会社製品案内 - アポロウエーブ

会社案内
Company profile
製品案内
Products information
2015年 Summer
株式会社アポロウエーブ
Apollowave
Corporation
Ap
ollowave
アポロウエーブは⾼周波・微⼩電流・
www.apollowave.co.jp
ソリューションを提供いたします
温度をテーマに半導体の測定のための
会社概要
■ 会社名
株式会社アポロウエーブ
■ 設⽴
２０００年２月
■ 資本⾦
１５００万円
■ 代表取締役
山下修
■ 所在地及び連絡先
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F
TEL:06-6838-3233 / FAX:06-6838-3234
■ 取引先銀⾏
りそな銀⾏,三井住友銀⾏,池⽥泉州銀⾏,⼗三信用⾦庫,南都銀⾏
■ 主な取引先（敬称略）
オムロン・⼤阪⼤学・九州⼤学・京都⼤学・京セラ・産業技術総合研究所・シャープ・情報通信研究機構・
住友電気⼯業・セイコーエプソン・ソニー・東芝・東北⼤学・東京⼤学･デンソー・トヨタ⾃動⾞
奈良先端科学技術⼤学院⼤学・パナソニック・富⼠通研究所・古河電気⼯業・三菱電機・村⽥製作所・山形⼤学・
ルネサスエレクトロニクス・ロームその他多数（アイウエオ順）
会社沿革
2000年
2001年
2月
2002年
2003年
2004年
2005年
2007年
2008年
2009年
2010年
2011年
2012年
2014年
2月
3月
4月
4月
会社設⽴
セミオートプローバーの開発 / ⾼周波プローブの研究開発で「中⼩創造活用促進法」の認定を受ける
⼤阪府⽴特許情報センターのインキュに⼊居
⼤阪府⽴産業技術研究所のインキュベータ⼊居し、⾼周波プローブ・微少電流プローブの開発を開始する。
６ＧＨｚ対応プローブカード試作 / TDDB/EM用プローブカードの開発
資本⾦を1500万円に増資（⼤阪府FORECS財団より一部投資）
⾼周波垂直プローブの開発で池⽥銀⾏の「地域起こし⼤賞」を受賞
「半導体のウエハレベル・エレクトロマイグレーション評価装置の開発で「中⼩創造活用促進の認定を受ける。
300mmウエハ一括コンタクトTDDB/EM用プローブカードの開発技術向上奨励補助⾦を受け開始
300mm WLRプローバ、プローブカードをリリース/ 第５回⼤阪フロンティア賞創業奨励部門特別賞を受賞
EM350℃対応信頼性試験用マニュアルプローバーPEM300をリリース
マニュアルプローバー New αシリーズをリリース
「明日の日本を支える元気なモノ作り中⼩企業300社」に選定される
創⽴10周年
台湾支店開設
アジレント・テクノロジー(株)様（現キーサイト・テクノロジー（合））とソリューションパートナー契約を締結
セミオートプローバーAPシリーズをリリース
マニュアルプローバー
αシリーズ（100/150/200/300）
チップから300mmウエハまで対応
20kV、200Aのハイパワー測定対応
α300ＣＳ/α200CS
（微⼩電流、高低温での測定に対応）
高電圧/ハイパワープロービング
卓上コンパクトプローバー
セミオートプローバー
AP150/AP200
光照射プローバー
真空プローバー
（液晶/太陽光パネルセル等に）
高周波プローバー
350℃対応WLRマニュアルプローバー
〝PEM300″（TDDB/EM/NBTI等に）
マグネットプローバー
（MRAM開発等に）
様々な仕様のプローバーを開発・納入して参りました。
御社独自ユーザーカスタマイズが可能ですのでご相談ください。
On wafer test solution
〜Probe Card〜
⾼周波プローブカード
これからのウエハーテスト時代を
強⼒にサポートします
６ＧHz対応！
GNDパッドが無いRFスイ
ッチ等でエアコプレナープ
ローブのピッチに制限され
ることなく⾼周波測定を⾏
