目次1/2 - 三弘アルバック

アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　目次1/2
分類名
<スパッタ装置　ULVAC製>
<スパッタ装置　ULVAC製以外>
<蒸着装置>
<ＣＶＤ装置>
<アッシング装置>
<エッチング装置　ULVAC製>
<エッチング装置　ULVAC製以外>
<イオン注入装置>
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
<フォトリソグラフィー工程装置>
<コーター・デベロッパー>
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
<膜厚測定・抵抗測定装置>
<外観検査装置・その他計測器>
<洗浄装置>
<めっき装置>
<顕微鏡>
<後工程・実装装置>
<ＵＶ装置>
<ディスペンサー装置>
<イオンミリング装置>
<その他真空装置>
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
<その他>
<油回転真空ポンプ>
<油回転真空ポンプ部品>
<油拡散ポンプ>
<メカニカルブースターポンプ>
<クライオポンプ　ULVAC製>
<クライオポンプ　ULVAC製以外>
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外>
<ドライポンプ>
<イオンポンプ>
<排気セット>
<真空バルブ　ULVAC製>
<真空バルブ　ULVAC製以外>
<超高真空部品>
<ピラニ真空計>
<電離真空計>
<バラトロン真空計>
<ペニング真空計>
<サーモカップル真空計>
<キャパシタンスマノメータ >
<広帯域真空計 >
<成膜コントローラー>
<ガス分析計>
<Heリークディテクタ>
<EB電源>
ページ番号
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1　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　目次2/2
分類名
<RF電源>
<DC電源>
<AC電源>
<アナライザーマグネット電源>
<マグネット電源>
<加熱電源>
<その他電源>
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
<搬送ロボット>
<電気制御系>
<チラー・純水設備>
<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>
<スパッタ装置部品>
<蒸着装置部品>
<イオン注入装置部品>
<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD>
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ>
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>
ページ番号
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今月の新掲載品
中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
☆
RS15-2057
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MH96-5035
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
RS15-1095
RS15-1094
RS15-1093
RS15-1092
RS15-1097
RS15-1096
RS15-1098
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
22145
22143
22142
22137
22150
22146
22317
☆
RS15-2056
抵抗加熱蒸着装置
EX-400-D06(改C08)
ULVAC
MH92-5012
☆
RS15-2064
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
製造年
備考
1998
構成　：　処理室 2室（有機材料成膜室・電極形成室）　＋　ｸﾞ
ﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ（ｵﾘｼﾞﾅﾙ）、蒸発源　：　有機材料成膜室　（Cell　；
5ヶ所）　、　電極形成室　（抵抗加熱 2本）、排気系　：　油回
転真空ポンプ（D-240DK × 2台）＋ CP（U-6H + C10）＋
TMP（TMP-280）、制御系　：　ｼｰｹﾝｻｰ（三菱Aｼﾘｰｽﾞ A1S）
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　（CRTM-7000 × 2式）
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
抵抗加熱蒸発源　8元　（電源系統 2系統）,主排気系　CP化
改造済　（CP 欠品）　＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650DK,制御I系
；　成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　（RS15-2060） CRTM8000 付属
☆
MA09-4505
JIG：JRH-075（Φ50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRYiH80、SubHeating：MAX350℃,仕様書あり、取説・図面なし。
☆
☆
1992
☆
RS15-2063
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4504
JIG：JRH-075（Φ50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRYiH80、SubHeating：MAX350℃,仕様書あり、取説・図面なし。
☆
RS15-2062
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4503
JIG：JRH-075（Φ50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRYiH80、SubHeating：MAX350℃,仕様書あり、取説・図面なし。
☆
☆
RS15-1085
蒸着装置
SKF-1300
昭和真空
07-4133
2008
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟが冷却水漏れ等にて熱交換器不良、また4台中1
台にHe残圧0の状態あり。取説あり、仕様書・図面なし。
☆
2010
SOLCIETの特型、ﾁｬﾝﾊﾞｰが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、
EBX-1000の代替え装置としてL/L・G-BOXなど付属してお
り、状態良好。仕様書・取説・図面あり。（機器取説、納入仕
様書、社内試験成績、現地試験成績書、電気図面、保守図、
操作マニュアルあり）
☆
☆
RS15-1084
☆
RS15-2054
蒸着装置
VPC-260
☆
RS15-2059
簡易ｴｱｰｼｬﾜｰ
標準型ｴｱｰｼｬﾜｰ
☆
RS15-2058
ﾄﾞﾗﾌﾄﾁｬﾝﾊﾞｰ
DF-11AK
☆
RS15-2055
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SV-4540-D14
☆
RS15-2053
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
PCV-1302BN
蒸着装置
SOLCIET
☆
RS15-2052
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1500E/FVT-1200E
☆
RS15-2060
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1200E
ULVAC
MH10-1019
ULVAC
-
1992
AIRTECH
-
2001
ﾀﾞﾙﾄﾝ
DF980382
2005
ULVAC
MH91-5008
1992
日立製作所
G12952111
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟ
ﾗｲ
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟ
ﾗｲ
2　製造番号未確認、リレー（接点）無し
外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚扉；ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ ,
その他；若干の汚れ在り
外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚 ,扉；樹脂ｽﾗｲﾄﾞ
ﾄﾞｱ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ無　・　若干の汚れ在り
Sputtering System:：Side Sputter DC [10 kW] / RF [3 kW]
Cathode：3 [5in × 18in High Rate Cathode] … CA1
[DC/RF] CA2 [DC/RF] CA3 [RF]
Etching System：RF 500 W Vacuum System：DP [ULK-14] / PMB [PMB-001CM] /
RP [D-950DK]
Gas System：Ar 100sccm / O2 50sccm / N2 50sccm
☆
1982
外寸；1300W*800*1875H 、ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚、扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰ
ﾃﾝ、その他；ｱｼﾞｬｽﾀ付・若干の汚れ在り
☆
307316/307317
1983
外寸；1300W*800*1875H, ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚 ,扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃ
ﾝ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ付・若干の汚れ在り
☆
-
1998
☆
☆
☆
☆
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　<スパッタ装置　ULVAC製>
中古品番号品名
☆
メーカー
製造番号
製造年
1992
備考
Sputtering System:：Side Sputter DC [10 kW] / RF [3 kW]
Cathode：3 [5in × 18in High Rate Cathode] … CA1
[DC/RF] CA2 [DC/RF] CA3 [RF]
Etching System：RF 500 W Vacuum System：DP [ULK-14] / PMB [PMB-001CM] /
RP [D-950DK]
Gas System：Ar 100sccm / O2 50sccm / N2 50sccm
RS15-2055
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SV-4540-D14
ULVAC
MH91-5008
RS15-1025
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS Z-1000
ULVAC
ME95-1042
（WT06-10010A）
RS15-2010
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SH-450-T10
ULVAC
MB03-5006
RS15-2008
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-550L
ULVAC
MH92-1080
1992
★2012年ﾘﾆｭｰｱﾙ装置★排気系：TMP（UTM-2300）・拡散ﾎﾟﾝ
ﾌﾟ（D-950DK）、真空計：ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞ（GI-TL3）・ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞ*3
（GP-1SRY(C)）・ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計（MKS PRC-C-1C）、ｽﾊﾟｯﾀ電
源：DC（DC）・DC(DCS-0202B)、熱電対：PHS-07、ｽﾊﾟｯﾀｶｿｰ
ﾄﾞ：1源（φ4in*6set）←SP-UP、材料：金属　仕様書・取説・図
面あり。
RS12-1061
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000
ULVAC
ME02-8012
2002
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　１E3T　，基板：φ6in
Etch：ICP　SP1～3：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制
御：GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階
下置き仕様　※ ﾌﾙﾁｬﾝﾊﾞｰ仕様　機能充実
RS12-1062
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CERAUS　Z-1000
ULVAC
ME93-5021
1994
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E1T　，基板：φ6in
Etch：ICP　SP：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：
GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階下置
き仕様　※ 拡張性有り
RS13-3017
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
CS-200
ULVAC
MA07-1009
2007
RS12-1227
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
IBS-6000
ULVAC
MB04-1012
2004
RS12-1118
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME00-5016
2000
RS13-1115
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME96-1064
1997
RS13-3127
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
ULVAC
ME99-1017
RS14-4024
RS14-1242
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
MLX-3000N
MPS-2000
ULVAC
ULVAC
ME97-1050
MB99-1021
枚様式ｽﾊﾟｯﾀ、2C2Tﾉｰﾏﾙｶｿｰﾄﾞ搭載、S3室、6ｲﾝﾁ、S4室、8ｲ
ﾝﾁﾗﾝﾌﾟ加熱仕様、平置き、TMP（島津載せ替え済）、ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝ
ﾌﾟAA-10S　※2007年ﾘﾆｭｰｱﾙ販売している装置。仕様書・図
面あり、取説なし。
構成：CA3元
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　実験・量産　ｽﾊﾟｯﾀﾀﾞｳﾝ　φ12in回転磁石型ﾏ
ｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ(誘電体用）　1元　SP電源：RF　3ｋWx1　排気
系：TMP+DRP　基板ｻｲｽﾞφ6in　仕様書あり、状態良好
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　ｲｵﾝﾋﾞｰﾑｽﾊﾟｯﾀ装置動作確認済み
使用頻度少なく良好
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E2T2C，基板：φ
5in　Etch：2重極　SP1：Metal　SP2：Metal，加熱系：Infrared
Lamp　ｶｾｯﾄ室×2，排気系：CRYO＋RP
【枚葉式】ﾌﾙﾓｼﾞｭｰﾙ（2C3T1E)　取説・図面あり
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　1E1T1H2C　基板：
φ5in　Etch：2重極　SP：Metal　加熱系：赤外線ﾗﾝﾌﾟ　ｶｾｯﾄ室
×2　排気系：CRYO＋RP
1998
2000
8インチ用
取説あり。
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構
成：ｶｾｯﾄ室＋搬送室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×3）＋（空×2）基板：140□
mmｶﾞﾗｽ基板等（180mm□ﾄﾚｲ使用）　排気系：ＴＭＰ＋DRY
成膜室：（P3：蒸着重合、P4：蒸着％UV、P5：φ300ﾛｰﾀﾘ式ﾏ
ｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元）　電源：RF電源　3KW　成膜法：固定成膜
ﾃﾞﾎﾟｱｯﾌﾟ
RS13-2209
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
PME-200LE（LPO)
ULVAC
MA08-3536
2010
RS14-2292
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SBH-2306
ULVAC
ME57-5034
1983
RS13-2204
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350-D06(ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
MH62-5073
1988
【バッチ式】実験・少量生産　φ150mmカソード　1元　（スパッ
タアップ）　排気系：拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ欠品（ULK-06A)、D-650Dスパッ
タ電源：ＤＣＧ－０５Ｃ　ガス：２系統ｼｰｹﾝｻｰ：三菱製AOJ2
RS14-2010
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-350EL-C06
ULVAC
MA98-5016
1999
LL式　基板□125ｍｍ　逆ｽﾊﾟ付、DC・RF　ｶｿｰﾄﾞ3元
ULVAC
MH610502(NH8978)
1987
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験・少量生産　φ6in ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ ×3元　ｽ
ﾊﾟｯﾀ電源 DCx1・RFx1　逆ｽﾊﾟｯﾀ付(500W)　排気系：CRYO＋
RP
Vacuum　System・・・CP［（U10PU）　C15R（MBS）］　RP［D650DK］ Vacuum　Gauge・・・Ion　Gauge［GI-M2］　Pirani
Gauge*3［GP-1SRY（C）］　Baratｒon　Gauge［MKS　PRCC-1C］ Sputtering　Power　Suppy・・・DC［DC］　DC［DCS0202B］　Heater　Power［PHS-07］ Sputtering　Cathode・・・
1source (5in*10in*6t［Dual　Cathode　Remodeling　OK］）←
SP-UP Trace・・・ITO 仕様書・取説・図面あり。
RS12-1405
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SH-450-C10
☆
RS14-2268
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-1010特　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
ULVAC
MA01-5007-0
2002
RS13-1116
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIH-3030
ULVAC
MH63-5260
2007
RS11-1021
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-850
ULVAC
MA06-1006
2006
RS11-1022
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SIV-850
ULVAC
MA03-1012
2006
RS13-2208
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SME-200LDM(LCO)
ULVAC
MA08-3625
2010
RS11-2043
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SMR-2110E
ULVAC
ME58-0161
1983
RS14-1118
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRH-420MC
ULVAC
MA02-1038
RS11-1186
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SV-9040-T14
ULVAC
MA00-1013
RS10-2807
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7820
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T　，基板：φ6in
SP1：Metal　SP2：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：
GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階下置
き仕様　※ 拡張性有り
RS10-2808
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
Z-1000
ULVAC
ME00-7818
【枚葉式（Multi_Chamber）装置】量産用　2T　，基板：φ6in
SP1：Metal　SP2：Metal　，加熱機構：：Infrared Lamp　制御：
GPCS-300GT　，排気：TMP（旧型）+CryoTrap，設置：階下置
き仕様　※ 拡張性有り
RS15-1001
ｽﾊﾟｯﾀ装置
SIH-300RD
ULVAC
MA08-7004
2009
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・少量生産　ｶﾞﾗｽ基板： □850×900ｶ
ｿｰﾄﾞ3元搭載ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF 片面　縦搬送通過成膜式排気
系：CRYO+RP
【ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式】　実験・少量生産　ｶﾞﾗｽ基板： □850×900ｶ
ｿｰﾄﾞ3元搭載ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC 片面　縦搬送通過成膜式　排
気系：CRYO+RP
【枚様式】ｽﾊﾟｯﾀ成膜実験・生産用装置（金属、絶縁物等）　構
成：ｶｾｯﾄ室＋搬送室＋（ﾌﾟﾛｾｽ室×6）＋（空×1）基板：150□
mmｶﾞﾗｽ基板等（200mmｳｴﾊ可能）　排気系：ＴＭＰ＋DRY　成
膜室：（P2～P6φ300ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×5元、P7φ300
ﾛｰﾀﾘ式ﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ×1元　Cu）　電源：P2～P6　RF電源
5KW　P7　DC電源　4KW成膜法：固定成膜　ｽﾊﾟｯﾀﾟｱｯﾌﾟ（P3は
回転成膜）
ﾏﾙﾁﾀｰｹﾞｯﾄｘ3式、ICPｴｯﾁ室　取説・図面あり
2001
【ﾊﾞｯﾁ式ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ）ﾀｲﾌﾟ】量産機　基板：ｶﾞﾗｽ　ｶｿｰﾄﾞ：
5inｘ18in×3　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC 排気系：TMP+RP
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式、DEPOﾀﾞｳﾝ、ｶｾｯﾄﾀｲﾌﾟ（ﾎﾙﾀﾞｰ6枚 420*420）、
ｶｿｰﾄﾞ：3元（Ti、Cu、Ni-Cu）135*47（非磁性）、排気系：
TMP+RP、GAS：Ar、電源：DC6KW RF1KW（逆ｽﾊﾟ）使用頻度
低い仕様書・図面なし、取説あり。
<スパッタ装置　ULVAC製以外>
中古品番号品名
RS15-1026 ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
型式
C-7540HC
メーカー
ANELVA
製造番号
EVP-30782
製造年
1996
RS12-1027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
-
ﾃｸﾉｺｰﾄ
-
1992
□100 角基板用　ｶｿｰﾄﾞ３元 DC　拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ＋ｱﾙｶﾃﾙRP
RS13-8022
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
E-102
日立
6127-03
1986
電源：AC100V 50/60Hz 1KVA　試料台：φ80ｍｍ　RP付属
（501-min)　放電電圧印加法：自動ｽﾛｰｱｯﾌﾟ方式
3　備考
Au、Cu、Ｎｉ成膜装置。仕様書、取説、図面なし。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS11-1201
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
HRS-521A
島津製作所
1M9062
1994
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用（全手動操作）　φ4inｶｿｰﾄﾞ　3元　静止成
膜　ｽﾊﾟｯﾀ電源：RF　逆ｽﾊﾟｯﾀ：可能　小型実験装置
RS12-1228
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
L-350S-C
ANELVA
EVP-30577
1996
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用ｶｿｰﾄﾞ： 5元（DC３式＋RF２式）　ｲｵﾝ
銃（ｸﾘｰﾆﾝｸﾞ用）
RS11-1184
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPC-530H
ANELVA
EVP-13998-1
1983
【ｶﾙｰｾﾙ（ﾄﾞﾗﾑ)式】　ｶｿｰﾄﾞ：5in×15in　3元　DC/RF切替　排
気系：DP　2004年にｶｿｰﾄﾞ追加・基板ﾎﾙﾀﾞｰ改造実施
RS14-3037
RS12-2027
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SPF-530F
SPF-540H
ANELVA
ANELVA
EVP-22528
EVP-24622
1991
6ｲﾝﾁ3元　ITOｽﾊﾟｯﾀ　RF/DC部品取りあり。仕様書あり。
RS12-1380
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置(ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式）
SPH-2019F
昭和真空
02-4191
2003
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　基板：φ3.4in　ｶｿｰﾄﾞ：5inx7in MgCa 3
元　ｽﾊﾟｯﾀ電源：DC/RF切替　加熱：ｼｰｽｽﾋｰﾀｰ
RS13-1155
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
SRL-3320
神港精機
42012540
2001
付属品：RF電源ﾗｯｸ、TMPｾｯﾄ予備品
備考
【ﾊﾞｯﾁ式】ｶｿｰﾄﾞ：φ6in× 3元
島津製作所
YA11-3041
1996
操作系：全て手動（排気操作含む）　排気系：TMP+RP（LN2ﾄ
ﾗｯﾌﾟ付）　島津製TMP-550-L+GDH-360　ｶｿｰﾄﾞ：4inx3元（非
磁性）　SP材料：TiO、Si、Pt、Ti、BLT（ｾﾗﾐｯｸ）　電源：DC
PEAL製　DP-1500-8　RF　PEAL製　RP-500Cｘ3式　RF
CONT　ZDK-916Bｘ3　基板加熱：MAX550℃　GAS:Ar、O2、
N2　ﾁﾗｰ：2台　島津製　CWC-1100B/CWC-2000,仕様書な
し、取説・図面あり。
昭和真空
ANELVA
00-4422
EVP-19881
1990
状態良好
SH-450-C12
ULVAC
-
型式
メーカー
製造番号
RS14-1223
多元ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置
TLS-300F
RS15-1002
RS12-2033
ｲﾝﾀｰﾊﾞｯｸ式ｽﾊﾟｯﾀ装置
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置部品（RS12-8061～
SPH-2500-RF
ECR-300E
RS15-1060
ｽﾊﾟｯﾀ装置
O/H必須。Φ6ｲﾝﾁｶｿｰﾄﾞ3元、RF/DC、ｴｯﾁﾝｸﾞ機構
付。
<蒸着装置>
中古品番号品名
製造年
備考
☆
☆
RS15-2057
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MH96-5035
1998
構成　：　処理室 2室（有機材料成膜室・電極形成室）　＋　ｸﾞ
ﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ（ｵﾘｼﾞﾅﾙ）、蒸発源　：　有機材料成膜室　（Cell　；
5ヶ所）　、　電極形成室　（抵抗加熱 2本）、排気系　：　油回
転真空ポンプ（D-240DK × 2台）＋ CP（U-6H + C10）＋
TMP（TMP-280）、制御系　：　ｼｰｹﾝｻｰ（三菱Aｼﾘｰｽﾞ A1S）
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　（CRTM-7000 × 2式）
☆
RS15-2056
抵抗加熱蒸着装置
EX-400-D06(改C08)
ULVAC
MH92-5012
1992
抵抗加熱蒸発源　8元　（電源系統 2系統）,主排気系　CP化
改造済　（CP 欠品）　＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ D-650DK,制御I系
；　成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ　（RS15-2060） CRTM8000 付属
☆
☆
RS15-2064
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4505
JIG：JRH-075（Φ50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRYiH80、SubHeating：MAX350℃,仕様書あり、取説・図面なし。
☆
☆
RS15-2063
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4504
JIG：JRH-075（Φ50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRYiH80、SubHeating：MAX350℃,仕様書あり、取説・図面なし。
☆
☆
RS15-2062
真空蒸着装置
ei-5k
ULVAC
MA09-4503
