ACS Basicエディションは、高速ハードウェア制御、試料の接続性、デー タ管理をひとつの使いやすいツールに統合。半導体/電子部品の検証、解 析、試験に最適。 • 半導体/電子部品の検証、解析、試 験に最適化 • コーディング不要—ACSの直感GUIで I-V試験、解析を簡素化、結果を素早 く入手 • ハードウェアの柔軟性—個々の試験 ニーズに応じて測定器を簡単に増減 可能 • アプリケーションライブラリ—アクセス しやすい豊富な試験ライブラリを用意 • 最初の測定をすぐに—単純なインスト ール、直感的な試験選択ウィザード、 内蔵ライブラリ • モジュールソフトウェア構造なので、 新規の試験ニーズにもシステム拡張 によって容易に対応可能 • 無償のオフラインソフトウェアライセン スにより、他のPC上で新たな試験シ ーケンスを簡単に作成可能—場所を 問わないコーディングが可能 www.keithley.jp ACS Basicエディションの柔軟なソフトウェアアーキテクチャにより、アプリ ケーションに最適なコントローラやテストフィクスチャ、必要数の2600Aシリ ーズソースメータを厳密にシステム構成可能。 半導体/電子部品の検証、 解析、試験を簡単かつ素早く ACS Basicエディションは、パッケージ部品の 初期のデバイス研究から開発、品質検証や 故障解析で要求される特性測定の生産性 を最大限に高めます。ケースレーの実績ある 広範なソースメータ®シリーズと、使いやすい ACS Basicエディションソフトウェアを組み合 わせることにより、半導体/電子部品の高精 度で経済的な試験ソリューションが構築され ます。一連のパラメータの特性評価を総合的 に提供するので、半導体/電子部品の仕様 に対する性能、完璧な受け入れ検査や品質 保証の試験、あるいは新規デバイス、材料の 電気特性の解明などを素早く容易に行うこと ができます。 ACS Basicエディションは、パッケージデバイ スの簡単な測定に最適化され、他のソリュー ションでは複雑で面倒な試験になるようなこ とを回避するインターフェース設計がなされ ています。デフォルトのシングル試験モード を使用すると、このウィザードベースのグラフ ィカルインタフェースでデバイスタイプ、試験 カテゴリ、特定試験を選択できるので、試験 の生産性が向上し、テスト開発の詳細に関 わることなく、より重要な業務に集中できるよ うになります。さまざまなツールが内蔵されて おり、高度な試験技術に精通する時間的な 余裕がないがデバイスの性能は正確に素早 く得たい、という場合に理想的なソリューショ ンです。 A G RE A TER ACS systems optimized for component characterization applications ACS統合システム −半導体/電子部品の特性評価 パッケージ部品のあるデータを素早く収集する場 合は、ACS Basicエディションのウィザードベース のユーザインターフェースが、上の一般的なFETカ ーブトレース試験のような希望する試験を容易に 見つけて実行する。 • シングル試験モード: このモードは、従来 のアナログカーブトレーサが持つ多くの 利点—広いI-V範囲とパワー、連続試験、 業界をリードするパルススピードと性能そし て使いやすさ—を、測定結果と他と容易に 関連付けられる新しい形で提供します。「リ ピート」機能によって、試験の連続更新が 行われます。マルチ試験モードでの試験作 成はシングル試験の場合と同じ手法で行 いますが、1つの試験プロジェクト内でより 十全な部品試験が行えるように拡張されて います。 • アクセスが容易で豊富な試験ライブラリ: ほとんどのアプリケーションではプログラミ ME A S URE O F CON F IDENCE Semiconductor ACS Basic エディション ACS統合システム −半導体/電子部品の特性評価 ッケージ部品以外のアプリケーションには、 統合テストシステムやウェーハレベル信頼性 (WLR)試験のACSが用意されていて、ウェー ハ試験環境に最適化されており、ウェーハマ ップ、プローバの自動制御、歩留まりモニタ用 の解析オプションや関連統計演算を提供し ています。ACS Basicエディションシステムに 最初に使われるハードウェア構成は、このよう な他のバージョンのACSに転用できます。 ご注文情報 ACS Basicエディション 半導体/電子部品特性評価 ソフトウェア アクセサリ(別売) 8101-4TRX リード付き部品テストフィクスチャ ACS-COMP インストールされたベンチトップACSシ ステムのPC KUSB-488A IEEE-488.2 USB-GPIBインタフェース アダプタ(USBポート用) LR:8028 DIP部品テストフィクスチャ 代表的な使用例 • 既存のプロセスによる半導体製品 開発 • 受け入れ検査と品質保証 • 新規デバイスの研究開発 従来のアナログカーブトレーサと同様にACS Basicエ ディションは、パッケージ部品の一連の特性カーブを 素早く表示でき、データを容易に格納、比較し相関を とる柔軟性を持つ。 