うことが出来ます。
DCマルチコンタクトプローブ
Coaxial Probe タイプ
狭ピッチSignal PAD対応
BGAにも対応
Bradeタイプ
タイプ
微⼩電流プローブカード
★ピッチ：60μｍ〜
★1〜20pin対応
★プローブ先端材質：ベリリウム銅・タングステン
タングステンレニウム・パラジウム
★その他ご希望の仕様に対応いたします。
★ PADの不等ピッチ、千⿃配置、2列配置など対応
エポキシタイプ
Ｉ（Ａ）
Noise
1.00E-13
8.00E-14
6.00E-14
4.00E-14
2.00E-14
0.00E+00
-2.00E-14 0
-4.00E-14
-6.00E-14
-8.00E-14
-1.00E-13
20
40
60
80
100
120
time（ｓ）
☆⾼・低温下のシビアな測定においても、
安定した結果を得ることができます！！
☆10fAの測定も可能です！！
☆フルオート、セミオート、マニュアルプローバー
全てに対応します。
EM/TDDBプローブカード
☆安価です。
☆多数個取りが可能。
☆各種基板で製作が可能
300㎜ウエハ一括プロービング！
350℃の温度下で測定できます。
基板にシリコンと同等な熱膨張率を持つセラミクスを
採用する事により、⾼温下においても、広範囲なエリ
アを位置ずれすることなくプロービングできます。
100μmピッチ、60μｍパッドにも対応します。
⾼周波プローブ
〜110GHｚ
セミオートプローバー
AP-200
＜多様な測定に対応＞
ｆAレベルの微⼩電流測定
ｆFレベルの微⼩容量測定
10ｋV以上、200A以上の
ハイパワー測定
チップレベルでも連続自動測定が可能な
チップアライメント機能を搭載
★微⼩電流、⾼電圧/⾼電流、⾼周波と各種測定に対応。
★コンパクト設計。
★オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフト。
★垂直プローブ対応のプローブアライメントや
自動アライメントもオプションでラインナップ
ミリ波対応の⾼周波測定
多様な測定に対応
当社オリジナルのトライアキ
シャルプローブ、HVトライア
キシャルプローブ、⼤電流プ
ローブを組み合わせることで、
測定器スペックに近い分解能で
の測定を実現できます。
優れた制御ソフト
制御ソフトはオペレーターが操作
に迷わないように⼯程順にアイコ
ンを並べるなど、操作性に優れて
います。チップ移動、サブチップ
移動なども⾃動で⾏うことが可能
です。
安全で使いやすく
ウエハ、チップのロード、ア
ンロードは⼤きな開⼝部で⾏
うことができてスムーズです。
プローブ取り扱い時はステー
ジが待避するなどオペレー
ターミスを最⼩限に抑られる
様に考えられています。
チップトレイ対応
チップアライメント機（オプション）
登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個
⽚チップを画像認識にて⾃動的にアライメン
トする機能です。
個⽚チップを1個1個マニュアルで測定してい
た作業を⾃動で複数チップを一気に測定する
ことが可能になります。
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
測定器メーカーのシステム/
ソフトウェアに標準対応
キーサイト・テクノロジー社
EasyEXPERTソフトウェア
ケースレーインスツルメンツ社
ACS（測定ソフト）
α100
チップや4インチまでのウエハでの
IV/CV、RF測定に最適です！！
POINT ①
幅400ｍｍ、奥⾏360ｍｍでとてもコンパクト
POINT ②
＜測定対応＞
微⼩電流
⾼周波
⼩径ウエハはもちろん、微⼩チップ・
割れウエハー吸着も思いのまま
POINT ③
選べるステージ
載せ変えも簡単
実装基板ホルダー
ホットチャック
サーモチャック
ノーマルチャック
フィルム用チャック
樹脂製チャック
Etc.
