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SEMI® スタンダード スタイルマニュアル

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SEMI® スタンダード
スタイルマニュアル
Version 4.1
2007 年 7 月
© SEMI 2006
2
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
改訂履歴
注: 旧版からの修正があるパラグラフには、左の余白に縦線が施されている。パラグラフ間に縦線が表示
されている場合は、一つまたは複数のパラグラフが削除されていることを示す。
Version 1.1
最初の配布版
1999 年 8 月 17 日
Version 1.2
用語のパラグラフの番号スタイルを変更
1999 年 9 月 29 日
Version 2.0
内容の全面的な構成変更、大幅な編集/書き直し
2001 年 7 月 10 日
Version 2.1
諸々の追記と改訂
2002 年 10 月
Version 2.1a
安全に関する注意書きを範囲のセクションに戻す
2002 年 12 月
Version 3
内容の全面的な構成変更、一段組み、時限付き改訂、記号
2005 年 1 月
Version 4
タイトル変更と内容の改訂
2006 年 7 月
Version 4.1
諸々の追記と改訂
2007 年 7 月
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
iii
© SEMI 2006
目次
1 目的 ........................................................................................................................................................... 5
2 範囲 ........................................................................................................................................................... 5
3 参照スタンダードおよび文書 ............................................................................................................... 5
4 フォーマットに関するルール ............................................................................................................... 5
表1
表2
表3
表4
表5
表6
ページレイアウトと文書のフォーマットに関するルール...........................................................6
図のフォーマットに関するルール ................................................................................................12
表のフォーマットに関するルール ................................................................................................13
句読点に関するルール ....................................................................................................................14
文法および言語に関するルール ....................................................................................................16
数学および技術情報に関するルール ............................................................................................19
5 スタンダードおよび安全ガイドラインに記述されるセクション ................................................. 22
表7
表8
表9
表 10
セクションの内容 ............................................................................................................................22
スタンダードおよび安全ガイドラインに見られるセクションの内容.....................................24
オージャリインフォメーションのセクション.............................................................................32
注意 (Notices) ....................................................................................................................................34
付属書 1 SEMI スタンダードのテンプレートスタイル ..................................................................... 37
付属書 2 SEMI スタンダードフォーマットの例 ................................................................................. 39
付属書 3 改訂履歴のフォーマット例 .................................................................................................... 40
付属書 4 共通して使用される記号およびコマンド ............................................................................ 41
付属書 5 スタンダード番号の構造 ........................................................................................................ 43
付属書 6 一般的に使用される単語の推奨されるスペリング ............................................................ 45
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4
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
1 目的
1.1 スタイルマニュアルは、SEMI スタンダード作成の際のルールを執筆者に提供する目的で開発された。
注 1: 現在のところ、既に出版されているスタンダード、ガイドライン、安全ガイドラインの多くはスタイルマニュ
アルに十分に準拠していない。これらの文書は、通常の 5 年の見直しサイクルで改訂または見直しされる際に準拠さ
せる。
1.2 スタンダードは使用されるものである。したがって、各スタンダードは次のようであるべきである。
•
明確である
•
簡潔である
•
矛盾がない
•
可能な限り、完全かつ自己完結している
1.3 世界中のスタンダード委員会が共通のフォーマットとスタイルを使うことにより、SEMI スタンダー
ドに対するコーポレートアイデンティティが増し、こうしたスタンダードが SEMI のプロダクトである
とはっきり認識されることにもなる。
2 範囲
2.1 スタイルマニュアルには内容に関する情報と SEMI スタンダードのスタイルに関わる情報が含まれて
いる。
3 参照スタンダードおよび文書
3.1 ANSI1/IEEE2 Standards
ANSI/IEEE 260.1 — IEEE Standard Letter Symbols for Units of Measurement (SI Units, Customary Inch-Pound
Units, and Certain Other Units)
ANSI/IEEE 260.3 — American National Standard Mathematical Signs and Symbols for Use in Physical Sciences
and Technology
ANSI/IEEE 280 — IEEE Standard Letter Symbols for Quantities Used in Electrical Science and Electrical
Engineering
3.2 IEEE/ASTM3 Standard
IEEE/ASTM SI-10 — American National Standard for Use of the International System if Units (SI): The Modern
Metric System
3.3 ASTM Standard
ASTM Guide D 5127 — Standard Guide for Ultra Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industry
ASTM Manual on Presentation of Data and Control Chart Analysis, sixth edition.
4 フォーマットに関するルール
4.1 SEMI は全文書で使用されるスタイルを含んだ Microsoft Word テンプレートを作成した。SEMI スタ
ンダード文書テンプレートは SEMI のウェブサイト (http://www.semi.org/standards) から入手可能である。
全文書は Microsoft Word でフォーマットされ、Adobe Acrobat PDF ファイルで出版される。テンプレート
のスタイルの適用に関する詳細は、付属書 1 を参照すること。
1 American National Standards Institute, Headquarters: 1819 L Street, NW, Washington, DC 20036, USA. Telephone: 202.293.8020;
Fax: 202.293.9287, New York Office: 11 West 42nd Street, New York, NY 10036, USA. Telephone: 212.642.4900; Fax: 212.398.0023;
Website: http://www.ansi.org
2 Institute of Electrical and Electronics Engineers, IEEE Operations Center, 445 Hoes Lane, P.O. Box 1331, Piscataway, New Jersey 088551331, USA. Telephone: 732.981.0060; Fax: 732.981.1721; Website: http://www.ieee.org
3 American Society for Testing and Materials,100 Barr Harbor Drive, West Conshohocken, Pennsylvania 19428-2959, USA.
Telephone: 610.832.9585, Fax: 610.832.9555; Website: http://www.astm.org
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
5
© SEMI 2006
4.2 ページレイアウトと文書のフォーマット
4.2.1 SEMI スタンダードのテンプレートの使い方に関しては、早見用として付属書 1 を参照すること。
テンプレートが使用できない場合、文書の正式な設定とフォーマットについては表 1 を参照すること。
表1
ページレイアウトと文書のフォーマットに関するルール
フォーマット
#
4-1
文書のページ設定
ルール
(1) 用紙の種類: 8.5 インチ x 11 インチ (A4 210 mm x 297 mm)
(2) 上余白: 1 インチ (25.4 mm)
(3) 下余白: 1 インチ (43.0 mm)
(4) 左余白: 1 インチ (25.4 mm)
(5) 右余白: 1 インチ (19.5 mm)
注: Microsoft Word では、とじしろの設定をデフォルトの 0 インチ (0 mm) に、ヘ
ッダーとフッターの用紙の端からの距離を 0.5 インチ (12.7 mm) にすること。
4-2
段組み
(1) 1 段
注: 見栄えを良くするために単語をハイフンで分ける必要がある場合もある。そ
の場合はソフトハイフンを使用する。
4-3
幅
(1) 6.5 インチ (165 mm)
4-4
行端揃え
(1) 両端揃え
(2) 例外を下記に示す。
• 文書、付属書、関連情報のタイトル
• 表、表タイトル、表内のテキスト
• 図、図タイトル
• 脚注
• 数式
4-5
改ページ
(1) 文書中に挿入されうる区切りは改ページのみである。
4-6
スタンダード番号とタイ
トル
(1) 14 ポイントの Arial、太字、全て大文字
(2) スタンダード番号の段落前 6 ポイント、段落後 0 ポイントの間隔、左揃え
(3) タイトルの段落前 0 ポイント、段落後 10 ポイントの間隔、左揃え
4-7
見出し 1
(1) 10 ポイントの Arial、太字、大文字と小文字、左詰め
(2) 見出し 2 は次行に続く。
4-8
見出し 2 以下
(1) 10 ポイントの Times New Roman、イタリック、大文字と小文字、左詰め
(2) ヘッダーの後に文章が続く場合、スペースを挟んで全角ダッシュ(―)、そ
してもう一つスペースを置く。
(3) ヘッダーの後に文章が続かない場合、改行し次のレベルの段落番号を振って
文章を開始する。
4-9
本文
(1) 10 ポイントの Times New Roman、大文字と小文字
(2) 特別な用語や語句を強調する目的で全て大文字での記述はしないこと。ただ
し、方向については例外とする(表 5 の大文字使用を参照のこと)。この場
合、一重引用符を使用すること(表 4 の引用符を参照のこと)。
(3) 段落前と段落後は 6 ポイントの間隔
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SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
#
4-10
フォーマット
段落番号
ルール
(1) スタンダードの各パラグラフに番号を振る。
(2) ピリオドを使用せずに Microsoft Word の「段落番号」機能を使用する。
(3) 可能ならば、見出し 4 以下の段落番号の使用は避けること。
(4) 下記に例外を示す。
•図
•表
• 数式
• 番号を振ったリスト
• 注 (Note)
• ビュレットを振ったリスト*
• 他の出典からの直接引用だけで構成されるパラグラフ
• 参照スタンダードのスタンダード番号とタイトルだけで構成されるパラ
グラフ
• 注意 (Notice)
*パラグラフがビュレットを振ったリストとして二つに分割された場合、後半のパ
ラグラフには番号を振らない。
4-11
ビュレットと番号: リスト (1) リストの各項目はインデントし、頭にビュレットか番号を振って他の文章と区
別する。
(2) 順序が重要な項目(例えば、特定の順序で作業を完了する必要のある手順)を
リストアップするには、ピリオドを伴ったアラビア数字を使用する。
(3) 番号を振ったパラグラフは行頭のインデントをせず、字下げを 0.25 インチ (6.4
mm)、ぶら下げを 0.25 インチ (6.4 mm) に設定する。
(4) 順序が自由な項目にはビュレットを使う。Microsoft Word の「箇条書きと段落
番号」機能はこれを自動的に行う。
(5) ビュレットには黒丸を使用する。Microsoft Word では「箇条書きと段落番号」
機能の「箇条書き」のタブの下に適切な記号が用意されている。
(6) ビュレットの周りに余計なスペースが空くことを避けるために、Microsoft
Word では行頭のインデントを 0.05 インチ (1.3 mm)、字下げを 0.25 インチ (6.4
mm)、ぶら下げを 0.2 インチ (5.1 mm) に設定する。
4-12
付属書のタイトル
(1) 14 ポイントの Arial、太字、大文字、左詰め
(2) タイトルの段落前 0 ポイント、段落後 10 ポイントの間隔
(3) 下記のように 2 行で示す。
• “APPENDIX #” #には連番を振る。
• 付属書のタイトル
(4) 見出し 1 については 4-7、見出し 2 以下については 4-8、本文については 4-9 を
参照すること。
4-13
関連情報のタイトル
(1) 14 ポイントの Arial、太字、大文字、左詰め
(2) タイトルの段落前 0 ポイント、段落後 10 ポイントの間隔
(3) 下記のように 2 行で示す。
• “RELATED INFORMATION #” #には連番を振る。
• 関連情報のタイトル
(4) 見出し 1 については 4-7、見出し 2 以下については 4-8、本文については 4-9 を
参照すること。
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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#
4-14
フォーマット
注 (Note)
ルール
(1) 9 ポイントの Times New Roman
(2) 左揃えにする。ただし、ビュレットでリストアップした項目の中に注が含まれ
ている場合は除く。
(3) 注は “NOTE #”で始め、その後にコロンとスペースを 2 つ置く。
(4) 注の番号は本文全体、付属書、関連情報を通じて連番を振り、それぞれ 1 から
開始する。
(5) 注はスタンダードの正式な一部ではない。役には立つがスタンダードにとって
必須ではない補助的な情報を示すものである。スタンダード使用に必要な情報
を含まないこと。
4-15
脚注 (Footnote)
(1) 本文中に参照する脚注番号を挿入する場合は、上付きにして 1 から連番を振
る。
(2) 8 ポイントの Times New Roman、ページの下部、左揃え
(3) 本文との間に 2 インチの線を引き本文と区別する。
(4) 脚注の番号は本文全体、付属書、関連情報を通じて連番を振り、それぞれ 1 か
ら開始する。
(5) 脚注番号の後にスペースを 2 つ置く。
(6) 参照エリアの脚注番号は上付きにしない。
4-16
注意 (Notice)
4-17
引用資料
4-18
著作権のある資料
(7) 脚注の段落前 0 ポイント、段落後 2 ポイントの間隔
(1) 10 ポイントの Times New Roman、太字、大文字
(2) 表 10 を参照すること。
(1) 直接引用する資料が独立したパラグラフに配置する方が適切である長さの場
合、そのパラグラフに番号を振らない。
(2) パラグラフの左右から 0.5 インチ (12.7 mm) ずつインデントする。
(1) 著作権のある資料から文章やイラストの引用をする前に、著作権所有者から書
面による許可を得ること(規約 4.3 章)。
(2) ドラフト文書に著作権のある資料が含まれている場合は、書面による許可をバ
ロット提出するドラフトと一緒に提出して、文書情報フォームに一緒に保管す
る。
4-19
出典スタンダード
(1) [ ]内に出典スタンダードを記述する(例えば、[SEMI S2])。
(2) スタンダードは一つだけを取り上げる(最も関連するもの)。
4-20
スタンダードの参照
(3) 他のスタンダードにある資料を参照する場合、そのスタンダードのスタンダー
ド番号を使用する(例えば、SEMI E5)。
(4) 参照するスタンダードは必ず「参照スタンダードおよび文書」のセクションに
入れること。
(5) スタンダードのスタンダード番号とタイトルは 10 ポイントの Times New
Roman
(6) スタンダード番号とタイトルは、スペース一つと全角ダッシュ(―)、そして
もう一つのスペースで区切る。
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#
4-21
フォーマット
参照スタンダードおよび
文書のセクションに記述
しない資料の参照
ルール
(1) 文書の本文に引用された雑誌、書籍、ウェブサイトなどのタイトルと出典
を、引用が最初にされたページの下部に脚注参照として列記する。フォーマ
ットに関しては 4-15 を参照すること。
(2) 参考文献や記事等には書誌情報を使用すること。
例:
1 Heckathorn, Douglas D. “Collective Sanctions and Compliance Norms: A Formal
Theory of Group-Mediated Social Control.” American Sociological Review 55 (1990):
pp. 366–84.
