pdfファイル - ISFETCOM Co., Ltd.

業績リスト
平成 25 年 1 月 25 日現在
主要著書 ................................................................................................................................................ 1
(a) 発表論文 .......................................................................................................................................... 2
(b) 解説Ａ(学協会誌関係の主要なもの).............................................................................................. 30
(c) 解説Ｂ(その他) ............................................................................................................................... 40
(d) 国際学会発表Ａ(査読有り) ............................................................................................................ 50
(e) 国際学会発表(招待講演他) .......................................................................................................... 87
(f) 国内学会発表Ａ(査読と英文予稿有り)......................................................................................... 101
(g) 国内学会他発表Ｂ(その他) .......................................................................................................... 114
(h) 国内学会他発表Ｃ(招待講演) ...................................................................................................... 150
(i) 国外学会発表 .............................................................................................................................. 182
(j) 著書 ............................................................................................................................................ 184
(k) 本の監修・編集 ........................................................................................................................... 192
(l) 翻訳 ............................................................................................................................................ 192
(m) 電子レター ................................................................................................................................. 193
(n) 研究室の人 .................................................................................................................................. 193
主要著書
著書 1) J.Zemel, P.Bergveld ed.
「Chemically Sensitive Electonic Devices」 pp.77-96
"1.4 Methods of ISFET Fabrication" (T.Matsuo and M.Esashi) (1980) Elsevier Sequoia
著書 2) 「半導体集積回路設計の基礎」(1986) 培風館
著書 3) 「電子情報回路 Ⅰ．Ⅱ．」
（共著者：樋口）(1989) 昭晃堂
著書 4) 「マイクロマシン賢く働く微小機械」(共著者:宝谷) (1991) 読売新聞社
著書 5) 「マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス」 (共著者:藤田,五十嵐,杉山)
(1992) 培風館
著書 6) H.H.Bau, N.F.de Rooij and B.Kloeck ed.
「Sensors, Vol.7, Mechanical Sensors」 pp.332-358
"9. Sensors for Measuring Acceleration" (M.Esashi) (1994) VCH
著書 7) H.C.Hoch ed.
「Nanofabrication and Biosystems」 pp.61-79
"Microsensors and Microactuators for Biomedical Applications" (M.Esashi) (1996)
Cambridge Univ. Press
著書 8) 五十嵐伊勢美、江刺正喜、藤田博之編
「マイクロオプトメカトロニクスハンドブック」 pp.119-128
"2.6 マイクロアセンブリ" (江刺正喜) (1997) 朝倉書店
著書 9) H.Baltes, W.Gopel and J.Hesse ed
「Sensors Update Vol.6」 pp.163-188
"9. Silicon-based Nanomachining" (T.Ono and M.Esashi) (1999) Wiley-VCH
著書 10) H.Baltes, W.Gopel and J.Hesse ed
「Sensors Update Vol.8」 pp.147-186
"6. Multi-functional Active Catheter" (Y.Haga, T.Mineta and M.Esashi) (2000)
Wiley-VCH
1
著書 11) Fabrication of Silicon Microprobes for Optical Near-Field Application
Phan N. Minh, T.Ono and M.Esashi
CRC Press (2002)
著書 12) 「はじめての MEMS」(232 頁) 森北出版 (2011)
(a) 発表論文
1)
生体用絶縁物電極－チタン酸バリウム磁器を用いた生体用誘導電極－
[医用電子と生体工学, 11, 3 (1973) 156-162]
松尾正之、江刺正喜、飯沼一浩
2) A Barium-Titanate-Ceramics Capacitive-Type EEG Electrode
[IEEE Trans.on Biomedical Engineering, BME-20, 4 (1973) 299-300]
T.Matsuo, K.Iinuma and M.Esashi
3) Biomedical Cation Sensor Using Field Effect of Semiconductor
[J.of the Japan Soc. of Applied Physics, 44, Supplement (1975) 339-343]
M.Esashi and T.Matsuo
4) Integrated Micro Multi Ion Sensor Using Field Effect of Semiconductor
[IEEE Transactions on Biomedical Engineering, BME-25, 2 (1978) 184-192]
M.Esashi and T.Matsuo
5) ISFET's Using Inorganic Gate Thin Films
[IEEE Trans. on Electron Devices, ED-26, 12 (1979) 1939-1944]
H.Abe, M.Esashi and T.Matsuo
6) IC 技術を用いた医用小形圧力変換器の試作
[計測自動制御学会論文集, 15, 7 (1979) 959-964]
江刺正喜、野本忍、ロドルフォ・キンテロ・ロモ、松尾正之
7) 特殊電極
[医用電子と生体工学, 17, 7（1979）479－483]
松尾正之、江刺正喜
8) 有機膜ゲート ISFET の pH 応答と高分子吸着の影響
[日本化学会誌, 10 (1980) 1499-1508]
中嶋秀樹、江刺正喜、松尾正之
9) Application of Catheter-tip I.S.F.E.T. for Continuous in Vivo Measurement
[Med.& Biol.Eng. & Comput., 18, 11 (1980) 741-745]
K.Shimada, M.Yano, K.Shibatani, Y.Komoto, M.Esashi and T.Matsuo
10) Methods of ISFET Fabrication
[Sensors and Actuators, 1, 1 (1981) 77-96]
T.Matsuo and M.Esashi
11) IC 技術を用いた神経インパルス多チャンネル同時誘導マルチ微小電極の試作
[医用電子と生体工学, 19, 2 (1981) 106-113]
太田好紀、江刺正喜、松尾正之
12) The Cation Concentration Response of Polymer Gate ISFET
[Journal of the Electrochemical Society, 129, 1 (1982) 141-143]
H.Nakajima, M.Esashi and T.Matsuo
13) Fabrication of Catheter-tip and Sidewall Miniature Pressure Sensors
[IEEE Trans. on Electron Devices, ED-29, 1 (1982) 57-63]
M.Esashi, H.Komatsu, T.Matsuo, M.Takahashi, T.Takishima, K.Imabayashi and H.Ozawa
14) Prototype Sodium and Potassium Sensitive Micro ISFETs
2
[Sensors and Actuators, 2, 4 (1982) 387-397]
Y.Ohta, S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
15) マルチマイクロ圧センサとその泌尿器科領域での応用
[臨床 ME, 6, 5 (1982) 514-519]
今林健一、大沼徹太郎、西村洋介、江刺正喜、松尾正之、小沢秀夫
16) Biomedical Pressure Sensor Using Buried Piezoresistors
[Sensors and Actuators, 4, 4 (1983) 537-544]
M.Esashi, H.Komatsu and T.Matsuo
17) 4 値 T ゲートの NMOS 集積回路
[電子通信学会論文誌 D, J67-D, 9 (1984) 1064-1065]
亀山充隆、樋口龍雄、江刺正喜、羽生貴弘
18) M 2 O-Al 2 O 3 -SiO 2 膜を用いたpNa,pK用ISFET
[電子通信学会論文誌 C, J68-C, 6 (1985) 475-481]
庄子習一、江刺正喜、松尾正之
M 2 O-Al 2 O 3 -SiO 2 Glass Gate pNa and pK ISFETs
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 69, 5 (1986) 16-27]
S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
19) 生体用マイクロ ISFET の試作
[電子通信学会論文誌 C, J68-C, 8 (1985) 628-634]
庄子習一、江刺正喜、松尾正之
Prototype Micro ISFET for Biomedical Research
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 69, 6 (1986) 21-29]
S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
20) 人工心臓自動制御へのマイクロセンサーの応用
[人工臓器, 14, 3 (1985) 1223-1226]
仁田新一、片平義明、香川謙、本郷忠敬、堀内藤吾、内田直樹、三浦誠、高橋幸郎、高橋明則、
江刺正喜、松尾正之
21) Characterization of Human Dental Plaque Formed on Hydrogen-ion-sensitive
Field-effect Transistor Electrodes
[Journal of Dental Research, 65, 3 (1986) 448-451]
R.Chida, K.Igarashi, K.Kamiyama, E.Hoshino and M.Esashi
22) Stabilization of MISFET Hydrogen Sensors
[Sensors and Actuators, 9, 4 (1986) 353-361]
S.Y.Choi, K.Takahashi, M.Esashi and T.Matsuo
23) 体内埋込みテレメトリシステム用 CMOS カスタム LSI の試作
[医用電子と生体工学, 25, 2 (1987) 128-134]
徐敦、江刺正喜、松尾正之
24) Prototype Miniature Blood Gas Analyser Fabricated on a Silicon Wafer
[Sensors & Actuators, 14 (1988) 101-107]
S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
25) Fabrication of an Integrated Micro Probing Head for Fault Analysis of MOS Integrated
Circuits
[Sensors & Actuators, 14 (1988) 125-132]
S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
26) 集積化化学分析システム用マイクロポンプの試作
［電子情報通信学会論文誌 C, Ｊ71-C, 12〈1988) 1705-1711]
庄子習一、江刺正喜
3
Fabrication of a Micropump for Integrated Chemical Analyzing Systems
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 72, 10 (1989) 52-59]
S.Shoji and M.Esashi
27) Manufacture of Custom CMOS LSI for an Implantable Multipurpose Biotelemetry System
[Frontiers of Medical and Biological Engineering, 1, 4 (1989) 319-329]
H.Seo, M.Esashi and T.Matsuo
28) シリコンーシリコン低温陽極接合
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J72-C-II, 2 (1989) 181-183]
江刺正喜、仲野陽
29) Normally Closed Microvalve and Micropump Fabricated on a Silicon Wafer
[Sensors and Actuators, 20, 1/2 (1990) 163-169]
M.Esashi, S.Shoji and A.Nakano
30) Micropump and Sample-injector for Integrated Chemical Analyzing Systems
[Sensors and Actuators, A21-A23 (1990) 189-192]
S.Shoji, S.Nakagawa and M.Esashi
31) Semiconductor Capacitance Type Accelerometer with Electrostatic Servo Controller
[Sensors and Actuators, A21-23 (1990) 316-319]
S.Suzuki, S.Tuchitani, K.Sato, Y.Yokota, M.Sato and M.Esashi
32) Low-Temperature Silicon-to-silicon Anodic Bonding with Intermediate Low Melting Point
Glass
[Sensors and Actuators, A21-A23 (1990) 931-934]
M.Esashi, A.Nakano, S.Shoji and H.Hebiguchi
33) Absolute Pressure Sensors by Air-tight Electrical Feedthrough Structure
[Sensors and Actuators, A21-A23 (1990) 1048-1052]
M.Esashi, Y.Matsumoto and S.Shoji
34) Integrated Micro Flow Control Systems
[Sensors and Actuators, A21-A23 (1990) 161-167]
M.Esashi
35) カテーテル用容量形圧力センサ
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J73-C-II, 2 (1990) 91-98]
江刺正喜、庄子習一、松本佳宣、古田一吉
Catheter-tip Capacitive Pressure Sensor
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 73, 10 (1990) 79-87]
M.Esashi, S.Shoji, Y.Matsumoto and K.Furuta
36) 容量形センサ用 C-F コンバータ CMOSIC の試作
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J73-C-II, 3 (1990) 194-202]
松本佳宣、庄子習一、江刺正喜
37) 半導体触覚イメージャの試作
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J73-C-II, 1 (1990) 31-37]
江刺正喜、庄子習一、山本晃、中村克俊
Fabrication of Semiconductor Tactile Imager
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 73, 11 (1990) 97-104]
M.Esashi, S.Shoji, A,Yamamoto, and K.Nakamura
38) ハイブリッド形絶対圧用容量形圧力センサの試作
[電子情報通信学会論文誌Ｃ-II, J73-C-II, 8 (1990) 461-467]
江刺正喜、庄子習一、和田敏忠、永田富夫
Capacitive Absolute Pressure Sensors with Hybrid Structure
4
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 74, 4 (1991) 67-75]
M.Esashi, S.Shoji, T.Wada and T.Nagata
39) 新しいフィードスルー構造をもつ絶対圧用小形圧力センサ
[電気学会論文誌 C, 110-C, 4 (1990) 255-262]
松本佳宣、江刺正喜、庄子習一
40) マイクロマニピュレータの制御(第 3 報,マイクロ・アクチュエータの機構と制御)
[日本機械学会論文集(C 編), 56, 526 (1990) 1470-1474]
福田敏男、中村知己、田中隆康、江刺正喜、庄子習一
41) Micro-pressure Sensor for Continuous Monitoring of a Ventricular Assist Device
[The Internatinal Journal of Artificial Organs, 13, 12 (1990) 823-829]
S.Nitta, Y.Katahira, T.Yambe, T.Sonobe, H.Hayashi, M.Tanaka, N.Sato, M.Miura, Mohri and
M.Esashi
42) An Integrated Miniature Capacitive Pressure Sensor
[Sensors and Actuators A, 29 (1991) 185-193]
T.Kudoh, S.Shoji and M.Esashi
43) 電源電圧と温度の影響が小さな C-F コンバータ
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J74-C-II, 11 (1991) 763-765]
山口元治、松本佳宣、江刺正喜
44) Micro Flow Cell for Blood Gas Analysis Realizing Very Small Sample Volume
[Sensors and Actuators B, 8 (1992) 205-208]
S.Shoji and M.Esashi
45) A Study of a High-Pressure Micropump for Integrated Chemical Analysing Systems
[Sensors and Actuators A, 32 (1992) 335-339]
S.Shoji, M.Esashi, B.van der Schoot and N.de Rooij
46) Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for
Low-pressure Measurements
[Sensors and Actuators A, 34 (1992) 173-177]
T.Nagata, H.Terabe, S.Kuwahara, S.Sakurai, O.Tabata, S.Sugiyama and M.Esashi
47) 絶対圧用集積化容量形圧力センサ
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J75-C-II, 8 (1992) 451-461]
松本佳宣、江刺正喜
An Integrated Capacitive Absolute Pressure Sensor
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 76, 1 (1992) 93-106]
Y.Matsumoto and M.Esashi
48) 2 線式シリコン容量形加速度センサ
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J75-C-II, 10 (1992) 554-562]
白井稔人、裏則岳、江刺正喜
A Two-Wire Silicon Capacitive Accelerometer
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 76, 4 (1993) 73-83]
T.Shirai, M.Esashi and N.Ura
49) 差動出力型マイクロフローセンサ
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J75-C-II, 11 (1992) 738-742]
江刺正喜、川合浩史、吉見健一
Differential Output Type Microflow Sensor
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 76, 8 (1993) 83-87]
M.Esashi, H.Kawai and K.Yoshimi
50) 分布型静電マイクロアクチュエータ
5
[電気学会論文誌 A, 112, 12 (1992) 993-998]
川村秀司、南和幸、江刺正喜
51) 集積化相対圧用容量形圧力センサの試作
[電子情報通信学会論文誌 C-II, J76-C-II, 1 (1993) 31-36]
江刺正喜、上原大司
Fabrication of a Monolithic Capacitive Pressure Sensor for Gauge Pressure Measurement
[Electronics and Communications in Japan, Part 2, 76, 7 (1993) 85-91]
M.Esashi and D.Uehara
52) Hybrid-Type Capacitive Pressure Sensor
[Sensors and Materials, 4, 5 (1993) 277-289]
H.Seo, G.Lim and M.Esashi
53) YAG Laser-Assisted Etching of Silicon for Fabricating Sensors and Actuators
[J. of Micromechanics and Microengineering, 3, 2 (1993) 81-86]
K.Minami, Y.Wakabayashi, M.Yoshida, K.Watanabe and M.Esashi
54) Control of Distributed Electrostatic Microstructures
[J. of Micromechanics and Microengineering, 3, 2 (1993) 90-95]
M.Yamaguchi, S.Kawamura, K.Minami and M.Esashi
55) Fabrication of Distributed Electrostatic Micro Actuator
[IEEE J. of Micromechanical Systems, 2, 3 (1993) 121-127]
K.Minami, S.Kawamura and M.Esashi
56) Integrated Silicon Capacitive Accelerometer with PLL Servo Technique
[Sensors and Actuators A, 39 (1993) 209-217]
Y.Matsumoto and M.Esashi
57) バルクコアを用いたプレーナポット変圧器
[電気学会論文誌 A, 114, 1 (1994) 53-59]
浅田則裕、松木英敏、江刺正喜
58) 絶縁型プレーナ変圧器を用いたフェイルセーフ論理演算器
[電気学会論文誌 D, 114, 3 (1994) 255-259]
浅田則裕、松木英敏、江刺正喜
A Fail-Safe Logic Operator Using an Insulated Planar Transformer
[Electrical Engineering in Japan, 115, 2 (1995) 115-122]
N.Asada, H.Matsuki & M.Esashi
59) Fabrication and Packaging of a Resonant Infrared Sensor Integrated in Silicon
[Sensors and Actuators A, 43 (1994) 92-99]
C.Cabuz, S.Shoji, K.Fukatsu, E.Cabuz, K.Minami and M.Esashi
60) Vacuum Packaging for Microsensors by Glass-Silicon Anodic Bonding
[Sensors and Actuators A, 43 (1994) 243-248]
H.Henmi, S.Shoji, Y.Shoji, K.Yoshimi and M.Esashi
61) Buried Piezoresistive Sensors by Means of MeV Ion Implantation
[Sensors and Actuators A，43 (1994) 249-253]
T.Nishimoto, S.Shoji and M.Esashi
62) Laser Projection CVD Using the Low Temperature Condensation Method
[Applied Surface Science, 79/80 (1994) 366-374]
K.Takashima, K.Minami, M.Esashi and J.Nishizawa
63) Encapsulated Micro Mechanical Sensors
[Microsystem Technologies, 1, 1 (1994) 2-9]
M.Esashi
6
64) Silicon Micromachined Two-Dimensional Galvano Optical Scanner
[IEEE Trans. on Magnetics, 30, 6 (1994) 4647-4649]
N.Asada, H.Matsuki, K.Minami and M.Esashi
65) Electrostatic Servo Type Three-axis Silicon Accelerometer
[Measurement Science and Technology, 6, 1 (1995) 11-15]
K.Jono, K.Minami and M.Esashi
66) Temperature Compensated Piezoresistor Fabricated by High Energy Ion Implantation
[IECE Trans.Electron, E78-C, 2 (1995) 152-156]
T.Nishimoto, S.Shoji, K.Minami and M.Esashi
67) High-rate Directional Deep Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining
[J. of Micromechanics and Microengineering, 5, 1 (1995) 5-10]
M.Esashi, M.Takinami, Y.Wakabayashi and K.Minami
68) Optical in-situ Monitoring of Silicon Diaphragm Thickness during Wet Etching
[J. of Micromechanics and Microengineering, 5, 1 (1995) 41-46]
K.Minami, H.Tosaka and M.Esashi
69) Microphysical Investigation on Mechanical Structures Realized in p+ Silicon
[IEEE J. of Micromechanical Systems, 4, 3 (1995) 109-117]
C.Cabuz, K.Fukatsu, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi
70) High Aspect Ratio Fabrication Method Using O 2 RIE and Electroplating
[Micro System Technologies, 1, 3 (1995) 137-142]
K.Murakami, K.Minami and M.Esashi
71) Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using Electromagnetic Excitation and Capacitive
Detection
[J. of Micromechanics and Microengineering, 5, 3 (1995) 219-225]
M.Hashimoto, C.Cabuz, K.Minami and M.Esashi
72) Eximer Laser Induced CVD and its Application to the Selective Non-planer Metallization
[J．of Micromechanics and Microengineering, 5, 3 (1995) 237-242]
S.Maeda, K.Minami and M.Esashi
73) 歪の少ない陽極接合
[電気学会論文誌 A, 115-A, 12 (1995) 1208-1213]
庄司康則, 南和幸, 江刺正喜
74) Design of the Electrostatic Linear Microactuator Based on the Inchworm Motion
[Mechatronics, 5, 8 (1995) 963-972]
S.-K.Lee and M.Esashi
75) Face-Down Bonding with Sealed Cavity for Micromechanical Device Packaging
[Sensors and Materials, 8, 1 (1996) 23-31]
M.Honma, K.Minami and M.Esashi
76) Pneumatic Microvalve Based on Silicon Micromachining
[電気学会論文誌 E, 116-E, 2 (1996) 56-61]
D.Y.Sim, T.Kurabayashi and M.Esashi
77) An Integrated Communication and Control System for a Multi-link Active Catheter
[J. of Micromechanics and Microengineering, 6, 3 (1996) 345-351]
K.-T.Park, K.Minami and M.Esashi
78) A Bakable Microvalve with a Kovar-Glass-Silicon-Glass Structure
[J. of Micromechanics and Microengineering, 6, 2 (1996) 266-271]
D.Y.Sim, T.Kurabayashi and M.Esashi
79) Future of Active Catheters
7
[Sensors and Actuators, A56 (1996) 113-121]
G.Lim, K.Park, M.Sugihara, K.Minami and M.Esashi
80) Nanoscale Al Patterning on an STM-manipulated Si Surface
[Thin Solid Films, 281-282 (1996) 640-643]
T.Ono, H.Hamanaka, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi
81) Application of Deep Reactive Ion Etching for Silicon Angular Rate Sensor
[Microsystem Technologies, 2, 4 (1996) 186-199]
J.Choi, K.Minami and M.Esashi
82) Multi-link Active Catheter Snake-Like Motion
[Robotica, 14, 5 (1996) 499-506]
G.Lim, K.Minami, K.Yamamoto, M.Sugihara, M.Uchiyama and M.Esashi
83) Fabrication and Characterization of a Silicon Capacitive Structure for Simultaneous
detection of acceleration and angular rate
[Sensors and Actuators A, 54 (1996) 646-650]
J.Mizuno, K.Nottmeyer, C.Cabuz, K.Minami, T.Kobayashi and M.Esashi
84) Electrochemical Etch-Stop in TMAH without External Applied Bias
[Sensors and Actuators A, 56 (1996) 279-280]
P.J.French, M.Nagano and M.Esashi
85) Three-axis Capacitive Accelerometer with Uniform Axial Sensitivities
[J. of Micromechanics and Microengineering, 6, 4 (1996) 431-435]
T.Mineta, S.Kobayashi, Y.Watanabe, S.Kanauchi, I.Nakagawa, E.Suganuma and M.Esashi
86) 連続紫外レーザによる高速ＣＶＤを利用したマイクロアセンブリ
[電気学会論文誌Ｅ, 117-E, 1 (1997) 3-9]
杉原正久、南和幸、江刺正喜
87) Fabrication of Reactive Ion Etching Systems for Deep Silicon Machining
[電気学会論文誌Ｅ, 117-E, 1 (1997) 10-14]
S.Kong, K.Minami and M.Esashi
88) 封止されたマイクロメカニカルデバイスのダンピング制御
[電気学会論文誌 E, 117-E, 2 (1997) 109-116]
南和幸、森内昭視、江刺正喜
89) Si Nanowire Growth with Ultrahigh Vacuum Scanning Tunneling Microscopy
[Applied Physics Letter, 70, 14 (1997) 1852-1854]
T.Ono, H.Saitoh and M.Esashi
90) Fabrication Methods for High Aspect Ratio Microstructures
[J. of Intelligent Material Systems and Structures, 8, 2 (1997) 173-176]
S.Watanabe, M.Esashi and Y.Yamashita
91) High Frequency Responses of YBa 2 Cu 3 0 7-y Josephson Junctions on Si Substrates Fabricated
by Focused Electron Beam Irradiation
[Jan. J. Appl. Phys. 36, Part 2, 8 B (1997) L1096-L1099]
S.J.Kim, H.Myoren, J.Chen, K.Nakajima, T.Yamashita and M.Esashi
92) Patterning of Langmuir-Blodgett Film with Ultrahigh Vacuum-Scanning Tunneling
Microscope/Atomic Force Microscope
[J. Vac. Sci. Technol. B, 15, 4 (1997) 1414-1418]
H.Hamanaka, T.Ono and M.Esashi
93) Fabrication of a Si Scanning Probe Microscopy Tip with an Ultrahigh Vacuum-Scanning
Tunneling Microscope/Atomic Force Microscope
[J.Vac.Sci.Technol. B 15, 4 (1997) 1531-1534]
8
T.Ono, H.Saitoh and M.Esashi
94) Josephson Junction Arrays on Si Membrane Using Focused Electron Beam Irradiation
[Phisica C, 282-287 (1997) 2467-2468]
S.J.Kim, K.Nakajima, J.Chen, H.Myoren, T.Yamashita and M.Esashi
95) The Structures for Electrostatic Servo Capacitive Vacuum Sensor
[Sensors and Actuators, A66 (1998) 213-217]
Y.Wang and M.Esashi
96) Thin Beam Bulk Micromachining Based on RIE and Xenon Difluoride Silicon Etching
[Sensors and Actuators, A66 (1998) 268-272]
R.Toda, K.Minami and M.Esashi
97) シリコン振動型角速度センサ
[電気学会論文誌 E, 118-E, 3 (1998) 212-217]
長尾勝、南和幸、江刺正喜
98) Deep Level and Minority Carrier Lifetime in Proton Irradiated Silicon PIN Diode
[J. of Applied Physics, 83, 8 (1998) 4069-4073]
T.Sasaki, J.Nishizawa and M.Esashi
99) A New Bulk-Micromachining Using Deep RIE and Wet Etching for an Accelerometer
[電気学会論文誌 E, 118-E, 9 (1998) 420-424]
G.Lim, S.Baek and M.Esashi
100) Deep ICP RIEとXeF 2 ガスエッチングによる回転振動型角速度センサ
[電気学会論文誌 E, 118-E, 10 (1998) 437-443]
J.-J.Choi、南和幸、江刺正喜
101) Processing of PZT Microstructures
[Sensors and Materials, 10, 6 (1998) 375-384]
S.Wang, J.F.Li, X.Li and M.Esashi
102) 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
[電気学会論文誌 E, 118-E, 12 (1998) 641-646]
J.-J.Choi、南和幸、江刺正喜
103) Capacitive AFM Probe for High Speed Imaging
[電気学会論文誌 E, 118-E, 12 (1998) 647-651]
Y.Shiba, T.Ono, K.Minami and M.Esashi
104) Subwavelength Pattern Transfer by Near-Field Photolithography
[Jpn. J. Appl. Phys., 37, 12B (1998) 1644-1648]
T.Ono and M.Esashi
105) An Electrostatic Servo Capacitive Pressure Sensor
[電気学会論文誌 E, 119-E, 2 (1999) 94-98]
Y.Ueda, H.Henmi, K.Minami and M.Esashi
106) Fabrication of Lead Zirconate Titanate Microrods for 1-3 Piezocomposites Using Hot
Isostatic Pressing with Silicon Molds
[J.American Ceramic Soc., 82, 1 (1999) 213-215]
S.Wang, J.F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
107) A Bellows-shape Electrostatic Microactuator
[Sensors and Actuators, 72 (1999) 269-276]
K.Minami, H.Morishita and M.Esashi
108) Silicon Angular Rate Sensor Using PZT Thin Film
[Sensors and Materials, 11, 1 (1999) 31-39]
M.Nagao, K.Minami and M.Esashi
9
109) ミミズのような蠕動運動システム
[電気学会論文誌 E, 119-E, 6 (1999) 334-339]
篠原英司、南和幸、江刺正喜
110) Deep Reactive Ion Etching of Lead Zirconate Titanate Using Sulfur Hexafluoride Gas
[J. American Ceramic Soc., 82, 5 (1999) 1339-1341]
S.Wang, X.Li, K.Wakabayashi and M.Esashi
111) An Electrostatic Servo-Accelerometer with mG Resolution
[電気学会論文誌 E, 119-E, 7 (1999) 368-373]
S.Ko, D.Y.Sim and M.Esashi
112) Precise Micro-Nanomachining of Silicon
[電気学会論文誌 E, 119-E, 10 (1999) 489-497]
M.Esashi, R.Toda, K.Minami and T.Ono
113) Lost Silicon Mold Process for PZT Microstructures
[Advanced Materials,11, 10 (1999) 873-876]
S.Wang, J.F.Li, K.Wakabayashi, M.Esashi and R.Watanabe
114) Active Catheter Using Multi-Link-Joint Structure Fabricated in Silicon Wafer
[電気学会論文誌 E, 119-E, 12 (1999) 615-619]
T.Mineta, Y.Watanabe, S.Kobayashi, Y.Haga and M.Esashi
115) Nonuniform Silicon Oxidation and Application for the Fabrication of Aperture for
Near-field Scanning Optical Microscopy
[Applied Physics Letters, 75, 26 (1999) 4076-4078]
P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
116) A Multilink Active Catheter with Polyimide-Based Integrated CMOS Interface Circuits
[IEEE J. of Microelectromechanical Systems, 8, 4 (1999) 349-357]
K.-T.Park and M.Esashi
117) Micromachined 125μm Diameter Ultra Miniature Fiber-Optic Pressure Sensor for Catheter
[電気学会論文誌 E, 120-E, 2 (2000) 58-63]
T.Katsumata, Y.Haga, K.Minami and M.Esashi
118) A New Approach to On-Site Liquid Analysis
[Sensors and Materials, 12, 2 (2000) 57-68]
R.U.Seidel, D.Y.Sim, W.Menz and M.Esashi
119) Microfabrication of Miniature Aperture at the Apex of SiO 2 Tip on Silicon Cantilever
for Near-field Scanning Optical Microscopy
[Sensors and Actuators, A80 (2000) 163-169]
P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
120) 歯の噛み合い力と相対位置をモニタするセンサの開発
[電気学会論文誌 E, 120-E, 4 (2000) 150-155]
野崎浩一、戸津健太郎、王詩男、黒江和斗、佐田登志夫、江刺正喜
121) カテーテル先端の位置・姿勢を検出する磁気センサシステム
[電気学会論文誌 E, 120-E, 5 (2000) 211-218]
戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
122) Mechanical Behavior of Ultrathin Microcantilever
[Sensors and Actuators, 82 (2000) 102-107]
J.Yang, T.Ono and M.Esashi
123) Cantilever with Integrated Resonator for Application of Scanning Probe Microscope
[Sensors and Actuators, A82 (2000) 11-16]
D.-W.Lee, T.Ono and M.Esashi
10
124) Properties of Modified Lead Zirconate Titanate Ceramics Prepared at Low Temperature
(800℃) by Hot Isostatic Pressing
[J.American Ceramic Soc., 83, 4 (2000) 955-957]
J.-F.Li, S.Wang, K.Wakabayashi, M.Esashi and R.Watanabe
125) One-chip Multichannel Quartz Crystal Microbalance (QCM) Fabricated by Deep RIE
[Sensors and Actuators, A82 (2000) 139-143]
T.Abe and M.Esashi
126) 細径能動カテーテルのための螺旋骨格薄肉チューブ
[電気学会論文誌 E, 120-E, 8/9 (2000) 426-431]
芳賀洋一、前田重雄、江刺正喜
127) High Throughput Aperture Near-field Scanning Optical Microscopy
[Review of Scientific Instruments, 71, 8 (2000) 3111-3117]
P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
128) Micro-discharge and Electric Breakdown in a Micro-gap
[J. Micromech. Microeng., 10, 3 (2000) 445-451]
T.Ono, D.Y.Sim and M.Esashi
129) An Approach Towards Decentralized Control of Cooperating Non-autonomous Multiple Robots
[Robotica, 18, 5 (2000) 495-504]
K.Munawar, M.Esashi and M.Uchiyama
130) 形状記憶合金コイルを用いた細径能動カテーテル
[電気学会論文誌 E, 120-E, 11 (2000) 509-514]
芳賀洋一、江刺正喜
131) 屈曲、ねじれ、伸長能動カテーテルの電気めっきによる組み立て
[電気学会論文誌 E, 120-E, 11 (2000) 515-520]
芳賀洋一、江刺正喜
132) Silicon Micromachined Fiber-Optic Accelerometer for Downhole Seismic Measurement
[電気学会論文誌Ｅ, 120-E, 12 (2000) 576-581]
K.Hirata, H.Niitsuma and M.Esashi
133) Surface Effects and High Quality Factor in Ultrathin Single-crystal Silicon Cantilevers
[Applied Physics Letters, 77, 23 (2000) 3860-3862]
J.Yang, T.Ono and M.Esashi
134) Wide Dynamic Range Silicon Diaphragm Vacuum Sensor by Electrostatic Servo System
[J. Vac.Sci.Technology, B18, 6 (2000) 2692-2697]
H.Miyashita and M.Esashi
135) Nucleation and Surface Roughness in Self-limiting Monolayer Epitaxy of GaAs
[Jap. J. of Applied Physics 1, 39, 10 (2000) 5737-5739]
K.Kono, T.Kurabayashi, J.Nishizawa and M.Esashi
136) Electrostatic Servo Controlled Uncooled Infrared Sensor with Tunneling Transducer
[Sensors and Materials, 12, 5 (2000) 301-314]
S.S.Lee, T.Ono, K.Nakamura and M.Esashi
137) RF-Plasma Assisted Fast Atom Beam Etching
[Jap. J. Appl. Phys., 39, 12B (2000) 6876-6979]
T.Ono, N.Orimoto, S.Lee, T.Shimizu and M.Esashi
138) マルチチャンネル水晶マイクロバランスの製作とケモメトリック分析への応用
[Molecular Electronics and Bioelectronics, 11, (2000) 127-137]
安部隆, 江刺正喜
139) High-Speed Imaging by Electro-Magnetically Actuated Probe with Dual Spring
11
[J. of Microelectromechanical Systems, 9, 4 (2000) 419-424]
D.-W.Lee, T.Ono and M.Esashi
140) Development of an Anti-Corrosive Integrated Mass Flow Controller
[電気学会論文誌 E, 121-E, 1 (2001) 81-85]
K.Hirata, D.Y.Sim and M.Esashi
141) Deep Reactive Ion Etching of Pyrex Glass Using SF 6 Plasma
[Sensors and Actuators, A87, 3 (2001) 139-145]
X.Li, T.Abe and M.Esashi
142) Batch Fabricated Flat Meandering Shape Memory Alloy Actuator for Active Catheter
[Sensors and Actuators, A88, 2 (2001) 112-120]
T.Mineta, T.Mitsui, Y.Watanabe, S.Kobayashi, Y.Haga and M.Esashi
143) Magnetically Actuated Catilever with Small Resonator for Scanning Probe Microscopy
[電気学会論文誌 E, 121-E, 3 (2001) 113-118]
D.-W.Lee, T.Ono and M.Esashi
144) Silicon Micromachined Tunable Infrared Polarizer
[電気学会論文誌Ｅ, 121-E, 3 (2001) 119-123]
T.Ono, A.Wada and M.Esashi
145) Investigating Surface Stress: Surface Loss in Ultrathin Single-Crystal Silicon
Cantilevers
[J. Vac. Sci. Technol. B, 19, 2 (2001) 551-556]
J.Yang, T.Ono and M.Esashi
146) Silicon Carbide Micro-Reaction-Sintering Using Micromachined Silicon Molds
[J. of Microelectromechanical Systems, 10, 1 (2001) 55-61]
S.Tanaka, S.Sugimoto, J.F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
147) Spatial Distribution and Polarization Dependence of the Optical Near-field in a Silicon
Microfabricated Probe
[J. of Microscopy, 202, Pt.1 (2001) 28-33]
P.N.Minh, T.Ono, S.Tanaka and M.Esashi
148) Near-field Optical Apertured Tip and Modified Structures for Local Field Enhancement
[Applied Optics, 40, 15 (2001) 2479-2484]
P.N.Minh, T.Ono, S.Tanaka and M.Esashi
149) Development of Inkjet Head for DNA Chip
[電気学会論文誌 E, 121-E, 9 (2001) 501-506]
D.Y.Sim, T.Ono and M.Esash
150) Self-limiting Growth of GaAs Molecular Layer Epitaxy Using Triethyl-gallium (TEG) and
AsH 3
[J. Crystal Growth, 229, 1 (2001) 152-157]
T.Kurabayashi, K.Kono, H.Kikuchi, J.Nishizawa and M.Esashi
151) Hybrid Optical Fiber-apertured Cantilever Near-field Probe
[Applied Physics Letters, 79, 19 (2001) 3020-3022]
P.N.Minh, T.Ono, H.Watanabe, S.S.Lee, Y.Haga and M.Esashi
152) Deep Reactive Ion Etching of Silicon Carbide
[J. Vac. Sci. Technol. B 19, 6, (2001) 2173-2176]
S.Tanaka, K.Rajanna, T.Abe and M.Esashi
153) Thermal Radiation from Two-Dimensionally Confined Modes in Microcavities
[Applied Physics Letters, 79, 9 (2001) 1393-1395]
S.Maruyama, T.Kashiwa, H.Yugami and M.Esashi
12
154) Development of Active Catheter, Active Guide Wire and Micro Sensor Systems
[Interventional Neuroradiology, 7 (suppl 1) (2001) 125-130]
Y.Haga, T.Mineta, K.Totsu, W.Makishi and M.Esashi
155) Active Material Micro-actuator Arrays Fabricated with SU-8 Resin
[Microsystem Technologies, 7 (2001) 117-119]
B.J.Pokines, J.Tani, M.Esashi, T.Hamano, K.Mizuno and D.J.Inman
156) Near-field Recording with High Optical Throughput aperture Array
[Sensors and Actuators, A 95, (2002) 168-174]
P.N.Minh, T.Ono, S.Tanaka, K.Goto and M.Esashi
157) Fabrication of Thermal Microprobes with a Sub-100nm Metal-to-metal Junction
[Nanotechnology, 13 (2002) 29-32]
D.-W.Lee, T.Ono and M.Esashi
158) Electric-field-enhanced Growth of Carbon Nanotubes for Scanning Probe Microscopy
[Nanotechnology, 13 (2002) 62-64]
T.Ono, H.Miyashita and M.Esashi
159) Manufacturing Silicon Carbide Microrotors by Reactive Hot Isostatic Pressing within
Micromachined Silicon Molds
[J. American Ceramic Soc., 85, 1 (2002) 261-263]
J.-F.Li, S.Sugimoto, S.Tanaka, M.Esashi and R.Watanabe
160) Mechanical Polarization Modulator Using Micro-turbo Machinery for Fourier Transform
Infrared Spectroscopy
[Sensors and Actuators, A 96 (2002) 215-222]
S.Tanaka, M.Hara and M.Esashi
161) 溝加工と電解メッキによる積層圧電アクチュエータの製作
[電気学会論文誌 E, 122-E, 4 (2002) 217-222]
鈴木学、江刺正喜
162) Stainless Steel-Based Integrated Mass-Flow Controller for Reactive and Corrosive Gases
[Sensors and Actuators, A 97-98 (2002) 33-38]
K.Hirata and M.Esashi
163) An Active Guide Wire with Shape Memory Alloy Bending Actuator Fabricated by Low
Temperature Process
[Sensors and Actuators, A 97-98 (2002) 632-637]
T.Mineta, T.Mitsui, Y.Watanabe, S.Kobayashi, Y.Haga and M.Esashi
164) Manufacturing Miniature Si-Based Ceramic Rotors by Micro Reaction Sintering
[Key Engineering Materials, 224-226 (2002) 703-708]
J.-F.Li, S.Sugimoto, S.Tanaka, R.Watanabe and M.Esashi
165) Microprobe Array with Electrical Interconnection for Thermal Imaging and Data Storage
[J. of Microelectromechanical Systems, 11, 3 (2002) 215-219]
D.-W.Lee, T.Ono, T.Abe and M.Esashi
166) Acceleration Switch with Extended Holding Time Using Squeeze Film Effect for Side Airbag
Systems
[Sensors and Actuators, A 100 (2002) 10-17]
T.Matsunaga and M.Esashi
167) Electrical and Thermal Recording Techniques Using a Heater Integrated Microprobe
[J. Micromech. Microeng., 12, 6 (2002) 841-848]
D.-W.Lee, T.Ono and M.Esashi
168) マイクロ・ナノマシニングによる高感度センシング
13
[Molecular Electronics and Bioelectronics, 13, 4 (2002) 159-164]
小野崇人、江刺正喜
169) Carbon Nanotube on a Si Tip for Electron Field Emitter
[Jpn. J. Appl. Phys., 41 Part2, 12A (2002) L1409-L1411]
P.N.Minh, L.T.T.Tuyen, T.Ono, H.Mimura, K.Yokoo and M.Esashi
170) MEMS-Based Polymer Electrolyte Fuel Cell
[Electrochemistry(電気化学および工業物理化学), 70, 12 (2002) 924-927]
K.B.Min, S.Tanaka and M.Esashi
171) Fabrication of High-Density Electrical Feed-Throughs by Deep-Reactive-Ion Etching of
Pyrex Glass
[J. of Microelectromechanical Systems, 11, 6 (2002) 625-629]
X.Li, T.Abe, Y.Liu and M.Esashi
172) Energy Dissipation in Submicrometer Thick Single-Crystal Silicon Cantilevers
[J. of Microelectromechanical Systems, 11, 6 (2002) 775-783]
J.Yang, T.Ono and M.Esashi
173) Miniaturized, Highly Sensitive Single-chip Multichannel Quartz-crystal Microbalance
[Applied Physics Letters, 81, 26 (2002) 5069-5071]
Vu N.Hung, T.Abe, P.N.Minh and M.Esashi
174) A Photochemical/chemical Direct Method of Synthesizing High-performance
Deoxyribonucleic Acid Chips for Rapid and Parallel Gene Analysis
[Sensors and Actuators, B 83 (2002) 67-76]
K.Takahashi, K.Seio, M.Sekine, O.Hino and M.Esashi
175) Scanning Probe with an Integrated Diamond Heater Element for Nanolithography
[Applied Physics Letters, 82, 5 (2003) 814-816]
J.H.Bae, T.Ono and M.Esashi
176) Batch Fabrication of Intravascular Forward-looking Ultrasound Probe
[Sensors and Actuators, A 104 (2003) 40-43]
Y.Haga, M.Fujita, K.Nakamura, C.J.Kim and M.Esashi
177) Mass Sensing of Adsorbed Molecules in Sub-picogram Sample with Ultrathin Silicon
Resonator
[Review of Scientific Instruments, 74, 3 (2003) 1240-1243]
T.Ono, X.Li, H.Miyashita and M.Esashi
178) Resonance Enhancement of Micromachined Resonators with Strong Mechanical-coupling
between two Degrees of Freedom
[Microelectronic Engineering, 65 (2003) 1-12]
X.Li, T.Ono, R.Lin and M.Esashi
179) Rotational Infrared Polarization Modulator Using a MEMS-based Air Turbine with Different
Types of Journal Bearing
[J. of Micromech. Microeng., 13, 2 (2003) 223-228]
M.Hara, S.Tanaka and M.Esashi
180) 非平面フォトファブリケーションによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製
[電気学会論文誌 E, 123-E, 5 (2003) 158-162]
峯田貴、芳賀洋一、江刺正喜
181) Silicon Nitride Ceramic-based Two-dimensional Microcombustor
[J. of Micromech. Microeng., 13, 3 (2003) 502-508]
S.Tanaka, T.Yamada, S.Sugimoto, J.-F. Li and M.Esashi
182) MEMS-Based Solid Propellant Rocket Array Thruster with Electrical Feedthroughs
14
[Trans. Jpn. Soc. Aero. Space Sci., 46, 151 (2003) 47-51]
S.Tanaka, R.Hosokawa, S.Tokudome, K.Hori, H.Saito, M.Watanabe and M.Esashi
183) Electrostatically Levitated Ring-Shaped Rotational-Gyro/Accelerometer
[Jpn. J. Appli. Phys., 42, Part1 No.4B (2003) 2468-2472]
T.Murakoshi, Y.Endo, K.Sigeru, S.Nakamura and M.Esashi
184) Batch Fabrication of Microlens at the End of Optical Fiber Using Self-photolithography
and Etching Technique
[Optical Review, 10, 3 (2003) 150-154]
P.N.Minh, T.Ono, Y.Haga, K.Inoue, M.Sasaki, K.Hane and M.Esashi
185) Mechanical Energy Dissipation of Multiwalled Carbon Nanotube in Ultrahigh Vacuum
[Jpn. J. Appli. Phys., 42, Part 2, No.6B (2003) L683-L684]
T.Ono, S.Sugimoto, H.Miyashita and M.Esashi
186) Glass Etching Assisted by Femtosedond Pulse Modification
[Sensors and Materials, 15, 3 (2003) 137-145]
C.Chang, T.Abe and M.Esashi
187) Pattern Transfer of Self-Ordered Structure with Diamond Mold
[Jpn. J. Appl. Phys., 42, Part 1, No.6B (2003) 3867-3870]
T.Ono, C.Konoma, H.Miyashita, Y.Kanamori and M.Esashi
188) Selective Growth of Carbon Nanotubes on Si Microfabricated Tips and Application for
Electron Field Emitters
[J. Vac. Sci. Technol. B 21, 4, (2003) 1705-1709]
P.N.Minh, L.T.T.Tuyen, T.Ono, H.Miyashita, Y.Suzuki, H.Mimura and M.Esashi
189) Electrical Modification of a Conductive Polymer Using a Scanning Probe Microscope
[Nanotechnology, 14 (2003) 1051-1054]
T.Ono, S.Yoshida and M.Esashi
190) Time Dependence of Energy Dissipation in Resonating Silicon Cantilevers in Ultrahigh
Vacuum
[Applied Physics Letters, 83, 10 (2003) 1950-1952]
T.Ono, D.F.Wang and M.Esashi
191) エレクトレットを用いた高出力静電モータ･発電機の設計
[電気学会論文誌 E, 123-E, 9 (2003) 331-339]
源田敬史、田中秀治、江刺正喜
192) ボロハイドライドを用いた水素供給とサンドブラストによる小形燃料電池の試作
[電気学会論文誌 E, 123-E, 9 (2003) 340-345]
田中秀治、東谷旦、杉江京、江刺正喜
193) MEMS-Based Fuel Reformer with Suspended Membrane Structure
[電気学会論文誌 E, 123-E, 9 (2003) 346-350]
K.S.Chang, S.Tanaka and M.Esashi
194) High-performance Ultra-small Single Crystalline Silicon Microphone of an Integrated
Structure
[Microelectronic Engineering, 67-68 (2003) 508-519]
T.Tajima, T.Nishiguchi, S.Chiba, A.Morita, M.Abe, K.Tanioka，N.Saito and M.Esashi
195) Highly Selective Reactive-ion Etching Using CO/NH 3 /Xe Gases for Microstructuring of Au,
Pt, Cu, and 20% Fe-Ni
[J. Vac. Sci. Technol., B21, 5 (2003) 2159-2162]
T.Abe, Y.G.Hong and M.Esashi
196) Ultrathin Single-Crystal-Silicon Cantilever Resonators : Fabrication Technology and
15
Significant Specimen Size Effect on Young’s Modulus
[Applied Physics Letters, 83, 15 (2003) 3081-3083]
X.Li, T.Ono, Y.Wang and M.Esashi
197) Crystallographic Influence on Nanomechanics of (100)-oriented Silicon Resonator
[Applied Physics Letters, 83, 15 (2003) 3189-3191]
D.F.Wang, T.Ono and M.Esashi
198) Fabrication of Reaction-Sintered Si 3 N 4 Ceramic Microrotors
[J. of Inorganic Materials (in Chinese), 18, 5 (2003) 1081-1085]
J.-F.Li, S.Sugimoto, S.Tanaka and M.Esashi
199) Magnetic Force and Optical Force Sensing with Ultrathin Silicon Resonator
[Review of Scientific Instruments, 74, 12 (2003) 5141-5146]
T.Ono and M.Esashi
200) High-frequency One-chip Multichannel Quartz Crystal Microbalance Fabricated by Deep RIE
[Sensors and Actuators, A 108 (2003) 91-96]
V.N.Hung, T.Abe, P.N.Minh and M.Esashi
201) Microfabrication of Thermoelectric Materials by Silicon Molding Process
[Sensors and Actuators, A 108 (2003) 97-102]
J.-F.Li, S.Tanaka, T.Umeki, S.Sugimoto, M.Esashi and R.Watanabe
202) A Piezodriven XY-microstage for Multiprobe Nanorecording
[Sensors and Actuators, A 108 (2003) 230-233]
D.Y.Zhang, C.Chang, T.Ono and M.Esashi
203) Endpoint Detectable Plating through Femtosecond Laser Drilled Glass Wafers for
Electrical Interconnections
[Sensors and Actuators, A 108 (2003) 234-238]
T.Abe, X.Li and M.Esashi
204) Boron-doped Diamond Scanning Probe for Thermo-mechanical Nanolithography
[Diamond and Related Materials, 12 (2003) 2128-2135]
J.H.Bae, T.Ono and M.Esashi
205) Smooth Surface Glass Etching by Deep Reactive Ion Etching with SF 6 and Xe Gases
[J. Vac. Sci. Technol., B21, 6 (2003) 2545-2549]
L.Li, T.Abe and M.Esashi
206) Deep Structures Wet Etching into Lithium Niobate Using a Physical Mask
[Intn. J. of Computational Eng. Sci., 4, 3 (2003) 497-500]
A.B.Randles, B.J.Pokines, S.Tanaka and M.Esashi
207) Trench Filling Characteristics of Low Stress TEOS/Ozone Oxide Deposited by PECVD and
SACVD
[Microsystem Technologies, 10, 2 (2004) 97-102]
C.Chang, T.Abe and M.Esashi
208) Nanomechanical Structure with Integrated Carbon Nanotube
[Jpn. J. Appl. Phys., 43, No.2 (2004) 855-859]
T.Ono, H.Miyashita and M.Esashi
209) Three-axis Magneto-impedance Effect Sensor System for Detecting Position and Orientation
of Catheter Tip
[Sensors and Actuators, A 111, (2004) 304-309]
K.Totsu, Y.Haga and M.Esashi
210) Flow Condition in Resist Spray Coating and Patterning Performance for Three-Dimensional
Photolithography over Deep Structures
16
[Jpn. J. Appl. Phys., 43, No.4B (2004) 2387-2391]
V.K.Singh, M.Sasaki, K.Hane and M.Esashi
211) MEMS-based Components of a Miniature Fuel Cell/fuel Reformer System
[Chemical Eng. J., 101 (2004) 143-149]
S.Tanaka, K.-S.Chang, K.-B.Min, D.Satoh, K.Yoshida and M.Esashi
212) Microelectron Field Emitter Array with Focus Lenses for Multielectron Beam Lithography
Based on Silicon on Insulator Wafer
[J. Vac. Sci. Technol., B22, 3 (2004) 1273-1276]
P.N.Minh, T.Ono, N.Sato, H.Mimura and M.Esashi
213) Schottky Emitter Using Boron-doped Diamond
[J. Vac. Sci. Technol., B22, 3 (2004) 1349-1352]
J.H.Bae, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
214) Vacuum Test of a Micro-Solid Propellant Rocket Array Thruster
[IEICE Electronics Express, 1, 8 (2004) 222-227]
K.Kondo, S.Tanaka, H.Habu, S.Tokudome, K.Hori, H.Saito, A.Itoh, M.Watanabe and M.Esashi
215) 形状記憶合金を用いた腸閉塞治療用能動カテーテル
[日本コンピュータ外科学会誌, 6, 1 (2004) 23-29]
水島昌徳、芳賀洋一、戸津健太郎、江刺正喜
216) Turbo Test Rig with Hydroinertia Air Bearing for a Palmtop Gas Turbine
[J. of Micromech. Microeng., 14, 11 (2004) 1449-1454]
S.Tanaka, K.Isomura, S.Togo and M.Esashi
217) Mass Sensing with Resonating Ultra-thin Silicon Beams Detected by a Double-Beam Laser
Doppler Vibrometer
[Measurement Science and Technology, 15, 10 (2004) 1977-1981]
T.Ono and M.Esashi
218) Development of Micromachine Gas Turbine for Portable Power Generation
[JSME International Journal, Series B, 47, 3 (2004) 459-464]
K.Isomura, S.Tanaka, S.Togo, H.Kanebako, M.Murayama, N,Saji, F.Sato and M.Esashi
219) Characteristics on PZT(Pb(Zr x Ti 1-x )O 3 ) Films for Piezoelectric Angular Rate Sensor
[Sensors and Actuators, A 114 (2004) 88-92]
S.-H.Lee and M.Esashi
220) Surface Micromachined Thermally Driven Micropump
[Sensors & Actuators A, 115 (2004) 151-158]
W.I.Jang. C.A.Choi, C.H.Jun, Y.T.Kim and M.Esashi
221) Fabrication of Miniaturized Bi-convex Quartz Crystal Microbalance Using Reactive Ion
Etching and Melting Photoresist
[Sensors & Actuators A, 114 (2004) 496-500]
L.Li, T.Abe and M.Esashi
222) Reaction Bonding of Microstructured Silicon Carbide Using Polymer and Silicon Film
[Materials Science Forum, 457-460 (2004) 1527-1530]
K.Rajanna, S.Tanaka, T.Itoh and M.Esashi
223) Thermal Treatments and Gas Adsorption Influences on Nanomechanics of Ultra-Thin Silicon
Resonators for Ultimate Sensing
[Nanotechnologies, 15 (2004) 1851-1854]
D.F.Wang, T.Ono and M.Esashi
224) Local Formation of Macroporous Silicon through a Mask
[J. of Micromech. Microeng., 14 (2004) 1411-1415]
17
Y.Tao and M.Esashi
225) Micro Instrumentation for Characterizing Thermoelectric Properties of Nanomaterials
［J. of Micromech. Microeng., 15, 1 (2005) 1-5]
T.Ono, C.-C.Fan and M.Esashi
226) Ultra-miniature Fiber-optic Pressure Sensor Using White Light Interferometry
[J. of Micromech. Microeng., 15, 1 (2005) 71-75]
K.Totsu, Y.Haga and M.Esashi
227) Surface Micromachined AlN Thin Film 2GHz Resonator for CMOS Integration
[Sensors & Actuators A, 117 (2005) 211-216]
M.Hara, J.Kuypers, T.Abe and M.Esashi
228) Resonance-free Millimeter-wave Coplanar Waveguide Si Microelectromechanical System
Package Using a Lightly-doped Silicon Chip Carrier
[Jap. J. of Applied Physics. 44, 4A (2005) 1693-1697]
Y.T.Song, H.Y.Lee and M.Esashi
229) Design and Characteristics of Large Displacement Optical Fiber Switch
[IEEE J. of Quantum Electronics, 41, 2 (2005) 242-249]
M.M.I.Bhuiyan, Y.Haga and M.Esashi
230) Electron Emission from Indium Tin Oxide/Silicon Monooxide/Gold Structure
[Jap. J. of Applied Physics. 44, 3 (2005) 1414-1418]
M.H.Mourad, K.Totsu, S.Kumagai, S.Samukawa and M.Esashi
231) Micromachined Optical Near-Field Bow-Tie Antenna Probe with Integrated Electrostatic
Actuator
[Jap. J. of Applied Physics. 44, 14 (2005) L445-L448]
T.Ono, K.Iwami and M.Esashi
232) Dynamic Braille Display Using SMA Coil Actuator and Magnetic Latch
[Sensors & Actuators A, 119 (2005) 316-322]
Y.Haga, W.Makishi, K.Iwami, K.Totsu, K.Nakamura and M.Esashi
233) Magnetic Mesa Structures Fabricated by Reactive Ion Etching with CO/NH 3 /Xe Plasma
Chemistry for an All-silicon Quantum Computer
[Nanotechnology, 16 (2005) 990-994]
D.F.Wang, A.Takahashi, Y.Matsumoto, K.M.Itoh, Y.Yamamoto, T.Ono and M.Esashi
234) Micro-ejector to Supply Fuel-air Mixture to a Micro-combustor
[Sensors & Actuators, A119 (2005) 528-536]
D.Satoh, S.Tanaka, K.Yoshida and M.Esashi
235) Macroporous Silicon-based Deep Anisotropic Etching
[J. of Micromech. Microeng., 15, 4 (2005) 764-770]
Y.Tao and M.Esashi
236) Demonstration of a MEMS-Based Turbocharger on a Single Rotor
[J. of Micromech. Microeng., 15, 5 (2005) 1076-1087]
P.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
237) Si Multiprobes Integrated with Lateral Actuators for Independent Scanning Probe
Applications
[J. of Micromech. Microeng., 15, 6 (2005) 1224-1229]
Y.Ahn, T.Ono and M.Esashi
238) Gray-scale Photolithography Using Maskless Exposure System
[J. Vac. Sci. Technol., B23, 4 (2005) 1487-1490]
K.Totsu and M.Esashi
18
239) Effect of Ion Attachment on Mechanical Dissipation of a Resonator
[Applied Physics Letters, 87, 4 (2005) 044105-1~3]
T.Ono and M.Esashi
240) Vertical Diaphragm Electrostatic Actuator for a High Density Ink Jet Printer Head
[電気学会論文誌 E, 125-E, 8 (2005) 350-354]
T.Norimatsu, S.Tanaka and M.Esashi
241) Scanning Probe Microscopy with Quartz Crystal Cantilever
[Appl. Phys. Lett. 87, 7 (2005) 074102-1~3]
T.Ono, Y.C.Lin and M.Esashi
242) Piezoactuator-integrated Monolithic Microstage with Six Degrees of Freedom
[Sensors & Actuators, A122 (2005) 301-306]
D.Y.Zhang, T.Ono and M.Esashi
243) Medical and Welfare Applications of Shape Memory Alloy Microcoil Actuators
[Smart Materials and Structures, 14 (2005) S266-S272]
Y.Haga, M.Mizushima, T.Matsunaga and M.Esashi
244) Stress-Induced Mass Detection with a Micromechanical/Nanomechanical Silicon Resonator
[Rev. of Sci. Instru., 76 (2005) 093107-1~5]
T.Ono and M.Esashi
245) A Micro-Fuel Processor with Trench-Refilled Thick Silicon Dioxide for Thermal Isolation
Fabricated by Water-immersion Contact Photolithography
[J. of Micromech. Microeng., 15, 9 (2005) S171-S178]
K.-S.Chang, S.Tanaka and M.Esashi
246) Development of High-Speed Micro-Gas Bearings for Three-Dimentional Micro-Turbo Machines
[J. of Micromech. Microeng., 15 (2005) S222-S227]
K.Isomura, S.Tanaka, S.Togo and M.Esashi
247) Charging Method of Micropatterned Electrets by Contact Electrification Using Mercury
[Jap. J. of Applied Physics. 44, 7A (2005) 5062-5067]
T.Genda, S.Tanaka and M.Esashi
248) Application of Screen-Printed Catalitic Electrodes to MEMS-Based Fuel Cells
[電気学会論文誌 E, 125-E, 10 (2005) 413-417]
S.Tanaka, K.-B. Min, N.Kato, H.Oikawa and M.Esashi
249) 携帯型燃料電池のための燃料制御用マイクロバルブ
[電気学会論文誌 E, 125-E, 10 (2005) 418-423]
吉田和司、萩原洋右、斉藤公昭、友成恵昭、田中秀治、江刺正喜
250) Reversible Electrical Modification on Conductive Polymer for Proximity Probe Data
Storage
[Nanotechnology, 16 (2005) 2516-2520]
S.Yoshida, T.Ono, S.Oi and M.Esashi
251) Thin Palladium Membrane Microreactors with Oxidized Porous Silicon Support and Their
Application
[J. of Micromech. Microeng., 15, 11 (2005) 2011-2018]
S.-Y.Ye, S.Tanaka, M.Esashi, S.Hamakawa，T.Hanaoka and F.Mizukami
252) Hydrogen Termination for the Growth of Carbon Nanotubes on Silicon
[Chemical Physics Letters, 415 (2005) 333-336]
L.T.T.Tuyen, P.N. Minh, E. Roduner, P.T.D.Chi, T.Ono, H. Miyashita, P.H.Khoi and M.Esashi
253) Parametrically Amplified Thermal Resonant Sensor with Pseudo-Cooling Effect
[J. of Micromech. Microeng., 15, 11 (2005) 2282-2288]
19
T.Ono, H.Wakamatsu and M.Esashi
254) Fabrication and Characterization of Micromachined Quartz-crystal Cantilever for Force
Sensing
[J. of Micromech. Microeng., 15, 12 (2005) 2426-2432]
Y.C.Lin, T.Ono and M.Esashi
255) DWDM 用 MEMS 光アッテネータ
[レーザー研究, 33, 11 (2005) 750-753]
渡辺信一郎、江刺正喜
256) 低侵襲医療のための光 MEMS
[レーザー研究, 33, 11 (2005) 754-760]
芳賀洋一、赤堀寛昌、戸津健太郎、和田仁、江刺正喜
257) Etching Submicrometer Trenches by Using the Bosch Process and Its Application to the
Fabrication of Antireflection Structures
[J. of Micromech. Microeng., 15, 3 (2005) 580-585]
C.Chang, Y.-F.Wang, Y.Kanamori, J.-J. Shih, Y.Kawai, C.-K.Lee, K.-C.Wu and M.Esashi
258) Fabrication of Novel MEMS-based Polymer Electrolyte Fuel Cell Architectures with
Catalytic Electrodes Supported on Porous SiO 2
[J. of Micromech. Microeng., 16, 3 (2006) 505-511]
K.-B.Min, S.Tanaka and M.Esashi
259) High-Energy Density Miniature Thermoelectric Generator Using Catalytic Combustion
[J. of Microelectromechanical Systems, 15, 1 (2006) 195-203]
K.Yoshida, S.Tanaka, S.Tomonari, D.Satoh and M.Esashi
260) Capacitive Resonant Mass Sensor with Frequency Demodulation Detection Based on Resonant
Circuit
[Applied Physics Letters, 88 (2006) 053116-3]
S.J.Kim, T.Ono and M.Esashi
261) 血管内低侵襲治療のための前方視超音波イメージャの開発
[生体医工学, 43, 4 (2006) 553-559]
陳俊傑、江刺正喜、大城理、千原国宏、芳賀洋一
262) High Aspect Ratio Spiral Microcoils Fabricated by a Silicon Lost Molding Technique
[J. of Micromech. Microeng., 16, 5 (2006) 1057-1061]
Y.G.Jiang, T.Ono and M.Esashi
263) High-Density Ferroelectric Recording Using Diamond Probe by Scanning Nonlinear
Dielectric Microscopy
[Jap. J. of Applied Physics., 45, 3A (2006) 1530-1533]
H.Takahashi, A.Onoe, T.Ono, Y.Cho and M.Esashi
264) A Diamond-tip Probe with Silicon-based Piezoresistive Strain Guage for High-density Data
Storage Using Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy
[J. of Micromech. Microeng., 16, (2006) 1620-1624]
H.Takahashi, T.Ono, A.Onoe, Y.Cho and M.Esashi
265) Fabrication and Characterization of a Monolithic PZT Microstage
[Microsystem Technol., 12, 9 (2006) 883-890]
H.G.Xu, T.Ono, D.-Y.Zhang and M.Esashi
266) 形状記憶合金アクチュエータを応用した人工食道開発
[日本 AEM 学会誌, 12, 2 (2006) 94-97]
山家智之、堀義生、渡辺誠、白石泰之、井口篤志、田林晄一、芳賀洋一、江刺正喜、吉澤誠、
田中明、松木英敏、佐藤文博、川野恭之、羅雲、高木敏行、早瀬敏幸、圓山重直、仁田新一、
20
佐々田比呂志、佐藤英明、宮田剛、里見進、本間大、前田剛
267) Parasitic Leakage Resonance-free HRS MEMS Package for Microwave and Millimeter-wave
[Sensors and Actuators A, 131 (2006) 83-90]
Y.T.Song, H.Y.Lee and M.Esashi
268) Fabrication of Three-dimensional Microstructure Using Maskless Gray-scale Lithography
[Sensors and Actuators A, 131 (2006) 387-392]
K.Totsu, K.Fujishiro, S.Tanaka and M.Esashi
269) Inverted Mesa-Type Quartz Crystal Resonators Fabricated by Deep-Reactive Ion Etching
[IEEE Trans. on Ultrasonics, Ferroelectronics, and Frequency Control, 53, 7 (2006)
1234-1235]
T.Abe, V.N.Hung and M.Esashi
270) A Micro Fuel Reformer Integrated with a Combustor and a Microchannel Evaporator