JIG：JRH-075（Φ50mm*98pcs）、蒸発源：EGL-406M/HPS406M/HPS-1000S、PUMP：CRYO-U16P/C30VR DRYiH80、SubHeating：MAX350℃,仕様書あり、取説・図面なし。
☆
☆
RS15-1085
蒸着装置
SKF-1300
昭和真空
07-4133
2008
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟが冷却水漏れ等にて熱交換器不良、また4台中1
台にHe残圧0の状態あり。取説あり、仕様書・図面なし。
☆
☆
RS15-1084
蒸着装置
SOLCIET
ULVAC
MH10-1019
2010
☆
RS15-2054
蒸着装置
VPC-260
ULVAC
-
1992
SOLCIETの特型、ﾁｬﾝﾊﾞｰが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、
EBX-1000の代替え装置としてL/L・G-BOXなど付属してお
り、状態良好。仕様書・取説・図面あり。
製造番号未確認、リレー（接点）無し
RS15-2049
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
XK96-0185
1996
水冷公転ﾄﾞｰﾑ（板）、EB/GUN:EGL-35M×2、EB電源：HPS1000F×1、EB CONT：EGC-10S×2　ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：U10PU
MBS温度計付、ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ：C15V、膜厚計：CRTM-9000
油回転ﾎﾟﾝﾌﾟ：D-950DK、蒸着材料：Pt Au Sn Pb Ge、装置停
止約1・5年、EBﾊｰｽ（1台水路に穴が開き現在未装着）、仕
様書あり、取説・図面なし。
RS15-1084
蒸着装置
SOLCIET
ULVAC
MH10-1019
2010
SOLCIETの特型、ﾁｬﾝﾊﾞｰが大きくEB蒸着や抵抗蒸着など、
EBX-1000の代替え装置としてL/L・G-BOXなど付属してお
り、状態良好。仕様書・取説・図面あり。
蒸発源 EB EGL-35M 40㏄*3 10cc*1、抵抗蒸発2元(ｽｲﾝｸﾞ
TYPE)、 EB電源HPS-1000F CONT EGC-10S 、抵抗蒸発電
源PSH-700F-N、膜厚計CRTM-9000、真空計GI-TL3RY GP1SRY-S*2、排気系ｸﾗｲｵU-16P ｺﾝﾌﾟﾚｯｻ-C30MT 積算
93490.1hr S/N：GK1087N、制御計系ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｰｹﾝｻｰ
A2SH CPU 蒸発材料 Au.Ti.Ｎi.AuSn.Pt.Ag 欠品：ﾌﾟﾗﾈﾀﾘｰﾄﾞｰ
ﾑ
RS15-2021
蒸着装置
EBX-16C(ﾊﾞｯﾁ式)
RS14-2289
RS13-3016
真空蒸着装置
蒸着重合装置
特殊蒸着装置
VEP-1000
ULVAC
ME58-5020
1983
ANELVA
ULVAC
EE995142
MF06-1008
2001
2007
RS14-2266
有機EL蒸着装置
SOLCIET（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
ULVAC
MH98-5013-0
RS11-3206
有機薄膜形成装置
SOLCIET
ULVAC
MF96-5002
1999
☆
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用
Vacuum　System・・・CP［U6H*2］　CP-Compressor[C10*2]
TMP[TMP-403LM]　RP[D-240DK*3] Vacuum　Gauge・・・Ion
Gauge[GI-TL3RY*3]　Pirani　Gauge*5[GP-1SRY（C）]、Bias　RF
Power Supｐｙ・・・RF[RFS-02CA] Trace・・・Metal&Organic material 仕
様書・取説・図面あり。
有機薄膜形成装置　有機EL 研究・生産装置
RS13-2200
蒸着装置
SGC-22SA-RF（ﾊﾞｯﾁ式）
昭和真空
00-4561
2000
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　生産用φ900ｘ1125H　SUS製　後方排
気　水冷ﾊﾟｲﾌﾟ巻　公転ﾄﾞｰﾑ　蒸発源：EB蒸発源（JEOL)
JEBG-102UHO　15連ﾊｰｽ　電源JST-10F（10Kw)　排気系
RP(VS-2401)+PMB(PMB-006CM)+DP（SFD-22B・昭和）+ﾎﾟﾘ
ｺﾞｰﾙﾄﾞ(PFC-550)　その他：　RF誘導ﾊﾞｲｱｽ（３Kw)　京三 / 光
学膜制御（SOCS-1α）昭和 / CRTM-6000(ｼﾝｸﾞﾙｾﾝｻ） / ｼｰ
ｽﾋ-ﾀｰ加熱
RS14-1226
RS14-1227
RS14-1180
蒸着装置
蒸着装置
高真空蒸着装置
SGC-22SA-RF
SGC-22SA-RF
EX-900-C16
昭和真空
昭和真空
ULVAC
97-4334
94-4371
MH89-2054
1990
抵抗8元　動作確認済み。　取説・図面あり。
RS09-2143
蒸着装置
EX-650-C16
ULVAC
MH97-5033
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ750W×900H　自
公転治具　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ 10連回転駆
動）　排気系：CRYO ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
RS11-1191
蒸着装置
EX-550-D10-B
ULVAC
MH90-1086
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ650W×
800H　蒸発源：未搭載（選択自由）　排気系：DP（LN2ﾄﾗｯﾌﾟ）
＋RP
RS14-2295
蒸着装置
EX-550-D10(改C）
ULVAC
MH89-7048-0
1990
RS11-2397
蒸着装置
EX-550-C10
ULVAC
MH96-1051
1996
RS14-1181
高真空蒸着装置
EROLA
ULVAC機工
-
RS12-1428
蒸着装置
EBX-8C　(ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
MH59-0112
4　☆
1984
【前扉ﾊﾞｯﾁ装置】　少量生産・研究用　真空槽：φ650Wx800H
自公転治具　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）ｘ2式（Au、Sn成
膜）　排気系：CRYO+RP　EBｶﾞﾝ2台（EB電源無し）・水冷ﾄﾞｰ
ﾑ使用
抵抗３式　ｸﾗｲｵ排気+DRP　L/L室付　CRTM-9000　抵抗電
源ｿﾘｯﾄﾞﾀｲﾌﾟ
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×
600H　自公転治具（φ100用）　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ(EGL-35M)
排気系：CRYO＋RP　（ｶﾞｽ導入:O2)　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS12-1233
高真空蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5039
1984
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×
600H　公転治具　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-206M）膜厚計：
CRTM-9000　排気系：CRYO ＋ RP
RS13-2099
蒸着装置
EBX-8C
ULVAC
ME58-5058
1983
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：□500×
600H　公転平板　□150ｶﾞﾗｽ基板　蒸発源：抵抗加熱式(ﾀﾝｸﾞ
ｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）　排気系；CP＋RP
RS14-2012
RS14-2294
蒸着装置
蒸着装置
EBX-8C
EBX-8C
ULVAC
ULVAC
ME59-5082
XC03-4012
1985
1990
抵抗蒸発源2元式　ｸﾗｲｵ仕様10吋
RS14-1110
高真空蒸着装置
EBX-6D
ULVAC
MH60-0242
1985
RS12-1214
蒸着装置
EBX-16C
ULVAC
MH89-7043
1989
抵抗蒸着　φ3ｲﾝﾁ公転ﾄﾞｰﾑ12枚　ﾗﾝﾌﾟ加熱ｘ2式　ULK-06A
ｸﾘｰﾝﾙｰﾑ保管（動作確認済み）
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　中量生産　真空槽：φ750Wx900H　自公
転治具　蒸発源：電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M)　電源：10ｋW(真空管）
排気系：CRYO+RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　後方排気　ﾌﾟﾗﾈﾀﾄﾞﾘｰ
ﾑ
RS11-3014
蒸着装置
EBX-10D
ULVAC
SE59-1362-4
1885
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ650W×
800H　治具無し　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）
排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱
RS12-1419
蒸着装置(ﾊﾞｯﾁ式）
EBX-10D
ULVAC
SE56-1351-3
1981
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ650W×
800H　治具無し　蒸発源：抵抗加熱式（ﾀﾝｸﾞｽﾃﾝﾎﾞｰﾄ×3）
排気系：DP ＋ RP　赤外線ﾗﾝﾌﾟ加熱　欠品：EBｶﾞﾝ
RS10-2175
蒸着装置
EBX-10C
ULVAC
SE58-1359-4
RS13-1038
蒸着装置
EBS-10A特型
ULVAC
XJ99-70010A
1999
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】　排気系：U-12HSP(C30MT予防保
全済）+PMB-003C+D-950DK　加熱源：赤外線ﾗﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ　ｽﾃｰｼﾞ回転：0～10ｒｐｍ　蒸発源：抵抗蒸発源（Wﾌｨﾗﾒﾝﾄｘ4連
ｘ6点切替方式）　仕様書・取説・図面あり
RS13-2205
蒸着装置（ﾊﾞｯﾁ式）
EBS-10A
ULVAC
ME54-0003
1979
【ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ式　ﾊﾞｯﾁ装置】2006年ﾘﾆｭｰｱﾙ操作系：ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ　真空動作：AUTO/MANUAL　成膜半自動蒸着材料：AL・In・
Sn　公転ﾄﾞｰﾑ（JRA-050)　ﾜｰｸｻｲｽﾞ：50ｍｍｘ75ｍｍ　排気
系：ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ：Torr8/C30V　RP D-650　PMB-003C　蒸発
源：E/B　EGL-35M　HP1010SG　抵抗蒸発源：1元ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電
源付き　MFC Aｒ　100ｓｃｃｍ　膜厚計CRTM-6000
RS12-1080
蒸着装置
EBH-6
ULVAC
MH62-5022
2005
【ﾍﾞﾙｼﾞｬ式ﾊﾞｯﾁ装置】　研究用　全手動操作　抵抗加熱式蒸
発源　（欠品：ﾍﾞﾙｼﾞｬｰ）
RS14-2280
RS14-2360
RS14-2361
真空蒸着装置
蒸着装置
蒸着装置
BMC-700
EX-400-C08
L-300K
SHINCRON
ULVAC
ANELVA
900073
MA00-5024
EVP-37391
1990
RS14-2262
備考
【前扉式ﾊﾞｯﾁ装置】　小量生産・研究用　真空槽：φ600W×
800H　蒸発源:電子ﾋﾞｰﾑ（EGL-35M）　電源：10kw（真空管）
排気系：CRYO ＋ RP
現状動作OK。
現状動作OK。
Main　Vacuum　System：CRYO（U-10PUS)・・・H2
mater)+(C2W-U・・・99633hr)
Load Lock Chamber Vacuum System：Turbo-molecular pump
（UTM-350FH/D1A)
Vacuum　Control　System：mks　TYPE　113
Vacuum Gauge：Ion Gauge(GI-TL3RY)*2　Pirani Gauge*5
（GP-1SRY(A)）
Quartz crystal deposition controller (CRTM-6000)
Deposition Source：Erectron　Beam Source（EB・・・EGO-35)
Power Supply・・・（EB・・・HPS-510S)
Ion Plating System・・・RFS-02CA*2
Trace・・・Mo/Cr/Al/Al2O3 取説・図面あり。
IPM-100（Load　Lock式）
ULVAC
MF03-5104
2004
中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS12-1318
CVD装置
PD-270STA
SAMCO
2001
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　TEOS-CVD　使用ｶﾞｽ：C2F6　Ar O2　N2
RS14-3045
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
P-5000（MXP、DXZ）
AMAT
11738
RS10-2769
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
DWNT成膜装置
ULVAC
MB03-7002
RS12-1145
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置
CPD-1210
ULVAC
-
RS13-2010
ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD装置部品（RS13-8129～
8132）
CME-200J
ULVAC
MA07-5012-0
2008
RS14-2359
RS13-1031
CVD装置
P-CVD装置
CC-200
P-CVD装置（ﾊﾞｯﾁ式）
ULVAC
ULVAC
MA03-5033
MH61-1112
1986
中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS13-3031
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
VA-1000
ULVAC
2215
2001
RS11-2405
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000N
ULVAC
RE93-1003
RS12-2079
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
UNA-2000
ULVAC
XS06-4604
1992
2013/5初旬に装置停止　その後ｸﾘｰﾝﾙｰﾑにて保管　外観上
問題なし　不具合なし
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】　電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±
50MHz 高周波　200W　13.56MHz　RF出力ｹｰﾌﾞﾙ（大分建屋
保管）
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ】　電源：ﾏｲｸﾛ波　600～1000W　2450MHz±
50MHz 高周波　200W　13.56MHz
GLEN
TECHNOLOGIES
10271
2000
仕様書・取説あり
製造番号
製造年
蒸着装置
<ＣＶＤ装置>
取説・図面あり。
2003
【ﾊﾞｯﾁ式】　熱CVD　ｶｰﾎﾞﾝﾅﾉﾁｭｰﾌﾞ研究用　加熱系：
MAX1100℃ 排気系：RP　ｶﾞｽ：H2（10SLM）・Co（10SLM）　基
板：200mm×600mm
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　ﾌﾟﾗｽﾞﾏCVD　基板：φ200　使用ｶﾞｽ：
SiH4・・O2・N2
【ＣｔｏＣ】　生産用　プラズマＣＶＤ　156基板　《ｶﾞｽ》H2,
SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi　《不足品》　防着
板2室分、ｼｰﾙﾄﾞﾌﾞﾛｯｸ4ｘ2室分、ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ2枚、防着ﾏｽｸ4ｘ2
室分
現状動作OK。
研究・開発用途
<アッシング装置>
RS13-3123
ｱｯｼﾝｸﾞ装置
1000P
<エッチング装置　ULVAC製>
中古品番号品名
型式
メーカー
RS12-1312
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NLD-6000
ULVAC
MV99-1003
RS14-1231
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
NE-5000N
ULVAC
MV98-1002
RS11-2399
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1210
ULVAC
ME60-0230
RS10-2784
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1110
ULVAC
MH58-0012
RS12-2047
RS14-1293
ｴｯﾁﾝｸﾞ
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CSE-1000
ALBA-PEC
ULVAC
ULVAC
RE92-1023
-
RS12-1304
ICPｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CE-300I
ULVAC
MV03-1008
5　備考
【C to C ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　NLD方式（Deep Etch）　電源：
Antenna 2kW ／Bias 1kW　13.56MHｚ　排気系：TMP・DRP・
APC　基板：φ100mm　（ﾒｶﾁｬｯｸ）　使用ｶﾞｽ：C4F6/CH2F2/O
2000
CRで停止　L/L（ｶｾｯﾄ付）ｴｯﾁﾝｸﾞ装置。　程度良好・制御系動
作確認済み。　取説・図面あり。
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W 13.56MHｚ　排気
系：DP＋PMB＋RP　基板：φ200mm　（平置き）　ｶﾞｽ系：4系
統
1983
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　電源：500W 13.56MHｚ　排気
系：ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ＋油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ　基板：φ200mm
（平置き）
2004
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　ICP方式、使用ｶﾞｽ(CF４
/C3F8/SF6/He/Ar/O2)　※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　<エッチング装置　ULVAC製以外>
中古品番号品名
RS15-1021 ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
型式
RIE-200L
メーカー
ｻﾑｺ
製造番号
ENS990608
製造年
備考
1999 取説あり、仕様書・図面なし。
RS11-2028
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
L-210H-WS
ANELVA
EVP-35058
RS12-1311
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DES-320E
YAC
RS10-2789
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
DEM-451
ANELVA
EVP-16956
1987
RS14-4117
ｴｯﾁﾝｸﾞ
CVE-2014ACｓ1
ｸﾚｾﾝ
CVE-2013ACｓ1
2006
RS14-4015
Ti自動ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
-
ｻﾝｴｲ
-
2008
RS10-2182
ﾄﾞﾗｲｴｯﾁﾝｸﾞ装置
CDE-80N
芝浦ｴﾚｸﾄﾛﾆｸｽ
WFX0013
RS15-1003
ｴｯﾁﾝｸﾞ装置
RIE-200IP
SAMCO
22A1347
2000
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　研究用　RIE方式　使用ｶﾞｽ：O2　CF4：Ａｒ
CHF3　C4F8　SF8　排気系：R/P×2台　TMP×1台
【枚葉式】　生産向け　RIE方式　基板：φ4ﾄﾚｲ搬送　ﾁｬﾝﾊﾞｰ2
室
【ﾊﾞｯﾁ式】　研究用　RIE方式　基板：φ150mm　平置
き
12インチ用縦型ウェットエッチング装置。薬液は温調、循環ろ
過され、純水リンスへの影響がありません。
ウェット層でTiエッチング後、純水洗い、乾燥を自動で行える
装置
【枚葉式】　生産向け　ｹﾐｶﾙｴｯﾁﾝｸﾞ方式、電源：ﾏｲｸﾛ波
2.45GHz　1ｋW、基板：φ200ｍｍ　（裏面ｴｯﾁﾝｸﾞ）
<イオン注入装置>
中古品番号品名
RS14-1004 ｲｵﾝ注入装置
型式
IDZ-8001
メーカー
ULAVC
製造番号
MI05-1001
RS07-2983
IMX-3500
ULVAC
MI98-0001
ｲｵﾝ注入装置
製造年
2005
備考
制御系・電源・現行機種（ﾒﾝﾃ可能）　程度良好　欠品なし
中電流ｲｵﾝ注入装置 (MAX Energy 200KeV)　基
板：4in 1枚仕込（ｻｲｽﾞ変更可能）　ｴﾈﾙｷﾞｰ30～
200KeV　連続可変　実験用
<拡散炉・LPCVD・RTP・加熱装置>
中古品番号
RS15-3007
RS15-3008
RS15-1020
品名
真空乾燥炉
ｴｺﾘﾌﾛｰ炉
ｺﾞｰﾙﾄﾞｲﾒｰｼﾞ炉
型式
QSAF-500
SNR-615
RHL-P1210CP
メーカー
ULVAC
千住金属工業㈱
ｱﾙﾊﾞｯｸ理工
製造番号
D87086
製造年
2007
仕様書あり、図面・取説なし。
RS15-2009
RTA装置
RTP-6
ULVAC
MR034020-0
2004
ULVAC
MB61-1021
1986
実験機用途。構成：1枚ﾀｲﾌﾟ、ｶﾞｽ種（O2・N2）、基板：Si 2in（ｻ
ｾﾌﾟﾀｰ改造にて6inまで可）加熱性能MAX1000℃
石英炉心管（φ86ｍｍ）　到達圧力：10-6Pa台　加熱（ｶﾝﾀﾙ
ﾋｰﾀｰPID制御）：1100℃±15　排気系：TMP+RP
RS13-8016
精密熱処理炉
精密熱処理炉
RS12-1320
RS12-1044
RS14-1228
RS12-1338
電気炉
真空ｱﾆｰﾙ炉
枚様式高速ｱﾆｰﾙ装置
ﾍﾞｰｸ炉
VF-2000
TYPE　BH
RTA-4000
LTI-601ED
ｱﾕﾐ工業
ｱﾙﾊﾞｯｸ機工
EYELA
VE-01-16
MR060013-0
10225465
2002
RS14-1003
電気ﾏｯﾌﾙ炉
KL-600
ADVANTEC
097210
2007
RS10-2602
抵抗加熱式真空高温炉
FHT-75S
ULVAC
MF99-1131
RS14-2269
遠紫外線応用装置
DUV-25ｘ4B　（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
日本電池
00　E 5L
RS14-1229
RS12-1316
RS12-1315
RS12-1373
ｵｰﾐｯｸｱﾛｲ炉
1連式横型管状炉
3連式横型管状炉
電気炉
DSI-3500P
A-T-H
A-T-H
ｹﾐﾄﾛﾆｸｽ
ﾉﾘﾀｹ
ﾉﾘﾀｹ
-
備考
仕様書・図面あり、取説なし。
KOYOｻｰﾓｼｽﾃﾑ
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞ　φ４X36枚　～1200℃
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用　排気系：CRYO PumP ＋ RP
仕様書・取説あり（R棟保管）、図面なし。
□350mm内径　200℃　大気ｵｰﾌﾞﾝ・DG82(ﾔﾏﾄ)
本体のみ　付属品：真空ｵｰﾌﾞﾝ（本体のみ）/型式：
DP-43/L/N:36800179/S/N:WA2433/ﾒｰｶｰ：ﾔﾏﾄ科
学
【ﾊﾞｯﾁ式】　実験用　金属焼結等　（MAX1800℃･･･ｶﾀﾛｸﾞ値）
排気系：RP＋PMB
2000年以前製。　ﾗﾝﾌﾟ型式：L258　物件番号：
KBG711　基板ｻｲｽﾞ：□100　使用時間：3407ｈｒ
仕様書・取説・図面あり。
仕様書・取説あり（R棟保管）、図面なし。
φ4ｲﾝﾁ　～1300℃
φ4ｲﾝﾁ　～1250℃
<フォトリソグラフィー工程装置>
中古品番号品名
RS14-2296 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
RS12-2087 ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
型式
Q-4000
MPA-600Super
RS14-2278
ﾏｽｸｱﾗｲﾅｰ
ML-300LF　（ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-3048
RS13-3121
RS11-1245
ﾏｽｸｱﾗｲﾅ装置
ﾎﾞﾝﾄﾞｱﾗｲﾅｰ装置
TFE電子ﾋﾞｰﾑ描画装置
MA8/BA8
EVG620
ELS7500EX
メーカー
Quintel
CANON
製造番号
114
UM031046
製造年
2001
2004
備考
ﾙﾐﾅｽ
-
2007
試料ｻｲｽﾞ：300ｘ300　光束：160ｍｍ　水銀ﾗﾝﾌﾟ：250W
仕様書・取説・図面あり。
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
EVG
ｴﾘｵﾆｸｽ
MA8BA8-001104
S020115
H35-019
2008
2003
2008
装置停止時期：2013/12/初旬　仕様書・取説あり
メーカー
製造番号
製造年
DNS
38700-6637
MIKASA
-
ﾐｶｻ
ｽﾞｰｽﾏｲｸﾛﾃｯｸ
ﾐｶｻ
2377AA508
-
<コーター・デベロッパー>
中古品番号品名
型式
RS14-4034
ｺｰﾀｰﾃﾞﾍﾞﾛｯﾊﾟｰ
SK-W80B-AVP
RS14-2276
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
MS-A500　（ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-8034
RS13-3019
RS12-1385
ｽﾋﾟﾝｺｰﾀｰ
ﾚｼﾞｽﾄｺｰﾀｰ
卓上型現象装置
1H-DX2
DELTA80T2
備考
2コーター、2デベロッパー。　2014/11月末まで稼働。　不具
合・欠品なし。　8"仕様　（6"以下も可）
2000年以前製。　試料ｻｲｽﾞ：最大350ｘ350ｍｍ基板　ｽﾋﾟﾝ
室内径：φ500ｍｍ　回転数：20～2500ｒｐｍ　（350ｘ350基板
の時は2000ｒｐｍまで）　ｽﾃｯﾌﾟ・ﾊﾟﾀｰﾝ数：100ｽﾃｯﾌﾟｘ10ﾊﾟﾀｰ
ﾝ　仕様書・取説・図面あり。
2005
2006
取説あり
<ウエハ表面検査・SEM・ＦＩＢ装置・Ｘ線装置>
中古品番号
RS12-2022
RS12-1396
RS12-1087
RS13-3130
品名
X線解析装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
ｳｴﾊ表面検査装置
ｳｪｰﾊ表面検査装置
型式
X Pert MRD
WM-3000FOUP
WM-2500
WM-1700
RS12-1422
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
RS12-1424
ｳｪｰﾊ表面検査装置
WM-1500
RS13-1040
RS12-1384
飛行時間型二次ｲｵﾝ質量分析装置
TOF-SIMS TFS-2100（ﾊﾞｯﾁ式）
ﾅﾉ断面形状観察装置（FIB)
SMI3050
RS14-2265
X線反射率・組織分析装置
S-MAT2000F（ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式）
メーカー
Panalytical
TOPCON
TOPCON
TOPCON
製造番号
DY2576
00350074
00110021
207013
製造年
2001
2005
2001
ﾄﾌﾟｺﾝ
01250019
1997
ﾄﾌﾟｺﾝ
000370032
1997
ｱﾙﾊﾞｯｸﾌｧｲ
SII
11.100.367.000.007
1997
2006
ﾃｸﾉｽ
172R-046
2004
6　備考
状態良好
12インチウエハ対応
2013/4まで稼動し特に問題なく動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ
対応仕様書：なし　取説：なし
2013/4まで稼動し特に問題なく動作型式詳細：6ｲﾝﾁ、８ｲﾝﾁ
対応仕様書：なし　取説：なし
2014/1/末まで通電・使用　欠品・不具合なし
電気：AC200V　30A（本体）、15A（送水装置）　冷却
水：25L/min　窒素：15NL/min　真空：15NL/min
取説あり。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号品名
RS12-1322 SEM
型式
S-3000H
メーカー
HITACHI
製造番号
製造年
1999
RS12-2062
魔境検査装置
MIS-110
ｺﾍﾞﾙｺ技研ﾚｵ
M-002
2003
RS14-2282
RS14-2283
RS14-2281
RS13-3018
RS14-3121
X線解析装置
X線解析装置
X線解析装置
ｳｴﾊ異物検査装置
蛍光X線分析装置
ATX-E
ATX-E
ATX-E
EDX-720
Rigaku
Rigaku
Rigaku
ﾀｲﾖｰ電機
島津製作所
WD2876N
UD2903N
YD2780N
Q23644602507AE
2002
2002
2002
2007
メーカー
DNS
ﾅﾌﾟｿﾝ
PLAS-MOS
KLA
Thermo
島津製作所
製造番号
60730-0304
U/A
40810496
604119287
AFZ0400155
無し
製造年
2001
2012
1996
61H##3608
2008
060629-652
備考
電子顕微鏡（ＳＥＭ）　MFG　No.114H2198-01
魔境の原理を用いて、ｳｴｰﾊの鏡面加工された試料表面の目
に見えない凹凸を濃淡画面で表示する
状態良好。
<膜厚測定・抵抗測定装置>
中古品番号
RS14-4102
RS12-2067
RS14-2297
RS14-4133
RS12-1404
RS12-1374
品名
光干渉式膜厚痩躯亭装置
全自動4探針装置
ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ
段差計
FT-IR
FT-IR
型式
ﾗﾑﾀﾞｴｰｽVM-1000
WS-8800
SD2300
P-15
Nicolet4700
IRP　restige-21
RS13-3165
分光ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ
GES5e
Sopra(現日本ｾﾐ
ﾗﾎﾞ）
RS13-3163
膜厚力/ｳｪﾊ反り測定装置
FSM 128L
Frontier
Semiconductor
RS14-8032
段差計
DEKTAK-3ST
RS13-3162
水銀ﾌﾟﾛｰﾊﾞ
CVmap 3093A
触針式表面形状測定器
触針式表面形状測定器
分光エリプソメータ
分光エリプソメータ
DEKTAK8
DEKTAK150 Auto
UNECS-2000
UNECS-2000
NS-3016
NS-3017
NS-3014
NS-3015
ULVAC
Four　Demension
Inc.
