1,000psig @40℃ 最高温度定格 40°C 入口 1/4"オスVCR 1/4"メスVCR 1/4"オスVCR 1/4"メスVCR 出口 1/4"オスVCR 1/4"メスVCR 1/4"オスVCR 1/4"メスVCR 長さ（面間） 208.3mm±0.8 350.5mm±1.3 208.3mm±0.8 350.5mm±1.3 外径 76.2mm 電解研磨 有 ヘリウム漏れ試験 He:1x10-9 atm cc/sec 重量 2.2kg 3.1kg 2.2kg 3.1kg ＊モデルNo.の3桁の数字は、下表の「媒体」の欄の数字と同じです。 †媒体502の流量: アルシン/ホスフィン最大=32.0slpm, 公称=15.0slpm MC400 精製および除去性能 媒体 精製対象ガス 除去不純物 202 Ar、CDA、H2、He、Kr、N2、Ne、O2、Xe、CO₂、N2O、D2、NO 203 Ar、CDA、H2、He、Kr、N2、Ne、O2、Xe、N2O、D2 302 B2H6 、BCl3 、BF3 、CClH3 、Cl2 、CO2 、GeCl4 、GeH4 、H2S、 H2Se 、 HBr 、 HCl 、 N2O 、NF3 、NO 、 SiCl4 、SiF4 、SiH2Cl2 、 SiHCl3、SO2、CHClF2 LED H2O、メタル 403 Aｒ、CDA、H₂、He、Kr、N₂、Ne、O2、Xe、CO₂ 揮発性有機酸*、有機物、 耐火性化合物* 揮発性塩基* H 2O H2O、CO2 揮発性有機酸*、有機物、 耐火性化合物* 揮発性塩基* 502 Ar、CDA、H2、He、Kr、N₂、Ne、O2、Xe、CO2、C2H2、C3H6、 C2H4、NH3 PH3、AsH3 602 CO 702 NH3 、 C2H7N 、 C2H8N2 、 C2H4 、 C3H6 、 CH3SiH3 、 GeH4 、 H2-SiH4mix、SF6 LED 703 NH3 404 804 902 904 905 906 CO2 Ar、He、Kr、N2、Ne、Xe LED H2、H2-Inerts Mix、D2 LED C2F6、C2H6、C3F8、C3H8、C2F4H2、C4F8、C4H10、CCl4、CF4、 CH4、CHF3、SF6 CDA、O2、N2O 出口 不純物濃度 < 1ppbV < 100pptV 再生の 可否 可 立上げ方法 （取扱書参照） B < 1pptV 可 B 不可 B 不可 B < 5pptV < 1ppbV < 1pptV < 5pptV 有機物 < 1ppbV 可 A H2O、O2 H2O、O2、CO2、酸、塩基、 有機物、耐火性物質* < 1ppbV 不可 A < 1ppbV 不可 A H2O、O2、 CO2、メタル < 1ppbV 可 A < 1ppbV 可 A 可 A 可 B 可 B < 1ppbV 可 A < 1ppbV 可 B H2O、O2、CO2、NMHCs、 メタル H2O、O2、CO、H2 揮発性有機酸*、耐火物、 凝集性有機物(>100amu)、 揮発性塩基* 非凝集性有機物(>45amu) H2O、O2、CO、CO2、H2 揮発性有機酸*、有機物、 耐火性化合物* 揮発性塩基* H2O、O2、CO、CO2、 揮発性有機酸、有機物、 耐火性化合物* 揮発性塩基* H2O、O2、CO、CO2、H2、 NMHCs* H2O、CO、CO2、NMHCs* < 1ppbV < 5pptV < 100pptV < 100pptV < 1pptV < 5pptV < 100pptV < 1pptV < 5pptV その他のサイズ一覧表 モデル番号 最大流量 公称流量 モデル番号 最大流量 公称流量 MC1 5 slpm 0.5 slpm MC700 120slpm 25slpm MC50 10 slpm 1.5 slpm MC1500 250 slpm 40 slpm MC190 50 slpm 5 slpm MC2525 300slpm 80slpm MC200 50 slpm 5 slpm MC2550 500slpm 80slpm MC400 60 slpm 9 slpm MC3000 500 slpm 80 slpm FT400 75 slpm 10 slpm MC4500 1000 slpm 200 slpm MC450 75 slpm 10 slpm MC9000 1000slpm 300slpm MC500 100 slpm 12 slpm
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