[J. of Micromech. Microeng., 16, 9 (2006) S191-S197]
K.Yoshida, S.Tanaka, H.Hiraki and M.Esashi
271) Development of an in Situ Chemical Vapor Deposition Method for an Alumina Catalyst Bed
in a Suspended Membrane Micro Fuel Reformer
[J. of Micromech. Microeng., 16, 9 (2006) S206-S210]
T.Takahashi, S.Tanaka and M.Esashi
272) Silicon-Carbide Microfabrication by Silicon Lost Molding for Glass-Press Molds
[J. of Microelectromechanical Systems, 15, 4 (2006) 859-863]
T.Itoh, S.Tanaka, J.-F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
273) Minimally Invasive Diagnostics and Treatment Using Micro/Nanomachining
[Minamally Invasive Therapy, 15, 4 (2006) 218-225]
Y.Haga, T.Matsunaga, W.Makishi, K.Totsu, T.Mineta and M.Esashi
274) Optical Near-Field Probe Integrated with Self-Aligned Bow-Tie Antenna and Electrostatic
Actuator for Local Field Enhancement
[J. of Microelectromechanical Systems, 15, 3 (2006) 1201-1208]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
275) Capacitive Resonant Mass Sensor with Frequency Demodulation Detection Based on Resonant
Circuit
[Applied Physics Letters, 88, 5 (2006) 053116-1-3]
S.-J.Kim, T.Ono and M.Esashi
276) Precise Motion Control of a Nanopositioning PZT Microstage Using Integrated Capacitive
Displacement Sensors
[J. of Micromech. Microeng., 16, 3, (2006) 2747-2754]
H.G.Xu, T.Ono and M.Esashi
277) Fabrication of Organic Thin Film Transistor (OTFT) Array by Using Nanoprinting Process
[Key Engineering Materials, 326-328 (2006) 385-388]
J.Jo, K.-Y.Kim, E.-S. Lee and M.Esashi
278) Low Actuation Voltage Capacitive Shunt RF-MEMS Switch Having a Corrugated Bridge
[IEICE Transactions on Electronics, E89-C, 12 (2006) 1880-1887]
Y.T.Song, H.Y.Lee and M.Esashi
279) 小型収束超音波トランスジューサを用いた内視鏡的治療デバイス
[電気学会論文誌 E, 127, 2 (2007) 69-74]
安居晃啓、芳賀洋一、陳俊傑、伊関洋、江刺正喜、和田仁
280) 形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡
[電気学会論文誌 E, 127, 2 (2007) 75-81]
21
牧志渉、松永忠雄、江刺正喜、芳賀洋一
281) Laterally Stacked Glass Substrates with High Density Electrical Feedthroughs
[J. of Micromech. Microeng., 17, 3 (2007) 597-602]
S.Tanaka, S.Fujimoto, O Ito, S.-H.Choe and M.Esashi
282) A Corrugated Bridge of Low Residual Stress for RF-MEMS Switch
[Sensors and Actuators A, 135 (2007) 818-825]
Y.T.Song, H.Y.Lee and M.Esashi
283) Fabrication of Diamond Schottky Emitter Array by Using Electrophoresis Pre-treatment
and Hot-filament Chemical Vapor Deposition
[Diamond and Related Materials, 16 (2007) 1398-1402]
C.-H.Tsai, T.Ono and M.Esashi
284) Fabrication of High-Resolution Nanopattern by Using Nanocontact Printing with Flexible
h-PDMS Stamp
[Key Engineering Materials, 345-346 (2007) 1257-1260]
J.Jo, T.-M.Lee, K.-Y.Kim, E.-S. Lee and M.Esashi
285) Imaging of Acoustic Pressure Radiation from Vibrating Microstructure in Atmosphere using
Thermal Microscope
[Applied Physics Letters, 90 (2007) 211911]
T.Ono, S.-J.Kim and M.Esashi
286) Silicon on Insulator for Symmetry-Converted Growth
[Applied Physics Letters, 90 (2007) 243107]
Y.Fujikawa, Y.Yamada-Takamura, G.Yoshikawa, T.Ono, P.P.Zhang, M.G.Lagally and T.Sakurai
287) Optical Amplification of the Resonance of a Bimetal Silicon Cantilever
[Applied Physics Letters, 90 (2007) 243112]
T.Ono, S.Yoshida, Y.Kawai and M.Esashi
288) Proximity Electron Lithography Using Permiable Electron Window
[Applied Physics Letters, 91 (2007) 044104]
W.Cho, T.Ono and M.Esashi
289) Hydroinertia Gas Bearing System to Achieve 470 m/s Tip Speed of 10 mm-Diameter Impellers
[J. of Tribology, 29, July (2007) 655-659]
S.Tanaka, M.Esashi, K.Isomura, K.Hikichi, Y.Endo and S.Togo
290) Resonator Combined with a Piezoelectric Actuator for Chemical Analysis by Force
Microscopy
[Rev. of Sci. Instru., 78 (2007) 063709-1~4]
Y.Kawai, T.Ono, M.Esashi, E.Meyer and C.Gerber
291) Mass Detection Using Capacitive Resonant Silicon Resonator Employing LC Resonant Circuit
Technique
[Rev. of Sci. Instru., 78 (2007) 085103-1~6]
S.-J.Kim, T.Ono and M.Esashi
292) Fabrication and High-speed Characterization of SU-8 Shrouded Two-dimensional
Microimpellers
[J. of Micromech. Microeng., 17, 9 (2007) S230-S236]
A.Nakajima, P.Kang, N.Honda, K.Hikichi, M.Esashi and S.Tanaka
293) Sputter Deposited Zinc Oxide Photoconductive Antenna on Silicon Substrate for
Sub-Teraherz Time -Domain Spectroscopy
[電気学会論文誌 E, 127-E, 11 (2007) 508-509]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
22
294) Study on the Noise of Silicon Capacitive Resonant Mass Sensors in Ambient Atmosphere
[J. of Applied Physics, 102, 10 (2007) 104304]
S.-J.Kim, T.Ono and M.Esashi
295) Etch Stop Process for Fabrication of Thin Diaphragms in Lithium Niobate
[Jap. J. of Applied Physics, 46, 45 (2007) L1099-L1101
A.B.Randles, M.Esashi and S.Tanaka
296) Conductive Polymer Patterned Media for Scanning Multiprobe Data Storage
[Nanotechnology, 18 (2007) 505302(5pp)]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
297) Fabrication of Direct-Printed OTFT Array Using Flexible h-PDMS Stamp
[Sensors and Materials, 19, 8 (2007) 487-496]
J.Jo, T.-M.Lee, J.-S.Yu, C.-H Kim, D.-S.Kim, W.-S Lee and M.Esashi
298) Debris-free Laser-assisted Low-stress Dicing for Multi-layered MEMS -Separation Method
of Glass Layer[電気学会論文誌 E, 128-E, 3 (2008) 91-96]
Y.Izawa, Y.Tsurumi, S.Tanaka, H.Kikuchi, K.Sueda, Y.Nakata, M.Esashi, N.Miyanaga and
M.Fujita
299) MEMS-based Air Turbine with Radial-inflow Type Journal Bearing
[Transactions on Electrical and Electronic Engineering (IEEJ Trans), 3 (2008) 297-304]
S.Tanaka, Y.Miura, P.Kang, K.Hikichi and M.Esashi
300) Electrostatically Controlled, Pneumatically Actuated Microvalve with Low Pressure Loss
[Transactions on Electrical and Electronic Engineering (IEEJ Trans), 3 (2008) 305-312]
D.Satoh, S.Tanaka and M.Esashi
301) Design and Fabrication of Passive Wireless SAW Sensor for Pressure Measurement
[電気学会論文誌 E, 128-E, 5 (2008) 231-234]
S.Hashimoto, J.H.Kuypers, S.Tanaka and M.Esashi
302) Test of B/Ti Multilayer Reactive Igniters for a Micro Solid Rocket Array Thruster
[Sensors and Actuators A, 144 (2008) 361-366]
S.Tanaka, K.Kondo, H.Habu, A.Itoh, M.Watanabe, K.Hori and M.Esashi
303) Process for the Fabrication of Hollow Core Solenoidal Microcoils in Borosilicate Glass
[J. of Micromech. Microeng., 18, 7 (2008) 075002(6pp)]
M.J.K.Klein, T.Ono, M.Esashi and J.G.Korvink
304) Micromachined Si Cantilever Arrays for Parallel AFM Operation
[J. of Mechanical Science and Technology, 22 (2008) 308-311]
Y.Ahn, T.Ono and M.Esashi
305) Bonding of a Si Microstructure Using Field-Assisted Glass Melting
[J. of Micromech. Microeng., 18 (2008) 085003(5pp)]
H.Seki, T.Ono, Y.Kawai and M.Esashi
306) Maximum Accuracy Evaluation Scheme for Wireless SAW Delay-Line Sensors
[IEEE Trans. on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control, 55, 7 (2008) 1640-1652]
J.H.Kuypers, L.M.Reidl, S.Tanaka and M.Esashi
307) Photolithographic Fabrication of Gated Self-aligned Parallel Electron Beam Emitters with
a Single-stranded Carbon Nanotube
[Nanotechnology, 19 (2008) 365601 (5pp)]
J.Ho, T.Ono, C.-H Tsai and M.Esashi
308) Fabrication of Anti-Corrosive Capacitive Vacuum Sensors with a Silicon
Carbide/Polysilicon Bi-Layer Diaphragm and Electrical Through-Hole Connections on the
23
Opposite Side
[電気学会論文誌 E, 128-E, 8 (2008) 331-336]
B.Larangot, S.Tanaka and M.Esashi
309) Fabrication of Piezoresistive Nanocantilevers for Ultra-sensitive Force Detection
[Meas. Sci. Technol., 19 (2008) 084011 (5pp)]
Y.G.Jiang, T.Ono and M.Esashi
310) Formation of a Flat Conductive Polymer Film Using Template-Stripped Gold (TSG) Surface
and Surface^Graft Polymerization for Scanning Multiprobe Date Storage
[e-Journal of Surface Science and Nanotechnology, 6 (2008) 202-208]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
311) カテーテル実装に適した血管内 MRI プローブの開発
[電気学会論文誌 E, 128-E, 10 (2008) 389-395]
五島彰二、松永忠雄、松岡雄一郎、黒田輝、江刺正喜、芳賀洋一
312) 円筒面レーザプロセスを用いた低侵襲医療機器の開発
[電気学会論文誌 E, 128-E, 10 (2008) 402-409]
芳賀洋一、六槍雄太、五島彰二、松永忠雄、江刺正喜
313) A New Approach for Terahertz Local Spectroscopy using Microfabricated Scanning Near-field
Probe
[Jap. J. of Applied Physics, 47, 10 (2008) 8095-8097]
K.Iwami, T.Ono, M.Esashi
314) Conductive Polymer Patterned Media Fabricated by Diblock Copolymer Lithography for
Scanning Multiprobe Data Storage
[Nanotechnology, 19 (2008) 475302(9pp)]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
315) Noise-Enhanced Sensing of Light and Magnetic Force Based on a Nonlinear Silicon
Microresonator
[Applied Physics Express, 1 (2008) 123001-1-3]
T.Ono, Y.Yoshida, Y.-G.Jiang and M.Esashi
316) Thermal Imaging with Tapping Mode Using a Bimetal Oscillator Formed at the End of a
Cantilever
[Review of Scientific Instruments, 80 (2009) 033703-1-6]
S.-J.Kim, T.Ono and M.Esashi
317) 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO 2 の堆積と微細加工
[日本機械学会論文集(B 編), 75, 3 (2009) 138-140]
高橋智一、井口史匡、湯上浩雄、江刺正喜、田中秀治
318) Debris-free High-speed Laser-assisted Low-stress Dicing for Multi-layered MEMS
[電気学会論文誌 E, 129-E, 3 (2009) 63-68]
Y.Izawa, Y.Tsurumi, S.Tanaka, H.Kikuchi, K.Sueda, Y.Nakata, M.Esashi, N.Miyanaga and
M.Fujita
319) 積層 MEMS のためのパルスレーザー支援デブリスフリー低ストレスダイシング技術
[レーザー研究, 37, 5 (2009) 384-388]
鶴見洋輔、井澤友策、福士秀幸、吉田実、江刺正喜、宮永憲明、田中秀治、藤田雅之
320) Temperature-dependent Mechanical and Electrical Properties of Boron-doped
Piezoresistive Nanocantilevers
[J. of Micromech. Microeng., 19, 6, (2009) 065030(5pp)]
Y.Jiang, T.Ono and M.Esashi
321) Long Working Range Mercury Droplet Actuation
24
[J. of Micromech. Microeng., 19, 9 (2009) 094016(9pp)]
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
322) Modeling and Experimental Validation of the Performance of a Silicon XY-microstage Driver
by PZT Actuators
[J. of Micromech. Microeng., 19, 9 (2009) 095004(9pp)]
M.Faizul M.Sabri, T.Ono and M.Esashi
323) The Fabrication of Metallic Tips with a Silicon Cantilever for Probe-based Ferroelectric
Data Storage and Their Durability Experiments
[Nanotechnology, 20, 6 (2009) 365201 (6pp)]
H.Takahashi, Y.Mimura, S.Mori, M.Ishimori, A.Onoe, T.Ono and M.Esashi
324) A High-Resolusion Endoscope of Small Diameter Using Electromagnetically Vibration of
Single Fiber
[電気学会論文誌 E, 129, 11 (2009) 399-404]
T.Matsunaga, R.Hino, W.Makishi, M.Esashi and Y.Haga
325) A One-step Conversion of Benzene to Phenol Using MEMS-based Pd Membrane Microreactors
[Chemical Engineering Journal, 155 (2009) 829-837]
S.-Y.Ye, S.Hamakawa, S.Tanaka, K.Sato, M.Esashi and F.Mizukami
326) 割込み型触覚センサシステムのための LSI 設計
[電気学会論文誌 E, 129, 12 (2009) 450-460]
室山真徳、巻幡光俊、松崎栄、山田整、山口宇唯、中山貴裕、野々村裕、田中秀治、江刺正喜
327) Microassembly of PZT Actuators into Silicon Microstructures
[電気学会論文誌 E, 129, 12 (2009) 471-472]
M.F.M.Sabri, T.Ono and M.Esashi
328) Electrostatically Switchable Microprobe for Mass-Analysis Scanning Force Microscopy
[電気学会論文誌 E, 130-E, 2 (2010) 59-60]
C.-Y.Shao, Y.Kawai, M.Esashi and T.Ono
329) Normally Closed Electrostatic Microvalve with Pressure Balance Mechanism for Prtable
Fuel Cell Application
[Sensors and Actuators A, 157 (2010) 290-298]
K.Yoshida, S.Tanaka, Y.Hagihara, S.Tomonari and M.Esashi
330) Normally Closed Electrostatic Microvalve with Pressure Balance Mechanism for Prtable
Fuel Cell Application. Part Ⅰ: Design and Simulation
[Sensors and Actuators A, 157 (2010) 299-306]
K.Yoshida, S.Tanaka, Y.Hagihara, S.Tomonari and M.Esashi
331) Debris-free Low-stress High-speed Laser Assisted Dicing for Multi-layered MEMS
[電気学会論文誌 E, 130-E, 4 (2010) 118-123]
M.Fujita, Y.Izawa, Y.Tsurumi, S.Tanaka, H.Fukushi, K.Sueda, Y.Nakata, M.Esashi and
N.Miyanaga
332) Magnetic Torque Driving 2D Micro Scanner with a Non-Resonant Large Scan Angle
[電気学会論文誌 E, 130-E, 4 (2010) 135-136]
W.Makishi, Y.Kawai and M.Esashi
333) Novel Design for Optical Scanner with Piezoelectric Film Deposited by Metal Organic
Chemical Vapor Deposition
[Jap. J. Appl. Phys., 49, 6 (2010) 04DL19]
H.Matsuo, Y.Kawai and M.Esashi
334) 超小形ガスタービンエンジン実証試験のための慣性気体軸受
[トライボロジスト, 55, 4 (2010) 292-299]
25
引地広介、十合晋一、江刺正喜、田中秀治
335) Design and Fabrication of a Scanning Near-field Microscopy Probe with Integrated Zinc
Oxide Photoconductive Antennas for Local Terahertz Spectroscopy
[Sensors and Materials, 22, 3 (2010) 135-142]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
336) Preparation of Thin Lithium Niobate Layer on Silicon Wafer for Wafer-level Integration
of Acoustic Devices and LSI
[電気学会論文誌 E, 130-E, 6 (2010) 236-241]
K.D.Park, M.Esashi and S.Tanaka
337) Fabrication of Deep Silicon Microstructures by the Combination of Anodization and p++
Etch Stop
[IEEJ Trans. on Electrical and Electronic Engineering, 5, 4 (2010) 493-497]
T.Ohno, S.Tanaka and M.Esashi
338) Investigation for (100)-/(001)-Oriented Pb(Zr,Ti)O 3 Films Using Platinum Nanofacets and
PbTiO 3 Seeding Layer
[Jap. J. Appl. Phys, 49 (2010) 061503]
H.Matsuo, Y.Kawai, S.Tanaka and M.Esashi
339) Micro Wishbone Interferometer for Miniature FTIR Spectrometer
[電気学会論文誌 E, 130-E, 7 (2010) 333-334]
Y.-M.Lee, M.Toda, M.Esashi and T.Ono
340) Carbon-Nanotube-Enhanced Thermal Contactor in Low Contact Pressure Region
[Jap. J. Appl. Phys, 49 (2010) 070210]
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
341) Electrostatic Actuator Probe with Curved Electrodes for Time-of-flight Scanning Force
Microscopy
[Review of Scientific Instruments, 81 (2010) 083702]
C.Y.Shao, Y.Kawai, M.Esashi and T.Ono
342) アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
[電気学会論文誌 E, 130-E, 9 (2010) 421-425]
高橋智一、巻幡光俊、江刺正喜、田中秀治
343) Multi-band Radio-frequency Filter Fabricated Using Polyimide-based Membrane transfer
Bonding Technology
[J. of Micromech. Microeng., 20, 9 (2010) 095027(9pp)]
T.Matsumura, M.Esashi, H.Harada and S.Tanaka
344) Quartz-crystal Scanning Probe Microcantilevers with a Silicon Tip Based on Direct Bonding
of Silicon and Quartz
[Nanotechnology, 21 (2010) 405502 (5pp)]
A.Takahashi, M.Esashi and T.Ono
345) Mechanically Coupled Synchronized Resonators for Resonant Sensing Applications
[J. of Micromech. Microeng., 20, 11 (2010) 0115001(5pp)]
J.Feng, X.Ye, M.Esashi and T.Ono
346) Deposition of Conductivity-switching Polyimide Film by Molecular Layer Deposition and
Electrical Modification Using Scanning Probe Microscope
[Micro & Nano Letters, 5, 5 (2010) 321-323]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
347) 燃料電池用 MEMS 水素センサのための受動的結露水除去構造
[電気学会論文誌 E, 130-E, 11 (2010) 517-522]
26
加納正挙、石居真、吉永春生、江刺正喜、田中秀治
348) ECR プラズマを用いてスパッタ堆積した AlN 薄膜の応力制御
[電気学会論文誌 E, 130-E, 11 (2010) 523-527]
日野龍之介、松村武、江刺正喜、田中秀治
349) Etch Rate Dependence on Crystal Orientation of Lithium Niobate
[IEEE Trans. on Ultrasonics, Ferroelectrrics, and Frequency Control, 57, 11 (2010)
2372-2380]
A.B.Randles, M.Esashi and S.Tanaka
350) Imprinted Laminate Wafer-Level Packaging for SAW ID-Tags and SAW Delay Line Sensors
[IEEE Trans. on Ultrasonics, Ferroelectrrics, and Frequency Control, 58, 2 (2011) 406-413]
J.H.Kuypers, S.Tanaka and M.Esashi
351) 使い捨て化と細径化を目指した形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡の開発
[電気学会論文誌 E, 131-E, 3 (2011) 102-110]
牧志渉、池田雅春、江刺正喜、松永忠雄、芳賀洋一
352) MEMS 用難除去高分子材料のオゾンエッチング
[電気学会論文誌 E, 131-E, 3 (2011) 122-127]
柳田秀彰、吉田慎哉、江刺正喜、田中秀治
353) Modeling and Experimental Analysis on the Nonlinearity of Single Crystal Silicon
Cantilevered Microstructures
[電気学会論文誌 E, 131-E, 5 (2011) 195-196]
Y.Jiang, M.Esashi and T.Ono
354) Micro Wishbone Interferometer for Fourier Transform Infrared Spectroscopy
[J. of Micromech. Microeng., 21, 6 (2011) 065039(9pp)]
Y.-M.Lee, M.Toda, M.Esashi and T.Ono
355) Glass-forming Ability and Thermoplastic Formability of a Pd 40 Ni 40 Si 4 P 16 Glassy Alloy
[J. of Materials Science, 46, 7 (2011) 2091-2096]
N.Chen, H.A.Yang, A.Caron, P.C.Chen, Y.C.Lin, D.V.Louzguine-Luzgin, K.F.Yao, M.Esashi
and A.Inoue
356) Design Issues for Piezoresistive Nanocantilever Sensors with Non-uniform Nanoscale
Doping Profiles
[電気学会論文誌 E, 131-E, 7 (2011) 270-271]
Y.Jiang, M.Esashi and T.Ono
357) Local Electrical Modification of a Conductivity-switching Polyimide film Formed by
Molecular Layer Deposition
[Nanotechnology, 23 (2011) 3353302(9pp)]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
358) ロボット全身分布型触覚センサシステム用LSIの開発
[電気学会論文誌E, 131, 8 (2011) 302-309]
室山真徳、巻幡光俊、中野芳宏、松崎栄、山田整、山口宇唯、中山貴裕、野々村裕、藤吉
基弘、田中秀治、江刺正喜
359) Formation and Properties of Au-based Nanograined Metallic Glasses
[Acta Materia, 59 (2011) 6433-6440]
N.Chen, R.Frank, N.Asao, D.V.Louzguine-Luzgin, P.Sharma, J.Q.Wang, G.Q.Xie, Y.Ishikawa,
N.Hatakeyama, Y.C.Lin, M.Esashi, Y.Yamamoto and A.Inoue
360) Fabrication of Einzel Lens Array with One-Mask Reactive Ion Etching Process for Electron
Micro-Optics
[Jap. J. Appl. Phys, 50 (2011) 106503-1-5]
27
H.Miyashita, E.Tomono, Y.Kawai, M.Esashi and T.Ono
361) LSI 上に一体集積化した 3 次元マイクロコイル発振器
[電気学会論文誌E, 131, 10 (2011) 363-367]
矢部友崇、三村泰弘、高橋宏和、尾上篤、室賀翔、山口正洋、小野崇人、江刺正喜
362) Micromirror with Large-tilting Angle Using Fe-based Metallic Glass
[Optics Letters, 36, 17 (2011) 3464-3466]
J.-W.Lee, Y.-C.Lin, N.Kaushik, P.Sharma, A.Makino, A.Inoue, M.Esashi and T.Gessner
363) Development of the Large Scanning Mirror Using Fe-Based Metallic Glass Ribbon
[Jap. J. of Applied Physics, 50 (2011) 087301-1-3]
J.-W.Lee, Y.-C.Lin, N.Chen, D.V.Louzquine, M.Esashi and T.Gessner
364) Adhesive Wafer Bonding Using a Molded Thick Benzocyclobutene Layer for Wafer-level
Integration of MEMS and LSI
[J. of Micromech. Microeng., 21, 8 (2011) 085002(7pp)]
M.Makihata, S.Tanaka, M.Muroyama, S.Matsuzaki, H.Yamada, N.Nakayama, U.Yamaguchi,
Y.Nonomura, M.Fujiyoshi and M.Esashi
365) A Micro Thermal Switch with a Stiffness-enhanced Thermal Isolation Structure
[J. of Micromech. Microeng., 21, 10 (2011) 104008(6pp)]
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
366) 高周波 MEMS のためのルテニウム微小電極パターンの作製法
[電気学会論文誌E, 132, 4 (2012) 71-76]
松村武、江刺正喜、原田博司、田中秀治
367) Conformal Coating of Poly-glycidyl Methacrylate as Lithographic Polymer via Initiated
Chemical Vapor Deposition
[J. Micro/Nanolith. MEMS MoeMs, 11, 2 (2012) 023001(p.7)]
S.Yoshida, T.Kobayashi, M.Kumano and M.Esashi
368) Characterization of Catalytic Chemical Vapour Deposited SiCN Thin Film Coatings
[International Nano Letters, 2, 4 (2012)]
S.Neethirajan, T.Ono and M.Esashi
369) LSI-based Amperometric Sensor for Bio-imaging and Multi-point Biosensing
[Lab on a Chip, 10.1039/C2LC40323D (June 2012)]
K.Y.Inoue, S.Matsudaira, R.Kubo, M.Nakano, S.Yoshida, S.Matsuzaki, A.Suda, R.Kunikata,
T.Kimura, R.Tsurumi, T.Shioya, K.Ino, H.Shiki, S.Satoh, M.Esashi and T.Matsue
370) Anodic Bonding between LTCC Wafer and Si Wafer with Sn-Cu-based Electrical Connection
[Electronics and Communications in Japan., 95, 4 (2012) 189-194]
S.Matsuzaki, S.Tanaka and M.Esashi
371) Vibration Mode Observation of Piezoelectric Disk-Type Resonator by High-Frequency Laser
Doppler Vibrometer
[Electronics and Communications in Japan, 95, 5 (2012) 1086-1093]
T.Matsumura, M.Esashi, H.Harada and S.Tanaka
372) MEMS のための SiC 両面 CVD 装置の開発
[電気学会論文誌 E, 132-E, 5 (2012) 114-118]
鈴木康久、田中秀治、畠山庸平、江刺正喜
373) LTCC 基板による MEMS ウェハレベルパッケージング技術
[電気学会論文誌 E, 132-E, 8 (2012) 246-253]
毛利護、江刺正喜、田中秀治
374) Active-matrix Nanocrystalline Si Electron Emitter Array for Massively Parallel
Direct-write Electron-beam System: First Results of the Performance Evaluation
28
[J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 11, 3 (2012) 031406]
N.Ikegami, T.Yoshida, A.Kojima, H.Ohyi, N.Koshida and M.Esashi
375) Lithium-Niobate-Based Surface Acoustic Wave Oscillator Directly Integrated with CMOS
Sustaining Amplifier
[IEEE Trans. on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, 59, 8 (2012) 1800-1805]
S.Tanaka, K.D.Park and M.Esashi
376) 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型 MEMS センサ ― 物理モデルを用いた設
計と試作によるその検証 ―
[電気学会論文誌 E, 132, 9 (2012) 261-268]
畠山庸平、田中秀治、江刺正喜
377) RF-MEMSスイッチのための低電圧駆動薄膜PZT積層アクチュエータ
[電気学会論文誌 E, 132, 9 (2012) 282-287]
森山雅昭、川合祐輔、田中秀治、江刺正喜
378) MEMS-LSI集積化デバイスを用いた触覚センサネットワークシステム開発のための模擬ネットワ
ークシステムの試作
[電気学会論文誌 E, 132, 9 (2012) 288-295]
中野芳宏、室山真徳、巻幡光俊、田中秀治、松崎栄、山田整、中山貴裕、山口宇唯、野々村裕、藤
吉基弘、江刺正喜
379) Determination of the Orientations and Microstructure of Pb(Zr,Ti)O Films Fabricated on
Diffent Substrate Structures
[Sensors and Materials, 24, 7 (2012) 413-418]
J.-W.Lee, Y.Kawai, S.Tanaka and M.Esashi
380) Integration and Packaging Technology of MEMS-on-CMOS Capacitive Tactile Sensor for Robot
Application Using Thick BCB Isolation Layer and Backside-grooved Electrical Connection
[Sensors and Actuators A, 188 (2012) 103-110]
M.Makihata, S.Tanaka, M.Muroyama, S.Matsuzaki, H.Yamada, T.Nakayama, U.Yamaguchi,
K.Mima, Y.Nonomura, M.Fujiyoshi and M.Esashi
381) Electrical Interconnection in Anodic Bonding of Silicon Wafer to LTCC Wafer Using Highly
Compliant Porous Bumps Made from Submicron Gold Particles
[Sensors and Actuators A, 188 (2012) 198-202]
S.Tanaka, M.Mohri, T.Ogashima, H.Fukushi, K.Tanaka, D.Nakamura, T.Nishimori and M.Esashi
382) Wideband Tunable Love Wave Filter Using Electrostatically Actuated MEMS Variable
Capacitors Integrated on Lithium Niobate
[Sensors and Actuators A, 188 (2012) 456-462]
T.Yasue, T.Komatsu, N.Nakamura, K.Hashimoto, H.Hirano, M.Esashi and S.Tanaka
383) An Optically Switchable Emitter Array with Carbon Nanotubes Grown on a Si Tip for
Multielectron Beam Lithography
[Nanotechnology, 24 (2012) 015203(6pp)]
Y.Tanaka, H.Miyashita, M.Esashi, T.Ono
384) Piezoresistive Silicon Microresonator for Measurements of Hydrogen Adsorption in Carbon
Nanotubes
[Jap. J. Appl. Phys., 51, 11 (2012) 116601]
A.An, M.Esashi and T.Ono
385) Integrated Microsystems
[Advances in Science and Technology, 81 (2013) 55-64]
M.Esashi and S.Tanaka
386) Functional RF Devices Powered by MEMS Technologies
29
[Advances in Science and Technology, 81 (2013) 75-83]
K.Hashimoto, H.Hirano, S.Tanaka and M.Esashi
387) Integration of BST Varactors with Surface Acoustic Wave Device by Film Transfer
Technology for Tunable RF Filters
[J. of Micromech. Microeng., 23, 2 (2013) 025005(9pp)]
H.Hirano, T.Kimura, I.P.Koutsaroff, M.Kodato, K.Hashimoto, M.Esashi and S.Tanaka
388) Structural Investigation and Mechanical Properties of a Representative of a New Class
of Materials : Nanograined Metallic Glasses
[Nanotechnology, 24 (2013) 045610(8pp)]
N.Chen, D.V.Louzguine-Luzgin, G.Q.Xie, P.Sharuma, J.H.Perepezko, M.Esashi, A.R.Yavari
and A.Inoue
(b) 解説Ａ(学協会誌関係の主要なもの)
1)
IC 技術の MBE への応用
[医用電子と生体工学, 16, 4 (1978) 245-250]
松尾正之、江刺正喜
2) 生体用電極
[計測と制御, 18, 8 (1979) 665-672]
松尾正之、江刺正喜
3) 電界効果トランジスタ形ケミカルセンサとその応用
[応用物理, 49, 6(1980) 586-593]
松尾正之、江刺正喜
4) 医用・生体工学におけるセンサ－新しいマイクロセンサ－
[システムと制御, 24, 9 (1980) 592-596]
松尾正之、江刺正喜
5) FET センサー
[電気化学および工業物理化学, 50, 1 (1982) 64-71]
松尾正之、江刺正喜
6) 半導体多重電極
[医用電子と生体工学, 21, 7 (1983) 57-63]
江刺正喜
7) 半導体化学センサ (化学センサ 1984, 1985, 1986, 1987)
[化学センサニュース, 1, 3 (1985) 56-62][同, 2, 4 (1986) 77-81][同, 3, 4 (1987) 73-78][同,
4, 2-4 (1988) 40-44]
江刺正喜
8) 生体用マイクロセンサ
[電気学会誌, 104, 6 (1984) 47-50]
松尾正之、江刺正喜
9) 大学での LSI 製作と教育
[電子通信学会誌, 68, 1 （1985）50－52]
江刺正喜
10) センサと電極(3) ISFET
[電気化学および工業物理化学,53,12(1985),947-950]
松尾正之、江刺正喜
11) マイクロマシーニングによる機械的機能部品
30
[電気学会誌, 107, 7 (1987)681-684]
江刺正喜
12) Solid State Micro Sensors
[Medical Progress through Technology, 12 (1987) 145-157]
M.Esashi and T.Matsuo
13) 集積化センサ・アクチュエータシステム
[電気学会論文誌 D, 108, 3 (1988) 210-213］
江刺正喜
14) マイクロメカニズムー精密工学の新しい展開
[精密工学会誌, 54, 9 (1988) 1625-1629]
江刺正喜
15) マイクロメカニズム研究の現状
[計測と制御,28,6(1989),479-480]
江刺正喜
16) マイクロマシニングとマイクロメカニズム
[日本時計学会誌,129(1989),65-83]
江刺正喜
17) マイクロマシーニング技術
[日本ＭＥ学会雑誌,3,5(1989),19-27]
江刺正喜
18) マイクロマシニングによるセンサ作製
[精密工学会誌,55,9(1989),1557-1561]
江刺正喜
19) 集積化容量型圧力センサ
[電気学会論文誌 C,109,12(1989),820-823]
江刺正喜
20) マイクロマシニングによるセンサ技術
[電気学会誌,110,3(1990),203-210]
江刺正喜
21) マイクロマシニング技術の現状
[電気学会誌,110,7(1990),571-574]
江刺正喜
22) シリコンマイクロバルブとその応用
[日本ロボット学会誌,8,4(1990),83-88]
江刺正喜
23) マイクロマシン
[応用物理,60,3(1991),227-238]
江刺正喜
24) マイクロマシニングセンサ
[電子情報通信学会論文誌Ｃ-II,J74-C-II,5(1991),404-410]
江刺正喜
Sensors by Micromachining
[Electronics and Communications in Japan,Part 2,74,11(1991),76-83]
M.Esashi
25) 集積化マイクロセンサ
[日本 ME 学会雑誌,5,11(1991),1-8]
江刺正喜
31
26) マイクロマシーニングと化学センサ、集積化化学分析システム
[電気化学,59,10(1991),848-856]
庄子習一、江刺正喜
27) Silicon Microvalves and Their Applications
[J.of Robotics and Mechatronics,3,1 (1991),28-33]
M.Esashi
28) マイクロマシニングによるセンサ
[計測と制御,31,1(1992),200-203]
江刺正喜
29) マイクロマシン研究入門ーこれからマイクロマシンを手がける人のためにー
II．マイクロマシン研究設備の整え方
[電気学会論文誌 A,112,12(1992),962-967]
江刺正喜
30) 低侵襲マイクロセンサ
[人工臓器,32,4(1993),1150-1155]
江刺正喜
31) 医用集積化センサ技術
[設計工学,28,8(1993),313-317]
江刺正喜
32) 今どこまで小さくて複雑なことができるのか
[メカライフ,33,9(1993),6-7]
江刺正喜
33) マイクロポンプ
[ターボ機械,21,10(1993),608-613]
江刺正喜、庄子習一
34) Silicon Micromachining and Micromachines
[Wear,168,1-2(1993),181-187]
M.Esashi
35) マイクロマシニングによるマイクロシステム
[インテリジェント材料,3,3 (1993),16-21]
江刺正喜
36) 半導体微細加工技術によるマイクロシステム
[化学工業,44,12 (1993),998-1002]
江刺正喜
37) マイクロマシニングとセンサ
[静電気学会誌,17,5 (1993),328-334]
江刺正喜
38) マイクロマシンのための三次元微細加工技術
[応用物理,63,1 (1994),45-48]
江刺正喜、南和幸
39) マイクロマシニングの動向
[日本機械学会誌,97,905 (1994),286-289]
江刺正喜
40) マイクロマシン技術
[Medical Imaging Technology,12,4 (1994),353-359]
江刺正喜
41) マイクロマシンのための微細加工技術
32
[日本ロボット学会誌,12,4 (1994),537-542]
江刺正喜
42) 微細加工とマイクロマシン
[電気学会部門誌 A,114,7/8 (1994),499-506]
江刺正喜
43) マイクロ加工技術
[溶接学会誌,63,6 (1994),449-453]
江刺正喜
44) マイクロマシーニング技術の現状と将来
[日本応用磁気学会誌,18,5 (1994),896-902]
江刺正喜
45) Microflow Devices and Systems
[J.of Micromech. and Microeng.,4,4 (1994),157-171]
S.Shoji & M.Esashi
46) Packaged Sensors, Microactuators and Three-Dimentional Microfabrication
[J. of Robotics and Mechatronics, 7, 3 (1995) 200-203]
M.Esashi
47) シリコンプロセスとその応用
[日本 ME 学会雑誌,9,8(1995),3-10]
江刺正喜
48) マイクロマシニングの現状と新たな潮流
[精密工学会誌,62,1 (1996),52-58)]
江刺正喜
49) シリコン技術で作られる小さな機械
(マイクロマシニングによる集積化センサ・アクチュエータシステム)
[日本機械学会論文集(C 編),62,594 (1996),417-422]
江刺正喜
50) マイクロマシン
－シリコン微細加工技術による微小電気機械システム－
[テレビジョン学会誌,50,8 (1996),1046-1053]
江刺正喜
51) Silicon Micromachining for Integrated Microsystems
[Vacuum, 47, 6-8 (1996) 469-474]
M.Esashi
52) 微小世界の物理学とマイクロマシン
[日本ロボット学会誌,14,8 (1996),1086-1089]
江刺正喜
53) 光マイクロマシン
[応用物理,66,1 (1997),9-14]
江刺正喜
54) マイクロマシン技術の動向
[Microoptics News,15,1 (1997),31-36]
江刺正喜
55) 超微細加工への挑戦－シリコン・マイクロマシニング－
[日本機械学会誌,100,941 (1997),62-67]
江刺正喜
56) SPM とマイクロマシニング
33
[表面科学,18,4 (1997),198-205]
小野崇人、浜中均、江刺正喜
57) マイクロ能動カテーテル
[骨・関節・靱帯,10,4 (1997),417-423]
江刺正喜、林根培、朴起台
58) マイクロセンサ(新センシング技術をめざして第 8 回)
[計測と制御,36,11 (1997),808-816]
江刺正喜
59) マイクロセンサの現状と展望
[ニューセラミックス,11,2 (1998),9-14]
江刺正喜
60) Silicon Bulk Micromachining and Nanomachining
[Condensed Matter News,6,3-4 (1998),31-44]
M.Esashi, K.Minami and T.Ono
61) 物理量センサの新展開（センサ・マイクロマシン分野における歩み）
[電気学会誌,118,6 (1998),363-364]
江刺正喜
62) Vacuum-Sealed Silicon Micromachined Pressure Sensors
[Proceedings of the IEEE,86,8 (1998),1627-1639]
M.Esashi, S.Sugiyama, K.Ikeda, Y.Wang and H.Miyashita
63) ミクロ構造の創製
[日本機械学会誌,101,958 (1998),690-691]
江刺正喜
64) ナノメートル加工の応用(2) ― ナノメカニックスへの応用 ―
[応用物理, 67,12 (1998),1395-1399]
小野崇人、江刺正喜
65) 柔らかく動くアクチュエータ分布型マシン
[バイオメカニズム学会誌,22,4 (1998), 134-139]
江刺正喜
66) 能動カテーテルとカテーテル搭載用センサ
[人工臓器,27,5 (1998), 662-670]
芳賀洋一、江刺正喜
67) Precise Micromachining and Nanomachining
[MST News, No.3 (1998), 9-11]
M.Esashi
68) マイクロマシニングと低侵襲医療
[電気学会誌,119,11,(1999),689‐691]
江刺正喜、芳賀洋一
69) 走査型プローブ顕微鏡とナノメートル加工への応用
［計測と制御、38,12, (1999), 763-768］
小野崇人、江刺正喜
70) 最近のマイクロマシン関連技術
[真空, 43,2 (2000), 91-97]
江刺正喜
71) カテーテル搭載用光ファイバ圧力センサ
[計測と制御, 39,4 (2000), 292-295]
芳賀洋一、勝間田卓、南和幸、江刺正喜
34
72) マイクロセンサの真空パッケージング技術
[電気学会部門誌,120-E,6 (2000), 310-314]
江刺正喜
73) ナノエンジニアリングを目指す超微細マイクロプローブ
[溶接学会誌, 69, 6 (2000), 12‐14]
小野崇人、江刺正喜
74) シリコンエッチング技術のアプリケーション
[表面技術, 51,9 (2000), 874‐879]
江刺正喜、小野崇人、田中秀治
75) 東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
－センサ。マイクロマシンの研究開発－
[日本ロボット学会誌,18,8 (2000),1066-1070]
江刺正喜
76) マイクロマシンの現状と将来
[空気清浄、38,4 (2000), 22-29]
江刺正喜
77) 東北大学での産学連携－ベンチャー・ビジネス・ラボラトリーを中心としたセンサ・マイクロ
マシン関連の研究活動－
[精密工学会誌、67, 1 (2001), 30-33]
江刺正喜
78) 韓国を中心としたアジアの MEMS の動向と MEMS ファウンダリ
[次世代センサ、11,1 (2001), 2-5]
江刺正喜
79) ナノメートルの領域に迫るマイクロマシン技術
[次世代センサ、11,1 (2001), 6-9]
小野崇人、江刺正喜
80) マイクロマシンが可能にする新しい音響トランスデューサ
[日本音響学会誌、57,8 (2001),517‐522]
江刺正喜
81) 高密度記録を目指すマルチプローブ
[レーザー研究、29,8 (2001), 516-521]
江刺正喜
82) Silicon Bulk Micromachining and Nanomachining
[Society of Manufacturing Engineers Technical Papers, EE01-322,(2001),1-7]
M.Esashi
83) 多数の異種要素からなる分布型マイクロマシンとその応用
[日本ロボット学会誌,19,7 (2001),806-809]
江刺正喜
84) COMS2001 The 6th Intn. Conf. on the Commercialization of Microsystems 2001 報告
[電気学会論文誌Ｅ,122-E,1 (2002),44-45]
江刺正喜
85) 携帯機器用パワー源の新展開
[日本機械学会誌,105,998 (2002),35-39]
田中秀治、江刺正喜
86) ナノメカニクス
[日本機械学会誌,105,1004 (2002),436-439]
小野崇人、江刺正喜
35
87) 医科機器へのマイクロマシン技術の応用と課題
[医器学, 72, 8 (2002), 367-372]
芳賀洋一、江刺正喜
88) MEMS から NEMS へ
[応用物理, 71, 8 (2002), 982-988]
小野崇人、江刺正喜
89) MEMS とその応用
[エレクトロニクス実装学会誌, 5, 6 (2002), 537-541]
江刺正喜
90) 低侵襲治療用マイクロマシンとセンサ
[日本材料科学会誌「材料の科学と工学」, 39, 4 (2002), 158-161]
芳賀洋一、江刺正喜
91) マイクロマシンに将来はあるのか？
[日本機械学会誌,105,1008 (2002),717-719]
江刺正喜
92) 複合プロセスによるマイクロ・ナノマシニング
[計測と制御, 42, 1 (2003), 5-11]
小野崇人、田中秀治、安部隆、江刺正喜
93) Micro-nano Electromechanical System by Bulk Silicon Micromachining
[光学精密工程(Optics and Precision Engineering), 10, 6 (2002), 608-613]
M.Esashi and T.Ono
94) マイクロマシニングとナノプローブ
[精密工学会誌、69, 2 (2003), 166-169]
小野崇人、江刺正喜
95) ナノテクノロジーとマイクロマシン
[プロセス計装制御技術協会 INSTREAM、27,2 (2003), 5-11]
江刺正喜
96) ナノテク集積人工心筋開発プロジェクト
[循環制御, 24, 2 (2003), 111-117]
山家智之、白石泰之、井口篤志、田林晄一、芳賀洋一、江刺正喜、吉澤誠、田中明、松木英敏、
佐藤文博、川野恭之、羅雲、高木敏行、早瀬敏幸、圓山重直、王慶田、段旭東、仁田新一、
岡本英治、久保豊、大坂元久、梅津光生
97) 半導体プロセスによるマイクロ加工
[塑性と加工、44, 514 (2003), 1074-1078]
江刺正喜
98) パワーMEMS
[表面技術、54, 12 (2003), 908-913]
田中秀治、江刺正喜
99) Silicon Microfabricated Devices for Nanoscale Applications
[Advances in Natural Sciences (Vietnam), 4, 2 (2003) 157-163]
P.N.Ninh, T.Ono and M.Esashi
100) MEMS and Nanotechnology at Tohoku University
[Advances in Natural Sciences (Vietnam), 4, 2 (2003) 157-163]
M.Esashi
101) ナノテクノロジの基礎
[エレクトロニクス実装学会誌, 7, 1 (2004), 91-95]
江刺正喜
36
102) ナノテクノロジー
[日本機械学会誌、107,1022 (2004), pp.11-13]
江刺正喜
103) Biomedical Microsystems for Minimally Invasive Diagnosis and Treatment
[Proc. of the IEEE, 92, 1 (2004), 98-114]
Y.Haga and M.Esashi
104) ナノテクノロジーを応用した人工臓器開発 -ナノテク人工食道とナノテク人工心筋[ナノ学会会報, 2, 2 (2004), 103-112]
山家智之、堀義生、白石泰之、井口篤志、田林晄一、芳賀洋一、江刺正喜、吉澤誠、田中明、
松木英敏、佐藤文博、川野恭之、羅雲、高木敏行、早瀬敏幸、圓山重直、王慶田、段旭東、仁
田新一、佐々田比呂志、佐藤英明、岡本英治、久保豊、大坂元久、梅津光生、本間大、前田剛
105) MEMS パッケージングの設計製造
[精密工学会誌、70, 9 (2004), 1137-1141]
江刺正喜
106) Micro Industry Equipments
[JSME International Journal, Series B, 47, 3 (2004) 429-437]
M.Esashi, T.Ono and S.Tanaka
107) シリコン MEMS の新潮流
[応用物理, 73, 9 (2004) 1158-1165]
江刺正喜
108) Nano/Micromechanical Tools for Nanoscale Engineering
[Advances in Natural Sciences (Vietnam), 5, 4 (2004) 343-355]
T.Ono, H.Miyashita, K.Iwami, S.-J.Kim, Y.-C.Lin, P.N.Ninh and M.Esashi
109) Power MEMS and MEMS for Harsh Environments
[Advances in Natural Sciences (Vietnam), 5, 4 (2004) 357-368]
S.Tanaka and M.Esashi
110) MEMS とナノテクノロジー
[表面科学、26, 2 (2005) 68-73]
江刺正喜、小野崇人
111) MEMS の信頼性
[日本信頼性学会誌, 27, 2 (2005) 92-103]
江刺正喜
112) From MEMS to Nanomachine
[J. Phys. D: Appl. Phys. 38 (2005) R223-R230]
M.Esashi and T.Ono
113) 「レーザーと MEMS(微小電気機械システム)」特集号によせて
[レーザー研究, 33, 11 (2005) 715]
江刺正喜
114) 近接場光学と MEMS 技術
[レーザー研究, 33, 11 (2005) 739-744]
小野崇人、岩見健太郎、後藤顕也、江刺正喜
115) MEMS(微小電気機械システム)の産業展開
[成形加工, 18, 1 (2006) 42-46]
江刺正喜
116) 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻江刺・小野・田中研究室
[エレクトロニクス実装学会誌、9, 3 (2006) 224]
江刺正喜
37
117) 精密微細加工技術を用いた高機能低侵襲医療デバイスの開発
[砥粒加工学会誌, 50, 5 (2006) 245]
芳賀洋一、松永忠雄、牧志渉、戸津健太郎、峯田貴、江刺正喜
118) センサネットワークに関連する MEMS 技術
[電子情報通信学会誌, 89, 5 (2006) 395-398]
江刺正喜
119) 半導体微細加工技術で作る MEMS(微小電気機械システム)の産業展開について
[鉱山, 59, 4 (2006) 21-31]
江刺正喜
120) Recent Progress of Application-oriented MEMS through Industry-university Collaboration
[Intl. J. of High Speed Electronics and Systems, 16, 2 (2006) 693-704]
M.Esashi
121) 半導体微細加工技術を中心に作られるマイクロシステム
[物理教育, 54, 4 (2006) 271-275]
江刺正喜
122) 安全のための MEMS センサ
[鉄道と電気技術、18,4 (2007) 3-8]
江刺正喜
123) 安全安心をめざす，医療機器へのマイクロシステムの応用
[エレクトロニクス実装学会誌, 10, 6 (2007) 453-456]
芳賀洋一、松永忠雄、牧志渉、江刺正喜
124) 医療用マイクロロボット
[ロボット, 178 (2007) 1-6]
芳賀洋一、松永忠雄、牧志渉、江刺正喜
125) マイクロアクチュエータ利用の MEMS
[日本機械学会誌、111, 1072 (2008) 36-37]
江刺正喜
126) マイクロマシン/MEMS と信頼性
[REAJ 誌, 30, 2 (2008) 120-127]
江刺正喜
127) MEMS デバイス: 実用化動向
[電気学会誌, 128, 6 (2008) 373-374]
江刺正喜
MEMS Devices : Progress Towards Practical Applications
[Transactions on Electrical and Electronic Engineering, 4 (2009) 54-55]
M. Esashi
128) Wafer Level Packaging of MEMS
[J. of Micromechanics and Microengineering, 18 (2008) 073001(13pp)]
M.Esashi
129) 産業活性化に向けて(マイクロセンサや低侵襲医療ツールの研究経験から)
[生体医工学、46, 3 (2008) 330-332]
江刺正喜
130) MEMS のウェハレベルパッケージング
[電子情報通信学会論文誌 C, J91-C, 11 (2008) 527-533]
江刺正喜
131) マイクロ・ナノマシニング技術を用いた低侵襲医療機器の開発
[精密工学会誌、74, 11 (2008) 1139-1142]
38
芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
132) マイクロマシン/MEMS
[精密工学会誌、75, 1 (2009) 78-79]
江刺正喜
133) MEMS 技術の変遷と応用
[電気学会誌, 129, 5 (2009) 307-310]
江刺正喜
134) MEMS ワイヤレスセンサ
[計測と制御, 48, 7 (2009) 554-559]
江刺正喜
135) MEMS センサとセンシング技術
[自動車技術, 64, 2 (2010) 11-15]
江刺正喜
136) マイクロマシニング・MEMS技術を用いた低侵襲医療機器の開発
[塑性と加工, 51, 590 (2010) 209-213]
芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
137) 半導体微細加工技術による電子部品の製造
[日本機械学会誌、113, 1099 (2010) 432-433]
江刺正喜
138) 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
[電気学会論文誌 E, 130-E, 11 (2010) 553-554]
江刺正喜
139) マイクロシステム研究の経験から考える工学教育
[工学教育, 56, 6 (2010) 95-100]
江刺正喜
140) 4 代目会長に就任して ― 時空間の拡がりを繋ぐ活動を ―
[次世代センサ、20, 2 (2011) 1]
江刺正喜
141) 専門家間の MEMS 技術相互理解
[日本機械学会誌、114,1107 (2004) 12-13]
江刺正喜
142) MEMS 技術
[科学と工業、85, 2 (2011) 49-56]
田中秀治、江刺正喜
143) MEMS によるセンサの革新
[応用物理、80, 3 (2011) 181-188]
江刺正喜
Revolution of Sensors in Micro-Electromechanical Systems
[Jpn. J. Appl. Phys. 51 (2012) 08001
M.Esashi
144) 微細加工技術と光ファイバー技術を用いた低侵襲医療機器の開発
[日本レーザー医学会誌, 31, 4 (2011) 428-434]
芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
145) 東日本大震災にあたって ― ロバストにして新たな発展を ―
[次世代センサ、21, 2 (2011) 1-2]
江刺正喜
146) 巻頭言「MEMS/NEMS によるセンシング」
39
[応用電子物性分科会誌, 18,3 (2012)]
江刺正喜
147) Integrated Microsystems
[Advances in Science and Technology, 81 (2013) 55-64]
M.Esashi and S.Tanaka
(c) 解説Ｂ(その他)
1)
半導体の電界効果を用いたイオン選択性電極
[Ionics,28(1978),1-14]
江刺正喜、松尾正之
2) 新しい臨床用イオンセンサ(ISFET)
[化学工業,32,12(1978),1208-211]
松尾正之、江刺正喜
3) 硝子電極・膜電極に代わる半導体電極ケミカルセンサの仕組み
[表面,18,9(1980),495-503]
松尾正之、江刺正喜
4) 小形化学センサー
[化学工業,33,6(1982),481-486]
江刺正喜
5) イオンセンサー(ISFET)
[電子技術,25,5(1983),98-103]
松尾正之、江刺正喜
6) IC 技術による医用小形圧力変換器
[計測技術,11,10(1983),98-103]
江刺正喜
7) 化学センサー1984,半導体化学センサー
[化学センサニュース,1,3(1985),56-62]
江刺正喜
8) 半導体マイクロメカニカルマシンニングとセンサ
[センサ技術,5,1(1985),114-119]
江刺正喜
9) 化学センサー1985,半導体化学センサー
[化学センサニュース,2,4(1986),77-81]
江刺正喜
10) センサの IC 化・イオンセンサ
[センサ技術,7,4(1987),26-28]
江刺正喜
11) 「化学センサ」1986 - 半導体化学センサ
[化学センサニュース,3,4(1987),73-78]
江刺正喜
12) マイクロマシーニングとマイクロメカニカルデバイス
[コンピュートロール(コロナ社),21(1988),18-23]
江刺正喜
13) マイクロマシーニングやマイクロメカックスをより深く知りたい読者のために
[電気学会論文誌 D,108,3(1988),347-348]
江刺正喜
40
14) 「化学センサ」1987 - 半導体化学センサ
[化学センサニュース,4,2-4(1988),40-44]
江刺正喜
15) マイクロメカニズムの応用
[臨床検査,33,1(1989),68-71]
江刺正喜
16) 基板の接合技術
[日経エレクトロニクス,480(1989),150-152]
江刺正喜
17) 微量血液分析システム
[日本機械学会誌,91,851(1989),87]
江刺正喜
18) 小型集積化容量型圧力センサ
[センサ技術,9,13(1989),33-36]
江刺正喜
19) 微細加工の最新動向と展望
[機械技術,38,3(1990),18-23]
江刺正喜
20) IC 内蔵センサ等,多くの可能性を秘めた「マイクロマシニング」は何をめざすか?
[エレクトロニクス,35,6(1990),64-68]
江刺正喜
21) 共通 2 線式触覚センサアレイ
[センサ技術,10,10(1990),32-35]
小林真司、三井隆、江刺正喜
22) マイクロマシニング技術と半導体製造技術
[Semiconductor World,9,16(1990),190-195]
江刺正喜
23) マイクロマシニング
[電子工業月報,32,12(1990),2-19]
江刺正喜
24) マイクロメカトロニクスの世界
[Agriculture Forestry Fishery,22,11(1991),15-20]
江刺正喜
25) マイクロマシーニングの現状とマイクロマシンの展望
[機械の研究,43,12(1991),1267-1274]
江刺正喜
26) マイクロバルブの製作
[日本の科学と技術,32,263(1991),46-51]
江刺正喜
27) マイクロマシニング技術とセンサ
[センサ技術,11,8(1991),21-23]
江刺正喜
28) マイクロマシンの将来展望
[センサ技術,11,11(1991),60-64]
江刺正喜
29) マイクロマシン
[半導体研究所報告,28(1992),23-32]
41
江刺正喜
30) ２線式ハイブリッド加速度センサ
[センサ技術,12,11(1992),18-23]
江刺正喜
31) シリコンの微細加工技術
[金属,63,3(1993),31-37]
江刺正喜
32) マイクロマシニングによる集積化センサ・アクチュエータシステム
[超音波テクノ,5,8(1993),39-43]
江刺正喜
33) マイクロ流体制御システム
[油空圧技術,33,3(1994),51-57]
庄子習一、江刺正喜
34) マイクロマシンと光技術
[光技術コンタクト,32,6(1994),314-321]
南和幸、江刺正喜
35) マイクロマシン用センサ＆アクチュエータ
[省力と自動化,25,8(1994),52-55]
江刺正喜
36) 微小機械の医療応用
[先端医療,4(1994),24-25]
江刺正喜
37) エキシマレーザ支援 CVD を用いた非平面上の配線形成法の研究
[三菱電線工業時報,89(1995),58-63]
前田重雄、山本啓介、南和幸、江刺正喜
38) マイクロマシン
[工業教育,43,3(1995),63-68]
江刺正喜
39) マイクロマシニングによるセンシングシステム
[オーム,83,1 (1996),91-96]
江刺正喜
40) 半導体微細加工技術によるマイクロシステム
[機械の研究,48,8 (1996),815-823]
江刺正喜
41) マイクロマシニング技術が可能にする新しいセンシングシステム
[Ｍ＆Ｅ，8 (1996),174-183]
江刺正喜
42) 微細加工技術によるマイクロシステムの開発
[化学工学,61,2 (1997), 95-99]
江刺正喜
43) 半導体微細加工技術によるセンサ・マイクロマシンの研究開発
[ブレークスルー,127 (1997), 7-9]
江刺正喜
44) Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University
[MST news, Special Issue Japan, May (1997),31-32]
M.Esashi
45) 柔らかく、優しく半導体技術が自然な動きを可能にした
42
[SCIaS,12.05 (1997),53]
江刺正喜
46) 光マイクロマシン総論
［Ｏ plus Ｅ，20,1 (1998),27-35］
江刺正喜
47) 実例：東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
（センサ・マイクロマシンの開発）
[大学資料,135-136 (1998),61-67]
江刺正喜
48) 超音波体腔内走査のためのマイクロマシン技術
[先端医療, 5,1(1998),48-51]
芳賀洋一、江刺正喜
49) 医用マイクロマシン開発の現状
[総合臨床,47,11 (1998),2883-2885]
仁田新一、山家智之、江刺正喜
50) 創造性を発揮させるコラボレーション－組織の活力はやわらかな管理・運営から生まれる－
[IBM USERS,No.440 (1998) pp.2-3]
江刺正喜
51) マイクロマシンの基礎技術１：医療機器開発のための基盤技術
[Clinical Engineering, 10,1(1999),10-18]
芳賀洋一、江刺正喜
52) 研究評価のパラメータは“研究成果÷研究費用”
[InterLab, No.8 (1999) pp.23-26]
江刺正喜
53) ここまで来たマイクロ・ナノメカノプティクス総説
[OPTRONICS, No.7 (1999) pp.140-143]
江刺正喜
54) ナノメカノプティクス
[OPTRONICS, No.7 (1999) pp.144-148]
小野崇人、江刺正喜
55) システムの鍵を握るマイクロマシン技術
[技術と経済，No.392 (1999) pp.4-9]
江刺正喜
56) 能動カテーテル
[機械と工具,生産技術者のためのキーワード 100, 10 月号別冊 (1999) pp.194‐195]
江刺正喜
57) マイクロマシンの最新動向と医療への応用のこれから
[新医療, 272,(1999) pp.64-67]
芳賀洋一、江刺正喜
58) マイクロマシンの現状と動向(半導体微細加工技術の応用広がる異分野とのコラボレーション
が鍵)
[Electronic Journal,70 (2000) pp.94-97]
江刺正喜
59) 真空パッケージング
[InterLab, No.20 (2000) pp.32-33]
江刺正喜
60) マイクロマシン－基本要素を集積化、複雑な機能を実現－
43
[日経マイクロデバイス, No.181 (2000) pp.164-165]
江刺正喜
61) MEMS の光通信関連技術
［Ｏ plus Ｅ，22,9 (2000) pp.1160-1167］
江刺正喜
62) マイクロマシンに必要な微細加工技術と真空技術
[真空ジャーナル、72 (2000‐9) pp.18‐21]
江刺正喜
63) マイクロシステムとそのバイオへの応用
[蛋白質核酸酵素、45, 15 (2000) pp.2542-2549]
小野崇人、芳賀洋一、高橋一憲、江刺正喜
64) シリコンマイクロマシニングとガラス
[化学工業、51，11 (2000) pp.838-843]
江刺正喜
65) 光記録用マイクロマシン
［O plus E，23,2 (2001),192-198］
小野崇人、江刺正喜
66) 良い子ぶりっこよりも夢の実現を
－大学における産学協同研究のあり方－
[Scientia, No.5 (2001-5), 3-5]
江刺正喜
67) 医療用能動カテーテル
[未来材料、1,7 (2001) 41‐47]
江刺正喜、芳賀洋一
68) シリコンモールディング法による３次元マイクロ構造体の作成と微小電気機械システムへの応
用
[マテリアルインテグレーション, 14,8 (2001) 45-50]
李敬鋒、渡辺龍三、田中秀治、江刺正喜
69) システム LSI の差異化技術へ 3 次元構造や異種材料を導入
[日経マイクロデバイス, No.195 (2001-9) pp.125-136]
江刺正喜
70) ナノマシン
[文部科学時報，1504 (2001) pp.40-41]
江刺正喜
71) AFM 応用などに可能性が広がるナノマシニング技術
[高圧ガス, 38,10 (2001) pp.22-24]
江刺正喜、小野崇人
72) 日本におけるＭＥＭＳの課題
[SEMI Standards, 17,6 (2001) pp.14-15]
江刺正喜
73) マイクロマシンと露光
[ライトエッジ，23 (2001) pp.111-116]
江刺正喜、小野崇人
74) ナノ医療マシン
[ACCESS, 16,6 (2001) pp.33-37]
江刺正喜、芳賀洋一
75) ハイテク多品種少量・設備有効利用・オープンコラボレーション
44
76)
77)
78)
79)
80)
81)
82)
83)
84)
85)
86)
87)
87)
88)
89)
[InterLab., 1, (2001) p.35]
江刺正喜
マイクロマシン/ＭＥＭＳの技術革新と半導体業界に与える影響
[Semiconductor FPD World, 21,1 (2002) pp.122-127]
江刺正喜
高密度記録のためのマイクロマシン・プローブの試作
[O plus E，24,1 (2002),72-77］
小野崇人、ファンミンゴ、江刺正喜
マイクロマシンの先駆けとなった医療用センサの開発
[Nature Interface, 7 (2002), 49-52]
江刺正喜
マイクロマシニング技術の外科臨床への応用
[Surgery Frontier, 9,1 (2002), 41-45]
芳賀洋一、江刺正喜
MEMS の最新技術動向と応用展望
[電子材料、41,5 (2002), 18-21]
江刺正喜
Power MEMS とマイクロスラスタ
[宇宙科学研究所ニュース, No.259 (2002-10), 1-3]
田中秀治、江刺正喜
ミラー保持機構を備えた MEMS 光スイッチ
[光アライアンス, 13,11 (2002), 5-8]
馬場亮吉、江刺正喜
MEMS ベンチャー「㈱MEMS コア」
[SEMI News, 18, 6 (2002), 16-17]
江刺正喜
オープンコラボレーションという独自の考え方で MEMS を開発しています
[O plus E，24,12 (2002), 1330-1334］
江刺正喜
大学発ベンチャーの試み、㈱ＭＥＭＳコア
[青葉工業会報、46 (2002), 1-4]
江刺正喜
MEMS (Micro ElectroMechanical Systems)の基礎と応用
[Microwave Photomnics Products, No.6 (2003), 8-11]
江刺正喜
MEMS 技術で描く夢(前編) MEMS 技術が浸透新産業の芽が目白押し
[日経マイクロデバイス, No.214 (2003) pp.137-143]
江刺正喜
MEMS 技術で描く夢(後編) 「MEMS の本質」を半導体技術者はどう理解すれば良いか
[日経マイクロデバイス, No.215 (2003) pp.108-113]
江刺正喜
MEMS (Micro ElectroMechanical Systems)の産業支援
[センシング技術応用研究会 25 周年記念誌, (2003), 75-77]
江刺正喜
マイクロマシニングとナノの融合
[Japan Nano Net Bulletin (JNNB), 1,5 (2003), 2-3]
江刺正喜
45
90) MEMS ビジネスの困難さをいかに乗り越えられるか?
[SEMI News, 19, 6 (2003), 10-13]
江刺正喜
91) ナノリソグラフィーをめざすマイクロシステム
[O plus E, 25, 12 (2003), 1362-1368]
小野崇人、ファンミンゴ、江刺正喜
92) It's Raining MEMS
[Look Japan, 50, 577 (2004), 30-32](英語、中国語、スペイン語)
M.Esashi
100) RF MEMS スイッチの開発
[Advantest Technical Report, 22 (2004), 9-16]
中村陽登、高柳史一、茂呂義明、三瓶広和、小野澤正貴、江刺正喜
101) IT で可能となる新たな臨床検査の展開
[医療と検査機器・試薬, 27,2 (2004), 59-65]
金野敏、桑山貴志、山家智之、江刺正喜、仁田新一
102) 半導体微細加工と MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
[半導体研究所報告, 33 (2004) 10-16]
江刺正喜
103) ナノテクを応用した人工臓器開発の新しい地平
[未来材料, 4, 8 (2004) 30-37]
山家智之、堀義生、白石泰之、井口篤志、田林晄一、芳賀洋一、江刺正喜、吉澤誠、田中明、
松木英敏、佐藤文博、川野恭之、羅雲、高木敏行、早瀬敏幸、圓山重直、王慶田、段旭東、仁
田新一、井街宏、佐々田比呂志、佐藤英明、岡本英治、久保豊、大坂元久、梅津光生、本間大、
前田剛
104) 高付加価値システムデバイスとしての MEMS に関連した産業支援
[日本学術振興会協力会会報、No.90 (2004) 12-19]
江刺正喜
105) MEMS 技術の最新動向と LSI 高付加価値化
[電子材料、43,11 (2004) 18-22]
江刺正喜
韓国語版[電子技術, 18, 3 (2005) 123-128]
106) 新しい血管内超音波イメージング装置の開発
[検査技術, 9, 12 (2004) 12-16]
芳賀洋一、陳俊傑、江刺正喜
107) 新しい MEMS プロセスと MEMS パークコンソーシアム
[SEMI News, 20, 6 (2004), 14-15]
江刺正喜
108) 半導体微細加工技術の応用展開
[Metamorphosis, 10 (2004) 2-3]
江刺正喜
109) マイクロマシニングと MEMS の歴史と展望[1] -歴史[真空ジャーナル,100 (2005) 11-17]
江刺正喜
110) MEMS 研究の実用化と産学間連携研究
[光技術コンタクト、43,5 (2005) 263-273]
江刺正喜
111) センサー MEMS 技術を生かし集積化使い捨てデバイスを容易に実現
46
[日経マイクロデバイス、241 (2005) 64-65]
江刺正喜
112) マイクロマシニングと MEMS の歴史と展望[2] -展望[真空ジャーナル,101 (2005) 9-17]
江刺正喜
113) ナノバイオマテリアルを応用した人工食道の開発
[G.I.Technology, 13, 4 (2005) 271-276]
山家智之、堀義生、渡辺誠、白石泰之、井口篤志、田林晄一、芳賀洋一、江刺正喜、吉澤誠、
田中明、松木英敏、佐藤文博、川野恭之、羅雲、高木敏行、早瀬敏幸、圓山重直、仁田新一、
佐々田比呂志、佐藤英明、本間大、前田剛
114) MEMS 産業創出に向けて
[ULVAC, No.49 (2005) 18-21]
江刺正喜
115) ナノテクノロジーでやさしい医療 ―マイクロ･ナノ技術による医用デバイスの開発―
[Biophilia, 1, 3 (2005) 35-42]
芳賀洋一、江刺正喜
116) 半導体技術で作る MEMS(微小電気機械システム)
[三洋化成ニュース, 433 (2005) 14-19]
江刺正喜
117) 必要性は高いがハードルも高い MEMS の開発
[SEMI News, 21, 6 (2005), 18-19]
江刺正喜
118) 高付加価値システム LSI としての『集積化 MEMS』
[半導体研究所報告、34, 1 (2005) 5-8]
江刺正喜
119) 東北大学工学研究科江刺・小野・田中研究室= システムの鍵を握る MEMS の試作研究 =
[光アライアンス, 17, 2 (2006) 56-59]
江刺正喜
120) 総論:MEMS 市場と技術の動向－集積化 MEMS とパッケージング－
[クリーンテクノロジー, 16, 2 (2006) 33-36]
江刺正喜
121) Si 技術を使った MEMS 発振器水晶発振器の置き換えを狙う
[日経エレクトロニクス,923 (2006/04/10) 125-134]
江刺正喜, J.McDonald and A.Partridge
122) ナノテクノロジーとマイクロテクノロジーによる物づくり
[化学工業見, 57, 11 (2006) 809-813]
江刺正喜
123) 私の MEMS 研究史(前)
[SEMI News, 22, 6 (2006) 9-11]
江刺正喜
124) 私の MEMS 研究史(後)
[SEMI News, 22, 7 (2006) 24-25]
江刺正喜
125) MEMS の試作開発 -大学研究室・研究所・施設紹介[水晶デバイス, 28, 4 (2007) 4-8]
江刺正喜
126) 実験・試作装置活用術－自作するメリット
47
[Inter Lab., 101 (2007.3) 9-12]
江刺正喜
127) 真空に関係する MEMS 技術
[真空ジャーナル, 111 (2007) 15-19]
江刺正喜
128) MEMS 総論
[金属, 77, 7 (2007) 719-722]
江刺正喜
129) MEMS の信頼性
[TEST, 4 (2007) 5-7]
江刺正喜
130) 低侵襲検査・治療のための超音波マイクロデバイスの開発
[超音波 TECHNO, 19, 4 (2007) 82-86]
芳賀洋一、陳俊傑、安居晃啓、和田仁、江刺正喜
131) 東北大学大学院工学研究科ナノメカニクス専攻マイクロマシン工学分野
[真空ジャーナル, 114 (2007) 24]
小野崇人、江刺正喜
132) MEMS コラボレーション
[SEMI News, 23, 6 (2007) 22-23]
江刺正喜
133) MEMS の近接場光メモリーへの応用を目指して
[光アライアンス、18, 12 (2007) 15-19]
小野崇人、岩見健太郎、江刺正喜、後藤顕也
134) MEMS の最新技術動向
[KEC 情報、No.204 (2008) 4-9]
江刺正喜
135) MEMS の現状と今後の展望(前編)
[半導体シニア協会ニューズレター(Encore), 55 (2008-2) 10-12]
江刺正喜
136) MEMS センサ、半導体の"DNA"獲得で高性能、複合機能、高信頼へと進化(機器開発者のための
センサ工学)
[日経エレクトロニクス、no.975 (2008 年 4 月 7 日) pp.20-33]
江刺正喜
137) MEMS の現状と今後の展望(後編)
[半導体シニア協会ニューズレター(Encore), 56 (2008-4) 13-16]
江刺正喜
138) 先達の足跡を通して理解する書
[金属, 78, 6 (2008) 534]
江刺正喜
139) MEMS 技術の最新動向
[電子材料, 47, 7 (2008) 73-77]
江刺正喜
140) MEMS 技術の最新動向
[化学工業, 58, 8 (2008) 585-589]
江刺正喜
141) 近代技術史の延長で考えるセンシング技術
[センシング技術応用研究会 30 周年記念誌 (2008) 77-80]
48
江刺正喜
142) 車載用 MEMS センサ
[日本真空工業会技術委員会
「自動車部品・センサと真空技術」
調査ワーキンググループ報告書、
(2008) 22-33]
江刺正喜
143) 多様な集積化で付加価値を高めないとマーケットを失う
[SEMI News, 24, 6 (2008) 1]
江刺正喜
144) 人の能力と技術の進歩
[サンケン技報、40 (2008) 9-10]
江刺正喜
145) MEMS 技術・デバイスの最近の動向
[電波航法, No.50 (2008) 3-16]
146) 光ファイバーを用いた低侵襲医療用マイクロデバイス
[New Glass, 24, 1 (2009) 28-34]
芳賀洋一、松永忠雄、小野崇人、江刺正喜
147) MEMS とセラミックス(総論)
[マテリアルインテグレーション、22, 4 (2009) 1-7]
江刺正喜
148) モノリシック PZT 多軸マイクロステージ
[マテリアルインテグレーション、22, 4 (2009) 39-44]
小野崇人、モハマドファイズル、吉田慎哉、江刺正喜
149) Micromachining of LiNbO 3 and Its Application to Wireless Passive SAW Sensors
[マテリアルインテグレーション、22, 4 (2009) 52-58]
A.Randles, S.Tanaka and M.Esashi
150) 多層 MEMS ウェハのレーザーダイシング技術開発
[ILT2009 年報 (2009) 27-34]
藤田雅之、井澤友策、鶴見洋輔、福士秀幸、田中秀治、宮永憲明、江刺正喜
151) 非線形ナノ・マイクロ振動子を用いたノイズ励起によるセンシング
[豊田研究報告, No.62 (2009-5) 131-137]
小野崇人、吉田祐介、蒋永剛、江刺正喜
152) MEMS のウェハレベルパッケージング
[電子材料, 48, 7 (2009) 73-79]
江刺正喜
153) MEMS における最新技術動向
[M&E, 7 (2009) 142-144]
江刺正喜
154) MEMS 技術の変遷と応用
[OHM, 96,10 (2009-10) 8-9]
江刺正喜
155) 光マイクロスキャナーの低侵襲医療への応用
[O plus E, 366 (2010-5) 554-559]
芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
156) MEMS 技術の最新動向 ―東北大学におけるプロジェクト―
[電子材料, 49, 7 (2010) 10-14]
江刺正喜
157) 東北大学マイクロシステム融合研究開発センター
49
[真空ジャーナル、131 (2010) 18-19]
江刺正喜
158) 光 MEMS の変遷と最新の展開
[光アライアンス、21, 9 (2010) 46-48]
江刺正喜
159) 先人の技術を学んで活かす
[The TRC News, 112 (2011) 1-16]
江刺正喜
160) MEMS 技術の動向と展望
[月刊ディスプレイ, 17, 3 (2011) 42-48]
江刺正喜
161) 開発秘話 : ウェハレベルパッケージングによる MEMS
[SEMI News, 27, 2 (2011), 16-17]
江刺正喜
162) Search for a Muonium-emitting Material as a Source of an Ultracold Muon Beam for New
J-PARC Muon g-2 Experiment
[RIKEN Accel. Prog. Rep., 44 (2011) 1]
Y.Fujiwara, P.Bakule, G.Beer, M.Esashi, S.Hirota, H.Iinuma, K.Ishida, M.Iwasaki,
T.Kakurai, H.Kawai, N.Kawamura, G.Marshall, H.Masuda, Y.Matsuda, M.Mibe, Y.Miyake, K.Oishi,
H.Ojnishi, A.Olin, N.Saito, K.Shimomura, P.Strasser, M.Tabata, D.Tomono, K.Tsukada, K.Ueno,
K.Yokoyama and S.Yoshida
163) マイクロシステムにおける産学連携
[産学官連携ジャーナル, 8, 1 (2012) 4-8]
江刺正喜
164) MEMS 技術の課題と展望
[パナソニック技報(Panasonic Technical Journal), 41, 1 (2012) 41-46]
江刺正喜
165) 圧電音響デバイスの集積化 ― 異種要素の集積化による圧電音響デバイスの高機能化・高性
能化 ―
[超音波 TECHNO, 24, 3 (2012) 48-52]
田中秀治、江刺正喜
(d) 国際学会発表Ａ(査読有り)
1)
Biomedical Pressure Sensor Using Buried Piezoresistors
[Second Int.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators (Solid-State Transducers83),
Delft, Holland (1983) 176-177]
M.Esashi, H.Komatsu and T.Matsuo
2) An NMOS Pipelined Image Processor Using Quaternary Logic
[IEEE Int.Solid-State Circuit Conf., WPM8.2, San Francisco, USA (1985-Feb.) 86-87]
M.Kameyama, T.Haniyu, M.Esashi and T.Higuchi
3) Stability and Sensitivity of MISFET Hydrogen Sensors
[Digest of Technical Papers, 1985 Int.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators
(Transducers'85), Philadelphia, USA (1985-June) 232-234]
S.Y.Choi, K.Takahashi, M.Esashi and T.Matsuo
4) Blood pH Monitoring Micro Cel Using Micro Valves
50
[Proc. of the 2nd International Meeting on Chemical Sensors, Bordeaux, France (1986-July,
7-10) 550-553]
S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
5) A New Three-Dimensional Lithographic Technique and its Applications to the Fabrication
of Micro Probe Sensors
[Digest of Technical Papers, The 4th Int.Conf.on Solid State Sensors and Actuators,
Tokyo, Japan (1987-June) 91-94]
S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
6) Fabrication of an Implantable Capacitive Type Pressure Sensor
[Digest of Technical Papers, The 4th Int.Conf.on Solid State Sensors and Actuators,
Tokyo, Japan (1987-June) 305-308]
S.Shoji, T.Nisase, M.Esashi and T.Matsuo
7) Design of a High Temperature Extended Palladium-gate Field Effect Transistor for the
Detection of Organic Molecules
[Digest of Technical Papers, The 4th Int.Conf.on Solid State Sensors and Actuators,
Tokyo, Japan (1987-June) 644-648]
F.Enquist, M.Esashi, M.Armgarth, I.Lundstrom and T.Matsuo
8) The Fabrication of Integrated Mass Flow Controller
[Digest of Technical Papers, The 4th Int.Conf.on Solid State Sensors and Actuators,
Tokyo, Japan (1987-June 4) 830-833]
M.Esashi, S.Eoh, T.Matsuo and S.Choi
9) Normally Close Microvalve and Micropump Fabricated on a Silicon Wafer
[Proceedings of the Micro Electro Mechanical Systems'89, Salt Lake City, Japan
(1989-Feb.) 29-34]
M.Esashi, S.Shoji and A.Nakano
10) Micropump and Sample-injector for Integrated Chemical Analyzing Systems
[Abstracts Transducers'89, Montreux, Switzerland (1989-June) 112]
S.Shoji, S.Nakagawa and M.Esashi
11) Semiconductor Capacitance Type Accelerometer with Electrostatic Servo Controller
[Abstracts Transducers'89, Montreux, Switzerland (1989-June) 135]
S.Suzuki, S.Tuchitani, K.Sato, Y.Yokota, M.Sato and M.Esashi
12) Low-Temperature Silicon-to-silicon Anodic Bonding with Intermediate Low Melting Point
Glass
[Abstracts Transducers'89, Montreux, Switzerland (1989-June) 264-265]
M.Esashi, A.Nakano, S.Shoji and H.Hebiguchi
13) Absolute Pressure Sensors by Air-tight Electrical Feedthrough Structure
[Abstracts Transducers'89, Montreux, Switzerland (1989-June) 287-289]
M.Esashi, Y.Matsumoto and S.Shoji
14) A Micro Chemical Analyzing System Integrated on a Silicon Wafer
[Proceedings of the Micro Electro Mechanical Systems'90, Napa Valley, USA (1990-Feb.)