2 Kurland, Philip B., and Ralph Lerner, eds. The Founders’ Constitution. Chicago:
University of Chicago Press, 2000.
(3) ウェブサイトを列記する場合は、完全なアドレスを記述しハイパーリンクを
つけること(例えば、http://www.semi.org)。その際、「Web site」という語を
URL の前に付けない。
4-22
相互参照
(1) セクションを参照する場合は、セクション記号(§)の後にスペースを置いて
参照する(例えば、see § 5)。この記号は「挿入」►「記号と特殊文字」►
「§」で挿入できる。
(2) サブセクション/パラグラフを参照する場合は、パラグラフ記号(¶)の後に
スペースを置いて参照する(例えば、see ¶ 5.1)。この記号は「挿入」►「記
号と特殊文字」►「¶」で挿入できる。2 つのサブセクション/パラグラフを
参照する場合は、それぞれの番号の前にパラグラフ記号を付ける(例えば、
see ¶ 5.1 and ¶ 5.2)。複数のサブセクション/パラグラフを参照する場合は、
最初に記述する番号の前だけにパラグラフ記号を付ける(例えば、see ¶¶ 5.1,
5.2 and 5.2.1)。
(3) 同一文書中のサブセクションを参照する場合は、パラグラフ番号の前にパラグ
ラフ記号(¶)を付け、相互参照のリンクを挿入してパラグラフを指定する
(例えば、see ¶ 5.1)。
(4) 文書が複数の部分で構成されており、違う部分にあるセクションや図表を参照
する場合は、それがある部分を指定すること(例えば、see ¶#.# of the main
body of this document や…in Figure A#-# in Appendix #)。
(5) 同一文書中で参照するセクションや図表には相互参照のリンクを挿入する。
(6) 可能であれば、§や¶の記号でパラグラフを開始するのは避ける。
(7) Microsoft Word で相互参照のリンクをつける。
• メニューから「挿入」をクリックする。
• 「参照」►「相互参照」を選択する。
• 相互参照のダイアログボックスでは下記を選択する。
1) 参照する項目:ドロップダウンメニューから「番号付きの項目」を選択
する。
2) 相互参照の文字列:ドロップダウンメニューから「段落番号」を選択す
る。
3) 「ハイパーリンクとして挿入する」のチェックボックスをクリックす
る。
4) 参照先:「参照されるセクション、表、または図」を選択する。
• 「挿入」をクリックする。
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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フォーマット
#
4-23
商標
ルール
(1) 大文字小文字、スペリング、ハイフンは商標の一部である。商標を使用する際
はそれらの要素を正確に確認する。
(2) 最初に使用した個所で商標を示す。それが米国で登録されたものであれば、
®
記号をその用語の直後に付ける(例えば、SEMI®)。単なる商標であるな
ら、その用語の直後に™記号を付ける(例えば、Mega-Class™)。
(3) 商標は一般的な製品タイプの修飾として使用する(例えば、NanoSpec™
gauge)。
(4) スタンダードへの商標の使用は可能な限り避ける。
(5) 商標はその企業の対象製品に限って適用されるので、商標を名詞として使用す
るとその独自な製品としての法的立場を脅かすことになる。したがって、一般
用語としてその言語で認められている場合を除いて、他社の製品を参照するた
めに商標を使用してはならない(例えば、Apple のプリンタを HP 製品である
“LaserJet”として参照してはならない)。
(6) 企業によっては社名を商標としているところもある。商標は会社そのものでは
なく製品を説明するために引用されるべきである(例えば、“AT&T™ phone”
は商標の表示が必要であるが、“AT&T participated in the program”では不要であ
る)。
(7) 他社のロゴを複写する場合は、(1) 登録商標として示す、(2) 書面によるロゴの
使用許諾を得る、(3) 色、比率等を精密に複写することが必要な場合がある。
特定の制限については保有者に確認すること。
4-24
イタリック
下記についてはイタリックを使用すること。
(1) 数値を持ち得る全ての物理量記号。例えば、a = l ×w
(2) 文章中の列記を示す括弧内の文字
(3) 書籍のタイトル
(4) 英語では通常使用しない外国語。これには、“and others(等)”の意味の “et
al.” や “in the place cited(前掲箇所)”の意味の “loc. Cit”、“in the same place
(同じ箇所に)”の意味の “ibid” 等がある。
(5) n-p-n、p-n-p、n-MOS、p-MOS、n-type、p-type といったトランジスタのタイプ
または半導体の伝導性タイプ
(6) 見出し 1 以下のパラグラフのヘッダー(表 1 の「見出し 1」および「見出し 2
以下」を参照)。
(7) 用語のセクションまたは用語スタンダードに列記または定義された語句(表 9
の「用語」を参照)。
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SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
フォーマット
#
4-25
数字
ルール
(1) 図、注、表、付属書、関連情報の番号は、Figure 14、Note 4、Table 6、
Appendix 2、Related Information 3 のようにアラビア数字で示す。
(2) 1 から 10 までの数は one のように文字で書く。ただし、以下を除く。
• 数値が端数を含む場合は数字を使用する。例えば、1.15、1½
• 標準単位記号が続く場合は数字を使用する。例えば、2 mm、4
kg、9%
• 文中の数に数字が含まれる場合は、全て数字にする。例えば、
greater than 10
(3) 文が数で始まる場合は文字で書く。
(4) 文を単位記号のついた数字で開始することは推奨されないが、やむを得ない
場合は、数とそれに続く単位記号の両方を文字で書く。例えば、One gram is
usually sufficient.
(5) 概数および付随する単位記号は文字で書く。例えば、The distance is a hundred
meters or so.
(6) 二つの数が並び合っているために不明瞭となる恐れがある場合は文字で書
く。例えば、fifteen 25-mm rods または 15 twenty-five millimeter rods
(7) 何らかの理由で数に続く標準的な略語または単位記号が使用されない場合、
または略語表記ができない場合(例えば、year や ton)は、数字の使用は任意
となる。ただし、以下の状況のうちどれかにあたる場合は数字で書くこと。
(8) 対比表現で数字にする必要のある数が含まれていたら、全て数字を使う。例
えば、2 tests and 16 weighings
(9) 一連の連続した数値表現によってより正確な表現をしたい場合は数字を使
う。例えば、5 months, 3 days
(10) 略語の後には数字を使う。例えば、Vol. 3
(11) 小数点の前には 0 を置く。例えば、0.65 mm
(12) 比率は 1 to 10 または 1:10 とし、1-10 とはしない。
4-26
プログラミング言語
(1) 9 ポイントの Courier
(2) 行間は 1 行とする。
(3) 構造を明らかにするため、0.25 インチ (6.4 mm) ずつずらしてインデントを設
定する。
(4) 改行によって通常の本文と離して配置する。
(5) 段落番号をつけない。
(6) コンピュータコードをテキストで囲み込まない。
(7) 数字の表題を付けることができる。
4-27
説明のための情報
(1) 適切なフィールドまたは表に入力される文章/文字はイタリックにする。
(2) メニューオプションまたは使用すべきコマンドキーを示すために文章を太字に
する。
(3) メニューから選択する手順を示すために►記号を使用する。
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4.3 図のフォーマット
4.3.1 文書に図を組み込むときのフォーマット上のルールを表 2 に示す。
表2
図のフォーマットに関するルール
フォーマット
#
4-28
図
ルール
(1) 幅は最大 6.5 インチ (165 mm)、高さは最大 8.5 インチ (mm)
(2) 許容可能なフォーマット:.BMP、.JPG、.PCT、.TIF
(3) CAD は許容されるが奨励はされない。CAD プログラムで作成された図
を改訂するバロット等を提出する際は、改訂した画像ファイルを添付し
なければならない。
(4) 文書中の各図に文書の最初から連番を振る。番号は 1 から開始する。
(5) 付属書および関連情報のセクションにある図には、それぞれ 1 から連番
を振り直す(例えば、図 A1-1、図 A2-1、図 R1-1 等)。
(6) 白黒が望ましい。画像に色を使用することは推奨されないが、白黒にし
たときに認識されるようでなければならない。
(7) 図が文書の指定の場所に配置されるとは限らない。余白の部分を最小限
にするために移動されることもある。
(8) 図を文章に Microsoft Word の図として次のように挿入する。
• 「挿入」►「オブジェクト」
• 「オブジェクトの挿入」のダイアログボックスの「オブジェクトの種
類」で「Microsoft Word 図」を選択する。
• 「OK」をクリックする。
• 図ボックスの上部と左部の線に揃うよう図を動かす。
• 図ボックスの右および下のマージン矢印を調節し、図を適切な大きさ
にする。
4-29
図のタイトル
(1) 10 ポイントの Times New Roman、中央揃え、太字
(2) アラビア数字の整数
(3) 一行目:“Figure”の語と図番号を記述し改行する。
(4) 二行目:タイトルは大文字で開始し、最後にピリオドは付けない(表 5
の「大文字使用」を参照)。
(5) 例として付属書 2 の図 A2-5 を参照のこと。
4-30
図の注
(1) 9 ポイントの Times New Roman
(2) アラビア数字の整数
(3) タイトルの上、中央揃え
(4) 注が一つの場合は“NOTE”で、同じ図に対して複数の注が付く場合は
“NOTE #” で開始し、ピリオドで文章を完了する。
(5) 注を付ける図毎に NOTE 1 から開始する。
(6) 例として付属書 2 の図 A2-6 を参照のこと。
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12
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4.4 表のフォーマット
4.4.1 文書に表を組み込むときのフォーマット上のルールを表 3 に示す。
表3
表のフォーマットに関するルール
フォーマット
#
4-31
表
ルール
(1) 幅は最大 6.5 インチ (165 mm)
(2) 表が複数のページにわたる場合は、列見出しを表の各ページの先頭に表示すべ
きである(「各ページにタイトル行を表示する」機能)。
(3) セルの左右の余白はそれぞれ 0.02 インチ (0.5 mm) に設定する。
(4) 網掛けや色の使用は推奨されない。
(5) 表が文書の指定の場所に来るとは限らない。余白の部分を最小限にするために
移動されることもある。
4-32
表のタイトル
(1) 9 ポイントの Arial、太字、左詰め
(2) 表の先頭に表の一部として枠なしのセル内に配置する。
(3) 文書中の各表に文書の最初から連番を振る。番号は 1 から開始する。
(4) 付属書および関連情報のセクションにある表には、それぞれ 1 から連番を振り
直す(例えば、表 A1-1、表 A2-1、表 R1-1 等)。
(5) 番号とタイトルの間にスペースを2つ入れる。
(6) タイトルは大文字で開始し、最後にピリオドは付けない(表 5 の「大文字使
用」を参照)。
4-33
表の列見出し
(1) 9 ポイントの Times New Roman、イタリック、中央揃え
(2) 段落前の間隔 6 ポイント、段落後の間隔 3 ポイント
(3) 10 の累乗を列見出しには使わない。表の中の数値が 10 の累乗によって積算さ
れているのか、または積算すべきなのかが不明瞭になるからである。その代わ
りに、積算を表の最初の入力値で示す(例えば、1.45×106)か、列見出しで
“Young’s Modulus, millions of psi”といった表現を使用する。
4-34
表の記入
(1) 9 ポイントの Times New Roman
(2) 段落前の間隔 2 ポイント、段落後の間隔 1 ポイント
(3) 記入は性質や表の見た目に応じて、中央揃えにしても左揃えにしても良い。
4-35
表の注
(1) 8 ポイントの Times New Roman
(2) アラビア数字の整数
(3) 注を付ける表毎に NOTE 1 から開始する。
(4) 注の番号は#記号で開始する。
(5) 表で注を引用する場合は上付きで番号を記述する。
(6) 注は表の下に連番で配置する。番号は上付きにしない。
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4.5 句読点
4.5.1 文書中の句読点のルールを表 4 に示す。英語の句読点については、アポストロフィやセミコロンの
用法を含め、Merriam-Webster’s Collegiate Dictionary4の最後にある Handbook of Style に情報がある。
表4
句読点に関するルール
#
4-36
句読点
カンマ (,)
ルール
(1) “and”や“but”といった接続詞で結合した重文を、複数部分に区切るためにカ
ンマを使用する。ただし、接続詞の代わりにカンマを使用しないこと。
(2) リスト中の項目を区切るため、または文章中の選択肢を区切るためにカンマ
を使用する。リストの最後の項目の前に“and”または“or”の語を置く場合に
は、その前にカンマを使用する。
(3) 文章中の最初の節を、文章の残りの部分と区切るためにカンマを使用する。
(4) 同じ名詞を修飾する複数の形容詞を区切るためにカンマを使用する(例え
ば、“low-power, CMOS circuits”)。
4-37
コロン (:)
(1) コロンは項目をリストアップする際、follows, the following, for example,
namely, that is… といった語句が含まれている場合に使用する。
4-38
省略記号 (...)
