カルレッツ®(Kalrez)

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カルレッツ®(Kalrez)
1. カルレッツ®(Kalrez)とは
CF3
―
) ｍ ( X )―
( 2 −CF――
―CF
( 2 −CF2 )――CF
ｎ
ｐ
枝分れ部
架橋部
――
主鎖部
カルレッツ
―( CF2 −CF2 )―
ｎ
主鎖部
)ｍ ( X )―
( CF2 −CF――
( 2 −CH 2 )――
―CF
ｎ
ｐ
主鎖部
テフロン
枝分れ部
フッ素ゴム
架橋部
――
―
――
OCF3
――
カルレッツ®は、パーフロロエラストマーと分類される高分子材料です。
カルレッツ®と、同じくふっ素系高分子に属するふっ素系樹脂(プラスチッ
ク)であるテフロン(PTFE:ポリテトラフルオロエチレン)、ふっ素ゴム(エ
ラストマー)の化学構造式を示しました。ふっ素樹脂、ふっ素ゴムとも
に、優れた耐熱、耐薬品性をもつことで知られています。
カルレッツ®の構造は、エラストマーの特微である主鎖部:TFE(テトラフル
オロエチレン)、枝分れ部:PMVE(パーフロロメチルビニルエーテル)、およ
び架橋部から成り、完全にふっ素化され、テフロンと極めて似た構造をし
ています。一方、ふっ素ゴムは、主鎖部の一部に、炭素−水素結合が存在
しており、この結合は、炭素−ふっ素結合より弱いために、カルレッツ®
と比較して熱的、化学的特性が低くなります。
2. カルレッツ®の特微
カルレッツ®パーフロロエラストマーは、米国デュポン社が
開発した全く新しいエラストマー材料です。このエラスト
マー材料は、テフロン®ふっ素樹脂のもつ優れた耐薬品性、
従来のふっ素ゴムを上回る耐熱性を有し、さらにゴムのも
つ弾力性を兼ね備えた画期的な製品で、世界でデュポンダ
ウエラストマー社だけが製造･販売しています。
その耐薬品性は、従来のふっ素ゴムでは使用が難しかった
エーテル類、アミン類、ケトン類、酸化剤、有機溶剤、燃
料、酸、アルカリなど、ほとんどの薬品に対して安定性を
示し、耐熱性(JIS K6301などの圧縮永久ひずみ試験の結果
に基づく)においては、300℃近くの高温においてもゴムと
しての物性を比較的保ちます。このため、例えばカルレッ
ツ®部品を半導体製造装置用シール材に用いた場合では、
● シールの長寿命化
● 半導体製品の歩留り向上
● メンテナンスコストの減少
● より低いコンタミネーション等が期待できます。
優れた耐熱性優れた耐薬品性
優
れ
て
い
る
Kalrez R
シリコン
ゴム
フッ素ゴム
耐
熱
性
EPDM
ニトリル
ゴム
耐薬品性
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お電話・FAXでのお問い合わせは Tel：03-5829-6901 Fax：03-5829-6902
優れている
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3. カルレッツ®の耐熱特性
耐熱試験による各種エラストマーとの比較
試験前試験後
試験前試験後
ふっ素ゴム
カルレッツ®
圧縮永久ひずみと耐熱特性
圧縮永久ひずみ測定は、JIS K6301によって規定されて
おり、図に示す様な測定用治具を使用してゴム試験片を
圧縮して、その状態で所定温度、時間で高温放置を行
い、その後直ちに治具より試験片を取り出し、次式によ
り圧縮永久ひずみを測定します。
ゴムが熱により劣化し、弾性が失われるとひずみの値が
大きくなります。
ふっ素ゴムは、200℃前後の温度から急激にひずみの値
が大きくなるのに対し、カルレッツ®4079は300℃でもひ
ずみ率が50％程度です。
また、200℃での長時間圧縮ひずみを測定した例では、
カルレッツ®4079は長時間ひずみ率50％以下を保持して
います。
温度に対する圧縮永久ひずみの状況（ 70時間）
ボルト及びナット
圧縮板
スペーサー
試験片
t0 −t1
CS ＝ t0 −t2 ×100
CS：圧縮永久ひずみ率（％）
t0 ：試験片の原厚
70
圧
縮 75
永
久
ひ
ず 50
み
（％）
60
カルレッツ
圧 50
縮
永
久 40
ひ
ず 30
み
(% )
20
4079
R
フッ素ゴム
0
0
100
50
150
200
250
30分後の厚さ
200°
C長時間圧縮永久ひずみ（A S568 214 Οリング）
100
25
t1 ：試験片を圧縮装置から取り出し、
t2 ：スペーサーの厚さ
フッ素ゴム
R
カルレッツ 4079
10
300
温度 (°
C）
0
0
100
300
200
400
500
600
700
800
時間 (hours)
カルレッツ®の耐熱特性表
カルレッツ®以外のエラストマーでは、ふっ素ゴム、シリコーンゴム、他
社製パーフロロエラストマー等が、比較的耐熱温度が高く約200℃までの
温度に用いられるが、200℃以上の温度に対してはカルレッツ®のみが使
用可能である。
材質4079は、カルレッツ®の各種グレードの中で最も耐熱温度の高いタイ
プ。また、材質4001は、充填材の入っていないノンフィラータイプで低
硬度。材質1050LFは、放出ガスが最も少ないタイプである。
尚、カルレッツ®とふっ素ゴム、他社製パーフロロエラストマーとの耐熱
特性について比較したデーターは次のとおりです。
材質
4079
4001
1050LF
耐熱温度圧縮永久歪（％）
（℃）
200℃、70時間
300
270
260
15
13
60
図1 2 00 °
Cでのエージング時間と圧縮永久歪の関係
図1 2 04°
Cでのエージング時間と圧縮永久歪の関係
3
80
R 4079
カルレッツ他社製パーフロエラストマー
フッ素ゴム
他社製パーフロエラストマー
60
圧
縮
永
久
ひ
ず
み
(% )
重
量
減
少
率
(% )
40
R 4079