★
POINT ④
★
コンパクトでも⾼性能
★マイクロメータ付⾼精度
ＸＹＺθステージ搭載で
確実なアライメントを実現！
★Ｚはレバー3段階切り替えで
測定効率がアップ！
★クイックポジションは抜群の
使い易さ！
★
主な仕様
本体寸法（本体のみ）
D：360mm
W：400mm
重量（本体のみ）
25ｋｇ
ステージトラベル（粗動）
Ｘ：100ｍｍ、
サブステージトラベル（微動）
Ｘ：14ｍｍ、
チャック径
最⼤4インチ
H：330mm
Ｙ：100ｍｍ
Ｙ：14ｍｍ
微⼩電流測定パッケージ
RF測定パッケージ
★α100本体
★4インチノーマルチャック
★実体顕微鏡
★ＲＦ用マイクロ
マニピュレータ(２個）
★α100本体
★4インチノーマルチャック
★実体顕微鏡
★マイクロポジショナー4個
★トライアキシャルプローブ4本
★タングステン針25本
★真空ポンプ
198万円
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011
⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233
FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
＜測定対応＞
微⼩電流
50㎜□程度までのチップでの
IV/CV測定に最適です！！
★グローブボックス内に簡単に設置ができます。
★グローブボックス内をはじめ、どの環境でも
しっかりとしたシールド環境下で測定ができます。
★簡単に微⼩電流/微⼩容量が測定できます。
★簡単に持ち運びができ、置き場所を選びません。
ご用途により超コンパクトサイズも
お選びいただけます
H150㎜
H200㎜
D210㎜
W250㎜
D340㎜
（本体300㎜）
超コンパクトタイプ
★⾼温槽等に⼊れてHAST試験等にも
ご使用できるサイズです。
★お持ちのソーラーシミュレータの下にも
置けるサイズです。
★ポジショナーは3個まで設置できます。
★お一人で簡単に持ち運びができます。
W630㎜（本体400㎜）
標準タイプ
★ソーラー
シミュレータ
ご使用
例
★⾼温槽
★⾼精度ポジショナーの使用も可能で、置き⽅にも
⾃由度があります。
★ポジショナーを最⼤6個まで設置できます。
★トライアキシャルプローブなどのご使用で
さらなる微⼩電流測定等測定の幅が広がります。
★お一人で持ち運びができます。
★⾼温多湿仕様は
特注品となります
★本体一式（標準タイプ）
★50㎜ステージ
★マイクロポジショナー3個
★トライアキシャルプローブ
3個
★タングステン針（25本/箱）
★コネクタパネル（TXA4個）
★真空ポンプ
Curren[A]
微⼩電流測定パッケージ
1.00E-13
8.00E-14
6.00E-14
4.00E-14
2.00E-14
0.00E+00
-2.00E-14
-4.00E-14
-6.00E-14
-8.00E-14
-1.00E-13
-100
-50
0
★グローブボックス
★フル装備状態
50
100
Voltage[V]
99万円
※顕微鏡、顕微鏡架台は含みません。
お持ちのものをご使用頂くか別途お⾒積致します。
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011
⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233
FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
マニュアルプローバー -55℃
℃〜350℃
℃対応
α200CS/α300CS 全温度域で微⼩電流測定が可能です
＜多様な測定に対応＞
ｆAレベルの微⼩電流測定
ｆFレベルの微⼩容量測定
10ｋV以上、200A以上の
ハイパワー測定
★微⼩電流、⾼電圧/⾼電流、⾼周波と各種測定に対応。
★コンパクトシールド搭載でコンパクトな設計。
★ドライエア置換で低露点環境での測定に対応
★マイナス温度対応のサーモチャックが搭載可能
★プローブカードを使用してのWLR試験にも対応
ミリ波対応の⾼周波測定
安全で使いやすく
ウエハ、チップのロード、ア
ンロードは⼤きな開⼝部で⾏
うことができてスムーズです。
測定系のインターロックと開
閉扉スイッチが連動します。
使いやすい⾼さ動作
⻑めのレバーにより軽い⼒
でプラテンの⾼さを3段階
に切り替えができます。ま