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
備考
非接触式膜厚測定器、一部故障あり
購入後未開封で未使用の装置
ビデオカメラボード故障にて修理対応中
フーリエ変換型赤外分光光度計
2004
フーリエ変換型赤外分光光度計　別途PCあり
CCDﾏﾙﾁﾁｬﾝﾈﾙ、DUV　190-900nm　使用履歴：2014/2月ま
でﾌﾟﾛｾｽ評価用途で使用　取説あり動作確認済み、メーカー
補正推奨　12インチウエハ対応
膜剥がれ、ﾋﾛｯｸ、ﾎﾞｲﾄﾞ形成等　使用履歴：2014/2月までﾌﾟﾛ
ｾｽ評価用途で使用　取説有り12インチウエハ対応　動作確
認済み、正常稼働。
21114
0903313093A
2009
製造年
2点ﾌﾟﾛｰﾌﾞ方式でC-V、I-V測定　使用履歴：2014/2月まで評価用途で
使用　取説有り12インチウエハ対応
<外観検査装置・その他計測器>
中古品番号
RS12-1410
RS14-4094
RS14-4098
ｳｴﾊｰ外観検査装置（部品取り機）
型式
型式不明
WI-2000
WI-2000
メーカー
溝尻工学
ICOS
ICOS
製造番号
7089
W2-2H019
H2.2-H005
RS14-4124
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-6555
NIKON
1322183
RS14-4101
RS14-4100
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
CNC画像測定ｼｽﾃﾑ
VMR-3020
VM-250
NIKON
NIKON
1302262
-
RS14-4121
ｳｴﾊｰ外観検査装置
VI-4302
TOPCON
00264303
RS14-4084
RS14-4085
RS14-4091
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
VI-4200
VI-4200
VI-4200
TOPCON
TOPCON
TOPCON
00654036
00654037
00144018
2005
2005
2004
一部故障あり
RS14-2347
オシロスコープ
SS-7802A
IWATSU
515625579
2000
スキャンモニター付　IPZ-5001用部品　付属　電源ケーブル
のみ
RS04-8096
RS04-8097
RS14-4120
RS14-4110
RS14-4104
RS14-4187
RS14-4099
RS12-1387
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
ﾊﾟﾝﾌﾟ高さ測定装置
蛍光X線検査装置
ICP発光分光分析装置
外観検査
ﾅﾉｲﾝﾌﾟﾘﾝﾄ装置
SS-7602(20Mｈｚ）
SS-7602（20Mhz)
SP-500BW300
SP-500BW
SEA1200VX
Rigaku CIROS CCD
OPTISTATION　V
NM-0402
IWATSU
IWATSU
東ﾚ
東ﾚ
SII
Rigaku
NIKON
明昌機工
52277869
52277872
01250002
A1012762026
-
2005
2005
2008
バンプ等の高さを測定する装置300mm対応
RS14-4103
非接触三次元測定装置
NH-4N
RS12-1411
非接触三次元測定装置
NAFS3070P
RS14-4119
自動外観検査装置
RS14-2290
RS14-4112
RS14-4097
RS14-4118
RS12-1369
RS04-8036
RS04-8037
品名
微小領域観察ｼｭﾘｰﾚﾝ装置
ｳｴﾊｰ外観検査装置
2008
2007
備考
外観検査室が2室あり、量産性に優れる。
RS14-4094へのパーツ機として活用予定
低倍時の広視野と高倍時の高精度を両立。表面形状に依存
しない。パッケージや基板、マスク等の測長に最適。
2001
ウエハ上の寸法測定を行う装置
ウエハ上の寸法測定を行う装置
最高検出性能0.65μｍ。前工程の生産管理からウエハ電気検査前後、
ダイシング後など幅広検査工程に使用可能
8インチ生産　動作確認済み、故障個所あり。
一部故障あり
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
バンプ等の高さを測定する装置8インチ対応
多元素同時分析が出来るICP質量分析装置
1997
2006
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
ウエハ、リードフレームなど高密度化や大型化する半導体の
そり、うねり形状を測定する装置
ﾐﾀｶ
7114
2003
日本技術ｾﾝﾀｰ
17591007
2007
Falcon300
Camtek
82004
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
DP07054
Tektronix
B010319
強度測定装置
DAGE5000
DAGE
2049294
半導体検査顕微鏡
半導体検査顕微鏡
ﾌﾟﾘｽﾞﾑｶﾌﾟﾗ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
ｵｼﾛｽｺｰﾌﾟ
AL2100-COM
AL2100-COM
2010
OLYMPUS
OLYMPUS
Mertricon
312001
312002
22184
2247186
51476829
2003
2003
メーカー
サクラ精機
三社電機製作所
SEMITOOL
製造番号
09020988
4H30004
C175815
製造年
2009
2008
ｴｱﾌﾞﾗｳﾝ
-
ｾﾐﾂｰﾙ
ｾﾐﾂｰﾙ
10401,2
10401,1
後工程外観検査、目視検査から自動検査も可能。バンプ高さ
測定ではウエハ全面3次元（3D）計測にも強み
2008
実装工程における接合強度試験、プルテスト、シェ
アテスト等がワンタッチ交換で可能な装置　動作確
認済み、故障個所あり。
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
目視外観検査機の高シェア商品8インチまで可能
ﾌﾟﾘｽﾞﾑとﾚｰｻﾞｰで試料の屈折率や損失を測定
<洗浄装置>
中古品番号
RS14-3051
RS14-3050
RS14-4069
品名
流水洗浄装置
手動3槽式ｼｬﾜｰ洗浄装置
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
型式
YW-00S-RH
WBTA03-W12
SRD-470S
RS14-2270
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
SPD-160RN　（ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-8035
RS14-8036
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
ｽﾋﾟﾝ乾燥機
PSC-101
PSC-101
RS14-2273
ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔｰ
H-840SA　（ﾊﾞｯﾁ式）
ｴｱﾌﾞﾗｳﾝ
-
RS14-4132
ﾘﾝｻｰﾄﾞﾗｲﾔｰ
H1120RNN
ﾐｸﾛ技研
K0371
7　備考
1ドラムタイプのスピンリンスドライヤー
2000年以前製。　基板ｻｲｽﾞ：直径50～150ｍｍｘ1　回転
数：槽内洗浄0～1500ｒｐｍ　ﾄﾞﾗｲ0～3500ｒｐｍ　（直径150ｍ
ｍ以上は、3000ｒｐｍ以下）　ﾀｲﾏｰ：槽内洗浄0～999秒　1
速　可変0～999秒　2速　可変0～999秒　仕様書・取説・
図面あり。
2000年以前製。　ｸﾚｰﾄﾞﾙ定位置停止・回転　基板ｻｲｽﾞ：直
径150ｍｍｘ4　直径200ｍｍｘ2　回転数：1速300ｒｐｍ　2
速600ｒｐｍ　MAX800ｒｐｍ　ﾀｲﾏｰ：1速　可変0～999秒　2
速　可変　0～999秒　仕様書・取説・図面あり。
12インチ対応スピンドライヤー
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号品名
RS12-1392 ｳｪﾊ洗浄装置
RS12-1317 ﾃﾞｨｯﾌﾟ式自動洗浄装置
RS12-1310 ｽﾋﾟﾝﾄﾞﾗｲﾔ
RS14-4177 ｽｸﾗﾊﾞｰ
RS14-4116 剥離装置
【お客様用】中古品在庫リスト　型式
EVG301
ETN-1100-110
160RN
SS-W80A-AV
SST300
2015年12月20日現在　メーカー
EVGｼﾞｬﾊﾟﾝ
ETS
ｴｱ･ﾌﾞﾗｳﾝ
DNS
SEMITOOL
製造番号
製造年
S050012
H9903-0437
9806090
T238923
2005
メーカー
製造番号
製造年
備考
製造年
備考
備考
2槽式(ﾌｯ素・水）
成膜、露光前等のウエハ洗浄装置8インチ対応可能
12インチ用スプレー洗浄装置
<めっき装置>
中古品番号品名
型式
<顕微鏡>
中古品番号
RS14-8050
RS14-8049
RS14-8051
RS14-4080
RS14-4081
RS12-1344
RS12-1347
RS14-8046
RS14-8047
品名
実体顕微鏡
金属顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
実体顕微鏡
汎用顕微鏡
汎用顕微鏡
金属顕微鏡
金属顕微鏡
型式
汎用
汎用
汎用
SZ-STS
SMZ800
OPTIPHOTO-2
OPTIPHOTO-150S
OPTIPHOT　150S
OPTIPHOT　150S
メーカー
ﾐﾂﾄﾖ
NIKON
OLYMPUS
OLYMPUS
NIKON
NIKON
NIKON
NIKON
NIKON
製造番号
SZ1145
1007632
153664
9102843
9102612
9102568
RS14-4176
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24406
RS14-4195
半導体検査顕微鏡
MX61-F
OLYMPUS
8E24037
RS14-4149
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4D19047
RS14-4157
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
0C00889
RS14-4196
半導体検査顕微鏡
MX50A-F
OLYMPUS
4E13791
RS12-1345
RS14-8045
RS14-8048
RS12-1341
汎用顕微鏡
金属顕微鏡
金属顕微鏡
汎用顕微鏡
MM-22
I-200
BH2-UMA
AVT-45SC
NIKON
NIKON
OLYMPUS
明立精機
10031
610329
542261
RS14-4169
ｳｴﾊｰﾛｰﾀﾞｰ
AL110-L86
OLYMPUS
A008010
メーカー
SHUWA
SHUWA
岡本工作機械
SHUWA
製造番号
7039
-
製造年
ｼﾁｽﾞﾝ精密
-
2005
実体顕微鏡
8インチ生産、引取前動作確認済み2014/12
汎用顕微鏡
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体
用検査顕微鏡。12インチまで対応可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体
用検査顕微鏡。12インチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体
用検査顕微鏡。8インチ全面観察可能。ローダー付
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体
用検査顕微鏡。8インチ全面観察可能
明視野から蛍光観察まで多様な観察法にも対応した半導体
用検査顕微鏡。8インチ全面観察可能
汎用顕微鏡
汎用顕微鏡
8インチまで対応可能なウエハ搭載機。マクロ測定
機能付き
<後工程・実装装置>
中古品番号
RS14-8038
RS14-8039
RS12-1376
RS14-8037
品名
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
ｸﾞﾗｲﾝﾀﾞｰ
CMP
ﾎﾞﾝﾃﾞｨﾝｸﾞﾏｼﾝ
型式
SW-07
SW-07
SPP600S
SGM-6301
RS14-2279
ｶﾞﾗｽｽｸﾗｲﾊﾞｰ
SC-451CP　（ﾊﾞｯﾁ式）
RS14-4136
印刷機
MK-838SV
MINAMI
-
RS14-3039
印刷機
LS-34TVA
063-1612
2008
RS13-3134
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
20RT0067
2006
RS13-3135
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
NEW　LONG
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰ
ｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰ
ｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ﾊﾟﾅｿﾆｯｸﾌｧｸﾄﾘｰ
ｿﾘｭｰｼｮﾝｽﾞ
ADWELDS
20RT0078
2006
20RT0082
2006
-
2009
仕様書あり。
78144
2003
ダイシングダイボンディングフィルム一体型の8-12インチ対応
のセミオート装置
RS13-3136
ﾌﾘｯﾌﾟﾁｯﾌﾟﾎﾞﾝﾀﾞｰ
FCX501
RS14-3038
ﾎﾞﾝﾀﾞ
FA1000
RS14-4192
ﾃｰﾌﾟ貼り機
DAM-812M
RS14-8028
ALｳｪｯｼﾞﾎﾞﾝﾀﾞｰ
4523-AD
RS14-4140
ﾏﾆｭｱﾙﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
特型（半導体ﾊﾟﾗﾒｰﾀｱﾅﾗｲｻﾞｰ4155C付）
RS14-3035
RS14-3036
RS14-8029
RS14-3049
ﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
ﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
ITOｵｰﾄﾌﾟﾛｰﾊﾞｰ
ﾗﾎﾞﾌﾟﾗｽﾄﾐﾙ装置
UF60
A-PM-60B
4C150-01
ﾀｶﾄﾘ
備考
1999
Kulicke&soffa
-
不明
-
東京精密
東京精密
東洋精密製作所
F60906JA
F00602GW
C-111802305
2006
2002
メーカー
ｳｼｵ電機
ｻﾑｺ
SAMCO
製造番号
9701006
24A1643
22A1336
製造年
1998
2003
メーカー
武蔵ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
製造番号
1M010002412
製造年
2010
メーカー
製造番号
製造年
ﾜｰｸﾃｰﾌﾞﾙ：□480ｍｍ　ｶｯﾀｰﾕﾆｯﾄ：ｽﾗｲﾄﾞｽﾄﾛｰｸ　480mm、
送り速度　43～540mm/seｃ　動力関係：ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀｰ
仕様書・取説・図面あり。
マスク枠650mm×550mm、印刷位置合せ繰返し精度(±
0.003mm以下でCSPバンプΦ0.05mmに対応します。
仕様書あり。
IV、CV、C-f、C-tなどの測定など半導体パラメトリックテスト
が可能。
仕様書あり。
資料なし。
2009
<ＵＶ装置>
中古品番号
RS14-3026
RS12-1379
RS14-8030
品名
UVｷｭｱ
UV照射装置
ｵｿﾞﾝUV照射装置
型式
UMA-1002-HC93SMV（Casette to Casｓette）
UV-1F
UV-300
備考
CtoC装置8インチSMIF仕様
<ディスペンサー装置>
中古品番号品名
RS11-2027 ﾃﾞｨｽﾍﾟﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
MS-1
備考
15時間程度使用後、保管状態
<イオンミリング装置>
中古品番号品名
型式
8　備考
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　<その他真空装置>
中古品番号品名
RS13-1010 分子線ｴﾋﾟｷﾀｼｰ装置
型式
-
メーカー
Eico
製造番号
-
製造年
2009
RS11-3222
凍結乾燥装置
DF-05H
ULVAC
ZF93-5301
1994
RS13-2201
凍結真空乾燥装置
DFM-09A-S
ULVAC
MF99-5104
2000
RS12-1389
凍結乾燥装置
JFD-310
日本電子ﾃﾞｰﾀﾑ
JK121026-129
2002
備考
【ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ式】　蒸発源ｾﾙｘ6式のMBE装置
棚面積：０．４９ｍ2、予備凍結温度：－３５～－４０℃、乾燥時
加熱温度：常温～８０℃（打点記録計は故障中）
【円筒形棚段式前面扉開閉式】棚面積：０．９m2　棚冷却到達
温度：約－４５℃以下　棚温度調節可能範囲：＋６０℃～ー３
０℃
生物試料や軟試料、溶液試料を電子顕微鏡観察するための
試料作製装置
<クリーンブース・クリーンベンチ・CR用品>
中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
☆
RS15-2059
簡易ｴｱｰｼｬﾜｰ
標準型ｴｱｰｼｬﾜｰ
AIRTECH
-
2001
☆
☆
RS15-2053
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
PCV-1302BN
日立製作所
G12952111
1982
外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚扉；ｽﾗｲﾄﾞﾄﾞｱ ,
その他；若干の汚れ在り
外寸；1300W*800*1875H 、ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚、扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰ
ﾃﾝ、その他；ｱｼﾞｬｽﾀ付・若干の汚れ在り
307316/307317
1983
外寸；1300W*800*1875H, ﾌｨﾙﾀｰ；HEAP 1枚 ,扉；ﾋﾞﾆｰﾙｶｰﾃ
ﾝ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ付・若干の汚れ在り
☆
-
1998
☆
RS15-2052
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1500E/FVT-1200E
☆
RS15-2060
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
FVT-1200E
☆
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟ
ﾗｲ
㈱富士ｼｽﾃﾑｻﾌﾟ
ﾗｲ
RS15-2058
ﾄﾞﾗﾌﾄﾁｬﾝﾊﾞｰ
DF-11AK
ﾀﾞﾙﾄﾝ
DF980382
RS12-1357
RS14-8040
RS14-8041
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
無し
DC-1802BEW-Ⅱ
DC-1802BEW-Ⅱ
IUCHI
ﾀﾞﾝﾀｸﾏ
ﾀﾞﾝﾀｸﾏ
無し
-
RS12-1350
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1351
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1353
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS12-1354
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
BH-800
ｱｽﾞﾜﾝ
RS14-4095
RS14-4137
RS12-1361
RS12-1362
RS12-1364
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ﾄﾞﾗﾌﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
-
ﾀﾞﾙﾄﾝ
ｱｽｸﾙ
IUCHI
IUCHI
IUCHI
RS12-1355
ｸﾘｰﾝﾍﾞﾝﾁ
RS12-1368
RS12-1375
ﾃﾞｼｹｰﾀｰ
☆
外寸；1300W*800*2375H ,ﾌｨﾙﾀｰ；HEPA 1枚 ,扉；樹脂ｽﾗｲﾄﾞ
ﾄﾞｱ ,その他；ｱｼﾞｬｽﾀ無　・　若干の汚れ在り
☆
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗ
ｽ100対応、　HEPA要交換
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗ
ｽ100対応、　HEPA要交換
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗ
ｽ100対応、　HEPA要交換
W800ｘD700ｘH1800　（作業面W760ｘD610）　作業面環境　ｸﾗ
ｽ100対応、　HEPA要交換
-
美品
程度良
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
（1200Wｘ650Dｘ1800H)
NIKON
外寸：W1900*D820*H1540内寸：W1740*D720*H650
U/N
SANYO
中古品番号品名
型式
手動式ﾘﾌﾀｰ
PL-H500-15
メーカー
OKUDAYA
GIKEN
製造番号
RS14-4194
RS14-2267
ﾊﾞｷｭｰﾑｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ
MDB-1.5B
美和製作所
16102
RS14-4179
ｼｰﾗｰ
V-402-10W
富士ｲﾝﾊﾟﾙｽ
049001A
RS12-1029
RS09-1467
RS11-2466
ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
ｼｽﾃﾑIFﾎﾞｯｸｽ
ｸﾞﾛｰﾌﾞﾎﾞｯｸｽ
アルフォイルロール
-
フランジ
フランジ
フランジ
フランジ
フランジ
ガスケット
配管部品
配管部品
配管部品
配管部品
直線導入端子
電流導入端子
電流導入端子
電流導入端子
電流導入端子
UFC306-000FT
UFC253-000RH
UFC306-000RH
UFC306-250RH
UFC253/114
UFE070GS 10枚/組
IFE114-065
IFT152-100
IFX114-065
IFB203-150
TSU-15F
CMS2D09-8P
CMS5D80-1P
CMS2D09-1PF
CMS10D80-1PF
ULVAC
ULVAC
美和製作所
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ﾚｼﾞｽﾄ保管用冷蔵庫
2005
☆
<その他>
NS-5024
NS-5025
NS-5026
NS-5027
NS-5028
NS-5029
NS-5030
NS-5031
NS-5032
NS-5033
NS-5034
NS-5035
NS-5036
NS-5037
NS-5038
NS-5039
製造年
備考
2004
3本手仕様　排気系：D-650DK　ｶﾞｽ循環生成装置　MS3P60SN（S/N：16102）　取説あり。
卓上型の脱気シーラー(脱気包装機)。部品・精密機器などの
酸化防止等に活用可能
2004AA003634-
2001
NE-5500付属　2ｲﾝﾁ用ﾎｯﾄﾌﾟﾚｰﾄ
MF98-1018付属
1998
製造番号
187685
製造年
152183
<油回転真空ポンプ>
中古品番号
RS12-8061
RS15-1078
RS15-1079
RS15-2006
RS14-2068
RS14-2247
RS14-2249
品名
油回転式真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
2063
2033SD
2033SD
VS-2401
PVD-360B
PKS-030
PKS-030
メーカー
ANELVA
ｱﾙｶﾃﾙ
ｱﾙｶﾃﾙ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
A36A-07025
4-00678
4-00047
RS14-1104
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
PKS-016
ULVAC
2-04634
RS10-8092
RS10-8093
RS14-8023
RS14-1255
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ポンプ
GLD-100
GLD-100
EC602
D-650K
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
72971
72975
2-00426
A02B-02263
9　備考
要O/H、特ガス吸引無。
要O/H、特ガス吸引無。
2005
使用履歴：熱処理炉にて使用、付属品：TMX-1
程度下。　ﾓｰﾀｰなし。　要O/H。
1979
程度下。　ﾓｰﾀｰなし。　要O/H。
使用履歴：真空熱処理炉に使用　ﾓｰﾀｰ200V（50/60Hz共用）
ﾓｰﾀｰﾌﾟｰﾘｰ50Hz用　本体のみ　付属品：TM-2あり
未整備（油漏れあり）
未整備（油漏れあり）
動作未確認
2002
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付属　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
RS14-1254
RS14-8056
RS14-8055
品名
油回転真空ポンプ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
D-650K
D-650DK
D-650D
RS14-1144
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-1143
RS15-1007
NS-5000
NS-5001
2015年12月20日現在　メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
A02B-02262
A03A-01334
1-04108
製造年
2002
1991
1955
2021SD
ALCATEL
AM633075
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、未使用品
取説あり
油回転真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
2015SD
ALCATEL
619757
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　100V/200V（単相）切替可能、
未使用品
ﾛｰﾀﾘｰﾎﾟﾝﾌﾟ
油回転真空ポンプ
油回転真空ポンプ
VD301
D-240DK 200V
EC603 200V
ULVAC
ULVAC
ULVAC
NB063B-00125
型式
TM-2
TMX-2
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
TYPE　EFOU
TMX-40
TMX-60
TMX-80
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
ｼﾘｱﾙ無し
製造年
2009
2071507
2070438
2070483
2070935
2002
2002
2002
2002
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ付属　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
<油回転真空ポンプ部品>
中古品番号
RS11-1259
RS09-1573
RS12-1064
RS12-1065
RS12-1066
RS12-1067
NS-5009
NS-5010
NS-5011
品名
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
ｺﾝﾃﾞﾝｻﾓｰﾀｰ
オイルミストトラップ
オイルミストトラップ
オイルミストトラップ
備考
PKS-016用　ｵｲﾙﾐｽﾄﾄﾗｯﾌﾟ　ｵｲﾙｴﾚﾒﾝﾄ交換要　【全2台】
状態良好
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
単相、100V、200W、4P、分相始動
<油拡散ポンプ>
中古品番号品名
RS12-1247
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01500
2000
RS12-1251
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
ULK-06A
ULVAC
A43A-01502
2000
RS14-2216
RS14-2217
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
PFL-36
PFL-36
ULVAC
ULVAC
1-00391
1-00392
2003
2003
RS14-2255
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
DPF-14Z
DIAVAC
940769
RS13-2004
RS14-2073
油拡散ﾎﾟﾝﾌﾟ
6in 水冷ﾊﾞｯﾌﾙ
CDP-3700
ANELVA
ULVAC
1539
備考
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：
VG40、200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
排気速度：1100L/S、吸気口：VG150、排気口：
VG40、 200V、1200W、動作未確認、水冷ﾊﾞｯﾌﾙ付、
（排気ガス：Ａｒ、Ａｉｒ）
本体のみ、付属品なし
本体のみ、付属品なし
程度中。　200V　3φ　4500W。　500L/sec　ｵｲﾙ1600ｃｃ　水
量7/min　要O/H。
スパッタ装置SPC-530Hに使用（水冷ﾊﾞｯﾌﾙ無し）
※新品未使用品
<メカニカルブースターポンプ>
中古品番号
RS13-3083
RS13-3084
RS13-3085
RS11-2064
RS11-2065
品名
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
PRC-012AS
PRC-012AS
PRC-012AS
PRC-012AS
PRC-012AS
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
A69A-02711
A69A-02723
A69A-02718
A69A-02720
A69A-02719
RS14-1142
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-006C
ULVAC
A14A-01218
RS13-8130
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-001CM
ULVAC
A11A-03318
RS13-8129
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
PMB-001CM
ULVAC
A11A-01405
RS14-8054
RS12-1223
RS14-3079
RS14-3080
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾒｶﾆｶﾙﾌﾞｰｽﾀｰﾎﾟﾝﾌﾟ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
メカニカルブースタポンプ
PMB-001CM
EH500
SMB-C06
SMB-C06
PRC-006A without
PRC-012A without
PRC-012A without
PRC-012A without
PRC-012A without
PRC-036C-T
PRC-036C-T
PRC-036C-T
PMB-003C 200V
PMB-003C 200V
PMB-003CM 200V
ULVAC
EDWARDS
神港精機
神港精機
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
1-00273
006700640
280856
280855
1990
NS-1317
NS-2721
NS-3006
NS-3007
NS-3008
NS-3009
NS-3010
NS-3011
NS-5006
NS-5007
NS-5008
Inv.
