Hyper MF/MF-U

高精度測定顕微鏡
Hyper MF/MF-U
●意匠登録済
(出願国:日本)
特長
●世界最高精度※を実現した測定顕微鏡の最高峰
●操作性を重視したフロントオペレーション設計の本体は使う人にやさしいUD(ユニバーサルデザイン)思想
●従来の顕微鏡操作のイメージを一新した3軸電動ジョイスティック操作で高速移動から微小位置決めが可能
●ユニバーサル金属顕微鏡鏡筒やレーザAF内蔵鏡筒の選択による観察多様化・測定スループットの向上
●顕微鏡測定の対応にゆとりを持たせる大形載物台は250×150mmストローク
●超高精度低膨張ガラススケールと高分解能検出器ヘッドの採用
・
【画像ユニット】とのシステム化で効率的で安定した測定環境を提供
●データ処理装置のベストセラー【QM-Data200】
●ウエハホルダ(8インチ以下)
・高剛性両センタ台など高精度測定ニーズへの対応
●電動レボルバ仕様は対物レンズ変倍時の退避機能装備
※2007年7月現在
Hyper MF-B2515B
Hyper MF-UE2515B
●双眼装置
(接眼レンズ)
、
対物レンズはオプションです。
●鏡筒、レボルバ、
対物レンズはオプションです。
■仕様
符号
HyperMF-B2515B
176-420
有限補正光学系
コードNo.
鏡筒※1
標準レチクル
(内蔵)
附視角
TVカメラポート
観察像
観察方法
接眼レンズ
対物レンズ
(オプション)
レボルバ
(オプション)
合焦部
照明装置※5
ステージ
倍率
ML対物レンズ
明視野
(BF)
明暗視野
(BD)
明視野
(BF)
明暗視野
(BD)
最大被検物高さ
測定精度
駆動方式
透過照明装置
反射照明装置
測定範囲
(X軸×Y軸)
(X・Y軸無負荷時)
測定精度※6
スイベル量
最大積載質量
駆動方式
測長系
デジタル表示 最小表示量
表示軸
データ処理装置
オートフォーカス ジャスト/トラッキング
外観寸法
顕微鏡本体
パワーユニット
電源
質量
顕微鏡本体
パワーユニット
HyperMF-UB2515B HyperMF-UD2515B HyperMF-UE2515B HyperMF-UF2515B
176-421
176-422
176-423
176-424
無限遠補正光学系 無限遠補正光学系 無限遠補正光学系 無限遠補正光学系
明視野
明暗視野
明視野 LAF付き 明暗視野 LAF付き
90 °
鎖線十字線
(線幅 5μm)
ティルティング
25°
標準装備
正立像
明視野・暗視野
(MF-UD・UFのみ)
・簡易偏光・微分干渉
明視野
10×、15×、20×
10×接眼レンズ2個付
単眼装置
(接眼レンズ1個付)
または双眼装置
(接眼レンズ2個付)
選択
―
1×・3×・5×・10×・20×・50×・100×
M Plan Apo、M plan Apo SL、G plan Apo 詳細はP.13を参照下さい。
―
BD Plan Apo、BD Plan Apo SL 詳細はP.13を参照下さい。
―
(調芯同焦マニュアル4穴センサ付※2/調芯電動5穴センサ付※3)
―
(マニュアル4穴センサ付/電動4穴センサ付※4)
―
150mm
(1.5+10L/1000)
μm
L:測定長mm
ジョイスティックによる電動制御
テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明
ケーラー照明・可変開口絞り機構・12V100Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明
250×150mm
(0.9+3L/1000)
μm L:測定長mm
±3 °
30kg
ジョイスティックによる電動駆動
高精度デジタルスケール※7
0.01μm
X・Y・Z軸
※8
QM-Data200 または画像ユニット
―
○
―
880
(W)
×913
(D)
×770
(H)
mm
880
(W)
×913
(D)
×730
(H)
mm
160×476×381mm
AC100、110、120、220、230、240V 50/60HZ 最大消費電力 700W
約255kg
約250kg
14kg
※1:特許登録済
(出願国:日本)
※2:特許登録済
(出願国:日本)
※1・3・4は工場オプション選択になります。
※5:特許登録済
(出願国:日本、アメリカ)
、特許出願中
(出願国:
ドイツ)
※6の測定精度はJIS B 7153に準拠します。
※7:特許登録済
(出願国:日本、アメリカ)
、特許出願中
(出願国:欧州特許庁)
※8:特許登録済
(出願国:日本)
ランプ交換時は透過用12V50Wハロゲンランプ
(No.02APA527)
