液体計測用 オールフッ素樹脂製高耐食・小流量計測タイプ P-771 パージメータ ■概 要 オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構 部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全 PFA 成型、チューブ直結継手採用。 純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。 ■主な用途 半導体製造ラインの超純水、薬液用 ■標準仕様 計測流体 一部 10:2となります。 ■警報接点および出力 方 式 一般形 UL 対応形 PAU オプティカルアラームユニット リードスイッチ警報 取付可否 × × ○ CE マーキングの対応については、P 形機能・選定について(TG-S0001)を ご参照願います。 ■標準流量表 水 3〜 15 mL/min ※ 2〜 20 mL/min ※ 3〜 30 mL/min ※ 5〜 50 mL/min 10〜 100 mL/min 20〜 200 mL/min 30〜 300 mL/min 50〜 500 mL/min 0.1〜 1 L/min 0.2〜 2 L/min 接続口径 最高流体温度は、一般的なデータであり、ご使用条件や環境によって変わる ことがあります。 接続規格 下記接続規格も製作可能です。 チューブエンド接 続 チューブエンド接続 OD: 接続規格 標 準 OD:6.35 mm, 6 mm,8 mm ID:4.35 mm ねじ接続:Rc1/8 パネルの前面ねじ取 詳細はご注文方法をご参照願いま 取付方法 標 準 付 す。 概略質量(標準タイプ)0.2 kg パッキン材質 バルブ付の場合 バルブ付の場合 警報出力 一体成型 接液部材質 ■形式コード バルブ 液体全般 最小: 3 〜 15 mL/min 流量範囲 水 最大: 0.2 〜 2 L/min 目盛範囲 10:1 指示精度 ± 5 % F.S. 流体圧力 最高 0.5 MPa 流体温度 最高 60 ℃ 本体接液部 PFA テーパ管 PFA パッキン PTFE 材 質 カバー PVC 目盛板 PVC 記入例 詳 細 P-771 -U 0 -T W -T A A φ6.35×t1(標準) T B φ6×t1 チューブエンド継手 C φ8×t1 R 1 Rc1/8 Rc ねじ Z Z 特殊 W なし/溶接構造(標準) T PFA(標準) テーパ管材質も PFA です。 0 なし E PAU アラームユニッ ト付属 Z 特殊 0 なし P 形機能・選定について(TGU 上 S0001)をご参照願います。 Z 特殊 ■その他製作可能なオプション 次の様なオプションをご指定できます。 2 重目盛,特殊目盛……………………………………………………………… 等 (詳細は P 形機能・選定について(TG-S0001)をご参照願います。) 標準流量表以外の仕様の場合、製作都合により流量目盛の変更をお願いすること があります。 ※ 密度/粘度が 1.0 g/cm3 / 1.0 mPa・s 以外の場合、指示精度が ±8 % (F.S)以上となります。 TG-F1118-0 APR. 2014K P-771 パージメータ ■ご注文方法 形式コード 詳細仕様ご指定項目 ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ 流体名 − 流量目盛 − 圧力 − 温度 − 取付方法オプション − その他オプション P-771- □□ - □□ - □□ (形式コード表にてご選定願います。) (P 形機能・選定について(TG-S0001)をご参照願います。) ■外形寸法 ●Rc ねじ P - 771 - U0 - TW - R1 ●チューブエンド継手タイプ P - 771 - U0 - TW - TA ■パネルの前面ねじ取付 ■バルブ上側 ■パネルの前面ねじ取付 ■バルブ上側 34 (MAX.35) 28 4 50 (MAX.35) 34 4-φ4.5 23 28 4-φ4.5 23 4 2-Rc1/8 O O C C 80 80 110 80 102 80 110 102 2-φ18 2-φ18 2-φ6.35×t1.0 4-M4 深5 パネルカット 4-M4 深5 パネルカット ●標準材質 部品名称 本体、テーパ管 フロート フロートストッパ バルブ本体 バルブニードル 継 手 カバー 目盛板 ○ ○ ○ ○ ○ ○ 標準材質 PFA 一体成型 PTFE PFA PCTFE PCTFE PFA PVC 透明 PVC 製作可能材質 − − − − − − − − ○印の付いている部品は、計測流体に接触します。 製品についてのお問い合せを電子メールでも承ります。 ※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。 東京計装株式会社はホームページを開設しています。 http://www.tokyokeiso.co.jp [email protected] 使用可否、 形式選定などなんでも (Anything) ご遠慮なくどうぞ。 製造品目 流量計 ● 面積式 (パージメータ・パージセット含む) ● 差圧式 (オリフィス・Vコーン) ● 電磁式 ● 超音波式 ● コリオリ式 ● 渦式 ● 羽根車式 ● フローモニタ ● フロースイッチ ● サーマルフローメータ ● マスフローメータ・コントローラ ● 定流量弁 ● サイ トグラス ● 開水路用流量計 液面計 ● フロート式 ● 金属管式 ● サーボバランス式 ● スプリングバランス式 ●トルクチューブ式 ● 磁歪式 ● 電波式 ● 超音波式 ● 圧力式 ● レベルスイッチ (フロート式・ディスプレーサ式・静電容量式) ● 光ファイバ・デジタルタンクゲージシステム ● 舶用液面計システム ● 受信計 その他 ● 各種表示器 ● 圧力発信器 ● 流量積算・記録計 ● 移動式定量出荷装置 ● 自動車用測定装置 ● プロペラ風速計 ● LNG/LPG用密度計 ■仙台営業所 ■名古屋営業所 TEL 022-773-1451 (代) TEL 052-953-4501 (代) ■富山営業所 ■大阪営業所 TEL 076-493-8311 (代) TEL 06-6312-0471 (代) ■茨城営業所 ■岡山営業所 TEL 029-246-0666 (代) TEL 086-421-6511 (代) ■大宮営業所 ■徳山営業所 TEL 048-652-0388 (代) TEL 0834-21-0220 (代) ■長野営業所 ■北九州営業所 TEL 0263-40-0162 (代) TEL 093-521-4170 (代) 計量器製造事業登録事業所・高圧ガス試験製造認定事業所 本社:東京都港区芝公園1-7-24芝東宝ビル (〒105-8558) TEL 03-3434-0441 (代) 2 TOKYO KEISO CO., LTD. ■厚木営業所 ■熊本営業所 TEL 046-223-1141 (代) TEL 096-375-7327 (代) ■静岡営業所 TEL 0545-64-3551 (代) TG-F1118-0
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