Inv.
Inv.
Inv.
Inv.
製造年
備考
排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し
排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し
排気速度：16700L/m　吸気口：VG-100　付属品無し
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
排気速度：16700L/m　吸気口VG100
本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・
ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要無害化洗浄
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi
（CVD装置使用）
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi
（CVD装置使用）
温度計破損
状態良好。新品未使用
状態良好。新品未使用
<クライオポンプ　ULVAC製>
中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS14-2082
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
ULVAC
1202266
2012
RS14-2083
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8HSP
ULVAC
1202267
2012
RS14-1016
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
9401413D
2000
RS14-1017
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U8H
ULVAC
94062980
2000
RS09-1023
RS11-2546
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟﾋｰﾀｰ
U-6H
U-6H
ULVAC
ULVAC
9508243
RS14-2159
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U20HL
ULVAC
1203586
2012
RS14-2080
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1202922
2012
RS14-2081
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1202923
2012
10　備考
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌﾟ　冷凍機：
RM10　（S/N:RMQB958H）
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｸﾋｰﾀｰﾀｲﾌﾟ　冷凍機：
RM10　（S/N:RMQB957H）
本体のみ　水素蒸気圧温度計付　冷凍機：R10（RC　G035
LGA）　吸気口：UVG-200
本体のみ　水素蒸気圧温度計付　冷凍機：R10（MB　B395
LG）　吸気口：UVG-200
排気速度：750L/S　吸気口：VG150
U-6H用バンドヒータ　【2式】
本体のみ　吸気口：VG　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷
凍機：RM80T　(S/N:RMUB336　3PT)
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｶﾞﾙﾀｲﾌﾟ　冷凍機：
RM20　（S/N:RMSB436）
本体のみ　吸気口：VG　MBS-C　ﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ　冷凍機：
RM20　（S/N:RMSB435）
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
備考
RS14-2160
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12HSPL
ULVAC
1203930
2012
RS08-2698
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-12HSP
ULVAC
9601334
本体のみ　吸気口：VG　付属品：MBS-Cﾍﾞｰｶﾌﾞﾙﾀｲﾌﾟ、　冷
凍機：RM20　(S/N:RMSB446）
排気速度：4100L/S、吸気口：ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄﾌﾗﾝｼﾞ、低振動ﾓｰ
ﾀｰ、ｱﾅﾛｸﾞ水素蒸気圧計　付属品：ﾊﾝﾄﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ無し
（ﾎﾟﾝﾌﾟ単体）
RS13-3039
RS13-3035
RS13-3036
RS13-3040
RS13-3044
RS13-3045
RS13-3046
RS13-3048
RS13-3049
RS13-3051
RS13-3053
RS13-3054
RS13-3055
RS05-2009
RS07-2727
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ（2台）
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U12H-SP
U-12HL
U-10PUS
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
0609016
0609014
0609015
0809025
0609029
0609030
0609031
0609033
0609034
0609040
0609019
0811539
0811540
9205822/9302893
9310064
RS13-8100
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U10PUS
ULVAC
0101221
排気速度：2300L/S　付属品：再生用ﾊﾞﾝﾄﾞﾋｰﾀｰ（型式：
RBH-10)　温度計：MBS-2　冷凍機：R15（RG　B166　LG）　吸
気口：VG250
RS10-8096
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PU
UCI
9308805
SCV-3030より抜取り　排気速度：2300L/S　水素蒸気圧温度計付　冷
凍機：RS10(RC4410)　吸気口：VG250
RS10-8097
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PU
UCI
9308806
SCV-3030より抜取り　排気速度：2300L/S　水素蒸気圧温度計付　冷
凍機：RS10(RC4393)　吸気口：VG250
RS10-8098
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-10PU
UCI
9305795
RS12-8056
RS11-8109
RS11-8133
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ
U10PU
T8SN
U8SN
ULVAC
ULVAC CRYO
ULVAC　CRYO
9208749
0103767
0005540
1999
RS14-2087
ｸﾗｲｵ・ﾄﾗｯﾌﾟ
T16FBH
ULVAC
1202247
2012
本体のみ　ﾌﾗﾝｼﾞ：VG　熱伝対ﾀｲﾌﾟ　冷凍機：RMS50
（S/N:RMEB086)
RS11-8035
RS14-2203
RS14-2205
RS13-8104
ｽｰﾊﾟｰﾄﾗｯﾌﾟ温調器
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ用冷凍機
ｸﾗｲｵﾒｰﾀｰ
STC-1（INV)
RM20
RM10
MBD
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
S-0823A
RMSB671
RMQD318H
00121836N
2012
2012
★未開封・未使用品★
RS11-2238
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ　（SUPER TRAP)
CRYO-T8C
ULVAC
9912441
付属品S/N:RFB220LG　本体のみ　冷凍機：RS10（RF
B220　LG）　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
RS11-2239
RS12-1174
RS12-1175
RS12-1176
RS14-2135
RS14-2137
RS14-2139
RS14-2140
RS14-2141
RS14-2142
RS14-2143
RS14-2145
RS14-2165
RS14-2166
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ (SUPER TRAP)
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CRYO-T8C
C30ZR
C30ZR
C30ZR
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
C30PVRT
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
9912442
CS1235
CS1199
CS1290
XP2875B
XP2876B
XP2849B
XP2851B
XP2866B
XP2863B
XP2848B
XP2862B
XP2743B
XP2769B
本体のみ　冷凍機：RS10（RF　B222　LG)　ICF253ﾌﾗﾝｼﾞ
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
2012
本体のみ　積算時間：19349.9ｈｒ　He圧：1.5MPa
RS14-2192
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C30PMVRT
ULVAC
XQ1075B
2012
本体のみ　積算時間：19916.6ｈｒ　He圧：1.4MPa　2又付（一
式）
RS14-2193
RS12-8052
RS14-1275
RS15-1005
RS15-1006
RS13-8115
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
C30PMVRT
C30
C10
U6H
U6H
C15V
ULVAC
ULVAC
UCI
UCI
UCI
ULVAC
XQ1095B
CC1606
CW3052
9511261D
9511262D
VE1108
2012
1992
本体のみ　積算時間：19910.3ｈｒ　He圧：1.4MPa
RS07-3002
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
U-22H
ULVAC
0108289
RS14-2102
RS15-1074
RS15-1075
RS15-1077
RS15-1076
RS15-1071
RS15-1072
RS15-1073
ｸﾗｲｵﾓﾆﾀｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
STC-2A
C10
C10
C10
C10
U8H
U8H
U6H
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
1201119R
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：4100L/S　付属品無し
排気速度：2300L/S　吸気口：VG250　温度計：H2VP
SCV-3030より抜取り　排気速度：2300L/S　水素蒸気圧温度計付　冷
凍機：RS10（RC4380）　吸気口：VG250
1992
MBSｾﾝｻｰ
★未開封・未使用品★
温度表示ふらつきあり　要修理
本体のみ（付属品無し）
本体のみ（付属品無し）
本体のみ（付属品無し）
本体のみ　積算時間：19328.0ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19298.7ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19587.0ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19461.8ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19157.3ｈｒ　He圧：1.5MPa
本体のみ　積算時間：19153.8ｈｒ　He圧：1.5MPa
本体のみ　積算時間：19304.2ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19838.0ｈｒ　He圧：1.4MPa
本体のみ　積算時間：19215.5ｈｒ　He圧：1.4MPa
ﾌﾚｷﾎｰｽ（3ｍ）　積算時間：70594ｈｒ
危険物吸引なし。
排気速度：17000L/S、吸気口：VG550、温度計：MBS、本体の
み。
2012
本体のみ
要O/H、積算約56,000Hr。
要O/H、積算約100,000Hr
要O/H、積算約100,000Hr
要O/H、積算約100,000Hr
要O/H、特ガス吸引無。
要O/H、特ガス吸引無。
要O/H、特ガス吸引無。
<クライオポンプ　ULVAC製以外>
中古品番号
RS14-8002
RS14-8004
RS14-8005
RS14-8006
RS14-8007
RS14-3067
RS14-8013
RS14-8014
RS14-8015
RS14-8016
RS14-8017
RS14-8018
RS14-8019
品名
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製Heｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTI製ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
9600
9600
9600
9600
9600
C200G
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CTIｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
メーカー
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
ｱｲｼﾝ
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
CTI
11　製造番号
94B9806485
94B9806472
94D0010828
94D0010858
94D0010856
05431101
106C0001401
106H9901183
106C9901108
ｋ042581
106E0202064
C0302250
製造年
備考
He残圧低下により要修理
He残圧あり、動作確認済み。
He残圧低下により要修理
He残圧低下により要修理
He残圧低下により要修理
状態良好。He残圧0の為、要修理。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
動作未確認。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
RS11-2237
RS11-2236
RS14-3059
RS14-3060
RS14-3061
RS14-3062
RS14-3063
RS12-1407
RS11-2230
RS11-2231
RS11-2232
RS14-3057
RS14-3068
RS14-3069
RS14-3058
RS14-3064
RS14-3070
RS14-3071
RS14-3065
RS14-3066
RS14-3072
品名
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｸﾗｲｵﾎﾟﾝﾌﾟ
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ
型式
ONBOAD　WATER　PUMP
ONBOAD10Ｆ
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SA12SJ-01SーE
SLP-22CD
Torr　8F
Torr8F
Torr8F
SA12SJ-01SーE
C200G
C200G
SA12SJ-01SーE
SA16SJ-01S
C200G
C200G
SA16SJ-01S
SA16SJ-01S
C200G
RS14-1169
ﾈｵｺﾞｰﾙﾄﾞ
RS15-1080
CPﾌﾚｷﾎｰｽ
2015年12月20日現在　メーカー
HELIX
HELIX
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
鈴木商会
ｱﾈｽﾄ岩田
HELIX
HELIX
HELIX
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
ｱｲｼﾝ
鈴木商会
鈴木商会
ｱｲｼﾝ
製造番号
S/N：MK9709651
S/NQK9709711
P064016
P064017
P064013A
P064012A
P072023
ED0033
S/N:70H9638328
S/N70Ｃ9529467
S/N70C9530128
P064018
06432311
06432216
P064014
P064008
06432309
06432301
P064009
P064011
06432179
RCT-501S
新明和
DL050507
-
ULVAC
-
製造年
備考
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
UFC-253
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3068）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3057）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3058）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3069）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3070）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3064）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3065）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3071）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3072）
状態良好。セット販売のみ（セット品：RS14-3066）
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使
用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar　冷媒：HCFC系混合冷
媒　3組　200V　50/60Hz　3.75KW
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製>
中古品番号品名
RS15-2015 ﾀｰﾎﾞﾎﾟﾝﾌﾟﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
型式
FTI-3303W-D3-0307
メーカー
ULVAC
製造番号
-
RS13-2149
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-1001FWD3A
ULVAC
1001F0081
RS13-2150
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-1001FWD3A
ULVAC
1001F0083
RS11-2535
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌ+ﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
UTM1200FW
ULVAC
RS13-2142
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0449
RS13-2145
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0455
RS13-2147
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0447
RS13-2148
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWB
ULVAC
2300F0448
RS13-2025
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0219
RS13-2026
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0220
RS13-2027
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0221
RS13-2028
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0207
RS13-2021
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD1B
ULVAC
2300F0148
RS13-2101
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-2300FWD3B
ULVAC
2300F0412
RS13-2179
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-500FW
ULVAC
050F016
RS04-8049
TMP
UTM-300
ULVAC
030P460
RS15-2043
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-303LM
ULVAC
FZL339
NS-3012
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
UTM-6300FHA
ULVAC
製造年
備考
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ用ｹｰﾌﾞﾙ
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０
ｍ
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０
ｍ
動作未確認軸ｵｲﾙは入っていない　ｺﾝﾄﾛｰﾗｰｹｰﾌﾞﾙ付きﾌﾙ
ｾｯﾄ
2008
2003
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０
ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０
ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０
ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2、PH3/H2　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ、ｹｰﾌﾞﾙ２０
ｍ、吸気口ﾌﾗﾝｼﾞ：VG250
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD使用品使用ｶﾞｽ：SiH4、PH3、B2H6 付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
（FTI-2300W)ｹｰﾌﾞﾙ（20ｍ）
CVD非ガス雰囲気で使用付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ（FTI-2300WD3)、
電源ｹｰﾌﾞﾙ、TMP/ｺﾝﾄﾛｰﾙ間（20ｍ）
本体のみ、水冷式、吸気口：UFC-203(ﾒﾀﾙｶﾞｽｹｯﾄ）　排気口：
NW40
本体・コントローラー（EI-303M　S/N　JZR112）付、ケーブル
無。有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡ（L室）にて使用の為、無害。
<ターボ分子ポンプ　ULVAC製以外>
中古品番号
RS15-1041
RS14-1283
RS10-2660
RS14-2015
RS14-2016
RS14-2017
品名
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
型式
TMP-1003LM/EI-1003M
EI-D203M
EI-D1303M
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
EI-D1303MT(LFU1)
メーカー
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
製造番号
FZM-543
MKA036
製造年
2000
RKD109
RKD110
RKD112
2009
2009
2009
RS11-1202
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
STP-300
EDWORDS
1084A
1997
RS14-8043
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG-1003VM-70
大阪真空
658
RS13-2181
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG1810VM
大阪真空
G1810-1292
RS14-2161
RS08-8008
RS10-8002
RS13-1011
RS09-1474
RS08-8011
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TG2400MVWB
TMP-1003
TMP-1003LM
TMP-1003LM
TMP-202LM
TMP-403LM
大阪真空
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
島津製作所
639
CZM045
DZM031
NZM230
9006
FZL182
RS14-1176
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-403LM
島津製作所
NZL-466
RS14-1010
RS11-2253
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TMP-803MC
TPU1501PC
島津製作所
PFEIFFER
LZM-167
13882198
12　備考
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体+EI-1003M+ｹｰﾌﾞﾙ
危険物吸引なし。ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ本体のみ。
【2台】
2012
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
空冷式ﾌﾗﾝｼﾞ：ICF152付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗ　STP-300（SCU300）、　TMP⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗ間ｹｰﾌﾞﾙ（8m)、I/Oｹｰﾌﾞﾙ（切断状態）
AC　POWERｹｰﾌﾞﾙ欠品
本体のみ、水冷式、吸気口：VG250　排気口：NW40、ｵｲﾙ付
き、取扱説明書無し
本体のみ　吸気口：VG　水冷式
2009
1995
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　停止前状況：予備として
保管　吸引ｶﾞｽ：Ar　吸気口：VG150　水冷　付属品：ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
EI-D303M （LFU1）（S/N:NKB339)、ｹｰﾌﾞﾙ付属なし。
本体のみ
2006
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号品名
RS11-2254 ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
TPU1501PC
メーカー
PFEIFFER
製造番号
14072840
RS13-2180
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TS440VW
大阪真空
S440-485
RS09-1583
ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟ
TURBOVAC361C
ﾗｲﾎﾞﾙﾄ
2-900097589
製造番号
製造年
備考
ICF-306　NW-40　水冷　本体のみ　M/N：PMP03697
水冷式吸気口：VG150　排気口：NW25　取扱説明書無し
TMPコントローラ：TC-400付き　電源ｹｰﾌﾞﾙ切断（1ｍ）、ＩＯｹｰ
ﾌﾞﾙ切断（3ｍ) 、ﾎﾟﾝﾌﾟ⇔ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ間ｹｰﾌﾞﾙ(4m)　CVD装置の
予備ポンプ
<ドライポンプ>
中古品番号
RS15-1053
RS15-1051
RS15-1052
RS14-1007
RS14-1008
RS14-1009
RS12-1329
品名
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
型式
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CL
SDE90U-20
SDE90U-024
SDE90U-020
SD60VⅡU-189-50
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
樫山
樫山
樫山
樫山
RS12-1326
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU-079-50
樫山
RS12-1328
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡU079-50
樫山
RS12-1327
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
SD60VⅡ
RS14-1138
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
PDR-090CLN
RS14-2213
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-8024
RS14-8025
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS13-8131
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
RS14-2208
製造年
2002
2002
2002
00J0321
01C0605
05J4203
00K5878
備考
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
排気速度：1000L/m　吸気口：VG40　排気口：NW40
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
MFG No.96G3412
排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
MFG No.96G3415
樫山
00K5811
ULVAC
A93A-00545
MU300-102
樫山
13ZDN71515
MU300-005
MU300-002
樫山
樫山
06D0543
04J0221
LR60
ULVAC
A00A-00237
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00035
2012
RS14-2176
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00016
2012
RS14-2177
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00019
2012
RS14-2178
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00020
2012
RS14-2179
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00017
2012
RS14-2180
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00014
2012
RS14-2181
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00013
2012
RS14-2182
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00018
2012
RS14-2183
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-T特型
ULVAC
A127B-00015
2012
RS13-2132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10237
RS13-2133
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10013
RS13-2134
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10233
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、
CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、
CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、
CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2135
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10296
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、
CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2136
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR3601-TT
ULVAC
A128A-10236
RS14-2077
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00007
2012
RS14-2163
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00016
2012
RS14-2175
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特型
ULVAC
A103B-00013
2012
RS13-2172
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-03232
RS13-2173
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR1800特
ULVAC
A85A-01233
CVD使用品　付属品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、
