高精度測定顕微鏡 Hyper MF/MF-U ●意匠登録済 (出願国:日本) 特長 ●世界最高精度※を実現した測定顕微鏡の最高峰 ●操作性を重視したフロントオペレーション設計の本体は使う人にやさしいUD(ユニバーサルデザイン)思想 ●従来の顕微鏡操作のイメージを一新した3軸電動ジョイスティック操作で高速移動から微小位置決めが可能 ●ユニバーサル金属顕微鏡鏡筒やレーザAF内蔵鏡筒の選択による観察多様化・測定スループットの向上 ●顕微鏡測定の対応にゆとりを持たせる大形載物台は250×150mmストローク ●超高精度低膨張ガラススケールと高分解能検出器ヘッドの採用 ・ 【画像ユニット】とのシステム化で効率的で安定した測定環境を提供 ●データ処理装置のベストセラー【QM-Data200】 ●ウエハホルダ(8インチ以下) ・高剛性両センタ台など高精度測定ニーズへの対応 ●電動レボルバ仕様は対物レンズ変倍時の退避機能装備 ※2007年7月現在 Hyper MF-B2515B Hyper MF-UE2515B ●双眼装置 (接眼レンズ) 、 対物レンズはオプションです。 ●鏡筒、レボルバ、 対物レンズはオプションです。 ■仕様 符号 HyperMF-B2515B 176-420 有限補正光学系 コードNo. 鏡筒※1 標準レチクル (内蔵) 附視角 TVカメラポート 観察像 観察方法 接眼レンズ 対物レンズ (オプション) レボルバ (オプション) 合焦部 照明装置※5 ステージ 倍率 ML対物レンズ 明視野 (BF) 明暗視野 (BD) 明視野 (BF) 明暗視野 (BD) 最大被検物高さ 測定精度 駆動方式 透過照明装置 反射照明装置 測定範囲 (X軸×Y軸) (X・Y軸無負荷時) 測定精度※6 スイベル量 最大積載質量 駆動方式 測長系 デジタル表示 最小表示量 表示軸 データ処理装置 オートフォーカス ジャスト/トラッキング 外観寸法 顕微鏡本体 パワーユニット 電源 質量 顕微鏡本体 パワーユニット HyperMF-UB2515B HyperMF-UD2515B HyperMF-UE2515B HyperMF-UF2515B 176-421 176-422 176-423 176-424 無限遠補正光学系 無限遠補正光学系 無限遠補正光学系 無限遠補正光学系 明視野 明暗視野 明視野 LAF付き 明暗視野 LAF付き 90 ° 鎖線十字線 (線幅 5μm) ティルティング 25° 標準装備 正立像 明視野・暗視野 (MF-UD・UFのみ) ・簡易偏光・微分干渉 明視野 10×、15×、20× 10×接眼レンズ2個付 単眼装置 (接眼レンズ1個付) または双眼装置 (接眼レンズ2個付) 選択 ― 1×・3×・5×・10×・20×・50×・100× M Plan Apo、M plan Apo SL、G plan Apo 詳細はP.13を参照下さい。 ― BD Plan Apo、BD Plan Apo SL 詳細はP.13を参照下さい。 ― (調芯同焦マニュアル4穴センサ付※2/調芯電動5穴センサ付※3) ― (マニュアル4穴センサ付/電動4穴センサ付※4) ― 150mm (1.5+10L/1000) μm L:測定長mm ジョイスティックによる電動制御 テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明 ケーラー照明・可変開口絞り機構・12V100Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明 250×150mm (0.9+3L/1000) μm L:測定長mm ±3 ° 30kg ジョイスティックによる電動駆動 高精度デジタルスケール※7 0.01μm X・Y・Z軸 ※8 QM-Data200 または画像ユニット ― ○ ― 880 (W) ×913 (D) ×770 (H) mm 880 (W) ×913 (D) ×730 (H) mm 160×476×381mm AC100、110、120、220、230、240V 50/60HZ 最大消費電力 700W 約255kg 約250kg 14kg ※1:特許登録済 (出願国:日本) ※2:特許登録済 (出願国:日本) ※1・3・4は工場オプション選択になります。 ※5:特許登録済 (出願国:日本、アメリカ) 、特許出願中 (出願国: ドイツ) ※6の測定精度はJIS B 7153に準拠します。 ※7:特許登録済 (出願国:日本、アメリカ) 、特許出願中 (出願国:欧州特許庁) ※8:特許登録済 (出願国:日本) ランプ交換時は透過用12V50Wハロゲンランプ (No.02APA527) 、反射用12V100Wハロゲンランプ (No.517181) をご用命下さい。 12V100Wは高輝度仕様 (No.12BAD602) もご用意しております。 3 工具顕微鏡 TM-500シリーズ 特長 ●現場を選ばない工具顕微鏡の小形汎用機 ●小形でも最大測定高さ115mmを実現 ●デジマチックマイクロメータヘッド (MHD-50M) 装着に よる簡単デジタル測定 ●接眼レンズ真横のバーニヤ目盛で簡単角度測定 ●多彩なレンズ倍率 (総合20∼200×) が選択可能 ■角度目盛(標準品) TM-505R ■外観寸法図(単位:mm) TM-505R 67 作動距離 TM-505/505Rの場合 ステム計径φ8 ダイヤルゲージ・リニヤゲージ および ゲージブロック 双燈反射 照明装置 176-203 垂直アタッチメント 176-204 127 15 303 333 min.415 max.440 回転テーブル 172-198 傾斜センタ 172-197 ※TM-510の場合 15 30 67 作動距離 15 レシートプリンタ DPU-414 12AAD032 セラブロック50mm 613675-04 MHD-50M×2個 164-161 接続ケーブル 937387(1m)×2本 965013(2m)×2本 MUX-10F 264-002 接続ケーブルC 12AAD194 QM-DATA200 264-145 USB-FDD 12AAH035 デジタルカウンタ印字システム セットNo.は別途お問合せください。 構成:接続ケーブル(937387)×2本、EC101Dカウンタ (542-007)×2台、 接続ケーブル(936937)×2本、DMX2、DMX2-FS、接続ケーブル、DPUフットスイッチ(937179T) 414、 127 138 min.342 max.462 391 傾斜センタ 176-105 回転テーブル 176-106 Vブロック台 172-378 min.185 max.210 12 186 210 min.373 max.398 TM-510/510Rの場合 130 min.34 2 max.462 12 186 210 min.303 max.328 TM-510R 12 ■システム構成(アクセサリはオプションです。) min.185 max.210 391 12 TM-510R 303 333 min.415 max.440 TM-505本体 15 30 取付アダプタ 12AAE044 リング蛍光灯照明 377-090-1 MHG1-25X2 152-390 MHG1-25Y2 152-389 (TM-505R/510Rの標準付属品) クランプ装置 176-107 クレンメル No.990561 ※TM-505Rの場合 セラブロック25mm×2個 613635-04 ※TM-510Rの場合 セラブロック25mm×2個 613635-04 セラブロック50mm 613675-04 ■仕様 TM-505R(マイクロメータヘッド付) TM-510(マイクロメータヘッドなし) TM-510R(マイクロメータヘッド付) 176-801 176-812 176-802 単眼 (附視角30° ) 付 正立正像 最小目盛1° 、回転角度360° 、最小読みバーニヤ6′ 、ゼロ位置調節可能 15× (標準付属) 、10×、20× 2× (標準付属) 、5×、10× 115mm 115mm 107mm 最大被検物高さ 107mm 合焦部 手動 (粗動) 合焦方式 無段階ボリューム調光、24V2Wハロゲンランプ (No.383038) 、グリーンフィルタ付 透過照明装置 照明装置 単燈斜めタイプ、無段階ボリューム調光、24V2Wハロゲンランプ (No.383038) 反射照明装置 50×50mm 100×50mm 100×50mm 