共焦点光学式非接触変位センサ

共焦点光学式非接触変位センサ
2
IFD2401
共焦点光学式変位センサ
特徴
●測定スポット径が極小で一定
●測定対象物を選ばない
●高精度・高分解能
●細穴深さ測定が可能
●サンプリングレート 30ｋＨｚ（オプション）
●片側からの透明ガラスの厚み測定が可能
共焦点方式の測定原理
多色光源としての白色光をマルチレンズを通して測定対象物の表面に合焦させます。
白色光はレンズの
色偏差により単色光に分散されます。
工場出荷時に各波長の単色光には一定の距離が割り当てられています。
測定対象物表面に正確に焦点があった波長の光（単色光）
のみがピンホールを通過しスペクトルメータ
にて検出し、距離・変位として出力されます。
装置の構成
共焦点光学式変位計測システムＩＦＤ２４０１はコントローラとセンサにて構成されるシステムです。
コントローラとセンサは光ファイバーで接続（最大５０ｍ）
されます。
センサ部には可動部が無く磨耗がありません。
本システムはCEマーキングATEX
（防爆）指令に準拠しています。
システムは、光源としてＬＥＤを採用したコントローラと光ファイバケーブルおよび、
センサヘッドから構
成されます。
性能と特殊機能
光源（ハロゲン・LED）
レンズ
独自の測定原理により、高精度で変位と距離が測定可能です。
拡散反射表面と鏡面反射表面の両方が測定可能です。
測定対象物が透明体の場合、表面までの距離と裏面までの距離が片側から測定可能です。
多層の透明体を測定する場合には各層の厚みを計測できる、専用のソフトウェアをご用意しております。
ビーム光
対象物
3
P6∼7
IFS2400/2401シリーズ
豊富な形状、仕様で多種のアプリケーションに適合します。
透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側
から測定可能です。
微細表面を超高分解能で測定可能です。
CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠
多目的タイプ
P8∼9
IFS2402シリーズ
直径４ｍｍの超小型センサ
透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から
測定可能です。
堅牢設計
側視タイプ
CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠
φ4mm超小型タイプ
P10∼11
IFS2403シリーズ
大きなレンズ開口面積により大きな基準距離を持つ直径
８mmの高性能小型センサ
透明体や多層の透明体の裏面までの距離や厚みを片側から
測定可能です。
GRINレンズ（Gradient index lens：屈折率分布型レンズ）
を使用
※媒質内の屈折率が座標関数により連続的に変動するレンズ
堅牢設計
CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠
標準タイプ
記載しているデータ等は参考値で有りご使用条件、
その他諸条件によりカタログ或いは仕様書記載のデータ値とは異なる場合が有ります。
保証について
①製品の保証期間については、
出荷後1年とさせて頂きます。
②製品の保証範囲は、①の保証期間中に製造者の責により故障が生じた場合は、製品の故障部分の修理、又は製品内の部品交換を行います。
但
し、以下に該当する場合は、保証範囲適用外とさせて頂きます。
a）製品の仕様値または、別途取り交わした仕様書などで確認された以外の不適当な条件、環境、取扱い、又は使用による場合。
b）故障の原因が納入品以外の事由による場合。
c ）当社以外による納入品の改造または修理による場合。
d）センサ製品本来の使用方法以外の使用による場合。
e）出荷当時の科学、技術水準では予見できなかった理由による場合。
f ）その他、天災、災害などで、製造者側の責にあらざる場合。
③製品の保証とは、
センサ製品単体の保証を意味するものです。
当製品の特定用途での適合性や製品により発生する二次的価値の保証、損失の
補償は致しかねます。
また、
きわめて高い信頼性、安全性が要求される用途、人命にかかわる用途（原子力、航空宇宙、社会基盤施設、医療機器
など）
を目的として設計、製造された製品では有りません。
このような環境下での使用については保証の適用範囲外とさせて頂きます。
4
IFD2401
アプリケーション
透明体の厚み測定
ガラスやプラスチックなどの透明の厚みを片側か
ら高精度に測定可能です。
積層された透明体の隙間計測
合わせガラスにおける、
ガラスとガラスの隙間量を
片側から測定可能です。
液面レベル計測
メディカルトレイやマイクロタイタープレートに
入っている液面レベルの測定が可能です。
精密測定