カルレッツ 2
1
20
0
0
200
400
エージング時間 (時間）
http://www.kayo-corp.co.jp/
600
800
0
0
250
500
750
1000
エージング時間 (時間）
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4. カルレッツ®の耐薬品特性
耐薬品試験によるふっ素ゴムとの比較
試験前試験後
試験前試験後
ふっ素ゴム
カルレッツ®
カルレッツ®と従来のふっ素ゴムの耐溶剤性
室温で7日間浸漬後の体積増加率（％）
ふっ素ゴム
1
4
22
8
280
1
1
8
200
240
200
6
24
ヘキサン
シクロヘキサン
ベンゼン
トルエン
酢酸エチル
四塩化炭素
パークロロエチレン
クロロベンゼン
アセトン
メチルエチルケトン
テトラヒドロフラン
エタノール
ニトロベンゼン
カルレッツ®
＜1
＜1
3
＜1
3
4
2
＜1
2
＜1
＜1
0
＜1
カルレッツ®は他のゴムでは使えないような次の薬
品に対して優れた性能を示します。
アクリロニトリル
ブチルアルデヒドＤＮＴ
エーテル類
メチレンクロライド
スチレン
アミン類*
セロソルブ
ジオキサン酸化エチレン
窒素化合物ＴＨＦ
アニリン類*
ＤＭＦ
エピクロルヒドリン
フラフラール
シンナー類
塩化ビニール
ブタジェン類
ＤＭＴ
エステル類
ケトン類
酸化プロピレン
*耐アミン特性は、材質の種類によって大きな差がありますので、御注意下さい。
5. カルレッツ®のラインアップ
1050LF
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
4001
82
288
アミン類に対して最適の材質
で一般的な耐薬品性に優れて
いる。200℃以上の熱水/水蒸
気の雰囲気には注意。高温時
の放出ガスが最も少ない。
4079
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
56
270
充填材を含んでいない材質で
あり、硬度が最も低く、オゾ
ンなど酸化性雰囲気に対して
の最適材質。
6190
75
316
強酸、有機酸を含む一般耐薬
品性に優れたカルレッツ®の
標準材質。高温使用時におけ
る圧縮永久歪が最も優れる。
アミン類には要注意。熱サイ
クルでの使用は 280℃以下が
望ましい。
6221
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
300
成形性に優れた材質。
*量産対応グレード
6230
70
260
米国食品衛生法認証グレード
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
75
260
米国食品衛生法認証グレード
*FDA認証グレード
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6236
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
6375UP
90
250
食品・飲料・医薬品業界向。
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
75
275
幅広い腐食性流体に対して耐
薬品性が優れた材質。ウェッ
ト用途に適している。
*ヘルール
ガスケット用
グレード
6880
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
6885
70
250
特にエーテル類･エステル類･
ケトン類及びアルコール類に
優れた耐薬品性。
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
75
270
特にエーテル類･エステル類･
ケトン類及びアルコール類に
優れた耐薬品性。
*ペイント業界向け
グレード
7075UP
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
8002
75
327
耐熱性、低放出ガス特性に優
れた黒のカルレッツ材質。高
温プロセスでのシール性、機
械特性も優れている。
8085
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
69
250
充填剤を一切含まず、プラズ
マ照射時にパーティクルの発
生がほとんど無い材質。耐熱
性にも優れている。あらゆる
種類のプラズマに対して、耐
プラズマ性及び、耐熱性に優
れた材質。
8475
82
240
HDP-CVP 、 PE CVD のアプリ
ケーション用に開発されたカ
ルレッツ材質。特にNF3プラ
ズマの環境下でのパーティク
ルを低減出来る材質。機械特
性に優れているため、スリッ
トバルブ、ゲートバルブ等に
も最適。
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
72
300
耐熱性、低放出ガス特性に優
れた材質。拡散炉、LD-CVD等
の耐熱用途に実績がある。
8575
硬度（ショアA）
耐熱目安（℃）
74
280
耐プラズマ性に優れており、
カルレッツ白色材質の中でプ
ラズマエッチング等に最も実
績がある材質。
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6. カルレッツ®の物理的特性
1050LF
4001
4079
6190
6221
6230
6236
6375UP
6880
6885
7075UP
8002
8085
8475
8575
18.6
16.9
16.9
20.8
12
15.1
21.5
15.1
12
17.9
17.9
16
16.3
14.4
12
191
172
17.2
212
122
154