CO2、PH3、B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
LR180+PRC-018　吸気口：VG150　排気口：NW40　AC200V
50/60Hz　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　手動ﾌ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ（FUJI　SEIKI　MOD:1061100）、ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸ
ﾀあり）
LR180+PRC-018　吸気口：VG150　排気口：NW40　AC200V
50/60Hz　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｴｺｼｮｯｸESS-6、　ｹｰﾌﾞﾙ
切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR180+PRC-018　吸気口：VG150　排気口：NW40　AC200V
50/60Hz　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS02、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀの
み）
排気速度：28000L/m　吸気口：VG150　CVD使用品　付属
品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
排気速度：　28000L/m　吸気口：VG150　CVD使用品　付属
品：ｺﾈｸﾀのみ　使用ｶﾞｽ：SiH4、H2、CH4、CO2、PH3、
B2H6/H2、GeH4/H2/PH3/H2
RS13-2033
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-2
RS13-2034
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-1
RS13-2037
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-4
RS13-2038
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
A1034-10409
RS13-2039
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-4
RS13-2040
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-2
RS13-2041
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-1
RS13-2042
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-1
13　排気速度：1000l/min　吸気口：VG40　排気口:NW40
2012
本体のみ　使用履歴：不明（UJ/貸出・社内使用機　ｴｯﾁﾝｸﾞ・
ｽﾊﾟｯﾀ他使用）　要無害化洗浄
★未開封・未使用品★（2013/12/17新品購入後、保管）　3φ
200V　排気速度：5000L/ｍ　取説あり
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi
（CVD装置使用）
★未開封・未使用品★（2013/11/26新品購入後、保管）
LR421-T+PRC-036　付属品：ｻｲﾚﾝｻRS-03・排気配管付　吸
気口：VG150　排気口：NW50　AC200V 50/60Hz
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
LR421-T+PRC-036　吸気口：VG150　排気口：NW50
AC200V　50/60HZ　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS-03、　ｹｰﾌﾞﾙ切断状
態（ｺﾈｸﾀのみ）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残
留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残
留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残
留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残
留）
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
RS13-2043
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-2
RS13-2044
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2921-2
RS13-2045
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2923-1
RS13-2046
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
YK04-0027-1
RS13-2047
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2990-3
RS13-2048
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-1800
ULVAC
NK03-2991-3
RS13-2049
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00032
RS13-2052
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00034
RS13-2054
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00100
RS13-2055
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00021
RS13-2056
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00020
RS13-2125
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00025
RS13-2126
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00362
RS13-2127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00022
RS13-2128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00031
RS13-2129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
LR-180
ULVAC
A85A-00023
RS13-2287
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
IQDP80
EDWORDS
972127973
RS14-2059
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
076238382
2004
RS14-2060
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
056269793
2004
RS14-2061
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
027436149
2004
RS14-2062
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
IH600
EDWORDS
037830833
2004
RS14-2168
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
ULVAC
A111B-00005
2012
RS14-2169
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HR600特型
ULVAC
A111B-00003
2012
RS13-8132
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
HR-60
ULVAC
A81A-00006
RS14-2055
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3232
2012
製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：なし　本
体のみ　排気速度：900L/min　ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口NW80
排気口：NW40　消費電力：3.0kvA　重量：77ｋｇ　資料なし
RS14-2056
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC60B-1
樫山
06K3231
2012
製造年：2000年以降　運用履歴：【新品】　故障履歴：冷却水
ﾊﾟｲﾌﾟ　IN/OUTともに変形　本体のみ　排気速度：900L/min
ﾙｰﾂﾎﾟﾝﾌﾟ付　吸気口：NW80　排気口：NW40　消費電力：
3.0kvA　重量：77ｋｇ　資料なし
RS14-2057
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F015
2000
RS14-2058
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
HC450
樫山
00F016
2000
RS14-8026
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
G-200
Gardner Denver
BN10027658
RS15-2046
ｽｸﾛｰﾙﾎﾟﾝﾌﾟ
ISP-500B
ｱﾈｽﾄ岩田
AC8103-1502407
2003
有機ＥＬ装置ＺＥＬＤＡで使用。「H27年2月3日」O/H済の為、
無害。
RS14-2303
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ER-80
ULVAC
A95A-00198
2005
NE-550に使用、予備品（整備済み）
RS11-1256
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ER-150
ULVAC
A96A-00016
2009
ﾎﾟﾝﾌﾟ本体のR基盤故障により起動NG　※追加費用は別途
排気速度 2500L/m　吸気口；NW50　排気口；NW40
RS08-8029
RS08-8030
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
A30W
荏原製作所
荏原製作所
C60132
C61435
RS12-1127
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C40290
2000
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用使用
ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1128
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C70771
2000
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用使用
ｶﾞｽ：CF4・O2・Ar
RS12-1129
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A30W
EBARA
C80285
2000
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50　RIE装置に使用使用ｶﾞ
ｽ：CF4・O2・Ar
RS14-8044
RS14-3073
RS14-3075
RS14-3076
RS14-3077
RS14-3078
RS13-8143
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲ真空ﾎﾟﾝﾌﾟ
ﾄﾞﾗｲﾎﾟﾝﾌﾟ
A10S-S
ESA300W
ESA300W
ESA300W
ESA25-D-A
ESA25-D-A
RDR-090CL
LR60
LR90
荏原
荏原製作所
荏原製作所
荏原製作所
荏原製作所
荏原製作所
ULVAC
ULVAC
ULVAC
A#50485S
DHA00242
DHA00241
DHA00240
R064313701　1/2
DHB00305
A93A-00044
NS-1021
NS-1442
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
14　製造年
備考
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残
留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残
留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ部残
留）
排気速度 28000L/m　吸気口；VG150　CVD使用品
使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｻｲﾚﾝｻ付属　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀ
部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
排気速度 3000L/m　吸気口；VG80　排気口；NW40
CVD使用品　使用ｶﾞｽ：SiH4・PH3・B2H6　ｹｰﾌﾞﾙ切
断（ｺﾈｸﾀ部残留）
O/H済み品
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ
排気速度：8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費
電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ　資料なし
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ
排気速度：8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費
電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ　資料なし
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ　排気速度：8600L/min　吸気口：ISO100　排気口：NW40　消費
電力：3.2kvA　重量：415ｋｇ　資料なし
【未使用品】購入より10年　製造年：2000年以降　本体のみ
排気速度：8600L/min　吸気口：ISO100排気口：NW40　消費
電力：3.2ｋｖA　重量：415ｋG　資料なし
HR90+PRC-006　吸気口：VG80　排気口：NW40　AC200V
50/60Hz　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ切断状態（ｺﾈｸﾀの
み）
HR90+PRC-006　吸気口：VG80　排気口：NW40
AC200V　50/60Hz　付属品：ｻｲﾚﾝｻ：RS01、ｹｰﾌﾞﾙ
切断状態（ｺﾈｸﾀのみ）
吸引物質：H2,　SiH4,　N2,　B2H6,　PH3,　CO2, ｱﾓﾙﾌｧｽSi
（CVD装置使用）
製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速
度：6300L/min　吸気口：NW80　排気口：NW40　消費電力：
5.8kvA　重量：195ｋｇ　資料なし
製造年：2000年以降　使用期間：15年　本体のみ　排気速
度：6300L/min　吸気口：NW80　排気口：NW40　消費電力：
5.8kvA　重量：195ｋｇ　資料なし
動作未確認
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50、ｺﾈｸﾀｰ破損
排気速度：3000L/min　吸気口：NW50
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。O/H済
状態良好。O/H済
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
中古品番号品名
NS-1250
NS-1064
NS-1466
NS-1386
NS-1532
NS-1698
NS-3018
NS-1485
NS-1732
NS-2082
NS-2080
NS-2726
NS-3004
NS-3005
NS-1739
NS-1786
NS-1724
NS-2241
NS-1350
NS-1335
NS-1355
NS-1390
NS-1337
NS-1353
NS-1361
NS-1333
NS-1369
NS-1257
NS-1338
NS-2705
NS-1541
NS-2047
NS-2359
NS-1145
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
ドライ真空ポンプ
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　型式
LR90
LR90
HR90
ER150
ER150
LR300
LR600
LR600
LR1200
LR1200
LR1800
LR1800
LR1800
LR1800
LR1800
LR1800
LR3600
LR3600
PDR-060CL
PDR-060CL
PDR-060CH
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CL
PDR-090CH
PDR-090CH
PDR-090CH
PDR-180C
PDR-180C
DYM-12MCH-09CU
DYM-12RAH-18UR-CMD
DYM-12RAH-18CU
DYM-12RAH-18CU
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
製造年
備考
型式
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
PST-030CU
GST-05A
GST-1A
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
13-0021
13-0036
13-0034
13-0020
13-0022
72508570
5425104
製造年
備考
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
EDWARDS
製造番号
BK97-2366
AK00-3273
AK99-2032
AK99-3818
AK99-3817-1
BK97-2367
BK98-2316-2
AK99-2859
AK99-3256
5274A/7270FF
製造年
1997
2000
1999
1999
1999
1997
1998
1999
1999
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
P651125
P650867
P650887
P402399
ｼﾘｱﾙ無し
P250036
ｼﾘｱﾙ無し
P250774
P252851
P252855
P200075
MG54-0017
P400182
800456
800361
製造年
<イオンポンプ>
中古品番号
RS15-1009
RS15-1010
RS15-1011
RS15-1012
RS15-1013
RS15-1014
RS15-1015
品名
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
ｲｵﾝﾎﾟﾝﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
<排気セット>
中古品番号
RS14-1253
RS14-1250
RS14-1252
RS14-1251
RS14-1249
RS14-1246
RS14-1245
RS14-1247
RS14-1248
RS09-2124
品名
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気セット
排気ｾｯﾄ
型式
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-300C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
YM-SEMI-600C(特)
DP40-+EH250
備考
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC603+PMB-003CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
EC803+PMB-006CM　吸引：GaAs（ｶﾞﾘ砒素）
<真空バルブ　ULVAC製>
中古品番号
RS09-8072
RS09-8073
RS09-8074
RS13-8056
RS11-1216
RS09-8076
RS11-1215
RS09-8069
RS09-8070
RS09-8071
RS09-8075
RS12-1072
RS12-1071
RS12-1069
RS12-1070
RS09-8067
RS14-2066
RS11-2155
RS11-2156
品名
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
型式
VULP-65CM
VULP-65
VULP-65
VULP-40CM
VULP-25F（旧式）
VULP-250CM
VULP-25（旧式）
VULP-25
VULP-25
VULP-25
VULP-200CM
VULH-40
VUH-651
VUH-251C
VUH-251C
VUGP-40
VLP-U6
VLP-U3/4S
VLP-U3/4S
15　備考
UFC114
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
1997
1997
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
Oﾘﾝｸﾞﾌﾗﾝｼﾞ
2002
2002
2002
2002
要無害化処理
状態良好
ICF-070
ICF-070 整備後、引渡し
使用履歴：熱処理炉にて使用　本体のみ、付属品なし
圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号
RS12-1295
RS09-8061
RS09-8062
RS09-8063
RS09-8064
RS09-8065
品名
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
型式
ＶＬＰ－Ｕ３/４Ｓ
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
VLP-U2S
メーカー
ＵＬＶＡＣ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
800111
021536
021537
021544
021551
021552
製造年
2000
RS12-1103
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
ULVAC
021752
1989
RS12-1104
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
ULVAC
021753
1989
RS12-1105
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
ULVAC
021700
1989
RS12-1106
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VLP-U2S
ULVAC
021695
1989
RS12-1273
RS09-8052
RS09-8053
RS09-8054
RS09-8055
RS09-8056
RS09-8057
RS09-8058
RS09-8059
RS09-8060
RS11-3142
RS09-8047
RS09-8048
RS09-8049
RS09-8050
RS09-8051
RS12-1108
RS12-1257
RS12-1258
RS12-1259
RS14-2254
RS12-1263
RS12-1264
RS09-8038
RS09-8041
RS09-8042
RS09-8043
RS09-8044
RS09-8046
RS14-2072
RS09-8028
RS09-8029
RS09-8030
RS09-8032
RS09-8033
RS11-2073
RS11-2074
RS11-2153
RS11-2154
RS09-8077
RS12-1078
RS12-1075
RS12-1076
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
ＶＬＰ－Ｕ２Ｓ
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U2
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1SW
VLP-U1S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14S
VLP-U14
VLP-U10S
VLP-U10S
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1_1/2
VLP-U1 1/2S
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U1
VLP-U06SW-R
VLP-U06SW-R
VLP-U06AW
VLP-U06AW
VLP-8R
VLP-01
VLH-2
VLH-2
ＵＬＶＡＣ
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
020626
027242
028933
028935
028942
028953
028995
029006
029022
029065
028891
0170001
0170002
0170004
0170019
0170034
022512
147210
147231
147278
147095
102579
102581
518203
518215
518244
518246
518249
510332
510312
010427
017451
021755
021311
021702
070277
070276
068772
068771
831734
-
2000
RS11-2147
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000186
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書な
し
RS11-2148
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000183
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書な
し
RS11-2149
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000188
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書な
し
RS11-2150
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000189
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書な
し
RS11-2151
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000185
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書な
し
RS11-2152
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
VAP-300WⅡ
ULVAC
000184
特型仕様　圧空式　VG300ﾌﾗﾝｼﾞ　本体のみ　取扱説明書な
し
RS12-1437
RS12-1438
RS11-1014
RS11-1015
RS11-1016
RS11-1017
RS12-1433
RS12-1434
RS12-1435
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ゲートバルブ
ゲートバルブ
VAP-250Ⅱ
VAP-250Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VAP-200Ⅱ
VUGH-40F
VUGH-65F
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
000098
000102
圧搾空気動作式真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
NS-5012
NS-5013
備考
動作未確認　圧空式　JIS規格 3/4ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良
好
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良
好
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良
好
圧空式　JIS規格　2inﾌﾗﾝｼﾞ冷凍乾燥装置にて使用、状態良
好
動作未確認　圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
2004
圧空式　JIS規格 2inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
1989
2000
2000
2000
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
2000
2000
動作未確認　圧空式　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 14inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1　1/2ｉｎﾌﾗﾝｼﾞ
★新品未使用品★　電流導入端子、ﾍﾞﾛｰ含む
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ　ｻｲﾚﾝｻｰ付き（ﾍﾞﾝﾄ用）
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　圧空式　JIS規格 6inﾌﾗﾝｼﾞ
2002
2002
2002
圧空式　JIS規格 1inﾌﾗﾝｼﾞ
要無害化処理
圧空式JIS規格 10inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
動作未確認　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
MN03-0347-3
MN03-0347-4
MN03-0347-5
-
圧空式JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
圧空式　JIS規格 8inﾌﾗﾝｼﾞ
-
<真空バルブ　ULVAC製以外>
中古品番号
RS11-2173
RS09-8025
RS09-8024
品名
真空手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
型式
XLH40
XLG-80
XLA-16F9NP
メーカー
SMC
SMC
SMC
16　製造番号
ｼﾘｱﾙ無し
-
製造年
備考
NW40
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号
RS09-8020
RS09-8021
RS09-8019
RS09-8016
RS09-8017
品名
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
型式
Series　26（KF-40）
Series　26（KF-40）
Series　26（KF-16）
Series　24（KF-25)
Series　24（KF-25）
製造番号
メーカー
VAT
F-26-60317-200
VAT
F-26-60317-201
VAT
F-26-60049-894
VAT
F-24-60045-1077
VAT
F-24-60045-1078
BENKAN（KITZｼﾘｱﾙ無し
SCT）
BENKAN（KITZｼﾘｱﾙ無し
SCT）
FABR.NO641PMVAT
16PM-0002/153
FABR.NO641PMVAT
16PM-0002/160
VAT
102532-R1
RS11-2158
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
SCV 316L10K-3/8　STD（N.C 0.4～0.7Mpa)
RS11-2157
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
SCV 316L 10K-3/8　STD（N.C.0.4～0.7Mpa)
RS11-2216
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
RS11-2217
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
RS11-2460
ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PM-5
RS14-1172
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LCAV-40
大亜真空
1201172-16
RS14-1170
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K6
大亜真空
120123-2
RS14-1171
真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
LAV-K3
大亜真空
1201280-11
RS11-2078
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB7CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
ｼﾘｱﾙ無し
RS11-2077
ｶﾞｽﾊﾞﾙﾌﾞ
IB6CS-SCC-STD(KITZ-SCT
KITS-SCT
製造年
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISO
MAX500L/min)付き
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　N2流量計(TOKYO　KEISO
MAX500L/min)付き
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/153
本体のみ　FABR.NO641PM-16PM-0002/160
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使
用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Aｒ　L型KF-40
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで
都度使用時稼働）　本体のみ。吸引ｶﾞｽ：Ar　L型6”
VF150　圧空駆動
使用履歴：ｺｰﾃﾞｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで
都度使用時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar　L型3”
VF100　圧空駆動
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　圧力範囲：