(1) 引用情報を故意に省略することを示す。
(2) ほとんどのワープロには省略符号の特別なキャラクタが提供されており,
適切な間隔がとられ、また行末で分割されないようになっている。
(3) 文末に省略符号がある場合は、その後にピリオドを置く。
4-39
括弧の表現
(1) 文中の他の部分と論理的な関係が希薄な文中の説明的コメントを、“( )”のよ
うに前後の括弧で仕切る。
(2) 複数のコメントを仕切る必要がある場合は、括弧内に鍵括弧“[ ]”を使用する
か、括弧を前後の全角ダッシュの中で使用する。
(3) 括弧および数学上使用するその他の囲い記号の望ましい使用順序について
は、表 6 の「括弧」を参照すること。
4-40
引用符
(二重符 “ ”および
一重符 ‘ ’)
(1) 前後の二重引用符を使って、引用資料を囲んだり、文中の語句やフレーズを
強調したりする。
(2) 前後の一重引用符を使って、二重引用符で囲まれた情報を囲む。
(3) カンマやピリオドは引用符の内側に置く。ただし、一重引用符が特殊用語を
囲んでいる場合や、二重引用符がコンピュータに入力するデータを囲んでい
てピリオドやカンマがデータの一部として解釈される場合は除く。
(4) 複数パラグラフにわたる引用を文章中に入れる場合は、各パラグラフの最初
に前の引用符を置き、最後のパラグラフの終わりに後の引用符を置く。
注:最近のほとんどのワープロでは、前後の引用符を同じキーで入力できる。
これはしばしば“smart quotes”と呼ばれる。
4-41
半角ダッシュ (–)
(1) 半角ダッシュ(–)は、日付、時間、参照番号等の連続するまたは両端を含
む範囲の数字を示す際に使用する(例えば、1989–90、2–3 days)。
(2) 複合名詞のうち、一方の構成部分にハイフンが含まれている場合や、それが
複数の語によって構成されている場合は、ハイフン(-)の代わりに半角ダ
ッシュ(–)を使用する。
(3) 全てが大文字の 2 語をハイフンで結ぶ場合は、オプションで半角ダッシュ
(–)を使用しても良い。
4 Merriam-Webster’s Collegiate Dictionary, Merriam-Webster Incorporated, Springfield, MA, USA. Telephone: 413.734.3134 x100;
Fax: 413.731.5979; Website: http://www.m-w.com
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#
4-42
句読点
全角ダッシュ (―)
ルール
(1) 全角ダッシュは、単独または対で使用して、次の例で示されるように文構造
を唐突に変化させる思考の変わり目を示す。
“The project will end January 15—unless the company provides
additional funds.”
(2) 用語リストにおいて、用語をその定義と区別するために全角ダッシュを使用
する。
(3) 参照文書や関連文書において、スタンダードのスタンダード番号をタイトル
と区別するために全角ダッシュを使用する。
(4) 文章とパラグラフのタイトルを区別するために全角ダッシュを使用する。
4-43
ハイフン (-)
(1) 見た目を良くするために単語を 2 行にわたって分割する場合は、次のルール
にしたがってハイフンをつける。
• 辞書の発音記号で示される音節区切りで単語を分割する。
• 例えば SEMATECH のように法的に保護されている名称は分割しな
い。
• 各行に 3 文字以上は残るようにする。
(2) 複合形容詞を形成するためにハイフンを使用する(例えば、high-pressure
service, high-volume, cost-competitive semiconductors)。
(3) 見た目を良くするため、“3% nickel alloy”や“3°C rise in temperature”といった
表現ではハイフンを省略する。
(4) ケミカル化合物または“stainless steel”や“cast iron”といった語句にはハイフン
をつけない。
(5) 副詞-形容詞の組み合わせで、副詞が “ly” で終わる場合はハイフンを挟まな
い(例えば、“highly sensitive material”や“optimally focused lens”)。
(6) 誤解を避け読みやすくする目的で、ある種の複合語や接頭語にハイフンをつ
ける(例えば、再びカバーするという意味の “re-cover”(病気や停滞からの
回復である“recover”とは異なる), “burn-in,” “p-n junction,” “non-deposition,”
“phase”)。
(7) 法的に保護はされていない固有名詞に接頭語を付ける場合はハイフンを使用
する(例えば、post-Vietnam era や mid-January time frame)。
(8) 一時的に独立して表記しなければならない複合形容詞の最初の語または接頭
語を示すためにハイフンを使用する(例えば、“one- or two-page description”
や“high- or low-temperature tests”)。しかし、数字の場合は最後のハイフン以
外は省略する(例えば、“2, 4, and 6-inch specimens”)。
(9) 文末で単語を分ける際はソフトハイフン(マニュアルブレークともいう)を
使用する。ハードハイフンは恒常的なハイフンであり(例えば、twentyfirst)、ハイフンが使用された単語や用語がどこに配置されようと必ず付けら
れるものである。
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4.6 文法および言語
4.6.1 文書中の文法および言語のルールを表 5 に示す。本書で特に言及していない文法および言語につい
ては、Chicago Manual of Style5を参照すること。
表5
文法および言語に関するルール
文法/言語
#
ルール
4-44
正式言語
(1) 全ての SEMI スタンダードの正式言語は米語であり、規約 4.5 章に概説され
る通り合意手続きによって承認された。
4-45
シンプルな言い回し
(1) SEMI スタンダードは分かり易く、使いやすく、また翻訳しやすいようシン
プルな言い回しで書くべきである。
(2) 過剰に長い文は避ける。長い文は可能なら短い二つの文に分ける。
(3) 二重否定は避ける。
(4) 俗語等の慣習的または文化固有の表現は避ける。
4-46
未来時制
(1) 未来時制で書いた技術文書は、通常は単純時制の弱い言い換えである。
(2) スタンダードおよびガイドラインの文章では、特定行為の将来の結果を表現
する場合を除いて、未来時制 (will) を使わない。
(3) その代わりに、多くの場合、単純時制(現在時制)平叙文を使用する。
4-47
要件を含むパラグラフ
(1) 一つのパラグラフには要件を一つだけ記述するべきである。複数の要件が
あるパラグラフは、要件が一つのみの小さなパラグラフに分割すべきであ
る。
4-48
Should と Shall
(1) 要求する指示または事象については“shall”を使用する。この目的では“shall”
の方が“must”より望ましいことに留意すること。
(2) 望ましいが要求はされない指示や事象については“should”を使用する。
(3) ガイドまたはガイドラインでは、“shall”(または“must”)を使用しない。こう
した文書は本質的に勧告であり要件としては書かれないので、“should”を代
わりに使用する。
(4) 仕様、テスト方法、作業方法等の要件には全て“shall”を使用する。こうした
種類のスタンダードでは、“should”は注記または関連情報にのみ使用する。
(5) 仕様、テスト方法、作業方法で“should”の方が適切と考えられる場合は、そ
のスタンダードをガイドとして作成する。
5 Chicago Manual of Style, The University of Chicago Press, 1427 E. 60th Street, Chicago, IL 60637, USA. Telephone: 773.702.7700;
Fax: 773.702.9756; Website: http://www.chicagomanualofstyle.org
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#
4-49
文法/言語
英単語のスペリング
ルール
(1) 米語のスペリングが推奨される。
(2) レビューやバロット用に文書を提出する際は、予めスペルチェックをするこ
と。しかし、これで全ての間違いが発見されるとは限らないことに留意す
る。最後に目で読んで確認することが不可欠である。
(3) 英語用語の一般的なスペリングと定義については、最新の Merriam Webster’s
Collegiate Dictionary を使用すること。
(4) 上記のカレッジエディションに載っていない単語については、Webster’s
Third New International Dictionary6を確認すること。
(5) 一般的な技術用語については、参照文献として以下を推奨する。SEMI
Compilation of Terms7、Compilation of ASTM Standard Definitions8、IEEE
Standard Dictionary of Electrical and Electronic Terms9、SEAJ Japanese-English
dictionaries of terms for integrated circuit and flat panel display technologies10
(6) 次にあてはまるスペリングについては、付属書 6 を参照すること。(1)