ングの必要がなく、ライブラリの一つから必 要なシーケンスにアクセスするだけで測定 データの収集が行えます。 • スクリプトエディタ: ほとんどの場合は内蔵 の試験ライブラリで間に合いますが、特別 な試験要求がある場合は、既存の試験を 容易に変更できるスクリプトエディタもあり ます。アプリケーションを最初から作成す る必要がないので、試験をはるかに早く開 始できます。 • 保存データと測定の結果を素早く比較: Excelを使って古いデータや比較データ を探すといった無駄な時間がなくなりま す。ACSの内蔵データで必要な過去の結 果を素早く見つけ、新しい結果とごく短時 間で比較できます。結果はグラフや表形 式で簡単にその試験に格納され、新しい デバイスのカーブを保存されている「ゴー ルデン」カーブと重ね表示して素早く評価 できます。より詳しい探求が必要であれば フォーミュレータツールに内蔵されている 標準のパラメータ抽出と広範な演算機能 で、測定したカーブを解析することができ ます。 ACSシステムのファミリ製品の一つであるACS Basicエディションは、試験条件やアルゴリズ ム、さらにウェーハレベル信頼性やパラメトリッ ク試験、研究部門や品質・故障解析部門の データをも共有することで、組織レベルでの 生産性を向上できます。部品の検証ツール であるACS Basicエディションにより、品質担 当者やアプリケーションエンジニアは試験プ ログラムを作成することなく設計チームや製 造チームと効率的に業務を推進できます。パ Semiconductor ACS systems optimized for component characterization applications ACS Basic エディション www.keithley.jp A G RE A TER ACS Basicエディション システムのハードウェア基盤 ACS Basicエディションシステムの高度にス ケーラブルで柔軟性の高いアーキテクチャ は、個別の試験要求に対応し、新たに発生す る試験ニーズを扱うための既存システムのア ップグレードや再構成を簡素化します。ACS Basicエディションはスループットで大きく業 界をリードするケースレーの最新の高性能 2600Aシリーズシステムソースメータ®を想定 して設計されています。ほとんどのシステムは 1台または複数台のこれらの測定器を使っ て構成され、SMUパーピンアーキテクチャを 採ることで比類ない測定スピードと確度を実 現します。2600Aシリーズの各測定器が持っ ている組み込みのテストスクリプトプロセッサ (TSP®)により、高速テストスクリプトでプログラ ムが行え、ACSシステムコントローラとは独立 に動作します。複数の2600Aシリーズシステ ムソースメータ®を、オンボードプロセッサとバ ーチャルバックプレーン/高速通信バスであ るTSP-Link®を介してネットワーク化できま す。このアーキテクチャにより高速現象を捉 える高精度印加測定タイミングが提供されま す。ACS BasicエディションとケースレーのTSP ベースのハードウェアを結合することで、所期 のデータを得るために新たなプログラミング や言語を習得する時間を要せずに、業界最 高峰のスループットが実現されます。 内蔵のツールによって、ACS Basicエディショ ンシステムへのケースレーの他の測定器の組 み込みも簡素化されます。個々の試験要求に 応えるために、システムオプションには多チャ ンネルスイッチ(707A型6スロットスイッチメイン フレーム)やスイッチと計測の両用(3700シリー ズスイッチ/マルチメータ)、高電圧印加(237型 高電圧ソース-メジャーユニット)、またC-V試 験やパルス試験(4200-SCS型)などの他の機 能、I-Vダイナミックレンジの大きいもの(2400 シリーズソースメータ)などがあります。 ME A S URE O F CON F IDENCE ACS統合システム −半導体/電子部品の特性評価 代表的な試験のサマリ デバイス リーク ブレークダウン ゲイン バイポーラ接合 トランジスタ IEBO, IECO, IEVEB, ICVCB BVCBO, BVCEI, BVCEO, BVCEV, BVEBO, BVECO HFE IBCO, IBEO, IBICVBE, IBVBE, ICBO, ICEV, ICVCE_BiasIB, ICVCE_BiasVB, ICVCE_StepIB, ICVCE_StepVB, VBCO, VCE MOSFET IDL, IDS_ISD, IGL, ISL BVDSS, BVDSV, BVGDO, BVGDS, BVGSO GM