2011-2012 CW/QCW Lasiris™シリーズ Lasirisシリーズの特長『ノンガウシアン（均一）ビーム』 シリンドリカルレンズを使った他社製レーザ： ノンガウシアン（均一）なビーム ガウシアン（正規分布曲線）なビーム ■ストラクチャ・ライト（光）とは？ ストラクチャ・ライトとは、 ドット、ライン、グリッド、多重サークルなどのパターンを物体にあ る角度で投射した時の光のことを意味します。この投射技術はイメージングや3次元情報 ライン上の相対位置 を得るのに最適な方法です。最も一般的なライト・パターンは、ビーム光をシート状の光に 拡げることによって得られるパターンです（※図１参照）。シート状の光が物体に当たる時、 Lasiris Laser ライン上の相対位置 相対強度 Lasiris： 相対強度 ため、3次元計測、非破壊検査、バイオ応用 （フローサイトメトリーなど）等、さまざまな応用に最適です。 相対強度 Lasirisシリーズは、高性能グレーティングおよび独自の光分散レンズを搭載し、レーザ光走査なしでマルチパターンを投光することが できるストラクチャレーザダイオードです。従来のシリンドリカルレンズを使用したタイプと比べ、パターン強度の均一性に優れている 今日市場にある一般的なレーザ・ライン・ジェネレータは、シリンドリカルレンズが使用されています。この手法を用いると、ビームはガウシ アン（正規分布曲線）になります。一方Lasirisシリーズは、コヒレント社独自の光分散レンズを用いることにより、軸外においても高密度でノ ンガウシアン（均一）なライン状のビームを発生させることが可能となります。 相対強度 ストラクチャレーザダイオード 図1 All-Solid-State & LD Modules ライン上の相対位置 ライン上の相対位置 他社製レーザ Lasiris Off-Axis Laser 他社製レーザ （軸外） （軸外） 輝度の高い線状の光が物体の表面上に現れます。この光の線を、ある決まった角度から観 測すると、線の歪みが物体の高低差として認識することができ、形状を測定することが可 能になります。 ●特長①：エネルギー効率に優れた投光を実現 ガウシアンビームではビームの両端の強度が弱くなってしまいますが、Lasirisレーザの場合はこの欠点を克服し、ビームの両端まで 高密度を実現しています。 ■物体の形状情報の把握とストラクチャ・ライトの応用エリア 光で物体をスキャンすると、物体の3次元の形状情報を得ることができます。これが3次元のマシ Lasiris： ンビジョンにおける原理です（※図2参照）。 マシンビジョンのアプリケーションにおいて、ストラクチャ・ライトは物体の形状を認識するのに シリンドリカルレンズを使った他社製レーザ： 中央（Point B）ではビーム密度が高く、端（Point A）に行くほどビーム 強度が下がる。 Point AとPoint Bで均一なビーム強度 強度 用いられるだけでなく、物体の位置を正確に把握することも可能となります。これらの特長によ 強度 り、ストラクチャ・ライトは工場のアセンブリラインでの工程や品質の管理に活用されています。 例えば、物体のアライメントや検査に役立てられています。ストラクチャ・ライトを利用したシステ ムを使うことにより、アセンブリラインでは工程の再現性・精度を著しく向上させ、アセンブリラ ライン幅 Point A Point B インの自動化を実現しています。 アセンブリラインに限らず、信頼性と精度が要求されるエリアでストラクチャ・ライトが多く活用 されています。 図2 ガウシアンビームの光密度が均一でないと、CCDのキャリブレーションは困難となります。なぜならビーム中央の高輝度な箇所の ピクセル部で一度キャリブレーションを行い、再度ビームの端と中央の間辺りのピクセル部でキャリブレーションする必要がある からです。また、光密度が低いビーム端の部分は不可視になり、システムが認識できないので、キャリブレーションを行えません。 一方ノンガウシアンビームの場合は、キャリブレーションは1か所のみとなるため理想的な計測が可能となります。 図3∼5は、実際にLasirisシリーズが利用されている例です。 応 用 例 図3 Off-Axis Angle Lasiris SNF ColdRay PowerLine Magnum II マシンビジョン ● ● ● ● 工業用検査 ● ● 3 次元等高マッピング ● 位置決め可視化 ● フローサイトメトリー ● 高精度アライメント ● バイオ検出 図4 ● ● D=ワークディスタンス Lasirisレーザをご発注いただく際には、ファンアングル（投射角）、ライン幅、 ワークディスタンス（投射距離）のご指定が必要になります。