89-94]
S.Nakagawa, S.Shoji and M.Esashi
15) A Miniature Integrated Capacitive Pressure Sensor
[Proceedings of the Eleventh International Symposium on Biotelemetry, Tokyo, Japan
(1990-Aug.) 32-34]
Y.Matsumoto, S.Shoji, M.Esashi and S.Nitta
16) A Miniature Integrated Capacitive Pressure Sensor
51
[Extended Abstracts of the 22nd(1990 International) Conference on Solid State Devices
and Materials, Sendai, Japan (1990-Aug.) 701-704]
Y.Matsumoto, S.Shoji and M.Esashi
17) Integrated Chemical Analysing System Realizing Very Small Sample Volume
[Proceedings of the third International Meeting on Chemical Sensors, Ohio, Japan
(1990-Sept.) 293-296]
S.Shoji and M.Esashi
18) Optical Exposure Systems for Three-Dimentional Fabrication of Microprobe
[Proceedings of the Micro Electro Mechanical Systems'91, Nara, Japan (1991-Feb.) 39-44]
M.Esashi, K.Minami and S.Shoji
19) Micro Flow Sensor and Integrated Magnetic Oxygen Sensor Using It
[Digest of Technical Papers Transducers'91, San Francisco, USA (1991-June) 34-37]
M.Esashi
20) Digital Compensated Capacitive Pressure Sensor Using CMOS Technology for Low Pressure
Measurements
[Digest of Technical Papers Transducers'91, San Francisco, USA (1991-June) 308-311]
T.Nagata, H.Terabe, S.Kuwahara, S.Sakurai, O.Tabata, S.Sugiyama and M.Esashi
21) Common Two Lead Wires Sensing System
[Digest of Technical Papers Transducers'91, San Francisco, USA (1991-June) 330-333]
M.Esashi and Y.Matsumoto
22) Smallest Dead Volume Microvalves for Integrated Chemical Analyzing Systems
[Digest of Technical Papers Transducers'91, San Francisco, USA (1991-June) 1052-1055]
S.Shoji, B.V.der Schoot, N.de Rooij and M.Esashi
23) Anodic Bonding for Integrated Capacitive Sensors
[Proceedings of the Micro Electro Mechanical Systems'92, Travemunde, Germany (1992-Feb.)
43-48]
M.Esashi, N.Ura and Y.Matsumoto
24) Distributed Electrostatic Micro Actuator
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'93, Fort Lauderdale, USA (1993-Feb.) 13-18]
M.Yamaguchi, S.Kawamura, K.Minami, and M.Esashi
25) YAG Laser Assisted Etching for Releasing Silicon Micro Structure
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'93, Fort Lauderdale, USA (1993-Feb.) 53-58]
K.Minami, Y.Wakabayashi, T.Matsubara, K.Yoshimi, M.Yoshida, M.Esashi
26) Cryogenic Dry Etching for High Aspect Ratio Microstructures
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'93, Fort Lauderdale, USA (1993-Feb.) 65-70]
K.Murakami, Y.Wakabayashi, K.Minami and M.Esashi
27) Stepping Electrostatic Microactuator
[Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama, Japan (1993-June) 50-53]
T.Matsubara, M.Yamaguchi, K.Minami and M.Esashi
28) Vacuum Packaging for Microsensors by Glass-Silicon Anodic Bonding
[Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama, Japan (1993-June) 584-587]
H.Henmi, S.Shoji, K.Yoshimi and M.Esashi
29) Highly Sensitive Resonant Infrared Sensor
[Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama, Japan (1993-June) 694-697]
C.Cabuz, S.Shoji, K.Fukatsu, E.Cabuz, K.Minami and M.Esashi
30) Buried Piezoresistive Sensors by means of MeV Ion Implantation
[Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama, Japan (1993-June) 796-799]
52
T.Nishimoto, S.Shoji and M.Esashi
31) Capacitive Accelerometers without Fracture Risk during Fabrication Processes
[Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokohama, Japan (1993-June) 814-817]
M.Yoshida, T.Nomura, T.Mineta and M.Esashi
32) Low Drift Integrated Capacitive Accelerometer with PLL Servo Technique
[Digest of Technical Papers Transducers'93, Yokoham, Japan (1993-June) 826-829]
Y.Matsumoto and M.Esashi
33) Distributed Electrostatic Micro Actuator (DEMA)
[Abstracts of Late News Papers Transducers'93, Yokohama, Japan (1993-June) 2-3]
K.Minami, S.Kawamura and M.Esashi
34) Three-Dimentional Microfabrication for Small Catheter
[Abstracts of Late News Papers Transducers'93, Yokohama, Japan (1993-June) 16-17]
S.Maeda, K.Minami and M.Esashi
35) Laser Projection CVD Using Low Temperature Condensation Method
[Abstracts of 1st International Conf. on Photo-Excited Processes and Applications,
Sendai, Japan (1993-Oct.) 70]
K.Takashima, K.Minami, M.Esashi and J.Nishizawa
36) KrF Excimer Laser Induced Selective Non-Planer Metallization
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'94, Oiso, Japan (1994-Jan.) 75-80]
S.Maeda, K.Minami and M.Esashi
37) Optical in-situ Monitoring of Silicon Diaphragm Thickness During Wet Etching
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'94, Oiso, Japan (1994-Jan.) 217-222]
K.Minami, H.Tosaka and M.Esashi
38) Fine Frequency Tuning in Resonant Sensors
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'94, Oiso, Japan (1994-Jan.) 245-250]
C.Cabuz, K.Fukatsu, H.Hashimoto, S.Shoji, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi
39) Electrostatic Servo System for Multi-axis Accelerometers
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'94, Oiso, Japan (1994-Jan.) 251-256]
K.Jono, M.Hashimoto and M.Esashi
40) Silicon Micromachined Two-dimentional Galvano Optical Scanner
[The 6th Joint MMM-Intermag Conference, Albuquerque, USA (1994-June) AR-17]
N.Asada, H.Matsuki and M.Esashi
41) Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using Electromagnetic Exitation and Capacitive
Detection
[Micro System Technologies'94, Berlin, China (1994-Oct.) 763-772]
M.Hashimoto, C.Cabuz, K.Minami and M.Esashi
42) Micro Flow Devices
[5th International Symposium on Micro Machine and Human Science, Nagoya, Japan (1994-Nov.)
89-95]
S.Shoji and M.Esashi
43) Packaged Micromechanical Sensors
[1994 IEEE Symposium on Emerging Technology & Factory Automation, Tokyo, Japan (1994-Nov.)
30-37]
M.Esashi and K.Minami
44) Multi-Joint Active Catheter Based on Silicon Micromachining
[Proc. of the 5th Conf. on Sensor Technology, Taejon, Korea (1994-Nov.) 107-114]
G.Lim, K.Minami, M.Sugihara, M.Uchiyama and M.Esashi
53
45) Silicon Pneumatic Microvalve
[Proc. of the 5th Conf. on Sensor Technology, Taejon, Korea (1994-Nov.) 115-122]
D.Y.Sim, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi
46) Electrostatic Linear Microactuators Based on the Inchworm Actuation
[Proc. of the IEEE Intn. Conf. on Industrial Technology, Guangzhou, China (1994-Dec)
201-205]
S.K.Lee, M.K.Han and M.Esashi
47) Active Catheter with Multi-Link Structure Based on Silicon Micromachining
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'95, Amsterdam, Holland (1995-Jan.) 116-121]
G.Lim, K.Minami, M.Sugihara, M.Uchiyama and M.Esashi
48) Micro Assembly by High Rate CVD Using CW Laser
[Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm, Sweden (1995-June) 170-173]
M.Sugihara, K.Minami and M.Esashi
49) Cavity Pressure Control for Critical Dumping of Packaged Micro Mechanical Devices
[Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm, Sweden (1995-June) 240-243]
K.Minami, T.Moriuchi and M.Esashi
50) Bakable Silicon Pneumatic Microvalve
[Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm, Sweden (1995-June) 280-283]
D.Y.Sim, T.Kurabayashi and M.Esashi
51) Three-Axis Capacitive Accelerometer with Uniform Axial Sensitivities
[Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm, Sweden (1995-June) 554-557]
T.Mineta, S.Kobayashi, Z.Watanabe, S.Kanauchi, I.Nakagawa and M.Esashi
52) Diode Integrated Capacitive Accelerometer with Reduced Structural Distortion
[Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm, Sweden (1995-June) 581-584]
Y.Shoji, M.Yoshida, K.Minami and M.Esashi
53) Fabrication and Characterization of a Silicon Capacitive Structure for Simultaneous
Detection of Acceleration and Angular Rate
[Digest of Technical Papers Transducers'95, Stockholm, Sweden (1995-June) 679-682]
J.Mizuno, C.Cabuz, K.Minami, K.Nottmeyer, T.Kobayashi and M.Esashi
54) A New Theory on Stress Evolution in p+ Silicon
[Late News Cntributions Transducers'95, Stockholm, Sweden (1995-June) 694-697]
C.Cabuz, K.Fukatsu, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi
55) Application of Deep Reactive Ion Etching for Silicon Angular Rate Sensor
[High Aspect Ratio Microstructure Technology 1995, Karlsruhe, Germany (1995-July)]
J.Choi, K.Minami and M.Esashi
56) Nanoscale Al patterning on STM manipulated Si surface
[13th International Vacuum Congress(9th International Conference on Solid Surfaces,
Yokohama, Japan (1995-Sept) 362]
T.Ono, H.Hamanaka, T.Kurabayashi, K.Minami and M.Esashi
57) Fabrication Methods for High Aspect Ratio Microstructures
[Intern. Symp. on Microsystems, Intelligent Materials and Robots, Sendai, Japan
(1995-Sept) 25-28]
S.Watanabe, Y.Yamashita and M.Esashi
58) Silicon Angular Rate Sensor by Deep Reactive Ion Etching
[Intern. Symp. on Microsystems, Intelligent Materials and Robots, Sendai, Japan
(1995-Sept) 29-32]
J.Choi, K.Minami and M.Esashi
54
59) Active Catheter for Medical Intracoronary Intervention
[Intern. Symp. on Microsystems, Intelligent Materials and Robots, Sendai, Japan
(1995-Sept) 91-94]
G.Lim, K.Minami, K.Yamamoto, M.Suguhara, M.Uchiyama and M.Esashi
60) Two Dimensional Silicon Micro Optical Scanner
[Intern. Symp. on Microsystems, Intelligent Materials and Robots, Sendai, Japan
(1995-Sept) 626-629]
N.Asada, H.Matsuki and M.Esashi
61) Integrated Communication and Control Circuit for Multi-Link Active Catheter
[The 6th Conf. on Sensor Technology'95, 6, 1, Taegu, Korea (1995-Nov.) 510-516]
K.T.Park, K.Minami and M.Esashi
62) Fabrication of Packaged Thin Beam Structures by an Improved Drying Method
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'96, San Diego, USA (1996-Feb.) 228-233]
M.Ohtsu, K.Minami and M.Esashi
63) Inertial Unit for Multi-Motion Detection
[SAE Technical Paper, 960548, Warrendale, USA (1996-Feb.) 69-76]
J.Mizuno, K.Nottmeyer, C.Cabuz, K.Minami, T.Kobayashi and M.Esashi
64) Silicon Resonant Sensors by Micromachining
[Third International Conf. on Motion and Vibration Control, Chiba (1996- Sept.1-6)
194-199]
M.Esashi, K.Minami, J.-J.Choi and M.Ohtsu
65) Fabrication of Si SPM Tip with UHV-STM/AFM
[Fourth Intn. Conf. on Nanometer-Scale Science & Technology, Beijing (1996-Sept.8-12) 22]
T.Ono, H.Saitoh and M.Esashi
66) Patterning of LB film with UHV-STM/AFM
[Fourth Intn. Conf. on Nanometer-Scale Science & Technology, Beijing(1996-Sept.8-12) 24]
H.Hamanaka, T.Ono and M.Esashi
67) An X-shaped Tuning Fork Type Resonant Gyroscope by Silicon Micromachine Technology
[Micro System Technologies'96, Postsdam (1996-Sept. 17-19) 385-390]
M.Yamashita, K.Minami and M.Esashi
68) Fabrication of Self-supported Si Nano-structure with STM
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'97, Nagoya (1997-Jan.) 153-158]
H.Hamanaka, T.Ono and M.Esashi
69) Si Nano-wire SPM Probe Grown by Field Evaporation with UHV STM
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'97, Nagoya (1997-Jan.) 159-164]
T.Ono, H.Saitoh and M.Esashi
70) Thin Beam Bulk Micromachining Based on RIE and Xenon Difluoride Silicon Etching
[Digest of Technical Papers Transducers'97, 2D3.03, Cicago (1997-June) 671-674]
R.Toda, K.Minami and M.Esashi
71) Fabrication of Micromechanical Structures with a New Electrodeless Electrochemical Etch
Stop
[Digest of Technical Papers Transducers'97, 2D3.11P, Cicago (1997-June) 703-706]
C.M.A.Ashruf, P.J.French, P.M.Sarro, M.Nagao and M.Esashi
72) Silicon Bulk Micromachined Accelerometer with Simultaneous Linear and Angular Sensitivity
[Digest of Technical Papers Transducers'97, 4B2.04 Cicago (1997-June) 1197-1200]
J.Mizuno, K.Nottmeyer, T.Kobayashi, K.Minami and M.Esashi
73) A Novel Electrostatic Servo Capacitive Vacuum Sensor
55
[Digest of Technical Papers Transducers'97, 4D3.03 Cicago (1997-June) 1457-1460]
Y.Wang and M.Esashi
74) Active Catheter Using Polymer Links
[9th Annual International Meeting, Minimally Invasive Therapy & Allied Technologies,
Kyoto (1997-July) 56]
Y.Haga, K.Park and M.Esashi
75) Fiber-Optic Minature Pressure Sensor
[Intn.Conf.on Optical MEMS and Their Applications, Nara (1997, Nov.) 141-146]
T.Katsumata, Y.Haga, K.Minami and M.Esashi
76) Distributed Optical Bending Sensors with Bragg Gratings in Optical Waveguide
[Intn.Conf.on Optical MEMS and Their Applications, Nara (1997, Nov.) 200-205]
T.Tomiyoshi, K.Minami and M.Esashi
77) Novel Processing of High Aspect Ratio 1-3 Structures of High Density PZT
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'98,Heidelberg,(1998-Jan.) 223-228]
S.N.Wang, J.-F.Li, R.Toda, R.Watanabe, K.Minami and M.Esashi
78) Silicon Angular Resonance Gyroscope by Deep ICPRIE and XeF 2 Gas Etching
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'98,Heidelberg,(1998-Jan.) 322-327]
J.-J.Choi, R.Toda, K.Minami and M.Esashi
79) Small Diameter Active Catheter Using Shape Memory Alloy
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'98, Heidelberg,(1998-Jan.) 419-424]
Y.Haga, Y.Tanahashi and M.Esashi
80) Evanescent-Field-Controlled Nano-pattern Transfer and Micro-Manipulation
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'98,Heidelberg,(1998-Jan.) 488-493]
T.Ono and M.Esashi
81) Sub-wavelength Pattern Transfer by Near Field Photo-lithography
[Digest of papers, Microprocesses and Nanotechnology’98, Kyungju,Korea (1998-July)
283-284]
T.Ono, M.Ohtomo and M.Esashi
82) Extremely High Aspect Ratio Metal Structures for Suspension of an Optical Shatter
[Proceeding of SPIE Conference on Microelectronic Structures and MEMS for Optical
Processing IV, 3513, Santa Clara,USA (1998-Sept.) 233-238]
A.P.Hui, R.Toda and M.Esashi
83) Simple Modeling and Simulation of the Squeeze Film Effect and Transint Response of the
MEMS Device
[Technical Digest of the Twelfth IEEE Intn. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems
(MEMS’99), Orlando,(1999-Jan.) 338-343]
K.Minami, T.Matsunaga and M.Esashi
84) A Novel Fabrication Method of the Tiny Aperture on Silicon Cantilever for Near Field
Scanning Optical Microscopy
[Technical Digest of the Twelfth IEEE Intn. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems
(MEMS’99), Orlando,(1999-Jan.) 360-365]
P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
85) An Active Catheter with Integrated Circuit for Communication and Control
[Technical Digest of the Twelfth IEEE Intn. Conf. On Micro Electro Mechanical Systems
(MEMS’99), Orlando,(1999-Jan.) 400-405]
K.T.Park and M.Esashi
86) A Capillary Force Filled Auto-mixing Device
56
[3rd International Conference on Microreaction Technology, Frankfurt,(1999-April) 40]
R.U.Seidel, D.Y.Sim, W.Menz and M.Esashi
87) Capillary Force Mixing Device as Sampling Module for Chemical Analysis
[Technical Digest of the Transducers’99, 2P1.6 (1999, June 7-10) 438-441]
R.U.Seidel, D.Y.Sim, W.Menz and M.Esashi
88) Silicon Micromachined Tunable Infrared Polarizer
[Technical Digest of the Transducers’99, 2P6.5 (1999, June 7-10) 794-797]
T.Ono, A.Wada and M.Esashi
89) Surface Micromachined Driven Shielded Condenser Microphone with a Sacrificial Layer
Etched from the Backside
[Technical Digest of the Transducers’99, 3D3.3 (1999, June 7-10) 1070-1073]
M.Ikeda, N.Shimizu and M.Esashi
90) Mechanical Behavior of Ultrathin Microcantilever
[Technical Digest of the Transducers’99, 4D1.1 (1999, June 7-10) 1140-1143]
J.Yang, T.Ono and M.Esashi
91) One-Chip Multi-Channel Quartz Crystal Microbalance (QCM) Fabricated by Deep RIE
[Technical Digest of the Transducers’99, 4B3.1 (1999, June 7-10) 1246-1249]
T.Abe and M.Esashi
92) A Silicon Bulk Micromachined Crash Detection Sensor with Simultanious Angular and Linear
Sensitivity
[Technical Digest of the Transducers’99, 4D3.4 (1999, June 7-10) 1302-1305]
J.Mizuno, N.Nottmeyer, Y.Kanai, O.Berberig, T.Kobayashi and M.Esashi
93) Resonator Integrated Cantilever for Scanning Probe Microscope
[Technical Digest of the Transducers’99, 4C4.1 (1999, June 7-10) 1360-1363]
D.-W.Lee, T.Ono and M.Esashi
94) Piezoresistive Micro Accelerometer for High g Shock Using Air Damping Effect
[Technical Digest of the Transducers’99, 3P2.9 (1999, June 7-10) 1530-1533]
T.Mineta, K.Shibata, Y.Watanabe, S.Kobayashi and M.Esashi
95) Acceleration Switch with Extended Holding Time Using the Squeeze Film Effect
[Technical Digest of the Transducers’99, 3P2.14 (1999, June 7-10) 1550-1553]
T.Matsunaga, K.Minami and M.Esashi
96) Electrostatically Levitated Micro Motor for Inertia Measurement System
[Technical Digest of the Transducers’99, 3P2.16 (1999, June 7-10) 1558-1561]
K.Fukatsu, T.Murakoshi and M.Esashi
97) Batch Fabrication of Stacked Piezoelectric Microactuators by using Si Mold Process
[Technical Digest of the Transducers’99, 3P5.6 (1999, June 7-10) 1762-1763]
S.N.Wang, K.Wakabayashi, J.-F.Li and M.Esashi
98) Monolithic Piezo-Electric Actuator for Head Positioning
[Technical Digest of the Transducers’99, 3P5.26 (1999, June 7-10) 1838-1839]
S.Kondo, S.Yoshimura, K.Yagucih, Y.Miyata, J.Numazawa, M.Suzuki and M.Esashi
99) Active Material Microactuator Arrays Fabricated with SU-8 Resin
[Abstracts of HARMST’99 (1999) 94-95]
B.J.Pokines, J.Tani, M.Esashi, T.Hamano and K.Mizuno
100) Fabrication of Optical-Integrated Probe with Waveguide for Near Field Optical
Application
[Internl. Conf. on Electrical Eng.’99, Hong-Kong (1999, Aug.16-18) 284-287]
Q.Wang, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
57
101) Fabrication and Characterization of a Downhole Micro Accelerometer Using a
Fabry-Perot Interferometer
[The Fifth Well Logging Symposium of Japan, Chiba, Japan (1999,Sept.29-30) 1-8]
K.Hirata, H.Niitsuma and M.Esashi
102) Application of Silicon Micromachining Technology for the Fabrication of the Atomic Force
Microscope and Near Field Optical Probe
[The Third International Workshop on Materials Science (IWOMS’99), Hanoi, (1999,
Nov.2-4), 537-540]
P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
103) Planer Fabrication of Multilayer Piezoelectric Actuator by Groove Cutting and
Electroplating
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.),46-51]
G.Suzuki and M.Esashi
104) Bending, Torsional and Extending Active Catheter Assembled Using Electroplating
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.),181-186]
Y.Haga, M.Esashi and S.Maeda
105) Dominated Energy Dissipation in Ultra Thin Single Crystal Silicon Cantilever :
Surface Loss
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.), 235-240]
J.Yang, T.Ono and M.Esashi
106) Deep Reactive Ion Etching of Pyrex Glass
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.), 271-276]
X.Li, T.Abe and M.Esashi
107) Batch Fabricated Flat Winding Shape Memory Alloy Actuator for Active Catheter
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.), 375-380]
T.Mineta, T.Mitsui, Y.Watanabe, S.Kobayashi, T.Haga and M.Esashi
108) Trident-type Tuning Fork Silicon Gyroscope by the Phase Difference Detection
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.), 508-513]
M.Abe, E.Shinohara, K.Hasegawa, S.Murata and M.Esashi
109) Imaging of Micro-discharge in a Micro-gap of Electrostatic Actuator
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.), 651-656]
T.Ono, D.Y.Sim and M.Esashi
110) Silicon Carbide Micro-reaction-sintering Using a Multilayer Silicon Mold
[Proc. of the Micro Electro Mechanical Systems'2000, Miyazaki,(2000-Jan.), 775-780]
S.Sugimoto, S.Tanaka, J.F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
111) RF-Plasma Assisted Fast Atom Beam Etching
[2000 International Microprocesses and Nanotechnology Conf., Tokyo,(2000-July.),200-201]
T.Ono, T.Shimizu, N.Orimoto, S.Lee and M.Esashi
112) Application of Silicon Micromachining Technology for High Throughput Near-field
Optical Probe
[ICEE2K (The Internl.Conf. on Electrical Eng.2000) Proceedings, Kitakyushu,
(2000-July), 271-274]
P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
113) Deep Reactive Ion Etching of PZT Using SF 6 Plasma
[ICEE2K (The Internl.Conf. on Electrical Eng.2000) Proceedings, Kitakyushu,
(2000-July) 275-278]
X.Li, T.Abe and M.Esashi
58
114) Self-limiting Growth of GaAs Molecular Layer Epitaxy Using TEG and AsH 3
[The 1st Asian Conf. on Crystal Growth and Crystal Technology,(2000-Aug.) 88-89]
T.Kurabayashi, K.Kono, H.Kikuchi, J.Nishizawa and M.Esashi
115) High Throughput Near-field Optical Probe Using Silicon Micromachining Technology
[The 6th Intn. Conf. on Near Field Optics and Related Techniques (nfo-6), Enschede
(2000-Aug.) 96]
P.N.Minh, T.Ono, S.Tanaka and M.Esashi
116) Local Melting with Scanning Tunneling Microscopy and Its Application: Micro-Bonding
between Silicon and Glass at Room Temperature
[SPIE's International Symposium on Smart Electronics and MEMSⅡ, Proc. of SPIE(4236),
13-15 Dec., Melbourne, Australia (2000-Dec.) 286-293]
Q.Wang, T.Abe, T.Ono and M.Esashi
117) High Density Electrical Feedthrough Fabricated by Deep Reactive Ion Etching of Pyrexm
Glass
[Technical Digest IEEE Micro Electro Mechanical Systems'2001, Interlaken (2001-Jan.)
98-101]
X.Li, T.Abe, Y.Liu and M.Esashi
118) Fabrication of Microprobe Array with Sub-100nm Nano-Heater for Nanometric Thermal
Imaging and Data Storage
[Technical Digest IEEE Micro Electro Mechanical Systems'2001, Interlaken (2001-Jan.)
204-207]
D.W.Lee, T.Ono, S.Tanaka, T.Abe and M.Esashi
119) A Thermomechanical Relay with Microspring Contact Array
[Technical Digest IEEE Micro Electro Mechanical Systems'2001, Interlaken (2001-Jan.)
220-223]
Y.Liu, X.Li, T.Abe, Y.Haga and M.Esashi
120) Precise Control of Small Displacements of a Stacked Piezoelectric Actuator by Means of
Layer-by-layer Driving
[Technical Digest IEEE Micro Electro Mechanical Systems'2001, Interlaken,(2001-Jan.)
248-251]
S.Kondo, S.Yoshimura, N.Saito K.Tanioka and M.Esashi
121) Micro-turbomachine Driving an Infrared Polarization Modulator for Fourier Transfor1
Infrared Spectroscopy
[Technical Digest IEEE Micro Electro Mechanical Systems'2001, Interlaken,(2001-Jan.)
282-285]
M.Hara, S.Tanaka and M.Esashi
122) Selective Growth of Carbon Nanotubes for Nano Electro Mechanical Device
[Technical Digest IEEE Micro Electro Mechanical Systems'2001, Interlaken,(2001-Jan.)
301-304
H.Miyashita, T.Ono, P.N.Minh and M.Esashi
123) High Throughput Optical Near-Field Aperture Array for Data Storage
[Technical Digest IEEE Micro Electro Mechanical Systems'2001, Interlaken,(2001-Jan.)
309-312]
P.N.Minh, T.Ono, S.Tanaka, K.Goto and M.Esashi
124) Power Microelectromechanical System Technologies for Space Applications
[The International Conf. on Integrated Nano/Microtechnology for Space and Biomedical
Applications(NANOSPACE 2001), Houston,(2001-March) 76]
59
S.Tanaka, R.Hosokawa, S Sugimoto, J.-F.Li, S.Tokutome, K.Hori, H.Saito and M.Esashi
125) Fabrication of Directly Synthesized DNA Chip Using Photolithography for Rapid and
Parallel Gene Analysis
[Technical Digest of the Transducers’01, Munchen (2001-June) 326-329]
K.Takahashi, K.Sejo, M.Sekine and M.Esashi
126) An Active Guide Wire with Shape Memory Alloy Bending Actuator Fabricated by Low
Temperature Process
[Technical Digest of the Transducers’01, Munchen (2001-June) 698-701]
T.Mineta, T.Mitsui, Y.Watanabe, S.Kobayashi, Y.Haga and M.Esashi
127) Stainless Steel-Based Integrated Mass-Flow Controller for Reactive and Corrosive Gases
[Technical Digest of the Transducers’01, Munchen (2001-June) 962-965]
K.Hirata, D.Y.Sim and M.Esashi
128) Ultrahydrophobic Surface Selectivity Modified by Pulse Electrodeposition from Aqueous
Dispersion of PTFE Particles
[Technical Digest of the Transducers’01, Munchen (2001-June)1044-1047]
T.Abe and M.Esashi
129) Nanometric Sensing and Processing with Micromachined Functional Probe
[Technical Digest of the Transducers’01, Munchen (2001-June) 1062-1065]
T.Ono, X.Li, D.-W.Lee, H.Miyashita and M.Esashi
130) Much Enlarged Resonant Amplitude of Micro-resonator with Two-degree of freedom (2-DOF)
Micromechanical Coupling Scheme
[Technical Digest of the Transducers’01, Munchen (2001-June) 1106-1109]
X.Li, T.Ono, R.Lin and M.Esashi
131) Three-Dimensional Micromachining of Silicon Nitride for Power Microelectromechanical
Systems
[Technical Digest of the Transducers’01, Munchen (2001-June) 1140-1143]
S.Sugimoto, S.Tanaka, J.-F.Li, T.Yamada, R.Watanabe and M.Esashi
132) Miniaturized Silicon Capacitive Accelerometer for Downhole Seismic Measurement
[Proc. of IPACK'01, The Pacific Rim/ASME International Electronic Packaging Technical
Conf. and Exhibition, Kauai, Hawaii (2001 July 8-13)]
H.Asanuma, M.Nishizawa, G.Suzuki, Y.Yoshida, H.Niitsuma and M.Esashi
133) Development of Thermoelectric Microdevices by Combining Materials Processing and Silicon
Micromachining Technology
[Proc. of Intern. Sympo. of Young Scholars on Mechanics and Material Eng. for Science
and Experiments, Changsha/Zhangjiajie, Hunan, China (2001 Aug. 11-16) 205-208]
J.-F.Li, R.Watanabe, S.Sugimoto, S.Tanaka amd M.Esashi
134) Latch-up Characteristics of Thermoelastic Microactuator for Surface Micromachined MOEM
Optical Switch
[IEEE/LEOS International Conf. on Optical MEMS 2001, Okinawa (2001 Sep. 25-28) 89-90]
W.-I.Jang, M.L.Lee, C.A.Choi and Y.T.Kim and M.Esashi
135) Hybrid Optical Fiber Bundle and Apertured Catilever for Optical Near-field Applications
[IEEE/LEOS International Conf. on Optical MEMS 2001, Okinawa (2001 Sep.25-28),121-122]
P.N.Minh, T.Ono, H.Watanabe, Y.Haga and M.Esashi
136) Manufacturing Thermoelecric Micro-Modules Using Micromachined Silicon Wafers
[The Fource Pacific Rim International Conf. on Advanced Materials and Processing
(PRICM4),(2001) 2209-2212]
J.-F.Lee, R Watanabe, H.Suzuki, S.Sugimoto, S.Tanaka and M.Esashi
60
137) Characteristics of Thick Sol-Gel Lead Zirconate Titanate Film for Angular Rate Sensor
Application
[Mat.Res.Soc.Symp.Proc. Vol.678 2002 Material Research Society (2002) B5.46.1- B5.46.6
(2001 MRS Fall Meeting, Boston, (2001 Nov.26-30)]
S.H.Lee, T.Iijima, K.Nakamura, S.Tanaka and M.Esashi
138) Electrochemical Etching of Shape Memory Alloy Using New Electrolyte Solution
[Technical Digest MEMS'2002, Las Vegas (2002, Jan.22) pp.376-379]
T.Mineta, Y.Haga and M.Esashi
139) Study on Ultra-Thin NEMS Cantilevers - High Yield Fabrication and Size-Effect on Young's
Modulus of Silicon
[Technical Digest MEMS'2002, Las Vegas (2002, Jan.22) pp.427-430]
X.Li, T.Ono, Y.Wang and M.Esashi
140) Recording on PZT and AgInSbTe thin films for probe-based data storage
[Technical Digest MEMS'2002, Las Vegas (2002, Jan.22) pp.685-688]
D.W.Lee, T.Ono and M.Esashi
141) Electrostatically Levitated Sperical 3-Axis Accelerometer
[Technical Digest MEMS'2002, Las Vegas (2002, Jan.22) pp.710-713]
R.Toda, N.Takeda, T.Murakoshi, S.Nakamura and M.Esashi
142) Design Study of a Micromachined Gas Turbine with 3-dimensional Impeller
[The 9th International Symposium on Transport Phenomena and Dynamics of Rotating
Machinary, Honolulu, Hawai (2002, Feb.10-14) pp.73-74]
K.Isomura, M.Murayama, H.Yamaguchi, N.Ijichi, H.Asakura, N.Saji, O.Shiga, K.Takahashi,
T.Kawakubo, T.Watanabe, A.Yamagata, H.Tange, S.Tanaka, T.Genda and M.Esashi
143) Design and Fabrication Challenges for Micromachined Gas Turbine Generators
[The 9th International Symposium on Transport Phenomena and Dynamics of Rotating
Machinary, Honolulu, Hawai (2002, Feb.10-14) pp.75-76]
S.Tanaka, K.Isomura, T.Kato, F.Sato, M.Oike, T.Genda, M.Hara, T.Kamatsuchi,
S.Sugimoto, J.F.Li, H.Yamaguchi, N.Ijichi, M.Murayama, K.Nakahashi and M.Esashi
144) Microfabrication of Sol-Gel PZT Films for Piezoelectric Micro Sensor and Actuator
[Abstracts of Piezoelectric Materials for the End User,C-17,Interlaken(2002, Feb.24-27)]
S.H.Lee, T.Iijima and M.Esashi
145) MEMS-based Solid Propellant Rocket Array Thruster
[23rd Intn. Symp. on Space Technology and Science, Matsue, Japan (2002, May 26- June 2)]
S.Tanaka, R.Hosokawa, S. Tokudome, K.Hori, H.Saito, M.Watanabe and M.Esashi
146) Development of Microturbocharger and Microcombustor for a Three-Dimensional Gas Turbine
at Microscale
[Proceedings of ASME Turbo Expo 2002, Amsterdam (2002, June 3-6) pp.1-8]
K.Isomura, M.Murayama, H.Yamaguchi, N.Ijichi, H.Asakura, N.Saji, O.Shiga,
K.Takahashi, S.Tanaka, T.Genda and M.Esashi
147) Fabrication and Characterization of Carbon Nanotube on a Si Tip for Electron Field Emitter
[15th International Vacuum Microelectronics Conference & 48th International Field
Emission Symposium, Lyon (2002, July 7-11) PT.49]
P.N.Minh, L.T.Tuyen, T.Ono, H.Mimura, K.Yokoo and M.Esashi
148) Endpoint Detectable Copper Through-hole Plating for the Fabrication of Glass with
Electrical Feed-throughs
[Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Xiamen, China (2002,
July 22-24) pp.139-142]
61
X.Li, T.Abe and M.Esashi
149) Highly Selective One-chip Multi-channel Quartz Crystal Microbalance Fabricated by Deep
RIE
[Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Xiamen, China (2002,
July 22-24) pp.343-346]
Vu.N.Hung, T.Abe, P.N.Minh and M.Esashi
150) Microfabrication of Thermoelectric Microdevices by Silicon Molding Process
[Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Xiamen, China (2002,
July 22-24) pp.347-350]
J.-F.Li, S.Tanaka, T.Umeki, S.Sugimoto, M.Esashi and R.Watanabe
151) A Piezodriven XY-Microstage for Multiprobe Nanorecording
[Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Xiamen, China (2002,
July 22-24) pp.449-452]
D.-Y.Zhang, C.Chang, T.Ono and M.Esashi
152) Microfabrication and Characterization of Field Emission Device with Integrated
Electrostatic Lenz Array
[Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Xiamen, China (2002,
July 22-24) pp.561-564]
P.N.Minh, T.Ono, LeT.T.Tuyen and M.Esashi
153) Electron Field Emission with Carbon Nanotube on a Si Tip
[Extended Abstracts of the 2002 Intn. Conf. on Solid State Devices and Materials, Nagoya
(2002, Sept.17-19) pp.96-97)
P.N.Minh, LeT.T.Tuyen, T.Ono, H.Mimura and M.Esashi
154) Electrostatically Levitated Ring-Shaped Rotational-Gyro/Accelerometer
[Extended Abstracts of the 2002 Intn. Conf. on Solid State Devices and Materials, Nagoya
(2002, Sept.17-19) pp.322-323)
T.Murakoshi, K.Fukatsu, Y.Endo, S.Nakamura and M.Esashi
155) Development of RF-MEMS Switch with Glass Package
[Extended Abstracts of the 2002 Intn. Conf. on Solid State Devices and Materials, Nagoya
(2002, Sept.17-19) pp.652-653)
F.Takayanagi, H.Sanpei, M.Yasuoka, J.Mizuno, Y.Maeda and M.Esashi
156) Micromachining of Silicon Carbide by Silicon Lost Molding, Chemical Vapor Deposition
and Reaction-Sintering
[Extended Abstracts of the 2002 Intn. Conf. on Solid State Devices and Materials, Nagoya
(2002, Sept.17-19) pp.674-675)
T.Itoh, S.Tanaka, J.-F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
157) High-performance Ultra-small Single Crystalline Silicon Microphone of an Integrated
Structure
[Micro and Nanoengineering 2002 International Conference, Lugano Switzerland (2002 Sept.
16-19), pp.228-229]
T.Tajima, T.Nishiguchi, S.Chiba, A.Morita, M.Abe, K.Tanioka, N.Saito and M.Esashi
158) Electrostatically Levitated Ring-Shaped Rotational-Gyro/Accelerometer
[Symposoum Gyro Technology 2002, Stuttgart (2002 Sept. 17-18)]
T.Murakoshi, K.Fukatsu, S.Nakamura and M.Esashi
159) Micro-Nano Electro Mechanical Systems by Bulk Silicon Micromachining
[Intern. Sympo. on Precision Eng. and MEMS, Hangzhou, China (2002 Nov.4-5)]
M.Esashi and T.Ono
62
160) Freestanding Carbon Nanotube Bridge Grown by Hot-filament Chemical Vapor Deposition
[2002 Internl. Microprocess and Nanotechnology Conference, Tokyo (2002 Nov.6-8),
36-37]
H.Miyashita, T.Ono and M.Esashi
161) Fabrication of Diamond Mold for Imprint Lithography
[2002 Internl. Microprocess and Nanotechnology Conference, Tokyo (2002 Nov.6-8),
164-165]
C.Konoma, T.Ono, H.Miyashita, Y.Kanamori and M.Esashi
162) Micro-Power Generation Research at Tohoku University
[International Workshop on Power MEMS, Tsukuba (2002 Nov.12-13),6-9]
S.Tanaka and M.Esashi
163) Component Development of Micromachined Gas Turvine Generators
[International Workshop on Power MEMS, Tsukuba (2002 Nov.12-13),32-35]
K.Isomura, M.Murayama, H.Yamaguchi, N.Ijichi, N.Saji, S.Tanaka, T.Genda, H.Hara and
M.Esashi
164) Fabrication of a Compressor Test Rig for a MEMS-Based Gas Turbine
[International Workshop on Power MEMS, Tsukuba (2002 Nov.12-13),48-51]
P.Kan, S.Tanaka and M.Esashi
165) MEMS-Based Polymer Electrolyte Fuel Cells
[International Workshop on Power MEMS, Tsukuba (2002 Nov.12-13), 64-67]
K.-B. Min, S.Tanaka and M.Esashi
166) MEMS-Based Fuel Reformer with Suspended Membrane Structure
[International Workshop on Power MEMS, Tsukuba (2002 Nov.12-13), 80-83]
K.-S.Chang, S.Tanaka and M.Esashi
167) Development of Thermoelectric Micro-Modules by Silicon Molding Process
[International Workshop on Power MEMS, Tsukuba (2002 Nov.12-13), 94-97]
J.-F.Li, A.Moriya, S.Sugimoto, S.Tanaka and M.Esashi
168) Micro-Termoelectric Generator Using Catalytic Combustor
[International Workshop on Power MEMS, Tsukuba (2002 Nov.12-13), 98-101]
K.Yoshida, K.Kobayashi, T.Nakajima, D.Satoh, S.Tanaka and M.Esashi
169) Scanning Diamond Probe and Application to Thermo-mechanical Nanolithography
[Proceedings MEMS'2003, Kyoto (2003 Jan.19-23), 24-27]
J.H.Bae, T.Ono, C.Konoma and M.Esashi
170) Nanomechanics of Ultrathin Silicon Beams and Carbon Nanotubes
[Proceedings MEMS'2003, Kyoto (2003 Jan.19-23), 33-36]
T.Ono, D.Wang, S.Sugimoto, H.Miyashita and M.Esashi
171) 2 Axes Optical Switch with Holding Mechanism
[Proceedings MEMS'2003, Kyoto (2003 Jan.19-23), 251-254]
A.Baba, H.Okano, H.Uetsuka and M.Esashi
172) Silicon-based Micro-Polymer Electrolyte Fuel Cells
[Proceedings MEMS'2003, Kyoto (2003 Jan.19-23), 379-382]
K.-B.Min, S.Tanaka and M.Esashi
173) Energy Dissipation in Small-diameter Quartz Crystal Microbalance Experimentally Studied
for Ultra-high Sensitive Gravimetry
[Proceedings MEMS'2003, Kyoto (2003 Jan.19-23), 518-511]
T.Abe, L.Li, Vu N.Hung and M.Esashi
174) Endpoint Detectable Plating through Femto-laser Drilled Glass Wafers for
63
Three-dimentional Electric Interconnections
[Proceedings MEMS'2003, Kyoto (2003 Jan.19-23), 638-641]
X.Li, T.Abe and M.Esashi
175) Development of Micro-turbo charger and Micro-combustor as Feasibility Studies of
Three-Dimensional Gas Turbine at Microscale
[Proceedings of ASME Turbo Expo 2003, Atlanta (2003, June 16-19) 1-6]
K.Isomura, M.Murayama, H.Yamaguchi, N.Ijichi, H.Asakura, N.Saji, O.Shiga,
K.Takahashi, S.Tanaka, T.Genda and M.Esashi
176) Nanomechanical Structures with an Integrated Carbon Nanotube
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2A1.2, Boston (2003 June 9-12) 182-185]
H.Miyashita, T.Ono and M.Esashi
177) Silicon Carbide Microfabricated by Silicon Lost Molding for Glass Press Molds
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2A2.4, Boston (2003 June 9-12) 254-257]
T.Itoh, S.Tanaka, J.F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
178) Crystallographic Influence on Nanomechanics of Ultra-Thin Silicon Resonators
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2A3.4, Boston (2003 June 9-12) 336-339]
D.F.Wang, T.Ono and M.Esashi
179) High Power Electrostatic Motor and Generator Using Electrets
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2A23.P, Boston (2003 June 9-12) 492-495]
T.Genda, S.Tanaka and M.Esashi
180) High Sensitive, Miniaturized Plano-Convex Quartz Crystal Microbalance Fabricated by
Reactive Ion Etching and Melting Photoresist
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2A27.P, Boston (2003 June 9-12) 508-511]
L.Li, T.Abe and M.Esashi
181) Electrostatic Actuator Integrated Optical Near-Field Probe with Bow-Tie Antenna for High
Transmission Efficiency
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2E37.P, Boston (2003 June 9-12) 548-551]
K.Iwami, T.Ono, E.Oesterschlze and M.Esashi
182) Piezoelectric 2D Micro Scanner for Minimally Invasive Therapy Fabricated Using
Femtosecond Laser Abration
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2E51.P, Boston (2003 June 9-12) 603-606]
N.Kikuchi, Y.Haga, M.Maeda, W.Makishi and M.Esashi
183) Combustor-Integrated Micro-Fuel Processor with Suspended Membrane Structure
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2E59.P, Boston (2003 June 9-12) 635-638]
K.S.Chang, S.Tanaka, C.L.Chang and M.Esashi
184) Carbon Nanotube Integrated on Silicon Tips for Electron Field Emitter: Tip Apex
Patterning and Emission Characterization
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2E59.P, Boston (2003 June 9-12) 770-773]
C.H.Tsai, P.N.Minh, T.Ono, N.Sato, Le T.T.Tuyen, P.H.Khoi, Y.W.Lee, C.Y.Wu and M.Esashi
185) Diamond Micro-Schottky Emitter with an Integrated Heating Element
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2E95.P, Boston (2003 June 9-12) 778-781]
J.H.Bae, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
186) Vacuum Sealed Ultra Miniature Fiber-Optic Pressure Sensor Using White Light
Interferometry
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 2E134.P, Boston (2003 June 9-12) 931-934]
K.Totsu, Y.Haga and M.Esashi
187) Micro Electron Field Emitter Array with Focus Lenses for Multi-Electron Beam Lithography
64
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 3E32.P, Boston (2003 June 9-12) 1295-1298]
P.N.Minh, T.Ono, N.Sato, H.Mimura and M.Esashi
188) Chracteristics of LIGA PMMA Micromirror for MOEM Optical Switch Application
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 3E83.P, Boston (2003 June 9-12) 1498-1502]
W.I.Jang, M.-Y.Jung, C.H.Jub, Y.T.Kim and M.Esashi
189) Piezoactuator-Integrated Monolithic Microstage with Six Degrees of Freedom
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 3E88.P, Boston (2003 June 9-12) 1518-1521]
D.Y.Zhang, T.Ono and M.Esashi
190) Aluminium Nitride Based Thin Film Bulk Acoustic Resonator Using Germanium Sacrificial
Layer Etching
[Digest of Technical Papers, Transducers'03, 4A2.1, Boston (2003 June 9-12) 1780-1783]
M.Hara, J.Kuypers, T.Abe and M.Esashi
191) MEMS Based Thin Film 2GHz Resonator for CMOS Integration
[2003 IEEE MTT-S Internl. Microwave Symposium Digest, Philadelphia (2003 June 8-13)
1797-1800]
M.Hara, J.Kuypers, T.Abe and M.Esashi
192) From SOI Wafer to Micro Electron Field Emission Device with Focus Lenses
[Technical Digest of IVMC2003, Osaka (2003 July 7-11) 179-180]
P.N.Minh, T.Ono, N.Sato, H.Mimura, K.Yokoo and M.Esashi
193) Field Emission from a Single Carbon Nanocoil
[Technical Digest of IVMC2003, Osaka (2003 July 7-11) 233-234]
S.Sugimoto, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
194) A Schottky Emitter Using Boron-Doped Diamond
[Technical Digest of IVMC2003, Osaka (2003 July 7-11) 247-248]
J.H.Bae, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
195) Field Emission from a Individual Carbon Nanocoil
[The Internl. Conf. on the Science and Application of Nanotubes 2003, Seoul (2003 July
7-11) 183]
S.Sugimoto, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
196) MEMS-based Components of a Miniature Fuel Cell/Fuel Reformer System
[7th Internl. Conf. on Microreaction Technology (IMRET 7), Lausanne (2003 Sept 7-10)
16-18]
S.Tanaka, K.-S. Chang, K.-B. Min, D.Satoh, K.Yoshida and M.Esashi
197) Surface Effect on Nanomechanics of Ultra-thin Silicon Resonator
[Eurosensors'03, Portogal (2003 Sept.21-24) 20-23]
D.F.Wang, T.Ono and M.Esashi
198) Reaction Bonding of Microstructured Silicon Carbide Using Polymer and Silicon Thin Film
[10th International Conf. on Silicon Carbide and Related Materials 2003, Lyon (2003 Oct
5-10) 186]
R.Rajanna, S.Tanaka, T.Ito and M.Esashi
199) Adjustable Bow-tie Antenna Optical Near-field Probe with Electrostatic Actuator for High
Transmission Efficiency and Resolution
[Proc. Of the 4th Asia-Pasific International Conference on Near-Field Optics (APNFO-4),
Hualien, Taiwan (2003 Oct.13-16) 55-56]
K.Iwami, T.Ono, E.Oesterschulze and M.Esashi
200) Development of Micromachine Gas Turbine for Portable Power Generation
[The International Symposium on Micro-Mechanical Engineering, Tsuchura and Tsukuba (2003.
65
Dec.1-3) pp.289-295]
K.Isomura, S.Tanaka, S.Togo, H.Kanebako, M.Murayama, N,Saji, F.Sato and M.Esashi
201) Development of Fuel Delivery System for Micro Direct Methanol Fuel Cells
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 3-6]
Y.Hagihara, M.Saitou, M.kamakura, H.Kawa da, S.Tanaka and M.Esashi
202) Evaluation of a MEMS-Based Polymer Electrolyte Membrane Fuel Cell Using Single Cells
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 33-36]
K.-B. Min, S.Tanaka and M.Esashi
203) Miniature Electrical Power Source Using Catalytic Combustion of Butane
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 45-48]
K.Yoshida, S.Tomonari, T.Nakajima, D.Sato, S.Tanaka and M.Esashi
204) Micro-Membrane Fuel Processor with Trench-Refilled Thick Oxide
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 73-76]
K.S.Chang, S.Tanaka, K.Yoshida and M.Esashi
205) Chargeing Method of Micro-Patterned Electret for High Power Electret Motor and Generator
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 77-80]
T.Genda, S.Tanaka and M.Esashi
206) Development of the MEMS-based Compressor Test Rig
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 98-101]
P.-J.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
207) MEMS-Based Ejector System to Supply Fuel-Air Mixture
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 102-105]
D.Satoh, S.Tanaka, K.Yoshida and M.Esashi
208) Vacuum Test of a Micro-Solid Propellant Rocket Array Thruster
[Power MEMS 2003, Makuhari (2003 Dec.4-5) 157-160]
K.Kondo, S.Tanaka, H.Habu, S.Tokudome, K.Hori, H.Saito, A.Itoh, M.Watanabe and M.Esashi
209) Mass Sensing with Resonating Ultrathin Double Beams
[Second IEEE Intn. Conf. on Sensors (IEEE Sensors 2003), Toronto (2003 Oct.22-24) 825-829]
T.Ono, D.F.Wang and M.Esashi
210) Large Displacement Optical Switching Mechanism Using SMA Microactuator and Magnetic
Latch
[Proceedings MEMS'2004, Maastricht (2004 Jan.25-29), 61-64]
M.M.I.Bhuiyan, Y.Haga and M.Esashi
211) High Energy Density Miniature Electrical and Thermal Power Source Using Catlytic
Combustion of Butane
[Proceedings MEMS'2004, Maastricht (2004 Jan.25-29), pp.316-321]
K.Yoshida, S.Tomonari, H.Yoshioka, S.Tanaka, D.Satoh and M.Esashi
212) Utilization of Carbon Nanotube and Diamond for Electron Field Emission Devices
[Proceedings MEMS'2004, Maastricht (2004 Jan.25-29), 430-433]
P.N.Minh, P.N.Hong, T.M.Cuong, T.Ono and M.Esashi
213) Micro-Patterned Electret for High Power Electrostatic Motor
[Proceedings MEMS'2004, Maastricht (2004 Jan.25-29), 470-473]
T.Genda, S.Tanaka and M.Esashi
214) Diamond Probe for Ultra-High-Density Ferroelectric Data Storage Based on Scanning
Nonlinear Dielectric Microscopy
[Proceedings MEMS'2004, Maastricht (2004 Jan.25-29), 536-539]
H.Takahashi, T,Ono, Y.Cho and M.Esashi
66
215) Fabrication of Low Directional Acoustic Transducers for Intravascular Forward-Looking
Imaging
[Proceedings MEMS'2004, Maastricht (2004 Jan.25-29), 857-860]
J.J.Chen, Y.Haga, H.Akahori, O.Oshiro, K.Chihara and M.Esashi
216) Optical Switches for Large Core Diameter Optical Fibers (POF & PCF)
[Proceedings of SPIE 5346 MOEMS and Miniaturized SystemsIV, Bellingham, (2004 Jan.27-28),
126-133]
M.M.I.Bhuiyan, Y.Haga and M.Esashi
217) Combustion Characteristics of a Micro-solid Propellant Rocket Array Thruster
[Asian Joint Conf. on Propulsion and Power, Seoul, Korea (2004 March 4-6), 335-338]
K.Kondo, S.Tanaka, H.Habu, S.Tokudome, K.Hori, H.Saito, A Itoh, M.Watanabe and M.Esashi
218) MEMS-based Polymer Electrolyte Fuel Cell with Screen-printed Catalytic Electrodes
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 11-15]
S.Tanaka, N.Kato, K.-B.Min, H.Oikawa and M.Esashi
219) Fabrication of Minature Proximity Electron Source for Operation in Atmosphere
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 81-85]
W.Cho, P.N.Minh, S.Sugimoto, T.Ono and M.Esashi
220) Microfabrication of Catilevered Quartz-Crystal Resonator for Force Sensing
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 141-145]
Y.-C.Lin, T.Ono and M.Esashi
221) Microfabricated bi-convex QCM and the Superior Resonant Characteristics in Viscoelastic
Liquids
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 151-154]
L.Li, T.Abe and M.Esashi
222) Piezoelectric 2D Microscanner for Intracortical Laser Treatment
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 211-214]
H.Akahori, Y.Haga, K.Totsu, M.Esashi and H.Wada
223) Narrow Interval 2-D Pin Display Using SMA Coil Actuator for Blind Person
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 306-309]
T.Matsunaga, Y.Haga, M.Mizushima, K.Totsu and M.Esashi
224) Ultra-Minature Fiber-Optic Medical Pressure Sensor System Using White Light
Interferometry
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 357-361]
K.Totsu, Y.Haga, M.M.Lwin and M.Esashi
225) An Integrated Encapsulating Technology with High-density Plated-through-holes in Pyrex
Glass
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 634-637]
X.Li, T.Abe and M.Esashi
226) Micro Instrumentation for Evaluation of Thermoelectric Properties of Nano Materials
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 701-706]
C.-C.Fan, T.Ono and M.Esashi
227) Anti-Corrosive SiC Diaphragm Vacuum Sensor
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 745-748]
M.Hiratsuka, Y.Kitamura, T.Koide and M.Esash
228) High Density Electrostatic Ink Jet Printer Head with Vertical Diaphragms in Deep Trenches
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 885-888]
T.Norimatsu, S.Tanaka and M.Esashi
67
229) Active Bending Long Intestinal Tube Using Shape Memory Alloy
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 893-896]
M.Mizushima, Y.Haga, K.Totsu and M.Esashi
230) Microfabricated AFM Si Probe with Lateral Actuators for Independent Parallel
Applications
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 912-915]
Y.Ahn, T.Ono and M.Esashi
231) Palladium Membrane Microreactor with Porous Silicon Support for Hydrogen Peroxide
Synthesis
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 1241-1245]
S.-Y.Ye, S.Tanaka, S.Hamakawa, K.-B.Min, M.Esashi, T.Hanaoka and F.Mizukami
232) Optical Near-foeld Imaging Using Micromachined Gap Variable Bow-tie Antenna Probe in
Visible Region
[The 8th International Conf. on Near-field Nano Optics & Related Techniques (NFO-8), Seoul
(2004 Sept.5-9), 216]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
233) Micromachining of a Permalloy Mesa Structure for All-silicon Quantum Computer,
[Proc. the 18th Euro. Conf. on Solid-State Transducers (Eurosensors XVIII), Roma, (2004
Sept. 11-15), 586-589]
Dong F. Wang, T. Ono, A. Takahashi, Y. Matsumoto, K.M. Itoh, Y. Yamamoto and M. Esashi
234) Micro-Turbo Charger for a Palmpop Gas Turbine Generator
[Proc. of The 19th Annual Meeting, The American Society for Precision Eng., Orlando, (2004,
Oct. 24-29), 157-160]
S.Tanaka, K.Isamura, S.Togo, K.Hikichi, S.Goto and M.Esashi
235) Chemical Vapor Deposition of Alumina for Catalyst Bed in a Suspended Membrane
Microreformer
[Technical Digest Power MEMS 2004, Kyoto, (2004, Nov. 28-30) 50-53]
T.Takahashi, S.Tanaka and M.Esashi
236) Development of High Speed Micro-Gas Bearing for 3-Dimensional Micro-Turbo Machines
[Technical Digest Power MEMS 2004, Kyoto, (2004, Nov. 28-30) 76-79]
K.Isomura, S.Tanaka, S.Togo and M.Esashi
237) High Energy Density Miniature Electrical and Thermal Power Source Using Catalytic
Combustion
[Technical Digest Power MEMS 2004, Kyoto, (2004, Nov. 28-30) 120-123]
K.Yoshida, S.Tomonari, H.Hiraki, S.Tanaka and M.Esashi
238) Demonstration of MEMS-Based Turbocharger
[Technical Digest Power MEMS 2004, Kyoto, (2004, Nov. 28-30) 175-178]
P.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
239) High Power Electret Motor and Generator on Shrouded Turbine
[Technical Digest Power MEMS 2004, Kyoto, (2004, Nov. 28-30) 183-186]
T.Genda, S.Tanaka and M.Esashi
240) Fuel and Air Supply System Using an Ejector for Microcombustors
[Technical Digest Power MEMS 2004, Kyoto, (2004, Nov. 28-30) 199-202]
D.Satoh, S.Tanaka and M.Esashi
241) Fabrication of a MEMS Probe Card with Feedthrough Interconnections
[26th International Symposium on Dry Process (DPS 2004), Tokyo (2004, Dec.1) 113-116]
S.-H.Choe and M.Esashi
68
242) Tube Shape Piezoelectric 2D Microscanner for Minimally Invasive Laser Treatment
[Technical Digest MEMS'2005, Miami (2005 Jan.30-Feb.3), 76-79]
H.Akahori, H.Wada, M.Esashi and Y.Haga
243) Microfabricated Spherical Bi-convex Quartz Crystal Microbalance Array
[Technical Digest MEMS'2005, Miami (2005 Jan.30-Feb.3), 327-330]P
L.Li, T.Abe and M.Esashi
244) Microfabricated Finger-QCM Array for Ultrahigh Sensitive Gravimetry
[Technical Digest MEMS'2005, Miami (2005 Jan.30-Feb.3), 331-334]P
L.Li, T.Abe and M.Esashi
245) Paremetrically Amplified Resonant Sensor with Psudo-Cooling Effect
[Technical Digest MEMS'2005, Miami (2005 Jan.30-Feb.3), 343-346]P
H.Wakamatsu, T.Ono and M.Esashi
246) Micro/Nano Glass Press Molding Using Silicon Carbide Molds Fabricated by Silicon Lost
Molding
[Technical Digest MEMS'2005, Miami (2005 Jan.30-Feb.3), 475-478]P
K.-O.Min, S.Tanaka and M.Esashi
247) Micro Proximity Electron Source for Nanoprocessing in Atmosphere
[Technical Digest MEMS'2005, Miami (2005 Jan.30-Feb.3), 875-878]
W.Cho, T.Ono, P.N.Minh and M.Esashi
248) Piezoelectric 2D Microscanner for Precise Laser Treatment in the Human Body
[Proc. of the 3rd Annual International IEEE EMBS Special Topic Conference on
Microtechnologies in Medicine and Biology, Hawaii (2005, May 12-15) 166-169]
H.Akahori, Y.Haga, T.Matsunaga, K.Totsu, H.Iseki, M.Esashi and H.Wada
249) 125μm Diameter Fiber-Optic Pressure Sensor System Using Spectrometer-Based White Light
Interferometry with High-Speed Wavelength Tracking
[Proc. of the 3rd Annual International IEEE EMBS Special Topic Conference on
Microtechnologies in Medicine and Biology, Hawaii (2005, May 12-15) 170-173]
K.Totsu, Y.Haga, T.Matsunaga and M.Esashi
250) Small Diameter Hydraulic Active Bending Catheter Using Laser Processed Super Elastic
Alloy and Silicone Rubber Tube
[Proc. of the 3rd Annual International IEEE EMBS Special Topic Conference on
Microtechnologies in Medicine and Biology, Hawaii (2005, May 12-15) 245-248]
Y.Haga, Y.Muyari, T.Mineta, T.Matsunaga, H.Akahori and M.Esashi
251) Active Bending Ileus Tube Using Shape Memory Alloy for Treatment of Intestinal
Obstruction
[Proc. of the 3rd Annual International IEEE EMBS Special Topic Conference on
Microtechnologies in Medicine and Biology, Hawaii (2005, May 12-15) 245-248]
Y.Haga, M.Mizushima, T.Matsunaga, K.Totsu and M.Esashi
252) Forward-Looking Ultrasound Imager Using Convex-Shaped 1-3 Composite Transducer for
Intravascular Treatment
[Proc. of the 3rd Annual International IEEE EMBS Special Topic Conference on
Microtechnologies in Medicine and Biology, Hawaii (2005, May 12-15) 345-348]
J.J.Chen, Y.Haga, O.Oshiro, K.Chihara and M.Esashi
253) Design and Fabrication of a Pure-Rotation Microscanner with Self-Aligned Electrostatic
Vertical Combdrives in Double SOI Wafer
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 65-68]
Y.Mizoguchi and M.Esashi
69
254) Quartz-Crystal Cantilevered Resonator for Nanometric Sensing
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 247-251]
Y.C.Lin, T.Ono and M.Esashi
255) Capacitive Resonant Mass Sensor with LC Resonant Circuit
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 256-260]
S.J.Kim, T.Ono and M.Esashi
256) Schottky Emitters with Carbon Nanotubes and Diamond as Electron Source
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 267-270]
P.N.Minh, N.T.Hong, N.Q.Minh, P.H.Khoi, Y.Nomura, T.Ono and M.Esashi
257) 2-D and 3-D Tactile Pin Display Using SMA Micro-coil Actuator and Magnetic Latch
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 325-328]
T.Matsunaga, W.Makishi, K.Totsu, M.Esashi and Y.Haga
258) Fuel and Air Supply System for Combustion Based Power Sources
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 337-341]
D.Satoh, S.Tanaka and M.Esashi
259) Resonance-free HRS MEMS Package for Microwave and Millimeter-wave
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 427-432]
Y.T.Song, T.Ono, H. Y. Lee and M.Esashi
260) Optimization of the Piezoresistive AFM Cantilever Design for Use at Cryogenic
Temperatures
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 625-629]P
S.S.Lee, Y.Miyatake, I.Shiraki, T.Naganuma, K.Miki, T.Ono and M.Esashi
261) High Power Electrostatic Motor with Micropatterned Electret on Shrouded Turbine
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 709-712]P
T.Genda, S.Tanaka and M.Esashi
262) Development of Monolithic PZT Microstage for the application of Ultra High-Density Data
Storage
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 717-720]P
H.G.Xu, K.Okamoto, D.Y.Zhang, T.Ono and M.Esashi
263) In-situ Chemical Vapor Deposition of Alumina Catalyst Based on a Suspended Membrane
Microreactor
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 899-903]P
T.Takahashi, S.Tanaka, Kuei-Sung Chang and M.Esashi
264) A Matched Expansion Probe Card for High Temperature LSI Testing
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 1259-1262]
S.H.Choe, S.Fujimoto, S.Tanaka and M.Esashi
265) Reversible Electrical Modification on Conductive Polymer for Scanning Multiprobe Data
Storage
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 1300-1303]
S.Yoshida, T.Ono, S.Oi and M.Esashi
266) Diamond Probe with Silicon-Based Piezo Strain Gauge for High Density Data Storage Using
Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 1338-1341]P
H.Takahashi, A.Onoe, T.Ono, Y.Cho and M.Esashi
267) Bulk-Micromachined Lithium Niobate Sensor and Actuator for Harsh Environment
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 1380-1383]P
A.B.Randles, S.Tanaka, B.J.Pokines and M.Esashi
70
268) Gray-Scale Lithography Using Mask-Less Exposure System
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 1441-1444]P
K.Totsu, K.Fujishiro, S.Tanaka and M.Esashi
269) Focused Ultrasonic Transducer for Localized Sonodynamic Therapy
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 1660-1664]P
A.Yasui, Y.Haga, J.J.Chen, M.Esashi and H.Wada
270) Thin Palladium Membrane Microreactor with Porous Silicon Support and Their Application
in Hydrogenation Reaction
[Technical Digest of Transducers 2005, Seoul (2005 June 5-9) 2078-2082]
S.-Y.Ye, S.Tanaka, M.Esashi, S.Hamakawa, T.Hanaoka and F.Mizukami
271) Application of Stand-by Switching Large Core Diameter Optical Fiber Switch
[Optical MEMS 2005, Oulu, Finland (2005 August 1-4) 151-152]
M.M.I.Bhuiyan, Y.Haga and M.Esashi
272) MEMS-Based Thin Palladium Membrane Microreactor
[20th Congress of the International Commission for Optics, Changchun, China (2005,
Aug.21-26)]
S.-Y.Ye, S.Tanaka, M.Esashi, S.Hamakawa, T.Hanaoka and F.Mizukami
273) Monolithic PZT Microstage with 6 DOFs for High-precision Positioning
[20th Congress of the International Commission for Optics, Changchun, China (2005,
Aug.21-26)]
H.G.Xu, K.Okamoto, D.Y.Zhang, T.Ono and M.Esashi
274) Resonant Silicon Mass Sensor with Capacitive Readout
[Extended Abstracts of the 2005 Intn. Conf. on Solid State Devices and Materials, Kobe (2005,
Sept.13-15) 82-83]
S.J.Kim, T.Ono and M.Esashi
275) Micro Tyrbo Pump Made of Low-stress, Ultrathick Photoresist for Portable Fuel Cell
Application
[Micro System Technologies 2005, Munchen (2005, Oct.5-6) 48-54]
N.Honda, S.Tanaka, A.Nakajima, S.Mori and M.Esashi
276) MEMS and Related Microfabrication Technologies for Minimally Invasive Biomedical Devices
[17th International Conference of Society for Medical Innovation and Technology (SMIT2005),
Napoli, Italy (2005, September 29) 304-305
Y.Haga and M. Esashi
277) Resonating Quartz-crystal Cantilever for Force Sensing
[IEEE Sensors 2005, Irvine USA (2005, Oct.31-Nov.3) 260-264]
Y.C.Lin, T.Ono and M.Esashi
278) Small Diameter Ultrasound Imager for Intraluminal Forward-Looking Inspection
[IEEE Sensors 2005, Irvine USA (2005, Oct.31-Nov.3) 920-923]
J.J.Chen, M.Esashi and Y.Haga
279) Inherent Orifice Radial Bearing and Hydroinertia Axial Bearing for MEMS-based Turbo
Machinery
[Technical Digest of Power MEMS 2005, Tokyo (2005, Nov.28-30) 41-44]
Y.Miura, P.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
280) Improvement of Micro Solid Rocket Array Thruster for Reliable Operation in Vacuum
[Technical Digest of Power MEMS 2005, Tokyo (2005, Nov.28-30) 157-160]
K.Kondo, S.Tanaka, H.Habu, S.Tokudome, K.Hori, H.Saito, A.Itoh, M.Watanabe and M.Esashi
281) Micro Fuel Reformer Integrated with a Combustor and a Microchannel Evaporator
71
[Technical Digest of Power MEMS 2005, Tokyo (2005, Nov.28-30) 210-213]
Y.Miura, P.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
282) Imaging of Acoustic Emission from Vibrating Micro/Nano Structures
[MEMS2006 Technical Digests, Istanbul (2006, Jan.22-26) 242-245]P
T.Ono, S.-J.Kim and M.Esashi
283) Normally-Closed Electrostatic Micro Valve with Pressure Balance Mechanism for Portable
Fuel Cell Application
[MEMS2006 Technical Digests, Istanbul (2006, Jan.22-26) 722-725]P
K.Yoshida, Y.Hagihara, S.Tanaka and M.Esashi
284) Electrostatically-Controlled, Self-Pneumatically-Actuated Microvalve with High
Pressure Tolerance and Low Pressure Loss
[MEMS2006 Technical Digests, Istanbul (2006, Jan.22-26) 746-749]P
D.Satoh, S.Tanaka and M.Esashi
285) Piezoelectric Actuator Integrated Cantilever with Tunable Spring Constant for Atom Probe
[MEMS2006 Technical Digests, Istanbul (2006, Jan.22-26) 778-781]P
Y.Kawai, T.Ono, E.Meyer, C.Gerber and M.Esashi
286) Actuator-Integrated Microprobes for Advanced Analysis in Nanoscale
[The 1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, Chiba,
(2006, April 20-21) 21-24]
T.Ono, Y.Kawai, S.Yoshida, K.Iwami, H.Xu and M.Esashi
287) Optically Driven Microactuator for Two-Dimentional Optical Scanner
[The 1st International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs, Chiba,
(2006, April 20-21) 43-46]
K.Totsu, H.C.Kang and M.Esashi
288) Diamond Shottky Emitter Array for Multi-Electron Beam Lithography
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 107]
C.H.Tsai, T.Ono and M.Esashi
289) Fabrication and Characterization of High Aspect Ratio Microcoils Using Silicon Lost
Molding Process
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 133]
Y.Jiang, T.Ono and M.Esashi
290) Novel Fabrication Process of Thin Diaphragm in LiNbO 3 for Pressure Sensors Used in Harsh
Environment
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 164]
A.B.Randles, S.Tanaka and M.Esashi
291) Microassembling of Silicon-Based on Field-Assist Glass Melting and Bonding
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 165]
H.Seki, T.Ono, Y.Kawai and M.Esashi
292) Thin-Film In-Au Microjoint for MEMS Packaging
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 173]
K.Totsu and M.Esashi
293) Fabrication of High Resolution Flexible OTFT Array by Using Nanocontact Printing and
72
Low Temperature Process
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 186]P
J.Jo, K.-Y.Kim, E.-S.Lee and M.Esashi
294) Capacitive Vacuum Sensor with SiC Diaphragm and Non Evaporable Getter for High Sensitive
Detection in Harsh Environments
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 235]P
B.Larangot, S.Tanaka, M.Hiratsuka and Y.Kitamura
295) Optically Driven Microactuator for Two-Dimensional Optical Scanner
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 263]P
H.-C.Kang, K.Totsu and M.Esashi
296) Wafer-Level Packaging of RF Devices Using Imprinted SU-8 Dry Film
[Asia Pacific Conference of Transducer and Micro-Nano Technology, APCOT2006, Singapore
(2006, June 25-28) 293]P
J.H.Kuypers and M.Esashi
297) Reversible Electrical Modification of Conductive Polymer on Flat Template-Stripped Gold
Surface
[International Conference of Nanoscience and Technology (ICN+T) 2006, Basel, (2006,
July30-Aug.4) 34]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
298) Piezoelectric Actuator-Integrated Resonator for Scanning Force Microscope
[International Conference of Nanoscience and Technology (ICN+T) 2006, Basel, (2006,
July30-Aug.4) 199]
Y.Kawai, T.Ono, E.Meyer, C.Gerber and M.Esashi
299) Passive 2.45 GHz TDMA Based Multi-sensor Wireless Temperature Monitoring System: Results
and Considerations
[Proc. IEEE Ultrason. Symp., Vancouver, Canada(2006, Oct. 3-6) 1453-1458]
J.H.Kuypers, D.A.Eisele, L.M.Reindl, S.Tanaka and M.Esashi
300) 2.45GHz Passive Wireless Temperature Monitoring System Featuring Parallel Sensor
Interrogation and Resolution Evaluation
[IEEE Sensors 2006, Daegu, (2006, Oct.22-25) 773-776, Abstract 215]
J.H.Kuypers, D.A.Eisele, L.M.Reindl and M.Esashi
301) Mass Detection Using Capacitive Resonant Silicon Sensor
[Proceedings of the IEEE Sensors 2006, Daegu, (2006, Oct.22-25) 1285-1288, Abstract 356]
S.-J.Kim, T.Ono and M.Esashi
302) Wine Glass Mode Micro-Mechanical Resonator
[Proceedings of the IEEE Sensors 2006, Daegu, (2006, Oct.22-25) 1289-1292, Abstract 357]
K.Ikoma, M.Okazaki and M.Esashi
303) Fabrication of Micromachined Quartz-crystal Resonators Using Surface Activated Bonding
of Silicon and Quartz Wafers
[Proceedings of the IEEE Sensors 2006, Daegu, (2006, Oct.22-25) 1305-1308, Abstract 361]
A.Takahashi, T.Ono, Y.-C.Lin and M.Esashi
304) Development of Small Diameter Ultrasound Imager for Intravascular Forward-looking
Imaging
[Proceedings of the 2006 International Symposium on Nano Science and Technology, Tainan
73
(2006, Nov.9-10) 30-31]
J.J.Chen, M.Esashi and Y.Haga
305) Nanometric Application with Microfabricated Quartz-crystal Cantilever
[2006 International Symposium on Nano Science and Technology, Tainan (2006, Nov.9-10)
78-79]
Y.-C.Lin, T.Ono and M.Esashi
306) Test of Shrouded 2-dimentional Microimpeller Made of SU-8
[The 6th Intnl. Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Genaration and Energy
Conversion Applications, Berkeley (2006, Nov.29-Dec.1) 41-44]
A.Nakajima, P.Kang, K.Hikichi, M.Esashi and S.Tanaka
307) Rotor Dynamics Test for Palmtop Gas Turbine Generator
[The 6th Intnl. Workshop on Micro and Nanotechnology for Power Genaration and Energy
Conversion Applications, Berkeley (2006, Nov.29-Dec.1) 53-56]P
S.Tanaka, K.Hikichi, H.Watanabe, S.Togo and M.Esashi
308) 2D Laser Microscanner for Precise Laser Surgery and Small Size Head Mount Display
[The 13th International Display Workshops, Ohtsu (2006, Dec.6-8)]
W.Makishi, H.Akahori, T.Matsunaga, M.Esashi, Y.Haga
309) Nanostructured Silicon Carbode Molds for Glass Press Molding
[Technical Digests of IEEE-NEMS, Bangkok, Thailand (2007, Jan.17-19) 250-253]
J.Shin, S.Tanaka and M.Esashi
310) Development of High-Resolution Intraluminal and Intravascular MRI Probe Using
Microfabrication on Cylindrical Substrates
[Technical Digestss of MEMS 2007, Kobe, Japan (2007, Jan.21-25) 329-332]
S.Goto, T.Matsunaga, Y.Matsuoka, K.Kuroda, M.Esashi and Y.Haga
311) RIE of Solenoidal Microcoil Glass Mould with Integrated Sample Container for Mocro-MRI
[Technical Digests of MEMS 2007, Kobe, Japan (2007, Jan.21-25) 345-348]
M.J.K.Klein, T.Ono, M.Esashi and J.G.Korvink
312) Fabrication and Characterization of an Integrated Schottky Emitter Array for Multi-Beam
Lithography Applications
[Technical Digests of MEMS 2007, Kobe, Japan (2007, Jan.21-25) 373-376]P
C.-H.Tsai, T.Ono and M.Esashi
313) Photothermal Transducer Based on Ultrathin Bimetal Si Resonator
[Technical Digests of MEMS 2007, Kobe, Japan (2007, Jan.21-25) 639-642]P
T.Ono, S.Yoshida, Y.Kawai and M.Esashi
314) B/Ti Multilayer Reactive Igniter for Micro Solid Rocket Array Thruster