50×50mm 測定範囲 (セラブロック25mm2個併用) (セラブロック50mm併用) (セラブロック25、50、75mm併用) 152×152mm 240×152mm 上面寸法 載物台 96×96mm 150×92mm 載物ガラス有効寸法 5kg 最大積載質量 (ガラス上面) マイクロメータヘッド 検出装置 マイクロメータヘッドの仕様による マイクロメータヘッドの仕様による 0.005mm 0.005mm 最小表示量 (MHD-50Mの場合0.001mm) (MHD-50Mの場合0.001mm) MHD-50M…50mm 25mm 25mm MHD-50M…50mm マイクロメータヘッド移動量 AC100、110、120、220、230、240V 50/60Hz 最大消費電力10W 電源 約14∼15kg 本体質量 符号 コードNo. 鏡筒 観察像 角度目盛 接眼レンズ 対物レンズ ランプ交換 TM-505(マイクロメータヘッドなし) 176-811 透過・反射用 標準:No.383038(24V2Wハロゲンランプ) 6 検査顕微鏡 FS300シリーズ ●意匠登録済 (出願国:日本) 特長 ●300mmウェハ大形液晶パネル等の全面域の検査が可能 ●FEM構造解析による高剛性・高耐振性一体形フレームの実現により、高倍率 観察時においても揺れを押さえた安定した観察像を提供 ●エルゴノミクスに基づく設計思想により、長時間の観察でも疲労度が少なく 作業者の負担を軽減 ●従来から定評のある長作動距離対物レンズ、広視野接眼レンズ(クラス最大 の視野数30)等、より一層使い易さを熟考した光学系 ●インワードレボルバ方式の採用により、レンズ周辺のスペースを充分に確保 ●赤外フィルタ装着による赤外観察にも対応(別途赤外カメラが必要です。) ●コンフォーカル(共焦点)モジュール搭載により高コントラスト・高分解能検 査に対応 ●対物レンズはオプションです。 ■仕様 符号 コードNo. 符号 コードNo. FS300B 378-320 FS300B2 378-324 q w 本体部 透過照明部 合焦部 電動レボルバ ステージ ※2 q 鏡筒部 w 対物レンズ 外観寸法 電源 最大消費電力 本体質量 q w ●明暗視野レボルバに明視野用対物レンズを取付ける変換アダプタを別途用意しております。 ※1:特許登録済(出願国:日本、 アメリカ) ※2:特許登録済 (出願国:日本、 アメリカ、台湾) 、特許出願中 (出願国: ドイツ) ランプ交換 透過用 反射用 7 FS300D 378-321 FS300D2 378-325 FS300DT 378-323 FS300DT2 378-327 明暗視野タイプ ケーラー照明、 開口・視野絞り内蔵 (心出し機構付) 、 12V100W高輝度ハロゲンランプ、 無段階調光、 フィルタスロット付、 明暗視野切替機構付 ※1 12V100Wファイバ照明、 12V100Wファイバ照明、 開口絞り内蔵、 開口絞り内蔵、 無段階調光、 無段階調光、 フィルタスロット付 フィルタスロット付 一軸粗微動 (最大ストローク:32mm,粗動:3.8mm/1回転,微動:0.1mm/1回転)……左右手動ハンドル インワードタイプ 明暗視野用4穴 インワードタイプ 明視野用4穴 ストローク:356×306mm,X-Y微動ハンドル付,粗動レリーズ機構付 広視野ティルティング正立三眼鏡筒(視野数:24/ティルト角0∼20° ) 中間像倍率:双眼時:1x TV観察時:0.7x 光路切換 (接眼:TV) 0:100/100:0 俯視角: 2 0° 眼幅調整範囲: 5 1∼7 6mm 広視野ティルティング正立三眼鏡筒 (視野数: 24/ティルト角0∼20° ) 中間像倍率:1x 光路切換 (TV:接眼) 0:100/100:0 眼幅調整範囲:51∼76mm 広視野:10x/30(視野数30) 広視野:10x/24(視野数24) BD Plan Apoシリーズ M Plan Apoシリーズ BD Plan Apo SLシリーズ M Plan Apo SLシリーズ 詳細はP.13を参照下さい。 G Plan Apoシリーズ 詳細はP.13を参照下さい。 