R [bpɨ¯é[U÷×ÁHÉÖ·é ¤J®ü²¸ñ Ð j [KXtH[ ò imKXÂΤº ¬ c P A Report on Research and Development of Laser Microprocessing in Europe Yosihiro Narita Tsukuba Research Laboratory, NEW GLASS FORUM A. ͶßÉ äXÍ»ÝVGlM[EYÆZpJ @\iNEDOjÌÏõð󯽬 13 Nxæè ÆàÉimJ[{CimKXvWFNg ÌÐîðsÁ½BKâæÌàóÍZpX[ UÌ[J 2C[Ṳ@Ö 5C»Ì¼ 3 Ìv 10 Å éB imKXZpvWFNg1)ðsÁÄ¢éB ±ÌvWFNgÅdvÈZpÌꪴZp X[UÅ éBµ©µäXÍ ÜÅ[ B. ZpX[ṲJ®ü UÅ èC´ZpX[ṲÆpÌÂÛ Ti F Sapphire ð p ¢ ½ t F g b p X ª{vWFNg̬÷ð¶E·éÆl¦çê [UÍ»ÌL¢¾Ñæ©ç fs ÌZp éB»±Å[U÷×ÁHZpÌÅV®üðT X¶ªÂ\Å èC»ÝÜÅɽ̤ é½ßC[UÁH̤ƻÉÍðüêÄ¢é 2),3) ªÈ³êÄ«Ä¢éBoN»ðp¢ hCcðSÉÖA·é[bp̤@Ö ÄRqgCXyNgEtBWbNXC ðKâµÄîñûWðsÁÄ«½B\ 1 ÉK tFg[U[YÈǪtFgbpX âæðÜÆß½B [UÌ»i»ðsÁÄ¢éBßNÅͱÌÙ Nanofair 2003 ÍXCXÌimeNmW[ ©ÉàóyÞYÁõt@Coi»i»CE ÆvWFNg TOP NANO 21 åÃÅsí AJÈÇjC[U»iTiFSapphire, ê½ÛW¦ïÅ èCYÆZp¤Æ NdFYAG ÈÇjÌ~ÕiVfBXNC» NEDO ª¤¯ÅW¦ðsÁ½BNEDO ÌW¦ i»^CohEBYjÈÇðp¢Ä 10 ÅÍ NEDO ÌimeNmW[ÖÌægÝÆ © ç 100 fs Ì [ U p X ª ¶  \ Æ 9 §300_2635 ïé§ÂÎsõä 5_9_ }g¤R\[VAæ 2 TeCg 2F TEL 029_ 848_1880 FAX 029_ 848_1882 Email: naritangp.trcnet.co.jp ÈÁÄ«Ä¢éB±êçõt@CoCVfB XNðp¢½tFgbpX[UÍärI Vµ¢»iÅ èC¡ãÌWJªúÒ³êéB ¡ñKâµ½ 2 Ì[JitFg[ 97 NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003 \P Kâæê U[YC^CohEBYjÍ»ê¼êEB ¢Äà»i»Ì\èÅ éBÂlƵÄÍ [HÈåwCXCXAMHÈåwiETHj oÍi\ WjCJÔµi\ MHzjÈTu ©çÌXsItÅ éBtFg[U[Y sRb[Uªá¿iÅ»i»Å«êÎC[ Í`^Tt@CA»ðp¢½ZpX[ UÆËÉæéO³õñH`¬Ì¤Æ»ª®Á Uð»i»µÄ¨èC»ÌpX 12 fs Í» ÆßÈéÌÅÍÆ´¶Ä¢éÌÅ ETH ̤ Ý»iÆÈÁÄ¢éàÌÌÈ©ÅÅàZ¢BÁ ¬ÊÆ¡ãÌiWÉ¢ÄÍñíÉÖSð ·ÆµÄÍ`[vUdÌ~[ÌgpÉæè ÁÄ¢éB i¿È[UpXð¶Â\ȱÆŠɤ@ÖÅÌ®üÉ¢ÄÜÆßéBT éB¡ãÌWJƵÄÍLAGx[v ETvgåCCGiåCIPHT ÅÍoÍ Ȩ̂äÉæéZpXi`5 fsjÌÀè Ìt@Co[ṲðsÁÄ¢éBIPHT ¶4)CßOazû~[Éæé[U¶ÌZ ÍB§Ì¤@ÖÅCGiåƤ¯¤ðsÁ tX^[gCÀè»ÉÍðüêÄ¢æ¤ Ä¢éBTETvgåÍõt@CoitH ¾Bêû^CohEBYÅÍ ETH Å̤ gjbNNX^t@CoðÜÞjCóyÞ ¬ÊÉεÄoÍCJÔµÌpX YÁõt@Co̤ÅÍ¢EÌgbvÅ [UÌ»i»ðÚwµÄ¢éBÁ·Í ETH éBpX[UÅÍÈ¢ªCCW VO ÅlijêC»¢³êĢ鼱ÌßOazû [hõt@Co[UÅoÍ 1 kW ðB¬5) ~[iSESAMjðp¢CStuttgart åÌV µÄ¢éBCGiåÅà¯lÌ[UÅoÍ fBXNð[U¶¹ÆµÄ¢é±ÆÅ 700 W ðB¬µÄ¢éB»ÝoÍt@Co éBVfBXNÌÁ·Í[U}¿ª¢Ì [UÌÅåè[JÅ é IPGiVAj ÅMøʪá¸Å«éCSESAM Éæé\g Í CW V O [ h t @ C o o Í Å 300 [h¯úÉæèZpX¶·é½ßãN WC}`[ht@CooÍÅ 10 kW ÌV õ¹Ìr[i¿iM2 jª«Äàæ¢±Æ XeðùÉ»i»6)µÄ¢éB¡ã[b Å éB±Ì½ßoÍCJÔµÌZpX pÅÌt@Co[UoÍ»£ÌWJªy [Uðá¿iÉ·é±ÆªÅ«éBcOȪ µÝÅ éBZpXt@Co[UÉÖµÄ ç»óÍtFgbpX[UÍJÔµ 100 ÍCGiåÅoÍ 75 WCpX 350 fs ðB MHzCoÍ 500 mW ÌàÌiIV[^jµ ¬µÄ¢éBV cbgKgåwÅÍV ©»i»µÄÈ¢ªC¡ãAvVXeÉ fBXNðÁ¥Æ·ésRbpX[Ṳ 98 NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003 JðsÁÄ¢éB¤Æ»É¼·é¤Ì iáFüû 150 mmCoû 220 mmjB±Ìæ¤ ½ßéÆÆ̤¯¤ª½¢Bú{ÅÍtF È÷¬EÍø¦ÈCWFNVmYÆ gb[UÆ¢¤Æܾܾ¤p[UÆ¢ µÄp¢çêéBܽCGWÌV_[ ¤´ª éªC[bpiÁÉhCcjÅÍ àÇ\ÊÉ÷×\¢`¬·é±ÆÉæèCÌ ùÉ»i»ðÚwµ½¤JªißçêÄ¢ á¸Éàð§ÂB»¡Ì éûÍvWFNg éBETH ÅÍ SESAMCVfBXNiV Ì HP9) ©çSÒÉA·é±Æð¨©ßv cbgKgåÆ̤¯¤jðp¢½o µÜ·B÷×ÁHÍ PRIMUS vWFNgC ÍCJÔµÌZpX[UisRbCtF ãÃÍ MUSKL vWFNgð²Qƺ³¢B gbj̤ðsÁÄ¢éBoÍÅÍoÍ 72 WCpX 800 fsCJÔµ 56 MHzC JÔµÅÍoÍ 110 mWCpXsRbCJ Ôµ 157 MHz ÜÅB¬µÄ¢é6),7)B D. Nanofair 2003 W¦ï W¦ïÍ` [bq©çdÔÅÉ 1 ÔC{[fÎÉöߢUNgKÌI C. hCcɨ¯é[U÷×ÁH̤ J }bZÉÄsíê½BUNgK10) Í ¢E¶»âYÉwè³êÄ¢éC¹@Æå¹° Et®}ÙÌ élû 7 lÌsÅ éB hCcÅÍtFgbpX[UÌÆv ܽéç@ÛED¨ÆÌ·ñÈXÅà WFNgutFgbeNmW[vi1999_ éBW¦ïÅÌoWÒÍ 79 cÌ Á½ª TOP 2004 NjªsíêĨèC{bV E_C NANO 21 ̬ÊñïÆ¢¤F¢ªZC [NCX[ª[U÷×ÁHZpJÌ ÙÆñǪÖA·é@ÖÌW¦Å éBime ½ßQüµÄ¢éB±ÌÙ©ÉàJ[c@C NmW[ÌW¦ïÆ¢¤±Æżªç¢Ì XEp[tFNgrW8) ªãêìi W¦Í SPM ÖAiuCv[uCimXe ÈCáÈ¡ÃÈÇjÅtFgbpX[U [WÈÇjÅ Á½BXCXÉÍ IBM ` [ ðp¢½¡ÃuðJµC»i»iKÆÈÁ bq¤ª èC1986 NÉ STM ̾ Ä¢éB±ÌvWFNgÅsíêÄ¢é[ Å 2 ¼Ìm[xÜóÜÒðyoµÄ¢é½ U÷×ÁH̤J̬ÊÉ¢ÄÈPÉà ßñíɱ̪ì̤ª·ñÅ éB±Ì ¾·éB½Ì÷×ÁHɨ¢ÄÍÅKÈp 100 NÌm[xÜóÜÒi¨wCãwE XÍsRbi10 ps öxjÅ éB±êÍi ¶¨wC»wjðä×éÆXCX 15Cú{ 9 mbÅÍMÌe¿CtFgbÅÍvY}` Å éBú{Æä×ÄÊÏ 1/10Clû 1/20 Å ¬ÉæéÁH`óÌò»ª¶¶é½ßÅ éB éÉà©©íç¸C³|IÉXCXª½¢± ½¾µC_CAhÌÁHâãÃprÉ¢ ÆÉÁ¢½BܽhCcÉ×ڵĢé½ß