クロムエッチング液MPM-E350 ～微細パターンのエッチングに～環境を配慮した非PＦOS系界面活性剤の働きにより、数μmのパターニングを可能とします（ＰＡＴ取得済）。 MPM-E350はフォトマスクの微細なパターンを、高精度で【特徴】エッチングするために適したエッチング液です。【用途】クロムフォトマスク用のエッチング液です。硝酸第2セリウムアンモニウム、過塩素酸、【成分】アニオン系界面活性剤、水エッチング特性エッチング速度（ Å ／ se c ） 80 金属クロム 25℃で処理することで金属クロム・ 25℃で処理することで金属クロム・酸化クロムに関わらずほぼ同じ酸化クロムに関わらずほぼ同じエッチング速度となります。エッチング速度となります。 60 酸化クロム 40 20 0 20 25 30 35 40 45 液温（℃）テストブランクス：2cm×2cmクロムブランクス外観表面張力比重：橙色透明液体：22±2mN／m（21℃）：1.166±0.003（21℃）液量30ml 液温30℃ 使用法スプレイまたはディップ荷姿ポリ容器10kg，20kg入りキャニスター缶18kg入り ※ 取扱い上の注意 ①危険性：本製品は強酸性ですので取扱いに際しては保護眼鏡保護面、保護手袋、前掛け等の保護具を着用してください。 ②保管：成分の析出の恐れがあるため２０℃以下にならないよう常温で保管してください。化成品（精密加工材料・特殊工業材料）の製造販売住所：神奈川県横浜市緑区青砥町450 連絡先： TEL 045-932-5121(代) HomePage:http://www.dnp.co.jp/finechemicals/ 0 クロムエッチング液SCE-30B ～微細パターンのエッチングに～液疲労が起こり難く、可使回数の多い経済的なエッチング液です。【特徴】液疲労しても析出物が少なく、経済的なｴｯﾁﾝｸﾞ液です。【用途】クロムフォトマスク用のエッチング液です。【成分】硝酸第2ｾﾘｳﾑｱﾝﾓﾆｳﾑ、過塩素酸、硝酸、水エッチング特性ｼﾞｬｽﾄｴｯﾁﾀｲﾑ（sec）ｼﾞｬｽﾄｴｯﾁﾀｲﾑ（sec）エッチング液の液疲労エッチング液の液疲労 160 160 140 140 基板枚数が増えても基板枚数が増えてもエッチング時間増加をエッチング時間増加を抑制します抑制します通常品 120 120 100 100 80 80 60 60 ＳＣＥ-30Ｂ 40 40 00 50 50 100 100 基板枚数基板枚数 150 150 200 200 テストブランクス：2cm×2cmｸﾛﾑﾌﾞﾗﾝｸｽ液量30ｍｌ【物性】外観：橙色透明液体比重：1.190±0.003（21℃）使用法荷姿スプレイまたはディップポリ容器10kg，20kg入りキャニスター缶18kg，100kg入り ※ 取扱い上の注意 ①危険性：本製品は強酸性ですので取扱いに際しては保護眼鏡保護面、保護手袋、前掛け等の保護具を着用してください。 ②保管：成分の析出の恐れがあるため２０℃以下にならないよう常温で保管してください。化成品（精密加工材料・特殊工業材料）の製造販売住所：神奈川県横浜市緑区青砥町450 連絡先： TEL 045-932-5121(代) HomePage:http://www.dnp.co.jp/finechemicals/ 0 クロムエッチング液MPM-E ～スタンダードなエッチング液～標準的な組成のエッチング液で、特に泡を嫌う用途に向いております。界面活性剤が添加されておりませんので発泡しません。【特徴】泡を嫌う用途にご使用ください。【用途】クロムフォトマスク用のエッチング液です。【成分】硝酸第2ｾﾘｳﾑｱﾝﾓﾆｳﾑ、過塩素酸、水エッチング特性エッチング速度（ Å ／ sec ） 80 金属クロム酸化クロム 25℃で処理することで金属クロム・ 25℃で処理することで金属クロム・酸化クロムに関わらずほぼ同じ酸化クロムに関わらずほぼ同じエッチング速度となります。エッチング速度となります。 