[Technical Digests of MEMS 2007, Kobe, Japan (2007, Jan.21-25) 887-890]P
S.Tanaka, K.Konda, H.Habu, A.Itoh, M.Watanabe, K.Hori and M.Esashi
315) MEMS-Based SAW Devices
[Third Internl. Sympo. on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems,
Chiba, (2007, March 6-8) 57-68]
J.H.Kupers, A.B.Randles, M.E.Schmidt, S.Tanaka and M.Esashi
316) Zinc Oxide Photoconductive Antenna for Terahertz Near-field Microscopy
[Smart Systems Integration, Paris, France (2007, March 27-28) 265-270]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
317) Monolithic Phase Shifter Based on Mechanically Tunable SAW Delay Line
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 161-164]
74
J.H.Kuypers, M.E.Schmidt, S.Tanaka and M.Esashi
318) Cavity-through Deep Reactive Ion Etching of Directly-bonded Silicon Wafers
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 549-553]P
P.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
319) Micro Proximity Electron Source with Apertured Electron Window for Nanolithography in
Atmosphere
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 1581-1584]P
W.Cho, T.Ono and M.Esashi
320) Conductive Polymer Patternd Media for Scanning Multiprobe Data Storage
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 1645-1648]P
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
321) Microprobe Integrated with Single-Electron Transistor for Magnetic Resonance Force
Microscopy
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 1749-1752]P
S.-H.Song, T.Ono and M.Esashi
322) Bimetalic Thermal Radiation Microsensor with Integrated Dipole Antenna
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 1939-1942]
Y.Li, T.Ono and M.Esashi
323) Multi-probe with Metalic Tips for Ferroelectric Recording Probe Storage
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 2509-2512]
H.Takahashi, Y.Minura, S.Mori, M.Ishimori, A.Onoe, T.Ono and M.Esashi
324) Self-sensing Quartz-crystal Cantilever for Annometric Sensing
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 2513-2516]
Y.-C.Lin, T.Ono and M.Esashi
325) MEMS-based Probe Array for Wafer Level LSI Testing Transfered onto Low CTE LTCC Substrate
by Au/Sn Eutectic Bonding
[The 14th Intnl. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers’07),
Lion, France (2007, June 10-14) 2517-2520]
S.-H.Choe, S.Tanaka and M.Esashi
326) Charcterization of Catalytic Chemical Vapor Deposited SiCN Thin Film Coatings
[Trends in Nano Technology, TNT2007, San Sebastian Spain (2007, Sept.3-7) Paper No.88]
S.Neethirajan, T.Ono, M.Esashi and D.Jayas
327) Thermal Detection Using Dual Resonance Mode of Probe
[The 8th Intnl. Symp. on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2007),
Sendai, (2007, Sept. 24-27) 355-358]
S.-J.Kim, T.Ono, M.Esashi and A.Ishijima
328) Development of Piezoresistive Nanocantilevers for Ultra-sensitive Force Detection
[The 8th Intnl. Symp. on Measurement Technology and Intelligent Instruments (ISMTII 2007),
Sendai, (2007, Sept. 24-27) 417-420]
Y.G.Jiang, T.Ono and M.Esashi
75
329) A Single-strand Self-aligned Carbon Nanotube Emitter Array,
[33rd International Conference on Micro- and Nano-Engineering, Copenhagen Denmark, (2007,
Sept. 23-26) 105-106]
J.Ho, T.Ono and M.Esashi
330) A Matched Expansion MEMS Probe Card with Low CTE LTCC Substrate
[IEEE International Test Conference 2007, Santa Clara, CA, (2007,Oct.21-26) Paper 20.2]
S.-H.Choe, S.Tanaka and M.Esashi
331) Phase Velocity Control of Surface Acoustic Waves Based on Surface Shorting and Electrical
Field Application Using MEMS Switches
[2007 IEEE International Ultrasonic Symposium and Short Courses, New York USA (2007,
Oct.28-31) p.378(6E-2), p.40(P0-13)]
J.H.Kuypers, M.E.Schmidt, S.Tanaka and M.Esashi
332) Etch Rate Dependence on Crystal Orientation for Lithium Niobate
[2007 IEEE International Ultrasonic Symposium and Short Courses, New York USA (2007,
Oct.28-31) p.474 (P4L-4)]P
A.B.Randles, S.Tanaka and M.Esashi
333) Design and Fabrication of a Vacuum-packaged Micro Fuel Reformer
[Technical Digest, Power MEMS 2007, Freiburg, Germany (2007, Nov.28-29) 35-38]
A.Kasuga, S.Tanaka and M.Esashi
334) World's Smallest Gas Turbine Establishing Brayton Cycle
[Technical Digest, Power MEMS 2007, Freiburg, Germany (2007, Nov.28-29) 359-362]
S.Tanaka, K.Hikichi, S.Togo, M.Murayama, Y.Hirose, T.Sakurai, S.Yuasa, S.Teramoto,
T.Niino, T.Mori, M.Esashi and K.Isomura
335) Fabrication of Microprobes on a Ultrathick Glass Substrate with Narrow-pitch Electrical
Feedthroughs for Next-Generation LSI Burn-in Tests
[MEMS 2008 Technical Digests, Tueson, USA (2008, Jan.13-17) 347-345]P
S.Tanaka, S.Fujimoto, O.Ito, S.-H.Choe and M.Esashi
336) Parallel Electron Beam Micro-column with Self-aligned Carbon Nanotube Emitters
[MEMS 2008 Technical Digests, Tueson, USA (2008, Jan.13-17) 355-358]P
C.H.Tsai, J.Y.Ho, T.Ono and M.Esashi
337) Debris-free In-air Laser Dicing for Multi-layer MEMS by Perforated Internal
Transformation and Thermally Induced Crack Propagation
[MEMS 2008 Technical Digests, Tueson, USA (2008, Jan.13-17) 822-827]P
Y.Izawa, S.Tanaka,H.Kikuchi, Y.Tsurumi, N.Miyanaga, M.Esashi and M.Fujita
338) Vacuum-packaged Micro Fuel Reformer for High Thermal Efficiency and Low Package
Temperature
[MEMS 2008 Technical Digests, Tueson, USA (2008, Jan.13-17) 968-971]P
A.Kasuga, S.Tanaka and M.Esashi
339) 2.45GHz SAW-based Passive Binary Transponder for Wireless Interfaces of Integrated
Sensors
[MEMS 2008 Technical Digests, Tueson, USA (2008, Jan.13-17) 1040-1043]P
J.H.Kuypers, S.Tanaka and M.Esashi
340) Conductive Polymer Recording Media for Scanning Multiprobe Data Storage System
[International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors, Mainz, Germany (2008, May
19-21) 127-128]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
341) Fabrication of NanoMechanical Probe for Thermal Sensing
76
[International Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors, Mainz, Germany (2008, May
19-21) 211-212]
M.Toda, T.Ono, W.Cho, S.-J.Kim and M.Esashi
342) Carbon Nanotube Emitter with Narrow Gap for Thermoelectric Generation
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 3B1-2, Oral 1, 98-101]
H.Kurahashi, T.Ono and M.Esashi
343) Piezoresistive Nanocantilevers with an Ultra-shallow Boron Doped Layer Using Spin-on
Diffusion Method for MRFM Application
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 3B1-6, Oral 1, 102-105]
Y.G.Jiang, T.Ono, Z.L.An and M.Esashi
344) Long Working Range Mercury Droplet Actuation
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 1A2-4, Oral 1, 122-125]
T.Tsukamoto, S.Tanaka and M.Esashi
345) Piezoresistive Silicon Microresonator with Carbon Nanotubes for Mass Detection
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 2B1-4, Oral 2, 32-35]
Z.L.An, T.Ono and M.Esashi
346) Vertically-Aligned Carbon Nanotube Composite Actuator
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 2D1-4, Oral 2, 68-71]
N.Oda, T.Ono and M.Esashi
347) Quartz-crystal Scanning Probe Microcatilevers with a Silicon Tip Based on Direct Bonding
of Silicon and Quartz
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 2B2-2, Oral 2, 112-115]
A.Takahashi, T.Ono and M.Esashi
348) Double-side Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide for MEMS
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 2D2-4, Oral 2, 156-159]
K.Ishizuka, B.Larangot, M.Esashi and S.Tanaka
349) Time-of-flight Mass Analyzer Scanning Force Microscope Probe with Electrostatic Actuator
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 1A2-5, Oral 3, 5-8]
C.Y.Shao, Y.Kawai, T.Ono and M.Esashi
350) Forward-looking Intravascular Ultrasound Probe Using PMN-PT Single Crystal
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 1B2-4, Oral 3, 21-24]
J.-J.Chen, R.Kashu, M.Esashi and S.Tanaka
351) Conductive Polymer Patterned Media Fabricated Using Diblock Copolymer Lithography for
Scanning Multiprobe Data Storage
[The 4th Asia Pacific Conf. on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2008), Tainan,
Taiwan (2008, June 11-25) 2S0-1, Pos 2, 1-4]P
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
352) A Si-PZT Hybrid XY-Microstatge Utilizing an Actuator Amplification Mechanism
77
[11th Intnl. Conf. on New Actuators (Actuator 2008), Bremen, Germany (2008, June 9-11)
75-78]
M.Faizul B.M.S., T.Ono, Y.Kawai and M.Esashi
353) Process Technology for Monolithic Integration of RF MEMS and Advanced LSI
[2nd International Workshop on Piezo-devices Based on Latest MEMS Technologies, Tokyo (2008,
Sept.8) 11-17]
S.Tanaka and M.Esashi
354) Aluninum Nitride Lamb Wave Resonator Using Germanium Sacrificial Layer
[2nd International Workshop on Piezo-devices Based on Latest MEMS Technologies, Tokyo (2008,
Sept.8) 111-117]
K.Hirano, M.Esashi and S.Tanaka
355) Sputter Deposited Zinc Oxide Photoconductive Antenna for Terahertz Time-Domain
Spectroscopy
[Proceedings of the 5th International Symposium on Instrumentation Science and Technology
(ISIST 2008), Shenyang, China (2008,Sept.17) 263-268]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
356) Microfabricated Scanning Near-Field Probe for Sub-Terahertz Spectroscopy
[Proceedings of the 5th International Symposium on Instrumentation Science and Technology
(ISIST 2008), Shenyang, China (2008,Sept.17) 251-256]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
357) Synchronized Micromechanical Elements for Resonance Sensing
[The 2nd IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conf.(NMDC2008), Kyoto, Japan (2008,
Oct.20-22) 119]
J.Feng, T.Ono and M.Esashi
358) Microprobe with Electrostatic Microactuator for TOF-MA Combined SFM
[The 2nd IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conf.(NMDC2008), Kyoto, Japan (2008,
Oct.20-22) 178]P
C.Y.Shao, Y.Kawai, T.Ono and M.Esashi
358) Experimental Investigation on Nonlinearity of Single Crystal Nanocantilevers
[The 2nd IEEE Nanotechnology Materials and Devices Conf.(NMDC2008), Kyoto, Japan (2008,
Oct.20-22) 180]P
Y.Jiang, T.Ono, Jinyang Feng and M.Esashi
359) Fabrication and Integration of a Si-PZT Hybrid XY-Microstage
[Microprocess and Nanotechnology 2008, Fukuoka, Japan (2008,Oct.27-30) 62-63]
M.Faizal.B.M.Sabri, T.Ono and M.Esashi
360) Application of Lithium Niobate Etch Stop Technology to SAW Pressure Sensors
[Proc. 2008 IEEE International Ultrasonic Symposium, Beijing, China (2008, Nov.2-5)
1124-1127]
A.B.Randles, J.Kuypers, S.Tanaka and M.Esashi
361) NaBH 4 Hydrogen Microreactor Fabricated by Microsystem Technology
[Proceedings of Power MEMS 2008 + microEMS 2008, Sendai, Japan (2008, Nov.9-12) 85-88]
K.Hoeppner, R.Hahn, H.Reichl, M.Esashi and S.Tanaka
362) Fabrication of GDC-based Micro SOFC with Microheaters
[Proceedings of Power MEMS 2008 + microEMS 2008, Sendai, Japan (2008, Nov.9-12) 333-336]P
T.Takahashi, F.Iguchi, H.Yugami, M.Esashi and S.Tanaka
364) Dew Tolerant Hydrogen Sensor for Fuel Cell Applications
[Proceedings of Power MEMS 2008 + microEMS 2008, Sendai, Japan (2008, Nov.9-12) 341-344]P
78
M.Kano, M.Ishii, H.Yoshinaga, S.Tanaka and M.Esashi
365) Mercury Droplet Actuation Using New Design of Electrodes for Long Working Range
[Proceedings of Power MEMS 2008 + microEMS 2008, Sendai, Japan (2008, Nov.9-12) 417-420]P
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
366) Debris-Free Laser Dicing for Multi-Layered MEMS
[The 15th Internl. Display Workshops (IDW’08), Niigata (2008, Dec.4) 1329-1332]
M.Fujita, Y.Izawa, Y.Tsurumi, S.Tanaka, H.Fukushi, K.Sueda, Y.Nakata, N.Miyanaga and
M.Esashi
367) MEMS Membrane Switches Backplane for Matrix Driven Large Sign Display
[The 15th Internl. Display Workshops (IDW’08), Niigata (2008, Dec.4) 1349-1353]
K.Senda, B.S.Bae and M.Esashi
368) Characterization of the Temperature Dependent Mechanical Properties of Piezoresistive
Nanocantilevers
[The 8th Intnl.Symp.on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration
(AFI/TFI 2008), Sendai (2008, Dec.19-20) 26-27]P
Y.Jiang, T.Ono and M.Esashi
369) Silicon XY-stage Actuated by Stacked PZT Actuators
[The 8th Intnl.Symp.on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration
(AFI/TFI 2008), Sendai (2008, Dec.19-20) 28-29]P
M.Faizul M.Sabri, T.Ono and M.Esashi
370) Debris-Free Laser Dicing for Multi-Layered MEMS
[27th Internl. Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics (ICALEO), Temecula,
USA (2008, Oct.20-23) 430-435]
M.Fujita, Y.Izawa, Y.Tsurumi, S.Tanaka, H.Fukushi, K.Sueda, Y.Nakata, N.Miyanaga and
M.Esashi
371) Silicon Carbide Surface Micromachining Technology by Tetramethylsilane-based
Atmospheric Vapor Deposition
[MEMS2009 Technical Digests, Sollento, Italy (2009, Jan.25-29) 709-712]
Y.Hatakeyama, M.Esashi and S.Tanaka
372) Mass-anlysis Scanning Force Microscopy with Electrostatic Switching Mechanism
[MEMS2009 Technical Digests, Sollento, Italy (2009, Jan.25-29) 1031-1035]
C.Y.Shao, Y.Kawai, T.Ono and M.Esashi
373) Low-stress Dicing Assited by Pulsed Laser for Multilayer MEMS
[LASE’09/Photonics West, San Jose, USA (2009, January 29) 7202-14]
M. Fujita, Y. Izawa, Y. Tsurumi, S. Tanaka, H. Fukushi, K. Sueda, Y. Nakata, N. Miyanaga,
M. Esashi
374) Charcterizatio of Eutectic Wafer Bonding Using Gold and Silicon
[Smart Systems Integration, Brussels, Belgium (2009, March 10-11) 56-63]
Y.-C.Lin, M.Baum, M.Haubold, J.Fromel, M.Woemer, T.Gessner and M.Esashi
375) Heat Sensing with Self-excited Microcantilever in Water
[Internl. Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors (MNC2009), Jeju, Korea (2009, May
20-22) L.4.4]
M.Toda, T.Ono, W.Cho and M.Esashi
376) Micromechanical Nonlinear Bistable Resonators for Robust Sensing
[Internl. Workshop on Nanomechanical Cantilever Sensors (MNC2009), Jeju, Korea (2009, May
20-22) P.10]
Y.Yoshida, T.Ono, W.Cho and M.Esashi
79
377) Development and Evaluation of Au/Si Eutectic Bonding
[Technical Digest Transducers 2009, Denver, USA (2009, June 21-25) 244-247](P)
Y.-C.Lin, M.Baum, M.Haubold, J.Fromel, M.Wiemer, T.Gessner and M.Esashi
378) Fabrication of Einzel Lens Array with One-mask RIE Process for Electron Micro-optics
[Technical Digest Transducers 2009, Denver, USA (2009, June 21-25) 853-856]
E.Tomono, H.Miyashita, T.Ono and M.Esashi
379) Magnetic Torque Driving 2D Micro Scanner with a Non-resonant Large Scan Angle
[Technical Digest Transducers 2009, Denver, USA (2009, June 21-25) 904-907](P)
W.Makishi, Y.Kawai and M.Esashi
380) Development of 100-nm-thick Self-sensing-nanocantilevers and Chracterization of the
Temperature Dependence of the Piezoresistivity and Conductivity
[Technical Digest Transducers 2009, Denver, USA (2009, June 21-25) 1309-1312](P)
Y.Jiang, T.Ono and M.Esashi
381) Low Contact Resistance Micro Thermal Switch with Carbon-nanotube-enhanced Contactor
[Technical Digest Transducers 2009, Denver, USA (2009, June 21-25) 1489-1492]
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
382) A Large Displacement Pizodriven Silicon XY-microstage
[Technical Digest Transducers 2009, Denver, USA (2009, June 21-25) 2405-2408]
M.F.M.Sabri, T.Ono and M.Esashi
383) Fabrication Technique of Einzel Lenz Array with RIE Process
[Extended Abstracts of the 2009 Internl. Conf. of Solid State Devices and Materials, Sendai
(2009, Oct.7-9) 1324-1325]
E.Tomono, H.Miyashita, T.Ono and M.Esashi
384) Novel Design for Optical Scanner with Piezoelectric Film by MOCVD
[Extended Abstracts of the 2009 Internl. Conf. of Solid State Devices and Materials, Sendai
(2009, Oct.7-9) 1326-1327]
H.Matsuo, Y.Kawai and M.Esashi
385) Fabrication of Electrostatic Actuated Rotary for Micro Interferometer
[Extended Abstracts of the 2009 Internl. Conf. of Solid State Devices and Materials, Sendai
(2009, Oct.7-9) 681-682]
Y.M.Lee, M.Toda, T.Ono and M.Esashi
386) Multi-band RF Filter Integrating Different Modes of AlN Resonator by CMOS-compatible
Process
[2009 IEEE Internl. Ultrasonic Symposium Proceedings, Roma, Italy (2009, Oct.11) 2141-2144]
T.Matsumura, M.Esashi, H.Harada and S.Tanaka
387) Fabrication and Evaluation of a NaBH 4 Hydrogen Microreactor Assembled by Triple Stack
Glass Bonding
[Technical Digests Power MEMS 2009, Washigton DC (2009, Dec.1-4) 29-32]
K.Hoeppner, R.Hahn, H.Reichl, M.Esashi and S.Tanaka
388) Ultra-high-speed Tape-type Radial Foil Bearing for Micro Turbomachinery
[Technical Digests Power MEMS 2009, Washigton DC (2009, Dec.1-4) 79-82]
K.Hikichi, S.Togo, K.Isomura, N.Saji, M.Esashi and S.Tanaka
389) Fabrication of Proton-conductive BZY-based Low-temperature Micro Solid Oxide Fuel Cell
[Technical Digests Power MEMS 2009, Washigton DC (2009, Dec.1-4) 482-485]
T.Takahashi, F.Iguchi, H.Yugami, M.Esashi and S.Tanaka
390) Electrostatically Actuated Chemical Scanning Force Microscopy Probe with Tunable Spring
[Microprocess and Nanotechnology 2009, Sapporo, Japan (2009, Nov.16-19) 140-141]
80
C.-Y.Shao, Y.Kawai, M.Esashi and T.Ono
391) Characterization of Two Beam-shaped Cantilevers Coupled with a Micromechanical Element
[Microprocess and Nanotechnology 2009, Sapporo, Japan (2009, Nov.16-19) 754-755]
D.F.Wang, J.Feng, T.Ono and M.Esashi
392) AnSn Solder Vacuum Packaging Uing Melted Solder Floodgate Laser-activated Non-Evaporable
Getters for SiC Diaphragm Anticorrosive Vacuum Sensors
[Technical Digest MEMS 2010, Hong Kong (2010, Jan.24-28) 492-495]
S.Tanaka, Y.Honjoya and M.Esashi
393) Micromechanically-coupled Resnated System for Synchronized Oscillation with Improved
Phase Noise
[Technical Digest MEMS 2010, Hong Kong (2010, Jan.24-28) 703-706]
D.F.Wang, J.Feng, T.Ono, M.Esashi and X.Ye
394) Antisymetric-mode Lamb Wave Methanol Sensor with Edge Reflectors for Fuel Cell
Applications
[Technical Digest MEMS 2010, Hong Kong (2010, Jan.24-28) 871-874]
R.Hino, M.Esashi and S.Tanaka
395) Electromagnetically Driven Ulutra-miniature Single Fiber Scanner for High-resolution
Substrates Using MEMS Process
[Technical Digest MEMS 2010, Hong Kong (2010, Jan.24-28) 999-1002]
T.Matsunaga, R.Hino, W.Makishi, M.Esashi and Y.Haga
396) High Power Density Microactuator for MEMS Applications
[Regional Conf. on Mechnical Aerospace Technology, Bali (2010, Feb.9-10) 329-1~7]
M.Faizul M.Sabti, T.Ono , S.M.Said and M.Esashi
397) NEMS/MEMS and Passive Components Integration by Using Novel LTCC Substrate
[Smart Systems Integration, Como, Italy (2010, March 23-24) paper 9]
J.Fromel, Y.C. Lin, M.Mori, S.Tanaka, T.Gessner and M.Esashi
398) Fabrication of Metal-based Nanoporous Structures
[Smart Systems Integration, Como, Italy (2010, March 23-24) paper 76]
Y.C.Lin, P.C.Chen, L.Y.Chen, M.W.Chen, M.Esashi and T.Gessner
399) Investigation of Frictional and Elastic Properties of a Conductive Polymer Brush by
Atomic Force Microscopy for MEMS Probe-Based Storage System
[The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010),
Perth, Australia (2010, July 6-9) 43-44]
S.Yoshida, S.Fujinami and M.Esashi
400) Integration of Nanomaterials into Microsystems
[The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010),
Perth, Australia (2010, July 6-9) 46-47]
T.Ono, H.Miyashita, M.Toda, Y.Kawai, H.Liang and M.Esashi
401) Fabrication of PZT Film Bulk Acoustic Resonators on Patterned and Unpatterned Bottom
Electrodes
[The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010),
Perth, Australia (2010, July 6-9) 69-70]
H.Kim, Y.Kawai, J.Lee, S.Tanaka and M.Esashi
402) SU-8 Photoresist Removal by Atomic Hydrogen Treatment
[The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010),
Perth, Australia (2010, July 6-9) 76-77]
M.Kumano, S.Tanaka and M.Esashi
81
403) Optically-Controlled Multi Electron Source
[The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010),
Perth, Australia (2010, July 6-9) 78-79]
E.Tomono, H.Miyashita, T.Ono and M.Esashi
404) Fabrication of Piezoelectric MEMS Using Free-Standing PZT Film on Ge Sacrificial Layer
[The 5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2010),
Perth, Australia (2010, July 6-9) 187-188]
J.Lee, Y.Kawai, S.Tanaka and M.Esashi
405) Deposition of a Conductivity-switching Polyimide Film by Molecular Layer Deposition and
Electrical Modification Using Scanning Probe Microscope
[The 36th International Conference on Micro & Nano Engineering (MNE2010), Genoa, Italy (2010,
Sept. 18-24)]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
406) Wafer-level Heterointegration Process for SAW Devices on LSI
[2010 IEEE Ultrasonics Symposium (IUS), San Diego, USA (2010, Oct. 11-14) P2-7, 100-101,
1486-1489]
K.D.Park, M.Esashi and S.Tanaka
407) Selective Mode Excitation of Piezoelectric Disk-type Resonator by Electrode Pattern
Definition
[2010 IEEE Ultrasonics Symposium (IUS), San Diego, USA (2010, Oct. 11-14) 10E-6, 511,
979-982]
T.Matsumura, M.Esashi, H.Harada and S.Tanaka
408) Micro Thermal Switch with Stiffness Enhanced Thermal Isolation Structure
[10th Power MEMS 2010, Luven, Beigium (2010, Dec.1-3) 153-156](Oral)
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
409) Micro Solid Oxide Fuel Cells with Perovskite-type Proton Conductive Electrolytes
[10th Power MEMS 2010, Luven, Beigium (2010, Dec.1-3) 199-202](Poster)
H.Yugami, K.Kubota, F.Iguchi, S.Tanaka, N.Sata and M.Esashi
410) Development of ALD System to Deposit Y, Ba and Zr Complex Metal Oxide Using Alkyl Amidinate
Compound Precursors for Micro SOFC
[10th Power MEMS 2010, Luven, Beigium (2010, Dec.1-3) 239-242](Poster)
M.Kumano, S.Tanaka, K.Hikichi and M.Esashi
411) Simple Removal Technology Using Ozone Solution for Chemically-stable Polymer Used for
MEMS
[Technical Digest IEEE MEMS 2011, Cancum, Mexico (2011, Jan.23-27) 324-327] (Poster)
H.Yanagida, S.Yoshida, M.Esashi and S.Tanaka
412) Wafer-level Hermetic Packaging Technology for MEMS Using Anodically-bondable LTCC Wafer
[Technical Digest IEEE MEMS 2011, Cancum, Mexico (2011, Jan.23-27) 376-379] (Poster)
S.Tanaka, S.Matsuzaki, M.Mohri, A.Okada, H.Fukushi and M.Esashi
413) Zr-based Metallic Glass as a Novel MEMS Bonding Material
[Technical Digest IEEE MEMS 2011, Cancum, Mexico (2011, Jan.23-27) 509-512] (Poster)
Y.-C.Lin, J.Fromel, P.Sharma, A.Inoue, M.Esashi and T.Gessner
414) Stochastic Strain Sensor Using Pull-in Probability under White-noise-applied Bistable
State with Reliable Pull-in Release Mechanism
[Technical Digest IEEE MEMS 2011, Cancum, Mexico (2011, Jan.23-27) 640-643] (Poster)
Y.Hatakeyama, M.Esashi and S.Tanaka
415) Miniature Wishbone Interferometer Using Rotary Comb Drive Actuator for Environment Gas
82
Monitoring
[Technical Digest IEEE MEMS 2011, Cancum, Mexico (2011, Jan.23-27) 716-719] (Poster)
Y.-M.Lee, M.Toda, M.Esashi and T.Ono
416) Fabrication of Piezoelectric Cantilever Using Free-Standing PZT Film on Ge Sacrificial
Layer
[Smart Systems Integration 2011, Dresden Germany (2011, March 22-23) paper 79 (地震で不
参加)]
J.-W.Lee, Y.-C.Lin, M.Esashi and T.Gessner
417) Fabrication of Nanoporous Gold with Heat Treatment for Bonding Application
[Smart Systems Integration 2011, Dresden Germany (2011, March 22-23) paper 105 (地震で
不参加)]
W.-S.Wang, Y.-C.Lin, T.Gessner and M.Esashi
418) Low Temperature Operating Micro Solid Oxide Fuel Cells with Peravskite Type Proton
Conductors
[219th ECS Meeting SOFC XII, Motreal, Canada (2011, May 5) 960](Poster)
F.Iguchi, K.Kubota, Y.Inagaki, S.Tanaka, N.Sata, M.Esashi and H.Yugami
419) Electrical Connection Using Submicron Porous Gold Bumps for Wafer-level Packaging of
MEMS Using Anodically-bonded LTCC wafer
[Technical Digest Transducers 2011, Beijing, China (2011, June 6-9) 342-345](P)
S.Tanaka, M.Mohri, T.Ogashima, H.Fukushi, K.Tanaka, D.Nakamura, T.Nishimori and M.Esashi
420) Integration and Packaging Technology of MEMS-on-CMOS Tactile Sensor for Robot
Application Using Molded Thick BCB Layer and Backside-grooved Electrical Connection
[Technical Digest Transducers 2011, Beijing, China (2011, June 6-9) 815-818]
M.Makihata, S.Tanaka, M.Muroyama, S.Matsuzaki, H.Yamada, T.Nakayama, U.Yamaguchi, M.Mima,
Y.Nonomura, M.Fujiyoshi and M.Esashi
421) Conformal Coating of Poly (Glycidyl Methacrylate) as a Litho-graphic Polymer by Initiated
Chemical Vapor Deposition
[Technical Digest Transducers 2011, Beijing, China (2011, June 6-9) 994-997]
S.Yoshida, T.Kobayashi, M.Kumano and M.Esashi
422) An SOI 3-Axis Accelerometer with a Zigzag-shaped Z-electrode for Differential Dtection
[Technical Digest Transducers 2011, Beijing, China (2011, June 6-9) 1010-1013](P)
M.Fujiyoshi, Y.Nonomura, H.Funabashi, Y.Omura, T.Akashi, Y.Hata, H.Yamada and M.Esashi
423) Wideband Tunable Love Wave Filter Using Electrostatically-actuated MEMS Variable
Capacitors Integrated on Lithium Niobate
[Technical Digest Transducers 2011, Beijing, China (2011, June 6-9) 1488-1491](P)
T.Yasue, T.Komatsu, N.Nakamura, K.Hashimoto, H.Hirano, M.Esashi and S.Tanaka
424) Anodically-bondable LTCC Substrates with Novel Nano-structured Electrical
Interconnection for MEMS Packaging
[Technical Digest Transducers 2011, Beijing, China (2011, June 6-9) 2351-2354](P)
Y.-C.Lin, W.-S.Wang, L.Y.Chen, M.W.Chen, T.Gessner and M.Esashi
425) Development of the Micro-Mirror with Large Scanning Angle Using Fe-based Metalic Glass
Thin Film
[Technical Digest Transducers 2011, Beijing, China (2011, June 6-9) 2912-2915]
J.-W.Lee, Y.-C.Lin, N.Kaushik, P.Sharma, A.Inoue, M.Esashi and T.Gessner
426) Thin Film Transfer Technology for Tunable SAW Filter Using Integrated Ferroelectric
Varactors
83
[2011 IEEE International Ultrasonics Symposium, Orlando, Florida, USA (2011, Oct.21)
1960-1963, 10.1109/ULTSYM.2011.0488]
H.Hirano, T.Kikuta, M.Esashi, S.Tanaka
427) Lithium-Niobate-Based Surface Acoustic Wave Device Directry Integrated on IC
[2011 IEEE International Ultrasonics Symposium, Orlando, Florida, USA (2011, Oct.21)
1956-1959, 10.1109/ULTSYM.2011.0487]
K.-D.Park, M.Esashi and S.Tanaka.
428) Magnetocaloric Cooling a Thermally-Isolated Microstructure
[Power MEMS 2011, Seoul, Korea (2011, Nov.15-18) 193-196]
T.Tsukamoto, M.Esashi and H.Yugami
429) Operation of Micro-SOFC by an Internal Micro Heater
[Power MEMS 2011, Seoul, Korea (2011, Nov.15-18) 411-414]
F.Iguchi, K.Kubota, Y.Inagaki, S.Tanaka, N.Sata, M.Esashi and H.Yugami
430) Stochastic Gravity Sensor with Robust Output Using White-Noise-Applied Vi-Stable State
for Low S/N Environments
[Technical Digest IEEE MEMS 2012, Paris, France (2012, Jan.29 - Feb.2) 132-135]
Y.Hatakeyama, M.Esashi and S.Tanaka
431) Versatile Wafer-Level Hermetic Packaging Technology Using Anodically-Bondable LTCC
Wafer with Compliant Porous Gold Bump Spontaneously Formed in Wet-Etched Cavities
[Technical Digest IEEE MEMS 2012, Paris, France (2012, Jan.29 - Feb.2) 369-372]
S.Tanaka, M.Mohri, A.Okada, H.Fukushi and M.Esashi
432) Local Synthesis and Alignment of Zinc Oxide Nanowires in Aqueous Solution Using
Microheaters
[Technical Digest IEEE MEMS 2012, Paris, France (2012, Jan.29 - Feb.2) 452-455]
W.C.Lin, Y.C.Lin, C.J.Shih, M.Esashi and A.A.Seshia
433) Low-voltage PZT-actuated MEMS Switch Monolithically Integrated with CMOS Circuit
[Technical Digest IEEE MEMS 2012, Paris, France (2012, Jan.29 - Feb.2) 1153-1156]
K.Matsuo, M.Moriyama, M.Esashi and S.Tanaka
434) Experimental Estimation of Cooling Power of a Solid State Micro Magnetic Refrigerator
Using La(Fe x Si 1-x ) 13 H y
[Technical Digest IEEE MEMS 2012, Paris, France (2012, Jan.29 - Feb.2) 1225-1228]
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
435) Active-Matrix nc-Si Electron Emitter Array for Massively Parallel Direct-Write
Electron-Beam System
[SPIE 2012 Advanced Lithography, San Jose, USA (2012, Feb.12 - 16)]
[Alternative Lithographic Technologies Ⅳ (ed. W.M.Tong and D.J.Resnick), Proc. of SPIE,
Vol.8323, (2012) 832312-1-9]
N.Ikegami, T.Yoshida, A.Kojima, H.Ohyi, N.Koshida and M.Esashi
436) Fabrication of High-aspect-ratio PZT Structure by Nanocomposite Sol-gel Method for
Laterally-driven Piezoelectric MEMS Switch
[2012 7th IEEE Intnl. Conf. on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2012),
Kyoto, (2012, March 5-8) 321-326]
N.Wang, S.Yoshida, M.Kumano, Y.Kawai and M.Esashi
437) Integration of the Magnetic-based Metallic Glass Micro-Mirror with the Tunable Frequency
Actuation System
[6th Internl. Conf. & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems – MEMS,
NEMS, ICs and Electronic Components (Smart Systems Integration), Zurich, Switzerland (2012,
21-22 March) paper 20]
84
Y.-C.Tsai, J.-W.Lee, Y.-C.Lin and M.Esashi
438) Fabrication of nc-Si Electron Emitter Array Integrated with Active-Matrix Driving LSI
for Massive Parallel EB Lithography
[6th Internl. Conf. & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems – MEMS,
NEMS, ICs and Electronic Components (Smart Systems Integration), Zurich, Switzerland (2012,
21-22 March) paper 27]
N.Ikegami, N,Koshida, T.Yoshida, M.Esashi, A.Kojima and H.Ohyi
439) MEMS-CMOS Integrated Tactile Sensor with Digital Signal Processing for Robot Application
[2012 MRS Spring Meeting, San Francisco (2012,12 March) B3.2]
M.Makihata, M.Muroyama, S.Tanaka, H.Yamada, T.Nakayama, U.Yamaguchi, Y.Nonomura,
M.Fujiyoshi and M.Esashi
440) Low Temperature Metal Interdiffusion Bonding for Micro Devices
[2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D),
Tokyo (2012, 22-23 May) 163]
J.Frömel, Y.-C.Lin, M.Wiemer, T.Gessner and M.Esashi
441) Development of MEMS Electron-optics Bonded on Electron Emitter Array for Massively
Parallel EB Lithography System
[The 56th Internl. Conf. on Electron, Ion, Photon Beam Technology and Nanofabrication
(EIPBN2012), Waikoloa, Hawaii, USA (2012, May 29 - June 1) Session 9C MEMs/NEMs 9C-2]
A.Kojima, H.Ohyi, N.Ikegami, T.Ohta, N.Koshida, T.Yoshida and M.,Esashi
442) Investigation of Hydrogen-annealing Effect of Torsional Strength of Si Beam of Scanning
Micromirror Device
[The 6th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro/Nano Technologies (APCOT 2012) ,
Nanjing, China (July 8-11, 2012) 12000078]
R.Hajika, S.Yoshida, W.Makishi, Y.Kanamori and M.Esashi
443) Chip-Level Warp Control of SOI 3-Axis Accelerometer with the Zigzag-Shaped Z-Electrode
[Eurosensors2012, Krakow Poland, (2012, 9-12 Sept.)]
Y.Nonomura, Y.Omura, H.Funabashi, T.Akashi, M.Fujiyoshi, Y.Hata, T.Nakayama and M.Esashi
444) Fabrication of High-aspect-ratio PZT Structure by Nanocomposite Sol-gel process using
Si mold for MEMS Transducers
[Intnl. Symp. On Test Automation and Instrumentation (ISTAI’2012), Dandong, China (2012
8-11, Aug.) 214-218]
N.Wang, S.Yoshida, M.Kumano and M.Esashi
445) Fabrication of a Piezoelectric Microcantilever Array with a Large Initial Deflection
and an Application to Electrical Energy Harvesting
[The 3rd Japan-China-Korea Joint Conf. on MEMS/NEMS (JCK2012), Shanghai, China (2012, 22-24
Sept.) 100-101]
H.H.Kim, S.H.Yoon, C.H.Ahn, S.Tanaka, M.Esashi and J.S.Go
446) Development of Low-Temperature Operating Micro-SOFC with Perovskite-Type Proton
Conductive Electrolytes
[PRiME2012, Hawai (2012, 8 Oct.) 188] (Poster)
Y.Inagaki, F.Iguchi, K.Kubota, S.Tanaka, N.Sata, M.Esashi, and H.Yugami
447) Acoustic interference suppression of QCM sensor arrays utilizing phononic crystals
[2012 IEEE Ultrasonics Symposium, Dresden Germany (2012, 7-10 Oct.)]
Y.-Y.Chen, L.-C.Huang, Y.-C.Lin, T.-T.Wu, J.-H.Sun, W.-S.Wang and M.Esashi
448) Lithium Niobate SAW Device Hetero-transferred onto Silicon Integrated Circuit Using
Elastic and Sticky Bumps
85
[2012 IEEE Ultrasonics Symposium, Dresden Germany (2012, 7-10 Oct.) 6C-2]
S.Tanaka, M.Yoshida, H.Hirano and M.Esashi
449) Monolithic Fabrication of Film Bulk Acoustic Resonators above Integrated Circuit by
Adhesive-Bonding-Based Film Transfer
[2012 IEEE Ultrasonics Symposium, Dresden Germany (2012, 7-10 Oct.) 5E-3]
A.Kochhar, T.Matsumura, G.Zhang, R.Pokharel, K.Hashimoto, M.Esashi, S.Tanaka
450) Chip-Level Warp Control of SOI 3-Axis Accelerometer with the Zigzag-Shaped Z-Electrode
[The 26th European Conference on Solid-State Transducers (Eurosensors 2012), Krakow Poland
(2012/9/9-12) W3A-4]
Y.Nonomura, Y.Omura, H.Funabashi, T.Akashi, M.Fujiyoshi, Y.Hata, H.Yamada, M.Esashi
451) Substrate Bonding at Low Temperature by Using Plasma Activated Porous Gold
[IEEE Sensors 2012, Taipei, Taiwan (2012, Oct.28-31) A3L-E-3]
W.-S.Wang, Y.-C.Lin, T.Gessner and M.Esahi
452) RIE Patterning Technology of Zr-based Metallic Glass for MEMS Device Fabrication
[IEEE Sensors 2012, Taipei, Taiwan (2012, Oct.28-31) A3L-E-4]
Y.-C.Tsai, Y.-C.Lin, T.Abe, M.Esahi and T.Gessner
453) Optimization for Resonant Characteristic of Intraluminal MRI Probe Using Integrated
Circuit (IC) chip of Variable Capacitors
[9th interventional MRI symposium, Washington USA (2012, Sept.22-23)]
Z.Kato, T.Matsunaga, Y.Matsuoka, K.Kuroda, M.Esashi and Y.Haga
454) Design and Fabrication for Dual Axis Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using
Electromagnetic Exitation and Electromagnetic/Capacitive Detection
[The 3rd Internl. Conf. of the Chinese Soc. of Micro-Nano Technology (CSMNT2012), Hangzhou,
China (2012, 4-7 Nov.)]
B.Lu, M.Esashi, N.Ikegami, S.Tanaka, T. Ono and Y.Wang
455) High Spatial, Temporal and Temperature Resolution Thermal Imaging Method Using Eu(TTA) 3
Temperature Sensotive Paint
[Power MEMS 2012, Atlanta, USA (2012, 2-5 Dec.) 84-87]
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
456) Integration of BST Varactors on Lithium Niobate by Film Transfer Technology for Tunable
SAW Filters
[2012 Intnl. Symp. on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems, Chiba
(2012, 6-7 Dec.) 41-44]
H.Hirano, T.Kimura, I.P.Koutsaroff, M.Kodato, K.Hashimoto, M.Esashi and S.Tanaka
457) Tunable SAW Filter Using Integrated MEMS-based Varactors Made of Electroplated Gold
[2012 Intnl. Symp. on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems, Chiba
(2012, 6-7 Dec.) 45-48]
A.Konno, H.Hirano, M.Inaba, K.Hashimoto, M.Esashi and S.Tanaka
458) Laterally-driven Piezoelectric Bimorph MEMS Actuator with Sol-gel-based
High-aspect-ratio PZT Structure
[Technical Digest IEEE MEMS 2013, Taipei, Taiwan (2013, Jan.20 - 24) 197-200]
N.Wang, S.Yoshida, M.Kumano, Y.Kawai, S.Tanaka and M.Esashi
459) Wafer-to-wafer Selective Flip-chip Transfer by Sticky Silicone Bonding and Laser
Debonding for Rapid and Easy Integration Test
[Technical Digest IEEE MEMS 2013, Taipei, Taiwan (2013, Jan.20 - 24) 271-274]
S.Tanaka, M.Yoshida, H.Hirano, T.Somekawa, M.Fujita and M.Esashi
460) Infrared-to-visible Transducer using Temperature Sensitive Eu(TTA) 3 on Self-suspended
86
Thin Film for Inexpensive Thermal Imaging Device
[Technical Digest IEEE MEMS 2013, Taipei, Taiwan (2013, Jan.20 - 24) 421-424]
T.Tsukamoto, M.Esashi and S.Tanaka
461) Mechanical Strengthening of Silicon Torsional Bar of MEMS Scanning Mirror by Hydrogen
Anneal
[Technical Digest IEEE MEMS 2013, Taipei, Taiwan (2013, Jan.20 - 24) 425-428]
R.Hajika, S.Yoshida, W.Malishi, Y.Kanamori, S.Tanaka and M.Esashi
462) Characterization and Fabrication of Zinc Oxide Nanowire Devices
[Technical Digest IEEE MEMS 2013, Taipei, Taiwan (2013, Jan.20 - 24) 441-444]
W.-C.Lin, Y.-C.Lin, C.-J.Shih, Y.-L.Chu, M.Esashi and A.A.Seshia
463) Optically Controllable Si Photocathode Array
[Technical Digest IEEE MEMS 2013, Taipei, Taiwan (2013, Jan.20 - 24) 504-507]
Y.Tanaka, H.Miyashita, M.Esashi and T.Ono
(e) 国際学会発表(招待講演他)
1)
2)
3)
4)
5)
6)
7)
8)
9)
Integrated Micro Ion Sensor for Hydrogen and Sodium Ions
[Proc.of the 30th ACEMB,Los Angeles,USA,41.2(1977-Nov.),297]
T.Matsuo and M.Esashi
Characteristic of Parylene Gate ISFET
[Exterded Abstracts of the 153rd Meeting of ECS.78-1,Seatlle,USA,(1978-May), 202-203]
T.Matsuo and M.Esashi
pH ISFET Using Al 2 O 3 ,Si 3 N 4 and SiO 2 Gate Thin Films
[Digest of the 37th Annual Device Reseach Conference,Boulder,CO,USA, WP-B4 (1979-June)]
T.Matsuo, M.Esashi and H.Abe
Multiple Pressure Sensor Catheter for Biomedical Use
[Symp.on Solid State Transducers (The 1st International Conference on Solid State
Transducers), Annual Meeting 1981,The Material Research Society, Bostn, USA, K4.6
(1981-Nov.)]
T.Matsuo, M.Esashi, M.Takahashi, K.Imabayashi and H.Ozawa
Prototype Soduim and Potassium Sensitive Micro-ISFET's
[Symp.on Solid State Transducers (The 1st International Conference on Solid State
Transducers), Annual Meeting 1981,The Material Research Society, Boston, USA, K5.3
(1981-Nov.)]
Y.Ohta, S.Shoji, M.Esashi and T.Matsuo
Recent Development in ISFET and its Biomedical Application
[Implantable Sensors Symposium, Session on Chemical Sensors for Implantable and Control,
The Monaco,(1984-June)]
T.Matsuo, M.Esashi, H.Nakajima and S.Shoji
Catheter-Tip Pco2 And Po2 Sensors
[Proc.IEEE-NSF Symp.on Biosensors,Los Angeles,(1984-Sept.),33-34]
T.Matsuo, M.Esashi and k.Shibatani
Micro ISFET and its Biomedical Applications
[Extended Abstracts of the 169th Spring Meeting of ECS,Boston,USA (1986-May),159-160]
T.Matsuo, M.Esashi and S.Shoji
ISFET and Its Application
87
[Proc.of the Japan-U.S.Symposium on Biomed.Eng.,Baltimore,Maryland USA,(1986-Sept.),
61-64]
M.Esashi and T.Matsuo
10) Integrated Flow Control systems Fabricated on a Silicon Water
[Proc.of the Symp.on Chemical Sensors,Hawai(1987-Oct.),31-38A]
M.Esashi, S.Shoji and T.Matsuo
11) Integrated Micro Flow Control Systems
[Transducer'89,Montreux(1989-June),105-106]
M.Esashi
12) Fluid Control Systems Integrated on a Silicon Water
[1989 Korea-Japan Joint Conference on MBE,Seoul(1989-Sept.),90-93]
M.Esashi
13) Silicon Micromachining and Micromachines
[Proc.of the 1st.Int.Workshop on Micrptribology,Morioka(1992),141-153]
M.Esashi
14) Complex Micromechanical Structures by Low Temperature Bonding
[Extended Abstructs of 183rd Electrochemical Society Meeting, Honolulu (1993-May
16-21),1233-1234]
[Proceedings of the Second International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding:
Science, Technology, and Applications,The Electrochemical Soc.(1993),348-362]
M.Esashi
15) Micromachining for Packaged Sensors
[Digest of Technical Papers Transducers'93,Yokohama,(1993-June 7-10),260-265]
M.Esashi
16) Microsystems Produced by Micromachining
[Forth International Symposium on Micro Machine and Human Science, Nagoya,
(1993-Oct.13-15), 18]
M.Esashi
17) Laser Processes for Micro Electromechanical Systems
[Abstracts of Workshop on Photo-Excited Processes in Engineering, Sendai,
(1993-Oct.13-15), 114]
M.Esashi, K.Minami and J.Nishizawa
18) Microsensors and Microactuators for Biomedical Applications
[Nanofabrication and Biosystems: Frontiers and Challenges,Hawaii,(1994-May 8-11),22]
M.Esashi
19) Development Trends of MST in Japan
[Micro System Technologies'94,Berlin,(1994-Oct.19-21),66]
M.Esashi
20) High Aspect Ratio Fabrication Method Using O2 RIE and Electroplating
[Micro System Technologies'94,Berlin,(1994-Oct.19-21),763-772]
K.Murakami, K.Minami and M.Esashi
21) Packaged Sensors, Microactuators and Three-dimentional Microfabrication
[2nd Japan-France Congress on Mechatronics,Takamatsu (1994-Nov.1-3),245-250]
M.Esashi
22) Micro Sensor Actuator Systems and Three-dimensional Microfabrication
[Proc. of the 5th Conf. on Sensor Technology,Taejon,Korea (1994-Nov.11-12),20-25]
M.Esashi
88
23) Bonding and Assembling Methods for Realising a μTAS
[Proc．of the μTAS'94 Workshop,Twente,The Netherlands (1994-Nov.20-22),165-179]
S．Shoji and M.Esashi
24) MEMS Research in Japan
[ICAT 13th Actuator Symposium,State College,USA (1995-April 18-19)]
M.Esashi
25) Laser Application for Micrimachining
[12th Intern. Conf. on Laser Interaction and Related Plasma Phenomena,Osaka,Japan
(1995-April 24-28),213]
M.Esashi and K.Minami
26) Micromachining and Microsystems
[The fifth international symposium on plasticity and its current applications, Osaka,Japan
(1995-July 17-19)]
M.Esashi
27) Silicon Micromachining for Integrated Micro Systems
[13th International Vacuum Congress(9th International Conference on Solid Surfaces,
Yokohama, Japan (1995-Sept.25-29),89]
M.Esashi
28) Micro Electro Mechanical Systems by Bulk Silicon Micromachining
[188th Meeting of the Electrochemical Soc.,Microstructures and Microfabricated Systems,
942,Cicago,USA (1995-Oct.3-13),1473-1475]
M.Esashi
29) Overview on MEMS R&D in Japan (Sensor and Packaging)
[Second Micro Electro-Mechanical Systems Workshop,Hsinchi,Taiwan (1996,Jan.8-9), 11-23]
M.Esashi
30) Micro Systems by Silicon Bulk Micromachining
[The 10th Germany-Japan Forum on Information Technology, Seeon,(1996,April 30-May 3)]
M.Esashi
31) Resonant Sensors by Silicon Micromachining
[1996 IEEE International Frequency Control Symposium, Honolulu, Hawaii (1996,June,5-7),
609-614]
M.Esashi
32) Micro Systems by Bulk Silicon Micromachining
[1996 International Conf. on Solid State Devices and Materials,Yokohama,(1996,Aug.26-29),
821-823]
M.Esashi
33) Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University
[Proc. of the ASME Aerospace Division, Atlanta,(1996,Nov.19-22),769-775]
M.Esashi
34) Bakable Pneumatic Microvalve for Advanced Semiconductor Processing
[Proc. of the 2nd International Symposium on Miniaturized Total Analysis Systems,
Basel,(1996,Nov.19-22),65-71]
M.Esashi
35) Micromachine
[9th Annual International Meeting, Minimally Invasive Therapy & Allied Technologies,
Kyoto,(1997-July),15]
M.Esashi
89
36) Precise Micro-Nanomachining for Advanced Sensors
[Micromachining and Microfabrication Process Technology Ⅲ, Austin,(1997- Sept.), 44-55]
M.Esashi
37) Micromachining and Nanomachining for Micro Sensing Systems
[The 7th ATI International Forum of Nanoscience and Nanotechnology, Tokyo,(1998-Jan.),
19-25]
M.Esashi and T.Ono
38) Pricise Silicon Micromachining and Nanomachining
[1998 Taipei International Symposium on Recent Trends in Technological Developments,
Taipei, June 29-July 2 (1998) 40-41]
M.Esashi
39) Silicon Bulk Micromachining and Nanomachining
[Symposium on the Next Generation Technology Trend, Kyungju,Korea (1998-July 2)]
M.Esashi
40) Silicon Micromachining
[Digest of papers,Microprocesses and Nanotechnology’98, Kyungju,Korea (1998-July) 3-4]
M.Esashi
41) Silicon Micromachining and Nanomachining
[The 11th Intern. Conf. on Superlattices, Microstructures, and Microdevices, Hurghada,
Egypt (1998, July 27-Aug.1)]
M.Esashi
42) Regional and National Polices in Japan
[The Commercialization of Microsystems’98, San Diego, USA (1998,Sept. 13-17)]
M.Esashi
43) Precise Micromachining and Nanomachining of Silicon
[Workshop on Synthesis and System Integartion of Mixed Technologies (SASHIMI’98), Sendai
(1998,Oct 19-20) 197-204]
M.Esashi and T.Ono
44) Micro-Nano-Machining for Nanometric Sensing and Processing
[International Symposium on Optical Memory 1998 (ISOM’98), Tsukuba (1998,Oct.20-22)
84-85]
T.Ono and M.Esashi
45) Microactuators
[International Smposium on Advanced Optical Storage (ISAOS’98), Taipei, Taiwan (1998,
Oct.27-28) 33-34]
M.Esashi
46) Micro-Nano-Machining for Nanometric Sensing
[Workshop N2M’98, Toulouse,(1998, Nov.8-10), 32]
T.Ono and M.Esashi
47) Precise Micromachining and Nanomachining
[International Workshop on Microfactories (IWMF’98), Tsukuba (1998, Dec.7-9) 69-74]
M.Esashi
48) Precise Bulk Micromachining
[Microsystems in Harsh Environments Workshop, Cleaveland (1999, Oct.20-21)]
M.Esashi
49) Silicon Micromachining
[The Third International Workshop on Materials Science (IWOMS’99), Hanoi (1999, Nov.2-4),
90
74-79]
M.Esashi
50) Bulk Micromachining for Sensors and Actuators
[SPIE's 2000 Symposium on Micromachining and Microfabrication, SPIE Vol.4174, Santa Clara
(2000,Sept.18),6-15]
M.Esashi
51) Microsystems by Bulk Micromachining
[Gallium Arsenide & Other Semiconductors Application Symposium (GAAS2000),Paris
(2000,Oct.2-3), 500-503]
M.Esashi
52) Silicon Bulk Micromachining
[1st Annual International IEEE-EMBS Special Topics Conference on Microtechnologies in
Medicine & Biology, Lyon (2000,Oct.12-14), 7-12]
M.Esashi and Y.Haga
53) Micromachining and Nanomachining for Ultrasensitive Chemical Measurement
[2000 International Chemical Congress of Pacific Basin Societies, Honolulu (2000,Dec.
14-19),137]
M.Esashi, T.Ono, T.Abe
54) Micro-Machining and Nano-Machining
[International Symposium on Ultra-High Density Optical Storage (UHDOS 2001), Numazu (2001,
March 3), 77-77]
M.Esashi and T.Ono
55) Silicon Bulk Micromachining and Nanomachining
[International Workshop on Opportunity & Challenges of Advanced Robotics Research at The
Outset of The New Century (IARP), Shanghai (2001 April 15-17)]
M.Esashi
56) MST Activities in Tohoku University and Asia
[2001 SEMI International MEMS/MST Industry Forum, Munchen (2001 April 23)]
M.Esashi
57) Silicon Bulk Micromachining
[International Symposium on Materials Science for the 21st Century (ISMS-21), Osaka (2001,
May 21) 124-130]
M.Esashi
58) Micromachined Scanning Probes, Fabrications and Applications
[Tokyo-2001: Scanning Probe Microscopy, Sensors, and Nanostructures, Chiba (2001,May
27-31) 16]
M.Esashi and T.Ono
59) MEMS for Saving Energy and Natural Resource
[Commercialization of Microsystems 2001, Oxford (2001 Sept.4)]
M.Esashi
60) Micromachining for Chemical Analysis
[Intern. Symposium on Microchemistry and Microsystems (ISMM), Kanagawa (2001 Sept.17),8]
M.Esashi, T.Ono, K.Takahashi and T.Abe
61) Power MEMS
[Extended Abstracts of the 2001 International Conf. on Solid State Devices and Materials,
Tokyo (2001 Sept.28)]
S.Tanaka and M.Esashi
91
62) Nano-Probe Sensing and Multi-Probe Data Storage
[Extended Abstracts of the 2001 International Conf. on Solid State Devices and Materials,
Tokyo (2001 Sept.28),464-465]
T.Ono and M.Esashi
63) Electrostatically Levitated Rotational Gyroscope
[Extended Abstracts of the 2001 International Conf. on Solid State Devices and Materials,
Tokyo (2001 Sept.28),474-475]
T.Murakoshi, K.Fukatsu and M.Esashi
64) Electrostatically Levitated Ball MEMS
[Extended Abstracts of the 2001 International Conf. on Solid State Devices and Materials,
Tokyo (2001 Sept.28),476-477]
R.Toda, N.Takeda, T.Murakoshi, S.Nakamura and M.Esashi
65) Micromachining and Micromechatronics
[The First Intern. science Forum at the Honjo Campus, Akita Prefectural University,
Honjo,(2001,Oct.16), 11)
M.Esashi
66) Bulk Micromachining
[The 13th World Congress of International Soc. for Artificial Organs, Osaka,(2001,Nov.7)]
M.Esashi and Y.Haga
67) Micro-nanosystems by Bulk-Silicon Micromachining
[Proc. of SPIE Vol.4592, Device and Process Technologies for MEMS and Microelectronics
Ⅱ, Dec.19, Adelaide, Australia (2001) pp.1-9]
M.Esashi
68) MEMS Packaging by Bulk Micromachining
[Tech. Digests of 5th Intnl. Sympo. on Contemporary Photonics Technology, Tokyo (2002,
Jan.15), 35-38]
M.Esashi
69) Saving Energy and Natural Resource by Micro-Nanomachining [Technical Digest MEMS2002,
Las Vegas (2002, Jan.22) pp.220-227]
M.Esashi
70) Micro and Nano Fabrication - Special Enphasis Placed on Packaging [MSE Workshop, Tsukuba (2002, Feb.20)]
M.Esashi
71) Bulk Micromachining and MEMS Packaging
[3rd MINT Millimeter-wave International Symposium, Seoul (2002, Feb.27) pp.7-11]
M.Esashi
72) Nanomachining and MEMS
[International Nanotechnology Exhibition & Conference (Nano tech 2000), Makuhari (2002,
March 8)]
M.Esashi
73) MEMS Technology : Optical Application, Medial Application and SOC Application
[2002 VLSI Technology Symposium, Honolulu, USA (2002, June 11-13)，pp.6-9]
M.Esashi
74) Ultimate Sensing with an Ultrathin Single Crystalline Silicon Resonator
[IEEE Sensors 2002 - The first IEEE Conference on Sensors, Orland, USA (2002, June 12-14)]
T.Ono and M.Esashi
75) MEMS in Tohoku University
92
[The International Workshop on Nanophysics and Nanotechnology (IWONN-02), Hanoi, Vietnum
(2002, June 20-21)]
M.Esashi
76) Micromachining for Minimal Invasive Medicine
[2nd International Workshop on Micromachined Ultrasound Transducers, Besancon, France
(2002, June 27-28)]
M.Esashi, Y.Haga, K.Nakamura, C.Kim and M.Fujita
77) Bulk Micromachining for MEMS
[The 5th International Conference on Reactive Plasma (ICRP), Grenoble, France (2002, July
14-18) pp.3-4]
M.Esashi
78) MEMS Packaging and Assembly
[Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Technologies, Xiamen, China (2002,
July 22-24) pp.1-4]
M.Esashi
79) MEMS Packaging Using Electrical Feedthrough in Glass
[Advanced Technology Workshop on the Packaging of MEMS Devices (International
Microelectronic and Packaging Soc.), Denver, USA (2002, Sept.,6-8)]
M.Esashi
80) Bullk micromachining for sensors and actuators fabrication
[MIGAS 2002､ Austrans, France (2002, Sept. 9-14)]
M.Esashi
81) Micro-Nano Electro Mechanical Systems by Bulk Silicon Micromachining
[International Symposium on Precision Engineering, Hangzhou, China (2002, Nov.4-5)]
M.Esashi and T.Ono
82) Micro-Nano Electromechanical Systems by Bulk Silicon Micromachining
[Japan-US Symposium on Tools and Metrology for Nanotechnology, Ithaca, USA (2003,
Jan.23-24) p.19]
M.Esashi and T.Ono
83) Nano-medicine
[The 1st International Symposium on Future Medical Engineering based on Bio-nanotechnology,
Sendai (2003, Jan.28) p.20]
M.Esashi
84) Electromechanical Micro-Nano Structures
[4th MINT Millimeter-wave International Symposium, Seoul (2003, Feb.26) pp.21-24]
M.Esashi
85) Micro-Nano Technologies for Robots
[The 3-rd Japan-Russia Science and Technology Exchange Promotion Forum, The 25th ISTC Japan
Workshop on New Developments in Russian High Tech., Tokyo (2003, May 30) pp.47-73]
M.Esashi
86) Micro-Nano Electro Mechanical Systems by Bulk Micromachining
[Pre-Conference Workshop, BioMEMS 2003, San Jose (2003, June 15)]
M.Esashi
87) Application of Micro Electro Mechanical Systems (RF, Power, Sensor, etc.)
[2003 Japan-United States Joint Workshop on Space Solar Power System (JUSPS'03), Uji (2003,
June 3-4)]
M.Esashi
93
88) Micro-Nano Electro Mechanical Systems by Silicon Bulk-Micromachining
[Intn. Conf. on Advanced Technology in Experimental Mechanics 2003 (ATEM'03), Nagoya (2003,
Sept.10) p.113]
M.Esashi and T.Ono
89) Micro-Nano Electro Mechanical Systems
[Korea-Japan Joint Symposium on Nanoengineering 2003, Deajeon, Korea (2003, Dec.27-28)
pp.13-23]
M.Esashi, T.Ono and P.N.Minh
90) Micro Industry Equipments
[The International Symposium on Micro-Mechanical Engineering, Tuchiura and Tsukuba (2003.
Dec.1-3) pp.279-288]
M.Esashi, T.Ono and S.Tanaka
91) Applications of Micro-Nanomachining
[Intn. Symposium on Scientific and Industrial Nanotechnology, Osaka (2003, Dec.8) pp.2-3]
M.Esashi and T.Ono
92) MEMS for Practical Applications
[International Symposium on “Future Data Storage Materials”, Nagoya (2003, Dev.12)]
M.Esashi and T.Ono
93) RF MEMS and MEMS Packaging
[Intn. Workshop on SiP/SoP Integration of MEMS and Passive Components with RF-ICs (2nd Intn.
Symposium on Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems), Chiba (2004,
March 3-5), 113-120]
M.Hara and M.Esashi
94) Electrical Interconnection through Glass Holes for SIP (System In Package) MEMS
[Finland Japan MEMS Workshop, Tokyo (2004, April 1)]
M.Esashi
95) Applications of MEMS Technology
[24th International Symposium on Space Technology and Science, Miyazaki (2004. June 2)
2004-o-1-07v]
M.Esashi, T.Ono and S.Tanaka
96) Electrical Feedthrough in Glass for Wafer Level Packaging and Arrayed MEMS
[ICEE 2004/APCOT MNT 2004, Sapporo (2004 July 5-6), 1-6]
M.Esashi
97) Micro/Nanomachining and its applications
[7th International Workshop on Information Storage Device, Seoul (2004, Aug.20)]
M.Esashi
98) Application Oriented Micro-Nano Electro Mechanical Systems
[CANEUS 2004, Monterey, USA (2004, Nov.1) 209-213]
M.Esashi
99) Nano/Micromechanical Tools for Nanoscale Engineering
[The 2nd International Workshop on Nanophysics and Nanotechnology (IWONN'04), Hanoi (2004
Oct.22-23) 5-13]
T.Ono, H.Miyashita, K.Iwami, S.-J.Kim, Y.-C.Lin, P.N.Minh and M.Esashi
100) Power MEMS and NEMS for Harsh Environments
[The 2nd International Workshop on Nanophysics and Nanotechnology (IWONN'04), Hanoi (2004
Oct.22-23) 25-34]
S.Tanaka and M.Esashi
94
101) Micro-Nano Electro Mechanical Systems
[Proc. of the 1st International Forum on Heat Transfer (IFTH2004), Kyoto (2004 Nov. 24-26)
5-8]
M.Esashi, T.Ono and S.Tanaka
102) MEMS Applications of Dry Processes
[26th International Symposium on Dry Process (DPS 2004), Tokyo (2004, Dec.1) 281-288]
M.Esashi
103) Application Oriented MEMS by Open collaboration
[IEEE WOFE-04 (Workshop on Future Electronics), Aruba,オランダ領 (2004, Dec.19) 22]
M.Esashi
104) Fabrication of Advanced MEMS
[Proc. of the 10th International Symposium on Advanced Physical Field (APF-10), Tsukuba
(2005, March 3-10) 350-355]
M.Esashi
105) Development of Medical Devices for Minimally Invasive Diagnosis and Therapy Using
Micro/nano Technology
[Biosensors & Biomaterials Workshop 2005 (Biosensors 2005), Tsukuba, Japan (2005, March,
7-9), O-29]
Y. Haga, M. Esashi
106) Micro-Nano Electro Mechanical Systems for Practical Applications
[IEEE-Nano 2005, Nagoya, Japan (2005, July 11-15) 23]
M.Esashi
107) MEMS Packaging and applications
[The Intnl. Conf. on Bio-Nano-Information (BNI) Fusion, Marina Del. Rey, USA (2005, July
20-22)]
M.Esashi
108) Micromachining for Practical Uses of MEMS
[The 5th Intnl.Conf.on Intelligent Processing and Manufacturing of Materials, Monterey,
USA (2005, July 19-23)]
M.Esashi
109) Development of Microdevices for Minimally Invasive Diagnosis and Therapy
[ISSS 2005, International Conference on Smart Materials Structures and Systems, Bangalore
(2005, July 28-30) 9-11]
Y.Haga, T.Matsunaga, W.Makishi, M.Esashi
110) MEMS Applications
[20th Congress of the International Commission for Optics, Changchun, China (2005,
Aug.21-26)]
M.Esashi
111) Multiprobe Systems for Data Storage and Other Applications
[IEEE Sensors 2005, Irvine USA (2005, Oct.31-Nov.3) 258-259]
M.Esashi, T.Ono and S.Yoshida
112) Applicable MEMS
[Intnl. Symp. on Molecular Scale Electronics, Tsukuba Japan (2005, Dec.5-6) 45-46]
M.Esashi and T.Ono
113) Microsensors and Microactuators for Minimally Invasive Diagnosis and Therapy
[SMIT 18th International Conference, Monterey, California, USA, (2006, May 11-14) 2]
Y.Haga, T.Matsunaga, W.Makishi, M.Esashi
95
114) MEMS (Micro-Nano Electro Mechanical Systems) for Practical Applications
[2006 International Symposium on Flexible Automation, Osaka, (2006, July 11) 3]
M.Esashi
115) Nano- Micro Electro Mechanical Systems and Control
[The 6th Asian Control Conference (ASCC 2006), Bali, (2006, July 18-21) 43-49]
M.Esashi
116) Application Oriented Micro-Nano Electromechanical Systems
[International Conference on Nanophysics (Nanophysics: from fundamentals to Application),
Hanoi, Vietnum, (2006, Aug.6-13)]
M.Esashi
117) MEMS as Key Components for Systems
[2006 International Conference on Solid State Devices and Materials (ssdm 2006), Yokohama
(2006, Sept.,13-15) 6-7]
M.Esashi
118) MEMS for Practical Application with Attention to Packaging
[2006 International Microsystems, Packaging, Assembly Conference Taiwan (IMPACT), Taipei
(2006, Oct.18-20) 11-14](Plenary talk)
M.Esashi
119) Application Oriented Micro Electro Mechanical Systems
[6th International Symposium on Advanced Fluid Information (AFI-2006), Chofu (2006, Oct.27)
3-4]
M.Esashi
120) MEMS Packaging
[The 6th International Workshop on Microelectronics Assembling and Packaging (MAP2006),
Fukuoka, (2006, Oct.31)] (Plenary talk)
M.Esashi
121) Application Oriented Micro/Nano Electro Mechanical Systems
[Japan-Germany Joint Workshop, 2006 "Nano-Electronics", Tokyo (2006, Nov.1) 297-304]
M.Esashi
123) Micro-Nanomachining for Practical Applications
[2006 International Symposium on Nano Science and Technology, Tainan (2006, Nov.9-10) 3-4]
M.Esashi
124) Application Oriented Micro/Nano Electro Mechanical Systems
[2006 International Conf. on Nano Science and Nano Technology, Gwangju, Korea (2006,
Dec.7-8) 45-46]
M.Esashi
125) Development of Medical and Welfare Microdevices Using Micro Technology
[Proc. of the 13th International Display Workshops (IDW'06), Otsu, Japan (2006, Dec.6-8)
1595-1598]
Y.Haga, T.Matsunaga, W.Makishi, K.Totsu and M.Esashi
126) Commercialization of MEMS/NEMS in Tohoku University Open Collaboration
[Technical Digest of IEEE-NEMS, Bangkok, Thailand (2007, Jan.17-19)]
M.Esashi
127) Electrical Feedthrough for Wafer Level Packaging and Arrayed MEMS
[Smart Systems Integration, Paris, France (2007, March 27-28) 341-348]
M.Esashi
128) University-Industry Open Collaboration for MEMS Commercialization
96
[12th International COMS Conference, Melbourne, Australia (2007, Sept.2-5) 110]
M.Esashi
129) Practical Application of MEMS by University-Industry Open Collaboration
[The 1st International Workshop on Innovation and Commercialization of Micro &
Nanaotechnology (ICMAN 2007), Suzhou China (2007, Oct.18-20) 24]
M.Esashi
130) Application Oriented Micro-Nano Electro Mechanical Systems
[20th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2007), Kyoto (2007,
Nov.8) 480-481]
M.Esashi
131) MEMS Research in Slim Facility by Open Collaboration (Plenary)
[3rd Annual IEEE International Conf. On Nano/Micro Engineered and Moleculae Systems
(IEEE-NEMS), Sanya, Chaina (2008, Jan.7-9) 21-22]
M.Esashi
132) Application Oriented MEMS/NEMS by Open Collaboration
[4th International Nanotechnology Conf. on Communications and Cooperation (INC4), Tokyo
(2008, April 16)]
M.Esashi
133) Application Oriented Research of MEMS
[26th International Symposium on Rarefied Gas Dynamics (RGD26), Kyoto (2008, July 22)]
M.Esashi
134) Micro Electro Mechanical Systems for Practical Applications
[5th International Conference on Smart Materials, Structures & Systems (ISSS 2008),
Bangalore, India (2008, July 25)]
M.Esashi
135) Application Oriented R&D of MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) by open collaboration
[13th International Symposium on Electrets (ISE13), Tokyo, Japan (2008, Sept.16)]
M.Esashi
136) Micro/Nano Electro Mechanical Systems for Practical Applications
[APCTP-ASEAN Workshop on Advanced Materials Science and Nanotechnology (AMSN2008), Nha
Trang, Vietnam (2008, Sept. 15-21)]
M.Esashi
137) Wafer Level Packaging of MEMS
[2nd International Workshop on Innovation and Commercialization of Micro and Nanotechnology
(ICMAN 2008), Xi’an, China (2008, Oct.19)]
M.Esashi
138) Micro/Nano Electro Mechanical Systems for Practical Applications
[The 9th International Conf. on Solid-State and Integrated-Circuit Technology (ICSICT2008),
Beijing, China (2008, Oct.21)]
M.Esashi
139) Nano Electro Mechanical Systems by Micromachining with Nanostructures
[Internatl. Sympo. On Nano-Electro-Mechanical 3D Structures : Fabrication and Properties
– JAIST Nano Technology Symposium 2008 - (NT2008), Kanazawa, Japan (2008, Oct.25)]
M.Esashi
140) MEMS for Test and Instrumentation
[2nd Intn. Symp. On Test Automation and Instrumentation (ISTAI’2008), Beijing, China (2008,
Nov.17)
97
M.Esashi
141) Application Oriented MEMS
[The 15th Internl. Display Workshops (IDW’08), Niigata (2008, Dec.4) 1323-1328]
M.Esashi
142) Microprocess Technology to Fabricate RF MEMS Switch, Variable Capacitors and Mechanical
Resonators above Advanced LSI
[Third Japan-Taiwan Workshop on Future Frequency Control Devices, Kaohsing, Taiwan (2008,
Dec.1-5) 58-63]
S.Tanaka and M.Esashi
143) Application Oriented MEMS
[The 8th Intnl.Symp.on Advanced Fluid Information and Transdisciplinary Fluid Integration
(AFI/TFI 2008), Sendai (2008, Dec.19-20) 6-7]
M.Esashi
144) Multiphysics Micro-Nanosensors for future Embedded and Distributed Intelligent Systems
[The 1st Workshop on Advances in Future Integrated Intelligent Nanosystems (WAFIN),
Selected topics in Technology and Architecture, Grenoble, France (2009, June 4)]
M.Esashi
145) Wafer Level Packaging of MEMS
[The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators & Microsystems
(Transducers 2009), Denver, USA (2009, June 21-25) 9-16](Plenary)
M.Esashi
146) MEMS for practical applications
[NATO Advanced Research Workshop, Advanced Materials and Technologies for
Micro/Nano-Devices, Sensors and Actuators (NanoDSA’2009), St Petersburg, Russia (2009, June
29) 6]
M.Esashi
147) MEMS for Test and Instrumentation
[9th Intnl. Conf. on Electronic Measurement and Instruments (ICEMI 2009), Beijing, (2009,
Aug.16) (Key note)
M.Esashi
148) Micro Technology for Saving Energy
[2009 International Conference on Solid State Devices and Materials –Workshop-, Green
Technology –Nanodevices Toward Environmental-Friendly Society -, Sendai (2009, Oct, 1) 43]
M.Esashi
149) MEMS Project in Tohoku University
[3rd International Workshop on Innovation and Commercialization of Micro and Nanotechnology
(ICMAN 2009), Chongqing, China (2009, Oct.23)]
M.Esashi
150) MEMS packaging for practical applications
[Intnl. Symposium on Laser-Micromachining (ISL Asia 2009), Hong Kong, China（2009, Nov.19）]
M.Esashi
151) Challenge for the Hetero-convergence
[TIA Nanotech International Workshop, Tsukuba (2010, Feb,16)]
M.Esashi
152) MEMS-based Active Devices for Multiband Wireless Communication
[Fourth Intn’l Sympo. On Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems,
Chiba (2010, March 3-5), 127-130]
98
S.Tanaka and M.Esashi
153) Wafer-level Heterointegration Technologies for MEMS-based Communication Devices
[Smart Systems Integration, Como, Italy (2010, March 23-24) paper 11]
S.Tanaka and M.Esashi
154) MEMS-based Piezoelectric Acoustic Devices for Sensing and Frequency Control
[Proc. of the 12th Korean MEMS Conf., Pusan, Korea (2010, April 1-3)]
S.Tanaka and M.Esashi
155) MEMS for Practical Applications
[2010 Intnl. Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications (2010 VLSI-TSA),
Hsinchu, Taiwan (2010, April 28）]
M.Esashi
156) Practically Applicable Micro Systems
[The Engineering Academy of Japan/Royal Academy of Engineering Symposium on Green
Manufacturing and Eco-innovation,
London (2010, June 2-3)]
M.Esashi
157) Application oriented Micro/Nano Electro Mechanical Systems in Tohoku University
[Nanoforum (Plenary), Torino, Italy (2010, June 16)]
M.Esashi
158) Minimal invasive medicine in Tohoku University
[Nanoforum (Nanomedicine), Torino, Italy (2010, June 17)]
M.Esashi
159) Prospect of Micro/Nanotechnology for Fusion in Microelectronics (Plenary)
[23rd International Microprocess and Nanotechnology Conference (MNC 2010), Kokura (2010,
Nov.10)]
M.Esashi
160) Practically Applicable MEMS by Heterogeneous Integration
[Korean Sensor Society Conference-2010, Busan, Korea (2010, Nov.12)]
M.Esashi
161) Introduction of the“Integrated Microsystems”Project
[International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2011), Tsukuba (2011,Feb.10) 1-6]
M.Esashi
162) Massive Parallel EB Exposure Systemsq
[International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2011), Tsukuba (2011,Feb.10)
29-56]
M.Esashi
163) Heterogeneous Integration for Sensing and Wireless Systems (Evening Discussion Session
2 : Wireless Sensor Systems : Solution & Technology)
[2011 IEEE International Solid-State Circuits Conference (2011, Feb.20) 529]
M.Esashi
164) Micro System Integration Center (μSIC) in Tohoku University
[Smart Systems Integration 2011, Dresden Germany (2011, March 22-23) paper 3 (地震で不
参加)]
M.Esashi
165) MEMS on LSI
[219th ECS Meeting SOFC XII, Motreal, Canada (2011, May 4) 1156]
M.Esashi and S.Tanaka
99
166) Advanced Materials for MEMS
[International Conf. on New Diamond and Nano Carbons 2011 (NDNC 2011), Matsue (2011, May
17) 37](Plenary)
M.Esashi and T.Ono
167) Micro probes and coils for microscopic magnetic resonance imaging
[Black Forest Focus on Soft Matter 6, Magnetic Resonance Micr4osystems, Saig, Germany (2011,
July 26-29) 16]
M.Esashi and T.Ono
168) Tunable RF SAW/BAW Filters: Dream or Reality?