IFD2401の持つ超高分解能は極微小な変位量計
測を可能にします。
5
穴底検査
穴の内壁や底の狭小空間を直径４mmの超小型
センサを用いて検査が可能です。
空洞内壁検査
側視タイプのセンサを用いて空洞内部の検査が
可能です。
深穴底の厚み計測
２つのセンサを対抗配置し、深穴底の厚みの測定
が可能です。
試験管の管壁厚み計測
ガラスやプラスチック製の試験管の厚みの測定が
可能です。
液面レベル
液面などの光沢表面の測定が可能です。
IFS2400/2401シリーズ
多目的タイプ
6
特長
●豊富な形状と仕様
●透明体や多層の透明体の裏面までの
距離や厚みを片側から測定可能です。
●高精度（非常に優れた空間分解能）
で
変位と距離が測定可能
●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠
ø27
ø20
145.5
28
37.6
MR 3
SMR 16.3
MR 1
SMR 10
ø27
28
55.3
151.8
59.7
MR 8.5
MR 22
SMR 213
ø59
ø62
ø8
MR 20
MR＝測定範囲 SMR＝測定範囲始点寸法単位mm
MR 24
37.62
ø20
34.4
ø21
ø45
ø28.3
IFS 2401-25
ø27
ø95
SMR 63
SMR 67
SMR 27
MR 10
公差：直径＋0.2/-0.1mm、長さ 0.1mm
IFS 2400-24
167
105.7
191.5
149.2
145.5
28
37.6
197
ø11
ø11
IFS 2400-20
（01）
ø50
ø11
176.1
178.2
ø11
ø32
ø20
ø20
28
37.6
28
37.6
MR 0.3
SMR 10.5
MR 0.12
SMR 3.35
IFS2400-10
ø27
ø27
ø20
218.66
28
ø20
IFS 2401-3
ø27
SMR 20.2
ø27
ø6
IFS 2401-10
IFS 2401-1
IFS 2401-0.4
172.5
IFS 2401-0.12
37.6
ＩＦＳ２４００／２４０１シリーズは特に角度特
性に優れ、豊富なヘッド仕様は多種のアプリケ
ーションに対応します。
フィルムやガラス、
プラスチックなどの光沢表
面、液体や透明体などの鏡面反射体から拡散
反射体まで、測定対象物の表面状態を問わず
測定が可能です。
7
コントローラ型式
IFC2401
IFS
IFS
2401-0.12 2401-0.4
センサヘッド型式
測定範囲
IFS
2401-3
IFS
2401-10
120µm
300µm
1mm
3mm
10mm
3.4mm
10.5mm
10mm
16.3mm
27mm
7µm
10µm
10µm
25µm
50µm
0.12µm
0.3µm
0.5µm
1.5µm
5µm
0.005µm
0.012µm
0.04µm
0.12µm
センサ
0.20kg
0.22kg
0.22kg
0.16kg
センサ＋MA 2400
0.38kg
0.40kg
0.40kg
43
28
27
測定開始距離
約
スポット径
直線性
≦ 0.1% FSO
分解能
重量
IFS
2401-1
最大傾き角度（鏡面反射）
サンプリングレート
IFS
IFS
IFS
2400-10 2400-20（01） 2400-24
20mm
24mm
22mm
67mm
63mm
213mm
20.2mm
50µm
100µm
100µm
100µm
5µm
2.8µm
12µm
11µm
0.4µm
0.7µm
1µm
0.9µm
0.19kg
0.68kg
3.0kg
0.52kg
0.19kg
0.34kg
0.37kg
0.90kg
-
0.76kg
0.37kg
22
14
14
20
5
8.5
0.4µm
8.5mm
IFS
2401-25
≦ 0.05% FSO
0.004% FSO
100∼2000Hzで調整可能（オプション外部光源装備の2431シリーズは30kHz）
使用周囲照度
30.000 lx
光源
LED
保護構造（センサ／コントローラ）
IP 40
温度特性（センサ）
0.01% FSO / C
使用温度範囲
+10 C ...+50 C
保存温度範囲
-30 C …+70 C
出力
2x 0 - 10V (15 Bit) / RS 232 / RS 422 / USB 2.0
電源
24VDC
センサケーブル
（光ファイバケーブル）
コントローラ
長さ：標準3m、
オプションで最大50m、
曲げ半径：静的30mm、動的40mm
寸法
(D x W x H): 111.5 x 162 x 138mm
機能
トリガー機能、
同期、校正データ20種を記憶、LED表示灯、DINレール対応、
デジタルインタフェース、分析／設定／データ取得用ソフトウェア
電磁適合（EMC）
