■非接触測定の中では、色や材質の変化による計測が難しいとされていますが、ノズルからの空気の反射圧を一定に保つことが出来るエアスキャナは、色や材質に影響されずに様々な材質に対しての非接触測定が可能です。 ■エアスキャナが高精度なのは、内部構造が非接触で動作するため。さらに、空気による力制御も可能なことから計測圧を常に一定に保つことができ、その圧力が低いのも特徴(１g以下)。 ■コンパクトなのに可動範囲が16㎜と広くワークの搬送スペースが確保でき、装置への組み込みも容易です。 ◆ 測定例非接触だからできる様々な測定液晶ガラス小型ガラスの段差測定・大型ガラスの形状測定に最適メタルフィルム 10μmの箔もサブミクロンで計測可能軟質金属打痕傷が着かない（加工途中の油が付いた金属にも）膜厚形成体ペースト状の膜厚・グリス等の厚み計測にセラミックス生製品結晶体の影響も無いフィルム透明体でも問題なく測定可能ディスク乱反射に影響されないゴム等の弾性体食品(チーズ等)などの計測も非接触なら安心その他光学測定機器での測定が困難なものに適している校正は基準ゲージで簡単に出来る！（比較測定のため使い勝手が良い）厚み･高さ･平坦度の変位を再現良く測定 ◆ 標準仕様位置再現性（２σ）：±０．２μｍ外形寸法Ｗ25.0㎜Ｈ133.5㎜Ｄ30.3㎜表示分解能０．０２μｍリニアリティ ±５μｍ以内測定範囲１６mm 可動範囲２０mm ノズル内径 φ１．２mm ノズル外径 φ１．５㎜ (形状応相談) 定格供給圧０．２５MPa 流量５ＬＰＭ (非駆動時) 供給エア質湿度・露点-20℃ ０．０１μｍマイクロミスト除去ドライヤ要使用出力０．０８μｍデジタル２相パルス ◆ オプション２chカウンタ圧力供給ポンプ＆吸引ポンプ・ボックス RS232c I/Fケーブル特殊ノズル特殊吸着治具測定スタンド ◆非接触エアサーボとは・・・空気で感知して空気で位置決めをする電気･オイル等を全く使用しないサーボ( 自動追従) システムですエア供給口からのエア(p0)の流れ ①ピストン内上下部の減圧絞り(r1.r2) →ピストン上下の部屋(p1.p2)に減圧･供給 →開放絞り(r3.r4)やノズル(r5)より外気に放出 ↓ ②減圧絞り(r1.r2)の圧力差により r6 静圧軸受け部(r6.r7)にもエアの流れが発生する。ピストンはシリンダの壁面から離れて微少な力で動作する。エア供給口上部開放絞り(r3)の調整による動作 p0 ①上部オリフィス(r3)の調整で上部圧力(p1)を下部圧力(p2)よりも高く設定するとその差圧と自重によりピストンは下降する。 r7 ↓ ②この下降により、ノズル(r5)が測定物に接近すると下部圧力(p2)が上がり、上部圧力(p1)と自重に等しくなる所でピストンが停止する。 ↓ ③つまり、ある一定の浮上量(d)を保ちながら測定物の高さに追従してピストン(ノズル)が上下 (d) することで非接触エアサーボが可能となった。浮上量 ↓ ④このピストンの位置を光学的センサスケール及びセンサヘッドで検出し測定物の高さを測定する。 (非接触動作･非接触検出) 上部オリフィスの調整静圧軸受け部 r3 ピストン p1 センサスケール r6 r1 センサヘッドシリンダエアの流れ r7 r2 p2 r4 ノズル測定物 r5 有効径製造元株式会社エスイーエス研究所〒523-0894 滋賀県近江八幡市中村町46-8 TEL:0748-33-8641 46-8 Nakamura-cho,Omihachiman-city,Shiga,523-0894,,JAPAN.