Merriam Webster’s Collegiate Dictionary のスペリングとは異なるもの、(2) そ
の辞書では望ましいとは明確に示されていないもの、(3) その辞書に記述が
ないもの、(4) その辞書に記述はあるが付属書にも便宜上記述されているも
の。
6 Webster’s Third New International Dictionary, Unabridged, Merriam-Webster Incorporated, Springfield, MA, USA.
Telephone: 413.734.3134 x100; Fax: 413.731.5979; Website: http://www.m-w.com
7 Available on the SEMI Website: http://wps2a.semi.org/wps/portal/_pagr/118/_pa.118/755.
8 Annual Book of ASTM Standards, Vol. 00.01, ASTM, 100 Barr Harbor Drive, West Conshohocken, PA, 19428 USA. Fax: 610.832.9555;
Website: http://www.astm.org/cgi-bin/SoftCart.exe/BOOKSTORE/BOS/ORDER_OPTIONS/0407.htm?L+mystore+zhuu8615
9 IEEE, 445 Hoes Lane, P. O. Box 1331, Piscataway, NJ 08855-1331, USA. Fax: 732.562.6380; Website: http://www.ieee.org
10 Semiconductor Equipment Association of Japan, 4 F, Grand Maison Shinjuku Gyoen, 7-10, 1-chome, Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo,
160-0022, Japan. Fax: 81.3.3353.7970; Website: http://www.seaj.or.jp
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文法/言語
#
4-50
大文字使用
ルール
(1) 全てのセクションタイトル、表タイトル、図タイトルでは、名詞、動詞、形
容詞、副詞、およびその他 5 文字以上の全ての単語は、最初の文字を大文字
にする。この書式は Title Case と呼ばれることがある。
(2) 大文字の文字列の使用を避ける。ただし、頭字語(表 8 の「用語」を参
照)、後述の手順における方向、または注意や警告文の文章への挿入時(表
10 の「注意および警告」を参照)は除く。
(3) “committee”は、“Gases Committee”のように特定のグループのタイトルとし
て使用する場合のみ、最初の文字を大文字にする。
(4) 適切な名詞であったり、習慣的に大文字使用したりする場合には最初の文
字を大文字にする。
(5) 商標および職標(訳注:サービス提供団体がその独自のサービスの象徴とし
て用いる標章)は、それが一般的に認められた言葉になっている場合を除い
て、最初の文字を大文字にする。商標および職標についてさらに詳しい情報
が必要な場合は、米国特許商標局 (United States Patent and Trademark Office11)
から入手できる。
(6) 特定の分冊、図、表等を参照する場合は、Figure #、Table # のように、最初
の文字を大文字にする。
(7) Test #、Specimen X、Cement X、Type #、Class X、Grade X といった表現で
は、最初の文字を大文字にする。
(8) “O-ring”、“V-groove”、“V-notch”、“X ray”(名詞)、“X-ray”(形容詞または
動詞)といった 1 文字からなる特定のものは大文字にする。
(9) “Turn the knob to the OFF position”または“Turn the dial to TITRATE”のように
方向が重要な場合は、全て大文字にする。
(10) 大文字と小文字の両方が一語の中にある単語は、情報のタイプを正確に引
用する必要がある場合に使用できる。例えば、変数名もしくは列挙された情
報文字列等である。
11 United States Patent and Trademark Office, Crystal Plaza 3, Room 2C02, Washington DC, 20231 USA. Telephone: 800.786.9199;
Website: http://www.uspto.gov
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4.7 数学および技術情報
4.7.1 文書中の数学および技術情報に関わるフォーマットのルールを表 6 に示す。
表6
数学および技術情報に関するルール
名称
#
ルール
4-51
同位体
(1) 元素の同位体は、carbon-14 または 14C のように、元素名に続けてハイフンで区
切って原子量を書くか、原子量を先に上付き文字で書くかのいずれかで示す。
4-52
重合体
(1) 単量体が 1 語である場合は、polystyrene または polyisobutylene のように、接頭
辞 poly をハイフンやスペースをつけずに単語に含める。
(2) 単量体が 2 語である場合は、poly (vinil chloride) または poly (methyl
methacrylate) のように、単量体を括弧にいれ接頭辞 poly をハイフンやスペース
をつけずにつける。
(3) 化学物質名は IUPAC で決められたものに従う。
4-53
結晶面および方位
(1) 以下の記号を結晶学的面と方位に使用する。
•面
(111)
• 面のファミリ
{111}
• 方位
[111]
• 方位のファミリ
〈111〉
(2) 負の方位は、1 の上に横棒を引く。例えば、 111
* Microsoft Word では、この記号は数式エディタでのみ得られる。隣接する記号の
上の横棒に間隔を置くためには、(エディタのテキストモードで)文字間隔の調
整が必要となる場合がある。
4-54
小数点
(1) 小数点にはピリオドを使用し、カンマは使用しない(例えば、0, 65 ではなく
0.65)。
(2) 大きな数字を 3 桁ずつ区切るには、カンマを使用する(百万は 1,000,000、千は
1,000)。
(3) 数表記についての追加情報は表 1 を参照すること。
4-55
数式
(1) 文章の中の数式は中央揃えにする。
(2) 複数の式がある場合は、式に右寄せの括弧付き番号を振る。Microsoft Word で
はこれは右余白で右タブを使ってできる。
(3) 各数式は(1)から始めて連番を振る。付属書および関連情報の部分にある数式に
は、それぞれ 1 から連番を振り直す(例えば、A#-1、R#-1)。
4-56
基数 e の指数
(1) 基数 e に対して指数が比較的短く 1 行でおさまり、また上付き文字も下付き文
字もない場合は、記号“e”を使用する。例えば、e(a-b)cx
(2) 基数 e に対して指数が比較的長い場合や、上付きや下付き文字がある場合は、
記号“exp”を使用する。例えば、exp[xb1/2-ln(xb/a)]
4-57
分数
記号、斜線(/)、2 段式分数(水平線)のどれを使用するかは、以下のガイドに
従う。
(1) 文章中の単純な数字の分数は、½、¼、¾、⅛、⅝等の記号を使用する。
(2) 文章中のその他の数式では斜線を使用する。数学的な曖昧さをなくすために括
弧を積極的に使用する。例えば、“log (a/b)”と“(log a)/b”は明確だが、“log a/b”
は曖昧である。
(3) 式が長く、斜線を使用すると不明瞭となり読みにくいような場合は、2 段式分
数を使用する。
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名称
#
4-58
文字記号
ルール
(1) 式の中では、物理量は ANSI/IEEE260.1、260.3、280 に規定された記号で表わ
す。どのような記号が使用される場合も、そのスタンダード内(および関連す
る SEMI スタンダード)で一貫させること。
(2) ある種のギリシャ大文字は、使用すると英語の大文字との混同を招く恐れがあ
るので控える。特にアルファ (Α) と A、ベータ (Β) と B、エプシロン (Ε) と
E、ツェータ (Ζ) と Z、イータ (Η) と H、イオタ (Ι) と I、カッパ (Κ) と K、ミュ
ー (Μ) と M、ニュー (Ν) と N、オミクロン (О) と O、パイ (Р) とピー(P)、シー
タ (T) と T、キー (Х) と X である。
4-59
演算記号
(1) 分数で斜線を使用するとき以外は、数式で使用する演算記号(例えば、+、
-、×、/、=)の前後に常に半角スペースを入れる。
(2) “E”の指数ではなく適切な 10 の累乗を使用する。例えば、“5E14”の代わりに“5
×1014”を使用する。
(3) 掛け算を表わすには“*”(アスタリスク)の代わりに“×”(乗法記号)を使用す
る。
(4) 掛け算を表わすには文字の“x”の代わりに“×”(乗法記号)を使用する。
(5) “^”(カラット)ではなく上付きの指数を使用する。例えば、“10^15”の代わり
に“1015”を使用する。
(6) 引き算を表わすには“-”(ハイフン)ではなく“−”(マイナス記号)を使用す
る。
(7) プラスマイナスを表わすには、“+−”(プラス記号に続けてマイナス記号を書
く)や“+/−”(プラス記号とマイナス記号の間に斜線を挟む)ではなく、“±”
(プラスマイナス記号を上下に書く)を使用する。
(8) キーボードで入力できない演算記号はスタンダードテンプレートの記号のドロ
ップダウンメニューから入力できる。もしくは、メニューの挿入►記号と特殊
文字から入力する。
4-60
括弧
(1) 数式を明確にするために、括弧を使用する。括弧記号(フェンスともいう)の
望ましい順序は、下記のように大括弧、角括弧、丸括弧の順である。
{[( )]}
(2) さらに括弧が必要な場合は、大括弧を下記のような順序で使用する。
{ [ ({[(
)]})
]}
(3) 鍵括弧(< >)、縦線(| |)、二重縦線(|| ||)を括弧記号として使用しない。
これらは数学上別の意味を持つからである。
(4) その他の用法については、表 4 の括弧表記を参照すること。
4-61
統計データ
(1) 母集団からの 1 セットの観測に含まれる本質的情報を表わすには、平均、サン
プルの標準偏差または変動係数、そして観測数を示す。
(2) 必要に応じて以下の記号を使用する。
• x̄ =平均(サンプル平均)
• s = サンプル標準偏差
• ν = 変動係数
• n = 観測数
(3) 統計的に取り扱われるデータについては、ASTM Manual on Presentation of Data
and Control Chart Analysis, sixth edition の推奨に従う。
4-62
変数
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(1) 変数を示すために小文字のイタリックを使用する(例えば、ax2 + bx + c = 0)。
20
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名称
#
4-63
単位記号
ルール
(1) 一般に認められた SI 単位記号と略語を使用する。SI 単位の詳細情報について
は、IEEE/ASTM SI-10 または類似のスタンダードを参照すること。
(2) 単位記号は、限定された量を示す数の後ろに付ける。
(3) 量と単位記号の間はスペースを一つ空ける(例えば、200 mm、0.65 μm)。た
だし、下記は例外となり、数字の後にスペースを要れずに記号を付ける。
• %(パーセント)
• "(インチまたは秒)
• '(分)
• °(度)
• °C(摂氏温度)
• °F(華氏温度)
(4) 単位記号は単数形でのみ使用する。例えば、fifty kilograms は 50 kg であり、50
kgs としない。
(5) 二つの記号が連続する場合は、間を中黒点で区切る(例えば、cm2/v·s、
Ω·cm)。
(6) 国際度量衡委員会(International Committee on Weights and Measures)が、SI 単
位の倍数と約数を表示する接頭語の標準を採択している(IEEE/ASTM SI-10 を
参照)。
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
21
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5 スタンダードおよび安全ガイドラインに記述されるセクション
5.1 異なった種類の SEMI スタンダードには、それぞれ異なったセクションが、そのスタンダードの目的
に沿って含まれる。表 7 は、スタンダードや安全ガイドラインのそれぞれの種類に記述が「必須」(M;
mandatory)または「任意」(O; Optional)であるセクションを一覧にしてまとめたものである。このリ
ストは限定的なものではない。それぞれの文書の必要性に応じ、適切な場所にこれ以外のセクションを
含めても良い。
表7
#
セクションの内容
スタンダードのタイプ
/セクション
分類
Classification
ガイ 作業方法
ド
仕様
用語
テスト方法
Practices Specifications Terminology Test Methods
Safety
Guidelines
Guide
5-1
目的
Purpose
5-2
範囲
Scope
5-3
制限
Limitations
5-4
参照スタンダードおよ
び文書
Referenced Standards and
Documents
5-5
用語
Terminology
5-6
関連文書
Related Documents
5-7
分類基準
Basis of Classification
5-8
分類
Classification
5-9
テスト方法
Test Methods
5-10
アプリケーション特有
Application Specific
5-11
作業方法の要約
Summary of Practice
5-12
装置
Apparatus
5-13
試薬および材料
Reagents and Materials
5-14
安全上の注意
Safety Precautions
5-15
試料
Test Specimens
5-16
手順
Procedure
5-17
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安全ガイ