また、投光パター ンについてもご選 択 願います。 （投 光 パターンに関しては、下記を参照くだ 高速工業用検査 ● 3 次元検査・マッピング ● ● ● 流れの可視化 ● メディカル応用 ● 蛍光誘発検査 ● 高温のスチール板 ● ● FA=ファンアングル L=ライン幅 さい）。 ■Lasirisシリーズレーザの投光パターン例 マルチストラクチャビーム 高速道路・鉄道のインスペクション ● 湾曲の検査 ● ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 90° ■ファンアングル（投射角）、ライン幅、ワークディスタンス（投射距離) ● 分光学 物体に対して直角に レーザ光を投射 ● コンフォーカルマイクロスコープ 物体に対して軸外の 角度からレーザ光を投射 90° シングルドット 図5 21 Point B ●特長②：キャリブレーションが容易 Lasirisシリーズの各製品はマシンビジョン以外でも、以下の応用エリアで利用されています。 応用例/モデル名 ライン幅 Point A スポットビーム http://www.coherent.co.jp/ http://www.coherent.co.jp/ シングルライン マルチライン ラインビーム クロスヘア ドットライン 7x7 ドットマトリクス シングルサークル 7重サークル シングルスクエア ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 22 2011-2012 CW/QCW Lasiris™ Flat Top Projector 光学 ユニット Lasiris SNF レーザラインジェネレータ & ストラクチャパターン コヒレントのフラットトッププロジェクタは、 下記仕様範囲のレーザと組み合わせることにより、 真のトップハットパフォーマンスを提供します。高周波の干渉ノイズを引き起こす重ね合わせの Lasiris SNFにはビームシェーピングオプティクスが取り付けられ、通常のドットビームを異なる形や サイズにすることが可能です。多くのレーザはグラスロッドを用いてガウシアンラインにレーザの 技術と比較し、非常に低リップルで非常にスムースな空間特性が得られます。加えてビームを分 割するDOEと従来のオプティクスを組み合わせて様々なパターンを高効率（97％以上）の出力で ドットを拡げる手法を採用しているのに対して、光のガウシアン発生を消去する独自の光学ライン ジェネレータを採用しています。この優れたライトパターンを実現するデザインは、設置時のアライ 投光が可能です。 メントやディテクタのキャリブレーションを必要としない理想的な運用を実現しています。 ● ● 高周波ノイズのない、スムースでローリップルな 均一プロファイル ● 出力タイプ （1次元のフラットトップ、2次元のフラットトップ） 99ラインビームまでカスタマイズ可能 ● ◆入出力プロファイル ガウシアン（入力） 外形図：p 122 入力ビームの性能要求 全ガラスオプティクス採用により高効率 アクロマティック構造（UVからNIRまで） フラットトップ（出力） ビーム径 波長 ガウシアンフィット 空間モード ビーム拡がり ● 200 mWまでの出力 ±15%以内に均一化されたラインジェネレータ ● 豊富なビームパターンとファンアングル ● フォーカス機能付 ● 0.5 ∼ 4 400 ∼ 1200 97 TEM00 コリメートないし疑似コリメート mm nm % IR レッド フラットトップ プロジェクタ ● All-Solid-State & LD Modules 外形図：p 123 光学仕様 発振波長 出力 注1） 強度分布 注1） ファンアングル ボアサイト NIR nm 635 660 690 785 810 830 mW 1,5,10,15,35 1,5,10,20,35,50 20,35 20,35,75,90 100,200 30,100,150 長さ方向：均一（ガウシアンでない）, 幅方向：ガウシアン ° 1, 5, 10, 15, 20, 30, 45, 60, 75, カスタム mrad ＜3 ※入力レーザ光は安定した出力を得るため、特定の条件を満たす必要があります。ご相談ください。 