た微調整ノブも手元にあり、
効率的なアライメント動作
を可能にしています。
多様な測定に対応
当社オリジナルのトライ
アキシャルプローブ、HV
トライアキシャルプロー
ブ、⼤電流プローブを組
み合わせることで、測定
器スペックに近い分解能
での測定を実現できます。
ステージ移動が簡単
ステージ移動ノブについてい
る移動用スイッチにより、⾃
在にステージをＸＹに移動さ
せることができます。
サーモチャックシステム
最⼤温度範囲
⽅式
（オプション）
：-55℃〜350℃
プローブカード
微⼩電流、⾼温対応
（350℃）のプローブカード
に対応します。TDDB等の
WLR試験用途にもご使用頂け
ます。
：チラーによる冷却液循環/
ヒーターのバランス制御
サイズ
：4〜12インチをラインナップ
接続：
トライアキシャル、HVトライアキシャル、
コアキシャル、他
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
主な仕様
本体寸法
300CS
200CS
D930mm×W965mm×H700mm
D568mm×W678mm×H607mm
重量
300CS ：130ｋｇ
ステージトラベ
ル（粗動）
300CS
200CS
Ｘ：320ｍｍ、
Ｘ：200ｍｍ、
200CS：75kg
サブステージト
ラ
ベ
ル
（微動）
Ｘ：25ｍｍ、
Ｙ：25ｍｍ ※300、200共通
搭載可能
チャック径
4〜8inch（200CS）/4〜12インチ（300CS）
Ｙ：320ｍｍ
Ｙ：200ｍｍ
マニュアルプローバー
α150/200/300
POINT
快適な操作性が好評のαシリーズ
評価・解析に幅広いニーズに対応
選べるステージ
載せ変えも簡単
POINT
選べる光学系
実装基板ホル
ダー
ホットチャック
サーモチャック
ノーマルチャック
フィルム用チャック
樹脂製チャック
Etc.
実体顕微鏡
⾦属顕微鏡
ズームマイクロ
（レーザー対応）
⼤型のプラテンを採用
し、余裕のマニピュレ
ーターの搭載を実現し
ています。
またプラテンが上下す
ることで、一括で針の
Z調整ができます。
操作性を考慮した前明きの形です。
ウエハーのロード/アンロードが容
易にできます。
Zは3段階切り替え
レバーの操作により、3段アクションの
Ｚドライブが可能です。アライン（位
置合わせ）はウエハーから約300μm
針を離して⾏うので、顕微鏡の焦点か
らはずれないでステージが移動でき、
かつローディング／アンローディング
のときは、5.0mm離れますので安全
に操作できます。
ステージ移動が簡単で正確です。
ステージ移動ノブについてい
る移動用スイッチにより、自
在にステージをＸＹに移動さ
せることができます。範囲は
ＸＹ共に各チャックサイズ以
上となります。
ショックアブソーバーの採用で常にソフトなコンタクトを実現
確実なアライメント
マイクロメーター付
の⾼精度精密ステー
ジをXYZθに採用し
ています。プローブ
カード装着時のアラ
イメントも簡単にで
きます。
主な仕様（α
α200）
本体寸法（本体のみ）
奥⾏：600mm幅：600mm
⾼さ：450mm
重量（本体のみ）
40ｋｇ
ステージトラベル（粗動）
Ｘ：200ｍｍ、
サブステージトラベル（微動）
Ｘ：25ｍｍ、
チャック径
4〜8inch
ウエハー保持
真空吸着⽅式（400ｍｍＨｇ以上）
Ｙ：200ｍｍ
Ｙ：25ｍｍ
※α150は6インチウエハまでの対応です。
＜測定対応＞
微⼩電流
⾼周波
ハイパワー
●製品の価格、仕様は予告なしに変更される場合があります。
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
⾼周波用マニュアルプローバー
αシリーズ
RFパッケージ
ＲＦプローブ、ＤＣプローブが装着可能です
確実なプロービングを実現する固定型⾼精度
マイクロマニピュレーターを搭載。
それぞれＸＹＺθの調整機構付です。
PEM300
RFプローブはカスケード社、ズース
社、GGB社の全てに対応しています
。ＤＣプローブは弊社製となってお
り、短納期で納⼊できます。特殊仕
様にも対応しております。
信頼性測定用マニュアルプローバー
自社製プローブカードと合わせての一体設計の
為、コンタクトの信頼感が違います。
。
シールドボックスの外へチャッ
クを引き出すことができるため
ウエハー交換が容易です。
ウエハレベルTDDB/EM/NBTI etc.
