半導体・液晶関連 液体用ポリエチレン 中空糸膜フィルタ ポリフィックスPEシリーズ 中空糸膜技術を用いた 高流量・長寿命・クリーンな高品質フィルタ 液体用ポリエチレン中空糸膜フィルタ 「ポリフィックスPEシリーズ」 は大ろ過面積を有しており、高流量・低圧損、長寿命を実現します。 また特殊洗浄を施すことにより、 フィルタからの溶出を抑制し、 半導体高純度薬品のろ過に対応できます。 用 途 Application 中空糸膜 ● フォトレジスト、 BARC、TARC、 ポリイミド、 現像液、 シンナー、超純水、 アルコール、 その他無機、有機薬品のろ過 利 点 Advantage ● 高い異物除去能力 特徴的な中空糸膜構造により、 高いゲル状異物の除去能力を発揮。 ● 低溶出 特殊素材＋特殊洗浄処理によりメタル、 有機物の溶出を低減。 ● 高流量、 低圧損、長寿命 中空糸膜フィルタ構造による大ろ過面積で ろ過プロセスの生産性向上に貢献。 仕 様 Specifications F50シリーズ （カプセルタイプ） F70シリーズ （カートリッジタイプ） ろ過精度 5nm、 10nm、 20nm、 50nm、 0.1μm フィルタメディア 材 質 ポリエチレン ハウジング Oリング ポリエチレン シリコン、EPDM、FKM、FEP被覆FKM、 パーフロ ろ過面積 − 2 2 、32,000cm（20インチ） 15,000cm（10インチ） 最大使用圧力 3,500cm2 0.4MPa at 25℃ − 0.25MPa at 25℃ 最大許容差圧 5∼40℃ 使用温度範囲 接 続 1/4 Swagelok互換またはflowell 60シリーズ 2-222、2-226 Oリング接続 流量特性 Flow Characteristics 0.08 F70シリーズ（10インチカートリッジ）使用流体 : 水（25℃） 5nm 10nm 20nm 50nm 0.1μm 0.04 0.02 0.00 F50シリーズ 5nm 0.06 差圧 （MPa） 差圧 （MPa） 0.06 0.08 使用流体 : 水 （25℃） 10nm 20nm 50nm 0.1μm 0.04 0.02 0.0 5.0 10.0 15.0 20.0 流量 （l/min） 25.0 30.0 0.00 0.0 1.0 2.0 3.0 流量 （l/min） 4.0 5.0 半導体・液晶関連 液体用ポリエチレン中空糸膜フィルタ ポリフィックスPEシリーズ 製品記号構成 カートリッジタイプ カプセルタイプ F 70 K S E 01 F – X 8 ① ② ①エンドキャップ仕様 ③ ④ ⑤ ⑥ ②カートリッジ寸法 F 50 S E 01 T – X 2 ⑦ ③膜材質 ① フラット S 10インチ B 特殊PE コード7 2-226 K 剣付き W 20インチ E PE コード8 2-222 ④膜孔径 ①本体サイズ ⑦接続仕様 なし ⑤Oリング材質 0.1μm 01 10nm J シリコン F FEP被覆FKM X ハイスペック洗浄 05 50nm 50 5nm E EPDM R パーフロ L 標準洗浄 02 20nm 20 2nm V FKM W Prewet ③ ④ ②膜材質 5インチ B 特殊PE S 3インチ E PE 1/4 Swagelok互換 F 1/4 flowell60シリーズ 10 0.1μm 01 10nm 05 50nm 50 5nm 02 20nm 20 2nm ⑤洗浄仕様 ④接続形状 T ⑤ ③膜孔径 なし ⑥洗浄仕様 10 ② X ハイスペック洗浄 L 標準洗浄 W Prewet 外形寸法 カートリッジタイプ カプセルタイプ フラットタイプ Swagelok互換 OUTLET INLET コード8 262 φ58 φ50 φ70 10インチ コード7 265 20インチ コード7 500 コード8 507 剣付タイプ 3インチ 5インチ 100 150 flowell 60シリーズ OUTLET INLET 20インチ コード7 515 10インチ コード7 327 20インチ コード7 562 コード8 275 コード8 322 コード8 510 φ58 φ50 φ70 10インチ コード7 281 3インチ 5インチ 129 178 コード8 557 下記の取扱をすると、 死亡・重症を負う可能性、 又は機器等に 甚大な損失が生じる危険性があります。 ・圧縮空気、 ガスの使用 ・最高使用圧力0.4MPa以上及び使用温度範囲以外での使用 ・異常昇圧がかかる配管での使用 ・接続ネジ部に負荷又は振動がかかる使用 ・有毒性含有の流体に使用 本カタログに記載する製品の仕様・性能数値は、 一般的な使用条件における、 ユー ザーガイドとして掲示するものです。 記載仕様を外れて使用され、 物的・人的損害が 発生しても、 当社はその責任を負いかねます。 また、 本カタログは当社が必要とする 事由により予告なく改定され、 本版以前に刊行した当該製品カタログの版は無効と なります。 右下部に発行コードが記載されていますので、製品選定の際には最新版であるか 当社までご確認下さい。 使用流体や使用方法についてご不明な点は、 当社工業フィ ルター営業部までお問合せください。 取扱店 工業フィルター営業部 〒103-0027 東京都中央区日本橋3-10-5 オンワードパークビルディング8F TEL.03-6262-1929／TEL.03-6262-1960 この印刷物は、 環境に配慮し、 植物油インキを使用しています。 J-SE-I-1509-01
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