ドライン
M
M
M
M
M
M
M
M
M
M
M
M
M
M
O
O
O
O
O
O
O
M
M
M
M
M
M
M
O
O
O
O
O
O
O
O
O
O
O
O
O
O
M
M
O
M
M
M
M
O
O
O
O
O
O
O
O
M
M
M
計算
22
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#
スタンダードのタイプ
/セクション
分類
Classification
ガイ 作業方法
ド
仕様
用語
テスト方法
Practices Specifications Terminology Test Methods
Guide
安全ガイ
ドライン
Safety
Guidelines
Calculations
5-18
結果の解釈
Interpretation of Results
5-19
報告
Report
5-20
O
O
注文情報
M
Ordering Information
5-21
要件
M
Requirements
5-22
サンプリング
O
Sampling
5-23
認証
O
Certification
5-24
製品ラベリング
O
Product Labeling
5-25
梱包および梱包ラベリ
ング
O
Packing and Package
Labeling
5-26
略語および頭字語
O
Abbreviations and
Acronym
5-27
定義
O
Definitions
5-28
記号
O
Symbols
5-29
試験方法の要約
M
Summary of Test Method
5-30
装置の準備
O
Preparation of Apparatus
5-31
M
キャリブレーションお
よび標準化 Calibration
O
and Standardization
5-32
精度およびバイアス
O
Precision and Bias
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5.2 スタンダードおよび安全ガイドラインに見られる各セクションの内容を表 8 に示す。
表8
スタンダードおよび安全ガイドラインに見られるセクションの内容
#
セクション
5-33 タイトル
Title
内容
(1) 全てのスタンダードおよび安全ガイドラインには、必ずタイトルをつける。
(2) スタンダードまたは安全ガイドラインの内容を説明する独自のタイトルを選ぶ。
(3) タイトルに Standard の語を使わない。
(4) バロットの種類をタイトルの前に入れる(New Standard、Revision of、Reapproval
of、または Withdrawal of)。
(5) タイトルは、開発中のスタンダードまたはガイドラインの種類で始める(例え
ば、Specification for ...、Guide for ...、Test Method for ...、Safety Guideline for ...、
Draft Specification for ...、Preliminary Test Method for ...、Interim Specification
for ...)。
(6) 異例の場と合を除き、スタンダードは一種類だけを使用する。文書が二種類で構
成される場合(例えば、Specification and Guide for ...)は、それぞれの種類の部分
を文章で明確に区別しなければならない。
5-34 目的
Purpose
(1) 全てのスタンダードおよび安全ガイドラインには、目的のセクションがなくては
ならない。
(2) スタンダードの意義用途を簡潔に説明する。
(3) スタンダードが意図する使用者と適切な用途を示す。
(4) 必要に応じて、類似あるいは関連する他のスタンダードとの区別をする。
5-35 範囲
Scope
(1) 全てのスタンダードおよび安全ガイドラインには、範囲のセクションが必要であ
る。
(2) スタンダードの機能と適用範囲を述べる。除外される機能または範囲があれば、
必要に応じて示す。
(3) スタンダードの対象となる製品、サービス、システム、または材料を列記する。
(4) SI 単位が主要な単位でない場合に限り、そのスタンダードで採用される計測単位
を述べる。
(5) 特定の注意または警告がスタンダードまたは安全ガイドラインに含まれている場
合は、その段落番号を、適切なパラグラフの末尾に列記する(表 10 の「注意と
警告」を参照)。
(6) 安全に関する注意書きは全ての SEMI スタンダードに必須である(表 10 の「範囲
の注意書き」を参照)。
5-36 制限
Limitations
(1) スタンダードの対象とならない項目を述べる。
(2) テスト方法と作業方法の場合は、誤った結果を得る原因となる既知の項目を全て
含める。
(3) このような項目のそれぞれについて、問題の存在を見極める方法と、問題を回避
するために取るべき措置を説明すること。
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#
セクション
5-37 参照スタンダードお
よび文書
Referenced Standards
and Documents
内容
(1) 公的に入手可能なスタンダードを参照する場合は、参照スタンダードおよび文書
のセクションを含めなければならない。
(2) スタンダードまたは安全ガイドラインで引用され、SEMI または例えば ANSI、
ASTM、DIN、IEC、ISO、JSA 等のその他の公認スタンダード開発組織組織
(SDO)から発行されたもので、公的に入手可能なものは全て列記する。
(3) 最初に SEMI スタンダードを英数字順にスタンダード番号で記述する。
(4) その他 SDO で発行されたスタンダードは、SDO 毎に別の項にして列記する。各
項には組織名をアルファベット順に並べる。スタンダードは各項にスタンダード
番号の英数字順に記述する。
(5) 引用できるのは特定の版のスタンダードだけである場合を除き、発行日(月-年)
を記述しない。
(6) 文書 — スタンダードまたは安全ガイドラインで引用した法規、スタンダード以
外の技術文書を全て列記する。専門書、雑誌およびその記事、ジャーナルおよび
その記事は除く。
(7) 引用された SEMI 以外のスタンダードおよび技術文書には全て脚注をつけ、その
スタンダードのコピーを入手するための発行元と住所を記述する。可能なら、そ
のスタンダード配布組織の FAX と URL も列記する。
(8) 発行済みのスタンダードだけを列記すること。SEMI またはその他の SDO で開発
中のドラフト文書をこのセクションで(あるいはスタンダードのその他の場所
に)参照しない。注:開発中のドラフトスタンダードを参照する必要がある場合
は、そのタイトルには必ずしも触れずに、説明的な表現でその情報に言及する。
そして、そのトピックをカバーするスタンダード(暫定スタンダード、安全ガイ
ドライン等)が SEMI スタンダード委員会によって開発されているという趣旨の
注を記述する。委員会名は必要に応じて特定する。
(9) そのスタンダードで引用される雑誌、書籍、URL は、参照が最初にされたページ
の下部に、番号を振った脚注によって列記すべきである。SEMI スタンダードに
は公的に入手可能な参考文献だけを引用する。
(10) 付属書および関連情報には、本文とは独立して独自の「参照スタンダードおよび
文書」を記述しなければならない。
(11) 「参照スタンダードおよび文書」の注意書きは必須である(表 10 の「参照スタ
ンダードおよび文書」を参照)。
5-38 用語
Terminology
(1) 用語は多くのスタンダードにおいて重要な部分である。しかし、特定分野の用語
が用語スタンダードにまとめられる場合もある。用語には略語と頭字語、定義、
そして記号が含まれる。
(2) 略語と頭字語、定義、記号をそれぞれ独立した項にアルファベット順で列記す
る。必要に応じて項をさらに細分化し、グループ化してから関係する用語をアル
ファベット順に並べても良い。まれに、関係する用語のグループがアルファベッ
ト順に並べられないこともある(例えば、特定の内容に関係する用語のグループ
については、その内容そのものの定義から始める場合もある)。
(3) このセクションの略語、頭字語、定義、記号のそれぞれには段落番号を振る。
(4) 全ての用語が一つのアルファベット順リストに記入される場合は、見出し 2 の段
落番号を使用する(表 1 の見出し 2 以下のヘッダーに示されるような x.y とす
る)。
(5) サブセクションが使用されている場合は(例えば、略語と接頭語、定義、または
記号)、見出し 3 の段落番号(例えば x.y.z)を使用する。
(6) サブセクションがさらに関連する項目毎にグループ分けされている場合は、見出
し 4 の段落番号(例えば x.y.z.w)を使用する。
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セクション
5-39 略語と頭字語
Abbreviations and
Acronyms
内容
(1) このセクションに記述する前に、その項目が SEMI 用語集(SEMI Compilation of
Terms ) に 含 ま れ て い る か を 調 べ る こ と 。 こ れ は SEMI の ウ ェ ブ サ イ ト
(http://www.semi.org/) にて入手可能である。SEMI 用語集からとった語句と用語集
のオリジナルな記述とが全く同一であることを確認すること。
(2) ある分野で共通に使用される略語と頭字語を列記する。
(3) スタンダードまたは安全ガイドラインに多数の略語や頭字語が含まれている場合
は、用語のセクションにグループ化して記述する。
(4) 違った順序にするやむを得ない場合を除き、略語と頭字語はアルファベット順ま
たは英数字順に列記する。必要に応じて、アルファベット順にする前に関連する
項目をグループ化して番号を振ったセクションに分ける。
(5) 明確化や説明的なディスカッションが必要な場合は、項目の後に別の行にしてデ
ィスカッションのパラグラフを設けることもある。
(6) 各項目はイタリックで文書中に使用されるままの大文字小文字で記入し、続けて
スペース一つと全角ダッシュ(—)、もう一つのスペースを置いて用語の略さな
い名称を記述する。明確化や説明的なディスカッションが必要な場合は、項目を
さらに説明する注を付ける。
(7) 略語は表、図、注、文献目録、リストの中で頻繁に使用される。
(8) 頭字語とは、二つ以上の単語からなる名称その他の用語の、全てまたは大半の頭
文字で作られる発音可能な語、または速記表現である。
(9) 以下の例外を除いて、一般に略語を技術文章中に使用すべきでない。
• e.g., (for example, 例えば)
• i.e., (that is, つまり)
• Vol. (volume, in certain references, 参照される文書の分冊)
(10) まだ一般に認められていない略語が文章で最初に使われるときには、略さない名
称を書き、その後に括弧に入れて略語を記述する。
(11) 一般に認められている略語や頭字語がある場合はそれを使用する。
(12) 「SEMI」は Semiconductor Equipment and Materials International を表わす登録商標
である。これを何か他のものを表わすために使用してはならない。
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セクション
5-40 定義
Definitions
内容
(1) このセクションに記述する前に、そのアイテムが SEMI 用語集 (SEMI Compilation
of Terms) に 含 ま れ て い る か を 調 べ る こ と 。 用 語 集 は SEMI ウ ェ ブ サ イ ト
(http://www.semi.org/) で入手可能である。SEMI 用語集の語句と、このセクション
の記述が全く同一であることを確認すること。
(2) 文書内に一度しか出ていない用語の定義はしない。
(3) その分野で共通して使用される用語の定義を列記する。
(4) 用語の定義をアルファベット順に列記する。必要に応じて、番号を振ってリスト
をサブセクションに分けて関連する用語をグループにまとめてからアルファベッ
ト順に並べる。
(5) 説明または手引きが必要な場合は、説明のためのパラグラフを定義に続けて別の
行に記述する。
(6) このセクションに別のスタンダードから定義が引用されている場合は出典を特定
する。出典が SEMI 以外のスタンダードまたは文書であるなら、その文書をバロ
ットに提出する前に、著作権の許諾を著作権所有者と、もし分かるなら主筆者か
らも取得する。
(7) 用語の定義は、以下の辞書の定義形式で記述する。
• 用語。固有名詞または慣例的に大文字で使用される場合を除き、小文字のイ
タリックで記述する。
• (任意)品詞。カンマおよびスペースで用語と区切り、略語のイタリックで
記述する。一般に、用語は名詞と仮定される。したがって、品詞を特定しな
ければならないのは、名詞以外の用語(例えば、形容詞、動詞、副詞等)に
限られる。
• (任意)定義される用語の記号。カンマとスペースで用語と区切って記述す
る。
• (任意)定義される量の一般的な単位。角括弧に入れて記述する。
• (任意)限定するためのフレーズまたは使用領域の表示。用語がある分野に
特有であり、他の文脈では別の意味となる場合に括弧内にイタリックで記述
する。
• スペース、「―(全角ダッシュ、ほとんどのワープロフォントにある)」、
スペースに続き、定義(用語を表すワンフレーズの説明)を入れ、最後にピ
リオドを打つ。
• 定義の集合は、別のやり方で並べるやむを得ない理由がない限り、アルファ
ベット順または英数字順に並べる。
• 用語を“is when”や“is where”で定義しない。このような副詞句を使うと定義が
うまくいかない。
• 単たる繰り返しで用語を定義しない。
• 簡潔でなじみのある用語を使う。
• 曖昧な語は避ける(例えば、小さい – 小さいとはどのような意味か?)
例:
1. 範囲を定める用語
“x.y pitch (of a corrugated product) — the distance between corresponding points
on adjacent creasts.”
2. 企業や単位を使った用語
“x.y Hall mobility, μH [cm2/V·s] — the ratio of the magnitude of the Hall coefficient
to the resistivity.”
3. スピーチの一部を使った用語
“x.y dope, v. — to add intentionally small amounts of impurities to a semiconductor
to control the conductivity.”