219
154
122
183
183
163
147
122
2.2
2.5
22.4
25.5
引張り強さ(1）
MPa
Kgf/㎠
100％モデュラス(1)
MPa
12.4
7.3
7.3
6.4
2.5
7.2
17.8
7.2
2.5
7.6
7.6
2.9
7.5
Kgf/㎠
127
74
74
65.3
25.5
73.4
182
73.4
25.5
77.5
77.5
29.6
150
150
234
230
160
142
160
230
160
160
246
159
227
230
75
75
73
70
75
90
75
70
75
75
69
82
72
74
22
22
25
25
25
16
30
35(3)
30
16
15
15
15
42
23
16
破断時の伸び
%
125
硬度デュローメーター
A±5
82
圧縮永久歪(2）
常温で70時間
%
30
204℃で70時間
%
(1)
35
ASTM Ｄ412,500㎜/min. (2)ASTM Ｄ395Ｂ pellets
(3)
200℃×22時間
比重
1.9∼2.0
摩擦係数
カルレッツ®
耐スチール
0.25∼0.60
（グレードで異なる）
線膨張係数
（25∼250℃）
0.19W/m・k
100℃
0.19W/m・k
200℃
0.19W/m・k
300℃
0.19W/m・k
熱伝導率
2.3∼3.6×10-4/℃
誘電率
1000Hz 4.9
誘電正接
1000Hz 5×10−3
100℃ 0.233cal/g
体積抵抗率
約1014∼1017Ω・cm
150℃ 0.252cal/g
耐電圧
17.7/kV/mm以上
50℃
比熱
50℃
0.226cal/g
電気特性
®
※熱膨張の注意点：カルレッツを高温使用される場合、熱膨張による体積増加を十分にご考慮ください。
カルレッツ®使用上の注意：高温・高圧下の熱水・スチームに対して御使用の際は、必ず御試験下さい。
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7. カルレッツ®の放出ガス特性
カルレッツ®は高温シール部に多く使われていま
す。シール材の熱安定性を見る方法として、TGA
法、 TEA 法がありますが、 TGA 法によるとカル
レッツ®の熱分解ピーク最大点は、490℃±15℃
であり、400℃での分解、ガス化量は1.5％以下
となっています。
また、TEA法によれば熱分解のはじまるのは、
315℃以上の高温であると判断できます。このよ
うにカルレッツ®は、他のいかなるエラストマー
よりも熱に対して安定しています。そのため、
ガス発生量も他のエラストマーと比較すると少
なくなっています。
図は、カルレッツ®のガス発生率を、ふっ素ゴ
ム、ステンレス(ブランク) と比較したもので
す。各サンプルは、テスト前に4時間のベーキン
グ処理を行っています。このテストによると、
カルレッツ®は、ふっ素ゴムと比べて非常に低い
ガス発生率となっています。
また、30℃以下では、ステンレスとかなり近い
値となっていることがわかります。
ガス発生率
10
1
フッ素ゴム
カルレッツ R
ステンレス（ブランク）
10 0
ガ
ス
発
生
率
10 −1
(Pa・ℓ/sec)
10 −2
10 −3
10 −4
100
200
300
400
温度 (°
C)
120°
C4時間のベーク後の温度とガス発生率の関係
8. カルレッツ®のガス透過特性
超高真空用シール材を選定する際、ガスの透過性は選定の判断材料の重要なポイントとなります。
ガス透過性は、ある一定温度、圧力のもとで、ガスがエラストマーを通過する量をもとに決められます。
ガスの透過はさまざまなファクターに依存する複雑な現象です。
ファクターとは例えば
● エラストマーの化学的構造
● ガスの特微
● ガスとエラストマーの構造が似ているか似ていないか
● 温度
● 圧力
表はカルレッツ®及び他のエラストマー、ふっ素樹脂のガスの透過率です。
カルレッツ®は真空用シール材として比較的良好なガス透過性を示しています。
材質
窒素
酸素
ヘリウム
アルゴン
二酸化炭素
カルレッツ 4079
0.3
1
11.2
0.68
2.53
カルレッツ®2037
0.42
1.71
14.5
0.76
3.53
バイトン*A
0.09
0.23
3.05
―
―
バイトン*GF
0.21
0.42
4.39
―
―
EPDM
0.83
2.11
3.36
―
―
28
60
34
68
323
0.17
0.53
―
―
1.36
®
シリコーンゴム
テフロン*PFA
単位：10-9cm³･cm/sec･㎠･cmHg
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9. カルレッツ®の耐プラズマ特性
一般的にシール材として用いられるエラストマーには、機械的強度増すために、充填材としてカーボンブラック
もしくは金属酸化物系顔料(白色が多い)が含まれています。
シール材がプラズマにさらされるとシール材から異物が発生しますが、これは、この充填剤と密接な関係があり
ます。白色顔料を充填剤として用いられるタイプは、シール材表面に容易にパーティクル源をプラズマ照射によ
り作ってしまいます。
クリアーカルレッツ®8001は、充填剤を含んでいないので、真空チャンバーに対するパーティクルの発生は非常
に少ないと考えられます。
図1には、クリアーカルレッツ®8001と他社製パーフロロエラストマー(白色顔料充填)の実際に装置にシール材と
して装着した時の、ウエハー上のパーティクルの発生量を示しました。
クリアーカルレッツ®8001は、パーティクルの発生が非常に少ないことがわかります。
図2、3には、クリアーカルレッツ®と他社製ノンフィラーパーフロロエラストマー(顔料無充填)に酸素プラズマ
