2) ヨーロッパにおけるレーザ微細加工に関する研究開発動向調査報告

R
‰
€
ˆ[bpɨ¯éŒ[U÷×ÁHÉÖ·é
¤†J­®ü²¸ñ
Ð j…[K‰XtH[‰€
ò
imK‰X­Τ†º
¬ c
P A
Report on Research and Development of Laser Micro­processing
in Europe
Yosihiro Narita
Tsukuba Research Laboratory, NEW GLASS FORUM
A.
ͶßÉ
äXÍ»ÝVGl‹M[EYÆZp‡J­
@\iNEDOjÌÏõð󯽬 13 Nxæè
ÆàÉimJ[{“CimK‰XvWFNg
ÌÐîðsÁ½BKâæÌàóÍZp‹XŒ[
Ú[J 2CŒ[Ṳ†@Ö 5C»Ì¼ 3
Ìv 10 –ŠÅ éB
imK‰XZpvWFNg1)ðsÁÄ¢éB
±ÌvWFNgÅdvÈZpÌꪴZp
‹XŒ[UÅ éBµ©µäXÍ ­Üņ[
B. Zp‹XŒ[Ṳ†J­®ü
UÅ èC´Zp‹XŒ[ṲƘpÌÂÛ
Ti F Sapphire ð p ¢ ½ t F € g b p ‹ X
ª{vWFNg̬÷ð¶E·éÆl¦çê
Œ[UÍ»ÌL¢˜¾Ñæ©ç” fs ÌZp‹
éB»±ÅŒ[U÷×ÁHZpÌÅV®üðT
X­¶ªÂ\Å èC»ÝÜÅɽ­Ì¤
é½ßCŒ[UÁH̤ƻÉÍðüêÄ¢é
†2),3) ªÈ³êÄ«Ä¢éBo‹N‹»ðp¢
hCcð†SÉÖA·éˆ[bp̤†@Ö
ÄRqŒ“gCXyNg‰EtBWbNXC
ðKâµÄîñûWðsÁÄ«½B\ 1 ÉK
tF€gŒ[U[YÈǪtF€gbp‹X
âæðÜÆß½B
Œ[UÌ»i»ðsÁÄ¢éBßNÅͱÌÙ
Nanofair 2003 ÍXCXÌimeNmW[
©ÉàóyÞYÁõt@Coi»i»C€‰E
‘ÆvWFNg TOP NANO 21 åÃÅsí
AŠJÈÇjCŒ[U‹»iTiFSapphire,
꽑ÛW¦ïÅ èCYÆZp‡¤†ŠÆ
NdFYAG ÈÇj̖~ÕiV“fBXNC»
NEDO ª¤¯ÅW¦ðsÁ½BNEDO ÌW¦
i»^C€o“hEBYjÈÇðp¢Ä” 10
ÅÍ NEDO ÌimeNmW[ÖÌægÝÆ
© ç ” 100 fs Ì Œ [ U p ‹ X ª ­ ¶  \ Æ
9
§300_2635 ïé§Â­ÎsŒõä 5_9_
}g¤†R“\[VA€æ 2 Te‰Cg 2F
TEL 029_
848_1880
FAX 029_
848_1882
E­mail: narita—ngp.trc­net.co.jp
ÈÁÄ«Ä¢éB±êçõt@CoCV“fB
XNðp¢½tF€gbp‹XŒ[UÍärI
Vµ¢»iÅ èC¡ãÌWJªúÒ³êéB
¡ñKâµ½ 2 –ŠÌ[JitF€gŒ[
97
NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003
\P
Kâæê—
U[YC^C€o“hEBYjÍ»ê¼êEB
¢Äà»i»Ì\èÅ éB„ÂlƵÄ͂
[“HÈåwCXCXAMHÈåwiETHj
oÍi”\ WjC‚JÔµi”\ MHzjÈTu
©çÌXs“ItÅ éBtF€gŒ[U[Y
sRbŒ[Uªá¿iÅ»i»Å«êÎCŒ[