300㎜ウエハ一括350℃
℃測定！！
ツインCCDはプローブカードのアライメ
ント（θ調整）を劇的に簡単にします。
カードと上部扉の間には耐熱
ガラス層がありますので、⾼
温時にN2パージ状態のままア
ライメントができます。また
これにより⾼温による映像の
ゆらぎも解消しています。
組合わせるテスターを選びません。
内部がチャンバーとなっている為、効率
的なＮ２パージが可能です。
操作系はすべて手前に配置しており、
安全にアライメントができます。
Ａｇｉｌｅｎｔ
ＫＥＩＴＨＬＥＹ
エスペック
AETRIUM
Ｑｕａｌｉｔａｕ
etc.
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
有機デバイス・MEMSデバイス・材料の研究開発向けプローバー
真空プローバー
＜測定対応＞
微⼩電流
⾼周波
ハイパワー
４ポジショナー型
★真空度は10-３Paに対応
★信号取り出し方法は個別仕様に対応
★微⼩電流も測定可能
★ステージもＸＹ50㎜可動
★ステージサイズは100㎜までOK
真空チャンバー用
Miniプローバー
プローブカード型
★プローブカードタイプの為、多ピン化が可能
★真空度は10-１Paに対応
★非測定物の変更はプローブカードの交換で対応
★XYZθステージによりアライメント
PM-20
チップレベルで簡単に評価！！
有機デバイス、MEMSセンサー評価に
⼩型（Φ80mm×⾼さ80mm）でプローバーごと
真空チャンバーや⾼温槽に入れて使用できます。
★プローブカードタイプの為、多ピン化が可能
★100μm程度のPADにもコンタクト可能
★非測定物の変更はプローブカードの交換で対応
★プローバーのみで398,000円と安価
★信号取り出し方法は個別仕様に対応
★微⼩電流も測定可能
★XYZ（±2.5mm）、θ360°のステージ付き
卓上型ボックスプローバー
①顕微鏡でプローブとチップを
アライメント
②真空チャンバー、恒温槽へ設置
IN
真空チャンバー/
恒温槽等
★ガス置換が可能
★信号取り出し⽅法は個別仕様に対応
★微⼩電流が測定可能
★各種プローブとの組み合わせOK
★簡易除振台の組み合わせもOK
擬似太陽光照射プローバー
太陽電池、TFTの電気的評価に
太陽電池向けプローバー
組合わせ一例
擬似太陽光源
(ソーラーシミュレータ)
◎電源内蔵でコンパクト設計
◎⾚外〜近⾚外域のスペクトルも⾼近似
◎フレキシブルなファイバー照射が可能
◎外付けコントローラで遠隔操作が可能
◎100〜30%の連続調光機能
◎RS232Cポートによる外部制御も可能
★擬似太陽光を照射した状態でサンプルの
電気特性を測定できます。
★光源により紫外、可視、赤外の照射も可能です。
★ステージ横に照度計、強度計の設置も可能で設定値
と実際の照射状態の補正も可能です。
★裏⾯から照射可能なステージもご用意できます。
★もちろんサーモチャック、ホットチャックなど
オプションの組合わせは自在です。
★プローバーをセミオート化し、プローバー、測定器、
光をソフトで一括制御することも可能です。
SBP－001
◎チップ〜⼩ウエハに対応
◎照射の角度振りが可能
◎照射のW.D.を変えられます
◎複数の光源から同時照射も可能
◎コンパクトで安価
SBP－002
裏⾯照射OK
a-Si太陽電池用の熱が少ない全く新し
い概念のソーラーシミュレーターです
◎チップ〜⼩ウエハに対応
◎サンプルの上下からの照射可能
◎照射のW.D.を変えられます
◎複数の光源から同時照射も可能
◎位置決め機構で顕微鏡も搭載可能
◎日照計の設置も可能で校正も簡単
★お薦めオプション★
＜シールドボックス＞