を照射した時の重量減少のグラフと、照射後の表面のSEM写真を示しましたが、クリアーカルレッツ®は重量減少
も、表面の劣化状態も他社製ノンフィラーパーフロロエラストマーよりも優れています。
図1 酸素プラズマ照射による重量減少
図2
図1 シリコンウエハー上のパーティクル数
150
2.5
一般パーフロロエラストマー
他社製ノンフィラパーフロロエラストマー
クリアーカルレッツ R
クリアーカルレッツ R
ー
パ
2
ィ
テ
パ
ー
テ
ィ
ク
ク
ル
ル
数
数
100
重
量
減
少
（個/ウエハー）
1.5
（％）
1
50
0.5
0
0
0
40
20
250
0
装置への装着日数（日）
500
750
1000
1250
プラズマ照射量（ワットX 時間）
図３
酸素プラズマ照射後の
クリアーカルレッツ®表面のSEM写真
酸素プラズマ照射による重量減少
酸素プラズマ照射後の他社製ノンフィラー
パーフロロエラストマー表面のSEM写真
2
他社製品白色パーフロロエラストマーA
他社製品白色パーフロロエラストマーB
他社製品白色パーフロロエラストマーC
ホワイトカルレッツ R
1.5
プラズマ雰囲気下におけるシール材の重量減少は、シール材の
寿命を判断する目安となります。
図は、酸素プラズマ雰囲気下での、ホワイトカルレッツ®と他
社製白色パーフロロエラストマーとの重量減少を示しました。
ホワイトカルレッツ®は、酸素プラズマ雰囲気下で優れた耐プ
ラズマ特性を持っています。
重
量
減
少
（％）
1
0.5
0
0 250 500 750 1000 1250
プラズマ照射量 (ワットＸ時間）
10. 浸漬テストの状況例
次頁に記載されたカルレッツ®製部品についての情報は、弊社ラボでのテストに基づくものです。これらのテス
トの結果は、カルレッツ®が、耐熱性、耐薬品性において、他のエラストマーより明らかにすぐれた特性をもっ
ていることを示していますが、個々の用途については研究室では作り出せない条件もあり、したがってお客様の
あらゆる用途について保証することは不可能です。このため、使用に際しては、個々の用途に対して、使用のま
えに、独自に機能テストを行うようおすすめします。カルレッツ®製部品の破損が、大きな損害や負傷をひきお
こす可能性がある場合は、独自の機能試験を行うことが特に重要になります。エラストマー製の部品は、どれを
とっても永久に使用できるものではありません。したがってカルレッツ®製の部品といえども、上記のような重
大な応用分野で使用する場合は、定期的な点検と交換を忘れないよう、十分にお気をつけください。
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薬品名
（酸）
塩酸30％
ふっ化水素酸（混合溶液）4.8％
硫酸70％
硫酸70％
硫酸100％
硝酸70％
硝酸70％
氷酢酸
トリクロロ酢酸10％
トリフロロ酢酸
安息香酸
ほう酸
(アルカリ）
苛性ソーダ30％
水酸化アンモニウム
アンモニア溶液
（ケトン、エステル、エーテル）
酢酸ブチル
酢酸エチル
t-ブチルメチルエーテル
テトラヒドロフラン（THF）
アセトン
メチルエチルケトン（MEK)
メチルイソブチルケトン（MIBK）
ブチルセロソルブ
DOP
ブチルアルデヒド
ブチルアルデヒド
（ニトリル）
アニリン
ジエタノールアミン
エチレンジアミン
エチレンジアミン
エチレンジアミン
ヘキサメチレンジアミン
モノエタノールアミン
モノエタノールアミン
N-メチル-2-ピロリドン
トリエタノールアミン
ジメチルホルムアミド
(炭化水素)
ベンゾイルクロライド
ブタジェン
フレオン113
メチレンクロライド
メチレンクロライド
メチレンクロライド
O-ジクロロベンゼン
O-ジクロロベンゼン
トルエン
トルエン
塩化トルエンスルホニル
トリクロロートリフルオロエタン
キシレン
(アルコール)
エチレングリコール
イソブチルアルコール
メチルアルコール
フェノール
フェノール
フェノール
プロピレングリコール
(その他)
ダウサムG
エチレンオキサイド
ガソリン
モービル254
モービル254
モービルジェットⅡ
プロピレンオキサイド
ASTM標準オイルNo,3
シードロ500-B4
ストーファー7700オイル
水蒸気
サーミノール55
サーミノール65
タービンオイル
タービンオイル
バルクレーン1
水
エピクロルヒドリン
薬品英名
浸積温度
（℃）
(Acids)
Hydrochloric Acid (30%)
70
Hydrofluoric Acid Mixture (4.8%)
85
Sulfuric Acid (70%)
200
Sulfuric Acid (70%)
100
Sulfuric Acid (100%)
150
Nitric Acid (70%)
90
Nitric Acid (70%)
85
Acetic Acid (Glaｓial)
100
Trichlori Acetic acid (10%)
40
Trifluoro Aectic Acid
50
Benzoic Acid
168
Boric Acid
40
(Alkalines)
Sodium Hydroxide (30%)
85
Ammonia Hydroxide
100
Aqua Ammonia (28%)
50
(Ketones, Esters, Ethers)
Butyl Acetate
22
Ethyl Acetate
70
Methyl Tertiary Butyl Ether
40
Tetra Hydrofuran
56
Aceton
50
Methyl Ethyl Ketone
70
Methyl lsobutyl Ketone
22
Buthyl Cellosolve
22
Dioctyl Phthalate
50
Butyraldehyde
50
Butyraldehyde
60
(Nitrides)
Aniline
100
Diethanolamine