EN 50081-1 and EN 61000-6-2
FSO＝フルスケール出力
データは一定温度（室温）、
サンプリング2kHz、光沢平面、計測時のものです。測定対象の表面条件への調整も可能です。
アクセサリ：装着アダプタ
センサ2400/2401シリーズ用MA2400
装着ブロック
10
20
13
取付リング
30
49.75
60.5
46
7
6
ø6
ø5
0
5
ø7
ø5
9
7
23
30
ø
ø2
65
M5x0.8 - 6H
センサIFS2401-X用
MA2400-27
M5x0.8 - 6H
センサIFS2400-10用
MA 2400-50
10
※データ等は参考値であり、御使用条件、その他諸条件によってカタログデータ値とは異なる場合がございます。
センサIFS2400-24用
MA 2400-59
IFS2402シリーズ
φ4mm超小型タイプ
特長
●直径４ｍｍの超小型センサ
●透明体や多層の透明体の裏面までの
距離や厚みを片側から測定可能です。
●内径4.5ｍｍの深穴の底板厚み測定
/内壁検査
●堅牢設計
●側視タイプ
●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠
IFS 2402-0.4/1.5/4/10
IFS 2402/90-1.5/4/10
ケーブル ø2.1
ケーブル保持部
ケーブル保持部
15
15
ケーブル ø2.1
Ø4
68
69
レンズ ø1.8
73.25
6.25
ハウジング
1.94
4
3
2.5
7.25
ハウジング ø4
SMR
ＩＦＳ２４０２シリーズは直径４ｍｍの超小型
サイズのため、特に狭小なスペースへの設置が
必要なアプリケーションに適しています。
測定方向が軸方向に対し９０側視タイプの
センサは穴の内壁検査にご使用頂けます。
2
SMR
MR
8
公差： 0.1mm
MR＝測定範囲 SMR＝測定範囲始点寸法単位mm
MR
9
コントローラ型式
IFC2401
IFS 2402-0.4 IFS 2402-1.5 IFS 2402/90-1.5
センサヘッド型式
測定範囲
測定開始距離
約
IFS 2402/90-4 IFS 2402-10 IFS 2402/90-10
400µm
1.5mm
1.5mm
3.5mm
2.5mm
6.5mm
6.5mm
1.5mm
0.9mm
2.5mm 1)
1.9mm
2.5mm1)
2.5mm
3.5mm1)
10µm
20µm
20µm
20µm
20µm
100µm
100µm
0.3µm
1.2µm
1.2µm
3µm
2µm
13µm
13µm
0.016µm
0.06µm
0.06µm
0.14µm
0.1µm
0.7µm
3
1.5
スポット径
直線性
分解能
IFS 2402-4
0.08% FSO
0.004% FSO
重量
0.7µm
0.01% FSO
15g
8
最大傾き角度（鏡面反射）
5
5
3
100∼2000Hzで調整可能（オプション外部光源装備の2431シリーズは30kHz）
サンプリングレート
30.000 lx
使用周囲照度
光源
LED
保護構造（センサ／コントローラ）
IP 40
使用温度範囲
+10 C …+50 C
保存温度範囲
-30 C …+70 C
出力
2x 0 - 10V (15 Bit) / RS 232 / RS 422 / USB 2.0
電源
24VDC
長さ：一体型ケーブルは2m、
オプションで最大50m、
曲げ半径：静的30mm、動的40mm
センサケーブル
（光ファイバケーブル）
コントローラ
寸法
(D x W x H): 111.5 x 162 x 138mm
機能
トリガー機能、
同期、校正データ20種を記憶、LED表示灯、DINレール対応、
デジタルインタフェース、分析／設定／データ取得用ソフトウェア
EN 50081-1 and EN 61000-6-2
電磁適合（EMC）
FSO＝フルスケール出力
1)
センサ軸から測定する測定範囲の始点
データは一定温度（室温）
、
サンプリング2kHz、光沢平面計測時のものです。測定対象の表面条件への調整も可能です。
アクセサリ：装着アダプタ
1.5 0.1
22
ø8
15
12
11
ø4 H
9
4
4.5
4
3
3
7.5
22
ø3
.4
センサ2402シリーズ用MA2402
3
0.2% FSO
M4
5
20
4.5
※データ等は参考値であり、御使用条件、その他諸条件によってカタログデータ値とは異なる場合がございます。
1.5
IFS2403シリーズ
標準タイプ
特長
●直径８ｍｍの小型センサ
●GRINレンズ（Gradient index lens：
屈折率分布型レンズ）
を使用
※媒質内の屈折率が座標関数により連続的に変動す
るレンズ
●大きな基準距離
●堅牢設計