[2011 Joint conference of the IEEE International Frequency Control and the European Frequency
and Time Forum, San Francisco, USA (2011, May 2-5) 965-972]
K.Hashimoto, S.Tanaka and M.Esashi
169) MEMS for Practical Applications by Open Collaboration
[JCK MEMS/NEMS 2011, Jeju Island, Korea (2011, Sept.5)]
M.Esashi
170) MEMS Activities in Tohoku University
[SEMICON Europa2011, International MEMS/MST Industry Forum, Dresden, Germany (2011,
Oct.11)]
M.Esashi
171) Reconstruction after the east Japan earthquake
[The Asia-Pacific Interdisciplinary Research Conference 2011, Toyohashi (2011, Nov.18)
26-27]
M.Esashi
172) Hetero-Integrated Microsystem Technology
[Proc. of The 18th International Display Workshops (IDW’11), Nagoya (2011, Dec.7-9)
1219-1222]
S.Tanaka and M.Esashi
173) Introduction of the“Integrated Microsystems”Project
[International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2012), Tsukuba (2012,Feb.13) 1-6]
M.Esashi
174) Massive Parallel EB Exposure Systems
[International Symposium on Integrated Microsystems (ISIM2012), Tsukuba (2012,Feb.13)
39-60]
M.Esashi
175) MEMS on LSI
[MEMS for personal life Seminar in Nagoya, Nagoya (2012, March 1)](Plenary)
M.Esashi
176) Hands-on-Access Facility for MEMS and Semiconductor Prototyping at Tohoku University
[6th Internl. Conf. & Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems – MEMS,
NEMS, ICs and Electronic Components (Smart Systems Integration), Zurich, Switzerland (2012,
21-22 March) paper 18]
K.Totsu, M.Moriyama, M.Esashi
177) MEMS on LSI by Adhesive Bonding and Wafer Level Packaging
[2012 MRS Spring Meeting, San Francisco (2012, 12 April) B5.1]
M.Esashi and S.Tanaka
178) Integrated MEMS Using Adhesive Bonding and Other Methods
[Symposium on Design, Test, Integration & Packagingof MEMS/MOEMS (DTIP2012), Cannes, France
100
(2012, 26 April) T4] (Plenary)
M.Esashi and S.Tanaka
179) Practically Applicable Microsystems by Heterogeneous Integration
[International Workshop on Nano-Micro Thermal Radiation, Sendai (2012, 24 May) 34-37]
(Plenary)
M.Esashi and S.Tanaka
180) Integrated MEMS Using Adhesive Bonding and Open Collaborations
[10th NAMIS Workshop, Zao (2012, 28 May)]
M.Esashi and S.Tanaka
181) Integrated Microsystems
[4th International Conf. “Smart Materials, Structures and Systems” (CIMTEC 2012),
Montecatini Terme, Italy (2012, 10-14 June)]
M.Esashi and S.Tanaka
182) Functional RF Devices Powered by MEMS Technologies
[4th International Conf. “Smart Materials, Structures and Systems” (CIMTEC 2012),
Montecatini Terme, Italy (2012, 10-14 June)]
K.Hashimoto, H.Hirano, S.Tanaka and M.Esashi
183) Recent Trends of MEMS/NEMS Development
[The 3rd Japan-China-Korea Joint Conf. on MEMS/NEMS (JCK2012), Shanghai, China (2012, 22-24
Sept.) 2]
M.Esashi
184) Open Collaboration in Tohoku University
[The 3rd Internl. Conf. of the Chinese Soc. of Micro-Nano Technology (CSMNT2012), Hangzhou,
China (2012, 4-7 Nov.)](Plenary)
M.Esashi
185) Integrated MEMS by Adhesive Bonding
[The 6th Internl. Workshop on Innovation and Commercialization of Micro & Nanotechnology
(ICMAN2012), Hangzhou, China (2012, 4-7 Nov.)]
M.Esashi
186) Integrated MEMS by Adhesive Bonding
[2012 Intnl. Symp. On Acoustic Wave Devices for Future Mobile Communication Systems, Chiba
(2012, 6-7 Dec.) 49-54]
M.Esashi and S.Tanaka
187) Integrated MEMS by Film/Device Transfer
[International Conf. on Advanced Materials and Nanotechnology (ICAMN), Hanoi, Vietnum (2012,
13-14 Dec.) 1-5] (Plenary)
S.Tanaka and M.Esashi
(f) 国内学会発表Ａ(査読と英文予稿有り)
0) Biomedical Cation Sensor Using Field Effect of Semiconductor
[The 6th Conf. on Solid State Devices (1974) 73-74]
M.Esashi and T.Matsuo
1) Low Drift Pressure Sensor for Biomedical Measurement
[Proc.of the 1st Sensor Symposium,(1981),169-173]
M.Esashi, H.Komatsu and T.Matsuo
101
2)
Analysis of Potentiometric Enzyme Sensor
[Proc.of the 5th Sensor Symposium,(1985),221-225]
M.Esashi, T.Matsuo, J.Anzai and T.Osa
3) Fabrication of Integrated Micro Probing Head for IC Testing
[Proc. of the 6th Sensor Symposium,(1986),117-120]
S.Shoji, M.Shido, M.Esashi and T.Matsuo
4) Hydrogen Adsorption Energy of Pd/Pt Double Metal Gate MISFET Sensors
[Proc.of the 6th Sensor Symposium,(1986),189-194]
S.Y.Choi, K.Takahashi, M.Esashi and T.Matsuo
5) The Fabrication of a Micro Valve by Means of Micromachining
[Proc. of the 6th Sensor Symposium,(1986),269-272]
M.Esashi, S.Eoh, A.Masuda, F,Enquist, T.Matsuo,I.Lundstrom and S.Choi
6) Flexible Silicon Tactile Imager
[Technical Digest of the 7th Sensor Symposium,(1988),197-200]
M.Esashi and H.Hebiguchi
7) Micro-Pump for Integrated Chemical Analyzing Systems
[Technical Digest of the 7th Sensor Symposium,(1988),213-216]
S.Shoji and M.Esashi
8) Catheter-Tip Capacitive Pressure Sensor
[Technical Digest of the 8th Sensor Symposium,(1989),25-28]
K.Furuta, M.Esashi, S.Shoji and Y.Matsumoto
9) Integrated Thermal Mass Flow Controller Using Normally Close Micro Valve
[Technical Digest of the 8th Sensor Symposium,(1989),141-144]
K.Kawahata, A.Nakano and M.Esashi
10) Integrated Mass Flow Controller by Micromachining of Silicon
[Extended Abstructs of the 21th Conf.on Solid State Devices and Materials (1989), 193-196]
M.Esashi, S.Shoji and A.Nakano
11) Photoetching and Electrochemical Discharge Drilling of Pyrex Glass
[Technical Digest of the 9th Sensor Symposium,(1990),27-30]
S.Shoji and M.Esashi
12) Room Temperature Anodic Bonding with Low Melting Point Glass Film
[Technical Digest of the 9th Sensor Symposium,(1990),31-34]
H.Hebiguchi, S.Shoji and M.Esashi
13) A Miniature Integrated Capacitive Pressure Sensor
[Technical Digest of the 9th Sensor Symposium,(1990),43-46]
Y.Matsumoto, S.Shoji and M.Esashi
14) Two-Lead Tactile Sensor Array Using Piezoresistive Effect of MOS Transistor
[Technical Digest of the 9th Sensor Symposium,(1990),137-140]
S.Kobayashi, T.Mitsui, S.Shoji and M.Esashi
15) Three-Dimentional Microfabrication for Microprobe Sensors
[Technical Digest of the 9th Sensor Symposium,(1990),233-236]
M.Esashi, S.Shoji and J.Tanji
16) Fabrication of Poly-Silicon Microvalve
[Technical Digest of the 10th Sensor Symposium,(1991),29-32]
K.Yamashita and M.Esashi
17) Differential Capacitance Silicon Accelerometer
[Technical Digest of the 10th Sensor Symposium,(1991),41-44]
102
N.Ura and M.Esashi
18) Capacitive Pressure Sensor for Low Pressure Measurements with High Overpressure Tolerance
[Technical Digest of the 10th Sensor Symposium,(1991),133-136]
H.Terabe, Y.Fukaya, S.Sakurai, O,Tabata, S.Sugiyama and M.Esashi
19) High-Speed Directional Low-Temperature Dry Etching for Bulk Silicon Micromachining
[Technical Digest of the 11th Sensor Symposium,(1992),15-18]
M.Takinami, K.Minami and M.Esashi
20) Fundamental Research of Distributed Electrostatic Micro Actuator
[Technical Digest of the 11th Sensor Symposium,(1992),27-30]
S.Kawamura, K.Minami and M.Esashi
21) Packaging of Resonant Sensors
[Technical Digest of the 11th Sensor Symposium,(1992),35-38]
K.Yoshimi, K.Minami, Y.Wakabayashi and M.Esashi
22) A CMOS Integrated Capacitive Accelerometer with a Self-Test Function
[Technical Digest of the 11th Sensor Symposium,(1992),44-46]
T.Nagata, Y.Fukaya, Y.Hattori, T.Sato, S.Sakurai and M.Esashi
23) Integrated Capacitive Accelerometer with Novel Electrostatic Force Balancing
[Technical Digest of the 11th Sensor Symposium,(1992),47-50]
Y.Matsumoto and M.Esashi
24) An Integrated Capacitive Pressure Sensor with Voltage Output
[Technical Digest of the 11th Sensor Symposium,(1992),135-138]
H.Terabe, S.Sakurai, O.Tabata, S.Sugiyama and M.Esashi
25) High Rate Deposition of SiO 2 Membrane by Excimer Laser Enhanced Projection CVD from
Compounds at Low Temperature
[Proceedings of the 14th Symposium on Dry Processes,(1992),157-161]
S.Tomoura, K.Takashima, K.Minami, M. Esashi and J. Nishizawa
26) A Fiber-Optic Ultra Miniature Pressure Sensor
[Technical Digest of the 12th Sensor Symposium,(1994),135-138]
Y.Haga, K.Minami, S.Shoji, S.Nitta, M.Tanaka and M.Esashi
27) Temperature Compensated Piezoresister Fabricated by High Energy Ion Implantation
[Technical Digest of the 12th Sensor Symposium,(1994),147-150]
T.Nishimoto, S.Shoji and M.Esashi
28) Silicon Resonant Angular Rate Sensor Using Electromagnetic Excitation and Capacitive
Detection
[Technical Digest of the 12th Sensor Symposium,(1994),163-166]
M.Hashimoto, C.Cabuz, K.Minami and M.Esashi
29) Silicon Capacitive Accelerometer with Surrounding Mass Structure and Electrostatic Servo
Techinique
[Technical Digest of the 12th Sensor Symposium,(1994),167-170]
N.Ura, T.Nagata, S.Sakurai and M.Esashi
30) Packaged Silicon Micro Optical Deflector Using Electromagnetic Force
[Technical Digest of the 13th Sensor Symposium,(1995),17-20]
I.Kawakubo, K.Minami and M.Esashi
31) Drying of Self-Supported Thin Film Structures after Rinsing in Small Surface Tension
Liquid
[Technical Digest of the 13th Sensor Symposium,(1995),33-36]
M.Otsu, H.Shirahata, K.Minami and M.Esashi
103
32) Silicon Diaphragm Capacitive Vacuum Sensor
[Technical Digest of the 13th Sensor Symposium,(1995),37-40]
K.Hatanaka, D.Y.Sim, K.Minami and M.Esashi
33) Silicon Resonant Angular Rate Sensor by Reactive Ion Etching
[Technical Digest of the 13th Sensor Symposium,(1995),177-180]
J.Choi, K.Minami and M.Esashi
34) Silicon Resonant Accelerometer
[Technical Digest of the 13th Sensor Symposium,(1995),181-184]
H.Hashimoto, K.Minami and M.Esashi
35) A Silicon Micromachined Resonant Angular Rate Sensor Using Electrostatic Exitation and
Capacitive Detection
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),39-42]
M.Yamashita, K.Minami and M.Esashi
36) Preliminary Study on Electrostatically Levitating Inertia Measurement System
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),47-50]
T.Murakoshi, K.Minami and M.Esashi
37) Integrated Communication and Control Circuit for Active Catheter
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),71-74]
K.Park, K.Minami and M.Esashi
38) Thin Cantilever Having an Oppposed Electrode with a Narrow Gap for High Sensitive Sensors
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),163-166]
M.Ohtsu, K.Minami and M.Esashi
39) Study of Xenon Difluoride Silicon Etch for Thin Beam Bulk Micromachining
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),175-178]
R.Toda, K.Minami and M.Esashi
40) Deep X-ray Lithography and O2 RIE as High Aspect Ratio Microfabrication
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),179-182]
S.Watanabe, Y.Yamashita and M.Esashi
41) Fabrication of Reactive Ion Etching Systems for Deep Silicon Machining
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),183-186]
S.Kong, K.Minami and M.Esashi
42) Active Catheter which have SMA Actuators and Bias Spring
[Technical Digest of the 14th Sensor Symposium,(1996),263-266]
G.Lim, K.Minami, M.Sugihara and M.Esashi
43) Measurements of Electrostatic Force and Capacitance for Electro-statically Levitating
Inertia Measurement System
[Technical Digest of the 15th Sensor Symposium, (1997),39-42]
K.Fukatsu, T.Murakoshi, K.Minami and M.Esashi
44) Active Catheter Using Polymer Links
[Technical Digest of the 15th Sensor Symposium,(1997),177-180]
Y.Haga, K.Park and M.Esashi
45) An Electrostatic Servo Capacitive Pressure Sensor
[Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, A2-3 (1998),51-54]
Y.Ueda, H.Henmi, K.Minami and M.Esashi
46) Polarizer-Integrated Mask for Near-Field Lithography
[Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, B1-5 (1998),81-84]
M.Ohtomo, T.Ono, K.Minami and M.Esashi
104
47) Distributed Bending Sensor with Bragg Gratings in Flexible Optical Waveguide
[Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, B2-1 (1998),85-88]
T.Tomiyoshi, K.Minami and M.Esashi
48) Active Catheter Using Multi-Link-Joint Structure Fabricated in Silicon Wafer
[Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, A3-5 (1998),181-184]
T.Mineta, Y.Watanabe, S.Kobayashi, Y.Haga and M.Esashi
49) Capacitive AFM Probe for High Speed Imaging
[Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, C4-2 (1998),269-272]
Y.Shiba, T.Ono, K.Minami and M.Esashi
50) Air-Turbine-Driven Micro-Polarization Modulator for Fourier Transform Infrared
Spectroscopy
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A1-2 (2000), 29-32]
S.Tanaka, M.Hara and M.Esashi
51) A Micromachined Thermomechanical Relay
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A1-3 (2000), 33-38]
L.X.Liu, M.Nishio and M.Esashi
52) Development of an Anti-Corrosive Integrated Mass Flow Controller
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A2-1 (2000), 49-54]
K.Hirata, D.Y.Sim and M.Esashi
53) Preliminary Study of Integrated Ultrasonic Probe for Forward-Looking in Blood Vessel
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A2-2 (2000), 55-60]
M.Nishio, K.Tani, Y.Haga and M.Esashi
54) The Monolithic Piezoelectric Actuator for Vertical Movement by Divided Electrodes
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A2-2 (2000), 61-64]
S.Kondo, S.Yoshimura, H.Yaguchi, H.Okuda and M.Esashi
55) Study on DNA Chip Fabrication
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, B1-4 (2000), 89-94]
K.Takahashi, K.Seio, M.Sekine and M.Esashi
56) Servo Controlled Thermal IR Sensor Using Tunnel Current Measurement
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, C2-5 (2000), 177-182]
S.S.Lee, J.H.Kang, T.Ono and M.Esashi
57) Capacitive 3-axis Accelerometer Using SOI Wafer
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A3-2 (2000), 225-230]
M.Mizusima and M.Esashi
58) Safety Switch for Side Airbag System with Extended Holding Time Using Squeeze Film Effect
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A3-5 (2000), 241-244]
T.Matsunaga and M.Esashi
59) Development of Deep Reactive Ion Etching System for Hard-Etching Materials
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, A4-1 (2000), 255-258]
T.Abe, K.Wakabayashi, X.Li and M.Esashi
60) Low Temperature Deposition of Conductive Material by UV Laser CVD
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, D3-1 (2000), 289-292]
K.Yoshida, K.Minami and M.Esashi
61) Heater Integarated Micro Probe for High-Density Data Storage
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, D4-1 (2000), 423-426]
N.Takimura, D.W.Lee, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
62) Surface Imaging with Electro-Magnetically Self Actuating AFM Probe
105
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, D4-3 (2000), 433-436]
D.W.Lee, T.Ono and M.Esashi
63) Development of Inkjet Head for DNA Chip
[Technical Digest of the 17th Sensor Symposium, D4-4 (2000), 437-442]
D.Y.Sim, T.Ono and M.Esashi
64) Miniturized Downhole Seismic Detector Using Micromachined Silicon Capacitive
Accelerometer
[SEG(Society of Exploration Geophysicist) International Exposition and Seventieth Annual
Meeting, Calgary, Canada (2000-Aug.6-11), pp.1791-1793]
M.Nishizawa, H.Niitsuma and M.Esashi
65) Optical Interference Type Micro Hydrophone Fabricated by Micro-machining
[SEG(Society of Exploration Geophysicist) International Exposition and Seventy-first
Annual Meeting, San Antonio USA (2001-Sept.9-14), pp.45-47]
H.Asanuma, S.Hashimoto, G.Suzuki, H.Niitsuma and M.Esashi
66) Magnet Coulpling for a Micro-gas Turbine Generator
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, A1-2 (2001-May), 9-14]
A.Genda, S.Tanaka and M.Esashi
67) Solid Propellant Rocket Array Thruster for Micro-Spacecrafts
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, A1-3 (2001-May), 15-19]
R.Hosokawa, S.Tanaka, S.Tokudome, K.Horie, H.Saito and M.Esashi
68) Anti-Corrosive Integrated Mass-Flow Controller for Advanced Semiconductor Processes
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, A1-6 (2001-May), 31-34]
K.Hirata and M.Esashi
69) Three-Dimensional Microfabrication of Silicon Nitride for Power MEMS
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, A2-2 (2001-May), 45-50]
S.Sugimoto, S.Tanaka, J.-F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
70) Pain threshold sensor using thermary isolated resister for heating and temperature
measurement
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, B1-3 (2001-May), 89-92]
K.Nakamura, M.Esashi, Y.Mizutani, M.Yamamoto, H.Kudo, S.Imai and K.Suda
71) Pin Display Using SMA Actuator for Blind
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, B2b-2 (2001-May), 137-142]
W.Makishi, K.Iwami, Y.Haga and M.Esashi
72) Micromolding of Disposable Polymer Parts for Medical Diagnostics
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, D1-3 (2001-May), 229-232]
K.Sawa and M.Esashi
73) Accelerometer and Clinometer by Ball Micromachining
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, A3-4 (2001-May), 279-283]
R.Toda, N.Takeda, T.Murakoshi, S.Nakamura and M.Esashi
74) Evaluation Experiment of Electrostatically Levitating Inertia Measurement System
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, A3-5 (2001-May), 285-288]
K.Fukatsu, T.Murakoshi and M.Esashi
75) Fabrication of Near Field Optical Probe at the End of Optical Fiber
[Technical Digest of the 18th Sensor Symposium, Kawasaki, A4-4 (2001-May), 309-312]
W.Watanabe, T.Ono, P.G.Min, Y.Haga and M.Esashi
76) Versatile Tool for Sensing an Extremely Small Force with Ultrathin Silicon Resonator
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 17-21]
106
T.Ono and M.Esashi
77) Integrated Microlens at the Cores of Optical Fiber Bundle for Optical Fiber Based
Application
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 109-112]
P.N.Minh, T.Ono, Y.Haga, K.Inoue, M.Sasaki, K.Hane and M.Esashi
78) Smooth Surface Glass Etching by Deep RIE with SF6/Xe Gas
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 249-252]
L.Li, T.Abe, X.Li and M.Esashi
79) Low Stress TEOS/Ozone PECVD Oxide for Deep Trench Filling
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 271-274]
C.Chang, T.Abe and M.Esashi
80) Scanning Diamond Probe for Nano-processing
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 315-320]
J.-H.Bae, T.Ono, S.Kamiya and M.Esashi
81) Micromachining of Noble Metal and Magnetic Metal Thin Film by RIE
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 337-340]
T.Abe, Y.Gi Hong, K.Shinoda, K.Kobayashi, T.Yano and M.Esashi
82) Optical Switch with Holding Mechanism for Mirror Direction
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 359-362]
A.Baba, R.Takahashi, K.Murakami, H.Nakai and M.Esashi
83) Development of Ultra Miniature Fiber-Optic Blood Pressure Sensor System
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 429-432]
K.Totsu, Y.Haga, P.N.Minh and M.Esashi
84) Aluminium Nitride Based Piezoelectric Microactuators
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 459-464]
J.H.Kuypers, T.Ono and M.Esashi
85) Batch Fabrication of Intravascular Forward-looking Ultrasonic Probe
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 469-472]
M.Fujita, C.J.Kim, K.Nakamura, Y.Haga and M.Esashi
86) MEMS-Based Micro-Polymer Electrolyte Fuel Cell
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 491-494]
K.-B.Min, S.Tanaka and M.Esashi
87) MEMS-Based Fuel Reformer
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 495-500]
K.-S.Chang, S.Tanaka and M.Esashi
88) Study for High Speed Rotation of Micro Air Turbine
[Proceedings of the 19th Sensor Symposium, Kyoto, (2002-May 30-31), 507-510]
M.Hara, S.Tanaka and M.Esashi
89) Development of Multi-Channel Variable Attenuators Using Electrostatic Comb Drive Actuator
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 25-28]
S.Watanabe, K.Horio, K.Muta and M.Esashi
90) Development of Optical Switch for Indoor Lan Using SMA Coil and Magnetic Latch
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 47-50]
M.M.I.Bhuiyan, Y.Haga, W.Makishi and M.Esashi
91) Development of Hydraulic Suction Type Active Catheter Using Super Elastic Alloy Tube
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 57-60]
Y.Muyari, Y.Mineta, T.Mineta and M.Esashi
107
92) Fabrication of Distributed Silicon Nanomechanical Structure
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 61-64]
Y.Kawai, T.Ono and M.Esashi
93) Fabrication of Silica-Based Microfluidic Channels without Bonding Process
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 245-248]
C.Chang, T.Abe, Y.Kawai and M.Esashi
94) Compressor Test Rig for MEMS-Based Turbo Machinary
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 353-357]
P.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
95) A Micro-Ejector for a Micro-Combustor
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 359-364]
D.Sato, S.Tanaka, K.Yoshida and M.Esashi
96) Electrical Modification on Conductive Polymer Using a Scanning Probe Microscope
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 365-370]
S.Yoshida, T.Ono, T.Abe and M.Esashi
97) MEMS-Based Thermoelectric Generator Using Catalytic Combustion
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 411-414]
K.Yoshida, S.Tomonari, S.Tanaka and M.Esashi
98) Large-Diameter Wafer Process of Array-MEMS with Electrical Interconnection through a Thin
Glass Wafer
[Proceedings of the 20th Sensor Symposium, Tokyo, (2003-July 30-31), 425-428]
X.Li, T.Abe, M.Hara and M.Esashi
99) Monolithic PZT Microstage
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 13-18]
H.Xu, T.Ono, M.Esashi, K.Okamoto, D.-Y. Zhang
100) Microfabricated Quartz Crystal Resonator Array Developed for Measuring in Viscoelastic
Liquids
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 19-22]
L.Li, E.Sakata, M.Esashi, M.Nishizawa and T.Abe
101) AlN Based Thin Bulk Acoustic Resonator with an Energy-trapping Structures
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 23-26]
M.Hara, T.Abe and M.Esashi
102) Development of MEMS-Based Ejectors and Their Application to Butane Combustion
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 51-56]
D.Satoh, S.Tanaka and M.Esashi
103) Micropatterning and Micromolding by Using Sputter Deposited Photocatalitic Film
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 183-186]
E.Sakata, M.Esashi, M.Nishizawa and T.Abe
104) Noise Squeezed Resonant Infrared Sensor
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 285-290]
H.Wakamatsu, T.Ono and M.Esashi
105) High Sensitivity Silicon Mass Sensor in Viscous Environment
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 305-308]
S.-J.Kim, T.Ono and M.Esashi
106) Glass Press Mold Fabricated by SiC APCVD, SiC-SiC Bonding and Silicon Lost Molding
[Proceedings of the 21th Sensor Symposium, Kyoto, (2004-Oct. 14-15), 473-478]
K.-O. Min, S.Tanaka and M.Esashi
108
107) Fabrication of High Aspect Retio Planar Microcoil Based on Silicon Molding Technique
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 29-32]
Y.Jiang, T.Ono and M.Esashi
108) Photolithography on Cylindrical Substrates for Realization of High-functional
Tube-shaped Micro-tools
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 112-115]
S.Goto, T.Matsunaga, K.Yotsu, W.Makishi, M.Esashi and Y.Haga
109) Electrostatically-controlled Pneumatic Microvalve with Low Pressure Loss for Liquid Gas
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 153-157]
D.Satou, S.Tanaka and M.Esashi
110) Capacitive Vacuum Sensor with SiC Diaphragm for Harsh Environments
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 228-232]
B.Larangot, S.Tanaka, M.Esashi, M.Hiratsuka and Y.Kitamura
111) Self-aligned Bow-tie Antenna Probe Integrated with Electrostatic Actuator for
OpticalNear-field Microscopy
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 337-340]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
112) Micro Fuel Reformer Integrated with a Combustor and an Evaporator
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 349-352]
K.Yoshida, H.Hiraki, S.Tanaka and M.Esashi
113) Miniaturization of Rectangular AT-cut Quartz Crystal Resonators for Force Sensor
Applications
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 367-370]
X.Li, H.Shimamoto, M.Nishizawa, M.Esashi and T.Abe
114) Micro Press Molding of Pyrex Glass Using SiC Molds
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 494-498]
K.-O.Min, S.Tanaka and M.Esashi
115) Improvement of Photolithography on Anisotropically Etched Silicon (111) Surface
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 507-510]
S.-H.Cho, M.Sasaki, K.-O.Min S.Tanaka, K.Hane, M.Esashi and N.Honda
116) Evaluation of New Ultra-thick Photoresists
[Proceedings of the 22th Sensor Symposium, Tokyo, (2005-Oct. 20-21), 511-515]
N.Honda, S.Mori, S.Tanaka and M.Esashi
117) Glass Substrate with High Density Electrical Feedthroughs
[Proceedings of the 23th Sensor Symposium, Takamatsu, (2006-Oct. 5-6), 9-14]
S.Tanaka, S.Fujimoto, O.Ito, S.-H.Choe and M.Esashi
118) MEMS Probe Array for LSI Testing Transferred onto LTCC Substrate by Au-Sn Eutectic Bonding
[Proceedings of the 23th Sensor Symposium, Takamatsu, (2006-Oct. 5-6), 241-244]
S.-H.Choe, S.Tanaka and M.Esashi
119) Fabrication and Evaluation of Thermal Radiation Detector with Dipole Antenna
[Proceedings of the 23th Sensor Symposium, Takamatsu, (2006-Oct. 5-6), 257-261]
Y.Li, T.Ono and M.Esashi
120) Microprobe with Integrated Single-Electron Transistor for Magnetic Resonance Force
Microscopy
[Proceedings of the 23th Sensor Symposium, Takamatsu, (2006-Oct. 5-6), 482-486]
S.-H.Song, T.Ono and M.Esashi
121) Direct Wafer Bonding and Cavity-Through DRIE for MEMS-Based Turbo Machinary
109
[Proceedings of the 23th Sensor Symposium, Takamatsu, (2006-Oct. 5-6), 517-520]
P.Kang, S.Tanaka and M.Esashi
122) Debris-free Laser-assisted Low-stress Dicing for Multi-layered MEMS
[Proceedings of the 24th Sensor Symposium, Tokyo, (2007-Oct.16-17), 19-23]
Y.Izawa, Y.Tsurumi, S.Tanaka, H.Kikuchi, K.Sueda, Y.Nakata, M.Esashi, N.Miyanaga and
M.Fujita
123) Capacitive RF Shunt Switch Fabricated by Low-temperature Surface Process and Packaged
Using Dry Film Resist
[Proceedings of the 24th Sensor Symposium, Tokyo, (2007-Oct.16-17), 37-40]
T.Yuki, J.H.Kuypers, S.Tanaka and M.Esashi
124) Design and Development of Si-PZT Hybrid XY-Microstage
[Proceedings of the 24th Sensor Symposium, Tokyo, (2007-Oct.16-17), 173-178]
M.F.M.Sabri, T.Ono and M.Esashi
125) Design and Fabrication of Passive Wireless SAW Sensor for Pressure Measurement
[Proceedings of the 24th Sensor Symposium, Tokyo, (2007-Oct.16-17), 267-271]
S.Hashimoto, J.H.Kuypers, S.Tanaka and M.Esashi
126) Fabrication of Carbon Nanotube Tunneling Emitters for Thermoelectric Generation
[Proceedings of the 24th Sensor Symposium, Tokyo, (2007-Oct.16-17), 317-320]
H.Kurahashi, T.Ono and M.Esashi
127) Scanning Near-field Optical Microscopy Probe Integrated with Photoconductive Antenna
for Terahertz Time-domain Spectroscopy
[Proceedings of the 24th Sensor Symposium, Tokyo, (2007-Oct.16-17), 495-498]
K.Iwami, T.Ono and M.Esashi
128) Selective Chemical Vapor Deposition of Silicon Carbide for Surface Micromachining
[Proceedings of the 25th Sensor Symposium, Okinawa, (2008-Oct.22-24), 7-10]
Y.Hatakeyama, M.Esashi and S.Tanaka
129) Debris-Free High-Speed laser-Assisted Low-Stress Dicing for Multi-Layered MEMS
[Proceedings of the 25th Sensor Symposium, Okinawa, (2008-Oct.22-24), 37-41]
Y.Izawa, Y.Tsurumi, S.Tanaka, H.Fukushi, K.Sueda, Y.Nakata, M.Esashi N.Miyanaga and
M.Fujita
130) Aluminum Nitride Lamb Wave Resonator Using Germanium Sacrificial Layer
[Proceedings of the 25th Sensor Symposium, Okinawa, (2008-Oct.22-24), 195-198]
K.Hirano, S.Tanaka and M.Esashi
131) Micro Golay-cell Array Infrared Sensor
[Proceedings of the 25th Sensor Symposium, Okinawa, (2008-Oct.22-24), 329-323]
G.Matsuoka, T.Ono and M.Esashi
132) Endoscopic Optical Coherence Tomography Probe Using Electromagnetically Vibration of
Single Fiber
[Proceedings of the 25th Sensor Symposium, Okinawa, (2008-Oct.22-24), 659-662]
T.Matsunaga, R.Hino, W.Makishi M.Esashi and Y.Haga
133) Etching Technology Using Ozone for Chemically Stable Polymer in MEMS
[Proceedings of the 27th Sensor Symposium, Matsue, (2010-Oct.14-15) 13]
H.Yanagida, S.Yoshida, M.Esashi and S.Tanaka
134) Anodic Bonding between LTCC Substrate and Si Substrate with Electrical Connections
[Proceedings of the 27th Sensor Symposium, Matsue, (2010-Oct.14-15) 16]
S.Matsuzaki, S.Tanaka and M.Esashi
135) A Development of Automated Multilayered Sol-Gel Deposition Machine for Micro Actuator
110
with PZT Thick Film
[Proceedings of the 27th Sensor Symposium, Matsue, (2010-Oct.14-15) 21]
Y.Kawai, N.Moriwaki, M.Esashi and T.Ono
136) Development of an LSI for Tactile Sensor Systems on the Whole-body of Robots
[Proceedings of the 27th Sensor Symposium, Matsue, (2010-Oct.14-15) 29]
M.Muroyama, M.Makihata, Y.Nakano, S.Matsuzaki, S.Tanaka, M.Esashi, H.Yamada,
U.Yamaguchi, T.Nakayama, Y.Nonomura and M.Fujiyoshi
137) Stochastic Counting MEMS Sensor Using White Noise Oscillation for High Temperature
Environment
[Proceedings of the 27th Sensor Symposium, Matsue, (2010-Oct.14-15) 77]
Y.Hatakeyama, M.Esashi and S.Tanaka
138) MEMS Devices for Medical Application and Packaging Technologies
[Proceedings of the 27th Sensor Symposium, Matsue, (2010-Oct.14-15) 159]
Y.Haga, T.Matsunaga and M.Esashi
139) Design of LTCC Integrated Inductor with Nanoparticle Embedded Core
[The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2011-Feb., 21-24) 55]
F.Gabler, Y.C.Lin, J.W.Lee, J.Fromel, S.Tanaka, M.Esashi and T.Gessner
140) L1 0 FePt (111)/Glassy CoFeTaB Bilayered Structure for Patterned Media
[The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2011-Feb., 21-24) 69]
N.Kaushik, P.Sharma, A.Makino, A.Inoue and M.Esashi
141) Fabrication of the Scanning Micro-Mirror Using Fe-Base Metallic Glass Ribbon
[The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2011-Feb., 21-24) 77]
J.W.Lee, Y.C.Lin, N.Chen, D.V.L.Luzgin, A.Inoue, M.Esashi and T.Gessner
142) Metallic Glass Thin Films for MEMS Bonding
[The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2011-Feb., 21-24) 78]
Y.C.Lin, J.Fromel, P.Sharma, A.Inoue, M.Esashi and T.Gessner
143) Zinc Oxide Nanowires Synthesis by Microheaters in the Ambient Environment
[The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2011-Feb., 21-24) 79]
W.C.Lin, Y.C.Lin, A.A.Seshia, T.Gessner and M.Esashi
144) Tactile Sensor Network Systems by Integrated Devices of MEMS and LSI
[The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2011-Feb., 21-24) 89]
M.Muroyama, S.Tanaka and M.Esashi
145) Electrical Modification on a Conductivity-Switching Polyimide Film Formed by Molecular
Layer Deposition Using Scanning Probe Microscope
[The 2011 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2011-Feb., 21-24) 115]
S.Yoshida, T.Ono and M.Esashi
146) Tunable RF SAW/BAW Filters : Dream or Reality?
[第 40 回 EM シンポジウム、(2011-May 19-20) 49-56]
K.Hashimoto, S.Tanaka and M.Esashi
147) A Simulated Network System for Development of an Integrated MEMS-LSI Tactile Sensor
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 4]
Y.Nakano, M.Muroyama, M.Makihata, S.Tanaka, S.Matsuzaki, M.Esashi, H.Yamada,
T.Nakayama, Y.Yamaguchi, Y.Nonomura and M.Fujiyoshi
148) Low-Voltage-Driven Thin Film PZT Stacked Actuator for RF-MEMS Switch
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 9]
111
M.Moriyama, Y.Kawai, S.Tanaka and M.Esashi
149) Developmemt of New Anodically-Bondable Material and Feed-Through Substrate with High
Bending Strength and Fracture Toughness
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 25]
R.Hayashi, M.Mohri, N.Kidani, A.Okada, D.Nakamura, A.Saiki, M.Esashi and S.Tanaka
150) Optically-Switchable Field-Emitter Array for Parallel Electron Beam Lithography System
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 34]
Y.Tanaka, E.Tomono, H.Miyashita, M.Esashi and T.Ono
151) SOI-3Axis Accelerometer with the Zigzag-Shaped Z-Electrode
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 55]
Y.Omura, M.Fujiyoshi, Y.Nonomura, H.Funabashi, T.Akashi, Y.Hata, H.Yamada, K.Sasaki and
M.Esashi
152) Packaging Technology for Hermetic Sealing with Electrical Connection Using
Anodically-Bondable LTCC Substrate with Etched Cavities
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 62]
M.Mohri, A.Okada, H.Fukushi, M.Esashi and S.Tanaka
153) Development of a Wafer Bonder for Metal-to-Metal Bonding
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 63]
S.Matsuzaki, S.Tanaka, T.Baba and M.Esashi
154) Development of Double-Side SiC PECVD System for MEMS
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 74]
Y.Suzuki, S.Tanaka, Y.Hatakeyama and M.Esashi
155) Fabrication Technology of Ruthenium Microelectrode Pattern for RF MEMS
[The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 90](P)
T.Matsumura, H.Harada, M.Esashi and S.Tanaka
156) Stochastic MEMS Sensor Using White Noise Oscillation for High Temperature Environment
– Design Based on Physical Model and Its Verification by Device Prototype [The 28th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Tokyo
(2011-Sept.26-27) 131](P)
Y.Hatakeyama, M.Esashi and S.Tanaka
157) Stochastic Sensor for Harsh Environment
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 63]
M.Esashi, Y.Hatakeyama and S.Tanaka
158) Electro-Optics for Massive Parallel E-Beam Lithography
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 64]
S.Cakir, A.Kojima and M.Esashi
159) Demonstration of Substrate Bonding by Using Nanoporous Gold Structures and Gold Film
as Bonding Intermediate
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 65]
W.-S.Wang, W.-C.Lin, L.Y.Chen, M.W.Chen, T.Gessner and M.Esashi
112
160) Application of Metallic Glass Thin Films in MEMS Devices and Magnetic Recording Media
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 66]
N.Kaushik, P.Sharma, A.Makino and M.Esashi
161) Conformal Coating of Lithograthic Polymer on 3D Structure via Initiated Chemical Vapor
Deposition for MEMS Fabrication
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 67]
S.Yoshida, T.Kobayashi, M.Kumano and M.Esashi
162) Integration of PZT Film with Metallic Glass Film for MEMS (Micro Electro Mechanical
System) Device
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 68]
Y.-C.Tsai, J.-W.Lee, W.-C.Lin, M.Esashi and T.Gessner
163) Low Temperature Metal Interdiffusion Bonding for Micro Devices
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 69]
J.Fromel, Y.-C.Lin, P.Sharma, T.Gessner and M.Esashi
164) A Combinative Technique for Synthesizing Transversely Suspended Zinc Oxide Nanowires
in Aqueous Solution
[The 2012 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (2012-Feb., 20-23) 70]
W.-C.Lin, Y.-C.Lin, A.A.Seshia, T.Gessner and M.Esashi
165) Surface Smoothing of Micromachined Silicon Structure by Hydrogen Annealing and
Investigation of Its Effect on the Torsional Fracture Strength
[The 29th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Kitakyushu City
(2012-Oct.22-24) 1C5-3, 15]
R.Hajika, W.Makishi, Y.Kanamori, S.Tanaka, S.Yoshida and M.Esashi
166) Double-side PECVD of Silicon Carbide Using Polycarbosilane
[The 29th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Kitakyushu City
(2012-Oct.22-24) 2B2-1, 28]
Y.Suzuki, S.Tanaka, Y.Hatakeyama and M.Esashi
167) Delamination / Transfer Process of BST Film Using YAG Third Harmonic Laser
[The 29th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Kitakyushu City
(2012-Oct.22-24) 2B3-3, 35]
T.Samoto, H.Hirano, T.Somekawa, M.Fujita, M.Esashi and S.Tanaka
168) Laterally-driven Piezoelectric Bimorph Microactuator with Sol-Gel-based
Figh-Aspect-Ratio PZT Structure
[The 29th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Kitakyushu City
(2012-Oct.22-24) 2E3-4, 56]
N.Wang, Y.Kawai, S.Tanaka, M.Kumano, S.Yoshida and M.Esashi
169) Particle Removal without Causing Damage to MEMS Structure
[The 29th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Kitakyushu City
(2012-Oct.22-24) SP1-1, 105](P)
H.Hirano, M.Rasly, N.Kaushik, M.Esashi and S.Tanaka
170) Low-Stress EpitaxialPolysilicon Process for Micromirror Devices
[The 29th Sensor Symposium on Sensors, Micromachines and Applied Systems, Kitakyushu City
(2012-Oct.22-24) SP2-7, 125](P)
Y.Suzuki, K.Totsu, H.Watanabe, M.Moriyama, M.Esashi and S.Tanaka
171) A Run-Time Configurable LSI on Asynchronous Communication for Integrated Tactile Sensors
[The 4th Integrated MEMS Symposium, Kitakyushu City (2012-Oct.22-24) IM4-3, 197]
M.Makihata, M.Muroyama, Y.Nakano, H.Yamada, T.Nakayama, U.Yamaguchi, Y.Nonomura,
113
H.Funabashi, Y.Hata, S.Tanaka and M.Esahi
172) A Run-Time Configurable LSI on Asynchronous Serial Communication for Integrated Tactile
Sensors
[The 4th Integrated MEMS Symposium, Kitakyushu City (2012-Oct.22-24) IM4-4, 198]
M.Muroyama, Y.Nakano, M.Makihata, S.Tanaka, M.Esahi, H.Yamada, T.Nakayama, U.Yamaguchi,
Y.Nonomura, H.Funabashi and Y.Hata
(g) 国内学会他発表Ｂ(その他)
1) 生体用絶縁物電極(1)ーチタン酸バリウム磁器を用いた生体用誘導電極についてー
〔電子通信学会、医用電子生体工学研究会資料、MBE70-40,昭和 46 年 3 月 (1971)〕
飯沼一浩、松尾正之、江刺正喜
2) 半導体の電界効果を用いた医用能動電極(1)
〔電気関係学会東北支部連合大会、昭和 46 年 10 月(1971) 28〕
松尾正之、江刺正喜、飯沼一浩
3) 生体用絶縁物電極(2)ー脳波用チタン酸バリウム磁器絶縁物電極について－
〔電子通信学会、医用電子生体工学研究会資料、MBE71-32,昭和 46 年 12 月 (1971)〕
松尾正之、江刺正喜、飯沼一浩
4) 生体内絶縁物電極(3)－電極の機械的変位による雑音の発生機構について－
〔第 11 回日本 ME 学会大会、昭和 47 年 4 月(1972)〕
松尾正之、江刺正喜、飯沼一浩
5) 半導体の電界効果を用いた医用能動電極－陽イオン選択性電極としての動作－
〔第 12 回日本 ME 学会大会、昭和 48 年 5 月(1973) 507-508〕
江刺正喜、松尾正之
6) 医用能動電極を用いた超小形 pH 計の基礎実験
〔電気学会電気測定研究会、EM-74-25,昭和 49 年 1 月(1974)〕
江刺正喜、松尾正之
7) 医用能動電極による pH 測定用微小電極
〔第 13 回 ME 学会 1-D-93,昭和 49 年 4 月(1974)〕
松尾正之、江刺正喜
8) 医用能動電極のイオン選択性について
〔第 14 回日本 ME 学会大会、2-C-13,昭和 50 年 4 月(1975)〕
江刺正喜、松尾正之
9) 生体用イオンセンサーの試作について (第 1 報)
〔電子通信学会医用電子生体工学研究会、MBE76-5,昭和 51 年 5 月(1976)〕
江刺正喜、松尾正之
10) CVD によるイオンセンサ用絶縁膜の製作
〔電気関係学会東北支部連合会、1B-8,昭和 51 年 10 月(1976)〕
江刺正喜、阿部宏、松尾正之
11) 生体用多重微小金属電極の試作
〔第 16 回日本 ME 学会大会、昭和 52 年 4 月 (1977)〕
松尾正之、太田好紀、江刺正喜
12) 超小形多重イオンセンサーの試作
〔第 16 回日本 ME 学会大会、昭和 52 年 4 月 (1977)〕
江刺正喜、松尾正之
13) 多孔能動電極の試作
114
〔電気関係学会東北支部連合大会、1F12,昭和 52 年 10 月 (1977)〕
松尾正之、山口淳、江刺正喜
14) CVD 法を用いた多重微小金属電極の試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、1F11,昭和 52 年 10 月(1977)〕
松尾正之、太田好紀、江刺正喜
15) 窒化ケイ素膜を用いた生体誘導電極－脳波用窒化ケイ素膜誘電体電極について－
〔電子通信学会医用電子生体工学研究会資料、MBE78-11,昭和 53 年 6 月 (1978)〕
薄準一、内山明彦、山田雅史、丹羽信善、江刺正喜
16) IC 技術を用いたカーテル用超小型圧力変換器の試作
〔第 17 回日本 ME 学会大会、2-A-2,昭和 53 年 7 月(1978)〕
松尾正之、ルドルフォ・キンテロ、江刺正喜
17) 神経線維束用多孔能動電極試作
〔第 17 回日本 ME 大会、2-B-24,昭和 53 年 7 月 (1978) 261〕
山口淳、松尾正之、江刺正喜
18) 集積化されたマルチプレクサ型多重電極及びテレメータシステムの試作
〔第 17 回日本 ME 学会大会、2-B-25,昭和 53 年 7 月(1978)〕
高橋幸郎、松尾正之、江刺正喜
19) CVD 法を用いた多重微小金属電極の試作
〔第 17 回日本 ME 学会大会、2-B-23,昭和 53 年 7 月(1978)〕
太田好紀、松尾正之、江刺正喜
20) ポリマーゲート FET イオンセンサの特性
〔第 17 回日本 ME 学会大会、2-B-26,昭和 53 年 7 月(1978)〕
江刺正喜、中嶋秀樹、松尾正之
21) CVD 酸化膜による ISFET
〔電子通信学会電子デバイス研究会、ED78-11,昭和 53 年 8 月(1978)〕
阿部宏、江刺正喜、松尾正之
22) 柔らかい生体用多重電極の試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、1B11,昭和 53 年 9 月(1978)〕
松尾正之、興津淳、江刺正喜
23) 電解液-Parylene 膜系に関する基礎実験
〔電気関係学会東北支部連合大会、2G-4,昭和 53 年 9 月(1978)〕
松尾正之、中嶋秀樹、江刺正喜
24) ISFET のイオン応答速度と安定性
〔電気関係学会東北支部連合大会、2G3,昭和 53 年 9 月(1978)〕
阿部宏、江刺正喜、松尾正之
25) ISFET としての各種絶縁膜の特性
〔電子通信学会総合全国大会、昭和 54 年 4 月 (1979)〕
阿部宏、江刺正喜、松尾正之
26) IC 技術を用いた生体用マルチ微小電極の試作
〔電子通信学会総合全国大会、SP-4,昭和 54 年 4 月(1979)〕
太田好紀、江刺正喜、松尾正之
27) IC 技術を用いた超小型圧力センサの試作
〔第 18 回日本ＭＥ学会大会、2-A-25,昭和 54 年 4 月(1979)〕
松尾正之、江刺正喜
28) ISFET を用いた超小型 pCO２センサの試作
〔第 18 回日本ＭＥ学会大会、2-B-41,昭和 54 年 4 月(1979)〕
江刺正喜、松尾正之
115
29) 柔らかい多重電極の試作
〔第 18 回日本ＭＥ学会大会、2-B-24,昭和 54 年 4 月 (1979)〕
松尾正之、興津淳、江刺正喜
30) 生体電位計測用ダングステン微小電極の試作
〔電子通信学会半導体・トランジスタ研究会資料、SSD79-34,昭和 54 年 8 月(1979)〕
太田好紀、江刺正喜、松尾正之
31) 金属錯体を用いた酸素センサの基礎実験
〔電気関係学会東北支部連合大会、1D-12,昭和 54 年 10 月(1979)〕
江刺正喜、興津淳、松尾正之
32) Multi Micro Electrode Using IC Techniques
〔Proc.of the U.S.-Japan Joint Seminor on Advanced Analytical Techniqus Applied to the
Vertebrate Visual System. Oct.(1979)〕
Y.Ohta, M.Esashi and Y.Matsuo
33) ガラス－高分子膜界面のリーク電流に対する水の影響