、反射用12V100Wハロゲンランプ
(No.517181)
をご用命下さい。
12V100Wは高輝度仕様
(No.12BAD602)
もご用意しております。
3
工具顕微鏡
TM-500シリーズ
特長
●現場を選ばない工具顕微鏡の小形汎用機
●小形でも最大測定高さ115mmを実現
●デジマチックマイクロメータヘッド
(MHD-50M)
装着に
よる簡単デジタル測定
●接眼レンズ真横のバーニヤ目盛で簡単角度測定
●多彩なレンズ倍率
(総合20∼200×)
が選択可能
■角度目盛(標準品)
TM-505R
■外観寸法図(単位:mm)
TM-505R
67 作動距離
TM-505/505Rの場合
ステム計径φ8
ダイヤルゲージ・リニヤゲージ
および ゲージブロック
双燈反射
照明装置
176-203
垂直アタッチメント
176-204
127
15
303
333
min.415 max.440
回転テーブル
172-198
傾斜センタ
172-197
※TM-510の場合
15
30
67 作動距離
15
レシートプリンタ
DPU-414
12AAD032
セラブロック50mm 613675-04
MHD-50M×2個
164-161
接続ケーブル
937387(1m)×2本
965013(2m)×2本
MUX-10F
264-002
接続ケーブルC
12AAD194
QM-DATA200
264-145
USB-FDD
12AAH035
デジタルカウンタ印字システム セットNo.は別途お問合せください。
構成:接続ケーブル(937387)×2本、EC101Dカウンタ
(542-007)×2台、
接続ケーブル(936937)×2本、DMX2、DMX2-FS、接続ケーブル、DPUフットスイッチ(937179T)
414、
127
138
min.342 max.462
391
傾斜センタ
176-105
回転テーブル
176-106
Vブロック台
172-378
min.185 max.210
12
186
210
min.373 max.398
TM-510/510Rの場合
130
min.34 2 max.462
12
186
210
min.303 max.328
TM-510R
12
■システム構成(アクセサリはオプションです。)
min.185 max.210
391
12
TM-510R
303
333
min.415 max.440
TM-505本体
15
30
取付アダプタ
12AAE044
リング蛍光灯照明
377-090-1
MHG1-25X2 152-390
MHG1-25Y2 152-389
(TM-505R/510Rの標準付属品)
クランプ装置
176-107
クレンメル
No.990561
※TM-505Rの場合
セラブロック25mm×2個
613635-04
※TM-510Rの場合
セラブロック25mm×2個 613635-04
セラブロック50mm 613675-04
■仕様
TM-505R(マイクロメータヘッド付)
TM-510(マイクロメータヘッドなし)
TM-510R(マイクロメータヘッド付)
176-801
176-812
176-802
単眼
(附視角30°
)
付
正立正像
最小目盛1°
、回転角度360°
、最小読みバーニヤ6′
、ゼロ位置調節可能
15×
(標準付属)
、10×、20×
2×
(標準付属)
、5×、10×
115mm
115mm
107mm
最大被検物高さ
107mm
合焦部
手動
(粗動)
合焦方式
無段階ボリューム調光、24V2Wハロゲンランプ
(No.383038)
、グリーンフィルタ付
透過照明装置
照明装置
単燈斜めタイプ、無段階ボリューム調光、24V2Wハロゲンランプ
(No.383038)
反射照明装置
50×50mm
100×50mm
100×50mm
50×50mm
測定範囲
(セラブロック25mm2個併用)
(セラブロック50mm併用)
(セラブロック25、50、75mm併用)
152×152mm
240×152mm
上面寸法
載物台
96×96mm
150×92mm
載物ガラス有効寸法
5kg
最大積載質量
(ガラス上面)
マイクロメータヘッド
検出装置
マイクロメータヘッドの仕様による
マイクロメータヘッドの仕様による
0.005mm
0.005mm
最小表示量
(MHD-50Mの場合0.001mm)
(MHD-50Mの場合0.001mm)
MHD-50M…50mm
25mm
25mm
MHD-50M…50mm
マイクロメータヘッド移動量
AC100、110、120、220、230、240V 50/60Hz 最大消費電力10W
電源
約14∼15kg
本体質量
符号
コードNo.