100
Ethylene Diamine
50
Ethylene Diamine
90
Ethylene Diamine
100
Hexamethlylene Diamine
90
Monoethanol Amine
150
Monoethanol Amine
100
N-Methyl-2-Pyrrolidone
90
Triethanol Amine
22
Dimethyl Formamide
100
(Hydrocarbons and hydrogenated hydrocarbons)
Benzel Chloride
90
Butadiene
100
Freon 113
50
Methylene Chloride
50
Methylene Chloride
40
Methylene Chloride
50
Ortho Dichloro Benzene
50
Ortho Dichloro Benzene
100
Toluene
22
Toluene
50
Toluene Sulphfonyl Chloride
90
Trichloro-Trifluoroethane
50
Xylene
22
(Alcohols)
Ethlylene Glycol
150
Isobutyl Alcohol
22
Methyl Alcohol
50
Phenol
50
Phenol
90
Phenol
100
Propylene Glycol
40
(Others)
DowthermG
232
Ethylene Oxide
50
Gasoline
40
Mobil 254 Lube Oil
200
Mobil 254 Lube Oil
230
Mobil Jet ⅡLube Oil
230
Propylene Ocide
50
Reference Oil3, ASTM
100
Syydlo 500-B4
125
Stouffer 7700 Oil
175
Steam
200
Therminol 55
232
Therminol 65
232
Turbine Oil MIL-L-7808
177
Turbine Oil MIL-L-7808
260
Valclene 1
40
Water
225
Epichlorohydrin
100
他のカルッレッツと
その評価
浸積時間
(h)
4079での
評価
ふっ素ゴムでの
評価
70
240
672
70
70
70
70
70
720
70
168
720
A
C
A
A
A
A
A
A
―
C
B
―
―
6375UP
―
6375UP
6375UP
6375UP
―
―
6375UP
―
6375UP
6375UP
B
A
―
―
―
―
―
―
―
B
―
―
―
―
70
70
168
A
C
-
6375UP
1050LF
6375UP
A
A
A
―
―
―
800
70
70
70
168
70
800
800
70
168
70
A
A
A
A
A
A
A
A
B
―
6375UP
6375UP
6375UP
6375UP
6375UP
―
―
―
6375UP
6375UP
70
70
70
70
70
70
70
70
70
800
70
A
A
A
C
D
C
B
B
A
A
6375UP
6375UP
―
1050LF
1050LF
1050LF
1050LF
1050LF
3018
―
3018
70
336
168
70
70
168
168
70
800
168
70
70
800
A
D
A
A
A
A
C
C
A
1050LF
1050LF
6375UP
6375UP
6375UP
6375UP
6375UP
6375UP
―
6375UP
1050LF
―
―
70
800
168
168
70
70
720
A
A
A
A
―
6375UP
―
6375UP
6375UP
6375UP
―
6375UP
168
70
672
70
336
336
70
166
70
70
168
70
70
70
70
720
70
70
A
D
A
A
A
A
C
A
B
A
―
A
A
A
A
―
B
D
6375UP
1050LF
6375UP
―
―
―
6375UP
―
1050LF
―
6375UP
6375UP
6375UP
―
―
6375UP
6375UP
6375UP
B
A
A
B
B
―
D
D
C
D
―
―
―
―
C
―
A
A
A
A
A
A
A
A
A
―
―
―
―
D
―
―
―
―
―
―
B
B
B
B
A
A
A
B
C
D
B
A
A
A
A
―
―
―
―
―
C
B
―
―
C
―
―
―
A
A
A
―
―
C
―
―
―
―
A
A
A
A
A
A
A
―
―
B
B
C
C
―
―
―
―
―
―
―
B
C
―
―
―
B
A
B
B
B
B
A
B
A:体積膨張率 5％以内 B:体積膨張率 5∼20％以内 C:体積膨張率 20∼50％ D:体積膨張率 50％以上
※ 浸漬テスト用サンプルにて必ずご確認下さい。
http://www.kayo-corp.co.jp/
お電話・FAXでのお問い合わせは Tel：03-5829-6901 Fax：03-5829-6902
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9 / 12
11. カルレッツ®の新材質サハラシリーズ/Kalrez8475
(1) 特徴
新しいポリマー技術により最高の高温シール特性及び最
高の低放出ガス特性が実現されました。
(2) 物理特性
物性値
耐熱温度(℃)
硬度（ショアA）
8475
300
73
33.6
147
227
100％モデュラス(1) Kgf/㎠
引張り強さ(1）Kgf/㎠
破断時の伸び（％）
(1)
4079
300
75
74
172
150
1050LF
260
80
127
191
110
ASTM Ｄ412,500㎜/min.