本体:幅360×奥行803×高さ568.5mm ステージ:幅700×奥行400mm AC100∼240V,50/60Hz 約150W 約300W 約150W 約300W 約50kg 明視野タイプ ケーラー照明、 開口・視野絞り内蔵 (心出し機構付) 、 12V100W高輝度ハロゲンランプ、 無段階調光、 フィルタスロット付 落射照明部 接眼レンズ FS300BT 378-322 FS300BT2 378-326 標準:No.517181(12V100W ハロゲンランプ) 標準:No.02AKG480 (12V100W ハロゲンランプ) 特長 システム工業顕微鏡 FS110シリーズ ●独自に開発した光学系採用による使いやすさを追求したスタンダードモデル ●広い視野全域にわたり解像力、コントラスト、色再現性に優れた逸品 ●明視野、暗視野、偏光、微分干渉観察など各種観察を1台に集約可能 ●半導体のIC回路、フォトマスクなど高度な微細検査にベストマッチ ●本顕微鏡での赤外観察システムはベストセラー ■外観寸法図 ラ (赤外線CCDカメ TVモニタシステム例) FS110IR (明視野/赤外観察兼用) + ■システム構成(アクセサリーはオプションです。) 接眼レンズ UWF10×/30(2個組) 視野数30 No.378-851 鏡筒 正立三眼鏡筒 No.378-001 微分干渉(DIC) ユニット No.378-076∼080(4枚) No.378-076 No.378-078 No.378-079 No.378-080 100X,SL80X,SL50X用 50X,SL20X用 20X用 10X,5X用 載物ガラス 204×204mmストローク用 No.514025 534(21.02) SIO-780-F SIO-1060-F R30-1200-F R30-1300-F No.227507 No.227508 No.227509 No.227510 ※ご購入の際は2枚1組で選択して下さい。 10× No.378-856 視野数24 15× No.378-857 視野数16 20× No.378-858 視野数12 Cマウントカメラ 倒立三眼鏡筒 No.378-004 赤外線カラーTVシステム* (※別途購入) 対物レンズ M Plan NiR シリーズ (フィルタ:本体標準付属) 明視野(BF) No.378-032 ランプハウス No.378-085 LB80 GIF ND2 ND8 No.12AAA646 No.12AAA645 No.12AAA643 No.12AAA644 本体 レボルバ アダプタA No.378-041 明視野用 明暗視野用(BF/DF) 明視野用 レボルバ4穴 レボルバ5穴 レボルバ4穴 No.378-014 No.378-015 No.378-013 載物ガラス FS110IR No.378-124 153×153mm ストローク用 No.514024 *推奨:浜松ホトニクス製 他 対物レンズ 明暗視野用 BD Plan Apo シリーズ 95(3.74) 499.3(19.657) 480(18.90) 赤外バンドパスフィルタ 落射照明装置 (アナライザ) 偏光装置 No.378-074 125(4.92)102(4.02) 300(11.81) アダプタ (A) No.378-041 明暗視野(BF/DF) No.378-031 240(9.44) 接眼レンズ WF10×,15×,20×(2個組) 明暗視野(BF/DF)切換スライド No.378-075 (ポラライザ) 6 24 241(9.49) 6×6インチステージ FS110T(落射・透過照明両用) 229.4(9.03) アイポイント 116(4.57) 51∼76(眼幅) 明視野用 M Plan Apoシリーズ G Plan Apoシリーズ X-Yステージ 204×204mmストローク (R)153×153mmストローク (R) No.378-023 No.378-021 FS110T No.378-121 2×拡散フィルタ (2×対物用) No.938901 FS110 No.378-122 ウェハホルダ3″ ∼6″ No.378-051 載物ガラス 153×153mmストローク用 No.514024 ■仕様 符号 コードNo. 