鏡筒
観察像
角度目盛
接眼レンズ
対物レンズ
ランプ交換
TM-505(マイクロメータヘッドなし)
176-811
透過・反射用 標準:No.383038(24V2Wハロゲンランプ)
6
検査顕微鏡
FS300シリーズ
●意匠登録済
(出願国:日本)
特長
●300mmウェハ大形液晶パネル等の全面域の検査が可能
●FEM構造解析による高剛性・高耐振性一体形フレームの実現により、高倍率
観察時においても揺れを押さえた安定した観察像を提供
●エルゴノミクスに基づく設計思想により、長時間の観察でも疲労度が少なく
作業者の負担を軽減
●従来から定評のある長作動距離対物レンズ、広視野接眼レンズ(クラス最大
の視野数30)等、より一層使い易さを熟考した光学系
●インワードレボルバ方式の採用により、レンズ周辺のスペースを充分に確保
●赤外フィルタ装着による赤外観察にも対応(別途赤外カメラが必要です。)
●コンフォーカル(共焦点)モジュール搭載により高コントラスト・高分解能検
査に対応
●対物レンズはオプションです。
■仕様
符号
コードNo.
符号
コードNo.
FS300B
378-320
FS300B2
378-324
q
w
本体部
透過照明部
合焦部
電動レボルバ
ステージ ※2
q
鏡筒部
w
対物レンズ
外観寸法
電源
最大消費電力
本体質量
q
w
●明暗視野レボルバに明視野用対物レンズを取付ける変換アダプタを別途用意しております。
※1:特許登録済(出願国:日本、
アメリカ)
※2:特許登録済
(出願国:日本、
アメリカ、台湾)
、特許出願中
(出願国:
ドイツ)
ランプ交換 透過用
反射用
7
FS300D
378-321
FS300D2
378-325
FS300DT
378-323
FS300DT2
378-327
明暗視野タイプ
ケーラー照明、
開口・視野絞り内蔵
(心出し機構付)
、
12V100W高輝度ハロゲンランプ、
無段階調光、
フィルタスロット付、
明暗視野切替機構付 ※1
12V100Wファイバ照明、
12V100Wファイバ照明、
開口絞り内蔵、
開口絞り内蔵、
無段階調光、
無段階調光、
フィルタスロット付
フィルタスロット付
一軸粗微動
(最大ストローク:32mm,粗動:3.8mm/1回転,微動:0.1mm/1回転)……左右手動ハンドル
インワードタイプ 明暗視野用4穴
インワードタイプ 明視野用4穴
ストローク:356×306mm,X-Y微動ハンドル付,粗動レリーズ機構付
広視野ティルティング正立三眼鏡筒(視野数:24/ティルト角0∼20°
)
中間像倍率:双眼時:1x TV観察時:0.7x
光路切換
(接眼:TV)
0:100/100:0
俯視角:
2
0° 眼幅調整範囲:
5
1∼7
6mm
広視野ティルティング正立三眼鏡筒
(視野数:
24/ティルト角0∼20°
)
中間像倍率:1x 光路切換
(TV:接眼)
0:100/100:0
眼幅調整範囲:51∼76mm
広視野:10x/30(視野数30)
広視野:10x/24(視野数24)
BD Plan Apoシリーズ
M Plan Apoシリーズ
BD Plan Apo SLシリーズ
M Plan Apo SLシリーズ
詳細はP.13を参照下さい。
G Plan Apoシリーズ 詳細はP.13を参照下さい。
本体:幅360×奥行803×高さ568.5mm ステージ:幅700×奥行400mm
AC100∼240V,50/60Hz
約150W
約300W
約150W
約300W
約50kg
明視野タイプ
ケーラー照明、
開口・視野絞り内蔵
(心出し機構付)
、
12V100W高輝度ハロゲンランプ、
無段階調光、
フィルタスロット付
落射照明部
接眼レンズ
FS300BT
378-322
FS300BT2
378-326