●CEマーキングATEX（防爆）指令に準拠
IFS 2403-0.4/1.5/4/10
ケーブル ø2.1
15
ケーブル保持部
76
ハウジング ø8
SMR
GRINレンズ
（Gradient index lens：屈折率分
布型レンズ）
を用いたＩＦＳ２４０３シリーズは
ＩＦＳ２４０１シリーズとＩＦＳ２４０２シリーズ
の特長を併せ持つセンサです。
大きな基準距離を持ちながら直径８ｍｍと小
型形状のセンサは角度特性にも優れています。
MR
10
公差： 0.1mm
MR＝測定範囲 SMR＝測定範囲始点
寸法単位mm
11
コントローラ型式
IFC2401
センサヘッド型式
測定範囲
約
測定開始距離
スポット径
直線性
IFS 2403-0.4
IFS 2403-1.5
IFS 2403-4
IFS 2403-10
400µm
2.8mm
1.5mm
4mm
10mm
8.1mm
14.7mm
11mm
9µm
15µm
28µm
56µm
0.3µm
1.2µm
3µm
0.06µm
0.16µm
0.016µm
分解能
0.08% FSO
0.004% FSO
重量
13
サンプリングレート
16
6
6
100∼2000Hzで調整可能（オプション外部光源装備の2431シリーズは30kHz）
30.000lx
使用周囲照度
光源
LED
保護構造（センサ／コントローラ）
IP40
使用温度範囲
+10 ... +50 C
保存温度範囲
-30 ... +70 C
2x 0 - 10V (15 Bit) / RS 232 / RS 422 / USB 2.0
出力
24VDC
電源
センサケーブル
（光ファイバケーブル）
電磁適合（EMC）
1µm
0.01% FSO
25g
最大傾き角度（鏡面反射）
コントローラ
20µm
0.2% FSO
長さ：一体型ケーブルは2m、
オプションで最大50m、
曲げ半径：静的30mm、動的40mm
寸法
(D x W x H): 111.5 x 162 x 138mm
機能
トリガー機能、同期、校正データ20種を記憶、LED表示灯、DINレール対応、
デジタルインタフェース、分析／設定／データ取得用ソフトウェア
EN 50081-1 and EN 61000-6-2
FSO＝フルスケール出力
データは一定温度（室温）、
サンプリング2kHz、光沢平面計測時のものです。測定対象の表面条件への調整も可能です。
※データ等は参考値であり、御使用条件、その他諸条件によってカタログデータ値とは異なる場合がございます。
12
共焦点光学式変位測定システム
システム構成
共焦点光学式変位測定システムＩＦＤ２４０１シリーズはコントロー
ラ：ＩＦＣ２４Ｘ、
１センサ：ＩＦＳ２４０Ｘ、光ファイバーケーブル：Ｃ２４０
１Ｘで構成されます。
コントローラ１台に対し、最大２０種類のセンサヘッド校正データを記
憶できます。
光ケーブルについて
使用温度範囲：-50℃∼90℃
切断部分：APC研磨
マルチモード芯線 50µm
曲げ半径：40mm
金属被覆 125µm
アクリレート <250µm
センサケーブル
C2401
シース：
PVC（ポリビニルクロライド）
ソフトウェア2400/2401/2402/2403：
マルチピークソフトウェア
無償のデモ用ソフトウェア
PVDF（ポリビニリデンフルオライド）
ケーブル保持部
コントローラIFC2401
168
162
各種データインタフェースに対し最大5層の
多層厚み測定用ソフトウェア
111.5
128
アクセサリー2400/2401/2402/2403：
IFL2431/Xe/300 共焦点コントローラIFC2431
サンプリング
（30kHz）
用のキセノン光源
24V/2.5A電源
外装ケーブル
（3m、10m、
特注仕様長最大50m）
アクセサリー2402/2403：
C2402/vac
CE2402-x
延長センサケーブル
（3m、
10m、13m、30m、50m）
2.2
20
25.5
プロテクトチューブ仕様ケーブル
（3m、10m、
カスタム仕様長最大50m）
Modiﬁcations reserved / Y9761149-H041050DGO
Option PT
光ファイバケーブルの真空フィードスルー用
挿し込み簡単プラグ：E2000標準コネクタ
13
C2401/PT-X
光ファイバケーブル
（3m、10m、
特注仕様長最大50m）
（寸法単位mm、縮尺不定）
8.8
C2401-X
光ファイバケーブルの真空フィードスルー用
9
C2401/vac
Ø6
アクセサリー2400/2401：
Ø2
PS2010
6
デモソフトウェア
チューブ：
コントローラ
IFC2401
IFC2431
138
センサIFS240x
9HU

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