R
[bpɨ¯é[U÷×ÁHÉÖ·é
¤J®ü²¸ñ
Ð j
[KXtH[
ò
imKXÂΤº
¬ c
P A
Report on Research and Development of Laser Microprocessing
in Europe
Yosihiro Narita
Tsukuba Research Laboratory, NEW GLASS FORUM
A.
ͶßÉ
äXÍ»ÝVGlM[EYÆZpJ
@\iNEDOjÌÏõð󯽬 13 Nxæè
ÆàÉimJ[{CimKXvWFNg
ÌÐîðsÁ½BKâæÌàóÍZpX[
UÌ[J 2C[Ṳ@Ö 5C»Ì¼ 3
Ìv 10 Å éB
imKXZpvWFNg1)ðsÁÄ¢éB
±ÌvWFNgÅdvÈZpÌꪴZp
X[UÅ éBµ©µäXÍ ÜÅ[
B. ZpX[ṲJ®ü
UÅ èC´ZpX[ṲÆpÌÂÛ
Ti F Sapphire ð p ¢ ½ t F g b p X
ª{vWFNg̬÷ð¶E·éÆl¦çê
[UÍ»ÌL¢¾Ñæ©ç fs ÌZp
éB»±Å[U÷×ÁHZpÌÅV®üðT
X¶ªÂ\Å èC»ÝÜÅɽ̤
é½ßC[UÁH̤ƻÉÍðüêÄ¢é
2),3) ªÈ³êīĢéBoN»ðp¢
hCcðSÉÖA·é[bp̤@Ö
ÄRqgCXyNgEtBWbNXC
ðKâµÄîñûWðsÁÄ«½B\ 1 ÉK
tFg[U[Y邻tFgbpX
âæðÜÆß½B
[UÌ»i»ðsÁÄ¢éBßNÅͱÌÙ
Nanofair 2003 ÍXCXÌimeNmW[
©ÉàóyÞYÁõt@Coi»i»CE
ÆvWFNg TOP NANO 21 åÃÅsí
AJÈÇjC[U»iTiFSapphire,
ê½ÛW¦ïÅ èCYÆZp¤Æ
NdFYAG ÈÇjÌ~ÕiVfBXNC»
NEDO ª¤¯ÅW¦ðsÁ½BNEDO ÌW¦
i»^CohEBYjÈÇðp¢Ä 10
ÅÍ NEDO ÌimeNmW[ÖÌægÝÆ
© ç 100 fs Ì [ U p X ª ¶ Â \ Æ
9
§300_2635 ïé§ÂÎsõä 5_9_
}g¤R\[VAæ 2 TeCg 2F
TEL 029_
848_1880
FAX 029_
848_1882
Email: naritangp.trcnet.co.jp
ÈÁīĢéB±êçõt@CoCVfB
XNðp¢½tFgbpX[UÍärI
Vµ¢»iÅ èC¡ãÌWJªúÒ³êéB
¡ñKâµ½ 2 Ì[JitFg[
97
NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003
\P
Kâæê
U[YC^CohEBYjÍ»ê¼êEB
¢Äà»i»Ì\èÅ éBÂlƵÄÍ
[HÈåwCXCXAMHÈåwiETHj
oÍi\ WjCJÔµi\ MHzjÈTu
©çÌXsItÅ éBtFg[U[Y
sRb[Uªá¿iÅ»i»Å«êÎC[
Í`^Tt@CA»ðp¢½ZpX[
UÆËÉæéO³õñH`¬Ì¤Æ»ª®Á
Uð»i»µÄ¨èC»ÌpX 12 fs Í»
ÆßÈéÌÅÍÆ´¶Ä¢éÌÅ ETH ̤
Ý»iÆÈÁÄ¢éàÌÌÈ©ÅÅàZ¢BÁ
¬ÊÆ¡ãÌiWÉ¢ÄÍñíÉÖSð
·ÆµÄÍ`[vUdÌ~[ÌgpÉæè
ÁÄ¢éB
i¿È[UpXð¶Â\ȱÆÅ ɤ@ÖÅÌ®üÉ¢ÄÜÆßéBT
éB¡ãÌWJƵÄÍLAGx[v
ETvgåCCGiåCIPHT ÅÍoÍ
Ȩ̂äÉæéZpXi`5 fsjÌÀè
Ìt@Co[ṲðsÁÄ¢éBIPHT
¶4)CßOazû~[Éæé[U¶ÌZ
ÍB§Ì¤@ÖÅCGi寤¯¤ðsÁ
tX^[gCÀè»ÉÍðüêÄ¢æ¤
Ä¢éBTETvgåÍõt@CoitH
¾Bêû^CohEBYÅÍ ETH Å̤
gjbNNX^t@CoðÜÞjCóyÞ
¬ÊÉεÄoÍCJÔµÌpX
YÁõt@Co̤ÅÍ¢EÌgbvÅ
[UÌ»i»ðÚwµÄ¢éBÁ·Í ETH
éBpX[UÅÍÈ¢ªCCW VO
ÅlijêC»¢³êĢ鼱ÌßOazû