標準:No.517181(12V100W ハロゲンランプ)
標準:No.02AKG480
(12V100W ハロゲンランプ)
特長
システム工業顕微鏡
FS110シリーズ
●独自に開発した光学系採用による使いやすさを追求したスタンダードモデル
●広い視野全域にわたり解像力、コントラスト、色再現性に優れた逸品
●明視野、暗視野、偏光、微分干渉観察など各種観察を1台に集約可能
●半導体のIC回路、フォトマスクなど高度な微細検査にベストマッチ
●本顕微鏡での赤外観察システムはベストセラー
■外観寸法図
ラ
(赤外線CCDカメ
TVモニタシステム例)
FS110IR
(明視野/赤外観察兼用)
+
■システム構成(アクセサリーはオプションです。)
接眼レンズ
UWF10×/30(2個組)
視野数30
No.378-851
鏡筒
正立三眼鏡筒
No.378-001
微分干渉(DIC)
ユニット
No.378-076∼080(4枚)
No.378-076
No.378-078
No.378-079
No.378-080
100X,SL80X,SL50X用
50X,SL20X用
20X用
10X,5X用
載物ガラス
204×204mmストローク用
No.514025
534(21.02)
SIO-780-F SIO-1060-F R30-1200-F R30-1300-F
No.227507 No.227508 No.227509 No.227510
※ご購入の際は2枚1組で選択して下さい。
10× No.378-856 視野数24
15× No.378-857 視野数16
20× No.378-858 視野数12
Cマウントカメラ
倒立三眼鏡筒
No.378-004
赤外線カラーTVシステム*
(※別途購入)
対物レンズ
M Plan NiR
シリーズ
(フィルタ:本体標準付属)
明視野(BF)
No.378-032
ランプハウス
No.378-085
LB80
GIF
ND2
ND8
No.12AAA646 No.12AAA645 No.12AAA643 No.12AAA644
本体
レボルバ
アダプタA
No.378-041
明視野用
明暗視野用(BF/DF) 明視野用
レボルバ4穴 レボルバ5穴
レボルバ4穴
No.378-014 No.378-015
No.378-013
載物ガラス
FS110IR No.378-124 153×153mm
ストローク用
No.514024 *推奨:浜松ホトニクス製 他
対物レンズ
明暗視野用
BD Plan Apo
シリーズ
95(3.74)
499.3(19.657)
480(18.90)
赤外バンドパスフィルタ
落射照明装置
(アナライザ)
偏光装置
No.378-074
125(4.92)102(4.02)
300(11.81)
アダプタ
(A)
No.378-041
明暗視野(BF/DF)
No.378-031
240(9.44)
接眼レンズ
WF10×,15×,20×(2個組)
明暗視野(BF/DF)切換スライド
No.378-075
(ポラライザ)
6
24
241(9.49)
6×6インチステージ
FS110T(落射・透過照明両用)
229.4(9.03)
アイポイント
116(4.57)
51∼76(眼幅)
明視野用
M Plan Apoシリーズ
G Plan Apoシリーズ
X-Yステージ
204×204mmストローク
(R)153×153mmストローク
(R)
No.378-023
No.378-021
FS110T No.378-121
2×拡散フィルタ
(2×対物用)
No.938901
FS110 No.378-122
ウェハホルダ3″
∼6″
No.378-051
載物ガラス
153×153mmストローク用
No.514024
■仕様
符号
コードNo.
