2006 年 6 月 6 日大型顕微鏡納５２０ ˆ４２０ｍｍ入仕様書アームスシステム株式会社《概要》本装置は、ガラス基板の観察及び検査を目的とした大型顕微鏡です。 XY ステージは任意の位置へフリースライドにて移動し、各軸のロック機構により微動送りがハンドル操作にて行えます。《資料サイズ》資料：ガラス基板２種類＊５２０Ó４２０ｍｍ厚さ０．５～３．０ｍｍ＊４７０Ó３７０ｍｍ厚さ０．５～３．０ｍｍ《構成》１．本体部（ＸＹステージ、除振機構密閉式空気ばね）２．顕微鏡部（オリンパス社製）観察：反射照明専用明視野３．デジタルカメラ（ニコン社製）《仕様》１．本体部 1-1 ＸＹステージ有効ストローク５２０Ó４２０ｍｍ 1-2 XY ステージ微動送り：ハンドル送り粗銅送り：フリースライド（各軸ロック機構付） 1-3 Z 軸は顕微鏡のフォーカシングにて行います。 1-4 ＸＹステージ：スケールユニット付 1-5 Z 軸（フォーカシング部）：デジタルゲージ付 1-6 3 軸カウンタ１μｍ読み 1-7 ステージ板の材質：アクリル系 1-8 ステージθ補正機構：;１度 1-9 突き当て治具：位置決め板（材質：アクリル系） 1-10 除振機構：密閉式空気ばね式 1-11 ＴＶモニタ・カウンタ設置用棚 1-12 マウス操作台３００Ó３００（ｍｍ）２．顕微鏡部（オリンパス社製品） 2-1 ＢＨＦＭ本体（フォーカシングユニット）：ストローク３０ｍｍ 2-2 反射照明装置：１００Ｗハロゲンランプハウス 2-3 延長鏡筒付三眼鏡筒：接眼レンズ１０Ó、１０ÓＣＲＯＳＳ付 2-4 対物レンズ＊ＵＭＰＬＦＬ５Ó W/D:20.00mm N.A:0.10 ＊ＵＭＰＬＦＬ１０Ó W/D:10.10mm N.A:0.30 1 ＊ＵＭＰＬＦＬ２０Ó W/D:3.10mm N.A:0.46 ＊ＵＭＰＬＦＬ５０Ó W/D:0.66mm N.A:0.80 ＊ＬＭＰＬＡＰＯ１５０Ó W/D:1.00mm N.A:0.90 2-5 Ｃマウントアダプタ（ＴＶアダプタ１Ó付） 2-6 グリーンフィルターＵ－２５ＩＦ５５０３．デジタルカメラ（ニコン社製品）ＤＳ－２Ｍｖ－Ｌ１セット 3-1 200 万画素ＣＣＤカメラヘッドＤＳ－２Ｍｖ 3-2 カメラコントロールユニットＤＳ－Ｌ１《その他》 □ 外形寸法：約１６００(W)ｘ約１２００(D)ｘ約１６００(H)ｍｍ ※□３００ｍｍマウス台は含まれて下りません。 □ 架台：鉄チャンネル材の溶接構造で焼付け塗装とします。 □ 塗装色：オリンパス色 □ 搬送固定部：レベリングボルト／キャスター付 □ 除振機構：密閉式空気ばね式 □ 電：ＡＣ１００Ｖ５０／６０Ｈｚ１５００ＶＡ源 □ 装置重量：約４００Ｋｇ □ 保証期間：取扱ミスを起因とする故障を除き、納品検収後１年間と致します。 2 3 4