〔電気関係学会東北支部連合大会、1D-9,昭和 54 年 10 月(1979)〕
中嶋秀樹、江刺正喜、松尾正之
34) 生体電極用プリアンプのための BI-FET 素子の試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、1D-19,昭和 54 年 10 月(1979)〕
松尾正之、本郷宏信、高橋幸郎、江刺正喜
35) 生体電極用プリアンプのための BI-FET 素子の試作
〔電気関係学界東北支部連合大会、1D-11,昭和 54 年 10 月(1979)〕
山口淳、松尾正之、江刺正喜
36) 金属アルコレート加水分解法を用いた ISFET のイオン選択特性
〔電気関係学会東北支部連合大会、1D-10,昭和 54 年 10 月(1979)〕
阿部宏、江刺正喜、松尾正之
37) パリレンコート微小電極及び微動挿入装置の試作
〔電子通信学会医用電子生体工学研究会資料、MBE79－29,昭和 54 年 10 月(1979)〕
江刺正喜、高橋幸郎、興津淳、山本光璋、松尾正之、中浜博
38) ISFETによる血液pHの連続モニタ及びPVC型ISFETによるK＋，Ca2＋イオンセンサの試作
〔電子通信学会医用電子生体工学研究会資料、MBE79－31,昭和 54 年 10 月(1979)〕
江刺正喜、庄子習一、松尾正之
39) 薄膜誘電体の研究に使用する超低周波インピーダンス測定用ブリッジの試作
〔計測自動制御学会東北支部講演会、109,昭和 54 年 11 月(1979)〕
江刺正喜、松尾正之
40) FET ガスセンサ
〔東北大学通研シンポジウム「Solid State Chemical Sensor」,昭和 55 年 2 月 (1980)〕
佐々木英夫、外島忍、江刺正喜、松尾正之
41) 固体電解質(フッ化ランタン)を用いた医用酸素センサの試作
〔東北大学通研シンポジウム「Solid State Chemical Sensor」,昭和 55 年 2 月 (1980)〕
山口淳、江刺正喜、松尾正之
42) 無機絶縁膜を用いた ISFET
〔東北大学通研シンポジウム「Solid State Chemical Sensor」,昭和 55 年 2 月 (1980)〕
阿部宏、江刺正喜、松尾正之
43) IC 技術による超小型圧力センサの製作法の改良
〔第 19 回日本ＭＥ学会大会、3-E-32,昭和 55 年 5 月(1980)〕
松尾正之、江刺正喜、高橋雅文、滝島任
44) IC 技術を用いたクラークタイプ小型酸素センサの試作
116
〔第 19 回日本ＭＥ学会大会、3-E-27,昭和 55 年 5 月(1980)〕
松尾正之、興津淳、松尾正之
45) 金属酸化物を表面に用いた水素、ナトリウム、カリウム用 ISFET の試作
〔第 19 回日本ＭＥ学会大会、3－Ｅ－24,昭和 55 年 5 月(1980)〕
庄子習一、阿部宏、江刺正喜、松尾正之
46) 半導体イオンセンサを利用した臨床用組織 pH 電極の試作
〔第 19 回日本ＭＥ学会大会、1-C-17,昭和 55 年 5 月(1980)〕
岡井崇、原量宏、箕浦茂樹、坂本正一、松尾正之、江刺正喜、佐藤尚一、川野真幸
47) マイクロ ISFET の試作
〔昭和 55 年電気関係学会東北支部連合大会、1G6,昭和 55 年 8 月(1980)〕
太田好紀、江刺正喜、松尾正之
48) 電解液－絶縁物－シリコンシステムとしての ISFET
〔電子通信学会医用電子生体工学研究会資料、MBE80－49,昭和 55 年 9 月(1980)〕
中嶋秀樹、江刺正喜、松尾正之
49) 半導体イオンセンサとその応用
〔計測自動制御学会関西支部講演会、昭和 55 年 12 月(1980)「新しく開発された固体素子センサ
とその応用技術」
〕
松尾正之、江刺正喜
50) 多重化を目的とした側面形マイクロ圧センサの試作
〔第 20 回日本ＭＥ学会大会、1-PA-6，昭和 56 年 5 月(1981)〕
高橋雅文、江刺正喜、松尾正之、滝島任
51) マルチマイクロ圧センサによる膀胱内圧、尿道内圧の同時測定
〔第 20 回日本ＭＥ学会大会、1-PA-7，昭和 56 年 5 月(1981)〕
小沢秀夫、二神成一、大瀬靖、今村健一、江刺正喜、松尾正之
52) PO 2 ,PCO 2 ,pHの血管内同時モニタ用超小型センサの試作
〔第 20 回日本ＭＥ学会大会、1-PA-8，昭和 56 年 5 月(1981)〕
江刺正喜、西川敦彦、松尾正之
53) イオンビームスパッタ膜を用いたＮａ＋，Ｋ＋用 ISFET の試作
〔第 20 回日本ＭＥ学会大会、1-PA-11,昭和 56 年 5 月(1981)〕
庄子習一、江刺正喜、松尾正之
54) マイクロＩＳＦＥＴの試作
〔第 20 回日本ＭＥ学会大会、1-PA-12,昭和 56 年 5 月 (1981)〕
太田好紀、江刺正喜、松尾正之
55) 参照電極用 ISFET の検討
〔第 20 回日本ＭＥ学会大会、1-PA-13,昭和 56 年 5 月 (1981)〕
中嶋秀樹、江刺正喜、松尾正之
56) Low Drift Pressure Sensor for Biomedical Measurement
〔第 1 回センサの基礎と応用シンポジウム、B2-4，昭和 56 年 6 月 (1981)〕
江刺正喜、小松博志、松尾正之
57) IC 技術を用いた生体用微小酸素センサの試作
〔昭和 56 年電気関係学会東北支部連合大会、2F18,昭和 56 年 10 月(1981)〕
江刺正喜、西川敦彦、松尾正之
58) IC 技術を用いた超小型酸素センサの試作
〔電子通信学会医用電子生体工学研究会資料、MBE81-36,昭和 56 年 10 月(1981)〕
江刺正喜、西川敦彦、松尾正之
59) 電界効果を用いた半導体化学センサー
〔日本材料科学学会、シンポジウム’81 「センサー」
、昭和 56 年 12 月(1981)〕
117
松尾正之、江刺正喜
60) 超小型酸素センサの低いドリフト化の試み
〔第 21 回日本ＭＥ学会大会、1-PH-4,昭和 57 年 5 月(1982)〕
江刺正喜、西川敦彦、松尾正之
61) 医用小型圧力センサの低いドリフト化
〔第 21 回日本ＭＥ学会大会、2-E-2,昭和 57 年 5 月(1982)〕
江刺正喜、小松博志、松尾正之
62) 参照電極を複合化した pH 用 ISFET の試作
〔第 21 回日本 ME 学会大会、2-E-4,昭和 57 年 5 月(1982)〕
中嶋秀樹、江刺正喜、松尾正之
63) 半導体医用圧力センサの安定化ー埋め込み抵抗を用いた電気的低ドリフト化ー
〔第 21 回日本 ME 学会大会、1-B-7,昭和 57 年 8 月(1982)〕
江刺正喜、小松博志、松尾正之
64) 埋め込み抵抗を用いた医用半導体圧力センサ
〔第 22 回日本 ME 学会大会、M-42-p,昭和 58 年 4 月(1983)〕
江刺正喜、小松博志、松尾正之
65)マイクロ ISFET の試作(2)
〔第 22 回日本 ME 学会大会、M-44p,昭和 58 年 4 月(1983)〕
庄子習一、江刺正喜、松尾正之
66) カスタム LSI 設計・作製システムの試み(1) (システムの概要)
〔昭和 58 年電子通信学会総合全国大会,401,昭和 58 年 4 月(1983)〕
江刺正喜、小松昭雄、芦部稔、大友雅彦
67) カスタム LSI 設計・作製システムの試み(2) (設計環境)
〔昭和 58 年電子通信学会総合全国大会,402,昭和 58 年 4 月(1983)〕
江刺正喜、小松昭雄、芦部稔、大友雅彦
68) カスタム LSI 設計・作製システムの試み(3) (NMOS プロセスと評価)
〔昭和 58 年電子通信学会総合全国大会、403,昭和 58 年 4 月(1983)〕
江刺正喜、芦部稔、小松昭雄、大友雅彦
69) 反応性蒸着による NAS 膜を用いた Na＋用 ISFET の試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、1H10,昭和 58 年 8 月(1983)〕
庄子習一、高橋幸郎、江刺正喜、松尾正之
70) カスタム LSI を用いた LSI パターン設計用ワークステーション
〔昭和 59 年電子通信学会総合全国大会、404,昭和 59 年 3 月(1984) 67-74〕
江刺正喜、松尾正之
71) 東北大学における LSI 設計、試作、教育経験
〔昭和 59 年電気学会全国大会シンポジウム“大学における LSI 設計、試作教育”昭和 59 年 4 月
(1984)〕
江刺正喜
72) バレルシフタ用 IC の試作
〔昭和 59 年電気関係学会東北支部連合大会、2D22,昭和 59 年 8 月(1984)〕
徐敦、江刺正喜、大友雅彦、松尾正之
73) 4 値画像処理プロセッサの構成と集積回路の試作
〔昭和 59 年電気関係学会東北支部連合大会、2F9,昭和 59 年 8 月(1984)〕
羽生貴弘、亀山充隆、江刺正喜、樋口龍雄
74) キャリ伝搬のない比較交換回路による高速パイプラインバブルソータ
〔昭和 59 年電気関係学会東北支部連合大会、2D27,昭和 59 年 8 月(1984)〕
江刺正喜、香川実
118
75) 機能試験用 LSI テスタの試作
〔昭和 59 年電気関係学会東北支部連合大会、2D21,昭和 59 年 8 月(1984)]
江刺正喜、大友雅彦
76) 4 値パターンマッチングハードウェアアルゴリズムと集積回路の試作
〔計測自動制御学会東北支部大会、昭和 59 年 10 月(1984)〕
亀山充隆、羽生貴弘、江刺正喜、樋口龍雄
77) Pd/Pt ゲート MISFET 水素ガスセンサの低ドリフト化
〔電子通信学会総合全国大会、No.313,昭和 60 年 3 月(1985)〕
崔時永、高橋幸郎、江刺正喜、松尾正之
78) 4 値 NMOS パイプライン画像処理プロセッサの試作
〔電子通信学会総合全国大会、昭和 60 年 3 月(1985)〕
羽生貴弘、亀山充隆、江刺正喜、樋口龍雄、伊藤貴康
79) カスタム LSI 用 CAD システムとそれによる 2 次元バレルシフタの試作
〔電子通信学会半導体トランジスタ研究会、SSD85-51,昭和 60 年 8 月(1985) pp.67-74〕
江刺正喜、徐敦、松尾正之
80) 体内埋込テレメータ用 CMOS コマンドレシーバーの試作
〔電子通信学会半導体トランジスタ研究会、SSD85-52,昭和 60 年 8 月(1985)〕
徐敦、江刺正喜、庄子習一、松尾正之
81) LSI 設計用 CAD システム
〔電気関係学会東北支部連合大会、2D-13,昭和 60 年 8 月(1985)〕
江刺正喜、増田篤司、松尾正之
82) IC 化プローピングヘッドの設計
〔電気関係学会東北支部連合大会、2D-14,昭和 60 年 8 月(1985)〕
江刺正喜、松尾正之
83) 可変容量形圧力センサ用 CMOSIC の試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、2D-15,昭和 60 年 8 月(1985)〕
庄子習一、仁佐瀬剛美、江刺正喜、松尾正之
84) センサバス用インターフェース IC の試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、2D-16,昭和 60 年 8 月(1985)〕
江刺正喜、平山達雄、小林宏彰、大西康広、紫藤真人、平野信行、増田篤司、松尾正之、
庄子習一
85) 微量血液成分モニタ用マイクロセルの試作
〔第 4 回化学センサ研究会、昭和 60 年 9 月 30 日(1985)〕
庄子習一、江刺正喜、松尾正之
86) 体内埋込み形圧センサ用スイッチトキャパシタ形容量測定回路の試作
〔電子通信学会半導体材料部門全国大会、185,昭和 60 年 10 月(1985)〕
庄子習一、仁佐瀬剛美、江刺正喜、松尾正之
87) バイオテレメータ用バルスパワードコマンドレシーバの試作
〔電子通信学会半導体材料部門全国大会、186,昭和 60 年 10 月(1985)〕
徐敦、江刺正喜、庄子習一、松尾正之
88) マイクロマシーニング技術による可変リークバルブの試作
〔電子通信学会半導体材料部門全国大会、241,昭和 60 年 10 月(1985)〕
江刺正喜、魚秀海、庄子習一、松尾正之、崔世崑
89) 低消費電力のオンデマンド方式体内埋込みテレメータ回路の開発
〔第 25 回日本 ME 学会大会、1-E-1,昭和 61 年 4 月(1986)〕
徐敦、江刺正喜、庄子習一、松尾正之
90) 血圧トランスデューサの性能改善
119
〔第 25 回日本 ME 学会大会、3-PF-3,昭和 61 年 4 月(1986)〕
小沢秀夫、渋谷哲男、武田朴、兵後充史、関口哲志、江刺正喜
91) 補助人工心臓制御用体内留置マイクロセンサの開発
〔第 25 回日本 ME 学会大会、3-PF-4,昭和 61 年 4 月(1986)〕
山家智之、仁田新一、片平美明、田中元直、高橋幸郎、江刺正喜、松尾正之、佐藤尚、
本郷忠敬、香川謙、堀内藤吾
92) MOSIC 故障解析用 IC 化マイクロプロービングベッドの試作
〔電子通信学会半導体トランジスタ研究会、SSD86-9,昭和 61 年 5 月(1986)〕
庄子習一、江刺正喜、紫藤真人、松尾正之
93) マイクロマシーニング技術によるマイクロバルブの製作
[第 6 回「センサの基礎と応用」シンポジウム講演予稿集, 昭和 61 年 5 月 30 日(1986) 113-114]
江刺正喜、魚秀海、増田篤司、松尾正之、Ingemar Lundstrom, 崔世崑
94) 高温用集積回路と高温用圧力センサの試作
〔電子通信学会半導体トランジスタ研究会、SSD86-57,昭和 61 年 8 月(1986) 67-74〕
江刺正喜、大高章二、松尾正之
95) 集積化マスフローコントローラの試作
〔電子通信学会半導体トランジスタ研究会、SSD86-56,昭和 61 年 8 月 26 日(1986) 59-66〕
江刺正喜、松尾正之、魚秀海、崔世崑
96) Si ウエハ直接接着技術を用いた圧センサの試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、2G5,昭和 61 年 8 月(1986)〕
庄子習一、仁佐瀬剛美、江刺正喜、松尾正之
97) 立体加工用電子ビーム露光装置の試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、2G13,昭和 61 年 8 月(1986)〕
江刺正喜、庄子習一、大庭茂男、平野信行、松尾正之
98) CMOS カスタム IC によるバイオテレメトリシステムの試作
〔電気関係学会東北支部連合大会、2G18,昭和 61 年 8 月(1986)〕
徐敦、江刺正喜、松尾正之
99) 人工心臓自動制御用生体情報計測法の開発と評価
〔電通学会医用電子生体工学研究会、MBE86-46,昭和 61 年 8 月(1986)〕
仁田新一、江刺正喜他 12 名
100) マイクロ ISFET による細胞レベルイオン濃度のダイナミック計測
〔第 5 回化学センサ研究会、昭和 61 年 9 月(1986)〕
庄子習一、江刺正喜、松尾正之
101) シリコン微細加工技術によるマイクロ可変リークバルブ
〔第 34 回応用物理学関係連合講演会、28aH10,昭和 62 年 3 月 28 日(1987) 313〕
江刺正喜、飛田英二、松尾正之、魚秀海、崔世崑
102) Si ウェハ直接接着技術を用いた容量形絶対圧センサの試作
〔第 26 回日本 ME 学会大会、002,昭和 62 年 4 月(1987)〕
庄子習一、仁佐美剛美、江刺正喜、松尾正之
103) CMOS カスタム LSI による多機能体内埋込みバイオテレメトリシステムの試作
〔第 26 回日本 ME 学会大会、007,昭和 62 年 4 月(1987)〕
徐敦、江刺正喜、庄子習一、松尾正之
104) 超小型血液ガス濃度モニタシステムの試作〔第 26 回日本 ME 学会大会、009,
昭和 62 年 4 月(1987)〕
庄子習一、江刺正喜、松尾正之
105) パソコンを用いた集積回路教育の実施例(Ⅱ)
[昭和 62 年電気学会全国大会シンポジウム、S-6(大学における集積回路教育)
120
昭和 62 年 4 月(1987)]
江刺正喜、松尾正之
106) マイクロプローブセンサとマイクロバルブ
［昭和 62 年電気学会全国大会シンポジウム S-7 (マイクロマシーニング技術とマイクロメカニッ
クス) 昭和 62 年 4 月(1987)］
江刺正喜, 庄子習一, 松尾正之
107) フリットシールを用いた容量型圧力センサの試作に関する研究
［昭和 62 年度電気関係学会東北支部連合大会 2A-26, 昭和 62 年 8 月(1987)］
庄子習一, 江刺正喜
108) 体内埋込み形圧力センサ用容量検出回路に関する基礎的研究
［昭和 62 年度電気関係学会東北支部連合大会 2A-3,昭和 62 年 8 月(1987)］
庄子習一, 益子有八郎, 松本佳宣, 江刺正喜
109) 半導体触覚イメージャの基礎実験
［昭和 62 年度電気関係学会東北支部連合大会 2A-27, 昭和 62 年 8 月(1987)］
江刺正喜, 佐々木哲也, 蛇口広行
110) 薄膜フリットガラスを用いた Si-Si 接合封止技術
［昭和 62 年度電気関係学会東北支部連合大会 2A-25, 昭和 62 年 8 月(1987)］
江刺正喜, 仲野陽, 庄子習一
111) 水素化合物分離測定用高温触媒延長ゲート FET センサ
［電通学会シリコン材料デバイス研究会,SMD 87-71, 昭和 62 年 8 月(1987)］
江刺正喜, F.Enquist,I.Lundstrom
112) 集積化サーマルマスフローコントローラ
［電通学会シリコン材料デバイス研究会,SMD 87-72, 昭和 62 年 8 月(1987)］
江刺正喜, 仲野陽, 松尾正之
113) 集積化マスフローコントローラ用ノーマリクローズマイクロバルブの製作
［第 48 回応用物理学会秋季大会,19aS,昭和 62 年 10 月(1987)］
江刺正喜, 仲野陽
114) 集積化センサ・アクチュエータシステム
［電通学会専門講習会「マイクロメカニックス」p39,昭和 62 年 10 月(1987)］
江刺正喜
115) マイクロバルブとセンサの集積化システム
［電気学会センサ技術研究会,ST-87-1,昭和 62 年 10 月(1987)］
江刺正喜, 庄子習一
116) 高温触媒延長ゲート FET センサの基礎実験
［第 6 回化学センサ研究会,8, 昭和 62 年 12 月(1987)］
F.Enquist, 江刺正喜, I.Lundstrom
117) マイクロマシーニングによる集積化分析システムの基礎研究
［第 6 回化学センサ研究会,31,昭和 62 年 12 月(1987)］
庄子習一, 益子有八郎, 江刺正喜
118) 生体計測用マイクロセンサ
［東北大通研シンポジウム「バイオマグネティックスとバイオエレクトロニクス」I-1,
昭和 63 年 2 月(1988)］
江刺正喜
119) 薄膜フリットガラスを用いた Si-Si 低温陽極接合技術
［第 35 回応用物理学会春季大会,28a-M-1, 昭和 63 年 3 月(1988)］
江刺正喜, 仲野陽, 大見忠弘
120) 電子回路やアクチュエータを集積化したマイクロセンサ
121
［昭和 63 年電通学会春季全国大会,SD-1-4,昭和 63 年 3 月(1988)］
江刺正喜, 庄子習一
121) 微量流体制御のための集積化センサ・アクチュエータシステム
［昭和 63 年電気学会全国大会,S.5-2, 昭和 63 年 3 月(1988)］
江刺正喜, 庄子習一
122) 医用集積化分析システム用超小形ポンプに関する研究
［第 27 回日本 ME 学会大会,1-B-59,昭和 63 年 3 月(1988)］
庄子習一, 益子有八郎, 江刺正喜
123) 体内埋込圧力計測システムの基礎実験
［第 27 回日本 ME 学会大会,1-B-60,昭和 63 年 3 月(1988)］
江刺正喜, 松本佳宣, 庄子習一
124) 容量形小型圧力センサ用容量検出回路
［昭和 63 年度電気関係学会東北支部連合大会 2F-5,昭和 63 年 8 月(1988)］
江刺正喜, 中川茂, 山本晃一, 松本佳宣
125) 機械的に丈夫な半導体触覚イメージャの試作
［昭和 63 年度電気関係学会東北支部連合大会 2F-6,昭和 63 年 8 月(1988)］
中村克俊, 江刺正喜
126) 集積化化学分析システム用マイクロコネクタの試作
［昭和 63 年度電気関係学会東北支部連合大会 2F-7,昭和 63 年 8 月(1988)］
庄子習一, 江刺正喜
127) ノーマリクローズマイクロバルブのシート部における密着性の評価
［昭和 63 年度電気関係学会東北支部連合大会 2F-8,昭和 63 年 8 月(1988)］
江刺正喜, 仲野陽, 大見忠弘
128)ボロフィルムを用いた高濃度拡散による薄いダイアフラム形成に関する基礎研究
［昭和 63 年度電気関係学会東北支部連合大会 2F-9,昭和 63 年 8 月(1988)］
庄子習一, 工藤剛, 江刺正喜
129) バッチプロセスパッケージングによる体内装着に適した小型圧力センサ
［電通学会シリコン材料デバイス研究会,SMD 88-61, 昭和 63 年 8 月(1988)］
松本佳宣, 江刺正喜, 庄子習一, 大見忠弘
130) マイクロマシーニングによる磁気式酸素センサ
［第 7 回化学センサ研究発表会,33,昭和 63 年 9 月(1988)］
仲野陽, 江刺正喜, 大見忠弘, 桂正樹
131) シリコン基板上に集積化したマイクロポンプによる微量液体制御システム
［第 7 回化学センサ研究発表会,12,昭和 63 年 9 月(1988)］
庄子習一, 江刺正喜
132) 局所高温 Pd 延長ゲート FET 水素化合物ガスセンサの試作
［電気学会センサ技術研究会,ST-89-2, 平成元年 2 月(1989)］
庄子習一, 江刺正喜
133) 体内装着に適した小形圧力センサ
［第 28 回日本ＭＥ学会大会, 1-D-13, 平成元年 5 月(1989)］
松本佳宣, 江刺正喜, 庄子習一, 仁田新一
134) 医用集積化フローインジェクション化学分析システムに関する研究
［第 28 回日本ＭＥ学会大会, 1-D-53, 平成元年 5 月(1989)］
庄子習一, 中川茂, 江刺正喜
135) マイクロプローブの立体的微細加工
［第 28 回日本ＭＥ学会大会, 1-D-54, 平成元年 5 月(1989)］
江刺正喜, 庄子習一
122
136) 細胞操作用力センサ付マイクロピンセットの試作
［第 28 回日本ＭＥ学会大会, 1-D-55, 平成元年 5 月(1989)］
庄子習一, 江刺正喜
137) 補助人工心臓圧力情報収集のための圧マイクロセンサシステムの開発と評価
［第 28 回日本ＭＥ学会大会, 3-C-11, 平成元年 5 月(1989)］
林博行, 仁田新一, 片平美明, 山家智之, 園部太郎, 田中元直, 三浦誠, 江刺正喜, 松本佳宣
138) 化学分析システムのシリコン基板上への集積化
［電通学会シリコン材料デバイス研究会,SMD 89-78, 平成元年 8 月(1989)］
中川茂, 庄子習一, 江刺正喜
139) 小形集積化容量型圧力センサの試作
［電通学会シリコン材料デバイス研究会,SMD 89-79, 平成元年 8 月(1989)］
工藤剛, 松本佳宣, 庄子習一, 江刺正喜
140) 低融点ガラス薄膜による室温陽極接合
［電通学会シリコン材料デバイス研究会,SMD 89-80, 平成元年 8 月(1989)］
蛇口広行, 庄子習一, 江刺正喜
141) 共通２線式触覚センサアレイ用アドレッシング回路
［平成元年度電気関係学会東北支部連合大会 1A-17, 平成元年 8 月(1989)］
江刺正喜, 三井隆, 栂嵜隆
142) MOSTr のピエゾ抵抗効果を利用した共通２線式触覚センサの回路設計
［平成元年度電気関係学会東北支部連合大会 1A-18, 平成元年 8 月(1989)］
小林真司, 江刺正喜
143) 電解放電加工法によるガラスの穴加工条件の検討
［平成元年度電気関係学会東北支部連合大会 1F-5,平成元年 8 月(1989)］
和田敏忠, 永田富夫, 庄子習一, 江刺正喜
144) 医用計測用マイクロマシーン
［第４回日本ＭＥ学会秋季大会、1-C-14、平成元年 10 月(1989)］
江刺正喜
145) インラインマイクロフローセンサによる磁気式酸素センサ
［第９回化学センサ研究発表会、23、平成元年 10 月(1989)］
山田誠, 江刺正喜, 庄子習一, 大場利三郎
146) シリコン基板上へ集積化した微量化学分析システム
［第９回化学センサ研究発表会、24、平成元年 10 月(1989)］
中川茂, 庄子習一, 江刺正喜
147) Integrated Fluid Control Systems
［第３回トヨタコンファレンス、平成元年 10 月(1989)］
江刺正喜
148) ハイブリッド型絶対圧用容量型圧力センサの試作
［電気学会センサ技術研究会,ST-89-7, 平成元年 11 月(1989)］
永田富夫, 和田敏忠, 庄子習一, 江刺正喜
149) IC プロセスによるマイクロ加工の可能性と限界
[電気学会全国大会,S.8-5,平成 2 年 4 月,(1990)]
江刺正喜
150) 立体的微細加工
[第 34 回自動制御連合講演会,SS5-1,平成 3 年 11 月,(1991)]
南和幸、江刺正喜、滝浪雅夫
151) 陽極接合による真空封止
[第 11 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,平成 4 年 6 月,(1992),p.63]
123
裏則岳、中市克己、南和幸、江刺正喜
152) プロジェクション光ＣＶＤによるＳｉＯ２膜の作製
（低温凝縮層を利用した高速成膜の検討）
[第 11 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,平成 4 年 6 月,(1992),p.64]
友裏誠一郎、南和幸、江刺正喜、西澤潤一
153) 製作工程で壊れにくい容量型加速度センサ
[第 11 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,平成 4 年 6 月,(1992),p.65]
吉田雅行、江刺正喜
154) ハイブリット容量型相対圧センサの試作
[第 11 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,平成 4 年 6 月,(1992),p.66]
徐煕敦、林根培、江刺正喜、崔世崑
155) 陽極接合による回路損傷
[電気学会センサ技術研究会,ST-92-7, 平成 4 年 11 月(1992),9-17］
白井稔人、江刺正喜
156) 静電容量型集積化圧力センサ
[電気学会センサ技術研究会,ST-92-11, 平成 4 年 11 月(1992),47-55］
寺部宏明、桜井止水城、田畑修、杉山進、江刺正喜
157) バルクコアを用いたプレーナトランス
[電気学会マグネティクス研究会,MAG-93-8, 平成 5 年 1 月(1993)]
浅田規裕、松木英俊、江刺正喜
158) プレーナポットトランスを用いた DC-DC コンバータの基礎特性
[電気学会マグネティクス研究会,MAG-93-56, 平成 5 年 3 月(1993)]
浅田規裕、松木英俊、江刺正喜
159) シリコンダイアフラム厚さのエッチング中モニタ
[次世代センサ協議会第１回マイクロマシーニング研究会、MM93-9(1993),48-54]
南和幸、登坂裕司、江刺正喜
160) ヒドラジンを用いたシリコン異方性エッチングにおける異状エッチングに関する研究
[次世代センサ協議会第２回マイクロマシーニング研究会、MM93-14(1993),29-38]
庄子習一、朴起台、江刺正喜
161) 静電サーボ型多軸加速度センサ
[次世代センサ協議会第２回マイクロマシーニング研究会、MM93-20(1993),81-84]
橋本雅人、城野圭司、江刺正喜
162) 低温凝縮プロジェクション光ＣＶＤ
[次世代センサ協議会第２回マイクロマシーニング研究会、MM93-21(1993),85-89]
高嶋耕司、南和幸、江刺正喜、西澤潤一
163) プレーナ型電磁結合論理素子
[電気学会マグネティクス研究会,MAG-93-104, 平成 5 年 7 月(1993),11-20]
浅田規裕、松木英俊、江刺正喜
164) 光を用いた無侵襲血糖センサ
[第 27 回日本 ME 学会東北支部大会、11 月仙台(1993),p.23]
牛沢典彦、南和幸、江刺正喜
165) 光ファイバ圧力センサの基礎実験
[第 27 回日本 ME 学会東北支部大会、11 月仙台(1993),p.24]
芳賀洋一、南和幸、仁田新一、田中元直、江刺正喜
166) コンパクトなサンドブラスト装置と感光性フィルムを用いたガラス穴開け加工
[精密工学会 1993 年度東北支部秋田地方講演会、12 月秋田(1993),pp.13-14]
長内譲悦、庄子習一、江刺正喜
124
167) 歪の少ない陽極接合
[次世代センサ協議会第４回マイクロマシーニング研究会、MM94-43(1994),57-66]
庄司康則、鈴木邦章、庄子習一、江刺正喜
168) 筋肉に学ぶ分布型静電マイクロアクチュエータ
[第 41 回応用物理学関係連合講演会、29p-ZR-6、3 月東京(1994),1322]
江刺正喜
169) 光を用いた無侵襲血糖センサ
[医用電子と生体工学、Vol.32 特別号、(1994),251]
牛沢典彦、南和幸、江刺正喜
170) Au スパッタ膜を用いた Si-Si 接合
[第 12 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,6 月大阪(1994),66]
沈東演、南和幸、江刺正喜
171) 容量型 3 軸加速度センサ
[第 12 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,6 月大阪(1994),71]
峯田貴、小林誠也、渡部善幸、金内秀志、中川郁太郎、江刺正喜
172) マイクロヒータによる熱伝播時間計測型フローセンサ
[第 12 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,6 月大阪(1994),74]
植松彰一、江刺正喜
173) 薄膜ヒータを用いた間接加熱による形状記憶合金アクチュエータ
[第 12 回センサの基礎と応用シンポジウム講演概要集,6 月大阪(1994),78]
林根培、南和幸、江刺正喜
174) 能動カテーテルの要素技術
[次世代センサ協議会第５回マイクロマシーニング研究会、MM94-49(1994),31-39]
江刺正喜、南和幸、林根培、朴起台
175) 光マイクロ加工
[第 55 回応用物理学会学術講演会、20p-ZT-2、9 月東京(1994),1206]
江刺正喜
176) MeV イオン注入による埋め込みピエゾ抵抗の作製
[第 55 回応用物理学会学術講演会、21p-ZF-14、9 月東京(1994),330]
西本尚弘、庄子習一、江刺正喜
177) 角速度と加速度を同時に検出できるシリコン容量型センサ
[自動車技術会 1994 年秋期大会学術講演会前刷集、10 月仙台(1994),205-208]
水野潤、Cleopatra Cabuz、江刺正喜、Key Nottmeyer
178) 高絶縁小型リレードライバの試作
[電気学会マグネティクス研究会,MAG-94-194,11 月 21 日箱根(1994)]
浅田規裕、松木英俊、江刺正喜
179) 単機能マイクロロボット群による物体操作
[第 12 回日本ロボット学会学術講演会、11 月九州 (1994),549-550]
内山勝、吉村一貴、阿部幸勇、江刺正喜
180) p+シリコンの内部摩擦
[次世代センサ協議会第６回マイクロマシーニング研究会、MM94-59(1994),33-37]
深津恵輔、Cleopatra Cabuz、江刺正喜
181) 容量型３軸加速度センサ
[次世代センサ協議会第６回マイクロマシーニング研究会、MM94-59(1994),27-28]
峯田貴、小林誠也、渡部善幸、金内秀志、中川郁太郎、江刺正喜
182) シリコン振動型センサの解析
[日本機械学会第７回計算力学講演会,東京,(1994-11 月),9-10]
125
紺野伸顕、クレオパトラカブツ、江刺正喜
183) 高絶縁小型リレードライバの試作
[電気学会マグネティクス研究会 MAG-94-194,東京,(1994 年 11 月),27-32]
浅田規裕、松木英敏、江刺正喜
184) 能動カテーテルと分布型アクチュエータ
[計測自動制御学会第６回自律分散システム・シンポジウム資料,名古屋(1995 年 1 月), 109-114]
林根培、杉原正久、南和幸、内山勝、江刺正喜
185) マイクロメカニカルデバイスのフェイスダウンマウンティング
［電気学会センサ技術研究会,ST-95-3,東京,(1995-2 月).19-25］
本間聖人、南和幸、江刺正喜
186) STM による Si 表面の水素マニピュレーション
[第 42 回応用物理学関係連合講演会、29a-B-11、3 月東京(1995),429]
小野崇人、江刺正喜
187) 赤外偏光変調器の作製と高感度反射測定
[第 42 回応用物理学関係連合講演会、31a-ZC-5、3 月東京(1995),941]
小野崇人、江刺正喜
188) Si 基板上の YSZ 薄膜基板作成及び YBCO 薄膜の特性
[第 42 回応用物理学関係連合講演会、29a-TM-9、3 月東京(1995),136]
金相宰、明連広昭、陳健、中島健介、山下努、江刺正喜
189) マイクロマシニング技術による能動カテーテル
[医用電子と生体工学、Vol.33 特別号、(1995),551]
林根培、杉原正久、南和幸、内山勝、江刺正喜
190) 静電サーボ振動型センサ
[次世代センサ協議会第８回マイクロマシーニング研究会、MM95-8、5 月豊橋(1995),41-47]
江刺正喜、伊藤弘明、Cleopatra Cabuz
191) STM による Si 表面加工と選択成長によるナノパタンの形成
[第 56 回応用物理学会学術講演会、27a-ZK-9、8 月金沢 (1995),418]
小野崇人、浜中均、江刺正喜
192) 吸着制御による微細加工
[次世代センサ協議会第９回マイクロマシーニング研究会、MM-95-85、9 月つくば(1995), 19-27]
小野崇人、浜中均、江刺正喜
193) 並進加速度と角速度を検出できるシリコン容量型センサ
[自動車技術会学術講演会前刷集 955、9 月、別府 (1995),77-80]
水野潤、K.Nottmeyer、小林孝、南和幸、江刺正喜
194) ひずみの少ない陽極接合による集積化加速度センサ
[平成７年度電気学会東京支部茨城支所研究発表会、D-16,(1995),181-182]
庄司康則、吉田雅行、南和幸、江刺正喜
195) 能動カテーテルのための通信・制御用集積回路
[計測自動制御学会、第 21 回ロボット工学部会研究会、仙台 (1995-12),15-20]
朴起台、林根培、南和幸、江刺正喜
196) 単分子層のＡＦＭ／ＳＴＭパターニングによる親水性・疎水性制御を用いたSiO2 の微細加工
[応用物理学会東北支部第 50 回学術講演会、仙台 (1995-12),81-82]
浜中均、小野崇人、江刺正喜
197) ＵＨＶ-ＳＴＭ／ＡＦＭを用いたナノワイヤーの製作
[応用物理学会東北支部第 50 回学術講演会、仙台 (1995-12),83-84]
小野崇人、斎藤広明、江刺正喜
198) ＳＰＭプローブのためのＵＨＶ－ＳＴＭによるナノワイヤー
126
[次世代センサ協議会第９回マイクロマシーニング研究会、MM-96-94、2 月東京(1996),29-35]
斎藤広明、小野崇人、江刺正喜
199) ＡＦＭ／ＳＴＭを用いたＬＢ膜のパターニング
[第 43 回応用物理学関係連合講演会、27a-S-6、3 月東京(1996),436]
浜中均、小野崇人、江刺正喜
200) ＵＨＶ－ＳＴＭを用いたＳｉナノ細線の成長
[第 43 回応用物理学関係連合講演会、27a-S-9、3 月東京(1996),437]
小野崇人、斎藤広明、江刺正喜
201) 静電浮上型慣性計測システムの基礎研究
[電気学会研究会資料、PS-96-11、11 月東京(1996),43-52]
村越尊雄、深津恵輔、南和幸、江刺正喜
202) 圧電薄膜を用いたシリコン角速度センサ
[電気学会研究会資料、PS-96-12、11 月東京(1996),53-62]
長尾勝、南和幸、江刺正喜
203) ＳＴＭを用いた微細構造体の作製
[電気学会研究会資料、SMP-96-1、11 月東京(1996),235-243]
浜中均、小野崇人、江刺正喜
204) ＳＴＭを用いた単結晶Ｓｉナノスケール構造体の作製
[応用物理学会東北支部第 51 回学術講演会、仙台 (1996-12),75-76]
浜中均、小野崇人、江刺正喜
205) 同心円型回折格子を用いた回転体における光信号伝送の一検討
[1997 年電子情報通信学会総合大会、C-5-7, 吹田 (1997-3),7]
近藤悟、関口卓司、羽根一博、江刺正喜
206) ＳＴＭを用いた単結晶シリコン自立ナノ構造体の作製
[第 44 回応用物理学関係連合講演会、30a-T-7、3 月船橋 (1997),1340]
浜中均、小野崇人、江刺正喜
207) 光速を測る
[第 44 回応用物理学関係連合講演会、28a-NB-2、3 月船橋 (1997),368]
高橋健一郎、倉林徹、小野崇人、江刺正喜
208) 厚い高分子膜のスピンコートにおける厚み均一性の向上
[第 15 回
「センサの基礎と応用」
シンポジウム講演概要集(和文速報)、L1-3、6 月川崎 (1997),67]
古澤俊夫、南和幸、江刺正喜
209) 電気粘性流体による触覚刺激デバイス
[第 15 回
「センサの基礎と応用」
シンポジウム講演概要集(和文速報)、L2-1、
6 月川崎 (1997),68]
近藤悟、江刺正喜
210) 螺旋型静電マイクロアクチュエータの試作
[第 15 回
「センサの基礎と応用」
シンポジウム講演概要集(和文速報)、L2-2、
6 月川崎 (1997),69]
森下泰光、南和幸、江刺正喜
211) シリコン振動型角速度センサ
[第 15 回
「センサの基礎と応用」
シンポジウム講演概要集(和文速報)、
L2-3、
6 月川崎 (1997),70]
長尾勝、南和幸、江刺正喜
212) ＧＨz 駆動磁性薄膜インダクタの試作プロセス
[電気学会マグネティクス研究会、MAG-97-123 (1997),75-80]
西原宏幸、山口正洋、荒井賢一、江刺正喜
213) 蛇管ワイヤ用マイクロ力覚センサの試作
[日本機械学会ﾛﾎﾞﾃｨｸｽ･ﾒｶﾄﾛﾆｸｽ講演会'97,7A3-208,6 月厚木 (1997),137-138]
清水聖治、栗林勝利、江刺正喜、白浜宣虎
127
214) 半導体技術によるマイクロマシン
[第５８回応用物理学会学術講演会、4p-ZC-1,10 月秋田 (1997),61]
江刺正喜、戸田理作
215) 分子線エッチング装置の試作
[第５８回応用物理学会学術講演会、4a-ZK-5,10 月秋田 (1997),687]
李承燮、小野崇人、江刺正喜
216) マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作
[物理探査学会第 96 回学術講演会論文集 (1997),35-38]
西澤充智、新妻弘明、江刺正喜
217) マイクロマシニングによる地下弾性波検出のためのシリコン容量型加速度センサの製作
(第二報)
[物理探査学会第 97 回学術講演会論文集 (1997),169-172]
西澤充智、林根培、新妻弘明、江刺正喜
218) マイクロマシニングによる地下弾性波検出のための光干渉型加速度センサの開発
[物理探査学会第 97 回学術講演会論文集 (1997),165-168]
平田薫、新妻弘明、江刺正喜
219) 地下弾性波検出のための高感度・広帯域容量型加速度センサの開発
[電気学会、物理センサ研究会、PS-97-22,11 月東京 (1997),13-17]
西澤充智、林根培、新妻弘明、江刺正喜
220) 地下弾性波検出のための光干渉型マイクロセンサの開発
[電気学会、物理センサ研究会、PS-97-23,11 月東京 (1997),19-22]
平田薫、新妻弘明、江刺正喜
221) Deep ICPRIEとXeF 2 ガスエッチングによる回転振動型シリコン角速度センサ
[電気学会、物理センサ研究会、PS-97-27,11 月東京 (1997),33-36]
ﾁｮｲｼﾞｪｼﾞｭﾝ、南和幸、江刺正喜
222) Deep RIE と Wet Etching を組み合わせた新しい Bulk Micromachining
[電気学会、物理センサ研究会、PS-97-32,11 月東京 (1997),59-62]
林根培、白錫淳、江刺正喜
223) 静電型マイクロポンプの基礎研究
[電気学会、物理センサ研究会、PS-97-33,11 月東京 (1997),63-68]
佐藤幸人、加藤静一、江刺正喜
224) スパッタ法による PZT 薄膜の配向性制御
[電気学会、物理センサ研究会、MM-97-13,11 月東京 (1997),29-34]
川崎栄輔、江刺正喜
225) 形状記憶合金による能動屈曲機構を備えた細径超音波内視鏡
[日本超音波医学会,第 70 回研究発表会、70-239,11 月仙台 (1997),413]
(J.Med.Ultrasonics, 24,9 (1997) 413)
芳賀洋一、棚橋善克、江刺正喜
226) 多機能能動カテーテル
[第 31 回日本ＭＥ学会東北支部大会、11 月秋田 (1997),22]
芳賀洋一、江刺正喜
227) 近接場光を用いた波長限界を越える微細パターンの転写
[応用物理学会東北支部第５２回学術講演会,12 月仙台 (1997) 63-64]
小野崇人、江刺正喜
228) シリコン有機物単分子膜レジストを用いた Si のナノパターニング
[応用物理学会東北支部第５２回学術講演会,12 月仙台 (1997) 63-64]
大友美佳、小野崇人、江刺正喜
128
229) やわらかい蠕動運動システム(人工ミミズ)
[日本機械学会第 10 回バイオエンジニアリング講演会、１月東広島 (1998),589-590］
篠原英司、南和幸、江刺正喜
230) 電磁駆動誘導起電力検出型シリコン角速度センサ
[電気学会、マイクロマシン研究会、MM-98-4,2 月草津 (1998),17-21]
J.-J.Choi、南和幸、江刺正喜
231) ベローズ型静電マイクロアクチュエータ
[電気学会マイクロマシン研究会、MM-98-8,２月草津 (1998),39-43]
森下泰光、南和幸、江刺正喜
232) ウェハプロセスで作成した能動カテーテル用のシリコン多関節構造
[平成 10 年電気学会全国大会、３月東京 (1998),200-201]
峯田貴、渡部善幸、芳賀洋一、江刺正喜
233) Si モールドを用いた等方圧焼結法による高アスペクト比高密度 PZT 1-3 構造の作製
［第 4５回応用物理学関係連合講演会、30a-ZF-1、3 月東京 (1998),610］
王詩男、李敬鋒、戸田理作、渡辺龍三、南和幸、江刺正喜
234) 近接場光による金属薄膜上の微粒子のマイクロマニピュレーション
［第 4５回応用物理学関係連合講演会、28a-YE-10、3 月東京 (1998),959］
小野崇人、江刺正喜
235) 近接場光を用いた光の回折限界を越える微細パターン転写
［第 4５回応用物理学関係連合講演会、30p-YL-17、3 月東京 (1998),738］
小野崇人、江刺正喜
236) 多結晶シリコンにおける電子線励起電流(EBIC)コントラストの粒界性格依存性
[日本金属学会春期大会講演概要、203、3 月東京 (1998),106]
王占杰、池田賢司、関口隆史、連川貞弘、渡辺忠雄、江刺正喜
237) ブラッググレーティングを形成したフレキシブル光導波路によるカテーテル用分布型曲が
りセンサ
[第 37 回日本エム・イー学会大会、1G4-1,5 月倉敷 (1998),318]
冨吉俊夫、芳賀洋一、南和幸、江刺正喜
238) 先端に微小ダイアフラム構造を持つ極細光ファイバ圧力センサ
[第 37 回日本エム・イー学会大会、2D4-3,5 月倉敷 (1998),464]
勝間田卓、芳賀洋一、南和幸、江刺正喜
239) 多機能能動カテーテル
[第 37 回日本エム・イー学会大会、3K1-3,5 月倉敷 (1998),699]
芳賀洋一、朴起台、勝間田卓、冨吉俊夫、江刺正喜
240) 微細で高アスペクト比 PZT1-3 構造の作製
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月川崎
(1998),65]
王詩男、李敬鋒、戸田理作、渡辺龍三、南和幸、江刺正喜
241) 噛み合い力センサの開発
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月川崎
(1998),66]
王詩男、戸津健太郎、野崎浩一、南和幸、江刺正喜
242) 力による微小変位センサの設計と製作
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月川崎
(1998),67]
王詩男、野崎浩一、戸津健太郎、南和幸、江刺正喜
243) Micro-Structure Assembly with Si-Glass Micro Bonding
129
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),69]
Q.Wang，T.Ono and M.Esashi
244) 蠕動運動システム
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),70]
篠原英司、南和幸、江刺正喜
245) 大きな変位に対するスクイーズフィルムダンピング力のシミュレーション
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),71]
南和幸、松永忠雄、江刺正喜
246) スクイーズフィルムダンピングによる遅延型加速度スイッチ
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),72]
松永忠雄、南和幸、江刺正喜
247) フレキシブル配線を用いた超音波素子のカテーテル先端への実装
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),73]
谷恵亮、西尾真博、鈴木学、芳賀洋一、南和幸、江刺正喜
248) 静電浮上型慣性計測システムの浮上回転実験
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),75]
深津恵輔、村越尊雄、南和幸、江刺正喜
249) エアダンピング構造の衝撃試験用加速度センサの開発
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),76]
柴田健也、小林誠也、峯田貴、渡部善幸、江刺正喜
250) 磁気ヘッド位置合わせ用静電マイクロアクチュエータの試作
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),77]
阿部宗光、江刺正喜
251) 水晶振動ジャイロ(ICP-RIE による水晶の加工検討)
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),78]
大里毅、江刺正喜
252) 細い梁構造を用いた片持ち梁型シリコン振動ジャイロの試作
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),79]
戸田理作、江刺正喜
253) 高アスペクト比静電駆動マイクロアクチュエータ
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),80]
金丸昌敏、原田武、江刺正喜
254) ダイアフラム構造を先端に持つ極細光ファイバ圧力センサ
[第１６回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、和文速報、６月
(1998),81]
勝間田卓、芳賀洋一、南和幸、江刺正喜
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
川崎
130
255) GaAs 分子層エピタキシーの表面状態の観察
［第５９回応用物理学会学術講演会、17a-YE-1,9 月広島 (1998),267］
河野和史、倉林徹、江刺正喜、西澤潤一
256) 超微細ＰＺＴロッドアレイの作製及び評価
［第５９回応用物理学会学術講演会、17a-G-3,9 月広島 (1998),455］
王詩男、李敬鋒、江刺正喜
257) Si モールドプロセスによる積層圧電マイクロアクチュエータの試作
［第５９回応用物理学会学術講演会、17a-G-4,9 月広島 (1998),456］
王詩男、李敬鋒、江刺正喜
258) PZT の Deep RIE 及び特異なエッチング現象
［第５９回応用物理学会学術講演会、17a-G-5,9 月広島 (1998),456］
王詩男、李興華、江刺正喜
259) レーザ支援エッチングによるＰＺＴの高アスペクト比加工
[電気学会マイクロマシン研究会、MM-98-17,9 月東京 (1998),17-22]
鈴木学、江刺正喜
260) Deep RIE による PZT の微細加工
[電気学会マイクロマシン研究会、MM-98-18,9 月東京 (1998),23-28]
李興華、王詩男、江刺正喜
261) 容量型非冷却赤外イメージセンサ
[電気学会物理センサ研究会、PS-98-4,11 月東京 (1998),19-24]
佐藤真也、南和幸、江刺正喜
262) フレキシブル薄膜フィルムを用いた能動カテーテル用通信制御集積回路
[電気学会物理センサ研究会、PS-98-7,11 月東京 (1998),35-40]
朴起台、江刺正喜
263) 近接場光学シリコンプローブのためのサブミクロン開口の作製
[電気学会物理センサ研究会、PS-98-8,11 月東京 (1998),41-46]
ファンゴミン、小野崇人、江刺正喜
264) 広ダイナミック・レンジの加速度センサ
[電気学会物理センサ研究会、PS-98-12,11 月東京 (1998),59-64]
高相春、沈東演、江刺正喜
265) 歯の噛み合い力と相対位置検出センサシステム
[電気学会物理センサ研究会、PS-98-15,11 月東京 (1998),77-82]
戸津健太郎、野崎浩一、王詩男、佐田登志夫、黒江和斗、江刺正喜
266) マイクロマシニングによる静電浮上モータ
[1999 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、3 月東京 (1999) 303]
村越尊雄、深津恵輔、江刺正喜
267) CWUV レーザ CVD による室温での導電パターン描画
[電気学会マイクロマシン研究会、MM-99-8, 3 月草津 (1999),11-14]
吉田和弘、南和幸、江刺正喜
268) Table 法を用いた GaAs 分子層エピタキシの横方向成長の観察
［第 46 回応用物理学関係連合講演会、29a-P-11、3 月千葉 (1999),359］
河野和史、倉林徹、江刺正喜、西澤潤一
269) 能動カテーテル
[第 37 回日本エム・イー学会大会、4 月仙台, OS2-2 (1999),28]
芳賀洋一、江刺正喜
270) ねじれ回転機構を持つた能動カテーテル
[第 37 回日本エム・イー学会大会、4 月仙台, 2E3-4 (1999),330]
131
芳賀洋一、江刺正喜
271) 能動カテーテルのための前方視リングアレイ超音波プローブの試作
[第 37 回日本エム・イー学会大会、4 月仙台, 2D1-5 (1999),302]
谷恵亮、西尾真博、芳賀洋一、江刺正喜
272) HIP により低温燒結した PZT 圧電セラミックスの特性
[粉体粉末冶金協会講演概要集平成 11 年度春季大会、6 月東京,3－34A（1999）
，170]
李敬鋒、王詩男、若林勝裕、江刺正喜、渡辺龍三
273) 地下弾性波検出のための光干渉型マイクロ加速度計の製作と特性評価
[物理探査学会第 100 回学術講演会論文集、6 月東京 (1999),119-123]
平田薫、新妻弘明、江刺正喜
274) Deep RIE によるガラスの微細加工の研究
[電気学会マイクロマシン研究会、MM-99-15, 9 月東京 (1999),11-15]
李興華、安部隆、江刺正喜
275) 水晶ドライエッチング(Deep RIE)によるワンチップマルチチャンネル QCM とマイクロ QCM の
製作
[電気学会化学センサシステム研究会、CS-99-38, 9 月東京 (1999),57‐62]
安部隆、江刺正喜
276) Microfabrication of 10nm Aperture on Si Cantilever for Near Field Optical Microscopy
[1999 年度精密工学会秋季大会講演論文集, 9 月仙台 (1999) p.348]
N.M.Phan, T.Ono and M.Esashi
277) 室温での導電性物質のレーザ支援 CVD
[1999 年度精密工学会秋季大会講演論文集, 9 月仙台 (1999) p.462]
吉田和弘、南和幸、江刺正喜
278) 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応燒結成形法の研究
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,MM‐99‐22 (1999) 1-6]
田中秀治、杉本真也、李敬鋒、江刺正喜、渡辺龍三
279) 電気めっきを用いた細径能動カテーテルの組み立て
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,MM‐99‐24 (1999) 13-18]
芳賀洋一、江刺正喜
280) 溝加工と電解メッキによる積層型圧電アクチュエータの試作
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,MM‐99‐25 (1999) 19-24]
鈴木学、江刺正喜
281) 細径能動カテーテルのための螺旋骨格薄肉チューブの開発
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,MM‐99‐31 (1999) 55-60]
芳賀洋一、江刺正喜
282) 生化学合成用静電マイクロポンプの開発
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,MM‐99‐32 (1999) 61-66]
H.G.Yu, D.Y.Sim, 江刺正喜
283) 電磁駆動型ねじれ振動子の走査型プローブ顕微鏡への応用
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,PS‐99‐9 (1999) 43-48]
李東原、小野崇人、江刺正喜
284) 3 脚音叉型 Si ジャイロ
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,PS‐99‐11 (1999)55-60]
阿部宗光、篠原英司、江刺正喜
285) カテーテル先端の位置･姿勢を検出する MI センサシステムの開発
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,PS‐99‐15 (1999) 77-82]
戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
132
286) 微量液体分析用ワンチップ水晶センサ(QCM)の製作
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,CS‐99‐47 (1999) 23-26]
安部隆、江刺正喜
287) Si モールドを用いた HIP プロセスによる PZT ミクロ構造体の作製
[日本金属学会秋期大会講演概要、S5･12、11 月金沢 (1999),108]
李敬鋒、王詩男、若林勝裕、江刺正喜、渡辺龍三
288) マイクロタービン内部流の数値解析
[日本航空宇宙学会第 31 期年会講演会、3/23-24 東京 (2000),246-249]
釜土敏裕、富樫史弥、中橋和博、加藤琢真、田中秀治、江刺正喜
289) 炭化珪素微細加工とマイクロガスタービンとに関する研究
[日本機械学会、IIP2000 情報・知能・精密機械部門講演会講演論文集、3／27－28 東京 (2000)
92－97]
田中秀治、中橋和博、江刺正喜、杉本真也、原基揚、釜土敏裕
290) 圧電膜を用いた振動ジャイロの駆動特性
[第 17 回強誘電体応用会議、5/24-27、京都 (2000) 199-200]
李成浩、鈴木学、江刺正喜、飯島高志
291) 反応性イオンエッチングを用いたバルク圧電セラミックスの加工と複合圧電体への応用
[第 17 回強誘電体応用会議、5/24-27、京都 (2000) 189-190]
若林勝裕、安部隆、李興華、王詩男、江刺正喜
292) 多機能能動カテーテル(第 2 報)
[第 39 回日本エム・イー学会大会、5/17-19、東京(2000),27]
芳賀洋一、江刺正喜
293) カテーテル先端位置・姿勢検出のための磁気ベクトルセンサシステム
[第 39 回日本エム・イー学会大会、5/17-19、東京(2000),29]
戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
294) 血管内前方視超音波イメージャのための集積化プローブの試作
[第 39 回日本エム・イー学会大会、5/17-19、東京(2000),107]
西尾真博、藤田匡佑、芳賀洋一、江刺正喜
295) 3-D Micropatterns Fabricated with Photoresist Spray and Projection Exposure Method
[第 17 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎 (2000),98]
Y.X.Liu, L.Z.Gu, M.Sasaki, K.Hane and M.Esashi
296) SMA Actuated Pin Display for Blind Aid
[第 17 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎 (2000),103]
W.Makishi, K.Iwami, Y.Maruyama, Y.Haga and M.Esashi
297) シリコンコンデンサマイクロフォンによる直接周波数変調を用いた FM ワイヤレスマイク
[第 17 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎 (2000),105]
藤原類、戸津健太郎、江刺正喜
298) 燒結炭化珪素の深堀り反応性イオンエッチングに関する研究
[第 17 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎 (2000),106]
田中秀治、江刺正喜
299) Application of Pyrex Glass Deep Reactive Ion Etching to Electrical Feedthrough
[第 17 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎 (2000),107]
133
X.H.Li, Y.X.Liu, T.Abe and M.Esashi
300) Preliminary Result on Fabrication of Coaxial Tip for High Throughput Scanning
Optical Probe
[第 17 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎 (2000),108]
Phan.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
301) Deep RIE による水晶マイクロマシニング技術
[第 17 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎 (2000),109]
安部隆、李興華、江刺正喜
302) ミクロ立方空洞からの熱放射の計測
[第 37 回日本伝熱シンポジウム講演論文集、5 月神戸 (2000), 595]
円山重直、柏隆之、江刺正喜
303) 極薄シリコン片持ち梁の機械的Ｑ値とその表面状態
[第６１回応用物理学会学術講演会、4p-H-3, 9 月札幌 (2000), 555］
小野崇人、ヤンジンリン、江刺正喜
304) 熱フィラメント化学気相成長法によるカーボンナノチューブの選択成長
[第６１回応用物理学会学術講演会、6a-ZB-6, 9 月札幌 (2000), 655］
宮下英俊、小野崇人、江刺正喜
305) Simulation of Micromachined NSOM Probe Using Finite-difference Time-domein Method
[第６１回応用物理学会学術講演会、3a-D-1, 9 月札幌 (2000), 895］
S.Tanaka, P.N.Minh, T.Ono, K.Okamoto and M.Esashi
306) Near-field Distribution at the Aperture of the Micromachined NSOM Probe
[第６１回応用物理学会学術講演会、3a-D-4, 9 月札幌 (2000), 896］
P.N.Minh, T.Ono, M.Esashi, T.Yatsui and M.Ohtsu
307) サイドエアバック用セーフィングセンサ
[電気学会フィジカルセンサ研究会、PHS-00-3, 9 月東京 (2000),11-15]
松永忠雄、江刺正喜
308) 多軸切削加工によるマイクロターボ機械の試作
[2000 年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集、10 月名古屋 (2000),137]
源田敬史、田中秀治、江刺正喜
309) カーボンナノチューブの選択成長とデバイスへの応用
[電子情報通信学会電子デバイス研究会、ED2000-204, 12 月東京 (2000),69-74]
宮下英俊、小野崇人、江刺正喜
310) カーボンナノチューブの選択成長と走査型プローブ顕微鏡探針製作
[電気学会フィジカルセンサ研究会、PHS-00-18, 12 月東京 (2000),9-14]
宮下英俊、小野崇人、江刺正喜
311) ２層構造薄膜抵抗体による痛覚温度閾値測定センサ
[電気学会フィジカルセンサ研究会、PHS-00-20, 12 月東京 (2000),21-26]
中村和浩、江刺正喜、水谷好成、山本光璋
312) 微細シリコンモールドを用いる炭化珪素反応燒結成形法の研究 (第２報)
[電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会、MSS-00-25, 12 月東京 (2000),75-80]
杉本真也、田中秀治、李敬鋒、渡辺龍三、江刺正喜
313) マイクロマシン技術を用いた LSI テスト用微細・プローブピンの開発
[平成 13 年電気学会全国大会、３月名古屋 (2001),1078]
蛸島武尚、奈良崎亘、和田晃一、北爪秀憲、本山慎一、柳永勛、江刺正喜、秦誠一、下河辺明
314) シリコンのマイクロ加工技術によるマイクロ熱電素子の試作
134
[日本金属学会春期大会講演概要、459、3 月千葉 (2001),233]
李敬鋒、渡辺龍三、鈴木拓明、杉本真也、山田高史、田中秀治、江刺正喜
315) B 拡散エッチストップ層の実測屈折率を用いた FTIR によるシリコンマイクロフォンの振動膜
厚測定
[第 18 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎, D2-8 (2001),60]
西口敏行、田島利文、近藤悟、千葉晋一、盛田章、安藤文彦、斎藤信雄、江刺正喜
316) マイクロマシンプロセスによる LSI 検査用コンタクタの基礎的検討
[第 18 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム講演概要集 (和文速報)、
5 月川崎, D2-11 (2001),63]
星野智久、李興華、江刺正喜
317) マイクロエアタービンの流路解析
[日本航空宇宙学会第 32 期年会講演会講演集、4 月東京, 2B‐6 (2001), pp.175-178]
釜土敏裕、加藤琢真、中橋和博、田中秀治、江刺正喜
318) 触媒燃焼を利用する小形熱電発電機
[日本機械学会 2001 年度年次大会講演論文集(Ⅳ)、8／27－30 福井 (2001), 269－270]
田中秀治、平山大典、長谷川智宏、源田敬史、江刺正喜
319) 電界制御によるカーボンナノチューブの選択成長
[第６２回応用物理学会学術講演会、11a-ZT-2, 9 月 11-14 名古屋 (2001), 407］
宮下英俊、小野崇人、江刺正喜
320) シリコンモールディング法によるビスマス・テルル系熱電マイクロ素子の製作
[日本金属学会秋期大会講演概要、9 月 (2001),356]
李敬鋒、渡辺龍三、鈴木拓明、杉本真也、田中秀治、江刺正喜
321) バイメタルスイッチ
[2001 年電子通信情報学会エレクトロニクスソサイエティ大会,TC-1-3, 9/18 調布(2001) p304]
柳永勛、江刺正喜
322) シリコンマイクロホンの試作と音響特性評価
[日本音響学会講演論文集、3-6-5、10/4 大分 (2001), 641]
西口敏行、田島利文、近藤悟、斎藤信夫、千葉晋一、盛田章、江刺正喜
323) コンデンサ型シリコンマイクロホンの機械特性
[電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会、MSS-01-34, 11 月横浜 (2001),95-98]
田島利文、西口敏行、近藤悟、斎藤信夫、千葉晋一、盛田章、江刺正喜
324) 能動カテーテルの組立と制御
[第 35 回日本エム・イー学会東北支部大会、B-16,11/17、岩手 (2001), p.50]
牧志渉、松本淳、戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
325) 渦巻き形状薄膜抵抗体を用いた熱刺激素子中心部温度の推定法
[第 35 回日本エム・イー学会東北支部大会、B-17,11/17、岩手 (2001), p.51]
中村和浩、水谷好成、吉田賢一、山本光璋、江刺正喜、工藤治夫
326) マイクロマシーニング技術と Power MEMS
[日本機械学会第 10 回スペース・エンジニアリング・コンファレンス講演論文集、東京
(2002/01/18),pp.19-24]
田中秀治、江刺正喜
327) Reaction Sintering Microfabrication of Silicon Nitride Ceramics
[第 40 回セラミックス基礎科学討論会講演要旨集、1/22-23、大阪 (2002)､ pp.256-257]
J.F.Li, R.Watanabe, S.Sugimoto, S.Tanaka and M.Esashi
328) 非平面フォトリソグラフィによる形状記憶合金パイプからのアクチュエータ作製
[平成 14 年電気学会全国大会、３月東京 (2002),205]
135
峯田貴、芳賀洋一、江刺正喜
329) Silicon Micro-Fuel Cells
[日本機械学会 IIP2002 情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集、３月東京 (2002),153]
K.B.Min, S.Tanaka and M.Esashi
330) 肢体不自由者のための加速度センサを用いたスイッチ回路の試作
[人と福祉を支える技術フォーラム、3/2 東京、(2002) B5]
中村和浩、栗原悠、武永朋哉、戸津健太郎、江刺正喜
331) Preliminary result on growing an individual carbon nanotube on nano-Si-tip for electron
field emission device
[第 19 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、5/30-31
京都 (2002),63]
LeT.T.Tuyen, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
332) 螺旋溝リンクを用いた能動カテーテル
[第１９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、5/30-31
京都 (2002),66]
芳賀洋一、若松洋宇、江刺正喜
333) 終点可能な銅のスルーホールめっき技術の開発
[第１９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、5/30-31
京都 (2002),68]
李興華、安部隆、江刺正喜
334) 超小形ガスタービン発電機の研究プロジェクト
[日本機械学会第８回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集(新世紀の動力・エネルギ
ー技術 2002)、6/18-19, (2002) pp.507-512]
田中秀治、磯村浩介、源田敬史、原基揚、村山元英、高橋克昌、加藤琢真、釜土敏裕、
中橋和博、杉本真也、李敬鋒、渡辺龍三、山田高史、山口広、伊地知伸彰、江刺正喜
335) ３次元形状マイクロマシン・ガスタービンの要素開発
[日本機械学会第８回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集(新世紀の動力・エネルギ
ー技術 2002)、6/18-19, (2002) pp.513-518]
磯村浩介、田中秀治、村山元英、源田敬史、原基揚、高橋克昌、江刺正喜、志賀修、山口広、
伊地知伸彰、朝倉拓、佐治脩好
336) マイクロ固体ロケットアレイスラスタの開発研究
[日本機械学会 2002 年度年次大会講演論文集, 9/25-27 東京 (2002) pp.337-338]
徳留真一郎、細川隆一郎、田中秀治、堀恵一、斎藤宏文、渡辺将史、江刺正喜
337) 携帯機器用燃料電池－ボロンハライドを用いた水素供給と小形セルの試作－
[日本機械学会 2002 年度年次大会講演論文集, 9/25-27 東京 (2002) pp.337-338]
田中秀治、東谷旦、杉江京、江刺正喜
338) Aluminum Nitride Thin Film 2GHz Resonator Using Germanium Sacrificial Layer Etching
[第 28 回マイクロ･ナノマシニングセミナー「RFMEMS の現状と将来」、11/22 仙台 (2002)
pp.19-22」]
M.Hara, J.Kuypers, T.Abe and M.Esashi
339) 重力加速度センサと地磁気センサを用いた人体の姿勢計測
[第 36 回日本エム・イー学会東北支部大会，11/30 仙台 (2002) p.23]
戸津健太郎、W.Menz, T.Mergner、江刺正喜
340) 二次元触覚ディスプレイの開発
[第 36 回日本エム・イー学会東北支部大会，11/30 仙台 (2002) p.33]
牧志渉、芳賀洋一、岩見健太郎、江刺正喜
341) 流体吸引型能動マイクロカテーテル
136
[第 36 回日本エム・イー学会東北支部大会，11/30 仙台 (2002) p.34]
六鎗雄太、芳賀洋一、峯田貴、江刺正喜
342) オンチップ型 2 GHz AlN 薄膜共振子の試作
[圧電材料・デバイスシンポジウム，2/27 仙台 (2003) pp.43-46]
原基揚、ヤンコイパス、安部隆、江刺正喜
343) Power MEMS
[第 17 回エレクトロニクス実装学会学術講演大会, 3/14 東京 (2003) pp.297-298]
田中秀治、江刺正喜
344) 血管内低侵襲医療のためのマイクロマシニング技術
[日本機械学会東北支部第 38 期総会・講演会, 3/15 仙台 (2003) pp.28-29]
芳賀洋一、峯田貴、戸津健太郎、江刺正喜
345) 形状記憶合金コイルと磁気ラッチを用いた光スイッチの開発
[2003 年電子情報通信学会総合大会, 3/19-22 仙台 (2003) p.615]
Md.ﾓｲﾇﾙ･ｲｽﾗﾑ･ﾌﾞｲﾔﾝ、芳賀洋一、牧志渉、江刺正喜
346) 白色光のスペクトル変調を用いた極細径光ファイバ圧力センサ
[第 42 回日本エム・イー学会大会論文集、生体医工学,41 巻特別号 6/3-5 札幌 (2003) p.242]
戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
347) 流体吸引型能動マイクロカテーテル及びガイドワイヤー
[第 42 回日本エム・イー学会大会論文集、生体医工学,41 巻特別号 6/3-5 札幌 (2003) p.246]
六鎗雄太、芳賀洋一、峯田貴、江刺正喜
348) SMA アクチュエータを用いた能動屈曲型イレウスチューブの開発
[第 42 回日本エム・イー学会大会論文集、生体医工学,41 巻特別号 6/3-5 札幌 (2003) p.247]
水島昌徳、戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
349) 解離性大動脈瘤エントリー部閉鎖プラグを用いた血管内治療
[第 42 回日本エム・イー学会大会論文集、生体医工学,41 巻特別号 6/3-5 札幌 (2003) p.250]
前田真法、芳賀洋一、永谷公一、赤坂純逸、田林晄一、江刺正喜
350) 二次元触覚ディスプレイの開発
[第 42 回日本エム・イー学会大会論文集、生体医工学,41 巻特別号 6/3-5 札幌 (2003) p.333]
牧志渉、芳賀洋一、中村和浩、岩見健太郎、江刺正喜
351) 人工的心筋補助装置の開発と基礎特性
[第 42 回日本エム・イー学会大会論文集、生体医工学,41 巻特別号 6/3-5 札幌 (2003) p.358]
白石泰之、岡本英治、山家智之、南家俊介、西條芳文、仁田新一、青木秀宣、斎藤勇二、
吉田敬、八木高伸、長嶋義昭、川合潤子、末弘淳一、梅津光生、小川大祐、田中明、吉沢誠、
佐藤文博、羅雲、圓山重直、芳賀洋一、江刺正喜、早瀬敏幸、田林晄一
352) レーザーブレークダウンを用いた血管内前方視超音波イメージング
[第 42 回日本エム・イー学会大会論文集、生体医工学,41 巻特別号 6/3-5 札幌 (2003) p.471]
陳俊傑、芳賀洋一、大城理、杉浦忠男、千原國宏、江刺正喜
353) Fabrication of Trench-refilled Thick Silicon Dioxide for Thermal Isolation by
Water-immersion Contact Exposure
[第 20 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、7/23-24
東京 (2003),52]
K.S.Chang, S.Tanaka and M.Esashi
354) Fabrication od Si Probe Array for AFM Parallel Operation
[第 20 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、7/23-24
東京 (2003),53]
Y.Ahn, T.Ono and M.Esashi
355) Microfabrication of Plano-convex QCM and the Resonant Characteristics in Viscoelastic
137
Liquids
[第 20 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、7/23-24
東京 (2003),57]
L.Li, T.Abe and M.Esashi
356) 3 次元形状マイクロマシン・ターボチャージャの研究開発
[日本機械学会 2003 年度年次大会講演論文集, 8/5-8 徳島 (2003) pp.313-314]
磯村浩介、田中秀治、十合晋一、江刺正喜、佐治脩好、朝倉拓、志賀修
357) MEMS 技術を用いたマイクロターボ機械
[日本機械学会 2003 年度年次大会講演論文集, 8/5-8 徳島 (2003) pp.313-314]
カンピルチュン、田中秀治、江刺正喜
358) 超小型・高性能シリコンマイクロフォンの開発
[2003 年映像情報メディア学会年次大会、8/27-28 東京 (2003) 12-8]
田島利文、西口敏行、斎藤信雄、千葉晋一、盛田章、阿部正英、江刺正喜
359) 血管内前方視観察超音波プローブの開発
[日本機械学会第 14 回バイオフロンティア講演会講演論文集、9/18-19 蔵王 (2003) 113-114]
陳俊傑、芳賀洋一、赤堀寛昌、江刺正喜
360) 極細径光ファイバ血圧センサの開発
[日本機械学会第 14 回バイオフロンティア講演会講演論文集、9/18-19 蔵王 (2003) 115-116]
戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
361) 体腔内治療用２次元マイクロスキャナーの開発
[日本機械学会第 14 回バイオフロンティア講演会講演論文集、9/18-19 蔵王 (2003) 117-118]
赤堀寛昌、芳賀洋一、菊地直樹、江刺正喜、和田仁
362) 動物用小型 RF コイルの試作
[第 31 回日本磁気共鳴医学会大会講演抄録集、9 月山梨 (2003) 197]
中村和浩、J.Kershaw, D.Wright, 若井篤志、近藤靖、江刺正喜、菅野巌
363) 携帯用パワー源のためのマイクロリアクタ
[日本機械学会熱工学コンファレンス 2003 講演論文集、11/15-16 金沢 (2003) 453-454]
田中秀治、張貴松、佐藤大祐、吉田和司、江刺正喜
364) 形状記憶合金を用いた腸閉塞治療用能動屈曲チューブ
[第 12 回日本コンピュータ外科学会、12/13-14 名古屋 (2003) 109-110]
水島昌徳、芳賀洋一、戸津健太郎、江刺正喜
365) 形状記憶合金コイルと磁気ラッチを用いた視覚障害者用２次元触覚デイスプレイの開発
[日本機械学会第 16 回バイオエンジニアリング講演会論文集、1/22-23 北九州 (2004) 91-92]
松永忠雄、水島昌徳、戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
366) 圧電駆動マイクロ２次元スキャナーを用いた体腔内レーザー治療用デバイスの開発
[日本機械学会第 16 回バイオエンジニアリング講演会論文集、1/22-23 北九州 (2004)
115-116]
赤堀寛昌、芳賀洋一、江刺正喜、和田仁
367) ドライエッチングを用いたバイコンベックス型水晶振動子マイクロバランスの製作
[平成 16 年電気学会全国大会論文集、3/17-19 相模原 (2004) 3-211]
安部隆、李麗、江刺正喜
368) 3 軸 MI センサを用いた血管・体腔内検査治療ツール用３次元ナビゲーションシステム
[第 43 回日本 ME 学会大会論文集、生体医工学, 42 特別号, 5/19-21 金沢 (2004) 262]
戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
369) 高密度２次元触覚ディスプレイの開発
[第 43 回日本 ME 学会大会論文集、生体医工学, 42 特別号, 5/19-21 金沢 (2004) 290]
松永忠雄、芳賀洋一、水島昌徳、戸津健太郎、江刺正喜
138
370) 圧電駆動による体腔内レーザー治療用２次元マイクロスキャナー
[第 43 回日本 ME 学会大会論文集、生体医工学, 42 特別号, 5/19-21 金沢 (2004) 322]
赤堀寛昌、芳賀洋一、戸津健太郎、江刺正喜、和田仁
371) フェムト秒レーザーを用いた形状記憶合金の 3 次元微細加工と医療ツールへの応用
[第 43 回日本 ME 学会大会論文集、生体医工学, 42 特別号, 5/19-21 金沢 (2004) 323]
芳賀洋一、六鎗雄太、水島昌徳、江刺正喜
372) 白色光のスペクトル変調を用いた極細径光ファイバ圧力センサ(第 2 報)
[第 43 回日本 ME 学会大会論文集、生体医工学, 42 特別号, 5/19-21 金沢 (2004) 366]
戸津健太郎、ミンマングルイン、芳賀洋一、江刺正喜
373) 血管内前方視イメージングのための低指向性リングアレイ超音波プローブの開発
[第 43 回日本 ME 学会大会論文集、生体医工学, 42 特別号, 5/19-21 金沢 (2004) 582]
陳俊傑、芳賀洋一、江刺正喜
374) 錘と貫通孔を有した能動屈曲イレウスチューブの開発
[第 43 回日本 ME 学会大会論文集、生体医工学, 42 特別号, 5/19-21 金沢 (2004) 684]
水島昌徳、芳賀洋一、戸津健太郎、江刺正喜
375) Local Formation of Macroporous Silicon Through a Mask
[電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-04-17, 5/12-13 埼玉 (2004) 5-9]
Y.Tao and M.Esashi
376) Optimization of the Piezoresistive AFM Cantilever Design for Using at Cryogenic
Temperature
[電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-04-18, 5/12-13 埼玉 (2004) 11-16]
S.S.Lee, Y.Miyatake, I.Shiraki, K.Miki, T.Ono and M.Esashi
377) 近接場光増強のための表面プラズモングリッドの作製
[電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-04-19, 5/12-13 埼玉 (2004) 17-21]
河野高博、小野崇人、岩見健太郎、後藤顕也、江刺正喜
378) 静電駆動アクチュエータを用いた多チャンネル可変光減衰器の開発
[電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会, MSS-04-32, 5/12-13 埼玉 (2004) 91-94]
渡辺信一郎、堀尾浩司、牟田健一、江刺正喜
379) 小形パワー源に空気を取り入れる
[日本機械学会第 9 回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集、6/22-23 東京 (2004)
39-42]
田中秀治、カンピルチュン、源田敬史、佐藤大祐、江刺正喜
380) 超小形超高速空気軸受の開発とμマシンターボチャージャへの適用
[日本機械学会第 9 回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集、6/22-23 東京 (2004)
55-58]
磯村浩介、十合晋一、田中秀治、江刺正喜
381) マスクレス露光装置を用いたグレースケールリソグラフィ
[第 21 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、10/14-15
京都 (2004) 78]
戸津健太郎、東谷旦、江刺正喜
382) 走査型プローブ顕微鏡を用いた導電性ポリマーの可逆的導電性修飾
[応用物理学会東北支部大会、12/10 仙台 (2004) 158]
吉田慎哉、小野崇人、大井秀一、江刺正喜
383) 高速伝送対応の Si 貫通配線構造
[第 19 回エレクトロニクス実装学会学術講演大会、千葉 (2005,3,16-18) 117-118]
住川雅人、江刺正喜
384) マスクレス露光装置を用いたグレースケールフォトマスクパターンの作製
139
[平成 17 年電気学会全国大会、徳島 (2005) 201]
戸津健太郎、藤代健太、田中秀治、江刺正喜
385) Design and Fabrication of Gradient Coils for Micro-MRI
[平成 17 年電気学会全国大会、徳島 (2005) 211-212]
Yonggang Jiang、小野崇人、江刺正喜
386) 半導体マイクロマシニングで製作したプラノ-コンベックス型水晶振動子の振動特性評価
[平成 17 年電気学会全国大会、徳島 (2005) 214]
坂田英治、江刺正喜、西澤松彦、安部隆
387) センサ応用のための矩形水晶振動子の超小型化
[平成 17 年電気学会全国大会、徳島 (2005) 221]
安部隆、李興華、島本尚典、西澤松彦、江刺正喜
388) 光導波路を用いた能動カテーテル用屈曲センサの開発
[電気学会準部門総合研究会 PHS-05-11、京都 (2005) 45-48]
東谷旦、戸津健太郎、芳賀洋一、江刺正喜
389) 体内レーザー治療のための圧電駆動２次元マイクロスキャナーの開発
[第 44 回日本生体医工学会大会, 生体医工学,43 巻特別号 4/25-27 筑波 (2005) 176]
赤堀寛昌、芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜、和田仁
390) 超厚膜フォトレジストを用いたマイクロインペラの製作と小形空気ポンプへの応用
[日本機械学会第 10 回動力･エネルギー技術シンポジウム講演論文集、長崎 (2005) 23-26]
本田那央、カンピルチュン、田中秀治、江刺正喜
391) マイクロ燃焼器に空気を供給するための MEMS エゼクタ－実験結果と CFD シミュレーション
との比較－
[日本機械学会 2005 年度年次大会講演論文集、調布 (2005) 251-252]
佐藤大祐、江刺正喜、田中秀治
392) MEMS タービンのための静圧空気軸受
[日本機械学会 2005 年度年次大会講演論文集、調布 (2005) 255-256]
三浦悠一、カンピルチュン、江刺正喜、田中秀治
393) 局所ソノダイナミック治療用集束超音波プローブの開発
[電気学会フィジカルセンサ研究会、PHS-05-21 (2005) 43-47]
芳賀洋一、安居晃啓、陳俊傑、井関洋、江刺正喜、和田仁
394) Flat Panel Display 用 Membrane SW Array の研究開発
[第 22 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、10/20-21
東京 (2005) 76]
泉田和夫、江刺正喜
395) 形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡
[第 14 回日本コンピュータ外科学会大会, 東京 (2005 年 11 月 19 日) 59-60]
牧志渉，松永忠雄，江刺正喜，芳賀洋一
396) MEMS Resonators: Getting the Packaging Right
[第 9 回 SEMI マイクロシステム/MEMS セミナー, 幕張, (200 年 12 月 7 日) pp.55-58 (2005)]
A.Partridge, M.Lutz, B.Kim, M.Hopcroft, R.N.Candler, T.W.Kenny, K.Petersen and M.Esashi
397) 水晶振動子アレイを用いた温度変動下での高感度センシング
[平成 18 年電気学会全国大会、東京 (2006) 216]
坂田英治、江刺正喜、西澤松彦、安部隆
398) Piezoelectric Resonator for Intravascular Ultrasonic Elastography
[電気学会バイオ・マイクロシステム研究会(センサ・マイクロマシン準部門総合研究会)、
BMS-06-14 (2006) 63-67]
M.Whitson, S.Omata, Y.Murayama, T.Matsunaga, K.Totsu, M.Esashi and Y.Haga
140
399) 物理量計測:極細径光ファイバ圧センサ
[第 45 回日本生体医工学会大会論文集、生体医工学, 44 特別号, 5/15-17 福岡 (2006) 183]
戸津健太郎、芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
400) 高機能細径医療ツールのためのチューブ上への多層配線と表面実装
[第 45 回日本生体医工学会大会論文集、生体医工学, 44 特別号, 5/15-17 福岡 (2006) 385]
五島彰二、松永忠雄、陳俊傑、牧志渉、江刺正喜、芳賀洋一
401) 小型収束超音波トランスデューサを用いた内視鏡的超音波治療デバイス
[第 45 回日本生体医工学会大会論文集、生体医工学, 44 特別号, 5/15-17 福岡 (2006) 530]
安居晃啓、芳賀洋一、陳俊傑、井関洋、江刺正喜、和田仁