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セクション
#
5-41 記号
Symbols
内容
(1) その分野で共通して使用される記号の説明を列記する。
(2) 記号をアルファベット順に列記する。必要に応じて、番号を振ってリストをサブ
セクションに分けて関連するアイテムをグループにまとめてからアルファベット
順に並べる。
(3) SI または他の良く知られた標準記号をリストに加えないこと。
(4) 多くの式があるスタンダードでは、記号をそれぞれの式の後ではなく、用語のセ
クションの独立したサブセクションにまとめて列記する方が便利な場合がある。
記号を(文書で使われる形にあわせてイタリックまたはローマンで)最初に列記
し、続けてスペースと全角ダッシュ (—)、もう一つのスペースをはさんで、記号
の説明を一つの文章で記述する。説明または手引きが必要な場合は、記号をさら
に説明するための注を追加する。
5-42 関連文書
Related Documents
(1) このセクションには、そのスタンダードを実行するために有効な背景情報を提供
するスタンダードやその他の技術論文や文書で、スタンダード内に特に引用はさ
れていないものを列記する。
(2) 公に入手可能な参考文献だけを列記する。
(3) スタンダード本文の最後のセクション
5-43 分類基準
Basis of Classification
(1) 分類のグループ分けの基準となるカテゴリとサブカテゴリを明確に述べる。
5-44 分類
Classification
(1) カテゴリとサブカテゴリによるグループ分けを、表形式または他の方法で列記す
る。
5-45 テスト方法
Test Methods
(1) 製品やサービスが仕様の要件を満たすかを判定するために使用するテスト方法を
列記する。再試験が認められる場合は、このセクションに示す。
(2) 必要に応じて、このグループ分けの説明が分かりやすくなるようにセクションタ
イトルを追加する。
(2) 注文情報および要件のセクションでカバーされる各属性に対する試験手順を含め
る。
(3) ASTM、DIN、JEIDA、SEMI またはその他の SDO で提供される適用可能な標準試
験方法があれば引用する。
(4) ある特定の属性に対して複数の標準試験方法が存在する場合は、(1) 製品やサービ
スの適性判定に好ましい試験方法、または (2) 別のものではなくある試験方法を
選択する基準、のいずれかを示す。
(5) 適切な標準試験方法がない場合は、試験方法を要約して説明する#2。
(6) ある属性についての標準試験方法が特定できず、また試験方法の説明もしない場
合は、その属性の値はサプライヤと購入者の間で合意した方法で測定しなければ
ならない旨を記述する。
5-46 アプリケーションに
特有
Application Specific
5-47 作業方法の概要
Summary of Practice
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(1) 利用可能なテクニック、開始点、アプローチに対する使用者の認識を高めるよう
な指示、オプション、推奨事項を記述する。
(2) 必要に応じて、様々なオプションからの選択基準も記述する。
(1) 重要なステップを簡潔に列記することにより、予め手順を概説する。
(2) 必要に応じて、重要なステップを図式化したフローチャートを含める。
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セクション
5-48 装置
Apparatus
内容
(1) 手順を実行するために必要な全ての装置を列記する#3
(2) 特定の会社の装置名(商号や商標)の使用を避ける。
(3) 各装置が満たすべき要件を指定する。
(4) 各装置に対し、試験結果に直接影響する全てのパラメータの要件について、レン
ジまたは公称値を指定する。
(5) 有資格のオペレータによって、記述されている試験の精度およびバイアスを満た
すことができるような要件を指定する。仕様の過不足がないようにする。
(6) 手順で必要となる装置とサプライの全てをこのセクションに記述すること。
(7) 手順を実行するための装置のセットアップおよび準備に関する要件は、このセク
ションに記述する。
5-49 試薬および材料
Reagents and Material
(1) 手順を実行するために必要なプロセスケミカルおよびガス、その他の材料を全て
列記する。
(2) 特定の会社の装置名(商号や商標)の使用を避ける。
(3) 必要なプロセスケミカルおよびガスについて、手順で必要とされる組成とグレー
ドを特定する SEMI 仕様があれば、これを引用する。引用したスタンダードは参
照スタンダードおよび文書のセクションに必ず含めること。
(4) 手順で水の使用が必要となる場合は、SEMI F63 を参照する。必要な水のグレード
を必ず示すこと。
5-50 安全注意事項
Safety Precautions
(1) 手順を安全に実行するため、危険な材料、操作または装置があれば、このセクシ
ョンで特定する。
(2) 適切な SEMI 安全ガイドラインまたはその他の適用される安全スタンダードや規
制を引用する。
(3) 適時、材料安全データシート (MSDS) を引用する。
(4) 危険なアイテムの使用に関する警告の注を、手順またはその他のセクションでそ
のアイテムを使用しなければならない個所の直前に挿入する。
5-51 テスト試料
Test Specimens
(1) 手順を実行するために必要な全てのテスト試料を記述する。
(2) このセクションの手順/インストラクションは命令法で記述する(すなわち、動
詞で始める)。例えば、(1)の原文は”Describe all test specimens required to carry out
the procedure or test method.”であり、命令法で書かれている。
(3) 必要なテスト試料に必須の属性を記述する。
(4) テスト試料の選択、準備、コンディショニングの手順をステップ毎に示す。
5-52 手順
Procedure
(1) 手順を実行するためのステップ毎の指示を詳細に列記する。
(2) このセクションセクションの手順/インストラクションは命令法で記述する(す
なわち、動詞で始める)。例えば、(1)の原文は”List detailed, step-by-step
instructions for performing the procedure.”であり、命令法で書かれている。
(3) スタンダードの使用者に対し、手順の結果を解釈するのに必要な全ての情報を記
録するよう明確に指示する。これには報告のセクションに指定された全ての情報
を含める。
(4) 手順の各ステップの順序は、次のようになっていること。
• 各ステップは前のステップの続きとなっている。
• ステップの分岐部分が明白である。
• 指定されていない作業方法を使用者が選択できない。
5-53 計算
Calculation
(1) テスト結果を得るのに必要な計算を、順番に記述する。
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セクション
内容
5-54 結果の解釈
(1) 必要に応じて、手順の結果を解釈するために必要なステップを列記する。
Interpretation of Results (2) テスト試料を準備する作業方法等、いくつかの作業方法では、結果の解釈の記述
は不要である。
(3) 解釈が必要な場合は、このセクションを命令法で記述する(すなわち、動詞で始
める)。例えば、(1)の原文は”List the steps required to interpret the results of the
procedure, if appropriate.”であり、命令法で書かれている。
5-55 報告
Report
(1) 必要に応じて、手順の実行から得られる必須の結果を列記する。以下を含めるこ
と。
• テスト試料があるなら、その特定。
• 手順の実行場所およびオペレータ名。
• 手順を実行するために使用した特定の装置の説明。これには必要に応じてソ
フトウェアのバージョンを含める。
• 手順の実行においてなされた手順のオプション部分または選択。
• 手順の実行結果。
(2) 収集および記録することが手順に明確に記述されていない情報は、報告で求めら
れない。
5-56 注文情報
Ordering Information
(1) その仕様によってカバーされる製品やサービスの注文書に含まれることが要求さ
れるアイテム、またはオプションとして含まれるアイテムを全て列記する。
(2) リストに基づいて注文すれば、必要とする製品やサービスが定義できるようなリ
ストにする。
(3) このリストを表または略図形式で作成しても良い。
(4) 製品やサービスを完全に定義するために選択しなければならないグレードやその
他のアイテムを列記すること。
(5) 特定の属性に対するテスト方法が唯一でない場合は、その属性について使用する
テスト方法を注文書に示す。
5-57 要件
Requirements
(1) 材料、製品、システム、サービスがその仕様を満たすための要件を列記する。
(2) その仕様でカバーされる製品については、製作材料、製造方法、ケミカル組成、
物理特性、機械特性、寸法等のアイテムの属性を列記する。
(3) その仕様でカバーされるサービスについては、サービスが持つべき属性や特徴を
列記する。
(4) 必要に応じて、関連する要件を独立したセクションにまとめる。
(5) 表や略図を積極的に使用することで仕様の要件を分かりやすくする。
5-58 サンプリング
Sampling
(1) 注文ロットの受入れ判定のためにロットからテスト試料を選択する手順を指定す
る。
5-59 認証
Certification
(1) 製品やサービスが仕様を満たすことを認証するための要件を列記する。必要に応
じて、以下の標準的なパラグラフを記述すること。
x.1 契約時や受注時に購入者の要求があれば、製造元またはサプライヤ
は、製品がこの仕様の通りに製造および検査されたことを示す認証を、
検査結果報告書を添えて出荷時に提出する。
x.2 サプライヤと購入者が望めば、特定の要件を「満たせる」製品とし
て認証するという合意をしてもよい。この文脈での「満たせる」とは、
サプライヤが特定の検査実施を要求されない、ということを意味する。
しかし、購入者が検査を実施した結果、製品が要件を満たさなかった場
合、その製品は不適合品となる場合がある。
5-60 製品ラベリング
Product Labeling
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(1) 製品のラベルに含まれる情報を列記する。これには(適切な場合は)、その仕様
に対する適合宣言も含まれる。
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セクション
5-61 梱包および梱包ラベ
リング
内容
(1) 保護梱包または外装に対する要件を、梱包ラベルに載せるべき情報も含めて列記
する。
Packing and Package
Labeling
5-62 テスト方法の概要
Summary of Test
Methods
(1) キーとなるステップを簡潔に列記することにより手順を予め概説する。
5-63 装置の準備
Preparation of
Apparatus
(1) テスト方法を実行するために必要な装置の準備またはセットアップの手順をステ
ップ毎に示す。
(2) 必要に応じてフローチャートを使用し、キーとなるステップを図で示す。
(2) このセクションの手順/インストラクションを命令法で記述する(すなわち、動
詞で始める)。例えば、(1)の原文は”Present a step-by-step procedure for preparing or
setting up the equipment required to carry out the test method.”であり、命令法で書かれ
ている。
(3) 特別なセットアップ手順を要する装置に限ってこのセクションを記述し、キャリ
ブレーションおよび標準化の手順は次のセクションに記述する。
5-64 キャリブレーション
および標準化
Calibration and
Standardization
(1) 装置のキャリブレーションおよび標準化の手順をステップ毎に示す。
(2) このセクションの手順/インストラクションを命令法で記述する(すなわち、動
詞で始める)。例えば、(1)の原文は”Give step-by-step procedures for calibrating or
standardizing the apparatus.”であり、命令法で書かれている。
(3) 装置が自動的にキャリブレーションおよび標準化を実行する場合は、このセクシ
ョンは記述しない。
(4) 各テストの前にキャリブレーションおよび標準化が必要な場合は、手順のセクシ
ョンに記述する。
5-65 精度とバイアス
Precision and Bias
(1) このセクションには、有資格のオペレータがそのテスト方法を使って達成するこ
とが期待される精度とバイアスについて記述し、この記述について、単一の研究
所または複数の研究所(ラウンドロビン)によるテストの結果だという説明をつ
ける。
#1 SEMI スタンダードのバロットで、開発中の対となるドラフトスタンダードを参照する必要がある場合は、その対となるスタン
ダードのタイトルには必ずしも触れずに、説明的な表現でその情報に言及する。そして、そのトピックをカバーするスタンダード
(暫定スタンダード、安全ガイドライン等)が SEMI スタンダード委員会によって開発されているという趣旨の注を記述する。委
員会名は必要に応じて特定する。
#2 このセクションに要約したテスト方法を記述するかわりに、そのテスト方法を別のスタンダードとして開発し、それをこのセク
ションに引用することも可能である。
#3 このセクションに装置の図を含めることが望ましい。
5.3 オージャリインフォメーションのセクション
5.3.1 スタンダードまたは安全ガイドラインに関連するオージャリインフォメーション(規約 13 章)と
なる付属書、関連情報、時限付き改訂、改訂履歴の各セクションの内容を表 9 に示す。
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表9
#
5-66
オージャリインフォメーションのセクション
セクション
付属書
Appendix
内容
(1) 付属書には、スタンダードや安全ガイドラインを実行するために必要な補足情報
を記述する。付属書は、これが添付されるスタンダードや安全ガイドラインの正
式部分である。
(2) 付属書は、これが添付されるスタンダードや安全ガイドラインの直後に続く。
(3) 付属書のタイトルについては、表 1 を参照すること。
(4) 各付属書には連番を振ること。
(5) 付属書の注意書きは必須である(表 11 の「付属書」を参照すること)。
(6) 付属書の段落番号は、“A#-”で始まり、その後に表 1 の「段落番号」に記述されて
いるアウトライン番号システムが続く。
5-67
関連情報
Related Information
(1) 関連情報には、スタンダードや安全ガイドラインを実行する上で必要ではない補
足情報を記述する。関連情報は、これが添付されるスタンダードや安全ガイドラ
インの正式部分ではない。
(2) 関連情報は、これが添付されるスタンダードや安全ガイドラインの関連情報の直
後に続く。関連情報がない場合は、これが添付されるスタンダードや安全ガイド
ラインの直後に続く。
(3) 関連情報のタイトルについては、表 1 を参照すること。
(4) 各関連情報には連番を振ること。
(5) 関連情報の注意書きは必須である(表 10 の「関連情報」を参照すること)。
(6) 関連情報の段落番号は“R#-”で始まり、その後に表 1 の「段落番号」に記述されて
いるアウトライン番号システムが続く。
5-68
時限付き改訂