[hõt@Co[UÅoÍ 1 kW ðB¬5)
~[iSESAMjðp¢CStuttgart åÌV
µÄ¢éBCGiåÅà¯lÌ[UÅoÍ
fBXNð[U¶¹ÆµÄ¢é±ÆÅ 700 W ðB¬µÄ¢éB»ÝoÍt@Co
éBVfBXNÌÁ·Í[U}¿ª¢Ì
[UÌÅåè[JÅ é IPGiVAj
ÅMøÊªá¸Å«éCSESAM Éæé\g
Í CW V O [ h t @ C o o Í Å 300
[h¯úÉæèZpX¶·é½ßãN
WC}`[ht@CooÍÅ 10 kW ÌV
õ¹Ìr[i¿iM2 jª«Äàæ¢±Æ
XeðùÉ»i»6)µÄ¢éB¡ã[b
Å éB±Ì½ßoÍCJÔµÌZpX
pÅÌt@Co[UoÍ»£ÌWJªy
[Uðá¿iɷ鱯ªÅ«éBcOȪ
µÝÅ éBZpXt@Co[UÉÖµÄ
ç»óÍtFgbpX[UÍJÔµ 100
ÍCGiåÅoÍ 75 WCpX 350 fs ðB
MHzCoÍ 500 mW ÌàÌiIV[^jµ
¬µÄ¢éBV
cbgKgåwÅÍV
©»i»µÄÈ¢ªC¡ãAvVXeÉÂ
fBXNðÁ¥Æ·ésRbpX[Ṳ
98
NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003
JðsÁÄ¢éB¤Æ»É¼·é¤Ì
iáFüû 150 mmCoû 220 mmjB±Ìæ¤
½ßéÆÆÌ¤¯¤ª½¢Bú{ÅÍtF
È÷¬EÍø¦ÈCWFNVmYÆ
gb[UÆ¢¤ÆÜ¾Ü¾¤p[UÆ¢
µÄp¢çêéBܽCGWÌV_[
¤´ª éªC[bpiÁÉhCcjÅÍ
àÇ\ÊÉ÷×\¢`¬·é±ÆÉæèCÌ
ùÉ»i»ðÚwµ½¤JªißçêÄ¢
á¸Éàð§ÂB»¡Ì éûÍvWFNg
éBETH ÅÍ SESAMCVfBXNiV
Ì HP9) ©çSÒÉA·é±Æð¨©ßv
cbgKgåÆÌ¤¯¤jðp¢½o
µÜ·B÷×ÁHÍ PRIMUS vWFNgC
ÍCJÔµÌZpX[UisRbCtF
ãÃÍ MUSKL vWFNgð²Qƺ³¢B
gbj̤ðsÁÄ¢éBoÍÅÍoÍ
72 WCpX 800 fsCJÔµ 56 MHzC
JÔµÅÍoÍ 110 mWCpXsRbCJ
Ôµ 157 MHz ÜÅB¬µÄ¢é6),7)B
D. Nanofair 2003 W¦ï
W¦ïÍ`
[bq©çdÔÅÉ 1
ÔC{[fÎÉöߢUNgKÌI
C. hCcɨ¯é[U÷×ÁH̤
J
}bZÉÄsíê½BUNgK10) Í
¢E¶»âYÉwè³êÄ¢éC¹@Æå¹°
Et®}ÙÌ élû 7 lÌsÅ éB
hCcÅÍtFgbpX[UÌÆv
ܽéç@ÛED¨ÆÌ·ñÈXÅà WFNgutFgbeNmW[vi1999_
éBW¦ïÅÌoWÒÍ 79 cÌ Á½ª TOP
2004 NjªsíêĨèC{bV
E_C
NANO 21 ̬ÊñïÆ¢¤F¢ªZC
[NCX[ª[U÷×ÁHZpJÌ
ÙÆñǪÖA·é@ÖÌW¦Å éBime
½ßQüµÄ¢éB±ÌÙ©ÉàJ[c@C
NmW[ÌW¦ïÆ¢¤±ÆÅ¼ªç¢Ì
XEp[tFNgrW8) ªãêìi
W¦Í SPM ÖAiuCv[uCimXe
ÈCáÈ¡ÃÈÇjÅtFgbpX[U
[WÈÇjÅ Á½BXCXÉÍ IBM `
[
ðp¢½¡ÃuðJµC»i»iKÆÈÁ
bq¤ª èC1986 NÉ STM ̾
Ä¢éB±ÌvWFNgÅsíêÄ¢é[
Å 2 ¼Ìm[xÜóÜÒðyoµÄ¢é½
U÷×ÁH̤J̬ÊÉ¢ÄÈPÉà
ßñíɱ̪ì̤ª·ñÅ éB±Ì
¾·éB½Ì÷×ÁHɨ¢ÄÍÅKÈp
100 NÌm[xÜóÜÒi¨wCãwE
XÍsRbi10 ps öxjÅ éB±êÍi
¶¨wC»wjðä×éÆXCX 15Cú{ 9
mbÅÍMÌe¿CtFgbÅÍvY}`
Å éBú{Æä×ÄÊÏ 1/10Clû 1/20 Å
¬ÉæéÁH`óÌò»ª¶¶é½ßÅ éB
éÉà©©íç¸C³|IÉXCXª½¢±
½¾µC_CAhÌÁHâãÃprÉ¢