落射照明
鏡体
透過照明
鏡筒
接眼レンズ
広視野正立三眼鏡筒
広視野倒立三眼鏡筒
広視野正立三眼鏡筒用
広視野倒立三眼鏡筒用
対物レンズ
合焦部
移動量
焦準方式
レボルバ
ステージ
6×6インチ
8×8インチ
FS110IR
FS110T
FS110
378-124
378-121(本体のみ)
378-122(本体のみ)
明視野観察タイプ
明視野観察タイプ
明視野/赤外観察タイプ
明暗視野観察タイプ
明暗視野観察タイプ
ケーラー照明
ケーラー照明
ケーラー照明
ケーラー照明
ケーラー照明
開口・視野絞り
(芯出し機構付)
(芯出し機構付)
(芯出し機構付) 開口・視野絞り
開口・視野絞り
(芯出し機構付)
開口・視野絞り
(芯出し機構付) 開口・視野絞り
12V50Wハロゲンランプ、
12V50Wハロゲンランプ、 12V50Wハロゲンランプ、
12V50Wハロゲンランプ、
12V50Wハロゲンランプ、
ボリューム調光
ボリューム調光
ボリューム調光
ボリューム調光
ボリューム調光
明暗視野切換スロット付
明暗視野切換スロット付 スライド式赤外バンドパスフィルタ(選択)
テレセントリック照明、可変開口絞り
−
−
6V20Wハロゲンランプ、ボリューム調光
鏡筒倍率:1×/2×切換、視野数:30、光路固定式
(観察/TV=50/50)
、双眼附視角:20°
、眼幅調節範囲51∼76mm
(ジーデントップ)
−
鏡筒倍率:1×、視野数:24、光路切換式
(観察/TV=100/0:0/100)
、双眼附視角:20°
、眼幅調節範囲51∼76mm
(ジーデントップ)
左記標準付属
UWF10×/30
(視野数30)
−
WF10×/24
(標準付属)
、
WF10×/24
(視野数24)
、WF15×/16
(視野数16)
、WF20×/12
(視野数12)
WF15×/16、WF20×/12
M Plan Apoシリーズ
M Plan Apoシリーズ
BD Plan Apoシリーズ
BD Plan Apoシリーズ
M Plan Apo SLシリーズ
M Plan Apo SLシリーズ
M Plan NIRシリーズ
BD Plan Apo SLシリーズ
BD Plan Apo SLシリーズ
G Plan Apoシリーズ
G Plan Apoシリーズ
詳細はP.13を参照下さい。
詳細はP.13を参照下さい。 詳細はP.13を参照下さい。 詳細はP.13を参照下さい。 詳細はP.13を参照下さい。
30mm
一軸粗微動(粗動:3.1mm/回転、微動:0.1mm/回転)…左右、右側目盛付(1μm読み)
明視野用レボルバ4穴または5穴より選択 明暗視野用レボルバ4穴 明視野用レボルバ4穴または5穴より選択 明暗視野用レボルバ4穴 明暗視野用レボルバ4穴
(標準付属)
、
5穴
ストローク:153×153mm
(専用載物ガラスを用意しています。
)
左記標準付属
ストローク:204×204mm
(専用載物ガラスを用意しています。
)
左記オプション
AC100、110、120、220、230、240V 50/60Hz 最大消費電力約80W
AC100、110、120、220、230、240V 50/60Hz 最大消費電力約150W
15.2kg
15.5kg
約26kg
電源
本体質量
●FS110T及びFS110は明視野、明暗視野観察以外に、組合せにより偏光観察、微分干渉観察も可能。
●明暗視野レボルバに明視野用対物レンズを取付ける変換アダプタを別途用意しております。
ランプ交換 透過用
反射用
標
準:No.513666(6V20W ハロゲンランプ)
標
準:No.513667(12V50W ハロゲンランプ)
ロングライフ:No.12BAB345(12V50W ハロゲンランプ)やや照度が落ちます。
8
実体顕微鏡
MSM-400シリーズ
特長
●機械部品から生物細胞・組織まで幅広い分野での拡大観察が可能
●立体映像によりルーペ感覚で精密部品の組み立て作業が容易
●高機能でエルゴノミックデザイン、コストパフォーマンスに優れた4シリーズをラインアップ
●CCDカメラ(Cマウント仕様)装着によるモニタ観察や画像保存が可能(MSM-Z475、465のみ三眼システム可能)
●スタンド、ボンダ装置対応ホルダ、リング蛍光灯照明など豊富なオプション類を用意、多様な業界ニーズに対応
MSM-412
MSM-Z414
簡単操作の2ステップターレット変倍
(1.2×)
方式を採用した、コンパクトな
汎用モデル
MSM-Z475T
操作性に優れたズーム変倍
(1∼4×)
方
式が検鏡作業を強力にサポート
総合倍率10 ∼ 40×ズームのスタン
ダードモデル
■仕様
符号
コードNo.
