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DS-16hs - エスイーエス研究所

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■非接触測定の中では、色や材質の変化による計測が難しいとされていますが、
ノズルからの空気の反射圧を一定に保つことが出来るエアスキャナは、
色や材質に影響されずに様々な材質に対しての非接触測定が可能です。
■エアスキャナが高精度なのは、内部構造が非接触で動作するため。
さらに、空気による力制御も可能なことから計測圧を常に一定に保つことができ、
その圧力が低いのも特徴(1g以下)。
■コンパクトなのに可動範囲が16㎜と広く
ワークの搬送スペースが確保でき、
装置への組み込みも容易です。
◆ 測 定 例
非接触だからできる様々な測定
液晶ガラス
小型ガラスの段差測定・大型ガラスの形状測定に最適
メタルフィルム
10μmの箔もサブミクロンで計測可能
軟質金属
打痕傷が着かない (加工途中の油が付いた金属にも)
膜厚形成体
ペースト状の膜厚・グリス等の厚み計測に
セラミックス生製品 結晶体の影響も無い
フィルム
透明体でも問題なく測定可能
ディスク
乱反射に影響されない
ゴム等の弾性体 食品(チーズ等)などの計測も非接触なら安心
その他 光学測定機器での測定が困難なものに適している
校正は基準ゲージで簡単に出来る! (比較測定のため使い勝手が良い)
厚み・高さ・平坦度の変位を再現良く測定
◆ 標 準 仕 様
位置再現性
(2σ):±0.2μm
外形寸法
W25.0㎜ H133.5㎜ D30.3㎜
表示分解能
0.02μm
リニアリティ
±5μm以内
測定範囲
16mm
可動範囲
20mm
ノズル内径
φ1.2mm
ノズル外径
φ1.5㎜ (形状応相談)
定格供給圧
0.25MPa
流量
5LPM (非駆動時)
供給エア質
湿度・露点-20℃ 0.01μmマイクロミスト除去 ドライヤ要使用
出 力
0.08μm デジタル2相パルス
◆ オプション
2chカウンタ
圧力供給ポンプ&吸引ポンプ・ボックス
RS232c I/Fケーブル
特殊ノズル
特殊吸着治具
測定スタンド
◆非接触エアサーボとは・・・
空気で感知して空気で位置決めをする
電 気・ オ イ ル 等 を 全 く 使 用 し な い サ ー ボ( 自 動 追 従) シ ス テ ム で す
エア供給口からのエア(p0)の流れ
①ピストン内上下部の減圧絞り(r1.r2)
→ピストン上下の部屋(p1.p2)に減圧・供給
→開放絞り(r3.r4)やノズル(r5)より外気に放出
↓
②減圧絞り(r1.r2)の圧力差により
r6
静圧軸受け部(r6.r7)にもエアの流れが発生する。
ピストンはシリンダの壁面から離れて微少な力で
動作する。
エア供給口
上部開放絞り(r3)の調整による動作
p0
①上部オリフィス(r3)の調整で
上部圧力(p1)を下部圧力(p2)よりも高く設定すると
その差圧と自重によりピストンは下降する。
r7
↓
②この下降により、ノズル(r5)が測定物に接近すると
下部圧力(p2)が上がり、上部圧力(p1)と自重に
等しくなる所でピストンが停止する。
↓
③つまり、ある一定の浮上量(d)を保ちながら
測定物の高さに追従してピストン(ノズル)が上下
(d)
することで非接触エアサーボが可能となった。
浮上量
↓
④このピストンの位置を光学的センサスケール及び
センサヘッドで検出し測定物の高さを測定する。
(非接触動作・非接触検出)
上部オリフィスの調整
静圧軸受け部
r3
ピストン
p1
センサスケール
r6
r1
センサヘッド
シリンダ
エアの流れ
r7
r2
p2
r4
ノズル
測定物
r5
有効径
製造元
株式会社エスイーエス研究所
〒523-0894 滋賀県近江八幡市中村町46-8 TEL:0748-33-8641
46-8 Nakamura-cho,Omihachiman-city,Shiga,523-0894,,JAPAN.
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