圧縮永久歪み〈336時間〉
圧縮永久歪み〈336時間〉
100
放出ガス特性
放出ガス特性
1050LF
4079
80
圧
縮 60
永
久
歪 40
み
（％）
H 2000
F
放
出
量
8475
(
p
p
m
)
20
0
0
204
280
8475
4079
1050LF
FKM
注： ①HF放出量には、テストチャンバーからの放出量も含まれています。
②イオンクロマトグラフィーによる300°
C-30分での測定値です。
300
温度（°
C）
12. ニュークリアーカルレッツ®
カルレッツ®8002
(1) 特徴
①充填剤を含んでいないためパーティクルの発生が極限まで抑えられました。
②新しいポリマー技術により透明(無充填)でありながら250℃までの高温領域で使用できるようになりました。
(2) 物理特性
物性値
耐熱温度(℃)
硬度（ショアA）
8002
250
68
192
250
引張り強さ(1）Kgf/㎠
破断時の伸び（%）
(1)
8001
150
70
107
190
4079
300
75
172
150
ASTM Ｄ412,500㎜/min.
弁体200°Cゲートバルブ装着後の断面
8002
（はみ出しなし）
8001
（はみ出しあり）
圧縮永久歪み〈 70時間〉
プラズマ照射による重量減少率
（CF4+ 02 0.9Torr 75ｗ w ith w afer)
100
1.4
圧
縮
永
久
歪
み
1.2
A 社・無充填
パーフロロゴム
1
重
量
減
少
率
8001
80
60
（％）
0.8
8001
0.6
4079
40
8002
20
B社・無充填
パーフロロゴム
0.4
8002
0
0.2
25 100 200 250
0
0
2
http://www.kayo-corp.co.jp/
4
6
時間
8
10
12
温度（°
C）
お電話・FAXでのお問い合わせは Tel：03-5829-6901 Fax：03-5829-6902
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13. カルレッツ®製品寸法表（Ｏリングの製作可能シリーズ）
10 / 12
● Ｋシリーズ
線径
1.00
1.50
1.60
1.78
1.90
2.00
2.20
2.40
内径
（単位： mm)
K
呼び番号
1.15
9.00
2.20
2.75
3.10
4.10
5.10
6.10
7.10
8.10
9.10
10.10
11.10
12.10
13.10
14.10
15.10
16.10
17.10
18.10
19.10
20.10
21.10
22.10
25.10
27.10
29.10
32.10
35.10
37.10
6.35
9.52
2.40
2.60
3.40
4.20
4.90
5.70
6.40
7.20
8.00
8.90
16.00
4.00
6.00
12.00
13.00
14.00
16.00
18.00
20.00
22.00
26.00
38.00
6.00
9.00
3.30
4.30
5.30
6.30
7.30
8.30
9.30
http://www.kayo-corp.co.jp/
53010
20009
53011
53013
30010
30011
30012
30013
30014
30015
30016
30017
30018
30019
30020
30021
30022
30023
30024
30025
30026
30027
30028
30029
30030
30031
30032
30033
30034
30035
53014
53017
53012
50010
50011
50012
50013
50014
50015
50016
50017
50018
53018
21004
21006
21012
21013
21014
21016
21018
21020
21022
21026
21038
53015
53016
31010
31011
31012
31013
31014
31015
31016
線径
2.40
2.50
2.55
2.70
3.00
内径
9.60
10.30
11.30
12.30
13.30
14.30
15.30
16.30
17.30
18.30
19.30
20.30
21.30
22.30
23.30
25.00
25.30
27.30
30.30
33.30
15.00
29.10
8.90
10.50
12.10
13.60
15.10
15.90
18.40
27.30
11.00
16.00
17.20
18.00
18.20
19.00
19.20
20.20
21.20
22.20
23.00
24.20
25.20
26.00
26.20
28.20
29.20
29.50
30.20
31.20
32.20
34.20
34.50
35.20
36.20
37.20
39.20
40.20
42.00
42.20
44.20
44.50
45.20
K
呼び番号
41016
31017
31018
31019
31020
31021
31022
31023
31024
31025
31026
31027
31028
31029
31030
53019
31031
31032
31033
31034
22015
53020
51010
51011
51012
51013
51014
51015
51016
53021
23011
23016
32010
23018
32011
23019
32012
32013
32014
32015
23023
32016
32017
23026
32018
32019
32020
42017
32021
32022
32023
32024
42020
32025
32026
32027
32028
32029
23042
32030
32031
42027
32032
線径
3.00
3.50
3.60
4.00
内径
K
呼び番号
46.20
49.00
49.50
50.20
54.00
54.50
55.20
56.20
57.20
59.50
60.50
62.20
64.50
69.50
74.50
79.50
84.50
88.00
89.50
94.00
94.50
98.00
99.50
104.50
109.50
114.50
119.50
124.50
129.50
134.50
139.50
144.50
203.00
214.00
11.00
15.00
33.00
34.00
39.00
40.00
43.00
49.00
52.00
62.00
162.00
166.00
173.00
18.30
19.80
21.30