60 40 20 0 20 25 30 35 40 45 液温（℃）テストブランクス：2cm×2cmクロムブランクス外比観重：橙色透明液体：1.190±0.003（25℃）液量30ml 液温30℃ 使用法スプレイまたはディップ荷姿ポリ容器10kg，20kg入りキャニスター缶18kg入り ※ 取扱い上の注意 ①危険性：本製品は強酸性ですので取扱いに際しては保護眼鏡保護面、保護手袋、前掛け等の保護具を着用してください。 ②保管：成分の析出の恐れがあるため２０℃以下にならないよう常温で保管してください。化成品（精密加工材料・特殊工業材料）の製造販売住所：神奈川県横浜市緑区青砥町450 連絡先： TEL 045-932-5121(代) HomePage:http://www.dnp.co.jp/finechemicals/ 0 プリｳｴｯﾄ液 PE-300 ～微細パターンのｴｯﾁﾝｸﾞ前処理用に～高精度なエッチングを行う際の前処理に使用します。概要 PE-300はフォトマスクの微細なパターンを、高精度でエッチングするために最適なエッチング前処理用プリウェット液です。当社製クロムエッチング液：MPM-E350の前処理液として、現在大手フォトマスクメーカーでご好評をいただいております。特色 ①フォトレジストパターンに対して優れた濡れ性を確保します。 ②基板面内のエッチングむらによる不良を改善します。 ③当社製クロムエッチング液：ＭＰＭ－Ｅ３５０の性能を最大限に引き出します。使用方法 ① エッチング前に基板にＰＥ-300を均一にかけ、基板に馴染ませます。ﾚｼﾞｽﾄﾚｼﾞｽﾄｸﾛﾑﾏｽｸｸﾛﾑﾏｽｸＰＥ-300の働きにより、ｴｯﾁﾝｸﾞ液成分が速やかにﾏｽｸの隅々に拡散し、均質なｴｯﾁﾝｸﾞが行われます。 ② 通常のエッチング操作をおこないますｴｯﾁﾝｸﾞ液ｴｯﾁﾝｸﾞ液成分・物性荷姿ポリ容器10kg入りキャニスター缶18kg入りアニオン系界面活性剤、有機溶剤、水 ①外観：無色透明液体 ②表面張力：27±2mN/m（21℃） ※ 取扱い上の注意 ①可燃性：本製品は有機溶剤を使用していますが可燃性はなく、危険物には該当しません。 ②毒性：吸入毒性はありませんが、取扱いには十分注意し、保護具を着用してください。 ③保管：成分の析出の恐れがあるため２０℃以下にならないよう常温で保管してください。化成品（精密加工材料・特殊工業材料）の製造販売住所：神奈川県横浜市緑区青砥町450 連絡先： TEL 045-932-5121(代) HomePage:http://www.dnp.co.jp/finechemicals/ 0 水切り剤 IT-WC3 ～ウォーターマークの抑制剤～乾燥時のウォーターマーク発生を防止し、高品質なマスク作成を助けます。概要シャドーマスクやリードフレーム等の製造過程で、現像工程前後や硬膜処理の後洗浄などに使用すると、面内を均一に濡らしますので通常乾燥時に起きるウォーターマークを防止し歩留まりを向上させることが出来ます。特色 ①濃縮ﾀｲﾌﾟなので輸送コストが低減でき、保管も省スペース。 ②中性水溶液であり非危険物なので引火の危険性もありません。使用方法原液を純水で5０～100倍程度に希釈して、スプレー等で均一にかけて使用します。特性無色透明ｐH（25℃) 6～7 表面張力（25℃） 33.0mN/m（原液) 33.0mN/m（10倍希釈時）水切り剤の希釈倍率と表面張力との関係水切り剤の希釈倍率と表面張力との関係 6060 5050 表表面面張張力力（（ｍｍＮＮ／／ｍｍ））外観 4040 3030 2020 1010 00 11 1010 100 100 希釈倍率(倍) 希釈倍率(倍) 1000 1000 10000 10000 ※ 取扱い上の注意 ①目・皮膚・衣類に触れないように適切な保護具（眼鏡等）を着用のこと。 ②凍結の恐れがあるので0℃以下にならないように注意し、冷暗所に保管すること。化成品（精密加工材料・特殊工業材料）の製造販売住所：神奈川県横浜市緑区青砥町450 連絡先： TEL 045-932-5121(代) HomePage:http://www.dnp.co.jp/finechemicals/ 0