Delayed Revision
(1) 時限付き改訂部分には、バロットを経て承認されたが特定の日まで有効とはなら
ない改訂を記述する。
(2) 時限付き改訂は、これが添付されるスタンダードや安全ガイドラインの付属書、
関連情報の直後に続く。付属書および関連情報がない場合は、これが添付される
スタンダードや安全ガイドラインの直後に続く。
(3) 各時限付き改訂には連番を振ること。
(4) バロットを経て出版を承認されたラインアイテムは、それぞれ別の時限付き改訂
セクションに記述する。
(5) 時限付き改訂のタイトルは 2 行からなる。「DELAYED REVISION # (発効日)」を
最初の行に書き、次の行に時限付き改訂のタイトルを書く。
(6) タイトルに続く注意書きは必須である(表 10 の「時限付き改訂」を参照するこ
と)。
(7) 時限付き改訂の段落番号は“D#-”で始まり、その後に表 1 の「段落番号」に記述さ
れているアウトライン番号システムが続く。
(8) そのスタンダードまたは安全ガイドラインの改訂が、後日有効になることを示す
時限付き改訂に関する注意を記述する。
(9) スタンダードまたは安全ガイドラインに時限付き改訂があることを示す注意は、
目的のセクションの前に配する。この注意書きは必須である(表 10 5.-78 の「時
限付き改訂」および「時限付き改訂(本文)」を参照すること)。
(10) 時限付き改訂の注意は、スタンダードまたは安全ガイドラインの本文中の後日変
更される箇所に挿入される(表 10 の「時限付き改訂」を参照すること)。
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SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
#
5-69
セクション
改訂履歴
Revision Record
内容
(1) 改訂履歴で文書の改訂を示す。文書の最後に配置し(付属書および関連情報の
後)、次の情報を含める。
•
サイクル — 文書が有効となった出版サイクル。SEMI スタッフが入力。
•
許可 — 修正手段(例えば、バロット、PIP)。SEMI スタッフが入力。
•
修正箇所 — 執筆者/委員会によりバロットのバックグラウンドステイトメントで
提示された修正箇所。
•
内容 — 執筆者/委員会によりバロットのバックグラウンドステイトメントで提示
された修正内容。
(2) 表のフォーマットに関するルールについては、表 3 の 4-30、4-32、4-33 を参照する
こと。
(4) 改訂履歴の注意書きは必須である(表 10 の「改訂履歴」を参照すること)。
(5) フォーマットの例については、付属書 3 を参照すること。
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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5.4 注意 (Notices)
5.4.1 スタンダードまたは安全ガイドライン内の正式な注意を表 10 に示す。注意に含まれる情報は SEMI
によって提供されたものであり、SEMI 以外の第三者による改訂対象とはならない。委員会はスタンダー
ド中の注意の使用を推奨することができるが、SEMI が決定する権利を保持する。
表 10
注意 (Notices)
名称
#
5-70
出版履歴
内容
(1) この注意には出版履歴を示す。SEMI スタッフにより入力および管理される。
Responsibility
Addendum
5-71
範囲の注意
Scope Notice
(2) 安全ガイドライン以外のスタンダードおよびガイドラインの範囲のセクションの
最後のパラグラフの後に、下記の注意を記述する。
注意: 本スタンダードは、その使用に関連した全ての安全問題を取り扱う
ことを意図していない。このスタンダードの使用者は、その責任におい
て、適切な安全および健康上実施すべき事柄を確立し、また使用前に法規
制やその他の制限への適用性を判断するものである。
5-72
範囲の注意
(安全ガイドライ
ン)
Scope Notice (Safety
Guidelines)
5-73
注意: 本安全ガイドラインは、その使用に関連した全ての安全問題を取り
扱うことを意図していない。この安全ガイドラインの使用者は、その責任
において、適切な安全および健康上実施すべき事柄を確立し、また使用前
に法規制やその他の制限への適用性を判断するものである。
関連スタンダードお (1) このセクションの最後に下記の注意を記述する。
よび文書
注意: 別途指示のない場合、引用された全ての文書は最新の出版バージョ
Referenced Standards
and Documents
5-74
(1) 各安全ガイドラインの範囲のセクションの最後のパラグラフの後に、下記の注意
を記述する。
注意および警告
Cautions and
Warnings
ンである。
(1) スタンダードの全文を通して、安全上その他の問題に対する注意および警告を適
切に記述する。
(2) 注意は適時「CAUTION(注意)」または「WARNING(警告」のように大文字
かつ太字で記述する。
(3) 特定の警告または注意が範囲のセクションの最後のパラグラフの一部として記述
される場合は、そのセクションを列記する。
5-75
付属書
Appendix
5-76
関連情報
Related Information
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(1) タイトルの次に、以下の注意が続く。
注意: 本付属書内資料は、SEMI [スタンダード番号を、発行日(月-年)コ
ード抜きで挿入] の公式な一部であり、完全な投票手順によって [担当地
区技術委員会による承認の日付を挿入] に承認された。
(1) タイトルの次に以下の注意が続く。
注意: 本関連情報は、SEMI [スタンダード番号を、発行日(月-年)コード
抜きで挿入] の公式な一部ではなく、[情報元を挿入] 活動から派生したも
のである。本関連情報は、[発行が承認された方法を挿入。規約 13.2 章を
参照] によって [承認日を挿入] に出版が承認された。
34
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
#
5-77
名称
時限付き改訂
Delayed Revision
内容
(1) タイトルの次に以下の注意が続く。最初の NOTICE は太字で記述する。
注意: この時限付き改訂は、投票を経て SEMI [委員会名を記述] で承認さ
れたが、後日有効となる変更内容を含んでいる。時限付き改訂部分は、
その有効日以前においては本文書の正式部分ではないが、[スタンダード
番号を記述] の本文は正式な版である。時限付き改訂部分は、それにより
変更、差し替えとなる部分以外の正式部分と矛盾しない限り、その旨を
表記し、有効日以前にその一部、あるいは全部を適用してもよい。
注意: 他の方法を示さない限り、付加した箇所にはアンダーラインをつ
け、削除した箇所には取り消し線をつける。
5-78
時限付き改訂(本
文)
Delayed Revision
(Main Document)
(1) スタンダードまたは安全ガイドラインに時限付き改訂があることを示す注意は、
目的のセクションの前に配する。その注意は以下の通りである。
注意: 本文書は、投票を経て SEMI [委員会名を記述] で承認されたが、後日
有効となる変更内容を含んでいる。変更箇所と有効日は、時限付き改訂 X に記
されている。時限付き改訂部分は、その有効日以前においては本文書の正式
部分ではないが、[スタンダード番号を記述] の本文は正式な版である。時
限付き改訂部分は、それにより変更、差し替えとなる部分以外の正式部
分と矛盾しない限り、その旨を表記し、有効日以前にその一部、あるい
は全部を適用してもよい。現在有効ではないが、後日有効となる改訂により
変更となる内容は、その状況を示す注意が付けられている。
(2) 時限付き改訂の注意は、スタンダードまたは安全ガイドラインの本文中の後日変
更される箇所に挿入される。その注意は以下の通りである。
注意: 時限付き改訂 X に示されている通り、[予定されている改訂を記述] は [改
訂の有効日を記述] の出版より有効になる。[委員会名を記述] 委員会は、[予定
されている改訂を記述] が有効日以前に [適用可または適用不可を記述] であ
る旨を投票により決定した。
5-79
最後の注意
End Notice
(1) 各スタンダードまたは安全ガイドラインの最後には、以下の注意を記述する。括
弧で括られたイタリック文字は、それが示す文書のタイプに置き換える。
注意: SEMI は本書に定められた [スタンダードまたは安全ガイドライン]
が個々のケースに適するか否かの保証も言明もしていない。[スタンダー
ドまたは安全ガイドライン] の適、不適を判断するのは使用者の責任とな
る。また、使用者は、本書で言及している文書や装置に関し、製造元の指
示、製品ラベル、製品データシート、そのほかの関連文献を必ず参照のこ
と。なお、この [スタンダードまたは安全ガイドライン] は予告なしに変
更されることがある。
(2) 規約 4.6 章により、各スタンダードまたはガイドラインの最後にある上記注意に
続き、以下の注意を記述することが定められている。ただし、特許に関する最後
の注意を記述する必要がある場合は除く。括弧で括られたイタリック文字は、そ
れが示す文書のタイプに置き換える。
この[スタンダードまたは安全ガイドライン]を発行することにより,SEMI
は,この[スタンダードまたは安全ガイドライン]の中に記載された各項目
に関連する特許権または著作権の効力の有無について責任ある立場にはな
い。各特許権または著作権の有効性および権利侵害の危険性についての判
断は,この[スタンダードまたは安全ガイドライン]を使用する利用者各位
の責任となる。
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
35
© SEMI 2006
名称
#
5-80
内容
最後の注意(特許) (1) スタンダードまたは安全ガイドラインに適合するために特許技術または著作権事
項の採用が必要となる場合について、規約 15.1 章では次の注意をスタンダードま
End Notice (Patents)
たはガイドラインの最後の注意の後に続けて記述することを定めている。括弧で
括られたイタリック文字は、それが示す文書のタイプに置き換える。
使用者は、この [スタンダードまたは安全ガイドライン] に準拠するため
に、著作権で保護された資料もしくは特許権で保護された発明の使用が必
要となる可能性があることに注意すること。[社名] は SEMI に(一つ選
択)(当該特許または著作権事項を、当該スタンダード(安全ガイドライ
ン)を実施する目的において、一般の人々が特定のライセンスなしに、ま
たロイヤリティその他の代価を支払うことなく使用してよい)(このスタ
ンダード(安全ガイドライン)を実施する目的において、世界中の希望者
に対して、不当な差別なしにライセンスが入手可能となる) と主張するス
テートメントを提出している。さらに、本 [スタンダードまたは安全ガイ
ドライン] のいくつかの項目は、上述された以外の特許技術もしくは著作
権事項の対象となる可能性があることも注意のこと。SEMI は特許技術ま
たは著作権品目のどれについても確認する責任ある立場にはない。本 [ス
タンダードまたは安全ガイドライン] を発行することにより、これに記述
された何らかの事項に関連して主張される特許権または著作権の有効性に
関して、SEMI が何らかの立場をとるものではない。こうした何らかの特
許権または著作権についての判断と、こうした権利を侵害する危険性は、
全てこの [スタンダードまたは安全ガイドライン] の利用者各位の責任と
なることを特に忠告する。
(2) 規約 4.6 章により、各スタンダードまたはガイドラインの最後にある上記注意に
続き、以下の注意を記述することが定められている。
Semiconductor and Equipment Materials International (SEMI) は、この [スタン
ダードまたは安全ガイドライン] の出版により、[スタンダードまたは安全
ガイドライン] に記述されているどの事項について主張されているどんな
特許権あるいは著作権の有効性に関しても、いかなる立場をとるものでは
ない。この [スタンダードまたは安全ガイドライン] の使用者には、この
ような特許権あるいは著作権の判断およびこのような権利を侵害する危険
性が、完全に使用者の責任であることを明確に忠告する。
5-81
注
Notes
5-82
改訂履歴
Revision Record
© SEMI 2006
注意: 「注:」で始まるパラグラフは、本安全ガイドラインの正式な一部
分ではなく、また正式な安全ガイドラインを変更したり、これに優先する
ことを意図したものではない。安全ガイドラインの利用性を向上させるた
めに委員会が付加したものである。
注意: 文書に加えられた改訂の履歴を次に示す。改訂履歴に対する反対票
は認められない。修正は PIP (Publication Improvement Proposal)フォームを
使用し SEMI スタッフを通じて行うことができる。
36
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
付属書 1
SEMI スタンダードのテンプレートスタイル
"StdsNumber"
"StdsNumber"
SEMI E90-0306
SPECIFICATION FOR SUBSTRATE TRACKING
"StdsTitle"
"StdsIndent"
This standard was technically approved by the global Information & Control Committee. This edition was
Responsibility
approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on November 29, 2005. It was
Addendum
available at www.semi.org in February 2006 and on CD-ROM in March 2006. Originally published
September 1999; previously published November 2005.
"StdsHead1"
1 Purpose
(Purpose –
1.1 The purpose of this standard is to provide the standard services of equipment to track substrates (manufactured
Required
product) in manufacturing equipment. This standard defines the concepts and behaviors for the information
management of substrates, as well as the messages/services.
Section)
2 Scope
"StdsHead2"
2.1 Essentially, information about substrates must be managed by the factory system, while the equipment
is
required to provide the services for the substrate information management. This standard addresses the requirement
for the equipment services to manage information of substrates that reside in the equipment.