23.00
24.60
26.20
27.80
29.30
30.80
32.50
34.10
35.60
37.30
43.40
13.00
14.00
32033
23049
32034
32035
23054
32036
32037
32038
32039
32040
32041
32042
32043
32044
32045
32046
32047
23088
32048
23094
32049
23098
32050
32051
32052
32053
32054
32055
32056
32057
32058
32059
23203
23214
24011
24015
24033
24034
24039
24040
24043
24049
24052
24062
24162
24166
24173
52010
52011
52012
52013
52014
52015
52016
52017
52018
52019
52020
52021
52022
53023
25013
25014
お電話・FAXでのお問い合わせは Tel：03-5829-6901 Fax：03-5829-6902
線径
4.00
4.50
内径
K
呼び番号
16.00
18.00
20.00
22.00
24.00
26.00
28.00
30.00
32.00
34.00
36.00
38.00
41.00
44.00
47.00
48.00
50.00
52.00
53.00
53.80
57.00
58.00
61.00
64.00
67.00
70.00
73.00
76.00
79.00
82.00
84.00
85.00
88.00
91.00
94.00
97.00
100.00
104.00
108.00
112.00
116.00
120.00
124.00
128.00
132.00
136.00
140.00
146.00
152.00
160.00
166.00
170.00
174.00
182.00
190.00
198.00
207.00
217.00
225.00
235.00
245.00
255.00
34.70
25016
25018
25020
25022
25024
25026
25028
25030
25032
25034
25036
25038
25041
25044
25047
25048
25050
25052
25053
10158
25057
25058
25061
25064
25067
25070
25073
25076
25079
25082
25084
25085
25088
25091
25094
25097
25100
25104
25108
25112
25116
25120
25124
25128
25132
25136
25140
25146
25152
25160
25166
25170
25174
25182
25190
25198
25207
25217
25225
25235
25245
25255
10233
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11 / 12
（単位： mm)
● Ｋシリーズ (つづき）
内径
K
呼び番号
37.70
40.00
42.00
44.00
46.00
48.00
50.00
52.00
54.00
56.00
58.00
60.00
63.00
64.00
65.00
69.00
70.00
74.00
76.00
80.00
82.00
85.00
88.00
91.00
94.00
97.00
100.00
16.00
40.00
42.00
44.00
46.00
48.00
50.00
52.00
54.00
56.00
58.00
60.00
10222
10173
10174
10175
10176
10177
10178
10179
10180
10181
10182
10153
10154
10183
10155
10164
10156
10165
10166
10184
10185
10186
10187
10188
10189
10190
10191
26016
26040
26042
26044
26046
26048
26050
26052
26054
26056
26058
26060
線径
4.50
5.00
線径
5.00
5.30
5.50
5.70
内径
K
呼び番号
63.00
64.00
65.00
67.70
69.00
70.00
74.00
76.00
80.00
82.00
85.00
88.00
91.00
94.00
97.00
100.00
41.40
54.40
65.00
74.70
79.70
89.70
99.70
35.20
36.20
37.20
39.20
41.20
44.20
45.20
47.20
49.20
51.20
52.20
54.20
57.20
59.20
61.20
62.20
26063
26064
26065
10219
26069
26070
26074
26076
26080
26082
26085
26088
26091
26094
26097
26100
53022
53024
10159
10220
10221
10223
10224
33010
33011
33012
33013
33014
33015
33016
33017
33018
33019
33020
33021
33022
33023
33024
33025
線径
内径
K
呼び番号
5.70
64.20
67.20
69.20
71.20
72.20
74.20
77.20
79.20
81.20
82.20
84.20
87.20
89.20
92.20
94.20
97.20
99.20
104.20
109.20
114.20
119.20
124.20
129.20
134.20
139.20
144.20
149.20
154.20
159.20
164.20
169.20
174.20
179.20
184.20
189.20
194.20
199.20
204.20
209.20
33026
33027
33028
33029
33030
33031
33032
33033
33034
33035
33036
33037
33038
33039
33040
33041
33042
33043
33044
33045
33046
33047
33048
33049
33050
33051
33052
33053
33054
33055
33056
33057
33058
33059
33060
33061
33062
33063
33064
線径
