非接触ウェハ形状測定装置仕様書（簡略版） ＊詳細は打合せにより決定。 有限会社エイエフテック 〒358-0031 埼玉県入間市新久８２０番地６４ TEL&FAX：042-936-4776 担当：笠原隆樹 E-mail：[email protected] URL：http://www.aftec.co.jp ＜概要＞ 本機は可視光半導体レーザ（赤色）を使った非接触ウェハー形状測定装置です。 最小分解能 0.1μｍ、σ再現性 0.２μｍを実現し、対物レンズの駆動範が １０ｍｍと大きくなっております。また、５００μｍ／秒の速度で合焦出来 るため、自由曲面等の 連続追従 を得意としています。 これらの機能を使い、ウェハー面等の形状、粗さを測定いたします。 測定物に触れることなく、その断面形状、３Ｄ面形状、Ｒ値、そり、ＴＴＶ、 ＬＴＶ、ＴＩＲを測定します。また、 粗さを測定でき、マスターの測定結果を基準とした良否判定機能も有します。 ＜特長と原理＞ １．可視光半導体レーザによる非接触測定方式の採用により、被測定物にダメージを与 えにくい。 ２．レーザ実出力３９０μＷ以下のクラス１レーザ機器のため、安全性が高い。 ３．最小分解能 0.1μｍ、σ再現性 0.２μｍを実現。 ４．レーザスキャン方式に比べ、圧倒的に死角が少ない。 ５．被測定物の色に左右されない。（コントラストがまったくなくてもピントが合う） ６．レーザスポットが赤い為、どこを計っているのか目視確認できる。 ７．検出器に高性能４分割ディテクターを使用。ＡＤ変換とマイクロプロセッサーによ り測定面を分析し、最適なピント位置へ導入。その後、アナログ回路へ引き渡し、 ゼロクロス機能にて正確な位置決めを行う ハイブリッドＡＦ機構 搭載。 ８．高精度リニアスケールの取付により、定量的な測定系を実現。 ９．被測定物の反射率が１％以下でも正確にピントが合う。 ＜装置仕様＞ １． Ｘ軸 １５３[ｍｍ],マイクロステップ０．１[μｍ／Pulse] ２． Ｙ軸 １５３[ｍｍ],マイクロステップ０．１[μｍ／Pulse] ３． Ｚ軸 ５０[ｍｍ],マイクロステップ０．１[μｍ／Pulse] （全ストロークオートフォーカス式レーザ変位計駆動可能） ４． レーザ変位計顕微鏡部 最小分解能 ０．１[μｍ] 再現性 σ＝０．２[μｍ]（ウェハー面２０回測定時） ストローク １０[ｍｍ] 使用レーザ ６７０[ｎｍ] 赤色半導体レーザ レーザパワー ２３５[μＷ] レンズ出力 安全クラス クラス１ リニアスケール ハイデンハイン社ＬＩＦ１０１Ｒを顕微鏡ユニット直近に組込み Ｙ方向スキャン測定 ５． 撮像系 結像レンズ焦点距離 ２００[ｍｍ] ６． １／２インチモノクロＣＣＤカメラ ７． 対物レンズ Ｎｉｋｏｎ CF IC BD Plan DIC ELWD 100Ｘ, 50X, CF IC BD Plan DIC 20X, 10X, 5XA 全体物レンズノマルスキー微分干渉観察対応レンズ ＊なお、計測は 50X, 100X で行い、5X,10X,20X は主に観察用としてご使用ください。 ８． 筐体 ９． ステージドライバＢＯＸ １０．防振マウント １１．非常停止スイッチ（コンピュータを除くドライバ電源を遮断、自動復帰無し） １２．ＡＣ−１００[Ｖ]プラグ（８００ＶＡ max） １３．パトライト １４．コンピュータ（WindowsXP Pro） １５．１７ＴＦＴ液晶モニタ １６．インクジェットプリンタ １７．パソコンラック １８．ビデオキャプチャーウインド １９．ウェハー計測専用制御ソフトウェア（別途仕様書あり） ２０．微分干渉観察系（ノマルスキープリズム）機構組込み（Ｎｉｋｏｎ製） ２１．ウェハ吸着用セラミックピンチャックを２種類用意 定形ウェハ用 ：２・３・４・５・６インチウェハ用（第１、第２オリフラあり） 不定形ウェハ用：２∼６インチウェハ用（オリフラなし） ２２．ウェハ固定治具を２種類用意 定形ウェハ用 ：オリフラ基準固定用治具 不定形ウェハ用：外形基準固定用治具、ＯＨＰフィルム、テープカッターを併用する。 ２３．Ｘ−Ｙ軸精度 ： ２．５＋２．５Ｌ／１０００ [μｍ]、Ｚ軸精度 ： ±１[μｍ] ＜ソフトウェア仕様＞ 概要：ウェハー形状測定プログラムとして最適化する。 ＜測定項目＞ そり、形状（ＴＴＶ、ＬＴＶ、ＴＩＲ） 、粗さ、厚さ、端面形状 ＜測定対象ウェハー面＞ スライス面、研削面、研磨面 ＜ウェハーサイズ＞ Φ２，３，４，５，６インチ（第１オリフラ、第２オリフラあり） φ２∼６インチの任意径（オリフラなし） ＜ウェハー厚さ＞ ２００∼２０００μｍ ＜繰り返し精度＞ ±０．５μｍ（測定分解能０．１μｍ） （ウェハピンチャック部の平坦度は、ソフトウェアによってフラット補正を行います。） ＜測定時間＞ 全面測定：２インチ（２ｍｉｎ以下）、６インチ（３０ｍｉｎ以下） ＜測定条件＞ 直置き＆バキューム吸着による違いを測定 ＜測定方法＞ 全面測定、ライン測定、多点スポット測定 ＜結果表示＞ ・厚み平均値、ＴＴＶ、ＬＴＶ（ＥＥ１ｍｍなど、任意設定可能） ・ＬＴＶはサイトの大きさと位置を任意に設定可能 ・ウェハー端部サイトはＬＴＶ表示無し ・アンチャック状態での平坦度 ・厚みとそりは、鳥瞰図、等高線図、断面図を出力 ・端面形状
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