光学系
MSM-Z414
MSM-412
377-945
377-925
内斜系、正立正像、内斜角12°
双眼、附視角45°
鏡筒
眼幅調整範囲54∼76mm
(左右接眼部)
視度調整可能
(左接眼部のみ) 視度調整可能
変倍方式
ズーム変倍
ターレット変倍 2ステップ
対物レンズ
1×∼4×
(ズーム比4)
1×・2×
0.5×、0.75×、1.5×
補助対物レンズ
(オプション)
―
WF10×
(視野数20:標準付属)
WF5×
(視野数22)
、WF15×
(視野数13)
WF20×
(視野数10)
接眼レンズ
総合倍率
(標準仕様による)
作動距離
合焦部移動量
載物板
本体質量
標準付属
標準価格
(税抜き)
10×∼40×
80mm
10×・20×
95mm
44mm
5.3kg
4.9kg
アイシェード2個、ビニールカバー
118,000円
68,000円
MSM-465
対物レンズ0.75∼5×ズーム式
(総合倍率
7.5∼50×)
で作動距離113mmの本格仕
様モデル
システムの拡張性と観察性能を重視したハ
イエンドモデル
4ステップターレット変倍
(0.6、1.2、2.5、5×)
方式により、幅広い観察倍率を選択可能
MSM-Z475
MSM-Z475T
MSM-465
377-975
377-985
377-965
平行系、正立正像
内斜系、正立正像
双眼、附視角35°
三眼
(TVポート付)
、附視角35°
眼幅調整範囲52mm∼79mm
視度調整可能
(左接眼部のみ)
視度調節可能(左右接眼部)
ターレット変倍 4ステップ
ズーム変倍
0.6×・1.2×・2.5×・5×
0.75×∼5×
(ズーム比6.6)
0.5×、1.5×、2×
0.5×、0.63×、1.5×、2×
WF10×
(視野数23:標準付属)
WF10×
(視野数23:標準付属)
WF6.25×
(視野数23)
(視野数17.6)
WF5×
(視野数23)
、
WF6.25×
(視野数23)
、
WF15×
(視野数17)WF15×
WF20×
(視野数13.4)
WF20×
(視野数13)
、WF32×
(視野数8)
WF32×
(視野数10)
6×・12×・25×・50×
7.5×∼50×
89mm
113mm
50mm
50mm
黒/乳白色アクリル
5.3kg
4.8kg
5.4kg
アイシェード2個、
ビニールカバー
アイシェード2個、ダストカバー
138,000円
198,000円
175,000円
■レンズ仕様
項目
対物レンズ
符号
ターレット式
MSM-412
1・2×
ズーム式
MSM-Z414
1∼4×
作動距離
補助
対物レンズ (mm)
―
―
0.5×
0.75×
1.5×
95
80
135
95
39
接眼レンズ 5×
視野数22
(mm)
総合倍率 実視野
22・11
5・10×
22∼5.5
5∼20×
2.5∼10× 44∼11
3.75∼15× 29.3∼7.3
7.5∼30× 14.6∼3.6
接眼レンズ 10×
視野数20
(mm)
総合倍率 実視野
20・10
10・20×
20∼5
10∼40×
40∼10
5∼20×
7.5∼30× 26.6∼6.6
15∼60× 13.3∼3.3
接眼レンズ 15×
視野数13
(mm)
総合倍率 実視野
13・6.5
15・30×
15∼60× 13∼3.25
7.5∼30× 26∼6.5
11.25∼45× 17.3∼4.3
22.5∼90× 8.6∼2.1
接眼レンズ 20×
視野数10
(mm)
総合倍率 実視野
10・5
20・40×
20∼80× 10∼2.5
20∼5
10∼40×
15∼60× 13.3∼3.3
30∼120× 6.6∼1.6
接眼レンズ 6.25×
接眼レンズ 10×
接眼レンズ 15×
接眼レンズ 20×
接眼レンズ 32×
接眼レンズ 5×
補助 作動
視野数23
視野数23
視野数17
視野数13
視野数8
視野数23
