分析手法詳細編B0211 2015/06/18 2015/06/18 XPS・AESによる深さ方向分析の比較 XPS： X線光電子分光法 AES： オージェ電子分光法 概要 XPSとAESは表面敏感な分析手法でありサンプル表面の評価に広く用いられますが、イオンエッチング を併用することで深さ方向の分析が可能となります。 深さ方向分析を行うにあたり、測定したい領域やサンプルの材質に応じてXPSとAESを適切に使い分け ることが、目的に沿った分析を行う上で重要です。 XPSとAESの深さ方向分析の特徴について、SUS不動態膜の分析を例として比較します。 データ ■ XPS 原子濃度( ％ ) 100 Fe2p スペクトルの深さ方向状態評価例 Fe 80 金属 Fe 60 内部側 Fe 40 C 20 O Cr FeOx Ni 0 0 2 4 6 スパッタ時間( min. ) 8 10 XPSは定量精度が高く、化学結合状態の評価を行うこと が可能です。また、絶縁物でも測定可能です。 一方で、微小領域を狙うことは苦手です。 表面側 Binding Energy(eV) ■ AES 原子濃度( ％ ) 100 SEM 像 x1,000 倍 80 Fe O 60 40 C Fe 20 Cr Ni 0 0 2 4 6 8 20μm 10 スパッタ時間( min. ) AESはXPSと比較して定量精度が低く、化学結合状態も評価出来ません。また、電子線を用いるた め絶縁物の測定は困難です。 一方で、SEM像を取得することが可能で、微小領域を狙うことが可能です。 ■ XPS・AES 深さ方向分析比較表 手法 定量精度 結合状態評価 空間分解能 絶縁物 料金 XPS ○（1atomic%程度） ○ △（数十m以上） ○ △ AES △（数atomic%程度） × ○（数十nm以上） × ○ 分析サービスで、あなたの研究開発を強力サポート！ TEL ： 03-3749-2525 E-mail ： [email protected] URL ： http://www.mst.or.jp/
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