Í`^“Tt@CA‹»ðp¢½Zp‹XŒ[
UÆËÉæéOŸ³õñH`¬Ì¤Æ»ª®Á
Uð»i»µÄ¨èC»Ìp‹X 12 fs Í»
Æß­ÈéÌÅÍÆ´¶Ä¢éÌÅ ETH ̤
Ý»iÆÈÁÄ¢éàÌÌÈ©ÅÅàZ¢BÁ
†¬ÊÆ¡ãÌiWÉ¢ÄÍñíÉÖSð
·ÆµÄÍ`ƒ[vUdÌ~‰[ÌgpÉæè
ÁÄ¢éB
‚i¿ÈŒ[Up‹Xð­¶Â\ȱÆÅ ŸÉ¤†@ÖÅÌ®üÉ¢ÄÜÆßéBT
éB¡ãÌWJƵÄÍLƒŠAG“x[v
ET“vg“åCCGiåCIPHT Å͂oÍ
ʊ̧äÉæéZp‹Xi`5 fsjÌÀè­
Ìt@CoŒ[Ṳ†ðsÁÄ¢éBIPHT
¶4)CßOazû~‰[ÉæéŒ[U­¶ÌZ
ÍB§Ì¤†@ÖÅCGiåƤ¯¤†ðsÁ
‹tX^[gCÀè»ÉÍðüêÄ¢­æ¤
Ä¢éBTET“vg“åÍõt@CoitH
¾Bêû^C€o“hEBYÅÍ ETH Å̤
gjbNNŠX^‹t@CoðÜÞjCóyÞ
†¬ÊÉΞµÄ‚oÍC‚JÔµÌp‹X
YÁõt@Co̤†ÅÍ¢EÌgbvÅ
Œ[UÌ»i»ðÚwµÄ¢éBÁ·Í ETH
éBp‹XŒ[UÅÍÈ¢ªCCW V“O‹
ÅlijêC»¢³êĢ鼱ÌßOazû
‚[hõt@CoŒ[UÅoÍ 1 kW ðB¬5)
~‰[iSESAMjðp¢CStuttgart åÌV“
µÄ¢éBCGiåÅà¯ľ[UÅoÍ
fBXNðŒ[U­¶¹ÆµÄ¢é±ÆÅ 700 W ðB¬µÄ¢éB»Ý‚oÍt@Co
éBV“fBXNÌÁ·ÍŒ[U}¿ª–¢Ì
Œ[UÌÅåè[JÅ é IPGiVAj
ÅMøʪá¸Å«éCSESAM Éæé\Šg
Í CW V “ O ‹ ‚ [ h t @ C o o Í Å 300
“‚[h¯úÉæèZp‹X­¶·é½ßãN
WC}‹`‚[ht@CooÍÅ 10 kW ÌV
õ¹Ìr[€i¿iM2 jª«­Äà梱Æ
Xe€ðùÉ»i»6)µÄ¢éB¡ãˆ[b
Å éB±Ì½ß‚oÍC‚JÔµÌZp‹X
pÅÌt@CoŒ[U‚oÍ»£ˆÌWJªy
Œ[Uðá¿iÉ·é±ÆªÅ«éBcOȪ
µÝÅ éBZp‹Xt@CoŒ[UÉÖµÄ
ç»óÍtF€gbp‹XŒ[UÍJÔµ 100
ÍCGiåÅoÍ 75 WCp‹X 350 fs ðB
MHzCoÍ 500 mW ÌàÌiIVŒ[^jµ
¬µÄ¢éBV…cbgK‹gåwÅÍV“
©»i»µÄÈ¢ªC¡ãA“vVXe€ÉÂ
fBXNðÁ¥Æ·ésRbp‹XŒ[Ṳ
98
NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003
†J­ðsÁÄ¢éB¤Æ»É¼‹·é¤†Ì
iáFüû 150 mmCoû 220 mmjB±Ìæ¤
½ßéÆÆ̤¯¤†ª½¢Bú{ÅÍtF€
È÷¬E͂ø¦ÈC“WFNV‡“mY‹Æ
gbŒ[UÆ¢¤Æܾܾ¤†pŒ[UÆ¢
µÄp¢çêéBܽCG“W“ÌVŠ“_[
¤´ª éªCˆ[bpiÁÉhCcjÅÍ
àÇ\ÊÉ÷×\¢`¬·é±ÆÉæè€CÌ
ùÉ»i»ðÚwµ½¤†J­ªißçêÄ¢
á¸Éàð§ÂB»¡Ì éûÍvWFNg
éBETH ÅÍ SESAMCV“fBXNiV…
Ì HP9) ©çS–ÒÉA·é±Æð¨©ßv