402) MEMS 静圧軸受の高性能化
[日本機械学会第 11 回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集、東京 (2006) 141-144]
カン･ピルチュン、江刺正喜、田中秀治
403) 携帯型燃料電池用マイクロターボポンプ
[日本機械学会第 11 回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集、東京 (2006) 161-162]
中島純之、カン･ピルチュン、本田那央、江刺正喜、田中秀治
404) 極細径光ファイバ超音波受信プローブ
[生体医工学シンポジウム 2006、9/23-24 新潟 (2006) 133-137]
石川真矢、戸津健太郎、中野琢磨、芳賀洋一、江刺正喜
405) 内視鏡的治療用収束超音波プローブの開発
[第 40 回日本生体医工学会東北支部大会、仙台 (2006) 17]
安居晃啓、芳賀洋一、陳俊傑、井関洋、江刺正喜、和田仁
406) 光ファイバ超音波送受信プローブの作製
[第 46 回日本生体医工学会大会, 生体医工学, 45 特別号, 4/25-27 仙台 (2007) 198]
石川真矢、戸津健太郎、中野琢磨、芳賀洋一、江刺正喜
407) リングアレイ超音波振動子を用いた血管内前方視超音波イメージングシステム
[第 46 回日本生体医工学会大会, 生体医工学, 45 特別号, 4/25-27 仙台 (2007) 201]
陳俊傑、賀集亮太、江刺正喜、芳賀洋一
408) 円筒面フォトリソグラフィーを用いた管腔内・血管内 MRI プローブの開発
[第 46 回日本生体医工学会大会, 生体医工学, 45 特別号, 4/25-27 仙台 (2007) 266]
五島彰二, 松永忠雄, 江刺正喜, 芳賀洋一, 松岡雄一郎, 黒田輝
409) 温度特性の向上を目指した極細径光ファイバ圧力センサの開発
[第 46 回日本生体医工学会大会, 生体医工学, 45 特別号, 4/25-27 仙台 (2007) 268]
中村慎吾、松永忠雄、牧志渉、戸津健太郎、江刺正喜、芳賀洋一
410) 変位センサを備えた形状記憶合金リニアアクチュエータの開発
[第 46 回日本生体医工学会大会, 生体医工学, 45 特別号, 4/25-27 仙台 (2007) 278]
松永忠雄、桜井正博、牧志渉、江刺正喜、芳賀洋一
411) 形状記憶合金を用いた細く柔らかい能動屈曲電子内視鏡
[第 46 回日本生体医工学会大会, 生体医工学, 45 特別号, 4/25-27 仙台 (2007) 285]
牧志渉、松永忠雄、竜新栄、江刺正喜、芳賀洋一
412) 血管内前方視超音波イメージングプローブの開発
[電気学会バイオ・マイクロシステム研究会(センサ・マイクロマシン部門総合研究会)、
BMS-07-23, 7/2-3 つくば (2007) 73-76]
陳俊傑、江刺正喜、芳賀洋一
413) 陽極化成と p++エッチストップとを利用したシリコン深堀ウェットエッチング
[電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会(センサ・マイクロマシン部門総合研究会)、
MSS-07-4, 7/2-3 つくば (2007) 15-18]
大野武雄、田中秀治、江刺正喜
141
414) 積層MEMSのための超短パルスレーザー支援低ストレスダイシング技術の開発
[第68回応用物理学会学術講演会、5p-Y-14、9/5 北海道工業大学 (2007)
井澤友策，鶴見洋輔，菊池秀幸，末田敬一，中田芳樹，江刺正喜，宮永憲明，田中秀治，藤田
雅之
415) 圧電単結晶を用いた血管内前方視超音波内視鏡の開発
[第 41 回日本生体医工学会東北支部大会、12/1 秋田 (2007) 26]
賀集亮太、陳俊傑、松永忠雄、江刺正喜、芳賀洋一
416) 電磁駆動細径内視鏡の開発
[第 41 回日本生体医工学会東北支部大会、12/1 秋田 (2007) 27]
日野龍之介、五島彰二、松永忠雄、牧志渉、江刺正喜、芳賀洋一
417) Futher Developments in MEMS Oscillator Mass Production,
[SEMI テクノロジーシンポジウム(STS)2007, マイクロシステム/MEMS, 幕張, (2007-Dec.5)
S.Sakurai, A.Partridge and M.Esashi
418) 力センシングのための水晶振動子マイクロセンサ
[電気学会フィジカルセンサ研究会, PHS-07-35, 12/7 仙台 (2007) 1-5]
高橋彰宏、小野崇人、江刺正喜
419) カーボンナノチューブ熱電発電素子の作製
[電気学会フィジカルセンサ研究会, PHS-07-36, 12/7 仙台 (2007) 7-11]
倉橋宏明、小野崇人、江刺正喜
420) 積層 MEMS のためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
[レーザー学会第 369 回研究会, RTM-07-53、12/17 徳島大学工業会館 (2007)]
鶴見洋輔、井澤友策、菊池秀幸、末田敬一、中田芳樹、江刺正喜、宮永憲明、田中秀治、藤
田雅之
421) 積層 MEMS のためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
[レーザー学会第 28 回年次大会, 1aVI-3、2/1 名古屋国際会議場 (2008)]
鶴見洋輔，井澤友策，菊池秀幸，田中秀治，末田敬一，中田芳樹，江刺正喜，宮永憲明，藤
田雅之
422) 積層 MEMS のためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発（招
待講演）
[電気学会光・量子デバイス研究会, OQD-08-17、3/7 産総研四国センター (2008)]
藤田雅之、井澤友策，鶴見洋輔、菊地秀幸，末田敬一，中田芳樹、江刺正喜，宮永憲明、田
中秀治
423) 積層 MEMS のためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
[平成 20 年電気学会全国大会、シンポジウム S-26(鉄道の安全とセンサ技術)、福岡 (2008 年 3
月 21 日) 3-003]
藤田雅之、伊澤友策、鶴見洋輔、福士秀幸、末田敬一、中田芳樹、江刺正喜、宮永憲明、田
中秀治、本越伸二、佐伯拓、ハイクコスロービアン、谷口誠治、今崎一夫、山中千代衛
424) 積層 MEMS のための高繰り返し短パルスレーザー支援低ストレス高速ダイシング技術の開発
[第 55 回応用物理学関係連合講演会、船橋 (2008 年 3 月 29 日) 29p-NB-14]
井澤友策、鶴見洋輔、福士秀幸、末田敬一、中田芳樹、江刺正喜、宮永憲明、田中秀治、藤
田雅之
425) 単一ファイバの電磁的振動による光走査型細径内視鏡
[第 47 回日本生体医工学会大会、神戸 (2008 年 5 月 8 日) 184]
日野龍之介、牧志渉、五島彰二、松永忠雄、江刺正喜、芳賀洋一
426) 形状記憶合金コイルによる屈曲機能を備えたディスポーザブル内視鏡
[第 47 回日本生体医工学会大会、神戸 (2008 年 5 月 10 日) 293]
牧志渉、松永忠雄、竜新栄、江刺正喜、芳賀洋一
142
427) 非平面フォトファブリケーションを用いた血管内 MRI プローブ
[第 47 回日本生体医工学会大会、神戸 (2008 年 5 月 10 日) 311]
五島彰二、全威、松永忠雄、松岡雄一郎、黒田輝、江刺正喜、芳賀洋一
428) 圧電単結晶を用いた 24 素子血管内前方視超音波内視鏡
[第 47 回日本生体医工学会大会、神戸 (2008 年 5 月 10 日) 322]
賀集亮太、陳俊傑、松永忠雄、江刺正喜、芳賀洋一
429) カーボンナノチューブ複合材料マイクロアクチュエータ
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,PHS‐08-10 (2008 年 6 月 12 日) 15-18]
小田直樹、小野崇人、江刺正喜
430) イオンビームスパッタ法を用いた PZT 圧電薄膜
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,PHS‐08-16 (2008 年 6 月 12 日) 43-47]
関博紀、川合祐輔、小野崇人、江刺正喜
431) Synchronized Mechanical Elements for Resonance Sensing Application
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,PHS‐08-20 (2008 年 6 月 12 日) 63-66]
J.Feng, T.Ono and M.Esashi
432) 非平面フォトファブリケーションによるカテーテル搭載型血管内 MRI プローブの開発
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,BMS‐08-6 (2008 年 6 月 12 日) 1-6]
全威、五島彰二、松永忠雄、江刺正喜、芳賀洋一、松岡雄一郎、黒田輝
433) 非平面微細加工を用いた細径能動屈曲電子内視鏡の作製
[電気学会ｾﾝｻ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ部門総合研究会資料,BMS‐08-7 (2008 年 6 月 12 日) 7-11]
牧志渉、竜新栄、江刺正喜、松永忠雄、芳賀洋一
434) 中低温動作マイクロSOFCのためのGd添加CeO 2 の堆積と微細加工
[日本機械学会第 13 回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集、札幌 (2008) 431-432]
高橋智一、井口史匡、湯上浩雄、江刺正喜、田中秀治
435) 原子状水素による SU8 フォトレジストアッシング
[第 25 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、沖縄 (2008
年 10 月 23 日) 120]
熊野勝文、江刺正喜
436) ポリマー基材によるメンブレンスイッチアレーの MEMS ディスプレイへの応用開発
[第 25 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、レートニュース、沖縄 (2008
年 10 月 23 日) 121]
泉田和夫、江刺正喜
437) LSI への単結晶シリコン貼り付けによる RF MEMS スイッチの作製法
[応用物理学会第 2 回集積化 MEMS 技術研究会、東京 (2008 年 11 月 21 日)]
中村慎吾、江刺正喜、田中秀治
438) マイクロナノ機械振動子における非線形特性の形状依存性
[応用物理学会東北支部、第 63 回学術講演会講演予稿集、仙台 (2008 年 12 月 4-5 日) 201-202]
吉田祐介、小野崇人、江刺正喜
439) ドレナージカテーテル搭載型脊髄虚血モニタリング用超音波センサ
[第 42 回日本生体医工学会東北支部大会講演論文集、仙台 (2008 年 12 月 12 日) 32]
柳田秀彰、松永忠雄、齋木佳克、長井裕、本吉直孝、高橋吾朗、佐藤敦彦、江刺正喜、芳賀洋
一
430) Developed Intraluminal MRI Probe with Multilayer Receive Coil for High Imaging
Performance
[第 42 回日本生体医工学会東北支部大会講演論文集、仙台 (2008 年 12 月 12 日) 33]
W.Quan, T.Matsunaga, Y.Matsuoka, K.Kuroda, M.Esashi and Y.Hag
441) 積層 MEMS のためのパルスレーザー支援デブリスフリー低ストレスダイシング技術の開発
143
[レーザー学会学術講演会第 29 回年次大会、徳島 (2009 年 1 月 10-12 日) 100]
鶴見洋輔、田中秀治、福士秀幸、江刺正喜、宮永憲明、藤田雅之
442) AuSn 共晶半田接合によって真空封止された SiC ダイアフラムを有する耐食性真空センサの設
計と製作
[Mate2009「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム, 横浜 (2009 年
1 月 29-30 日) 263-266]
本城谷豊、江刺正喜、田中秀治
443) 積層 MEMS のためのパルスレーザー支援低ストレスダイシング技術の開発
[Mate2009「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム、横浜 (2009 年
1 月 29-30 日) 319-323]
井澤友策、鶴見洋輔、田中秀治、福士秀幸、末田敬一、中田芳樹、江刺正喜、宮永憲明、藤田
雅之
444) LSI への単結晶シリコン貼り付けによる窒化アルミニウム BAW デバイスの作製法
[圧電材料・デバイスシンポジウム 2009, 仙台 (2009 年 2 月 3 日) 59-62]
松村武、江刺正喜、原田博司、加藤修三、田中秀治
445) 多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
[センシング技術応用研究会第 165 回研究例会、大阪 (2009 年 3 月 16 日)]
藤田雅之、井澤友策、鶴見洋輔、宮永憲明、福士秀幸、田中秀治、江刺正喜
446) 陽極接合できる多層貫通配線 LTCC 基板による気密封止
[第 23 回エレクトロニクス実装学会講演大会、横浜 (2009 年 3 月 11-13 日) 51-52]
毛利護、岡田厚志、福士秀幸、田中秀治、江刺正喜
447) LSI への単結晶シリコン貼付け技術を用いたマルチバンド BAW フィルタの作製法
[2009 年電子情報通信学会総合大会、愛媛 (2009 年 3 月 17 日-20 日) 61]
松村武、江刺正喜、原田博司、加藤修三、田中秀治
448) 積層 MEMS のためのパルスレーザ支援デブリフリー低ストレスダイシング技術開発-2
[平成 21 年電気学会全国大会、札幌 (2009 年 3 月 19 日) E318-C2/3-023]
藤田雅之、井澤友策、鶴見洋輔、福士秀幸、末田敬一、中田芳樹、江刺正喜、宮永憲明、田中秀
治、本越伸二、佐伯拓、ハイクコスロービアン、谷口誠治、今崎一夫、山中千代衛
449) 並列電子源のためのアインツェルレンズアレイの作製
[第 56 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、1a-X-24、つくば (2009 年 3 月 30 日) 755]
友納栄一、宮下英俊、小野崇人、江刺正喜
450) 単一ファイバ電磁振動を用いた細径高解像度内視鏡
[第 48 回日本生体医工学会大会、東京 (2009 年 4 月 23 日) 115]
松永忠雄、日野龍之介、牧志渉、江刺正喜、芳賀洋一
451) Development of Multilayer Coil for Catheter-mounting Intraluminal MRI Probe
[第 48 回日本生体医工学会大会、東京 (2009 年 4 月 23 日) 117]
W.Quan, T.Matsunaga, Y.Matsuoka, K.Kuroda, M.Esashi and Y.Haga
452) 脊椎虚血モニタリングのためのドレナージカテーテル搭載型超音波センサ
[第 48 回日本生体医工学会大会、東京 (2009 年 4 月 24 日) 438]
柳田秀彰、松永忠雄、齋木佳克、長井裕、本吉直孝、高橋悟朗、佐藤敦彦、江刺正喜、芳賀洋一
453) 超小形ガスタービン発電機のためのテープ型ラジアルフォイル軸受
[日本機械学会第 14 回動力・エネルギー技術シンポジウム講演論文集、つくば (2009 年 6 月 30
日) 153-156]
引地光介、十合晋一、磯村浩介、佐治侑好、江刺正喜、田中秀治
454) 電子線集束レンズを集積化した並列電子源の作製
[第 70 回応用物理学会学術講演会、富山 (2009 年 9 月 10 日) p.664 (10o-ZM-3)]
友納栄一、宮下英俊、川合祐輔、小野崇人、江刺正喜
144
455) アルカリウェットエッチング用レジストの評価と応用
[第 26 回
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2009-Oct.15-16) P-1-6,
159-163] Poster
高橋智一、巻幡光俊、江刺正喜、田中秀治
456) ECR プラズマを用いてスパッタ堆積した AlN 薄膜の応力制御
[第 26 回
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2009-Oct.15-16) P-1-9,
173-176] Poster
日野龍之介、松村武、江刺正喜、田中秀治
457) 燃料電池用 MEMS 水素センサのための受動的水滴除去構造
[第 26 回
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2009-Oct.15-16) P-5-1,
352-355] Poster
加納正挙、石居真、吉永春生、江刺正喜、田中秀治
458) 体内管腔撮像用多層コイル型 MRI プローブの開発
[第 26 回
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2009-Oct.15-16) P-6-10,
449-453]
市村想生、全威、松永忠雄、江刺正喜、芳賀洋一、松岡雄一郎、黒田輝
459) Debris-Free Laser-Assisted Low-Stress Dicing for Multi-Layered MEMS
[第 26 回
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2009-Oct.15-16) B-3-4,
549-553]
M.Fujita, Y.Izawa, Y.Tsurumi, K.Sueda, Y.Nakata, N.Miyanaga, S.Tanaka, H.Fukushi and
M.Esashi
460) Fabrication of Rotary Comb Drive Actuator for Wishbone Interferometer
[第 26 回
「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2009-Oct.15-16) C-3-5,
618-621]
Y.-M.Lee, M.Toda, T.Ono and M.Esashi
461) ネットワーク型触覚センサのウェハレベル集積化・パッケージング技術
[第 26 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2009-Oct.15-16)
SIMT-B5, 19-23]
巻幡光俊、田中秀治、室山真徳、松崎栄、江刺正喜、野々村裕、藤吉基弘
462) Preparation of Thin Lithium Niobate Layer on Silicon Wafer for Wafer-level Integration
of Acoustic Devices and LSI
[第 26 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム (集積化 MEMS シンポジウム
2009)、東京 (2009-Oct.15-16) SIMT-C9, 37-40]
K.D.Park, S.Tanakaand M.Esashi
463) 超高周波レーザドップラ振動計を用いたディスク共振子の振動モード同定
[圧電材料・デバイスシンポジウム 2010, 仙台 (2010, Feb.1) 49-52]
松村武、江刺正喜、原田博司、田中秀治
464) PZT の成膜技術とその高周波共振子への適用に関する研究
[圧電材料・デバイスシンポジウム 2010, 仙台 (2010, Feb.1) 53-56]
金学鍋、川合祐輔、田中秀治、江刺正喜
465) 陽極接合可能な LTCC の接合性能評価
[第 24 回エレクトロニクス実装学会講演大会、東京 (2009 年 3 月 10-12 日) 234-235]
岡田厚志、毛利護、福士秀幸、松崎栄、江刺正喜、田中秀治
466) LSI 直上に高性能材料で MEMS を形成する集積化技術
[平成 22 年電気学会全国大会、東京 (2010 年 3 月 17-19 日) 3-S23-6]
田中秀治、江刺正喜
467) LED 光源を用いた TOF 法による距離画像測定
145
[平成 22 年電気学会全国大会、東京 (2010 年 3 月 17-19 日) 1-116 p.132]
中野芳宏、川合祐輔、池上尚克、牧志渉、江刺正喜
468) 光制御型並列電子源
[平成 22 年電気学会全国大会、東京 (2010 年 3 月 17-19 日) 3-015 p.21]
友納栄一、宮下英俊、小野崇人、江刺正喜
469) ムービングマグネット式 2 軸駆動 MEMS ミラー
[平成 22 年電気学会全国大会、東京 (2010 年 3 月 17-19 日) 3-124 p.186]
青柳勲、島岡敬一、加藤覚、牧志渉、川合祐輔、田中秀治、小野崇人、江刺正喜
470) LTCC 基板の陽極接合による封止空間からの電極取出
[平成 22 年電気学会全国大会、東京 (2010 年 3 月 17-19 日) 3-133 p.199]
松崎栄、田中秀治、江刺正喜
471) 自動ゾルゲル成膜装置を用いた PZT 厚膜の成膜および評価
[第 57 回応用物理関係連合講演会、平塚 (2010 年 3 月 18 日) 18a-TR-4 p.06-033]
森脇政仁、川合祐輔、小野崇人、江刺正喜
472) 高分子鋳型を用いたゾルゲル法による PZT 構造体形成プロセスの開発
[電気学会研究会資料、PHS-10-16 東京 (2010 年 6 月 17-18 日) 7-11]
秋山琴音、石井大佑、川合祐輔、吉田慎哉、田中秀治、下村正嗣、江刺正喜
473) LSI へのデバイス構造貼り付けによる高周波 MEMS スイッチの作製法
[電気学会研究会資料、MSS-10-5 東京 (2010 年 6 月 17-18 日) 19-23]
松尾幸祐、松村武、江刺正喜、田中秀治
474) 架橋した化学増幅型フォトレジスト SU-8 の水素原子による分解メカニズム
[第 7 回 Cat-CVD 研究会、静岡 (2010 年 6 月 18-19 日) 42-43)]
熊野勝文、田中秀治、江刺正喜
475) MEMS 用難除去高分子材料のオゾンエッチング
[第 27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、松江 (2010-Oct.13-15) B1-1,
48-53]
栁田秀彰、吉田慎哉、江刺正喜、田中秀治
476) 電気的接続をともなう LTCC 基板と Si 基板との陽極接合
[第 27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、松江 (2010-Oct.13-15) B1-4,
62-67]
松崎栄、田中秀治、江刺正喜
477) A Development of Automated Multilayered Sol-Gel Deposition Machine for Micro Actuator
with PZT Thick Film
[第 27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、松江 (2010-Oct.13-15) B2-4,
84-87]
Y.Kawai, N.Moriwaki, M.Esashi and T.Ono
478) ロボット全身分布型触覚センサシステム用 LSI の開発
[第 27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、松江 (2010-Oct.13-15) C2-2,
126-131]
室山真徳、巻幡光俊、中野芳宏、松崎栄、山田整、山口宇唯、中山貴裕、野々村裕、藤吉基弘、
田中秀治、江刺正喜
479) 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型 MEMS センサ
[第 27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、松江 (2010-Oct.13-15) P4-7,
338-343]
畠山庸平、江刺正喜、田中秀治
480) 医療用 MEMS デバイスと実装技術
[第 27 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、松江 (2010-Oct.13-15) C3-4,
146
662-668]
芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
481) 転写法による SAW 基板上への強誘電体バラクタの集積化
[2011 年電子情報通信学会総合大会、(2011-March) AS-2-3, S21-22 大会中止予稿 CD 出版]
平野栄樹、菊田利行、安江敏輝、江刺正喜、田中秀治
482) MEMS 可変容量を集積化した可変 SAW フィルタの開発
[2011 年電子情報通信学会総合大会、(2011-March) AS-2-4, S23-24 大会中止予稿 CD 出版]
安江敏輝、小松禎也、中村暢之、橋本研也、平野栄樹、江刺正喜、田中秀治
483) 液圧駆動を用いた能動屈曲屈カテーテル
[第50回日本生体医工学会大会, 東京 (2010年5月1日), pp. 297]
岸田学、松永忠雄、三木章伍、江刺正喜、芳賀洋一
484) 汎用容量検出 LSI を用いた MEMS-CMOS 集積化触覚センサの試作
[電気学会研究会資料、PHS-11-23 東京 (2011 年 6 月 30 日) 21-25]
巻幡光俊、田中秀治、室山真徳、松崎栄、山田整、山口宇唯、中山貴裕、野々村裕、藤吉基弘、
江刺正喜
485) 転写法による SAW 基板上への強誘電体バラクタの集積化
[日本学術振興会弾性表面波技術第 150 委員会、第 121 回研究会、東京 (2011 年 7 月 27 日)
13-16]
平野栄樹、菊田利行、江刺正喜、田中秀治
486) チタン酸バリウムストロンチウム薄膜の LSI 上への転写プロセスの開発
[第 72 回応用物理学会学術講演会、山形 (2011 年 8 月 29 日-9 月 2 日) 30a-E-5, 22-005]
森脇政仁、江刺正喜、田中秀治
487) LSI 基板へのポリマーを用いた PZT 構造の転写技術の開発
[第 72 回応用物理学会学術講演会、山形 (2011 年 8 月 29 日-9 月 2 日) 30a-E-6, 22-006]
松尾幸祐、江刺正喜、田中秀治
488) 超並列電子線露光装置用アクティブマトリクス型 nc-Si 面電子源の開発
[第 72 回応用物理学会学術講演会、山形 (2011 年 8 月 29 日-9 月 2 日) 30a-ZL-5, 07-021]
池上尚克、吉田孝、小島明、太田敢行、大井英之、越田信義、江刺正喜
489) 面内方向駆動型圧電 MEMS スイッチのための Si 鋳型を用いた高アスペクト比 PZT 構造体の作
製法の開発
[第 3 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム、東京 (2011 年 9 月 26 日) 101](P)
490) 集積化触覚センサ開発のための模擬ネットワーク
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)A1-1]
中野芳宏、室山真徳、巻幡光俊、田中秀治、山田整、中山貴裕、山口宇唯、野々村裕、藤吉基
弘、江刺正喜
491) RFMEMS スイッチのための低電圧駆動薄膜 PZT 積層アクチュエータ
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)A2-2]
森山雅昭、川合祐輔、田中秀治、江刺正喜
492) 高強度・高靭性な新しい陽極接合材料と貫通配線基板の開発
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)C1-1]
林里沙、毛利護、木谷直樹、岡田厚志、中村大輔、佐伯淳、田中秀治、江刺正喜
493) 並列電子線描画システムのための光スイッチング電子源アレイ
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)C3-2]
田中雄次郎、友納栄一、宮下英樹、江刺正喜、小野崇人
494) ジグザグ Z 電極を持つ SOI 3 軸加速度センサ
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)A6-1]
藤吉基弘、野々村裕、船橋博文、明石照久、畑良幸、山田整、佐々木一行、江刺正喜
147
495) キャビティをエッチング加工した LTCC 基板による電気的接続をともなう気密封止パッケージ
ング技術
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)B4-4]
毛利護、岡田厚志、福士秀幸、江刺正喜、田中秀治
496) 金属-金属接合のためのウェハボンダの開発
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27) B4-5,
271-276]
松崎栄、田中秀治、馬場隆之、江刺正喜
497) MEMS のための両面 SiCPECVD 装置の開発
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)C4-3]
鈴木康久、田中秀治、畠山庸平、江刺正喜
498) 高周波 MEMS のためのルテニウム微小電極パターンの作製法
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)P1-6]
(P)
松村武、江刺正喜、原田博司、田中秀治
499) 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型 MEMS センサ－物理モデルを用いた設計
と試作によるその検証―
[第 28 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム、東京 (2011-Sept.26-27)P4-4]
(P)
畠山庸平、江刺正喜、田中秀治
500) 圧電単結晶デバイスとシリコン集積回路とのウェハレベル集積化
[日本学術振興会弾性表面波技術第 150 委員会、
第 122 回研究会、
東京 (2011 年 10 月 5 日) 7-11]
田中秀治、朴倞東、江刺正喜
501) 転写法による強誘電体バラクタと SAW 共振子の集積化と可変型フィルタへの応用
[圧電材料・デバイスシンポジウム、仙台 (2012-Jan.30) 51-52]
平野栄樹、木村哲也、I.P.Koutsaroff、江刺正喜、門田道雄、橋本研也、田中秀治
502) 陽極接合できる LTCC 基板を用いた MEMS のウェハレベル気密封止 ― ウェットエッチングに
よる多孔質金バンプ野形成と封止性能の評価 ―
[18th Symposium on “Microjoining and Assembly Technology in Electronics”(Mate 2012)、
横浜 (2012 年 1 月 31 日-2 月 1 日) 271-276]
福士秀幸、毛利護、岡田厚志、中村大輔、江刺正喜、田中秀治
503) MEMS 用難除去性高分子材料の高速除去のための蒸気オゾンエッチング装置の開発
[日本機械学会東北支部第 47 期総会・講演会、仙台 (2012 年 3 月 16 日) 140-141]
原島卓也、吉田慎哉、江刺正喜、田中秀治
504) 複合酸化膜と貴金属のための多元系原子層堆積装置の開発
[第 59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、東京 (2012 年 3 月 16 日) 22-004]
熊野勝文、西野仁、吉田慎哉、田中秀治、江刺正喜
505) 水素アニール処理のシリコンの破壊強度に与える影響
[第 59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、東京 (2012 年 3 月 16 日) 22-035]
羽鹿亮、吉田慎哉、牧志渉、金森義明、江刺正喜
506) チタン酸バリウムストロンチウム薄膜デバイスのためのヘテロ集積化技術の開発
[第 59 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、東京 (2012 年 3 月 16 日) 22-051]
森脇政仁、江刺正喜、田中秀治
507) 超並列電子線描画装置用ナノシリコン面電子源接合型コンデンサレンズの開発
[第 59 回応用物理学関連連合講演会、東京 (2012 年 3 月 15 日-18 日) 17p-DP2-6]
小島明、池上尚克、吉田孝、太田敢行、大井英之、越田信義、江刺正喜
508) 湿潤オゾンによる SU-8 の完全除去と高速除去条件の探索
148
[電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-12-1 (2012 年 6 月 11-12 日) 1-4]
吉田慎哉、原島卓也、江刺正喜、田中秀治
509) Al 2 O 3 -RuOxハイブリッド膜の原子層堆積プロセスの開発とMEMSマイクロチャネルレートプレ
ートへの応用可能性の検討
[電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-12-2 (2012 年 6 月 11-12 日) 5-8]
西野仁、吉田慎哉、熊野勝文、江刺正喜
510) 超並列電子線描画システムにおける電子線照射の収差を補正可能な電子源駆動回路の提案と
その低消費電力化
[電気学会センサ・マイクロマシン部門総合研究会, MSS-12-19 (2012 年 6 月 11-12 日) 87-92]
綿屋孝祐、宮口裕、室山真徳、田中秀治、小島明、池上尚克、吉田孝、江刺正喜
511) 超並列電子線描画装置用アクテイブマトリクス nc-Si 面電子源の開発（II）
[第 73 回応用物理学会学術講演会、愛媛 (2012 年 9 月 11-14 日) 12a-C5-8, 07-029]
池上尚克、吉田孝、小島明、大井英之、越田信義、江刺正喜
512) 水素アニールによる微細加工されたシリコン構造体の表面平滑化ともじり破壊強度へ与える
影響の調査
[第 29 回センサ・マイクロマシンと応用システム]シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24
日) 1C5-3, 57-62]
羽鹿亮、吉田慎哉、牧志渉、金森義明、江刺正喜
513) ポリカルボシランを用いた炭化水素の両面 CVD
[第 29 回センサ・マイクロマシンと応用システム]シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24
日) 2B2-1, 121-126]
鈴木康久、畠山庸平、江刺正喜、田中秀治
514) YAG 3 倍波レーザ照射による BST 薄膜の剥離転写
[第 29 回センサ・マイクロマシンと応用システム]シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24
日) 2B3-3, 156-159]
佐本哲雄、平野栄樹、染川智弘、藤田雅之、江刺正喜、田中秀治
515) Laterally-driven Piezoelectric Bimorph Microactuator with Sol-Gel-based
High-Aspect-Ratio PZT Structure (ゾルゲル法による高アスペクト比 PZT 構造を有する横方向駆
動圧電バイモルフマイクロアクチュエータ)
[第 29 回センサ・マイクロマシンと応用システム]シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24
日) 2E3-4, 238-243]
王楠(Nan WANG)、吉田慎哉、熊野勝文、川合祐輔、田中秀治、江刺正喜
516) MEMS 構造に損傷を与えないパーティクル除去方法
[第 29 回センサ・マイクロマシンと応用システム]シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24
日) SP1-1, 463-468]
平野栄樹、K.M.Rasly, K.Neelam、江刺正喜、田中秀治
517) Low-Stress EpitaxialPolysilicon Process for Micromirror Devices (マイクロミラーデバ
イスの為のローストレスエピタキシャルポリシリコンプロセスの開発)
[第 29 回センサ・マイクロマシンと応用システム]シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24
日) SP2-7, 548-553]
鈴木裕輝夫、戸津健太郎、渡邉拓、森山雅昭、江刺正喜、田中秀治
518) CMOS-MEMS 集積化触覚センサの検査・修正・実装技術
[第 4 回集積化 MEMS シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24 日) 1M4-3, 85-90]
巻幡光俊、室山真徳、中野芳宏、山田整、中山貴裕、山口宇唯、野々村裕、藤吉基弘、江刺正
喜、田中秀治
519) A Run-Time Configurable LSI on Asynchronous Communication for Integrated Tactile Sensors
(非同期シリアル通信を用いて実装後パラメータ設定可能な集積化触覚センサ用 LSI)
149
[第 4 回集積化 MEMS シンポジウム、北九州 ((2012 年 10 月 22-24 日) 1M4-4, 91-96]
室山真徳、中野芳宏、巻幡光俊、田中秀治、山田整、中山貴裕、山口宇唯、野々村裕、藤吉基
弘、江刺正喜
520) 低温作動マイクロ固体酸化物燃料電池の開発
[日本機械学会第 4 回マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集、北九州 ((2012 年 10 月 22-24
日) P-OS4-4,277-278]
稲垣優、井口史匡、田中秀治、江刺正喜、湯上浩雄
(h) 国内学会他発表Ｃ(招待講演)
1) センサ,アクチュエータの超微細加工
[第 5 回センシングフォーラム, 特 7, 昭和 63 年 4 月(1988)]
江刺正喜
2) マイクロマシニングとマイクロメカニズム
［日本時計学会春季講演会, 特別講演, 平成元年 2 月(1989)］
江刺正喜
3) Integrated Sensor and Actuator Systems by Micromachining
［第３回日仏バイオメディカル・テクノロジーシンポジウム, 平成元年 5 月 (1989)］
M.Esashi
4) 病態診断における医用センサ・小形化学分析システム
［臨床化学大山カンファレンス特別講演, 平成元年 8 月(1989)］
江刺正喜
5) 高機能カテーテルのための立体的微細加工
[次世代センサ協議会第１回マイクロマシーニング研究会, MM93-6(1993 年 3 月 12 日),25-28]
南和幸、江刺正喜
6) マイクロマシーニング
[電気化学協会創立 60 周年記念第 33 回電気化学セミナー, 大阪,(1993 年 7 月 15 日),79-86]
江刺正喜
7) マイクロマシーニングによる計測技術
[日本機械学会機械力学・計測制御部門計測フォーラム,秋田,(1994 年 7 月 13 日),21-22]
江刺正喜
8) 半導体微細加工技術によるマイクロシステム
[日本機械学会第７回計算力学講演会,東京,(1994 年 11 月 9 日),1-2]
江刺正喜
9) レーザーのマイクロマシンへの応用
[平成 7 年レーザー学会学術講演会第 15 回年次大会,大阪,(1995 年 1 月 20 日),197-200]
江刺正喜、南和幸
10) レーザーマイクロマシーニング
[第 4 回理研シンポジウム,和光,(1995 年 2 月 3 日),49-52]
江刺正喜、南和幸
11) Microfabrication －its present and future－
[日本機械学会第 72 期講演会,東京,(1995 年 3 月 31 日),WS14-2,Ⅴpp.404-405]
M.Esashi
12) シリコンによるマイクロマシン技術
[日本機械学会講習会「マイクロマシン開発はどこまできたか」,東京,(1995 年
4 月 21 日),7-12]
150
江刺正喜
13) 集積化機能デバイス構築法に関する調査研究
[マイクロマシンセンター第１７回イブニングセミナー,東京 (1995 年 5 月 18 日)]
江刺正喜
14) マイクロマシニングとその応用
[精密加工研究会,仙台,(1995 年 5 月 23 日)]
江刺正喜
15) パッケージングされたマイクロセンサ
[日本学術振興会将来加工技術第 136 委員会第２部会第５会研究会,東京,(1995 年
6 月 5 日),14-20]
江刺正喜
16) 半導体微細加工技術によるマイクロセンサとマイクロシステム
[精密工学会第 217 回講習会「すぐ使える小型・マイクロセンサ－」東京,(1995 年
7 月 11 日),1-6]
江刺正喜
17) マイクロマシニングの真空機器への応用
[アフター５シンポジウム,東京,(1995 年 7 月 11 日)]
江刺正喜
18) 半導体微細加工とレーザーによるマイクロマシン
[レーザー学会レーザーセミナー'95「21 世紀を迎えるレーザー先端技術」東京,(1995 年 7 月
25 日),Ⅳ1-13]
江刺正喜、南和幸
19) マイクロマシーニングの最先端技術と産業応用
[立命館大学セミナー,草津 (1995 年 10 月 3 日)]
江刺正喜
20) マイクロマシン
[研友会,仙台 (1995 年 11 月 2 日)]
江刺正喜
21) 多種の異種要素からなる高機能センサーシステム
[第３回マイクロ化学懇話会,川口 (1995 年 11 月 17 日)]
江刺正喜
22) シリコンマイクロマシーニングとその応用
[先端技術研修会,青森 (1995 年 12 月 13 日)]
江刺正喜
23) シリコン微細加工によるマイクロマシン
[日本機械学会東北支部技術懇話会,秋田 (1995 年 12 月 15 日)]
江刺正喜
24) ﾏｲｸﾛｴﾚｸﾄﾛﾒｶﾆｶﾙｼｽﾃﾑｽﾞ(MEMS)の研究動向
[ハイテクシンポジウム山口'95,宇部 (1996 年 1 月 11 日)]
江刺正喜
25) 半導体微細加工によるマイクロマシン・ナノマシン
[山形県ﾗｲﾌｻﾎﾟｰﾄﾃｸﾉﾛｼﾞｰ,ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ勉強会,山形 (1996 年 1 月 31 日)]
江刺正喜
26) 半導体微細加工技術によるマイクロシステム
[バイオテクノロジー開発技術研究組合,東京 (1996 年 2 月 1 日)]
江刺正喜
27) 高度な機能が凝縮された光電気機械システムーシリコンマイクロマシニングー
151
[第 470 回筑波研究フォーラム,つくば (1996 年 4 月 11 日)]
江刺正喜
28) 能動カテーテル
[日本学術振興会将来加工技術第 136 委員会第２部会第９会研究会,東京,(1996 年 5 月
21 日),17-22]
江刺正喜、林根培、朴起台
29) マイクロメカトロニクス／基本設計コンセプト
[日本機械学会講習会情報機器におけるマイクロメカニズム,東京,(1996 年 5 月 22 日),1-12]
江刺正喜
30) マイクロマシニングとセンサー技術
[応用物理学会東海支部スクールシリコン集積回路プロセス技術と他分野への応用,名古屋,
(1996 年 6 月 21 日),109-121]
江刺正喜
31) シリコンバルクマイクロマシニングとその応用
[精密工学会マイクロメカニズム研究専門委員会,仙台,(1996 年 6 月 25 日)]
江刺正喜
32) シリコンを中心としたマイクロマシニング技術とその応用
[第 2 回マイクロ・ナノマシニングセミナー,仙台,(1996 年 7 月 24-26 日)]
江刺正喜
33) 半導体微細加工技術によるマイクロマシン
[平成 8 年度電気保安功労者表彰式記念講演会,仙台,(1996 年 8 月 22 日)]
江刺正喜
34) 半導体微細加工技術によるマイクロマシン
[日本機械学会関東支部茨城講演会,日立,(1996 年 9 月 27 日)]
江刺正喜
35) マイクロマシニング
[第 3 回「マイクロ・ナノマシニング」セミナー,仙台,(1996 年 10 月 3 日)]
江刺正喜
36) マイクロマシニングとセンサー技術
[平成 8 年度産官学交流会先端科学特別講演会,一関,(1996 年 10 月 8 日)]
江刺正喜
37) マイクロファブリケーション技術とそのマイクロマシンへの応用
[豊田工業大学平成 8 年度公開講座 "新しい生産技術の流れー自動車からマイクロマシン、
超 LSI までー",名古屋,(1996 年 10 月 16 日)]
江刺正喜
38) マイクロセンサの現状と展望
[センシング技術応用研究会主催,'96 センシング技術応用セミナー
"マイクロセンサ・マイクロマシンの最前線",大阪,(1996 年 10 月 24 日)]
江刺正喜
39) 半導体微細加工技術の医学応用
[第 35 回日本鼻科学会学術講演会,仙台,(1996 年 10 月 25 日)]
江刺正喜
40) 先端技術の産業化と大学－ベンチャー・ビジネス・ラボラトリーによる新たな産学共同研究へ
の模索－
[平成８年度東北大学教育開放講座テクノ大学セミナー,仙台,(1996 年 10 月 30 日)]
江刺正喜
41) 半導体微細加工技術によるセンサ・マイクロマシン
152
[平成８年度電子情報通信学会東北支部学術講演会,八戸,(1996 年 11 月 14 日)]
江刺正喜
42) マイクロマシニング
[電気学会基礎・材料・共通部門平成８年度総合研究会,仙台,(1996 年 11 月 27 日)]
江刺正喜
43) マイクロマシン技術の動向
[日本光学会(応用物理学会) 微小光学研究グループ、第 63 回微小光学研究会
「微小光学とマイクロマシン」,東京 (1997 年 2 月 4 日)]
江刺正喜
44) マイクロテクノロジーの描く未来
[精密工学会知能メカトロニクス専門委員会特別講演会「新しい工学を目指して」,
高松 (1997 年 5 月 21 日) pp.13-24]
江刺正喜
45) Silicon Bulk Micro-machining and Nano-machining
[N2M'97, France-Japan Workshop "From Nano to Microscale science and technology through
Microsystems", Tokyo, (1997，May 22) p.45]
M.Esashi, K.Minami and T.Ono
46) ナノマシニング
[日本学術振興会将来加工技術第 136 委員会、第 13 回研究会,仙台 (1997 年 5 月 23 日) pp.24-29]
小野崇人、江刺正喜
47) マイクロエレクトロメカニカルシステムとセンシング
[平成９年度計測自動制御学会関西支部講習会、ザ・マイクロマシンーマイクロセンサ、
マイクロアクチュエータ、光マイクロマシンの最新技術、大阪 (1997 年 6 月 26 日) pp.1-12]
江刺正喜
48) センサー・マイクロマシニングとその応用
[(社)日本計量機器工業連合会、微小流量研究会、東京 (1997 年 7 月 4 日)]
江刺正喜
49) 半導体微細加工によるマイクロセンサ
[平成９年度スマートセンサ・コンソーシアム、長野 (1997 年 7 月 25 日)]
江刺正喜
50) センサ・マイクロマシンのためのマイクロ・ナノマシニング
[平成９年度茅コンファレンス、松代 (1997 年 8 月 25 日)]
江刺正喜
51) 半導体微細加工技術によるマイクロセンサ
[日本ＭＥ学会第１７回甲信越支部大会、松本 (1997 年 9 月 6 日)]
江刺正喜
52) ハイテク時代における産学官連携のあり方
[第２回新技術地域展開セミナー(科学技術振興事業団主催)、広島 (1997 年 9 月 26 日)]
江刺正喜
53) 分布型マシンと能動カテーテル
[第 12 回「大学と科学」公開シンポジウム生物に学ぶマシン、大阪 (1997 年 10 月 27 ～28 日)]
江刺正喜
54) 半導体技術を用いたセンサー・マイクロマシン
[第 13 回表面技術セミナー、花巻 (1997 年 11 月 13 日)]
江刺正喜
55) 半導体微細加工技術によるセンサ・マイクロマシン
[島津テクノフェア・東北、仙台 (1997 年 12 月 6 日)]
153
江刺正喜
56) 半導体微細加工によるセンサ・マイクロマシン
[応用物理学会九州支部主催特別講演会、飯塚 (1997 年 12 月 22 日)]
江刺正喜
57) 微細加工・マイクロメカニズム
[第１回生産学術連合会、東京 (1998 年 1 月 23 日)]
江刺正喜
58) バイオ・マイクロマシン
［日本機械学会第 10 回バイオエンジニアリング講演会、基調講演、東広島 (1998 年 1 月 26 日),
581］
江刺正喜
59) マイクロマシンシステム
[ニューセラミックス懇話会第２５回ニューセラミックスセミナー、大阪 (1998 年 3 月
6 日),59-68]
江刺正喜
60) 半導体微細加工によるマイクロシステム
[近畿化学協会合成部会・ロボット合成研究会、大阪 (1998 年 4 月 13 日)]
江刺正喜
61) Precise Micro-Nanomachining of Silicon
[Technical Digest of the 16th Sensor Symposium, P1-2 川崎 (1998),9-16]
M.Esashi, R.Toda, K.Minami and T.Ono
62) XeF 2 エッチングと高精度マイクロマシニング
[日本学術振興会第 136 委員会、第２部会第 17 回研究会、東京 (1998 年 6 月 22 日),19-24]
戸田理作、江刺正喜
63) マイクロ・ナノマシーニング
[光産業技術振興協会、第一回近接場推進委員会、東京（1998 年 6 月 25 日)）
江刺正喜
64) マイクロマシニングによる運動制御システム
[日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会’98、仙台 (1998 年 6 月 26 日)，5-13]
江刺正喜
65) マイクロマシンシステム
[日本電子工業振興協会、電子部品動向専門委員会、東京（1998 年 7 月 1 日）]
江刺正喜
66) マイクロマシンの開発動向とその応用
[形状記憶合金協会、形状記憶合金に関する講習会、仙台 (1998 年 7 月 17 日),39-47]
江刺正喜
67) マイクロマシンの現状
[日本機械学会第 76 期全国大会講演会、仙台 (1998 年 10 月 5 日)]
江刺正喜
68) 東北大学ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー
[第２回マイクロシステム／MEMS セミナー、幕張 (1998 年 12 月 3 日) 127-134]
江刺正喜
69) マイクロマシニングの現状と将来
[第３０回記念セミコンファレンス、仙台 (1999 年 1 月 14 日) 24-29]
江刺正喜
70) マイクロマシンの製作と設計技術
[ものつくり研修、富山 (1999 年 1 月 27 日)]
154
江刺正喜
71) 半導体微細加工によるセンサ・マイクロマシン
[RSP 講演会、富山 (1999 年 1 月 27 日)]
江刺正喜
72) ナノマシニングと近接場応用
[電子情報通信学会電子デバイス研究会特別ワークショップ、信学技法 ED98-269 仙台
(1999 年 3 月 5 日) ]
小野崇人、江刺正喜
73) 最近のマイクロマシーニングの研究開発と将来展望
[砥粒加工学会平成 11 年度第 1 回研究会、p.5、東京 (1999 年 3 月 9 日)]
江刺正喜
74) シリコンのマイクロ・ナノマシニング
[日本金属学会シンポジウム S4.14 微細材料システムの機械的性質と信頼性、p.91 東京
(1999 年 3 月 31 日)]
江刺正喜
75) ハイテク時代の産学間連携とマイクロマシン
[全国大学生活共同組合連合会第５回理工書研修会、東京 (1999 年 6 月 12 日)]
江刺正喜
76) マイクロマシンからナノマシンへ
［第１回東北大学研究所リンクシンポジウム「機能と材料の極限を究める」、仙台 (1999 年 7 月
2 日)］
江刺正喜
77) 半導体微細加工を応用したセンサ・マイクロマシン
[日本航空宇宙学会第 41 回材料強度に関する講演会講演集、S1－S8 仙台(1999 年 7 月 14 日)]
江刺正喜
78) 半導体微細加工によるセンサ・マイクロマシン
[第 38 回計測自動制御学会講演会、ﾌﾟﾚﾅﾘﾁｭｰﾄﾘｱﾙ講演、盛岡 (1999 年 7 月 30 日)]
江刺正喜
79) マイクロマシン技術とプラズマプロセス
[日本学術振興会プラズマ材料科学第 153 委員会第 43 回研究会、
pp.1‐6,東京(1999 年 9 月 9 日)]
江刺正喜
80) シリコンセンサ･MEMS の現状と将来
[電子情報通信学会集積回路研究会技術報告特別招待講演、ICD99-160,pp.99-106,仙台
(1999 年 9 月 20 日)]
江刺正喜
81) ハイテク時代における役に立つ研究(具体例を通じて)
[1999 年度精密工学会秋季大会若手研究者･技術者の集い,仙台 (1999 年 9 月 28 日)]
江刺正喜
82) 半導体微細加工を応用したマイクロメカニズム
[1999 年度精密工学会秋季大会キーノートスピーチ、仙台 p.117 (1999 年 9 月 28 日)]
江刺正喜
83) 半導体微細加工を応用したセンサ・マイクロマシン―その基礎から応用まで
[第 3 回システムＬＳＩ琵琶湖ワークショップ、守山 pp.93-100 (1999 年 11 月 25 日)]
江刺正喜
84) マイクロマシーニングとナノマシーニング
[第 3 回マイクロシステム／ＭＥＭＳセミナー、幕張 pp.46-54 (1999 年 12 月 1 日)]
江刺正喜
155
85) マイクロマシーンを駆使したセンサ及びアクチュエータの現状
[日本電子材料工業会圧電セラミックス部会、東京 (2000 年 2 月 1 日)]
江刺正喜
86) 半導体微細加工技術によるセンサ・マイクロマシン
[第 9 回材料科学に関する若手フォーラム(日本大学)、船橋(2000 年 2 月 5 日)]
江刺正喜
87) マイクロセンサの真空パッケージング技術
[次世代センサ協議会第 28 回研究会、東京(2000 年 2 月 5 日)]
江刺正喜
88) マイクロマシーニング技術の動向
[第１回ボールセミコンダクター・フォーラム、東京(2000 年 6 月 5 日)]
江刺正喜
89) マイクロマシーニング技術の動向
[ばね技術研究会 2000 年度春季講演会、東京(2000 年 6 月 5 日)]
江刺正喜
90) システムの鍵を握るマイクロマシン技術
[電気学会東京支部茨城支所講演会、日立(2000 年 6 月 23 日)]
江刺正喜
91) Power MEMS 技術に関する調査研究
[平成 11 年度「マイクロマシン技術への他分野萌芽技術の適用に関する研究」調査研究報告会、
東京(2000 年 7 月 7 日)]
江刺正喜
92) マイクロマシーニング技術の動向
[応用物理学会薄膜・表面物理分科会第 28 回薄膜・表面物理セミナー、pp.123-132 東京
(2000 年 7 月 18 日)]
江刺正喜
93) シリコンのバルクマイクロマシニング
[播磨放射光産業応用シンポジウム：マイクロシステムの産業への展開、兵庫県 (2000 年 7 月
25 日)]
江刺正喜
94) マイクロマシニング技術の動向
[中小企業広域技術研修、郡山市 (2000 年 8 月 23 日)]
江刺正喜
95) ハイテク時代における産学官共同
[香川大学地域開発共同研究センター開設記念シンポジウム,高松市(2000 年 9 月 21 日)]
江刺正喜
96) マイクロマシニングとナノマシニング
[経団連テクノロジー専門部会(ﾅﾉ計測･ﾅﾉﾏｼﾝ･ｼﾐｭﾚｰｼｮﾝ分科会)、東京都(2000 年 10 月 17 日)]
江刺正喜
97) マイクロマシンの現状と将来
[三井業際研究所技術企画委員会講演会、東京都(2000 年 10 月 18 日)]
江刺正喜
98) シリコンバルクマイクロマシニング
[電子情報通信学会マイクロ波フォトニクス研究会、横須賀(2000 年 10 月 25 日)]
江刺正喜
99) Bulk Micromachining for Microsystems
[豊田工業大学学術フロンティアーセンター記念式典講演会、名古屋(2000 年 10 月 27 日)]
156
江刺正喜、小野崇人
100) マイクロマシーンとナノマシーン
[第 21 回超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム、pp.23-28 仙台 (2000 年
11 月 6 日)]
江刺正喜
101) マイクロマシン技術の現状と展望
[第 10 回 RCJ 信頼性シンポジウム、pp.7-16 東京 (2000 年 11 月 9 日)]
江刺正喜
102) バルクマイクロマシニング
[キャピラリー電気泳動法－その技術と展開－セミナー、pp.15-20 仙台 (2000 年 11 月 10 日)]
安部隆、江刺正喜
103) センサ・マイクロマシンの研究
[(社)電子工業振興協会光・ミリ波集積技術専門委員会，東京 (2000 年 11 月 13 日)]
江刺正喜
104) マイクロセンサーと能動カテーテル・ガイドワイヤーシステムの開発
[第 16 回日本脳神経血管内治療学会抄録集、p109 仙台 (2000 年 11 月 17 日)]
江刺正喜
105) バルクマイクロマシニング
[立命館大学マイクロシステム技術研究センター設立記念講演会予稿集、草津(2000 年 12 月
13 日)]
江刺正喜
106) 体内埋込電子システムに関する調査
[電子情報技術産業協会人体調和型コンピュータ材料委員会、東京 (2001 年 1 月 12 日)]
江刺正喜
107) マイクロマシン技術の実用化への展望
[日本学術振興会超集積化デバイス・システム第 165 委員会第 18 回研究会、東京 (2001 年 1 月
19 日)]
江刺正喜
108) マイクロマシン
[プラズマ科学シンポジウム 2001／第 18 回プラズマプロセッシング研究会、京都 (2001 年 1 月
25 日)]
江刺正喜
109) 高密度情報記録のためのマイクロマシンプローブ
[レーザ学会学術講演会、p.S11, 東京 (2001 年 1 月 31 日)]
小野崇人、ファンミンゴ、李東原、江刺正喜
110) マイクロマシンの現状と将来
[日本ばね工業会、東部総務委員会主催講演会、東京 (2001 年 2 月 12 日)]
江刺正喜
111) マイクロマシンの研究
[宮城県仙台第一高等学校卒業式記念講演、仙台 (2001 年 3 月 1 日)]
江刺正喜
112) マイクロマシニングとナノマシニング
[日本学術振興会ナノプローブ第 167 委員会第 20 回研究会、東京 (2001 年 3 月 7 日)]
江刺正喜、小野崇人
113) シリコンマイクロマシニング
[日本学術振興会ナノプローブ第 136 委員会合同研究会、東京 (2001 年 3 月 8 日)]
江刺正喜
157
114) マイクロマシニング技術の実用化への展望
[地域研究開発促進拠点支援(RSP)事業、新技術フォーラム富山で育つ 21 世紀のテクノロジー
富山、(2001 年 3 月 13 日)]
江刺正喜
115) マイクロマシニングとナノマシニング
[次世代センサ協議会長野支部講演会「21 世紀のセンサ・マイクロマシンを目指して」、長野
(2001 年 3 月 19 日)]]
江刺正喜
116) マイクロとナノの融合マシニングが微小な高機能システムに変わる
[第 37 回日経マイクロデバイス･セミナー、東京 (2001 年 3 月 26 日)]
江刺正喜
117) マイクロカテーテル
[第 48 回応用物理学会関係連合講演会、p.8「微小化･集積化へ向かうバイオ･医用工学」
、東京
(2001 年 3 月 28 日)]
江刺正喜、芳賀洋一
118) マイクロマシンの可能性
[日本外科学会大会、第３回マルチメディア外科研究会、外科支援ロボットの可能性を探る、
仙台、(2001 年 4 月 12 日)、日本外科学会誌、102 巻臨時増刊号、p.185]
江刺正喜、芳賀洋一
119) マルチプローブ高密度記録
[センサ・アクチュエータ・マイクロマシン/ウィーク 2001 総合シンポジウム、マイクロセン
サ、東京 (2001 年 4 月 19 日) pp.11-18]
小野崇人、ファンミンゴ、李東原、江刺正喜
120) ボール半導体を用いた３軸加速度センサ
[センサ・アクチュエータ・マイクロマシン/ウィーク 2001 総合シンポジウム、マイクロセン
サ、東京 (2001 年 4 月 19 日) pp.19-25]
戸田理作、竹田宣生、吉田政孝、村越尊雄、中村茂、江刺正喜
121) マイクロ・ナノマシニング
[全豊田合同夏期セミナー、名古屋 (2001 年 8 月 6 日)]
江刺正喜
122) 省エネルギー・省資源のための小形・集積化技術
[科学技術交流財団研究交流クラブ第５９回定例会、２１世紀の技術革新－ナノテクノロジー
が開く世界－、名古屋 (2001 年 8 月 21 日)]
江刺正喜
123) 車の事故防止のための技術の進歩
[第 10 回日本交通医学工学研究会学術総会､'01 医学と工学からみた交通安全対策、名古屋、
(2001 年 10 月 8 日)]
江刺正喜
124) マイクロマシン／MEMS とは
[Electronic Journal 44th Thechnical Symposium,東京(2001 年 10 月 30 日)]
江刺正喜
125) マイクロ・ナノマシニング
[平成 13 年度先端科学特別講演会,一関,(2001 年 10 月 31 日)]
江刺正喜
126) マイクロマシニング
[機械学会、材料力学部門、第９回マイクロデバイス設計・製造・実装に関する研究会,仙台
(2001 年 11 月 8 日)]
158
江刺正喜
127) マイクロ・ナノマシニング
[早稲田大学技術インキュベーション研究会、東京 (2001 年 11 月 15 日)]
江刺正喜
128) マイクロマシン工学
[平成１３年度東北大学大学教育開放講座(ナノテクノロジー)、仙台 (2001 年 11 月 22 日)]
江刺正喜
129) MEMS 研究開発の現状
[岩手マイクロ・ナノ技術研究会、盛岡 (2001 年 12 月 4 日)]
江刺正喜
130) マイクロマシンの最前線とその将来
[第１５回日本エム・イー学会秋季大会論文集、東京 (2001 年 12 月 5 日)]
江刺正喜
131) マイクロマシニング MEMS，MEMS の産学オープンコラボレーション
[ニューテクベンチャーフォーラム in 仙台、仙台 (2001 年 12 月 10 日)]
江刺正喜
132) 日本における産学連携の現状
[RIETE 政策シンポジウム、産学連携の制度設計：大学改革へのインパクト、東京
(2001 年 12 月 11 日)]
江刺正喜
133) Technology Trend and Future Prospect of MEMS
[MWE2001 Microwave Wokshop Digest, 横浜 (2001 年 12 月 12 日) pp.35-40]
江刺正喜
134) MEMS の動向と展望
[JISSO/PROTEC フォーラムジャパン 2001,幕張 (2001 年 12 月 14 日) pp.206-211]
江刺正喜
135) マイクロマシニングと MEMS
［電子情報技術産業協会、
超低消費電力動作集積システム専門委員会，東京(2001 年 12 月 14 日)］
江刺正喜
136) マイクロシステムの最新動向
[精密工学会第 98 回マイクロメカニズム研究専門委員会､東京(2002 年 1 月 18 日)]
江刺正喜
137) マイクロマシン･ナノマシン技術と電子システムインテグレーション技術
[8th Smpo. on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics"、横浜 (2002 年
1 月 31 日) pp.21-26]
江刺正喜
138) MEMS 技術動向
［日本真空協会、スパッタリングおよびプラズマプロセス研究部会講演会資料､17､1 東京
(2002 年 2 月 6 日) pp.23-29］
江刺正喜
139) 日本における産学連携の現状
[産学官連携実践フォーラム・イン広島、広島 (2002 年 2 月 19 日)]
江刺正喜
140) MEMS の現状と将来
[次世代リソグラフィ研究会、東京 (2002 年 2 月 26 日)]
江刺正喜
141) 半導体・MEMS 技術とバイオ技術をいかに融合するか
159
[第 60 回 VLSI フォーラム、東京 (2002 年 3 月 11 日) pp.11-24]
江刺正喜
142) シリコンバルクマイクロマシーニング
[次世代センサ協議会東北支部講演会、「地域産業の発展を目指して」、仙台 (2002 年 3 月 22 日)
pp.21-28]
江刺正喜
143) シリコンのバルクマイクロマシニング
[第 211 回塑性加工シンポジウム、東京 (2002 年 3 月 26 日) pp.1-8]
江刺正喜
144) マイクロ・ナノマシニングによるセンサ・マイクロマシン
[電気化学会第 69 回大会、仙台 (2002 年 4 月 2 日) p.3]
江刺正喜、小野崇人
145) 半導体技術で作るマイクロマシーン
[電力館科学ゼミナール、東京 (2002 年 4 月 6 日)]
江刺正喜
146) 医療におけるマイクロマシンの新展開
[第 6 回東北肺循環研究会、盛岡 (2002 年 4 月 20 日)]
江刺正喜、芳賀洋一
147) MEMS/マイクロマシニングの現状と展望
［三井業際研究所第 1 回極限加工技術調査研究委員会、東京 (2002 年 5 月 15 日)］
江刺正喜
148) オープンな産学連携の実例
[第１回産学連携推進会議、京都 (2002 年 6 月 16 日)]
江刺正喜
149) ナノテクノロジー
[ナノテク懇話会、仙台 (2002 年 6 月 22 日)]
江刺正喜
150) MEMS が拓く新産業
[名古屋工業技術協会特別講演会、名古屋 (2002 年 7 月 5 日)]
江刺正喜
151) マイクロマシニングの医工学への展開
[MBE サマースクール、富山 (2002 年 8 月 2 日) 27-61]
江刺正喜
152) MEMS 研究の動向
[文部科学省科学技術政策研究所講演会、東京 (2002 年 8 月 9 日)]
江刺正喜
153) 材料と関係する MEMS 技術
[第 3 回産学交流フォーラム Material21、大宮 (2002 年 9 月 14 日) 17-27]
江刺正喜
154) マイクロマシニング
[計測自動制御学会「センシングフォーラム」
、横浜 (2002 年 9 月 18 日) 29-34]
江刺正喜
155) マイクロマシン/MEMS ワールド－その可能性と最新動向を探る
[第１１回半導体プロセスシンポジウムマイクロマシン/MEMS ワールド、東京
(2002 年 9 月 19 日) 7-21]
江刺正喜
156) マイクロマシン/MEMS 開発と産学官連携
160
[東北地域産業クラスター計画推進フォーラム、仙台 (2002 年 10 月 11 日)]
江刺正喜
157) マイクロマシン/MEMS その設計・製造・検査技術
[Electronic Journal 第 52 回 Technical Symposium, 東京 (2002 年 10 月 24) 11-80]
江刺正喜
158) MEMS 技術と半導体産業
[九州半導体イノベーション協議会第 1 回技術セミナー、福岡 (2002 年 10 月 25 日)]
江刺正喜
159) ２１世紀の地域を拓く産学官連携プロジェクト～知的ｸﾗｽﾀｰ創成事業への提言～
[長野・上田地域知的クラスター創成推進協議会プロモーション子フォーラム、長野
(2002 年 10 月 28 日)]
江刺正喜
160) マイクロマシン／ＭＥＭＳの最近の動向
[名古屋工業大学モノづくりテクノセンター特別講演会, 名古屋 (2002 年 11 月 1 日)]
江刺正喜
161) ナノテクノロジーとマイクロマシン
[プロセス形装制御技術協会第 27 回会員交流会, 東京(2002 年 11 月 15 日)]
江刺正喜
162) MEMS が拓く 21 世紀技術
[第 3 回プラズマ応用技術の将来ビジョン研究会、「グローバル化時代への遷移状態としての現
在；新技術の胎動と起業」
，東京(2002 年 11 月 20 日) pp.2-8]
江刺正喜
163) MEMS の概要と最近の技術動向
[新潟県工業技術総合研究所、新潟 (2002 年 12 月 12 日)]
江刺正喜
164) 光ナノデバイスの作り方
[第 17 回「大学と科学」公開シンポジウム「光でナノテク・ナノサイエンス」、神戸
(2002 年 12 月 15 日) 46-49]
江刺正喜、小野崇人
165) バイオＭＥＭＳが医療・バイオの世界を変革する
[半導体産業新聞フォーラム、MEMS マイクロマシンがニッポン半導体を変える！、東京
(2002 年 12 月 17 日)]
江刺正喜
166) メゾスコピック領域とナノマシン
[第 2 回メゾテクノロジーフォーラム－メゾスコピック構造とナノテクノロジー－、つくば
(2003 年 1 月 15 日)]
江刺正喜
167) ナノマシン分野のナノテクノロジー
[第 52 回理論応用力学講演会、東京、(2003 年 1 月 29 日) pp.66-70]
江刺正喜
168) MEMS の可能性
[第１３回高温エレクトロニクス研究会、東京、(2003 年 2 月 5 日)]
江刺正喜
169) マイクロデバイスの研究開発と実用化
[第 7 回産学連携技術開発研究会、東京、(2003 年 2 月 6 日)]
江刺正喜
170) マイクロ・ナノマシニングの産学連携
161
[岩手県都市エリア産学官連携促進事業：有機ナノ薄膜研究会，盛岡、(2003 年 2 月 7 日)]
江刺正喜
171) マイクロマシン／MEMS の可能性と最新動向
[精密工学会第 30 回プラナリゼーション加工／CMP 応用技術専門委員会、東京、
(2003 年 2 月 17 日) pp.77-84]
江刺正喜
172) マイクロマシニングによるセンサ・マイクロマシン、慣性計測システム
[核融合科学研究所、第 14 回研究会、土岐市、(2003 年 2 月 19 日)]
江刺正喜
173) MEMS とその応用
[2002 年在日韓国科協東北・北海道支部新春講演会、仙台、(2003 年 3 月 15 日)]
江刺正喜
174) MEMS･NEMS(Micro-Nano Electro Mechanical Systems)が拓く新産業
[次世代センサ協議会、ｾﾝｻ･ｱｸﾁｭｴｰﾀ･ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ/ｳｨｰｸ 2003 総合ｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ、東京, (2003 年 4 月 9
日)],pp.1-9]
江刺正喜
175) 次世代マイクロシステム(マイクロシステムのパッケージングに関する研究)
[仙台地域知的クラスター創成事業「知的クラスター公開講座」、仙台、(2003 年 5 月 22 日)]
江刺正喜
176) バルクマイクロマシニングによる MEMS
[SUSS MEMS Seminar、横浜、(2003 年 6 月 30 日)]
江刺正喜
177) ナノテクノロジー・マイクロマシンの最近の研究開発動向
[ナノ光研究システムコンソーシアム研究会、神奈川、(2003 年 6 月 30 日)]
江刺正喜
178) マイクロ・ナノマシニングの現状と展望
[三井業際研究所講演会、東京, (2003 年 7 月 9 日)]
江刺正喜
179) マイクロマシンテクノロジの応用
[宮城県仙台第一高等学校招聘講座「科学技術の未来像」
、仙台 (2003 年 7 月 10 日)]
江刺正喜
180) マイクロマシニングによる MEMS(微小電気機械システム)
[産総研メンブレン化学研究ラボ講演会、仙台 (2003 年 7 月 16 日)]
江刺正喜
181) MEMS デバイスとパッケージング
[次世代センサ協議会第 12 回センサテクノスクール、東京 (2003 年 7 月 22 日)]
江刺正喜
182) マイクロ・ナノマシニングの現状と展望
[第 23 回 JASM 研究会、東京, (2003 年 7 月 25 日)]
江刺正喜
183) 東北大学における産学連携のシーズ
[ふくしま産学連携交流事業東北大学講演会＆交流会、福島，(2003 年 8 月 5 日)]
江刺正喜
184) MEMS 実装技術の動向
[化学工学会エレクトロニクス部会、シンポジウム「MEMS と高密度実装の接点を探る」、東京
（2003 年 8 月 6 日）]
江刺正喜
162
185) マイクロ・ナノマシニングによる MEMS
[中央大学理工学部談話会、東京，(2003 年 8 月 27 日)]
江刺正喜
186) マイクロマシニングと MEMS
[第１回「にいがたナノテク研究会」
、新潟、(2003 年 8 月 29 日)]
江刺正喜
187) マイクロ・ナノマシニングによる MEMS/NEMS
[電子情報通信学会電子デバイス研究会、ED2003-120、飯塚、(2003 年 9 月 2 日)]
江刺正喜、小野崇人、ファンミンゴ
188) MEMS 技術による新産業創出の展望
[JST フォーラム 20 期 2 回、東京，(2003 年 9 月 9 日)]
江刺正喜
189) マイクロマシーニング－製作技術－
[神奈川科学技術アカデミー、教育講座(マイクロマシン・MEMS 研究の最新動向コース)、神奈川、
(2003 年 9 月 24 日)]
江刺正喜
190) MEMS(微小電気機械システム)研究における産学連携
[大学発産学官連携フォーラム、浜松 (2003 年 10 月 22 日)]
江刺正喜
191) マイクロマシン/MEMS –その応用と展望[電子ジャーナル Technical Symposium、東京 (2003 年 10 月 28 日)]
江刺正喜
192) マイクロマシニングと MEMS(微小電気機械システム)
[第 4 回大阪工業大学バイオベンチャーシンポジウム、大阪 (2003 年 10 月 29 日)]
江刺正喜
193) マイクロ・ナノマシニングによる医療
[第 41 回日本人工臓器学会大会、仙台 (2003 年 10 月 31 日)]
江刺正喜
194) マイクロ・ナノマシニングと MEMS
[躍進する企業のための産学共同技術フォーラム、東京 (2003 年 11 月 5 日)]
江刺正喜
195) マイクロナノマシニングの応用
[「ドイツにおけるマイクロ･ナノテクと光学技術」セミナー、東京 (2003 年 11 月 10 日)]
江刺正喜
196) マイクロマシーニング－MEMS の製作技術－
[セミコンジャパン MEMS パビリオン、幕張 (2003 年 12 月 5 日)]
江刺正喜
197) 最新 MEMS 展開の動向と MEMS ポテンシャルへの期待
[最新 MEMS デバイス開発テクノロジーと実用化へのシナリオを探る、東京 (2003 年 12 月 10 日)
pp.1-14]
江刺正喜
198) マイクロ・ナノマシニングとその医学応用
[ナノメディシンフォーラム NWF2003、東京 (2003 年 12 月 20 日)]
江刺正喜
199) マイクロマシーニングによる MEMS とパッケージング
[電子情報技術産業協会、極限 CMOS デバイス技術専門委員会、東京 (2004 年 1 月 13 日)]
江刺正喜
163
200) 高付加価値部品の研究開発と仙台 MEMS パーク
[山形県工業技術センター講演会、山形 (2004 年 1 月 14 日)]
江刺正喜
201) マイクロマシニングと MEMS
[レーザ学会第 24 回年次大会、仙台 (2004 年 1 月 29 日)]
江刺正喜
202) マイクロマシンの最新技術
[新技術協会「経営者の感性を磨く会」
、東京 (2004 年 2 月 20 日)]
江刺正喜
203) 高付加価値部品の MEMS に関連した産業支援
[日本学術振興会協力会第 79 回理事会及び第 71 回評議員会、東京 (2004 年 2 月 26 日)]
江刺正喜
204) 高付加価値システムデバイスとしての MEMS における産学連携
[東北大学先端研究セミナー、東京 (2004 年 2 月 27 日)]
江刺正喜
205) 次世代マイクロシステム(マイクロシステムのパッケージング)に関する研究
[2004 TOHOKU クラスターコラボレーション、仙台 (2004 年 3 月 2 日)]
江刺正喜
206) MEMS パッケージング
[日本機械学会 RC214
「エレクトロニクス実装における信頼性設計と熱制御に関する研究分科会」
、
東京 (2004 年 5 月 18 日)]
江刺正喜
207) 半導体技術を応用したナノ医療デバイス
[第 43 回日本エム・イー学会大会、NEDO ワークショップ「ナノ医療デバイスへの期待」、金沢(2004
年 5 月 19 日)]
江刺正喜
208) 産業に役立つ工学－マイクロマシニングと MEMS－
[平成 16 年度日立 IT ユーザ会東北支部総会、仙台 (2004 年 5 月 24 日)]
江刺正喜
209) 高付加価値システム・デバイスとしての MEMS
[MEMS ソリューション 2004, 東京 (2004 年 6 月 25 日)]
江刺正喜
210) 先端的電子デバイス開発を支える精密技術 -パッケージングと貫通配線技術[精密加工研究会セミナー、仙台 (2004 年 7 月 14 日)]
江刺正喜
211) 最新の MEMS 技術およびアプリケーションの動向と課題
[ナノテクノロジービジネス推進協議会、東京 (2004 年 7 月 21 日)]
江刺正喜
212) 高付加価値システム・デバイスとしての MEMS(微小電気機械システム)
[大分県半導体関連企業ビジネスチャンス研究会半導体先端技術セミナー, 大分 (2004 年 8 月 26
日)]
江刺正喜
213) マイクロ・ナノマシニングによる MEMS －マイクロマシニングとナノの融合－
[第 92 回電子セラミック・プロセス研究会、東京 (2004 年 9 月 11 日)]
江刺正喜
214) 半導体微細加工技術で作る MEMS（微小電気機械システム）の産業展開
[ユーメー塾例会、仙台 (2004 年 9 月 14 日)]
164
江刺正喜
215) MEMS における産学連携
[イノベーションジャパン 2004 「ハイテクの産学連携」、東京 (2004 年 9 月 29 日)]
江刺正喜
216) MEMS(微小電気機械システム)が可能性の扉を開く－半導体微細加工技術を発展させ、高付加価
値部品を作る－
[青森県、第１回ナノテクセミナール、青森、(2004 年 10 月 8 日)]
江刺正喜
217) マイクロマシン/MEMS の現状と動向
[Electronic Journal 89th Thechnical Symposium,東京 (2004 年 10 月 27 日)]
江刺正喜
218) Feedthrough in Glass for Wafer Level Packaging and Arrayed MEMS
[Microsystems and Nanotechnology: Application Made in Germany セミナー, 東京(2004 年 11
月 8 日)]
江刺正喜
219) 最新 MEMS 技術と中小企業に役立つコラボレーション
[日本中小企業振興協会、
「新技術紹介講演会」、東京 (2004 年 11 月 10 日) 1-11]
江刺正喜
220) MEMS プロセスの新展開
[SEMI MEMS/NEMS パビリオン特別講演、幕張 (2004 年 12 月 3 日)]
江刺正喜
221) マイクロ・ナノ技術による医用デバイス－新しいカテーテル・内視鏡の開発－
[第 19 回「大学と科学」公開シンポジウム"人体にやさしい医療材料"、東京 (2004 年 12 月 4 日)
14-16]
江刺正喜
222) 半導体微細加工技術で作る MEMS（微小電気機械システム）の産業展開
[みやぎ産学官研究成果発表・交流会、仙台 (2004 年 12 月 8 日)]
江刺正喜
223) MEMS の最新技術動向と将来展望
[ナノテク研究・ビジネス最前線、福岡 (2004 年 12 月 24 日)]
江刺正喜
224) 半導体微細加工技術で作る MEMS（微小電気機械システム）の産業展開
[科学技術者フォーラムセミナー、東京 (2005 年 1 月 24 日)]
江刺正喜
225) MEMS によるスイッチと RF 共振子
[第 1 回 MEMS パークコンソーシアム研究会、仙台 (2005 年 1 月 25 日)]
江刺正喜
226) 半導体微細加工技術で作る MEMS（微小電気機械システム）による高付加価値部品
[平成 16 年度宮城県企業立地セミナーin Osaka、大阪 (2005 年 2 月 3 日)]
江刺正喜
227) 仙台発 MEMS パークコンソーシアム推進
[ナノテクノロジービジネスフォーラム、東京 (2005 年 2 月 23 日)]
江刺正喜
228) 半導体微細加工技術による MEMS（微小電気機械システム）
[第二回東北大学工学系技術フォーラム、東京 (2005 年 2 月 23 日)]
江刺正喜
229) MEMS の産業展開
165
[第 16 回 TSUNAMI セミナー、横浜 (2005 年 3 月 2 日)]
江刺正喜
230) MEMS の基礎と応用徹底解説
[Electronic Journal 1st Technical Seminar、東京 (2005 年 3 月 3 日)]
江刺正喜
231) MEMS（微小電気機械システム)における産学連携－医療機器等の事例
[医工連携をめざす産学官フェスタ in うつのみや、宇都宮 (2005 年 3 月 7 日)]
江刺正喜
232) 半導体微細加工技術による MEMS（微小電気機械システム）の産業展開
[MEMS 講演会(にいがた産業創造機構主催)、新潟 (2005 年 3 月 14 日)]
江刺正喜
233) ナノテクノロジーについて
[日本技術士会東北支部、平成 17 年度技術士合格祝賀会講演会、仙台 (2005 年 3 月 15 日)]
江刺正喜
234) MEMS プロセス開発の現状と課題、展望
[第 52 回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、埼玉(2005 年 3 月 15 日) 1081]
江刺正喜
235) MEMS 技術の現状と今後の展望
[オプトメカトロニクス協会、東京 (2005 年 4 月 6 日)]
江刺正喜
236) ナノテクノロジーとマイクロテクノロジーによるモノづくり
[ナノ学会第 3 回大会、仙台 (2005 年 5 月 9 日) 33-34]
江刺正喜
237) 半導体技術による MEMS の医療・バイオ応用
[第 2 回東北大学バイオサイエンスシンポジウム、仙台 (2005 年 5 月 16 日)]
江刺正喜、芳賀洋一、小野崇人
238) 半導体微細加工でつくる高付加価値部品－ MEMS（微小電気機械システム）－
[青葉工業会平成 17 年度第 50 回通常総会記念講演東京 (2005 年 5 月 22 日)]
江刺正喜
239) MEMS の産業展開
[NPO FINE 第 16 回講演会交流会、東京 (2005 年 5 月 26 日)]
江刺正喜
240) MEMS（微小電気機械システム）の産業展開
[埼玉県広域産学連携技術セミナー、さいたま市(2005 年 6 月 14 日)]
江刺正喜
241) MEMS（微小電気機械システム）と産学官連携
[岩手県商工会南部広域指導センター産学官連携セミナー、岩手県千厩町(2005 年 6 月 20 日)]
江刺正喜
242) 仙台発「MEMS パークコンソーシアム」
[第 4 回産学連携推進会議、京都 (2005 年 6 月 25 日)]
江刺正喜
243) MEMS の産学・地域連携
[MEMS ものづくりネットワーク第 1 回会議、山形 (2005 年 6 月 27 日)]
江刺正喜
244) マイクロマシーニング-製作技術[神奈川科学技術アカデミー教育講座(マイクロマシン･MEMS 研究の最新動向)、神奈川 (2005 年
6 月 28 日)]
166
江刺正喜
245) MEMS ならデバイスを高く売れる
[MEMS ソリューション 2005、東京 (2005 年 7 月 7 日)]
江刺正喜
246) 「MEMS の流れ」について
[ナノテクキャラバン仙台、仙台 (2005 年 8 月 2 日)]
江刺正喜
247) MEMS の最新技術動向と将来展望
[みやぎの先端技術展示会・技術講演会、東京 (2005 年 9 月 1 日)]
江刺正喜
248)
マイクロマシニングと MEMS の歴史と展望
[アルバック G テクノフロンティア, 北九州 (2005 年 9 月 15 日)]
江刺正喜
249) MEMS の最新技術動向と将来展望
[Advances in Process Technology for MEMS, Advanced Packaging and Nano Technology (2005 SUSS
MicroTec Seminar in Japan), 東京 (2005 年 10 月 6 日)]
江刺正喜
250) マイクロマシン/MEMS の現状と最新動向
[Electronic Journal 114th Thechnical Symposium,東京 (2005 年 10 月 25 日)]
江刺正喜
251) ナノ・マイクロマシンの医療応用
[第 32 回日本臨床バイオメカニクス学会, 札幌 (2005 年 10 月 28 日) 52]
芳賀洋一、松永忠雄、牧志渉、江刺正喜
252) LSI 応用に役立つ MEMS 技術
[第 8 回 LSI・アプリケーション産学連携会議、北九州市 (2005 年 11 月 18 日)]
江刺正喜
253) MEMS（微小電気機械システム）の産業展開
[成形加工シンポジア’05, 仙台 (2005 年 11 月 24 日) 1-4]
江刺正喜
254) 21 世紀を開く日本の先進技術-マイクロナノマシニング・MEMS の現状と近未来の可能性[新経営研究会 21 世紀フォーラム, 東京 (2005 年 11 月 25 日)]
江刺正喜
255) 半導体微細加工技術で作る MEMS(微小電気機械システム)とその低侵襲医療応用
[第 32 回日本マイクロサージャリー学会学術集会、仙台 (2005 年 12 月 2 日) 55]
江刺正喜
256) MEMS プロセスの新展開
[SEMICON Japan 2005, MEMS/NEMS パビリオン、幕張 (2005 年 12 月 8 日)]
江刺正喜
257) 半導体技術で作る MEMS(微小電気機械システム)
[仙台経済同友会「第 10 回知づくり委員会」、仙台 (2005 年 12 月 15 日)]
江刺正喜
258) 実用化を重視した MEMS 開発
[応用物理学会応用電子物性分科会研究会、東京 (2005 年 12 月 21 日)]
江刺正喜
259) MEMS(微小電気機械システム)の現状と展望
[豊田工業大学研究談話会、名古屋(2006 年 1 月 20 日)]
江刺正喜
167
260) 半導体微細加工技術で作る MEMS(微小電気機械システム) の産業展開
[日本鉱業協会新材料部会、東京 (2006 年 1 月 24 日)]
江刺正喜
261) ナノテク時代における MEMS･NEMS について
[ナノテクノロジービジネス協議会(NBCI)第 3 回トップセミナー、東京 (2006 年 1 月 25 日)]
江刺正喜
262) MEMS for practical applications
[Bio Nano Robo Seminar, 東京 (2006 年 1 月 27 日)]
江刺正喜
263) MEMS 技術とセンサ・アクチュエータ
[日本計量機器工業連合会新技術導入活用研究会、東京 (2006 年 2 月 22 日)]
江刺正喜
264) メムス(MEMS)の過去、現在、未来
[日本機械学会東北支部主催、市民セミナー「メムス(MEMS) －システムの鍵を握る部品は半導
体技術を中心に作られる－」
、仙台 (2006 年 3 月 4 日)]
江刺正喜
265) MEMS の基礎と応用徹底解説