0.4～0.7MPa N.C.　ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2
TOKYO　KEISO製）付属
ガス配管用ＳＴＯＰ　ＶＡＬＶＥ　継手：3/8（ｽｴｼﾞ）　圧力範囲：
0.4～0.7MPa N.C.　ﾌﾛｰﾒｰﾀｰ（範囲50～500L/min　N2
TOKYO　KEISO製）付属
ｼﾘｱﾙ無し
017067580　+
017669753
000601724
備考
RS13-8009
圧力制御ﾊﾞﾙﾌﾞ+ﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
656A100IKKVVN+655AD2BJ
MKS
RS08-8035
RS11-8017
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
653B-8-200J-2
64252-JE52-ANZ1+PM5
MKS
VAT
2011
RS11-2223
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
64250-CE52-1101
VAT
RS11-2224
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ
64250-CE52-1101
VAT
F64-105808/2
RS07-2961
RS11-1160
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
64246-JE52-0101
48240-CE01
VAT
VAT
F64-10866　1/1
不明
RS10-2762
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
28332-GE41-0003
VAT
-
RS09-8009
RS09-8010
RS09-8011
RS09-8012
RS09-8013
RS09-8014
RS09-8015
RS09-1149
RS10-8026
RS10-8024
RS10-8025
RS11-2072
RS11-2066
RS11-2069
RS11-2071
RS13-8010
RS13-8011
RS11-2222
RS11-8182
RS13-8013
RS09-8007
RS09-8006
RS09-8005
RS09-8004
RS07-2931
RS11-2226
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
APCﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
真空L型ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ（Oﾘﾝｸﾞ回転軸ｼｰﾙ）
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗﾊﾞﾙﾌﾞ
真空圧空式ﾊﾞﾀﾌﾗｲﾊﾞﾙﾌﾞ
真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
26328-KA11-0001
253A-11792
20044-CE24-1001/0006
1-800-345-1967
1-800-345-1967
16250-JA28
16250-JA28
16250-JA28
16250-JA28
14048-JE44
14048-JE44
14048-CE34-0005
14040-CE24-1004
12146-JA14
11220-0150X
11210-0159
1021002
1021001
02112-BA24-001-0031
14036-CE44-AAC1
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
MKS
VAT
MKS
MKS
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
VAT
HVA
HVA
ﾌｼﾞ精機
ﾌｼﾞ精機
VAT
VAT
0158
0241
0247
0250
0251
0252
0253
92031106L
A-249751
9928670041
9928670044
不明
不明
不明
不明
不明
不明
F14-104723/2
F14-100068/2
不明
01-17156
95-01971
150006
100003
A-289817
F14-109375/3
型式
メーカー
製造番号
製造年
中古品番号品名
型式
メーカー
製造番号
製造年
RS15-2020
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1G
ULVAC
08239G
2015
2015
2000
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ
作動式
本体のみ、ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞｺﾝﾄﾛｰﾙｼｽﾃﾑ、ICF356、　ｽﾃｯﾋﾟﾝｸﾞﾓｰﾀ
作動式
F64-105808/1
CR（解放）保管ｵｰﾙﾒﾀﾙｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF152、手動式
2000
26132-KA21（NW40）2個、24128-KA21（NW25）2個、26124KA21（NW16）2個A-719543(IFC070)
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
振子式高真空ﾊﾞﾙﾌﾞ、VF300、圧空駆動式
2011
2011
本体のみ、高真空ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ、ICF306、圧空駆動式
2011
（ＩＳＯﾊﾞﾙﾌﾞ）
本体のみ。ICF114、圧空駆動式
<超高真空部品>
中古品番号品名
備考
<ピラニ真空計>
備考
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面な
し、取説あり。
新品未使用、ｹｰﾌﾞﾙなし、CDあり。仕様書・図面な
し、取説あり。
RS15-2019
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1G
ULVAC
08238G
RS11-2326
RS11-2327
RS11-2328
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
DV-6200
DV-6200
DV-6200
ULVAC
ULVAC
ULVAC
07240212184
006760116373
006740115388
RS13-2123
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8401
2008
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属
品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS13-2124
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM301
ULVAC
PH8402
2008
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属
品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS13-2231
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
EM-301
ULVAC
PH8602
2008
12CH（35m,30m,25m,25m,25m,25m,25m,30m,35m,30m,25m,30m）、付属
品：表示機（表示機⇔ﾋﾟﾗﾆ真空計間ｹｰﾌﾞﾙ付）、取説無し
RS11-2102
RS11-2103
RS11-2189
RS14-3086
RS14-3087
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
EM-301　8CH
EM-301　8CH
EM-301　8CH
GP-1000
GP-1000
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
PH1508
PH1509
PH7301
23791
23666
17　ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
ＭＡＸ8点測定
状態良好。
状態良好。
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号
RS14-3088
RS14-3089
RS14-3090
RS14-3093
RS14-3094
RS14-3095
RS14-3096
RS14-3097
RS14-3098
RS14-3101
RS14-3102
品名
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
型式
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
GP-1000
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS13-2309
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1000G
ULVAC
RS14-1156
RS14-3104
RS14-1285
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1000G
GP-1000G
GP-1GRY
ULVAC
ULVAC
ULVAC
03467G
01005G
02543G
RS13-2302
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
73967
1987
RS13-2303
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
19896
1987
RS13-2340
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
71937
本体のみ、ﾒｰﾀｰﾀｲﾌﾟB、（WP-01、100ｍ校正）
RS13-8128
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SRY
ULVAC
73966
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　（WP-01/100ｍ　校正品）。　部品抜き
前、通電のみ確認済。
RS13-8082
RS13-8087
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
GP-1SRY(A)
GP-1SRY（C)
ULVAC
ULVAC
28059
34569
ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ　ｹｰﾌﾞﾙ類無し
RS13-2284
ﾋﾟﾗﾆｰ真空計
GP-1SSW
ULVAC
2603
RS08-2159
RS08-2160
RS08-2161
RS11-2529
RS11-2303
RS11-2305
RS11-2307
RS11-2308
RS11-2309
RS11-2310
RS11-2311
RS11-2312
RS11-2313
RS11-2314
RS11-2315
RS11-2316
RS11-2317
RS11-2318
RS11-2319
RS11-2320
RS11-2321
RS11-2323
RS11-2325
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆｹﾞｰｼﾞﾎﾞｯｸｽﾕﾆｯﾄ
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
ﾋﾟﾗﾆ真空計
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN　BPR2
G-TRAN SP-1/ISP
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
PG-6200
GP-2ARY
GP-2001
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
3364
3365
3366
17827G/01846
2131　0212188
28370419173
28310418377
018130116195
2127　0212184
21320212189
ｼﾘｱﾙ無し
018140116196
018110116193
018080116190
ｼﾘｱﾙ無し
018370116197
ｼﾘｱﾙ無し
018070116199
018090116191
018100116192
018120116194
018390116199
28400419176
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ｷﾔﾉﾝｱﾈﾙﾊﾞ
ULVAC
ULVAC
ANELVA
製造番号
22145
22143
22142
22137
22150
22146
22317
3299
EL057222
EL057267
EL057213
EL057211
EL057215
EL057216
0384
0428
N9011078
製造年
メーカー
MKS
MKS
CELERITY
MKS
MKS
MKS
MKS
製造番号
000,206,023
001240830J
A819647727
016335508
016293672
016293679
016293683
製造年
NS-5014
NS-5015
製造番号
23796
23789
23690
23665
23688
23692
23793
23662
23683
23661
23686
製造年
備考
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
2008
使用履歴：真空熱処理装置に付属、有害物質不使用　本体
のみ、（測定子ｹｰﾌﾞﾙ・検出ﾕﾆｯﾄ付属無し）　仕様書・取説・図
面無し
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙのみ　液晶一部表示NG
状態良好。
危険物吸引なし。ﾌﾙｾｯﾄ。
ﾒｰﾀｰA（S）ﾀｲﾌﾟ、　Pa/Torr表示、　電源ｹｰﾌﾞﾙ要交換（被覆
損傷あり）
使用履歴：ALロウ付け装置、購入直前まで稼働。測定しケー
ブル無、電源ケールブル付属あり（丸端子）、200m構成
（WP01）、Pa-torr表示。メーターAタイプ
ﾒｰﾀｰAﾀｲﾌﾟ　ｹｰﾌﾞﾙ類無し
ﾒｰﾀｰ無し　付属品：WP用測定子ｹｰﾌﾞﾙ（4m）（ｱﾝﾌﾟ表示10m）
動作確認ＯＫ
ｹｰﾌﾞﾙ付属無しSENSOR　CABLE　40m
ｹｰﾌﾞﾙ付属無しSENSOR　CABLE　40m
ｹｰﾌﾞﾙ付属無しSENSOR　CABLE　40m
ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ　SP1φ18 表示器のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
ＵＬＶＡＣ製　ＭＣＨ・ＭＬＸｼﾘｰｽﾞ搭載品
<電離真空計>
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
中古品番号
RS15-1095
RS15-1094
RS15-1093
RS15-1092
RS15-1097
RS15-1096
RS15-1098
RS14-1286
RS14-3105
RS14-3106
RS14-3107
RS14-3108
RS14-3109
RS14-3110
RS15-1016
RS15-1017
RS12-8063
品名
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
電離真空計
型式
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M2
GI-M
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
M-420HG
GI-D6
GI-D6
MIG-721
備考
☆
☆
☆
☆
☆
☆
☆
危険物吸引なし。AC100V入力ｹｰﾌﾞﾙ付。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
<バラトロン真空計>
中古品番号
RS10-8044
RS08-8017
RS09-1421
RS13-2241
RS13-2174
RS13-2175
RS13-2176
品名
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ測定子
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
真空計　186B-BOJOAANV
PDR-CJ1C-BCD
CMX-1110
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
18　備考
本体のみ
2008
2008
2008
2008
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　ｷｰ部破損
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS13-2177
RS13-2178
RS11-3007
RS12-8062
品名
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ真空計
【お客様用】中古品在庫リスト　型式
651CD2S1NJ
651CD2S1NJ
628A.1TBF-S
TYPE 113B
2015年12月20日現在　メーカー
MKS
MKS
MKS
MKS
製造番号
016293684
000740759
000065664
SN3449
製造年
2008
2008
メーカー
製造番号
製造年
備考
メーカー
ANELVA
ANELVA
製造番号
M9156827
M9156829
製造年
備考
型式
CCMH-1000A
メーカー
ULVAC
製造番号
製造年
備考
型式
Octie SO1
Octie BO1
メーカー
ＵＬＶＡＣ
ＵＬＶＡＣ
ＵＬＶＡＣ
ＵＬＶＡＣ
ＵＬＶＡＣ
製造番号
製造年
備考
メーカー
ULVAC
製造番号
0243
製造年
備考
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ
外観問題なし、動作未確認、ｹｰﾌﾞﾙ無ﾚﾝｼﾞ：1Pa/133.32
<ペニング真空計>
中古品番号品名
型式
<サーモカップル真空計>
中古品番号品名
RS12-8064 ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計
RS12-8065 ｻｰﾓｶｯﾌﾟﾙ真空計
型式
MTG-012
MTG-012
<キャパシタンスマノメータ >
中古品番号品名
NS-5016 キャパシタンスマノメータ
<広帯域真空計 >
中古品番号品名
NS-5019
NS-5020
NS-5021
NS-5022
NS-5023
広帯域真空計
広帯域真空計
広帯域真空計
広帯域真空計
広帯域真空計
ディスプレイユニット Octie ISO2
Octie CO1-R
Octie CO1-H
<成膜コントローラー>
中古品番号品名
RS13-8124 成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
CRTM-5000
RS13-8126
成膜ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
CRTM-8000
ULVAC
0123
RS11-2012
RS11-8028
RS11-8029
RS11-8070
RS11-8071
RS11-8072
水晶振動式膜厚計
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏﾙﾁｾﾝｻｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
MDC-260
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
CRTS-12NS
MAXTEK,INC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
121
134-134　Ver.2.04
136-136　Ver.2.04
135-135　Ver.2.04
137-137　Ver.2.04
252-252　Ver.2.04
製造番号
H8TR15B00372
70003237
LOTT23B02800
LOTT23C02894
C1TT24C03427
MOTT23C02969
B2TT26C03925
製造年
Transpector2
Transpector2
Transpector2
Transpector2
Transpector2
メーカー
INFICON
INFICON
INFICON
Inficon
Inficon
Inficon
Inficon
RG-202R
ULVAC
AK97-3487
1997
製造年
備考
本体のみ。　部品抜き前、通電のみ確認済。
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ　HS/Sｶｰﾄﾞ4個。　部品抜き前、通電のみ
確認済。
本体、ｹｰﾌﾞﾙのみ（ｾﾝｻｰ無し）
<ガス分析計>
中古品番号
RS13-1143
RS11-1170
RS11-1169
RS14-2284
RS14-2287
RS14-2286
RS14-2285
品名
TRANSPECTOR　XPR
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
質量ｶﾞｽ分析計
RS14-2250
ﾌﾟﾛｾｽﾓﾆﾀｰ
型式
XPR-TR100　（0397）
Transpector2（911-242-G1U　H100M)
備考
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し
Transpector　2（911-242-G1U　H100M)
動作未確認。　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾕﾆｯﾄ　S/N:00032　ｾﾝｻｰﾕﾆｯﾄ
S/N:00032　本体（ｼﾞｭﾗﾙﾐﾝｹｰｽ付）　+　PC（HITACHI製） + ｿ
ﾌﾄ付（Windows3.1)　欠品なし。　使用履歴：N2ｶﾞｽ分析　取説
あり
<Heリークディテクタ>
中古品番号品名
RS11-2208 Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀ
型式
HELIOT　302s特
メーカー
ULVAC
製造番号
3836
RS13-3145
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
UL-200
INFICON
90001015459
RS13-3152
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ
UL-200
INFICON
20600033255
中古品番号品名
RS10-8060 ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
RS10-8102 ﾋﾞｰﾑｽｲｰﾌﾟｺﾝﾄﾛｰﾗ
型式
PSG-004S
PSG-004S
メーカー
ULVAC
ULVAC
RS13-1035
EB電源
JST-10F
RS11-8010
EB電源
HPS-1600F
ULVAC
製造番号
19912145
19912040
BS101106-55 AB
Z280
20020012
RS11-8048
EB電源
HPS-1600F
ULVAC
20020011
RS09-2724
EB電源
HPS-1000
ULVAC
19972369
RS13-8142
EB電源ｾｯﾄ
JST-16F
JEOL
-
備考
スニファー専用機器
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。、動作確認
結果：正常
付属品：電源ｹｰﾌﾞﾙ、取説（英文）あり。動作確認結
果：正常
<EB電源>
JEOL
19　製造年
備考
本体のみ
本体のみ。
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様
電源本体鍵無、ｺﾝﾄﾛｰﾗはﾊｲﾊﾟﾜｰ仕様、ﾌｨﾗﾒﾝﾄ
BOX付属無し
【EB電源ｾｯﾄ】電源ﾗｯｸ1個、ｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾕﾆｯﾄ（JST16F 1個、EBG-HV025G02 2個、EBG-LV025G01 1
個）　ﾊｰｽ 1個
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　<RF電源>
中古品番号
RS15-1044
RS11-2291
RS11-2292
RS10-8082
RS14-2019
RS14-2020
RS14-2022
RS14-2023
RS11-2268
RS11-2269
RS13-2151
RS13-2152
RS13-2153
品名
RF電源
VDCﾓﾆﾀ
VDCﾓﾆﾀ
VDCﾓﾆﾀｰ
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF　ｺﾝﾄﾛｰﾙﾊﾟﾈﾙ
RF電源
RF電源
RF電源
型式
RFS-1310A/MBX-10EA
VDC-1A
VDC-1A
VDC05A
TX10-D000-00-12.5M
TX10-D000-00-12.5M
TX10-D000-00
TX10-D000-00
SP-RKC
SP-RKC
RFS-27400F
RFS-27400F
RFS-27200L
RS06-2704
RF電源
RS14-1277
RS13-2158
RS14-1278
RS14-1279
製造番号
製造年
2002
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
086008
91020
392025
10240300003
102403000012
10237600009
10237600002
L/N　WB3563
L/N　WB3563
210001
210002
208005
RFS-2712K
ULVAC
306001
RF電源
RF電源
RF電源
RF電源
RFS-1350LH
RFS-1310L
RFS-1310A3
RFS-1310A3
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
209021
209008
205010
204026
RS13-1020
RF電源ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ他
RFP-20CA
ULVAC
399004
RS10-8081
RS10-8078
RS10-8080
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
操作ﾊﾟﾈﾙ
RFP-10CA0
RFP-05CA0
RFP-05CA0
ULVAC
ULVAC
ULVAC
RS09-1502
ﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFP-05CA/VDC5A
ULVAC
RS11-2266
RS11-2267
RS13-8106
RS09-1152
RF電源(1kw）
RF電源(1kw）
RF電源
RF電源
RFK10Z-SK5
RFK10Z-SK5
RFK05ZFSW2
RF-50
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
日本高周波
088017P
388022
387089
S/N:395048
L/N:56170270･
S/N:395087　L/N：
66170092
0107014
0107015
0103037
96140516
RS14-2128
PHASE　SHIFTER
PLFⅢ
AE
813660
2012
RS14-2129
PHASE　SHIFTER
PLFⅢ
AE
814211
2012
RS14-2130
PHASE　SHIFTER
PLFⅢ
RS11-8134
RS11-2273
RS11-2270
RS11-2271
RS11-2272
RS11-2212
RS09-1297
RS13-2160
RS13-2161
RS13-2162
RS13-2167
RS10-8075
RS10-8076
RS13-1051
RS13-1056
RS13-1105
RS13-1106
RS13-1108
RS09-1042
RS14-8052
RS14-1111
RS14-1112
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀｰ
ﾌｪｰｽﾞｼﾌﾀ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
5kw用ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RF電源
RF電源
高周波電源
高周波電源
PHS36VM
PHS-2C-SK1
NAK5A
NAK5A
NAK5A
MCP-1010E
MBX-50A
MBX-27400F
MBX-27400F
MBX-27200L
MBX-1310L
MBX-10EA
MBX-10EA
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
MBX-05EA2
LF-10
HFS-005
HFM-D20UL-AX7
HFM-D20UL-AX7
RS13-8027
RF電源
AX-1000LFⅢ
RS14-2025
RS14-2026
RS14-2027
RS14-2028
RS14-2030
RS14-2031
RS13-1060
RS13-1110
RS11-2289
RS11-2290
RS14-3119
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
ﾏｯﾁﾝｸﾞﾎﾞｯｸｽ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
RFｵｰﾄﾏｯﾁﾝｸﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ
ＲＦ電源
2009
2009
2009
2009
2004
2004
備考
本体*MBX-10EA+ｹｰﾌﾞﾙ
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ
本体のみ
出力:40KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:40KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力:20KW 27.12MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
出力：1KW　27.12MHz
付属品：M/BOX（MBX-2712A）ｹｰﾌﾞﾙ無し
出力:1KW 13.56MHz、付属品：ｹｰﾌﾞﾙ8m
付属品：AMC-6D（S/N:300175）、VPP-5D（S/N:300016）、
VDC-5D（S/N:300013）
2004
2004
AE
813661
2012
ULVAC
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
KYOSAN
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AMAT
日本高周波
島田理化
島田理化
393005
L/N　WB3569
0107016
0107015
0107014
1032
090003
310001
310002
308001
309009
393007
394011
395079
395030
397036
397034
394017
L1582
207677・5
-
1999
2004
2004
2004
2004
AD-TEC
10154000084
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-AV3
AMVG-1000-12.5M-CT
AMVG-1000-12.5M-CT
AMVG-1000-12.5M-CT
AMC-6D
AMC-6D
AMC-1AR
AMC-1AR
RFK200ZD
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ADTEC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
京三製作所
10220600019
10220600022
10220600021
10235800005
10235800007
10179100020
395004
392008
395008
92005
0605001
2009
2009
2009
2009
2009
2009
型式
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(20kW) ﾀﾝﾃﾞﾑ
DCL-1000(10kW) ｼﾝｸﾞﾙ
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
製造年
2002
2002
2002
2002
2002
本体のみ(1kw）
本体のみ(1kw）
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101 B
F/R B
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101 B
F/R B
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　M/N:3155143-101 B
F/R B
本体のみ
本体のみ
本体のみ
エッチング電源
5kw用
40kw、27.12MHz用
40kw、27.12MHz用
20kw、27.12MHz用
1kw用
未整備
未整備
付属品無し　200W
付属品無し　200W
1998
1998
付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し　200W　内部錆あり（ﾊﾞﾘｺﾝ周り）
付属品無し　200W
1995
1996
M/BOX：201631
電源本体のみ　20ｋW
電源本体のみ　20ｋW
1ｋｗ、400KHｚ　M/BOX:AMV-1000-LF-DI-2
（S/N:1090800004　RF出力ｹｰﾌﾞﾙ(8m)　M/BOX⇔RF
CONTｹｰﾌﾞﾙ(10m)　RF電源I/Oｹｰﾌﾞﾙ（3m)　RF電源ｹｰﾌﾞﾙ
(2m)　※RF　CONT無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
本体のみ、付属品無し
VDCﾓﾆﾀｰ付属：VDC5A（S/N:395001）、ｹｰﾌﾞﾙ無し
付属品無し
状態良好。
<DC電源>
中古品番号
RS15-1047
RS15-1049
RS15-1048
RS15-1050
RS15-1046
品名
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
20　備考
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　中古品番号
RS15-1054
RS15-1056
RS15-1055
RS15-2012
RS15-2011
RS15-2013
RS14-2194
RS14-2195
RS14-2105
品名
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
DC電源(新古品)
DC電源(新古品)
DC電源(新古品)
DC電源
DC電源
DC電源
型式
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
PINACLE10K
PINACLE20K
PINACLE10K
ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW
ﾋﾟﾅｸﾙ10ｋW
Ulstream10
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
AE
AE
ULVAC
製造番号
製造年
2002
2002
2002
C631478
672625
C631479
792289
792288
E0110212UL01002
2012
2012
2012
本体のみ　M/N:3152533-306C F/R C
RS14-2114
DC電源
Ulstream20
ULVAC
E0656711UL02510
2012
RS14-2115
DC電源
Ulstream20
ULVAC
E1080311UL02617