ÄÍtFgb[UªLÅ éBtFg ©C é¢Í¸§@BHƪBµÄ¢é½ß b[UÁHÅÍÁH𸳷é±ÆÉæè ©C÷¬õwiÌ[Jà¢Â© Á½B vY}`¬ª}§Å«éBà®ÌAu[ µ©µCärI¬KÍÈéƪ½ÚqÍXC VÁHðs¤ÛCÆË[UÌÎõûüÆ Xà©[bpàÅ éBTOP NANO 21 ÁH`óÉÖª éBíÉÁHûüƽsÈ É¨¯éÎÛªìͶ½ÈwEc[®Z ÎõÆÈéæ¤É[Uð¸·éÆ\ʪ½ TEõw®dqiEÞ¿®\ÊET[rXE ÈÁHªÂ\Å éBܽCñ]·éEGb ³ç®¤ÆñíɽòÉí½ÁÄ¢éBú{ WîÂÉæè[Ur[ð~óÉñ]³¹ ÌimeNmW[vOÌ 1/10 ÙÇÌ ÄCÓÌe[ppðàÂÁHfÊð`¬Å«é \ZȪç 250 ÈãÌvWFNgðsÁÄ 99 NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003 ¨èCNano Conference Ì|X^[ZbV à 172 Á½BNanofair 2004 Í 2004 N 9 14 ú©ç 16 úɯ¶êÅJóêé11)B F. ¨ í è É [bpͽ̪ärIßÉÊuµC EU ÈÇÌggÝà é½ßñíÉÛIȤ E. »Ì¼ÌKâæ ¯¤ª·ñÅ Á½BܽCw¶E¤ÒÌ ³çvOÉàñíÉÍðüêÄ¢½B½ PubWåwÍ[bpÅàÁÆàà ̤ÒÆîñð··é±ÆªÅ«ÄÆÄà ¢åwÌÐÆÂÅ éBHwÌõÊMÖWÌ LÓ`Å Á½BÅãÉ¡ñKâæÆÌúö² ¤ºð©wµ½ªC}`[hÊMEZ ®yѯsµÄ²¸ðµÄ¢½¾¢½ £¬ÊMEAiOÊMÈÇúÄÌõÊMÌ NEDO imeNmW[EÞ¿ZpJºR ¤ÆÍê¡áÁ½¤ð±¯Ä¢½Bú§P oPÍÙ©ÖWÒeÊÉ[´ÓvµÜ·B ubW¤ÅͧxEimG NgjNXEÊqîñÈÇ̤ðsÁÄ¢ éBõwÁ«]¿Ì½ßÉtFgbpX [Uð컵Ģ½ J. J. Baumberg ªTE TvgåɳöƵÄÚеÄÊïÅ«È ©Á½ÌªcOÅ Á½BLxfBbV ¤iPubWą̊wÈjÍ}bN XEFC[[Cg\CUtH[ Ql¶£ 1) ãVÙ©CNEW GLASS, Vol. 16, No. 1, 3 (2001). 2) R. Ell Ù©COptics Letters, Vol. 26, Issue 6, 373 (2001). 3) U. Keller, Nature, Vol. 424, 831 (2003). 4 ) A. Baltuska Ù © C Nature, Vol. 421, 611 (2003). hCubOª¤·ððCµÄ«½¤ 5) http://optics.org/articles/news/9/8/23/1 Å èC½Ìm[xÜóÜÒðyoµÄ« 6) E. Innerhofer Ù©COptics Lettters, Vol. 28, ½BW¦ºÉͳܴÜÈðjIÀ±@íª è´³ÊÅ Á½BCGiÅÍAbxõw¨ ÙàKêC°÷¾EKlE]¾ÈÇÌð jCJ[c@CXâVbgÆÌð¬ÈÇÉ ¹ªMÈÁ½BEMPA ÅÍ@ÛÉA± CVD No. 5, 367 (2003). 7) L. Krainer Ù©CJ. of Quantum Electronics, Vol. 38, No. 10, 1331 (2002). 8) http://www.2010pv.com/en/fset.html 9) http:// www.fgsw.unistuttgart.de /fst /english/ projects/index.html R[g·éuâimoCIÖAÌÀ±ºð© 10) http://www.myswiss.jp/area/stgallen.htm wµ½B̤ªìÉÍ ÜèÖAÈ¢àÌ 11) http://www.nanofair.ch Å Á½ªCÆÄ໡[¢¤Å Á½B 100
© Copyright 2024 Paperzz