落射照明 鏡体 透過照明 鏡筒 接眼レンズ 広視野正立三眼鏡筒 広視野倒立三眼鏡筒 広視野正立三眼鏡筒用 広視野倒立三眼鏡筒用 対物レンズ 合焦部 移動量 焦準方式 レボルバ ステージ 6×6インチ 8×8インチ FS110IR FS110T FS110 378-124 378-121(本体のみ) 378-122(本体のみ) 明視野観察タイプ 明視野観察タイプ 明視野/赤外観察タイプ 明暗視野観察タイプ 明暗視野観察タイプ ケーラー照明 ケーラー照明 ケーラー照明 ケーラー照明 ケーラー照明 開口・視野絞り (芯出し機構付) (芯出し機構付) (芯出し機構付) 開口・視野絞り 開口・視野絞り (芯出し機構付) 開口・視野絞り (芯出し機構付) 開口・視野絞り 12V50Wハロゲンランプ、 12V50Wハロゲンランプ、 12V50Wハロゲンランプ、 12V50Wハロゲンランプ、 12V50Wハロゲンランプ、 ボリューム調光 ボリューム調光 ボリューム調光 ボリューム調光 ボリューム調光 明暗視野切換スロット付 明暗視野切換スロット付 スライド式赤外バンドパスフィルタ(選択) テレセントリック照明、可変開口絞り − − 6V20Wハロゲンランプ、ボリューム調光 鏡筒倍率:1×/2×切換、視野数:30、光路固定式 (観察/TV=50/50) 、双眼附視角:20° 、眼幅調節範囲51∼76mm (ジーデントップ) − 鏡筒倍率:1×、視野数:24、光路切換式 (観察/TV=100/0:0/100) 、双眼附視角:20° 、眼幅調節範囲51∼76mm (ジーデントップ) 左記標準付属 UWF10×/30 (視野数30) − WF10×/24 (標準付属) 、 WF10×/24 (視野数24) 、WF15×/16 (視野数16) 、WF20×/12 (視野数12) WF15×/16、WF20×/12 M Plan Apoシリーズ M Plan Apoシリーズ BD Plan Apoシリーズ BD Plan Apoシリーズ M Plan Apo SLシリーズ M Plan Apo SLシリーズ M Plan NIRシリーズ BD Plan Apo SLシリーズ BD Plan Apo SLシリーズ G Plan Apoシリーズ G Plan Apoシリーズ 詳細はP.13を参照下さい。 詳細はP.13を参照下さい。 詳細はP.13を参照下さい。 詳細はP.13を参照下さい。 詳細はP.13を参照下さい。 30mm 一軸粗微動(粗動:3.1mm/回転、微動:0.1mm/回転)…左右、右側目盛付(1μm読み) 明視野用レボルバ4穴または5穴より選択 明暗視野用レボルバ4穴 明視野用レボルバ4穴または5穴より選択 明暗視野用レボルバ4穴 明暗視野用レボルバ4穴 (標準付属) 、 5穴 ストローク:153×153mm (専用載物ガラスを用意しています。 ) 左記標準付属 ストローク:204×204mm (専用載物ガラスを用意しています。 ) 左記オプション AC100、110、120、220、230、240V 50/60Hz 最大消費電力約80W AC100、110、120、220、230、240V 50/60Hz 最大消費電力約150W 15.2kg 15.5kg 約26kg 電源 本体質量 ●FS110T及びFS110は明視野、明暗視野観察以外に、組合せにより偏光観察、微分干渉観察も可能。 ●明暗視野レボルバに明視野用対物レンズを取付ける変換アダプタを別途用意しております。 ランプ交換 透過用 反射用 標 準:No.513666(6V20W ハロゲンランプ) 標 準:No.513667(12V50W ハロゲンランプ) ロングライフ:No.12BAB345(12V50W ハロゲンランプ)やや照度が落ちます。 8 実体顕微鏡 MSM-400シリーズ 特長 ●機械部品から生物細胞・組織まで幅広い分野での拡大観察が可能 ●立体映像によりルーペ感覚で精密部品の組み立て作業が容易 ●高機能でエルゴノミックデザイン、コストパフォーマンスに優れた4シリーズをラインアップ ●CCDカメラ(Cマウント仕様)装着によるモニタ観察や画像保存が可能(MSM-Z475、465のみ三眼システム可能) ●スタンド、ボンダ装置対応ホルダ、リング蛍光灯照明など豊富なオプション類を用意、多様な業界ニーズに対応 MSM-412 MSM-Z414 簡単操作の2ステップターレット変倍 (1.2×) 方式を採用した、コンパクトな 汎用モデル MSM-Z475T 操作性に優れたズーム変倍 (1∼4×) 方 式が検鏡作業を強力にサポート 総合倍率10 ∼ 40×ズームのスタン ダードモデル ■仕様 符号 コードNo. 