(Scope –
NOTE 1: The scope of this standard is to define the information services of equipment that can be requested by the
Required
user. To clarify required services, the concepts and behaviors of the substrate, the substrate location, the batch
and
Section)
the batch location are defined.
NOTICE: This standard does not purport to address safety issues, if any, associated with its use. It is the
responsibility of the users of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the
applicability of regulatory or other limitations prior to use.
"StdsNote"
3 Limitations
3.1 This standard assumes that the substrate(s) to be managed has been resident in the equipment and has been
given a substrate identifier.
Scope
Scope
3.2 The service for a substrate is valid while the substrate is registered in the equipment. That is, the service
is
Notice
Notice
available from the moment that the substrate is registered into the equipment and, to the moment that the substrate
is
removed from the equipment.
3.3 This standard is only for information services. It does not address any mechanism to read or write information
"Stdstext"
from/to the substrate.
4 Referenced Standards and Documents
4.1 SEMI Standards
SEMI E30 — Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM)
SEMI E39 — Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services
SEMI E53 — Event Reporting
SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)
NOTICE: Unless otherwise indicated, all documents cited shall be the latest published versions.
(Referenced
Standards and
Documents Required
Section)
Referenced
Standards and
Documents
Notice
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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© SEMI 2006
5 Terminology
5.1 Definitions
(Terminology –
5.1.1 batch — a group of substrates to be processed in a process resource simultaneously.
Required
5.1.2 batch location — locations in the equipment where substrates visit as a group of substrates for Section)
storage or
processing.
5.4.2 batch container — a supporting structure that is used to hold substrates for processing, and it may visit
multiple locations in equipment with substrates in it. Whether a batch container is used or not depends on the type of
equipment. Typical example for a batch container is a “boat” used in furnace equipment.
NOTICE: SEMI makes no warranties or representations as to the suitability of the standard(s) set forth herein for
any particular application. The determination of the suitability of the standard(s) is solely the responsibility of the
user. Users are cautioned to refer to manufacturer’s instructions, product labels, product data sheets, and other
relevant literature respecting any materials or equipment mentioned herein. These standards are subject to change
without notice.
By publication of this standard, Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) takes no position
respecting the validity of any patent rights or copyrights asserted in connection with any item mentioned in this
standard. Users of this standard are expressly advised that determination of any such patent rights or copyrights, and
the risk of infringement of such rights are entirely their own responsibility.
End
Notice
Copyright
Notice
Key
Copyright by SEMI® (Semiconductor Equipment and
Materials International), 3081 Zanker Road, San Jose, CA
95134. Reproduction of the contents in whole or in part is
forbidden without express written consent of SEMI.
Blue = Style Naming Scheme to be
Applied
Green = Required Notices
注 1: この注意書きは全ての文書に必要である。
Orange = Required Sections
注 2: この章は全ての文書に必要である。
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SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
付属書 2
SEMI スタンダードフォーマットの例
SEMI Draft Document ####
NEW STANDARD: SPECIFICATION FOR ...
図 A2-1
バロット番号とタイトル
SEMI A##-MMYY
SPECIFICATION FOR ...
図 A2-2
スタンダード番号とタイトル
1 Purpose
図 A2-3
見出し 1 のタイトル例
1.1 Introduction — Text ...
1.1.1 Application — Text ...
1.1.1.1 Text ...
1.1 Introduction
1.1.1 Text ...
1.1.2 Text ...
図 A2-4a と A2-4b
見出し 2 以下のタイトル例
Figure 1
Side Load Test Apparatus
図 A2-5
図のタイトル例
NOTE: This apparatus is to be made out of stainless steel.
Figure 1
Side Load Test Apparatus
図 A2-6
注意書きのついた図のタイトル例
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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付属書 3
改訂履歴のフォーマット例
Revision
History Notice
"StdsTitle"
REVISION RECORD
NOTICE: The following information is provided to track revisions to this document. Negative votes may not be
cast against this information. Changes can be submitted to SEMI Staff via a Publication Improvement Proposal
(PIP) form.
"Stds Table
Head”
Cycle
Authorization
Section
Description
0305
Ballot 3907
Entire Document
This revision combines most of SEMI M1 with parts of SEMI M18 to form a
new set of specifications that includes:
Purpose, a new scope, referenced standards, ordering information
(consolidated with some of SEMI M18), requirements (assembled from
several existing sections in SEMI M1), sampling, test methods, certification,
and packing and shipping container labeling sections;
Basic polished wafer specifications (developed by the Basic Wafer
Specification TF);
The two appendices and one related information section included in previous
editions of SEMI M1; and
A new related information section on detailed discussion of test methods,
based largely on material previously in SEMI M28.
A new table of contents has been added to make it easier to locate specific
information in the standard, and the terminology section of SEMI M1 was
combined with SEMI MF1241 and issued as SEMI M59. The EDI codes from
SEMI M18 remain in that standard.
"Stds
Table Text"
Key
Blue = Style Naming Scheme to be
Applied
Green = Required Notice
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SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
付属書 4
共通して使用される記号およびコマンド
表 A4-1 記号
記号
名称
ルール/使用法
§
セクション
文書のあるセクションやサブセクションを特定する場合に使用す
る記号である。特定された箇所は、番号の振ったパラグラフまた
は記号に続いて番号が振られたヘッダとそれに続くレベルのヘッ
ダとパラグラフ、その中の例外や(ビュレットまたは番号が振ら
れた)項目を参照する。例えば、§ 9.2 は 9.2, 9.2.1, 9.2.2, 9.2.3 を参
照していることを意味する。§§のように記号を二つ使用するの
は、複数のセクションまたはサブセクションを参照する場合であ
る。
¶
パラグラフ記号
文書のあるパラグラフを指定する場合に使用する記号である。特
定された箇所は、記号に続いて番号が振られたパラグラフとその
中の例外や(ビュレットまたは番号が振られた)項目を参照す
る。ただし、それに続くヘッダやパラグラフは含まない。例え
ば、¶ 9.2 は 9.2 のみを参照することを意味し、9.2.1, 9.2.2, 9.2.3,
9.2.4 は含まない。¶¶のように記号を二つ使用するのは、複数のパ
ラグラフを参照する場合である。
±
プラス/マイナス
数学的に使用する
µ
マイクロ
数学的に使用する
マイクロメートル
(ミクロン)
数学的に使用する
x̄
平均(サンプル平均)
数学的に使用する
s
サンプル標準偏差
数学的に使用する
数学的に使用する
µm
ν
変動係数
n
観測数
数学的に使用する
=
イコール
数学的に使用する
+
プラス
数学的に使用する
⁄
除法
数学的に使用する
×
乗法
数学的に使用する。倍率を示すのに使用することもある。
−
マイナス
• 引き算およびゼロ以下の数を表すにはマイナス記号を使用す
る。
• ゼロ以下の数を示すには、マイナス記号と数の間にスペースを
置かない。
• 表中ではマイナスおよびプラス記号を上下に配置させる。
<
未満
数学的に使用する
>
超過
数学的に使用する
≤
以下
数学的に使用する
≥
以上
数学的に使用する
≈
Almost Equal to
数学的に使用する
∑
合計
数学的に使用する
√
平方根
数学的に使用する
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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記号
名称
ルール/使用法
™
商標
商標は一般名詞の修飾として使用する(例えば、NanoSpec™
gauge)。
©
著作権
著作権事項を使用する場合は、合法的に適切な手続きに則ってこ
の記号を使用すること。
®
登録
国で登録されたものであれば、®記号をその用語の直後に付ける
(例えば、SEMI®)。
括弧
1 つ以上で 6 レベル以下の括弧を使用する場合は、この順番で使
用する。
{ [ ({[(
)]})
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]}
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SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
付属書 5
スタンダード番号の構造
3
5
1
7
E54.11-0701aE (Reapproved 1106)
2
4
6
スタンダードの分野
カテゴリ表記
プロセスケミカル、ガス
C
フラットパネルディスプレイ
D
装置、ハードウェアとソフトウェア
E
設備
F
パッケージング
G
材料
M
シリコン材料、プロセスコントロール(旧 ASTM スタンダード)
MF
MEMS
MS
P
マイクロリソグラフィ
安全ガイドライン
S
トレーサビリティ
T
個別に出版されたオージャリインフォメーション
AUX
提案スタンダード(上記の分野のいずれかに収められている)
PR#1
#1 今後はこのカテゴリ表記を使用しないが、参考までに含めている。
部分
#
説明
例
1
カテゴリ表記
スタンダードの分野を示す。上記の表を参照のこ
と。
2
スタンダード番号
それぞれの分野で承認された各スタンダードに順番
で割り振られる。
1, 2, … 54…144…n
3
サブ文書番号
親文書のある各サブ文書に順番で割り振られる。視
小数点をつけることにより、カテゴリ番号と区別す
る。
.1, .2, … .9
4
出版年月
正式に出版された年 (yy)、または月と年の両方
(mmyy)を示す。ハイフンをつけることにより、カテ
ゴリ表記やサブ文書番号と区別する。
-96, -0301
5
時限付き改訂接尾辞
文書は技術的に修正されたが、その修正は正式に出
版されているスタンダードにすぐには有効にならな
いことを示す(時限付き改訂のセクションが文書に
追加されている)。
a, b, c
6
エディトリアルチェンジ バロットを必要としない修正を示す。PIP (Publication
Improvement Proposal) フォームを使用して修正がで
きる。
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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C, D, MF
E
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部分
#
7
© SEMI 2006
状態
説明
例
フルコンセンサススタンダードではない場合の現在
の出版スタンダードの状態を示す。
44
(Preliminary),
(Interim),
(Reapproved mmyy),
(Withdrawn mmyy)
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
付属書 6
一般的に使用される単語の推奨されるスペリング
A
acidproof
alignment (not alinement)
Aloxite (trademark, instead use aluminum oxide)
appendices (pl)
assure (to convince)
B
burette (not buret)
C
cancel (not cancell)
catalog (not catalogue)
cleanroom (not clean room)
chem-mechanical (as in chem-mechanical polishing)
customer (not preferred, use purchaser)
D
data (pl, but may be used in collective singular sense with singular verb)
datum (pl, data)
disk (not disc)
E
ensure (to make sure/certain of)
et al. (abbr. for et alii)
F
fiberglass (not fibreglass)
flowmeter
G
gauge (not gage)
gray (not grey)
ground water (not groundwater)
H
heat treat (v) (not heat-treat)
heat-treated (adj)
I
indexes (pl) (except, use indices in a mathematical context)
insure (to guarantee financially)
in situ (in place) (never hyphenated)
K
Kel-F (trademark, instead use polychlorotrifluoroethylene)
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
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© SEMI 2006
L
liter (unit of volume, symbol: L) (not litre)
Lucite (trademark, instead use poly(methyl methacrylate) [PMMA])
M
machinability (not macineability)
meter (unit of length, symbol: m) (not metre)
microscopic (meaning very small)
microscopical (meaning pertaining to use of a microscope)
minienvironment
Mylar (trademark, instead use polyester film)
N
Nujol (trademark, instead use light mineral oil)
O
O-ring (n and adj)
P
period (preferred to time frame)
pipette (not pipet)
Plexiglas (trademark, instead use acrylic plastic)
poly (vinyl chloride) (PVC)
Pyrex (trademark, instead use borosilicate glass)
R
real time (n)
real-time (adj)
road map (except when referring to the National Technology Roadmap for Semiconductors [NTRS], use roadmap)
rust proof (v)
rust-proof (adj)
S
saran (lc)
Scotch tape (trademark, instead use pressure-sensitive tape)
Stokes’ law (lc “l”)
sulfur (not sulphur)
T
Teflon (trademark, instead use TFE-fluorocarbon or polytetrafluoroethylene [PTFE])
Tygon (trademark, instead use vinyl)
U
usage
user (not preferred, use purchaser)
© SEMI 2006
46
SEMI STANDARDS STYLE MANUAL
V
Vaseline (trademark, instead use petroleum jelly)
vendor (not preferred, use supplier)
V-groove (n and adj)
viscometer (not viscosimeter)
V-notch (n and adj)
Vycor (trademark, instead use high-silica)
W
wavelength (not wave length)
wave number (not wavenumber)
X
X ray (n)
X-ray (adj and v)
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