[Electronic Journal 44th Technical Seminar, 東京 (2006 年 3 月 6 日)]
江刺正喜
266) 医療デバイスなどの MEMS 開発における産学連携
[都市エリア産学連携促進事業(熊本エリア) 発展型事業構想・成果育成型成果発表会、熊本
(2006 年 3 月 8 日)]
江刺正喜
267) 医用デバイスと MEMS における産学連携
[京都発医･工・薬産学連携フォーラム、京都 (2006 年 3 月 20 日)]
江刺正喜
268) MEMS 関連のビジネス化
[電子情報通信学会 2006 年総合大会チュウトリアル講演「ナノ・メカ・バイオ機能材料のデ
バイス･システムへの応用の新展開」
、東京 (2006 年 3 月 26 日)]
江刺正喜
269) マイクロマシーニングの新展開
[センサ・アクチュエータ･マイクロマシン/ウィーク 2006 総合シンポジウム、東京 (2006 年 4
月 5 日)]
江刺正喜
270) MEMS(微小電気機械システム)の最新技術動向と将来展望－システムの鍵を握る部品は半導体
技術を中心に作られる－
[未踏科学技術協会、第 22 回特別講演会、東京 (2006 年 4 月 26 日)]
江刺正喜
271) LSI の高付加価値化と応用に役立つ MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)
[九州工業大学第２回東京シンポジウム、東京 (2006 年 4 月 27 日)]
江刺正喜
272) MEMS の製作と応用講座
[日経エレクトロニクス・日経マイクロデバイス・日本情報技術センター、東京 (2006 年 5 月
12 日、5 月 26 日、6 月 9 日)]
江刺正喜
273) パッケージングを中心とした役に立つ MEMS
[第 18 回半導体ワークショップ、浜松 (2006 年 6 月 16 日)]
168
江刺正喜
274) MEMS: 重要な部品は半導体技術を中心に作られる
[平成 16 年度文部科学省選定学術フロンティア推進事業「マイクロ機械め/知能エレクトロニク
ス集積化技術の総合研究」
、船橋 (2006 年 7 月 1 日)]
江刺正喜
275) マイクロマシーニング-製作技術[神奈川科学技術アカデミー教育講座(マイクロマシン･MEMS 研究の最新動向コース)、神奈川
(2006 年 7 月 4 日)]
江刺正喜
276) パッケージング進化論
[MEMS ソリューション 2006、東京 (2006 年 7 月 7 日)]
江刺正喜
277) MEMS パッケージング
[日本学術振興会未踏･ナノデバイステクノロジー第 151 委員会、仙台 (2006 年 7 月 10 日)]
江刺正喜
278) MEMS が切り開きつつある世界
[シーズとニーズの会、東京(2006 年 7 月 13 日)]
江刺正喜
279) 役に立つ MEMS
[第 9 回マイクロナノ先端技術交流会、東京(2006 年 7 月 18 日)]
江刺正喜
280) MEMS パッケージング
[日本学術振興会第 131,151 合同委員会、東京 (2006 年 7 月 24 日)]
江刺正喜
281) MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)について
[第 5 回次世代医療システム産業化フォーラム 2006、大阪 (2006 年 8 月 4 日)]
江刺正喜
282) 半導体微細加工技術を中心に作られるマイクロシステム
[2006 年度日本物理教育学会年会・第 23 回物理教育研究大会、仙台 (2006 年 8 月 5 日)]
江刺正喜
283) MEMS セミナー
[東北大学特定領域研究推進支援センター主催 MEMS セミナー, 東京 (2006 年 8 月 23 日-25 日)]
江刺正喜、小野崇人、田中秀治、西澤松彦、芳賀洋一、和賀三和子、戸津健太郎
284) 半導体技術を応用して作る MEMS(微小電気機械システム)
[いわて・みやぎ・やまがた新技術・新工法展示商談会、豊田 (2006 年 8 月 29 日)]
江刺正喜
285) マイクロマシン/MEMS の現状と動向
[Electronic Journal 139th Thechnical Symposium,東京 (2006 年 9 月 27 日)]
江刺正喜
286) マイクロ･ナノ構造によるセンシング
[日本化学会東北支部主催第 26 回物理化学コロキウム「ナノ化学－ミクロンスケールと分子を
結ぶ物理化学」, 仙台 (2006 年 10 月 6 日)]
江刺正喜
287) MEMS・NEMS とその将来
[Industry Strategy and Technology Forum 2006 (ISTF 2006), 横浜 (2006 年 10 月 11 日)]
江刺正喜
288) MEMS とそのパッケージング
169
[Small dimensions...big results (2006 SUSS MicroTec Seminar in Japan), 東京 (2006 年 10
月 16 日)]
江刺正喜
289) MEMS の最新動向と実用化への課題
[第 2 回 MEMS/MS 応用研究フォーラム, 北九州 (2006 年 10 月 20 日)]
江刺正喜
290) MEMS(微小電気機械システム)の産業展開
[第 10 回新化学関西セミナー, 大阪 (2006 年 11 月 14 日)]
江刺正喜
291) MEMS パッケージング
[第 22 回センサ&アクチュエータ技術シンポジウム-センサ技術最前線 2006, 東京 (2006 年 11 月
15 日)]
江刺正喜
292) 半導体技術による MEMS/NEMS
[かわさきサイエンス&テクノロジーフォーラム 2006, 川崎 (2006 年 11 月 20 日)]
江刺正喜
293) MEMS パッケージング
[第 18 回高度実装技術研究会, 横浜(2006 年 11 月 21 日)]
江刺正喜
294) MEMS(微小電気機械システム) -システムの重要な部品は半導体技術を中心に作られる[東北大学 100 周年記念サテライトセミナー (名古屋)、名古屋(2006 年 11 月 29 日)]
江刺正喜
295) マイクロ技術で病気をなおす
[東北大学 100 周年記念仙台セミナー、仙台(2006 年 12 月 3 日)]
江刺正喜
296) マイクロ/MEMS アクチュエータ
[ブレークスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究、仙台(2006 年 12 月 19 日)]
江刺正喜
297) 役に立つ MEMS(微小電気機械システム)
[次世代センサ協議会特別講演会、東京 (2007 年 1 月 12 日)]
江刺正喜
298) MEMS の基礎と応用徹底解説
[Electronic Journal 98th Technical Seminar, 東京 (2007 年 3 月 8 日)]
江刺正喜
294) SiC 基板のナノテクノロジー・MEMS 等への応用
[ポスト Si デバイス&将来加工プロセス研究会主催シンポジウム、新しい半導体デバイス技術のサ
ステナビリティ俯瞰とそのアプローチ, 埼玉 (2007 年 3 月 9 日)]
江刺正喜、田中秀治
295) MEMS の現状と展望
[にいがたナノテク研究会戦略技術開発研究成果普及講習会、長岡 (2007 年 3 月 16 日)]
江刺正喜
296) 低侵襲医療とマイクロシステム
[都市エリア産学官連携促進事業(びわこ南部エリア)研究成果発表会、
大津 (2007 年 3 月 20 日)]
江刺正喜
297) MEMS 技術最前線
[センサ・アクチュエータ･マイクロマシン/ウィーク 2007 総合シンポジウム、東京 (2007 年 4
月 4 日)]
170
江刺正喜
298) 半導体技術による MEMS(微小電気機械システム)の低侵襲医療・研究ツールへの応用
[第 27 回日本医学会総会、シンポジウム「ナノテクと医療」、大阪 (2007 年 4 月 8 日) p.286]
江刺正喜、芳賀洋一、小野崇人
299) MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の現状と今後の展望
[第 25 回空気清浄とコンタミネーションコントロール研究大会、東京 (2007 年 4 月 12 日 )
16-34]
江刺正喜
300) MEMS の製作と応用
[日経エレクトロニクス・日本情報技術センター、東京 (2007 年 5 月 11 日、5 月 25 日、6 月 8
日)]
江刺正喜
301) 半導体微細加工技術を中心に作られる高付加価値システム部品(MEMS)
[第 20 回理研シンポジウム、マイクロファブリケーション研究の最新動向、和光 (2007 年 5 月
15 日) 67-83]
江刺正喜
302) 役に立つ工学－重要な部品は半導体技術を中心に作られる－
[平成 19 年度東北工学教育協会特別講演会、仙台(2007 年 5 月 31 日)]
江刺正喜
303) MEMS 技術の最新動向
[MEMS International 2007、東京 (2007 年 6 月 7 日)]
江刺正喜
304) 導電性高分子を記録媒体に用いたマルチプローブ記録装置
[東北大学、科学技術振興機構による「新技術説明会」－ナノメカニクスが拓く機能創成と制御
－, 東京 (2076 年 6 月 8 日)]
江刺正喜
305) MEMS for practical applications
[日伊ナノテクノロジーフォーラム, 仙台 (2007 年 6 月 12 日)]
江刺正喜
306) 役に立つ MEMS
[播磨ものづくりクラスター協議会シンポジウム「ものづくりに関する講演会」, 姫路 (2007 年
6 月 14 日)]
江刺正喜
307) MEMS(微小電気機械システム) －システムの重要な部品は半導体技術を中心に作られる－
[豊田工業大学における文部科学省私立大学学術研究高度化推進事業 10 周年記念シンポジウム、
名古屋 (2007 年 6 月 15 日)]
江刺正喜
308) MEMS とそれに関係するインクジェット技術や液体操作技術
[リアライズ理工センターセミナー
「インクジェット技術のエレクトロニクス応用と今後の課題」、
東京 (2007 年 6 月 28 日)]
江刺正喜
275) マイクロマシーニング-製作技術[神奈川科学技術アカデミー教育講座(マイクロマシン･MEMS 研究の最新動向コース)、神奈川
(2006 年 7 月 3 日)]
江刺正喜
298) SiC 基板の MEMS への応用
[Electronic Journal 122th Technical Seminar, 東京 (2007 年 8 月 20 日)]
171
江刺正喜
299) MEMS の動向と応用
[第 3 回機能性フィルム研究会, 東京 (2007 年 9 月 12 日)]
江刺正喜
300) 大量生産時代の MEMS と真空技術
[真空フォーラム 2007, 東京 (2007 年 9 月 13 日)]
江刺正喜
301) 半導体微細加工技術による微小電気機械システム(MEMS)
[エレクトロニクス技術広域分野研究交流会, 仙台 (2007 年 9 月 21 日)]
江刺正喜
302) マイクロマシン/MEMS の現状と動向
[Electronic Journal 163th Thechnical Symposium, 東京 (2007 年 9 月 27 日)]
江刺正喜
303) MEMS プロセスの新しい話題
[第 16 回センサテクノスクール、次世代センサ・アクチュエータの基礎から最先端技術, 東京
(2007 年 10 月 12 日)]
江刺正喜
304) MEMS(微小電気機械システム)における産学連携
[第 24 回センシングフォーラム, 仙台 (2007 年 10 月 25 日)]
江刺正喜
305) MEMS(微小電気機械システム) －重要な部品は半導体技術を中心に作られる－
[仙台西ロータリークラブ例会, 仙台 (2007 年 10 月 26 日)]
江刺正喜
306) MEMS(微小電気機械システム) －重要な部品は半導体技術を中心に作られる－
[東北学院大学工学部環境防災研究所主催講演会, 仙台 (2007 年 11 月 6 日)]
江刺正喜
307) そこにもここにも身近なマイクロマシン(MEMS)
[(財)レーザ技術総合研究所創立 20 周年記念セミナー、大阪 (2007 年 11 月 7 日)]
江刺正喜
308) Packaging and Practical Application of MEMS
[The 3rd Fraunhofer-Gesellschaft Symposium in SENDAI、仙台 (2007 年 11 月 9 日)]
江刺正喜
309) MEMS 技術の最新動向
[講演会「MEMS センサの開発動向と応用」
、弘前 (2007 年 11 月 13 日)]
江刺正喜
310) MEMS 技術の最新動向
[電気学会交通システムに関わる調査専門委員会、仙台 (2007 年 11 月 14 日)]
江刺正喜
311) MEMS 技術の最新動向
[仙台 EMC 研究センター推進部会 H19 年度第 2 回研究会、仙台 (2007 年 11 月 14 日)]
江刺正喜
312) MEMS の現状と今後の動向
[半導体シニア協会研修会、東京 (2007 年 12 月 13 日)]
江刺正喜
313) MEMS の技術動向と研究紹介
[More than Moore ネット勉強会、東京 (2007 年 12 月 27 日)]
江刺正喜
172
314) MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) －システムの重要な部品は半導体技術を中心に作
られる－
[一ノ関高専先端科学特別講演会、一ノ関 (2008 年 1 月 17 日)]
江刺正喜
315) MEMS 技術と応用の最新動向
[第 10 回 MEMS 講習会「MEMS の設計・加工技術」
、仙台 (2008 年 1 月 21 日)]
江刺正喜
316) MEMS によるロボット要素技術と低侵襲医療
[第２回特殊環境 RT シンポジウム、仙台 (2008 年 1 月 30 日)]
江刺正喜
317) 安全と環境を支える MEMS 技術の将来展望
[シリコンシーベルトサミット福岡 2008, 福岡 (2008 年 2 月 26 日)]
江刺正喜
318) MEMS 研究とコラボレーション
[ナノテクノロジー・ネットワーク第 2 回総会、東京 (2008 年 2 月 26 日)]
江刺正喜
319) MEMS 技術・デバイスの最近の動向
[第 4 回電波航法研究会、東京(2008 年 2 月 29 日)]
江刺正喜
320) MEMS の基礎と応用徹底解説
[Electronic Journal 164th Technical Seminar, 東京 (2008 年 3 月 4 日)]
江刺正喜
321) MEMS 技術の現状と今後の展望について
[MEMS パークコンソーシアム公開セミナー, 仙台 (2008 年 3 月 18 日)]
江刺正喜
322) MEMS デバイスに関わる材料とプロセス技術
[電子情報通信学会 2008 年総合大会、チュートリアルセッション CT-1(サステイナブル社会のた
めの先端デバイス・材料とプロセス技術の現在と未来)、北九州 (2008 年 3 月 20 日)]
江刺正喜
323) MEMS センサ技術と鉄道応用の可能性
[平成 20 年電気学会全国大会、シンポジウム S-26(鉄道の安全とセンサ技術)、福岡 (2008 年 3
月 21 日) 3-S26-2]
江刺正喜
324) MEMS 技術の現状と集積化技術への期待
[第 55 回応用物理学関係連合講演会、船橋 (2008 年 3 月 27 日) 27p-ZA-3]
江刺正喜
325) 低侵襲医療のための高機能マイクロデバイスの開発
[第 47 回日本生体医工学会大会、神戸 (2008 年 5 月 9 日) 234]
芳賀洋一、松永忠雄、牧志渉、江刺正喜
326) 過去の研究を生かした役に立つ医療用 MEMS の開発に向けて
[第 47 回日本生体医工学会大会、神戸 (2008 年 5 月 9 日) 235]
江刺正喜
327) Application Oriented MEMS by Open Collaboration
[The 22nd Japan-France Industrial Corporation Committee, 仙台 (2008 年 5 月 12 日)]
江刺正喜
328) MEMS の次の付加価値"集積化・パッケージング技術"の最新動向
[MEMS International 2008、東京 (2008 年 5 月 16 日)]
173
江刺正喜
329) MEMS 集積化とパッケージング
[EVG セミナー「MEMS-Smiconductor Integration」
、東京 (2008 年 5 月 23 日)]
江刺正喜
330) 役に立つ MEMS
[第 70 回レーザ加工学会、大阪 (2008 年 5 月 28 日) 79-84]
江刺正喜
331) 融合技術としての MEMS 技術とその課題
[KRI ワークショップ'08、京都 (2008 年 5 月 30 日)]
江刺正喜
332) MEMS のウェハレベルパッケージングと集積化
[電気学会センサ･マイクロマシン部門総合研究会、仙台 (2008 年 6 月 13 日) 19]
江刺正喜
333) MEMS のウェハレベルパッケージング
[2008 第 7 回長野実装フォーラム:第 24 回 YJC セミナー、軽井沢 (2008 年 6 月 27 日)]
江刺正喜
334) MEMS 技術の現状と将来展望
[エレクトロニクス実装学会、関西ワークショップ 2008、京都 (2007 年 7 月 11 日)]
江刺正喜
335) 東北地域における MEMS 人材育成への取組み
[MEMS/MS 応用研究フォーラム、北九州 (2008 年 7 月 15 日)]
江刺正喜
336) MEMS とカーエレクトロニクス
[MEMS/MS 応用研究フォーラム、北九州 (2008 年 7 月 15 日)]
江刺正喜
337) オープンコラボレーションで MEMS ビジネスを成功へ
[日独マイクロ・ナノビジネスフォーラム、東京 (2008 年 7 月 30 日)]
江刺正喜
338) 産業に広く役立つ MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の最前線
[第 9 回サイテックサロン、東京 (2008 年 8 月 24 日)]
江刺正喜
339) MEMS のパッケージングと集積化
[SEAj/SEMI Industry Sterategy and Technology Forum 2008 (ISTF2008) 横浜 (2008 年 9 月 17
日)]
江刺正喜
340) MEMS の QoL 応用 ―全般―
[日本半導体ベンチャー協会(JASVA) 第 2 回半導体先端技術・市場動向セミナー、東京 (2008
年 10 月 15 日)]
江刺正喜
341) 総論―マイクロマシン/MEMS の現状と動向
[Electronic Journal 242th Technical Seminar, 東京 (2008 年 10 月 16 日)]
江刺正喜
342) MEMS の技術動向
[次世代センサ協議会テクノスクール、東京 (2008 年 10 月 17 日)]
江刺正喜
343) MEMS における最新の技術動向
[(財)山形県産業技術振興機構新技術研修会「生体センシングと MEMS 技術の将来展望」、山形
174
(2008 年 11 月 4 日)]
江刺正喜
344) MEMS の製造技術(ユニット・プロセス、組立、設計・評価、試作ライン)
[日本半導体ベンチャー協会(JASVA) 第 2 回半導体先端技術・市場動向セミナー、東京 (2008
年 11 月 12 日)]
江刺正喜
345) MEMS 組立・テスト技術徹底検証
[Electronic Journal 256th Technical Seminar, 東京 (2008 年 11 月 13 日)]
江刺正喜
345) MEMS技術を用いた医療機器開発
[第17回MAGDAコンファレンス in 日立(主催：AEM学会)、日立 (2008年11月20～21日)]
芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
346) 実際に役立つMEMSのための創造的失敗
[SEMI STS マイクロシステム／MEMS セミナー、幕張、(2008 年 12 月 3 日)]
江刺正喜
347) マイクロマシーニング –製作技術[KAST 教育講座(マイクロマシン・MEMS 研究の最新動向)、神奈川 (2008 年 12 月 12 日)]
江刺正喜
348) MEMS の基礎と応用徹底解説
[Electronic Journal 288th Technical Seminar, 東京 (2009 年 1 月 28 日)]
江刺正喜
349) MEMS のウェハレベルパッケージング
[半導体パッケージング技術展専門技術セミナー、東京 (2009 年 1 月 30 日)]
江刺正喜
350) MEMS のパッケージング及び評価技術
[東京都立産業技術研究センター技術セミナー (MEMS(マイクロマシン)技術、東京 (2009 年 2
月 10 日)]
江刺正喜
351) Application Oriented MEMS
[Future Perspective of Sendai-Oulu Printed Electronics, 仙台 (2009 年 2 月 16 日)]
江刺正喜
352) MEMS マイクロホンの現状と展望
[Electronic Journal 306th Technical Seminar, 東京 (2009 年 2 月 26 日)]
江刺正喜
353) 役に立つ MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)
[化学技術戦略推進機構マルチスケール CP 技術研究会, 東京 (2009 年 2 月 27 日)]
江刺正喜
354) MEMS 接合技術
[Electronic Journal 313th Technical Seminar, 東京 (2009 年 3 月 12 日)]
江刺正喜
355) 東北大学を拠点に広がる研究開発ネットワークと新しい研究開発・事業化モデル
[「仙台から広がるマイクロシステムの国際ネットワーク、新しい研究開発モデル、そしてビジネ
ス]セミナー、仙台 (2009 年 4 月 1 日)]
江刺正喜
356) MEMS : 微小な部品で作られた電子機械
[自由民主党科学技術創造立国調査会、東京 (2009 年 4 月 7 日)]
江刺正喜
175
357) 最近の MEMS 動向
[センサ・アクチュエータ･マイクロマシン/ウィーク 2009 総合シンポジウム、東京 (2009 年 4
月 8 日)]
江刺正喜
358) 資金調達・インキュベーション
[第 6 回全国 VBL フォーラム in Tokyo, 東京 (2009 年 4 月 16 日)]
江刺正喜
359) 役に立つ MEMS
[平成 21 年度第 1 回にいがたナノテク研究会、長岡 (2009 年 5 月 19 日)]
江刺正喜
360) 革新パッケージング技術で新市場・応用創出
[MEMS International 2009、東京 (2009 年 5 月 28 日)]
江刺正喜
361) 企業が集まる産学連携拠点
[第 8 回産学官連携推進会議、京都 (2009 年 6 月 20 日)]
江刺正喜
362) MEMS の展望と BEANS プジェクトへの期待
[第 3 回 BEANS プロジェクトセミナー、東京 (2009 年 7 月 30 日)]
江刺正喜
363) 最近の MEMS 動向
[JST 研究会第 2 回「マイクロシステム応用研究会」
、名古屋 (2009 年 8 月 3 日)]
江刺正喜
364) MEMS の低コスト製造技術
[Electronic Journal 391th Technical Seminar, 東京 (2009 年 8 月 27 日)]
江刺正喜
365) MEMS とガラス
[第 90 回ニューガラスセミナー、東京 (2009 年 8 月 31 日)]
江刺正喜
366) 集積化 MEMS とバイオメディカル MEMS
[電子情報通信学会, 信学技報 ICD2009-44 (2009 年 10 月 1 日)]
江刺正喜
367) エレクトロニクス革命 ― 東北の拠点性 ―
[東北大学 102 周年ホームカミングデー、2009 年東北みらいプロジェクト「新地域創造―自立的
発展の基本戦略」パネリスト、(2009 年 10 月 10 日) 仙台]
江刺正喜
368) MEMS の最新動向
[産業技術総合研究所オープンラボ,つくば東事業所ワークショップ、(2009 年 10 月 15 日) つく
ば]
江刺正喜
369) Wafer Level Packaging & New MEMS Projects
[5th LETI Day, (2009 年 10 月 26 日) 東京]
江刺正喜
370) Wafer Level Packaging & New MEMS Projects
[2nd Workshop on MEMS, Tsukuba-AIST N-MEMS / CEA-LETI, (2009 年 10 月 27 日) つくば]
江刺正喜
371) MEMS 組立・テスト技術徹底検証
[Electronic Journal 223th Technical Symposium, 東京 (2009 年 11 月 17 日)]
176
江刺正喜
372) MEMS の動向と未来
[第 5 回フラウンホーファ in 仙台, 仙台 (2009 年 11 月 24 日)]
江刺正喜
373) MEMS 技術の今日と明日
[第 6 回色材 IT 講座, 東京 (2009 年 11 月 25 日)]
江刺正喜
374) MEMSの課題
[SEMI STS マイクロシステム／MEMS セミナー、幕張、(2009 年 12 月 2 日)]
江刺正喜
375) MEMS のバイオ・医療への展開
[九州バイオニック MEMS 研究会、福岡、(2009 年 12 月 9 日)]
江刺正喜
376) MEMS の加工法と最近の動向
[「高機能光学素子加工技術」技術講座、東京、(2009 年 12 月 10 日)]
江刺正喜
377) 役に立つ MEMS
[名古屋大学大学院工学研究科マイクロ･ナノメカトロニクス研究センター設立記念シンポジウ
ム、名古屋 (2010 年 1 月 19 日)]
江刺正喜
378) MEMS の最前線★徹底解説
[Electronic Journal 442th Technical Seminar, 東京 (2010 年 1 月 20 日)]
江刺正喜
379) 実用化に向けた MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)開発
[日本学術振興会テラヘルツ波科学技術と産業開拓第 182 委員会, 東京 (2010 年 1 月 29 日)]
江刺正喜
380) MEMS の集積化とパッケージング
[Seminar on Small Power Wireless Communications (小電力無線通信ワークショップ)、仙台
(2010 年 2 月 1 日)]
江刺正喜
381) Biomedical MEMS in Tohoku University
[Nano tec 2010 Seminar (View on Biomedical MEMS), 東京 (2010 年 2 月 18 日)]
江刺正喜
382) マイクロシステムにおける国際・産学連携
[第 2 回東北大学国際産学連携シンポジウム、東京 (2010 年 2 月 22 日)]
江刺正喜
383) MEMS マイクロホンの現状と将来展望
[Electronic Journal 459th Technical Seminar, 東京 (2010 年 2 月 24 日)]
江刺正喜
384) MEMS の最前線
[兵庫県立大学高度産業科学技術研究所、先端リソグラフィフォーラム、姫路 (2010 年 3 月 12
日)］
江刺正喜
385) 役に立つ MEMS
[MEMS Engineer Forum 2010, 東京 (2010 年 3 月 18 日)］
江刺正喜
386) 車載用 MEMS の現状と将来展望
177
[Electronic Journal 238th Technical Symposium, 東京 (2010 年 3 月 25 日)]
江刺正喜
387) Advanced Materials for MEMS
[The 2010 WPI-AIMR Annual Workshop, Sendai (March 27,2010))]
M.Esashi
388) MEMS for Hetero-Integration
[Joint Workshop on Nano Process and Nano Device, Tohoku Univ. National Ciao Tung University
(NCTU) National Nano Device Laboratories (NDL), Sendai (April 23-24, 2010)]
M.Esashi
389) オープンコラボレーションによる MEMS 開発
[平成 21 年度東北大学機械系同窓会特別講演会, 仙台 (2010 年 5 月 15 日)]
江刺正喜
390) 集積回路と組み合わせた MEMS
[LSI とシステムのワークショップ 2010, 北九州 (2010 年 5 月 18 日)]
江刺正喜
391) 集積化 MEMS 開発の間口を広げる産学協同の技術開発プラットフォーム
[MEMS International 2010、東京 (2010 年 6 月 7 日)]
江刺正喜
392) 産産学連携によるヘテロ集積化技術の開発
[第 55 回高分子夏季大学、仙台 (2010 年 7 月 14 日) 1-4]
江刺正喜
393) 東北大の MEMS とマイクロシステム融合研究センター
[東北大学-産総研連絡公開講演会、東京 (2010 年 7 月 28 日)]
江刺正喜
394) 東北大学の MEMS プロジェクト
[日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム、東京 (2010 年 7 月 30 日)]
江刺正喜
395) MEMS とそのパッケージング
[IEEE CPMT Japan Event Meeting, 東京 (2010 年 8 月 5 日)]
江刺正喜
396) マイクロシステム研究の経験から考える工学教育
[日本工学教育協会第 58 回年次大会特別講演、仙台 (2010 年 8 月 20 日)]
江刺正喜
397) MEMS の概要および技術動向
[文部科学省先端研究施設共用イノベーション創出事業シリコンナノ加工と高真空高度利用
技術に関する支援広島大学・山口大学合同シンポジウム、広島 (2010 年 8 月 27 日)]
江刺正喜
398) MEMS(微小電気機械システム)
[第 17 回レーザー夏の学校、京都 (2010 年 8 月 29 日)]
江刺正喜
399) マイクロテクノロジーを用いた先進医療機器の開発
[東アジア・環太平洋地域と医療光学の未来 (第 15 回東北大学グローバル COE「新世紀世界の
成長拠点に築くナノ医工学拠点」国際シンポジウム)、東京 (2010 年 9 月 11 日)]
芳賀洋一、松永忠雄、江刺正喜
400) MEMS の実用化を機軸にベンチャー企業「メムス・コア」設立へ
－メムス・コアに見るベンチャー企業と成功への軌跡－
[日本半導体ベンチャー協会・東北 JASVA セミナー、JASVA Day 東北 2010、仙台 (2010 年 9 月
178
13 日)]
江刺正喜
401) MEMS の最新動向
[産総研オープンラボセミナー、N-MEMS の最前線、つくば (2010 年 10 月 14 日)]
江刺正喜
402) MEMS センサとオープンコラボレーション
[(社)電子情報技術産業協会、平成 22 年度第 3 回「センシング技術実用化ロードマップ調査分
科会」
、東京 (2010 年 10 月 18 日)]
江刺正喜
403) MEMS 組立・テスト・実装技術の最前線
[Electronic Journal 269th Technical Symposium, 東京 (2010 年 11 月 17 日)]
江刺正喜
404) MEMS によるヘテロ集積化
[53 回半導体国際ロードマップ(ITRS)新探求デバイス(ERD)WG 委員会, 東京 (2010 年 11 月 18
日)]
江刺正喜
405) 東北大の MEMS と産学連携
[光産業技術振興協会、
平成 22 年度多元技術融合光プロセス研究会第 4 回研究交流会、仙台 (2010
年 11 月 26 日)]
江刺正喜
406) MEMS成功の事例研究
[SEMI STS マイクロシステム／MEMS セミナー、幕張、(2010 年 12 月 3 日)]
江刺正喜
407) 産学連携による人材育成
[日本学術会議マイクロ・ナノエンジニアリングシンポジウム、東京、(2010 年 12 月 8 日)]
江刺正喜
408) 化学センサから集積化 MEMS へ
[バイオエレクトロニクスの未来を語る、森泉豊栄先生追悼シンポジウム、東京、(2010 年 12 月
10 日)]
江刺正喜
409) MEMS センサの産業化・実用化の動向
[次世代センサ協議会東北支部・秋田県 21 世紀エレクトロニクス応用研究会合同研究会、秋田
(2010 年 12 月 17 日)]
江刺正喜
410) 役に立つ MEMS
[立命館]大学ナノマシンシステム技術研究センター10 周年記念講演会、草津 (2010 年 12 月 22
日)]
江刺正喜
411) 超並列電子線描画装置
[マイクロシステム融合研究会 (第 3 回), 仙台 (2011年1月14日)]
江刺正喜
412)マイクロシステム研究の経験から考える,役に立つ元気な人材を育てる工学教育
[日本大学生産工学部平成22年度FD講演会, 津田沼 (2011年1月18日)]
江刺正喜
413) マイクロマシン/MEMS★徹底解説
[Electronic Journal 669th Technical Seminar, 東京 (2011 年 1 月 27 日)]
江刺正喜
179
414) MEMSのオープンコラボレーション
[MEMS Engineer Forum 2011, 東京 (2011 年 3 月 7 日)］
江刺正喜
415) MEMSデバイスを中心としたイノベーション
[第2回アントレプレナーシップシンポジウム, 千葉 (2011年3月9日)]
江刺正喜
416) MEMSのオープンコラボレーション
[CNT-MEMS-TIA共同シンポジウム、つくば (2011年5月25日)]
江刺正喜
417) MEMS のウェハレベルパッケージング
[2011 最先端実装技術シンポジウム、東京(2011 年 6 月 3 日)]
江刺正喜
418) 圧力センサ/マイク/加速度センサ/ジャイロ★徹底解説
[Electronic Journal 710th Technical Symposium, 東京 (2011 年 6 月 28 日)]
江刺正喜
419) Micro System Integration Center in Tohoku University
[日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム, 東京 (2011 年 7 月 14 日)]
江刺正喜
420) 拠点形成と地域発イノベーション
[光融合技術イノベーションセンター開設式・記念講演会, 宇都宮 (2011 年 7 月 14 日)]
江刺正喜
421) 半導体集積回路に異分野技術を融合したマイクロシステム
[日本学術会議第三部会主催市民公開講演会, 仙台 (2011 年 8 月 8 日)]
江刺正喜
422) MEMS デバイス技術の最新技術動向
[豊田中央研究所講演会、名古屋 (2011 年 9 月 7 日)]
江刺正喜
423) 異分野技術によるマイクロシステム開発とコラボレーション
[第 10 回産学官連携推進会議、東京 (2011 年 9 月 22 日)]
江刺正喜
424) マイクロシステムと集積化
[第 3 回マイクロ･ナノ産業化シンポジウム、東京 (2011 年 9 月 26 日) 4-6]
江刺正喜
425) 巨大地震の体験から今後のセンサ技術を考える
[第 28 回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム、東京 (2011 年 9 月 26 日)]
江刺正喜
426) MEMS のオープンコラボレーション
[佐々木正塾講演会、東京 (2011 年 10 月 15 日)]
江刺正喜
427) MEMS のオープンコラボレーション
[MEMS 産業動向研究会、仙台 (2011 年 10 月 20 日)]
江刺正喜
428) 微小電気機械システム研究実用化の経験から考える連携の在り方
[第 6 回海洋工学センターと研究領域との意見交換会、追浜 (2011 年 10 月 26 日)]
江刺正喜
429) マイクロシステム開発のオープンコラボレーション
[第 4 回東北大学国際シンポジウム、東京 (2011 年 10 月 27 日)]
180
江刺正喜
430) 東北大学における役に立つ MEMS の研究
[第 7 回フラウンホーファーシンポジウム in Sendai、仙台 (2011 年 11 月 8 日)]
江刺正喜
431) 東北大学マイクロシステム融合開発センター（μSIC）
[東北大学マイクロシステム融合研究開発センターシンポジウム 2011、
仙台 (2011 年 11 月 9 日)]
江刺正喜
432) 最先端研究開発支援プログラム概要説明
[東北大学マイクロシステム融合研究開発センターシンポジウム 2011、
仙台 (2011 年 11 月 9 日)]
江刺正喜
433) 東北大学マイクロシステム融合研究センター
[次世代センサ協議会第 62 回研究会、仙台 (2011 年 11 月 10 日)]
江刺正喜
434) MEMS の技術トレンドと将来の方向性
[SEMICON Japan 2011, STS スポット講演:マイクロシステム・MEMS, 幕張 (2011 年 12 月 8 日)]
江刺正喜
435) 半導体技術によるマイクロシステム
[JST さきがけ「界面の構造と制御」研究領域公開シンポジウム、仙台 (2012 年 1 月 5 日)]
江刺正喜
436) 異なる技術の融合で集積回路の高付加価値値をめざす
[FIRST サイエンスフォーラム 2、仙台 (2012 年 2 月 5 日)]
江刺正喜
437) MEMS 装置に関係する MEMS プロセス・パッケージ・テスト技術
[TIA N-MEMS シンポジウム「MNOIC」装置セミナー、つくば (2012 年 2 月 14 日)]
江刺正喜
438) 異なる技術の融合で集積回路の高付加価値値をめざす
[ふくいサイエンスフェスタ、福井 (2012 年 2 月 19 日)]
江刺正喜
439) MEMS の技術動向
[JEITA(電子情報技術産業協会)STRJ(半導体技術ロードマップ専門委員会)、東京 (2012 年 3 月 2
日)]
江刺正喜
440) 体内 MEMS センサの研究経緯
[MEMS Engineer Forum 2012, 東京 (2012 年 3 月 13 日)］
江刺正喜
441) オープンコラボレーションによる半導体センサの実用化
[第 2 回先進医療開発コアセンターシンポジウム、仙台 (2012 年 3 月 22 日)]
江刺正喜
442) MEMS 組立・実装・テスト技術の最前線
[Electronic Journal 998th Technical Seminar, 東京 (2012 年 5 月 30 日)]
江刺正喜
443) 東北大学・江刺教授による MEMS 学会「Hilton Head Workshop 報告」
[日経 BP Tech-on, 東京 (2012 年 7 月 10 日)]
江刺正喜
444) Integrated MEMS by Adhesive Bonding
[日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム, 東京 (2012 年 7 月 12 日)]
江刺正喜
181
445) 圧力センサ/マイク/加速度センサ/ジャイロ★徹底解説
[Electronic Journal 1168th Technical Symposium, 東京 (2012 年 7 月 30 日)]
江刺正喜
446) MEMS の技術の最新状況と今後の動向
[第 29 回高周波・アナログ半導体技術セミナ、京都 (2012 年 8 月 30 日)]
江刺正喜
447) マイクロナノマシニング技術の動向と未来
[ナノテクシンポジウム、富山 (2012 年 8 月 31 日)]
江刺正喜
448) 役に立つ MEMS
[ｾﾝｻ･ｱｸﾁｭｴｰﾀ･ﾏｲｸﾛﾅﾉ/ｳｨｰｸ 2012, 次世代ｾﾝｻ総合ｼﾝﾎﾟｼﾞｳﾑ、東京 (2012 年 10 月 10 日)]
江刺正喜
449) 半導体技術を中心としたマイクロシステム
[ナノファイバー学会第 3 回年次大会、仙台 (2012 年 10 月 12 日)]
江刺正喜
450) MEMS の歴史と今後の方向性について - 有用性の紹介と技術開発の展望 –
[MEMS ビジネスセミナー、名古屋 (2012 年 11 月 9 日)]
江刺正喜
451) Integrated MEMS by Adhesive Bonding
[Berkely Sensors & Actuator Center, Asia Technology Symposium、東京 (2012 年 11 月 13 日)]
M.Esashi and S.Tanaka
452) 若手エンジニアへのメッセージ
[振動を利用した MEMS デバイスに関するワークショップ(立命館大学)、南草津 (2012 年 11 月 16
日)]
江刺正喜
(i) 国外学会発表
1)
Development of Pulse Powered Command Receiver Using CMOS Custom IC Technology
［大韓電子学会夏季総合学術大会、韓国、6 月(1985)］
江刺正喜、崔世崑、松尾正之
2) Micromechnics in Japan
［Micromechnics Symposium,Stockholm SWEDEN,Oct(1985)］
M.Esashi
3) MEMS
[ソウル大学、Seoul, Korea, Aug. 1 (1996)］
M.Esashi
4) 微機電系統技術
［微機構興微製造技術研討会, Tao-yuan, Taiwan，Dec.16, (1996)]
M.Esashi
5) A Study of Smart Active Catheter
[KIEE'97 Annual Summer Conference,Korea,July 21-23 (1997)]
K.T.Park, Y.Haga, and M.Esashi
6) Novel Processing of PZT Micro-Rods for Micro-Transducers
[ICAT 24 Smart Actuator Symposium,Pennsylvania,April 20-21 (1998)]
S.Wang, J.F.Li, R.Watanabe and M.Esashi
182
7) Novel Force-balanced Micromechanical Vacuum Sensors
[Vacuum Science and Technology(China),19,4,pp.304-311 (1999)]
Y.Wang and M.Esashi
8) Medical MEMS
[大韓医用生体工学会、創立 20 周年記念講演,Seoul Nov.10 (1999)]
M.Esashi
9) Microactuators
[The 4th Nano Engineering and Micro System Technology Workshop, 新竹(台湾),Nov.１（2000)]
M.Esashi
10) Present Status and Future of Nanotechnology and MEMS
[The 2001 Annual Conf. of the Chinese Soc. for Mat. Sci., 台中(台湾),Nov.24 (2001)]
M.Esashi
11) Bulk Micromachining and MEMS Packaging
[第 22 回中日工程技術検討会, 新竹(台湾),May.28 (2002)]
M.Esashi
12) Micro-Nano Electro Mechanical Systems
[The 6th Nano Engineering and Micro System Technology Workshop, 台南(台湾),Nov.21 (2002)]
M.Esashi
13) Micro-Nanomachining and MEMS Packaging
[Technical Forum of MEMS Pavilion in SEMICON Taiwan, 台北(台湾),Sept.15 (2003)]
M.Esashi
14) Micro-Nanomachining and MEMS Packaging
[MEMS Seminor, 上海(中国) Dec.19-20 (2003)]
M.Esashi
15) Micro-Nano Electro Mechanical Systems
[Tohoku-Cambridge Forum, WorkshopⅡ: Nano-technology, Cambridge, June 11 (2004)]
M.Esashi
16) State-of-the-Art Micro-Nano Electro Mechanical Systems Design and Development
[The 2004 NSTDA Annual Conf., Bangkok, Thailand, June 28 (2004)]
M.Esashi
17) Electrical Feedthrough in Glass for Wafer Level Packaging and Arrayed MEMS
[Mechanics in Nanotechnology Symposium, in Celebration of the 20th Anniversary of Applied
Mechanics, Taipei, Taiwan, July 9 (2004)]
M.Esashi
18) MEMS and Industry-University Collaboration
[Taiwan-Japan Sensor & MEMS Technology Seminar, Hsinchu,Taiwan, March 30 (2006)]
M.Esashi
19) Application Oriented MEMS with Attention to Packaging
[The 8th Korean MEMS Conf., Jeju, Korea, April 8 (2006)]
M.Esashi
20) Discussant in the Panel (Development and Cooperation of High Tech Industries)
[Democratic Pacific Union, 2006 West Pacific Regional Convention, Seoul, Korea, June 3
(2006)]
M.Esashi
21) MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の研究開発における産学連携
[2006 日台科学技術フォーラム, Taipei, Taiwan, Sept.4-6 (2006)]
M.Esashi
183
22) MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) for Practical Applications
[日仏ジョイントフォーラム, Lion, France, Feb.8-9 (2007)]
M.Esashi
23) MEMS R&D Activities in Tohoku Universoty & Sendai City
[Hannver Messe, Forum Innovations for Industry, Micro Technology, April 16 (2007)]
M.Esashi
24) MEMS R&D Activities in Tohoku University
[1st Tohoku University International Innovation Forum, San Mateo, USA, April 26-27 (2007)]
M.Esashi
25) Application Oriented MEMS in Collaboration with Industry
[Ingemar Lundstrom Symposium, Linkoping, Sweden, Oct.9 (2008)]
M.Esashi
26) MEMS and NEMS
[2009 Joint HUT/TU Symposium on MEMS and Nano Technology, Hanoi, Vietnam, March 27 (2009)]
M.Esashi
27) MEMS for practical applications
[Seminar in IMEC, Leuven, June 2 (2009)]
M.Esashi
28) Practically Applicable MEMS
[Seminar in Stocholm University, Stockholm, June 4 (2010)]
M.Esashi
29) Practically Applicable MEMS with Attention to Packaging
[Integrated Microsystems Symposium, Michigan, Sept. 24 (2010)]
M.Esashi
30) MEMS for Practical Applications by Open Collaboration
[National Tsing Hua University, Jan.6 (2010)]
M.Esashi
31) MEMS Technologies with Attentions to Packaging
[National Taiwan Universty, Jan.7 (2010)]
M.Esashi
32) Outlook of MEMS Fabrication Technology : Histry and Future Trends
[3rd Workshop for MEMS Consortium “MEMS Fabrication Technology and Device Application”,
Jan.17 (2011)
M.Esashi
33) Local Synthesis and Alignment of Zinc Oxide Nanowires in Aqueous Solution Using
Microheaters
[Nanotechnology Students’ Summer School 2012, Tsukuba, Aug.27-31 (2012) 2]
W.C.Lin, Y.C.Lin, M.Esashi and A.A.Seshia
(j)
著書
1) 分担執筆田村善蔵監修
「臨床化学の進歩」22 章 (共著者:松尾) 1980 年学会出版センター
2) J.Zemel, P.Bergveld ed.
「Chemically Sensitive Electronic Devices」 Chap.1.4, pp.77-96
"Methods of ISFET Fabrication" (T.Matsuo and M.Esashi) (1980) Elsevier Sequoia
184
3)
分担執筆
「最先端の医療技術・材料・新薬開発」 II 4 章 1982 年シーエムシー
4) 分担執筆
「医用センサの新展開」 1 章 2 節 1982 年シーエムシー
5) 分担執筆日本マイクロエレクトロニクス協会編
「厚膜 IC 化技術」 4.3.3 節 (一部)1983 年
工業調査会
6) 分担執筆
「生化学と新しい診断薬の開発」 3 章 2 節 1984 年シーエムシー
7) W.H.Ko ed.
「Implantable Sensors for Closed-loop Prosthetic Systems」 Chap.9 pp.115-137
"Recent Developments in ISFET and Its Biomedical Applications"
(T.Matsuo, M.Esashi, H.Nakajima and S.Shoji) (1985) Furuta Publishing Company
8) 「半導体集積回路設計の基礎」1986 年
培風館
9) 分担執筆日本化学会編
「躍進する化学」(化学総説 No.50) 3 章 14 節 (共著者:松尾)1986 年学会出版センター
10) 分担執筆日本機械学会編
「機械工学便覧」 A8 編 2 章 3 節 1986 年
丸善
11) 分担執筆
家田正之他編
「電気・電子材料ハンドブック」６章４．２節 1987 年
朝倉書店
12) 分担執筆
電子情報通信学会編
「電子情報通信ハンドブック」４編４部門１．２．４章 1988 年
オーム社
13) 分担執筆
電気学会センサ機能調査専門委員会編
「最近のセンサ」１章１節 1988 年
オーム社
14) 分担執筆
村地孝古川俊之編
「臨床診断と先端技術」１部２章 1988 年
カレントテラピー
15) 分担執筆
神沼二真編
「Ｒ＆Ｄコンピューティング要覧」３編２部２．１章 1988 年
サイエンスフォーラム
16) 分担執筆
今井正治杉山尚志編
「超ＬＳＩ設計シリコンコンパイレーション」２編５章 1988 年
サイエンスフォーラム
17) 分担執筆
山崎弘郎編
「コンピュートロール No.21 インテリジェントセンサ」 pp.18-23 1988 年
コロナ社
18) T.Seiyama ed.
「Chemical Sensor Technology,Vol.1」 pp.179-193 "Micromachining for Chemical Sensors"
(S.Shoji and M.Esashi) (1988) Kodansha LTD.
19) 分担執筆
応用機械工学編集部編
「超精密加工マニュアル」４編１章 1989 年
大河出版
20) 「電子情報回路 Ⅰ．Ⅱ．
」
（共著者：樋口）1989 年
昭晃堂
21) F.Harashima ed.
「Integrated Micro-Motion Systems - Micromachining,Control and Applications」 pp.357-373
"Integrated Micro Flow Control Systems" (M.Esashi)(1990) Elsevier Science Publishers
22) 分担執筆
石井威望編
「マイクロマシンの衝撃」 pp.199-210、1990 年
PHP 研究所
23) 分担執筆
小谷、福井、松尾編
「メディカルエンジニアリング」 6 章 1991 年
朝倉書店
24) 分担執筆
バイオエンジニアリング出版委員会編
「バイオエンジニアリング」 9.1 節 1991 年
培風館
25) J.Tani and T.Takagi ed.
185
26)
27)
28)
29)
30)
31)
32)
33)
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35)
36)
37)
38)
39)
40)
41)
42)
43)
「Elecromagnetic Forces and Applications」pp.5-8
"Integrated Fluid Control Systems on a Silicon Wafer" (M.Esahi) (1991) Elsevier
分担執筆
松永、桜井、千川編
「表面界面の超精密創成・評価技術」 3 章 IV 節 1991 年
サイエンスフォーラム
分担執筆
五十嵐、藍編
「Si マイクロマシニング先端技術」 1 編 3 章 1991 年
サイエンスフォーラム
分担執筆
樋口、生田編
「マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧」 3 章 8 節 1991 年フジ・テクノシステム
分担執筆
「マイクロマシン技術による製品小型化・知能化辞典」5 章 6 節 1991 年
産業調査会
「マイクロマシン賢く働く微小機械」(共著者:宝谷) 1991 年
読売新聞社
編分担執筆原島、江刺、藤田編
「マイクロ知能化運動システム」1991 年
日刊工業新聞社
「マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス」 (共著者:藤田,五十嵐,杉山)
1992 年
培風館
分担執筆
濱川圭弘編
「コンピュートロール No.41 センシングデバイスとその応用システム」pp.13-18
"マイクロマシニングとセンサ技術" 1992 年コロナ社
分担執筆
バイオエンジニアリング出版委員会編
「バイオエンジニアリング最近の話題を集めて」 pp.179-200
"マイクロマシンとセンサ" (江刺正喜、島地重幸) 1992 年
培風館
総ページ 277
分担執筆
岡博、和田攻編
「医科学大辞典補遺巻 10 最近の医療情報 1993」pp.137-140
"マイクロセンサーと医療" 1993 年
講談社
H.H.Bau, N.F.de Rooij and B.Kloeck ed.
「Sensors, Vol.7, Mechanical Sensors」 pp.332-358
"Sensors for Measuring Acceleration" (M.Esashi) (1994) VCH
M.Aizawa ed.
「Chemical Sensor Technology, Vol.5」 pp.1-15
"Recent Developments in Integrated Chemical Analyzing Systems"
(S.Shoji, M.Esashi, N.F.de Rooij, H.Bert and Van der Schoot) (1994) Kodansha LDT.
分担執筆
高橋清、佐々木昭夫編
「アドバンストセンサハンドブック」pp.235-245,p.296,pp.383-386, 1994 年培風館
分担執筆
内野研二編
「精密制御用ニューアクチュエータ便覧」pp.1022-1033,
"マイクロマシニングによるアクチュエータ" (江刺正喜) 1994 年フジテクノシステム
分担執筆
精密工学会超精密加工専門委員会編
「超精密 Vol.4」pp.90-96,"マイクロセンサと立体的微細加工"(江刺正喜)1994 年かんと出版
A.van den Berg and P.Bergvwld ed.
「Micro Total Analysys Systems」 pp.165-179 "Bonding and Assembling Methods for
Realising a μTAS" (S．Shoji and M.Esashi) (1995) Kluwer Academic Publishers
分担執筆
計測自動制御学会編
「計測制御技術辞典」pp.3-8,pp.66-67,pp.106-107 (江刺正喜) 1995 年
丸善
D.Denton, P.J.Hesketh and H.Hughes ed.
「Proc. of the Second International Symposium on Microstructures and Microfabricated
Systems」 pp.11-23 "Micro Electro Mechanical Systems by Bulk Silicon Micromachining"
(M.Esashi) (1995) The Electrochemical Soc.Inc.
186
44) 分担執筆
西澤潤一編
「先端材料辞典」pp.627-639,"マイクロマシン"(江刺正喜) 1995 年産業調査会
45) 分担執筆
権田俊一編
「薄膜作製応用ハンドブック」pp.1080-1085,"マイクロマシニングによるセンサ"
(江刺正喜) 1995 年エヌ・ティー・エス
46) H.Yamasaki ed.
「Intelligent Sensors, Handbook of Sensors and Actuators 3」 pp.47-57
"Micromachining" (S.Shoji and M.Esashi) (1996) Elsevier
47) H.C.Hoch ed.
「Nanofabrication and Biosystems」 pp.61-79 "Microsensors and Microactuators for
Biomedical Applications" (M.Esashi) (1996) Cambridge Univ. Press
48) 応用物理学会／徳山巍編
「超微細加工技術」pp.278-287、"マイクロメカニクス"(9.2) (江刺正喜)1997 年オーム社
49) S.Nakajima, M.Murakami ed.
｢Advances in Superconductivity IX｣ pp.1191-1194 (Proc.of the 9th Intn.Sympo.on
Superconductivity,Oct.21-24,1996,Sapporo)
"High Frequency Properties of YBCO Josephson Junctions on Si Substrates Fabricated by
Focused Electron Beam Irradiation" (S.Kim, H.Myoren, J.Chen, K.Nakajima, T.Yamashita
and M.Esashi) (1997) Springer-Verlag
50) 機械学会編
「機械工学事典」p.959 "ナノマシン"、"マイクロアクチュエータ" (江刺正喜)1997 年丸善
51) 五十嵐伊勢美、江刺正喜、藤田博之編「マイクロオプトメカトロニクスハンドブック」
pp.119-128 2.6 "マイクロアセンブリ" (江刺正喜)1997 年
朝倉書店
52) 第 12 回「大学と科学」公開シンポジウム組織委員会編
「生物に学ぶマシン－柔らかく優しく動く機械」 pp.105-116 “分布型マシンと能動カテーテル”
（江刺正喜）1998 年クバプロ
53) 電子情報通信学会編
「電子情報通信ハンドブック」編集担当及共同執筆 pp.815-827 6-14 編
”集積化センサとマイクロマシン” 1998 年オーム社
54) H.Baltes, W.Gopel and J.Hesse ed
「Sensors Update Vol.6」 pp.163-188 “9. Silicon-based Nanomachining”
(T.Ono and M.Esashi) 1999, Wiley-VCH
55) 日本エム・イー学会編
「ＭＥ用語辞典」４語 (江刺正喜) 1999, コロナ社
56) 「バイオミメティクスハンドブック」
機能応用編第８章第４節 pp.886－894 "マイクロマシンのアクチュエータ"
(江刺正喜、芳賀洋一) 2000 年㈱エヌ･ティー･エス
57) 「新編光学材料ハンドブック」
第８章第４節１ pp.695-700 “光マイクロマシン総論” (江刺正喜)
2000年㈱リアライズ社
58) H.Baltes, W.Gopel and J.Hesse ed
「Sensors Update Vol.8」 pp.147-186 (全 227 ページ)
“6. Multi-functional Active Catheter” (Y.Haga, T.Mineta and M.Esashi) (2000) VCH
59) 「AERA Mook 工学がわかる」pp.58-61
"能動カテーテル"(江刺正喜) 2001 年朝日新聞社
60) Y.Zhou, Y.Gu and Z.Li ed.
「Mechanics and Material Engineering for Science and Experiments」
187
[Proc. of Intern. Sympo. of Young Scholars on Mechanics and Material Eng. for Science
and Experiments, Changsha/Zhangjiajie, Hunan, China (2001 Aug. 11-16)]
pp.205-208 "Development of Thermoelectric Microdevices by Combining Materials
Processing and Silicon Micromachining Technology"
(J.-F.Li, R.Watanabe, S.Sugimoto, S.Tanaka amd M.Esashi) (2001) Science Press
61) 図解ナノテクノロジーのすべて（川合知ニ監修）
「ナノマシニング」pp.66-69 工業調査会 (2001)
62) S.Kawata, M.Ohtsu and M.Irie ed.
「Near-field Nano Optics」pp.111-135
"5 Integrated and Functional Probes" (T.Ono, M.Esashi, H.Yamada, Y.Sugawara, J.Takahara
and K.Hane) Springer (2001)
63) Fabrication of Silicon Microprobes for Optical Near-Field Application (全 180 ページ)
Phan N. Minh, T.Ono and M.Esashi
CRC Press (2002) (全 180 ページ)
64) 2002 マイクロマシン／ＭＥＭＳ技術大全
pp.20-30, pp.68-117 電子ジャーナル (2002) (全 414 ページ)
65) 図解ナノテク活用技術のすべて（川合知ニ監修）
「ナノ領域を目指す加工」pp.185-189, 「ナノ加工（NEMS と MEMS）
」pp.194-196
工業調査会 (2002)
66) 半導体用語辞典 (半導体用語辞典編集委員会編)
「RIE によるマイクロマシニング」p.75, 「センサパッケージング」pp.280-281,
「ナノファブリケーション」p.383, 「陽極接合」pp.519-520
日刊工業新聞社 (2002)
67) Microsystem Technology, Fabrication, Test and Reliability, MIGAS'02 (ed. Jumana Boussey)
"Bulk Micromachining and MEMS Packaging"(M.Esashi) pp.51-81 (全 299 ページ)
NMT (2002)
70) マイクロマシン技術総覧 (マイクロマシン技術総覧編集委員会編)
「2. 加速度センサ」pp.696-697
産業技術サービスセンター (2003)
71) 薄膜作製応用ハンドブック（権田俊一監修）
「4.1 マイクロマシン技術」pp.1102-1106 (全 1330 ページ)
エヌ・ティー・エス (2003)
72) ナノテクノロジーハンドブックⅠ編創る（ナノテクノロジーハンドブック編集委員会編）
「5.2 MEMS, NEMS へ」pp.193-197 (全 317 ページ)
オーム社 (2003)
73) 飛翔「電気制御機器産業のあゆみ」
（電気制御機器産業史編纂委員会）
「マイクロマシニングとセンサ」pp.120-123 (全 235 ページ)
日本電気制御機器工業会 (2003)
74) 光でナノテク・サイエンス (河田聡編)
「光ナノデバイスの作り方」(江刺正喜、小野崇人、Phan Ngoc Minh) pp.106-117
(全 171 ページ)
クバプロ (2003)
75) ナノテクノロジー大事典 (川合知ニ監修)
「5.1 ナノ機械総論」(江刺正喜) pp.522-523
(全 989 ページ) 工業調査会 (2003)
76) 2003 マイクロマシン／ＭＥＭＳ技術大全
pp.22-32, pp.100-151 電子ジャーナル (2003) (全 520 ページ)
77) 放射光科学入門 (渡辺誠・佐藤茂編)
188
｢放射光による微細加工(LIGA プロセス)とマイクロマシニング｣(江刺正喜)
pp.199-203 東北大学出版会 (2004) (全 373 ページ)
中国語版
同歩輻射科学基礎 (渡辺誠・佐藤茂編)
「8.2 微細加工」(江刺正喜) pp.156-159 上海交通大学出版会 (2010) (全 296 ページ)
78) ソフトアクチュエータ開発の最前線 (長田義仁編著)
「V.2 章形状記憶合金を用いたソフト･マイクロアクチュエータの開発と医療用カテーテルへ
の応用」(芳賀洋一、峯田貴、江刺正喜) pp.365-402 (全 402 ページ) エヌ・ティー・エス
(2004)
79) 人体にやさしい医療材料 (中嶋英雄編)
「マイクロ・ナノ技術による医用デバイス―新しいカテーテル・内視鏡の開発―」(江刺正喜)
pp.18-28 (全 215 ページ) クバプロ (2005)
80) センサ・マイクロマシン工学 (藤田博之編著)
「2 章センサ・マイクロマシンの概要」(江刺正喜) pp.5-34 (全 205 ページ) オーム社 (2005)
81) MEMS テクノロジ 2006 (日経マイクロデバイス、日経エレクトロニクス共同編集)
「第 4 章江刺正喜の MEMS プロセス基礎講座」
pp.185-241 (全 241 ページ) 日経 BP 社 (2005)
82) 2006 マイクロマシン／ＭＥＭＳ技術大全
pp.26-41, pp.148-193 電子ジャーナル (2006) (全 626 ページ)
83) Recent Progress of Application-oriented MEMS through Industry-university Collaboration
「Frontiers in Electronics (Proceedings of the WOFE-04)」(ed.H.Iwai,Y.Nishi,M.S.Shur and
H.Wong) pp.693-704 (全 749 ページ) World Scientific (2006)
[Intl. J. of High Speed Electronics and Systems, 16, 2 (2006) 693-704]
M.Esashi
84) MEMS テクノロジ 2007 (日経マイクロデバイス、日経エレクトロニクス共同編集)
「第 9 章 MEMS プロセス基礎用語」pp.237-263 (全 263 ページ) 日経 BP 社 (2006)
85) Development of Novel Medical Engineering Using Micro-Nanomachining, M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.223-234 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
86) A Scottky Emitter Using Boron-Doped Diamond, J.H.Bae, P.N.Minh, T.Ono and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.295-300 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
87) Small Diameter Ultrasound Imager for Intraluminal Forward-Looking Inspection, J.-J.Chen,
M.Esashi and Y.Haga
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.301-310 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
88) MEMS-Based Thin Film Bulk Acoustic Resonator for Wireless Medical Sensing System, M.Hara
and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.331-340 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
89) Study on Micro Gas Turvine Generator Medical Assistant Machiones, P.Kang, S.Tanaka and
M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.359-368 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
90) Piezoelectric Actuator Integrated Cantilever with Tunable Spring Canstant for TOF-SFM,
Y.Kawai, T.Ono, E.Meyer, C.Gerver and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
189
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.377-384 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
91) Quartz-Crystal Cantilevered Resonator for Nanometric Sensing, Y.-C.Lin, T.Ono and
M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.401-410 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
92) MEMS-Based Fuel Cell For Portable Medical Applications, K.-B.Min, S.Tanaka and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.419-434 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
93) Enhanced Electron Emission Using Indium Tin Oxide / Silicon Monooxide / Gold Stracture,
M.H.Mourad, K.Totsu, S.Kumagai, S.Samukawa and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.443-454 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
94) Litium Niobate Bulk Micromachining for Medical Sensors, A.Randles, S.Tanaka and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.495-504 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
95) Development of Ultra-Miniature Fiber-Optic Pressure Sensor, K.Totsu, Y.Haga, T.Matsunaga
and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.529-540 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
96) Monolithic PZT Microstage with Multi-Degrees of Freedom for the Applications of
Nanomachining, H.Xu, T.Ono and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp. 601-612 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
97) Reversible Electrical Modification on Conductive Polymer for Proximity Probe Data Storage,
S.Yoshida, T.Ono, S.Oi and M.Esashi
「Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology」(ed. M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi,
N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi) pp.623-632 (全 1115 ページ) Imperial College Press (2007)
98) History, experience and vision on micromachining and MEMS, M.Esashi
「Microsystem and Nanotechnology」(ed.Z.Y.Zhou et.al.) in Chinese, pp.794-798 (全 820 ペー
ジ), Chinese Science Press (2007)
99) 序章 MEMS の基礎と応用(pp.1-7)、8 ウェハレベルパッケージング(pp.176-187)
「MEMS マテリアルの最新技術」(全 368 ページ)
江刺正喜監修シーエムシー出版 (2007)
100) 2008 マイクロマシン／ＭＥＭＳ技術大全
pp.20-31, pp.188-213 電子ジャーナル (2008) (全 780 ページ)
101) マイクロマシーニング技術(11 章 pp.445-492)
「次世代センサハンドブック」(全 1050 ページ)
藍光郎監修、培風館 (2008)
102) 陽極接合ガラス (第 1 章第 6 節 pp.52-58)
「ガラスの加工技術と製品応用」(全 618 ページ)
情報機構 (2009)
103) 車載用 MEMS センサにおける現状と課題(第 4 章第 1 節 pp.281-291)
「車載用センサ/カメラ技術と安全運転支援システム」(全 618 ページ)
情報情報協会 (2009)
104) MEMS と半導体集積回路の融合(第 8 章第 13 節 pp.1059-1067)
「MEMS/NENS 工学全集」(全 1100 ページ)
桑野博喜監修、テクノシステム (2009)
190
105) 検証東北大学江刺研究室最強の秘密
彩流社 (2009) (全 191 ページ)
江刺正喜、本間孝治、出川通
106) センサデバイスへの応用(第 4 章 pp.302-312)
「実用薄膜プロセス –機能創製・応用展開-」(全 416 ページ)
技術教育出版社 (2009)
江刺正喜
107) はじめての MEMS (232 頁) 工業調査会 (2009) (森北出版 (2011))
江刺正喜
108) 集積化 MEMS が多様な機器を高付加価値化 (第 1 章 3 節 pp.29-36)
「MEMS 技術予測 2010-2020」(全 271 ページ)、日経 BP 社 (2009)
江刺正喜
109) PZT Driven Micro XYZ Stage(pp.55-66)「Next-generation actuators leading breakthroughs」
(ed.T.Higuchi, K.Suzumori and S.Tadokoro) Springer (2010)
T.Ono M.F.M.Sabri and M.Esashi
110) MEMS for Practical Applications (pp.31-40) 「Advanced Materials and Technologies for
Micro/Nano-Devoces, Sensors and Actuators 」 (ed. E.Gusev, E.Garfunkel and A.Dideikin)
Springer (2010)
M.Esashi
111) 2010 MEMS の最前線徹底解説、(全 231 ページ) 電子ジャーナル (2010)
江刺正喜
112) MEMS ニュートレンド技術集積化 MEMS (pp.22-26)
「電子デバイス技術の行方」 NIKKO Green MOOK (全 111 ページ) 日本工業出版 (2010)
江刺正喜
113) Active Bending Catheter and Electric Endoscope Using Shape Memory Alloy (pp.107-126)
「Shape Memory Alloys」 (ed. C.Cismasiu) (全 210 ページ) Sciyo (2010)
Y.Haga, T.Mineta, W.Makishi, T.Matsunaga and M.Esashi
114) MEMS on LSI (pp.319-330)
「Silicon Compatible Materials, Processes, and Technologies for Advanced Integrated
Circuits and Emerging Applications 」 (ed. F.Roozeboom, H.Iwai, D.-L.Kwong, M.C.Ozturk,
P.J.Timans, V.Narayanan, and E.P.Gusev) (全 363 ページ)
[ECS Transactions, dielectric and semiconductor materials, devices, and processing, Vol.35,
No.2, The Electrochemical Society (2011)]
M.Esashi and S.Tanaka
115) 圧力センサ/マイク/加速度センサ/ジャイロ★徹底解説
電子ジャーナル (全 146 ページ) (2011)
江刺正喜
116) 「2011 マイクロマシン/MEMS技術大全」、第１編マイクロマシン/MEMS総論
第１章マイクロマシン/MEMSとは? (第２章マイクロマシン/MEMSの応用デバイス, 第３章マ
イクロマシン/MEMSの技術動向, 第４章マイクロマシン/MEMSの将来展望)
第３編マイクロマシン/MEMS設計・製造技術 (第１章マイクロマシン/MEMSの設計技術, 第２章
マイクロマシン/MEMSのパターニング技術, 第３章マイクロマシン/MEMSのエッチング技術, 第４章
マイクロマシン/MEMSの成膜・改質・応力制御技術, 第５章マイクロマシン/MEMSのウェーハ接合・
組立技術, 第６章マイクロマシン/MEMSの複合プロセス, 第７章マイクロマシン/MEMSの特殊加工
技術, 第８章マイクロマシン/MEMSの検査・測定・試験技術)
電子ジャーナル、2011年8月25日 (全 672頁) CD-ROM
江刺正喜
191
117) MEMS デバイス用レジストプロセスの最適化
「レジストプロセスの最適化テクニック ~ 微細化・トラブル解消のための工程別対策および材
料技術 ~」
、情報機構、2011 年 9 月 27 日 (全 557 頁)
江刺正喜
118) MEMS – 複合デバイス
「未来を創る半導体 IC Guide Book 2」、電子情報技術産業協会(編)、産業タイムズ、2012 年 3
月 20 日, pp.105-110 (全 819 頁)
江刺正喜
119) 2012 MEMS 組立・実装・テスト技術徹底解説
電子ジャーナル (全 190 ページ) (2012)
江刺正喜
120) 圧力センサ/マイク/加速度センサ/ジャイロ★徹底解説
電子ジャーナル (全 164 ページ) (2012)
江刺正喜
121) MEMS デバイスにおける実装・パッケージング技術
「新製品開発における軽薄短小化への新技術」
、技術情報協会、2012 年 10 月 31 日, pp.284-290
(2012)
江刺正喜
122) 最先端集積システムの技術とその応用
「異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 ― MEMS, NEMS, センサ, CMOSLSI の融合 ―」
(監修 : 益一哉、年吉洋、町田克之)、シーエムシー出版、2012 年 11 月 1 日, pp.1-7 (全 279
ページ) (2012)
江刺正喜
123) 車載用 MEMS センサの進歩
「次世代自動車の夢を実現するセンサ開発と制御技術」技術情報協会、2012 年 11 月, pp.181-190
(2012)
(k) 本の監修・編集
1) 計測工学ハンドブック
山崎弘郎他編朝倉書店 (2001)
2) MEMS and MOEMS Technology and Application
ed. P.Rai-Choudhury SPIE Press (2000)
3) マイクロマシン
江刺正喜監修産業技術サービスセンター (2002)
4) ナノテクノロジー大事典
川合知ニ監修編修委員工業調査会 (2003)
5) Future Medical Engineering Based on Bionanotechnology
M.Esashi, K.Ishii, N.Ohuchi, N.Ohsumi, M.Sato and T.Yamaguchi
Imperial College Press (2006)
6) MEMS マテリアルの最新技術
江刺正喜監修シーエムシー出版 (2007)
(l) 翻訳
192
1) マイクロマシンの大きな役目
（The Little Machines that are Making It Big, D.Bishop, P.Gammel and C.R.Giles, Physics Today
Vol.54, N0.10 (2001）)
パリティ, 17,8 (2002-8) 20-28
(m) 電子レター
1) 東北大学未来科学技術共同研究センター江刺研究室
[最先端研究室レポート http:www.techno-brain.co.jp/laboratory/tohoku esashi/]
2) ナノネットインタビュー東北大学未来科学技術共同研究センター教授江刺正喜氏
[Japan Nanonet Bulletin 第 17 号 2003/5/13
http://www.nanonet.go.jp/japanese/mailmag/2003/017a.html]
3) MEMS 研究の現状と夢
[ETT 電子ニュースレター第 17 号 (2005/11/30)]
江刺正喜
4) 内閣府・文部科学省科学技術政策研究所「TRUENANO 冊子」インタビューWeb 版内閣府 HP
http://www8.cao.go.jp/cstp/nanoweb/interview_2.html
5) 人に優しい医療を実現する MEMS デバイス
[TELESCOPE Magagine No.003 (2012)] http://www.tel.co.jp/museum/magazine/
(n) 研究室の人
1) Experimental Verification of the Feasibility of a 100W Class Micro-scale Turbine at an
Impeller Diameter of 10nm
[J.of Micromech. Microeng., 16, 9 (2006), S254-S261]
K.Isomura, M.Murayama, S.Teramoto, K.Hikichi, Y.Enda, S.Togo and S.Tanaka
2) Hydroinertia Gas Bearings for Micro Spinners
[J.of Micromech. Microeng., 15, 9 (2005), S228-S232]
K.Hikichi, S.Goto, S.Togo, S.Tanaka and K.Isomura
3) 「超小型燃料電池の開発と今後の展望」2003 年 6 月シーエムシー出版
マイクロ燃料電池・マイクロ改質器第 3 章田中秀治 40-69
193

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