5.70
8.40
内径
K
呼び番号
219.30
229.30
239.30
249.30
259.30
269.30
279.30
289.30
299.30
319.30
339.30
359.30
379.30
399.30
419.30
439.30
459.30
479.30
499.30
144.10
149.10
154.10
159.10
164.10
169.10
174.10
179.10
184.10
189.10
194.10
199.10
209.10
219.10
229.10
239.10
249.10
33065
33066
33067
33068
33069
33070
33071
33072
33073
33074
33075
33076
33077
33078
33079
33080
33081
33082
33083
34010
34011
34012
34013
34014
34015
34016
34017
34018
34019
34020
34021
34022
34023
34024
34025
34026
※ JIS/その他、規格品Οリング(P番、G番、V番、ARP/AS、S番)も製作可能です。
● ＮＷシリーズΟリング
線径
5.00
内径
18.00
28.00
42.00
53.00
88.00
104.00
部品番号
NW-16
NW-25
NW-40
NW-50
NW-80
NW-100
(注）
NWシリーズをご使用の場合は、必ず内・外の金属リングの寸法をご確認ください。
ご不明な点がございましたら、弊社営業担当者までにご連絡ください。
● シート（501N∼503N)、スラブ（504N∼512N）
デュポン
商品番号
厚さ
502N
503N
504N
505N
506N
507N
508N
509N
511N
512N
0.51
0.76
1.02
1.27
1.52
1.78
2.03
2.29
2.79
3.18
http://www.kayo-corp.co.jp/
公差
±
面積寸法
N = 1
N = 2
N = 3
0.08
0.10
76.2
×
76.2
0.13
0.15
0.18
152.4
×
152.4
152.4
×
304.8
● 繊維強化シート(ノーメックスファブリック使用)
デュポン
商品番号
厚さ
8521N
8502N
8503N
0.38
0.51
0.76
公差
±
0.08
面積寸法
N = 1
N = 2
N = 3
76.2
×
76.2
152.4
×
152.4
152.4
×
304.8
(注）
*Nは縦横の寸法により1から3までの番号があり、たとえば番号
5052とは1.27mmの厚さのスラブでその大きさは152.4×152.4mmで
す。異なる厚さや大きさの部品あるいは特別表面仕上げのものに
かんしては、特別部品番号があたえられます。
**厚さの公差は表に示した通りです。大きさの公差は−0.64mmか
ら+3.18mmです。各々の表面仕上げは算術平均で120マイクロイン
チ以上となっております。特別表面仕上げが必要な場合は特別注
文となります。
お電話・FAXでのお問い合わせは Tel：03-5829-6901 Fax：03-5829-6902
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14. 寸法公差
12 / 12
材質により多少の差異がありますが、ここでは標準材質4079における公差を示します。
(A) Οリング（規格品および特殊品ともに） JIS B2401 (4種Ｄ)/AS568Aの公差に準拠。
(B) 異形品（金型成形品）パーツ毎に計画。
(C) 丸棒
直径区分 (mm)
3.53、4.0
5.33、5.7
6.0、6.99、8.0、8.4
10
公差 (mm)
±0.10
±0.13
±0.15
±0.3
(D) チューブ
内径区分 (mm)
1.0 ≦ ≧2.5
3.0 ≦ ≧4
5.0 ≦ ≧10.0
11.0 ≦ ≧15.0
16.0 ≦ ≧20.0
公差 (mm)
±0.3
±0.4
±0.5
±0.7
±0.9
肉厚：0.75 ≦ ≧2.0
±0.2
15. カレッツ®カスタムパーツの使用例
高温、真空などの厳しい環境下における、
ロボットアームの
滑り止めおよびクッション材。
高温腐食性ガス中での
電極等の保護シール材
高温部品の吸引搬送用装置の
先端部部品
16. カルレッツ®特注品
カルレッツ®は標準部品以外にお客様から要求される仕様に合わせて部品を製作できます。
スケット、バルブシート、Uカップ、ツバ付きΟリングなどがあります。
カルレッツ®製品の製作可能な仕様
(A) 特注Οリング
1) 金型成形品
最大寸法：外径400mm、線径 10 mm
最小寸法：内径 1.8 mm、線径 0.8 mm
2) 加硫接着品
線径：3.53、4.0、5.33、5.7、6.0、6.99、
8.0、8.4、10.0 mmについて対応可能
最小寸法：内径 250 mm以上
最大寸法：内径 2000 mm以下
(B) 異形品（金型成形品）
最大寸法：外径 400 mm、厚さ 10 mm
最小寸法：厚さ 0.5 mm
(C) 丸棒
直径：3.53、4.0、5.33、5.7、6.0、6.99、8.0、
8.4、10.0 mmについて対応可能
最大長さ：4000 mm以下
受注時に一本あたりの最小長さの確認が必要。
（例）合計10メートル → 最小1メートル × 10本
(D)
例えば、フランジ
押出チューブ製作可否サイズ対応表
ｔ±0.2
ID
1
1.5
2
3
4
5
6
7
8
9
10
公差
0.75
±0.3
○
○
±0.4
±0.5
1
○
○
○
○
○
○
○
○
○
1.25
1.5
1.75
2
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
○
製作可能材質
6190 / 8475 / 8002
製作可能長さ
最大8ｍ
最少300mm
最大4ｍ
ID = 6∼8
最少300mm
チューブ
最大2ｍ
内径：最小 1.0 mm ∼ 最大 25.0 mm
ID = 9∼12
最少300mm
肉厚：最小 1.0 mm ∼ 最大 2.0 mm
最大0.8ｍ
受注時に一本あたりの最小長さの確認が必要。
ID = 13∼20
最少300mm
（例）合計1メートル → 最小10 cm × 10本
※機械加工による異形品およびその他の特注品についてもご相談に応じます。
http://www.kayo-corp.co.jp/
ID = 1∼5
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