光学系 MSM-Z414 MSM-412 377-945 377-925 内斜系、正立正像、内斜角12° 双眼、附視角45° 鏡筒 眼幅調整範囲54∼76mm (左右接眼部) 視度調整可能 (左接眼部のみ) 視度調整可能 変倍方式 ズーム変倍 ターレット変倍 2ステップ 対物レンズ 1×∼4× (ズーム比4) 1×・2× 0.5×、0.75×、1.5× 補助対物レンズ (オプション) ― WF10× (視野数20:標準付属) WF5× (視野数22) 、WF15× (視野数13) WF20× (視野数10) 接眼レンズ 総合倍率 (標準仕様による) 作動距離 合焦部移動量 載物板 本体質量 標準付属 標準価格 (税抜き) 10×∼40× 80mm 10×・20× 95mm 44mm 5.3kg 4.9kg アイシェード2個、ビニールカバー 118,000円 68,000円 MSM-465 対物レンズ0.75∼5×ズーム式 (総合倍率 7.5∼50×) で作動距離113mmの本格仕 様モデル システムの拡張性と観察性能を重視したハ イエンドモデル 4ステップターレット変倍 (0.6、1.2、2.5、5×) 方式により、幅広い観察倍率を選択可能 MSM-Z475 MSM-Z475T MSM-465 377-975 377-985 377-965 平行系、正立正像 内斜系、正立正像 双眼、附視角35° 三眼 (TVポート付) 、附視角35° 眼幅調整範囲52mm∼79mm 視度調整可能 (左接眼部のみ) 視度調節可能(左右接眼部) ターレット変倍 4ステップ ズーム変倍 0.6×・1.2×・2.5×・5× 0.75×∼5× (ズーム比6.6) 0.5×、1.5×、2× 0.5×、0.63×、1.5×、2× WF10× (視野数23:標準付属) WF10× (視野数23:標準付属) WF6.25× (視野数23) (視野数17.6) WF5× (視野数23) 、 WF6.25× (視野数23) 、 WF15× (視野数17)WF15× WF20× (視野数13.4) WF20× (視野数13) 、WF32× (視野数8) WF32× (視野数10) 6×・12×・25×・50× 7.5×∼50× 89mm 113mm 50mm 50mm 黒/乳白色アクリル 5.3kg 4.8kg 5.4kg アイシェード2個、 ビニールカバー アイシェード2個、ダストカバー 138,000円 198,000円 175,000円 ■レンズ仕様 項目 対物レンズ 符号 ターレット式 MSM-412 1・2× ズーム式 MSM-Z414 1∼4× 作動距離 補助 対物レンズ (mm) ― ― 0.5× 0.75× 1.5× 95 80 135 95 39 接眼レンズ 5× 視野数22 (mm) 総合倍率 実視野 22・11 5・10× 22∼5.5 5∼20× 2.5∼10× 44∼11 3.75∼15× 29.3∼7.3 7.5∼30× 14.6∼3.6 接眼レンズ 10× 視野数20 (mm) 総合倍率 実視野 20・10 10・20× 20∼5 10∼40× 40∼10 5∼20× 7.5∼30× 26.6∼6.6 15∼60× 13.3∼3.3 接眼レンズ 15× 視野数13 (mm) 総合倍率 実視野 13・6.5 15・30× 15∼60× 13∼3.25 7.5∼30× 26∼6.5 11.25∼45× 17.3∼4.3 22.5∼90× 8.6∼2.1 接眼レンズ 20× 視野数10 (mm) 総合倍率 実視野 10・5 20・40× 20∼80× 10∼2.5 20∼5 10∼40× 15∼60× 13.3∼3.3 30∼120× 6.6∼1.6 接眼レンズ 6.25× 接眼レンズ 10× 接眼レンズ 15× 接眼レンズ 20× 接眼レンズ 32× 