パージメータ

液体計測用
オールフッ素樹脂製高耐食・小流量計測タイプ
P-771
パージメータ
■概 要
オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構
部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全
PFA 成型、チューブ直結継手採用。
純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。
■主な用途
半導体製造ラインの超純水、薬液用
■標準仕様
計測流体
一部 10:2となります。
■警報接点および出力
方 式
一般形
UL 対応形
PAU オプティカルアラームユニット
リードスイッチ警報
取付可否
×
×
○
CE マーキングの対応については、P 形機能・選定について(TG-S0001)を
ご参照願います。
■標準流量表
水
  3〜 15 mL/min ※
  2〜 20 mL/min ※
  3〜 30 mL/min ※
  5〜 50 mL/min
10〜 100 mL/min
20〜 200 mL/min
30〜 300 mL/min
50〜 500 mL/min
0.1〜 1 L/min
0.2〜 2 L/min
接続口径
最高流体温度は、一般的なデータであり、ご使用条件や環境によって変わる
ことがあります。
接続規格
下記接続規格も製作可能です。
チューブエンド接 続
チューブエンド接続 OD:
接続規格 標 準 OD:6.35 mm,
6 mm,8 mm
ID:4.35 mm
ねじ接続:Rc1/8
パネルの前面ねじ取 詳細はご注文方法をご参照願いま
取付方法 標 準
付
す。
概略質量(標準タイプ)0.2 kg
パッキン材質
バルブ付の場合
バルブ付の場合
警報出力
一体成型
接液部材質
■形式コード
バルブ
液体全般
最小:
3 〜 15 mL/min
流量範囲
水
最大:
0.2 〜 2 L/min
目盛範囲
10:1
指示精度
± 5 % F.S.
流体圧力
最高 0.5 MPa
流体温度
最高 60 ℃
本体接液部 PFA
テーパ管 PFA
パッキン PTFE
材 質
カバー
PVC
目盛板 PVC
記入例
詳 細 P-771 -U 0 -T W -T A
A φ6.35×t1(標準)
T B φ6×t1
チューブエンド継手
C φ8×t1
R 1 Rc1/8
Rc ねじ
Z Z 特殊
W なし/溶接構造(標準)
T PFA(標準)
テーパ管材質も PFA です。
0 なし
E PAU アラームユニッ
ト付属
Z 特殊
0 なし
P 形機能・選定について(TGU 上
S0001)をご参照願います。
Z 特殊
■その他製作可能なオプション
次の様なオプションをご指定できます。
2 重目盛,特殊目盛……………………………………………………………… 等
(詳細は P 形機能・選定について(TG-S0001)をご参照願います。)
標準流量表以外の仕様の場合、製作都合により流量目盛の変更をお願いすること
があります。
※ 密度/粘度が 1.0 g/cm3 / 1.0 mPa・s 以外の場合、指示精度が ±8 %
(F.S)以上となります。
TG-F1118-0
APR. 2014K
P-771 パージメータ
■ご注文方法
形式コード
詳細仕様ご指定項目
①
②
③
④
⑤
⑥
流体名 − 流量目盛 − 圧力 − 温度 − 取付方法オプション − その他オプション
P-771- □□ - □□ - □□
(形式コード表にてご選定願います。)
(P 形機能・選定について(TG-S0001)をご参照願います。)
■外形寸法
●Rc ねじ
P - 771 - U0 - TW - R1
●チューブエンド継手タイプ
P - 771 - U0 - TW - TA
■パネルの前面ねじ取付
■バルブ上側
■パネルの前面ねじ取付
■バルブ上側
34
(MAX.35)
28
4
50
(MAX.35)
34
4-φ4.5
23
28
4-φ4.5
23
4
2-Rc1/8
O
O C
C
80
80
110
80
102
80
110
102
2-φ18
2-φ18
2-φ6.35×t1.0
4-M4
深5
パネルカット
4-M4
深5
パネルカット
●標準材質
部品名称
本体、テーパ管
フロート
フロートストッパ
バルブ本体
バルブニードル
継 手
カバー
目盛板
○
○
○
○
○
○
標準材質
PFA 一体成型
PTFE
PFA
PCTFE
PCTFE
PFA
PVC
透明 PVC
製作可能材質
−
−
−
−
−
−
−
−
○印の付いている部品は、計測流体に接触します。
製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
東京計装株式会社はホームページを開設しています。
http://www.tokyokeiso.co.jp
[email protected]
使用可否、
形式選定などなんでも
(Anything)
ご遠慮なくどうぞ。
製造品目
流量計
● 面積式
(パージメータ・パージセット含む)
● 差圧式
(オリフィス・Vコーン)
● 電磁式 ● 超音波式 ● コリオリ式 ● 渦式 ● 羽根車式 ● フローモニタ ● フロースイッチ ● サーマルフローメータ ● マスフローメータ・コントローラ ● 定流量弁 ● サイ
トグラス ● 開水路用流量計
液面計
● フロート式 ● 金属管式 ● サーボバランス式 ● スプリングバランス式 ●トルクチューブ式 ● 磁歪式 ● 電波式 ● 超音波式 ● 圧力式 ● レベルスイッチ
(フロート式・ディスプレーサ式・静電容量式)
● 光ファイバ・デジタルタンクゲージシステム ● 舶用液面計システム ● 受信計
その他
● 各種表示器 ● 圧力発信器 ● 流量積算・記録計 ● 移動式定量出荷装置 ● 自動車用測定装置 ● プロペラ風速計 ● LNG/LPG用密度計
■仙台営業所
■名古屋営業所
TEL 022-773-1451
(代) TEL 052-953-4501
(代)
■富山営業所
■大阪営業所
TEL 076-493-8311
(代) TEL 06-6312-0471
(代)
■茨城営業所
■岡山営業所
TEL 029-246-0666
(代) TEL 086-421-6511
(代)
■大宮営業所
■徳山営業所
TEL 048-652-0388
(代) TEL 0834-21-0220
(代)
■長野営業所
■北九州営業所
TEL 0263-40-0162
(代) TEL 093-521-4170
(代)
計量器製造事業登録事業所・高圧ガス試験製造認定事業所
本社:東京都港区芝公園1-7-24芝東宝ビル
(〒105-8558)
TEL 03-3434-0441
(代)
2
TOKYO KEISO CO., LTD.
■厚木営業所
■熊本営業所
TEL 046-223-1141
(代) TEL 096-375-7327
(代)
■静岡営業所
TEL 0545-64-3551
(代)
TG-F1118-0