Lasiris Mini フラットトップ出力仕様 High Efficiency Dimensional Flat Top Uniformity High Uniformity Dimensional Flat Top Uniformity Dimensional Flat Top Transmission Diverging Flat Top Transmission Focused Flat Top Contained power typical ＞85% CV uniformity typical ＜5%, down to ＜1% possible CV unifomity ＜±20%, contained power ＞85% Contained power ＞95% Contained power ＞90% IR レッド 小型IR/レッドレーザ（パターンプロジェクタ） Lasiris Miniは小型、軽量でありながら、均一な強度のラインビームが得られる超小型レーザ (パターンプロジェクタ）です。 ◆プロジェクション例 ● コンパクトLDモジュールColdRayに取り付けた場合 ● ワークディスタンス（mm） 45 フラットトップ長（µm, 1/e2） 60 ガウシアン長（µm, 1/e2） 10 CV 均一性（%） フォーカス機能付 ● ESD、過剰温度、逆極性に対する保護対応 ＞60 外形図：p 123 光学仕様 発振波長 出力 強度分布 ファンアングル ボアサイト ● ◆標準フローサイトメトリ向けオプション例 出力（%） コンパクト設計、軽量（12g） 豊富な出力、ビームパターン、ファンアングル nm mW 635 1, 5, 10 ° mrad 660 1, 5, 10, 20, 35 690 785 20, 35 Lasiris Green ＜1（ファイバーカップリング）, ＜1.5（フリースペース） 830 30 カスタム − 長さ方向：均一（ガウシアンでない）, 幅方向：ガウシアン 1, 5, 10, 15, 20, 30, 45, 60, 75, 120, カスタム ＜3 グリーン 小型グリーンレーザ（パターンプロジェクタ） Lasiris Greenは内部フォトダイオードによって安定した出力を実現します。集光スポットは円形で すが、光学ラインジェネレータを組み合わせることにより、均一な光を出射することが可能です。 この集光が可能なレーザはアライメント、検査、 マシンビジョンで応用されています。 ● ● 光学仕様 均一な強度を実現 ● 豊富な発振パターンが選択可能 ● Lasiris ColdRay UV バイオレット ブルー 外形図：p 122 532 ±1 1, 5, 10 TEM00（ガウシアン） ＜1.5 10（温度が一定の場合は5％） ＜3 発振波長 nm 出力 mW 空間モード 2 M 出力安定性（環境温度変動時） % ボアサイト mrad ● ■ マルチストラクチャビーム ESD、過電圧、逆極性に対する保護対応 レッド サーモエレクトリッククーラー内蔵型 コンパクトLDモジュール Lasiris Green PowerLine Lasiris ColdRayは、小型設計でありながらサーモエレクトリッククーラーを内蔵することに より、長寿命、優れた波長、出力、位置安定性を実現します。フラットトッププロジェクタと サーモエレクトリッククーラー内蔵ストラクチャライトグリーンレーザ 組み合わせて、ストラクチャビーム出力での供給が可能です。 Lasiris Green Power Lineは、サーモエレクトリッククーラーを内蔵したストラクチャライトレーザです。 LDの温度を一定に保つことにより波長、出力、ビーム位置安定性に優れています。調整用スクリュー ● 発振波長：375, 405 , 445 , 473 , 640 , 660 nm 優れた波長及び出力安定性 ● 高ビーム位置安定性 ● フラットトッププロジェクタと互換性あり ● 23 高出力、高視認性、高コントラストレーザ 高出力安定性 光学仕様 発振波長 nm 波長精度 nm 最大出力 mW 出力（コリメーション後） mW 2 mm ビーム径（1/e ） mrad ビーム拡がり角 空間モード 外形図：p 122 375 405 ±5 +8/-5 20 120 15 90 2.6 x 1.0 2.3 x 1.1 ＜0.6 が直接本体に装備されているため、簡単に焦点合わせが可能となっています。 445 473 ±5 20 15 2.8 x 1.1 50 35 2.6 x 1.0 ＜0.7 TEM00（M2≦1.2） 640 660 ±10 80 150 60 75 2.8 x 1.3 2.2 x 1.3 ＜0.8 ● 高出力、高視認性、高コントラストレーザ 外部フォーカス機能付 ● 均一な（ノンガウシアン）ラインビーム特性 ● ※仕様の詳細についてはお問い合わせください。 ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 グリーン 光学仕様 発振波長 nm 出力 mW 空間モード 2 M（典型値） 偏光消光比（典型値） ボアサイト mrad 外形図：p 122 532 50, 100 TEM00（ガウシアン） 1.6 4：1 ＜3 ※仕様の詳細についてはお問い合わせください。 