接眼レンズ 5× 補助 作動 視野数23 視野数23 視野数17 視野数13 視野数8 視野数23 対物レンズ 対物 距離 レンズ (mm) 符号 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) 総合倍率 実視野(mm) ― 113 3.75∼25× 4.6∼30.67 4.68∼31.25× 4.6∼30.67 7.5∼50× 4.6∼30.67 11.25∼75× 3.4∼22.67 15∼100× 2.6∼17.33 24∼160× 1.6∼10.67 0.5× 200 1.87∼12.5× 9.2∼61.33 2.34∼15.62× 9.2∼61.33 3.75∼25× 9.2∼61.33 5.62∼37.5× 6.8∼45.33 7.5∼50× 5.2∼34.67 12∼80× 3.2∼21.33 MSM-Z475 0.75× 0.63× 160 23.62∼15.75× 7.3∼48.94 29.48∼19.68× 7.3∼48.94 4.72∼31.5× 7.3∼48.94 7.08∼47.25× 5.4∼36.17 9.45∼63× 4.13∼27.66 15.12∼100.8× 2.54∼17 MSM-Z475T ∼5× 1.5× 54 5.62∼37.5× 3.07∼20.35 7.02∼46.87× 3.07∼20.35 11.25∼75× 3.07∼20.35 16.87∼112.5× 2.27∼15.04 22.5∼150× 17.33∼11.5 36∼240× 1.07∼7.08 2× 34.5 7.5∼50× 2.3∼15.33 9.36∼62.5× 2.3∼15.33 15∼100× 2.3∼15.33 22.5∼150× 1.7∼11.33 30∼200× 1.3∼8.67 48∼320× 0.8∼5.33 項目 ズーム式 項目 符号 ターレット式 9 MSM-465 接眼レンズ 10× 接眼レンズ 15× 接眼レンズ 20× 接眼レンズ 32× 接眼レンズ 6.25× 補助 作動 視野数23 視野数17.6 視野数13.4 視野数10 視野数23 対物レンズ 対物 距離 レンズ(mm) 総合倍率 実視野 (mm) 総合倍率 実視野 (mm) 総合倍率 実視野 (mm) 総合倍率 実視野 (mm) 総合倍率 実視野 (mm) ― 89 3.75・7.5・15.62・31.25× 38.3・19.1・9.2・4.6 6・12・25・50× 38.3・19.1・9.2・4.6 9・18・37.5・75× 29.3・14.6・7.0・3.5 12・24・50・100× 22.3・11.1・5.3・2.6 19.2・38.4・80・160× 16.6・8.3・4.0・2.0 0.6・1.2・ 0.5× 192.8 1.87・3.75・7.81・15.62× 76.6・38.3・18.4・9.2 3・6・12.5・25× 76.6・38.3・18.4・9.2 4.5・9・18.75・37.5× 58.6・29.3・14.08・7.04 6・12・25・50× 44.6・22.3・10.72・5.36 9.6・19.2・40・80× 33.3・16.6・8.0・4.0 2.5・5× 1.5× 53.4 5.62・11.25・23.43・46.87× 25.5・12.7・6.1・3.06 9・18・37.5・75× 25.5・12.7・6.1・3.0 13.5・27・56.25・112.5× 19.5・9.7・4.6・2.3 18・36・75・150× 14.8・7.4・3.5・1.7 28.8・57.6・120・240× 11.1・5.5・2.6・1.3 2× 36 7.5・15・31.25・62.5× 19.1・9.5・4.6・2.3 12・24・50・100× 19.1・9.5・4.6・2.3 18・36・75・150× 14.6・7.3・3.52・1.76 24・48・100・200× 11.1・5.5・2.68・1.34 38.4・76.8・160・320× 8.3・4.1・2.0・1.0
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