余分な熱をカットし、a-Si太陽電池の
感度帯域だけを評価できます。
★ご希望の仕様により特注対応いたします。
◎0.00Lux以下の環境
◎電気的シールド
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
●製品の価格、仕様は予告なしに変更される場合があります。
ホットチャック
RT〜400℃の⾼温測定ニーズに応えます。
⾼温での微⼩電流・⾼抵抗・低容量の安定測定が可能です
Current[A]
ヒーター加熱タイプ
5.E-13
4.E-13
3.E-13
2.E-13
1.E-13
0.E+00
-1.E-13
-2.E-13
-3.E-13
-4.E-13
-5.E-13
●特
特長
★4インチ〜12インチウエハ用をラインナップ
★RT〜400℃の温度範囲でラインナップ
Time[Sec]
★低ノイズ、低リーク仕様からコスト重視仕様
までラインナップ
200℃ ０〜100Ｖ印加
（トライアキシャル仕様） ★RT〜400℃の温度範囲でラインナップ
0
サーモチャック
チラー冷却タイプ
10
20
30
40
-55℃〜+350℃までの温度コントロールが可能です
●特
特長
★4インチ〜12インチウエハ用をラインナップ
★-55〜350℃の温度範囲でラインナップ
★低ノイズ、低リーク仕様もラインナップ
★20℃付近のコントロールが可能
サーモチャック
ペルチェタイプ
-40℃〜+125℃までの温度コントロールが可能です
Temparature[C]
Temparature-Time
20
15
10
5
0
-5
-10
-15
-20
-25
-30
-35
-40
-45
-50
0
10
20
30
Time[min]
本装置は⾼速メモリーやシステムＬＳＩの温度環境試験
用に開発した装置です。冷却加熱素⼦には、新開発スケル
トンペルチェ素⼦を使用しており、温度上昇下降速度が従
来品の数倍に、熱歪による耐久性も向上しました。使用温
度範囲は－40℃〜＋125℃までの温度を⾃由に可変する事
が出来、制御精度は±0.5℃の⾼精度な制御が可能です。オ
プションでパソコンから温度設定が出来ますのでシステム
への組み込みも可能です。
各チャックとも⾼電圧測定、多点測定、基板材料等
測定内容により、チャックトップの材質、色、メッ
キ等を決定いたします。ご相談下さい。
●価格はお問合せください。
●製品の仕様は予告なしに変更される場合があります。
●特
特長
★6インチウエハ用をまで可能
★-40〜125℃の温度範囲でラインナップ
★低ノイズ、低リーク仕様もラインナップ
★20℃付近のコントロールが可能
★チラータイプに比べて安価
★温度到達が迅速
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
オプション
豊富なオプションで多様な測定環境をご提案
★他社プローバーに合うように設計変更品も承ります
⾼精度且つ⼤きく動く
⾼精度且つコンパクト
MODEL：M30
178,000円
固定⽅式：マグネット式（ＯＮ/ＯＦＦ付）
ストローク量：X、Y、Z各±3.2mm
真直度：１μm
移動量：0.5ｍｍ/回転
マイクロメーター読み取り：10μｍ
RF Probeを確実にコンタクト
微⼩電流・容量、⾼周波に
MODEL：M20
80,000円
固定⽅式：マグネットラバー式
ストローク量：X、Y、Z各±5ｍｍ
真直度：30μm
トラベル量：0.5ｍｍ/回転
マイクロメーター：なし
Curren[A]
MODEL：M40
198,000円
固定⽅式：マグネット式（ＯＮ/ＯＦＦ付）