http://www.coherent.co.jp/ http://www.coherent.co.jp/ ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 24 2011-2012 CW/QCW ■ ラインビーム ■ スポットビーム Lasiris™ Magnum II IR レッド 高出力LDラインジェネレータ Lasiris DLS & DLSC 楕円（DLS）、円形（DLSC）スポットライトレーザ Lasiris Magnum IIは、産業組込み用に開発された高出力ラインジェネレータです。サーモエレクト Lasiris DLS/DLSCは焦点調整が可能で、ビーム質に優れたレーザダイオードモジュール です。多くの応用でHe-Neレーザの代用品として使用されています。DLSは、1：3の楕円 スポットに集光が可能で、DLSCは回折限界の円形ビームタイプです。 ドでの動作が可能です。出力やLDの動作電流、温度などは電圧で外部モニタが可能で、オプショ ンにてこれらの値はLCDをバックパネル上に配置してモニターできます。LDの寿命をユーザがモニ ● ターすることを可能にする寿命カウンターが標準で搭載されています。 ● ● 均一な（ノンガウシアン）ラインビーム特性 非常に高い強度 ● ● モデル名 nｍ 発振波長 注1） ダイオード出力 mW ビーム出力 mW 強度分布 ° ファンアングル 注2） レンズのファンアングル 注2） ° Magnum 500 635 500 400 豊富な出力モデルとファンアングル 高ビーム位置安定性 Magnum 500 Magnum 1000 680 500 400 楕円/円形ビーム 光学仕様 豊富な波長と出力モデル ● フォーカス機能付 ● ● 外形図：p 122 光学仕様 IR レッド リッククーラーを内蔵し一定の温度にLDを維持することにより、優れたビーム位置やフォーカス安 定性を実現します。レーザビームは外部信号により変調が可能で、連続発振ないし外部変調モー ● All-Solid-State & LD Modules Magnum 1500 Magnum 2000 665 810 1000 1500 2000 800 1200 1600 長さ方向：均一（ノンガウシアン）, 幅方向：ガウシアン 10, 15, 20, 30, 40, 45, 55, 60, 75 10, 15, 20, 30, 40, 45, 55, 60, 75, またはカスタム Magnum 4000 810 4000 3200 Magnum 7000 808 7000 5600 外形図：p 122 nm 635 660 mW 1/5/10/15/35 1/5/10/20/35/50/100 mW 1/5/10/15/35 1/5/20/35/50 mrad 発振波長 DLS DLSC 出力 ESD、過剰温度、過電圧、逆極性に対する保護対応 衝撃や振動に強い頑丈なデザイン ボアサイト 690 20/35 20/35 ＜3 785 20/35/75 20/35/75 Red OEM LD Modules 830 30/100/150 100/150 レッド レッドOEMレーザダイオードモジュール OEM組込用の低価格レッドレーザダイオードモジュールです。用途 に応じて、円形/楕円ビーム、ラインジェネレータ、低ノイズタイプより ご選択頂けます。ご希望の波長、出力、パッケージをご選択頂き、 注 1）±10 nm。 注2）4000 mWおよび7000 mWのモデルでは10°と15°は選択いただけません。 お問い合わせください。 Lasiris PowerLine UV バイオレット ブルー レッド IR ● 円形或いは楕円ビームプロファイル 長寿命（＞10,000 h MTTF @ 25 ℃） ● ESD（静電気対策）Level 3対応済 小型高出力ラインジェネレータ（UV∼IR） ● Lasiris Power Lineは、小型で高出力のラインジェネレータです。UVからIRまで豊富な発振波長 モデルがラインアップされています。サーモエレクトリッククーラーを内蔵することにより、優れ ● たビーム位置安定と集光性能が幅広い動作温度レンジで実現されています。レーザ発振は連続 （CW）ないし、バックパネルのDB-9に外部変調シグナルを入れてのパルス発振が可能です。 ● ● ● 特許製造技術 AlignLockTM採用によりアライメントフリーを実現 低ノイズ（ULNのみ：1%以下） CDRH対応電源（オプション）供給可能（ULNのみ） TEC（サーモエレクトリッククーラー）採用により高性能（ULNのみ） アプリケーション フローサイトメトリー ■ 高速スクリーニング コンフォーカルマイクロスコープ ■ パーティクルサイジング・カウンティング ■ DNA／プロテイン解析 ■ 各種研究用途 ■ ■ ● 小型パッケージで高出力 光学仕様 均一な強度分布を実現 ● フォーカス機能付 ● ● 外形図：p 123 モデル名 ESD、過剰温度、過電圧、逆極性に対する保護対応 発振波長 ダイオード出力 ビーム出力 強度分布 レンズのファンアングル ライン幅（フォーカス点） ボアサイト nｍ mW mW PL UV 375 150 112 ° mrad Lasiris TMFL PL Violet PL Blue PL Red PL IR 405 445 670 810 600 500 500 1000 2000 450 375 375 750 1500 長さ方向：均一（ノンガウシアン）, 幅方向：ガウシアン 10, 15, 20, 30, 40, 45, 55, 60, 75, またはカスタム ユーザにて調整が可能 ＜3（コリメートされた状態にて） 仕 様 VLM2 635 nm 4 mW E VLM3 670 nm 4 mW E VLM2 670 nm 7.5 mW E 部品のような小さなパーツの精密測定、3次元輪郭マッピング、バイオ応用等に最適です。 nm mm μm mm ％ TMFL 55 0.2 55 9 5 ∼ 10 （品番：31-1050） VLM3 650 nm 1.6 mW C 1.3 mm 光学仕様 TMFL 120 TMFL 125 1 120 125 25 10 ∼ 30 ≦25 発振波長 出力（LD） 強度分布 ボアサイト 波長（nm） 出力（mW） 635（＋7/−2） 4.2 670（±10） 7.5 スポット径（ｍｍ） ビーム拡がり角（mrad） 5.8 x 1.7 0.2 x 0.6 筐体長さ（mm） 31.6 4.6 x 1.3 0.2 x 0.7 18.5 3.4 x 1.3 0.3 x 0.8 28.3 0.7 33.4 0.8 25.4 Lead Length（mm） 914 304 P/N 0221-534-00 0220-968-00 0223-038-00 VLM パッケージ（円形/連続発振）モデル VLM2 635 nm 4 mW C 1 mm 均一なライン幅と強度分布 ライン幅：最大60 mm モデル名 焦点深度 標準照射距離 ライン幅 ラインの長さ ラインの均一性 ◆LabLaserTM用電源（オプション） （品番31-1001） 外形図：p 116 VLM パッケージ （楕円形/連続発振）モデル Lasiris TMFLは、独自のテレセントリック光学系を用い特定の距離において9 μｍ（1/e2）の極細な ラインビームを、最大60 ｍｍまでの長さで均一に発振するマイクロフォーカスレーザです。電子 ● ◆ユニバーサルLDモジュール電源（オプション） レッド 極細テレセントリックレーザ ● ◆VLMシリーズ 635（＋7/−2） 4.2 650（±5） 1.6 1.3 914 0222-200-00 0222-002-01 外形図：p 123 nm mW mrad 660 100 長さ方向：均一（ノンガウシアン）, 幅方向：ガウシアン ＜3 30 ∼ 60 FVLM（フォーカス機能付） FVLM2 635 nm 1.8 mW 60° ULN シリーズ LabLaser 635 nm 5 mW C ULN with Power Supply Included ※ラインの長さはカスタム設計できます。 波長（nm） 出力（mW） 635（＋7/−2） 1.8 波長（nm） 出力（mW） 635（＋7/−2） 5 スポット径（ｍｍ） ビーム拡がり角（mrad） 1.0 調整可能 60°x 1 調整可能 スポット径（ｍｍ） ビーム拡がり角（mrad） 1 1 筐体長さ（mm） Lead Length（mm） P/N 48 ∼ 53.3 610 0220-846-00 筐体長さ（mm） Lead Length（mm） P/N 136 457 31-0144-00 ※VLM2、VLM3、LabLaserには専用可変アングルマウントが供給可能です。 25 ※仕様の詳細についてはお問い合わせください。 ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 http://www.coherent.co.jp/ http://www.coherent.co.jp/ ※本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。 26
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