cbgK‹gåÆ̤¯¤†jðp¢½‚o
µÜ·B÷×ÁHÍ PRIMUS vWFNgC
ÍC‚JÔµÌZp‹XŒ[UisRbCtF
ãÃÍ MUSKL vWFNgð²Qƺ³¢B
€gbj̤†ðsÁÄ¢éB‚oÍÅÍoÍ
72 WCp‹X 800 fsCJÔµ 56 MHzC‚
JÔµÅÍoÍ 110 mWCp‹XsRbCJ
Ôµ 157 MHz ÜÅB¬µÄ¢é6),7)B
D. Nanofair 2003 W¦ï
W¦ïÍ`…[Šbq©çdÔÅŒÉ 1 ž
ÔC{[f“ÎÉöߢU“NgKŒ“ÌI‹
C. hCcɨ¯éŒ[U÷×ÁH̤
†J­
}bZÉÄsíê½BU“NgKŒ“10) Í
¢E¶»âYÉwè³êÄ¢éC¹@Æå¹°
Et®}‘ÙÌ élû 7 œlÌsÅ éB
hCcÅÍtF€gbp‹XŒ[ȖÆv
ܽí©ç@ÛED¨ÆÌ·ñÈXÅà WFNgutF€gbeNmW[vi1999_
éBW¦ïÅÌoWÒÍ 79 cÌ Á½ª TOP
2004 NjªsíêĨèC{bV…E_C€
NANO 21 ̬ÊñïÆ¢¤F‡¢ªZ­C
‰[N‰CX‰[ªŒ[U÷×ÁHZpJ­Ì
ÙÆñǪÖA·é@ÖÌW¦Å éBime
½ßQüµÄ¢éB±ÌÙ©ÉàJ[‹c@C
NmW[ÌW¦ïÆ¢¤±Æżª­ç¢Ì
XEp[tFNgrW‡“8) ªãêìi•
W¦Í SPM ÖAi•uCv[uCimXe
ÈCáÈ¡ÃÈÇjÅtF€gbp‹XŒ[U
[WÈÇjÅ Á½BXCXÉÍ IBM `…[
ðp¢½¡Ã•uðJ­µC»i»iKÆÈÁ
Šbq¤†Šª èC1986 NÉ STM Ì­¾
Ä¢éB±ÌvWFNgÅsíêÄ¢éŒ[
Å 2 ¼Ìm[x‹ÜóÜÒðyoµÄ¢é½
U÷×ÁH̤†J­Ì¬ÊÉ¢ÄÈPÉà
ßñíɱ̪ì̤†ª·ñÅ éB±Ì
¾·éB½­Ì÷×ÁHɨ¢ÄÍÅKÈp‹
100 NÌm[x‹ÜóÜҔi¨wCãwE
XÍsRbi10 ps öxjÅ éB±êÍi
¶¨wC»wjðä×éÆXCX 15Cú{ 9
mbÅÍMÌe¿CtF€gbÅÍv‰Y}`
Å éBú{Æä×ÄÊÏ 1/10Clû 1/20 Å
¬ÉæéÁH`óÌò»ª¶¶é½ßÅ éB
éÉà©©íç¸C³|IÉXCXª½¢±
½¾µC_CA‚“hÌÁHâãÃprÉ¢
ÆÉÁ¢½BܽhCcÉ×ڵĢé½ß
ÄÍtF€gbŒ[UªL˜Å éBtF€g
©C é¢Í¸§@BHƪ­BµÄ¢é½ß
bŒ[UÁHÅÍÁH”𸳷é±ÆÉæè
©C÷¬õw”í[Jࢭ© Á½B
v‰Y}`¬ª}§Å«éBà®ÌAuŒ[
µ©µCärI¬KÍÈéƪ½­ÚqÍXC
V‡“ÁHðs¤ÛCÆˌ[UÌÎõûüÆ
X‘ੈ[bpàÅ éBTOP NANO 21
ÁH`óɊ֪ éBíÉÁHûüƽsÈ
ɨ¯éÎÛªìͶ½ÈwEc[‹®Z“
ÎõÆÈéæ¤ÉŒ[U𖸷éÆ\ʪ½
TEõw®dq”iEÞ¿®\ÊET[rXE
ŠÈÁHªÂ\Å éBܽCñ]·éEGb
³ç®¤†ÆñíɽòÉí½ÁÄ¢éBú{
WîÂÉæèŒ[Ur[€ð~óÉñ]³¹
ÌimeNmW[vO‰€Ì 1/10 ÙÇÌ
ÄCÓÌe[ppðàÂÁHfÊð`¬Å«é
\ZȪç 250 ÈãÌvWFNgðsÁÄ
99
NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003
¨èCNano Conference Ì|X^[ZbV‡“
à 172  Á½BNanofair 2004 Í 2004 N 9
Ž 14 ú©ç 16 úɯ¶êŠÅJóêé11)B
F. ¨ í è É
ˆ[bpͽ­Ì‘ªärIß­ÉÊuµC
EU ÈÇÌggÝà é½ßñíɑÛIȤ
E. »Ì¼ÌKâæ
¯¤†ª·ñÅ Á½BܽCw¶E¤†ÒÌ
³çvO‰€ÉàñíÉÍðüêÄ¢½B½
P“uŠbWåw͈[bpÅàÁÆàÃ
­Ì¤†ÒÆîñð··é±ÆªÅ«ÄÆÄà
¢åwÌÐÆÂÅ éBHw”ÌõÊMÖWÌ
LÓ`Å Á½BÅãÉ¡ñKâæÆÌúö²
¤†ºð©wµ½ªC}‹`‚[hÊMEZ—
®yѯsµÄ²¸ð‡•µÄ¢½¾¢½
£‚¬ÊMEAiOÊMÈÇúÄÌõÊMÌ
NEDO imeNmW[EÞ¿ZpJ­ºR
¤†ÆÍê¡áÁ½¤†ð±¯Ä¢½Bú§P
oṔ٩ÖWÒeÊÉ[­´ÓvµÜ·B
“uŠbW¤†ŠÅ͂§x‚ŠEimGŒ
NgjNXEÊqîñÈÇ̤†ðsÁÄ¢
éBõwÁ«]¿Ì½ßÉtF€gbp‹X
Œ[Uð컵Ģ½ J. J. Baumberg ªTE
T“vg“åɳöƵÄÚеÄÊïÅ«È
©Á½ÌªcOÅ Á½BLƒx“fBbV…
¤†ŠiP“uŠbWą̊wÈjÍ}bN
XEF‹CŒ[Š[Cg€\“C‰UtH[
Ql¶£
1) 㙟V٩CNEW GLASS, Vol. 16, No. 1, 3
(2001).
2) R. Ell Ù©COptics Letters, Vol. 26, Issue 6, 373
(2001).
3) U. Keller, Nature, Vol. 424, 831 (2003).
4 ) A. Baltuska Ù © C Nature,
Vol.
421,
611
(2003).
hCu‰bOª¤†Š·ððCµÄ«½¤†Š
5) http://optics.org/articles/news/9/8/23/1
Å èC½­Ìm[x‹ÜóÜÒðyoµÄ«
6) E. Innerhofer Ù©COptics Lettters, Vol. 28,
½BW¦ºÉͳܴÜÈðjIÀ±@íª è´³ÊÅ Á½BCGiÅÍAbxõwŽ¨
ÙàKêC°÷¾EKlE]“¾ÈÇÌð
jCJ[‹c@CXâV‡bgÆÌð¬ÈÇÉ
¹ªM­ÈÁ½BEMPA ÅÍ@ÛÉA± CVD
No. 5, 367 (2003).
7) L. Krainer Ù©CJ. of Quantum Electronics,
Vol. 38, No. 10, 1331 (2002).
8) http://www.2010pv.com/en/fset.html
9) http:// www.fgsw.uni­stuttgart.de /fst /english/
projects/index.html
R[g·é•uâimoCIÖAÌÀ±ºð©
10) http://www.myswiss.jp/area/stgallen.htm
wµ½B„̤†ªìÉÍ ÜèÖAÈ¢àÌ
11) http://www.nanofair.ch
Å Á½ªCÆÄ໡[¢¤†Å Á½B
100