対物レンズ 対物 距離
レンズ
(mm)
符号
総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm)
―
113 3.75∼25× 4.6∼30.67 4.68∼31.25× 4.6∼30.67 7.5∼50× 4.6∼30.67 11.25∼75× 3.4∼22.67 15∼100× 2.6∼17.33 24∼160× 1.6∼10.67
0.5× 200 1.87∼12.5× 9.2∼61.33 2.34∼15.62× 9.2∼61.33 3.75∼25× 9.2∼61.33 5.62∼37.5× 6.8∼45.33 7.5∼50× 5.2∼34.67 12∼80× 3.2∼21.33
MSM-Z475
0.75×
0.63× 160 23.62∼15.75× 7.3∼48.94 29.48∼19.68× 7.3∼48.94 4.72∼31.5× 7.3∼48.94 7.08∼47.25× 5.4∼36.17 9.45∼63× 4.13∼27.66 15.12∼100.8× 2.54∼17
MSM-Z475T ∼5×
1.5× 54 5.62∼37.5× 3.07∼20.35 7.02∼46.87× 3.07∼20.35 11.25∼75× 3.07∼20.35 16.87∼112.5× 2.27∼15.04 22.5∼150× 17.33∼11.5 36∼240× 1.07∼7.08
2× 34.5 7.5∼50× 2.3∼15.33 9.36∼62.5× 2.3∼15.33 15∼100× 2.3∼15.33 22.5∼150× 1.7∼11.33 30∼200× 1.3∼8.67 48∼320× 0.8∼5.33
項目
ズーム式
項目
符号
ターレット式
9
MSM-465
接眼レンズ 10×
接眼レンズ 15×
接眼レンズ 20×
接眼レンズ 32×
接眼レンズ 6.25×
補助 作動
視野数23
視野数17.6
視野数13.4
視野数10
視野数23
対物レンズ 対物 距離
レンズ(mm) 総合倍率 実視野
(mm) 総合倍率 実視野
(mm) 総合倍率 実視野
(mm) 総合倍率 実視野
(mm) 総合倍率 実視野
(mm)
―
89 3.75・7.5・15.62・31.25× 38.3・19.1・9.2・4.6 6・12・25・50× 38.3・19.1・9.2・4.6 9・18・37.5・75× 29.3・14.6・7.0・3.5 12・24・50・100× 22.3・11.1・5.3・2.6 19.2・38.4・80・160× 16.6・8.3・4.0・2.0
0.6・1.2・ 0.5× 192.8 1.87・3.75・7.81・15.62× 76.6・38.3・18.4・9.2 3・6・12.5・25× 76.6・38.3・18.4・9.2 4.5・9・18.75・37.5× 58.6・29.3・14.08・7.04 6・12・25・50× 44.6・22.3・10.72・5.36 9.6・19.2・40・80× 33.3・16.6・8.0・4.0
2.5・5× 1.5× 53.4 5.62・11.25・23.43・46.87× 25.5・12.7・6.1・3.06 9・18・37.5・75× 25.5・12.7・6.1・3.0 13.5・27・56.25・112.5× 19.5・9.7・4.6・2.3 18・36・75・150× 14.8・7.4・3.5・1.7 28.8・57.6・120・240× 11.1・5.5・2.6・1.3
2×
36 7.5・15・31.25・62.5× 19.1・9.5・4.6・2.3 12・24・50・100× 19.1・9.5・4.6・2.3 18・36・75・150× 14.6・7.3・3.52・1.76 24・48・100・200× 11.1・5.5・2.68・1.34 38.4・76.8・160・320× 8.3・4.1・2.0・1.0