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　Product　No.:EU-01010107
出力：800V 50A　20ｋW
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　Product　No.:EU-01010107
出力：800V 50A　20ｋW
RS13-3101
RS11-2029
RS14-1125
RS10-2721
ﾊﾟﾙｽDC電源
DC電源
DC電源
DC電源
Sparc-le V
PR-500-10LGB
PNCL20K　Hi-Z
PAK20-18A
C609412
045547S
267451
2009
RS09-1161
DC電源
MDX-L6
RS09-1289
DC電源
MDX-L6
RS12-8059
RS11-8019
RS08-2041
RS14-1120
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
MDX-L6
MDL1501
MDL-15
MDL-15
AE
松定ﾌﾟﾚｼｼﾞｮﾝ
ｱﾄﾞﾊﾞﾝｽﾄｴﾅｼﾞｰ
KIKUSUI
ADVANCED
ENERGY
ADVANCED
ENERGY
AMAT
ULVAC
ULVAC
ULVAC
145679F/RC
191720
RS13-3089
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C442141
出力：１０ｋｗ　付属品：ｹｰﾌﾞﾙ類一式　2014/07/14
計測ｾﾝﾀｰにて動作確認　★故障（出力はOK、左右
FANから大きな異音あり）
RS13-3091
DC電源
MDL-1001A
ULVAC
C582927
出力：１０ｋｗ付属品：ｹｰﾌﾞﾙ類一式　2014/07/14計測ｾﾝﾀｰ
にて動作確認OK
RS14-1121
RS14-2222
RS14-2230
RS14-2229
DC電源
DC電源
DC電源
DC電源
MDL-1001A
HPK-15ZI-S1
HPK-15ZI-S1
HPK-15ZI-M
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
300616
WA5504
WA4468
WA5567
2003
2003
2003
RS11-2286
DC電源
HPK-15ZI　ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様
KYOSAN
WA2919+WA1382
199707
RS11-8086
DC電源
HPK-15ZI　ﾀﾝﾃﾞﾑ
KYOSAN
WA1267+WA6036
RS10-8035
RS10-8036
RS09-1499
RS14-2123
RS14-2124
RS14-2125
RS14-2126
RS14-2127
RS14-1282
DC電源
DC電源
DC電源
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
異常放電防止器
HAR-1P100-L0L
HAR-1N100-LOL
DCR-1502A
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-50
A2KH-25
ＭＩＴＵＳＡＤＡ
MATUSADA
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
52945
52933
19922010
011022
011023
011021
011019
011020
009050
メーカー
製造番号
製造年
備考
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
本体+ｹｰﾌﾞﾙ
付属品：出力ｹｰﾌﾞﾙ（約5.5ｍ）　M/N:3152533-306C F/R C
Product　No.EU-0020002、出力：800V 25A 10ｋW
出力：１２ｋｗ、付属品：　ｹｰﾌﾞﾙ類一式
新古品　5kw　（500V／10A仕様）
本体のみ　M/N:3152420-117C F/R C
70742
P/N:0190-76006
36941
P/N:0190-70085
＊２台
出力：15ｋｗ
本体のみ　M/N:3152345-101F F/R F
本体のみ　M/N:3152354-000D F/R D
RS14-2221とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
RS14-2229とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
RS14-2230とSET（ｺﾝﾄﾛｰﾗｰ、ｹｰﾌﾞﾙ付属あり）
※2台（ﾏｽﾀｰ1台+ｽﾚｰﾌﾞ1台）　ﾏｽﾀｰ　15ZI-M
（S/N:WA2039)1998、　ｽﾚｰﾌﾞ　15ZI-S1（S/N:WA1270)1997、
ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様（Master15kw）＋（Slave15kw）=30kw出力、　本体
のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し、購入以降通電無し、出力動作未確認
※2台（ﾏｽﾀｰ1台+ｽﾚｰﾌﾞ1台）　ﾏｽﾀｰ　15ZI-M（S/N:WA2919)
2000、　ｽﾚｰﾌﾞ　15ZI-S1（S/N:WA1382)　2007、　ﾀﾝﾃﾞﾑ仕様
（Master15kw）＋（Slave15kw）=30kw出力、　本体のみ、ｹｰﾌﾞ
ﾙ無し、購入以降通電無し、出力動作未確認
出力：1kv　（正極性　100mA/100W）
出力：1kv　（負極性　100mA/100W）
出力：15ｋｗ
2012
2012
2012
2012
2012
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
ｹｰﾌﾞﾙ切断（ｺﾈｸﾀのみ付属）　L/N:16170068
<AC電源>
中古品番号品名
型式
備考
<アナライザーマグネット電源>
中古品番号品名
RS04-8017 ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
RS04-8083 ｱﾅﾗｲｻﾞｰﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
型式
KS40-50S
KS40-50S
メーカー
ULVAC
平和電源
製造番号
12762
12761
製造年
型式
MCP-1010E
MCP-1010E
MCP-1010SX
MCP-1010SX
MCP-1010SX
メーカー
ULVAC
ﾃｸﾉ電気
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
1088
1092
2310
2449
2253
製造年
備考
型式
0010-01465　PSE-700H-N
PSH-072SP
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
メーカー
AMAT
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
製造番号
H5-100、H5-077
502068
S-7881
U406-024
U406-038
410052-001
U406-029
U406-018
U406-036
U406-021
U406-017
U406-037
U406-014
製造年
2006
備考
備考
中電流イオン注入装置用
<マグネット電源>
中古品番号
RS09-1496
RS10-8043
RS11-2278
RS11-2279
RS11-2369
品名
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
<加熱電源>
中古品番号
RS12-2077
RS13-8061
RS09-2666
RS13-2075
RS13-2076
RS13-2077
RS13-2078
RS13-2079
RS13-2080
RS13-2081
RS13-2082
RS13-2083
RS13-2084
品名
Hearter　ASSY　【2個】
抵抗加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
21　本体のみ
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS13-2085
RS13-2086
RS13-2087
RS13-2088
RS13-2089
RS13-2090
RS13-2091
RS13-2092
RS13-2093
RS13-2094
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　型式
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
PSH-306C
メーカー
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
ｼﾏﾃﾞﾝ
製造番号
U406-027
U406-026
U406-025
U406-039
U406-050
U406-056
U406-058
U406-077
U406-069
U406-071
製造年
中古品番号品名
RS12-1020 ｲｵﾝﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ電源
型式
DCP-505
メーカー
ULVAC
製造番号
2002002
製造年
RS14-1173
Q2ASH
三菱
-
品名
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
加熱電源
備考
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
基板加熱用　ﾄﾗﾝｽ無し
<その他電源>
PLC
備考
要整備
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用
時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar
<マスフロ・除害設備、ガス設備>
中古品番号品名
RS13-3013 ｶﾞｽ処理設備一式
型式
WGC-10B-2-FS
メーカー
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
製造番号
WG-2319
AMAT
-
製造年
2005
備考
ｴｱﾊﾞﾙﾌﾞｘ８個、ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞﾙﾌﾞｘ4個、ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰｘ4個（VCR)　ﾛｰﾄﾞ
ﾛｯｸA　ﾍﾞﾝﾄﾗｲﾝに使用　ｶﾞｽ使用履歴：Ar　【ｴｱｵﾍﾟ】型式：
944AOPLPNCSFSFF、ﾒｰｶｰ：VERIEFLO　CORP　【ﾆｰﾄﾞﾙ】型
式：不明、ﾒｰｶｰ：NUPRO　【ｶﾞｽﾌｨﾙﾀｰ】型式：WG3NS1RR2、
ﾒｰｶｰ：MILLIPORE
RS09-1199
ｶﾞｽ導入用ｴｱｵﾍﾟﾚｰｼｮﾝﾊﾞﾙﾌﾞ・ﾆｰﾄﾞﾙﾊﾞ
0050-21303
ﾙﾌﾞ
RS12-1033
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
FC-770AC
Aere
-
RS09-1028
RS09-1029
RS09-1038
RS14-1202
RS11-1168
RS11-2087
RS11-2092
RS11-2093
RS11-2177
RS11-2178
RS11-2180
RS11-2182
RS14-1200
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
電磁弁ﾕﾆｯﾄ
ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰﾕﾆｯﾄ
TEOS用除外装置
APC
APC
APC
APC
N2精製装置
FC780C
FC780C
FC780C
SEC-310-N1
SEC-4400M
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3）
SEC-4400M（MK3)
SEC-4400M（MK3)
24J0252
23E1149
24J0256
4137400200
3424592121
291502489
3458018281
3422582475
291502488
291502487
291502486
291502490
281505605
2007
2007
2001
2001
2001
2001
2000
Ar 500sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
Aere
Aere
Aera
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
SEC-7340LD-RO-N2-5SCCM-4CR
STEC
1312500580
2000
本体のみ。
SEC-E440J
SEC-E440J
SEC-F740MCA1
FC-770C/FC-770AC
SQｼﾘｰｽﾞ
W3000
STEC
STEC
STEC
Aere
SMC
CKD
3430014434
3463572997
2451023
４YEP035/20J0557
ｼﾘｱﾙ無し
1808
MKS
MKS
MKS
MKS
日本ﾊﾟｲｵﾆｸｽ
001814998
001843366
001843367
001788273
D-3890
メーカー
RORZE
製造番号
RS14-1199
RS11-1166
RS11-1167
RS09-2672
RS12-8066
RS11-2118
RS11-2083
RS12-1370
RS14-3111
RS14-3112
RS14-3113
RS14-3114
RS14-2362
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
600ｼﾘｰｽﾞ
JIP-10E-S
2001
ｹｰﾌﾞﾙ無し電源無し（4式ｾｯﾄ)　Ar100sccm(S/N:26F0276)、
CF4　50sccm(S/N:26F0358)、Sicl4　20sccm(S/N:26F0278)、
O2　50sccm(S/N:26F0275)
2000
本体のみ。
CH4 10sccm　VCR継手
Ar 500sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Kits Valve付
Ar 200sccm　VCR継手
Ar 200sccm VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
Ar 1000sccm　VCR継手→Swagelok Venkan Valve付
本体のみ。
Co 10sccm　VCR継手
2006
H2 10sccm　VCR継手
Ar　2SLM　VCR継手　Fujikin Valve付
状態良好。
状態良好。
状態良好。
状態良好。
現状動作OK。
<搬送ロボット>
中古品番号品名
RS09-2604 ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
型式
31RU8141-002-001
製造年
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 ZX-1000 搭載真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ　ﾄﾚｲ搬
送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
RS09-2670
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
KEYTRANⅢ（部品破損有）
ULVAC
-
RS10-8031
RS08-8028
RS13-1141
RS10-8028
RS10-8029
RS10-8030
RS14-1023
RS14-2352
RS10-2672
RS04-8076
RS04-8077
RS08-8027
RS08-8026
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ﾃｨｰﾁﾝｸﾞﾍﾟﾝﾀﾞﾝﾄ
ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ
大気ﾛﾎﾞｯﾄ
大気ロボット
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
大気搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
JZMQZ-TB38A
MAG6
Mag-7　003-1600-11
Mag7型003-1600-11
Mag7用型式001-1984-07
Mag7用型式002-0015-50
SPR-101-X099
SPR-101-X1099
SPR-801-X0980
UT0100
UT0150
UTMF5000
UTV-UTV-F2620W
ULVAC
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾌﾞﾙｯｸｽ
ﾀﾞｲﾍﾝ
ダイヘン
ﾀﾞｲﾍﾝ
MECS
MECS
ASYST
ASYST
R11862-717-01
9608-0028
000C-10578
9911-10601
HH135074
9911-10602
X0333Y3996901
X0333Y3912901
X0538Y3742701B
3X0409A01
481903A01
A06260950-1
502000000159
RS14-4089
移載機
WL300-Sorter-HW
ITOCHU
-
RS13-1113
ｵｰﾄﾛｰﾀﾞｰ
Zi-1000用
ULVAC
ME97-1038
1998
RS11-2496
搬送ﾛﾎﾞｯﾄ
ｱﾙﾌｧｰｽⅡ
ULVAC
0190
1994
22　備考
JZMQZ-TB38A　KEYTRAN-4ZEX-172用
製造番号未確認
本体のみ、ｹｰﾌﾞﾙ無し　Zi-1000ﾛﾎﾞｯﾄｱｰﾑ付
型式001-1984-07
型式002-0015-50
本体のみ
2000
IPZ-5001用部品　付属ピックアップのみ　ケーブル無
3軸
3軸
12インチウエハソート機能と保護シートを重ねウェーハ梱包
（コインスタック収納）を自動に行う装置
ULVAC製ｽﾊﾟｯﾀ装置 MLX-3000 搭載真空搬送ﾛﾎﾞｯﾄ　ﾄﾚｲ
搬送用ﾋﾟｯｸｱｯﾌﾟﾊﾝﾄﾞ
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　<電気制御系>
中古品番号
RS04-8014
RS04-8080
RS04-8012
RS04-8013
RS04-8053
RS04-8054
RS04-8056
品名
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ｼｰｹﾝｻｰ
ﾊﾟｿｺﾝ
ﾊﾟｿｺﾝ
ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ
型式
CYCMAC　C1000H
CYCMAC　C1000H
CYCMAC　C500-PS221
CYCMAC　C500-PS222
PC9801S
PC9801S
PC9801S付属
メーカー
OMRON
ｵﾑﾛﾝ
OMRON
OMRON
NEC
NEC
製造番号
製造年
備考
-
S369148CA
S369148CA
S360026
PC9801Sの付属品
<チラー・純水設備>
中古品番号
RS12-1050
RS08-2013
RS14-2032
RS14-2033
RS14-2034
RS10-2801
RS10-2802
RS10-2803
RS12-1048
RS14-2300
RS12-1049
RS12-1324
品名
水冷ﾁﾗｰ【2台】
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
超純水製造装置
ﾁﾗｰ
水冷ﾁﾗｰ
ﾁﾗｰﾕﾆｯﾄ
型式
CH-2200WS、CH-5500WS
CH-5500WS
EXL-1006
EXL-1006
EXL-1006
MMR-101
MMR-101
MMR-101
PURIC-MXⅡ-LS
RKE-5500A-K
SCS-3WT
CS1000
メーカー
ﾀｲﾃｯｸ
ﾀｲﾃｯｸ
ﾘｯｼｰ
ﾘｯｼｰ
ﾘｯｼｰ
RISSHI
RISSHI
RISSHI
ｵﾙｶﾞﾉ㈱
ORION
ｽﾃｯﾌﾟｻｲｴﾝｽ
ﾘｯｼｰ
製造番号
4090345、4090212
2110195
0309215
0404136
0404137
0707467
0708575
0707466
MLD2173321
808043
9904132
製造年
2004
備考
水冷ﾁﾗｰ
2009
2009
2009
200401
2005
2004
CS1000ｘ1台　CS6000ｘ1台
<スパッタ装置部品　ULVAC　Ceraus>
中古品番号
RS09-1500
RS09-1501
RS10-8053
RS10-8054
RS10-8052
品名
ｼｬｯﾀｰ
ｼｬｯﾀｰ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
型式
1420A　TKK-5
1420A　TKK-6
1608ATKK-5
RS10-8055
通信COM
AT-MX10
RS10-8042
RS09-1484
RS12-1154
RS12-1155
RS12-1156
RS12-1157
RS12-1158
RS12-1159
RS12-1160
RS12-1161
制御系
真空計用ﾎﾞｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
ZX-1000用IGﾎﾞｰﾄﾞ
Contunit型式001-8185-05
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
GS-IG
RS10-8051
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
KU80376
RS11-8139
RS11-8140
RS11-8141
RS11-8142
RS11-8143
RS11-8144
RS10-8048
RS10-8049
RS09-1465
RS10-8045
RS10-8046
RS10-8047
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御BOX
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾌﾟﾛｾｽﾓｼﾞｭｰﾙｺﾝﾄﾛｰﾗ
制御系
制御系
制御系
ME-Ⅱ　①
ME-Ⅱ　②
ME-Ⅱ　③
ME-Ⅱ　④
ME-ⅡA　①
ME-ⅡA　②
PI-30
PMC-6
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
PMC-Ⅱ
RS10-8050
制御ﾎﾞｰﾄﾞ
PVME-387
RS09-1483
RS09-1504
RS09-1505
RS10-8040
RS10-8041
RYB
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ｼｬｯﾀｰﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
制御系
制御系
RYB1
SG6100S
SG6100S
SYSTEM　I/F　BOX
SYSTEM　I/F　BOX
製造番号
NTZX0129
NTZX0130
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
000010280100050
Allied　ＴｅｌｅｓｙｎI
Rev2A
ﾌﾞﾙｯｸｽ
9910-10099
ULVAC
P196
ULVAC
P236
ULVAC
P237
ULVAC
P238
ULVAC
P247
ULVAC
P248
ULVAC
P249
ULVAC
P271
ULVAC
445
96-1500-27001
PMC-1
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
ｼﾘｱﾙ無し
旭ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
ULVAC
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
980309-1　KEPBｵﾝﾃｯｸ
372
ULVAC
ULVAC
ULVAC
№2
№1
メーカー
ULVAC
ULVAC
Adme
Adme
Adme
製造年
備考
000010280100050　Rev2A
1999
1999
1999
1999
1999
1999
ｽﾊﾟｯﾀ用
IPC用
ｱﾆｰﾙ用
<スパッタ装置部品>
中古品番号品名
RS11-2495 ｶｿｰﾄﾞ
型式
φ4ｲﾝﾁﾏｸﾞﾈﾄﾛﾝｶｿｰﾄﾞ
メーカー
ULVAC
製造番号
製造年
1994
型式
EGC-10G
EGK-3C
EGK-3C
EGL-35
EGL-35
EGL-35M
メーカー
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
ULVAC
製造番号
19952050
183100264
183100262
製造年
177100197
1991
備考
<蒸着装置部品>
中古品番号
RS11-8047
RS11-8162
RS11-8163
RS09-1309
RS11-8164
RS10-8101
品名
ｶﾞﾝｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
EB蒸発源
EB蒸発源
EBｶﾞﾝ
EB蒸発源
EBｶﾞﾝ
23　備考
★要修理
1991
1991
本体のみ
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号品名
RS09-1576 EBｶﾞﾝ
型式
EGO-40M
RS11-2558
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
LIS
RS11-2559
ｲｵﾝｿｰｽ、ｲｵﾝｶﾞﾝ
LIS
RS10-8064
抵抗加熱蒸発源ﾕﾆｯﾄ
2015年12月20日現在　メーカー
ULVAC
製造番号
179800134
AE
579883
AE
579882
ULVAC
ｼﾘｱﾙ無し
メーカー
ULVAC
-
製造番号
-
川崎ｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｼｽﾃﾑｽﾞ
U-00005
009
N8976
三菱
-
製造年
備考
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)　程度良品ほ
ぼ未使用
ｲｵﾝｿｰｽ部　M/N:3151900-005A（ﾒｰｶｰ：AE)　程度良品ほ
ぼ未使用
<イオン注入装置部品>
中古品番号
RS14-1034
RS14-1057
RS14-1061
RS04-8034
RS14-1031
RS14-1059
RS14-1056
RS14-1055
RS14-1060
RS14-1085
RS14-1076
品名
Qﾚﾝｽﾞ
ｳｪｰﾌﾞｶﾞｲﾄﾞﾍﾞﾛｰ
ｸﾗｲｵ温度計ﾊﾟﾈﾙ
ｺｯｸﾛﾌﾄ
ｺﾝﾀﾐﾄﾞﾘﾌﾄﾁｭｰﾌﾞ
ｽｷｬﾅｰﾕﾆｯﾄ
ｿｰｽｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾍﾟｰﾊﾟﾗｲｻﾞ電源
ﾏﾆｭｱﾙｽｲｯﾁ
ﾛｯｸ室ﾌﾚｷﾎｰｽ（4本）
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
型式
3801EI00
RS14-1174
ﾀｯﾁﾊﾟﾈﾙ
A970GOT-TBA-B
RS04-8026
RS04-8027
RS04-8093
RS14-2344
RS14-2317
RS14-2311
RS14-2312
RS14-1219
RS14-1032
RS04-8092
RS14-2315
RS04-8015
RS14-1026
RS14-1192
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ｲﾝﾃｸﾞﾚｰﾀｰﾌﾟﾛｾｯｻｰ
ティーチングBOX
ベーパライザー電源
EXTターミナルCONT
HVターミナルCONT
GNDﾏｸﾞﾈｯﾄ電源
ｺﾝﾋﾟｭｰﾀｰ　MAIN
CPU　BOX
プリアンプ
ACCEL/DECEL　P/S
ﾋﾟﾗﾆｰｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾙ
E/Sﾊﾞｲｱｽ電源
CPU　BOX
DOSE　DISPLEY
DOSE　DISPLEY
E4477A
EM-ABP1
EM-BEX0
EM-BHV0
ESS50-200-2-D-GBⅡ
FC-9821Xa model　2
FC-9853U
KW-FPR3
MDL-2/10
MPG16/12ｃｈ
PCM5N120X
RS04-8022
HV　P/S（DEC　P/S）
PS/ER30N10.0-10(-30KV/10mA）
RS04-8088
ＨＶP/S(DEC　P/S）
PS/ER30N10.0-10(-30kV/10mA）
RS14-1042
ﾃﾞｨｾﾙ電源
PS/ER30N10-Y10A
RS04-8025
RS04-8091
RS04-8021
RS04-8087
Q-LENS　P/S
Q-LENS　P/S
ＨＶ　P/S
ＨＶP/S
RS04-8023
HV　P/S(EXT　P/S)
RS04-8089
RS14-1214
RS14-2343
RS14-1217
RS14-1190
RS14-2308
RS14-2320
HV　P/S(EXT　P/S)
ﾓﾆﾀｰ
ディスプレー
HV電源
引出電源
ディスプレー
アクセルディセル電源
GLASSMAN/高
GLASSMAN/高
GLASSMAN/高
GLASSMAN/高
GLASSMAN/高
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ)
砂
PS/UL-3517G1254(-35kv/17mＡ) GLASSMAN/高
砂
RDT141S
三菱
S501J
IIYAMA
SL260P2080X2652
ｽﾍﾟﾙﾏﾝ
SL40N300X
SPELLMAN
T1501-GY
ナナオ
TK-A0021
テクノ電気
RS14-2328
スキャナー電源③
TR-898
RS14-2326
スキャナー電源①
RS14-2327
製造年
備考
本体のみ
本体のみ
本体のみ
高圧電圧昇圧
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
本体のみ
使用履歴：ｺｰﾃｨﾝｸﾞ装置にて使用　（2014/10頃まで都度使用
時稼働）　本体のみ。　吸引ｶﾞｽ：Ar
演算制御部
演算制御部
ダイヘン
EME
EME
EME
EMI
NEC
NEC
関西電子
ULVAC
SPELLMAN
GLASSMAN/高
砂
GLASSMAN
PS/UL-15-2G1255
PS/UL-15-2G1255
PS/UL180P5X1222
PS/UL180P5X1222
60055
E4477Y329111
S082007MA
S390195
演算制御部
2000
2000
2000
2000
2000
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
本体のみ。
本体のみ
ﾌﾞﾗｳﾝ管ﾓﾆﾀｰ
2000
51876
FPGO-045
M669040-01C　V
930630
99993103
M91880801FR001004
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
本体のみ
2000
本体のみ。
ﾃﾞｨｾﾙ電源
ﾃﾞｨｾﾙ電源
本体のみ
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
2930099
Qﾚﾝｽﾞ電源（15kV）
高圧電源（180ｋV）
880258
M67407001DW930922
2900392
30031090
-
高圧電源（180ｋV）
引出電源（30ｋV）
引出電源（30ｋV）
2000
2000
2000
2000
2000
2000
本体のみ。
TREK
2000
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブル
のみ
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブル
のみ
スキャナー電源②
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブル
のみ
RS14-2331
スキャナー電源⑥
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ
RS14-2329
スキャナー電源④
TR-898
TREK
2000
IPZ-5001用部品　RS14-1004付属予定　付属電源ケーブル
のみ
RS14-2330
RS14-2339
RS14-2325
RS14-2334
RS14-2346
RS14-2319
RS14-2321
RS04-8016
RS04-8071
RS04-8057
RS14-2349
RS04-8086
RS04-8082
RS04-8090
RS04-8085
RS04-8094
RS04-8095
スキャナー電源⑤
オフセット電源
DCオフセット電源
HV電源
HV電源増幅器
引出電源
アナライザーマグネット電源
SOURCE　MAGNET　P/S
ｻﾌﾟﾚｯｼｮﾝﾊﾞｲｱｽ電源
ﾌﾟﾘｱﾝﾌﾟ
BEAM　CONT　INTERFACE　UNIT
HVﾃﾞﾊﾞｲﾀﾞｰ
SOURCE　MAGNETP/S
SWING　MOTOR　DRIVER
ｺｯｸﾛﾌﾄ
ﾎﾟﾝﾋﾟﾝｸﾞﾁｭｰﾌﾞ
加速管
TR-898
UL152G1255
UL152G1255
UL180P5G1255
UL180P5GI222
UL3517G1254
UX035-60
TREK
グラスマン
グラスマン
グラスマン
高砂
グラスマン
高砂
2000
2000
2000
2000
2000
2000
2000
IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ
IDZ-8000用
ULVAC
ULVAC
アルバック
ULVAC
無し
不明
無し
無し
無し
ULVAC
24　5990053
5990018
52611
29
BM0301
無し
不明
20Z30043
880258
無し
無し
IPZ-5001用部品
本体のみ。
本体のみ。
IPZ-5001用部品　本体のみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品　本体のみ
IPZ-5001用部品
IPZ-5001用部品
IDZ-8000用　動作未確認
2000
IPZ-5001用部品　付属電源ケーブルのみ
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　<スパッタ装置部品　AMAT　Endura，CenturaPVD>
中古品番号
RS09-1506
RS09-1509
RS09-1510
RS09-1554
RS09-1555
RS09-1540
RS09-1559
RS09-1560
RS09-1517
RS09-1518
RS09-1562
RS09-1558
RS09-1561
RS09-1557
RS09-1512
RS09-1551
RS09-1507
RS09-1508
RS09-1534
RS09-1539
RS09-1538
RS09-1536
RS09-1537
RS09-1514
RS09-1515
RS09-1516
RS09-1262
RS09-1519
RS09-1520
RS09-1521
RS09-1526
RS09-1523
RS09-1524
RS09-1525
RS09-1529
RS09-1527
RS09-1528
RS09-1530
RS09-1552
RS09-1547
RS09-1548
RS09-1549
RS09-1390
RS09-1541
RS09-1545
RS09-1546
RS12-2091
品名
ｺﾝﾌﾟﾚｯｻｰ　8510 Compressor
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
ﾁｬﾝﾊﾞｰﾘｯﾄﾞｶﾊﾞｰ
Hose Push-Lok5/8250PSI
Hose Push-Lok 5/8　300PSI
SPLTR BOX　HELIX
AIﾀｰｹﾞｯﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　ALﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾊﾞｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾚｰﾄ　Ti　ﾀｰｹﾞｯﾄ付き
ﾌﾟﾘｸﾘｰﾝTMP取付配管
真空配管類
水冷ｺﾈｸﾀｰ、水冷ﾊﾟｰﾂ
中古ﾎｰｽ
STD Lifter
PVD HP LIFT
Nallow Load/Lock　LLA
Nallow Load/Lock　LLB
MAGNET
SPACER INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