ÆÉÁ¢½BܽhCcÉ×ڵĢé½ß
ÄÍtFgb[UªLÅ éBtFg
©C é¢Í¸§@BHƪBµÄ¢é½ß
b[UÁHÅÍÁHð¸³·é±ÆÉæè
©C÷¬õwiÌ[Jà¢Â© Á½B
vY}`¬ª}§Å«éBà®ÌAu[
µ©µCärI¬KÍÈéÆª½ÚqÍXC
VÁHðs¤ÛCÆË[UÌÎõûüÆ
Xà©[bpàÅ éBTOP NANO 21
ÁH`óÉÖª éBíÉÁHûüƽsÈ
ɨ¯éÎÛªìͶ½ÈwEc[®Z
ÎõÆÈ鿤É[Uð¸·éÆ\ʪ½
TEõw®dqiEÞ¿®\ÊET[rXE
ÈÁHªÂ\Å éBܽCñ]·éEGb
³ç®¤ÆñíɽòÉí½ÁÄ¢éBú{
WîÂÉæè[Ur[ð~óÉñ]³¹
ÌimeNmW[vOÌ 1/10 ÙÇÌ
ÄCÓÌe[ppðàÂÁHfÊð`¬Å«é
\ZȪç 250 ÈãÌvWFNgðsÁÄ
99
NEW GLASS Vol. 18 No. 4 2003
¨èCNano Conference Ì|X^[ZbV
à 172 Á½BNanofair 2004 Í 2004 N 9
14 ú©ç 16 úɯ¶êÅJóêé11)B
F. ¨ í è É
[bpͽ̪ärIßÉÊuµC
EU ÈÇÌggÝà é½ßñíÉÛIȤ
E. »Ì¼ÌKâæ
¯¤ª·ñÅ Á½BܽCw¶E¤ÒÌ
³çvOÉàñíÉÍðüêÄ¢½B½
PubWåwÍ[bpÅàÁÆàÃ
Ì¤ÒÆîñð··é±ÆªÅ«ÄÆÄà
¢åwÌÐÆÂÅ éBHwÌõÊMÖWÌ
LÓ`Å Á½BÅãÉ¡ñKâæÆÌúö²
¤ºð©wµ½ªC}`[hÊMEZ
®yѯsµÄ²¸ðµÄ¢½¾¢½
£¬ÊMEAiOÊMÈÇúÄÌõÊMÌ
NEDO imeNmW[EÞ¿ZpJºR
¤ÆÍê¡áÁ½¤ð±¯Ä¢½Bú§P
oPÍÙ©ÖWÒeÊÉ[´ÓvµÜ·B
ubW¤ÅͧxEimG
NgjNXEÊqîñÈÇ̤ðsÁÄ¢
éBõwÁ«]¿Ì½ßÉtFgbpX
[Uð컵̽ J. J. Baumberg ªTE
TvgåɳöƵÄÚеÄÊïÅ«È
©Á½ÌªcOÅ Á½BLxfBbV
¤iPubWą̊wÈjÍ}bN
XEFC[[Cg\CUtH[
Ql¶£
1) ãVÙ©CNEW GLASS, Vol. 16, No. 1, 3
(2001).
2) R. Ell Ù©COptics Letters, Vol. 26, Issue 6, 373
(2001).
3) U. Keller, Nature, Vol. 424, 831 (2003).
4 ) A. Baltuska Ù © C Nature,
Vol.
421,
611
(2003).
hCubOª¤·ððCµÄ«½¤
5) http://optics.org/articles/news/9/8/23/1
Å èC½Ìm[xÜóÜÒðyoµÄ«
6) E. Innerhofer Ù©COptics Lettters, Vol. 28,
½BW¦ºÉͳܴÜÈðjIÀ±@íª è´³ÊÅ Á½BCGiÅÍAbxõw¨
ÙàKêC°÷¾EKlE]¾ÈÇÌð
jCJ[c@CXâVbgÆÌð¬ÈÇÉ
¹ªMÈÁ½BEMPA ÅÍ@ÛÉA± CVD
No. 5, 367 (2003).
7) L. Krainer Ù©CJ. of Quantum Electronics,
Vol. 38, No. 10, 1331 (2002).
8) http://www.2010pv.com/en/fset.html
9) http:// www.fgsw.unistuttgart.de /fst /english/
projects/index.html
R[g·éuâimoCIÖAÌÀ±ºð©
10) http://www.myswiss.jp/area/stgallen.htm
wµ½B̤ªìÉÍ ÜèÖAÈ¢àÌ
11) http://www.nanofair.ch
Å Á½ªCÆÄ໡[¢¤Å Á½B
100
© Copyright 2025 Paperzz