KLA-Tencor、新しい「SURFmonitor」システムを発表検査ツールを計測領域に拡大カリフォルニア州サンノゼ発（2007 年 7 月 11 日） KLA-Tencor 社 (本社：米国カリフォルニア州サンノゼ日本法人：ケーエルエー・テンコール株式会社)は本日、新しい「SURFmonitor」システムを発表しました。この製品は、業界をリードするパターンなし表面検査システム「Surfscan SP2」が提供する従来の欠陥検査領域を拡大させ、プロセス変動やずれも監視するモジュールです。 SURFmonitor は、ベアウェーハやベタ膜ウェハの表面形態における変動を測定するように設計されており、表面の粗さ、グレインサイズ、温度などの広範なプロセスパラメータについて相関解析を行います。SURFmonitor では、欠陥情報を収集しながら、1 オングストローム（＝ 0.1nm）以下の再現性でウェーハ全体の詳細なパラメトリックマップを 1 分以内に作成でき、ファブではプロセスのばらつきと欠陥を同時に監視できます。Surfscan SP2 に SURFmonitor を組み込むと、きわめて優れた再現性とマッチング性能を発揮します。 KLA-Tencor のウェーハ検査グループ担当副社長兼本部長 Mike Kirk は次のように述べています。「現在の最先端の IC は、わずかな原子層の厚さの膜に依存しています。膜の品質、すなわちその表面の粗さと均一性は、デバイスの性能と信頼性にとってきわめて重要になっています。必要な解像度、精度、および再現性を達成できる計測システムはありますが、分散的なサンプリング方法では、局部的なパラメトリック変動を見逃す可能性があります。 SURFmonitor では、ウェーハ全体に高速スキャンを実行し、制御不能なウェーハまたはダイの領域を速やかに特定することによって、検査と計測を補完します。そして計測ツールでは、パターン付きウェーハで特定の測定を行い、対象領域に照準を合わせてサンプリングプランを調整できます。SURFmonitor ではこのようにして、Surfscan SP2 と膜計測ツールの両方の生産性を高めることができます」 KLA-Tencor は、5 年以上かけて SURFmonitor の独自のテクノロジとアプリケーションを開発し、特許を申請しました。SURFmonitor では、低い空間周波数と、ウェーハのスキャンによる低い振幅散乱信号を使用して、高解像度のウェーハ全体のマップを生成します。1 オングストローム以下の高解像度を実現したマップは、表面の高画質デジタル写真と似ています。 SURFmonitor では、ウェーハ内またはウェーハ間の空間変動に関してこれらのマップを解析し、その結果を統計的プロセス制御に適用します。SURFmonitor データでは、Cu、タングステン、およびポリシリコン膜の膜厚、表面の損傷、表面の温度変動、および表面の粗さの AFM （atomic force microscope：原子間力顕微鏡）測定などのいくつかのパラメータに対する高い相関関係が明らかになっています。SURFmonitor には、スレッショルド以下の欠陥の検出機能も備わっており、従来の欠陥チャネルでは検出が容易でない透かしや歪みなどの欠陥を検出できます。 Soitec の SOI 製品プラットフォーム部門担当副社長 Christophe Maleville 氏は次のように述べています。「SURFmonitor では、欠陥検査と同時にすべてのウェーハで表面領域の 100%を特性評価できるので、特定の計測検査で SURFmonitor を使用することには大きなメリットがあります。原子レベルの粗さの変動を検出できる能力を備えた SURFmonitor は、かなりの範囲で AFM に置き換えることができます。SURFmonitor では、量産に適した高いレベルで、検出が困難な特定の欠陥タイプを確実に検出することもできました。SURFmonitor は、検査テクノロジにおける明らかな進歩です」 SURFmonitor には、高度なプロセス研究および開発を可能にする豊富な機能セットだけでなく、量産の条件を満たす柔軟な自動画像処理および解析エンジンも備わっています。SURFmonitor は、アジア、欧州、および米国内の IC およびウェーハファブに出荷されており、液浸リソグラフィ、ベアウェーハ表面品質管理、湿式洗浄処理、熱処理、成膜などのさまざまなアプリケーションをサポートしています。SURFmonitor テクノロジを取り上げた十数種類の論文が業界誌で刊行され、世界各地での会議で発表されています。 KLA-Tencorについて: KLA-Tencorは半導体製造および関連業界向けの歩留まり管理、およびプロセス管理ソリューションにおける世界的なリーディングカンパニーです。カリフォルニア州サンノゼに本社を置き、世界中に販売およびサービス拠点があります。S&P 500社にランキングされており、KLACという名称でNASDAQ国内証券市場で取引されています。詳細についてはhttp://www.kla-tencor.co.jpをご覧ください。【本件に関するお問い合わせは、以下までお願いいたします】 KLA-Tencor KLA-Tencor 社広報代理 Corporate Communications – Asia ｳｪｰﾊﾞｰ･ｼｬﾝﾄﾞｳｨｯｸ谷地田(ﾔﾁﾀ)/大崎 Hui-Yun Chen Tel: 03-5427-7412/7396 (65) 6761 7110 [email protected]