WSHR INSULATOR LIFTER
Shield 8"
Shield 8"
Shield Upper
ｲｵﾝﾎﾞｰﾄﾞ
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ
（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ
（MONITOR)
REMOTE/SYSTEM VIDEDO　ｹｰﾌﾞﾙ
（MONITOR)
SYS.CONT. BULKHEAD CABLE
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
ION GAUGE　CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
CRYO PUMP CABLE
HoseGas/LIQ.500ID X .780 OD 200PSI
SYNTH
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
VAT 弁体+O/H Kit
ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞ装置ﾁｬﾝﾊﾞｰ
MFC N2200sccm　STEC
MFC AR100sccm
MFC AR100sccm
Endura　ﾏｯﾁﾝｸﾞBOX他ﾊﾟｰﾂ一式
型式
8510
0020-20676
0020-20676
0010-20300
0010-70441
0010-75004
0010-75005
0020-20221
0020-20521
0020-20521
0020-20522
0020-20522
0020-21665
0020-21665
0020-23278
011222-103
メーカー
CTI
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21011
AMAT
0150-21234
0190-21305
0190-21305
0190-21305
0190-21305
0620-01201
0620-01201
0620-01201
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
3400-01073
AMAT
3870-02524
3870-02524
3870-02524
ENDURA5500ﾁｬﾝﾊﾞ　SEC4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
製造番号
67A9608665
製造年
備考
P/N:0020-20676
P/N:0020-20676
3400-01074
P/N:3400-01074
約11ｍ
P/N:8135240G001
※中古
※中古
※使用済み
※使用済み
T-3295-17-3425
T-21495-63-3571
T-21495-64-3571
AMAT
AMAT
AMAT
AMJ
HORIBA　STEC
HORIBA] STEC
HORIBA　STEC
AMAT
2個一式　※改造に最適
M/N:2365831
M/N:3471316094
M/N:3461442376
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｃｅｎｔｕｒａ
中古品番号品名
RS09-1067 4,5,6,”ROBOT
型式
-
RS09-1080
ﾃﾞｨｽｸﾄﾞﾗｲﾌﾞとﾎﾞｰﾄﾞ
-
RS09-1087
RS09-1089
RS09-1090
RS09-1110
RS09-1135
RS09-1141
RS09-1186
RS09-1187
RS09-1195
RS09-1196
RS09-1197
RS09-1198
RS09-1200
RS09-1201
RS09-1202
RS09-1203
RS09-1204
RS09-1210
RS09-1219
RS09-1222
RS09-1223
RS09-1259
RS09-1265
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸ用ﾌｧﾝ
ﾌﾟﾛｾｽｷｯﾄ（CVD）
REDUCER BOX
ﾎﾞｰﾄﾞ
FAN
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗLL室ｽﾃｰｼﾞ
LL室ｽﾃｰｼﾞ
ｶｾｯﾄ
Cable
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ｽﾘｯﾄASSY
信号Cable
ｴｱｵﾍﾟ
STD　Body
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｶｾｯﾄ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾘｯﾄﾞ
LLｶﾊﾞｰ
Centura ﾌﾛﾝﾄﾊﾟﾈﾙ
SBC
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
-
メーカー
AMAT
HEWLETT
PACKARD
CAPACITOR
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ﾌｼﾞｷﾝ
AMAT
VAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
25　製造番号
製造年
備考
※2式
※2式
T-11696-38-2560
2個一式
55149
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS09-1271
RS09-1272
RS09-1274
RS09-1275
RS09-1276
RS09-1278
RS09-1281
RS09-1283
RS09-1284
RS09-1286
RS09-1556
RS09-1326
RS09-1078
RS09-1092
RS09-1079
RS09-1088
RS09-1104
RS09-1273
RS09-1044
RS09-1039
RS09-1287
RS09-1041
RS09-1030
RS09-1031
RS09-1033
RS09-1034
RS09-1035
RS09-1091
RS09-1043
RS09-1082
RS09-1252
RS09-1221
RS09-1075
RS09-1083
RS09-1084
RS09-1066
RS09-1086
RS09-1282
RS09-1601
RS09-1587
RS09-1098
RS09-1099
RS09-1100
RS09-1600
RS09-1115
RS09-1046
RS09-1047
RS09-1057
RS09-1058
RS09-1116
RS09-1117
RS09-1118
RS09-1119
RS09-1059
RS09-1060
RS09-1131
RS09-1132
RS09-1109
RS09-1111
RS09-1112
RS09-1129
RS09-1130
RS09-1101
RS09-1120
RS09-1126
RS09-1061
RS09-1128
RS09-1133
RS09-1134
RS09-1108
RS09-1073
RS09-1077
RS09-1074
RS09-1076
RS09-1070
RS09-1102
RS09-1103
RS09-1072
品名
ﾌﾞﾚｰｶｰ
ﾊﾞｯﾌｧｰｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾘｯﾄﾞ
O/D Body
O/D Body
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
STD ﾋﾝｼﾞ
ｹﾞｰﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
Cntura ｲﾝﾀｰｺﾈｸﾄ
Cnturaﾊﾞｯﾌｧｰﾘｯﾄﾞ
ﾌﾞﾚｰｶｰ他 1式
THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
PCB　ASSY　SBC　I/O　BREAKOUT
ﾓﾆﾀｰﾍﾞｰｽ
PCB　ASSEMBLY　ENCODER
INTERFACE
DC POWER SUPLY
電源
O/D Lid
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”　Ａｌ
PC1　MATCH　ASSY
ｽﾘｯﾄAssy
200V　DEGAS　DRIVER
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（centura）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
PVDﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ（ｾﾝﾁｭﾗ）
200V PVD DRIVER
Dura　Ｓｏｕｒｃｅ　13”JMW-1
ASSY STORAGE ELEV WAFER
CASSETTE HNDLR
DI/Oボード
ﾓﾆﾀｰ制御BOX（2個口）
HEATSINK,MODIFIED,THROTTLEDRIV
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
wASSY LAMP DRIVER,TESTED
REP0190-09009
BASE,DOUBLE　SEALING　RING
LAMP　MODULE
BASE,DOUBLE SEALING RING LAMP
MODULE
ｽﾘｯﾄAssy
SHILD AL/TI 8INCH WAFER
ｵﾘｴﾝﾀｰﾊﾟｰﾂ
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
ﾋｰﾀｰ
WELDMENT,8"FOOP PVD W/B
CHAMBER
ﾎﾞｰﾄﾞ
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
VME　STPPER　CONTROLLERⅠ
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
VME　STEPPER　CONTROLLERⅠ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE
PCB　ASSEMBLY　T,C,GAUGE
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
SBC　BOARD
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB　ASSY　AI　MUX
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾛﾎﾞｯﾄ
SUSCEPTOR　LIFT
SUSCEPTOR　LIFT
WAFER　LIFT
WAFER　LIFT
ASSY　RF　MATCH,ETCH
RF MATCH PHASE IV
RF MATCH PHASE IV
CVD　RF-MATCH
【お客様用】中古品在庫リスト　2015年12月20日現在　型式
0010-09019
0010-09071
0010-09103
メーカー
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
VAT
AMAT
VAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0010-09137
AMAT
0010-09181
0010-20000
0010-20278
0010-20328
0010-20441
0010-20664
0010-20697
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-20764
0010-21206
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0010-76001
AMAT
73
0010-76124
0010-76244
0015-09077
AMAT
AMAT
AMAT
22295-03
0015-09091
AMAT
0015-09091
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-10770
AMAT
0020-20587
0020-21665
0020-23591-B CDSC
0040-06421
0040-06421
0040-06421
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0040-76308
AMAT
0090-76110
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00003
0100-00008
0100-00008
0100-00008
0100-00008
0100-00011
0100-00011
0100-00011
0100-00014
0100-00014
0100-09002
0100-09006
0100-09009
0100-09011
0100-09011
0100-09029
0100-09058
0100-09139
0100-09340
0100-09340
0100-09341
0100-09341
0100-09416
0100-09416
0100-09416
0100-09750
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
26　製造番号
製造年
備考
F10-8753310112
2個一式
F10-8753310112
Blaker,MC 一式　Gen-Rack, ,Gen-Psの台　ﾌﾞﾗｹｯﾄ
0221304
SN BUK4
381
798
T-12196-29-2560
27894-02
08196-02
11696-17
08796-01
4304
-
SNOKY06
ZYOCAR8
6M0ABA0
SN0AZN8
311
20295-05
625
E2-010-09A
26295-01A
E01-207-03A
11895-03
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
※お探し物がリストに記載されていない場合はお問い合わせください。
※前回リストより追加された製品には左欄外に☆を記載しております。
アルバックテクノ株式会社
中古品番号
RS09-1055
RS09-1048
RS09-1049
RS09-1113
RS09-1050
RS09-1051
RS09-1052
RS09-1053
RS09-1054
RS09-1121
RS09-1122
RS09-1123
RS09-1124
RS09-1125
RS09-1225
RS09-1227
RS09-1230
RS09-1231
RS09-1261
RS09-1228
RS09-1247
RS09-1248
RS09-1249
RS09-1250
RS09-1251
RS09-1253
RS09-1257
RS09-1114
RS09-1065
RS09-1068
RS09-1069
RS09-1224
RS09-1229
RS09-1263
RS09-1264
RS09-1226
RS09-1542
RS09-1543
RS09-1085
RS09-1040
RS09-1217
RS09-1105
RS09-1081
RS09-1094
品名
PCB　ASSY,ANALOG　INPUT
ANALOG　OUTPUT　BOARD
ANALOG　OUTPUT　BOARD
ﾎﾞｰﾄﾞ
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
PCB　ASSEMBLY　DIGITAL　Ⅰ/O
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
ﾎﾞｰﾄﾞ
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
ﾘﾓｰﾄｻﾌﾟﾗｲﾁﾞｽﾄﾘﾋﾞｭｰｼｮﾝ
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
AI/Oボード
ﾎﾞｰﾄﾞ
CHOPPER　DRIVER
Slit　Valve　ASSY
Slit　Ｖａｌｖｅ　Assy
DI/Oボード
DI/Oボード
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
Centura ｲｵﾝｹﾞｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｽﾃｯﾊﾟｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰﾎﾞｰﾄﾞ
Cable Assy Source Water Manifold
Ground　ｱｰｽ線
Cable Assy Source Water Manifold
Ground　ｱｰｽ線
WMAGNET DRIVE ASSY
RF　POWER　SOURCE
PC-I
PRCOIｼﾞｪﾈﾚｰﾀｰ
ﾊﾟﾜｰｻﾌﾟﾗｲ
ﾊﾞﾗﾄﾛﾝ
【お客様用】中古品在庫リスト　型式
0100-11000
0100-11001
0100-11001
0100-11001
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-11002
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20003
0100-20040
0100-20040
0100-20040
0100-20100
0100-20100
0100-20100
0100-20100
0100-20173
0100-51017
0100-70089
0100-70089
0100-76124
0100-76124
011222-103
011222-103
0120-20162
メーカー
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0150-20186
AMAT
0150-20186
AMAT
0190-70060
0190-70079
0220-21472
0920-01005
10A0207
127AA-00001E
RS09-1167
IG　CONT
344VACUUM　GAUGE　CONTROLLER
RS09-1220
Dry　Pump
A30W
RS09-1095
RS09-1166
RS09-1178
RS09-1236
RS09-1237
RS09-1239
RS09-1240
RS09-1106
ATP100
DRVER　BOX
INTERFACEボード
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
ﾁｬﾝﾊﾞｰｲﾝﾀｰﾌｪｲｽ
FAN　PAC
ATP100C
CH1,CH2のみDRVERあり
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
CHAMBER INTERFACE BD
D299-857
RS09-1164
DCPS
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
RS09-1165
DCPS
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
RS09-1268
RS14-8053
RS09-1171
POWER STANDARD ELECTRONICS
DC電源
DI/Oボード
DC24、DC12、DC15,DC5V電源
DCL1000-MC
DIGITAL　I/O　BOARD
2015年12月20日現在　製造番号
125-92-96-01-R
125-92-96-03-R
4189R
2762
1-18994-95-3277
102
29305
78760-130
adixen
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ATP508535
27　備考
SNOQA09
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
IPT
MSK
GRANVILLE
PHILLIPS
EBARA
POWER
STANDARD
ELECTRONICS
INC
POWER
STANDARD
ELECTRONICS
INC
AMAT
ULVAC
AMAT
製造年
1990
ﾕﾆｯﾄNo.:C#50375
P/N:0010-20701
P/N:0010-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0100-35054
P/N:0190-76198
61006244
61433023
000011
Centre用
2001
P/N:0010-20003
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アルバックテクノ株式会社
【お客様用】中古品在庫リスト　中古品番号
RS09-1172
RS09-1173
RS09-1174
RS14-2314
品名
DI/Oボード
DI/Oボード
DI/Oボード
IG CONT
型式
DIGITAL　I/O　BOARD
DIGITAL　I/O　BOARD
DIGITAL　I/O　BOARD
EM-FIG1
RS09-1211
CRTﾓﾆﾀｰ
FMV-DP846
RS09-1177
RS09-1233
RS09-1175
RS09-1181
RS09-1232
RS09-1473
RS09-1062
RS09-1063
RS09-1064
RS09-1127
RS09-1136
RS09-1185
RS09-1238
RS09-1179
INTERLOCKボード
ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄBD
ISOLボード
ISOLボード
ｱｲｿﾚｰｼｮﾝｱﾝﾌﾟ
DIO
LAMBDA　LIS-3I-12
LAMBDA　LIS-7Ｉ-15
LAMBDA　LIS-7I-15
LAMBDA　LIS　7I-15
LAMBDA　LIS-7I-15
INTERLOCKボード
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｲﾝﾀｰﾛｯｸ
INTERLOCKボード
INTERLOCK　SELECT　BD
INTERLOCK　SELECT　BD
ISOLATION　AMPLIFTER BD
ISOLATION　AMPLIFTER BD
ISOLATION　AMPLIFTER BD
K-380-02
LIS-32-12
LIS-72-15
LIS-72-15
LIS-7I-15
LIS-7I-15
LOADLOCK　INTERLOCKS
LOADLOCK　INTERLOCKS
MAINFRAME　INTERLOCK
RS09-1036
DC電源
MDX-L6
RS09-1269
RS09-1192
RS09-1193
RS09-1025
RS09-1026
RS09-1027
RS09-1214
RS09-1151
RS09-1176
RS09-1234
RS09-1235
RS09-1267
RS09-1096
RS09-1138
RS09-1139
RS09-1137
RS09-1143
RS09-1144
RS09-1188
RS09-1242
RS09-1241
RS09-1482
RS09-1485
RS09-1093
RS09-1194
RS09-1145
RS09-1146
RS09-1142
RS09-1206
RS09-1213
DC電源
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾁｬﾝﾊﾞｰ
ｵﾘｴﾝﾀｰﾃﾞｶﾞｽﾁｬﾝﾊﾞｰ
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
SOLD　STATE　POWER　GENERATOR
LLﾄﾞｱｶﾊﾞｰ
ALｴｯﾁｬｰ
RELAYボード
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
ﾘﾚｰｺﾝﾄﾛｰﾙ　BD
15V　PWR　SUPPLY（CEN/END)
ﾓﾆﾀｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
PVD Lid
ｼｽﾃﾑﾘｾｯﾄ/ｲﾝﾀｰﾛｯｸｾﾚｸﾄ
TC GAUGEボード
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
5相ﾄﾞﾗｲﾊﾞｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
ﾛｰﾄﾞﾛｯｸｽﾃｰｼﾞｴﾚﾍﾞｰﾀｰASSY
MDX-L6（0190-76006）
O/D
O/D
OEM-12A-21041-51
OEM-12A-21041-51
OEM-12A-21041-51
P/N：0040-40048
P-5000
RELAY　CONTROL　BD
RELAY　CONTROL　BD
RELAY　CONTROL　BD
REV.E
SD5904C
SEC-400MK3-UL
SEC-400MK3-UL
SEC-4400M
SEC-F730MA1
SEC-F730MA1
STD Lid
SYS　RESET/INTLK　SEL　BD
TC GAUGE BD
UDK5114VN
UDK5114VN
UDX5114N
UDX5114N
UR-7340MO-UC
UR-7340MO-UC
UR-7340MO-UC
wide
Wideｲﾝﾃﾞｸｻｰ
2015年12月20日現在　メーカー
AMAT
AMAT
AMAT
EME
製造番号
-
7Z83552
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
ULVAC
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
LAMBDA
AMAT
AMAT
AMAT
ADVANCED
ENERGY
AE
AMAT
AMAT
ENI
ENI
ENI
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
AMAT
AMAT
ULVAC
ULVAC
AMAT
AMAT
STEC
STEC
STEC
AMAT
AMAT
製造年
備考
P/N:0010-20003
P/N:0010-76124
P/N:0010-20003
2000
IPZ-5001用部品
1997
P/N:CA01134-B371 AC100V、50/60Hz、75W、
12.5Kg
P/N:0010-20037
P/N:0100-20037
P/N:0010-20012
P/N:0100-35049、0100-20012、0130-35065
P/N:0100-20012
2個一式　P/N:0130-35058、0100-20063
P/N:0100-35058
P/N:0010-20053
36523
70451
2028
2649
2716
6個一式
※部品
P/N:0100-20038
P/N:0100-20038
09398-03
908736068
2577231
2577230
261501822
292102081
252508127
TON02919
TON02918
63168
3103050100
2540681
3103050102
0010-40073
<プラズマＣＶＤ装置,エッチング装置　部品　ＡＭＡＴ　Ｐ－5000>
中古品番号
RS09-1317
RS09-1362
RS09-1339
RS09-1340
RS09-1341
RS09-1342
RS09-1343
RS13-2002
RS09-1320
RS09-1313
RS09-1375
RS09-1361
品名
3連ﾌｧﾝ
手動ﾊﾞﾙﾌﾞ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗ
VACUUM VALVE
ﾎｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞﾋｰﾀｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
ｵｰﾌﾞﾝﾕﾆｯﾄ
ｴｱｵﾍﾟﾊﾞﾙﾌﾞ
型式
UES17H115S29
SS-BNVS1-AB
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-4400M
SEC-400MK3
SCV
IVBH-0004
IFGG7005M-C
FPR-UDDF-71-9.25-NL-UP
RS09-1367
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
RS09-1368
ﾌﾛﾒｰﾀｰ
FM-PX25W-111-B3-SW-TI
RS09-1334
RS09-1335
RS09-1386
RS09-1387
RS09-1385
RS09-1363
RS09-1364
RS09-1376
RS09-1365
RS09-1366
RS09-1360
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ﾎﾟﾝﾌﾟﾓｼﾞｭｰﾙ
ELECTROSTATIC CHUCK COVER
ｾﾗﾐｯｸｶﾊﾞｰﾘﾝｸﾞ
ﾄｯﾌﾟﾌﾟﾚｰﾄ
電磁弁
電磁弁
COAXIAL RESISTOR
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU 1.50 OD PORT KALREZ
VALVE PNEU BLWS 2 WAY MINI NC-1
DBM-P21（DBM-K4PC)
DBM-P21（DBM-K4PC)
AMAT部品
AMAT部品
AMAT部品
AB31-2N-2-04A
AB31-2N-2-04A
8860
3870-01455
3870-01455
3870-01245
メーカー
AMAT
NUPRO
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
STEC
BENKANUCT
BENKANUCT
大日本ｽｸﾘｰﾝ
ﾌｼﾞｷﾝ
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰ
ｼｮﾝ
東京ﾌﾛｺｰﾎﾟﾚｰ
ｼｮﾝ
AISIN
AISIN
AMAT
AMAT
AMAT
OKD
OKD
TERMALINE
NC
NC
ｽｴｼﾞﾛｯｸ
28　製造番号
9623624077
251400220
251400215
251400227
251400237
251400236
製造年
備考
TYPE　No:000448
TYPE　No:000175
TYPE　No:000448
TYPE　No:000399
TYPE　No:000399
Ar　50SCCM、ｹｰﾌﾞﾙ付
C51206
7ID009
2KB023
125362
122606
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アルバックテクノ株式会社
中古品番号品名
BRG LEADSCR&NUT ASSY
RS09-1349
.5DX.1LEADX4TRVLX
RS09-1389 GAUGE SNSR PRESS TC 1/4" VCR
CNTNR DEIONIZER TANK SST
RS09-1330
W/RESIN PACKAGE
CNTNR DEIONIZER TANK SST
RS09-1331
W/RESIN PACKAGE
RS09-1333 ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
RS09-1332 ﾏﾙﾁﾌｧﾝｸｼｮﾝ　ｱﾀﾞﾌﾟﾀｰ
RS09-1338 ﾏｽﾌﾛ
RS09-1344 FAN, MUFFIN 4"115CGFM
RS09-1345 FAN, MUFFIN 4"115CGFM
RS09-1323 PROM KIT ASSY
RS09-1314 KIT, 6" MAINTENANCE ESC
PLATE, COVER, 6" HEATER,
RS09-1381
ALUMINUM NITRID
WINDOW, SIDE, UV COATED,
RS09-1350
SAPPHIRE, DXZ
RS09-1315 3103,THERMOCOUPLE,DXZ
RS09-1316 3103,THERMOCOUPLE,DXZ
RS09-1359 ｽﾛｯﾄﾊﾞﾙﾌﾞ
RS09-1346 GATE 5000 ZA SLITVALV
RS09-1347 GATE 5000 ZA SLITVALV
RS09-1354 GATE 5000 ZA SLITVALV
RS09-1355 GATE 5000 ZA SLITVALV
ASSY CABLE, SYSTEM ELECTRONICS
RS09-1356
AC PWRCHO
CABLE ASSY ENCODER FLAT FLEX
RS09-1324
34 POS
RS09-1328 HARNESS ASSY,MOLDED POWER
RS09-1371 VGA VIDEO CONTROLLER BOAD
RS09-1369 SERIAL SIDE BOAD ASSY
RS09-1321 PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR
RS09-1322 PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR
RS09-1357 MOTOR BRAKE ENCODER ASSY,
RS09-1358 MOTOR BRAKE ENCODER ASSY,
RS09-1377 ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
RS09-1380 ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
RS09-1378 ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
RS09-1379 ｼｬﾜｰﾌﾟﾚｰﾄ
RS09-1388 FACEPLATE, TEOS, DXZ DCVD
RS09-1352 CLAMP, ACME LEAD SCREW
RS09-1351 CAP, BEARING, DXZ
RS09-1348 BASE,RF
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
RS09-1382
150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
RS09-1383
150MM
PLATE, GAS DISTRIBUTION HEWEB,
RS09-1384
150MM
RS09-1374 ASSEMBLY BEARING
RS09-1312 ASSY RF MATCH BW ETCHBACK
RS09-1327 THROTTLE VALVE ASSY, ETCH
RS09-1329 ASSEMBLY, HEATER, 6", DXZ
RS09-1353 PCB ASSY CAPACITIVE SENSOR
【お客様用】中古品在庫リスト　型式
2015年12月20日現在　メーカー
製造番号
3690-03269
AMAT
0711-157
3310-01074
VARIAN
3250-01007
AMAT
3250-01007
AMAT
3155094-003A
3155077-003A
1159B-00020RU-S
0600-01011
0600-01011
0300-09055
0240-32135
AE
AE
MKS
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
701426
108027
000026334
0200-36629
AMAT
WO-35820/1
0200-09969
AMAT
0190-35413
0190-35413
0190-09663
0190-09533
0190-09533
0190-09533
0190-09533
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0150-75202
AMAT
0150-70018
AMAT
0140-09551
0100-00793
0100-00165
0100-00084
0100-00084
0090-02980
0090-02980
00410117E326119423
00410117E038119423
004101117E284119423
00310117E038119423
0021-00042
0020-34727
0020-34726
0020-34131
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
0020-30570
AMAT
0020-30570
AMAT
0020-30570
AMAT
0010-30583
0010-09490
0010-09019
0010-05256
0010-00084
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
AMAT
29　製造年
備考
181067-1338-0166
181067-1338-0168
B358
O713601
22394-09A
0899
※網掛け部分は引合中となりますのでご注意ください。
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