ストローク量：X、Y、Z各±6.5mm
真直度：1μm
移動量：0.5ｍｍ/回転
マイクロメーター読み取り：10μｍ
ローコスト・ハイパフォーマンス
1.00E-13
8.00E-14
6.00E-14
4.00E-14
2.00E-14
0.00E+00
-2.00E-14
-4.00E-14
-6.00E-14
-8.00E-14
-1.00E-13
-100
-50
0
50
Voltage[V]
MODEL：M60
320,000円
固定⽅式：マグネット式又はネジ固定
ストローク量：X、Y、Z各±6.5mm，θ360°
真直度：1μm
移動量：0.5ｍｍ/回転
マイクロメーター読み取り：10μｍ
各社RFプローブ装着可能
複数ピンタイプ
マルチコンタクトプローブ
M60と組合せで最⼤20pin
カーブトレーサ等に
同軸プローブ
コネクター：SMA
針先端径：5〜40μm
10本150,000円
シールドボックス
タイプ：観音開き式、ハッチバック式
寸法：780×780×1000mm（基本）
※オーダーメイド可能です
トライアキシャルプローブ
コネクター：トライアキシャル
針先端径：1〜30μm
1本 50,000円（トライアキシャル）
先端にタングステン針を装着
※ケルビンタイプも有 1本100,000円
パワーデバイス測定に
⾼電圧プローブ⼤電流プローブ
20kV/200A
キーサイトB1505A用,
ケースレー2657A用、2651A用
岩通計測カーブトレーサ
CSシリーズ用等
各種取り揃えています
Lアーム
1本13,000円
ノイズ対策、遮光に
Kelvin同軸プローブ
コネクター：SSMC
針先端径：1〜40μm
結露防⽌ボックス
簡単なグローブボックスです。
ドライエアを置換してマイナス温度時の
結露を防⽌
操作に適した位置に操作穴があります。
●その他多数ご用意しております。
●価格はお問合せください。
●製品の仕様は予告なしに変更される場合があります
●お持ちの装置の仕様に合わせて設計を変更出来ます
タングステン針
各種先端径有
BeCu、Pd等有
振動対策に
各種除振台
卓上型、テーブル型、ゴム式簡易型
株式会社アポロウエーブ
〒532-0011 ⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8
⼤昭ビル4F
TEL 06-6838-3233 FAX 06-6838-3234
E-MAIL：[email protected]
100
オプション
YAGレーザー加工装置
微⼩チップの保持
チップチャック
固定⽅法：吸着と機械的保持
オーダーメイド可能です。
微⼩チップチャック
200μmチップ吸着可能
基板へプロービング
基板用ホルダー。
他のチャックと容
易に交換可能
出⼒波⻑：1064/532/355/266nm
発振⽅式：内部循環型⽔冷式
Nd：YAG Laser
（パルス幅：＜5〜7nsec）
※詳細はお問合せ下さい
マニュアルプローバー
ポジショナー
光学系
プローブ
周辺アイテム対応表
α150
α200
α300
M20
●
●
●
●
M30
●
●
●
●
●
M40
●
●
●
●
●
M60（RFプローブ用）
最⼤4個（東⻄南北配置）
●
●
●
●
●
●
実体顕微鏡
●
●
●
●
●
●
⾦属顕微鏡
●
●
●
●
レーザーシステム
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
●
トライアキシャルプローブ
●
●
●
●
●
●
トライアキシャルケルビンプローブ
●
●
●
●
●
●
同軸プローブ
●
●
●
●
●
Lアーム
●
●
●