IDVD_BiasVG, IDVD_StepVG, IDVG_BiasVD, IDVG_StepVD, IDVG_StepVSUB, IGVG, VTCI, VTEXT, VTEXT_IISQ IRDVRD VBRIRD NA DYNAMICZ, IFDVFD, VFDIFD, VRDIRD 抵抗 NA NA NA IV コンデンサ IV ダイオード オン状態 NA 一般試験の機能 フォースタイプ フォースモード メジャーモード 代表的な設定 スポット 印加モード、印加値、測定レンジ、積分レート モニタ 印加モード、印加値、測定レンジ、積分レート、点数 スイープ 電圧 or 電流 スイープ/ステップ 電圧 and/or 電流 印加モード、印加開始値、印加終了値、測定レンジ、積分レート、点数 スイープ: スイープ印加モード、スイープ印加開始値、スイープ印加終了値、スイープ測定レンジ、ス イープ積分レート、スイープ点数 ステップ : ステップ印加モード、ステップ印加開始値、ステップ印加終了値、ステップ測定レンジ、 ステップ積分レート、ステップ点数 フォーミュレータ機能のサマリ タイプ ABS, AVG, DELTA, DIFF, EXP, LN, LOG, LOG10, SQRT パラメータ抽出 GMMAX, RES, RES_4WIRE, RES_AVG, SS, SSVTCI, TTF_DID_LGT,TTF_LGDID_T, TTF_DID_T, TTF_LGDID_LGT, VTCI, VTLINGM, VTSATGM フィッティング EXPFIT, EXPFITA, EXPFITB, LINFIT, LINFITSLP, LINFITXINT, LINFITYINT, REGFIT, REGFITSLP, REGFITXINT, REGFITYINT, REGFIT_LGX_LGY, REGFIT_LGX_Y, REGFIT_X_LGY, TANFIT, TANFITSLP,TANFITXINT, TANFITYINT 操作 AT, FINDD, FINDLIN, FINDU, FIRSTPOS, JOIN, LASTPOS, MAX, MAXPOS, MIN, MINPOX, POW, SMOOTH Semiconductor 演算 ACS systems optimized for component characterization applications ACS Basic エディション www.keithley.jp A G RE A TER ME A S URE O F CON F IDENCE ACS Basic エディション ACS統合システム −半導体/電子部品の特性評価 ACS systems optimized for component characterization applications 2600Aシリーズシステムソースメータ®の電圧・電流範囲 +10A +10A +5A +3A +1.5A +1A +1.5A +1A DC 0A –1A –1.5A DC Pulse –1A –1.5A –3A –5A –10A –40V –10A –35V –20V –6V 0V +6V +20V +35V –200V –180V +40V –20V –5V 0V +5V +20V +180V +200V 2601A型と2602型のI-V範囲 2611A型と2612A型のI-V範囲 第1象限と第3象限では、2600Aシリーズは負荷に電力を供給する印 加源として動作し、第2象限と第4象限では内部で電力を消費するシ ンクとして動作します。 ACS Basicエディションと用いて部品の検証、解析や試験を簡素化し てスピードも向上する2600Aシリーズシステムソースメータ®はケースレ ーのSMU方式測定器の代表例です。 仕様は予告なく変更になる場合があります。 Keithleyの商標はすべてKeithley Instruments, Incに帰属します。 その他の商標は各所有会社に帰属します。 A Semiconductor +0.1A 0A –0.1A Pulse G R E A T E R M E A S U R E O F C O N F I D E N C E ケースレーインスツ ルメンツ株式会社 本社 ■ 〒105-0022 東京都港区海岸1-11-1 ニューピア竹芝ノースタワー13F ■ TEL:03-5733-7555 ■ FAX:03-5733-7556 ■ www.keithley.jp 大阪オフィス ■ 〒564-0052 大阪府吹田市広芝町9番地 第11マイダビル ■ TEL:06-6190-0014 ■ FAX:06-6190-0017 ■ [email protected] © Copyright 2009 Keithley Instruments, Inc. 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