●
●
同軸ケルビンプローブ
●
●
●
●
●
●
●
●
●
常温チャック
●
●
●
●
●
●
ホットチャック
●
●
●
●
●
●
● ※1
● ※1
● ※1
●
●※1
● ※1
● ※1
● ※1
●
●
●
●
●
●
サーモチャック（チラー）
サーモチャック（ペルチェ）
プローブカード
アダプタ
α200
/300CS
ズームCCD
⾼電圧／⼤電流プローブ
チャック
ステージ
卓上コン
パクト
α100
4.5インチ用
8インチ一括コンタクト用
●
12インチ一括コンタクト用
YAGレーザー
●
●
●
※1
結露対応がなされていない為、温度範囲は+20℃以上の仕様となります。
※2
別途ポジショナー用アダプタが必要です。
●
●※１
〒532-0011
⼤阪市淀川区⻄中島6-7-8 ⼤昭ビル4F
TEL:（06）-6838-3233
FAX:（06）-6838-3234
ローノイズ・ローリーク測定に最適！！
測定用トライアキシャルケーブル・コネクター
★トライアキシャルはスペック保証付です★
品目
販売価格
トライアキシャルケーブル
（外径：5mm）
TXA（P)－TXA（P）
★保証リークスペック：500fA以下
1ｍ未満
¥7,000
1〜3ｍ
¥7,500
トライアキシャルケーブル
（特注細線
外径：2.8mm
耐熱）
TXA（P)－TXA（P）
★保証リークスペック：50fA以下
1ｍ
¥14,000
2ｍ
¥15,000
3ｍ
¥16,000
Low noise トライアキシャルケーブル
（測定器メーカー純正品と同等の実⼒
外径：5.３mm）
TXA（P)－TXA（P）
★保証リークスペック：10fA以下
〜3ｍ
¥19,800
3〜5ｍ
¥22,800
電圧依存性
New_TXA_Cable
Leak-Time @RT
振動の影響確認
New_TXA_Cable
Leak-Time @RT
New 0V
3.00E-14
振動有り 0V
5.00E-14
4.00E-14
New 100V
New -100V
2.00E-14
Leak[A]
1.00E-14
Leak[A]
振動無し 0V
3.00E-14
2.00E-14
0.00E+00
1.00E-14
0.00E+00
-1.00E-14
-1.00E-14
-2.00E-14
-2.00E-14
-3.00E-14
-4.00E-14
-5.00E-14
-3.00E-14
0
10
20
30
40
50
60
70
0
10
20
30
40
50
60
片側コネクターがBNC(P)、SMA(P)
同軸変換アダプタ
上記各1,000円増し
（トライアキシャル）
TXA（J）-BNC（P）
￥6,300
ストレートタイプ
外部導体フローティング
TXA（P）-BNC（J）
SMA
T型アダプタ
T型アダプタ（⾦メッキ）
￥9,600
内部導体フローティング
￥6,900
ストレートタイプ
￥6,200
外部導体フローティング
￥7,400
内部導体フローティング
￥6,400
TXA（J）-TXA（J）
トライアキシャル
70
Time[Sec]
Time[Sec]
J-P-J
J-P-J、J-J-J
SHV（J)-SHV(J)
※納期はお問合せください。
※お電話でも承ります。
※ケーブル⻑、アッセンブリ⽅法等の特注対応も承ります。
￥7,600
￥18,000
￥5,000
￥30,000
※トライアキシャルコネクターは全て3ラグタイプです。
※ＪはＪａｃｋ，ＰはＰｌｕｇの略となります。
※スペック保証は両端ﾄﾗｲｱｷｼｬﾙに限ります。
●製品の価格、仕様は予告なしに変更される場合があります。